JP2007150209A - Common mode filter - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a common mode filter which can reduce stray capacitance at a coil. <P>SOLUTION: The layer structure body 3 of the common mode filter is obtained by laminating a conductor layer 10, an insulating layer 11, a conductor layer 12, an insulating layer 13 and a conductor layer 14. The conductor layer 10 has a spiral coil conductor 16, a pull-out conductor 17 connected with the outer side end of the coil conductor 16, and a pull-out conductor 18 formed in the outer side area of the coil conductor 16. The conductor layer 12 has a spiral coil conductor 24, and a connection conductor 26 formed in the inner side area of the coil conductor 24. The conductor layer 14 has a spiral coil conductor 30. The inner side end of the coil conductor 16 and the pull-out conductor 18 are connected through the connection conductor 26. The connection conductor 26 is formed across the coil conductor 16. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、3つのコイルを有するコモンモードフィルタに関するものである。   The present invention relates to a common mode filter having three coils.

従来において、3つのコイルを有する3ライン構造のコモンモードフィルタとしては、例えば特許文献1に記載されているように、複数の絶縁性シートと複数のコイル用導体パターンとを積み重ねて、3つのコイルを形成して成る積層型コモンモードフィルタが知られている。このような3ライン構造のコモンモードフィルタでは、3つのコイルのうち何れか1つをグランドライン用コイルとし、他の2つのコイルを信号ライン用コイルとして使用される。
特開2004−165448号公報(図3及び図4)
Conventionally, as a common mode filter having a three-line structure having three coils, for example, as described in Patent Document 1, a plurality of insulating sheets and a plurality of coil conductor patterns are stacked to form three coils. A laminated common mode filter formed by forming is used. In such a three-line common mode filter, one of the three coils is used as a ground line coil, and the other two coils are used as signal line coils.
JP 2004-165448 A (FIGS. 3 and 4)

しかしながら、上記従来技術においては、絶縁性シートを介して積層された2つのスパイラル状のコイル用導体パターンが、絶縁性シートに設けられたビアホールを介して直列に接続されることで、1つ(1ライン)のコイルが形成される構造となっている。このような構成では、1ラインのコイルにおいて各コイル用導体パターン同士が重なり合う領域が増加せざるを得ないため、コイルの一端部(入力部)と他端部(出力部)との間に生じる浮遊容量が増大する。その結果、コモンモードフィルタの共振周波数が低下し、高周波帯域のコモンモード特性が低下してしまう。   However, in the above prior art, two spiral coil conductor patterns laminated via an insulating sheet are connected in series via via holes provided in the insulating sheet, thereby providing one ( 1 line) coil is formed. In such a configuration, since the area where the coil conductor patterns overlap each other in one line of coil is inevitably increased, it occurs between one end portion (input portion) and the other end portion (output portion) of the coil. Increases stray capacitance. As a result, the resonance frequency of the common mode filter is lowered, and the common mode characteristics in the high frequency band are lowered.

本発明の目的は、コイルに生じる浮遊容量を低減することができるコモンモードフィルタを提供することである。   An object of the present invention is to provide a common mode filter capable of reducing stray capacitance generated in a coil.

本発明のコモンモードフィルタは、スパイラル状の第1コイル導体と、第1コイル導体の外側端と第1端子電極とを接続する第1引出導体とを有する第1導体層と、スパイラル状の第2コイル導体と、第2コイル導体の外側端と第2端子電極とを接続する第2引出導体とを有する第2導体層と、スパイラル状の第3コイル導体と、第3コイル導体の外側端と第3端子電極とを接続する第3引出導体とを有する第3導体層と、第1導体層と第2導体層との間に配置された第1絶縁層と、第2導体層と第3導体層との間に配置された第2絶縁層と、第1コイル導体の内側端と第4端子電極とを接続する第1接続手段と、第2コイル導体の内側端と第5端子電極とを接続する第2接続手段と、第3コイル導体の内側端と第6端子電極とを接続する第3接続手段とを備え、第1端子電極、第2端子電極及び第3端子電極は同じ側に配置され、第4端子電極、第5端子電極及び第6端子電極は、第1端子電極、第2端子電極及び第3端子電極の反対側に配置されており、第1接続手段は、第1導体層とは異なる層において第1コイル導体を横切るように形成された第1接続部を有し、第2接続手段は、第2導体層とは異なる層において第2コイル導体を横切るように形成された第2接続部を有し、第3接続手段は、第3導体層とは異なる層において第3コイル導体を横切るように形成された第3接続部を有することを特徴とするものである。   The common mode filter of the present invention includes a spiral first coil conductor, a first conductor layer having a first lead conductor connecting the outer end of the first coil conductor and the first terminal electrode, and a spiral first coil conductor. A second conductor layer having a two-coil conductor, a second lead conductor connecting the outer end of the second coil conductor and the second terminal electrode, a spiral third coil conductor, and an outer end of the third coil conductor A third conductor layer having a third lead conductor connecting the first terminal electrode and the third terminal electrode; a first insulating layer disposed between the first conductor layer and the second conductor layer; a second conductor layer; A second insulating layer disposed between the three conductor layers, a first connecting means for connecting the inner end of the first coil conductor and the fourth terminal electrode, an inner end of the second coil conductor and the fifth terminal electrode A second connecting means for connecting the second coil, and an inner end of the third coil conductor and the sixth terminal electrode. Connecting means, wherein the first terminal electrode, the second terminal electrode, and the third terminal electrode are disposed on the same side, and the fourth terminal electrode, the fifth terminal electrode, and the sixth terminal electrode are the first terminal electrode, the second terminal electrode, The first connection means is disposed on the opposite side of the terminal electrode and the third terminal electrode, and the first connection means has a first connection portion formed to cross the first coil conductor in a layer different from the first conductor layer, The second connection means has a second connection portion formed so as to cross the second coil conductor in a layer different from the second conductor layer, and the third connection means is formed in a layer different from the third conductor layer. It has the 3rd connection part formed so that 3 coil conductors may be crossed, It is characterized by the above-mentioned.

このようなコモンモードフィルタにおいては、第1コイル導体の外側端は、第1引出導体を介して第1端子電極と接続され、第1コイル導体の内側端は、第1接続部を含む第1接続手段を介して第4端子電極と接続される。これにより、第1コイル導体を含む1つ(1ライン)のコイルが形成されることになる。また、第2コイル導体の外側端は、第2引出導体を介して第2端子電極と接続され、第2コイル導体の内側端は、第2接続部を含む第2接続手段を介して第5端子電極と接続される。第3コイル導体の外側端は、第3引出導体を介して第3端子電極と接続され、第3コイル導体の内側端は、第3接続部を含む第3接続手段を介して第6端子電極と接続される。つまり、第2コイル導体を含むコイル及び第3コイル導体を含むコイルも形成されるため、コモンモードフィルタは、全部で3つのコイルを有することとなる。   In such a common mode filter, the outer end of the first coil conductor is connected to the first terminal electrode via the first lead conductor, and the inner end of the first coil conductor includes a first connection portion. It is connected to the fourth terminal electrode through the connecting means. Thus, one (one line) coil including the first coil conductor is formed. The outer end of the second coil conductor is connected to the second terminal electrode via the second lead conductor, and the inner end of the second coil conductor is fifth via the second connecting means including the second connecting portion. Connected to terminal electrode. The outer end of the third coil conductor is connected to the third terminal electrode via the third lead conductor, and the inner end of the third coil conductor is connected to the sixth terminal electrode via the third connection means including the third connection portion. Connected. That is, since the coil including the second coil conductor and the coil including the third coil conductor are also formed, the common mode filter has a total of three coils.

ここで、第1接続部は、第1導体層とは異なる層において第1コイル導体を横切るように形成されている。このため、第1コイル導体を含むコイルにおいて、第1コイル導体と第1接続部とが重なり合う領域は少ない。また、これと同様に、第2コイル導体を含むコイルにおいて、第2コイル導体と第2接続部とが重なり合う領域は少なく、第3コイル導体を含むコイルにおいて、第3コイル導体と第3接続部とが重なり合う領域は少ない。このように各ラインのコイルにおいてコイル形成部同士が重なり合う領域が少なくて済むので、各コイルに生じる浮遊容量を低減することができる。   Here, the first connection portion is formed so as to cross the first coil conductor in a layer different from the first conductor layer. For this reason, in the coil including the first coil conductor, there are few regions where the first coil conductor and the first connection portion overlap. Similarly, in the coil including the second coil conductor, the region where the second coil conductor and the second connection portion overlap each other is small, and in the coil including the third coil conductor, the third coil conductor and the third connection portion. There are few areas where and overlap. As described above, since there is only a small area where the coil forming portions overlap each other in the coils of each line, the stray capacitance generated in each coil can be reduced.

好ましくは、第1導体層は、第4端子電極と接続された第4引出導体を更に有し、第2導体層は、第2コイル導体の内側領域に形成され、第1コイル導体の内側端と第4引出導体とを接続する第1コイル導体用の接続導体を更に有し、第4引出導体及び第1コイル導体用の接続導体は、第1接続手段の一部を構成し、第1接続部は、第1コイル導体用の接続導体である。   Preferably, the first conductor layer further includes a fourth lead conductor connected to the fourth terminal electrode, and the second conductor layer is formed in an inner region of the second coil conductor, and the inner end of the first coil conductor. And a fourth conductor for connecting the fourth lead conductor, and the fourth lead conductor and the first conductor for conductor constitute a part of the first connecting means, and the first conductor The connection portion is a connection conductor for the first coil conductor.

第1接続手段の一部を構成する第1コイル導体用の接続導体を第2導体層に形成することにより、コモンモードフィルタの層を必要以上に増やさなくて済むため、コモンモードフィルタの製造工程を簡略化することができる。また、第1コイル導体用の接続導体を第2導体層における第2コイル導体の内側領域に形成することにより、第1コイル導体を含むコイルをスペース効率良く形成することができる。   By forming the connection conductor for the first coil conductor constituting a part of the first connection means in the second conductor layer, it is not necessary to increase the number of layers of the common mode filter more than necessary. Can be simplified. Further, by forming the connection conductor for the first coil conductor in the inner area of the second coil conductor in the second conductor layer, the coil including the first coil conductor can be formed with high space efficiency.

このとき、好ましくは、第1導体層は、第5端子電極と接続された第5引出導体と、第6端子電極と接続された第6引出導体とを更に有し、第5引出導体は、第2接続手段の一部を構成し、第6引出導体は、第3接続手段の一部を構成し、第2接続部は、第5引出導体の一部分であり、第3接続部は、第6引出導体の一部分である。   In this case, preferably, the first conductor layer further includes a fifth lead conductor connected to the fifth terminal electrode and a sixth lead conductor connected to the sixth terminal electrode, and the fifth lead conductor is Part of the second connection means, the sixth lead conductor constitutes part of the third connection means, the second connection part is part of the fifth lead conductor, and the third connection part is 6 is a part of the lead conductor.

第2接続手段の一部を構成する第5引出導体と第3接続手段の一部を構成する第6引出導体とを第1導体層に形成することにより、コモンモードフィルタの層を更に必要以上に増やさなくて済むため、コモンモードフィルタの製造工程をより簡略化することができる。   By forming the fifth lead conductor constituting a part of the second connection means and the sixth lead conductor constituting a part of the third connection means on the first conductor layer, the layer of the common mode filter is further increased more than necessary. Therefore, the manufacturing process of the common mode filter can be further simplified.

このとき、好ましくは、第1絶縁層は、第1コイル導体の内側端及び第4引出導体と第1コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する2つの第1コンタクトホールと、第2コイル導体の内側端と第5引出導体とを接続する第2コンタクトホールと、第3コイル導体の内側端と第6引出導体とを接続する第3コンタクトホールとを有し、第2絶縁層は、第3コイル導体の内側端と第6引出導体とを接続する第4コンタクトホールを有し、各第1コンタクトホールは、第1接続手段の一部を構成し、第2コンタクトホールは、第2接続手段の一部を構成し、第3コンタクトホール及び第4コンタクトホールは、第3接続手段の一部を構成する。   In this case, preferably, the first insulating layer includes two first contact holes that connect the inner end of the first coil conductor, the fourth lead conductor, and the connection conductor for the first coil conductor, and the second coil conductor. And a third contact hole connecting the inner end of the third coil conductor and the sixth lead conductor, and the second insulating layer includes a second contact hole connecting the inner end of the third lead conductor and the fifth lead conductor. A fourth contact hole connecting the inner end of the three-coil conductor and the sixth lead conductor; each first contact hole constitutes a part of the first connection means; and the second contact hole is a second connection hole The third contact hole and the fourth contact hole constitute a part of the third connection means.

このように第1絶縁層及び第2絶縁層に接続用のコンタクトホールを設けることにより、第1接続手段、第2接続手段及び第3接続手段を複雑化させること無く簡単に形成することができる。   Thus, by providing contact holes for connection in the first insulating layer and the second insulating layer, the first connecting means, the second connecting means, and the third connecting means can be easily formed without complicating them. .

また、第1導体層は、第5端子電極と接続された第5引出導体を更に有し、第3導体層は、第6端子電極と接続された第6引出導体を更に有し、第2導体層は、第2コイル導体の内側領域に形成され、第3コイル導体の内側端と第6引出導体とを接続する第3コイル導体用の接続導体を更に有し、第5引出導体は、第2接続手段の一部を構成し、第6引出導体及び第3コイル導体用の接続導体は、第3接続手段の一部を構成し、第2接続部は、第5引出導体の一部分であり、第3接続部は、第3コイル導体用の接続導体であっても良い。   The first conductor layer further includes a fifth lead conductor connected to the fifth terminal electrode, the third conductor layer further includes a sixth lead conductor connected to the sixth terminal electrode, The conductor layer is formed in an inner region of the second coil conductor, and further includes a connection conductor for a third coil conductor connecting the inner end of the third coil conductor and the sixth lead conductor, and the fifth lead conductor is The second connecting means constitutes a part, the sixth lead conductor and the connection conductor for the third coil conductor constitute a part of the third connecting means, and the second connection part is a part of the fifth lead conductor. Yes, the third connecting portion may be a connecting conductor for the third coil conductor.

第2接続手段を構成する第5引出導体を第1導体層に形成し、第3接続手段を構成する第3コイル導体用の接続導体を第2導体層に形成することにより、コモンモードフィルタの層を更に必要以上に増やさなくて済むため、コモンモードフィルタの製造工程をより簡略化することができる。   By forming the fifth lead conductor constituting the second connection means in the first conductor layer and forming the connection conductor for the third coil conductor constituting the third connection means in the second conductor layer, the common mode filter Since it is not necessary to increase the number of layers more than necessary, the manufacturing process of the common mode filter can be further simplified.

このとき、好ましくは、第1絶縁層は、第1コイル導体の内側端及び第4引出導体と第1コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する2つの第1コンタクトホールと、第2コイル導体の内側端と第5引出導体とを接続する第2コンタクトホールとを有し、第2絶縁層は、第3コイル導体の内側端及び第6引出導体と第3コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する2つの第3コンタクトホールを有し、各第1コンタクトホールは、第1接続手段の一部を構成し、第2コンタクトホールは、第2接続手段の一部を構成し、各第3コンタクトホールは、第3接続手段の一部を構成する。   In this case, preferably, the first insulating layer includes two first contact holes that connect the inner end of the first coil conductor, the fourth lead conductor, and the connection conductor for the first coil conductor, and the second coil conductor. A second contact hole connecting the inner end of the third lead conductor and the fifth lead conductor, and the second insulating layer includes the inner end of the third coil conductor and the sixth lead conductor and the connection conductor for the third coil conductor. There are two third contact holes to be connected to each other, each first contact hole constitutes a part of the first connection means, and the second contact hole constitutes a part of the second connection means. The three contact holes constitute a part of the third connection means.

このように第1絶縁層及び第2絶縁層に接続用のコンタクトホールを設けることにより、第1接続手段、第2接続手段及び第3接続手段を複雑化させること無く簡単に形成することができる。   Thus, by providing contact holes for connection in the first insulating layer and the second insulating layer, the first connecting means, the second connecting means, and the third connecting means can be easily formed without complicating them. .

また、第2導体層は、第5端子電極と接続された第5引出導体を更に有し、第3導体層は、第6端子電極と接続された第6引出導体を更に有し、第1導体層は、第1コイル導体の外側領域に形成され、第2コイル導体の内側端と第5引出導体とを接続する第2コイル導体用の接続導体と、第1コイル導体の外側領域に形成され、第3コイル導体の内側端と第6引出導体とを接続する第3コイル導体用の接続導体とを更に有し、第5引出導体及び第2コイル導体用の接続導体は、第2接続手段の一部を構成し、第6引出導体及び第3コイル導体用の接続導体は、第3接続手段の一部を構成し、第2接続部は、第2コイル導体用の接続導体であり、第3接続部は、第3コイル導体用の接続導体であっても良い。   The second conductor layer further includes a fifth lead conductor connected to the fifth terminal electrode, and the third conductor layer further includes a sixth lead conductor connected to the sixth terminal electrode. The conductor layer is formed in the outer region of the first coil conductor, and is formed in the outer region of the first coil conductor and the connection conductor for the second coil conductor that connects the inner end of the second coil conductor and the fifth lead conductor. And a connection conductor for a third coil conductor connecting the inner end of the third coil conductor and the sixth lead conductor, and the connection conductor for the fifth lead conductor and the second coil conductor is a second connection. The sixth lead conductor and the connection conductor for the third coil conductor constitute a part of the third connection means, and the second connection portion is a connection conductor for the second coil conductor. The third connection portion may be a connection conductor for a third coil conductor.

第2接続手段を構成する第2コイル導体用の接続導体と第3接続手段を構成する第3コイル導体用の接続導体とを第1導体層に形成することにより、コモンモードフィルタの層を更に必要以上に増やさなくて済むため、コモンモードフィルタの製造工程をより簡略化することができる。   By forming the connection conductor for the second coil conductor constituting the second connection means and the connection conductor for the third coil conductor constituting the third connection means on the first conductor layer, the layer of the common mode filter is further provided. Since it is not necessary to increase more than necessary, the manufacturing process of the common mode filter can be further simplified.

このとき、好ましくは、第1絶縁層は、第1コイル導体の内側端及び第4引出導体と第1コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する2つの第1コンタクトホールと、第2コイル導体の内側端及び第5引出導体と第2コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する2つの第2コンタクトホールと、第3コイル導体の内側端及び第6引出導体と第3コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する2つの第3コンタクトホールとを有し、第2絶縁層は、第3コイル導体の内側端及び第6引出導体と第3コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する2つの第4コンタクトホールを有し、各第1コンタクトホールは、第1接続手段の一部を構成し、各第2コンタクトホールは、第2接続手段の一部を構成し、各第3コンタクトホール及び各第4コンタクトホールは、第3接続手段の一部を構成する。   In this case, preferably, the first insulating layer includes two first contact holes that connect the inner end of the first coil conductor, the fourth lead conductor, and the connection conductor for the first coil conductor, and the second coil conductor. Two second contact holes that respectively connect the inner end of the first conductor and the fifth lead conductor and the connection conductor for the second coil conductor, and the inner end of the third coil conductor and the connection for the sixth lead conductor and the third coil conductor. The second insulating layer has two third contact holes that respectively connect the conductors, and the second insulating layer connects the inner end of the third coil conductor and the sixth lead conductor and the connection conductor for the third coil conductor, respectively. Each of the first contact holes constitutes a part of the first connection means, and each second contact hole constitutes a part of the second connection means, and each third contact hole And each 4th Contact hole forms part of the third connection means.

このように第1絶縁層及び第2絶縁層に接続用のコンタクトホールを設けることにより、第1接続手段、第2接続手段及び第3接続手段を複雑化させること無く簡単に形成することができる。   Thus, by providing contact holes for connection in the first insulating layer and the second insulating layer, the first connecting means, the second connecting means, and the third connecting means can be easily formed without complicating them. .

さらに、好ましくは、第1コイル導体及び第3コイル導体の少なくとも一方の線路長は、第2コイル導体の線路長よりも短い。   Further preferably, the line length of at least one of the first coil conductor and the third coil conductor is shorter than the line length of the second coil conductor.

第2導体層における第2コイル導体の内側領域には第1コイル導体用の接続導体が形成されるので、第2コイル導体の線路長を短くするには限界があるが、第1コイル導体及び第3コイル導体には、特にそのような制約は無い。そこで、例えば第1コイル導体または第3コイル導体をグランドラインとして使用する場合には、当該コイル導体の線路長を第2コイル導体の線路長よりも短くすることにより、その分だけ直流抵抗が低くなるため、良好なフィルタ特性を得ることができる。   Since the connection conductor for the first coil conductor is formed in the inner region of the second coil conductor in the second conductor layer, there is a limit to shortening the line length of the second coil conductor. The third coil conductor is not particularly limited. Therefore, for example, when the first coil conductor or the third coil conductor is used as the ground line, the DC resistance is lowered by making the line length of the coil conductor shorter than the line length of the second coil conductor. Therefore, good filter characteristics can be obtained.

本発明によれば、コモンモードフィルタの各コイルに生じる浮遊容量を低減することができる。これにより、高周波帯域のコモンモード特性を向上させることが可能となる。   According to the present invention, stray capacitance generated in each coil of the common mode filter can be reduced. As a result, it is possible to improve the common mode characteristics in the high frequency band.

以下、本発明に係わるコモンモードフィルタの好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of a common mode filter according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

まず、本発明に係わるコモンモードフィルタの第1実施形態を図1〜図6により説明する。図1は、本実施形態のコモンモードフィルタを示す斜視図である。同図において、コモンモードフィルタ1は、3ライン構造の積層型コモンモードフィルタである。   First, a first embodiment of a common mode filter according to the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a perspective view showing a common mode filter of the present embodiment. In the figure, a common mode filter 1 is a laminated common mode filter having a three-line structure.

コモンモードフィルタ1は、下部磁性基板2、層構造体3及び上部磁性基板4からなる積層体5を備えている。層構造体3は、下部磁性基板2と上部磁性基板4との間に配置されている。下部磁性基板2及び上部磁性基板4は、焼結フェライト、複合フェライト(粉状のフェライトを含有した樹脂)等の磁性材料からなる基板である。   The common mode filter 1 includes a laminated body 5 including a lower magnetic substrate 2, a layer structure 3, and an upper magnetic substrate 4. The layer structure 3 is disposed between the lower magnetic substrate 2 and the upper magnetic substrate 4. The lower magnetic substrate 2 and the upper magnetic substrate 4 are substrates made of a magnetic material such as sintered ferrite or composite ferrite (resin containing powdered ferrite).

積層体5の一方の側面部には端子電極6A〜8Aが設けられ、積層体5の他方の側面部には端子電極6B〜8Bが設けられている。端子電極6Aは端子電極7A,8A間に配置され、端子電極6Bは端子電極7B,8B間に配置されている。端子電極6A〜8A及び端子電極6B〜8Bは、積層体5の下面、側面及び上面にわたるようにコの字状に形成されている。   Terminal electrodes 6 </ b> A to 8 </ b> A are provided on one side surface of the stacked body 5, and terminal electrodes 6 </ b> B to 8 </ b> B are provided on the other side surface of the stacked body 5. The terminal electrode 6A is disposed between the terminal electrodes 7A and 8A, and the terminal electrode 6B is disposed between the terminal electrodes 7B and 8B. The terminal electrodes 6 </ b> A to 8 </ b> A and the terminal electrodes 6 </ b> B to 8 </ b> B are formed in a U shape so as to cover the lower surface, the side surface, and the upper surface of the multilayer body 5.

図2は、積層体5の分解斜視図である。同図において、層構造体3は、下から順に絶縁層9、導体層10、絶縁層11、導体層12、絶縁層13、導体層14及び絶縁層15が積層されて成るものである。絶縁層9,11,13,15は、電気的及び磁気的な絶縁性に優れ、加工性の良い樹脂材料(例えばポリイミド樹脂やエポキシ樹脂等)で形成されている。導体層10,12,14は、導電性及び加工性等に優れた金属材料(例えばCuやAl等)で形成されている。   FIG. 2 is an exploded perspective view of the laminate 5. In the figure, the layer structure 3 is formed by laminating an insulating layer 9, a conductor layer 10, an insulating layer 11, a conductor layer 12, an insulating layer 13, a conductor layer 14 and an insulating layer 15 in order from the bottom. The insulating layers 9, 11, 13, and 15 are formed of a resin material (for example, polyimide resin or epoxy resin) that is excellent in electrical and magnetic insulation and has good workability. The conductor layers 10, 12, and 14 are formed of a metal material (for example, Cu, Al, etc.) excellent in conductivity and workability.

最下層の絶縁層9は、下部磁性基板2の上面に凹凸があっても、導体層10との密着性を良好にするための層である。   The lowermost insulating layer 9 is a layer for improving the adhesiveness with the conductor layer 10 even when the upper surface of the lower magnetic substrate 2 is uneven.

導体層10は、絶縁層9上に形成されている。導体層10は、図3に示すように、矩形スパイラル状のコイル導体16と、このコイル導体16と繋がっている引出導体17と、コイル導体16の外側領域に形成された引出導体18〜20とを有している。また、導体層10は、絶縁層9の一方の側縁部上に形成された引出電極21A〜23Aと、絶縁層9の他方の側縁部上に形成された引出電極21B〜23Bとを有している。引出電極21Aは引出電極22A,23A間に配置され、引出電極21Bは引出電極22B,23B間に配置されている。   The conductor layer 10 is formed on the insulating layer 9. As shown in FIG. 3, the conductor layer 10 includes a rectangular spiral coil conductor 16, a lead conductor 17 connected to the coil conductor 16, and lead conductors 18 to 20 formed in an outer region of the coil conductor 16. have. Further, the conductor layer 10 has extraction electrodes 21A to 23A formed on one side edge of the insulating layer 9, and extraction electrodes 21B to 23B formed on the other side edge of the insulating layer 9. is doing. The extraction electrode 21A is disposed between the extraction electrodes 22A and 23A, and the extraction electrode 21B is disposed between the extraction electrodes 22B and 23B.

引出導体17の一端は、コイル導体16の外側端と接続され、引出導体17の他端は、引出電極21Aと接続されている。引出導体18〜20は、曲折状に延びて引出電極21B〜23Bとそれぞれ接続されている。引出導体18〜20の先端部(引出電極21B〜23Bとは反対側の端部)は、コイル導体16の一側方に位置している。   One end of the lead conductor 17 is connected to the outer end of the coil conductor 16, and the other end of the lead conductor 17 is connected to the lead electrode 21A. The lead conductors 18 to 20 extend in a bent shape and are connected to the lead electrodes 21B to 23B, respectively. The leading end portions of the lead conductors 18 to 20 (end portions opposite to the lead electrodes 21 </ b> B to 23 </ b> B) are located on one side of the coil conductor 16.

導体層12は、絶縁層11上に形成されている。導体層12は、図4に示すように、矩形スパイラル状のコイル導体24と、このコイル導体24と繋がっている引出導体25と、コイル導体24の内側領域に形成された接続導体26とを有している。また、導体層12は、絶縁層11の一方の側縁部上に形成された引出電極27A〜29Aと、絶縁層11の他方の側縁部上に形成された引出電極27B〜29Bとを有している。引出電極27Aは引出電極28A,29A間に配置され、引出電極27Bは引出電極28B,29B間に配置されている。   The conductor layer 12 is formed on the insulating layer 11. As shown in FIG. 4, the conductor layer 12 has a rectangular spiral coil conductor 24, a lead conductor 25 connected to the coil conductor 24, and a connection conductor 26 formed in an inner region of the coil conductor 24. is doing. The conductor layer 12 has lead electrodes 27A to 29A formed on one side edge of the insulating layer 11, and lead electrodes 27B to 29B formed on the other side edge of the insulating layer 11. is doing. The extraction electrode 27A is disposed between the extraction electrodes 28A and 29A, and the extraction electrode 27B is disposed between the extraction electrodes 28B and 29B.

引出導体25の一端は、コイル導体24の外側端と接続され、引出導体25の他端は、引出電極28Aと接続されている。接続導体26は、導体層10におけるコイル導体16の内側端と引出導体18とを接続するための導体である。   One end of the lead conductor 25 is connected to the outer end of the coil conductor 24, and the other end of the lead conductor 25 is connected to the lead electrode 28A. The connection conductor 26 is a conductor for connecting the inner end of the coil conductor 16 in the conductor layer 10 and the lead conductor 18.

導体層14は、絶縁層13上に形成されている。導体層14は、図5に示すように、矩形スパイラル状のコイル導体30と、このコイル導体30と繋がっている引出導体31とを有している。また、導体層14は、絶縁層13の一方の側縁部上に形成された引出電極32A〜34Aと、絶縁層13の他方の側縁部上に形成された引出電極32B〜34Bとを有している。引出電極32Aは引出電極33A,34A間に配置され、引出電極32Bは引出電極33B,34B間に配置されている。引出導体31の一端は、コイル導体30の外側端と接続され、引出導体31の他端は、引出電極34Aと接続されている。   The conductor layer 14 is formed on the insulating layer 13. As shown in FIG. 5, the conductor layer 14 includes a rectangular spiral coil conductor 30 and a lead conductor 31 connected to the coil conductor 30. The conductor layer 14 has extraction electrodes 32A to 34A formed on one side edge of the insulating layer 13 and extraction electrodes 32B to 34B formed on the other side edge of the insulating layer 13. is doing. The extraction electrode 32A is disposed between the extraction electrodes 33A and 34A, and the extraction electrode 32B is disposed between the extraction electrodes 33B and 34B. One end of the lead conductor 31 is connected to the outer end of the coil conductor 30, and the other end of the lead conductor 31 is connected to the lead electrode 34A.

ここで、導体層12の接続導体26は、図6(a)に示すように、導体層10のコイル導体16を垂直に横切るように形成されている。導体層10における引出導体19の先端側の直線部分19aは、図6(b)に示すように、導体層12のコイル導体24を垂直に横切るように形成されている。導体層10における引出導体20の先端側の直線部分20aは、図6(c)に示すように、導体層14のコイル導体30を垂直に横切るように形成されている。   Here, as shown in FIG. 6A, the connection conductor 26 of the conductor layer 12 is formed so as to cross the coil conductor 16 of the conductor layer 10 vertically. The straight portion 19a on the leading end side of the lead conductor 19 in the conductor layer 10 is formed so as to cross the coil conductor 24 of the conductor layer 12 vertically as shown in FIG. 6B. The straight portion 20a on the leading end side of the lead conductor 20 in the conductor layer 10 is formed so as to cross the coil conductor 30 of the conductor layer 14 vertically as shown in FIG. 6C.

また、コイル導体16の線路長は、コイル導体24,30の線路長よりも短くなっている。このため、導体層10におけるコイル導体16の外側領域に引出導体18〜20を設けることが可能となる。   The line length of the coil conductor 16 is shorter than the line length of the coil conductors 24 and 30. For this reason, the lead conductors 18 to 20 can be provided in the outer region of the coil conductor 16 in the conductor layer 10.

絶縁層11には、コイル導体16の内側端と接続導体26の一端とを接続するコンタクトホール35aと、接続導体26の他端と引出導体18とを接続するコンタクトホール35bと、コイル導体24の内側端と引出導体19とを接続するコンタクトホール35cと、コイル導体30の内側端と引出導体20とを接続するコンタクトホール35dとが形成されている。コンタクトホール35a〜35dは、絶縁層11に設けられた貫通孔に銀やパラジウム等の磁性材料を埋め込むことにより形成される。   In the insulating layer 11, a contact hole 35 a that connects the inner end of the coil conductor 16 and one end of the connection conductor 26, a contact hole 35 b that connects the other end of the connection conductor 26 and the lead conductor 18, and the coil conductor 24 A contact hole 35c that connects the inner end and the lead conductor 19 and a contact hole 35d that connects the inner end of the coil conductor 30 and the lead conductor 20 are formed. The contact holes 35 a to 35 d are formed by embedding a magnetic material such as silver or palladium in a through hole provided in the insulating layer 11.

また、絶縁層13には、コイル導体30の内側端と引出導体20とを接続するコンタクトホール36が形成されている。コンタクトホール36の構造は、コンタクトホール35a〜35dと同様である。   In addition, a contact hole 36 that connects the inner end of the coil conductor 30 and the lead conductor 20 is formed in the insulating layer 13. The structure of the contact hole 36 is the same as that of the contact holes 35a to 35d.

コイル導体24の内側領域に接続導体26を形成することに加え、そのようなコンタクトホール35a〜35d,36を設けることにより、コイル導体16と引出導体18との電気的接続、コイル導体24と引出導体19との電気的接続、コイル導体30と引出導体20との電気的接続を、スペース効率良く且つ簡単な構成で行うことができる。   In addition to forming the connection conductor 26 in the inner region of the coil conductor 24, by providing such contact holes 35a to 35d, 36, the electrical connection between the coil conductor 16 and the lead conductor 18, the coil conductor 24 and the lead The electrical connection with the conductor 19 and the electrical connection between the coil conductor 30 and the lead conductor 20 can be performed in a space efficient and simple configuration.

このように構成された積層体5の両側面には、上述したように端子電極6A〜8A及び端子電極6B〜8Bがそれぞれ設けられている。端子電極6Aは引出電極21A,27A,32Aと電気的に接続され、端子電極7Aは引出電極22A,28A,33Aと電気的に接続され、端子電極8Aは引出電極23A,29A,34Aと電気的に接続されている。端子電極6Bは引出電極21B,27B,32Bと電気的に接続され、端子電極7Bは引出電極22B,28B,33Bと電気的に接続され、端子電極8Bは引出電極23B,29B,34Bと電気的に接続されている。   As described above, the terminal electrodes 6A to 8A and the terminal electrodes 6B to 8B are provided on both side surfaces of the multilayer body 5 configured as described above. The terminal electrode 6A is electrically connected to the extraction electrodes 21A, 27A, 32A, the terminal electrode 7A is electrically connected to the extraction electrodes 22A, 28A, 33A, and the terminal electrode 8A is electrically connected to the extraction electrodes 23A, 29A, 34A. It is connected to the. The terminal electrode 6B is electrically connected to the extraction electrodes 21B, 27B, 32B, the terminal electrode 7B is electrically connected to the extraction electrodes 22B, 28B, 33B, and the terminal electrode 8B is electrically connected to the extraction electrodes 23B, 29B, 34B. It is connected to the.

以上のようなコモンモードフィルタ1において、端子電極6A、引出電極21A、引出導体17、コイル導体16、コンタクトホール35a、接続導体26、コンタクトホール35b、引出導体18、引出電極21B及び端子電極6Bは、電気的に直列接続されてなるコイル37Aを構成している。端子電極7A、引出電極28A、引出導体25、コイル導体24、コンタクトホール35c、引出導体19、引出電極22B及び端子電極7Bは、電気的に直列接続されてなるコイル37Bを構成している。端子電極8A、引出電極34A、引出導体31、コイル導体30、コンタクトホール36,35d、引出導体20、引出電極23B及び端子電極8Bは、電気的に直列接続されてなるコイル37Cを構成している。これにより、コモンモードフィルタ1は、3つのコイル37A〜37Cを有することとなる。   In the common mode filter 1 as described above, the terminal electrode 6A, the extraction electrode 21A, the extraction conductor 17, the coil conductor 16, the contact hole 35a, the connection conductor 26, the contact hole 35b, the extraction conductor 18, the extraction electrode 21B, and the terminal electrode 6B are The coil 37A is configured to be electrically connected in series. The terminal electrode 7A, the extraction electrode 28A, the extraction conductor 25, the coil conductor 24, the contact hole 35c, the extraction conductor 19, the extraction electrode 22B, and the terminal electrode 7B constitute a coil 37B that is electrically connected in series. The terminal electrode 8A, the extraction electrode 34A, the extraction conductor 31, the coil conductor 30, the contact holes 36 and 35d, the extraction conductor 20, the extraction electrode 23B, and the terminal electrode 8B constitute a coil 37C that is electrically connected in series. . Thereby, the common mode filter 1 has three coils 37A to 37C.

そして、端子電極6A〜8Aは、コイル37A〜37Cの入力用電極としてそれぞれ使用され、端子電極6B〜8Bは、コイル37A〜37Cの出力用電極としてそれぞれ使用される。そして、コイル37Aは、グランド(GND)ライン用コイルとして構成され、コイル37B,37Cは、信号ライン用コイルとして構成されている。   The terminal electrodes 6A to 8A are used as input electrodes for the coils 37A to 37C, respectively, and the terminal electrodes 6B to 8B are used as output electrodes for the coils 37A to 37C, respectively. The coil 37A is configured as a ground (GND) line coil, and the coils 37B and 37C are configured as signal line coils.

ここで、コイル37Aにおいては、接続導体26がコイル導体16を横切るように形成されているので、絶縁層11を挟んで上下に重なり合う領域は極めて少ない。また、コイル37Bにおいては、引出導体19の先端側の直線部分19aがコイル導体24を横切るように形成されているので、絶縁層11を挟んで上下に重なり合う領域は極めて少ない。さらに、コイル37Cにおいては、引出導体20の先端側の直線部分20aがコイル導体30を横切るように形成されているので、絶縁層11,13を挟んで上下に重なり合う領域は極めて少ない。   Here, in the coil 37 </ b> A, the connection conductor 26 is formed so as to cross the coil conductor 16, and therefore, there are very few regions that overlap vertically with the insulating layer 11 interposed therebetween. Further, in the coil 37B, since the straight portion 19a on the distal end side of the lead conductor 19 is formed so as to cross the coil conductor 24, there are very few regions that overlap vertically with the insulating layer 11 in between. Further, in the coil 37C, since the straight portion 20a on the leading end side of the lead conductor 20 is formed so as to cross the coil conductor 30, there are very few regions overlapping vertically with the insulating layers 11 and 13 therebetween.

次に、上述したコモンモードフィルタ1を製造する手順について説明する。まず、積層体5を以下のようにして作製する。   Next, a procedure for manufacturing the above-described common mode filter 1 will be described. First, the laminated body 5 is produced as follows.

即ち、例えばスピンコート法、ディップ法、スプレー法等により上記の樹脂材料を下部磁性基板2上に塗布して硬化させることにより、絶縁層9を形成する。続いて、例えば電気めっき法やスパッタ法により絶縁層9上に導体薄膜を形成し、更にフォトリソグラフィー法によりコイル導体16、引出導体17〜20、引出電極21A〜23A及び引出電極21B〜23Bのパターンを形成することにより、導体層10を形成する。なお、導体層10の形成方法としては、上記の薄膜工法の他に、積層工法等を用いても良い。   That is, the insulating layer 9 is formed by applying and curing the above resin material on the lower magnetic substrate 2 by, for example, spin coating, dipping, spraying, or the like. Subsequently, a conductive thin film is formed on the insulating layer 9 by, for example, electroplating or sputtering, and further the pattern of the coil conductor 16, the lead conductors 17 to 20, the lead electrodes 21A to 23A and the lead electrodes 21B to 23B is formed by photolithography. By forming the conductor layer 10, the conductor layer 10 is formed. In addition, as a formation method of the conductor layer 10, you may use a lamination | stacking construction method etc. other than said thin film construction method.

続いて、絶縁層9の形成方法と同様にして、導体層10の上に絶縁層11を形成する。そして、例えばエッチング法及び電気めっき法により、絶縁層11にコンタクトホール35a〜35dを形成する。続いて、導体層10の形成方法と同様の方法によって、絶縁層11上にコイル導体24、引出導体25、接続導体26、引出電極27A〜29A及び引出電極27B〜29Bのパターンを形成することにより、導体層12を形成する。   Subsequently, the insulating layer 11 is formed on the conductor layer 10 in the same manner as the method for forming the insulating layer 9. Then, contact holes 35a to 35d are formed in the insulating layer 11 by, for example, an etching method and an electroplating method. Subsequently, by forming a pattern of the coil conductor 24, the lead conductor 25, the connection conductor 26, the lead electrodes 27 </ b> A to 29 </ b> A and the lead electrodes 27 </ b> B to 29 </ b> B on the insulating layer 11 by a method similar to the method for forming the conductor layer 10. The conductor layer 12 is formed.

続いて、絶縁層11の形成方法と同様にして、導体層12の上に絶縁層13を形成し、更に絶縁層13にコンタクトホール36を形成する。続いて、導体層10,12の形成方法と同様の方法によって、絶縁層13上にコイル導体30、引出導体31、引出電極32A〜34A及び引出電極32B〜34Bのパターンを形成することにより、導体層14を形成する。   Subsequently, in the same manner as the method for forming the insulating layer 11, the insulating layer 13 is formed on the conductor layer 12, and the contact hole 36 is further formed in the insulating layer 13. Subsequently, by forming a pattern of the coil conductor 30, the lead conductor 31, the lead electrodes 32A to 34A and the lead electrodes 32B to 34B on the insulating layer 13 by a method similar to the method for forming the conductor layers 10 and 12, the conductors Layer 14 is formed.

続いて、絶縁層9の形成方法と同様にして、導体層14の上に絶縁層15を形成する。続いて、絶縁層15上にエポキシ樹脂等の接着剤を塗布して接着層(図示せず)を形成し、この接着層の上面に上部磁性基板4を貼り付ける。これにより、上記の積層体5が得られる。   Subsequently, the insulating layer 15 is formed on the conductor layer 14 in the same manner as the method for forming the insulating layer 9. Subsequently, an adhesive such as an epoxy resin is applied on the insulating layer 15 to form an adhesive layer (not shown), and the upper magnetic substrate 4 is attached to the upper surface of the adhesive layer. Thereby, said laminated body 5 is obtained.

その後、積層体5の一方の側面部に端子電極6A〜8Aを形成し、積層体5の他方の側面部に端子電極6B〜8Bを形成する。具体的には、例えばマスクスパッタ法により積層体5の側面部にCr/Cu膜またはTi/Cu膜を成膜した後、Ni/Snを用いて電気めっきを施すことにより、端子電極6A〜8A及び端子電極6B〜8Bを形成する。以上により、上記のコモンモードフィルタ1が完成する。   Thereafter, the terminal electrodes 6 </ b> A to 8 </ b> A are formed on one side surface portion of the multilayer body 5, and the terminal electrodes 6 </ b> B to 8 </ b> B are formed on the other side surface portion of the multilayer body 5. Specifically, for example, a Cr / Cu film or a Ti / Cu film is formed on the side surface of the laminate 5 by mask sputtering, and then electroplating is performed using Ni / Sn, whereby the terminal electrodes 6A to 8A. And the terminal electrodes 6B-8B are formed. As described above, the common mode filter 1 is completed.

以上のように本実施形態にあっては、1ラインのコイル37Aにおいて上下に重なり合う領域が少なくて済むので、端子電極6A,6B間(コイル37Aの入力部と出力部との間)に発生する浮遊容量を低減することができる。また、これと同様に、コイル37Bについて端子電極7A,7B間に発生する浮遊容量を低減し、コイル37Cについて端子電極8A,8B間に発生する浮遊容量を低減することができる。これにより、コモンモードフィルタ1の共振周波数を高くし、高周波特性の良好なコモンモードフィルタ1を得ることが可能となる。   As described above, in the present embodiment, since there is only a small overlapping region in one line of the coil 37A, it occurs between the terminal electrodes 6A and 6B (between the input portion and the output portion of the coil 37A). The stray capacitance can be reduced. Similarly, stray capacitance generated between the terminal electrodes 7A and 7B of the coil 37B can be reduced, and stray capacitance generated between the terminal electrodes 8A and 8B of the coil 37C can be reduced. Thereby, it is possible to increase the resonance frequency of the common mode filter 1 and obtain the common mode filter 1 having good high frequency characteristics.

また、グランドラインとして使用するコイル導体16の線路長は、信号ラインとして使用するコイル導体24,30の線路長よりも短いので、直流抵抗が低く抑えられる。これにより、特性的に優れた3ライン構造のコモンモードフィルタ1を実現することが可能となる。   Further, since the line length of the coil conductor 16 used as the ground line is shorter than the line length of the coil conductors 24 and 30 used as the signal line, the DC resistance can be kept low. As a result, it is possible to realize the common mode filter 1 having a three-line structure with excellent characteristics.

さらに、コイル37Aの一部を導体層12に設け、コイル37Bの一部を導体層10に設け、コイル37Cの一部を導体層10に設けたので、導体層が3層だけであっても、3つのコイルを形成することができる。これにより、コモンモードフィルタ1の製造工程の簡素化が図れるため、製造コストを抑えることが可能となる。また、コモンモードフィルタ1の高さ寸法を小さくできるため、素子の小型化に有利である。   Furthermore, since a part of the coil 37A is provided on the conductor layer 12, a part of the coil 37B is provided on the conductor layer 10, and a part of the coil 37C is provided on the conductor layer 10, even if there are only three conductor layers. Three coils can be formed. Thereby, since the manufacturing process of the common mode filter 1 can be simplified, the manufacturing cost can be suppressed. Moreover, since the height dimension of the common mode filter 1 can be reduced, it is advantageous for downsizing of the element.

本発明に係わるコモンモードフィルタの第2実施形態を図7〜図11により説明する。図中、第1実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。   A second embodiment of a common mode filter according to the present invention will be described with reference to FIGS. In the figure, the same or equivalent members as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

図7は、本実施形態のコモンモードフィルタの主要部を示す分解斜視図である。同図において、本実施形態のコモンモードフィルタの積層体5は、第1実施形態における層構造体3に代えて、層構造体40を有している。層構造体40は、下から順に絶縁層9、導体層41、絶縁層42、導体層43、絶縁層44、導体層45及び絶縁層15が積層されて成るものである。   FIG. 7 is an exploded perspective view showing the main part of the common mode filter of the present embodiment. In the figure, the common mode filter laminate 5 of the present embodiment has a layer structure 40 instead of the layer structure 3 of the first embodiment. The layer structure 40 is formed by laminating the insulating layer 9, the conductor layer 41, the insulating layer 42, the conductor layer 43, the insulating layer 44, the conductor layer 45, and the insulating layer 15 in order from the bottom.

導体層41は、絶縁層9上に形成されている。導体層41は、図8に示すように、矩形スパイラル状のコイル導体46と、このコイル導体46と繋がっている引出導体47と、コイル導体46の外側領域に形成された引出導体48,49と、引出電極21A〜23A及び引出電極21B〜23Bとを有している。   The conductor layer 41 is formed on the insulating layer 9. As shown in FIG. 8, the conductor layer 41 includes a rectangular spiral coil conductor 46, a lead conductor 47 connected to the coil conductor 46, and lead conductors 48 and 49 formed in an outer region of the coil conductor 46. And extraction electrodes 21A to 23A and extraction electrodes 21B to 23B.

引出導体47の一端は、コイル導体46の外側端と接続され、引出導体47の他端は、引出電極21Aと接続されている。引出導体48,49は、曲折状に延びて引出電極21B,22Bとそれぞれ接続されている。引出導体48,49の先端部(引出電極21B,22Bとは反対側の端部)は、コイル導体46の一側方に位置している。   One end of the lead conductor 47 is connected to the outer end of the coil conductor 46, and the other end of the lead conductor 47 is connected to the lead electrode 21A. The lead conductors 48 and 49 extend in a bent shape and are connected to the lead electrodes 21B and 22B, respectively. The leading end portions of the lead conductors 48 and 49 (end portions opposite to the lead electrodes 21B and 22B) are located on one side of the coil conductor 46.

導体層43は、絶縁層42上に形成されている。導体層43は、図9に示すように、矩形スパイラル状のコイル導体50と、このコイル導体50と繋がっている引出導体51と、コイル導体50の内側領域に形成された接続導体52,53と、引出電極27A〜29A及び引出電極27B〜29Bとを有している。   The conductor layer 43 is formed on the insulating layer 42. As shown in FIG. 9, the conductor layer 43 includes a rectangular spiral coil conductor 50, a lead conductor 51 connected to the coil conductor 50, and connection conductors 52 and 53 formed in an inner region of the coil conductor 50. And extraction electrodes 27A to 29A and extraction electrodes 27B to 29B.

引出導体51の一端は、コイル導体50の外側端と接続され、引出導体51の他端は、引出電極28Aと接続されている。接続導体52は、導体層41におけるコイル導体46の内側端と引出導体48とを接続するための導体である。接続導体53については後述する。   One end of the lead conductor 51 is connected to the outer end of the coil conductor 50, and the other end of the lead conductor 51 is connected to the lead electrode 28A. The connection conductor 52 is a conductor for connecting the inner end of the coil conductor 46 in the conductor layer 41 and the lead conductor 48. The connection conductor 53 will be described later.

導体層45は、絶縁層44上に形成されている。導体層45は、図10に示すように、矩形スパイラル状のコイル導体54と、このコイル導体54と繋がっている引出導体55と、コイル導体54の外側領域に形成された引出導体56と、引出電極32A〜34A及び引出電極32B〜34Bとを有している。   The conductor layer 45 is formed on the insulating layer 44. As shown in FIG. 10, the conductor layer 45 includes a rectangular spiral coil conductor 54, a lead conductor 55 connected to the coil conductor 54, a lead conductor 56 formed in the outer region of the coil conductor 54, and a lead It has electrodes 32A to 34A and extraction electrodes 32B to 34B.

引出導体55の一端は、コイル導体54の外側端と接続され、引出導体55の他端は、引出電極34Aと接続されている。引出導体56は、曲折状に延びて引出電極34Bと接続されている。引出導体56の先端部は、コイル導体54に対して引出導体48,49の先端部と同じ側に位置している。   One end of the lead conductor 55 is connected to the outer end of the coil conductor 54, and the other end of the lead conductor 55 is connected to the lead electrode 34A. The lead conductor 56 extends in a bent shape and is connected to the lead electrode 34B. The leading end of the lead conductor 56 is located on the same side as the leading ends of the lead conductors 48 and 49 with respect to the coil conductor 54.

上記の導体層43に形成された接続導体53は、コイル導体54の内側端と引出導体56とを接続するための導体である。   The connection conductor 53 formed on the conductor layer 43 is a conductor for connecting the inner end of the coil conductor 54 and the lead conductor 56.

ここで、導体層43の接続導体52は、図11(a)に示すように、導体層41のコイル導体46を垂直に横切るように形成されている。導体層41における引出導体49の先端側の直線部分49aは、図11(b)に示すように、導体層43のコイル導体50を垂直に横切るように形成されている。導体層43の接続導体53は、図11(c)に示すように、導体層45のコイル導体54を垂直に横切るように形成されている。   Here, the connection conductor 52 of the conductor layer 43 is formed so as to cross the coil conductor 46 of the conductor layer 41 vertically as shown in FIG. The straight portion 49a on the leading end side of the lead conductor 49 in the conductor layer 41 is formed so as to cross the coil conductor 50 of the conductor layer 43 vertically as shown in FIG. As shown in FIG. 11C, the connection conductor 53 of the conductor layer 43 is formed so as to cross the coil conductor 54 of the conductor layer 45 vertically.

また、コイル導体46の線路長は、コイル導体50の線路長よりも短くなっている。このため、導体層41におけるコイル導体46の外側領域に引出導体48,49を設けることが可能となる。   The line length of the coil conductor 46 is shorter than the line length of the coil conductor 50. Therefore, the lead conductors 48 and 49 can be provided in the outer region of the coil conductor 46 in the conductor layer 41.

絶縁層42には、コイル導体46の内側端と接続導体52の一端とを接続するコンタクトホール57aと、接続導体52の他端と引出導体48とを接続するコンタクトホール57bと、コイル導体50の内側端と引出導体49とを接続するコンタクトホール57cとが形成されている。   In the insulating layer 42, a contact hole 57 a that connects the inner end of the coil conductor 46 and one end of the connection conductor 52, a contact hole 57 b that connects the other end of the connection conductor 52 and the lead conductor 48, and the coil conductor 50 A contact hole 57c that connects the inner end and the lead conductor 49 is formed.

絶縁層44には、コイル導体54の内側端と接続導体53の一端とを接続するコンタクトホール58aと、接続導体53の他端と引出導体56とを接続するコンタクトホール58bとが形成されている。   In the insulating layer 44, a contact hole 58 a that connects the inner end of the coil conductor 54 and one end of the connection conductor 53, and a contact hole 58 b that connects the other end of the connection conductor 53 and the lead conductor 56 are formed. .

以上のような本実施形態のコモンモードフィルタにおいて、端子電極6A、引出電極21A、引出導体47、コイル導体46、コンタクトホール57a、接続導体52、コンタクトホール57b、引出導体48、引出電極21B及び端子電極6Bは、電気的に直列接続されてなるコイル59Aを構成している。端子電極7A、引出電極28A、引出導体51、コイル導体50、コンタクトホール57c、引出導体49、引出電極22B及び端子電極7Bは、電気的に直列接続されてなるコイル59Bを構成している。端子電極8A、引出電極34A、引出導体55、コイル導体54、コンタクトホール58a、接続導体53、コンタクトホール58b、引出導体56、引出電極34B及び端子電極8Bは、電気的に直列接続されてなるコイル59Cを構成している。   In the common mode filter of the present embodiment as described above, the terminal electrode 6A, the extraction electrode 21A, the extraction conductor 47, the coil conductor 46, the contact hole 57a, the connection conductor 52, the contact hole 57b, the extraction conductor 48, the extraction electrode 21B, and the terminal The electrode 6B constitutes a coil 59A that is electrically connected in series. The terminal electrode 7A, the extraction electrode 28A, the extraction conductor 51, the coil conductor 50, the contact hole 57c, the extraction conductor 49, the extraction electrode 22B, and the terminal electrode 7B constitute a coil 59B that is electrically connected in series. The terminal electrode 8A, the extraction electrode 34A, the extraction conductor 55, the coil conductor 54, the contact hole 58a, the connection conductor 53, the contact hole 58b, the extraction conductor 56, the extraction electrode 34B, and the terminal electrode 8B are electrically connected in series. 59C is configured.

ここで、コイル59Aにおいては、接続導体52がコイル導体46を横切るように形成されているので、絶縁層42を挟んで上下に重なり合う領域は極めて少ない。また、コイル59Bにおいては、引出導体49の先端側の直線部分49aがコイル導体50を横切るように形成されているので、絶縁層42を挟んで上下に重なり合う領域は極めて少ない。さらに、コイル59Cにおいては、接続導体53がコイル導体54を横切るように形成されているので、絶縁層44を挟んで上下に重なり合う領域は極めて少ない。これにより、第1実施形態と同様に、コイル59A〜59Cの各ラインに発生する浮遊容量を低減することができる。   Here, in the coil 59A, since the connection conductor 52 is formed so as to cross the coil conductor 46, there are very few regions that overlap vertically with the insulating layer 42 interposed therebetween. Further, in the coil 59B, since the straight portion 49a on the distal end side of the lead conductor 49 is formed so as to cross the coil conductor 50, there are very few regions overlapping vertically with the insulating layer 42 interposed therebetween. Further, in the coil 59C, since the connection conductor 53 is formed so as to cross the coil conductor 54, there are very few regions that overlap vertically with the insulating layer 44 interposed therebetween. Thereby, the stray capacitance generated in each line of the coils 59A to 59C can be reduced as in the first embodiment.

本発明に係わるコモンモードフィルタの第3実施形態を図12〜図16により説明する。図中、第1実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。   A third embodiment of a common mode filter according to the present invention will be described with reference to FIGS. In the figure, the same or equivalent members as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

図12は、本実施形態のコモンモードフィルタの主要部を示す分解斜視図である。同図において、本実施形態のコモンモードフィルタの積層体5は、第1実施形態における層構造体3に代えて、層構造体60を有している。層構造体60は、下から順に絶縁層9、導体層61、絶縁層62、導体層63、絶縁層64、導体層65及び絶縁層15が積層されて成るものである。   FIG. 12 is an exploded perspective view showing a main part of the common mode filter of the present embodiment. In the figure, the laminate 5 of the common mode filter of this embodiment has a layer structure 60 instead of the layer structure 3 in the first embodiment. The layer structure 60 is formed by laminating the insulating layer 9, the conductor layer 61, the insulating layer 62, the conductor layer 63, the insulating layer 64, the conductor layer 65, and the insulating layer 15 in order from the bottom.

導体層61は、絶縁層9上に形成されている。導体層61は、図13に示すように、矩形スパイラル状のコイル導体66と、このコイル導体66と繋がっている引出導体67と、コイル導体66の外側領域に形成された引出導体68及び接続導体69,70と、引出電極21A〜23A及び引出電極21B〜23Bとを有している。   The conductor layer 61 is formed on the insulating layer 9. As shown in FIG. 13, the conductor layer 61 includes a rectangular spiral coil conductor 66, a lead conductor 67 connected to the coil conductor 66, a lead conductor 68 and a connection conductor formed in an outer region of the coil conductor 66. 69, 70, extraction electrodes 21A to 23A, and extraction electrodes 21B to 23B.

引出導体67の一端は、コイル導体66の外側端と接続され、引出導体67の他端は、引出電極21Aと接続されている。引出導体68は、曲折状に延びて引出電極21Bと接続されている。引出導体68の先端部(引出電極21Bとは反対側の端部)及び接続導体69は、コイル導体66の一側方に位置しており、接続導体70は、コイル導体66を挟んで接続導体69の反対側に位置している。   One end of the lead conductor 67 is connected to the outer end of the coil conductor 66, and the other end of the lead conductor 67 is connected to the lead electrode 21A. The lead conductor 68 extends in a bent shape and is connected to the lead electrode 21B. The leading end of the lead conductor 68 (the end opposite to the lead electrode 21 </ b> B) and the connection conductor 69 are located on one side of the coil conductor 66, and the connection conductor 70 sandwiches the coil conductor 66. It is located on the opposite side of 69.

導体層63は、絶縁層62上に形成されている。導体層63は、図14に示すように、矩形スパイラル状のコイル導体71と、このコイル導体71と繋がっている引出導体72と、コイル導体71の内側領域に形成された接続導体73と、コイル導体71の外側領域に形成された引出導体74と、引出電極27A〜29A及び引出電極27B〜29Bとを有している。   The conductor layer 63 is formed on the insulating layer 62. As shown in FIG. 14, the conductor layer 63 includes a rectangular spiral coil conductor 71, a lead conductor 72 connected to the coil conductor 71, a connection conductor 73 formed in an inner region of the coil conductor 71, a coil It has an extraction conductor 74 formed in the outer region of the conductor 71, extraction electrodes 27A to 29A, and extraction electrodes 27B to 29B.

引出導体72の一端は、コイル導体71の外側端と接続され、引出導体72の他端は、引出電極28Aと接続されている。接続導体73は、導体層63におけるコイル導体66の内側端と引出導体68とを接続するための導体である。引出導体74の先端部は、コイル導体71に対して上記の接続導体69と同じ側に位置している。   One end of the lead conductor 72 is connected to the outer end of the coil conductor 71, and the other end of the lead conductor 72 is connected to the lead electrode 28A. The connection conductor 73 is a conductor for connecting the inner end of the coil conductor 66 and the lead conductor 68 in the conductor layer 63. The leading end portion of the lead conductor 74 is located on the same side as the connection conductor 69 with respect to the coil conductor 71.

導体層65は、絶縁層64上に形成されている。導体層65は、図15に示すように、矩形スパイラル状のコイル導体75と、このコイル導体75と繋がっている引出導体76と、コイル導体75の外側領域に形成された引出導体77と、引出電極32A〜34A及び引出電極32B〜34Bとを有している。   The conductor layer 65 is formed on the insulating layer 64. As shown in FIG. 15, the conductor layer 65 includes a rectangular spiral coil conductor 75, a lead conductor 76 connected to the coil conductor 75, a lead conductor 77 formed in the outer region of the coil conductor 75, and a lead It has electrodes 32A to 34A and extraction electrodes 32B to 34B.

引出導体76の一端は、コイル導体75の外側端と接続され、引出導体76の他端は、引出電極34Aと接続されている。引出導体77は、曲折状に延びて引出電極34Bと接続されている。引出導体77の先端部は、コイル導体75に対して上記の接続導体70と同じ側に位置している。   One end of the lead conductor 76 is connected to the outer end of the coil conductor 75, and the other end of the lead conductor 76 is connected to the lead electrode 34A. The lead conductor 77 extends in a bent shape and is connected to the lead electrode 34B. The leading end of the lead conductor 77 is located on the same side as the connection conductor 70 with respect to the coil conductor 75.

上記の導体層61に形成された接続導体69は、導体層63におけるコイル導体71の内側端と引出導体74とを接続するための導体である。また、導体層61に形成された接続導体70は、導体層65におけるコイル導体75の内側端と引出導体77とを接続するための導体である。   The connection conductor 69 formed on the conductor layer 61 is a conductor for connecting the inner end of the coil conductor 71 and the lead conductor 74 in the conductor layer 63. The connection conductor 70 formed in the conductor layer 61 is a conductor for connecting the inner end of the coil conductor 75 in the conductor layer 65 and the lead conductor 77.

ここで、導体層63の接続導体73は、図16(a)に示すように、導体層61のコイル導体66を垂直に横切るように形成されている。導体層61の接続導体69は、図16(b)に示すように、導体層63のコイル導体71を垂直に横切るように形成されている。導体層61の接続導体70は、図16(c)に示すように、導体層65のコイル導体75を垂直に横切るように形成されている。   Here, the connection conductor 73 of the conductor layer 63 is formed so as to cross the coil conductor 66 of the conductor layer 61 vertically as shown in FIG. As shown in FIG. 16B, the connection conductor 69 of the conductor layer 61 is formed so as to cross the coil conductor 71 of the conductor layer 63 vertically. The connection conductor 70 of the conductor layer 61 is formed so as to cross the coil conductor 75 of the conductor layer 65 vertically as shown in FIG.

また、コイル導体66の線路長は、コイル導体71,75の線路長よりも短くなっている。このため、導体層61におけるコイル導体66の両側方の領域に接続導体69,70をそれぞれ設けることが可能となる。   The line length of the coil conductor 66 is shorter than the line length of the coil conductors 71 and 75. For this reason, the connection conductors 69 and 70 can be provided in regions on both sides of the coil conductor 66 in the conductor layer 61, respectively.

絶縁層62には、コイル導体66の内側端と接続導体73の一端とを接続するコンタクトホール78aと、接続導体73の他端と引出導体68とを接続するコンタクトホール78bと、コイル導体71の内側端と接続導体69の一端とを接続するコンタクトホール78cと、接続導体69の他端と引出導体74とを接続するコンタクトホール78dと、コイル導体75の内側端と接続導体70の一端とを接続するコンタクトホール78eと、接続導体70の他端と引出導体77とを接続するコンタクトホール78fとが形成されている。   In the insulating layer 62, a contact hole 78 a that connects the inner end of the coil conductor 66 and one end of the connection conductor 73, a contact hole 78 b that connects the other end of the connection conductor 73 and the lead conductor 68, and the coil conductor 71 A contact hole 78c that connects the inner end and one end of the connection conductor 69, a contact hole 78d that connects the other end of the connection conductor 69 and the lead conductor 74, an inner end of the coil conductor 75, and one end of the connection conductor 70 A contact hole 78e to be connected and a contact hole 78f to connect the other end of the connection conductor 70 and the lead conductor 77 are formed.

絶縁層64には、コイル導体75の内側端と接続導体70の一端とを接続するコンタクトホール79aと、接続導体70の他端と引出導体77とを接続するコンタクトホール79bとが形成されている。   In the insulating layer 64, a contact hole 79 a that connects the inner end of the coil conductor 75 and one end of the connection conductor 70 and a contact hole 79 b that connects the other end of the connection conductor 70 and the lead conductor 77 are formed. .

以上のような本実施形態のコモンモードフィルタにおいて、端子電極6A、引出電極21A、引出導体67、コイル導体66、コンタクトホール78a、接続導体73、コンタクトホール78b、引出導体68、引出電極21B及び端子電極6Bは、電気的に直列接続されてなるコイル80Aを構成している。端子電極7A、引出電極28A、引出導体72、コイル導体71、コンタクトホール78c、接続導体69、コンタクトホール78d、引出導体74、引出電極28B及び端子電極7Bは、電気的に直列接続されてなるコイル80Bを構成している。端子電極8A、引出電極34A、引出導体76、コイル導体75、コンタクトホール79a,78e、接続導体70、コンタクトホール78f、79b、引出導体77、引出電極34B及び端子電極8Bは、電気的に直列接続されてなるコイル80Cを構成している。   In the common mode filter of the present embodiment as described above, the terminal electrode 6A, the extraction electrode 21A, the extraction conductor 67, the coil conductor 66, the contact hole 78a, the connection conductor 73, the contact hole 78b, the extraction conductor 68, the extraction electrode 21B, and the terminal The electrode 6B constitutes a coil 80A that is electrically connected in series. The terminal electrode 7A, the extraction electrode 28A, the extraction conductor 72, the coil conductor 71, the contact hole 78c, the connection conductor 69, the contact hole 78d, the extraction conductor 74, the extraction electrode 28B, and the terminal electrode 7B are electrically connected in series. 80B is configured. Terminal electrode 8A, extraction electrode 34A, extraction conductor 76, coil conductor 75, contact holes 79a and 78e, connection conductor 70, contact holes 78f and 79b, extraction conductor 77, extraction electrode 34B and terminal electrode 8B are electrically connected in series. This constitutes the coil 80C.

ここで、コイル80Aにおいては、接続導体73がコイル導体66を横切るように形成されているので、絶縁層62を挟んで上下に重なり合う領域は極めて少ない。また、コイル80Bにおいては、接続導体69がコイル導体71を横切るように形成されているので、絶縁層62を挟んで上下に重なり合う領域は極めて少ない。さらに、コイル80Cにおいては、接続導体70がコイル導体75を横切るように形成されているので、絶縁層62,64を挟んで上下に重なり合う領域は極めて少ない。これにより、第1実施形態と同様に、コイル80A〜80Cの各ラインに発生する浮遊容量を低減することができる。   Here, in the coil 80A, since the connection conductor 73 is formed so as to cross the coil conductor 66, there are very few regions that overlap vertically with the insulating layer 62 interposed therebetween. Further, in the coil 80B, since the connection conductor 69 is formed so as to cross the coil conductor 71, there are very few regions that overlap vertically with the insulating layer 62 interposed therebetween. Further, in the coil 80C, since the connection conductor 70 is formed so as to cross the coil conductor 75, there are very few regions that overlap vertically with the insulating layers 62 and 64 interposed therebetween. Thereby, the stray capacitance generated in each line of the coils 80A to 80C can be reduced as in the first embodiment.

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、コイル導体、引出導体及び接続導体を用いて3つのコイルを形成する構造としては、特に上記の3つの実施形態には限られない。   The present invention is not limited to the above embodiment. For example, the structure in which three coils are formed using a coil conductor, a lead conductor, and a connection conductor is not particularly limited to the above three embodiments.

また、上記実施形態では、引出導体や接続導体を、コイル導体を有する3つの導体層のいずれかに形成する構造としたが、コイル導体を有する導体層とは全く異なる層に形成しても良い。また、コイル導体の内側端とこれに対応する端子電極とを接続する手段としては、絶縁層にコンタクトホールを設ける構造以外にも、例えばリード線等を用いて構成しても良い。   In the above embodiment, the lead conductor and the connection conductor are formed in any one of the three conductor layers having the coil conductor. However, the lead conductor and the connection conductor may be formed in a layer completely different from the conductor layer having the coil conductor. . Further, as means for connecting the inner end of the coil conductor and the corresponding terminal electrode, other than the structure in which the contact hole is provided in the insulating layer, for example, a lead wire or the like may be used.

また、上記実施形態では、導体層に形成されるコイル導体を矩形のスパイラル状を呈するものとしたが、コイル導体のスパイラル形状としては、円形状または楕円形状等であっても良い。   In the above embodiment, the coil conductor formed in the conductor layer has a rectangular spiral shape. However, the spiral shape of the coil conductor may be a circular shape or an elliptical shape.

本発明に係わるコモンモードフィルタの第1実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows 1st Embodiment of the common mode filter concerning this invention. 図1に示す積層体の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the laminated body shown in FIG. 図2に示す下から1層目の導体層を示す平面図である。It is a top view which shows the 1st conductor layer from the bottom shown in FIG. 図2に示す下から2層目の導体層を示す平面図である。It is a top view which shows the 2nd conductor layer from the bottom shown in FIG. 図2に示す下から3層目の導体層を示す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing a third conductor layer from the bottom shown in FIG. 2. 図3〜図5に示すコイル導体とこのコイル導体を横切る導体との位置関係を示す概略平面図である。It is a schematic plan view which shows the positional relationship of the coil conductor shown in FIGS. 3-5 and the conductor which crosses this coil conductor. 本発明に係わるコモンモードフィルタの第2実施形態の主要部である積層体を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the laminated body which is the principal part of 2nd Embodiment of the common mode filter concerning this invention. 図7に示す下から1層目の導体層を示す平面図である。It is a top view which shows the 1st conductor layer from the bottom shown in FIG. 図7に示す下から2層目の導体層を示す平面図である。It is a top view which shows the 2nd conductor layer from the bottom shown in FIG. 図7に示す下から3層目の導体層を示す平面図である。It is a top view which shows the 3rd conductor layer from the bottom shown in FIG. 図8〜図10に示すコイル導体とこのコイル導体を横切る導体との位置関係を示す概略平面図である。It is a schematic plan view which shows the positional relationship of the coil conductor shown in FIGS. 8-10, and the conductor which crosses this coil conductor. 本発明に係わるコモンモードフィルタの第3実施形態の主要部である積層体を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the laminated body which is the principal part of 3rd Embodiment of the common mode filter concerning this invention. 図12に示す下から1層目の導体層を示す平面図である。It is a top view which shows the 1st conductor layer from the bottom shown in FIG. 図12に示す下から2層目の導体層を示す平面図である。It is a top view which shows the 2nd conductor layer from the bottom shown in FIG. 図12に示す下から3層目の導体層を示す平面図である。FIG. 13 is a plan view showing a third conductor layer from the bottom shown in FIG. 12. 図13〜図15に示すコイル導体とこのコイル導体を横切る導体との位置関係を示す概略平面図である。It is a schematic plan view which shows the positional relationship of the coil conductor shown in FIGS. 13-15, and the conductor which crosses this coil conductor.

符号の説明Explanation of symbols

1…コモンモードフィルタ、6A…端子電極(第1端子電極)、6B…端子電極(第4端子電極)、7A…端子電極(第2端子電極)、7B…端子電極(第5端子電極)、8A…端子電極(第3端子電極)、8B…端子電極(第6端子電極)、10…導体層(第1導体層)、11…絶縁層(第1絶縁層)、12…導体層(第2導体層)、13…絶縁層(第2絶縁層)、14…導体層(第3導体層)、16…コイル導体(第1コイル導体)、17…引出導体(第1引出導体)、18…引出導体(第4引出導体、第1接続手段)、19…引出導体(第5引出導体、第2接続手段)、19a…直線部分(第2接続部)、20…引出導体(第6引出導体、第3接続手段)、20a…直線部分(第3接続部)、24…コイル導体(第2コイル導体)、25…引出導体(第2引出導体)、26…接続導体(第1コイル導体用の接続導体、第1接続部、第1接続手段)、30…コイル導体(第3コイル導体)、31…引出導体(第3引出導体)、35a,35b…コンタクトホール(第1コンタクトホール、第1接続手段)、35c…コンタクトホール(第2コンタクトホール、第2接続手段)、35d…コンタクトホール(第3コンタクトホール、第3接続手段)、36…コンタクトホール(第4コンタクトホール、第3接続手段)、41…導体層(第1導体層)、42…絶縁層(第1絶縁層)、43…導体層(第2導体層)、44…絶縁層(第2絶縁層)、45…導体層(第3導体層)、46…コイル導体(第1コイル導体)、47…引出導体(第1引出導体)、48…引出導体(第4引出導体、第1接続手段)、49…引出導体(第5引出導体、第2接続手段)、49a…直線部分(第2接続部)、50…コイル導体(第2コイル導体)、51…引出導体(第2引出導体)、52…接続導体(第1コイル導体用の接続導体、第1接続部、第1接続手段)、53…接続導体(第3コイル導体用の接続導体、第3接続部、第3接続手段)、54…コイル導体(第3コイル導体)、55…引出導体(第3引出導体)、56…引出導体(第6引出導体、第3接続手段)、57a,57b…コンタクトホール(第1コンタクトホール、第1接続手段)、57c…コンタクトホール(第2コンタクトホール、第2接続手段)、58a,58b…コンタクトホール(第3コンタクトホール、第3接続手段)、61…導体層(第1導体層)、62…絶縁層(第1絶縁層)、63…導体層(第2導体層)、64…絶縁層(第2絶縁層)、65…導体層(第3導体層)、66…コイル導体(第1コイル導体)、67…引出導体(第1引出導体)、68…引出導体(第4引出導体、第1接続手段)、69…接続導体(第2コイル導体用の接続導体、第2接続部、第2接続手段)、70…接続導体(第3コイル導体用の接続導体、第3接続部、第3接続手段)、71…コイル導体(第2コイル導体)、72…引出導体(第2引出導体)、73…接続導体(第1コイル導体用の接続導体、第1接続部、第1接続手段)、74…引出導体(第5引出導体、第2接続手段)、75…コイル導体(第3コイル導体)、76…引出導体(第3引出導体)、77…引出導体(第6引出導体、第3接続手段)、78a,78b…コンタクトホール(第1コンタクトホール、第1接続手段)、78c,78d…コンタクトホール(第2コンタクトホール、第2接続手段)、78e,78f…コンタクトホール(第3コンタクトホール、第3接続手段)、79a,79b…コンタクトホール(第4コンタクトホール、第3接続手段)。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Common mode filter, 6A ... Terminal electrode (1st terminal electrode), 6B ... Terminal electrode (4th terminal electrode), 7A ... Terminal electrode (2nd terminal electrode), 7B ... Terminal electrode (5th terminal electrode), 8A ... terminal electrode (third terminal electrode), 8B ... terminal electrode (sixth terminal electrode), 10 ... conductor layer (first conductor layer), 11 ... insulating layer (first insulating layer), 12 ... conductor layer (first) 2 conductor layers), 13 ... insulating layer (second insulating layer), 14 ... conductor layer (third conductor layer), 16 ... coil conductor (first coil conductor), 17 ... lead conductor (first lead conductor), 18 ... Leader (fourth lead conductor, first connecting means), 19 ... Leader conductor (fifth lead conductor, second connecting means), 19a ... Straight line part (second connecting part), 20 ... Leader conductor (sixth lead) Conductor, third connecting means), 20a ... straight line portion (third connecting portion), 24 ... coil conductor (second coil conductor), 2 ... Lead conductor (second lead conductor), 26 ... Connection conductor (connection conductor for the first coil conductor, first connection portion, first connection means), 30 ... Coil conductor (third coil conductor), 31 ... Lead conductor (Third lead conductor), 35a, 35b ... contact hole (first contact hole, first connecting means), 35c ... contact hole (second contact hole, second connecting means), 35d ... contact hole (third contact hole) , Third connecting means), 36 ... contact hole (fourth contact hole, third connecting means), 41 ... conductor layer (first conductor layer), 42 ... insulating layer (first insulating layer), 43 ... conductor layer ( Second conductor layer), 44 ... insulating layer (second insulating layer), 45 ... conductor layer (third conductor layer), 46 ... coil conductor (first coil conductor), 47 ... lead conductor (first lead conductor), 48 ... Lead conductor (fourth lead conductor) , First connection means), 49... Extraction conductor (fifth extraction conductor, second connection means), 49 a... Linear portion (second connection portion), 50... Coil conductor (second coil conductor), 51. Second conductor), 52... Connecting conductor (connecting conductor for the first coil conductor, first connecting portion, first connecting means), 53... Connecting conductor (connecting conductor for the third coil conductor, third connecting portion) (Third connecting means), 54 ... coil conductor (third coil conductor), 55 ... lead conductor (third lead conductor), 56 ... lead conductor (sixth lead conductor, third connecting means), 57a, 57b ... contact holes (1st contact hole, 1st connection means), 57c ... Contact hole (2nd contact hole, 2nd connection means), 58a, 58b ... Contact hole (3rd contact hole, 3rd connection means), 61 ... Conductor layer (First conductor layer), 62. Edge layer (first insulating layer), 63 ... conductor layer (second conductor layer), 64 ... insulating layer (second insulating layer), 65 ... conductor layer (third conductor layer), 66 ... coil conductor (first coil) Conductor), 67 ... lead conductor (first lead conductor), 68 ... lead conductor (fourth lead conductor, first connecting means), 69 ... connection conductor (connecting conductor for second coil conductor, second connecting portion, second conductor 2 connection means), 70 ... connection conductor (connection conductor for third coil conductor, third connection portion, third connection means), 71 ... coil conductor (second coil conductor), 72 ... lead conductor (second lead conductor) , 73 ... Connection conductor (connection conductor for first coil conductor, first connection portion, first connection means), 74 ... Lead conductor (fifth lead conductor, second connection means), 75 ... Coil conductor (third Coil conductor), 76 ... lead conductor (third lead conductor), 77 ... lead conductor (sixth lead conductor, third connecting means), 78 78b, contact holes (first contact hole, first connection means), 78c, 78d, contact holes (second contact hole, second connection means), 78e, 78f, contact holes (third contact hole, third connection). Means), 79a, 79b ... contact holes (fourth contact hole, third connection means).

Claims (9)

スパイラル状の第1コイル導体と、前記第1コイル導体の外側端と第1端子電極とを接続する第1引出導体とを有する第1導体層と、
スパイラル状の第2コイル導体と、前記第2コイル導体の外側端と第2端子電極とを接続する第2引出導体とを有する第2導体層と、
スパイラル状の第3コイル導体と、前記第3コイル導体の外側端と第3端子電極とを接続する第3引出導体とを有する第3導体層と、
前記第1導体層と前記第2導体層との間に配置された第1絶縁層と、
前記第2導体層と前記第3導体層との間に配置された第2絶縁層と、
前記第1コイル導体の内側端と第4端子電極とを接続する第1接続手段と、
前記第2コイル導体の内側端と第5端子電極とを接続する第2接続手段と、
前記第3コイル導体の内側端と第6端子電極とを接続する第3接続手段とを備え、
前記第1端子電極、前記第2端子電極及び前記第3端子電極は同じ側に配置され、
前記第4端子電極、前記第5端子電極及び前記第6端子電極は、前記第1端子電極、前記第2端子電極及び前記第3端子電極の反対側に配置されており、
前記第1接続手段は、前記第1導体層とは異なる層において前記第1コイル導体を横切るように形成された第1接続部を有し、
前記第2接続手段は、前記第2導体層とは異なる層において前記第2コイル導体を横切るように形成された第2接続部を有し、
前記第3接続手段は、前記第3導体層とは異なる層において前記第3コイル導体を横切るように形成された第3接続部を有することを特徴とするコモンモードフィルタ。
A first conductor layer having a spiral first coil conductor and a first lead conductor connecting the outer end of the first coil conductor and the first terminal electrode;
A second conductor layer having a spiral second coil conductor, and a second lead conductor connecting the outer end of the second coil conductor and the second terminal electrode;
A third conductor layer having a spiral third coil conductor and a third lead conductor connecting the outer end of the third coil conductor and the third terminal electrode;
A first insulating layer disposed between the first conductor layer and the second conductor layer;
A second insulating layer disposed between the second conductor layer and the third conductor layer;
First connection means for connecting an inner end of the first coil conductor and a fourth terminal electrode;
Second connection means for connecting the inner end of the second coil conductor and a fifth terminal electrode;
A third connecting means for connecting the inner end of the third coil conductor and the sixth terminal electrode;
The first terminal electrode, the second terminal electrode and the third terminal electrode are disposed on the same side;
The fourth terminal electrode, the fifth terminal electrode, and the sixth terminal electrode are disposed on opposite sides of the first terminal electrode, the second terminal electrode, and the third terminal electrode,
The first connection means includes a first connection portion formed to cross the first coil conductor in a layer different from the first conductor layer,
The second connection means has a second connection portion formed to cross the second coil conductor in a layer different from the second conductor layer,
The common mode filter, wherein the third connection means includes a third connection portion formed to cross the third coil conductor in a layer different from the third conductor layer.
前記第1導体層は、前記第4端子電極と接続された第4引出導体を更に有し、
前記第2導体層は、前記第2コイル導体の内側領域に形成され、前記第1コイル導体の内側端と前記第4引出導体とを接続する第1コイル導体用の接続導体を更に有し、
前記第4引出導体及び前記第1コイル導体用の接続導体は、前記第1接続手段の一部を構成し、
前記第1接続部は、前記第1コイル導体用の接続導体であることを特徴とする請求項1記載のコモンモードフィルタ。
The first conductor layer further includes a fourth lead conductor connected to the fourth terminal electrode,
The second conductor layer further includes a connection conductor for a first coil conductor that is formed in an inner region of the second coil conductor and connects the inner end of the first coil conductor and the fourth lead conductor;
The fourth lead conductor and the connection conductor for the first coil conductor constitute a part of the first connection means,
The common mode filter according to claim 1, wherein the first connection portion is a connection conductor for the first coil conductor.
前記第1導体層は、前記第5端子電極と接続された第5引出導体と、前記第6端子電極と接続された第6引出導体とを更に有し、
前記第5引出導体は、前記第2接続手段の一部を構成し、
前記第6引出導体は、前記第3接続手段の一部を構成し、
前記第2接続部は、前記第5引出導体の一部分であり、
前記第3接続部は、前記第6引出導体の一部分であることを特徴とする請求項2記載のコモンモードフィルタ。
The first conductor layer further includes a fifth lead conductor connected to the fifth terminal electrode, and a sixth lead conductor connected to the sixth terminal electrode,
The fifth lead conductor constitutes a part of the second connecting means;
The sixth lead conductor constitutes a part of the third connecting means;
The second connecting portion is a part of the fifth lead conductor;
The common mode filter according to claim 2, wherein the third connection portion is a part of the sixth lead conductor.
前記第1絶縁層は、前記第1コイル導体の内側端及び前記第4引出導体と前記第1コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する2つの第1コンタクトホールと、前記第2コイル導体の内側端と前記第5引出導体とを接続する第2コンタクトホールと、前記第3コイル導体の内側端と前記第6引出導体とを接続する第3コンタクトホールとを有し、
前記第2絶縁層は、前記第3コイル導体の内側端と前記第6引出導体とを接続する第4コンタクトホールを有し、
前記各第1コンタクトホールは、前記第1接続手段の一部を構成し、
前記第2コンタクトホールは、前記第2接続手段の一部を構成し、
前記第3コンタクトホール及び前記第4コンタクトホールは、前記第3接続手段の一部を構成することを特徴とする請求項3記載のコモンモードフィルタ。
The first insulating layer includes two first contact holes connecting the inner end of the first coil conductor, the fourth lead conductor, and the connection conductor for the first coil conductor, and the second coil conductor. A second contact hole that connects the inner end and the fifth lead conductor; and a third contact hole that connects the inner end of the third coil conductor and the sixth lead conductor;
The second insulating layer has a fourth contact hole that connects an inner end of the third coil conductor and the sixth lead conductor,
Each of the first contact holes constitutes a part of the first connection means,
The second contact hole constitutes a part of the second connection means,
4. The common mode filter according to claim 3, wherein the third contact hole and the fourth contact hole constitute a part of the third connection means.
前記第1導体層は、前記第5端子電極と接続された第5引出導体を更に有し、
前記第3導体層は、前記第6端子電極と接続された第6引出導体を更に有し、
前記第2導体層は、前記第2コイル導体の内側領域に形成され、前記第3コイル導体の内側端と前記第6引出導体とを接続する第3コイル導体用の接続導体を更に有し、
前記第5引出導体は、前記第2接続手段の一部を構成し、
前記第6引出導体及び前記第3コイル導体用の接続導体は、前記第3接続手段の一部を構成し、
前記第2接続部は、前記第5引出導体の一部分であり、
前記第3接続部は、前記第3コイル導体用の接続導体であることを特徴とする請求項2記載のコモンモードフィルタ。
The first conductor layer further includes a fifth lead conductor connected to the fifth terminal electrode,
The third conductor layer further includes a sixth lead conductor connected to the sixth terminal electrode;
The second conductor layer further includes a connection conductor for a third coil conductor that is formed in an inner region of the second coil conductor and connects the inner end of the third coil conductor and the sixth lead conductor,
The fifth lead conductor constitutes a part of the second connecting means;
The sixth lead conductor and the connection conductor for the third coil conductor constitute a part of the third connection means,
The second connecting portion is a part of the fifth lead conductor;
The common mode filter according to claim 2, wherein the third connection portion is a connection conductor for the third coil conductor.
前記第1絶縁層は、前記第1コイル導体の内側端及び前記第4引出導体と前記第1コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する2つの第1コンタクトホールと、前記第2コイル導体の内側端と前記第5引出導体とを接続する第2コンタクトホールとを有し、
前記第2絶縁層は、前記第3コイル導体の内側端及び前記第6引出導体と前記第3コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する2つの第3コンタクトホールを有し、
前記各第1コンタクトホールは、前記第1接続手段の一部を構成し、
前記第2コンタクトホールは、前記第2接続手段の一部を構成し、
前記各第3コンタクトホールは、前記第3接続手段の一部を構成することを特徴とする請求項5記載のコモンモードフィルタ。
The first insulating layer includes two first contact holes connecting the inner end of the first coil conductor, the fourth lead conductor, and the connection conductor for the first coil conductor, and the second coil conductor. A second contact hole connecting an inner end and the fifth lead conductor;
The second insulating layer has two third contact holes that respectively connect an inner end of the third coil conductor and the sixth lead conductor and a connection conductor for the third coil conductor,
Each of the first contact holes constitutes a part of the first connection means,
The second contact hole constitutes a part of the second connection means,
6. The common mode filter according to claim 5, wherein each of the third contact holes constitutes a part of the third connecting means.
前記第2導体層は、前記第5端子電極と接続された第5引出導体を更に有し、
前記第3導体層は、前記第6端子電極と接続された第6引出導体を更に有し、
前記第1導体層は、前記第1コイル導体の外側領域に形成され、前記第2コイル導体の内側端と前記第5引出導体とを接続する第2コイル導体用の接続導体と、前記第1コイル導体の外側領域に形成され、前記第3コイル導体の内側端と前記第6引出導体とを接続する第3コイル導体用の接続導体とを更に有し、
前記第5引出導体及び前記第2コイル導体用の接続導体は、前記第2接続手段の一部を構成し、
前記第6引出導体及び前記第3コイル導体用の接続導体は、前記第3接続手段の一部を構成し、
前記第2接続部は、前記第2コイル導体用の接続導体であり、
前記第3接続部は、前記第3コイル導体用の接続導体であることを特徴とする請求項2記載のコモンモードフィルタ。
The second conductor layer further includes a fifth lead conductor connected to the fifth terminal electrode,
The third conductor layer further includes a sixth lead conductor connected to the sixth terminal electrode;
The first conductor layer is formed in an outer region of the first coil conductor, and includes a connection conductor for a second coil conductor that connects an inner end of the second coil conductor and the fifth lead conductor, and the first conductor layer. A connection conductor for a third coil conductor that is formed in an outer region of the coil conductor and connects the inner end of the third coil conductor and the sixth lead conductor;
The fifth lead conductor and the connection conductor for the second coil conductor constitute a part of the second connection means,
The sixth lead conductor and the connection conductor for the third coil conductor constitute a part of the third connection means,
The second connection portion is a connection conductor for the second coil conductor,
The common mode filter according to claim 2, wherein the third connection portion is a connection conductor for the third coil conductor.
前記第1絶縁層は、前記第1コイル導体の内側端及び前記第4引出導体と前記第1コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する2つの第1コンタクトホールと、前記第2コイル導体の内側端及び前記第5引出導体と前記第2コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する2つの第2コンタクトホールと、前記第3コイル導体の内側端及び前記第6引出導体と前記第3コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する2つの第3コンタクトホールとを有し、
前記第2絶縁層は、前記第3コイル導体の内側端及び前記第6引出導体と前記第3コイル導体用の接続導体とをそれぞれ接続する2つの第4コンタクトホールを有し、
前記各第1コンタクトホールは、前記第1接続手段の一部を構成し、
前記各第2コンタクトホールは、前記第2接続手段の一部を構成し、
前記各第3コンタクトホール及び前記各第4コンタクトホールは、前記第3接続手段の一部を構成することを特徴とする請求項7記載のコモンモードフィルタ。
The first insulating layer includes two first contact holes connecting the inner end of the first coil conductor, the fourth lead conductor, and the connection conductor for the first coil conductor, and the second coil conductor. Two second contact holes for connecting the inner end and the fifth lead conductor and the connection conductor for the second coil conductor, respectively, the inner end of the third coil conductor, the sixth lead conductor and the third coil Two third contact holes for connecting the conductor connection conductors, respectively,
The second insulating layer has two fourth contact holes for connecting the inner end of the third coil conductor and the sixth lead conductor and the connection conductor for the third coil conductor, respectively.
Each of the first contact holes constitutes a part of the first connection means,
Each of the second contact holes constitutes a part of the second connection means,
8. The common mode filter according to claim 7, wherein each of the third contact holes and each of the fourth contact holes constitutes a part of the third connection means.
前記第1コイル導体及び前記第3コイル導体の少なくとも一方の線路長は、前記第2コイル導体の線路長よりも短いことを特徴とする請求項2〜8のいずれか一項記載のコモンモードフィルタ。   The common mode filter according to claim 2, wherein a line length of at least one of the first coil conductor and the third coil conductor is shorter than a line length of the second coil conductor. .
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