JP2007144595A - 難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 - Google Patents
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Abstract
【課題】難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、(a)1〜5μmの平均層厚を有し、かつ、組成式:(Ti1−X−Y−ZAlXSiYCrZ)N(ただし、原子比で、Xは0.30〜0.70、Yは0.01〜0.10、Zは0.01〜0.15を示す)を満足するTiとAlとSiとCrの複合窒化物層からなる下部層、(b)0.1〜1.5μmの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる層間密着層、(c)それぞれ0.1〜1μmの一層平均層厚を有する窒化バナジウム層と酸化バナジウム層の交互積層構造からなり、かつ、1〜5μmの全体平均層厚を有する上部層、以上(a)〜(c)で構成された硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具。
【選択図】 なし
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、(a)1〜5μmの平均層厚を有し、かつ、組成式:(Ti1−X−Y−ZAlXSiYCrZ)N(ただし、原子比で、Xは0.30〜0.70、Yは0.01〜0.10、Zは0.01〜0.15を示す)を満足するTiとAlとSiとCrの複合窒化物層からなる下部層、(b)0.1〜1.5μmの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる層間密着層、(c)それぞれ0.1〜1μmの一層平均層厚を有する窒化バナジウム層と酸化バナジウム層の交互積層構造からなり、かつ、1〜5μmの全体平均層厚を有する上部層、以上(a)〜(c)で構成された硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具。
【選択図】 なし
Description
この発明は、特にステンレス鋼や高マンガン鋼、さらに軟鋼などの難削材の切削加工を高切り込みや高送りなどの重切削条件で行った場合に、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具(以下、被覆工具という)に関するものである。
一般に、被覆工具には、各種の鋼や鋳鉄などの被削材の旋削加工や平削り加工にバイトの先端部に着脱自在に取り付けて用いられるスローアウエイチップ、前記被削材の穴あけ切削加工などに用いられるドリルやミニチュアドリル、さらに前記被削材の面削加工や溝加工、肩加工などに用いられるソリッドタイプのエンドミルなどがあり、また前記スローアウエイチップを着脱自在に取り付けて前記ソリッドタイプのエンドミルと同様に切削加工を行うスローアウエイエンドミル工具などが知られている。
また、被覆工具として、炭化タングステン(以下、WCで示す)基超硬合金または炭窒化チタン(以下、TiCNで示す)基サーメットで構成された工具基体の表面に、
組成式:(Ti1−X−Y−ZAlXSiYCrZ)N(ただし、原子比で、Xは0.30〜0.70、Yは0.01〜0.10、Zは0.01〜0.15を示す)、
を満足するTiとAlとSiとCrの複合窒化物[以下、(Ti,Al,Si,Cr)Nで示す]層からなる硬質被覆層を1〜5μm程度の層厚で物理蒸着してなる被覆工具が知られている。
組成式:(Ti1−X−Y−ZAlXSiYCrZ)N(ただし、原子比で、Xは0.30〜0.70、Yは0.01〜0.10、Zは0.01〜0.15を示す)、
を満足するTiとAlとSiとCrの複合窒化物[以下、(Ti,Al,Si,Cr)Nで示す]層からなる硬質被覆層を1〜5μm程度の層厚で物理蒸着してなる被覆工具が知られている。
さらに、上記の被覆工具が、例えば図2に概略説明図で示される物理蒸着装置の1種であるアークイオンプレーティング装置に上記の工具基体を装入し、ヒータで装置内を、例えば500℃の温度に加熱した状態で、アノード電極と所定組成を有するTi−Al−Si−Cr合金がセットされたカソード電極(蒸発源)との間に、例えば電流:90Aの条件でアーク放電を発生させ、同時に装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して、例えば2Paの反応雰囲気とし、一方上記工具基体には、例えば−100Vのバイアス電圧を印加した条件で、前記工具基体の表面に、上記(Ti,Al,Si,Cr)N層からなる硬質被覆層を蒸着することにより製造されることも知られている。
特開2003−305601号公報
近年の切削加工装置のFA化はめざましく、一方で切削加工に対する省力化および省エネ化、さらに低コスト化の要求は強く、これに伴い、切削工具には被削材の材種にできるだけ影響を受けない汎用性、すなわち、できるだけ多くの材種の切削加工が可能な切削工具が求められる傾向にあるが、上記の従来被覆工具においては、これを低合金鋼や炭素鋼などの一般鋼や、ダクタイル鋳鉄やねずみ鋳鉄などの普通鋳鉄の切削加工に用いた場合には問題はないが、特に切粉の粘性が高く、かつ工具表面に溶着し易いステンレス鋼や高マンガン鋼、さらに軟鋼などの難削材(被削材)の切削加工を、切刃部に高負荷が局部的にかかる高切り込みや高送りなどの重切削条件で行った場合には、切削時の発熱によって被削材および切粉は高温に加熱されて粘性度が一段と増大し、これに伴って硬質被覆層表面に対する粘着性および反応性が一段と増すようになり、この結果切刃部におけるチッピング(微少欠け)の発生が急激に増加し、これが原因で比較的短時間で使用寿命に至るのが現状である。
そこで、本発明者等は、上述のような観点から、特に難削材の切削加工を高切り込みや高送りなどの重切削条件で行った場合に、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する被覆工具を開発すべく、上記の従来被覆工具に着目し、研究を行った結果、
(a)上記従来被覆超硬工具の硬質被覆層である(Ti,Al,Si,Cr)N層を下部層として1〜5μmの平均層厚で形成し、これの上に上部層として酸化バナジウム(以下、VOMで示す。ただし、Mは酸素のバナジウム(V)に対する相対含有割合の変化値を示し、原子比で、VO、V2O3およびVO2などを示す)層を形成すると、前記VOM層は表面滑り性にすぐれ、この結果切削時の発熱で被削材(難削材)およびその切粉が高温加熱された状態でも切刃部(すくい面および逃げ面と、これら両面が交わる切刃稜線部)と被削材および切粉との間には常にすぐれた滑り性が確保され、前記被削材および切粉の切刃部表面に対する粘着性および反応性が著しく低減され、前記下部層である(Ti,Al,Si,Cr)N層は十分に保護されるようになること。
(a)上記従来被覆超硬工具の硬質被覆層である(Ti,Al,Si,Cr)N層を下部層として1〜5μmの平均層厚で形成し、これの上に上部層として酸化バナジウム(以下、VOMで示す。ただし、Mは酸素のバナジウム(V)に対する相対含有割合の変化値を示し、原子比で、VO、V2O3およびVO2などを示す)層を形成すると、前記VOM層は表面滑り性にすぐれ、この結果切削時の発熱で被削材(難削材)およびその切粉が高温加熱された状態でも切刃部(すくい面および逃げ面と、これら両面が交わる切刃稜線部)と被削材および切粉との間には常にすぐれた滑り性が確保され、前記被削材および切粉の切刃部表面に対する粘着性および反応性が著しく低減され、前記下部層である(Ti,Al,Si,Cr)N層は十分に保護されるようになること。
(b)しかし、上部層であるVOM層と下部層である(Ti,Al,Si,Cr)N層との密着性は十分でなく、特に断続切削を行った場合に前記の層間の密着性不足が原因でチッピングが発生し易いが、前記VOM層と(Ti,Al,Si,Cr)N層との間に窒化バナジウム(以下、VNで示す)層を0.1〜1.5μmの平均層厚で介在させると、前記VN層は前記上部層であるVOM層および下部層である(Ti,Al,Si,Cr)N層のいずれとも強固に密着し、VN層が上部層と下部層の層間密着層の機能を有することになり、これら両層(即ち、上部層のVOM層と、下部層の(Ti,Al,Si,Cr)N層)の間にはすぐれた密着強度が確保されるようになること。
(c)ただ、上部層であるVOM層は、前記のとおりすぐれた表面滑り性を示す層である反面、難削材の重切削加工において十分な高温強度と備えるとはいえないが、窒化バナジウム層(VN層)は、VOM層に比して、すぐれた高温強度を備えることから、(下部層の表面に設けた)0.1〜1.5μmの平均層厚のVN層からなる層間密着層の表面に、(それぞれ0.1〜1μmの一層平均層厚の)VN層とVOM層の交互積層構造からなる(1〜5μmの全体平均層厚を有する)上部層を設けると、該上部層はVOM層の備えるすぐれた表面滑り性を示すと同時に、VN層の有する高温強度を相兼ね備えるようになり、また、交互積層構造を構成するVN層とVOM層相互の密着性も高いことから、上部層自体の高温強度の改善が図られ、加えて、(VN層からなる)層間密着層は、上部層および下部層のいずれとも強固に密着することから、下部層−層間密着層−(交互積層構造の)上部層からなる硬質被覆層は、すぐれた表面滑り特性を損なうことなしにすぐれた高温強度を備えたものとなり、その結果として、硬質被覆層はすぐれた耐チッピング性を示すようになること。
(d)上記(c)の硬質被覆層は、例えば図1(a)に概略平面図で、同(b)に概略正面図で示される構造のアークイオンプレーティング装置、すなわち装置中央部に工具基体装着用回転テーブルを設け、前記回転テーブルを挟んで相対向する両側にカソード電極(蒸発源)を設け、その一方にはカソード電極(蒸発源)として金属Vを配置し、また、その他方にはカソード電極(蒸発源)として所定組成のTi−Al−Si−Cr合金を配置したアークイオンプレーティング装置を用い、この装置の前記回転テーブル上の中心軸から半径方向に所定距離離れた位置に外周部に沿って複数の工具基体をリング状に装着し、この状態で装置内雰囲気を窒素雰囲気として前記回転テーブルを回転させると共に、蒸着形成される硬質被覆層の層厚均一化を図る目的で工具基体自体も自転させながら、基本的に、まず前記Ti−Al−Si−Cr合金のカソード電極(蒸発源)とアノード電極との間にアーク放電を発生させて、前記工具基体の表面に、下部層として(Ti,Al,Si,Cr)N層を1〜5μmの平均層厚で蒸着形成した後、前記Ti−Al−Si−Cr合金のカソード電極(蒸発源)とアノード電極との間のアーク放電を停止し、引き続いて装置内雰囲気を窒素雰囲気に保持したままで、カソード電極(蒸発源)である金属Vとアノード電極との間にアーク放電を発生させて、層間密着層としてVN層を0.1〜1.5μmの平均層厚で蒸着形成した後、前記金属Vとアノード電極との間のアーク放電を停止し、同時に装置内への窒素ガスの供給を停止し、装置内を約10秒間真空引きし、その後装置内への酸素ガスの供給を開始して装置内雰囲気を酸素雰囲気に切り替え、その後、再びカソード電極(蒸発源)である金属Vとアノード電極との間にアーク放電を発生させて、前記VN層に重ねて0.1〜1μmの平均層厚でVOM層を蒸着形成した後、前記金属Vとアノード電極との間のアーク放電を停止し、装置内への酸素ガスの供給を停止し、装置内を約10秒間真空引きした後装置内への窒素ガスの供給を開始して雰囲気を窒素雰囲気に切り替え、再びカソード電極(蒸発源)である金属Vとアノード電極との間にアーク放電を発生させて、前記VOM層に重ねて0.1〜1μmの平均層厚でVN層を蒸着形成し、さらに、VOM層とVN層の蒸着形成とを、上記と同じ手順を繰り返し行うことにより、VOM層とVN層の交互積層構造からなる目標全体層厚(1〜5μm)の上部層を蒸着により形成することができること。
(e)上記の下部層、層間密着層及び交互積層構造の上部層で構成された硬質被覆層を蒸着形成してなる被覆工具は、特に粘性および粘着性の高いステンレス鋼や高マンガン鋼、さらに軟鋼などの難削材の切削加工を、高負荷のかかる高切り込みや高送りなどの重切削条件で行っても、下部層である(Ti,Al,Si,Cr)N層がすぐれた高温硬さと耐熱性と高温強度を有し、また、交互積層構造からなる上部層が、VOM層の有するすぐれた表面滑り性と、VN層の有する高温強度とを相兼ね備え、さらに、下部層と上部層とは、すぐれた高温強度を有する層間密着層を介して強固に密着していることから、このような構造からなる硬質被覆層はすぐれた表面滑り性とすぐれた高温強度を具備したものとなり、前記難削材および切粉との間にすぐれた表面滑り性が確保され、難削材および切粉の切刃部表面に対する粘着性および反応性が著しく低減された状態で重切削加工が行われるようになることから、切刃部におけるチッピングの発生がなくなり、長期に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮するようになること。
以上(a)〜(e)に示される研究結果を得たのである。
以上(a)〜(e)に示される研究結果を得たのである。
この発明は、上記の研究結果に基づいてなされたものであって、工具基体の表面に、
(a)1〜5μmの平均層厚を有し、かつ、
組成式:(Ti1−X−Y−ZAlXSiYCrZ)N(ただし、原子比で、Xは0.30〜0.70、Yは0.01〜0.10、Zは0.01〜0.15を示す)を満足するTiとAlとSiとCrの複合窒化物層からなる下部層、
(b)0.1〜1.5μmの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる層間密着層、
(c)0.1〜1μmの一層平均層厚を有する窒化バナジウム層と、0.1〜1μmの一層平均層厚を有する酸化バナジウム層との交互積層構造からなり、かつ、1〜5μmの全体平均層厚を有する上部層、
以上(a)〜(c)で構成された硬質被覆層を形成してなる、難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する被覆工具に特徴を有するものである。
(a)1〜5μmの平均層厚を有し、かつ、
組成式:(Ti1−X−Y−ZAlXSiYCrZ)N(ただし、原子比で、Xは0.30〜0.70、Yは0.01〜0.10、Zは0.01〜0.15を示す)を満足するTiとAlとSiとCrの複合窒化物層からなる下部層、
(b)0.1〜1.5μmの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる層間密着層、
(c)0.1〜1μmの一層平均層厚を有する窒化バナジウム層と、0.1〜1μmの一層平均層厚を有する酸化バナジウム層との交互積層構造からなり、かつ、1〜5μmの全体平均層厚を有する上部層、
以上(a)〜(c)で構成された硬質被覆層を形成してなる、難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する被覆工具に特徴を有するものである。
つぎに、この発明の被覆工具の硬質被覆層の構成層に関し、上記の通りに数値限定した理由を説明する。
(a)下部層の組成および平均層厚
下部層を構成する(Ti1−X−Y−ZAlXSiYCrZ)Nの構成成分であるAl成分には硬質被覆層における高温硬さと耐熱性を向上させ、同Ti成分には高温強度を向上させ、同Si成分には耐熱性を一段と向上させ、また、同Cr成分には高温耐酸化性を向上させるとともに、Ti同様高温強度を向上させる作用があるが、Alの割合を示すX値がTiとSiとCrの合量に占める割合(原子比、以下同じ)で0.30未満になると、相対的にTiの割合が多くなり過ぎて、所定の高温硬さおよび耐熱性を確保することができず、これが耐摩耗性低下の原因となり、一方Alの割合を示すX値が同0.70を越えると、相対的にTiの割合が0.30未満となってしまい、難削材の重切削加工で必要とされる高温強度を確保することができず、チッピングの発生を防止することが困難になることから、X値を0.30〜0.70と定めたものであり、Siの割合を示すY値がAlとTiとCrの合量に占める割合で0.01未満では所望の耐熱性向上効果が得られず、一方同Y値が0.10を超えると、高温強度が急激に低下するようになることから、Y値を0.01〜0.10と定めたものであり、さらに、Crの割合を示すZ値がAlとTiとSiの合量に占める割合で0.01未満であると高温耐酸化性、高温強度の向上は期待できず、一方、Z値が0.15を超えると、所定の高温硬さ、耐熱性を維持することが困難になるため、Y値を0.01〜0.15と定めた。
下部層を構成する(Ti1−X−Y−ZAlXSiYCrZ)Nの構成成分であるAl成分には硬質被覆層における高温硬さと耐熱性を向上させ、同Ti成分には高温強度を向上させ、同Si成分には耐熱性を一段と向上させ、また、同Cr成分には高温耐酸化性を向上させるとともに、Ti同様高温強度を向上させる作用があるが、Alの割合を示すX値がTiとSiとCrの合量に占める割合(原子比、以下同じ)で0.30未満になると、相対的にTiの割合が多くなり過ぎて、所定の高温硬さおよび耐熱性を確保することができず、これが耐摩耗性低下の原因となり、一方Alの割合を示すX値が同0.70を越えると、相対的にTiの割合が0.30未満となってしまい、難削材の重切削加工で必要とされる高温強度を確保することができず、チッピングの発生を防止することが困難になることから、X値を0.30〜0.70と定めたものであり、Siの割合を示すY値がAlとTiとCrの合量に占める割合で0.01未満では所望の耐熱性向上効果が得られず、一方同Y値が0.10を超えると、高温強度が急激に低下するようになることから、Y値を0.01〜0.10と定めたものであり、さらに、Crの割合を示すZ値がAlとTiとSiの合量に占める割合で0.01未満であると高温耐酸化性、高温強度の向上は期待できず、一方、Z値が0.15を超えると、所定の高温硬さ、耐熱性を維持することが困難になるため、Y値を0.01〜0.15と定めた。
また、その平均層厚が1μm未満では、自身のもつすぐれた耐摩耗性を長期に亘って発揮するには不十分であり、一方その平均層厚が5μmを越えると、上記の粘性の高い難削材の重切削加工では切刃部にチッピングが発生し易くなることから、その平均層厚を1〜5μmと定めた。
(b)層間密着層の平均層厚
下部層と上部層の間に介在する層間密着層であるVN層は、それ自体がすぐれた高温強度を備えるとともに、上部層および下部層のいずれとも強固に密着し強固な接合強度を確保する層であるが、その平均層厚が0.1μm未満では、上部層と下部層の間に強固な接合強度を確保することができず、一方その平均層厚が1.5μmを超えると、硬質被覆層の高温硬さが層間密着層部分で劣化し、これが耐摩耗性低下の原因となることから、その平均層厚を0.1〜1.5μmと定めた。
下部層と上部層の間に介在する層間密着層であるVN層は、それ自体がすぐれた高温強度を備えるとともに、上部層および下部層のいずれとも強固に密着し強固な接合強度を確保する層であるが、その平均層厚が0.1μm未満では、上部層と下部層の間に強固な接合強度を確保することができず、一方その平均層厚が1.5μmを超えると、硬質被覆層の高温硬さが層間密着層部分で劣化し、これが耐摩耗性低下の原因となることから、その平均層厚を0.1〜1.5μmと定めた。
(c)上部層の交互積層構造を構成する窒化バナジウム層(VN層)の一層平均層厚
硬質被覆層の上部層の交互積層構造を構成する窒化バナジウム層(VN層)は、すぐれた高温強度を有するとともに、交互積層構造を構成する酸化バナジウム層(VOM層)との密着性にもすぐれ、酸化バナジウム層(VOM層)の不十分な高温強度を補うことにより、硬質被覆層の上部層の高温強度改善に寄与するが、硬質被覆層の上部層の交互積層構造を構成する窒化バナジウム層(VN層)の一層平均層厚が0.1μm未満では、上部層の高温強度の改善が十分ではなく、一方その平均層厚が1μmを越えると、難削材の重切削加工において硬質被覆層の上部層に必要とされる表面滑り性を十分発揮することができなくなり、また、硬質被覆層の高温硬さも低下することとなり、これが耐摩耗性低下の原因となることから、その平均層厚を0.1〜1μmと定めた。
硬質被覆層の上部層の交互積層構造を構成する窒化バナジウム層(VN層)は、すぐれた高温強度を有するとともに、交互積層構造を構成する酸化バナジウム層(VOM層)との密着性にもすぐれ、酸化バナジウム層(VOM層)の不十分な高温強度を補うことにより、硬質被覆層の上部層の高温強度改善に寄与するが、硬質被覆層の上部層の交互積層構造を構成する窒化バナジウム層(VN層)の一層平均層厚が0.1μm未満では、上部層の高温強度の改善が十分ではなく、一方その平均層厚が1μmを越えると、難削材の重切削加工において硬質被覆層の上部層に必要とされる表面滑り性を十分発揮することができなくなり、また、硬質被覆層の高温硬さも低下することとなり、これが耐摩耗性低下の原因となることから、その平均層厚を0.1〜1μmと定めた。
(d)上部層の交互積層構造を構成する酸化バナジウム層(VOM層)の一層平均層厚
硬質被覆層の上部層の交互積層構造を構成する酸化バナジウム層(VOM層)は、すぐれた表面滑り性を有し、上記のとおり被削材(難削材)および切粉に対する粘着性および反応性がきわめて低く、これは切削時に前記被削材が高温加熱された状態でも変わることなく維持されることから、下部層である(Ti,Al,Si,Cr)N層を前記高温加熱された被削材および切粉から保護し、これのチッピング発生を抑制する作用を発揮するが、その平均層厚が0.1μm未満では、前記作用に所望の効果が得られず、一方その平均層厚が1μmを越えて厚くなり過ぎると、窒化バナジウム層(VN層)との交互積層構造により高温強度を補強したとしてもチッピングが発生し易くなることから、その平均層厚を0.1〜1μmと定めた。
硬質被覆層の上部層の交互積層構造を構成する酸化バナジウム層(VOM層)は、すぐれた表面滑り性を有し、上記のとおり被削材(難削材)および切粉に対する粘着性および反応性がきわめて低く、これは切削時に前記被削材が高温加熱された状態でも変わることなく維持されることから、下部層である(Ti,Al,Si,Cr)N層を前記高温加熱された被削材および切粉から保護し、これのチッピング発生を抑制する作用を発揮するが、その平均層厚が0.1μm未満では、前記作用に所望の効果が得られず、一方その平均層厚が1μmを越えて厚くなり過ぎると、窒化バナジウム層(VN層)との交互積層構造により高温強度を補強したとしてもチッピングが発生し易くなることから、その平均層厚を0.1〜1μmと定めた。
(e)上部層の全体平均層厚
上部層の全体平均層厚が1μm未満では、難削材の重切削加工において、硬質被覆層がすぐれた表面滑り性を十分発揮することができないため、被削材(難削材)および切粉の切刃部表面に対する粘着性・反応性低減効果を期待することはできず、一方、その全体平均層厚が5μmを超えると硬質被覆層の高温硬さが急激に低下し耐摩耗性が不十分になるため、その全体平均層厚を1〜5μmと定めた。
上部層の全体平均層厚が1μm未満では、難削材の重切削加工において、硬質被覆層がすぐれた表面滑り性を十分発揮することができないため、被削材(難削材)および切粉の切刃部表面に対する粘着性・反応性低減効果を期待することはできず、一方、その全体平均層厚が5μmを超えると硬質被覆層の高温硬さが急激に低下し耐摩耗性が不十分になるため、その全体平均層厚を1〜5μmと定めた。
この発明の被覆工具は、硬質被覆層を構成する下部層の(Ti,Al,Si,Cr)N層が、すぐれた高温硬さ、高温強度、耐熱性、高温耐酸化性を有し、また、交互積層構造からなる上部層が、VOM層の有するすぐれた表面滑り性とVN層の有するすぐれた高温強度とを相兼ね備え、さらに、下部層と上部層とは、すぐれた高温強度を有する層間密着層を介して強固に密着していることから、硬質被覆層は全体として、すぐれた高温硬さ、耐熱性、高温強度および表面滑り性を備え、その結果、特に粘性および粘着性の高いステンレス鋼や高マンガン鋼、さらに軟鋼などの難削材の高負荷のかかる重切削加工であっても、すぐれた耐チッピング性を示し、長期に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮するものである。
つぎに、この発明の被覆工具を実施例により具体的に説明する。
原料粉末として、いずれも1〜3μmの平均粒径を有するWC粉末、TiC粉末、ZrC粉末、VC粉末、TaC粉末、NbC粉末、Cr3C2粉末、TiN粉末、TaN粉末、およびCo粉末を用意し、これら原料粉末を、表1に示される配合組成に配合し、ボールミルで72時間湿式混合し、乾燥した後、100MPa の圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を6Paの真空中、温度:1400℃に1時間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃部分にR:0.03のホーニング加工を施してISO規格・CNMG120408のチップ形状をもったWC基超硬合金製の工具基体A−1〜A−10を形成した。
また、原料粉末として、いずれも0.5〜2μmの平均粒径を有するTiCN(質量比で、TiC/TiN=50/50)粉末、Mo2C粉末、ZrC粉末、NbC粉末、TaC粉末、WC粉末、Co粉末、およびNi粉末を用意し、これら原料粉末を、表2に示される配合組成に配合し、ボールミルで24時間湿式混合し、乾燥した後、100MPaの圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を2kPaの窒素雰囲気中、温度:1500℃に1時間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃部分にR:0.03のホーニング加工を施してISO規格・CNMG120408のチップ形状をもったTiCN基サーメット製の工具基体B−1〜B−6を形成した。
(a)ついで、上記の工具基体A−1〜A−10およびB−1〜B−6のそれぞれを、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、図1に示されるアークイオンプレーティング装置内の回転テーブル上の中心軸から半径方向に所定距離離れた位置に外周部にそって装着し、前記回転テーブルを挟んで相対向する両側にカソード電極(蒸発源)を配置し、その一方にはカソード電極(蒸発源)として金属Vを配置し、また、その他方にはカソード電極(蒸発源)として所定組成の下部層形成用のTi−Al−Si−Cr合金を配置し、
(b)まず、装置内を排気して0.1Pa以下の真空に保持しながら、ヒーターで装置内を500℃に加熱した後、前記回転テーブル上で自転しながら回転する工具基体に−1000Vの直流バイアス電圧を印加し、かつカソード電極の前記下部層形成用Ti−Al−Si−Cr合金とアノード電極との間に100Aの電流を流してアーク放電を発生させ、もって工具基体表面を前記Ti−Al−Si−Cr合金によってボンバード洗浄し、
(c)次に、装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して4Paの反応雰囲気とすると共に、前記回転テーブル上で自転しながら回転する工具基体に−100Vの直流バイアス電圧を印加し、かつカソード電極の前記Ti−Al−Si−Cr合金とアノード電極との間に120Aの電流を流してアーク放電を発生させ、前記工具基体の表面に、表3、表4に示される目標組成、目標層厚の下部層としての(Ti,Al,Si,Cr)N層を1〜5μmの平均層厚で蒸着形成した後、前記Ti−Al−Si−Cr合金のカソード電極(蒸発源)とアノード電極との間のアーク放電を停止し、
(d)引き続いて装置内雰囲気を1.5Paの窒素雰囲気に保持したままで、カソード電極(蒸発源)である金属Vとアノード電極との間に120Aの電流を流してアーク放電を発生させて、表3、表4に示される目標層厚の層間密着層としてVN層を0.1〜1.5μmの平均層厚で蒸着形成した後、前記金属Vとアノード電極との間のアーク放電を停止し、同時に装置内への窒素ガスの供給を停止し、装置内を約10秒間真空引きし、
(e)その後装置内への酸素ガスの供給を開始して蒸着装置内の雰囲気を0.2Paの酸素雰囲気に切り替え、再びカソード電極(蒸発源)である金属Vとアノード電極との間に120Aの電流を流してアーク放電を発生させ、前記層間密着層上に、同じく表3、表4に示される一層目標層厚のVOM層を蒸着形成した後、前記金属Vとアノード電極との間のアーク放電を停止し、装置内への酸素ガスの供給を停止し、装置内を約10秒間真空引きし
(f)その後装置内への窒素ガスの供給を開始して蒸着装置内の雰囲気を1.5Paの窒素雰囲気に保持したままで、カソード電極(蒸発源)である金属Vとアノード電極との間に120Aの電流を流してアーク放電を発生させて、もって表3、表4に示される一層目標層厚のVN層を蒸着形成した後、前記金属Vとアノード電極との間のアーク放電を停止し、同時に装置内への窒素ガスの供給を停止し、装置内を約10秒間真空引きし、
(g)上記手順(e)、(f)を繰り返し、表3、表4に示されるVN層とVOM層の交互積層構造からなる目標全体層厚の上部層を蒸着形成する。
上記(a)〜(g)により硬質被覆層を蒸着形成し、本発明被覆工具としての本発明表面被覆スローアウエイチップ(以下、本発明被覆チップと云う)1〜16をそれぞれ製造した。
(b)まず、装置内を排気して0.1Pa以下の真空に保持しながら、ヒーターで装置内を500℃に加熱した後、前記回転テーブル上で自転しながら回転する工具基体に−1000Vの直流バイアス電圧を印加し、かつカソード電極の前記下部層形成用Ti−Al−Si−Cr合金とアノード電極との間に100Aの電流を流してアーク放電を発生させ、もって工具基体表面を前記Ti−Al−Si−Cr合金によってボンバード洗浄し、
(c)次に、装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して4Paの反応雰囲気とすると共に、前記回転テーブル上で自転しながら回転する工具基体に−100Vの直流バイアス電圧を印加し、かつカソード電極の前記Ti−Al−Si−Cr合金とアノード電極との間に120Aの電流を流してアーク放電を発生させ、前記工具基体の表面に、表3、表4に示される目標組成、目標層厚の下部層としての(Ti,Al,Si,Cr)N層を1〜5μmの平均層厚で蒸着形成した後、前記Ti−Al−Si−Cr合金のカソード電極(蒸発源)とアノード電極との間のアーク放電を停止し、
(d)引き続いて装置内雰囲気を1.5Paの窒素雰囲気に保持したままで、カソード電極(蒸発源)である金属Vとアノード電極との間に120Aの電流を流してアーク放電を発生させて、表3、表4に示される目標層厚の層間密着層としてVN層を0.1〜1.5μmの平均層厚で蒸着形成した後、前記金属Vとアノード電極との間のアーク放電を停止し、同時に装置内への窒素ガスの供給を停止し、装置内を約10秒間真空引きし、
(e)その後装置内への酸素ガスの供給を開始して蒸着装置内の雰囲気を0.2Paの酸素雰囲気に切り替え、再びカソード電極(蒸発源)である金属Vとアノード電極との間に120Aの電流を流してアーク放電を発生させ、前記層間密着層上に、同じく表3、表4に示される一層目標層厚のVOM層を蒸着形成した後、前記金属Vとアノード電極との間のアーク放電を停止し、装置内への酸素ガスの供給を停止し、装置内を約10秒間真空引きし
(f)その後装置内への窒素ガスの供給を開始して蒸着装置内の雰囲気を1.5Paの窒素雰囲気に保持したままで、カソード電極(蒸発源)である金属Vとアノード電極との間に120Aの電流を流してアーク放電を発生させて、もって表3、表4に示される一層目標層厚のVN層を蒸着形成した後、前記金属Vとアノード電極との間のアーク放電を停止し、同時に装置内への窒素ガスの供給を停止し、装置内を約10秒間真空引きし、
(g)上記手順(e)、(f)を繰り返し、表3、表4に示されるVN層とVOM層の交互積層構造からなる目標全体層厚の上部層を蒸着形成する。
上記(a)〜(g)により硬質被覆層を蒸着形成し、本発明被覆工具としての本発明表面被覆スローアウエイチップ(以下、本発明被覆チップと云う)1〜16をそれぞれ製造した。
また、比較の目的で、これら工具基体A−1〜A−10およびB−1〜B−6を、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、それぞれ図2に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、カソード電極(蒸発源)として種々の組成をもったTi−Al−Si−Cr合金を装着し、まず、装置内を排気して0.1Pa以下の真空に保持しながら、ヒーターで装置内を500℃に加熱した後、前記工具基体に−1000Vの直流バイアス電圧を印加し、かつカソード電極の前記Ti−Al−Si−Cr合金とアノード電極との間に100Aの電流を流してアーク放電を発生させ、もって工具基体表面を前記Ti−Al−Si−Cr合金でボンバード洗浄し、ついで装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して3Paの反応雰囲気とすると共に、前記工具基体に印加するバイアス電圧を−100Vに下げて、前記Ti−Al−Si−Cr合金のカソード電極とアノード電極との間にアーク放電を発生させ、もって前記工具基体A−1〜A−10およびB−1〜B−6のそれぞれの表面に、表5、表6に示される目標組成および目標層厚の(Ti,Al,Si,Cr)N層を硬質被覆層として蒸着形成することにより、従来被覆工具としての従来表面被覆スローアウエイチップ(以下、従来被覆チップと云う)1〜16をそれぞれ製造した。
つぎに、上記の各種の被覆チップを、いずれも工具鋼製バイトの先端部に固定治具にてネジ止めした状態で、本発明被覆チップ1〜16および従来被覆チップ1〜16について、
被削材:JIS・SCMnH1の長さ方向等間隔4本縦溝入り丸棒、
切削速度: 260 m/min.、
切り込み: 4 mm、
送り: 0.25 mm/rev.、
切削時間: 5 分、
の条件(切削条件A)での高マンガン鋼の乾式断続高切り込み切削加工試験(通常の切り込みは2mm)、
被削材:JIS・SUS304の丸棒、
切削速度: 250 m/min.、
切り込み: 3 mm、
送り: 0.3 mm/rev.、
切削時間: 10 分、
の条件(切削条件B)でのステンレス鋼の乾式連続高切り込み切削加工試験(通常の切り込みは1.5mm)、
被削材:JIS・S15Cの長さ方向等間隔4本縦溝入り丸棒、
切削速度: 300 m/min.、
切り込み: 2.5 mm、
送り: 0.5 mm/rev.、
切削時間: 5 分、
の条件(切削条件C)での軟鋼の乾式断続高送り切削加工試験(通常の送りは0.25mm/rev.)、を行い、いずれの切削加工試験でも切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。この測定結果を表7に示した。
被削材:JIS・SCMnH1の長さ方向等間隔4本縦溝入り丸棒、
切削速度: 260 m/min.、
切り込み: 4 mm、
送り: 0.25 mm/rev.、
切削時間: 5 分、
の条件(切削条件A)での高マンガン鋼の乾式断続高切り込み切削加工試験(通常の切り込みは2mm)、
被削材:JIS・SUS304の丸棒、
切削速度: 250 m/min.、
切り込み: 3 mm、
送り: 0.3 mm/rev.、
切削時間: 10 分、
の条件(切削条件B)でのステンレス鋼の乾式連続高切り込み切削加工試験(通常の切り込みは1.5mm)、
被削材:JIS・S15Cの長さ方向等間隔4本縦溝入り丸棒、
切削速度: 300 m/min.、
切り込み: 2.5 mm、
送り: 0.5 mm/rev.、
切削時間: 5 分、
の条件(切削条件C)での軟鋼の乾式断続高送り切削加工試験(通常の送りは0.25mm/rev.)、を行い、いずれの切削加工試験でも切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。この測定結果を表7に示した。
原料粉末として、平均粒径:5.5μmを有する中粗粒WC粉末、同0.8μmの微粒WC粉末、同1.3μmのTaC粉末、同1.2μmのNbC粉末、同1.2μmのZrC粉末、同2.3μmのCr3C2粉末、同1.5μmのVC粉末、同1.0μmの(Ti,W)C[質量比で、TiC/WC=50/50]粉末、および同1.8μmのCo粉末を用意し、これら原料粉末をそれぞれ表8に示される配合組成に配合し、さらにワックスを加えてアセトン中で24時間ボールミル混合し、減圧乾燥した後、100MPaの圧力で所定形状の各種の圧粉体にプレス成形し、これらの圧粉体を、6Paの真空雰囲気中、7℃/分の昇温速度で1370〜1470℃の範囲内の所定の温度に昇温し、この温度に1時間保持後、炉冷の条件で焼結して、直径が8mm、13mm、および26mmの3種の工具基体形成用丸棒焼結体を形成し、さらに前記の3種の丸棒焼結体から、研削加工にて、表8に示される組合せで、切刃部の直径×長さがそれぞれ6mm×13mm、10mm×22mm、および20mm×45mmの寸法、並びにいずれもねじれ角30度の4枚刃スクエア形状をもったWC基超硬合金製の工具基体(エンドミル)C−1〜C−8をそれぞれ製造した。
ついで、これらの工具基体(エンドミル)C−1〜C−8の表面をアセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図1に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例1と同一の条件で、表9に示される目標組成および目標層厚の(Ti,Al,Si,Cr)N層からなる下部層、同じく表9に示される目標層厚の層間密着層、および、同じく表9に示される一層目標層厚のVN層とVOM層との交互積層構造からなる(目標全体層厚の)上部層で構成された硬質被覆層を蒸着形成することにより、本発明被覆工具としての本発明表面被覆超硬製エンドミル(以下、本発明被覆エンドミルと云う)1〜8をそれぞれ製造した。
また、比較の目的で、上記の工具基体(エンドミル)C−1〜C−8の表面をアセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図2に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例1と同一の条件で、表10に示される目標組成および目標層厚の(Ti,Al,Si,Cr)N層からなる硬質被覆層を蒸着することにより、従来被覆工具としての従来表面被覆超硬製エンドミル(以下、従来被覆エンドミルと云う)1〜8をそれぞれ製造した。
つぎに、上記本発明被覆エンドミル1〜8および従来被覆エンドミル1〜8のうち、
本発明被覆エンドミル1〜3および従来被覆エンドミル1〜3については、
被削材−平面寸法:100mm×250mm、厚さ:50mmのJIS・SCMnH1の板材、
切削速度: 80 m/min.、
溝深さ(切り込み): 5 mm、
テーブル送り: 200 mm/分、
の条件での高マンガン鋼の乾式高切り込み溝切削加工試験(通常の溝深さは3mm)、
本発明被覆エンドミル4〜6および従来被覆エンドミル4〜6については、
被削材−平面寸法:100mm×250mm、厚さ:50mmのJIS・SUS304の板材、
切削速度: 90 m/min.、
溝深さ(切り込み): 4 mm、
テーブル送り: 350 mm/分、
の条件でのステンレス鋼の乾式高送り溝切削加工試験(通常のテーブル送りは180mm/分)、
本発明被覆エンドミル7,8および従来被覆エンドミル7,8については、
被削材−平面寸法:100mm×250mm、厚さ:50mmのJIS・S15Cの板材、
切削速度: 70 m/min.、
溝深さ(切り込み): 15 mm、
テーブル送り: 180 mm/分、
の条件での軟鋼の乾式高切り込み溝切削加工試験(通常の溝深さは10mm)、
をそれぞれ行い、いずれの溝切削加工試験でも切刃部の外周刃の逃げ面摩耗幅が使用寿命の目安とされる0.1mmに至るまでの切削溝長を測定した。この測定結果を表9、表10にそれぞれ示した。
本発明被覆エンドミル1〜3および従来被覆エンドミル1〜3については、
被削材−平面寸法:100mm×250mm、厚さ:50mmのJIS・SCMnH1の板材、
切削速度: 80 m/min.、
溝深さ(切り込み): 5 mm、
テーブル送り: 200 mm/分、
の条件での高マンガン鋼の乾式高切り込み溝切削加工試験(通常の溝深さは3mm)、
本発明被覆エンドミル4〜6および従来被覆エンドミル4〜6については、
被削材−平面寸法:100mm×250mm、厚さ:50mmのJIS・SUS304の板材、
切削速度: 90 m/min.、
溝深さ(切り込み): 4 mm、
テーブル送り: 350 mm/分、
の条件でのステンレス鋼の乾式高送り溝切削加工試験(通常のテーブル送りは180mm/分)、
本発明被覆エンドミル7,8および従来被覆エンドミル7,8については、
被削材−平面寸法:100mm×250mm、厚さ:50mmのJIS・S15Cの板材、
切削速度: 70 m/min.、
溝深さ(切り込み): 15 mm、
テーブル送り: 180 mm/分、
の条件での軟鋼の乾式高切り込み溝切削加工試験(通常の溝深さは10mm)、
をそれぞれ行い、いずれの溝切削加工試験でも切刃部の外周刃の逃げ面摩耗幅が使用寿命の目安とされる0.1mmに至るまでの切削溝長を測定した。この測定結果を表9、表10にそれぞれ示した。
上記の実施例2で製造した直径が8mm(工具基体C−1〜C−3形成用)、13mm(工具基体C−4〜C−6形成用)、および26mm(工具基体C−7、C−8形成用)の3種の丸棒焼結体を用い、この3種の丸棒焼結体から、研削加工にて、溝形成部の直径×長さがそれぞれ4mm×13mm(工具基体D−1〜D−3)、8mm×22mm(工具基体D−4〜D−6)、および16mm×45mm(工具基体D−7、D−8)の寸法、並びにいずれもねじれ角30度の2枚刃形状をもったWC基超硬合金製の工具基体(ドリル)D−1〜D−8をそれぞれ製造した。
ついで、これらの工具基体(ドリル)D−1〜D−8の切刃に、ホーニングを施し、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図1に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例1と同一の条件で、表11に示される目標組成および目標層厚の(Ti,Al,Si,Cr)N層からなる下部層、同じく表11に示される目標層厚の層間密着層、および、同じく表11に示される一層目標層厚のVN層とVOM層との交互積層構造からなる(目標全体層厚の)上部層で構成された硬質被覆層を蒸着形成することにより、本発明被覆工具としての本発明表面被覆超硬製ドリル(以下、本発明被覆ドリルと云う)1〜8をそれぞれ製造した。
また、比較の目的で、上記の工具基体(ドリル)D−1〜D−8の表面に、ホーニングを施し、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図2に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例1と同一の条件で、表12に示される目標組成および目標層厚を有する(Ti,Al,Si,Cr)N層からなる硬質被覆層を蒸着形成することにより、従来被覆工具としての従来表面被覆超硬製ドリル(以下、従来被覆ドリルと云う)1〜8をそれぞれ製造した。
つぎに、上記本発明被覆ドリル1〜8および従来被覆ドリル1〜8のうち、本発明被覆ドリル1〜3および従来被覆ドリル1〜3については、
被削材−平面寸法:100mm×250mm、厚さ:50mmのJIS・S15Cの板材、
切削速度: 80 m/min.、
送り: 0.40 mm/rev、
穴深さ: 8 mm、
の条件での軟鋼の湿式高送り穴あけ切削加工試験(通常の送りは0.2mm/rev)、
本発明被覆ドリル4〜6および従来被覆ドリル4〜6については、
被削材−平面寸法:100mm×250mm、厚さ:50mmのJIS・SCMnH1の板材、
切削速度: 95 m/min.、
送り: 0.45 mm/rev、
穴深さ: 20 mm、
の条件での高マンガン鋼の湿式高送り穴あけ切削加工試験(通常の送りは0.25mm/rev)、
本発明被覆ドリル7,8および従来被覆ドリル7,8については、
被削材−平面寸法:100mm×250mm、厚さ:50mmのJIS・SUS304の板材、
切削速度: 140 m/min.、
送り: 0.50 mm/rev、
穴深さ: 25 mm、
の条件でのステンレスの湿式高送り穴あけ切削加工試験(通常の送りは0.30mm/rev)、
をそれぞれ行い、いずれの湿式高速穴あけ切削加工試験(水溶性切削油使用)でも先端切刃面の逃げ面摩耗幅が0.3mmに至るまでの穴あけ加工数を測定した。この測定結果を表11、表12にそれぞれ示した。
被削材−平面寸法:100mm×250mm、厚さ:50mmのJIS・S15Cの板材、
切削速度: 80 m/min.、
送り: 0.40 mm/rev、
穴深さ: 8 mm、
の条件での軟鋼の湿式高送り穴あけ切削加工試験(通常の送りは0.2mm/rev)、
本発明被覆ドリル4〜6および従来被覆ドリル4〜6については、
被削材−平面寸法:100mm×250mm、厚さ:50mmのJIS・SCMnH1の板材、
切削速度: 95 m/min.、
送り: 0.45 mm/rev、
穴深さ: 20 mm、
の条件での高マンガン鋼の湿式高送り穴あけ切削加工試験(通常の送りは0.25mm/rev)、
本発明被覆ドリル7,8および従来被覆ドリル7,8については、
被削材−平面寸法:100mm×250mm、厚さ:50mmのJIS・SUS304の板材、
切削速度: 140 m/min.、
送り: 0.50 mm/rev、
穴深さ: 25 mm、
の条件でのステンレスの湿式高送り穴あけ切削加工試験(通常の送りは0.30mm/rev)、
をそれぞれ行い、いずれの湿式高速穴あけ切削加工試験(水溶性切削油使用)でも先端切刃面の逃げ面摩耗幅が0.3mmに至るまでの穴あけ加工数を測定した。この測定結果を表11、表12にそれぞれ示した。
この結果得られた本発明被覆工具としての本発明被覆チップ1〜16、本発明被覆エンドミル1〜8、および本発明被覆ドリル1〜8の硬質被覆層を構成する(Ti,Al,Si,Cr)N層(下部層)の組成、並びに、従来被覆工具としての従来被覆チップ1〜16、従来被覆エンドミル1〜8、および従来被覆ドリル1〜8の(Ti,Al,Si,Cr)N層からなる硬質被覆層の組成を、透過型電子顕微鏡を用いてのエネルギー分散X線分析法により測定したところ、それぞれ目標組成と実質的に同じ組成を示した。
さらに、本発明被覆工具の硬質被覆層の上部層を構成するVOM層の組成を同じく透過型電子顕微鏡を用いてのエネルギー分散X線分析法により測定したところ、組成式で、VOを主体とし、これにV2O3およびVO2などを含有する混合組織を示した。
また、上記の硬質被覆層の下部層の平均層厚、層間密着層の平均層圧、VN層およびVOM層の一層平均層厚、上部層の全体層厚を走査型電子顕微鏡を用いて断面測定したところ、いずれも目標層厚と実質的に同じ平均値(5ヶ所の平均値)を示した。
表7、9〜12に示される結果から、本発明被覆工具は、いずれも特に粘性および粘着性の高いステンレス鋼や高マンガン鋼、さらに軟鋼などの難削材の高切り込みや高送りなどの重切削条件での切削加工でも、硬質被覆層の下部層である(Ti,Al,Si,Cr)N層が工具基体表面に強固に密着接合した状態で、すぐれた高温硬さ、耐熱性および高温強度を有し、かつVN層とVOM層の交互積層構造からなる上部層によって、前記被削材および切粉との間のすぐれた表面滑り性が確保されると同時に上部層全体としての高温強度の向上が図られ、さらに、上部層と下部層とがすぐれた高温強度を有する層間密着層によって強固に接合されていることによって、チッピングの発生なく、長期に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮する。これに対して、硬質被覆層が(Ti,Al,Si,Cr)N層で構成された従来被覆工具においては、いずれも前記難削材の重切削加工では被削材(難削材)および切粉と前記硬質被覆層との粘着性および反応性が一段と高くなり、かつ、前記硬質被覆層の工具基体表面に対する密着性も不十分であるために、切刃部にチッピングが発生するようになり、比較的短時間で使用寿命に至ることが明らかである。
上述のように、この発明の被覆工具は、一般鋼や普通鋳鉄などの切削加工は勿論のこと、特に上記の難削材の重切削加工でもすぐれた耐チッピング性を発揮し、長期に亘ってすぐれた切削性能を示すものであるから、切削加工装置のFA化、並びに切削加工の省力化および省エネ化、さらに低コスト化に十分満足に対応できるものである。
Claims (1)
- 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、
(a)1〜5μmの平均層厚を有し、かつ、
組成式:(Ti1−X−Y−ZAlXSiYCrZ)N(ただし、原子比で、Xは0.30〜0.70、Yは0.01〜0.10、Zは0.01〜0.15を示す)を満足するTiとAlとSiとCrの複合窒化物層からなる下部層、
(b)0.1〜1.5μmの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる層間密着層、
(c)0.1〜1μmの一層平均層厚を有する窒化バナジウム層と、0.1〜1μmの一層平均層厚を有する酸化バナジウム層との交互積層構造からなり、かつ、1〜5μmの全体平均層厚を有する上部層、
以上(a)〜(c)で構成された硬質被覆層を形成してなる、難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021006739A1 (en) | 2019-07-11 | 2021-01-14 | Knight Acquisition B.V. | Saw blade or other cutting tool comprising a coating |
NL2023484B1 (en) * | 2019-07-11 | 2021-02-02 | Knight Acquisition B V | Saw blade or other cutting tool comprising a coating |
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2005
- 2005-11-30 JP JP2005344816A patent/JP2007144595A/ja not_active Withdrawn
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