JP2007141987A - Electronic component and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To solve a problem that an existing electronic component has a limitation in reduction of height of the rear side because a substrate is used as its structural element. <P>SOLUTION: The electronic component comprises a protector 108 formed of resin, coil-shape internal electrodes 106a, 106b formed in the protector; external electrodes 100a, 100b connected within the protector 108 formed of resin to the internal electrodes 106a and 106b, and is partly exposed from the protector 108, and a charge preventing section 102 formed on the front surface of the protector 108. The electronic component can be prevented from charging with the charge preventing section 102. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、樹脂製の保護部の内部に外部電極が形成されてなる電子部品とその製造方法に関するものである。   The present invention relates to an electronic component in which an external electrode is formed inside a protective portion made of resin, and a method for manufacturing the same.

従来より電子部品は、基板の上に形成されていた。   Conventionally, electronic components have been formed on a substrate.

図8を用いて、従来の電子部品について、平面コイルを例にして説明する。図8は平面コイルの斜視図であり、アルミナ基板等の基板2の上には、コイル状(もしくは螺旋状)の配線4が形成され、そして絶縁性樹脂よりなる保護部6で覆われている。また8は外部電極であり、配線4の両端に接続されている。そして外部電極8を介して、プリント配線基板の上に実装される。   A conventional electronic component will be described using a planar coil as an example with reference to FIG. FIG. 8 is a perspective view of a planar coil. A coiled (or spiral) wiring 4 is formed on a substrate 2 such as an alumina substrate, and is covered with a protective portion 6 made of an insulating resin. . Reference numeral 8 denotes an external electrode connected to both ends of the wiring 4. Then, it is mounted on the printed wiring board via the external electrode 8.

次に電子部品の小型化について説明する。図9は電子部品の寸法を示す図である。   Next, downsizing of electronic parts will be described. FIG. 9 is a diagram showing dimensions of the electronic component.

図9(A)は0402と呼ばれる電子部品の外形寸法について説明する図である。図9(A)において、電子部品10の外形寸法は、X方向に0.2mm、Y方向に0.4mm、Z方向に0.2mmである。こうした形状は一般的に0402(もしくは0.4mm×0.2mm)と呼ばれる。なお図9(A)において、電子部品10における外部電極や内部電極は図示していない。   FIG. 9A is a diagram for explaining the external dimensions of an electronic component called 0402. In FIG. 9A, the external dimensions of the electronic component 10 are 0.2 mm in the X direction, 0.4 mm in the Y direction, and 0.2 mm in the Z direction. Such a shape is generally called 0402 (or 0.4 mm × 0.2 mm). In FIG. 9A, external electrodes and internal electrodes in the electronic component 10 are not shown.

図9(B)は、電子部品の製品形状とその面積等の比較グラフである。図9(B)において、X軸は製品形状であり、3216(3.2mm×1.6mm)、20125(2.0mm×1.25mm)、1005(1.0mm×0.5mm)、0603(0.6mm×0.3mm)、0402(0.4mm×0.2mm)と、右に行くほど小さくなっている。Y軸は製品の面積(製品の6面の合計面積、単位はmm、○と点線で表示)、重量(製品の密度を1g/ccとした場合の重量、単位はmg、◇と一点鎖線で表示)、面積/重量の比率(△と実線で表示)である。図9(B)に示すように、製品形状が小さくなるほど、”面積/重量”のグラフが急激に立ち上がることが判る。 FIG. 9B is a comparison graph of the product shape and area of the electronic component. In FIG. 9B, the X axis is the product shape, 3216 (3.2 mm × 1.6 mm), 20125 (2.0 mm × 1.25 mm), 1005 (1.0 mm × 0.5 mm), 0603 ( 0.6mm × 0.3mm) and 0402 (0.4mm × 0.2mm), which become smaller toward the right. Y-axis is product area (total area of 6 products, unit is mm 2 , indicated by ○ and dotted line), weight (weight when product density is 1 g / cc, unit is mg, ◇ and dashed line And area / weight ratio (indicated by Δ and solid line). As shown in FIG. 9B, it can be seen that the smaller the product shape, the more rapidly the “area / weight” graph rises.

例えばプラスチックの1mm未満の粉が静電気の影響を受けて色々な面に吸着するように、樹脂を主体とした電子部品の場合、静電気の影響を受けやすくなる。   For example, in the case of an electronic component mainly composed of a resin, a plastic powder less than 1 mm is easily affected by static electricity, so that the powder is adsorbed to various surfaces under the influence of static electricity.

例えば積層セラミックコンデンサのようなセラミック系の電子部品は、本発明のような樹脂を主体とした電子部品に比べ、その比重が3〜10程度と大きいため静電気による凝集は発生しにくい。また角チップ抵抗器や図9に示した平面コイルの場合も、基板2を構成要素として形成された電子部品であり、基板が重いため静電気の影響を受けにくい。   For example, a ceramic electronic component such as a multilayer ceramic capacitor has a specific gravity as large as about 3 to 10 as compared with an electronic component mainly composed of a resin as in the present invention, so that aggregation due to static electricity hardly occurs. Also, the square chip resistor and the planar coil shown in FIG. 9 are electronic components formed with the substrate 2 as a constituent element, and are not easily affected by static electricity because the substrate is heavy.

一方、樹脂を主体とした電子部品は、樹脂の比重が1程度と小さく、それ自体が軽い。更にその形状に上下、左右での密度差や比重差が少ないこともあり、チップサイズが小さくなるほど静電気の影響を受けやすくなる。   On the other hand, an electronic component mainly composed of a resin has a specific gravity of the resin as small as about 1 and itself is light. Furthermore, the shape may have less difference in density and specific gravity between the upper and lower sides and the right and left sides. The smaller the chip size, the more susceptible to static electricity.

なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
特開平9−270355号公報
As prior art document information related to the invention of this application, for example, Patent Document 1 is known.
JP-A-9-270355

しかしながら、前記従来の電子部品では、その構成要素として基板2を用いていたため、電子部品の軽薄短小化のニーズに対して、対応しきれないという課題を有していた。   However, since the conventional electronic component uses the substrate 2 as a constituent element, it has a problem that it cannot fully meet the needs for light and thin electronic components.

そこで本発明は従来の課題を解決するものであり、電子部品の構成要素から基板を省くことで低背化を実現する電子部品を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to solve the conventional problems and to provide an electronic component that realizes a reduction in height by omitting a substrate from the components of the electronic component.

前記従来の課題を解決するために、本発明は、基板を省くことで部品の小型化、低背化を実現するものである。更に基板を省いて小型化、低背化を実現した電子部品に対する静電気の影響も低減するものである。   In order to solve the above-described conventional problems, the present invention realizes a reduction in size and height of parts by omitting a substrate. Furthermore, the influence of static electricity on the electronic components that have been reduced in size and height by omitting the substrate is also reduced.

本発明の電子部品及びその製造方法は、基板を省くことでより低背化、小型化すると共に、新たに静電気対策構造を導入することで、その取扱い性を大幅に向上できる。   The electronic component and the manufacturing method thereof according to the present invention can be reduced in height and size by omitting the substrate, and can be greatly improved in handling by introducing a new anti-static structure.

(実施の形態1)
以下、本発明の実施の形態1における電子部品について、図面を参照しながら説明する。
(Embodiment 1)
Hereinafter, the electronic component according to Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は実施の形態1における電子部品を説明する図であり、100a、100bは外部電極部、102は帯電防止部、104a、104bは矢印、106a、106bは内部電極部、108は保護部である。図1(A)は外観図、図1(B)は図1(A)の裏面から見た外観図、図1(C)は図1(A)の矢印104aにおける断面図、図1(D)は図1(A)の矢印104bにおける断面図である。   FIG. 1 is a diagram for explaining an electronic component according to the first embodiment. 100a and 100b are external electrode portions, 102 is an antistatic portion, 104a and 104b are arrows, 106a and 106b are internal electrode portions, and 108 is a protective portion. is there. 1A is an external view, FIG. 1B is an external view seen from the back side of FIG. 1A, FIG. 1C is a cross-sectional view taken along an arrow 104a in FIG. 1A, and FIG. ) Is a cross-sectional view taken along arrow 104b in FIG.

更に詳しく説明する。図1(A)は実施の形態1における電子部品の外観図である。図1において、保護部108は絶縁性の樹脂で構成されており、その内部には内部電極部106a、106b(図1(A)、図1(B)では見えない)が3次元的なコイル状の配線として形成されている。そして内部電極部106a、106bの両端はそれぞれ、外部電極部100a、100bに接続される。また図1(A)において、帯電防止部102は、保護部108の上(もしくは表面)で、外部電極部100a、100bの間に形成されている。   This will be described in more detail. FIG. 1A is an external view of an electronic component in Embodiment 1. FIG. In FIG. 1, the protective part 108 is made of an insulating resin, and internal electrode parts 106a and 106b (not visible in FIGS. 1A and 1B) are three-dimensional coils. It is formed as a wiring. Both ends of the internal electrode portions 106a and 106b are connected to the external electrode portions 100a and 100b, respectively. In FIG. 1A, the antistatic portion 102 is formed between the external electrode portions 100a and 100b on the protective portion 108 (or the surface).

図1(B)は、図1(A)のサンプルを上下反転させた様子を示す外観図である。図1(B)において、複数の外部電極部100a、100bの間に、保護部108と帯電防止部102が形成されていることが判る。   FIG. 1B is an external view showing a state in which the sample of FIG. In FIG. 1B, it can be seen that the protective portion 108 and the antistatic portion 102 are formed between the plurality of external electrode portions 100a and 100b.

図1(C)は、図1(A)の矢印104aにおける断面図である。図1(C)において、保護部108の内部で、内部電極部106bは3次元的なコイル状をしており、その一端が内部電極部106aとして外部電極部100a、100bに接続され、所定のコイル部品(もしくはインダクター部品)を構成している。そして、内部電極部106a、106bからなる3次元的なコイルパターンは、樹脂よりなる保護部108に保護されている。また外部電極部100a、100bはその一部が保護部108に埋め込まれ、一端が保護部108から外部に露出し、半田付け等の実装に対応することとなる。そして帯電防止部102は、保護部108の表面に(もしくは保護部108より露出するように)形成されている。   FIG. 1C is a cross-sectional view taken along arrow 104a in FIG. In FIG. 1C, the internal electrode portion 106b has a three-dimensional coil shape inside the protective portion 108, and one end of the internal electrode portion 106b is connected to the external electrode portions 100a and 100b as the internal electrode portion 106a. Coil parts (or inductor parts) are configured. And the three-dimensional coil pattern which consists of internal electrode part 106a, 106b is protected by the protection part 108 which consists of resin. Further, a part of the external electrode portions 100a and 100b is embedded in the protective portion 108, and one end is exposed to the outside from the protective portion 108, which corresponds to mounting such as soldering. The antistatic portion 102 is formed on the surface of the protective portion 108 (or so as to be exposed from the protective portion 108).

図1(D)は図1(A)の矢印104bにおける断面図である。図1(D)より、内部電極部106bは、ビアと呼ばれる層間接続部(図1では図示していない)等によって、3次元的に接続され、螺旋状のコイルパターンを形成した状態で、樹脂よりなる保護部108に保護されている。そして保護部108の表面には、帯電防止部102が形成されている。   FIG. 1D is a cross-sectional view taken along arrow 104b in FIG. In FIG. 1D, the internal electrode portion 106b is three-dimensionally connected by an interlayer connection portion (not shown in FIG. 1) or the like called a via, and in a state where a spiral coil pattern is formed. It is protected by a protection unit 108 made up of. An antistatic part 102 is formed on the surface of the protective part 108.

次に、図2を用いて帯電防止できる様子を示す。図2はコイル部品の等価回路図であり、実施の形態1の電子部品をコイル部品とした場合について説明するものである。   Next, FIG. 2 shows how charging can be prevented. FIG. 2 is an equivalent circuit diagram of the coil component, and the case where the electronic component of the first embodiment is a coil component will be described.

図2(A)は、帯電防止部が無い場合のコイル部品の等価回路図、図2(B)は帯電防止部102が有る場合のコイル部品の等価回路図である。図2において、Lはコイルを形成する内部電極部106のインダクタンス(もしくはコイルのL成分)、R1は内部電極部106や外部電極部100による等価直列抵抗(もしくは抵抗成分)に相当する。そしてR2は、帯電防止層102の抵抗に相当する。図1(A)、図1(B)に示すようなサンプルでは、帯電防止部102は、外部電極部100a、100bの間に形成されているため、図2(B)のような等価回路を形成する。   2A is an equivalent circuit diagram of the coil component when there is no antistatic portion, and FIG. 2B is an equivalent circuit diagram of the coil component when the antistatic portion 102 is provided. In FIG. 2, L corresponds to the inductance of the internal electrode portion 106 forming the coil (or the L component of the coil), and R1 corresponds to the equivalent series resistance (or resistance component) of the internal electrode portion 106 and the external electrode portion 100. R 2 corresponds to the resistance of the antistatic layer 102. In the samples as shown in FIGS. 1A and 1B, since the antistatic portion 102 is formed between the external electrode portions 100a and 100b, an equivalent circuit as shown in FIG. Form.

ここで、コイルとしては高いQ値(Q値は、コイルの特性の一つの評価方法で、配線の抵抗値が低いほど高いQ値が得られる。なおQ値が高いほど、コイルの電気的特性は優れたものとなる)。ここで、図2(B)において、R1<<R2、つまりコイルを形成する内部電極部106の抵抗値R1に比べ、帯電防止層102の抵抗値R2を極めて大きく設定することで、コイルの電気的特性に対する帯電防止層102の影響を抑えることができる。このR2とR1の比率は、10万倍(望ましくは100万倍)以上が望ましい。このようにR2とR1の比率を極めて大きくすることで、コイル特性に対する帯電防止部の影響を抑えられる。具体的にはR1は1Ω以下(望ましくは0.1Ω以下、更に望ましくは0.01Ω以下)が望ましい。なおR2が、10GΩを超えた場合、帯電防止効果が得られない場合があるので、R2としては10KΩ以上10GΩ未満(更に望ましくは、100KΩ以上、もしくは1GΩ以下)が望ましい。   Here, the coil has a high Q value (Q value is a method for evaluating the characteristics of the coil. The lower the wiring resistance value, the higher the Q value. The higher the Q value, the higher the electrical characteristics of the coil. Will be excellent). Here, in FIG. 2B, by setting the resistance value R2 of the antistatic layer 102 to be extremely larger than R1 << R2, that is, the resistance value R1 of the internal electrode portion 106 forming the coil, The influence of the antistatic layer 102 on the physical characteristics can be suppressed. The ratio of R2 and R1 is preferably 100,000 times (preferably 1 million times) or more. Thus, by making the ratio of R2 and R1 extremely large, the influence of the antistatic part on the coil characteristics can be suppressed. Specifically, R1 is desirably 1Ω or less (preferably 0.1Ω or less, more desirably 0.01Ω or less). If R2 exceeds 10 GΩ, the antistatic effect may not be obtained. Therefore, R2 is preferably 10 KΩ or more and less than 10 GΩ (more preferably 100 KΩ or more, or 1 GΩ or less).

(実施の形態2)
以下、本発明の実施の形態2における電子部品について、図面を参照しながら説明する。
(Embodiment 2)
Hereinafter, an electronic component according to Embodiment 2 of the present invention will be described with reference to the drawings.

図3は実施の形態2における電子部品を説明する図であり、図1と図3の違いは、外部電極の形状である。図1において電子部品の外形は略6面体(もしくは略直方体)であり、外部電極部100aはその1面にのみ、外部電極部100bも1面のみに露出していた。そのため外部電極部の露出面は1+1=2の2面であった。しかし電子部品が超小型化するにつれ、外部電極部の露出面積が低下するため、用途によっては更に外部電極部の露出面積(もしくは半田に濡れる面積)を増加する必要がある。こうした場合、図3に示すように、一つの外部電極部100a、100bは2面以上に露出することが望ましい。   FIG. 3 is a diagram for explaining the electronic component according to the second embodiment. The difference between FIG. 1 and FIG. 3 is the shape of the external electrode. In FIG. 1, the external shape of the electronic component is a substantially hexahedron (or a substantially rectangular parallelepiped), and the external electrode portion 100a is exposed only on one surface, and the external electrode portion 100b is also exposed only on one surface. Therefore, the exposed surfaces of the external electrode portion were two surfaces of 1 + 1 = 2. However, as the electronic component is miniaturized, the exposed area of the external electrode portion is reduced, so that it is necessary to further increase the exposed area of the external electrode portion (or the area wetted by the solder) depending on the application. In such a case, as shown in FIG. 3, it is desirable that one external electrode portion 100a, 100b is exposed on two or more surfaces.

図3を用いて更に詳しく説明する。図3(A)は実施の形態2における電子部品の外観図である。また図3(B)は図3(A)の上下を反転した場合の外観図である。図3(A),図3(B)より、本実施の形態の電子部品において、従来では構成要素であった基板が無いことが判る。このため実施の形態2の電子部品では、基板が無い分だけ、図1同様に電子部品の低背化、更には小型化、軽重量化が可能となる。   This will be described in more detail with reference to FIG. FIG. 3A is an external view of an electronic component according to Embodiment 2. FIG. 3B is an external view when the top and bottom of FIG. From FIG. 3A and FIG. 3B, it can be seen that in the electronic component of the present embodiment, there is no substrate that was a conventional component. For this reason, in the electronic component of the second embodiment, the electronic component can be reduced in height, further downsized, and reduced in weight as in FIG.

図3(C)は、図3(A)の矢印104aにおける断面図である。図3(C)において、保護部108の内部で、内部電極部106bは3次元的なコイル状をしており、その一端が内部電極部106aとして外部電極部100a、100bに接続され、所定のコイル部品(もしくはインダクター部品)を構成している。そして、内部電極部106a、106bからなる3次元的なコイルパターンは、樹脂よりなる保護部108に保護されている。また外部電極部100a、100bはその一部が保護部108に埋め込まれ、一端が保護部108から外部に露出し、半田付け等の実装に対応することとなる。そして帯電防止部102は、保護部108の表面に(もしくは保護部108より露出するように)形成されている。   FIG. 3C is a cross-sectional view taken along arrow 104a in FIG. In FIG. 3C, the internal electrode portion 106b has a three-dimensional coil shape inside the protective portion 108, and one end of the internal electrode portion 106b is connected to the external electrode portions 100a and 100b as the internal electrode portion 106a. Coil parts (or inductor parts) are configured. And the three-dimensional coil pattern which consists of internal electrode part 106a, 106b is protected by the protection part 108 which consists of resin. Further, a part of the external electrode portions 100a and 100b is embedded in the protective portion 108, and one end is exposed to the outside from the protective portion 108, which corresponds to mounting such as soldering. The antistatic portion 102 is formed on the surface of the protective portion 108 (or so as to be exposed from the protective portion 108).

図3(D)は図3(A)の矢印104bにおける断面図である。図3(D)より、内部電極部106bは、ビアと呼ばれる層間接続部(図3では図示していない)等によって、3次元的に接続され、螺旋状のコイルパターンを形成した状態で、樹脂よりなる保護部108に保護されている。そして保護部108の表面には、帯電防止部102が形成されている。   FIG. 3D is a cross-sectional view taken along arrow 104b in FIG. As shown in FIG. 3D, the internal electrode portion 106b is three-dimensionally connected by an interlayer connection portion (not shown in FIG. 3) or the like called via, and in a state where a spiral coil pattern is formed. It is protected by a protection unit 108 made up of. An antistatic part 102 is formed on the surface of the protective part 108.

実施の形態2のように、外部電極部100a、100bの保護部108よりの露出面積や露出面数を増やすことで、半田付け時のフィレット形成を容易にすると同時に、半田付けでの信頼性改善、半田付け強度アップ、更には半田付け検査等を改善できる。   As in the second embodiment, by increasing the exposed area and the number of exposed surfaces from the protective portions 108 of the external electrode portions 100a and 100b, it is easy to form a fillet at the time of soldering, and at the same time, improving reliability in soldering It is possible to improve the soldering strength and further improve the soldering inspection.

このように外部電極部100a、100bの形状を、用途に応じて最適化した場合においても、帯電防止部102を形成することによって、静電気の影響を受けにくくなる。   As described above, even when the shapes of the external electrode portions 100a and 100b are optimized according to the application, the formation of the antistatic portion 102 makes it less susceptible to static electricity.

なおこうした電子部品の静電気は、電子部品の製造工程以外にもユーザー側でも発生する。また電子部品の包装形式(例えば、多数個をプラスチックケースに入れて実装する場合がある)によっても、静電気の影響を受けやすくなる。しかし本実施の形態のように帯電防止部102を形成することで、個々の電子部品を取り扱いやすくなり、実装作業性を高められる。   Such static electricity of electronic parts is generated not only in the manufacturing process of electronic parts but also on the user side. In addition, depending on the packaging format of electronic parts (for example, a large number of electronic parts may be mounted in a plastic case), they are easily affected by static electricity. However, by forming the antistatic portion 102 as in the present embodiment, it becomes easier to handle individual electronic components and the mounting workability can be improved.

(実施の形態3)
以下、本発明の実施の形態3として、電子部品の製造方法の一例について、図面を参照しながら説明する。実施の形態3では、例えば図3に示した電子部品の製造方法の一例に相当する。
(Embodiment 3)
Hereinafter, as a third embodiment of the present invention, an example of an electronic component manufacturing method will be described with reference to the drawings. The third embodiment corresponds to an example of the electronic component manufacturing method shown in FIG. 3, for example.

図4〜図7は実施の形態3における電子部品の製造方法の一例について説明する断面図である。図4〜図7において、110は基材、112は樹脂、114a、114bは電極、118は溝である。まず図4(A)に示すように、ガラス板やシリコンウエハといった適当な基材110を用意し、この上にフォトレジスト等を用いて、樹脂112を所定形状にパターニングする。そして図4(B)に示すように、この上を(樹脂112も含めて)、電極114aによって全面的に覆う。なおここで電極114aの形成方法としては、めっき技術を用いることができる。このように感光性樹脂と電極を複数回積層することで、3次元的なコイル状の内部電極部106及び外部電極部100を一括で形成することができる。そして帯電防止部102を形成する工程と、個片に分割する工程を含むことで、帯電防止部102を有する電子部品を製造できる。   4-7 is sectional drawing explaining an example of the manufacturing method of the electronic component in Embodiment 3. FIG. 4 to 7, 110 is a base material, 112 is a resin, 114a and 114b are electrodes, and 118 is a groove. First, as shown in FIG. 4A, an appropriate base material 110 such as a glass plate or a silicon wafer is prepared, and a resin 112 is patterned thereon using a photoresist or the like. Then, as shown in FIG. 4B, the entire surface (including the resin 112) is covered with the electrode 114a. Here, a plating technique can be used as a method of forming the electrode 114a. Thus, by laminating the photosensitive resin and the electrode a plurality of times, the three-dimensional coil-shaped internal electrode portion 106 and the external electrode portion 100 can be collectively formed. And the electronic component which has the antistatic part 102 can be manufactured by including the process of forming the antistatic part 102, and the process of dividing | segmenting into an individual piece.

次に、図4(C)に示すように、樹脂112を覆う電極114aをエッチング(CMPと呼ばれる化学研磨方法や、砥粒を用いた研磨)、もしくは機械的加工(切削を含む)を用いても良い。なおこの加工のとき、樹脂112の表面が多少機械的に削られても、特に支障は無い。こうして、図4(C)に示すように、基材110の上に、その高さが揃った状態で、樹脂112と配線114aが互いに補完しあうように形成する。   Next, as shown in FIG. 4C, the electrode 114a covering the resin 112 is etched (chemical polishing method called CMP, polishing using abrasive grains) or mechanical processing (including cutting). Also good. In this process, there is no problem even if the surface of the resin 112 is somewhat mechanically scraped. In this way, as shown in FIG. 4C, the resin 112 and the wiring 114a are formed on the base material 110 so as to complement each other in a state where the heights are uniform.

こうした工程を繰り返すことで、図5(A)、図5(B)に示すように、樹脂112と電極114aが複数層積層することができる。また図5(C)に示すような、浮島構造の電極114bを形成することもできる。そして図5(D)他に示すように工程の中でビア(図示していない)を形成することで、浮島状態の電極114bを互いに接続し、螺旋状の3次元コイルを形成できる。こうして図5(D)に示すように感光性樹脂と電極が厚み方向に積層してなる積層物を形成する。   By repeating these steps, as shown in FIGS. 5A and 5B, a plurality of layers of the resin 112 and the electrode 114a can be stacked. Alternatively, an electrode 114b having a floating island structure as illustrated in FIG. 5C can be formed. Then, as shown in FIG. 5D and others, by forming vias (not shown) in the process, the floating island state electrodes 114b can be connected to each other to form a spiral three-dimensional coil. Thus, as shown in FIG. 5D, a laminate is formed by laminating the photosensitive resin and the electrodes in the thickness direction.

図6において116は帯電防止材である。次に図6に示すように、樹脂110の上に帯電防止材116を形成する。ここで帯電防止剤としては、非磁性導電材(例えば、カーボンブラック等)を導電剤として樹脂中に分散させたものが望ましい。ここで非磁性導電材の平均粒径は1nm(ナノメーター)以上20ミクロン未満が望ましい。平均粒径が1nm未満の場合、非磁性導電材が高価なものとなり、樹脂への分散も困難になる場合がある。またその粒径が20ミクロン以上の場合、帯電防止部の薄層化に影響を与える場合がある。なおカーボンナノチューブのような繊維状の導電部材を帯電防止部に用いる場合、その繊維の直径を、その平均粒径とすることが望ましい(言い換えるとカーボンナノチューブの直径は1nm以上が望ましい)。また市販の導電ペースト、導電塗料、導電性樹脂を使うことができる。こうした物としては、印刷や塗布した後、硬化できるものが市販されている。こうした帯電防止材116を、樹脂112や電極114aの上に、厚み0.1ミクロン以上50ミクロン以下で形成する。ここで帯電防止材116の厚みが0.1ミクロン未満の場合、充分な帯電防止効果が得られない場合がある。またその厚みが50ミクロンを超えると、コイルが形成する磁界に影響を与え、製品厚みに影響を与える可能性がある。なお帯電防止材116にピンホールや塗布ムラ、形成ムラがあっても、帯電防止の効果に対しては特に影響を与えない。なお図5(A)、図5(B)において、樹脂112や電極114aが積層される様子を示すために、樹脂112は複数層からなるように記載しているが、こうした樹脂112は一体化されているため、図5(C)、図5(D)では樹脂112は一体物として図示している。   In FIG. 6, reference numeral 116 denotes an antistatic material. Next, as shown in FIG. 6, an antistatic material 116 is formed on the resin 110. Here, as the antistatic agent, a nonmagnetic conductive material (for example, carbon black or the like) dispersed in a resin as a conductive agent is desirable. Here, the average particle diameter of the nonmagnetic conductive material is preferably 1 nm (nanometer) or more and less than 20 microns. When the average particle diameter is less than 1 nm, the nonmagnetic conductive material becomes expensive and dispersion into the resin may be difficult. If the particle size is 20 microns or more, it may affect the thinning of the antistatic portion. When a fibrous conductive member such as carbon nanotube is used for the antistatic portion, it is desirable that the diameter of the fiber be the average particle diameter (in other words, the diameter of the carbon nanotube is desirably 1 nm or more). Commercially available conductive paste, conductive paint, and conductive resin can also be used. Such products are commercially available that can be cured after printing or application. Such an antistatic material 116 is formed on the resin 112 and the electrode 114a with a thickness of 0.1 to 50 microns. Here, when the thickness of the antistatic material 116 is less than 0.1 microns, a sufficient antistatic effect may not be obtained. If the thickness exceeds 50 microns, the magnetic field formed by the coil is affected, which may affect the product thickness. Note that even if the antistatic material 116 has pinholes, coating unevenness, or formation unevenness, the antistatic effect is not particularly affected. Note that in FIGS. 5A and 5B, the resin 112 is described as having a plurality of layers in order to show a state in which the resin 112 and the electrode 114a are stacked. However, the resin 112 is integrated. Therefore, in FIGS. 5C and 5D, the resin 112 is illustrated as an integral body.

図6(B)は、サンプルを個片化する様子を示す。図6(A)に示すサンプルに対して、レーザー装置やダイシング装置を用いて一定の距離で溝118を形成することで、個片に分断する。そして最後に図6(C)に示すように、基材110からサンプルを剥離する。こうして図6(C)において電極114a、114bは、内部電極部106a、106b、外部電極部100a、100bとなる。同様に樹脂112は保護部108と、帯電防止材116は帯電防止部102となる。   FIG. 6B shows a state where the sample is divided into pieces. The sample shown in FIG. 6A is divided into individual pieces by forming grooves 118 at a certain distance using a laser device or a dicing device. Finally, the sample is peeled off from the substrate 110 as shown in FIG. Thus, in FIG. 6C, the electrodes 114a and 114b become the internal electrode portions 106a and 106b and the external electrode portions 100a and 100b. Similarly, the resin 112 serves as the protection unit 108, and the antistatic material 116 serves as the antistatic unit 102.

図7は、サンプルを個片化する様子を説明する斜視図であり、120は切断機であり、例えばダイシング装置等である。図7(A)において、基材110の上には、樹脂112に覆われたサンプルが形成されている(なお電極114は樹脂112に覆われているため、図7(A)においては見えない)。そしてこの上に、矢印104で示すように、帯電防止材116を形成する。なお帯電防止材116の形成方法は、塗布(刷毛塗り、ローラー塗り、回転スピンナー、スプレー、ディップもしくは浸漬)等を用いることができる。こうして図6(A)の状態を形成する。   FIG. 7 is a perspective view for explaining how a sample is divided into pieces, and 120 is a cutting machine, for example, a dicing apparatus. In FIG. 7A, a sample covered with a resin 112 is formed on a substrate 110 (note that the electrode 114 is covered with the resin 112, and therefore cannot be seen in FIG. 7A). ). Then, an antistatic material 116 is formed thereon as indicated by an arrow 104. As a method for forming the antistatic material 116, application (brush coating, roller coating, rotary spinner, spray, dip or immersion) or the like can be used. In this way, the state of FIG.

その後、図7(B)に示すように、切断機120によってサンプルを個片化する。こうして図6(B)の状態を形成する。   Thereafter, as shown in FIG. 7B, the sample is separated into pieces by the cutting machine 120. Thus, the state of FIG. 6B is formed.

このようにして、電子部品の少なくとも1面に帯電防止材116からなる帯電防止部102を形成できる。このように実施の形態3の電子部品は、1005、0603、更には0402と超小型化した場合でも、帯電防止部102を有することで静電気を帯びにくくなることは言うまでもない。また帯電防止材116は、樹脂112に添加したものではないため、コイルの電気的特性に影響を与えることがなく、また帯電防止材116が表面に露出しているため優れた帯電防止効果が得られることは言うまでも無い。   In this way, the antistatic part 102 made of the antistatic material 116 can be formed on at least one surface of the electronic component. Thus, it goes without saying that the electronic component of Embodiment 3 is less likely to be charged with static electricity by having the antistatic portion 102 even when it is miniaturized to 1005, 0603, and 0402. Further, since the antistatic material 116 is not added to the resin 112, it does not affect the electrical characteristics of the coil, and since the antistatic material 116 is exposed on the surface, an excellent antistatic effect is obtained. Needless to say.

なお帯電防止部102を形成する工程と、個片に分割する工程の順番を変えることも可能である。   Note that the order of the step of forming the antistatic portion 102 and the step of dividing into pieces can be changed.

(実施の形態4)
以下、本発明の実施の形態4について、説明する。実施の形態4と実施の形態1の違いは、帯電防止部102の形成面の違いであり、実施の形態1では保護部108は電子部品の外形の1面にのみ形成されていたが、実施の形態4では電子部品の複数面に保護部108を形成するものである。
(Embodiment 4)
Embodiment 4 of the present invention will be described below. The difference between the fourth embodiment and the first embodiment is the difference in the formation surface of the antistatic portion 102. In the first embodiment, the protective portion 108 is formed only on one surface of the outer shape of the electronic component. In the form 4, the protection part 108 is formed on a plurality of surfaces of the electronic component.

なお非磁性導電材として、炭素を主体とした部材、つまりカーボンブラック(アセチレンブラック、グラファイト、黒鉛、ライオン株式会社から販売されているケッチェンブラック、更にはカーボンナノチューブ、グラファイト等も含む)系のものを使うことができる。なお炭素を主体とする非磁性導電材は、炭素成分が60wt%(望ましくは70wt%以上)有れば良く、更に分散剤、安定化剤、補助剤等を加えることができる。このように炭素系の導電部材は非磁性体であり、磁気に反応しないため配線部106による磁気回路に影響を与えることがない。また黒色等の着色を活かすことで、樹脂よりなる保護部108を形成する樹脂が外光やUV光によって劣化することを防ぐ効果も得られる。なお遮光性もしくは着色性としては、外光を吸収できれば良いため、色調に関係なく、光透過率として10%未満(投入した光の90%以上が吸収される)0.001%以上が望ましい。光透過率が10%以上の場合、内部に到達する光の影響を受ける可能性がある。また光透過率を0.001%未満とすることは技術的にもコスト的に難しくなる可能性がある。   In addition, as a non-magnetic conductive material, carbon-based members, that is, carbon black (including acetylene black, graphite, graphite, ketjen black sold by Lion Corporation, and also carbon nanotubes, graphite, etc.) Can be used. The nonmagnetic conductive material mainly composed of carbon is sufficient if the carbon component is 60 wt% (preferably 70 wt% or more), and a dispersant, a stabilizer, an auxiliary agent, and the like can be further added. As described above, the carbon-based conductive member is a non-magnetic material and does not react to magnetism, so that the magnetic circuit by the wiring portion 106 is not affected. Moreover, the effect which prevents that resin which forms the protection part 108 which consists of resin by using coloring, such as black, deteriorates with external light or UV light is also acquired. Note that the light-shielding property or the coloration property is not limited as long as external light can be absorbed. Therefore, it is desirable that the light transmittance is less than 10% (90% or more of the input light is absorbed) of 0.001% or more regardless of the color tone. When the light transmittance is 10% or more, there is a possibility of being influenced by light reaching the inside. Further, it may be technically difficult to make the light transmittance less than 0.001% in terms of cost.

なお、帯電防止層の目安として、例えばJISL1964A(織物及び織物の帯電性試験方法、表面漏えい抵抗測定法・クリンギング測定法)を参照にしても決めることができる。この場合、例えば、印加電圧10KVを2分加えた後、試料の帯電圧を30秒後、1分後と測定し、その表面電位の減衰特性を比較することができる。発明者らの実験によるとその表面抵抗は1KΩ/□以上10GΩ/□未満、もしくは体積抵抗で1KΩcm以上10GΩcm未満が望ましかった。表面抵抗が1KΩ/□未満の場合、電子部品の特性に影響を与える可能性がある。また表面抵抗が10GΩ/□以上の場合、帯電防止効果に影響を与える可能性がある。同様に体積抵抗が1KΩcm未満の場合、電子部品の特性に影響を与える場合がある。また体積抵抗が10GΩcm以上の場合、帯電防止効果に影響を与える可能性がある。なお面積抵抗(シート抵抗と呼ばれることもある)や体積抵抗の評価やその品質管理には、市販の測定機を用いることができる。   The standard of the antistatic layer can be determined by referring to, for example, JISL 1964A (woven fabric and fabric charging test method, surface leakage resistance measurement method / crimping measurement method). In this case, for example, after applying the applied voltage of 10 KV for 2 minutes, the charged voltage of the sample is measured 30 seconds later and 1 minute later, and the attenuation characteristics of the surface potential can be compared. According to the experiments by the inventors, the surface resistance is preferably 1 KΩ / □ or more and less than 10 GΩ / □, or the volume resistance is 1 KΩcm or more and less than 10 GΩcm. If the surface resistance is less than 1 KΩ / □, the characteristics of the electronic component may be affected. If the surface resistance is 10 GΩ / □ or more, the antistatic effect may be affected. Similarly, when the volume resistance is less than 1 KΩcm, the characteristics of the electronic component may be affected. If the volume resistance is 10 GΩcm or more, the antistatic effect may be affected. A commercially available measuring machine can be used for evaluation of area resistance (sometimes referred to as sheet resistance) and volume resistance and quality control.

なお帯電防止部の抵抗値はチップサイズやチップ重量、ユーザーでの取り扱い環境等に応じて、調整できることはいうまでもない。またこの際にも、本発明の特徴である、コイル配線付近は高絶縁性の樹脂で絶縁し、コイル配線から一番離れた部分(もしくは製品の最外層である製品表面)に磁性に影響を与えない導電材を用いた帯電防止層を形成することによって、電気特性に影響を与えることがない。   It goes without saying that the resistance value of the antistatic portion can be adjusted according to the chip size, chip weight, handling environment by the user, and the like. Also in this case, the coil wiring vicinity, which is a feature of the present invention, is insulated with a highly insulating resin, and the portion farthest from the coil wiring (or the product surface which is the outermost layer of the product) is affected by magnetism. By forming the antistatic layer using a conductive material that is not applied, the electrical characteristics are not affected.

以上のようにして、少なくとも樹脂からなる保護部と、保護部中に形成されたコイル状の配線と、前記配線に接続されかつ前記保護部から一部が露出した外部電極からなる電子部品の、前記保護部の表面に帯電防止部が形成されている電子部品とすることで、従来の電子部品の構成要素であった基板を省くことで、電子部品の低背化が可能となると共に、静電気等による作業性への影響を抑えることができる。   As described above, a protection part made of at least a resin, a coiled wiring formed in the protection part, and an electronic component consisting of an external electrode connected to the wiring and partially exposed from the protection part, By using an electronic part having an antistatic part formed on the surface of the protective part, it is possible to reduce the height of the electronic part by eliminating the substrate that was a component of the conventional electronic part, and to prevent static electricity. The influence on workability by etc. can be suppressed.

またコイル状の配線部を覆う保護部を形成する樹脂は、体積抵抗が10GΩcm以上の絶縁性樹脂とすることで、コイルを形成する配線部分での漏れ電流を抑えることができ、安定したコイル特性を得られる電子部品を提供できる。   The resin that forms the protective part that covers the coiled wiring part is made of an insulating resin having a volume resistance of 10 GΩcm or more, so that leakage current in the wiring part that forms the coil can be suppressed, and stable coil characteristics can be achieved. Can provide electronic parts.

また帯電防止部は、その表面抵抗が10KΩ/□以上10GΩ/□以下、もしくはその体積抵抗が10KΩcm以上10GΩcm以下とすることで、静電気等による作業性への影響を抑えることができる。   Further, the antistatic portion has a surface resistance of 10 KΩ / □ or more and 10 GΩ / □ or less, or a volume resistance of 10 KΩcm or more and 10 GΩcm or less, thereby suppressing the influence on workability due to static electricity or the like.

帯電防止部は、平均粒径が1nm以上20ミクロン以下の非磁性導電材が樹脂中に分散されたものとすることで、帯電防止部の均一化、軽量化、形成容易性、耐久性等を高めた電子部品を提供できる。   The antistatic part is made of a nonmagnetic conductive material having an average particle diameter of 1 nm or more and 20 microns or less dispersed in the resin, so that the antistatic part can be made uniform, lightweight, easy to form, durable, etc. Can provide enhanced electronic components.

帯電防止部は、少なくとも一つ以上の外部電極部に接するように形成することで、安定したコイル特性を得られる電子部品を提供できる。   By forming the antistatic portion so as to be in contact with at least one or more external electrode portions, it is possible to provide an electronic component capable of obtaining stable coil characteristics.

非磁性導電材は、炭素を主体とした部材とすることで、磁界への影響を防止できるため、安定したコイル特性を得られる電子部品を提供できる。   Since the nonmagnetic conductive material is a member mainly composed of carbon, it is possible to prevent an influence on the magnetic field, and thus it is possible to provide an electronic component capable of obtaining stable coil characteristics.

帯電防止部は、着色性もしくは遮光性を有しているものとすることで、外光等による樹脂よりなる保護部への影響を防止できる電子部品を提供できる。   By providing the antistatic portion with coloring or light shielding properties, it is possible to provide an electronic component that can prevent the protective portion made of resin from being affected by external light or the like.

帯電防止部の厚みは、0.1ミクロン以上50ミクロン以下とすることで、電子部品の低背化と帯電防止を実現する電子部品を提供できる。   By setting the thickness of the antistatic portion to 0.1 μm or more and 50 μm or less, it is possible to provide an electronic component that realizes a low profile and antistatic property.

以上のように、本発明にかかる電子部品及びその製造方法は、電子部品の低背化や超小型化、更にはその取扱性を高めることで、各種電子機器の小型化、高性能化に貢献することができる。   As described above, the electronic component and the manufacturing method thereof according to the present invention contribute to the miniaturization and high performance of various electronic devices by reducing the height and size of the electronic component and further improving its handling. can do.

実施の形態1における電子部品を説明する図FIG. 6 illustrates an electronic component in Embodiment 1. コイル部品の等価回路図Equivalent circuit diagram of coil parts 実施の形態2における電子部品を説明する図8A and 8B illustrate an electronic component in Embodiment 2. 実施の形態3における電子部品の製造方法の一例について説明する断面図Sectional drawing explaining an example of the manufacturing method of the electronic component in Embodiment 3 実施の形態3における電子部品の製造方法の一例について説明する断面図Sectional drawing explaining an example of the manufacturing method of the electronic component in Embodiment 3 実施の形態3における電子部品の製造方法の一例について説明する断面図Sectional drawing explaining an example of the manufacturing method of the electronic component in Embodiment 3 実施の形態3における電子部品の製造方法の一例について説明する断面図Sectional drawing explaining an example of the manufacturing method of the electronic component in Embodiment 3 平面コイルの斜視図Perspective view of planar coil 電子部品の寸法を示す図Diagram showing dimensions of electronic components

符号の説明Explanation of symbols

100a、100b 外部電極部
102 帯電防止部
104、104a、104b 矢印
106a、106b 内部電極部
108 保護部
110 基材
112 樹脂
114a、114b 電極
116 帯電防止材
118 溝
120 切断機
100a, 100b External electrode part 102 Antistatic part 104, 104a, 104b Arrow 106a, 106b Internal electrode part 108 Protection part 110 Base material 112 Resin 114a, 114b Electrode 116 Antistatic material 118 Groove 120 Cutting machine

Claims (9)

樹脂からなる保護部と、保護部中に形成されたコイル状の配線と、前記保護部の中で前記配線に接続されかつ前記保護部から一部が露出した外部電極とを備え、前記保護部の表面に帯電防止部が形成されている電子部品。 A protective part made of resin; a coil-shaped wiring formed in the protective part; and an external electrode connected to the wiring in the protective part and partially exposed from the protective part. An electronic component having an antistatic portion formed on the surface thereof. コイル状の配線部を覆う保護部を形成する樹脂は、体積抵抗が10GΩcm以上の絶縁性樹脂である請求項1に記載の電子部品。 The electronic component according to claim 1, wherein the resin forming the protective portion that covers the coiled wiring portion is an insulating resin having a volume resistance of 10 GΩcm or more. 帯電防止部は、その表面抵抗が10KΩ/□以上10GΩ/□以下、もしくはその体積抵抗が10KΩcm以上10GΩcm以下である請求項1に記載の電子部品。 2. The electronic component according to claim 1, wherein the antistatic portion has a surface resistance of 10 KΩ / □ to 10 GΩ / □, or a volume resistance of 10 KΩcm to 10 GΩcm. 帯電防止部は、平均粒径が1nm以上20ミクロン以下の非磁性導電材が樹脂中に分散されたものである請求項1に記載の電子部品。 The electronic component according to claim 1, wherein the antistatic portion is a nonmagnetic conductive material having an average particle diameter of 1 nm or more and 20 microns or less dispersed in a resin. 帯電防止部は、少なくとも一つ以上の外部電極部に接するように形成されている請求項1記載の電子部品。 The electronic component according to claim 1, wherein the antistatic portion is formed so as to be in contact with at least one or more external electrode portions. 非磁性導電材は、炭素を主体とした部材である請求項4記載の電子部品。 The electronic component according to claim 4, wherein the nonmagnetic conductive material is a member mainly composed of carbon. 帯電防止部は、着色性もしくは遮光性を有している請求項1記載の電子部品。 The electronic component according to claim 1, wherein the antistatic portion has a coloring property or a light shielding property. 帯電防止部の厚みは、0.1ミクロン以上50ミクロン以下である請求項1記載の電子部品。 The electronic component according to claim 1, wherein the antistatic portion has a thickness of 0.1 to 50 microns. 請求項1〜8のいずれか一つに記載された電子部品の製造方法であって、少なくとも感光性樹脂と電極を複数回積層する工程と、帯電防止部を形成する工程と、個片に分割する工程を含む電子部品の製造方法。 It is a manufacturing method of the electronic component according to any one of claims 1 to 8, Comprising: At least a process of laminating a photosensitive resin and an electrode a plurality of times, a process of forming an antistatic part, and a piece The manufacturing method of the electronic component including the process to do.
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