JP2007139773A - 光学撮像システムの測定装置および操作方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定装置は、測定パターン6を含むマスク構造機構5を有する装置と、撮像エラーを示す干渉情報の検出および評価のための装置10を含む測定装置と、を含む。光学撮像システムの操作方法は、撮像エラー補正を含む。装置は更に、測定される光学撮像システム1に加えられる放射の加熱効果が、予め決定できる許容範囲内で、光学撮像システムの撮像動作中に有効パターンを介して通過する放射の加熱効果と等しくなるように、測定動作中の光学撮像システムの放射加熱用の加熱照射機構7を含む。
【選択図】図1
Description
発明の分野
本発明は、有効パターンの撮像を意図した光学撮像システムの、例えば干渉計などの光学測定のための光学測定装置、およびそのような光学撮像システムの、撮像エラー補正を含む、操作方法に関する。
光学撮像システムの撮像品質は、より厳しくなりつつある要求を受けている。この1つの例は、半導体構成要素のマイクロリソグラフィ製造用の投影対物レンズおよび、その構造がサブマイクロメータの範囲で撮像エラーが完全にないことが要求される、精細構造構成要素である。複雑な光学設計のため、一般的には対物レンズの光学特性を理論計算から導出するのは不可能なので、光学特性の信頼できる測定が、例えば、いわゆるウェーハー露光用ウェーハースキャナにおける使用時の操作前に、あるいは場合によっては操作中に必要となる。
本発明は、請求項1または請求項3または請求項5または請求項7の特徴を有する測定装置を設けることによりこの課題を達成する。そのような装置は、測定操作における撮像エラーを示す放射情報の製造のための装置を備え、この装置は、測定パターンを有するマスク構造機構を含み、撮像エラーを示す放射情報の検出と評価用の検出/評価装置を備える。この装置は更に、測定操作中の、光学撮像システムの放射加熱用の加熱照射機構を備え、それにより、測定される光学撮像システムに加えられる放射の加熱効果が、予め決定できる許容範囲内で、光学撮像システムの撮像動作中に、有効パターンを通過する放射の加熱効果と測定値が等しくなる。
本発明の有利な実施形態は、下記の説明され、図に示される。
図1に示す測定装置は、特別には、マイクロリソグラフィシステムの投影対物レンズであってよく、簡単のために、図1では対物レンズ1として表わされている、光学撮像システムの干渉計測定に使用される。測定装置のレイアウトは、シェアリング干渉計測定を実行するように設計されているが、点回折干渉計またはシャック−ハルトマン(Shack−Hartmann)測定のような他の従来の干渉計および非干渉計測定技術を実行するために使用することもできる。
Claims (14)
- 撮像操作において有効パターンを撮像することを意図されている光学撮像システムの光学測定用の測定装置であって、
測定動作における撮像エラーを示す放射情報製造用装置であって、測定放射を提供する測定パターンを含むマスク構造機構を有する装置と、
撮像エラーを示す放射情報の検出および評価用の検出/評価装置と、
測定動作中の、前記光学撮像システムの放射加熱用の加熱照射機構であって、測定される前記光学撮像システムに加えられる放射の加熱効果が、予め決定できる許容範囲内で、前記光学撮像システムの撮像動作中に、有効パターンを介して通過する放射の加熱効果と等しくなるような加熱照射機構と、を備え、
前記加熱照射機構は、加熱放射を前記光学撮像システムに、その対象物側または画像側で横方向に結合するように適合された加熱照射供給ユニットを備え、および/または前記放射情報製造用装置は、測定放射を前記光学撮像システムに、その対象物側または画像側で横方向に結合するように適合された測定放射供給ユニットを備える測定装置。 - 前記加熱照射供給ユニットおよび前記測定放射供給ユニットの少なくとも1つは、横方向から入射する加熱放射または測定放射を、前記光学撮像システムの光学軸に実質的に平行な出射方向に偏向するための光偏向要素を備える、請求項1に記載の測定装置。
- 撮像操作において有効パターンを撮像することを意図されている光学撮像システムの光学測定用の測定装置であって、
測定動作における撮像エラーを示す放射情報製造用装置であって、測定放射を提供する測定パターンを含むマスク構造機構を有する装置と、
撮像エラーを示す放射情報の検出および評価用の検出/評価装置と、
測定動作中の、前記光学撮像システムの放射加熱用の加熱照射機構であって、測定される前記光学撮像システムに加えられる放射の加熱効果が、予め決定できる許容範囲内で、前記光学撮像システムの撮像動作中に、有効パターンを介して通過する放射の加熱効果と等しくなるような加熱照射機構と、を備え、
前記加熱照射機構は、測定される前記光学システムに対する加熱効果において、前記光学撮像システムの撮像操作の間、有効パターンを通過する放射に対応するように、角度分布および場依存強度を有する加熱照射ビームを生成するように適合されたビーム整形アセンブリを備え、および/または加熱照射機構は、波長、波長スペクトル、パルス周波数、パルス形状、およびパルス長の少なくとも1つにおいて、通常撮像操作中に使用される測定放射および放射の少なくとも1つにおいて異ならせて加熱照射を生成するように適合された加熱照射光源を備える測定装置。 - 前記加熱照射ビーム整形アセンブリは、ホログラム要素、隔膜、回折光学要素、フィルタ要素、ミラーアレイ要素、および可動ミラー要素を含むグループから選択されたビーム線の角度分布および/または場依存強度を調整する少なくとも1つの光学要素を備える請求項3に記載の測定装置。
- 撮像操作において有効パターンを撮像することを意図されている光学撮像システムの光学測定用の測定装置であって、
測定動作における撮像エラーを示す放射情報製造用装置であって、測定放射を提供する測定パターンを含むマスク構造機構を有する装置と、
撮像エラーを示す放射情報の検出および評価用の検出/評価装置と、
測定動作中の、前記光学撮像システムの放射加熱用の加熱照射機構であって、測定される前記光学撮像システムに加えられる放射の加熱効果が、予め決定できる許容範囲内で、前記光学撮像システムの撮像動作中に、有効パターンを介して通過する放射の加熱効果と等しくなるような加熱照射機構と、を備え、
測定放射および加熱照射を、測定操作中に、光学撮像システムを介して時間に関して交互に通過させるためにスイッチング装置が設けられる測定装置。 - 前記スイッチング装置は、測定放射を遮断し、加熱照射を前記光学撮像システムへ導く第1位置と、加熱照射を遮断し、測定放射を前記光学撮像システムへ導く第2位置の間を移動するように適合された可動光学要素を備える、請求項5に記載の測定装置。
- 撮像動作において有効パターンを撮像することを意図されている光学撮像システムの光学測定用の測定装置であって、
測定動作における撮像エラーを示す放射情報製造用装置であって、測定放射を提供する測定パターンを含むマスク構造機構を有する装置と、
撮像エラーを示す放射情報の検出および評価用の検出/評価装置と、
測定動作中の、前記光学撮像システムの放射加熱用の加熱照射機構であって、測定される前記光学撮像システムに加えられる放射の加熱効果が、予め決定できる許容範囲内で、前記光学撮像システムの撮像動作中に、有効パターンを介して通過する放射の加熱効果と等しくなるような加熱照射機構と、を備え、
異なる偏光状態の測定放射と加熱照射を生成するように適合され、加熱照射を阻止し、少なくとも部分的には測定放射を透過させる検出/評価装置の前部の偏光素子を含む偏光機構が設けられる測定装置。 - 前記加熱照射機構は、測定される前記光学撮像システムに対する、加熱照射パターンを介して通過する放射の加熱効果が、予め決定できる許容範囲内で、前記光学撮像システムの撮像動作中に、有効パターンを通過する放射の加熱効果と等しくなるように選択された加熱照射パターンを含むマスク構造素子を備える、請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の測定装置。
- 前記マスク構造機構は、測定パターンと加熱照射パターンが接合してその上に設けられるマスクを含む、請求項8に記載の測定装置。
- 前記放射加熱機構が、測定される前記光学撮像システムの瞳面において、予め決定できる許容範囲内で、有効パターンにより通常撮像動作中に瞳面上に製造される回折パターンに対応する回折パターンを製造するように選択される、請求項1から請求項9のいずれかに記載の測定装置。
- 測定パターンから来る放射成分を通過させ、前記加熱照射機構から来る放射成分を阻止するために、前記検出/評価装置の前部にスクリーン機構を更に備える、請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の測定装置。
- 前記検出/評価装置は、撮像エラーを示す放射情報の評価により得られる撮像エラー情報から、撮像エラーを補正するために有効パターンと共に通常撮像動作中に、前記光学撮像システムの開ループまたは閉ループ制御に使用されるエラー補正情報を計算するユニットを備える、請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の測定装置。
- 撮像エラー補正を含む、光学撮像システムの操作方法であって、
オプションとして前記光学撮像システムを測定し、測定装置により、放射依存性撮像エラー情報を決定し、その後、
測定ステップで決定され、放射加熱に依存する前記撮像エラー情報の関数として撮像エラーを補正するために、前記撮像システムの開ループまたは閉ループ制御を有する前記光学撮像システムにより有効パターンを撮像することを含む、操作方法。 - 使用された測定装置は、請求項1から請求項12のいずれか1項に記載の1つである、請求項13に記載の方法。
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