JP2007129520A - Piezoelectric vibrator and surface-mounted piezoelectric vibrator - Google Patents

Piezoelectric vibrator and surface-mounted piezoelectric vibrator Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To be able to provide a piezoelectric vibrator which maintains high airtightness and is a smaller cylinder type package, and at the same time, to provide a small surface-mounted piezoelectric vibrator whose height is 0.9 mm or less and which is easy to reduce mounting space by mounting the piezoelectric vibrator. <P>SOLUTION: In the piezoelectric vibrator; a lead terminal is arranged in a center position of an airtight terminal, an inner lead unit has a flat step difference plane which is parallel to a center line of the airtight terminal and separated by a predetermined distance from the center line, and the piezoelectric reed is supported by the flat step difference plane so as to be nearly in the center position of a sealed tube and in parallel. Moreover, the surface-mounted piezoelectric vibrator of electrode terminals is consisted of a vertical unit in which an airtight terminal side vertically crosses with a lengthwise direction of the piezoelectric vibrator, and a seal tube side is parallel to the lengthwise direction of the piezoelectric vibrator; and a horizontal unit to which external electrodes are connected. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、水晶振動子などの圧電振動片を円筒状のシリンダ型パッケージ内部に収納する圧電振動子及び表面実装型圧電振動子に関し、特に小型な圧電振動子及び外部基板に表面実装するのに好適な表面実装型圧電振動子に関するものである。   The present invention relates to a piezoelectric vibrator and a surface-mount piezoelectric vibrator that house a piezoelectric vibrating piece such as a quartz vibrator inside a cylindrical cylinder-type package, and more particularly to surface mounting on a small piezoelectric vibrator and an external substrate. The present invention relates to a suitable surface-mount type piezoelectric vibrator.

時計や発振器、電子機器等の工業製品の製造に不可欠な電子素子として、圧電振動子があり、時刻源やタイミング源あるいは信号の基準源として用いられている。圧電振動子のパッケージとして、円筒状のシリンダ型パッケージが慣用されている。シリンダ型パッケージの圧電振動子の構成について、図面を参照して説明する。   As an electronic element indispensable for manufacturing industrial products such as a timepiece, an oscillator, and an electronic device, there is a piezoelectric vibrator, which is used as a time source, a timing source, or a signal reference source. A cylindrical cylinder type package is commonly used as a package of a piezoelectric vibrator. The configuration of the piezoelectric vibrator of the cylinder type package will be described with reference to the drawings.

図11は、シリンダ型パッケージの圧電振動子の構成を示す分解斜視図である。図11に示すように、シリンダ型パッケージの圧電振動子6は、二本のリード端子を備えた気密端子1の内側のインナーリード2に圧電振動片4が接合されている。圧電振動片4は、水晶等の圧電材料からなり、フォトリソグラフィー技術により音叉型に形成されている。音叉型の圧電振動片4の二本の振動腕部の表面には、励振電極4aが形成されている。圧電振動片4の気密端子1側の表面には、励振電極4aに繋がったマウント電極7が形成されている。   FIG. 11 is an exploded perspective view showing a configuration of a piezoelectric vibrator of a cylinder type package. As shown in FIG. 11, in the piezoelectric vibrator 6 of the cylinder type package, the piezoelectric vibrating reed 4 is joined to the inner lead 2 inside the airtight terminal 1 having two lead terminals. The piezoelectric vibrating piece 4 is made of a piezoelectric material such as quartz, and is formed in a tuning fork shape by a photolithography technique. Excitation electrodes 4 a are formed on the surfaces of the two vibrating arms of the tuning fork-type piezoelectric vibrating piece 4. On the surface of the piezoelectric vibrating reed 4 on the airtight terminal 1 side, a mount electrode 7 connected to the excitation electrode 4a is formed.

圧電振動片4と気密端子1の内側のインナーリード2との接合は、このマウント電極7で行われている。インナーリード2は、気密端子1の中を貫通してアウターリード3となり、このインナーリード2とアウターリード3とを総称してリード端子と呼んでいる。気密端子1の外周には、音叉型の圧電振動片4を覆うように金属製のシリンダ状有底筒体の封止管5が被せられ、真空に気密封止されている。   The piezoelectric electrode 4 and the inner lead 2 inside the hermetic terminal 1 are joined by the mount electrode 7. The inner lead 2 penetrates through the airtight terminal 1 to become an outer lead 3, and the inner lead 2 and the outer lead 3 are collectively referred to as a lead terminal. The outer periphery of the hermetic terminal 1 is covered with a sealing tube 5 of a cylindrical bottomed cylinder made of metal so as to cover the tuning-fork type piezoelectric vibrating piece 4 and hermetically sealed in a vacuum.

上記のように構成されたシリンダ型パッケージの圧電振動子は、二本のアウターリード3に所定の電圧を駆動電圧として印加すると、電流がインナーリード2からマウント電極7を介して励振電極4aに流れ、圧電振動片4が所定の周波数で発振する。   When a predetermined voltage is applied as a drive voltage to the two outer leads 3, the current flows from the inner lead 2 to the excitation electrode 4 a via the mount electrode 7 in the cylinder-type package piezoelectric vibrator configured as described above. The piezoelectric vibrating piece 4 oscillates at a predetermined frequency.

上記のようなシリンダ型パッケージの圧電振動子6は、他の電子部品と異なり、自動実装機を使用して表面実装することができないことから、シリンダ型パッケージの圧電振動子6を樹脂で覆うように成形し、自動実装機を用いて表面実装を可能にした表面実装型圧電振動子が知られている。   The piezoelectric vibrator 6 of the cylinder type package as described above cannot be surface-mounted using an automatic mounting machine, unlike other electronic components, so that the piezoelectric vibrator 6 of the cylinder type package is covered with resin. 2. Description of the Related Art A surface-mount type piezoelectric vibrator that is molded into a shape and made surface-mountable using an automatic mounting machine is known.

図12及び13図は、表面実装型圧電振動子を説明する図であり、図12は外観斜視図、図13は樹脂を切断した状態の内部構造を示す概略断面図である。   12 and 13 are views for explaining a surface-mount type piezoelectric vibrator, FIG. 12 is an external perspective view, and FIG. 13 is a schematic cross-sectional view showing an internal structure in a state where a resin is cut.

図12及び図13に示すように、表面実装型圧電振動子10では、その中央部に圧電振動子6が設置されており、アウターリード3の先端側には、外部基板への実装をなすための電極端子11が設けられている。電極端子11は、クランク状に折曲形成がなされており、その片側端部をアウターリード3との接合部とするとともに、他方側を基板実装部とし、前記基板実装部が表面実装型圧電振動子10の外方に向かうよう配置された形状をしている。   As shown in FIGS. 12 and 13, in the surface mount piezoelectric vibrator 10, the piezoelectric vibrator 6 is installed at the center, and the outer lead 3 is mounted on the external substrate at the tip side. The electrode terminal 11 is provided. The electrode terminal 11 is bent in a crank shape. One end of the electrode terminal 11 serves as a joint portion with the outer lead 3 and the other side serves as a substrate mounting portion. The substrate mounting portion is a surface-mounted piezoelectric vibration. The shape is arranged so as to face outward of the child 10.

近年、電子部品を用いた製品の小型化がより進んでおり、電子素子の高さを低くする薄型化と、基板の小型化、表面実装型圧電振動子10の実装面積の低減化が強く要求されている。円筒状のシリンダ型の圧電振動子6を収納した表面実装型圧電振動子10の薄型化には、圧電振動子6の外径に大きく依存されていた。   In recent years, miniaturization of products using electronic components has been further advanced, and there is a strong demand for thinning to reduce the height of electronic elements, miniaturization of substrates, and reduction of the mounting area of the surface-mount piezoelectric vibrator 10. Has been. The thinning of the surface-mounted piezoelectric vibrator 10 that houses the cylindrical cylinder-type piezoelectric vibrator 6 largely depends on the outer diameter of the piezoelectric vibrator 6.

従来の前述した円筒状のシリンダ型パッケージの圧電振動子6を搭載した表面実装型圧電振動子10は、図13に示すように、高さが1.4mm、長さが7mmとなっている。その表面実装型圧電振動子10の内部に収納されている圧電振動子6の外径はφ1.2mmである。そのため、高さ0.9mm以下の表面実装型圧電振動子10を得ることは困難であった。圧電振動子6の断面構造について、図面を参照して説明する。   As shown in FIG. 13, the conventional surface-mounted piezoelectric vibrator 10 on which the above-described cylindrical cylinder-type package piezoelectric vibrator 6 is mounted has a height of 1.4 mm and a length of 7 mm. The outer diameter of the piezoelectric vibrator 6 housed in the surface-mounted piezoelectric vibrator 10 is φ1.2 mm. For this reason, it has been difficult to obtain the surface mount piezoelectric vibrator 10 having a height of 0.9 mm or less. The sectional structure of the piezoelectric vibrator 6 will be described with reference to the drawings.

図14(a)は、図13のA−A断面図である。従来の外径φ1.2mmの圧電振動子6の主要な各寸法は次の通りである。封止管5の外径はφ1.04mmであり、内径はφ0.88mmである。その封止管5の中心に、線径φ0.15mmの二本のインナーリード2が、互いに0.3mmの距離を隔てて対称に配置されている。圧電振動片4は、幅がおよそ0.45mmから0.55mm、厚みがおよそ100μmであり、二本のインナーリード2の接線上に接合されている。そのため、圧電振動片4が封止管5の中心から外れ、封止管5の内壁に偏って接近している構造となっている。   FIG. 14A is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. The main dimensions of the conventional piezoelectric vibrator 6 having an outer diameter of φ1.2 mm are as follows. The outer diameter of the sealing tube 5 is φ1.04 mm, and the inner diameter is φ0.88 mm. At the center of the sealing tube 5, two inner leads 2 having a wire diameter of 0.15 mm are arranged symmetrically with a distance of 0.3 mm from each other. The piezoelectric vibrating reed 4 has a width of about 0.45 mm to 0.55 mm and a thickness of about 100 μm, and is bonded on the tangent line of the two inner leads 2. Therefore, the piezoelectric vibrating reed 4 has a structure that deviates from the center of the sealing tube 5 and is biased toward the inner wall of the sealing tube 5.

そして、従来の高さ1.4mmの表面実装型圧電振動子10から、0.9mm以下の表面実装型圧電振動子を得るには、少なくとも、外径φ0.8mm以下の圧電振動子を要求されることになる。   In order to obtain a surface mount piezoelectric vibrator of 0.9 mm or less from the conventional surface mount piezoelectric vibrator 10 having a height of 1.4 mm, at least a piezoelectric vibrator having an outer diameter of φ0.8 mm or less is required. Will be.

そこで、二本のインナーリード2の接線上に接続された従来の圧電振動子6の構造で、外径およそφ0.8mmから割付した断面寸法をもとに、封止管5の外径をφ0.75mm、封止管5の内径をφ0.65mmとした場合に、圧電振動子6の外径をφ0.8mm以下とする小型化の課題について説明する。   Therefore, the outer diameter of the sealing tube 5 is set to φ0 based on the cross-sectional dimension assigned from the outer diameter of about φ0.8 mm in the structure of the conventional piezoelectric vibrator 6 connected on the tangent line of the two inner leads 2. The problem of miniaturization in which the outer diameter of the piezoelectric vibrator 6 is not more than φ0.8 mm when the inner diameter of the sealing tube 5 is φ0.65 mm will be described.

図14(b)は、封止管5の外径がφ0.75mm、封止管5の内径がφ0.65mmとして小型化したと想定した場合の、封止管5の中心に配置される二本のインナーリード2の接線上に接合された圧電振動子6の断面図である。   FIG. 14B shows a case where the outer diameter of the sealing tube 5 is φ0.75 mm and the inner diameter of the sealing tube 5 is assumed to be reduced to φ0.65 mm. 3 is a cross-sectional view of a piezoelectric vibrator 6 bonded on a tangent line of an inner lead 2. FIG.

圧電振動子6は、図14(b)において明らかなように、
1)従来の二本のインナーリード2を封止管5の中心に配置する構造では、圧電振動片4が封止管5に偏って接近している。そのため、二本のインナーリード2の接線上に接続された圧電振動片4と封止管5の内壁との距離がなく、封止管5の内壁に圧電振動片4が干渉している。すなわち、幅がおよそ0.45mmから0.55mm、厚みがおよそ100μmの圧電振動片4の封止管5への収納が困難となっている。
The piezoelectric vibrator 6 is clearly shown in FIG.
1) In the conventional structure in which the two inner leads 2 are arranged at the center of the sealing tube 5, the piezoelectric vibrating reed 4 is biased toward the sealing tube 5. For this reason, there is no distance between the piezoelectric vibrating reed 4 connected on the tangent line of the two inner leads 2 and the inner wall of the sealing tube 5, and the piezoelectric vibrating reed 4 interferes with the inner wall of the sealing tube 5. That is, it is difficult to store the piezoelectric vibrating reed 4 having a width of about 0.45 mm to 0.55 mm and a thickness of about 100 μm in the sealing tube 5.

2)小型化になるほど、封止管5の内径に対するインナーリード2の線径の比率が大きくなって、圧電振動子6の外径がφ0.8mm以下では、従来の二本インナーリード2は気密端子1の金属環7の内径との間隔がほとんどなくなる。従来の二本インナーリード2の径をそのままにして気密端子1の金属環7の内径に二本インナーリード2を収納するのは困難となる。   2) As the size is reduced, the ratio of the wire diameter of the inner lead 2 to the inner diameter of the sealing tube 5 increases, and when the outer diameter of the piezoelectric vibrator 6 is 0.8 mm or less, the conventional two inner leads 2 are airtight. The distance from the inner diameter of the metal ring 7 of the terminal 1 is almost eliminated. It becomes difficult to store the two inner leads 2 in the inner diameter of the metal ring 7 of the airtight terminal 1 while keeping the diameter of the conventional two inner leads 2 as it is.

3)インナーリード2の線径を従来のφ0.15mmより小さくすると、圧電振動片4の支持剛性不足、インナーリード2の変形などの問題が生じ、小型化の限界となっている。   3) If the wire diameter of the inner lead 2 is smaller than the conventional φ0.15 mm, problems such as insufficient support rigidity of the piezoelectric vibrating reed 4 and deformation of the inner lead 2 occur, which is the limit of miniaturization.

上記圧電振動子6の薄型化の問題を解決するための例として、楕円あるいは略楕円の円筒ケースを用いれば圧電振動子6の薄型化を図ることができる。このような容器としては、例えば特許文献1に開示されたものがある。この特許文献1に開示された構成によれば、金属環が扁平状であり、インナーリードが偏心、屈曲して封着した気密端子の構造になっている。   As an example for solving the thinning problem of the piezoelectric vibrator 6, the piezoelectric vibrator 6 can be thinned by using an elliptical or substantially elliptic cylindrical case. An example of such a container is disclosed in Patent Document 1. According to the configuration disclosed in Patent Document 1, the metal ring has a flat shape, and the inner lead has an airtight terminal structure that is eccentric, bent, and sealed.

しかしながら、特許文献1に開示された気密端子のように、金属環が扁平状である気密端子では、圧電振動子の厚みがおよそ1.0mmであるため、高さ0.9mm以下の表面実装型圧電振動子を得ることは困難であった。   However, in the airtight terminal in which the metal ring is flat like the airtight terminal disclosed in Patent Document 1, since the thickness of the piezoelectric vibrator is approximately 1.0 mm, the surface mount type has a height of 0.9 mm or less. It was difficult to obtain a piezoelectric vibrator.

また、扁平状気密端子特有の問題として、小型化につれて圧入方向合せの困難や接触面圧差による気密漏れが発生したりするという問題点も有している。   In addition, as a problem specific to the flat airtight terminal, there are problems such as difficulty in aligning the press-fitting direction and airtight leakage due to a contact surface pressure difference as the size is reduced.

このように、圧電振動子においては、従来のインナーリード二本を封止管の中心に配置する構造や、インナーリード二本を偏心させて圧電振動片をインナーリードの接線上に接続する構造では、外径φ0.8mmの小型化への限界があった。   As described above, in the piezoelectric vibrator, in the structure in which two conventional inner leads are arranged at the center of the sealing tube, or in the structure in which the two inner leads are eccentric and the piezoelectric vibrating piece is connected on the tangent line of the inner lead. There was a limit to downsizing the outer diameter φ0.8 mm.

一方で、扁平状の気密端子によらずに小型化の問題を解決するためにインナーリードを一本とした例として、特許文献2、特許文献3がある。   On the other hand, Patent Document 2 and Patent Document 3 are examples in which one inner lead is used in order to solve the problem of miniaturization without using a flat airtight terminal.

この特許文献2、特許文献3に開示された構造によれば、圧電振動片の表面に形成された電極(以下、「圧電振動片電極」と呼ぶ。)を気密端子の一本のインナーリードに、他方の一本のインナーリードを金属製シリンダ状有底筒体の封止管の一端に、それぞれ反対方向に引き出し、一対の端子を形成している。   According to the structures disclosed in Patent Document 2 and Patent Document 3, an electrode formed on the surface of the piezoelectric vibrating piece (hereinafter referred to as “piezoelectric vibrating piece electrode”) is used as one inner lead of an airtight terminal. The other inner lead is drawn out in the opposite direction to one end of the sealing tube of the metal cylindrical bottomed cylindrical body to form a pair of terminals.

圧電振動子を小型化するにあたって、圧電振動片電極を接続する構成要素は、圧電振動子の気密性、周波数、耐衝撃性、CI値の特性に重要な影響を及ぼす。特許文献2の、他方の圧電振動片電極を封止管の一端に接続する構成部材は、封止管の小孔を通して圧電振動片電極に接続するリード端子を設けている。特許文献3の、他方の圧電振動片電極を封止管の一端に接続する構成部材は、ベースに有した金属シェル内方の突出片を設けている。そして、気密端子のリード端子と封止管の一端とを、外部基板に接続する表面実装用端子に接続している構造となっている。
特開2000−165182号公報 特開平03−171915号公報 特開2002−43886号公報
In downsizing the piezoelectric vibrator, the components that connect the piezoelectric vibrating piece electrode have an important influence on the airtightness, frequency, impact resistance, and CI value characteristics of the piezoelectric vibrator. The component member of Patent Document 2 that connects the other piezoelectric vibrating piece electrode to one end of the sealing tube is provided with a lead terminal that connects to the piezoelectric vibrating piece electrode through a small hole in the sealing tube. The component member of Patent Document 3 that connects the other piezoelectric vibrating reed electrode to one end of the sealing tube is provided with a protruding piece inside the metal shell provided in the base. The lead terminal of the airtight terminal and one end of the sealing tube are connected to the surface mounting terminal connected to the external substrate.
JP 2000-165182 A Japanese Patent Laid-Open No. 03-171915 Japanese Patent Laid-Open No. 2002-43886

しかしながら、特許文献2における圧電振動片を封止管の一端に接続する構成として、封止管の小孔を通して圧電振動片電極に接続するリード端子を設ける構成としていることは以下の課題を有している。   However, as a configuration for connecting the piezoelectric vibrating piece in Patent Document 2 to one end of the sealing tube, a configuration in which a lead terminal connected to the piezoelectric vibrating piece electrode through a small hole in the sealing tube has the following problems. ing.

特許文献2に開示されている圧電振動子は、
1)圧電振動片の両端に対向して圧電振動片を単独で支持できる強度と大きさをもつ圧電振動片に限られ、上述の幅がおよそ0.45mmから0.55mm、厚みがおよそ100μmの小型な圧電振動片は単独で両端を支持できる強度がなく、小径の円筒型金属ケースに収納する小型化構造とするのは困難である。
The piezoelectric vibrator disclosed in Patent Document 2 is
1) The piezoelectric vibrating piece is limited to a piezoelectric vibrating piece having a strength and a size capable of supporting the piezoelectric vibrating piece independently by being opposed to both ends of the piezoelectric vibrating piece. The width is about 0.45 mm to 0.55 mm and the thickness is about 100 μm. A small piezoelectric vibrating piece does not have a strength capable of supporting both ends independently, and it is difficult to achieve a miniaturized structure that can be housed in a small-diameter cylindrical metal case.

2)気密端子部と円筒型金属ケースの圧入部に加え、円筒型金属ケースのリード端子小孔部の3箇所の気密封着部となり、気密封着部が増加して、円筒状のシリンダ型パッケージとしての気密性が高いという特徴を生かせず、気密性の信頼性に欠ける。
という問題点がある。
2) In addition to the press-fit part of the airtight terminal part and the cylindrical metal case, there are three airtightly attached parts of the lead terminal small hole part of the cylindrical metal case. It does not take advantage of its high airtightness as a package and lacks airtight reliability.
There is a problem.

また、特許文献3における封止管の一端に接続する構成として、ベースに有した金属シェル内方の突出片を設ける構成としていることは以下の課題を有している。   Moreover, as a structure connected to the end of the sealing pipe | tube in patent document 3, it has the following subjects that it is the structure which provides the protrusion piece inside the metal shell which it had in the base.

特許文献3に開示されている圧電振動子は、
1)封止管の中心に配置される一本のリード端子の接線上に圧電振動片をマウントする構造であるため、従来のリード端子二本を封止管の中心に配置する構造と同様に、圧電振動片と封止管内壁との距離がなく、封止管内壁に圧電振動片が干渉して、幅がおよそ0.45mmから0.55mm、厚みがおよそ100μmの圧電振動片の封止管への収納が困難となる。
The piezoelectric vibrator disclosed in Patent Document 3 is
1) Since the piezoelectric vibrating reed is mounted on the tangent line of one lead terminal disposed at the center of the sealing tube, the structure is similar to the conventional structure in which two lead terminals are disposed at the center of the sealing tube. There is no distance between the piezoelectric vibrating piece and the inner wall of the sealing tube, and the piezoelectric vibrating piece interferes with the inner wall of the sealing tube to seal the piezoelectric vibrating piece having a width of about 0.45 mm to 0.55 mm and a thickness of about 100 μm. Storage in the tube becomes difficult.

これを避けて、小径のリード端子、または、リード端子を偏心させても同様に、気密端子封着組立においての絶縁材であるタブレットの偏心穴と偏心位置への挿入時や、リード端子のメッキ処理時でのリード端子曲がりが生じやすくなり、リード端子の必要な剛性に欠け、圧電振動片の取付け精度と共に圧電振動子の取り扱いによる振動子品質特性の低下がもたらされる場合があり、小型化構造とするのを阻害しているという問題点があった。   Avoiding this, even if the lead terminal has a small diameter or the lead terminal is eccentric, similarly, when inserting the tablet into the eccentric hole and eccentric position, which is an insulating material in the hermetic terminal sealing assembly, or plating the lead terminal The lead terminal is easily bent during processing, the lead terminal lacks the required rigidity, and the vibrator quality characteristics may deteriorate due to the handling of the piezoelectric vibrator as well as the mounting accuracy of the piezoelectric vibrator. There was a problem that it was obstructing.

2)安定したマウント電極接続をするために、圧電振動片電極を接続する構成要素としての、金属シェル内方の突出片には、接続をするための金属シェルの回転方向規制を必要とする。金属シェル回転方向規制のばらつきによって、マウント電極接続の箇所と接続面積のばらつきとなり、振動子品質特性の低下がもたらされる場合がある。   2) In order to make a stable mount electrode connection, the projecting piece inside the metal shell as a component for connecting the piezoelectric vibrating piece electrode needs to regulate the rotation direction of the metal shell for connection. Variations in the metal shell rotation direction regulation may cause variations in the location and connection area of the mount electrode connection, which may lead to a decrease in vibrator quality characteristics.

3)リード端子と突出片とが所定の間隔をもって対峙しており、この間隔に圧電振動片を配置してマウントする構造から、金属シェル内方の突出片と圧電振動片電極との電気的接合は、突出片とのすきまを埋める導電性接着剤などの手段に限られ、封入時において、導電性接着剤からのガスが真空度を低下させ、CI値の特性低下を招くなどの欠点を有している。   3) Since the lead terminal and the protruding piece are opposed to each other with a predetermined interval, and the piezoelectric vibrating piece is mounted at this interval and mounted, the electric connection between the protruding piece inside the metal shell and the piezoelectric vibrating piece electrode Is limited to means such as a conductive adhesive that fills the gap between the protruding pieces, and has the disadvantage that the gas from the conductive adhesive lowers the degree of vacuum and reduces the CI value characteristics when sealed. is doing.

次に、前述した従来の表面実装型圧電振動子10では、電極端子11をクランク状に折り曲げて形成しているため、アウターリード3より外方に下部電極端子11aを突出し、表面実装型圧電振動子10の全長は下部電極端子11aとアウターリード3の先端までの寸法までの長さが必要となり、表面実装型圧電振動子10の小型化を阻害しているという問題点があった。   Next, in the conventional surface mount piezoelectric vibrator 10 described above, since the electrode terminal 11 is formed in a crank shape, the lower electrode terminal 11a protrudes outward from the outer lead 3, and the surface mount piezoelectric vibration is formed. There is a problem that the length of the child 10 is required up to the size of the lower electrode terminal 11a and the tip of the outer lead 3, which hinders the miniaturization of the surface mount type piezoelectric vibrator 10.

また、封止管5側の電極端子11は、表面実装型圧電振動子10の長手方向に垂直部11bを直列配置しているため、垂直部11bを加えた長さが必要となり、表面実装型圧電振動子10の小型化と実装面積低減を阻害しているという問題点があった。   Further, the electrode terminal 11 on the sealing tube 5 side has the vertical portion 11b arranged in series in the longitudinal direction of the surface-mount type piezoelectric vibrator 10, and therefore requires a length including the vertical portion 11b. There is a problem that the piezoelectric vibrator 10 is hindered from being reduced in size and mounting area.

本発明は、上記課題を解決して、高い気密性を維持し、より小型のシリンダ型パッケージの圧電振動子を提供するとともに、該圧電振動子を搭載することにより、高さが0.9mm以下で実装面積低減が容易な小型の表面実装型圧電振動子を提供することを目的とする。   The present invention solves the above-described problems, maintains high airtightness, provides a smaller-sized cylinder-type package piezoelectric vibrator, and has a height of 0.9 mm or less by mounting the piezoelectric vibrator. An object of the present invention is to provide a small surface-mount piezoelectric vibrator that can easily reduce the mounting area.

上記目的を達成するために、本発明は以下の解決手段をとることとした。   In order to achieve the above object, the present invention takes the following solutions.

第1の発明の圧電振動子は、金属環内に充填された絶縁材を介して貫通する一本のリード端子が封着された気密端子と、前記リード端子のインナーリードに支持され、表面に2つの励磁電極と2つのマウント電極が形成されている圧電振動片と、前記圧電振動片を収納し、開口部が前記気密端子の前記金属環で気密に封止された金属製有底円筒状の封止管と、を有する圧電振動子であって、前記リード端子は、円形の断面形状をして前記金属環の中心位置に配置され、前記インナーリードは、前記金属環の軸方向中心線に平行でかつ該中心線から所定の距離を隔てた平坦段差面を有し、前記圧電振動片は、前記封止管の略中央位置にかつ平行になるように前記平坦段差面で支持されていることを特徴とするものである。   The piezoelectric vibrator of the first invention is supported by an airtight terminal sealed with one lead terminal penetrating through an insulating material filled in a metal ring, and an inner lead of the lead terminal, A piezoelectric vibrating piece having two excitation electrodes and two mounting electrodes, and a metal bottomed cylindrical shape that houses the piezoelectric vibrating piece and has an opening hermetically sealed with the metal ring of the hermetic terminal The lead terminal has a circular cross-sectional shape and is disposed at the center position of the metal ring, and the inner lead is an axial center line of the metal ring. Parallel to the center line and at a predetermined distance from the center line, and the piezoelectric vibrating piece is supported by the flat step surface so as to be parallel to a substantially central position of the sealing tube. It is characterized by being.

この第1の発明の構成によれば、金属環及び封止管の直径を最も小さく、封止管内に収納する圧電振動片マウント精度を高精度にして、小型化にも関わらず圧電振動片を支持するリード端子の剛性を維持し、従来のリード端子二本接近によるショートを解消した小型の圧電振動子を提供することができる。   According to the configuration of the first aspect of the invention, the diameter of the metal ring and the sealing tube is the smallest, the piezoelectric vibrating reed mounting accuracy to be accommodated in the sealing tube is high, and the piezoelectric vibrating reed can be mounted despite the miniaturization. It is possible to provide a small piezoelectric vibrator that maintains the rigidity of the lead terminals to be supported and eliminates a short circuit due to the proximity of two conventional lead terminals.

すなわち、リード端子は、円形の断面形状をして金属環の中心位置に配置され、圧電振動片は、封止管の略中央位置にかつ平行になるように平坦段差面で支持されていることにより、金属環及び封止管の直径を最も小さく構成する気密性の高い円筒状の小型の圧電振動子とすることができる。   That is, the lead terminal has a circular cross-sectional shape and is arranged at the center position of the metal ring, and the piezoelectric vibrating piece is supported by a flat step surface so as to be parallel to the approximate center position of the sealing tube. Thus, a small, highly airtight cylindrical piezoelectric vibrator having the smallest diameter of the metal ring and the sealing tube can be obtained.

また、リード端子は、一本の円形の断面形状をして金属環の中心位置に配置されていることから、リード端子中心位置を最も容易に高精度配置の気密端子とすることができる。そして高精度なリード端子中心位置基準に、インナーリード平行平坦段差面を高精度に加工形成することが容易にできる。インナーリード平行平坦段差面を高精度に形成できることから、平行平坦段差面に圧電振動片が安定してマウントされ、圧電振動片を収納する封止管の最大径の略中央位置と平行な最適な配置にして、最小の封止管内径に合わせた小型の圧電振動子とすることができる。   Further, since the lead terminal has a single circular cross-sectional shape and is arranged at the center position of the metal ring, the lead terminal center position can be most easily made into an airtight terminal with high precision arrangement. Further, it is possible to easily form and form the inner lead parallel flat stepped surface with high accuracy based on the highly accurate lead terminal center position reference. Since the inner lead parallel flat stepped surface can be formed with high precision, the piezoelectric vibrating piece is stably mounted on the parallel flat stepped surface, and is optimally parallel to the approximate center position of the maximum diameter of the sealing tube that houses the piezoelectric vibrating piece. It is possible to provide a small piezoelectric vibrator that is arranged and adapted to the minimum inner diameter of the sealing tube.

また、リード端子一本の中心位置配置によって、リード端子二本に比較してリード端子直径のより太い配置が金属環の中心位置に可能となることから、金属環の小型化にも関わらずリード端子の剛性を維持した圧電振動子とすることができる。   In addition, the center position of one lead terminal allows a thicker lead terminal diameter to be placed at the center position of the metal ring compared to two lead terminals. A piezoelectric vibrator that maintains the rigidity of the terminal can be obtained.

また、圧電振動片のマウント精度の起因となるリード端子二本の配置誤差や、リード端子二本接近によるショートがリード端子一本配置によって解決できる。   Further, the arrangement error of the two lead terminals which causes the mounting accuracy of the piezoelectric vibrating piece and the short circuit due to the proximity of the two lead terminals can be solved by the arrangement of the one lead terminal.

第2の発明の圧電振動子は、第1の発明の構成において、前記圧電振動片の2つのマウント電極は、前記インナーリードに支持されるマウント部の表裏面に各々1つ形成されていることを特徴とするものである。   According to a second aspect of the invention, in the configuration of the first aspect of the invention, the two mount electrodes of the piezoelectric vibrating piece are each formed on the front and back surfaces of the mount portion supported by the inner lead. It is characterized by.

この第2の発明の構成によれば、圧電振動片の2つのマウント電極は、インナーリード部に支持されるマウント部の表裏面に各々1つ形成されていることにより、圧電振動片を収納する封止管の最大径の略中央位置と平行な最適な配置にして、一本のインナーリード端子による支持と、圧電振動片電極の略中央位置での表裏方向接続構成に好適であり、また接続するマウント電極の面が広くとれ、小型にしてマウント電極間のショートを防ぐ気密端子の圧電振動子を提供することができる。   According to the configuration of the second aspect of the invention, the two mounting electrodes of the piezoelectric vibrating piece are formed on the front and back surfaces of the mounting portion supported by the inner lead portion, respectively, thereby accommodating the piezoelectric vibrating piece. Optimal arrangement parallel to the approximate center position of the maximum diameter of the sealing tube, suitable for support by a single inner lead terminal, and front-back direction connection configuration at approximately the center position of the piezoelectric vibrating piece electrode. Therefore, it is possible to provide a piezoelectric vibrator having a hermetic terminal in which the surface of the mount electrode to be taken is wide, which is small in size, and prevents a short circuit between the mount electrodes.

第3の発明の圧電振動子は、第1または第2の発明の構成において、前記金属環は、前記インナーリード側に、前記金属環の中心線に平行な小径部を有し、前記2つのマウント電極のうち第1のマウント電極は、前記インナーリードの前記平坦段差面に接続され、第2のマウント電極は、前記小径部に接続されていることを特徴とするものである。   According to a third aspect of the present invention, in the piezoelectric vibrator according to the first or second aspect, the metal ring has a small-diameter portion parallel to the center line of the metal ring on the inner lead side. Of the mount electrodes, the first mount electrode is connected to the flat stepped surface of the inner lead, and the second mount electrode is connected to the small diameter portion.

この第3の発明の構成によれば、第1のマウント電極は、インナーリードの平坦段差面に接続され、第2のマウント電極は、金属環の中心線に平行な小径部に接続されていることより、小型にして安定した接続品質が得られる。   According to the configuration of the third aspect of the invention, the first mount electrode is connected to the flat step surface of the inner lead, and the second mount electrode is connected to the small diameter portion parallel to the center line of the metal ring. As a result, a small size and stable connection quality can be obtained.

すなわち、小径部は、封止管と金属環との間に円周方向に渡り、円周方向の接続位置決め方向性を不要にした空間を作り、円周方向の自由度のある電極接続手段をとることができることにより、安定した接続品質が得ることができ、圧電振動片の略中央位置におけるマウント電極の表裏方向接続が小型に構成することができる。   That is, the small-diameter portion spans in the circumferential direction between the sealing tube and the metal ring, creates a space that eliminates the need for circumferential connection positioning directionality, and provides electrode connection means having freedom in the circumferential direction. By being able to take it, stable connection quality can be obtained, and the front and back direction connection of the mount electrode at a substantially central position of the piezoelectric vibrating piece can be configured in a small size.

第4の発明の圧電振動子は、第1乃至第3の発明のうち何れか1つの発明の構成において、前記第2のマウント電極と、前記小径部との接続は、金属ワイヤで接続することを特徴とするものである。   According to a fourth aspect of the invention, in the piezoelectric vibrator according to any one of the first to third aspects of the invention, the second mount electrode and the small diameter portion are connected by a metal wire. It is characterized by.

この第4の発明の構成によれば、金属環の中心線に平行な小径部に対して金属ワイヤで接続するマウント電極との接続は、圧電振動片の略中央位置におけるマウント電極と離れた距離にある金属環との接続に好適である。   According to the configuration of the fourth aspect of the invention, the connection with the mount electrode connected with the metal wire to the small diameter portion parallel to the center line of the metal ring is a distance away from the mount electrode at the substantially central position of the piezoelectric vibrating piece. It is suitable for the connection with the metal ring in.

金属ワイヤで接続することにより、圧電振動片の微小な相対変位にも追従して接続の信頼性を確保し、また接続に接着剤などを使用した際によるベーキング時のアウトガス発生の品質的悪影響を避ける圧電振動子を提供することができる。   By connecting with a metal wire, the reliability of the connection is ensured by following the minute relative displacement of the piezoelectric vibrating piece, and there is an adverse effect on the quality of outgassing during baking due to the use of an adhesive or the like for the connection. An avoiding piezoelectric vibrator can be provided.

第5の発明の圧電振動子は、第1乃至第4の発明のうち何れか1つの発明の構成において、前記平坦段差面は、前記金属環の中心線の位置を越え、前記金属環の中心線から前記圧電振動片の厚みの距離以下であるのが好ましい。   According to a fifth aspect of the present invention, in the piezoelectric vibrator according to any one of the first to fourth aspects of the invention, the flat stepped surface exceeds the position of the center line of the metal ring, and the center of the metal ring. It is preferable that the distance is not more than the distance of the thickness of the piezoelectric vibrating piece from the line.

かかる好ましい構成によれば、平坦段差面は、金属環の中心線の位置を越え、金属環の中心線から圧電振動片の厚みの距離以下であることにより、インナーリードの平坦段差面が封止管の略中央位置にかつ平行に配置されて、封止管スペースを最大限に活用した配置の小型な圧電振動子を提供することができる。   According to such a preferable configuration, the flat step surface exceeds the position of the center line of the metal ring and is equal to or less than the distance of the thickness of the piezoelectric vibrating piece from the center line of the metal ring, so that the flat step surface of the inner lead is sealed. It is possible to provide a small piezoelectric vibrator that is arranged in parallel at a substantially central position of the pipe and that makes the best use of the sealed pipe space.

すなわち、封止管の略中央スペースに、圧電振動片のマウントを安定させる平行な平坦段差面をもって、封止管最大径の位置で、圧電振動片を金属環の中心に対して圧電振動片厚み範囲以内の略中央位置かつ平行として、最小径の封止管とした小型圧電振動子とすることができる。   In other words, the thickness of the piezoelectric vibrating piece with respect to the center of the metal ring at the position of the maximum diameter of the sealing tube has a parallel flat step surface that stabilizes the mounting of the piezoelectric vibrating piece in the substantially central space of the sealing tube. A small piezoelectric vibrator having a sealed tube with a minimum diameter at a substantially central position within the range and in parallel can be obtained.

第6の発明の圧電振動子は、第1乃至第5の発明のうち何れか1つの発明の構成において、前記リード端子の直径は、前記金属環の最内径の25%以上であり、かつ40%以下であるのが好ましい。   According to a sixth aspect of the present invention, in the piezoelectric vibrator according to any one of the first to fifth aspects, the diameter of the lead terminal is 25% or more of the innermost inner diameter of the metal ring, and 40 % Or less is preferable.

かかる好ましい構成によれば、リード端子の直径は、金属環の最内径の25%以上であり、かつ40%以下であることにより、金属環の小型化にも関わらずリード端子の剛性をリード端子二本並み、又はそれ以上の剛性を維持して耐衝撃性のある小型の圧電振動子を提供することができる。   According to such a preferable configuration, the lead terminal has a diameter of 25% or more of the innermost inner diameter of the metal ring and 40% or less, so that the rigidity of the lead terminal can be increased despite the miniaturization of the metal ring. It is possible to provide a small piezoelectric vibrator having impact resistance while maintaining the rigidity of two or more.

リード端子の直径は、金属環の最内径の25%以上であり、かつ40%以下であるとするのは、金属環の内径の25%以下ではリード端子の剛性が小さくなり耐衝撃性に弱く、40%以上では、絶縁材のタブレット形成が困難となるためである。   The diameter of the lead terminal is 25% or more of the innermost diameter of the metal ring and 40% or less. When the lead terminal has a diameter of 25% or less of the inner diameter of the metal ring, the rigidity of the lead terminal is reduced and the impact resistance is weak. If it is 40% or more, it is difficult to form a tablet of the insulating material.

第7の発明の圧電振動子は、第1乃至第6の発明のうち何れか1つの発明の構成において、前記平坦段差面の厚みは、前記リード端子の直径の60%以上であり、かつ70%以下であるのが好ましい。   According to a seventh aspect of the present invention, in the piezoelectric vibrator according to any one of the first to sixth aspects, the thickness of the flat stepped surface is 60% or more of the diameter of the lead terminal, and 70 % Or less is preferable.

かかる好ましい構成によれば、平坦段差面の厚みは、リード端子の直径の60%以上であり、かつ70%以下であることにより、金属環の小型化にも関わらずリード端子の剛性をリード端子二本並み、又はそれ以上の剛性を維持した耐衝撃性と、圧電振動片の支持幅を広くした平行平坦段差面に圧電振動片が略中央位置に安定してマウントすることとの両立した小型気密端子とする圧電振動子を提供することができる。   According to such a preferable configuration, the thickness of the flat stepped surface is 60% or more and 70% or less of the diameter of the lead terminal, so that the rigidity of the lead terminal can be improved despite the miniaturization of the metal ring. Compact size that combines shock resistance with two or more stiff rigidity and stable mounting of the piezoelectric vibrating piece at a substantially central position on a parallel flat stepped surface with a wider support width. A piezoelectric vibrator having an airtight terminal can be provided.

第8の発明の圧電振動子は、第1乃至第7の発明のうち何れか1つの発明の構成において、前記小径部の長さは、0.05mm以上であり、かつ0.15mm以下であるのが好ましい。   According to an eighth aspect of the present invention, in the piezoelectric vibrator according to any one of the first to seventh aspects, the length of the small diameter portion is 0.05 mm or more and 0.15 mm or less. Is preferred.

かかる好ましい構成によれば、小径部の長さは、0.05mm以上であり、かつ0.15mm以下であることにより、小径部は、封止管と金属環との間に円周方向に渡り、円周方向の接続位置決め方向性を不要にして電極接続に必要な長さを確保することができる。金属ワイヤで接続するワイヤボンダのキャピラリを接近させる長さを満たすのに好適であり、金属環長さ方向を短くした小型の圧電振動子を提供することができる。   According to such a preferable configuration, the length of the small diameter portion is 0.05 mm or more and 0.15 mm or less, so that the small diameter portion extends in the circumferential direction between the sealing tube and the metal ring. Further, it is possible to ensure the length necessary for electrode connection without the need for circumferential connection positioning. A small piezoelectric vibrator that is suitable for satisfying the length of approaching the capillary of a wire bonder connected by a metal wire and having a shortened metal ring length direction can be provided.

第9の発明の圧電振動子は、第1乃至第8の発明のうち何れか1つの発明の構成において、前記封止管の外径は、0.8mm以下であるのが好ましい。   According to a ninth aspect of the present invention, in the piezoelectric vibrator according to any one of the first to eighth aspects, the outer diameter of the sealing tube is preferably 0.8 mm or less.

かかる好ましい構成によれば、金属環及び封止管の径を最も小さく、封止管内に収納する圧電振動片のマウント精度を高精度に、小型化にも関わらず圧電振動片を支持するリード端子の剛性を維持し、従来のリード端子二本接近によるショートを解消して、円筒状のシリンダ型パッケージ圧電振動子のφ0.8mm以下に収める小型化の圧電振動子を提供することができる。   According to such a preferable configuration, the lead terminal that supports the piezoelectric vibrating piece despite the fact that the diameter of the metal ring and the sealing tube is the smallest, the mounting accuracy of the piezoelectric vibrating piece housed in the sealing tube is high, and the size is reduced. Therefore, it is possible to provide a miniaturized piezoelectric vibrator that can be accommodated within φ0.8 mm of a cylindrical cylinder-type package piezoelectric vibrator by eliminating the short-circuit caused by the approach of two conventional lead terminals.

第10の発明の表面実装型圧電振動子は、第1の発明乃至第9の発明のいずれか1つの発明に記載の圧電振動子と、前記圧電振動子と外部との電気的導通を成すための電極端子と、前記圧電振動子を被覆するモールド樹脂と、を有することを特徴とするものである。   According to a tenth aspect of the present invention, there is provided a surface-mount piezoelectric vibrator for electrically connecting the piezoelectric vibrator according to any one of the first to ninth inventions and the piezoelectric vibrator to the outside. The electrode terminal and a mold resin for covering the piezoelectric vibrator are provided.

この第10の発明の構成によれば、第1の発明乃至第9の発明のいずれか1つの発明に記載の圧電振動子と、圧電振動子と外部との電気的導通を成すための電極端子と、圧電振動子を被覆するモールド樹脂と、を有することによって、φ0.8mm以下の円筒状のシリンダ型パッケージ圧電振動子を収め、高さを低くした薄型の表面実装型圧電振動子を提供することができる。   According to the configuration of the tenth invention, the piezoelectric vibrator according to any one of the first to ninth inventions, and an electrode terminal for establishing electrical continuity between the piezoelectric vibrator and the outside And a mold resin that covers the piezoelectric vibrator, and a cylindrical surface-mount type piezoelectric vibrator having a cylindrical shape with a diameter of φ0.8 mm or less is accommodated and the thickness is reduced. be able to.

すなわち、金属環及び封止管の径を最も小さく、封止管内に収納する圧電振動片のマウント精度を高精度にして、小型化にも関わらず圧電振動片を支持するリード端子の剛性を維持し、従来のリード端子二本接近によるショートを解消した小型の圧電振動子を有することにより、φ0.8mm以下の気密性の高い円筒状のシリンダ型パッケージの圧電振動子をモールド樹脂内に収め、高さを低くした薄型の表面実装型圧電振動子を提供することができる。   In other words, the diameter of the metal ring and the sealing tube is the smallest, the mounting accuracy of the piezoelectric vibrating piece housed in the sealing tube is high, and the rigidity of the lead terminal that supports the piezoelectric vibrating piece is maintained despite the miniaturization. In addition, by having a small piezoelectric vibrator that eliminates the short-circuit due to the approach of two conventional lead terminals, the piezoelectric vibrator of a cylindrical cylinder package with a high airtightness of φ0.8 mm or less is housed in the mold resin, A thin surface-mount piezoelectric vibrator having a reduced height can be provided.

第11の発明の表面実装型圧電振動子は、第10の発明の構成において、前記電極端子は、前記圧電振動子長手方向の両端に配置され、前記電極端子の外部電極と接続する水平部と、前記電極端子の一部を曲げ起こした垂直部とで形成されていることを特徴とするものである。   According to an eleventh aspect of the invention, in the structure of the tenth aspect, the surface mount type piezoelectric vibrator includes: a horizontal portion that is disposed at both ends in the longitudinal direction of the piezoelectric vibrator and is connected to an external electrode of the electrode terminal; The electrode terminal is formed by a vertical portion where a part of the electrode terminal is bent and raised.

この第11の発明の構成によれば、電極端子は、圧電振動子長手方向の両端に配置され外部と電気的に接続する水平部と、電極端子の一部を曲げ起こした垂直部とで形成されていることにより、長さを抑え最小構成として実装面積低減が図れた小型の表面実装型圧電振動子を提供することができる。   According to the configuration of the eleventh aspect of the invention, the electrode terminal is formed by a horizontal portion that is disposed at both ends in the longitudinal direction of the piezoelectric vibrator and is electrically connected to the outside, and a vertical portion in which a part of the electrode terminal is bent up. As a result, it is possible to provide a small surface-mount type piezoelectric vibrator that can reduce the mounting area as a minimum configuration while suppressing the length.

すなわち、外部と電気的に接続する水平部と、封止管の幅方向の位置規制、そして圧電振動子を被覆するモールド樹脂のアンカーの役割を成す垂直部により、クランク状に折曲形成した水平部などの長くなるスペースを持たず、長さを抑え最小構成として実装面積低減が図れた小型の表面実装型圧電振動子とすることができる。   That is, a horizontal part electrically connected to the outside, a horizontal part that is bent in a crank shape by a position part in the width direction of the sealing tube, and a vertical part that serves as an anchor of a mold resin covering the piezoelectric vibrator A small surface-mount type piezoelectric vibrator that does not have a long space such as a portion and can be reduced in length and the mounting area can be reduced as a minimum configuration.

第12の発明は、第10又は第11の発明の構成において、前記気密端子側の前記電極端子の垂直部は、前記表面実装型圧電振動子の長手方向と直交し、前記封止管側の前記電極端子の垂直部は、前記表面実装型圧電振動子の長手方向と平行であることを特徴とするものである。   In a twelfth aspect of the invention according to the tenth or eleventh aspect of the invention, a vertical portion of the electrode terminal on the airtight terminal side is orthogonal to a longitudinal direction of the surface-mount piezoelectric vibrator, and is on the sealing tube side. The vertical part of the electrode terminal is parallel to the longitudinal direction of the surface-mount piezoelectric vibrator.

この第12の発明の構成によれば、気密端子側の電極端子の垂直部は、表面実装型圧電振動子の長手方向と直交し、封止管側の電極端子の垂直部は、表面実装型圧電振動子の長手方向と平行であることにより、外形寸法を増やさず長さを抑え最小構成として実装面積低減が図れた小型の表面実装型圧電振動子を提供することができる。   According to the configuration of this twelfth aspect, the vertical portion of the electrode terminal on the airtight terminal side is orthogonal to the longitudinal direction of the surface mount piezoelectric vibrator, and the vertical portion of the electrode terminal on the sealing tube side is the surface mount type. By being parallel to the longitudinal direction of the piezoelectric vibrator, it is possible to provide a small surface-mount piezoelectric vibrator that can suppress the length without increasing the external dimensions and can reduce the mounting area as a minimum configuration.

すなわち、気密端子側の電極端子の垂直部は、表面実装型圧電振動子の長手方向と直交していることにより、表面実装型圧電振動子の長手方向には、電極端子の垂直部板厚のみの寸法増加を、そして、封止管側の電極端子の垂直部は、表面実装型圧電振動子の長手方向と平行であることにより、表面実装型圧電振動子の長手方向には寸法増加がなく、表面実装型圧電振動子の全長を短くした小型の表面実装型圧電振動子とすることができる。   That is, the vertical portion of the electrode terminal on the airtight terminal side is orthogonal to the longitudinal direction of the surface-mount piezoelectric vibrator, so that only the thickness of the vertical portion of the electrode terminal is present in the longitudinal direction of the surface-mount piezoelectric vibrator. And the vertical part of the electrode terminal on the sealing tube side is parallel to the longitudinal direction of the surface mount piezoelectric vibrator, so that there is no increase in dimension in the longitudinal direction of the surface mount piezoelectric vibrator. Thus, a small surface-mount piezoelectric vibrator in which the total length of the surface-mount piezoelectric vibrator is shortened can be obtained.

第13の発明は、第10乃至第12の発明のうち何れか1つの発明の構成において、前記電極端子は、前記気密端子側の前記垂直部に前記リード端子と接続し、前記封止管側の前記水平部に前記封止管と接続していることを特徴とするものである。   According to a thirteenth aspect of the present invention, in the configuration of any one of the tenth to twelfth aspects of the invention, the electrode terminal is connected to the lead terminal at the vertical portion on the airtight terminal side, and the sealing tube side It is characterized by connecting with the said sealing pipe to the said horizontal part.

この第13の発明の構成によれば、電極端子は、気密端子側の電極端子の垂直部にリード端子と接続し、封止管側の電極端子の水平部に封止管と接続していることにより、共に上下方向からの接触接続による安定した接続構造とし、他の接続部材を必要とせずに最少構成で接続端子を被覆するモールド樹脂の外部に端子を取り出す表面実装型圧電振動子を提供することができる。   According to the configuration of the thirteenth invention, the electrode terminal is connected to the lead terminal at the vertical portion of the electrode terminal on the airtight terminal side, and is connected to the sealing tube at the horizontal portion of the electrode terminal on the sealing tube side. This provides a surface-mount type piezoelectric vibrator that has a stable connection structure by contact connection from above and below, and that takes out the terminals to the outside of the mold resin that covers the connection terminals with a minimum configuration without the need for other connection members can do.

第14の発明は、第10乃至第13の発明のうち何れか1つの発明の構成において、前記気密端子側の前記電極端子は、前記垂直部を前記表面実装型圧電振動子の長手方向外側中央部から曲げ起こし、前記表面実装型圧電振動子の長手方向内側中央部には、前記封止管に対する切り欠きがあることを特徴とするものである。   According to a fourteenth aspect of the invention, in the configuration of any one of the tenth to thirteenth aspects of the invention, the electrode terminal on the airtight terminal side has the vertical portion at the center in the longitudinal direction of the surface mount piezoelectric vibrator. The surface mounting type piezoelectric vibrator has a notch with respect to the sealing tube at the center in the longitudinal direction.

この第14の発明の構成によれば、気密端子側の電極端子は、垂直部を表面実装型圧電振動子の長手方向外側中央部から曲げ起こすことによって、表面実装型圧電振動子の長さを短く、高さを低くする表面実装型圧電振動子を提供することができる。   According to the structure of the fourteenth aspect of the invention, the electrode terminal on the airtight terminal side bends the vertical portion from the center portion on the outer side in the longitudinal direction of the surface mount type piezoelectric vibrator, thereby increasing the length of the surface mount type piezoelectric vibrator. A surface-mount piezoelectric vibrator that is short and has a low height can be provided.

すなわち、封止管側の電極端子の垂直部は、表面実装型圧電振動子の長手方向と平行であることにより、表面実装型圧電振動子の長手方向には寸法増加がなく、封止管開口部の膨らみ部の下部位置に切り欠きがあることによって、封止管開口部の高さ位置を低くして表面実装型圧電振動子の高さを抑えることができる。   That is, the vertical portion of the electrode terminal on the sealing tube side is parallel to the longitudinal direction of the surface-mount piezoelectric vibrator, so that there is no increase in dimension in the longitudinal direction of the surface-mount piezoelectric vibrator. By providing a notch at the lower position of the bulging portion of the portion, the height position of the surface-mount type piezoelectric vibrator can be suppressed by lowering the height position of the sealing tube opening.

第15の発明は、第10乃至第14の発明のうち何れか1つの発明の構成において、前記封止管側の前記電極端子は、前記表面実装型圧電振動子の長手方向内側部において、前記表面実装型圧電振動子の長手方向と平行に外側から曲げ起こし、前記封止管の両側面に支持可能な垂直部を形成していることを特徴とするものである。   According to a fifteenth aspect of the invention, in the configuration of any one of the tenth to fourteenth aspects of the invention, the electrode terminal on the sealing tube side is arranged on the inner side in the longitudinal direction of the surface mount piezoelectric vibrator. The surface mount type piezoelectric vibrator is bent from the outside in parallel with the longitudinal direction, and vertical portions that can be supported on both side surfaces of the sealing tube are formed.

この第15の発明の構成によれば、封止管側の電極端子は、表面実装型圧電振動子の長手方向内側部において、表面実装型圧電振動子の長手方向と平行に外側から曲げ起こし、封止管の両側面に支持可能な垂直部を形成していることによって、表面実装型圧電振動子の長さを短く、被覆するモールド樹脂内に圧電振動子の位置を品質的に安定して収納する表面実装型圧電振動子を提供することができる。   According to the configuration of the fifteenth aspect of the invention, the electrode terminal on the sealing tube side is bent and raised from the outside in the longitudinal direction inner portion of the surface mount piezoelectric vibrator in parallel with the longitudinal direction of the surface mount piezoelectric vibrator. By forming vertical parts that can be supported on both sides of the sealing tube, the length of the surface-mount type piezoelectric vibrator is shortened, and the position of the piezoelectric vibrator is stably stabilized in the mold resin to be coated. It is possible to provide a surface-mount type piezoelectric vibrator to be housed.

すなわち、封止管側の電極端子垂直部は、表面実装型圧電振動子の長手方向には配置せず、表面実装型圧電振動子の長手方向と平行に配置することにより、表面実装型圧電振動子の全長を短くすることができる。また、表面実装型圧電振動子の長手方向と平行に外側から曲げ起こし、封止管の両側面に支持可能な垂直部を形成していることにより、封止管の表面実装型圧電振動子幅方向の位置規制をして横方向にずれることなく、モールド後に樹脂モールド部から側面に露出することなく品質的に安定して樹脂モールド部内に収納することができる。   That is, the electrode terminal vertical part on the sealing tube side is not arranged in the longitudinal direction of the surface-mount piezoelectric vibrator, but is arranged in parallel with the longitudinal direction of the surface-mount piezoelectric vibrator. The total length of the child can be shortened. In addition, the width of the surface mount type piezoelectric vibrator of the sealing tube is formed by bending up from the outside in parallel with the longitudinal direction of the surface mount type piezoelectric vibrator and forming vertical parts that can be supported on both sides of the seal tube. It is possible to stably store in the resin mold part in terms of quality without regulating the position in the direction and shifting in the lateral direction and without exposing the resin mold part to the side surface after molding.

また、封止管の位置を安定的に位置規制しているために、外形部からの位置決めピンを必要とせず、従来は表面実装型圧電振動子の外形部からの位置決めピンによる露出部があり、表面実装型圧電振動子の周囲が樹脂材料により正しくカバーされないで、圧電振動子の封止管が樹脂モールド部から一部露出することを解消することができる。   In addition, since the position of the sealing tube is stably regulated, positioning pins from the outer part are not required, and conventionally there are exposed parts by positioning pins from the outer part of the surface mount type piezoelectric vibrator. The periphery of the surface-mounted piezoelectric vibrator is not properly covered with the resin material, and it is possible to eliminate the partial exposure of the sealing pipe of the piezoelectric vibrator from the resin mold portion.

第16の発明の表面実装型圧電振動子は、第10乃至第15の発明のうち何れか1つのの発明の構成において、前記電極端子の厚みは、0.1mm以下であるのが好ましい。   According to a sixteenth aspect of the present invention, in the configuration of any one of the tenth to fifteenth inventions, the thickness of the electrode terminal is preferably 0.1 mm or less.

かかる好ましい構成によれば、電極端子の厚みは、0.1mm以下であることにより、0.9mm以下の高さを可能とする表面実装型圧電振動子を提供することができる。   According to such a preferable configuration, a surface-mount type piezoelectric vibrator capable of a height of 0.9 mm or less can be provided when the electrode terminal has a thickness of 0.1 mm or less.

すなわち、圧電振動子と外部電極と接続する電極端子が重ねる構造として、共に上下方向接続による安定した接続が得やすい構造とした場合には、φ0.8mm以下に収める円筒状のシリンダ型パッケージの圧電振動子と、0.1mm以下である外部電極と接続する電極端子の厚みを加えた0.9mm以下の高さとする表面実装型圧電振動子の薄型化に貢献し、円筒状のシリンダ型パッケージの従来にはない高さの表面実装型圧電振動子を提供することができる。   In other words, when the piezoelectric vibrator and the electrode terminal connected to the external electrode are overlapped with each other, it is easy to obtain a stable connection by connecting in the vertical direction. Contributing to the thinning of surface mount piezoelectric vibrators with a height of 0.9 mm or less, including the thickness of the vibrator and electrode terminals connected to external electrodes of 0.1 mm or less, It is possible to provide a surface-mount type piezoelectric vibrator having a height that has not been conventionally achieved.

第17の発明の表面実装型圧電振動子は、第10乃至第16の発明のうち何れか1つの発明の構成において、前記表面実装型圧電振動子の高さは、0.9mm以下であるのが好ましい。   According to a seventeenth aspect of the present invention, there is provided the surface mount piezoelectric vibrator according to any one of the tenth to sixteenth aspects, wherein the height of the surface mount piezoelectric vibrator is 0.9 mm or less. Is preferred.

かかる好ましい構成によれば、圧電振動子と外部電極と接続する電極端子が重ねる構造として、共に上下方向接続による安定した接続が得やすい構造とした場合には、φ0.8mm以下に収める円筒状のシリンダ型パッケージの圧電振動子と、0.1mm以下である外部電極と接続する電極端子の厚みを加えた0.9mm以下の高さを可能とする表面実装型圧電振動子の小型化に貢献し、従来実現し得なかった小型の高さを抑えた薄型の円筒状のシリンダ型パッケージの表面実装型圧電振動子を提供することができる。   According to such a preferable configuration, when the electrode terminal connected to the piezoelectric vibrator and the external electrode is overlapped, and the structure is such that a stable connection by vertical connection is easily obtained, a cylindrical shape that can be accommodated within φ0.8 mm or less. Contributes to the miniaturization of surface mount piezoelectric vibrators that can achieve a height of 0.9 mm or less, including the thickness of the piezoelectric vibrators in the cylinder package and electrode terminals connected to external electrodes that are 0.1 mm or less. Therefore, it is possible to provide a surface-mounting type piezoelectric vibrator of a thin cylindrical cylinder type package that suppresses a small height that could not be realized conventionally.

以上述べたように、本発明によれば、高い気密性を維持し、より小型のシリンダ型パッケージの圧電振動子を提供できるとともに、該圧電振動子を搭載することにより、高さが0.9mm以下で実装面積低減が容易な小型の表面実装型圧電振動子を提供することができる。   As described above, according to the present invention, it is possible to provide a piezoelectric vibrator having a smaller cylinder type package while maintaining high airtightness, and by mounting the piezoelectric vibrator, the height is 0.9 mm. In the following, it is possible to provide a small surface-mount type piezoelectric vibrator whose mounting area can be easily reduced.

以下に、本発明に係る圧電振動子に好適な具体的実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。 Specific embodiments suitable for the piezoelectric vibrator according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

図1は、本実施の形態に係る圧電振動子の全体外観を示す斜視図を示し、図2は、同圧電振動子の内部構造の斜視図を示し、図3(a)は、気密端子の斜視図を示し、同図(b)は、同気密端子の断面斜視図を示し、図4は、圧電振動片の電極構造の斜視図を示す。   FIG. 1 is a perspective view showing the overall appearance of the piezoelectric vibrator according to the present embodiment, FIG. 2 is a perspective view of the internal structure of the piezoelectric vibrator, and FIG. A perspective view is shown, FIG. 4B is a sectional perspective view of the hermetic terminal, and FIG. 4 is a perspective view of an electrode structure of the piezoelectric vibrating piece.

図1に示すように、本実施の形態に係る圧電振動子20は、金属製有底円筒状の封止管21を有するシリンダ型パッケージであり、封止管21の開口部26には気密端子22が圧入され、気密端子22の中心からは外側に一本のリード端子23が突出されている。   As shown in FIG. 1, the piezoelectric vibrator 20 according to the present embodiment is a cylinder-type package having a metal bottomed cylindrical sealing tube 21, and an airtight terminal is provided in an opening 26 of the sealing tube 21. 22 is press-fitted, and one lead terminal 23 projects from the center of the airtight terminal 22 to the outside.

図2に示すように、圧電振動子20は、金属環24内に貫通する一本のリード端子23が封着された気密端子22と、リード端子23のインナーリード23aに支持されている圧電振動片25と、圧電振動片25を収納し、開口部26が気密端子22の金属環24で気密に封止された金属製有底円筒状の封止管21とから構成されている。   As shown in FIG. 2, the piezoelectric vibrator 20 includes a piezoelectric vibration supported by an airtight terminal 22 sealed with one lead terminal 23 penetrating into the metal ring 24 and an inner lead 23 a of the lead terminal 23. The piece 25 and the piezoelectric vibrating piece 25 are housed, and the opening 26 is composed of a metal bottomed cylindrical sealing tube 21 hermetically sealed with a metal ring 24 of the hermetic terminal 22.

図3(a)に示すように、気密端子22は、コバールや42アロイなどからなる金属環24と、この金属環24の内側に充填された絶縁材としての封止ガラス27と、この封止ガラス27によって金属環24の内側に貫通して固定された一本のリード端子23とから構成されている。一本のリード端子23と金属環24とは、互いに電気的に絶縁されている。金属環24は、インナーリード23a側に、金属環24の中心線に平行にして所定の長さをもつ小径部28を有している。   As shown in FIG. 3A, the hermetic terminal 22 includes a metal ring 24 made of Kovar, 42 alloy, etc., a sealing glass 27 as an insulating material filled inside the metal ring 24, and this sealing It is composed of a single lead terminal 23 that penetrates and is fixed inside the metal ring 24 by glass 27. One lead terminal 23 and the metal ring 24 are electrically insulated from each other. The metal ring 24 has a small diameter portion 28 having a predetermined length parallel to the center line of the metal ring 24 on the inner lead 23a side.

図3(b)に示すように、一本のリード端子23は、円形の断面形状をして金属環24の中心位置に配置されている。気密端子22から外側に突き出ている一方側がアウターリード23bであり、圧電振動片25を収納する内側に向けて延びている部分がインナーリード23aである。インナーリード23aは、気密端子22の中を貫通してアウターリード23bとなり、このインナーリード23aとアウターリード23bとを総称してリード端子23と呼んでいる。インナーリード23aは、金属環24の軸方向中心線に平行でかつ該中心線から所定の距離を隔てた平坦段差面30を有している。リード端子23は、従来の二本から一本の配置となっているため、金属環24の内径との相対比が従来のリード端子の直径の場合の相対比と比べて大きく、太いリード端子23が配置されている。そのため、平坦段差面30が大きい幅をもって形成されている。   As shown in FIG. 3B, one lead terminal 23 has a circular cross-sectional shape and is arranged at the center position of the metal ring 24. One side protruding outward from the airtight terminal 22 is the outer lead 23b, and the portion extending inwardly housing the piezoelectric vibrating piece 25 is the inner lead 23a. The inner lead 23a penetrates through the airtight terminal 22 to become an outer lead 23b. The inner lead 23a and the outer lead 23b are collectively referred to as a lead terminal 23. The inner lead 23a has a flat stepped surface 30 that is parallel to the axial center line of the metal ring 24 and spaced a predetermined distance from the center line. Since the lead terminals 23 are arranged from the conventional two to one, the relative ratio to the inner diameter of the metal ring 24 is larger than the relative ratio in the case of the diameter of the conventional lead terminal, and the lead terminals 23 are thick. Is arranged. Therefore, the flat step surface 30 is formed with a large width.

このリード端子23は、コバールや42アロイなどの金属表面に膜厚が約6μm以下の鋼めっき層を下地層として形成し、その表面に膜厚が約22μm以下の高融点のはんだをめっきしたものである。   This lead terminal 23 is formed by forming a steel plating layer with a film thickness of about 6 μm or less as a base layer on a metal surface such as Kovar or 42 alloy, and plating the surface with a high melting point solder with a film thickness of about 22 μm or less. It is.

封止ガラス27は、熱膨張係数が約4×10-6/℃〜約6×10-6/℃とコバールに近いコバールガラスからなり、金属環24とリード端子23の間で封着されて、電気的絶縁性と気密性が保たれている。 The sealing glass 27 is made of Kovar glass having a thermal expansion coefficient of about 4 × 10 −6 / ° C. to about 6 × 10 −6 / ° C. and close to Kovar, and is sealed between the metal ring 24 and the lead terminal 23. Electrical insulation and airtightness are maintained.

図4に示すように、圧電振動片25は、水晶等の圧電材料からなり、フォトリソグラフィー技術により音叉型に形成されている。音叉型の圧電振動片25の表面には2つの励磁電極31と2つのマウント電極32が形成されている。二本の振動腕部の表面には2つの励磁電極31が形成され、圧電振動片25の基部には励磁電極31につながっているマウント電極32が表裏面に各々1つ形成されている。ここでは、表面の電極を第1のマウント電極32a、裏面の電極を第2のマウント電極32bと呼んでいる。本実施例のマウント電極32は圧電振動片25の表裏面に各々1つ形成されているため、同一面上に隣接して形成されていた従来のマウント電極に対し、小型化された圧電振動片25のマウント電極32の電極間ショートを防ぐ接続構成には好適である。   As shown in FIG. 4, the piezoelectric vibrating piece 25 is made of a piezoelectric material such as quartz, and is formed in a tuning fork shape by photolithography. Two excitation electrodes 31 and two mount electrodes 32 are formed on the surface of the tuning-fork type piezoelectric vibrating piece 25. Two excitation electrodes 31 are formed on the surface of the two vibrating arms, and one mount electrode 32 connected to the excitation electrode 31 is formed on the front and back surfaces of the base of the piezoelectric vibrating piece 25. Here, the electrode on the front surface is called the first mount electrode 32a, and the electrode on the back surface is called the second mount electrode 32b. Since one mount electrode 32 of this embodiment is formed on each of the front and back surfaces of the piezoelectric vibrating piece 25, the piezoelectric vibrating piece is downsized compared to the conventional mount electrode formed adjacent to the same surface. This is suitable for a connection configuration for preventing a short-circuit between the 25 mount electrodes 32.

図5は、本実施形態の圧電振動子の正面断面図を示し、図6は、同圧電振動子の側面断面図を示す。   FIG. 5 is a front sectional view of the piezoelectric vibrator of the present embodiment, and FIG. 6 is a side sectional view of the piezoelectric vibrator.

図5に示すように、インナーリード23aの平坦段差面30には、圧電振動片25の第1のマウント電極32aがはんだなどで接続されると共に、圧電振動片25が支持されている。圧電振動片25は、インナーリード23aの平坦段差面30への支持されていることによって、金属環24の軸方向中心線に対して平行でかつ該中心線から所定の距離を隔てて保持されている。圧電振動片25の第2のマウント電極32bは、金属環24の小径部28とアルミや金線などの金属ワイヤ33で接続されている。   As shown in FIG. 5, the first mount electrode 32a of the piezoelectric vibrating piece 25 is connected to the flat step surface 30 of the inner lead 23a with solder or the like, and the piezoelectric vibrating piece 25 is supported. The piezoelectric vibrating piece 25 is supported on the flat stepped surface 30 of the inner lead 23a, so that the piezoelectric vibrating piece 25 is held parallel to the axial center line of the metal ring 24 and at a predetermined distance from the center line. Yes. The second mount electrode 32b of the piezoelectric vibrating piece 25 is connected to the small diameter portion 28 of the metal ring 24 by a metal wire 33 such as aluminum or gold wire.

封止管21は、主組成が銅、亜鉛、ニッケルである洋白材、あるいは約41%〜約42%のニッケルと残部の鉄からなる42アロイなどから構成され、その表面には膜厚が約10μm以下のニッケルめっきなどが施されている。   The sealing tube 21 is composed of a white material whose main composition is copper, zinc, nickel, or 42 alloy composed of about 41% to about 42% nickel and the balance iron, and has a film thickness on the surface. Nickel plating of about 10 μm or less is applied.

金属環24の外周には、圧電振動片25を覆うように封止管21が被せられている。封止管21の内部には圧電振動片25を収納し、真空に気密封止されている。   The outer periphery of the metal ring 24 is covered with a sealing tube 21 so as to cover the piezoelectric vibrating piece 25. A piezoelectric vibrating piece 25 is housed inside the sealing tube 21 and hermetically sealed in a vacuum.

金属環24に封止管21の開口部26を被せられた時には、小径部28と金属環24との間に空間29が形成され、金属ワイヤ33のループ形状が収められる空間となっている。   When the metal ring 24 is covered with the opening 26 of the sealing tube 21, a space 29 is formed between the small diameter portion 28 and the metal ring 24, and the space in which the loop shape of the metal wire 33 is accommodated.

封止管21の開口部26の内径寸法は、金属環24の外径寸法よりも小さく設定されている。封止管21の開口部26に金属環24を被せると、封止管21の内径寸法と金属環24の外径寸法との差に応じた垂直応力によって、封止管21の開口部26が金属環24によって全周にわたって封止され、気密性が保たれている。   The inner diameter dimension of the opening 26 of the sealing tube 21 is set smaller than the outer diameter dimension of the metal ring 24. When the metal ring 24 is put on the opening 26 of the sealing tube 21, the opening 26 of the sealing tube 21 is caused by the vertical stress corresponding to the difference between the inner diameter of the sealing tube 21 and the outer diameter of the metal ring 24. The metal ring 24 is sealed over the entire circumference, and hermeticity is maintained.

次に、上記のように構成された圧電振動子20の電極接続構造について説明する。一本のアウターリード23bには、インナーリード23aの平坦段差面30と接続されている圧電振動片25の第1のマウント電極32aが引き出される。封止管21には、金属環24と電気的導通を成して、金属ワイヤ33で接続されている第2のマウント電極32bが引き出される。すなわち、第1のマウント電極32aはアウターリード23bへ、第2のマウント電極32bは封止管21へ引き出されている。このように電極接続されたアウターリード23bと封止管21の間に、所定の交流電圧を駆動電圧として印加すると、電流がインナーリード23aからの第1のマウント電極32aと、金属環24及び金属ワイヤ33からの第2のマウント電極32bとを介して励振電極31に流れ、圧電振動片25が圧電作用により所定の周波数で発振する。   Next, the electrode connection structure of the piezoelectric vibrator 20 configured as described above will be described. The first mount electrode 32a of the piezoelectric vibrating piece 25 connected to the flat stepped surface 30 of the inner lead 23a is drawn out to one outer lead 23b. A second mount electrode 32 b that is electrically connected to the metal ring 24 and connected by the metal wire 33 is drawn out from the sealing tube 21. That is, the first mount electrode 32 a is drawn to the outer lead 23 b, and the second mount electrode 32 b is drawn to the sealing tube 21. When a predetermined AC voltage is applied as a drive voltage between the outer lead 23b and the sealing tube 21 thus connected to each other, the current is supplied to the first mount electrode 32a from the inner lead 23a, the metal ring 24, and the metal It flows to the excitation electrode 31 through the second mount electrode 32b from the wire 33, and the piezoelectric vibrating piece 25 oscillates at a predetermined frequency by the piezoelectric action.

本実施形態の圧電振動子20は、図5に示すように、インナーリード23aの側壁からなる平坦段差面30が、金属環24の中心線の位置を越えて金属環24の中心線から圧電振動片4の厚みの距離以下の位置で形成され、封止管21の略中央位置にかつ平行に配置されている。圧電振動片25は、そのため、図14に示すインナーリード2の接線上に接合された圧電振動片4が、封止管5に偏って接近している従来の構造に対し、封止管21の略中央位置にかつ平行になるように平坦段差面30で支持されている。   In the piezoelectric vibrator 20 of the present embodiment, as shown in FIG. 5, the flat stepped surface 30 formed of the side wall of the inner lead 23 a exceeds the position of the center line of the metal ring 24 and the piezoelectric vibration from the center line of the metal ring 24. It is formed at a position equal to or less than the distance of the thickness of the piece 4, and is disposed at a substantially central position of the sealing tube 21 and in parallel. For this reason, the piezoelectric vibrating reed 25 is different from the conventional structure in which the piezoelectric vibrating reed 4 joined on the tangent line of the inner lead 2 shown in FIG. It is supported by a flat step surface 30 so as to be substantially in the center and parallel.

このことにより、金属環24及び封止管21の直径は最も小さくされた構成となっている。また同時に、リード端子23は金属環24の中心位置に配置され、リード端子23中心位置の高精度配置を最も容易にしている。そしてこれは高精度なリード端子23中心位置基準に、インナーリード23aの平坦段差面30を平行に高精度に形成することが容易なことから、圧電振動片25は、封止管21の略中央位置と平行な最適な位置に、安定してマウントされている。   Thus, the diameters of the metal ring 24 and the sealing tube 21 are the smallest. At the same time, the lead terminal 23 is arranged at the center position of the metal ring 24, which makes it easy to place the lead terminal 23 at the center position with high accuracy. In addition, since the flat stepped surface 30 of the inner lead 23a can be easily formed in parallel with high precision with respect to the center position of the lead terminal 23 with high precision, the piezoelectric vibrating reed 25 is substantially at the center of the sealing tube 21. It is stably mounted at the optimal position parallel to the position.

また、リード端子23一本を中心位置に配置することによって、従来のリード端子二本の配置に比較して、太いリード端子23の配置が金属環24の中心位置に可能なことから、金属環24の小型化にも関わらずリード端子23の剛性を維持した圧電振動子20となっている。また、圧電振動片25のマウント精度の起因となる従来のリード端子二本の配置誤差や、従来のリード端子二本接近によるショートが、リード端子23一本配置と表裏面マウント電極接続とによって解消されている。   Further, by arranging one lead terminal 23 at the center position, the thick lead terminal 23 can be arranged at the center position of the metal ring 24 as compared with the conventional arrangement of two lead terminals. The piezoelectric vibrator 20 maintains the rigidity of the lead terminal 23 in spite of the downsizing of the 24. In addition, the placement error of the two conventional lead terminals which causes the mounting accuracy of the piezoelectric vibrating piece 25 and the short circuit due to the proximity of the two conventional lead terminals are eliminated by the placement of one lead terminal 23 and the front and rear surface mount electrode connection. Has been.

第2のマウント電極32bと金属ワイヤ33で接続される小径部28は、封止管21と金属環24との間に円周方向に渡り、円周方向の接続位置決め方向性を不要にした空間29を作っている。この空間29は、円周方向の自由度のある電極接続手段がとることができることから、安定した接続品質が得られる。また、他の部材を必要とせずに、圧電振動片25のマウント電極の表裏方向接続による小型な構成となっている。   The small-diameter portion 28 connected to the second mount electrode 32b by the metal wire 33 extends in the circumferential direction between the sealing tube 21 and the metal ring 24, and eliminates the need for circumferential connection positioning directionality. 29 is made. Since this space 29 can be taken by electrode connecting means having a degree of freedom in the circumferential direction, stable connection quality can be obtained. In addition, a small configuration is achieved by connecting the mount electrodes of the piezoelectric vibrating piece 25 in the front-back direction without requiring other members.

第2のマウント電極32bは、金属環24の中心線に平行な小径部28に対して金属ワイヤ33で接続されている。圧電振動片25のマウント電極32と、離れた距離にある金属環24との接続には、金属ワイヤが好適である。金属ワイヤ33での接続は、衝撃時の圧電振動片25の基部における微小な相対変位にも追従して接続の信頼性を確保し、また接続に接着剤などを使用した際によるベーキング時のアウトガス発生の品質的悪影響を避けることに好適である。   The second mount electrode 32 b is connected to the small diameter portion 28 parallel to the center line of the metal ring 24 by a metal wire 33. A metal wire is suitable for connection between the mount electrode 32 of the piezoelectric vibrating piece 25 and the metal ring 24 at a distance. The connection with the metal wire 33 follows the minute relative displacement at the base of the piezoelectric vibrating piece 25 at the time of impact to ensure the reliability of the connection, and outgas at the time of baking by using an adhesive or the like for the connection. It is suitable for avoiding the quality adverse effects of the occurrence.

次に、同じく図5に示す、金属環24の中心線から平坦段差面30までの距離L1は、圧電振動片25の厚みT1以下となっている。平坦段差面30は、金属環24の中心線から圧電振動片25の厚みT1の範囲内にあって位置している。また、金属環24の軸方向中心線に平行である面に、圧電振動片25が配置されている。圧電振動片25は、封止管21の開口部26へ金属環24が被せられ、封止管21と金属環24の軸方向中心線とは同じく平行になることから、封止管21と平行に配置されることになる。これにより、圧電振動片25は、金属環24の中心に対して圧電振動片25の厚み範囲以内の封止管21の最大径の位置で平行として、封止管21のスペースを最大限に活用した最適な位置に配置され、また最小径の封止管21とすることができる。金属環24の中心線から平坦段差面30までの距離L1は、圧電振動片25が封止管21の中央位置となる圧電振動片25の厚みT1の1/2が好ましい。   Next, the distance L1 from the center line of the metal ring 24 to the flat stepped surface 30 shown in FIG. 5 is equal to or less than the thickness T1 of the piezoelectric vibrating piece 25. The flat step surface 30 is located within the range of the thickness T <b> 1 of the piezoelectric vibrating piece 25 from the center line of the metal ring 24. A piezoelectric vibrating piece 25 is disposed on a surface parallel to the axial center line of the metal ring 24. In the piezoelectric vibrating piece 25, the metal ring 24 is put on the opening 26 of the sealing tube 21, and the axial center line of the sealing tube 21 and the metal ring 24 is in parallel with each other. Will be placed. Thereby, the piezoelectric vibrating piece 25 is made parallel to the center of the metal ring 24 at the position of the maximum diameter of the sealing tube 21 within the thickness range of the piezoelectric vibrating piece 25, and the space of the sealing tube 21 is utilized to the maximum. Therefore, the sealing tube 21 having the minimum diameter can be obtained. The distance L1 from the center line of the metal ring 24 to the flat stepped surface 30 is preferably ½ of the thickness T1 of the piezoelectric vibrating piece 25 where the piezoelectric vibrating piece 25 is at the center position of the sealing tube 21.

リード端子23の直径D1は、金属環24の最内径D2の25%以上であり、かつ40%以下となっている。従来のリード端子二本の構造では入れることのできなかった線径の太いリード端子23が配置されている。そのため、金属環24の小型化につれてリード端子23も小径にして剛性がなく耐衝撃性が弱くなることを防ぎ、リード端子23の剛性を従来のリード端子二本並み、又はそれ以上の剛性が維持されるインナーリード23aの形成に結びついている。リード端子23の直径D1が、金属環24の最内径D2の25%以上であり、かつ40%以下となっているのは、金属環24の最内径D2の25%以下では剛性がなく耐衝撃性が弱くなり、40%以上では、ガラス封着品質の低下を招くことになるからである。   The diameter D1 of the lead terminal 23 is 25% or more of the innermost diameter D2 of the metal ring 24 and 40% or less. A lead terminal 23 having a large wire diameter, which could not be inserted in the conventional structure of two lead terminals, is arranged. Therefore, as the metal ring 24 is reduced in size, the lead terminal 23 is also reduced in diameter to prevent rigidity and impact resistance from being weakened, and the rigidity of the lead terminal 23 is maintained to be equal to or more than that of two conventional lead terminals. The inner lead 23a is formed. The diameter D1 of the lead terminal 23 is 25% or more of the innermost diameter D2 of the metal ring 24 and 40% or less. When the diameter D1 is 25% or less of the innermost diameter D2 of the metal ring 24, there is no rigidity and impact resistance. This is because the properties are weakened, and if it is 40% or more, the glass sealing quality is deteriorated.

図6に示すように、平坦段差面30の厚みT2は、リード端子23の直径D1の60%以上であり、かつ70%以下となっている。平坦段差面30が形成されることにより段差部34の長さL2は、リード端子23の直径D1の120〜160%と大きくなっている。リード端子23の直径D1の60〜70%の厚みT2は、従来のリード端子二本並み、又はそれ以上の剛性が維持され、段差部34の幅L2は、圧電振動片25のマウントされる支持幅を広くする効果をもって、耐衝撃性と安定したマウント品質を得るのに好適である。   As shown in FIG. 6, the thickness T <b> 2 of the flat stepped surface 30 is 60% or more and 70% or less of the diameter D <b> 1 of the lead terminal 23. By forming the flat stepped surface 30, the length L2 of the stepped portion 34 is as large as 120 to 160% of the diameter D1 of the lead terminal 23. The thickness T2 of 60 to 70% of the diameter D1 of the lead terminal 23 maintains the rigidity equal to or more than that of two conventional lead terminals, and the width L2 of the stepped portion 34 is the support on which the piezoelectric vibrating piece 25 is mounted. With the effect of widening the width, it is suitable for obtaining impact resistance and stable mount quality.

小径部28の直径D3は、金属環24の外径D4より小さく、かつ金属環24の最内径D2より大きい径として、インナーリード23a側の金属環24と封止管21との間に円周方向に渡って空間29を形成している。小径部28の直径D3のインナーリード23a側からの長さL3は、0.05mm以上であり、かつ0.20mm以下となっている。小径部28の直径D3の長さL3は、金属ワイヤ33で接続するワイヤボンダのキャピラリなどの工具を接近させる必要な長さを確保し、円周方向の接続位置決め方向性を不要にして、封止管21との間の空間29と接続する長さとを満たし、電極接続の安定した品質を得るのに好適である。また小径部28の長さL2は、金属環24の長さを最小にして、圧電振動子20の長さを短縮するのに好適である。   The diameter D3 of the small diameter portion 28 is smaller than the outer diameter D4 of the metal ring 24 and larger than the innermost diameter D2 of the metal ring 24, so that the circumference between the metal ring 24 on the inner lead 23a side and the sealing tube 21 is the circumference. A space 29 is formed across the direction. The length L3 of the diameter D3 of the small diameter portion 28 from the inner lead 23a side is 0.05 mm or more and 0.20 mm or less. The length L3 of the diameter D3 of the small-diameter portion 28 ensures a necessary length to allow a tool such as a capillary of a wire bonder connected by the metal wire 33 to approach, and eliminates the need for circumferential connection positioning directionality and sealing. It is suitable for satisfying the length of connection with the space 29 between the tube 21 and obtaining a stable quality of electrode connection. Further, the length L2 of the small diameter portion 28 is suitable for shortening the length of the piezoelectric vibrator 20 by minimizing the length of the metal ring 24.

封止管21の外径D5は、0.8mm以下であることが好ましい。外径D5が0.8mmより大きい場合には、圧電振動片25のマウント精度の起因となる従来のリード端子二本の配置誤差や、従来のリード端子二本の互いの接近によるショートを防止することに大きな困難性がなく、このような構造を採用する利点がない。   The outer diameter D5 of the sealing tube 21 is preferably 0.8 mm or less. When the outer diameter D5 is larger than 0.8 mm, the arrangement error of the two conventional lead terminals which causes the mounting accuracy of the piezoelectric vibrating piece 25 and the short circuit due to the close proximity of the two conventional lead terminals are prevented. In particular, there is no great difficulty and there is no advantage of adopting such a structure.

ここで、本実施形態の1例として示す圧電振動子20の各部の寸法は次の通りである。   Here, the dimensions of each part of the piezoelectric vibrator 20 shown as an example of the present embodiment are as follows.

封止管21の外径D5は、0.75mm。長さL0は、3.15mm、リード端子23の直径D1は、0.2mm。金属環24の最内径D2は、0.4mm。平坦段差面30の厚みT2は、0.13mm。圧電振動片25の厚みT1は、0.1mm。段差部34の長さL2は、0.21mm。小径部の直径D3の長さL3は、0.1mm。前記寸法により、小型な圧電振動子20となっている。   The outer diameter D5 of the sealing tube 21 is 0.75 mm. The length L0 is 3.15 mm, and the diameter D1 of the lead terminal 23 is 0.2 mm. The innermost diameter D2 of the metal ring 24 is 0.4 mm. The flat stepped surface 30 has a thickness T2 of 0.13 mm. The thickness T1 of the piezoelectric vibrating piece 25 is 0.1 mm. The length L2 of the step portion 34 is 0.21 mm. The length L3 of the diameter D3 of the small diameter portion is 0.1 mm. Due to the dimensions, the piezoelectric vibrator 20 is small.

本実施形態の圧電振動子20は以上のように構成されており、金属環24及び封止管21の径を最も小さくしている。そして、そのような小型化にも関わらず、封止管21内に収納する圧電振動片25のマウント精度を高精度に、圧電振動片25を支持するリード端子23の剛性を維持し、従来のリード端子二本接近によるショートを解消して、φ0.8mm以下に収める小型化の円筒状のシリンダ型パッケージ圧電振動子20を提供することができる。   The piezoelectric vibrator 20 of the present embodiment is configured as described above, and the diameters of the metal ring 24 and the sealing tube 21 are minimized. Despite such miniaturization, the mounting accuracy of the piezoelectric vibrating reed 25 accommodated in the sealing tube 21 is maintained with high accuracy, and the rigidity of the lead terminal 23 that supports the piezoelectric vibrating reed 25 is maintained. A short cylindrical cylinder-type package piezoelectric vibrator 20 that eliminates short-circuiting due to the approach of two lead terminals and can be accommodated in φ0.8 mm or less can be provided.

以下に、本発明に係る表面実装型圧電振動子に好適な具体的実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。   Hereinafter, specific embodiments suitable for the surface-mounted piezoelectric vibrator according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図7は、本実施の形態に係る表面実装型圧電振動子の構造を示し、(a)は、全体斜視図を示し、(b)は、内部構造の透視図を示す。図8は、図7の構成の分解斜視図を示し、(a)は、シリンダ型パッケージ圧電振動子を示し、(b)は、気密端子側の電極端子を示し、(c)は、封止管側の電極端子を示し、(d)は、モールド樹脂を示す。   7A and 7B show the structure of the surface-mount piezoelectric vibrator according to the present embodiment. FIG. 7A is an overall perspective view, and FIG. 7B is a perspective view of the internal structure. 8 shows an exploded perspective view of the configuration of FIG. 7, (a) shows a cylinder type package piezoelectric vibrator, (b) shows an electrode terminal on the airtight terminal side, and (c) shows a sealing An electrode terminal on the tube side is shown, and (d) shows a mold resin.

図7(a)、(b)に示すように、本実施の形態に係る表面実装型圧電振動子40は、中央部に圧電振動子20が配置されている。圧電振動子20の外形はモールド樹脂41で被覆されている。電極端子42は、その一部である電極端子の水平部42aa、42baが表面実装型圧電振動子40の底面に露出されている。   As shown in FIGS. 7A and 7B, the surface mounted piezoelectric vibrator 40 according to the present embodiment has the piezoelectric vibrator 20 disposed at the center. The outer shape of the piezoelectric vibrator 20 is covered with a mold resin 41. In the electrode terminal 42, horizontal portions 42 aa and 42 ba of the electrode terminal, which is a part of the electrode terminal 42, are exposed on the bottom surface of the surface-mounted piezoelectric vibrator 40.

図8に示すように、表面実装型圧電振動子40は、前述した実施例1における図8(a)の圧電振動子20と、同圧電振動子20と外部との電気的導通を成すための図8(b)、(c)の電極端子42a、42bと、同圧電振動子20を被覆する図8(d)のモールド樹脂41とから構成されている。   As shown in FIG. 8, the surface-mount piezoelectric vibrator 40 is for electrically connecting the piezoelectric vibrator 20 of FIG. 8A in the first embodiment described above with the piezoelectric vibrator 20 and the outside. 8B and 8C, and the mold resin 41 shown in FIG. 8D covering the piezoelectric vibrator 20.

これらの図に示すように表面実装型圧電振動子40は、その中央部に圧電振動子20が配置されている。圧電振動子20はその外形がシリンダ型の円筒状に形成されており、図5に示し前述したように、その内部には交流電圧を印加することで所定の振動周波数を発生させることが可能な薄板形状の圧電振動片25が収容されている。一本のアウターリード23bには、インナーリード23aの平坦段差面30と接続されている圧電振動片25の第1のマウント電極32aが引き出されている。封止管21には、金属環24と電気的導通を成して、金属ワイヤ33で接続されている第2のマウント電極32bが引き出されている。アウターリード23bと封止管21の間に所定の交流電圧を駆動電圧として印加すると、電流がインナーリード23aからの第1のマウント電極32aと、金属環24及び金属ワイヤ33からの第2のマウント電極32bとを介して励振電極31に流れ、圧電振動片25が圧電作用により所定の周波数で発振する。   As shown in these drawings, the surface mount type piezoelectric vibrator 40 has the piezoelectric vibrator 20 disposed at the center thereof. The outer shape of the piezoelectric vibrator 20 is formed into a cylindrical cylinder, and as shown in FIG. 5 and described above, a predetermined vibration frequency can be generated by applying an AC voltage to the inside thereof. A thin plate-shaped piezoelectric vibrating piece 25 is accommodated. The first mount electrode 32a of the piezoelectric vibrating piece 25 connected to the flat stepped surface 30 of the inner lead 23a is drawn out to one outer lead 23b. A second mount electrode 32 b that is electrically connected to the metal ring 24 and connected by the metal wire 33 is drawn out from the sealing tube 21. When a predetermined alternating voltage is applied as a drive voltage between the outer lead 23 b and the sealing tube 21, the current is a first mount electrode 32 a from the inner lead 23 a, and a second mount from the metal ring 24 and the metal wire 33. It flows to the excitation electrode 31 via the electrode 32b, and the piezoelectric vibrating piece 25 oscillates at a predetermined frequency by the piezoelectric action.

図8に示すように、本実施形態の電極端子42は、図8(b)の気密端子側の電極端子42aと、図8(c)の封止管側の電極端子42bとから構成されている。電極端子42a、42bは、圧電振動子20の長手方向の両端に配置されている。電極端子42a、42bは、水平部42aa、42baと垂直部42ab、42bbとで構成されている。電極端子42a、42bは、例えば厚さが0.1mmの板状をした銅系合金等の導電金属からなる平板材でできている。電極端子42a、42bは、該平板材にプレス加工を施し、水平部42aa、42ba、切り欠き43をプレスして形成した後、垂直部42ab、42bbの所定の曲げ加工を施すことによって形成されている。   As shown in FIG. 8, the electrode terminal 42 of this embodiment is composed of an electrode terminal 42a on the airtight terminal side in FIG. 8 (b) and an electrode terminal 42b on the sealing tube side in FIG. 8 (c). Yes. The electrode terminals 42 a and 42 b are disposed at both ends in the longitudinal direction of the piezoelectric vibrator 20. The electrode terminals 42a and 42b are composed of horizontal portions 42aa and 42ba and vertical portions 42ab and 42bb. The electrode terminals 42a and 42b are made of a flat plate material made of a conductive metal such as a copper-based alloy having a plate shape with a thickness of 0.1 mm, for example. The electrode terminals 42a and 42b are formed by pressing the flat plate material, pressing the horizontal portions 42aa and 42ba and the notch 43, and then bending the vertical portions 42ab and 42bb. Yes.

垂直部42ab、42bbは、モールド樹脂41で被覆された後には、モールド樹脂41のアンカーの役割を成し、小型化された表面実装型圧電振動子40においても、電極端子42a、42bの、モールド樹脂41からの剥がれ強度が維持されている。   The vertical portions 42ab and 42bb serve as anchors of the mold resin 41 after being covered with the mold resin 41. Even in the miniaturized surface mount piezoelectric vibrator 40, the molds of the electrode terminals 42a and 42b are molded. The peeling strength from the resin 41 is maintained.

水平部42aa、42baは、圧電振動子20を被覆するモールド樹脂41の外部底面に露出して外部電極と接続される。モールド樹脂41の水平端部から外部に露出している気密端子側の電極端子42aaと封止管側の電極端子42baは、それぞれ圧電振動子20のアウターリード23b及び封止管21と、気密端子側の接合部44a、封止管側の44bとにおいて接合されている。気密端子側の接合部44aは、垂直部42abの上面の中央部に位置している。封止管側の44bは、2つある垂直部42bbの間の水平部42ba上面に位置している。そのため、気密端子側の接合部44a、封止管側の44bは、共に上下方向からの接触接続が可能な安定した接続構造となっている。また、他の接続部材を必要とせずに最少に構成されてモールド樹脂41の外部に引き出されている。   The horizontal portions 42aa and 42ba are exposed on the outer bottom surface of the mold resin 41 covering the piezoelectric vibrator 20 and connected to the external electrodes. The electrode terminal 42aa on the airtight terminal side and the electrode terminal 42ba on the sealing tube side exposed to the outside from the horizontal end of the mold resin 41 are respectively connected to the outer lead 23b and the sealing tube 21 of the piezoelectric vibrator 20 and the airtight terminal. It is joined at the side joint 44a and the sealing tube side 44b. The joint portion 44a on the airtight terminal side is located at the center of the upper surface of the vertical portion 42ab. The sealing tube side 44b is located on the upper surface of the horizontal portion 42ba between the two vertical portions 42bb. For this reason, the joint portion 44a on the airtight terminal side and the sealing tube side 44b both have a stable connection structure capable of contact connection from above and below. Further, it is configured to be minimal and does not require other connecting members, and is drawn out of the mold resin 41.

水平部42aa、42baの先端部は共に2つに分かれて、モールド樹脂41の水平方向の外部に突出している。水平部42aa、42baの先端部は、外部電極と接続する強度を均等になるように、共に同じ形状にされている。   The front ends of the horizontal portions 42aa and 42ba are both divided into two and protrude outward in the horizontal direction of the mold resin 41. Both ends of the horizontal portions 42aa and 42ba are formed in the same shape so that the strength of connection with the external electrode is equal.

圧電振動片24を収納した圧電振動子20、気密端子側及び封止管側の電極端子42a、42bとを含む全体は、モールド樹脂41の成形材料,例えば、エポキシ系の成形材料等である樹脂材料により、モールドされることにより、表面実装型圧電振動子40とされている。   The whole including the piezoelectric vibrator 20 containing the piezoelectric vibrating piece 24 and the electrode terminals 42a and 42b on the airtight terminal side and the sealing tube side is a molding material of a molding resin 41, for example, a resin which is an epoxy molding material or the like. The surface mount type piezoelectric vibrator 40 is formed by molding with a material.

図9は、図8の気密端子側の電極端子拡大斜視図を示す。図9に示すように、気密端子側の電極端子42aは、圧電振動子20の長手方向の外側から中央部を曲げ起こして垂直部42abが形成されている。曲げ起こされた垂直部42abは、水平部42aaの外形形状内に、圧電振動子20の長手方向と直交し、圧電振動子20の幅方向となってアウターリード23bの高さまで形成されている。そしてアウターリード23bは垂直部42abの上部である接合部44aと接合されている。そのため、アウターリード23bと接合部44aを含めた長さが、水平部42aaの外形形状内に収められている。これは、前述したアウターリード3より外方に下部電極端子11aを突出して、表面実装型圧電振動子10本体長手方向へ寸法増加を伴っていた従来構造に比べ、長くなるスペースを持たずに表面実装型圧電振動子40の長手方向寸法の短縮化が図れている。   FIG. 9 shows an enlarged perspective view of the electrode terminal on the airtight terminal side of FIG. As shown in FIG. 9, the electrode terminal 42 a on the hermetic terminal side has a vertical portion 42 ab formed by bending the central portion from the outside in the longitudinal direction of the piezoelectric vibrator 20. The bent vertical part 42ab is formed in the outer shape of the horizontal part 42aa so as to be orthogonal to the longitudinal direction of the piezoelectric vibrator 20 and to the height of the outer lead 23b in the width direction of the piezoelectric vibrator 20. The outer lead 23b is joined to a joint 44a that is an upper part of the vertical part 42ab. Therefore, the length including the outer lead 23b and the joint portion 44a is accommodated in the outer shape of the horizontal portion 42aa. This is because the lower electrode terminal 11a protrudes outward from the outer lead 3 described above, and the surface mounting surface does not have a long space as compared with the conventional structure in which the dimension is increased in the longitudinal direction of the surface mounted piezoelectric vibrator 10 main body. The longitudinal dimension of the mounting type piezoelectric vibrator 40 can be shortened.

曲げ起こされた垂直部42abの反対側には、水平部42aaの切り欠き43が設けられている。切り欠き43の位置は、封止管21開口部26の拡径部の下部位置にあたり、電極端子42aaと封止管21開口部26とは、接触しない切り欠き43の形状となっている。切り欠き43があることによって、封止管21開口部26の高さ位置を低くして表面実装型圧電振動子40の高さが抑えられている。   A cutout 43 of the horizontal portion 42aa is provided on the opposite side of the bent vertical portion 42ab. The position of the notch 43 corresponds to a lower position of the enlarged diameter portion of the opening portion 26 of the sealing tube 21, and the electrode terminal 42 aa and the opening portion 26 of the sealing tube 21 have a shape of the notch 43 that does not contact. Due to the presence of the notch 43, the height position of the opening 26 of the sealing tube 21 is lowered, and the height of the surface-mount piezoelectric vibrator 40 is suppressed.

図10は、図8の封止管側の電極端子拡大斜視図を示す。図10に示すように、封止管側の電極端子42bは、圧電振動子20の幅方向の両外側から曲げ起こして垂直部42bbが形成されている。垂直部42bbは、圧電振動子20の長手方向と平行となっている。そのため、前述した図13に示す表面実装型圧電振動子10の長手方向に垂直部11bを直列配置して垂直部11bを加えた長さが必要としていた従来構造に比べ、表面実装型圧電振動子40の長手方向寸法の短縮化が図れている。従って、樹脂モールド後の表面実装型圧電振動子40の長手方向寸法の短縮化による小型化と実装面積の低減が図れている。   FIG. 10 shows an enlarged perspective view of the electrode terminal on the sealed tube side of FIG. As shown in FIG. 10, the electrode terminal 42 b on the sealed tube side is bent from both outer sides in the width direction of the piezoelectric vibrator 20 to form a vertical portion 42 bb. The vertical portion 42bb is parallel to the longitudinal direction of the piezoelectric vibrator 20. For this reason, the surface-mounted piezoelectric vibrator 10 is longer than the conventional structure in which the vertical portion 11b is arranged in series in the longitudinal direction of the surface-mounted piezoelectric vibrator 10 shown in FIG. The shortening of the longitudinal dimension of 40 is achieved. Therefore, the size and the mounting area of the surface-mounted piezoelectric vibrator 40 after resin molding can be reduced by shortening the longitudinal dimension.

曲げ起こされた垂直部42bbは、封止管21と平行になって封止管21の両側面から支持可能な形状が形成されている。そのため、封止管21の幅方向位置は、電極端子42bの垂直部42bbによって安定的に位置規制されている。また、封止管21の上下方向と圧電振動子20の長手方向位置は、アウターリード23bとの接合部44aと、封止管21との接合部44bによって安定的に位置規制されている。このことにより、封止管21の幅方向位置、上下方向位置、長手方向位置をそれぞれずれることなく、モールド後にモールド樹脂41から側面に露出することなく、位置規制されて品質的に安定してモールド樹脂41内に収納されている。   The bent vertical portion 42bb is formed in parallel with the sealing tube 21 so as to be supported from both side surfaces of the sealing tube 21. Therefore, the position in the width direction of the sealing tube 21 is stably regulated by the vertical portion 42bb of the electrode terminal 42b. In addition, the vertical direction of the sealing tube 21 and the longitudinal position of the piezoelectric vibrator 20 are stably regulated by the joint portion 44 a with the outer lead 23 b and the joint portion 44 b with the sealing tube 21. As a result, the position in the width direction, the vertical direction position, and the longitudinal direction position of the sealing tube 21 are not shifted, and the mold is stably controlled in terms of position without being exposed to the side surface from the mold resin 41 after molding. It is stored in the resin 41.

また封止管側の電極端子42bは、封止管21の位置を安定的に位置規制しているために、外部からの位置決めピンを必要としない。従来の図12に示す表面実装型圧電振動子10は、外部からの位置決めピンによる窪み部12があり、表面実装型圧電振動子10の周囲が樹脂材料により正しくカバーされないで、圧電振動子6の封止管5が表面実装型圧電振動子10の外形から一部露出してしまっていた。これに対し、本実施例の表面実装型圧電振動子40では周囲が樹脂材料により正しくカバーされ、露出の問題が解消されている。   Further, since the electrode terminal 42b on the sealing tube side stably regulates the position of the sealing tube 21, no positioning pin from the outside is required. The conventional surface mount type piezoelectric vibrator 10 shown in FIG. 12 has a depression 12 formed by an external positioning pin, and the periphery of the surface mount type piezoelectric vibrator 10 is not properly covered with a resin material. The sealing tube 5 was partially exposed from the outer shape of the surface mount piezoelectric vibrator 10. On the other hand, in the surface mount piezoelectric vibrator 40 of this embodiment, the periphery is correctly covered with the resin material, and the problem of exposure is solved.

ここで、表面実装型圧電振動子40の電極接続構造を説明する、第1のマウント電極32aと接続されたアウターリード23bは、図8に示すように、電極端子42aの垂直部42abの上面である接合部44aと接合され、水平部42aaへ引き出されている。第2のマウント電極32bと接続された封止管21は、電極端子42bの水平部42baの接合部44bと接合されて、電極端子42baの水平部下面から、圧電振動片25のマウント電極32が外部電極へ引き出されている。   Here, the outer lead 23b connected to the first mount electrode 32a, which explains the electrode connection structure of the surface mount piezoelectric vibrator 40, is formed on the upper surface of the vertical portion 42ab of the electrode terminal 42a as shown in FIG. It is joined to a certain joint 44a and pulled out to the horizontal part 42aa. The sealing tube 21 connected to the second mount electrode 32b is joined to the joint portion 44b of the horizontal portion 42ba of the electrode terminal 42b, and the mount electrode 32 of the piezoelectric vibrating piece 25 is connected from the lower surface of the horizontal portion of the electrode terminal 42ba. It is pulled out to the external electrode.

表面実装型圧電振動子40の薄型化には、電極端子42a、42bの厚みは、0.1mm以下であることが好ましい。電極端子42a、42bの厚みは、0.1mm以下であることにより、0.9mm以下の表面実装型圧電振動子40の高さを可能としている。   In order to reduce the thickness of the surface mount piezoelectric vibrator 40, the thickness of the electrode terminals 42a and 42b is preferably 0.1 mm or less. Since the thickness of the electrode terminals 42a and 42b is 0.1 mm or less, the height of the surface mount piezoelectric vibrator 40 can be 0.9 mm or less.

圧電振動子20と、外部との電気的導通を成すための電極端子42aa、42baは、重ねる構造とされることが共に上下方向接続による安定した接続品質が得やすい。本実施形態の構造も、圧電振動子20と、外部との電気的導通を成すための電極端子42aa、42baとを重ねる構造とされている。封止管21の外径は、金属環24に被せている開口部26が最も大きい。封止管21の最も大きい外径の開口部26の下部には、前述したように電極端子42aの水平部42aaに切り欠き43が設けられ、封止管21とは、接触しない切り欠き43の形状となっているため、電極端子42aaとを重ねる構造としても表面実装型圧電振動子40の高さの増加を伴うことはない。一方の封止管側の電極端子42bは、封止管21と電極端子42bの水平部42baとを直接重ねる構造とされているため、電極端子42bの厚みがそのまま表面実装型圧電振動子40の高さに影響を及ぼすことになる。圧電振動子20と電極端子42bを重ねる構造とした本実施形態では、電極端子42aaの厚みを0.1mm以下とすることにより、φ0.8mm以下の圧電振動子20と、電極端子42aa、42baの厚みを加えた0.9mm以下の高さとする表面実装型圧電振動子40の薄型化を実現して、円筒状のシリンダ型パッケージの従来にはない高さの表面実装型圧電振動子40とされている。   The piezoelectric vibrator 20 and the electrode terminals 42aa and 42ba for establishing electrical continuity between the outside and the electrode terminal 42aa and 42ba are configured to overlap each other, and it is easy to obtain stable connection quality by vertical connection. The structure of the present embodiment is also a structure in which the piezoelectric vibrator 20 and electrode terminals 42aa and 42ba for establishing electrical continuity with the outside are overlapped. The outer diameter of the sealing tube 21 is the largest at the opening 26 that covers the metal ring 24. As described above, the notch 43 is provided in the horizontal portion 42aa of the electrode terminal 42a at the lower portion of the opening 26 having the largest outer diameter of the sealing tube 21, and the notch 43 that does not contact the sealing tube 21 is provided. Since it has a shape, the height of the surface-mount piezoelectric vibrator 40 is not increased even when the electrode terminal 42aa is overlapped. Since the electrode terminal 42b on one sealing tube side is configured to directly overlap the sealing tube 21 and the horizontal portion 42ba of the electrode terminal 42b, the thickness of the electrode terminal 42b remains as it is of the surface mount piezoelectric vibrator 40. It will affect the height. In the present embodiment in which the piezoelectric vibrator 20 and the electrode terminal 42b are stacked, the thickness of the electrode terminal 42aa is set to 0.1 mm or less, whereby the piezoelectric vibrator 20 having a diameter of φ0.8 mm or less and the electrode terminals 42aa and 42ba. The surface-mounted piezoelectric vibrator 40 having a thickness of 0.9 mm or less including the thickness is thinned, and a surface-mounted piezoelectric vibrator 40 having a height that is unprecedented in a cylindrical cylinder package is obtained. ing.

この圧電振動子20は、圧電振動片25を収容した圧電振動子20をモールド樹脂41によりモールドして表面実装型圧電振動子40として形成されているから、半導体部品等の他の表面実装型部品と同様に自動実装機によって、機械的に部品実装される。そして、実装対象である所定の実装基板上のランド(図示せず)に対して気密端子側の電極端子42aと封止管側の電極端子42bを載置して半田により固定される。これにより、実装機器内で、基板を介して、電極端子42aa、42baを介してアウターリード23b,インナーリード23aと、封止管21、金属環24、金属ワイヤ33から圧電振動片25へ駆動電圧が印加されることによって、所定の振動周波数で振動するようになっている。そして、この振動を電気的に取り出して、組み込まれる機器の所定のクロック信号等に利用することができる。   The piezoelectric vibrator 20 is formed as a surface-mounted piezoelectric vibrator 40 by molding the piezoelectric vibrator 20 containing the piezoelectric vibrating piece 25 with a mold resin 41, and therefore other surface-mounted parts such as semiconductor parts. In the same manner as above, parts are mechanically mounted by an automatic mounting machine. Then, the electrode terminal 42a on the airtight terminal side and the electrode terminal 42b on the sealing tube side are placed on a land (not shown) on a predetermined mounting substrate to be mounted and fixed by soldering. As a result, the drive voltage from the outer lead 23b, the inner lead 23a, the sealing tube 21, the metal ring 24, and the metal wire 33 to the piezoelectric vibrating piece 25 via the substrate and the electrode terminals 42aa and 42ba in the mounting device. Is applied to vibrate at a predetermined vibration frequency. Then, this vibration can be extracted electrically and used for a predetermined clock signal of a device to be incorporated.

本実施形態の圧電振動子の全体外観を示す斜視図。The perspective view which shows the whole external appearance of the piezoelectric vibrator of this embodiment. 本実施形態の圧電振動子の内部構造を示す斜視図。The perspective view which shows the internal structure of the piezoelectric vibrator of this embodiment. (a)本実施形態の気密端子の斜視図、(b)本実施形態の気密端子の断面斜視図。(A) The perspective view of the airtight terminal of this embodiment, (b) The cross-sectional perspective view of the airtight terminal of this embodiment. 本実施形態の圧電振動片の電極構造を示す斜視図。The perspective view which shows the electrode structure of the piezoelectric vibrating piece of this embodiment. 本実施形態の圧電振動子の正面断面図。FIG. 3 is a front sectional view of the piezoelectric vibrator of the present embodiment. 本実施形態の圧電振動子の側面断面図。FIG. 3 is a side cross-sectional view of the piezoelectric vibrator of the present embodiment. (a)本実施形態の表面実装型圧電振動子の全体斜視図、(b)本実施形態の表面実装型圧電振動子の内部構造を示す透視図。(A) The whole perspective view of the surface mount type piezoelectric vibrator of this embodiment, (b) The perspective view which shows the internal structure of the surface mount type piezoelectric vibrator of this embodiment. 図7の構成の分解斜視図。(a)シリンダ型パッケージ圧電振動子。(b)気密端子側の電極端子。(c)封止管側の電極端子。(d)モールド樹脂。FIG. 8 is an exploded perspective view of the configuration of FIG. 7. (A) A cylinder type package piezoelectric vibrator. (B) An electrode terminal on the airtight terminal side. (C) An electrode terminal on the sealed tube side. (D) Mold resin. 図8の気密端子側の電極端子拡大斜視図。The electrode terminal expansion perspective view of the airtight terminal side of FIG. 図8の封止管側の電極端子拡大斜視図。FIG. 9 is an enlarged perspective view of an electrode terminal on the sealing tube side of FIG. 8. 従来の圧電振動子を説明するための概略斜視図。The schematic perspective view for demonstrating the conventional piezoelectric vibrator. 従来の表面実装型圧電振動子を説明するための外観斜視図。FIG. 6 is an external perspective view for explaining a conventional surface mount piezoelectric vibrator. 従来の表面実装型圧電振動子を説明するための内部構造を示す概略断面図。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing an internal structure for explaining a conventional surface mount piezoelectric vibrator. (a)図13のA−A断面図、(b)(a)を小型化した場合のA−A断面図。(A) AA sectional drawing of FIG. 13, (b) AA sectional drawing at the time of miniaturizing (a).

符号の説明Explanation of symbols

1 気密端子
2 インナーリード
3 アウターリード
4 圧電振動片
5 封止管
6 圧電振動子
7 金属環
10 表面実装型圧電振動子
11 電極端子
12 窪み部
20 圧電振動子
21 封止管
22 気密端子
23 リード端子
23a インナーリード
23b アウターリード
24 金属環
25 圧電振動片
26 開口部
27 封止ガラス
28 小径部
29 空間
30 平坦段差面
31 励磁電極
32 マウント電極
32a 第1のマウント電極
32b 第2のマウント電極
33 金属ワイヤ
34 段差部
40 表面実装型圧電振動子
41 モールド樹脂
42 電極端子
42a 気密端子側の電極端子
42aa 気密端子側の電極端子の水平部
42ab 気密端子側の電極端子の垂直部
42b 封止管側の電極端子
42ba 封止管側の電極端子の水平部
42bb 封止管側の電極端子の垂直部
43 切り欠き
44a 気密端子側の接合部
44b 封止管側の接合部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Airtight terminal 2 Inner lead 3 Outer lead 4 Piezoelectric vibration piece 5 Sealing pipe 6 Piezoelectric vibrator 7 Metal ring 10 Surface mount type piezoelectric vibrator 11 Electrode terminal 12 Depression part 20 Piezoelectric vibrator 21 Sealing pipe 22 Airtight terminal 23 Lead Terminal 23a Inner lead 23b Outer lead 24 Metal ring 25 Piezoelectric vibrating piece 26 Opening portion 27 Sealing glass 28 Small diameter portion 29 Space 30 Flat step surface 31 Excitation electrode 32 Mount electrode 32a First mount electrode 32b Second mount electrode 33 Metal Wire 34 Stepped portion 40 Surface mount type piezoelectric vibrator 41 Mold resin 42 Electrode terminal 42a Airtight terminal side electrode terminal 42aa Airtight terminal side electrode terminal horizontal portion 42ab Airtight terminal side electrode terminal vertical portion 42b Sealing tube side Electrode terminal 42ba Horizontal portion 42bb of the electrode terminal on the sealing tube side Hanging of the electrode terminal on the sealing tube side Junction of the junction 44b sealing tube side parts 43 notches 44a hermetic terminal side

Claims (17)

金属環内に充填された絶縁材を介して貫通する一本のリード端子が封着された気密端子と、
前記リード端子のインナーリードに支持され、表面に2つの励磁電極と2つのマウント電極が形成されている圧電振動片と、
前記圧電振動片を収納し、開口部が前記気密端子の前記金属環で気密に封止された金属製有底円筒状の封止管と、
を有する圧電振動子であって、
前記リード端子は、円形の断面形状をして前記金属環の中心位置に配置され、
前記インナーリードは、前記金属環の軸方向中心線に平行でかつ該中心線から所定の距離を隔てた平坦段差面を有し、
前記圧電振動片は、前記封止管の略中央位置にかつ平行になるように前記平坦段差面で支持されていることを特徴とする圧電振動子。
An airtight terminal in which one lead terminal penetrating through an insulating material filled in a metal ring is sealed;
A piezoelectric vibrating piece supported by an inner lead of the lead terminal and having two excitation electrodes and two mount electrodes formed on the surface;
A metal bottomed cylindrical sealing tube that houses the piezoelectric vibrating piece and whose opening is hermetically sealed with the metal ring of the hermetic terminal;
A piezoelectric vibrator having
The lead terminal has a circular cross-sectional shape and is arranged at the center position of the metal ring,
The inner lead has a flat step surface parallel to the axial center line of the metal ring and spaced a predetermined distance from the center line,
The piezoelectric vibrator is supported by the flat step surface so as to be parallel to a substantially central position of the sealing tube.
前記圧電振動片の2つのマウント電極は、前記インナーリードに支持されるマウント部の表裏面に各々1つ形成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電振動子。   2. The piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein one of the two mount electrodes of the piezoelectric vibrating piece is formed on each of the front and back surfaces of the mount portion supported by the inner lead. 前記金属環は、前記インナーリード側に、前記金属環の中心線に平行な小径部を有し、
前記2つのマウント電極のうち第1のマウント電極は、前記インナーリードの前記平坦段差面に接続され、
第2のマウント電極は、前記小径部に接続されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の圧電振動子。
The metal ring has a small diameter portion parallel to the center line of the metal ring on the inner lead side,
The first mount electrode of the two mount electrodes is connected to the flat step surface of the inner lead,
The piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein the second mount electrode is connected to the small diameter portion.
前記第2のマウント電極と、前記小径部との接続は、金属ワイヤで接続することを特徴とする請求項1乃至請求項3のうち何れか1項に記載の圧電振動子。   4. The piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein the second mount electrode and the small diameter portion are connected by a metal wire. 5. 前記平坦段差面は、前記金属環の中心線の位置を越え、前記金属環の中心線から前記圧電振動片の厚みの距離以下であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のうち何れか1項に記載の圧電振動子。   The flat stepped surface exceeds the position of the center line of the metal ring and is equal to or less than the distance of the thickness of the piezoelectric vibrating piece from the center line of the metal ring. The piezoelectric vibrator according to claim 1. 前記リード端子の直径は、前記金属環の最内径の25%以上であり、かつ40%以下であることを特徴とする請求項1乃至請求項5のうち何れか1項に記載の圧電振動子。   6. The piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein a diameter of the lead terminal is 25% or more and 40% or less of an innermost diameter of the metal ring. . 前記平坦段差面の厚みは、前記リード端子の直径の60%以上であり、かつ70%以下であることを特徴とする請求項1乃至請求項6のうち何れか1項に記載の圧電振動子。   7. The piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein a thickness of the flat stepped surface is 60% or more and 70% or less of a diameter of the lead terminal. . 前記小径部の長さは、0.05mm以上であり、かつ0.15mm以下であることを特徴とする請求項1乃至請求項7のうち何れか1項に記載の圧電振動子。   8. The piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein a length of the small diameter portion is 0.05 mm or more and 0.15 mm or less. 前記封止管の外径は、0.8mm以下であることを特徴とする請求項1乃至請求項8のうち何れか1項に記載の圧電振動子。   The piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein an outer diameter of the sealing tube is 0.8 mm or less. 請求項1乃至請求項9のうち何れか1項に記載の圧電振動子と、
前記圧電振動子と外部との電気的導通を成すための電極端子と、
前記圧電振動子を被覆するモールド樹脂と、
を有することを特徴とする表面実装型圧電振動子。
The piezoelectric vibrator according to any one of claims 1 to 9,
An electrode terminal for establishing electrical continuity between the piezoelectric vibrator and the outside;
A mold resin covering the piezoelectric vibrator;
A surface-mounted piezoelectric vibrator characterized by comprising:
前記電極端子は、前記圧電振動子長手方向の両端に配置され外部と電気的に接続する水平部と、前記電極端子の一部を曲げ起こした垂直部とで形成されていることを特徴とする請求項10に記載の表面実装型圧電振動子。   The electrode terminal is formed by a horizontal portion disposed at both ends in the longitudinal direction of the piezoelectric vibrator and electrically connected to the outside, and a vertical portion where a part of the electrode terminal is bent. The surface-mount piezoelectric vibrator according to claim 10. 前記気密端子側の前記電極端子の垂直部は、前記表面実装型圧電振動子の長手方向と直交し、前記封止管側の前記電極端子の垂直部は、前記表面実装型圧電振動子の長手方向と平行であることを特徴とする請求項10又は請求項11に記載の表面実装型圧電振動子。   The vertical portion of the electrode terminal on the airtight terminal side is orthogonal to the longitudinal direction of the surface-mount piezoelectric vibrator, and the vertical portion of the electrode terminal on the sealing tube side is the longitudinal length of the surface-mount piezoelectric vibrator. The surface-mount piezoelectric vibrator according to claim 10 or 11, which is parallel to the direction. 前記電極端子は、前記気密端子側の前記垂直部に前記リード端子と接続し、前記封止管側の前記水平部に前記封止管と接続していることを特徴とする請求項10乃至請求項12のうち何れか1項に記載の表面実装型圧電振動子。   11. The electrode terminal is connected to the lead terminal at the vertical portion on the airtight terminal side and is connected to the sealing tube at the horizontal portion on the sealing tube side. Item 13. The surface-mount piezoelectric vibrator according to any one of Items 12 to 13. 前記気密端子側の前記電極端子は、前記垂直部を前記表面実装型圧電振動子の長手方向外側中央部から曲げ起こし、前記表面実装型圧電振動子の長手方向内側中央部には、前記封止管に対する切り欠きがあることを特徴とする請求項10乃至請求項13のうち何れか1項に記載の表面実装型圧電振動子。   The electrode terminal on the airtight terminal side bends and raises the vertical portion from the longitudinally outer central portion of the surface-mount piezoelectric vibrator, and the sealing portion is placed in the longitudinally inner central portion of the surface-mount piezoelectric vibrator. The surface-mount type piezoelectric vibrator according to any one of claims 10 to 13, wherein the pipe has a notch. 前記封止管側の前記電極端子は、前記表面実装型圧電振動子の長手方向内側部において、前記表面実装型圧電振動子の長手方向と平行に外側から曲げ起こし、前記封止管の両側面に支持可能な垂直部を形成していることを特徴とする請求項10乃至請求項14のうち何れか1項に記載の表面実装型圧電振動子。   The electrode terminal on the sealing tube side is bent and raised from the outside in parallel to the longitudinal direction of the surface-mounted piezoelectric vibrator at the inner side in the longitudinal direction of the surface-mounted piezoelectric vibrator. The surface-mount type piezoelectric vibrator according to claim 10, wherein a vertical portion that can be supported is formed. 前記電極端子の厚みは、0.1mm以下であることを特徴とする請求項10乃至請求項15のうち何れか1項に記載の表面実装型圧電振動子。   The surface-mount type piezoelectric vibrator according to claim 10, wherein the electrode terminal has a thickness of 0.1 mm or less. 前記表面実装型圧電振動子の高さは、0.9mm以下であることを特徴とする請求項10乃至請求項16のうち何れか1項に記載の表面実装型圧電振動子。   17. The surface-mount type piezoelectric vibrator according to claim 10, wherein a height of the surface-mount type piezoelectric vibrator is 0.9 mm or less.
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