JP2007127427A - Collection device of fine particles and collection method of fine particles - Google Patents

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辰巳 横山
Koji Kamiyama
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To collect an easily measurable number of fine particles on a collection plate by charging fine particles in a collection device of fine particles. <P>SOLUTION: A fine particle counter (LPC) 13 is provided on the inlet side of fine particles. Air is charged with the fine particles while counting the number of the fine particles by the LPC 13 to be collected on slide glass 20. If the count value of the fine particles counted by the fine particle counter 13 reaches a threshold value, a suction pump 23 is stopped to stop suctioning. By this constitution, a proper number of the fine particles can be collected on the slide glass 20. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は微粒子捕集装置及び微粒子捕集方法に関するものである。   The present invention relates to a particulate collection device and a particulate collection method.

空気中の微粒子を分析するために、従来より空気中に浮遊する微粒子をガラス捕集板に捕集して微粒子の観察、分析をするサンプリング装置が知られている。(特許文献1)この装置では円筒形のホッパを設けてキャリアガスに対してコロナ放電させ、微粒子を帯電させ、円筒形ホッパに帯電した微粒子を捕集している。
特開平7−47299号公報
In order to analyze fine particles in the air, a sampling apparatus is conventionally known that collects fine particles floating in the air on a glass collecting plate and observes and analyzes the fine particles. (Patent Document 1) In this apparatus, a cylindrical hopper is provided and corona discharge is performed on a carrier gas to charge the fine particles, and the charged fine particles are collected in the cylindrical hopper.
JP 7-47299 A

近年アスベストによる被害が問題となり、種々の環境下でアスベストの個数濃度を測定することが求められている。しかし種々の微粒子に混在するアスベスト数を正確に計測するため、アスベストを捕集板に捕集した後でなければ計数が難しいという欠点があった。   In recent years, damage due to asbestos has become a problem, and it is required to measure the number concentration of asbestos under various environments. However, in order to accurately measure the number of asbestos mixed in various fine particles, there is a drawback that it is difficult to count unless the asbestos is collected on a collecting plate.

特許文献1に示された捕集装置では、捕集後に微粒子の観察、分析をする場合において、多数の微粒子が捕集されてしまうと形状分析が難しくなる。従って適当な数の微粒子を捕集した後に捕集を停止する必要があるが、この停止のタイミングを決定することが難しいという欠点があった。   In the collection device disclosed in Patent Document 1, when observation and analysis of fine particles are performed after collection, shape analysis becomes difficult if a large number of fine particles are collected. Therefore, it is necessary to stop the collection after collecting an appropriate number of fine particles, but there is a drawback that it is difficult to determine the timing of this stop.

本発明はこのような従来の問題点に着目してなされたものであって、種々の環境下において適当な数の微粒子を容易に捕集することができる微粒子捕集装置及び微粒子捕集方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made paying attention to such a conventional problem, and provides a particulate collection apparatus and a particulate collection method capable of easily collecting an appropriate number of particulates under various environments. The purpose is to provide.

この課題を解決するために、本発明の微粒子捕集装置は、気体に浮遊する微粒子を捕集する微粒子捕集装置であって、気体の取入口より取入れられた気体中の微粒子数を計数する微粒子カウンタと、ダクトを介して前記微粒子カウンタの出口側に設けられ、気体中の微粒子を帯電させるコロナ放電部と、前記コロナ放電部によって帯電した微粒子を導電性のガラス上に捕集する微粒子捕集部と、前記微粒子カウンタ、前記コロナ放電部及び前記微粒子捕集部を気体が通過するように、前記微粒子カウンタの入口側より気体を吸引して前記微粒子捕集部を通過した気体を排出する吸引ポンプと、動作開始後に前記微粒子カウンタの計数値が閾値に達したときに、前記吸引ポンプを停止するポンプ制御部と、具備することを特徴とするものである。   In order to solve this problem, the particulate collection device of the present invention is a particulate collection device that collects particulates floating in a gas, and counts the number of particulates in the gas taken in from the gas inlet. A fine particle counter, a corona discharge part provided on the outlet side of the fine particle counter via a duct, for charging fine particles in the gas, and a fine particle trap for collecting fine particles charged by the corona discharge part on a conductive glass. The gas is sucked from the inlet side of the fine particle counter so that the gas passes through the collecting portion, the fine particle counter, the corona discharge portion, and the fine particle collecting portion, and the gas passing through the fine particle collecting portion is discharged. A suction pump; and a pump control unit that stops the suction pump when the count value of the particulate counter reaches a threshold value after the operation starts.

ここで前記ポンプ制御部に接続され、測定対象となる微粒子と他の微粒子との濃度比を設定する設定部を更に有し、前記ポンプ制御部は、前記設定部によって設定された濃度比が大きければ閾値を小さく、濃度比が小さければ閾値を大きくするように前記閾値を設定するようにしてもよい。   Here, the apparatus further includes a setting unit that is connected to the pump control unit and sets a concentration ratio between the fine particles to be measured and other fine particles, and the pump control unit has a large concentration ratio set by the setting unit. For example, the threshold value may be set to be small, and if the density ratio is small, the threshold value may be set to be large.

この課題を解決するために、本発明の微粒子捕集方法は、気体に浮遊する微粒子を捕集する微粒子捕集方法であって、微粒子カウンタによって気体の取入口より取入れられた気体中の微粒子数を計数し、微粒子数を計数した後の気体中の微粒子をコロナ放電部によって帯電させ、前記コロナ放電によって帯電した微粒子を導電性のガラス上に捕集し、前記微粒子カウンタ、前記コロナ放電部及び微粒子捕集部を気体が通過するように、前記微粒子カウンタの入口側より気体を吸引して前記微粒子捕集部を通過した気体を排出し、動作開始後に前記微粒子カウンタの計数値が閾値に達したときに、気体の吸引を停止することを特徴とするものである。   In order to solve this problem, the fine particle collection method of the present invention is a fine particle collection method for collecting fine particles floating in a gas, and the number of fine particles in the gas taken in from the gas inlet by the fine particle counter. The particles in the gas after counting the number of particles are charged by a corona discharge unit, and the particles charged by the corona discharge are collected on a conductive glass, and the particle counter, the corona discharge unit and The gas is sucked from the inlet side of the fine particle counter so that the gas passes through the fine particle collecting portion, and the gas passing through the fine particle collecting portion is discharged. After the operation starts, the count value of the fine particle counter reaches the threshold value. In this case, the suction of the gas is stopped.

ここで測定対象となる微粒子と他の微粒子との濃度比を設定し、設定された濃度比が大きければ閾値を小さく、濃度比が小さければ閾値を大きくするように前記閾値を設定するようにしてもよい。   Here, the concentration ratio between the fine particles to be measured and other fine particles is set, and the threshold value is set so that the threshold value is small if the set concentration ratio is large and the threshold value is large if the concentration ratio is small. Also good.

このような特徴を有する本発明によれば、取入口より取り入れられた微粒子数を計数しつつ帯電させ、これを捕集することができる。従って適当な数の微粒子が通過した後に吸引を停止することによって、捕集する微粒子数を適正な数に設定することができる。又測定対象となる微粒子の濃度比とその他の微粒子との濃度比を設定することによって、閾値を適宜設定することができるという効果が得られる。   According to the present invention having such a feature, it is possible to charge while counting the number of fine particles taken from the intake port and collect them. Therefore, by stopping suction after an appropriate number of fine particles have passed, the number of fine particles to be collected can be set to an appropriate number. Further, by setting the concentration ratio of the fine particles to be measured and the concentration ratio of the other fine particles, an effect that the threshold value can be appropriately set is obtained.

本発明は実施の形態による微粒子捕集装置の構成を示すブロック図である。図1において微粒子入口11には図示のように断面T字形のインパクタ12が設けられる。インパクタ12は微粒子の粒径を分級するものであり、その微粒子入口11に沿ってレーザ微粒子カウンタ(LPC)13が設けられる。LPC13は後述するように、微粒子の流路にレーザ光源からのレーザ光を照射し、その散乱光に基づいて所定粒径以上の粒子数を計数するものである。   The present invention is a block diagram showing a configuration of a particulate collection device according to an embodiment. In FIG. 1, the fine particle inlet 11 is provided with an impactor 12 having a T-shaped cross section as shown. The impactor 12 classifies the particle size of fine particles, and a laser fine particle counter (LPC) 13 is provided along the fine particle inlet 11. As will be described later, the LPC 13 irradiates the flow path of fine particles with laser light from a laser light source, and counts the number of particles having a predetermined particle diameter or more based on the scattered light.

そしてLPC13の出口側に、コロナ放電部14が設けられる。コロナ放電部14は、図示のようにシリンダ15内に絶縁体で構成されたスペーサ16を有しており、その中央部に電極17が保持される。この放電部の電極17の下方先端はニードル18として形成されている。LPC13の出口側から導かれたダクトは、電極17及びその先端のニードル18の近傍を通過するように構成されている。ニードル18の周囲は細く、流路が狭められており、これによってニードル18の近傍でコロナ放電が生じ、ダクトを通過する微粒子が帯電するようになっている。このコロナ放電によってダクトを通過した微粒子が帯電する。そしてこの流出口に対向する位置にスライドガラス20を設ける。スライドガラス20は蒸着等によって形成された導電性のコーティングを一面に有し、帯電した微粒子をその表面に捕集するものである。このスライドガラス20とその上部の空間とは帯電した微粒子を導電性ガラス上に捕集する微粒子捕集部21を構成している。   A corona discharge unit 14 is provided on the outlet side of the LPC 13. The corona discharge part 14 has a spacer 16 made of an insulator in a cylinder 15 as shown in the figure, and an electrode 17 is held at the center thereof. The lower tip of the electrode 17 of this discharge part is formed as a needle 18. The duct guided from the outlet side of the LPC 13 is configured to pass through the vicinity of the electrode 17 and the needle 18 at the tip thereof. The periphery of the needle 18 is thin and the flow path is narrowed. As a result, corona discharge occurs in the vicinity of the needle 18 so that the fine particles passing through the duct are charged. The corona discharge charges the fine particles that have passed through the duct. A slide glass 20 is provided at a position facing the outflow port. The slide glass 20 has a conductive coating formed on one side by vapor deposition or the like, and collects charged fine particles on the surface. The slide glass 20 and the space above it constitute a fine particle collecting part 21 for collecting charged fine particles on the conductive glass.

又高圧電源部19は電極部17とスライドガラス20の両端に高圧電源を与えることによってコロナ放電を発生させるものである。ここでスライドガラス20は着脱自在とし、微粒子の捕集を行った後、交換できるように構成されている。   The high-voltage power supply unit 19 generates corona discharge by applying a high-voltage power supply to both ends of the electrode unit 17 and the slide glass 20. Here, the slide glass 20 is configured to be detachable so that it can be exchanged after collecting the fine particles.

そして微粒子捕集部21の出口側に、シリンダ部の外部に向けてダクト22が設けられ、更に吸引ポンプ23が設けられる。吸引ポンプ23は外部から微粒子を含む気体を微粒子入口11より導き、LPC13及びコロナ放電部14を通過させて排出するものである。吸引ポンプ23の開始及び停止はポンプ制御部24によって制御される。又設定部25は測定領域の微粒子の状態に合わせてポンプ制御部24への信号を入力するものである。ポンプ制御部24は、動作を開始してからLPC13より得られる計数値が閾値となったときに、吸引ポンプ23の動作を停止するものである。   And the duct 22 is provided in the exit side of the particulate collection part 21 toward the exterior of a cylinder part, and also the suction pump 23 is provided. The suction pump 23 guides a gas containing fine particles from the outside through the fine particle inlet 11 and passes the gas through the LPC 13 and the corona discharge unit 14 to discharge the gas. The start and stop of the suction pump 23 are controlled by the pump control unit 24. The setting unit 25 inputs a signal to the pump control unit 24 in accordance with the state of fine particles in the measurement region. The pump control unit 24 stops the operation of the suction pump 23 when the count value obtained from the LPC 13 after starting the operation becomes a threshold value.

次に微粒子カウンタ(LPC)13の構成について図2を用いて説明する。図2のシリンダ31には前述したインパクタ12からのダクト32が流入部として接続されており、ダクト32の先端が狭くノズルとして構成される。又排出用ダクト33はこれに対向する位置に設けられている。そして図示のように垂直方向の上部にレーザダイオード34を配置し、レンズ35を介してレーザ光の光を測定領域であるノズルの先端側に集束する。ここで測定領域をそのまま通過した光はプレート36によって遮断される。シリンダ31の下方には、レンズ37,38が設けられる。レンズ37,38は測定領域を微粒子が通過した場合、散乱した光を集束するレンズである。この集束位置にフォトダイオード39を配置する。フォトダイオード39の出力はアンプ40を介して波形整形部41に導かれる。波形整形部41では、所定の閾値で入力信号を波形整形するものであり、その出力は計数部42に入力される。計数部42はパルス数を計数することによって、ダクト32,33を通過する粒子数を計数するものである。計数部42にはポンプ制御部24からのリセット信号が与えられ、リセット信号が入力される毎に計数値がリセットされる。   Next, the configuration of the fine particle counter (LPC) 13 will be described with reference to FIG. The duct 31 from the impactor 12 described above is connected to the cylinder 31 of FIG. 2 as an inflow portion, and the tip of the duct 32 is narrowly configured as a nozzle. The discharge duct 33 is provided at a position facing the discharge duct 33. Then, as shown in the figure, a laser diode 34 is arranged in the upper part in the vertical direction, and the laser light is focused through the lens 35 to the tip side of the nozzle that is the measurement region. Here, the light passing through the measurement region as it is is blocked by the plate 36. Lenses 37 and 38 are provided below the cylinder 31. The lenses 37 and 38 are lenses that focus scattered light when fine particles pass through the measurement region. A photodiode 39 is disposed at this focusing position. The output of the photodiode 39 is guided to the waveform shaping unit 41 via the amplifier 40. The waveform shaping unit 41 shapes the input signal with a predetermined threshold, and its output is input to the counting unit 42. The counting unit 42 counts the number of particles passing through the ducts 32 and 33 by counting the number of pulses. The counter 42 is given a reset signal from the pump controller 24, and the count value is reset each time the reset signal is input.

ここで設定部25とポンプ制御部24について更に説明する。設定部25は測定対象となる周囲の微粒子の濃度比、例えばアスベストの濃度を測定したい場合に、測定対象となるアスベストの濃度と他の微粒子の濃度の比を設定するものとする。測定対象となるアスベストは、例えば長さが5μm以上、直径3μm未満、長さと幅との比が3以上のものとする。濃度は単位体積当たりの本数で表される。アスベストの濃度は法令によりスライドガラス20に付着した数を顕微鏡で計測することによって測定する必要がある。又アスベストのみの抽出としては、プラズマを用いてフィルターを灰下しアスベストのみを残して染色によってアスベストの種類毎に特有の色を付けて抽出する方法が知られている。このような方法を用いず、スライドガラス上に付着した線状の微粒子をアスベストとみなして計測する場合もある。いずれの場合もアスベストの個数計測は、スライドガラス上に微粒子が適当な数だけ付着している場合に最も容易となり、少なすぎても多すぎても計測が難しくなる。従って本発明では、微粒子カウンタによって吸引ポンプの停止のタイミングを決定する。この場合に測定対象となる気体の微粒子、ここではアスベストと、その他の微粒子との濃度比の概略の推定値をあらかじめ設定部25で設定するものとする。   Here, the setting unit 25 and the pump control unit 24 will be further described. The setting unit 25 sets the ratio of the concentration of asbestos to be measured and the concentration of other fine particles when it is desired to measure the concentration ratio of surrounding fine particles to be measured, for example, the concentration of asbestos. The asbestos to be measured is assumed to have a length of 5 μm or more, a diameter of less than 3 μm, and a length to width ratio of 3 or more, for example. The concentration is expressed as the number per unit volume. It is necessary to measure the concentration of asbestos by measuring the number attached to the slide glass 20 with a microscope according to laws and regulations. Further, as extraction of only asbestos, there is known a method in which a filter is ashed using plasma and only asbestos is left, and an asbestos is extracted with a specific color for each type of asbestos by dyeing. In some cases, linear fine particles adhering to the slide glass are regarded as asbestos without using such a method. In any case, counting the number of asbestos is most easy when an appropriate number of fine particles are adhered on the slide glass, and it is difficult to measure whether the amount is too small or too large. Therefore, in the present invention, the stop timing of the suction pump is determined by the fine particle counter. In this case, a rough estimated value of the concentration ratio between the gas fine particles to be measured, here asbestos, and other fine particles is set by the setting unit 25 in advance.

次にこの実施の形態の動作について説明する。図1に示す微粒子捕集装置を測定現場に配置する。ここで対象となる微粒子、例えばアスベストの微粒子とその他の微粒子との濃度比をあらかじめ設定しておく。例えば濃度比を1:10とすると、その濃度比を設定部25に設定する。ポンプ制御部24はこれに応じた閾値を設定する。ここで濃度比が1:10より小さく、例えば1:100となれば閾値を大きく、濃度比が大きくなれば閾値を小さく設定するものとする。そして計数部42にリセット信号を送って計数値をリセットし、吸引ポンプ23の動作を開始する。測定対象の気体、ここでは大気は、微粒子入口11よりインパクタ12を介してダクトを通過し、図2に示すLPC13に流入する。LPC13では前述したように、微粒子数が計数部42によって計数される。そして微粒子は排出ダクト33を介してコロナ放電部14に導かれ、放電され、微粒子が測定用のスライドガラス20の捕集領域に捕集される。   Next, the operation of this embodiment will be described. The particulate collection device shown in FIG. 1 is arranged at the measurement site. Here, a concentration ratio between the target fine particles, for example, asbestos fine particles and other fine particles is set in advance. For example, if the concentration ratio is 1:10, the concentration ratio is set in the setting unit 25. The pump control unit 24 sets a threshold value corresponding to this. Here, when the density ratio is smaller than 1:10, for example, 1: 100, the threshold is set large, and when the density ratio is large, the threshold is set small. Then, a reset signal is sent to the counter 42 to reset the count value, and the operation of the suction pump 23 is started. The gas to be measured, here the air, passes through the duct via the impactor 12 from the fine particle inlet 11 and flows into the LPC 13 shown in FIG. In the LPC 13, as described above, the number of fine particles is counted by the counting unit 42. The fine particles are guided to the corona discharge unit 14 through the discharge duct 33 and discharged, and the fine particles are collected in the collection region of the slide glass 20 for measurement.

さて計数部42からの計数値が所定の閾値に達すると、ポンプ制御部24は吸引ポンプ23の動作を停止する。この吸引ポンプ23の動作時間によって大気の吸引量が決定される。そしてスライドガラス20を取り出し、そのまま又は前述した手段でアスベストを抽出し、その数を顕微鏡によって計測する。そして得られた個数を吸引量(m)で除算したものが、単位体積当たりのアスベストの個数濃度となる。 Now, when the count value from the counting unit 42 reaches a predetermined threshold, the pump control unit 24 stops the operation of the suction pump 23. The amount of atmospheric suction is determined by the operating time of the suction pump 23. Then, the slide glass 20 is taken out, and asbestos is extracted as it is or by the means described above, and the number thereof is measured with a microscope. The number obtained is divided by the suction amount (m 3 ) to obtain the number concentration of asbestos per unit volume.

ここでスライドガラス20上には設定部で設定された濃度によって閾値が設定されるため、アスベストを含む微粒子数が少なすぎたり多すぎて計測が困難になることがなく、容易に計測することができる。   Here, since the threshold value is set on the slide glass 20 according to the concentration set by the setting unit, the number of fine particles containing asbestos is not too small or too large, and measurement can be easily performed. it can.

尚ここではレーザ微粒子カウンタとして図2の構成のものを用い、前方散乱光を集束するようにしているが、微粒子数を計数できるものであれば種々の微粒子カウンタを用いることができる。   Here, the laser particle counter having the configuration shown in FIG. 2 is used to focus forward scattered light, but various particle counters can be used as long as the number of particles can be counted.

又前述した実施の形態では、微粒子入口側にインパクタを設けて分級しているが、インパクタを必ずしも用いる必要はない。   In the above-described embodiment, the impactor is provided on the fine particle inlet side for classification, but the impactor is not necessarily used.

更に前述した実施の形態では測定対象となる微粒子としてアスベストについて説明しているが、他の微粒子についても本発明を適用することができる。   Further, in the above-described embodiment, asbestos is described as the fine particles to be measured, but the present invention can be applied to other fine particles.

又気体に含まれる微粒子が単一であったり、特定の微粒子を選択して計数する必要がなければ、設定部によって濃度比を設定しそれに応じた閾値を設定する必要がなく、1つの閾値を用いて適当な数の微粒子が捕集されたときにポンプの吸引を停止させることができる。   If there is no single particle in the gas or if it is not necessary to select and count a specific particle, it is not necessary to set a concentration ratio by the setting unit and set a threshold value accordingly. It can be used to stop pump suction when a suitable number of particulates have been collected.

本発明による微粒子捕集装置の全体構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the whole structure of the particulate collection apparatus by this invention. 本実施の形態の微粒子計数装置を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the fine particle counter of this Embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

11 微粒子入口
12 インパクタ
13 レーザ微粒子カウンタ
14 コロナ放電部
15 シリンダ
16 スペーサ
17 電極
18 ニードル
19 高圧電源部
20 スライドガラス
21 微粒子捕集部
22 ダクト
23 吸引ポンプ
24 ポンプ制御部
25 設定部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Fine particle inlet 12 Impactor 13 Laser particle counter 14 Corona discharge part 15 Cylinder 16 Spacer 17 Electrode 18 Needle 19 High voltage power supply part 20 Slide glass 21 Fine particle collection part 22 Duct 23 Suction pump 24 Pump control part 25 Setting part

Claims (4)

気体に浮遊する微粒子を捕集する微粒子捕集装置であって、
気体の取入口より取入れられた気体中の微粒子数を計数する微粒子カウンタと、
ダクトを介して前記微粒子カウンタの出口側に設けられ、気体中の微粒子を帯電させるコロナ放電部と、
前記コロナ放電部によって帯電した微粒子を導電性のガラス上に捕集する微粒子捕集部と、
前記微粒子カウンタ、前記コロナ放電部及び前記微粒子捕集部を気体が通過するように、前記微粒子カウンタの入口側より気体を吸引して前記微粒子捕集部を通過した気体を排出する吸引ポンプと、
動作開始後に前記微粒子カウンタの計数値が閾値に達したときに、前記吸引ポンプを停止するポンプ制御部と、具備することを特徴とする微粒子捕集装置。
A fine particle collecting device for collecting fine particles floating in a gas,
A particle counter for counting the number of particles in the gas taken in from the gas inlet;
A corona discharge part that is provided on the outlet side of the particulate counter via a duct and charges particulates in the gas;
A fine particle collecting part for collecting fine particles charged by the corona discharge part on a conductive glass;
A suction pump that sucks the gas from the inlet side of the particle counter and discharges the gas that has passed through the particle collector so that the gas passes through the particle counter, the corona discharge unit, and the particle collecting unit;
A particulate collection device, comprising: a pump control unit that stops the suction pump when the count value of the particulate counter reaches a threshold value after the start of operation.
前記ポンプ制御部に接続され、測定対象となる微粒子と他の微粒子との濃度比を設定する設定部を更に有し、
前記ポンプ制御部は、前記設定部によって設定された濃度比が大きければ閾値を小さく、濃度比が小さければ閾値を大きくするように前記閾値を設定することを特徴とする請求項1記載の微粒子捕集装置。
A setting unit that is connected to the pump control unit and sets a concentration ratio between the fine particles to be measured and the other fine particles;
2. The particulate trap according to claim 1, wherein the pump control unit sets the threshold value so that the threshold value decreases when the concentration ratio set by the setting unit is large, and the threshold value increases when the concentration ratio is small. Collector.
気体に浮遊する微粒子を捕集する微粒子捕集方法であって、
微粒子カウンタによって気体の取入口より取入れられた気体中の微粒子数を計数し、
微粒子数を計数した後の気体中の微粒子をコロナ放電部によって帯電させ、
前記コロナ放電によって帯電した微粒子を導電性のガラス上に捕集し、
前記微粒子カウンタ、前記コロナ放電部及び微粒子捕集部を気体が通過するように、前記微粒子カウンタの入口側より気体を吸引して前記微粒子捕集部を通過した気体を排出し、
動作開始後に前記微粒子カウンタの計数値が閾値に達したときに、気体の吸引を停止することを特徴とする微粒子捕集方法。
A method for collecting fine particles floating in a gas,
Count the number of fine particles in the gas taken in from the gas inlet by the fine particle counter,
Charge the fine particles in the gas after counting the number of fine particles by the corona discharge part,
Collecting fine particles charged by the corona discharge on conductive glass,
As the gas passes through the fine particle counter, the corona discharge part and the fine particle collection part, the gas is sucked from the inlet side of the fine particle counter to discharge the gas that has passed through the fine particle collection part,
A fine particle collecting method, comprising: stopping gas suction when the count value of the fine particle counter reaches a threshold value after the start of operation.
測定対象となる微粒子と他の微粒子との濃度比を設定し、
設定された濃度比が大きければ閾値を小さく、濃度比が小さければ閾値を大きくするように前記閾値を設定することを特徴とする請求項3記載の微粒子捕集方法。
Set the concentration ratio between the fine particles to be measured and other fine particles,
4. The method for collecting fine particles according to claim 3, wherein the threshold value is set to be small if the set concentration ratio is large, and to be large if the concentration ratio is small.
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