JP2007118542A - Buffering rubber sheet having heat resistance and mold releasability - Google Patents

Buffering rubber sheet having heat resistance and mold releasability Download PDF

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Masaaki Mori
正明 毛利
Takashi Nakajima
中島  隆
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Inoac Corp
Inoac Elastomer Co Ltd
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Inoue MTP KK
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a buffering rubber sheet having heat resistance and mold releasability, excellent in the adhesiveness of a rubber sheet and a mold releasable resin film and capable of being enhanced in durability. <P>SOLUTION: The buffering rubber sheet 16 having heat resistance and mold releasability is constituted by integrating glass cloth 18 with one side of the rubber sheet 17 comprising a fluororubber or a silicone rubber and bonding a mold releasable fluoroplastic resin film 20 with a melting point of 300-350°C having an adhesive layer 19 to the glass cloth 18 by the adhesive layer 19. The rubber sheet 17 and the glass cloth 18 are integrated by laminating the glass cloth 18 to one side of an unvulcanized rubber sheet 17 containing a vulcanizing agent to heat and vulcanize the unvulcanized rubber sheet 17. The fluoroplastic resin film 20 preferably comprises a polytetrafluoroethylene resin or a tetrafluoroethylene/perfluoroalkoxyethylene copolymer resin. Further, as the adhesive for forming the adhesive layer 19, a silicone adhesive is preferable. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、例えばフラットディスプレイパネル(FPD)、特に10インチ以上の液晶ディスプレイ(LCD)のモジュール製作工程において、画面用のパネルとそれを制御するための回路、デバイス等を接続するときに用いられる耐熱性及び離型性を有する緩衝用ゴムシートに関するものである。   The present invention is used when connecting a panel for a screen and a circuit, a device for controlling the panel, etc. in a module manufacturing process of a flat display panel (FPD), particularly a liquid crystal display (LCD) of 10 inches or more. The present invention relates to a shock-absorbing rubber sheet having heat resistance and releasability.

FPDにおける画面用のパネルと制御回路等を接続するために用いられる接続用治具は、通常幅1〜2mmで、FPDのパネルの長さを有する金属板である。FPDのパネルの長さは、40インチの画面を有するパネルならば1000mm程度の長さである。そして、その接続用治具を用いて、異方導電性フィルム(ACF、Anisotropic Conductive Film)と呼ばれる接着剤、すなわちエポキシ樹脂をマトリックスとし、導電粒子としての金属粉を分散させた接着剤で、導電性薄膜フィルム(TCP)をパネル及び制御回路等に接着させる。その際、ACFを硬化させるため、接続用治具はACFの硬化温度(約200℃)を越える300℃以上に加熱される。高温に加熱された接続用治具によってTCPがパネル及び制御回路等に圧着されると、TCPに歪みが発生しやすいため、弾力性のある緩衝用ゴムシートを接続用治具とTCPとの間に介在させてそれを回避している。   A connecting jig used to connect a screen panel and a control circuit in the FPD is a metal plate having a width of 1 to 2 mm and a length of the FPD panel. The length of the FPD panel is about 1000 mm for a panel having a 40-inch screen. Then, using the connecting jig, an adhesive called anisotropic conductive film (ACF, Anisotropic Conductive Film), that is, an epoxy resin as a matrix and an adhesive in which metal powder as conductive particles is dispersed, Adhesive film (TCP) is adhered to a panel and a control circuit. At that time, in order to cure the ACF, the connecting jig is heated to 300 ° C. or higher which exceeds the ACF curing temperature (about 200 ° C.). When TCP is pressure-bonded to the panel and control circuit with a connection jig heated to a high temperature, the TCP tends to be distorted, so an elastic cushioning rubber sheet is placed between the connection jig and TCP. To avoid it.

さらに、接続用治具を用い、TCPをACFでパネル及び制御回路等と接続する際に、リード線の周囲にはみ出した接着剤に緩衝用ゴムシートが接着される場合がある。それを防止するために、接続用治具と緩衝用ゴムシートとの間に、ポリ四フッ化エチレン樹脂(PTFE)等の離型フィルムが介在される。その場合、緩衝用ゴムシートと離型フィルムとは、セッティングの簡略化及び伝熱の優位性の観点から一体化が要望されている。そのような要望に応えるために、シリコーンゴムシートにフッ素樹脂フィルム等の耐熱性樹脂フィルムがシリコーン接着剤で接着された複合シートが提案されている(例えば、特許文献1を参照)。さらに、ガラス繊維補強フッ素樹脂シートの片面に表面活性化処理がなされ、その面に加硫されたシリコーンゴムが積層一体化された熱圧着用離型シートが知られている(例えば、特許文献2を参照)。
特開2001−18330号公報(第2頁及び第5頁) 特開2004−168025号公報(第2頁、第5頁及び第6頁)
Further, when the TCP is connected to the panel, the control circuit, and the like with the ACF using a connection jig, the buffer rubber sheet may be bonded to the adhesive protruding around the lead wire. In order to prevent this, a release film such as polytetrafluoroethylene resin (PTFE) is interposed between the connecting jig and the buffer rubber sheet. In that case, the cushioning rubber sheet and the release film are required to be integrated from the viewpoint of simplification of setting and superior heat transfer. In order to meet such a demand, a composite sheet in which a heat-resistant resin film such as a fluororesin film is bonded to a silicone rubber sheet with a silicone adhesive has been proposed (see, for example, Patent Document 1). Furthermore, a release sheet for thermocompression bonding is known in which surface activation treatment is performed on one surface of a glass fiber reinforced fluororesin sheet, and vulcanized silicone rubber is laminated and integrated on that surface (for example, Patent Document 2). See).
JP 2001-18330 A (pages 2 and 5) JP 2004-168025 A (page 2, page 5 and page 6)

ところが、特許文献1に記載の複合シートにおいては、使用時に高温に晒されたとき、シリコーンゴムシートとフッ素樹脂フィルムとの熱膨張率の差が大きいため、両者間に剥がれが生じてフッ素樹脂フィルムがシリコーンゴムシートから浮き上がる部分が発生するという問題があった。従って、そのような複合シートは耐久性に欠けるものであった。また、特許文献2に記載の熱圧着用離型シートにあっては、フッ素樹脂シートを補強するためのガラス繊維がフッ素樹脂に分散され、ほとんど表面に存在していないため、実質上フッ素樹脂シートとシリコーンゴムとの接着であり、特許文献1の複合シートと同様の問題があった。フッ素樹脂シートの表面には表面活性化処理がなされているが、高温時における剥離の問題を解消するには到っていなかった。   However, in the composite sheet described in Patent Document 1, when exposed to a high temperature during use, the difference between the thermal expansion coefficients of the silicone rubber sheet and the fluororesin film is large. However, there is a problem that a part that floats from the silicone rubber sheet is generated. Accordingly, such a composite sheet lacks durability. Further, in the thermocompression-bonding release sheet described in Patent Document 2, since the glass fibers for reinforcing the fluororesin sheet are dispersed in the fluororesin and hardly exist on the surface, the fluororesin sheet substantially There was a problem similar to that of the composite sheet of Patent Document 1. The surface of the fluororesin sheet has been subjected to a surface activation treatment, but has not yet been able to solve the problem of peeling at high temperatures.

そこで本発明の目的とするところは、ゴムシートと離型用樹脂フィルムとの接着性に優れ、耐久性を向上させることができる耐熱性及び離型性を有する緩衝用ゴムシートを提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a buffer rubber sheet having excellent heat resistance and releasability that can improve durability and excellent adhesion between the rubber sheet and the release resin film. is there.

上記の目的を達成するために、請求項1に記載の発明の耐熱性及び離型性を有する緩衝用ゴムシートは、フッ素ゴム又はシリコーンゴムよりなるゴムシートの少なくとも片面にガラスクロスが一体化されるとともに、接着剤層を有する融点300〜350℃の離型用フッ素樹脂フィルムがその接着剤層によって前記ガラスクロスに接合されて構成されていることを特徴とするものである。   In order to achieve the above object, the heat-resistant and releasable cushioning rubber sheet according to the first aspect of the present invention has a glass cloth integrated on at least one surface of a rubber sheet made of fluororubber or silicone rubber. And a release fluororesin film having a melting point of 300 to 350 ° C. having an adhesive layer is bonded to the glass cloth by the adhesive layer.

請求項2に記載の発明の耐熱性及び離型性を有する緩衝用ゴムシートは、請求項1に記載の発明において、前記ゴムシートとガラスクロスとの一体化は、加硫剤を含む未加硫のゴムシートの少なくとも片面にガラスクロスを貼り合わせた状態で加熱し、加硫することによって行われるものであることを特徴とするものである。   The buffer rubber sheet having heat resistance and releasability according to the invention of claim 2 is the invention according to claim 1, wherein the integration of the rubber sheet and the glass cloth is not added with a vulcanizing agent. The vulcanized rubber sheet is heated and vulcanized in a state where a glass cloth is bonded to at least one surface of the vulcanized rubber sheet.

請求項3に記載の発明の耐熱性及び離型性を有する緩衝用ゴムシートは、請求項1又は請求項2に記載の発明において、前記離型用フッ素樹脂フィルムは、ポリ四フッ化エチレン樹脂又は四フッ化エチレン−パーフルオロアルコキシエチレン共重合樹脂により形成されたフィルムであることを特徴とするものである。   The buffer rubber sheet having heat resistance and releasability according to claim 3 is the invention according to claim 1 or 2, wherein the release fluororesin film is a polytetrafluoroethylene resin. Alternatively, it is a film formed of a tetrafluoroethylene-perfluoroalkoxyethylene copolymer resin.

請求項4に記載の発明の耐熱性及び離型性を有する緩衝用ゴムシートは、請求項1から請求項3のいずれかに係る発明において、前記接着剤層を形成する接着剤は、シリコーン系接着剤であることを特徴とするものである。   The buffer rubber sheet having heat resistance and releasability according to claim 4 is the invention according to any one of claims 1 to 3, wherein the adhesive forming the adhesive layer is a silicone-based It is characterized by being an adhesive.

本発明によれば、次のような効果を発揮することができる。
請求項1に記載の発明の耐熱性及び離型性を有する緩衝用ゴムシートは、フッ素ゴム又はシリコーンゴムよりなるゴムシートの少なくとも片面にガラスクロスが一体化されるとともに、接着剤層を有する融点300〜350℃の離型用フッ素樹脂フィルムがその接着剤層によって前記ガラスクロスに接合されて構成されている。ゴムシートはフッ素ゴム又はシリコーンゴムにより形成されるため耐熱性を有するとともに、ガラスクロスと一体化されているため熱膨張が抑制される。また、離型用フッ素樹脂フィルムはその接着剤層が熱膨張の大きいゴムシートではなく、熱膨張の小さいガラスクロスに接着されることから、良好な接着性が発現される。接着後に緩衝用ゴムシートが高温に晒されたときにも、ゴムシートとフッ素樹脂フィルムとの間に介在されるガラスクロスによって熱膨張差の発生が抑えられ、接着力が保持される。従って、ゴムシートと離型用樹脂フィルムとの接着性に優れ、耐久性を向上させることができる。
According to the present invention, the following effects can be exhibited.
The rubber sheet for cushioning having heat resistance and releasability according to claim 1 has a melting point having a glass cloth integrated on at least one surface of a rubber sheet made of fluoro rubber or silicone rubber and having an adhesive layer. A release fluororesin film at 300 to 350 ° C. is bonded to the glass cloth by the adhesive layer. Since the rubber sheet is formed of fluoro rubber or silicone rubber, it has heat resistance, and since it is integrated with the glass cloth, thermal expansion is suppressed. Moreover, since the adhesive layer of the fluororesin film for release is bonded to a glass cloth having a small thermal expansion instead of a rubber sheet having a large thermal expansion, good adhesiveness is exhibited. Even when the cushioning rubber sheet is exposed to a high temperature after bonding, the occurrence of a difference in thermal expansion is suppressed by the glass cloth interposed between the rubber sheet and the fluororesin film, and the adhesive force is maintained. Accordingly, the adhesion between the rubber sheet and the release resin film is excellent, and the durability can be improved.

請求項2に記載の発明の耐熱性及び離型性を有する緩衝用ゴムシートでは、ゴムシートとガラスクロスとの一体化が、加硫剤を含む未加硫のゴムシートの少なくとも片面にガラスクロスを貼り合わせた状態で加熱し、加硫することによって行われる。従って、請求項1に係る発明の効果に加えて、ゴムシートとガラスクロスとの一体化を簡易かつ確実に行うことができる。   In the buffer rubber sheet having heat resistance and releasability according to claim 2, the rubber sheet and the glass cloth are integrated on at least one surface of the unvulcanized rubber sheet containing the vulcanizing agent. It is performed by heating and vulcanizing in a state of bonding. Therefore, in addition to the effect of the invention according to the first aspect, the rubber sheet and the glass cloth can be integrated easily and reliably.

請求項3に記載の発明の耐熱性及び離型性を有する緩衝用ゴムシートでは、離型用フッ素樹脂フィルムは、ポリ四フッ化エチレン樹脂又は四フッ化エチレン−パーフルオロアルコキシエチレン共重合樹脂により形成されたフィルムである。このため、請求項1又は請求項2に係る発明の効果に加え、耐熱性を十分に発揮させることができる。   In the rubber sheet for cushioning having heat resistance and releasability according to claim 3, the fluororesin film for release is made of polytetrafluoroethylene resin or tetrafluoroethylene-perfluoroalkoxyethylene copolymer resin. It is a formed film. For this reason, in addition to the effect of the invention which concerns on Claim 1 or Claim 2, heat resistance can fully be exhibited.

請求項4に記載の発明の耐熱性及び離型性を有する緩衝用ゴムシートは、接着剤層を形成する接着剤がシリコーン系接着剤である。従って、請求項1から請求項3のいずれかに係る発明の効果に加えて、ガラスクロスに対する親和性が高められ、接着力を向上させることができる。   In the rubber sheet for cushioning having heat resistance and releasability according to the invention described in claim 4, the adhesive forming the adhesive layer is a silicone adhesive. Therefore, in addition to the effect of the invention according to any one of claims 1 to 3, the affinity for the glass cloth can be increased and the adhesive force can be improved.

以下、本発明の最良と思われる実施形態について詳細に説明する。
FPDにおける画面用のパネルと、制御回路等を有するプリント基板とは、導電性薄膜フィルム(TCP)が接着剤としての異方導電性フィルム(ACF)で各々接着されることにより電気的に接続されている。導電性薄膜フィルムは、シリコーン材(シリコーンゴム)又は非シリコーン材に導電性の粉末(金属粉末等)を配合して得られるフィルムである。その厚さは30〜70μm程度で、体積固有抵抗値は5×10−4〜5×10−1Ω・cm程度である。異方導電性フィルムは、例えばエポキシ樹脂をマトリックスとし、導電性の粉末を分散させた接着剤である。エポキシ樹脂の硬化温度は約200℃である。導電性の粉末としては、ニッケル、銀、銅、黒鉛(グラファイト)、カーボンブラック等の粉末が用いられる。
In the following, embodiments that are considered to be the best of the present invention will be described in detail.
The panel for the screen in the FPD and the printed circuit board having the control circuit and the like are electrically connected by bonding the conductive thin film (TCP) with the anisotropic conductive film (ACF) as an adhesive. ing. The conductive thin film is a film obtained by blending a conductive powder (metal powder or the like) with a silicone material (silicone rubber) or a non-silicone material. The thickness is about 30 to 70 μm, and the volume resistivity is about 5 × 10 −4 to 5 × 10 −1 Ω · cm. The anisotropic conductive film is an adhesive in which, for example, an epoxy resin is used as a matrix and conductive powder is dispersed. The curing temperature of the epoxy resin is about 200 ° C. As the conductive powder, nickel, silver, copper, graphite (graphite), carbon black or the like is used.

図2(a)に示すように、接続用治具11を用い、導電性薄膜フィルム12の一側部を異方導電性フィルム13で画面用のパネル14に接着し、導電性薄膜フィルム12の他側部をプリント基板15に接着させることにより、パネル14とプリント基板15とが導電性薄膜フィルム12を介して電気的に接続される。この接続用治具11は金属製で、幅が1〜2mm、長さがFPDのパネル14の長さを有し、長さ方向の一側縁がナイフのように薄く形成されている。接続用治具11は、異方導電性フィルム13を硬化させるため、その硬化温度を越える高温、例えば300℃以上に加熱される。その場合、導電性薄膜フィルム12の全体が接続用治具11によってパネル14又はプリント基板15に均一に接着されるように緩衝用ゴムシートが、接続用治具11とパネル14又はプリント基板15との間に介装される。ここで、緩衝性とは、導電性薄膜フィルム12を接続用治具11でパネル14又はプリント基板15に接着するに当たり、導電性薄膜フィルム12の一部に歪(反り)が生じて浮き上がり、圧力の伝達が十分になされない部分がないようにこれを補助する性質をいう。   As shown in FIG. 2 (a), using the connecting jig 11, one side of the conductive thin film 12 is bonded to the screen panel 14 with the anisotropic conductive film 13, and the conductive thin film 12 The panel 14 and the printed circuit board 15 are electrically connected via the conductive thin film 12 by bonding the other side part to the printed circuit board 15. The connection jig 11 is made of metal, has a width of 1 to 2 mm, and a length of the FPD panel 14, and one side edge in the length direction is formed thin like a knife. The connecting jig 11 is heated to a high temperature exceeding its curing temperature, for example, 300 ° C. or higher in order to cure the anisotropic conductive film 13. In that case, the shock-absorbing rubber sheet is bonded to the connection jig 11 and the panel 14 or the printed circuit board 15 so that the entire conductive thin film 12 is uniformly bonded to the panel 14 or the printed circuit board 15 by the connection jig 11. It is inserted between. Here, the buffering property means that when the conductive thin film 12 is bonded to the panel 14 or the printed circuit board 15 with the connecting jig 11, a part of the conductive thin film 12 is distorted (warped) and floats, This is a property that assists this so that there is no part that is not sufficiently transmitted.

図1(a)及び(b)に示すように、その緩衝用ゴムシート16は、ゴムシート17の片面にガラスクロス18が一体化されるとともに、接着剤層19を有する離型用フッ素樹脂フィルム(以下、単にフッ素樹脂フィルムともいう)20がその接着剤層19によって前記ガラスクロス18に接合されて構成されている。そして、主にゴムシート17の弾力性によって緩衝用ゴムシート16の緩衝性が発現される。なお、図1は緩衝用ゴムシート16を模式的に表したものであり、厚さ等を厳密に表したものではない。ゴムシート17としては、耐熱性の観点からフッ素ゴム又はシリコーンゴムが用いられる。   As shown in FIGS. 1A and 1B, the rubber sheet 16 for buffering is a release fluororesin film having a glass cloth 18 integrated on one side of a rubber sheet 17 and an adhesive layer 19. 20 (hereinafter also simply referred to as a fluororesin film) is bonded to the glass cloth 18 by the adhesive layer 19. The buffering property of the buffering rubber sheet 16 is manifested mainly by the elasticity of the rubber sheet 17. FIG. 1 schematically shows the buffer rubber sheet 16 and does not strictly represent the thickness or the like. As the rubber sheet 17, fluorine rubber or silicone rubber is used from the viewpoint of heat resistance.

フッ素ゴムとしては、フッ化ビニリデン−三フッ化塩化エチレン共重合ゴム、フッ化ビニリデン−六フッ化プロピレン共重合ゴム、フッ化ビニリデン−六フッ化プロピレン−四フッ化エチレン共重合ゴム等が用いられる。シリコーンゴムは、シロキサン結合(Si−O−Si)を骨格とする重合体であり、骨格構造、重合度又は側鎖の有機基を変えることにより種々のものが得られる。係るシリコーンゴムは、優れた耐熱性、耐候性、電気特性等を有している。シリコーンゴムとしては、例えばミラブル型シリコーンゴムが用いられる。このミラブル型シリコーンゴムとは、重合度3000〜10000の線状重合体を主成分とし、シリカ系補強性充填剤、湿潤剤、各種添加剤を配合したもので、使用時に加硫剤を添加することにより加熱硬化するタイプのゴムである。一般の有機ゴムと同様に可塑化、加硫剤の添加、ロールミルを用いるロール作業を経て成形加工されるために、ミラブル型と呼ばれる。   As the fluororubber, vinylidene fluoride-trifluoroethylene copolymer rubber, vinylidene fluoride-hexafluoropropylene copolymer rubber, vinylidene fluoride-hexafluoropropylene-tetrafluoroethylene copolymer rubber, etc. are used. . Silicone rubber is a polymer having a siloxane bond (Si—O—Si) as a skeleton, and various types can be obtained by changing the skeleton structure, the degree of polymerization, or the organic group of the side chain. Such silicone rubber has excellent heat resistance, weather resistance, electrical characteristics, and the like. As the silicone rubber, for example, millable type silicone rubber is used. This millable silicone rubber is mainly composed of a linear polymer having a polymerization degree of 3000 to 10000, and contains a silica-based reinforcing filler, a wetting agent, and various additives. A vulcanizing agent is added at the time of use. This is a type of rubber that cures by heating. Like ordinary organic rubber, it is called a millable type because it is processed through plasticization, addition of a vulcanizing agent, and roll work using a roll mill.

ゴムシート17の厚さは目的に応じて適宜設定されるが、緩衝性と伝熱性の点から150〜500μmであることが好ましい。この厚さが150μm未満の場合には、緩衝性が十分に発揮されず、導電性薄膜フィルム12がパネル14又はプリント基板15に対して部分的に接着不良となるおそれがある。一方、500μmを越える場合には、ゴムシート17が厚くなり過ぎて伝熱性が悪くなり、接続用治具11から異方導電性フィルム13に熱が十分に伝達されず、導電性薄膜フィルム12とパネル14又はプリント基板15との間の接着不良を招く場合がある。   The thickness of the rubber sheet 17 is appropriately set according to the purpose, but is preferably 150 to 500 μm from the viewpoint of buffering properties and heat transfer properties. When this thickness is less than 150 μm, the buffering property is not sufficiently exhibited, and the conductive thin film 12 may partially adhere to the panel 14 or the printed board 15. On the other hand, when the thickness exceeds 500 μm, the rubber sheet 17 becomes too thick and the heat conductivity is deteriorated, and the heat is not sufficiently transferred from the connecting jig 11 to the anisotropic conductive film 13. In some cases, poor adhesion with the panel 14 or the printed circuit board 15 may be caused.

ガラスクロス18は、ガラス繊維を合成繊維と同様に撚糸加工して得られるガラスヤーンを織機にかけて織物とした織布である。ガラス繊維としては、通常長繊維が用いられる。このガラスクロス18は、耐熱性に優れるとともに、熱膨張率が非常に小さい。ガラスクロス18をゴムシート17の片面に一体化することにより、ゴムシート17が高温に晒されたときその面においては熱膨張がほとんど発生しなくなる。   The glass cloth 18 is a woven fabric in which a glass yarn obtained by twisting a glass fiber in the same manner as a synthetic fiber is processed into a woven fabric using a loom. As the glass fiber, a long fiber is usually used. This glass cloth 18 is excellent in heat resistance and has a very small coefficient of thermal expansion. By integrating the glass cloth 18 on one side of the rubber sheet 17, when the rubber sheet 17 is exposed to a high temperature, thermal expansion hardly occurs on that side.

ガラスクロス18の厚さは、薄い方が使用時の緩衝性を良好にできる点から、10〜100μmであることが好ましく、30〜50μmであることがより好ましい。この厚さが10μm未満の場合には、ゴムシート17の補強性が低下して好ましくない。一方、100μmを越える場合には、硬いガラスクロス18が厚くなり過ぎて、緩衝用ゴムシート16の使用時における緩衝性が悪くなる傾向を示す。   The thickness of the glass cloth 18 is preferably 10 to 100 μm and more preferably 30 to 50 μm from the viewpoint that the thinner the glass cloth 18, the better the buffering properties during use. When the thickness is less than 10 μm, the reinforcing property of the rubber sheet 17 is not preferable. On the other hand, when the thickness exceeds 100 μm, the hard glass cloth 18 becomes too thick, and the cushioning property when the cushioning rubber sheet 16 is used tends to deteriorate.

前記ゴムシート17とガラスクロス18との一体化は、加硫剤を含む未加硫のゴムシート17の片面にガラスクロス18を貼り合わせた状態で加熱し、加硫することによって行われる。このとき、ガラスクロス18がゴムシート17中に一部又は全部が埋設されることによって、アンカー効果が発現され、接着される。具体的には、未加硫ゴムに加硫剤を配合し、カレンダー加工等により未加硫状態のシート状に加工し、そこへガラスクロス18を貼り合わせ、その状態で加熱して加硫させる。加硫剤としては、2,5−ジメチル−2,5−ジターシャリーブチルパーオキシヘキサン、p−メチルベンゾイルパーオキサイド等の有機過酸化物が用いられる。加硫のための加熱温度は、160〜180℃であることが好ましい。加熱時間は、5〜60分であることが好ましい。加硫に当たって、加熱プレス機で加熱、加圧することが好ましい。   The rubber sheet 17 and the glass cloth 18 are integrated by heating and vulcanizing with the glass cloth 18 bonded to one side of an unvulcanized rubber sheet 17 containing a vulcanizing agent. At this time, the glass cloth 18 is partially or wholly embedded in the rubber sheet 17 so that the anchor effect is exhibited and bonded. Specifically, a vulcanizing agent is blended with unvulcanized rubber, processed into an unvulcanized sheet by calendaring or the like, and a glass cloth 18 is bonded thereto, and heated and vulcanized in that state. . As the vulcanizing agent, organic peroxides such as 2,5-dimethyl-2,5-ditertiary butyl peroxyhexane and p-methylbenzoyl peroxide are used. The heating temperature for vulcanization is preferably 160 to 180 ° C. The heating time is preferably 5 to 60 minutes. In vulcanization, it is preferable to heat and pressurize with a heating press.

次に、離型用フッ素樹脂フィルム20は、耐熱性の点から融点300〜350℃のフッ素樹脂のフィルムが用いられる。フッ素樹脂の融点が300℃未満の場合には、耐熱性が不足し、高温時においてフッ素樹脂フィルム20が変形するようになって不適当である。一方、フッ素樹脂の融点が350℃を越える場合には、フッ素樹脂が特殊なものとなり、製造が難しくなったり、入手が困難になったりする。フッ素樹脂として具体的には、ポリ四フッ化エチレン樹脂(ポリテトラフルオロエチレン樹脂、PTFE、融点327℃)又は四フッ化エチレン−パーフルオロアルコキシエチレン共重合樹脂(テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合樹脂、PFA、融点302〜310℃)等が好適に用いられる。   Next, as the release fluororesin film 20, a fluororesin film having a melting point of 300 to 350 ° C. is used from the viewpoint of heat resistance. When the melting point of the fluororesin is less than 300 ° C., the heat resistance is insufficient and the fluororesin film 20 is deformed at a high temperature, which is inappropriate. On the other hand, when the melting point of the fluororesin exceeds 350 ° C., the fluororesin becomes special, which makes it difficult to manufacture or obtain. Specific examples of the fluororesin include polytetrafluoroethylene resin (polytetrafluoroethylene resin, PTFE, melting point 327 ° C.) or tetrafluoroethylene-perfluoroalkoxyethylene copolymer resin (tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer). Polymerized resin, PFA, melting point 302 to 310 ° C.) and the like are preferably used.

フッ素樹脂フィルム20の厚さは、伝熱性の観点から薄い方が良く、10〜100μmであることが好ましく、10〜50μmであることがより好ましい。フッ素樹脂フィルム20の厚さが10μm未満である場合、形状保持性が悪くなるとともに、取扱い性も低下する。一方、100μmを越える場合、伝熱性が悪くなり、緩衝用ゴムシート16の機能が低下する。   The thickness of the fluororesin film 20 is preferably thin from the viewpoint of heat transfer, and is preferably 10 to 100 μm, and more preferably 10 to 50 μm. When the thickness of the fluororesin film 20 is less than 10 μm, the shape retainability is deteriorated and the handleability is also lowered. On the other hand, when it exceeds 100 μm, the heat transfer property is deteriorated and the function of the buffer rubber sheet 16 is lowered.

フッ素樹脂フィルム20上に設けられる接着剤層19は限定されないが、シリコーン系接着剤により形成されることが好ましい。シリコーン系接着剤はシロキサン結合(Si−O−Si)よりなるシリコーンで構成され、ケイ酸(SiO)を主成分とするガラスクロス18に対して親和性を示し、接着性に優れているからである。シリコーン系接着剤にはシリコーンゴムが用いられ、加熱によって架橋する熱架橋型と架橋剤(硬化剤)又は空気中の湿気で架橋する室温架橋型(RTV)があり、いずれも使用される。熱架橋型では、シリコーンゴムに充填剤と有機過酸化物とを配合し、加熱することで架橋構造が形成される。一方、室温硬化型では、シリコーン分子中に反応性官能基を有し、室温で架橋剤と反応して架橋構造が形成される。反応性官能基としては水酸基等が挙げられ、架橋剤としてはアセトキシ基、アルコキシ基等をもつ低分子の珪素化合物等が挙げられる。本発明でシリコーン系接着剤とは、上記シリコーン系接着剤のほかに、シリコーン系粘着剤を含む概念を表す。シリコーン系粘着剤は、例えばシリコーンゴムと低重合度のシリコーン樹脂とを結合させたものである。そして、通常ベンゾイルパーオキサイドなどの過酸化物を加えて架橋させて凝集力を強くして使用される。 The adhesive layer 19 provided on the fluororesin film 20 is not limited, but is preferably formed with a silicone-based adhesive. The silicone-based adhesive is made of silicone composed of siloxane bond (Si—O—Si), has an affinity for glass cloth 18 mainly composed of silicic acid (SiO 2 ), and is excellent in adhesiveness. It is. Silicone rubber is used as the silicone-based adhesive, and there are a thermal crosslinking type that is crosslinked by heating and a crosslinking agent (curing agent) or a room temperature crosslinking type (RTV) that is crosslinked by moisture in the air, both of which are used. In the thermal crosslinking type, a crosslinked structure is formed by blending a silicone rubber with a filler and an organic peroxide and heating. On the other hand, the room temperature curable type has a reactive functional group in the silicone molecule and reacts with a crosslinking agent at room temperature to form a crosslinked structure. Examples of the reactive functional group include a hydroxyl group, and examples of the crosslinking agent include a low molecular silicon compound having an acetoxy group, an alkoxy group, and the like. In the present invention, the silicone adhesive represents a concept including a silicone adhesive in addition to the silicone adhesive. The silicone-based pressure-sensitive adhesive is, for example, a combination of silicone rubber and a low polymerization degree silicone resin. Usually, a peroxide such as benzoyl peroxide is added for crosslinking to increase the cohesive force.

さて、本実施形態の作用について説明すると、まず加硫剤を含む未加硫のゴムシート17の片面にガラスクロス18を貼り合わせた状態で加熱、加硫することにより、ゴムシート17にガラスクロス18が一体化される。一方、フッ素樹脂フィルム20の表面にシリコーン系接着剤をコーティングし、乾燥させることにより、フッ素樹脂フィルム20上に接着剤層19が形成される。次いで、フッ素樹脂フィルム20の接着剤層19をゴムシート17をガラスクロス18に重ね合せた後、接着剤層19を硬化、接合させることで、図1に示す緩衝用ゴムシート16が得られる。   Now, the operation of this embodiment will be described. First, the glass cloth 18 is bonded to the rubber sheet 17 by heating and vulcanizing the glass cloth 18 in a state where the glass cloth 18 is bonded to one side of the unvulcanized rubber sheet 17 containing the vulcanizing agent. 18 is integrated. On the other hand, the adhesive layer 19 is formed on the fluororesin film 20 by coating the surface of the fluororesin film 20 with a silicone adhesive and drying it. Next, after the rubber sheet 17 and the glass cloth 18 are overlapped with the adhesive layer 19 of the fluororesin film 20, the adhesive rubber layer 19 is cured and bonded to obtain the buffer rubber sheet 16 shown in FIG.

得られた緩衝用ゴムシート16を、図2(a)に示すように、導電性薄膜フィルム12と接続用治具11との間に配置(セッティング)する。その状態で、接続用治具11を例えば400℃に加熱し、図2(b)に示すように、その長さ方向の一側縁をパネル14の端縁に設けられた異方導電性フィルム13に向けて移動させ、その上の導電性薄膜フィルム12を押圧して加熱し、導電性薄膜フィルム12をパネル14に圧着する。   As shown in FIG. 2A, the obtained cushioning rubber sheet 16 is placed (set) between the conductive thin film 12 and the connecting jig 11. In this state, the connecting jig 11 is heated to 400 ° C., for example, and as shown in FIG. 2B, the anisotropic conductive film having one side edge in the length direction provided on the edge of the panel 14 is provided. 13, the conductive thin film 12 is pressed and heated, and the conductive thin film 12 is pressure-bonded to the panel 14.

このとき、ゴムシート17は加熱されるが、ガラスクロス18と一体化されているため熱膨張が抑えられるとともに、フッ素樹脂フィルム20の熱膨張も抑えられる。従って、高温時においてもゴムシート17とフッ素樹脂フィルム20との間の接着力が十分に維持される。   At this time, although the rubber sheet 17 is heated, since it is integrated with the glass cloth 18, thermal expansion is suppressed and thermal expansion of the fluororesin film 20 is also suppressed. Therefore, the adhesive force between the rubber sheet 17 and the fluororesin film 20 is sufficiently maintained even at high temperatures.

以上の実施形態によって発揮される効果について、以下にまとめて記載する。
・ 本実施形態における耐熱性及び離型性を有する緩衝用ゴムシート16は、ゴムシート17の片面にガラスクロス18が一体化されるとともに、接着剤層19を有する融点300〜350℃のフッ素樹脂フィルム20がその接着剤層19によって前記ガラスクロス18に接合されて構成されている。ゴムシート17はフッ素ゴム又はシリコーンゴムより形成されるため耐熱性を有するとともに、ガラスクロス18と一体化されているため熱膨張が抑制される。また、フッ素樹脂フィルム20はその接着剤層19が熱膨張の大きいゴムシート17ではなく、熱膨張の小さいガラスクロス18に接着されることから、良好な接着性が発現される。このため、緩衝用ゴムシート16が高温に晒されたとき、ゴムシート17とフッ素樹脂フィルム20との間のガラスクロス18によって熱膨張差の発生が抑えられ、接着力が保持される。従って、ゴムシート17とフッ素樹脂フィルム20との接着性に優れ、耐久性を向上させることができる。よって、緩衝用ゴムシート16のセッティングの簡略化及び伝熱の優位性を得ることができる。
The effects exhibited by the above embodiment will be described collectively below.
In the present embodiment, the shock-absorbing rubber sheet 16 having heat resistance and releasability has a glass cloth 18 integrated on one surface of the rubber sheet 17 and a fluororesin having a melting point of 300 to 350 ° C. having an adhesive layer 19. The film 20 is configured to be bonded to the glass cloth 18 by the adhesive layer 19. Since the rubber sheet 17 is made of fluoro rubber or silicone rubber, it has heat resistance and is integrated with the glass cloth 18 so that thermal expansion is suppressed. Further, since the adhesive layer 19 of the fluororesin film 20 is bonded not to the rubber sheet 17 having a large thermal expansion but to the glass cloth 18 having a small thermal expansion, good adhesiveness is exhibited. For this reason, when the buffer rubber sheet 16 is exposed to a high temperature, the occurrence of a difference in thermal expansion is suppressed by the glass cloth 18 between the rubber sheet 17 and the fluororesin film 20, and the adhesive force is maintained. Therefore, the adhesiveness between the rubber sheet 17 and the fluororesin film 20 is excellent, and the durability can be improved. Therefore, the setting of the buffer rubber sheet 16 can be simplified and the heat transfer advantage can be obtained.

・ また、ゴムシート17とガラスクロス18との一体化が、加硫剤を含む未加硫のゴムシート17の片面にガラスクロス18を貼り合わせた状態で加熱し、加硫することによって行われることによって、ゴムシート17とガラスクロス18との一体化を簡易かつ確実に行うことができる。しかも、ゴムシート17とガラスクロス18とを一体化したことから、別体で接合した場合に比べて界面における伝熱抵抗を小さくすることができ、その結果接続用治具11の温度を下げることができる。   Further, the rubber sheet 17 and the glass cloth 18 are integrated by heating and vulcanizing the glass cloth 18 on one side of the unvulcanized rubber sheet 17 containing the vulcanizing agent. Thus, the rubber sheet 17 and the glass cloth 18 can be integrated easily and reliably. In addition, since the rubber sheet 17 and the glass cloth 18 are integrated, the heat transfer resistance at the interface can be reduced as compared with a case where the rubber sheet 17 and the glass cloth 18 are joined separately, and as a result, the temperature of the connecting jig 11 is lowered. Can do.

・ さらに、フッ素樹脂フィルム20は、ポリ四フッ化エチレン樹脂又は四フッ化エチレン−パーフルオロアルコキシエチレン共重合樹脂により形成されたフィルムであることにより、耐熱性を十分に発揮させることができる。   -Furthermore, since the fluororesin film 20 is a film formed of a polytetrafluoroethylene resin or a tetrafluoroethylene-perfluoroalkoxyethylene copolymer resin, the heat resistance can be sufficiently exhibited.

・ 接着剤層19を形成する接着剤がシリコーン系接着剤であることにより、ガラスクロス18に対する親和性が良くなって接着力を向上させることができる。   -Since the adhesive agent which forms the adhesive bond layer 19 is a silicone type adhesive agent, the affinity with respect to the glass cloth 18 improves, and it can improve adhesive force.

以下、実施例及び比較例を挙げて前記実施形態をさらに具体的に説明する。
(実施例1)
厚さ200μm、硬さ(JIS K6249 タイプA硬さ)65°、体積固有抵抗率50Ω・cmの特性を有するシリコーンゴム(GE東芝シリコーン(株)製、XE23−B6367、導電性ミラブル型シリコーンゴム)100質量部に加硫剤(GE東芝シリコーン(株)製、TC−8、2,5−ジメチル−2,5−ジターシャリーブチルパーオキシヘキサン)2質量部を混合、分散させたものを予めカレンダー加工し、未加硫状態のゴムシート17を調製した。得られたゴムシート17の片面に、厚さ40μmのガラスクロス18を貼り合わせ、170℃、10分間加熱して加硫し、ゴムシート17にガラスクロス18を一体化させた。
Hereinafter, the embodiment will be described more specifically with reference to examples and comparative examples.
Example 1
Silicone rubber with characteristics of thickness 200μm, hardness (JIS K6249 type A hardness) 65 °, volume resistivity 50Ω · cm (GE Toshiba Silicone Co., Ltd., XE23-B6367, conductive millable silicone rubber) A calendar prepared by mixing and dispersing 100 parts by mass with 2 parts by mass of a vulcanizing agent (TC-8,2,5-dimethyl-2,5-ditertiary butyl peroxyhexane, manufactured by GE Toshiba Silicone Co., Ltd.) Processing was performed to prepare an unvulcanized rubber sheet 17. A glass cloth 18 having a thickness of 40 μm was bonded to one side of the obtained rubber sheet 17 and vulcanized by heating at 170 ° C. for 10 minutes to integrate the glass cloth 18 with the rubber sheet 17.

一方、厚さ25μmのフッ素樹脂(ポリテトラフルオロエチレン、PTFE)フィルムの表面にシリコーン系接着剤をコーティングすることにより、30μmの厚さの接着剤層19を設けた。そして、その接着剤層19を前記ガラスクロス18に接着することで、ゴムシート17に離型用フッ素樹脂フィルム20を接着させ、緩衝用ゴムシート16を得た。   On the other hand, an adhesive layer 19 having a thickness of 30 μm was provided by coating a silicone adhesive on the surface of a fluororesin (polytetrafluoroethylene, PTFE) film having a thickness of 25 μm. Then, the adhesive layer 19 was adhered to the glass cloth 18, whereby the release fluororesin film 20 was adhered to the rubber sheet 17, and the buffer rubber sheet 16 was obtained.

得られた緩衝用ゴムシート16について、次の方法で耐久性を評価した。すなわち、温度350℃、圧力5MPa、時間20秒という圧着条件で圧着を10回繰り返した後のゴムシート17の変形状態を目視にて観察した。その結果を表1に示した。
(実施例2〜5及び比較例1〜3)
ゴムシート17の材質及び厚さ、ガラスクロス18の種類及び厚さ並びにフッ素樹脂フィルム20の種類及び厚さを表1に示すように変更した以外は、実施例1と同様に実施した。ここで、比較例1では、樹脂フィルムの材料として融点の低いFEPを使用し、比較例2及び3ではガラスクロス18を使用しなかった。そして、得られた緩衝用ゴムシート16について、実施例1と同様にして耐久性を評価し、その結果を表1に示した。なお、表1における略号を次に示す。
About the obtained rubber sheet 16 for buffering, durability was evaluated by the following method. That is, the deformed state of the rubber sheet 17 was visually observed after repeating the pressure bonding 10 times under the pressure bonding conditions of a temperature of 350 ° C., a pressure of 5 MPa, and a time of 20 seconds. The results are shown in Table 1.
(Examples 2-5 and Comparative Examples 1-3)
The same procedure as in Example 1 was performed except that the material and thickness of the rubber sheet 17, the type and thickness of the glass cloth 18, and the type and thickness of the fluororesin film 20 were changed as shown in Table 1. Here, in Comparative Example 1, FEP having a low melting point was used as the material of the resin film, and in Comparative Examples 2 and 3, the glass cloth 18 was not used. The obtained rubber sheet 16 for cushioning was evaluated for durability in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 1. In addition, the symbol in Table 1 is shown next.

PTFE:ポリテトラフルオロエチレン樹脂(融点327℃)
PFA:テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルコキシエチレン(パーフルオロアルキルビニルエーテル)共重合樹脂(融点302〜310℃)
FEP:テトラフルオロエチレン−六フッ化プロピレン共重合樹脂(融点253〜282℃)
PTFE: polytetrafluoroethylene resin (melting point 327 ° C.)
PFA: Tetrafluoroethylene-perfluoroalkoxyethylene (perfluoroalkyl vinyl ether) copolymer resin (melting point: 302 to 310 ° C.)
FEP: Tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer resin (melting point: 253-282 ° C.)

Figure 2007118542
表1に示したように、実施例1〜5のいずれも耐久性の評価で、緩衝用ゴムシート16の変形は見られなかった。これに対して、比較例1では、樹脂フィルムの材料として融点の低いFEPを使用したため、1回の圧着で樹脂フィルムと異方導電性フィルム13とがくっつく結果となった。さらに、比較例2及び3ではガラスクロス18を使用しなかったため、ゴムシート17とフッ素樹脂フィルム20との間で剥離が発生した。
Figure 2007118542
As shown in Table 1, any of Examples 1 to 5 was evaluated for durability, and deformation of the buffer rubber sheet 16 was not observed. On the other hand, in Comparative Example 1, since FEP having a low melting point was used as the material of the resin film, the resin film and the anisotropic conductive film 13 were adhered to each other by one press bonding. Further, in Comparative Examples 2 and 3, since the glass cloth 18 was not used, peeling occurred between the rubber sheet 17 and the fluororesin film 20.

なお、本実施形態は、次のように変更して具体化することも可能である。
・ 前記フッ素樹脂フィルム20の表面に接着剤層19を形成する際に、予めフッ素樹脂フィルム20の表面に接着促進のためのプライマー層を形成しておくこともできる。
In addition, this embodiment can also be changed and embodied as follows.
When the adhesive layer 19 is formed on the surface of the fluororesin film 20, a primer layer for promoting adhesion can be formed on the surface of the fluororesin film 20 in advance.

・ 前記未加硫のゴムシート17の加硫に用いられる加硫剤として、ポリアミン、カルバメート等を用いることもできる。さらに、必要により二次架橋を行うこともできる。二次架橋は例えば180〜260℃、2〜8時間の条件下に熱風炉で加熱することにより行うことができる。   As a vulcanizing agent used for vulcanizing the unvulcanized rubber sheet 17, polyamine, carbamate, or the like can be used. Furthermore, secondary cross-linking can be performed as necessary. The secondary cross-linking can be performed, for example, by heating in a hot air oven under conditions of 180 to 260 ° C. and 2 to 8 hours.

・ ゴムシート17とガラスクロス18との一体化は、ガラスクロス18の片面側にゴムを含浸させた後、そのゴムを硬化させる方法を採ることも可能である。
・ ゴムシート17の両面にガラスクロス18を一体化させることもできる。その場合、ゴムシート17とガラスクロス18との一体化は、加硫剤を含む未加硫のゴムシート17の両面にガラスクロス18を貼り合わせた状態で加熱し、加硫することによって行われる。そして、離型用フッ素樹脂フィルム20は、ガラスクロス18の一方又は双方に接合される。
The integration of the rubber sheet 17 and the glass cloth 18 may be performed by impregnating rubber on one side of the glass cloth 18 and then curing the rubber.
The glass cloth 18 can be integrated on both sides of the rubber sheet 17. In that case, integration of the rubber sheet 17 and the glass cloth 18 is performed by heating and vulcanizing the glass cloth 18 in a state where the glass cloth 18 is bonded to both surfaces of the unvulcanized rubber sheet 17 containing a vulcanizing agent. . The release fluororesin film 20 is bonded to one or both of the glass cloths 18.

さらに、前記実施形態より把握できる技術的思想について以下に記載する。
・ 前記ゴムシートの厚さは150〜500μmであり、ガラスクロスの厚さは10〜100μmであることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の耐熱性及び離型性を有する緩衝用ゴムシート。このように構成した場合、請求項1から請求項4のいずれかに係る発明の効果に加え、緩衝用ゴムシートの緩衝性とゴムシートの補強性とを向上させることができる。
Further, the technical idea that can be grasped from the embodiment will be described below.
The heat resistance and mold release according to any one of claims 1 to 4, wherein the rubber sheet has a thickness of 150 to 500 µm, and the glass cloth has a thickness of 10 to 100 µm. Rubber sheet for cushioning. When comprised in this way, in addition to the effect of the invention which concerns on any one of Claims 1-4, the buffer property of the rubber sheet for buffering and the reinforcement property of a rubber sheet can be improved.

・ ガラスクロスはゴムシートの片面に一体化されていることを特徴とする請求項1に記載の耐熱性及び離型性を有する緩衝用ゴムシート。この場合、請求項1に係る発明の効果を有効に発揮させることができる。   The rubber sheet for buffering having heat resistance and releasability according to claim 1, wherein the glass cloth is integrated on one side of the rubber sheet. In this case, the effect of the invention according to claim 1 can be effectively exhibited.

(a)は本発明を具体化した実施形態における緩衝用ゴムシートを示す断面図、(b)は(a)の部分拡大断面図。(A) is sectional drawing which shows the rubber sheet for buffering in embodiment which actualized this invention, (b) is the elements on larger scale of (a). (a)は緩衝用ゴムシートを導電性薄膜フィルムと接続用治具との間に配置した状態を示す断面図、(b)はその後接続用治具で導電性薄膜フィルムをパネルに圧着する状態を示す断面図。(A) is sectional drawing which shows the state which has arrange | positioned the rubber sheet for buffering between an electroconductive thin film film and the jig for connection, (b) is the state which crimps | bonds an electroconductive thin film film to a panel with a jig for connection after that. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

16…緩衝用ゴムシート、17…ゴムシート、18…ガラスクロス、19…接着剤層、20…離型用フッ素樹脂フィルム。   16 ... rubber sheet for buffering, 17 ... rubber sheet, 18 ... glass cloth, 19 ... adhesive layer, 20 ... fluororesin film for mold release.

Claims (4)

フッ素ゴム又はシリコーンゴムよりなるゴムシートの少なくとも片面にガラスクロスが一体化されるとともに、接着剤層を有する融点300〜350℃の離型用フッ素樹脂フィルムがその接着剤層によって前記ガラスクロスに接合されて構成されていることを特徴とする耐熱性及び離型性を有する緩衝用ゴムシート。 A glass cloth is integrated on at least one surface of a rubber sheet made of fluorine rubber or silicone rubber, and a release fluororesin film having an adhesive layer having a melting point of 300 to 350 ° C. is bonded to the glass cloth by the adhesive layer. A cushioning rubber sheet having heat resistance and releasability, wherein the rubber sheet is configured as described above. 前記ゴムシートとガラスクロスとの一体化は、加硫剤を含む未加硫のゴムシートの少なくとも片面にガラスクロスを貼り合わせた状態で加熱し、加硫することによって行われるものであることを特徴とする請求項1に記載の耐熱性及び離型性を有する緩衝用ゴムシート。 The integration of the rubber sheet and the glass cloth is performed by heating and vulcanizing with the glass cloth bonded to at least one surface of an unvulcanized rubber sheet containing a vulcanizing agent. The shock-absorbing rubber sheet according to claim 1, which has heat resistance and releasability. 前記離型用フッ素樹脂フィルムは、ポリ四フッ化エチレン樹脂又は四フッ化エチレン−パーフルオロアルコキシエチレン共重合樹脂により形成されたフィルムであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の耐熱性及び離型性を有する緩衝用ゴムシート。 The said release fluororesin film is a film formed of polytetrafluoroethylene resin or tetrafluoroethylene-perfluoroalkoxyethylene copolymer resin, according to claim 1 or 2. A rubber sheet for cushioning having heat resistance and releasability. 前記接着剤層を形成する接着剤は、シリコーン系接着剤であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の耐熱性及び離型性を有する緩衝用ゴムシート。 The rubber sheet for buffering having heat resistance and releasability according to any one of claims 1 to 3, wherein the adhesive forming the adhesive layer is a silicone-based adhesive.
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