JP2007105601A - 超音波撓み振動体の支持装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 撓み振動体1の振動の腹部に設置したフランジ2を、当該撓み振動体1と同一共振周波数で撓み振動する支持具3,31,41,51のいずれか(以下、共振支持具という)により保持すること。
【選択図】図1
Description
上記の従来技術では、撓み振動体における外周面の振動の節(特許文献1の図7の節N4〜N7参照)部に円錐状凹みを形成し、その凹みにケーシングから螺入した尖り先ボルトを当接させることによってケーシングに固定された超音波振動装置により、超音波加工を実施するものである。
まず、駆動用超音波振動子によって撓み振動体の振動の腹乃至その近傍を励振すると、その撓み振動体に撓み振動が誘起される。
図1は本発明を説明するための撓み振動体及び共振支持具と、その各部の振動モードの模式図、図2は振動の腹部に撓み振動体と一体構造のフランジと駆動用超音波振動子を設置した超音波加工機を説明するための撓み振動体と、その振動モードの模式図、図3及び図4は、本発明の共振支持具をそれぞれ円柱状及び円筒状でその両端が振動の腹及び節となる構造とした撓み振動体及び振動支持具とその振動モードの模式図、図5は本発明の共振支持具を円筒状とし、その両端を振動の腹となる構造とした撓み振動体及び振動支持具とその振動モードの模式図、図6は、図3の例において、撓み振動体を共振支持具に装着及び離脱した時の駆動用超音波振動子から見た撓み振動体の自由アドミッタンスの軌跡図である。
図1において、符号L,Nはそれぞれ撓み振動体1の振動の腹と節を示し、それぞれの添字n(1,2,3、・・・)がこの撓み振動体1の上端側からn番目の腹と節を示す。
図1の実線は、撓み振動体1及び共振支持具3の振動モードを表わす。
節点14と15の間の距離をZ1、腹点16と17の距離をAとし、撓み振動体1の直径をD1,撓み振動波長をλ1(L2,L3間の2倍の長さ)とおくと、距離Z1は数式(1)で表される。
なお、図1において、符号li,niはそれぞれ共振支持具3の上端からi番目の腹と節を示す。
次に、節点4と5の距離をZ2、共振支持具3の撓み振動波長をλ2(l1とl2間の2倍の長さ)、共振支持具3の直径(円筒の場合は厚さ)をD2とおくと、距離Z2は数式(1)と同様に数式(2)で表される。
一方波長λ(mm)と直径D(mm)の関係は、撓み振動体1及び共振支持具3の材質がステンレス鋼(SUS347)でその共振周波数が40kHzの場合、ほぼ数式(4)で表すことができる。
即ち、従来の振動体を節点で支持する節点固定装置の場合の移動距離Z1に比較すると、本発明支持装置では数式(3)、数式(4)から容易に距離Z1より少ない移動距離Z2(上述の設計例で0.34Z1)を固定すれば足ることとなり、その分撓み振動体1の共振支持具3による装着損失を大きく減少させることができる。
この場合において、必要な押圧力Fは加圧装置(図示せず)よりフランジ2と共振支持具(図3〜図5の符号31,41,51参照)を介して撓み振動体1から被加工体18,19に加えられる。被加工体18,19が半導体チップと基板の場合は、その接合面に垂直な荷重と、接合面に平行な超音波楕円振動によって、両者は接合される。
節面33は固定円板34に装着されていて、その固定円板34と当接する節面33が振動の固定端を形成する。撓み振動体1への所要押圧力は、固定円板34を介して印加される。
図3の場合と同様に、節面43は固定円板44に装着されていて、その固定円板44と当接する節面43が振動の固定端を形成する。撓み振動体1への所要押圧力は、固定円板44を介して印加される。
円筒体51の節面にフランジ53を設置し、このフランジを固定することによって撓み振動体1は保持される。撓み振動体への所要押圧力はフランジ53を介して印加される。
図3の例において、両BLT21,28を並列接続して、撓み振動体1と共振支持具31を離脱したときと装着したときの、それぞれの自由アドミッタンスループを61及び62に示す。
図6により、共振支持具に装着、離脱した場合の共振時の動アドミッタンスは、
|Ym0|=200mS,|Ym00|=213mS
となる。
そして、共振支持具31での支持損失Lmは数式(5)で与えられる。
2 フランジ
21,28 BLT
29 撓み振動体1の振動モード
3,31,41,51 共振支持具
32,42,52 共振支持具31,41,51の振動モード
34,44、 固定円板
53 共振支持具51の固定用フランジ
61,62 共振支持具を離脱、装着時の撓み振動体の自由アドミッタンスループ
Claims (4)
- 超音波撓み振動体の振動の腹部に設置したフランジを、その超音波撓み振動体と同一共振周波数で撓み振動する支持具で保持する構造としたことを特徴とする超音波撓み振動体の支持装置。
- 前記支持具は円柱若しくは円筒構造とし、そのフランジ当接面は振動の腹部、反対面は振動の節部で固定端接続となる構造とする請求項1記載の超音波撓み振動体の支持装置。
- 前記支持具は円筒構造とし、そのフランジ当接面と反対面は振動の腹部とし、前記円筒構造の支持具の振動の節部に、非共振または共振形の固定用のフランジを設置する構造とする請求項1記載の超音波撓み振動体の支持装置。
- 支持具は、前記円筒構造に代えて中空円錐台形状乃至環状円板形状の部材で形成し、その振動の節部を固定する請求項1記載の超音波撓み振動体の支持装置。
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CN103231287A (zh) * | 2013-05-10 | 2013-08-07 | 南通龙汇光电技术有限公司 | 一种无心磨削装置及其应用原理 |
WO2023054733A3 (ja) * | 2022-11-07 | 2023-05-25 | 株式会社Link-Us | 超音波複合振動装置およびこれを用いた超音波接合装置 |
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