JP2007103505A - Light emitting device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light emitting device with high light emission efficiency, allowing miniaturization. <P>SOLUTION: The light emitting device LE1 comprises a laminated chip varistor 11, a semiconductor light emitting element 1, and a reflecting layer 24. The laminated chip varistor 11 comprises a varistor element 21 composed of a varistor layer, and of a plurality of internal electrodes disposed to sandwich the varistor layer; and first external electrodes 22, 23 and second external electrodes 25 to 28 formed on the outer surface of the varistor element 21, and respectively connected with the corresponding internal electrodes among the plurality of the internal electrodes. The semiconductor light emitting element 1 is disposed on the laminated chip varistor 11 and is connected with the second external electrodes 25 to 28 so as to be connected in parallel with the laminated chip varistor 11. The reflecting layer 24 is disposed between the laminated chip varistor 11 and the semiconductor light emitting element 1, and reflects light emitted from the semiconductor light emitting element 1. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、発光装置に関する。   The present invention relates to a light emitting device.

従来の発光装置として、半導体発光素子と、当該半導体発光素子に並列接続されたバリスタとを備えたものが知られている(例えば、特許文献1参照)。特許文献1に記載された発光装置では、半導体発光素子の周囲に光反射板が配置されている。
特開2001−15815号公報
As a conventional light-emitting device, a device including a semiconductor light-emitting element and a varistor connected in parallel to the semiconductor light-emitting element is known (for example, see Patent Document 1). In the light emitting device described in Patent Document 1, a light reflecting plate is disposed around the semiconductor light emitting element.
Japanese Patent Laid-Open No. 2001-15815

特許文献1記載の発光装置では、半導体発光素子の周囲に、光反射板を配置するためのスペースを確保しなければならない。そのため、発光装置全体の小型化を図ることが難しい。しかしながら、小型化を図るために光反射板を配置しないとした場合には、発光効率が低下してしまう。   In the light emitting device described in Patent Document 1, a space for arranging the light reflection plate must be secured around the semiconductor light emitting element. Therefore, it is difficult to reduce the size of the entire light emitting device. However, if the light reflector is not arranged in order to reduce the size, the light emission efficiency is lowered.

そこで、本発明は、発光効率が高く、且つ、小型化が可能な発光装置を提供することを課題とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a light-emitting device that has high luminous efficiency and can be reduced in size.

本発明に係る発光装置は、バリスタ層と、当該バリスタ層を挟むように配置される複数の内部電極とを有する積層体と、積層体の外表面に形成されると共に、複数の内部電極のうち対応する内部電極にそれぞれ接続される複数の外部電極と、を有する積層型チップバリスタと、積層型チップバリスタ上に配され、当該積層型チップバリスタに並列接続されるように複数の外部電極に接続された半導体発光素子と、積層型チップバリスタと半導体発光素子との間に配されると共に、半導体発光素子が発生した光を反射する反射層と、を備えることを特徴とする。   A light-emitting device according to the present invention is formed on the outer surface of a laminate having a varistor layer and a plurality of internal electrodes arranged so as to sandwich the varistor layer, and among the plurality of internal electrodes A multilayer chip varistor having a plurality of external electrodes each connected to a corresponding internal electrode, and disposed on the multilayer chip varistor and connected to the plurality of external electrodes so as to be connected in parallel to the multilayer chip varistor And a reflective layer that is disposed between the stacked chip varistor and the semiconductor light emitting element and reflects light generated by the semiconductor light emitting element.

本発明の発光装置では、反射層を積層型チップバリスタと半導体発光素子との間に配置するので、半導体発光素子が発生した、積層型チップバリスタに向かって進む光を反射することができる。したがって、高い発光効率を得ることができる。また、反射層の形成位置を積層型チップバリスタと半導体発光素子との間とすることで、半導体発光素子の周囲に特別なスペースを確保する必要がなくなる。したがって、発光装置全体の小型化が可能となる。   In the light emitting device of the present invention, since the reflective layer is disposed between the multilayer chip varistor and the semiconductor light emitting element, light traveling toward the multilayer chip varistor generated by the semiconductor light emitting element can be reflected. Therefore, high luminous efficiency can be obtained. In addition, since the reflective layer is formed between the multilayer chip varistor and the semiconductor light emitting element, it is not necessary to secure a special space around the semiconductor light emitting element. Therefore, the entire light emitting device can be reduced in size.

また、反射層は、ガラス及び金属を含むことが好ましい。この場合、反射層は、ガラス中に金属が分散したものとなる。ガラスを含むので、電気絶縁性を有する反射層を得ることができる。よって、反射層を介した積層型チップバリスタの外部電極間のショートを抑制することができる。また、ガラスを含むことにより、反射層を耐熱性に優れたものとすることができる。金属を含むので、半導体発光素子が発生した光を確実に反射することができる。また、金属を含むことにより、熱伝導率が良好となるため、半導体発光素子からの熱を効率よく放散することができる。   Moreover, it is preferable that a reflection layer contains glass and a metal. In this case, the reflective layer is a dispersion of metal in glass. Since glass is included, a reflective layer having electrical insulation can be obtained. Therefore, a short circuit between the external electrodes of the multilayer chip varistor via the reflective layer can be suppressed. Moreover, the reflection layer can be made excellent in heat resistance by including glass. Since the metal is included, the light generated by the semiconductor light emitting element can be reliably reflected. Moreover, since heat conductivity becomes favorable by containing a metal, the heat | fever from a semiconductor light-emitting device can be dissipated efficiently.

また、反射層は、樹脂及び金属を含むことが好ましい。この場合、反射層は、樹脂中に金属が分散したものとなる。反射層は樹脂を含むので、電気絶縁性を有することとなる。よって、反射層を介した積層型チップバリスタの外部電極間のショートを抑制することができる。また、樹脂を含むことによって反射層の形成が容易となるうえ、積層型チップバリスタ又は半導体発光素子と反射層との密着性を良好なものとすることができる。更に、金属を含むので、半導体発光素子が発生した光を確実に反射することができる。金属を含むことにより、熱伝導率が良好となるため、半導体発光素子からの熱を効率よく放散することができる。   Moreover, it is preferable that a reflection layer contains resin and a metal. In this case, the reflective layer has a metal dispersed in the resin. Since the reflective layer contains a resin, it has electrical insulation. Therefore, a short circuit between the external electrodes of the multilayer chip varistor via the reflective layer can be suppressed. In addition, the inclusion of the resin facilitates the formation of the reflective layer, and can improve the adhesion between the multilayer chip varistor or semiconductor light emitting element and the reflective layer. Further, since the metal is included, the light generated by the semiconductor light emitting element can be reliably reflected. By including the metal, the thermal conductivity is improved, so that the heat from the semiconductor light emitting element can be efficiently dissipated.

また、反射層は、ガラス及び金属酸化物を含むことが好ましい。この場合、ガラスを含むので、電気絶縁性及び耐熱性を有する反射層を得ることができる。金属酸化物を含むので、半導体発光素子が発生した光を確実に反射することができると共に、反射層の電気絶縁性をよりいっそう高めることができる。また、金属酸化物はガラス中での分散性が良いため、金属酸化物が均一に分散した、特性ばらつきの少ない反射層を容易に形成することができる。ガラスと金属酸化物とを含むことにより、熱膨張係数が比較的小さい反射層を得ることができる。その結果、反射層をひずみや割れ、クラックが生じにくいものとすることができる。   Moreover, it is preferable that a reflection layer contains glass and a metal oxide. In this case, since glass is included, a reflective layer having electrical insulation and heat resistance can be obtained. Since the metal oxide is included, the light generated by the semiconductor light emitting element can be reliably reflected, and the electrical insulation of the reflective layer can be further enhanced. Further, since the metal oxide has good dispersibility in the glass, a reflective layer in which the metal oxide is uniformly dispersed and the characteristic variation is small can be easily formed. By including glass and a metal oxide, a reflective layer having a relatively small thermal expansion coefficient can be obtained. As a result, the reflective layer can be made less susceptible to distortion, cracking and cracking.

また、反射層は、樹脂及び金属酸化物を含むことが好ましい。この場合、反射層は樹脂を含むので、電気絶縁性を有することとなる。また、樹脂を含むことによって反射層の形成が容易となるうえ、積層型チップバリスタ又は半導体発光素子と反射層との密着性を良好なものとすることができる。更に、反射層は金属酸化物を含むので、半導体発光素子が発生した光を確実に反射することができると共に、反射層の電気絶縁性をよりいっそう高めることができる。   Moreover, it is preferable that a reflection layer contains resin and a metal oxide. In this case, since the reflective layer contains a resin, it has electrical insulation. In addition, the inclusion of the resin facilitates the formation of the reflective layer, and can improve the adhesion between the multilayer chip varistor or semiconductor light emitting element and the reflective layer. Furthermore, since the reflective layer contains a metal oxide, the light generated by the semiconductor light emitting element can be reliably reflected, and the electrical insulation of the reflective layer can be further enhanced.

また、反射層は、ガラスと金属からなる粉末とを含み、金属からなる粉末は金属酸化物により被覆されていることが好ましい。ガラスを含むので、電気絶縁性及び耐熱性を有する反射層を得ることができる。金属酸化物で被覆された金属粉末を用いることにより、ガラス中における金属からなる粉末の分散性を向上させることができると共に、反射効率を低下させずに反射層の電気絶縁性をいっそう高めることができる。   The reflective layer preferably contains glass and metal powder, and the metal powder is preferably coated with a metal oxide. Since glass is included, a reflective layer having electrical insulation and heat resistance can be obtained. By using a metal powder coated with a metal oxide, the dispersibility of the metal powder in the glass can be improved, and the electrical insulation of the reflective layer can be further improved without reducing the reflection efficiency. it can.

また、反射層は、樹脂と金属からなる粉末とを含み、金属からなる粉末は金属酸化物により被覆されていることが好ましい。樹脂を含むので、電気絶縁性を有し、形成が容易で且つ密着性が良好な反射層を得ることができる。金属酸化物で被覆された金属粉末を用いることにより、樹脂中における金属からなる粉末の分散性を向上させることができると共に、反射効率を低下させることなく反射層の電気絶縁性をいっそう高めることができる。   The reflective layer preferably contains a resin and a metal powder, and the metal powder is preferably coated with a metal oxide. Since the resin is included, a reflective layer having electrical insulation, easy formation, and good adhesion can be obtained. By using metal powder coated with metal oxide, the dispersibility of the metal powder in the resin can be improved, and the electrical insulation of the reflective layer can be further improved without reducing the reflection efficiency. it can.

また、反射層は、金属からなる薄膜層を有することが好ましい。この場合、金属によって半導体発光素子が発生した光を確実に反射することができる。薄膜層を用いるので、反射層の厚さを薄くすることが可能となる。その結果、発光装置をより小型化することができる。   The reflective layer preferably has a thin film layer made of metal. In this case, the light generated by the semiconductor light emitting element with the metal can be reliably reflected. Since the thin film layer is used, the thickness of the reflective layer can be reduced. As a result, the light emitting device can be further downsized.

また、反射層は、金属としてAg、Al、Ti、Niのいずれか少なくとも1つを含むことが好ましい。Ag、Al、Ti、Niは他の一般的な金属と比較して反射率が高いため、反射層の反射効率を向上させることができる。したがって、発光効率をより高めることができる。   The reflective layer preferably contains at least one of Ag, Al, Ti, and Ni as a metal. Since Ag, Al, Ti, and Ni have a higher reflectance than other general metals, the reflection efficiency of the reflective layer can be improved. Therefore, the luminous efficiency can be further increased.

また、反射層は、樹脂としてシリコーン樹脂、ポリテトラフルオロエチレン、ポリエチレンテレフタレート、及びキシレン樹脂のうち少なくともいずれか一つを含むことが好ましい。これらの材料を用いた場合には、電気絶縁性が高い反射層を確実に得ることができる。また、反射層形成の容易性や、積層型チップバリスタ又は半導体発光素子と反射層との密着性を確実に高めることができる。   The reflective layer preferably contains at least one of silicone resin, polytetrafluoroethylene, polyethylene terephthalate, and xylene resin as a resin. When these materials are used, a reflective layer having high electrical insulation can be obtained with certainty. In addition, the ease of forming the reflective layer and the adhesion between the multilayer chip varistor or semiconductor light emitting element and the reflective layer can be reliably increased.

また、反射層は、金属酸化物としてAl、TiO、SiO、及びZrOのうち少なくともいずれか一つを含むことが好ましい。Al、TiO、SiO、及びZrOは他の一般的な金属酸化物と比較して反射率が高いため、反射層の反射効率をより高めることができる。 The reflective layer preferably contains at least one of Al 2 O 3 , TiO 2 , SiO 2 , and ZrO 2 as a metal oxide. Since Al 2 O 3 , TiO 2 , SiO 2 , and ZrO 2 have a higher reflectance than other general metal oxides, the reflection efficiency of the reflective layer can be further increased.

また、反射層は、積層型チップバリスタの半導体発光素子と対向する面に形成されていることが好ましい。この場合、反射層と積層型チップバリスタとを一体的に成形することができる。また、反射層は、半導体発光素子の積層型チップバリスタと対向する面に形成されることが好ましい。この場合には、反射層と半導体発光素子とを一体的に成形することができる。このように、積層型チップバリスタ又は半導体発光素子と反射層とを一体的に成形したものを用いれば、半導体発光装置の組立が容易となる。   The reflective layer is preferably formed on the surface of the multilayer chip varistor facing the semiconductor light emitting element. In this case, the reflective layer and the multilayer chip varistor can be integrally formed. Further, the reflective layer is preferably formed on the surface facing the multilayer chip varistor of the semiconductor light emitting device. In this case, the reflective layer and the semiconductor light emitting element can be integrally formed. As described above, when the multilayer chip varistor or the semiconductor light emitting element and the reflective layer are integrally formed, the assembly of the semiconductor light emitting device is facilitated.

また、半導体発光素子は、積層型チップバリスタ上にフリップチップボンディング又はワイヤボンディングされることが好ましい。この場合、半導体発光素子を支持するための支持部材などを設けることなく、半導体発光素子を積層型チップバリスタ上に配置することができる。したがって、発光装置全体の更なる小型化が可能となる。   The semiconductor light emitting device is preferably flip-chip bonded or wire bonded on the multilayer chip varistor. In this case, the semiconductor light emitting device can be disposed on the multilayer chip varistor without providing a support member for supporting the semiconductor light emitting device. Therefore, further downsizing of the entire light emitting device can be achieved.

本発明によれば、発光効率が高く、且つ、小型化が可能な発光装置を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a light emitting device that has high luminous efficiency and can be miniaturized.

以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description, the same reference numerals are used for the same elements or elements having the same function, and redundant description is omitted.

(第1実施形態)   (First embodiment)

図1〜図5を参照して、第1実施形態に係る発光装置LE1の構成を説明する。図1は、第1実施形態に係る発光装置LE1を示す概略上面図である。図2は、第1実施形態に係る発光装置LE1に含まれる積層型チップバリスタを示す概略斜視図である。図3は、第1実施形態に係る発光装置LE1に含まれる積層型チップバリスタを示す概略上面図である。図4は、図3におけるIV−IV線に沿った断面構成を説明するための図である。図5は、図3におけるV−V線に沿った断面構成を説明するための図である。   With reference to FIGS. 1-5, the structure of light-emitting device LE1 which concerns on 1st Embodiment is demonstrated. FIG. 1 is a schematic top view showing the light emitting device LE1 according to the first embodiment. FIG. 2 is a schematic perspective view showing the multilayer chip varistor included in the light emitting device LE1 according to the first embodiment. FIG. 3 is a schematic top view showing the multilayer chip varistor included in the light emitting device LE1 according to the first embodiment. FIG. 4 is a diagram for explaining a cross-sectional configuration along the line IV-IV in FIG. 3. FIG. 5 is a diagram for explaining a cross-sectional configuration along the line VV in FIG. 3.

発光装置LE1は、図1、図4、及び図5に示されるように、半導体発光素子1と、反射層24と、積層型チップバリスタ11とを備えている。   The light emitting device LE1 includes the semiconductor light emitting element 1, the reflective layer 24, and the multilayer chip varistor 11, as shown in FIGS.

まず、積層型チップバリスタ11の構成について説明する。図2に示されるように、積層型チップバリスタ11は、略直方体形状を呈するバリスタ素体21(積層体)と、第1の外部電極22,23と、第2の外部電極25,26,27,28と、を備えている。第1の外部電極22,23と、第2の外部電極25,26,27,28とは、バリスタ素体21の主面(外表面)21aにそれぞれ形成されている。バリスタ素体21は、例えば、縦が1.0mm程度に設定され、横が0.5mm程度に設定され、厚みが0.3mm程度に設定されている。   First, the configuration of the multilayer chip varistor 11 will be described. As shown in FIG. 2, the multilayer chip varistor 11 includes a varistor element body 21 (laminate) having a substantially rectangular parallelepiped shape, first external electrodes 22 and 23, and second external electrodes 25, 26 and 27. , 28. The first external electrodes 22, 23 and the second external electrodes 25, 26, 27, 28 are formed on the main surface (outer surface) 21 a of the varistor element body 21, respectively. For example, the varistor element body 21 is set to have a length of about 1.0 mm, a width of about 0.5 mm, and a thickness of about 0.3 mm.

バリスタ素体21は、図3に示されるように、電圧非直線特性(以下、「バリスタ特性」と称する)を発現する複数のバリスタ層と、複数の第1の内部電極31と、複数の第2の内部電極41とが積層された積層体である。第1の内部電極31と第2の内部電極41とは、バリスタ素体21内においてバリスタ層の積層方向(以下、単に「積層方向」と称する。)に沿って交互に配置されている。第1の内部電極31と第2の内部電極41とは、互いの間に少なくとも一層のバリスタ層を挟むように配置されている。バリスタ素体21の主面21aは、積層方向と平行な方向であり、且つバリスタ層の延びる方向と平行な方向に延びている。なお、実際の積層型チップバリスタ11では、複数のバリスタ層は、互いの間の境界が視認できない程度に一体化されている。   As shown in FIG. 3, the varistor element body 21 includes a plurality of varistor layers that exhibit voltage nonlinear characteristics (hereinafter referred to as “varistor characteristics”), a plurality of first internal electrodes 31, and a plurality of first varistor layers. This is a laminate in which two internal electrodes 41 are laminated. The first internal electrodes 31 and the second internal electrodes 41 are alternately arranged in the varistor element body 21 along the stacking direction of the varistor layers (hereinafter simply referred to as “stacking direction”). The first internal electrode 31 and the second internal electrode 41 are arranged so that at least one varistor layer is sandwiched between them. The main surface 21a of the varistor element body 21 extends in a direction parallel to the stacking direction and parallel to the direction in which the varistor layer extends. In the actual multilayer chip varistor 11, the plurality of varistor layers are integrated so that the boundary between them cannot be visually recognized.

バリスタ層は、ZnO(酸化亜鉛)を主成分として含むと共に、副成分として希土類金属元素、Co、IIIb族元素(B、Al、Ga、In)、Si、Cr、Mo、アルカリ金属元素(K、Rb、Cs)及びアルカリ土類金属元素(Mg、Ca、Sr、Ba)等の金属単体やこれらの酸化物を含む素体からなる。本実施形態において、バリスタ層は、副成分としてPr、Co、Cr、Ca、Si、K、Al等を含んでいる。これにより、バリスタ層における第1の内部電極31と第2の内部電極41とに重なる領域が、ZnOを主成分とすると共にPrを含むこととなる。   The varistor layer contains ZnO (zinc oxide) as a main component and also includes rare earth metal elements, Co, group IIIb elements (B, Al, Ga, In), Si, Cr, Mo, alkali metal elements (K, K) as subcomponents. Rb, Cs) and simple earth metals such as alkaline earth metal elements (Mg, Ca, Sr, Ba) and element bodies containing these oxides. In the present embodiment, the varistor layer contains Pr, Co, Cr, Ca, Si, K, Al, and the like as subcomponents. As a result, a region of the varistor layer that overlaps the first internal electrode 31 and the second internal electrode 41 contains ZnO as a main component and Pr.

本実施形態では、希土類金属として、Prを用いている。Prは、バリスタ特性を発現させるための材料となる。Prを用いる理由は、電圧非直線性に優れ、また、量産時での特性ばらつきが少ないためである。バリスタ層におけるZnOの含有量は、特に限定されないが、バリスタ層を構成する全体の材料を100質量%とした場合に、通常、99.8〜69.0質量%である。バリスタ層の厚みは、例えば5〜60μm程度である。   In the present embodiment, Pr is used as the rare earth metal. Pr is a material for expressing varistor characteristics. The reason for using Pr is that voltage non-linearity is excellent and characteristic variation during mass production is small. Although content of ZnO in a varistor layer is not specifically limited, When the whole material which comprises a varistor layer is 100 mass%, it is 99.8-69.0 mass% normally. The thickness of the varistor layer is, for example, about 5 to 60 μm.

第1の内部電極31は、図4に示されるように、第1の電極部分33と、第2の電極部分35とを含んでいる。第1の電極部分33は、略矩形状を呈している。第1の電極部分33は、積層方向から見て、図5に示される第2の内部電極41の第1の電極部分43と互いに重なり合う。第2の電極部分35は、第1の電極部分33からバリスタ素体21の主面21aに露出するように引き出されており、引き出し導体として機能する。第2の電極部分35は、第1の外部電極22に物理的及び電気的に接続されている。第1の電極部分33は、第2の電極部分35を通して第1の外部電極22に電気的に接続されている。第2の電極部分35は、第1の電極部分33と一体に形成されている。   As shown in FIG. 4, the first internal electrode 31 includes a first electrode portion 33 and a second electrode portion 35. The first electrode portion 33 has a substantially rectangular shape. The first electrode portion 33 overlaps the first electrode portion 43 of the second internal electrode 41 shown in FIG. 5 when viewed from the stacking direction. The second electrode portion 35 is drawn out from the first electrode portion 33 so as to be exposed on the main surface 21a of the varistor element body 21, and functions as a lead conductor. The second electrode portion 35 is physically and electrically connected to the first external electrode 22. The first electrode portion 33 is electrically connected to the first external electrode 22 through the second electrode portion 35. The second electrode portion 35 is formed integrally with the first electrode portion 33.

第2の内部電極41は、図5に示されるように、第1の電極部分43と、第2の電極部分45とを含んでいる。第1の電極部分43は、略矩形状を呈している。第1の電極部分43は、積層方向から見て、図4に示される第1の内部電極31の第1の電極部分33と互いに重なり合う。第2の電極部分45は、第1の電極部分43からバリスタ素体21の主面21aに露出するように引き出されており、引き出し導体として機能する。第2の電極部分45は、第1の外部電極23に物理的及び電気的に接続されている。第1の電極部分43は、第2の電極部分45を通して第1の外部電極23に電気的に接続されている。第2の電極部分45は、第1の電極部分43と一体に形成されている。   As shown in FIG. 5, the second internal electrode 41 includes a first electrode portion 43 and a second electrode portion 45. The first electrode portion 43 has a substantially rectangular shape. The first electrode portion 43 overlaps the first electrode portion 33 of the first internal electrode 31 shown in FIG. 4 when viewed from the stacking direction. The second electrode portion 45 is drawn out from the first electrode portion 43 so as to be exposed on the main surface 21a of the varistor element body 21, and functions as a lead conductor. The second electrode portion 45 is physically and electrically connected to the first external electrode 23. The first electrode portion 43 is electrically connected to the first external electrode 23 through the second electrode portion 45. The second electrode portion 45 is formed integrally with the first electrode portion 43.

第1及び第2の内部電極31,41は導電材を含んでいる。第1及び第2の内部電極31,41に含まれる導電材としては、特に限定されないが、Ag−Pd合金からなることが好ましい。第1及び第2の内部電極31,41の厚みは、例えば0.5〜5μm程度である。   The first and second internal electrodes 31 and 41 include a conductive material. Although it does not specifically limit as a electrically conductive material contained in the 1st and 2nd internal electrodes 31 and 41, It is preferable to consist of Ag-Pd alloy. The thickness of the first and second internal electrodes 31 and 41 is, for example, about 0.5 to 5 μm.

第1の内部電極31の第1の電極部分33と第3の内部電極41の第1の電極部分43とは、上述したように、隣り合う第1の内部電極31の第1の電極部分33との間において互いに重なり合う。したがって、バリスタ層における第1の電極部分33と第1の電極部分43とに重なる領域がバリスタ特性を発現する領域として機能する。上述した構成を有する積層型チップバリスタ11においては、第1の電極部分33と、第1の電極部分43と、バリスタ層における第1の電極部分33及び第1の電極部分43に重なる領域とにより、一つのバリスタ部が構成されることとなる。   As described above, the first electrode portion 33 of the first internal electrode 31 and the first electrode portion 43 of the third internal electrode 41 are the first electrode portions 33 of the adjacent first internal electrodes 31. And overlap each other. Therefore, a region overlapping the first electrode portion 33 and the first electrode portion 43 in the varistor layer functions as a region that develops varistor characteristics. In the multilayer chip varistor 11 having the above-described configuration, the first electrode portion 33, the first electrode portion 43, and a region overlapping the first electrode portion 33 and the first electrode portion 43 in the varistor layer. One varistor portion is formed.

図2に示されるように、第1の外部電極22,23は、バリスタ素体21の主面21a上において、バリスタ層の積層方向に垂直且つ主面21aに平行な方向に所定の間隔(例えば50μm以上の間隔)を有して配されている。第1の外部電極22,23は、矩形状(本実施形態では、長方形状)を呈している。第1の外部電極22,23は、Auを含んでおり、後述するように導電性ペーストが焼成されることにより形成されている。導電性ペーストには、Au粒子を主成分とする金属粉末に、有機バインダ及び有機溶剤を混合したものが用いられている。   As shown in FIG. 2, the first external electrodes 22 and 23 are arranged on the main surface 21a of the varistor element body 21 at a predetermined interval (for example, in a direction perpendicular to the stacking direction of the varistor layers and parallel to the main surface 21a). (Interval of 50 μm or more). The first external electrodes 22 and 23 have a rectangular shape (in this embodiment, a rectangular shape). The first external electrodes 22 and 23 contain Au, and are formed by baking a conductive paste as will be described later. As the conductive paste, a mixture of a metal powder containing Au particles as a main component and an organic binder and an organic solvent is used.

第1の外部電極22,23の上には、第2の外部電極25,26,27,28が形成されている。第2の外部電極25と第2の外部電極26とは、主面21a上において、バリスタ層の積層方向に垂直且つ主面21aに平行な方向に所定の間隔を有して配されている。第2の外部電極25は第1の外部電極22と、第2の外部電極26は第1の外部電極23と、物理的及び電気的にそれぞれ接続されている。第2の外部電極25,26は、矩形状(本実施形態では、正方形状)を呈している。第2の外部電極25は、積層型チップバリスタ11の入力端子電極として機能し、第2の外部電極26は、積層型チップバリスタ11の出力端子電極として機能する。   Second external electrodes 25, 26, 27, and 28 are formed on the first external electrodes 22 and 23. The second external electrode 25 and the second external electrode 26 are arranged on the main surface 21a with a predetermined interval in a direction perpendicular to the stacking direction of the varistor layers and parallel to the main surface 21a. The second external electrode 25 is physically and electrically connected to the first external electrode 22, and the second external electrode 26 is physically and electrically connected to the first external electrode 23. The second external electrodes 25 and 26 have a rectangular shape (in this embodiment, a square shape). The second external electrode 25 functions as an input terminal electrode of the multilayer chip varistor 11, and the second external electrode 26 functions as an output terminal electrode of the multilayer chip varistor 11.

第2の外部電極27,28は、一対の第2の外部電極25,26に挟まれるように配置されている。第2の外部電極27と第2の外部電極28とは、主面21a上において、バリスタ層の積層方向に垂直且つ主面21aに平行な方向に所定の間隔を有して配されている。第2の外部電極27は第1の外部電極22と、第2の外部電極28は第1の外部電極23と、物理的及び電気的にそれぞれ接続されている。これにより、第2の外部電極25と第2の外部電極27とが第1の外部電極22を介して電気的に接続されると共に、第2の外部電極26と第2の外部電極28とが第1の外部電極23を介して電気的に接続されることとなる。第2の外部電極27,28は、矩形状(本実施形態では、正方形状)を呈している。第2の外部電極27,28は、後述する半導体発光素子1に電気的に接続されるパッド電極として機能する。   The second external electrodes 27 and 28 are arranged so as to be sandwiched between the pair of second external electrodes 25 and 26. The second external electrode 27 and the second external electrode 28 are arranged on the main surface 21a with a predetermined interval in a direction perpendicular to the varistor layer stacking direction and parallel to the main surface 21a. The second external electrode 27 is physically and electrically connected to the first external electrode 22, and the second external electrode 28 is physically and electrically connected to the first external electrode 23. Thus, the second external electrode 25 and the second external electrode 27 are electrically connected via the first external electrode 22, and the second external electrode 26 and the second external electrode 28 are connected to each other. Electrical connection is made via the first external electrode 23. The second external electrodes 27 and 28 have a rectangular shape (in this embodiment, a square shape). The second external electrodes 27 and 28 function as pad electrodes that are electrically connected to the semiconductor light emitting element 1 described later.

第2の外部電極25〜28は、第1の外部電極22,23上に例えばめっき法により形成されている。第2の外部電極25〜28は、AuあるいはPtからなる。めっき法を用いる場合は、真空めっき法(真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等)により、AuあるいはPtを蒸着させることにより第2の外部電極25〜28を形成する。第2の外部電極25〜28は、Pt/Auの積層体として構成してもよい。   The second external electrodes 25 to 28 are formed on the first external electrodes 22 and 23 by, for example, a plating method. The second external electrodes 25 to 28 are made of Au or Pt. When the plating method is used, the second external electrodes 25 to 28 are formed by vapor-depositing Au or Pt by a vacuum plating method (vacuum deposition method, sputtering method, ion plating method, or the like). The second external electrodes 25 to 28 may be configured as a Pt / Au laminated body.

このような構成を有する積層型チップバリスタ11と、半導体発光素子1との間には、図4及び図5にも示されるように、反射層24が配されている。反射層24は、積層型チップバリスタ11の半導体発光素子1と対向する面、すなわちバリスタ素体21の主面21a上に形成されている。このような位置に形成された反射層24は、半導体発光素子1が発生した光のうち、積層型チップバリスタ11の方向に進む光を反射することとなる。   A reflective layer 24 is disposed between the multilayer chip varistor 11 having such a configuration and the semiconductor light emitting element 1 as shown in FIGS. 4 and 5. The reflective layer 24 is formed on the surface of the multilayer chip varistor 11 facing the semiconductor light emitting element 1, that is, on the main surface 21 a of the varistor element body 21. The reflection layer 24 formed at such a position reflects light traveling in the direction of the multilayer chip varistor 11 out of the light generated by the semiconductor light emitting element 1.

より具体的には、反射層24は、図2に示されるように、バリスタ素体21の主面21aを覆うように形成されている。反射層24は、第1の外部電極22,23の上に形成されており、第2の外部電極25〜28が配置される部分に開口部24a〜24dを有している。開口部24a〜24dは第2の外部電極25〜28よりも大きく、第2の外部電極25〜28は開口部24a〜24dの中央にそれぞれ配置されている。開口部24a,24cからは第1の外部電極22が露出しており、開口部24b,24dからは第1の外部電極23が露出している。第2の外部電極25は開口部24aから露出した第1の外部電極22と接続されており、第2の外部電極26は開口部24bから露出した第1の外部電極23と接続されている。第2の外部電極27は開口部24cから露出した第1の外部電極22と接続されており、第2の外部電極28は開口部24dから露出した第1の外部電極23と接続されている。   More specifically, the reflection layer 24 is formed so as to cover the main surface 21a of the varistor element body 21, as shown in FIG. The reflective layer 24 is formed on the first external electrodes 22 and 23, and has openings 24a to 24d at portions where the second external electrodes 25 to 28 are disposed. The openings 24a to 24d are larger than the second external electrodes 25 to 28, and the second external electrodes 25 to 28 are disposed at the centers of the openings 24a to 24d, respectively. The first external electrode 22 is exposed from the openings 24a and 24c, and the first external electrode 23 is exposed from the openings 24b and 24d. The second external electrode 25 is connected to the first external electrode 22 exposed from the opening 24a, and the second external electrode 26 is connected to the first external electrode 23 exposed from the opening 24b. The second external electrode 27 is connected to the first external electrode 22 exposed from the opening 24c, and the second external electrode 28 is connected to the first external electrode 23 exposed from the opening 24d.

反射層24は、種々の材料を用いて形成することができる。例えば、反射層24は、ガラスと添加物とを含んでいる。この場合、反射層24は、ガラス中に添加物が分散したものとなる。ガラスを含むことによって、電気絶縁性を有する反射層24を得ることができる。電気絶縁性を有することによって、反射層24を介した第1の電極22,23間のショートを防止することができる。また、ガラスを含むことにより、反射層24を耐熱性に優れたものとすることができる。   The reflective layer 24 can be formed using various materials. For example, the reflective layer 24 includes glass and an additive. In this case, the reflective layer 24 is obtained by dispersing additives in glass. By including glass, the reflective layer 24 having electrical insulation can be obtained. By having electrical insulation, it is possible to prevent a short circuit between the first electrodes 22 and 23 via the reflective layer 24. Moreover, the reflection layer 24 can be made excellent in heat resistance by including glass.

反射層24に含まれる添加物としては、金属を用いることができる。金属を含む反射層24は、半導体発光素子1が発生した光を確実に反射することができる。また、金属を用いることにより、反射層24の熱伝導率が良好となるため、半導体発光素子1からの熱を効率よく放散させることができる。金属としては、他の一般的な金属と比較して反射率が高いAg、Al、Ti、及びNi等が好適である。特に、AgやAlを用いた場合には、反射層24の反射効率をいっそう高めることができる。   As an additive contained in the reflective layer 24, a metal can be used. The reflective layer 24 containing a metal can reliably reflect the light generated by the semiconductor light emitting element 1. Moreover, since the heat conductivity of the reflective layer 24 becomes favorable by using a metal, the heat from the semiconductor light emitting element 1 can be dissipated efficiently. As the metal, Ag, Al, Ti, Ni, etc., which have a higher reflectance than other general metals are suitable. In particular, when Ag or Al is used, the reflection efficiency of the reflection layer 24 can be further increased.

なお、添加物としては、金属酸化物を用いることもできる。金属酸化物を含む反射層24は、半導体発光素子1が発生した光を確実に反射することができる。また、金属を用いた場合と比べて、反射層24の電気絶縁性をよりいっそう高めることができる。金属酸化物はガラス中での分散性が良好なため、金属酸化物が均一に分散した、特性ばらつきの少ない反射層24を容易に形成することができる。反射層24はガラスと金属酸化物とを含むことになるので、熱膨張係数が比較的小さい反射層24を得ることができ、ひずみや割れ、クラックを抑制することができる。金属酸化物としては、他の一般的な金属酸化物と比較して反射率が高いAl、TiO、SiO、及びZrO等が好適である。特に、Alを用いた場合には、反射層24の反射効率をいっそう高めることができる。 In addition, a metal oxide can also be used as an additive. The reflective layer 24 containing a metal oxide can reliably reflect the light generated by the semiconductor light emitting element 1. In addition, the electrical insulation of the reflective layer 24 can be further enhanced as compared with the case where a metal is used. Since the metal oxide has good dispersibility in the glass, the reflective layer 24 in which the metal oxide is uniformly dispersed and the characteristic variation is small can be easily formed. Since the reflective layer 24 contains glass and a metal oxide, the reflective layer 24 having a relatively small thermal expansion coefficient can be obtained, and distortion, cracks, and cracks can be suppressed. As the metal oxide, Al 2 O 3 , TiO 2 , SiO 2 , ZrO 2 , and the like, which have a higher reflectance than other general metal oxides, are suitable. In particular, when Al 2 O 3 is used, the reflection efficiency of the reflective layer 24 can be further increased.

その他の添加物としては、金属酸化物により被覆された、金属からなる粉末を用いることもできる。粉末に対する金属酸化物の被覆は、例えばバレルスパッタ、プラズマ酸化、熱酸化などの方法によって行なわれる。金属酸化物で被覆することにより、ガラス中における金属からなる粉末の分散性を向上させることができる。また、金属酸化物で被覆された金属粉末を用いることにより、反射効率が高いという金属の特性と、電気絶縁性が高いという金属酸化物の特性とを兼ね備えた反射層24を得ることができる。したがって、反射層24について、反射効率を低下させずに電気絶縁性をいっそう高めることができる。特に、Agからなる粉末にAlを被覆したものあるいはAlからなる粉末にAlを被覆したものを用いた場合には、反射層24の反射効率を更に高めることができる。 As another additive, a powder made of a metal coated with a metal oxide can also be used. The metal oxide is coated on the powder by a method such as barrel sputtering, plasma oxidation, or thermal oxidation. By coating with a metal oxide, the dispersibility of the powder made of metal in the glass can be improved. In addition, by using a metal powder coated with a metal oxide, it is possible to obtain a reflective layer 24 having both the characteristics of a metal having high reflection efficiency and the characteristics of a metal oxide having high electrical insulation. Therefore, it is possible to further increase the electrical insulation of the reflective layer 24 without reducing the reflection efficiency. Particularly, in the case of using a material obtained by coating the Al 2 O 3 as coated with Al 2 O 3 powder consisting of Ag, or the powder of Al can further improve the reflection efficiency of the reflective layer 24.

反射層24は、樹脂と添加物とを含むものであってもよい。この場合、反射層24は、樹脂中に添加物が分散したものとなる。樹脂を含むことにより、反射層24に電気絶縁性を持たせることができる。また、反射層24の形成が容易となると共に、積層型チップバリスタ11と反射層24との密着性が良好となる。また、積層型チップバリスタ11にかかる熱ストレスを緩和することができる。樹脂としては、シリコーン樹脂、ポリテトラフルオロエチレン、ポリエチレンテレフタレート、及びキシレン樹脂のうち少なくともいずれか少なくとも一つを用いることが好適である。このような樹脂を用いた場合には電気絶縁性が高い反射層24を確実に得ることができる。また、反射層24の形成の容易性や、積層型チップバリスタ11と反射層24との密着性を確実に高めることができる。添加物としては、ガラスの場合と同様に、金属や金属酸化物、あるいは金属酸化物により被覆された、金属からなる粉末を用いることができる。   The reflective layer 24 may include a resin and an additive. In this case, the reflective layer 24 is obtained by dispersing additives in the resin. By including the resin, the reflective layer 24 can have electrical insulation. Further, the reflective layer 24 can be easily formed and the adhesion between the multilayer chip varistor 11 and the reflective layer 24 is improved. Further, the thermal stress applied to the multilayer chip varistor 11 can be reduced. As the resin, it is preferable to use at least one of silicone resin, polytetrafluoroethylene, polyethylene terephthalate, and xylene resin. When such a resin is used, the reflective layer 24 with high electrical insulation can be obtained with certainty. In addition, the ease of forming the reflective layer 24 and the adhesion between the multilayer chip varistor 11 and the reflective layer 24 can be reliably increased. As the additive, as in the case of glass, metal, metal oxide, or metal powder coated with metal oxide can be used.

反射層24は、金属からなる薄膜層を有するものであってもよい。この場合、反射層24を介した第1の電極22,23間のショートを防ぐ目的で、金属を含む薄膜層の下に絶縁層を形成する。金属を含む薄膜層によって、半導体発光素子1が発生した光を確実に反射することができる。また、薄膜層を用いることにより、反射層24の厚さを薄くすることが可能となる。薄膜層に含まれる金属としては、他の一般的な金属と比較して反射率が高いAg、Al、Ti、及びNi等が好適である。特に、AgやAlを用いた場合には、反射層24の反射効率をいっそう高めることができる。   The reflective layer 24 may have a thin film layer made of metal. In this case, an insulating layer is formed under the metal-containing thin film layer for the purpose of preventing a short circuit between the first electrodes 22 and 23 via the reflective layer 24. The light generated by the semiconductor light emitting element 1 can be reliably reflected by the thin film layer containing metal. Further, by using the thin film layer, the thickness of the reflective layer 24 can be reduced. As the metal contained in the thin film layer, Ag, Al, Ti, Ni, etc., which have a higher reflectance than other general metals are suitable. In particular, when Ag or Al is used, the reflection efficiency of the reflection layer 24 can be further increased.

以上のように種々の反射層24を検討した結果、本実施形態の反射層24は、ガラスとAgとを含むものとした。Agを用いることにより、反射層24を、特に波長450nm付近の光に対して優れた反射特性を有するものとすることができる。その結果、反射層24の反射効率を十分に高めることができるからである。   As a result of examining the various reflective layers 24 as described above, the reflective layer 24 of the present embodiment includes glass and Ag. By using Ag, the reflection layer 24 can have excellent reflection characteristics particularly with respect to light having a wavelength of about 450 nm. As a result, the reflection efficiency of the reflective layer 24 can be sufficiently increased.

ガラスとAgとを含む反射層24は、バリスタ素体21の主面21a上に、例えば印刷法により形成されている。印刷法を用いる場合は、ガラス粉末と、Ag粉末と、有機バインダ及び有機溶剤を混合したガラスペーストを用意し、当該ガラスペーストを第1の外部電極22,23及びバリスタ素体21の主面21aの上に印刷し、乾燥後、焼成することにより反射層24を形成する。   The reflective layer 24 containing glass and Ag is formed on the main surface 21a of the varistor element body 21 by, for example, a printing method. When the printing method is used, a glass paste in which glass powder, Ag powder, an organic binder, and an organic solvent are mixed is prepared, and the glass paste is used as the first external electrodes 22 and 23 and the main surface 21a of the varistor element body 21. The reflective layer 24 is formed by printing on the substrate, drying, and firing.

続いて、図6〜図8を参照して、上述した構成を有する積層型チップバリスタ11及び反射層24の製造過程について説明する。図6は、第1実施形態に係る積層型チップバリスタ及び反射層の製造過程を説明するためのフロー図である。図7及び図8は、第1実施形態に係る積層型チップバリスタ及び反射層の製造過程を説明するための図である。   Next, a manufacturing process of the multilayer chip varistor 11 and the reflective layer 24 having the above-described configuration will be described with reference to FIGS. FIG. 6 is a flowchart for explaining a manufacturing process of the multilayer chip varistor and the reflective layer according to the first embodiment. 7 and 8 are diagrams for explaining a manufacturing process of the multilayer chip varistor and the reflective layer according to the first embodiment.

まず、バリスタ層を構成する主成分であるZnOと、Pr、Co、Cr、Ca、Si、K及びAlの金属又は酸化物等の微量添加物とを所定の割合となるように各々秤量した後、各成分を混合してバリスタ材料を用意する(ステップS100)。その後、このバリスタ材料に有機バインダ、有機溶剤、有機可塑剤等を加えて、ボールミル等を用いて20時間程度混合・粉砕を行ってスラリーを得る。   First, after weighing ZnO, which is a main component constituting the varistor layer, and trace additives such as Pr, Co, Cr, Ca, Si, K, and Al metals or oxides so as to have a predetermined ratio. Each component is mixed to prepare a varistor material (step S100). Then, an organic binder, an organic solvent, an organic plasticizer, etc. are added to this varistor material, and it mixes and grinds for about 20 hours using a ball mill etc., and obtains a slurry.

このスラリーを、ドクターブレード法等の公知の方法により、例えばポリエチレンテレフタレートからなるフィルム上に塗布した後、乾燥して厚さ30μm程度の膜を形成する。こうして得られた膜をフィルムから剥離してグリーンシートを得る(ステップS101)。   The slurry is applied onto a film made of, for example, polyethylene terephthalate by a known method such as a doctor blade method, and then dried to form a film having a thickness of about 30 μm. The film thus obtained is peeled from the film to obtain a green sheet (step S101).

次に、グリーンシートに、第1及び第2の内部電極31,41に対応する電極部分を複数(後述する分割チップ数に対応する数)形成する(ステップS102)。第1及び第2の内部電極31,41に対応する電極部分は、Ag−Pd合金粒子を主成分とする金属粉末、有機バインダ及び有機溶剤を混合した導電性ペーストをスクリーン印刷等の印刷法にて印刷し、乾燥させることにより形成する。   Next, a plurality of electrode portions corresponding to the first and second internal electrodes 31 and 41 (a number corresponding to the number of divided chips described later) are formed on the green sheet (step S102). The electrode portions corresponding to the first and second internal electrodes 31 and 41 are made by using a conductive paste in which a metal powder mainly composed of Ag—Pd alloy particles, an organic binder, and an organic solvent is mixed for a printing method such as screen printing. It is formed by printing and drying.

次に、電極部分が形成された各グリーンシートと、電極部分が形成されていないグリーンシートとを所定の順序で重ねてシート積層体を形成する(ステップS103)。こうして得られたシート積層体をチップ単位に切断して、分割された複数のグリーン体GL1(図7参照)を得る(ステップS104)。得られたグリーン体GL1では、第1の内部電極31に対応する電極部分EL1が形成されたグリーンシートGS1と、第2の内部電極41に対応する電極部分EL2が形成されたグリーンシートGS2と、電極部分EL1,EL2が形成されていないグリーンシートGS3とが順次積層されている。グリーンシートGS1とグリーンシートGS2との間に位置するグリーンシートGS3は、複数枚積層してもよく、また、無くてもよい。   Next, each green sheet on which the electrode portion is formed and a green sheet on which the electrode portion is not formed are stacked in a predetermined order to form a sheet laminate (step S103). The sheet laminate thus obtained is cut into chips, and a plurality of divided green bodies GL1 (see FIG. 7) are obtained (step S104). In the obtained green body GL1, a green sheet GS1 in which an electrode portion EL1 corresponding to the first internal electrode 31 is formed, a green sheet GS2 in which an electrode portion EL2 corresponding to the second internal electrode 41 is formed, A green sheet GS3 on which the electrode portions EL1 and EL2 are not formed is sequentially laminated. A plurality of green sheets GS3 positioned between the green sheets GS1 and GS2 may be stacked or may not be stacked.

次に、図8(a)に示されるように、グリーン体GL1の外表面に、第1の外部電極22,23用の導電性ペーストを付与する(図6、ステップS105)。ここでは、グリーン体GL1の主面上に、対応する電極部分EL1,EL2に接するように導電性ペーストをスクリーン印刷工法にて印刷した後、乾燥させることによって、第1の外部電極22,23に対応する電極部分を形成する。第1の外部電極22,23用の導電性ペーストには、上述したように、Au粒子を主成分とする金属粉末に、有機バインダ及び有機溶剤を混合したものを用いることができる。   Next, as shown in FIG. 8A, a conductive paste for the first external electrodes 22 and 23 is applied to the outer surface of the green body GL1 (FIG. 6, step S105). Here, a conductive paste is printed on the main surface of the green body GL1 so as to be in contact with the corresponding electrode portions EL1 and EL2 by a screen printing method, and then dried, whereby the first external electrodes 22 and 23 are applied. Corresponding electrode portions are formed. As the conductive paste for the first external electrodes 22, 23, as described above, a metal powder mainly composed of Au particles mixed with an organic binder and an organic solvent can be used.

次に、図8(b)に示されるように、第1の外部電極22,23の上に反射層24用のガラスペーストを付与する(図6、ステップS106)。ここでは、Ag粉末、ガラス粉末、有機バインダ及び有機溶剤を混合したガラスペーストをスクリーン印刷等の印刷法にて印刷塗布する。このとき、開口部24a〜24dと対応する部分にはガラスペーストを印刷塗布しないため、開口部24a〜24dと対応する部分からは第1の外部電極22,23が露出することとなる。ガラスペーストを印刷塗布後、乾燥させることによって、反射層24に相当する層を形成する。   Next, as shown in FIG. 8B, a glass paste for the reflective layer 24 is applied on the first external electrodes 22 and 23 (FIG. 6, step S106). Here, a glass paste in which Ag powder, glass powder, an organic binder and an organic solvent are mixed is printed and applied by a printing method such as screen printing. At this time, since the glass paste is not printed and applied to the portions corresponding to the openings 24a to 24d, the first external electrodes 22 and 23 are exposed from the portions corresponding to the openings 24a to 24d. After printing and applying the glass paste, a layer corresponding to the reflective layer 24 is formed by drying.

次に、ガラスペーストが付与されたグリーン体GL1に、180〜400℃、0.5〜24時間程度の加熱処理を実施して脱バインダを行った後、さらに、1000〜1400℃、0.5〜8時間程度の焼成を行い(図6、ステップS107)、バリスタ素体21と第1の外部電極22,23と反射層24とを得る。この焼成によって、グリーン体GL1におけるグリーンシートGS1〜GS3はバリスタ層となる。電極部分EL1は、第1の内部電極31となる。電極部分EL2は、第2の内部電極41となる。なお、焼成後に、バリスタ素体21の表面からアルカリ金属(例えば、Li、Na等)を拡散させてもよい。   Next, the green body GL1 to which the glass paste is applied is subjected to heat treatment at 180 to 400 ° C. for about 0.5 to 24 hours to perform binder removal, and then further to 1000 to 1400 ° C. and 0.5 ° C. Baking is performed for about ˜8 hours (FIG. 6, step S107), and the varistor element body 21, the first external electrodes 22 and 23, and the reflective layer 24 are obtained. By this firing, the green sheets GS1 to GS3 in the green body GL1 become varistor layers. The electrode portion EL <b> 1 becomes the first internal electrode 31. The electrode portion EL <b> 2 becomes the second internal electrode 41. Note that alkali metal (for example, Li, Na, etc.) may be diffused from the surface of the varistor element body 21 after firing.

このようにして、バリスタ素体21、第1の外部電極22,23、及び反射層24を形成した後、第1の外部電極22,23の上に第2の外部電極25〜28を形成する(ステップS108)。ここでは、真空めっき法を用いて、反射層24の開口部24a〜24dの中央部分にAuを蒸着させることにより第2の外部電極25〜28を形成する。以上の過程により、反射層24が形成された積層型チップバリスタ11が得られることとなる。   After forming the varistor element body 21, the first external electrodes 22 and 23, and the reflective layer 24 in this manner, the second external electrodes 25 to 28 are formed on the first external electrodes 22 and 23. (Step S108). Here, the second external electrodes 25 to 28 are formed by vapor-depositing Au in the central portions of the openings 24 a to 24 d of the reflective layer 24 using a vacuum plating method. Through the above process, the multilayer chip varistor 11 in which the reflective layer 24 is formed is obtained.

次に、図4及び図5を参照して、半導体発光素子1の構成について説明する。   Next, the configuration of the semiconductor light emitting element 1 will be described with reference to FIGS. 4 and 5.

半導体発光素子1は、GaN(窒化ガリウム)系半導体の発光ダイオード(LED:Light-Emitting Diode)であり、基板2と、当該基板2上に形成された層構造体LSとを備えている。GaN系の半導体LEDは、周知であり、その説明を簡略化する。基板2は、サファイアからなる光学的に透明且つ電気絶縁性を有する基板である。層構造体LSは、積層された、n型(第1導電型)の半導体領域3と、発光層4と、p型(第2導電型)の半導体領域5とを含んでいる。半導体発光素子1は、n型の半導体領域3とp型の半導体領域5との間に印加される電圧に応じて発光する。   The semiconductor light-emitting element 1 is a light-emitting diode (LED) of a GaN (gallium nitride) semiconductor, and includes a substrate 2 and a layer structure LS formed on the substrate 2. GaN-based semiconductor LEDs are well known and will be described briefly. The substrate 2 is an optically transparent and electrically insulating substrate made of sapphire. The layer structure LS includes an n-type (first conductivity type) semiconductor region 3, a light emitting layer 4, and a p-type (second conductivity type) semiconductor region 5 which are stacked. The semiconductor light emitting element 1 emits light according to a voltage applied between the n-type semiconductor region 3 and the p-type semiconductor region 5.

n型の半導体領域3は、n型の窒化物半導体を含んで構成されている。本実施形態では、n型の半導体領域3は、基板2上にGaNがエピタキシャル成長されて成り、例えばSiといったn型ドーパントが添加されてn型の導電性を有している。また、n型の半導体領域3は、発光層4よりも屈折率が小さく且つバンドギャップが大きくなるような組成を有していてもよい。この場合、n型の半導体領域3は、発光層4に対して下部クラッドとしての役割を果たす。   The n-type semiconductor region 3 includes an n-type nitride semiconductor. In this embodiment, the n-type semiconductor region 3 is formed by epitaxially growing GaN on the substrate 2 and has an n-type conductivity by adding an n-type dopant such as Si. Further, the n-type semiconductor region 3 may have a composition such that the refractive index is smaller than that of the light emitting layer 4 and the band gap is increased. In this case, the n-type semiconductor region 3 serves as a lower cladding for the light emitting layer 4.

発光層4は、n型の半導体領域3上に形成され、n型の半導体領域3及びp型の半導体領域5から供給されたキャリア(電子及び正孔)が再結合することにより発光領域において光を発生する。発光層4は、例えば、障壁層と井戸層とが複数周期にわたって交互に積層された多重量子井戸(MQW:Multiple Quantum Well)構造とすることができる。この場合、障壁層及び井戸層がInGaNからなり、In(インジウム)の組成を適宜選択することによって障壁層のバンドギャップが井戸層のバンドギャップより大きくなるように構成される。発光領域は、発光層4において、キャリアが注入される領域に生じる。   The light emitting layer 4 is formed on the n-type semiconductor region 3, and carriers (electrons and holes) supplied from the n-type semiconductor region 3 and the p-type semiconductor region 5 are recombined to emit light in the light-emitting region. Is generated. The light emitting layer 4 can have, for example, a multiple quantum well (MQW) structure in which barrier layers and well layers are alternately stacked over a plurality of periods. In this case, the barrier layer and the well layer are made of InGaN, and the band gap of the barrier layer is configured to be larger than the band gap of the well layer by appropriately selecting the composition of In (indium). The light emitting region is generated in a region where carriers are injected in the light emitting layer 4.

p型の半導体領域5は、p型の窒化物半導体を含んで構成されている。本実施形態では、p型の半導体領域5は、発光層4上にAlGaNがエピタキシャル成長されて成り、例えばMgといったp型ドーパントが添加されてp型の導電性を有している。また、p型の半導体領域5は、発光層4よりも屈折率が小さく且つバンドギャップが大きくなるような組成を有していてもよい。この場合、p型の半導体領域5は、発光層4に対して上部クラッドとしての役割を果たす。   The p-type semiconductor region 5 includes a p-type nitride semiconductor. In the present embodiment, the p-type semiconductor region 5 is formed by epitaxially growing AlGaN on the light emitting layer 4 and has p-type conductivity by adding a p-type dopant such as Mg. The p-type semiconductor region 5 may have a composition that has a refractive index smaller than that of the light emitting layer 4 and a larger band gap. In this case, the p-type semiconductor region 5 serves as an upper cladding for the light emitting layer 4.

n型の半導体領域3上には、カソード電極6が形成されている。カソード電極6は、導電性材料からなり、n型の半導体領域3との間にオーミック接触が実現されている。p型の半導体領域5上には、アノード電極7が形成されている。アノード電極7は、導電性材料からなり、p型の半導体領域5との間にオーミック接触が実現されている。カソード電極6及びアノード電極7には、バンプ電極8が形成されている。   A cathode electrode 6 is formed on the n-type semiconductor region 3. The cathode electrode 6 is made of a conductive material and realizes ohmic contact with the n-type semiconductor region 3. An anode electrode 7 is formed on the p-type semiconductor region 5. The anode electrode 7 is made of a conductive material, and has an ohmic contact with the p-type semiconductor region 5. Bump electrodes 8 are formed on the cathode electrode 6 and the anode electrode 7.

上述した構成の半導体発光素子1では、アノード電極7(バンプ電極8)とカソード電極6(バンプ電極8)との間に所定の電圧が印加されて電流が流れると、発光層4の発光領域において光を発生する。この光が、反射層24によって反射されることとなる。   In the semiconductor light emitting device 1 having the above-described configuration, when a predetermined voltage is applied between the anode electrode 7 (bump electrode 8) and the cathode electrode 6 (bump electrode 8) and a current flows, the light emitting region 4 emits light. Generate light. This light is reflected by the reflective layer 24.

半導体発光素子1は、一対の第2の外部電極27,28にフリップチップボンディングされている。すなわち、カソード電極6は、バンプ電極8を介して第2の外部電極28に電気的且つ物理的に接続されている。このように、バンプ電極8を介して接続することにより、半導体発光素子1を支持するための支持部材などを設けることなく、半導体発光素子1を積層型チップバリスタ11上に配置することができる。アノード電極7は、バンプ電極8を介して第2の外部電極27に電気的且つ物理的に接続されている。これにより、第1の電極部分33と、第1の電極部分43と、バリスタ層における第1の電極部分33,43に重なる領域とにより構成されるバリスタ部が半導体発光素子1に並列接続されることとなる。よって、半導体発光素子1をESDサージから保護することができる。また、半導体発光素子1において発生した熱は、主として、外部電極27,28及び内部電極31,41に伝わり放散されることとなる。半導体発光素子1において発生した熱の放熱パスが拡がり、半導体発光素子1において発生した熱を効率よく放散することができる。   The semiconductor light emitting element 1 is flip-chip bonded to a pair of second external electrodes 27 and 28. That is, the cathode electrode 6 is electrically and physically connected to the second external electrode 28 via the bump electrode 8. As described above, by connecting via the bump electrodes 8, the semiconductor light emitting element 1 can be disposed on the multilayer chip varistor 11 without providing a support member for supporting the semiconductor light emitting element 1. The anode electrode 7 is electrically and physically connected to the second external electrode 27 through the bump electrode 8. Thereby, the varistor part comprised by the 1st electrode part 33, the 1st electrode part 43, and the area | region which overlaps with the 1st electrode parts 33 and 43 in a varistor layer is connected to the semiconductor light emitting element 1 in parallel. It will be. Therefore, the semiconductor light emitting element 1 can be protected from the ESD surge. Further, the heat generated in the semiconductor light emitting element 1 is mainly transmitted to the external electrodes 27 and 28 and the internal electrodes 31 and 41 to be dissipated. The heat radiation path of the heat generated in the semiconductor light emitting element 1 is expanded, and the heat generated in the semiconductor light emitting element 1 can be efficiently dissipated.

半導体発光素子1において熱が発生する時、発光層4の発光領域から光が発生している。この光は、半導体発光素子1から外に向かって放射される。放射された光のうち、積層型チップバリスタ11に向かう光が積層型チップバリスタ11上に形成された反射層24によって反射される。その結果、反射光が発生する。このように反射光を発生することにより、発光効率を向上させることができる。   When heat is generated in the semiconductor light emitting device 1, light is generated from the light emitting region of the light emitting layer 4. This light is emitted outward from the semiconductor light emitting element 1. Of the emitted light, the light toward the multilayer chip varistor 11 is reflected by the reflection layer 24 formed on the multilayer chip varistor 11. As a result, reflected light is generated. By generating the reflected light in this way, the light emission efficiency can be improved.

以上のように、本第1実施形態によれば、反射層24を備えるので、半導体発光素子1が発生した光を反射層24によって反射することができる。反射層24の形成位置を積層型チップバリスタ11と半導体発光素子1との間としているので、半導体発光素子1の周囲に反射層24を設置するための特別なスペースを確保する必要がなくなる。したがって、発光装置LE1を小型化することが可能となる。   As described above, according to the first embodiment, since the reflective layer 24 is provided, the light generated by the semiconductor light emitting element 1 can be reflected by the reflective layer 24. Since the reflective layer 24 is formed between the multilayer chip varistor 11 and the semiconductor light emitting device 1, it is not necessary to secure a special space for installing the reflective layer 24 around the semiconductor light emitting device 1. Therefore, the light emitting device LE1 can be reduced in size.

ところで、本第1実施形態における発光装置LE1のように、半導体発光素子が積層型チップバリスタ11上に配された装置では、半導体発光素子が発生した光の一部は積層型チップバリスタに向かって進むこととなる。この方向に進む光が積層型チップバリスタで遮光された場合には、発光効率が悪くなる。本実施形態では、反射層を積層型チップバリスタと半導体発光素子との間に配するので、積層型チップバリスタの方向に進む光を確実に反射することができる。したがって、高い発光効率を得ることができる。   By the way, in the device in which the semiconductor light emitting element is arranged on the multilayer chip varistor 11 like the light emitting device LE1 in the first embodiment, a part of the light generated by the semiconductor light emitting element is directed toward the multilayer chip varistor. It will go on. When light traveling in this direction is blocked by the multilayer chip varistor, the light emission efficiency is deteriorated. In the present embodiment, since the reflective layer is disposed between the multilayer chip varistor and the semiconductor light emitting element, light traveling in the direction of the multilayer chip varistor can be reliably reflected. Therefore, high luminous efficiency can be obtained.

また、本第1実施形態では、反射層24を、積層型チップバリスタ11の半導体発光素子1と対向する面、すなわちバリスタ素体21の主面21a上に形成している。これにより、反射層24と積層型チップバリスタ11とを一体的に成形することができる。その結果、反射層24と積層型チップバリスタ11とが一体化されたものの上に、半導体発光素子1を配置すればよいため、半導体発光装置LE1の組立が容易となる。   In the first embodiment, the reflective layer 24 is formed on the surface of the multilayer chip varistor 11 facing the semiconductor light emitting element 1, that is, on the main surface 21 a of the varistor element body 21. Thereby, the reflective layer 24 and the multilayer chip varistor 11 can be integrally formed. As a result, the semiconductor light-emitting device LE1 can be easily assembled since the semiconductor light-emitting element 1 has only to be disposed on the reflection layer 24 and the multilayer chip varistor 11 integrated.

また、本第1実施形態において、反射層24はガラスとAgとを含んでいる。Agを含むことにより、反射層24を、特に波長450nm付近の光に対して優れた反射特性を有するものとすることができる。その結果、反射層24の反射効率をより高めることができる。ガラスを含むので、反射層24を電気絶縁性及び耐熱性に優れたものとすることができる。   In the first embodiment, the reflective layer 24 includes glass and Ag. By including Ag, the reflection layer 24 can have excellent reflection characteristics particularly with respect to light having a wavelength of about 450 nm. As a result, the reflection efficiency of the reflective layer 24 can be further increased. Since glass is included, the reflective layer 24 can be made excellent in electrical insulation and heat resistance.

また、本第1実施形態において、半導体発光素子1は積層型チップバリスタ11上にフリップチップボンディングされている。この場合、半導体発光素子1を支持するための支持部材などを設けることなく、半導体発光素子1を積層型チップバリスタ11上に配置することができる。その結果、いっそうの小型化が可能となる。   In the first embodiment, the semiconductor light emitting element 1 is flip-chip bonded onto the multilayer chip varistor 11. In this case, the semiconductor light emitting element 1 can be disposed on the multilayer chip varistor 11 without providing a support member or the like for supporting the semiconductor light emitting element 1. As a result, further miniaturization becomes possible.

なお、発光装置LE1は、図9に示されるように、ヒートシンク53に設置されることが好ましい。図9(a)は、第1実施形態に係る発光装置を設置した状態を示す概略上面図である。図9(b)は、図9(a)におけるIX−IX線に沿った断面構成を説明するための図である。ヒートシンク53は、凹部を有している。凹部には、積層型チップバリスタ11部分が収容される。ヒートシンク53は外部電極55,56を有している。凹部に収容された積層型チップバリスタ11の第2の外部電極25は、ヒートシンク53の外部電極55とワイヤ接続される。積層型チップバリスタ11の第2の外部電極26は、ヒートシンク53の外部電極56とワイヤ接続される。積層型チップバリスタ11の第2の外部電極25,26は、ヒートシンク53の外部電極55,56を介して、外部回路等に電気的に接続される。このように、発光装置LE1をヒートシンク53に設置することによって、発光装置LE1の半導体発光素子1で発生した熱を、積層型チップバリスタ11を介してヒートシンク53に放散することができる。   The light emitting device LE1 is preferably installed on the heat sink 53 as shown in FIG. FIG. 9A is a schematic top view showing a state in which the light emitting device according to the first embodiment is installed. FIG. 9B is a diagram for explaining a cross-sectional configuration along the line IX-IX in FIG. The heat sink 53 has a recess. The recessed chip varistor 11 is accommodated in the recess. The heat sink 53 has external electrodes 55 and 56. The second external electrode 25 of the multilayer chip varistor 11 accommodated in the recess is connected to the external electrode 55 of the heat sink 53 by wire. The second external electrode 26 of the multilayer chip varistor 11 is wire-connected to the external electrode 56 of the heat sink 53. The second external electrodes 25 and 26 of the multilayer chip varistor 11 are electrically connected to an external circuit or the like via the external electrodes 55 and 56 of the heat sink 53. Thus, by installing the light emitting device LE1 on the heat sink 53, the heat generated in the semiconductor light emitting element 1 of the light emitting device LE1 can be dissipated to the heat sink 53 via the multilayer chip varistor 11.

(第2実施形態)   (Second Embodiment)

図10を参照して、第2実施形態に係る発光装置LE2の構成を説明する。図10は、第2実施形態に係る発光装置の断面構成を説明するための図である。第2実施形態に係る発光装置LE2は、反射層の位置、積層型チップバリスタの構成、及び発光素子の構成に関して第1実施形態に係る発光装置LE1と相違する。   With reference to FIG. 10, the structure of light-emitting device LE2 which concerns on 2nd Embodiment is demonstrated. FIG. 10 is a diagram for explaining a cross-sectional configuration of the light emitting device according to the second embodiment. The light emitting device LE2 according to the second embodiment is different from the light emitting device LE1 according to the first embodiment with respect to the position of the reflective layer, the configuration of the multilayer chip varistor, and the configuration of the light emitting element.

発光装置LE2は、図10に示されるように、半導体発光素子60と、積層型チップバリスタ70とを備えている。半導体発光素子60は、積層型チップバリスタ70上にワイヤボンディングされている。   As shown in FIG. 10, the light emitting device LE2 includes a semiconductor light emitting element 60 and a multilayer chip varistor 70. The semiconductor light emitting device 60 is wire bonded on the multilayer chip varistor 70.

積層型チップバリスタ11は、バリスタ素体21と、当該バリスタ素体21にそれぞれ形成される第1の外部電極22,23と、第1の外部電極22,23上にそれぞれ形成される第2の外部電極25〜28とを備えている。   The multilayer chip varistor 11 includes a varistor element body 21, first external electrodes 22 and 23 formed on the varistor element body 21, and a second external electrode formed on the first external electrodes 22 and 23, respectively. External electrodes 25 to 28 are provided.

また、積層型チップバリスタ11は、絶縁層71を備えている。絶縁層71は、第1実施形態に係る発光装置LE1における反射層24と同一の形状を呈している。すなわち、絶縁層71は、積層型チップバリスタ11が備えるバリスタ素体21の主面21aを覆うように形成されている。絶縁層71は、第1の外部電極22,23の上に形成されており、第2の外部電極25〜28が配置される部分に開口部71a〜71dを有している。開口部71a,71cからは第1の外部電極22が露出しており、開口部71b,71dからは第1の外部電極23が露出している。開口部71a〜71dは第2の外部電極25〜28よりも大きく、この開口部71a〜71dの中央に第2の外部電極25〜28が配置されることとなる。   The multilayer chip varistor 11 includes an insulating layer 71. The insulating layer 71 has the same shape as the reflective layer 24 in the light emitting device LE1 according to the first embodiment. That is, the insulating layer 71 is formed so as to cover the main surface 21 a of the varistor element body 21 provided in the multilayer chip varistor 11. The insulating layer 71 is formed on the first external electrodes 22 and 23, and has openings 71a to 71d at portions where the second external electrodes 25 to 28 are disposed. The first external electrode 22 is exposed from the openings 71a and 71c, and the first external electrode 23 is exposed from the openings 71b and 71d. The openings 71a to 71d are larger than the second external electrodes 25 to 28, and the second external electrodes 25 to 28 are disposed at the centers of the openings 71a to 71d.

半導体発光素子60は、第1実施形態に係る発光装置LE1の半導体発光素子1と同様に、基板2と、当該基板2上に形成された層構造体LSとを備えている。層構造体LSは、積層された、n型(第1導電型)の半導体領域3と、発光層4と、p型(第2導電型)の半導体領域5とを含んでいる。n型の半導体領域3上には、カソード電極6が形成されている。p型の半導体領域5上には、アノード電極7が形成されている。   The semiconductor light emitting element 60 includes a substrate 2 and a layer structure LS formed on the substrate 2 in the same manner as the semiconductor light emitting element 1 of the light emitting device LE1 according to the first embodiment. The layer structure LS includes an n-type (first conductivity type) semiconductor region 3, a light emitting layer 4, and a p-type (second conductivity type) semiconductor region 5 which are stacked. A cathode electrode 6 is formed on the n-type semiconductor region 3. An anode electrode 7 is formed on the p-type semiconductor region 5.

半導体発光素子60は、バンプ電極7,8を備えていない点で第1実施形態に係る発光装置LE1の半導体発光素子1と相違する。バンプ電極を備えない半導体発光素子60は、一対の第2の外部電極27,28とワイヤボンディングされている。すなわち、カソード電極6は、ワイヤ65を介して第2の外部電極28に電気的且つ物理的に接続されている。アノード電極7は、ワイヤ66を介して第2の外部電極27に電気的且つ物理的に接続されている。   The semiconductor light emitting device 60 is different from the semiconductor light emitting device 1 of the light emitting device LE1 according to the first embodiment in that the semiconductor light emitting device 60 does not include the bump electrodes 7 and 8. The semiconductor light emitting device 60 that does not include the bump electrodes is wire-bonded to the pair of second external electrodes 27 and 28. That is, the cathode electrode 6 is electrically and physically connected to the second external electrode 28 via the wire 65. The anode electrode 7 is electrically and physically connected to the second external electrode 27 via a wire 66.

半導体発光素子60の積層型チップバリスタ70と対向する面60aには、反射層61が形成されている。反射層61は、半導体発光素子60の主面60aを覆うように形成されている。反射層61は、ガラスとAlとを含んでいる。金属酸化物であるAlを含む反射層61は、半導体発光素子60が発生した光を、効率よく反射することができる。また、電気絶縁性にも優れている。更に、金属を含む場合と比べて、熱膨張係数が小さいため、ひずみや割れ、クラックが生じにくい。そのため、反射層61を設けることによって、半導体発光素子60を保護することもできる。Alはガラス中での分散性がよいため、Alが均一に分散された反射層61を容易に形成することができる。 A reflective layer 61 is formed on the surface 60 a of the semiconductor light emitting device 60 that faces the multilayer chip varistor 70. The reflective layer 61 is formed so as to cover the main surface 60 a of the semiconductor light emitting element 60. The reflective layer 61 includes glass and Al 2 O 3 . The reflective layer 61 containing Al 2 O 3 that is a metal oxide can efficiently reflect the light generated by the semiconductor light emitting element 60. Moreover, it is excellent also in electrical insulation. Furthermore, since the thermal expansion coefficient is small as compared with the case containing metal, distortion, cracking, and cracking are less likely to occur. Therefore, the semiconductor light emitting element 60 can be protected by providing the reflective layer 61. Since Al 2 O 3 has good dispersibility in glass, the reflective layer 61 in which Al 2 O 3 is uniformly dispersed can be easily formed.

以上のような構成を有する本第2実施形態によれば、反射層61は半導体発光素子60の積層型チップバリスタ70と対向する面、すなわち半導体発光素子60の主面60a上に形成される。これにより、半導体発光素子60が発光した光のうち、積層型チップバリスタ70の方へ進む光を反射層61で確実に反射することができる。よって、高い発光効率を得ることができる。また、反射層61をこのような位置に形成することにより、半導体発光素子60の周囲に反射層61を設置するための特別なスペースが不要となる。したがって、発光装置LE2の小型化が可能となる。更に、反射層61と半導体発光素子60とは一体的に成形されるので、発光装置LE2の組立を容易に行うことができる。   According to the second embodiment having the above-described configuration, the reflective layer 61 is formed on the surface of the semiconductor light emitting device 60 facing the stacked chip varistor 70, that is, on the main surface 60 a of the semiconductor light emitting device 60. As a result, the light traveling toward the multilayer chip varistor 70 out of the light emitted from the semiconductor light emitting element 60 can be reliably reflected by the reflective layer 61. Therefore, high luminous efficiency can be obtained. In addition, by forming the reflective layer 61 at such a position, a special space for installing the reflective layer 61 around the semiconductor light emitting element 60 becomes unnecessary. Therefore, the light emitting device LE2 can be downsized. Furthermore, since the reflective layer 61 and the semiconductor light emitting element 60 are integrally formed, the light emitting device LE2 can be easily assembled.

また、本第2実施形態において、半導体発光素子60は積層型チップバリスタ70上にワイヤボンディングされている。この場合、半導体発光素子60を支持するための支持部材などを設けることなく、半導体発光素子60を積層型チップバリスタ70上に配置することができるので、発光装置LE2を更に小型にすることができる。   In the second embodiment, the semiconductor light emitting device 60 is wire-bonded on the multilayer chip varistor 70. In this case, since the semiconductor light emitting element 60 can be disposed on the multilayer chip varistor 70 without providing a support member for supporting the semiconductor light emitting element 60, the light emitting device LE2 can be further reduced in size. .

以上、本発明の好適な実施形態について説明してきたが、本発明は必ずしもこれらの実施形態に限定されるものではない。   The preferred embodiments of the present invention have been described above, but the present invention is not necessarily limited to these embodiments.

たとえば、上記実施形態では、バリスタ素体21は複数の内部電極31,41を有しているが、これに限られない。例えば、第1の内部電極31及び第2の内部電極41をそれぞれ一つずつ有するとしてもよい。   For example, in the above-described embodiment, the varistor element body 21 includes the plurality of internal electrodes 31 and 41, but is not limited thereto. For example, one each of the first internal electrode 31 and the second internal electrode 41 may be provided.

また、半導体発光素子1,60としてGaN系の半導体LEDを用いているが、これに限られない。半導体発光素子1,60として、例えば、GaN系以外の窒化物系半導体LED(例えば、InGaNAs系の半導体LED等)や窒化物系以外の化合物半導体LEDやレーザーダイオード(LD:Laser Diode)を用いてもよい。積層型チップバリスタ11,70の構成も、上記実施形態のものに限られない。   Moreover, although the GaN-type semiconductor LED is used as the semiconductor light emitting elements 1 and 60, it is not limited to this. As the semiconductor light emitting devices 1 and 60, for example, a nitride semiconductor LED other than a GaN-based semiconductor (for example, an InGaNAs semiconductor LED), a compound semiconductor LED other than a nitride-based semiconductor, or a laser diode (LD) is used. Also good. The configuration of the multilayer chip varistors 11 and 70 is not limited to that of the above embodiment.

第1実施形態に係る発光装置LE1を示す概略上面図である。1 is a schematic top view showing a light emitting device LE1 according to a first embodiment. 第1実施形態に係る発光装置LE1に含まれる積層型チップバリスタを示す概略斜視図である。1 is a schematic perspective view showing a multilayer chip varistor included in a light emitting device LE1 according to a first embodiment. 第1実施形態に係る積層型チップバリスタを示す概略上面図である。1 is a schematic top view showing a multilayer chip varistor according to a first embodiment. 図3におけるIV−IV線に沿った断面構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the cross-sectional structure along the IV-IV line in FIG. 図4におけるV−V線に沿った断面構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the cross-sectional structure along the VV line | wire in FIG. 第1実施形態に係る積層型チップバリスタ及び反射層の製造過程を説明するためのフロー図である。It is a flowchart for demonstrating the manufacturing process of the multilayer chip varistor and reflective layer which concern on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る積層型チップバリスタ及び反射層の製造過程を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing process of the multilayer chip varistor and reflective layer which concern on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る積層型チップバリスタ及び反射層の製造過程を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing process of the multilayer chip varistor and reflective layer which concern on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る発光装置を設置した状態を示す図である。It is a figure which shows the state which installed the light-emitting device which concerns on 1st Embodiment. 第2実施形態に係る発光装置の断面構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the cross-sectional structure of the light-emitting device which concerns on 2nd Embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

LE1,LE2・・・発光装置、1,60・・・半導体発光素子、11,70・・・積層型チップバリスタ、21・・・バリスタ素体、22,23・・・第1の外部電極、25〜28・・・第2の外部電極、24,61・・・反射層、31,41・・・内部電極。   LE1, LE2 ... light emitting device, 1,60 ... semiconductor light emitting element, 11,70 ... multilayer chip varistor, 21 ... varistor element body, 22,23 ... first external electrode, 25-28 ... 2nd external electrode, 24, 61 ... reflective layer, 31, 41 ... internal electrode.

Claims (14)

バリスタ層と、当該バリスタ層を挟むように配置される複数の内部電極とを有する積層体と、前記積層体の外表面に形成されると共に、前記複数の内部電極のうち対応する内部電極にそれぞれ接続される複数の外部電極と、を有する積層型チップバリスタと、
前記積層型チップバリスタ上に配され、当該積層型チップバリスタに並列接続されるように前記複数の外部電極に接続された半導体発光素子と、
前記積層型チップバリスタと前記半導体発光素子との間に配されると共に、前記半導体発光素子が発生した光を反射する反射層と、
を備えることを特徴とする発光装置。
A multilayer body having a varistor layer and a plurality of internal electrodes arranged so as to sandwich the varistor layer, and formed on the outer surface of the multilayer body, and corresponding internal electrodes among the plurality of internal electrodes, respectively. A multilayer chip varistor having a plurality of external electrodes to be connected;
A semiconductor light emitting device disposed on the multilayer chip varistor and connected to the plurality of external electrodes so as to be connected in parallel to the multilayer chip varistor;
A reflective layer disposed between the multilayer chip varistor and the semiconductor light emitting device and reflecting light generated by the semiconductor light emitting device;
A light emitting device comprising:
前記反射層は、ガラス及び金属を含むことを特徴とする請求項1に記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 1, wherein the reflective layer includes glass and metal. 前記反射層は、樹脂及び金属を含むことを特徴とする請求項1に記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 1, wherein the reflective layer includes a resin and a metal. 前記反射層は、ガラス及び金属酸化物を含むことを特徴とする請求項1に記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 1, wherein the reflective layer includes glass and a metal oxide. 前記反射層は、樹脂及び金属酸化物を含むことを特徴とする請求項1に記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 1, wherein the reflective layer includes a resin and a metal oxide. 前記反射層は、ガラスと金属からなる粉末とを含み、前記金属からなる粉末は金属酸化物により被覆されていることを特徴とする請求項1に記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 1, wherein the reflective layer includes glass and metal powder, and the metal powder is coated with a metal oxide. 前記反射層は、樹脂と金属からなる粉末とを含み、前記金属からなる粉末は金属酸化物により被覆されていることを特徴とする請求項1に記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 1, wherein the reflective layer includes a resin and a metal powder, and the metal powder is coated with a metal oxide. 前記反射層は、金属からなる薄膜層を有することを特徴とする請求項1に記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 1, wherein the reflective layer includes a thin film layer made of a metal. 前記反射層は、前記金属としてAg、Al、Ti、Niのいずれか少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項2、3、6、7、及び8のいずれか一項に記載の発光装置。   9. The light emitting device according to claim 2, wherein the reflective layer includes at least one of Ag, Al, Ti, and Ni as the metal. . 前記反射層は、前記樹脂としてシリコーン樹脂、ポリテトラフルオロエチレン、ポリエチレンテレフタレート、及びキシレン樹脂のうち少なくともいずれか一つを含むことを特徴とする請求項3、5、及び7のいずれか一項に記載の発光装置。   The reflective layer includes at least one of silicone resin, polytetrafluoroethylene, polyethylene terephthalate, and xylene resin as the resin, according to any one of claims 3, 5, and 7. The light-emitting device of description. 前記反射層は、前記金属酸化物としてAl、TiO、SiO、及びZrOのうち少なくともいずれか一つを含むことを特徴とする請求項4、5、6、及び7のいずれか一項に記載の発光装置。 The reflective layer includes at least one of Al 2 O 3 , TiO 2 , SiO 2 , and ZrO 2 as the metal oxide. A light-emitting device according to claim 1. 前記反射層は、前記積層型チップバリスタの前記半導体発光素子と対向する面に形成されていることを特徴とする請求項1〜11のいずれか一項に記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 1, wherein the reflective layer is formed on a surface of the multilayer chip varistor facing the semiconductor light emitting element. 前記反射層は、前記半導体発光素子の前記積層型チップバリスタと対向する面に形成されることを特徴とする請求項1〜11のいずれか一項に記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 1, wherein the reflective layer is formed on a surface of the semiconductor light emitting element that faces the stacked chip varistor. 前記半導体発光素子は、前記積層型チップバリスタ上にフリップチップボンディング又はワイヤボンディングされることを特徴とする請求項1〜13のいずれか一項に記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 1, wherein the semiconductor light emitting element is flip chip bonded or wire bonded on the multilayer chip varistor.
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