JP2007102121A - 像変換装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】高効率でビーム形状の変換が可能な像変換装置を提供することを目的とする。
【解決手段】像変換装置1は、光ビームを出射する複数の発光点が、各光ビームの光軸方向と直交するX軸方向に沿って1列に配置された半導体レーザアレイ2と、半導体レーザアレイ2の各発光点から出射された各光ビームを、Y軸方向に屈折させて、各光ビームを平行光にすると共に、光軸方向に対してY方向に段階的に角度を付けて放射するシリンドリカルレンズ3と、シリンドリカルレンズ3から放射された光ビームの放射角度に応じた角度で傾斜した複数の反射面6a〜6fを有し、シリンドリカルレンズ3から放射された各光ビームを反射面6a〜6fで反射して、各ビームを平行化してY軸方向に沿って配列させる像変換ミラーアレイ4を備える。
【選択図】 図1
【解決手段】像変換装置1は、光ビームを出射する複数の発光点が、各光ビームの光軸方向と直交するX軸方向に沿って1列に配置された半導体レーザアレイ2と、半導体レーザアレイ2の各発光点から出射された各光ビームを、Y軸方向に屈折させて、各光ビームを平行光にすると共に、光軸方向に対してY方向に段階的に角度を付けて放射するシリンドリカルレンズ3と、シリンドリカルレンズ3から放射された光ビームの放射角度に応じた角度で傾斜した複数の反射面6a〜6fを有し、シリンドリカルレンズ3から放射された各光ビームを反射面6a〜6fで反射して、各ビームを平行化してY軸方向に沿って配列させる像変換ミラーアレイ4を備える。
【選択図】 図1
Description
本発明は、1次元方向に複数の発光点が並ぶ発光素子から出射された光を、等方的な形状に整形する像変換装置に関する。詳しくは、1次元方向に長い光分布を持つ光ビームを、屈折と1回の反射を利用して等方的なビーム形状に変換することで、高効率な像変換を行えるようにしたものである。
現在、数十W程度の光出力を持つ高出力の半導体レーザは、固体レーザの励起やプラスチックの直接加工等のアプリケーションとして注目されている。半導体レーザがこのような用途に用いられる場合、高エネルギー密度及び等方的なビーム形状が求められる。
また、半導体レーザがファイバレーザの励起光源に用いられる場合は、半導体レーザから放出される光が光ファイバに結合する構成が求められる。
しかし、一般的な高出力半導体レーザは、レーザアレイやバーレーザ等と称されて、発光部分(エミッタ)を1次元方向に並べた構造をしているため、発光形状が等方的ではなく、発光部分が並ぶ方向(長手方向)に10mm程度、半導体レーザの結晶成長方向に数μm程度という横長の発光形状を持つ。
そこで、レーザアレイから出射される横長のビーム形状を、等方化するための像変換システムが提案されている。
例えば、レンズによる屈折や反射を3回行ってビーム形状を90度回転させる方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
また、階段状ミラーを利用して光の反射を2回行い、ビーム形状を90度回転させる方法が提案されている(例えば、特許文献2参照)。
しかし、従来の像変換システムでは、レンズによる複雑な像変換や、多数回の反射を利用した像変換を行っているので、像変換に伴う光強度の損失が大きく、高効率にビーム形状を等方化できないという問題があった。
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、高効率でビーム形状の変換が可能な像変換装置を提供することを目的とする。
上述した課題を解決するため、本発明に係る像変換装置は、光ビームを出射する複数の発光点が、各光ビームの光軸方向と直交する第1の方向に沿って1列に配置された発光素子と、発光素子の各発光点から出射された各光ビームを、屈折または回折によって第1の方向と直交する第2の方向に屈折させて、光軸方向に対して段階的に角度を付けて放射する第1の像変換手段と、第1の像変換手段から放射された光ビームの放射角度に応じた角度で傾斜した複数の反射面が、各反射面での光ビームの反射方向を第2の方向に沿って並列される向きとして配置され、第1の像変換手段から放射された各光ビームを反射面で反射して、各ビームを平行化して第2の方向に沿って配列させる第2の像変換手段とを備えたことを特徴とする。
本発明の像変換装置では、発光素子の各発光点から出射されることで、第1の方向に並列していた光ビームは、第1の像変換手段で屈折し、第2の像変換手段で反射することで、第2の方向に沿って配列されて、等方的なビーム形状を有するようになる。
本発明の像変換装置によれば、ある軸方向に長い光分布を持つ光源から出射される光を、屈折と1回の反射を利用して等方的なビーム形状に変換することができる。これにより、像変換に伴う光強度の損失を抑えて、高効率な像変換が可能となる。
従って、等方的なビーム形状が要求されるアプリケーションに適用して、結合対象の光素子に対して光強度の損失を抑えて、発光素子から出射された光を結合させることができる。
以下、図面を参照して本発明の像変換装置の実施の形態について説明する。
<本実施の形態の像変換装置の構成例>
図1は本実施の形態の像変換装置の一例を示す斜視図、図2は本実施の形態の像変換装置の一例を示す構成図で、図2(a)は図1に示す像変換装置のx−z平面図、図2(b)は図1のy−z平面図、図2(c)は図1のx−y平面図である。
図1は本実施の形態の像変換装置の一例を示す斜視図、図2は本実施の形態の像変換装置の一例を示す構成図で、図2(a)は図1に示す像変換装置のx−z平面図、図2(b)は図1のy−z平面図、図2(c)は図1のx−y平面図である。
本実施の形態の像変換装置1は、半導体レーザアレイ2と、シリンドリカルレンズ3と、像変換ミラーアレイ4を備える。
図3は半導体レーザアレイ2の一例を示す構成図である。半導体レーザアレイ2は発光素子の一例で、光ビームを出射する複数の発光点(エミッタ)5a〜5fを備える。各発光点5a〜5fは、光ビームの光軸方向(Z軸)と直交した第1の方向であるX軸方向に沿って1列に並んで形成される。なお、本実施の形態では、発光点5の数は一例として6個とする。
半導体レーザアレイ2は、端面発光型の半導体レーザであり、各発光点5a〜5fより出射される光ビームは、X軸方向の拡がり角より、X軸と直交した第2の方向であるY軸方向の拡がり角の方が広い。なお、発光素子としては、1次元方向に長い構成であれば、半導体レーザアレイに限るものではない。
図4は半導体レーザアレイ2とシリンドリカルレンズ3の配列の一例を示す構成図である。シリンドリカルレンズ3は第1の像変換手段の一例で、半導体レーザアレイ2の発光点5a〜5fの並ぶ方向に沿ってX軸方向に延在して、発光点5a〜5fに対向して配置される。
シリンドリカルレンズ3は、Y軸方向に所定の曲率を持ち、各発光点5a〜5fから出射され、Y軸方向に所定の拡がり角で発散する光ビームを屈折させて平行光にする。すなわち、端面発光型の半導体レーザでは、Y軸方向の拡がり角は半角で20〜30°程度であるが、この拡がり角を数mrad程度にする。
また、シリンドリカルレンズ3は、半導体レーザアレイ2の各発光点5a〜5fから出射される光ビームの光軸方向に沿ったZ軸を回転中心に傾斜している。ここで、シリンドリカルレンズ3の回転中心と、半導体レーザアレイ2の並列した発光点5a〜5fの中心位置が略同軸上に配置されるように、半導体レーザアレイ2とシリンドリカルレンズ3が対向配置される。
これにより、半導体レーザアレイ2の各発光点5a〜5fから出射される光ビームは、シリンドリカルレンズ3においてY軸方向の中心から離れた位置を透過する。更に、シリンドリカルレンズ3を透過する光ビームと、シリンドリカルレンズ3のY軸方向における中心との距離は、半導体レーザアレイ2において、並列方向の端部に位置する発光点5から出射される光ビームほど離れている。
よって、半導体レーザアレイ2の各発光点5a〜5fから出射される光ビームは、シリンドリカルレンズ3のY軸方向における中心からの距離に応じて、Y軸方向に所定の角度で屈折する。
例えば、最端部に位置する発光点5aと発光点5fとの距離がWo(mm)の半導体レーザアレイ2を用いると共に、焦点距離f(mm)のシリンドリカルレンズ3を用いた場合、シリンドリカルレンズ3の傾斜角度をθzとすると、最端部の発光点5a,5fから出射される光ビームのZ軸となす放射角度α1は、以下の(1)式で表される。
これにより、半導体レーザアレイ2の各発光点5a〜5fから出射され、シリンドリカルレンズ3を透過した光ビームは、Z軸方向の任意の位置zにおけるx−y面では、X軸に対して所定の傾斜角度βで傾斜した直線上に配列される。
ここで、シリンドリカルレンズ3は、半導体レーザアレイ2の各発光点5a〜5fから出射された光ビームのX軸方向の成分に対しては、光路中に平板ガラスが存在することと略同等であり、各光ビームのX軸方向の拡がり角は変化せず、また、各ビームはZ軸に略平行に伝播される。
なお、本実施の形態では、第1の像変換手段としてシリンドリカルレンズ3を用いたが、分布屈折率(GRIN:GradedIndex)レンズでもよい。また、回折素子等、光の発散角に変化を与えることができる光学素子であればよい。
図5は像変換ミラーアレイ4の一例を示す3面図で、図5(a)は像変換ミラーアレイ4のx−z平面図、図5(b)はx−y平面図、図5(c)はy−z平面図である。
像変換ミラーアレイ4は第2の像変換手段の一例で、例えば、半導体レーザアレイ2から出射される光ビームの数に合わせて複数の反射面6a〜6fを備える。なお、本実施の形態では、半導体レーザアレイ2において光ビームを出射する発光点5a〜5fの数と合わせて、反射面6の数は6面とする。
像変換ミラーアレイ4の各反射面6a〜6fは、半導体レーザアレイ2の各発光点5a〜5fから出射され、シリンドリカルレンズ3を透過した光ビームの光路中に位置するように、Y軸方向の高さを段階的に異ならせ、かつ、Z軸方向の任意の位置zにおけるx−y面上に配置される。
すなわち、半導体レーザアレイ2の発光点5a〜5fから出射され、シリンドリカルレンズ3を透過した各光ビームが、Z軸方向の任意の位置zにおけるx−y面で、上述したようにX軸に対して所定の傾斜角度βで傾斜した直線上に配列される場合、各反射面6a〜6fは、y=tanβ×xで特定される直線上に配置される。
これにより、半導体レーザアレイ2の発光点5aから出射される光ビームに、像変換ミラーアレイ4の反射面6aが対応する。同様に、発光点5bから出射される光ビームに反射面6bが対応し、発光点5cから出射される光ビームに反射面6cが対応する。また、発光点5dから出射される光ビームに反射面6dが対応し、発光点5eから出射される光ビームに反射面6eが対応し、発光点5fから出射される光ビームに反射面6fが対応する。
また、像変換ミラーアレイ4の各反射面6a〜6fは、それぞれ同じ角度でY軸回転しており、各反射面6a〜6fの回転角度γは、本実施の形態では45°に設定されている。
これにより、半導体レーザアレイ2の発光点5a〜5fから出射され、シリンドリカルレンズ3を透過した各光ビームが、対応する反射面6a〜6fで反射することで、光ビームの伝播方向が、Z軸に沿った方向からX軸に沿った方向となる。
更に、像変換ミラーアレイ4の各反射面6a〜6fは、反射面6a〜6fに入射する各光ビームのZ軸に対するY方向の放射角度αnに応じた傾斜角度で、段階的に角度を異ならせて傾斜させてある。
各反射面6a〜6fの傾斜角度はαn/2であり、Z軸に対するY方向の放射角度αnで伝播される光ビームが、対応する反射面6a〜6fで反射することで、各光ビームはX軸に対して平行となって、X軸に沿った方向に伝播される。
<本実施の形態の像変換装置の動作例>
次に、各図を参照して、上述した構成の本実施の形態の像変換装置1の動作の一例について説明する。
次に、各図を参照して、上述した構成の本実施の形態の像変換装置1の動作の一例について説明する。
半導体レーザアレイ2の各発光点5a〜5fから出射した光ビームは、シリンドリカルレンズ3に入射する。シリンドリカルレンズ3は、Y軸方向に所定の拡がり角で発散する各光ビームを屈折させて平行光にする。
また、シリンドリカルレンズ3は、半導体レーザアレイ2から出射される光ビームの光軸方向であるZ軸を回転中心に所定の傾斜角度θzで傾斜させてあるので、シリンドリカルレンズ3を透過する光ビームは、シリンドリカルレンズ3のY軸方向における中心からの距離に応じて、Y軸方向に所定の角度で屈折する。
図6はシリンドリカルレンズ3を透過した光ビームの配列及び光路の概要を示す説明図で、図6(a)はy−z面における光ビームの光路を示し、図6(b)はZ軸方向の任意の位置zにおけるx−y面での光ビームの配列を示す。
半導体レーザアレイ2の発光点5a〜5fから出射される各光ビームB1〜B6は、シリンドリカルレンズ3を透過することで、図6(a)に示すように、Z軸に対してY方向にそれぞれ所定の放射角度α1〜α6で傾斜して放射され、平行光に変換された各光ビームB1〜B6は、全体としてY軸方向に拡がりながら伝播される。
これにより、シリンドリカルレンズ3を透過した各光ビームB1〜B6は、Z軸方向の任意の位置zにおけるx−y面では、図6(b)に示すように、X軸に対して所定の傾斜角度βで傾斜した直線上に配列される。
シリンドリカルレンズ3を透過した各光ビームB1〜B6は、像変換ミラーアレイ4の対応する反射面6a〜6fで反射する。すなわち、像変換ミラーアレイ4は、Z軸方向の位置zに配置され、各反射面6a〜6fは、位置zを通るx−y面上の光ビームB1〜B6の配列に合わせて、上述したようにy=tanβ×xで特定される直線上に配置される。
これにより、各反射面6a〜6fは、シリンドリカルレンズ3を透過した光ビームB1〜B6の光路中に位置し、半導体レーザアレイ2の発光点5aから出射した光ビームB1は、像変換ミラーアレイ4の反射面6aに入射して反射する。
同様に、半導体レーザアレイ2の発光点5bから出射した光ビームB2は、像変換ミラーアレイ4の反射面6bに入射して反射し、半導体レーザアレイ2の発光点5cから出射した光ビームB3は、像変換ミラーアレイ4の反射面6cに入射して反射する。
更に、半導体レーザアレイ2の発光点5dから出射した光ビームB4は、像変換ミラーアレイ4の反射面6dに入射して反射し、半導体レーザアレイ2の発光点5eから出射した光ビームB5は、像変換ミラーアレイ4の反射面6eに入射して反射し、半導体レーザアレイ2の発光点5fから出射した光ビームB6は、像変換ミラーアレイ4の反射面6fに入射して反射する。
図7は像変換ミラーアレイ4で反射した光ビームの配列及び光路の概要を示す説明図で、図7(a)x−y面における光ビームの光路、図7(b)はX軸方向の任意の位置xにおけるy−z面での光ビームの配列を示す。
シリンドリカルレンズ3を透過した各光ビームB1〜B6は、x−z面においては、図2(a)に示すように、半導体レーザアレイ2の各発光点5a〜5fのピッチに応じて、Z軸に対して略平行にZ軸に沿って伝播される。
像変換ミラーアレイ4の各反射面6a〜6fは、Y軸の回転角度γが、上述したように本実施の形態では45°に設定されている。これにより、シリンドリカルレンズ3を透過した各光ビームB1〜B6が、対応する反射面6a〜6fで反射することで、光ビームB1〜B6の伝播方向が、図2(a)に示すようにZ軸に沿った方向からX軸に沿った方向となる。
また、像変換ミラーアレイ4の各反射面6a〜6fは、反射面6a〜6fに入射する各光ビームB1〜B6のZ軸に対するY方向の放射角度αn(n=1〜6)に応じた傾斜角度αn/2で、段階的に角度を異ならせて傾斜している。
これにより、放射角度αnで伝播される光ビームB1〜B6が、対応する反射面6a〜6fで反射することで、図7(a)に示すように、各光ビームB1〜B6はX軸に対して平行となって、X軸に沿った方向に伝播される。
従って、半導体レーザアレイ2の各発光点5a〜5fから出射されることで、X軸方向に並列していた光ビームB1〜B6は、シリンドリカルレンズ3で屈折し、像変換ミラーアレイ4で反射することで、図7(b)に示すように、Y軸方向に沿って配列されて、本実施の形態では、光の伝播方向に直交したy−z面内において等方的なビーム形状を有するようになる。
そして、本実施の形態では、Y軸方向の発散角を平行化するシリンドリカルレンズ3による光の屈折と、像変換ミラーアレイ4による1回の反射を利用してビーム形状を等方化するので、高効率な像変換が可能となる。
図8は本実施の形態の像変換装置1を備えた光モジュールの一例を示す構成図である。本実施の形態の像変換装置1と、像変換ミラーアレイ4の各反射面6a〜6bで反射した光ビームを集光するレンズ8を備えて光モジュール11を構成することで、半導体レーザアレイ2から出射された光ビームを、光強度の損失を抑えて固体レーザや光ファイバ等に結合させることができる。
これにより、本実施の形態の光モジュール11を用いれば、効率良く固体レーザの励起やファイバレーザの励起を行うことが可能である。なお、図8ではレンズを1枚で表記しているが、一般的なレンズを複数枚使用する構成としてもよい。
<本実施の形態の像変換装置の具体例及び変形例>
本実施の形態の像変換装置1を構成する像変換ミラーアレイ4は、高効率な像変換を実現するために、高反射率を有する材料及び高反射率を有するような製法で作製するとよい。具体的な例としては、ガラス基板に鏡面加工を施し、この鏡面に、半導体レーザアレイ2から出射される光の波長に対して高い反射率を持つ金属や誘電体多層膜を成膜させる方法や、高い反射率を持つ金属を直接鏡面加工する方法等が挙げられる。
本実施の形態の像変換装置1を構成する像変換ミラーアレイ4は、高効率な像変換を実現するために、高反射率を有する材料及び高反射率を有するような製法で作製するとよい。具体的な例としては、ガラス基板に鏡面加工を施し、この鏡面に、半導体レーザアレイ2から出射される光の波長に対して高い反射率を持つ金属や誘電体多層膜を成膜させる方法や、高い反射率を持つ金属を直接鏡面加工する方法等が挙げられる。
次に、本実施の形態の像変換装置1の各部の大きさについて説明する。半導体レーザアレイ2は、長手方向に10mm程度の長さを持つものが一般的であるが、本発明では、半導体レーザアレイ2の長さに制限はない。
また、発光点5の数についても、本実施の形態では6個で説明したが、6個以上でも6個以下でもよい。
更に、像変換ミラーアレイ4における反射面6の数は、発光点5の数に合わせて6面としたが、反射面の数は、反射後の光ビームの集光像の大きさを決定するため、所望の形状を得るための数を選択すればよく、発光点の数と同数でなくてもよい。
像変換装置1の全体の大きさは、半導体レーザアレイ2から出射される光を、像変換ミラーアレイ4で全て反射できることが望ましく、Y軸方向に関しては、シリンドリカルレンズ3を透過した光ビームの放射角度αと、シリンドリカルレンズ3と像変換ミラーアレイ4との距離WDにより決定される。例えば、放射角度αの最大値が10°程度、シリンドリカルレンズ3と像変換ミラーアレイ4との距離WDが15mm程度であれば、Y軸方向の長さは5mm程度となる。
また、X軸方向に関しても、半導体レーザアレイ2から出射される光を、像変換ミラーアレイ4で全て反射できることが望ましく、各反射面6の大きさは、半導体レーザアレイ2の発光点5から出射される光ビームのX軸方向の発散角と、反射面の数によって決定される。
更に、X軸方向の全長は、半導体レーザアレイ2の長手方向の長さと、X軸方向の発散角と、半導体レーザアレイ2と像変換ミラーアレイ4との距離によって決定される。
本発明は、固体レーザやファイバレーザ励起の光源、切削加工等の光源等に適用される。
1・・・像変換装置、2・・・半導体レーザアレイ、3・・・シリンドリカルレンズ、4・・・像変換ミラーアレイ、5a〜5f・・・発光点、6a〜6f・・・反射面
Claims (4)
- 光ビームを出射する複数の発光点が、各光ビームの光軸方向と直交する第1の方向に沿って1列に配置された発光素子と、
前記発光素子の前記各発光点から出射された各光ビームを、屈折または回折によって前記第1の方向と直交する第2の方向に屈折させて、光軸方向に対して段階的に角度を付けて放射する第1の像変換手段と、
前記第1の像変換手段から放射された光ビームの放射角度に応じた角度で傾斜した複数の反射面が、前記各反射面での光ビームの反射方向を前記第2の方向に沿って並列される向きとして配置され、前記第1の像変換手段から放射された前記各光ビームを前記反射面で反射して、前記各ビームを平行化して前記第2の方向に沿って配列させる第2の像変換手段と
を備えたことを特徴とする像変換装置。 - 前記第1の像変換手段は、前記発光素子から出射された光の前記第2の方向における発散角を屈折により変化させるレンズである
ことを特徴とする請求項1記載の像変換装置。 - 前記第2の像変換手段は、前記第1の像変換手段から放射された光ビームの放射角度に応じて、前記反射面が段階的に高さを異ならせて配置される
ことを特徴とする請求項1記載の像変換装置。 - 前記第2の像変換手段の前記各反射面で反射された光ビームを集光するレンズを備えて光モジュールを構成した
ことを特徴とする請求項1記載の像変換装置。
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