JP2007101244A - Inspection device - Google Patents

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Kenji Mizoguchi
健二 溝口
Masaki Hori
正樹 堀
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Omron Corp
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Omron Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inspection device capable of discriminating between a nondefective article and a defective article with high accuracy, by using an order zone waveform or a rotational frequency zone waveform. <P>SOLUTION: This device is equipped with a combination part for correlating a time zone waveform of a sound, vibration or the like generated from an inputted inspection object with rotational frequency information of the inspection object; a waveform conversion part for determining the rotational frequency zone waveform and the order zone waveform, based on the time zone waveform and the rotational frequency information correlated with each other; an order filter for extracting and/or removing one or a plurality of set order components, based on the time zone waveform and the rotational frequency information correlated with each other; a characteristics quantity calculation means for acquiring the rotational frequency zone waveform, the order zone waveform and a waveform outputted from the order filter, and determining the characteristics quantity, based on the acquired information; and a determination part for determining whether the inspection object is a nondefective article, based on the characteristics quantity determined by the characteristic quantity operation means. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

この発明は、入力された検査対象物から発生する音,振動等の波形情報等に基づいて、その検査対象物が良品か否かを判定する検査装置に関するものである。   The present invention relates to an inspection apparatus that determines whether or not an inspection object is a good product based on waveform information such as sound and vibration generated from the input inspection object.

自動車や家電製品などには、モータが組み込まれた回転機器が非常に多く用いられている。例えば自動車を例にとってみると、エンジン,パワーステアリング,パワーシート,ミッションその他の至る所に回転機器が実装されている。また、家電製品は、冷蔵庫,エアコン,洗濯機その他各種の製品がある。係る回転機器が実際に稼働した場合、モータ等の回転に伴って音が発生する。   In automobiles and home appliances, a rotating device incorporating a motor is very often used. For example, taking an automobile as an example, rotating equipment is mounted everywhere in the engine, power steering, power seat, mission and others. Household appliances include refrigerators, air conditioners, washing machines and other various products. When such a rotating device actually operates, a sound is generated along with the rotation of the motor or the like.

係る音は、正常な動作に伴い必然的に発生するものもあれば、不良に伴い発生する音もある。不良に伴う異常音の発生原因は、ベアリングの異常,内部の異常接触,アンバランス,異物混入などがある。例えば、ギヤが1回転するたびに1度の頻度で異常音が発生する原因は、ギヤの欠け,異物のかみ込み,スポット傷,モータ内部の回転部と固定部が回転中の一瞬だけこすれ合うことなどがある。係る不良に伴う異常音は、さらなる故障を発生させるおそれもある。   Some of these sounds are inevitably generated along with normal operations, and other sounds are generated due to defects. Causes of abnormal noise caused by defects include bearing abnormalities, abnormal internal contact, imbalance, and contamination. For example, every time the gear rotates once, the abnormal noise is generated at a frequency of one time. The gear is missing, the foreign object is bitten, the spot is scratched, and the rotating part and the fixed part inside the motor are rubbed for a moment during rotation. There are things. The abnormal sound accompanying such a failure may cause further failure.

人が不快と感じる音は、例えば人間の可聴範囲である20Hzから20kHzの中で様々な音がある。不快と感じる音の周波数の一例としては、例えば約15kHzのものがある。係る15kHzの周波数成分の音が発生している場合、製品の故障ではないが、不快を感じる音が発生する製品は、ユーザから見ると品質が悪いと感じてしまう。よって、係る不快と感じる音も異常音となる。異常音の周波数は、15kHzに限らない。   There are various sounds that humans feel uncomfortable, for example, within a human audible range of 20 Hz to 20 kHz. As an example of the frequency of the uncomfortable sound, there is, for example, about 15 kHz. When the sound having such a frequency component of 15 kHz is generated, it is not a failure of the product, but a product that generates unpleasant sound feels poor in quality when viewed from the user. Therefore, the uncomfortable sound also becomes an abnormal sound. The frequency of abnormal sound is not limited to 15 kHz.

そこで、それら各製品に対する品質保証を目的とし、生産工場においては、検査員による聴覚や触覚などの五感に頼った「官能検査」を行ない、異常音の有無の判断を行なっている。具体的には、検査員が、稼働中の検査対象の製品を耳で聞いたり、手で触って振動を確認したりすることによって行なっている。ここで官能検査とは、人間の感覚器官が感知できる属性を人間の感覚器官そのものによっておこなう検査のことである。   Therefore, for the purpose of quality assurance for each of these products, the production factory performs “sensory inspection” that relies on the five senses such as hearing and tactile sensation by the inspector to determine the presence or absence of abnormal sounds. Specifically, an inspector listens to a product to be inspected in operation with his / her ear or touches it with his / her hand to check vibrations. Here, the sensory test is a test in which an attribute that can be sensed by a human sensory organ is performed by the human sensory organ itself.

係る検査員の五感に頼った官能検査では、熟練した技術を要するばかりでなく、判定結果に個人差や時間による変化などのばらつきが大きい。そこで、係る問題を解決するため、定量的かつ明確な基準による安定した検査を目的とした異音検査システムが開発されている。この異音検査システムは、「官能検査」工程の自動化を目的とした装置であり、製品駆動部の振動や音をセンサで測定し、得られた波形データから特徴量を抽出し、抽出した特徴量の値に基づいて良品か不良品かの判断を行なう。   The sensory test that relies on the five senses of such inspectors not only requires skilled skills but also results in large variations in judgment results such as individual differences and changes with time. Therefore, in order to solve such a problem, an abnormal sound inspection system for the purpose of stable inspection based on a quantitative and clear standard has been developed. This abnormal sound inspection system is an apparatus for the purpose of automating the “sensory inspection” process. It measures the vibration and sound of the product drive unit with a sensor, extracts feature values from the obtained waveform data, and extracts the extracted features. Based on the quantity value, it is determined whether the product is good or defective.

その判断を行なう際に用いられる特徴量の一つとして、ある周波数帯域のパワーがある。上述したとおり、15kHzの音が異常音と判定したい場合、FFTアナライザを用いて周波数解析を行ない、15kHzを含む周波数帯域のパワーが予め設定した閾値を越えている場合には、不良品と判断する。   One of the feature quantities used when making the determination is power in a certain frequency band. As described above, when it is desired to determine that the 15 kHz sound is abnormal sound, frequency analysis is performed using an FFT analyzer, and when the power in the frequency band including 15 kHz exceeds a preset threshold, it is determined as a defective product. .

別の特徴量としては、次数成分のパワーに着目したものもある。これは、故障・異常を生じている場合、検査対象の回転数のn次成分のパワーが大きくなるということがわかっている場合、得られた波形データに対して次数域波形に変換をして目的のn次成分のパワーを取得し、その取得した値が予め設定した閾値を越えている場合には、不良品と判断する。係る次数域波形を利用した異音検査システムは、たとえば特許文献1等に開示されている。
特開平10−82689号公報
Another feature amount is focused on the power of the order component. If it is known that the power of the nth-order component of the rotation speed to be inspected increases when a failure or abnormality occurs, the obtained waveform data is converted into an order-domain waveform. When the power of the target n-order component is acquired and the acquired value exceeds a preset threshold value, it is determined as a defective product. Such an abnormal sound inspection system using an order waveform is disclosed in, for example, Patent Document 1 and the like.
Japanese Patent Laid-Open No. 10-82689

上述したn次成分のパワーに着目して良品と不良品の判別を行なうようにした場合、以下に示す問題を生じる。たとえば、2つの波形データを、それぞれn次成分を抽出する次数フィルタに通過させて得られた波形信号が、図1(a),(b)に示すようになっているとする。図1(a)が良品の波形データであり、図1(b)が不良品の波形データである。各図において、波形データを波線の四角で囲んだブロックに分割して考えてみる。   When discriminating between non-defective products and defective products by paying attention to the power of the n-order component described above, the following problems occur. For example, it is assumed that the waveform signals obtained by passing two waveform data through an order filter that extracts n-order components are as shown in FIGS. FIG. 1A shows the waveform data of the non-defective product, and FIG. 1B shows the waveform data of the defective product. In each figure, consider that waveform data is divided into blocks surrounded by squares of wavy lines.

図1(a),(b)に示す次数フィルタ通過後の2つの波形は、波形を構成する6つのブロックからなる要素は等しく、その順番が異なる。つまり、図1(a)に示す波形は、振幅の大きい波形からなるブロックと、振幅の小さい波形からなるブロックとが交互に出現しているが、図1(b)に示す波形は、振幅の大きい波形からなるブロックが3つ連続して出現し、続いて振幅の小さい波形からなるブロックが3つ連続して出現している。良品か否かの判定アルゴリズムが、このn次成分の波形データから、6ブロック分のパワー(実効値)を求め、そのパワーが閾値を越えた場合に異常と判断する場合、2つの波形データのパワーは等しくなり、両者を分離することはできない。   The two waveforms after passing through the order filter shown in FIGS. 1A and 1B have the same elements and the order of the six blocks constituting the waveforms. That is, in the waveform shown in FIG. 1A, a block made up of a waveform having a large amplitude and a block made up of a waveform having a small amplitude appear alternately, but the waveform shown in FIG. Three blocks having a large waveform appear in succession, followed by three blocks having a waveform having a small amplitude. When the determination algorithm for determining whether or not the product is a non-defective product obtains the power (effective value) for 6 blocks from the waveform data of the n-th order component, and determines that an abnormality occurs when the power exceeds the threshold, the two waveform data The powers are equal and they cannot be separated.

さらに、従来の異音検査システムは、検査対象を等速回転させた状態で取得した波形データに基づいて判断をしていた。従って、たとえば、自動車のエンジン等において、回転を加速した場合や、減速した場合に発生する異常を検出することはできなかった。   Furthermore, the conventional abnormal noise inspection system makes a determination based on waveform data acquired in a state where the inspection object is rotated at a constant speed. Therefore, for example, in a car engine or the like, an abnormality that occurs when the rotation is accelerated or decelerated cannot be detected.

この発明は、次数域波形や回転数域波形を用い、良品と不良品との判別を高精度に行なうことができる検査装置を提供することを目的とする。また、検査対象が回転運動するもの場合、加減速状態でも分析可能にすることを他の目的とする。   It is an object of the present invention to provide an inspection apparatus that can accurately discriminate between a non-defective product and a defective product by using an order frequency waveform or a rotational frequency waveform. Another object of the present invention is to enable analysis even in an acceleration / deceleration state when the object to be inspected rotates.

上述した目的を達成するため、本発明の検査装置は、入力された検査対象物から発生する音,振動等の時間域波形と、前記検査対象物の回転数情報と、を関連付ける結合手段と、その関連付けられた時間域波形と回転数情報に基づいて回転数域波形と次数域波形の少なくとも一方を求める波形変換手段と、前記関連付けられた時間域波形と回転数情報に基づいて、設定された1又は複数の次数成分を抽出及び又は除去する次数フィルタの少なくとも一方と、前記回転数域波形と、次数域波形と、前記次数フィルタから出力される波形の少なくともひとつを取得し、その取得した情報に基づいて特徴量を求める特徴量演算手段と、その特徴量演算手段で求めた特徴量に基づいて前記検査対象物が良品か否かを判定する判定手段と、を備え、前記特徴量演算手段は、少なくとも取得した波形の形状から特徴量を算出する機能を有するように構成した。次数フィルタによるフィルタリング処理をしていない時間域波形は、いったん特徴量演算部で受け取ったものを波形変換手段に渡して波形変換を行なうようにしても良いし、波形変換手段経由で特徴量演算部に入力させるようにしても良い。   In order to achieve the above-described object, the inspection apparatus of the present invention includes a coupling means for associating time domain waveforms such as sound and vibration generated from an input inspection object with rotation speed information of the inspection object. Waveform conversion means for obtaining at least one of a rotational frequency range waveform and an order frequency waveform based on the associated time domain waveform and rotational speed information, and a setting based on the associated time domain waveform and rotational speed information Acquire at least one of an order filter that extracts and / or removes one or more order components, the rotational frequency range waveform, the order frequency waveform, and a waveform output from the order filter, and the acquired information A feature amount calculation means for obtaining a feature amount based on the above, and a determination means for determining whether or not the inspection object is a non-defective product based on the feature amount obtained by the feature amount calculation means, Symptoms amount calculating means, and configured to have a function of calculating a feature amount from the shape of at least the acquired waveform. The time domain waveform that has not been filtered by the order filter may be subjected to waveform conversion by passing the waveform once received by the feature amount calculation unit to the waveform conversion unit, or the feature amount calculation unit via the waveform conversion unit. You may make it input to.

特徴量演算手段は、実施の形態ではフレーム分割部25とフレーム特徴量演算部26と最終特徴量演算部27とから構成される。実施の形態では、フレーム分割を行なうようにしたが、本発明は、フレーム分割を行なうことなく、特徴量を求めるものも含む。   In the embodiment, the feature amount calculating means is composed of a frame dividing unit 25, a frame feature amount calculating unit 26, and a final feature amount calculating unit 27. In the embodiment, the frame division is performed. However, the present invention includes one that obtains the feature amount without performing the frame division.

本発明は、ある注目次数成分に対して閾値処理を行なうのではなく、特徴量演算部が、回転数域波形及び又は次数域波形や、次数フィルタから出力される波形の形状から特徴量を算出するため、より精度の高い判別を行なうことができる。つまり、本発明の検査装置は、特徴量を適宜に設定することで、閾値処理では分離できなかった良品と不良品を識別することができる。   In the present invention, the threshold value processing is not performed for a certain order component, and the feature amount calculation unit calculates the feature amount from the rotational frequency range waveform and / or the order frequency waveform and the shape of the waveform output from the order filter. Therefore, it is possible to make a more accurate determination. In other words, the inspection apparatus of the present invention can distinguish between non-defective products and defective products that cannot be separated by the threshold processing by appropriately setting the feature amount.

前記波形変換手段は、前記回転数情報に基づき、与えられた時間域波形の振幅値を正規化する手段を備えることができる。この正規化は、実施の形態では、入力波形の振幅値を回転数で除算することで求める。本発明では、検査対象物から発生する音や振動などの波形データを計測中に、その検査対象物の回転数が変化した場合でも、回転数情報に基づいて時間域波形の振幅値を正規化しているため、各波形の振幅値は、回転数の変動の影響を受けない。検査装置は、検査対象が加減速状態でも分析が可能で、正確な判定を行える。   The waveform converting means may comprise means for normalizing an amplitude value of a given time domain waveform based on the rotation speed information. In the embodiment, this normalization is obtained by dividing the amplitude value of the input waveform by the number of rotations. The present invention normalizes the amplitude value of the time domain waveform based on the rotation speed information even when the rotation speed of the inspection object changes during measurement of waveform data such as sound and vibration generated from the inspection object. Therefore, the amplitude value of each waveform is not affected by fluctuations in the rotational speed. The inspection apparatus can perform analysis even when the inspection target is in an accelerated / decelerated state, and can perform accurate determination.

前記次数フィルタの出力を、前記波形変換手段を介して前記特徴量演算手段に与えるように構成してもよい。本発明では、次数フィルタの出力に基づいて特徴量を求めることもできるし、次数フィルタから出力される時間域波形を波形変換手段により変換して得られた回転数域波形や次数域波形に基づいて特徴量を求めることもできる。このように、多類類の特徴量を用いることで、検査装置は、より高精度な判定を行なうことができる。   You may comprise so that the output of the said order filter may be given to the said feature-value calculating means through the said waveform conversion means. In the present invention, the feature quantity can be obtained based on the output of the order filter, or based on the rotational frequency domain waveform or the order domain waveform obtained by converting the time domain waveform output from the order filter by the waveform converting means. The feature amount can also be obtained. In this way, the inspection apparatus can perform more accurate determination by using various kinds of feature amounts.

前記回転数情報が関連付けられた時間域波形をフィルタリング処理する周波数フィルタを設け、その周波数フィルタの出力を、前記次数フィルタと、前記波形変換部の少なくとも一方に与えるように構成することもできる。本発明によれば、周波数フィルタによって、不要な周波数成分が除去されたり、必要とされる周波成分を抽出されるため、その後段における各種の演算処理は、不要な情報がカットされたものに基づいて行なわれるため、高精度な判定を行える。   A frequency filter for filtering a time domain waveform associated with the rotation speed information may be provided, and an output of the frequency filter may be provided to at least one of the order filter and the waveform conversion unit. According to the present invention, since unnecessary frequency components are removed or required frequency components are extracted by the frequency filter, various arithmetic processes in the subsequent stages are based on the unnecessary information cut. Therefore, highly accurate determination can be performed.

前記特徴量演算手段は、フレーム単位に分割されていない波形データをフレーム分割するフレーム分割手段と、前記フレーム分割手段でフレーム分割された波形データを、直接あるいは前記波形変換手段を介して与えられたフレーム単位の波形データからフレーム特徴量を求めるフレーム特徴量演算手段と、前記フレーム特徴量演算手段で求めた同一の検査対象物についての複数のフレーム特徴量から、前記判定手段に与える前記特徴量を求める最終特徴量演算手段と、を備えるようにすることができる。本発明では、与えられた波形をフレーム分割し、各フレームごとのフレーム特徴量を求め、同一の検査対象物についての複数のフレーム特徴量から、最終的な特徴量を求めるため、より詳細な分析が行え、従来、良品と不良品が分離できなかったものも判定可能となる。   The feature amount calculating means is provided with a frame dividing means for dividing the waveform data not divided into frames, and the waveform data divided by the frame dividing means directly or via the waveform converting means. The feature amount to be given to the determination means from a frame feature amount calculation means for obtaining a frame feature amount from waveform data in units of frames and a plurality of frame feature amounts for the same inspection object obtained by the frame feature amount calculation means. And a final feature amount calculating means to be obtained. In the present invention, a given waveform is divided into frames, a frame feature amount for each frame is obtained, and a final feature amount is obtained from a plurality of frame feature amounts for the same inspection object. Conventionally, it is possible to determine a product in which a good product and a defective product cannot be separated.

フレーム分割は、回転数域で等間隔になるように分割するようにするとよい。たとえば、検査対象物が1回転するごとに異音を発生するような不良の場合、回転数が変化すると異音の発生タイミングも変化する。この場合、回転数域波形での異音の発生タイミングは一定である。そこで、フレーム分割を回転数域で等間隔になるように分割することで、検査装置は、検査対象が増減速状態でも分析が可能で、正確な判定を行える。   It is preferable to divide the frame so that it is equally spaced in the rotation speed range. For example, in the case of a defect that generates an abnormal noise every time the inspection object rotates once, the generation timing of the abnormal noise also changes when the rotation speed changes. In this case, the generation timing of abnormal noise in the rotation speed waveform is constant. Therefore, by dividing the frame into equal intervals in the rotation speed range, the inspection apparatus can perform analysis even when the inspection target is in an accelerated / decelerated state, and can perform accurate determination.

本発明では、次数域波形、回転数域波形およびまたは次数フィルタから出力される波形を用い、良品と不良品を判別を高精度に行なうことができる。また、検査対象が回転運動するもの場合、等速回転状態はもちろんのこと、増減速状態でも分析が可能となる。   In the present invention, a non-defective product and a defective product can be discriminated with high accuracy by using an order range waveform, a rotational frequency range waveform and / or a waveform output from an order filter. Further, when the object to be inspected rotates, analysis is possible not only in the constant speed rotation state but also in the acceleration / deceleration state.

図2は、本発明の好適な一実施の形態を示している。まず、検査対象物1に接近してマイク2を配置すると共に、その検査対象物1に加速度ピックアップ3を接触させる。マイク2は、検査対象物1から発生する音を検出し、加速度ピックアップ3は検査対象物1の振動を検出する。マイク2,加速度ピックアップ3等のセンサで検出した信号は、それぞれアンプ4で増幅し、A/D変換器5にてデジタルデータに変更後、検査装置10に与えられる。   FIG. 2 shows a preferred embodiment of the present invention. First, the microphone 2 is arranged close to the inspection object 1 and the acceleration pickup 3 is brought into contact with the inspection object 1. The microphone 2 detects sound generated from the inspection object 1, and the acceleration pickup 3 detects vibration of the inspection object 1. Signals detected by sensors such as the microphone 2 and the acceleration pickup 3 are amplified by the amplifier 4, changed to digital data by the A / D converter 5, and then given to the inspection device 10.

検査対象物1は、エンジン等の回転運動を行なうものである。その検査対象物1には、回転数を検出する回転数検出装置が取り付けられている。その回転数検出装置から出力される回転数情報も、検査装置10に与えられる。回転数検出装置から出力される回転数情報がアナログデータの場合、回転数検出装置の出力は、A/D変換器5にてデジタルデータに変更後、検査装置10に与えられるように構成する。   The inspection object 1 performs a rotational motion of an engine or the like. The inspection object 1 is provided with a rotation speed detection device that detects the rotation speed. The rotational speed information output from the rotational speed detection device is also given to the inspection device 10. When the rotation speed information output from the rotation speed detection device is analog data, the output of the rotation speed detection device is changed to digital data by the A / D converter 5 and then provided to the inspection device 10.

なお、図2では、A/D変換器5は検査装置10の外部に設けるように記載したが、検査装置10の内部に設置してもよい。検査対象物1に具体的な回転数を検出する回転数検出装置が取り付けられておらず、エンコーダのように回転数に応じた信号(例えば、パルス列)を出力するセンサが取り付けられている場合もある。その場合、そのエンコーダ等の出力を検査装置10に入力するように構成するとともに、検査装置10内に、入力された回転数に応じた信号から回転数を算出する回転数算出部を設ける。   In FIG. 2, the A / D converter 5 is described as being provided outside the inspection apparatus 10, but may be provided inside the inspection apparatus 10. There is also a case where a rotation speed detection device that detects a specific rotation speed is not attached to the inspection object 1 and a sensor that outputs a signal (for example, a pulse train) corresponding to the rotation speed is attached like an encoder. is there. In this case, the output of the encoder or the like is configured to be input to the inspection apparatus 10, and a rotation speed calculation unit that calculates the rotation speed from a signal corresponding to the input rotation speed is provided in the inspection apparatus 10.

検査装置10は、マイク2で収集した音データや加速度ピックアップ3で収集した振動データに基づく波形データと、検査対象物1の回転数情報と、を取得し、その波形データと回転数情報を用いて特徴量を抽出するとともに、検査対象物1が良品か否かの判定を行なう。検査装置10は、コンピュータから構成され、CPU本体10aと、キーボード,マウス等の入力装置10bと、ディスプレイ10cとを備えている。CPU本体10aは図示しないが、一般的に中央演算装置(CPU)、主記憶装置(メモリ)、補助記憶装置(メモリ)から構成される。図3、図4で示す検査装置の内部構成は主にCPU本体10aに記憶され、実行されるソフトウェアで実現される。   The inspection device 10 acquires waveform data based on sound data collected by the microphone 2 and vibration data collected by the acceleration pickup 3 and rotation speed information of the inspection object 1, and uses the waveform data and rotation speed information. Then, the feature amount is extracted and it is determined whether or not the inspection object 1 is a non-defective product. The inspection device 10 includes a computer, and includes a CPU body 10a, an input device 10b such as a keyboard and a mouse, and a display 10c. Although not shown, the CPU main body 10a is generally composed of a central processing unit (CPU), a main storage device (memory), and an auxiliary storage device (memory). The internal configuration of the inspection apparatus shown in FIGS. 3 and 4 is mainly realized by software stored and executed in the CPU main body 10a.

図3に示すように、検査装置10は、A/D変換器5を介して取得した波形データから特徴量を演算する特徴量演算部11と、その特徴量演算部11で演算した特徴量に基づいて、良否判断を行なう判定部12とを備えている。この判定部12の判定結果は、例えばディスプレイ10cにリアルタイムで表示したり、記憶装置に格納したりすることができる。図示省略するが、特徴量演算部11において演算する特徴量の種類や、その特徴量のパラメータ等は、特徴量パラメータ記憶部に格納されている。特徴量演算部11は、その特徴量パラメータ記憶部に格納された情報に従って、特徴量演算を行ない、特徴量の値を求める。判定部12は、特徴量演算部11から与えられた特徴量の値に基づき、ファジィ推論などの判定アルゴリズムを実行して良品か否かを判定する。   As illustrated in FIG. 3, the inspection apparatus 10 includes a feature amount calculation unit 11 that calculates a feature amount from waveform data acquired via the A / D converter 5, and a feature amount calculated by the feature amount calculation unit 11. And a determination unit 12 that performs pass / fail determination. The determination result of the determination unit 12 can be displayed on the display 10c in real time or stored in a storage device, for example. Although not shown in the figure, the type of feature amount calculated by the feature amount calculation unit 11, the parameter of the feature amount, and the like are stored in the feature amount parameter storage unit. The feature quantity computing unit 11 performs feature quantity computation according to the information stored in the feature quantity parameter storage unit, and obtains the feature quantity value. The determination unit 12 determines whether or not the product is a non-defective product by executing a determination algorithm such as fuzzy inference based on the feature value given from the feature value calculation unit 11.

図4は、特徴量演算部11の内部構成を示すブロック図である。特徴量演算部11は、結合部21と、周波数フィルタ22と、次数フィルタ23と、波形変換部24と、フレーム分割部25と、フレーム特徴量演算部26と、最終特徴量演算部27と、を備えている。   FIG. 4 is a block diagram showing an internal configuration of the feature amount calculation unit 11. The feature amount calculation unit 11 includes a combining unit 21, a frequency filter 22, an order filter 23, a waveform conversion unit 24, a frame division unit 25, a frame feature amount calculation unit 26, a final feature amount calculation unit 27, It has.

結合部21は、与えられた波形データと回転数情報とを関連づけ、その関連づけたデータを周波数フィルタ22,次数フィルタ23,フレーム分割部25にそれぞれ与える。本実施の形態では、検査対象物1は、等速回転している場合もあれば、加速運転や減速運転のように回転数が時々刻々と変化している場合もある。結合部21に与えられる波形データは、サンプリング周期でサンプリングされたデジタルデータ(振幅値)の集合から構成される。そこで、その振幅値がサンプリングされた時の回転数情報を取得し、振幅値と関連づける。この関連づけは、例えば、振幅値と回転情報を対応づけたテーブルを作成し、記憶する。また、波形データを構成する各振幅値には、波形データを特定するための情報や、波形データを再現するために必要となるその波形データの時間軸のどの位置の振幅値かを特定するレコード番号等が付与されたデータ構造となっている場合、その振幅値の後ろに、回転数情報のデータを付加したデータ構造に変換するようにしてもよい。   The combining unit 21 associates the given waveform data with the rotation speed information, and provides the associated data to the frequency filter 22, the order filter 23, and the frame dividing unit 25, respectively. In the present embodiment, the inspection object 1 may rotate at a constant speed, or the rotational speed may change from moment to moment as in acceleration operation or deceleration operation. The waveform data given to the coupling unit 21 is composed of a set of digital data (amplitude values) sampled at the sampling period. Therefore, the rotational speed information when the amplitude value is sampled is acquired and associated with the amplitude value. For this association, for example, a table in which amplitude values are associated with rotation information is created and stored. In addition, each amplitude value that constitutes the waveform data is a record that specifies information for specifying the waveform data and the amplitude value at which the waveform data needs to be reproduced on the time axis of the waveform data. If the data structure has a number or the like, it may be converted to a data structure in which the rotation speed information data is added after the amplitude value.

周波数フィルタ22は、結合部21から与えられた波形データ(時間域波形)から、所定の周波数成分を抽出あるいは除去するものである。この周波数フィルタ22は、例えば、バンドパスフィルタから構成され、抽出する周波数帯域はパラメータとして設定された1又は複数の領域である。周波数フィルタ22を通過した波形データは、次数フィルタ23と、波形変換部24に与えられる。このとき与えられるフィルタリング後の波形データを構成する各振幅値に対しても回転数情報が関連づけられている。つまり、周波数フィルタ22は、回転数情報に関係なく、単純に与えられた波形データから所定の周波数成分を抽出したり、除去したりするもので、フィルタリング後の時間軸における各振幅値が変換されるものの、時間軸上のある点に着目した場合には、回転数情報は変わらない。よって、結合部21で関連づけられた回転数情報と振幅値のうち、フィルタリング処理により振幅値のみ変更されたデータが、次数フィルタ23や、波形変換部24に与えられる。   The frequency filter 22 extracts or removes a predetermined frequency component from the waveform data (time domain waveform) given from the coupling unit 21. The frequency filter 22 is composed of, for example, a bandpass filter, and the frequency band to be extracted is one or a plurality of regions set as parameters. The waveform data that has passed through the frequency filter 22 is given to the order filter 23 and the waveform converter 24. The rotation speed information is also associated with each amplitude value constituting the filtered waveform data given at this time. That is, the frequency filter 22 simply extracts or removes predetermined frequency components from given waveform data regardless of the rotation speed information, and each amplitude value on the time axis after filtering is converted. However, when attention is paid to a certain point on the time axis, the rotation speed information does not change. Therefore, the data in which only the amplitude value is changed by the filtering process among the rotation number information and the amplitude value associated by the combining unit 21 is given to the order filter 23 and the waveform converting unit 24.

次数フィルタ23は、与えられた波形データと回転数情報とに基づき、n次数成分を抽出あるいは除去するものである。ここでnは、ある1つの値の場合もあれば、複数の値の場合もある。具体的には、nが1つの値の例としては、4次成分のみを抽出するようなフィルタリング処理を行なうものがある。nの値が複数の例としては、3次成分以上を抽出する(2次成分以下を除去する)や、4次成分から6次成分を抽出するというように複数の次数成分を指定してフィルタリング処理をするものがある。   The order filter 23 extracts or removes an n-order component based on given waveform data and rotation speed information. Here, n may be a single value or a plurality of values. Specifically, as an example where n is one value, there is one that performs a filtering process that extracts only the quaternary component. Examples of multiple n values include filtering by specifying multiple order components such as extracting the third order component or higher (removing the second order component or lower) or extracting the sixth order component from the fourth order component. There is something to process.

ここで、次数とは、周波数を基本回転数で正規化した値であり、具体的には、下記式により規定されるものである。下記式において基本回転数は、回転数情報として与えられる検査対象物1の回転数である。
次数 =周波数/基本回転数
Here, the order is a value obtained by normalizing the frequency with the basic rotational speed, and is specifically defined by the following equation. In the following formula, the basic rotational speed is the rotational speed of the inspection object 1 given as the rotational speed information.
Order = frequency / basic speed

次数フィルタ23によるフィルタリング処理を行なうと、例えば図5(a)に示すような波形データが、図5(b)に示すような波形データに変換される。図から明らかなように、この次数フィルタ23を通過した波形データも、時間軸領域での波形データ(時間域波形)である。周波数フィルタ22の場合と同様に、次数フィルタ23から出力される情報も、波形データと回転数情報とを関連づけた情報である。この次数フィルタ23の出力(波形データ+回転数情報)は、波形変換部24とフレーム分割部25に与えられる。   When the filtering process by the order filter 23 is performed, for example, waveform data as shown in FIG. 5A is converted into waveform data as shown in FIG. As is apparent from the figure, the waveform data that has passed through the order filter 23 is also waveform data (time domain waveform) in the time axis region. As in the case of the frequency filter 22, the information output from the order filter 23 is information that associates the waveform data with the rotation speed information. The output (waveform data + rotation number information) of the order filter 23 is given to the waveform converting unit 24 and the frame dividing unit 25.

次数フィルタ23は、周波数フィルタ22にてフィルタリング処理された所定周波数成分の波形データと、周波数フィルタ22を通過しない生データの波形データとに対し、それぞれフィルタリング処理を行なう。また、どの次数成分を抽出,除去するかは、パラメータとして設定される。この点は、周波数フィルタ22の場合と同様である。   The order filter 23 performs a filtering process on the waveform data of the predetermined frequency component filtered by the frequency filter 22 and the waveform data of the raw data that does not pass through the frequency filter 22. Further, which order component is extracted and removed is set as a parameter. This is the same as in the case of the frequency filter 22.

フレーム分割部25は、設定された条件に従って、与えられた波形データをフレーム分割し、分割したフレーム単位の波形データを出力する。このフレーム分割するための設定条件としては、フレーム幅(1フレームの時間)や、1フレームを構成するデータサイズや、前後のフレームの重なりの程度(重なり0を含む)などがある。両フィルタ22,23におけるパラメータと同様に、フレーム分割するための設定条件もパラメータとして特徴量・パラメータ記憶部に記憶保持しておき、フレーム分割部25に与える。   The frame dividing unit 25 divides the given waveform data into frames according to the set conditions, and outputs the divided waveform unit waveform data. The setting conditions for dividing the frame include the frame width (time of one frame), the size of data constituting one frame, the degree of overlap of previous and subsequent frames (including overlap 0), and the like. Similar to the parameters in both filters 22 and 23, the setting conditions for frame division are also stored and held in the feature quantity / parameter storage unit as parameters and are given to the frame division unit 25.

このフレーム分割部25に与えられるデータには、次数フィルタ23から与えられたフィルタリング処理をした波形データと、結合部21から与えられる生データの波形データの場合がある。与えられる波形データは異なるものの、時間域波形である点では同じであるため、フレーム分割部25は、いずれの波形データに対しても同様のフレーム分割するための設定条件に従って実行できる。   The data given to the frame dividing unit 25 may be waveform data subjected to filtering processing given from the order filter 23 and raw waveform data given from the combining unit 21. Although the waveform data to be given is different, it is the same in that it is a time domain waveform. Therefore, the frame dividing unit 25 can execute any waveform data in accordance with the setting conditions for dividing the same frame.

フレーム分割された波形データ(回転数情報が関連づけられている)は、波形変換部24や、フレーム特徴量演算部26に与えられる。いずれの処理部に渡すかは、このフレーム分割部25に至るデータの経路により決定される。すなわち、次数フィルタ23や結合部21から受け取った波形データをフレーム分割部25でフレーム分割した場合、フレーム分割部25は、その分割したフレーム単位の波形データを波形変換部24に渡す。一方、周波数フィルタ22や次数フィルタ23の出力を波形変換部24に与え、そこにおいて波形変換されたデータをフレーム分割部25が受け取った場合には、フレーム分割したデータをフレーム特徴量演算部26に渡す。また、波形変換を行なう必要がない場合、フレーム分割部25は、次数フィルタ23や結合部21から受け取った波形データをフレーム分割し、フレーム特徴量演算部26に渡す場合もある。   Waveform data divided into frames (associated with rotation speed information) is provided to the waveform converter 24 and the frame feature quantity calculator 26. Which processing unit is passed to is determined by the data path to the frame dividing unit 25. That is, when the waveform data received from the order filter 23 or the combining unit 21 is divided into frames by the frame dividing unit 25, the frame dividing unit 25 passes the divided waveform data in units of frames to the waveform converting unit 24. On the other hand, when the output of the frequency filter 22 or the order filter 23 is given to the waveform converting unit 24 and the data obtained by waveform conversion is received by the frame dividing unit 25, the frame divided data is supplied to the frame feature amount calculating unit 26. hand over. When there is no need to perform waveform conversion, the frame dividing unit 25 may divide the waveform data received from the order filter 23 or the combining unit 21 into frames and pass the result to the frame feature amount calculating unit 26.

図6に示すように、波形変換部24は、時間域波形と回転数情報の2つの情報の入力を受け、回転数域波形や、次数域波形を算出し、算出した波形を出力するものである。回転数域波形は、横軸に回転数をとり、縦軸に振幅値をとった波形データである。次数域波形は、図7に示すように、横軸に次数をとり、縦軸に振幅値をとったものである。なお、2つの入力情報に基づいて回転数域波形や次数域波形を求める演算アルゴリズム自体は公知であるため、具体的なアルゴリズムの記載は省略する。   As shown in FIG. 6, the waveform converter 24 receives two pieces of information, a time domain waveform and rotation speed information, calculates a rotation speed waveform and an order frequency waveform, and outputs the calculated waveform. is there. The rotation speed range waveform is waveform data in which the horizontal axis represents the rotation speed and the vertical axis represents the amplitude value. As shown in FIG. 7, the order-domain waveform is obtained by taking the order on the horizontal axis and the amplitude value on the vertical axis. In addition, since the calculation algorithm itself which calculates | requires a rotation speed range waveform and an order range waveform based on two input information is well-known, description of a specific algorithm is abbreviate | omitted.

フレーム特徴量演算部26は、フレーム分割部25で分割された各フレーム単位の波形データならびに波形変換部24にて変換されたデータ(フレーム単位)に基づき、フレーム単位の特徴量(フレーム特徴量)を算出するものである。図8に示すように、フレーム特徴量演算部26は、回転数域波形が入力された場合には回転数域特徴量を求め、次数域波形が入力された場合には次数域特徴量を求める。回転数域特徴量としては、RMS(実効値),ピークtoピーク値,平均値等を用いることができる。次数域特徴量としては、たとえば図7に示すように複数の次数成分の各振幅値を結んで形成される形状(図中、波線で示す)を特徴量化したもの用いることができる。例えば単純に、n次成分と(n+1)次成分の振幅値の大小関係の組み合わせから構成しても良いし、複数の次数成分の比(例えば、2次成分と、3次成分の比)を用いるようにしても良く、各種の方法が採れる。   The frame feature amount calculation unit 26 is based on the waveform data of each frame divided by the frame division unit 25 and the data (frame unit) converted by the waveform conversion unit 24, and the feature amount of each frame (frame feature amount). Is calculated. As shown in FIG. 8, the frame feature quantity computing unit 26 obtains the rotational speed domain feature quantity when the rotational speed domain waveform is input, and obtains the order domain feature quantity when the order frequency waveform is input. . RMS (effective value), peak-to-peak value, average value, etc. can be used as the rotational speed range feature quantity. As the order range feature amount, for example, as shown in FIG. 7, a shape formed by connecting amplitude values of a plurality of order components (indicated by broken lines in the drawing) can be used. For example, it may be simply composed of a combination of magnitude relationships between the amplitude values of the n-order component and the (n + 1) -order component, or the ratio of a plurality of order components (for example, the ratio of the second-order component to the third-order component). You may make it use, and can take various methods.

フレーム特徴量演算部26で求めた各フレーム特徴量は、次段の最終特徴量演算部27に与えられる。最終特徴量演算部27は、複数のフレームから得られたフレーム特徴量に基づき、検査対象の波形データを代表する特徴量を求める。一例を示すと、フレーム分割部25でフレーム分割した各フレームごとの波形データを波形変換部24で求めた回転数域波形が、図9(a)に示すようになっているものとする。この図9(a)の回転数域波形は、6つのフレームから構成されている。各フレームのフレーム特徴量がRMSとすると、図9(b)中、黒丸で示すように、RMSは大小を交互に繰り返すようになる。従って、隣接するフレーム間のRMSは、図9(b)中矢印で示すように、増減を繰り返すようになる。代表特徴量演算は、たとえばRMSの変化量のトップ3の平均を求めるものとし、求めた平均値をその波形の特徴量とする。   Each frame feature value obtained by the frame feature value computing unit 26 is given to the final feature value computing unit 27 in the next stage. The final feature quantity computing unit 27 obtains a feature quantity representing the waveform data to be inspected based on the frame feature quantity obtained from a plurality of frames. As an example, it is assumed that the rotation frequency waveform obtained by the waveform converter 24 for the waveform data for each frame divided by the frame divider 25 is as shown in FIG. The rotation frequency waveform in FIG. 9A is composed of six frames. Assuming that the frame feature amount of each frame is RMS, as shown by a black circle in FIG. Therefore, the RMS between adjacent frames repeats increasing and decreasing as indicated by arrows in FIG. 9B. In the representative feature amount calculation, for example, the average of the top 3 changes in RMS is obtained, and the obtained average value is used as the feature amount of the waveform.

図9(a)に示した回転数域波形データが良品のものとし、図10(a)に示した回転数域波形データが不良品のものとすると、図10(b)から明らかなように、不良品の特徴量の値は小さくなり、良品のものと区別することができる。   Assuming that the rotational speed range waveform data shown in FIG. 9A is a non-defective product and the rotational speed range waveform data shown in FIG. The feature value of the defective product becomes small and can be distinguished from the non-defective product.

上述した例では、フレーム特徴量演算部26は、波形変換部24にて得られた次数域波形や回転数域波形に対してフレーム特徴量を求めるようにしたが、本発明は此に限ることはない。例えば、次数フィルタ23にてフィルタリング処理をして得られた時間域波形(図5(b)参照)を、フレーム分割部25に与え、フレームごとに分割する。そして、各フレームをフレーム特徴量演算部26に与え、次数フィルタリング処理をして得られたフレームごとの時間データの形状に基づいてフレーム特徴量を求めてもよい。このフレーム特徴量も、例えば、RMSやピークtoピーク値等を用いることができる。このようにして得られたフレーム特徴量は、最終特徴量演算部27に与えられる。   In the above-described example, the frame feature amount calculation unit 26 obtains the frame feature amount for the order frequency waveform and the rotation frequency range waveform obtained by the waveform conversion unit 24. However, the present invention is not limited to this. There is no. For example, a time domain waveform (see FIG. 5B) obtained by performing the filtering process with the order filter 23 is supplied to the frame dividing unit 25 and divided for each frame. Then, the frame feature amount may be obtained based on the shape of the time data for each frame obtained by giving each frame to the frame feature amount calculation unit 26 and performing the order filtering process. As this frame feature amount, for example, RMS, peak-to-peak value, or the like can be used. The frame feature value obtained in this way is given to the final feature value computing unit 27.

回転数が変化する場合、検出される波形データに影響が与えられることがある。例えば、図11(a)に示すように、回転数が増加している場合には、図11(b)に示すように、回転数が小さいA領域に比べ、回転数の大きいB領域の方が、発生する音も大きくなる。音に基づく波形データの振幅値が小さいと良品で、振幅値が大きいと不良品とする判定を行なうものとすると、以下に示す問題を生じる。図12(a)は、回転数Xにおける良品の振幅値を示し、図12(b)は、回転数Xにおける不良品の振幅値を示している。図12(c)は、回転数Y(Y>X)における良品の振幅値を示し、図12(b)は、回転数Yにおける不良品の振幅値を示している。図から明らかなように、同一回転数においては、良品の振幅値が、不良品の振幅値よりも小さいという大小関係か保たれているとする。しかし、回転数が時々刻々と変化する場合、図12(b)と図12(c)のように、良品の振幅値の方が不良品の振幅値よりも大きくなるといった逆転現象を生じてしまい、誤判定のおそれがある。   When the rotational speed changes, the detected waveform data may be affected. For example, as shown in FIG. 11 (a), when the number of rotations is increasing, as shown in FIG. 11 (b), the region B having a larger number of rotations is compared with the region A having a smaller number of rotations. However, the generated sound becomes louder. If the amplitude value of the waveform data based on sound is small, it is determined that the product is a non-defective product, and if the amplitude value is large, the product is determined to be defective. FIG. 12A shows the amplitude value of a non-defective product at the rotational speed X, and FIG. 12B shows the amplitude value of a defective product at the rotational speed X. FIG. 12C shows the amplitude value of a non-defective product at the rotational speed Y (Y> X), and FIG. 12B shows the amplitude value of a defective product at the rotational speed Y. As is apparent from the figure, it is assumed that the magnitude relationship that the amplitude value of the non-defective product is smaller than the amplitude value of the defective product is maintained at the same rotation speed. However, when the rotation speed changes from moment to moment, a reverse phenomenon occurs in which the non-defective product amplitude value is larger than the non-defective product amplitude value, as shown in FIGS. 12 (b) and 12 (c). There is a risk of misjudgment.

そこで、波形変換部24は、波形振幅値を正規化する機能を備えた。これにより、例えば図13(a)に示すような時間域波形が与えられた場合、図13(b)に示すように振幅値が正規化された時間域波形が求められる。具体的な波形変換処理は、例えば、
振幅値/回転数
により求めることができる。すなわち、振幅値は回転数に比例するため、上述した式のように振幅値を回転数で除算することで正規化ができる。
Therefore, the waveform converter 24 has a function of normalizing the waveform amplitude value. Thus, for example, when a time domain waveform as shown in FIG. 13A is given, a time domain waveform with normalized amplitude values is obtained as shown in FIG. 13B. Specific waveform conversion processing is, for example,
It can be obtained from the amplitude value / rotation speed. That is, since the amplitude value is proportional to the rotation speed, normalization can be performed by dividing the amplitude value by the rotation speed as in the above-described equation.

波形変換部24は、このようにして正規化した時間域波形を出力してもよいし、その正規化した時間域波形と回転数情報に基づいて回転数域波形や次数域波形を算出し、出力するようにしてもよい。   The waveform converter 24 may output the time domain waveform normalized in this way, or calculate a rotation frequency waveform or an order frequency waveform based on the normalized time domain waveform and the rotation speed information, You may make it output.

図14に示すように、ギヤ30の歯30aの一部に欠陥30a′がある場合、ギヤ30が1回転するごとに異音が発生する。ギヤ30が等速回転している場合には、一定の時間間隔ごとに異音が発生する。ギヤ30が加速回転運動している場合には、図15(a)に示すように、欠陥30a′に伴い発生する異音の発生間隔が、徐々に短くなる。この図15(a),に示すように、フレーム分割部25が、この時間域波形に対して時間域で等間隔にフレーム分割を行なった後、波形変換部24が各フレームの時間域波形を回転数域波形に変換すると、図15(b)に示すようになる。図15(b)から明らかなように、回転数域波形を構成する各フレームのフレーム幅が異なり、このフレームに基づいてフレーム特徴量を求めると、異音の発生現象を精度よく捉えられないおそれがある。   As shown in FIG. 14, when there is a defect 30 a ′ in a part of the teeth 30 a of the gear 30, abnormal noise is generated every time the gear 30 makes one rotation. When the gear 30 is rotating at a constant speed, abnormal noise is generated at regular time intervals. When the gear 30 is accelerating and rotating, as shown in FIG. 15 (a), the generation interval of abnormal noise generated with the defect 30a 'is gradually shortened. As shown in FIG. 15A, after the frame dividing unit 25 divides the time domain waveform at equal intervals in the time domain, the waveform converting unit 24 converts the time domain waveform of each frame. When converted to a rotation speed waveform, the result is as shown in FIG. As is apparent from FIG. 15B, the frame width of each frame constituting the rotation frequency waveform is different, and if the frame feature amount is obtained based on this frame, the abnormal sound generation phenomenon may not be accurately captured. There is.

そこで、図16に示すように、回転数域で等間隔にフレーム分割を行なうようにした。これにより、図16(b)に示すように、各フレームにおいて、同一タイミングで異音が発生するようにフレーム分割することができる。よって、異音の発生現象を精度よく捉えることができ、高精度な判定を行える。   Therefore, as shown in FIG. 16, the frame is divided at equal intervals in the rotation speed range. As a result, as shown in FIG. 16B, the frames can be divided so that different sounds are generated at the same timing in each frame. Therefore, it is possible to accurately detect the phenomenon of occurrence of abnormal noise and perform highly accurate determination.

この回転数域で等間隔にフレーム分割する手法は、例えば、フレーム分割部24が、回転数情報を利用して図16(a)に示すように時間域で不等間隔にフレーム分割することで対応できる。具体的には、回転数が大きいものほど時間域でのフレーム幅を短くするような関数によりフレーム分割を行なうことで対応できる。また、波形変換部24にて回転数域波形に変換後にフレーム分割部24に渡し、そこにおいて回転数域波形を等間隔にフレーム分割するようにしてもよい。   For example, the frame dividing unit 24 divides frames at unequal intervals in the time domain as shown in FIG. 16A using the rotation number information. Yes. Specifically, this can be dealt with by dividing the frame by a function that shortens the frame width in the time domain as the number of rotations increases. Alternatively, the waveform conversion unit 24 may convert the rotation frequency range waveform to a frame division unit 24, which may be divided into frames at regular intervals.

従来の問題点を説明する図である。It is a figure explaining the conventional problem. 本発明の検査装置を含む検査システムの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the test | inspection system containing the test | inspection apparatus of this invention. 本発明の検査装置の一実施の形態を示す図である。It is a figure which shows one Embodiment of the test | inspection apparatus of this invention. 検査装置10の要部となる特徴量抽出部の内部構造の一例を示す図である。3 is a diagram illustrating an example of an internal structure of a feature amount extraction unit that is a main part of the inspection apparatus 10. FIG. 次数フィルタの機能を説明する示す図である。It is a figure explaining the function of an order filter. 波形変換部24を説明する図である。FIG. 3 is a diagram for explaining a waveform conversion unit 24; 次数域波形の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of an order region waveform. フレーム特徴量演算部26を説明する図である。It is a figure explaining the frame feature-value calculating part 26. FIG. フレーム特徴量演算部26の機能を説明する図である。FIG. 6 is a diagram for explaining a function of a frame feature quantity computing unit 26. フレーム特徴量演算部26の機能を説明する図である。FIG. 6 is a diagram for explaining a function of a frame feature quantity computing unit 26. 増速運転をしている場合の波形データの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the waveform data in the case of carrying out the speed increasing operation. 回転数が与える特徴量への影響を説明する図である。It is a figure explaining the influence on the feature-value which a rotation speed gives. 回転数情報に基づき振幅値を正規化する機能を説明する図である。It is a figure explaining the function which normalizes an amplitude value based on rotation speed information. 検査対象物であるギア(不良品)の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the gear (defective product) which is a test object. 時間軸での等間隔でフレーム分割する際の問題点を説明する図である。It is a figure explaining the problem at the time of dividing into frames at equal intervals on the time axis. 回転数軸で等間隔にフレーム分割する機能を説明する図である。It is a figure explaining the function which divides | segments a frame into equal intervals on a rotation speed axis.

符号の説明Explanation of symbols

10 検査装置
11 特徴量演算部
12 判定部
21 結合部
22 周波数フィルタ
23 次数フィル
24 波形変換部
25 フレーム分割部
26 フレーム特徴量演算部
27 最終特徴量演算部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Inspection apparatus 11 Feature-value calculating part 12 Determination part 21 Combining part 22 Frequency filter 23 Order fill 24 Waveform converting part 25 Frame dividing part 26 Frame feature-value calculating part 27 Final feature-value calculating part

Claims (6)

入力された検査対象物から発生する音,振動等の時間域波形と、前記検査対象物の回転数情報と、を関連付ける結合手段と、
その関連付けられた時間域波形と回転数情報に基づいて回転数域波形と次数域波形の少なくとも一方を求める波形変換手段と、前記関連付けられた時間域波形と回転数情報に基づいて、設定された1又は複数の次数成分を抽出及び又は除去する次数フィルタの少なくとも一方と、
前記回転数域波形と、次数域波形と、前記次数フィルタから出力される波形の少なくともひとつを取得し、その取得した情報に基づいて特徴量を求める特徴量演算手段と、
その特徴量演算手段で求めた特徴量に基づいて前記検査対象物が良品か否かを判定する判定手段と、を備え、
前記特徴量演算手段は、少なくとも取得した波形の形状から特徴量を算出する機能を有するように構成したことを特徴とする検査装置。
A coupling means for associating a time domain waveform such as sound and vibration generated from the input inspection object and rotation speed information of the inspection object;
Waveform conversion means for obtaining at least one of a rotational frequency range waveform and an order frequency waveform based on the associated time domain waveform and rotational speed information, and a setting based on the associated time domain waveform and rotational speed information At least one order filter that extracts and / or removes one or more order components;
A feature quantity computing means for obtaining at least one of the rotation speed domain waveform, the order domain waveform, and a waveform output from the order filter, and obtaining a feature quantity based on the obtained information;
Determination means for determining whether or not the inspection object is a non-defective product based on the feature quantity obtained by the feature quantity calculation means,
2. The inspection apparatus according to claim 1, wherein the feature amount calculating means is configured to have a function of calculating a feature amount from at least the acquired waveform shape.
前記波形変換手段は、前記回転数情報に基づき、与えられた時間域波形の振幅値を正規化する手段を備えたことを特徴とする請求項1に記載の検査装置。   2. The inspection apparatus according to claim 1, wherein the waveform converting means includes means for normalizing an amplitude value of a given time domain waveform based on the rotation speed information. 前記次数フィルタの出力を、前記波形変換手段を介して前記特徴量演算手段に与えるように構成したことを特徴とする請求項1または2に記載の検査装置。   The inspection apparatus according to claim 1, wherein an output of the order filter is configured to be supplied to the feature amount calculation unit via the waveform conversion unit. 前記回転数情報が関連付けられた時間域波形をフィルタリング処理する周波数フィルタを設け、
その周波数フィルタの出力を、前記次数フィルタと、前記波形変換部の少なくとも一方に与えるように構成したことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の検査装置。
Providing a frequency filter for filtering the time domain waveform associated with the rotation speed information;
4. The inspection apparatus according to claim 1, wherein an output of the frequency filter is provided to at least one of the order filter and the waveform conversion unit. 5.
前記特徴量演算手段は、
フレーム単位に分割されていない波形データをフレーム分割するフレーム分割手段と、
前記フレーム分割手段でフレーム分割された波形データから直接あるいは前記波形変換手段を介して与えられたフレーム単位の波形データからフレーム特徴量を求めるフレーム特徴量演算手段と、
前記フレーム特徴量演算手段で求めた同一の検査対象物についての複数のフレーム特徴量から、前記判定手段に与える前記特徴量を求める最終特徴量演算手段と、を備えるようにしたことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の検査装置。
The feature amount calculating means includes:
A frame dividing means for dividing the waveform data not divided into frame units into frames;
A frame feature quantity computing means for obtaining a frame feature quantity directly from the waveform data frame-divided by the frame dividing means or from the frame-unit waveform data given via the waveform converting means;
And a final feature quantity computing means for obtaining the feature quantity to be given to the determination means from a plurality of frame feature quantities for the same inspection object obtained by the frame feature quantity computing means. The inspection apparatus according to any one of claims 1 to 4.
フレーム分割は、回転数域で等間隔になるように分割することを特徴とする請求項5に記載の検査装置。   6. The inspection apparatus according to claim 5, wherein the frame is divided so as to be equidistant in the rotation speed range.
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