JP2007059637A - 電界効果型トランジスタ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ゲート−ドレイン間に金属的性質を示すカーボンナノチューブからなる電界緩和用電極8を設ける。
【選択図】 図1
Description
図8の上段図はカーボンナノチューブFETの概略的斜視図であり、中段図はチャネル長方向に沿った断面図であり、また、下段図はゲート−ドレイン間の電界分布図である。 このようなカーボンナノチューブFETにおいては、中段図及び下段図に示すように、通常はゲート−ドレイン間の電界はゲート電極66の端部に集中し、この部分で耐圧が決まる。
図9の上段図は電界緩和用電極を設けた高耐圧型カーボンナノチューブFETの概略的斜視図であり、中段図はチャネル長方向に沿った断面図であり、また、下段図はゲート−ドレイン間の電界分布図である。
中段図及び下段図に示すように、電界緩和用電極67を設けることによって、破線で示す電界分布から実線で示す電界分布へと変化しゲート−ドレイン間の電界は緩和されるので、耐圧が向上することになる。
図1参照
上記課題を解決するために、本発明は、電界効果型トランジスタにおいて、ゲート−ドレイン間に金属的性質を示すカーボンナノチューブからなる電界緩和用電極8を設けたことを特徴とする。
fT 〜gm /{2π(Cgs+Cgd)}
であるので、電界緩和用電極8に起因するCgs,Cgdが小さくなることによって電流利得遮断周波数fT の低下を招かずに耐圧を向上させることが出来る。
この場合、半導体的性質を示すカーボンナノチューブの成長起点としては、Al層上にFe膜を設けたFe/Al積層薄膜が望ましく、製造条件に依存せずに半導体的性質を示すカーボンナノチューブを再現性良く形成することが可能になる。
図2参照
まず、サファイア基板11上に、レジストパターンをマスクとしてスパッタ法により厚さが、例えば、5nmのAl膜13及び厚さが、例えば、1nmの触媒作用を有するFe膜14を順次堆積させたのちレジストパターンを除去することによってソース電極12とする。
次いで、プラズマCVD法を用いて、プロセスガスとしてアセチレンガスを用いるとともに、キャリアガスとしてArガスもしくは水素ガスを用い、ソース電極12−ドレイン電極15間に直流電界を印加した状態で、例えば、100Paの圧力において、600℃の成長温度で、RFパワーを印加することによってカーボンナノチューブ16を形成する。
この場合、図示は省略しているが、実際には、ソース電極12の上面全体からドレイン電極15に向かってカーボンナノチューブ16が成長している。
因に、成長時間は、例えば、40分とする。
図4の上段図は本発明の実施例1のカーボンナノチューブFETの概略的斜視図であり、中段図はチャネル長方向に沿った断面図であり、また、下段図はゲート−ドレイン間の電界分布図である。
本発明の実施例1のカーボンナノチューブFETにおいては、中段図及び下段図に示すように、電界緩和用電極24によりゲート−ドレイン間の電界が緩和されて、耐圧が向上する。
図5参照
図5の上段図は本発明の実施例2のカーボンナノチューブFETの概略的斜視図であり、下段図はチャネル長方向に沿った断面図である。
まず、上記の実施例1と全く同様に、サファイア基板11上にAl膜13及びFe膜14からなるソース電極12を形成したのち、ソース電極12と対向するようにドレイン電極15を形成する
なお、ここでは、図示の都合上、ゲート電極26を2本のカーボンナノチューブで形成しているが、ゲート電極26を構成するカーボンナノチューブの数は任意である。
図6参照
図6の上段図は本発明の実施例3のカーボンナノチューブFETの概略的斜視図であり、下段図はチャネル長方向に沿った断面図である。
まず、100nm×100nmの開口部及び1000nm×2000nmの開口部を有するレジストパターンをマスクとしてスパッタ法により、サファイア基板11上に厚さが、例えば、5nmのTa膜29及び厚さが、例えば、1nmの触媒作用を有するFe膜30を順次堆積させたのちレジストパターンを除去することによって成長用電極27,28とする。
図7参照
まず、半絶縁性GaAs基板41上に、MBE法を用いてi型GaAs動作層41及びn+ 型GaAs層を順次成長させたのち、n+ 型GaAs層をパターニングすることによって、ソースコンタクト領域43及びドレインコンタクト領域44を形成する。
この場合、チャネルを成長させるためのソース電極の下地となるAl膜と、ゲート電極及び電界緩和用電極の成長起点となる成長用電極の下地となるTa膜の厚さにカーボンナノチューブの直径程度の差を設けて各カーボンナノチューブが空間を介して交差するように成長すれば良い。
再び、図1参照
(付記1) ゲート−ドレイン間に金属的性質を示すカーボンナノチューブからなる電界緩和用電極8を設けたことを特徴とする電界効果型トランジスタ。
(付記2) ゲート電極6が、金属的性質を示すカーボンナノチューブからなることを特徴とする付記1記載の電界効果型トランジスタ。
(付記3) 上記ゲート電極6と上記電界緩和用電極8の少なくとも一方が、基板1とチャネル4との間に埋め込まれた埋込構造であることを特徴とする付記1または2に記載の電界効果型トランジスタ。
(付記4) 上記金属的性質を示すカーボンナノチューブの成長起点として、Ta膜上にFe膜を設けたFe/Ta積層薄膜7を用いたことを特徴とする付記1乃至3のいずれか1に記載の電界効果型トランジスタ。
(付記5) チャネル4が半導体的性質を示すカーボンナノチューブからなることを特徴とする付記1乃至4のいずれか1に記載の電界効果型トランジスタ。
(付記6) 上記半導体的性質を示すカーボンナノチューブの成長起点として、Al膜上にFe膜を設けたFe/Al積層薄膜を用いたことを特徴とする付記5記載の電界効果型トランジスタ。
(付記7) チャネル4が単結晶半導体からなることを特徴とする付記1乃至4のいずれか1に記載の電界効果型トランジスタ。
(付記8) 絶縁性の基板1上にAl膜上にFe膜を設けたFe/Al積層薄膜からなる触媒作用を有する第1の電極2を設けるとともに、前記第1の電極2に間隔を隔てて対向する触媒作用を有さない第2の電極3を設け、前記第1の電極2を成長起点として前記第2の電極3に達する半導体的性質を示すカーボンナノチューブを成長させてチャネル4とする工程、前記チャネル4上にゲート絶縁膜5を堆積する工程、前記ゲート絶縁膜5上にゲート電極6を形成する工程、及び、前記第1の電極2或いは第2の電極3のうちのドレイン電極となる一方の電極と前記ゲート電極6との間の端部にTa膜上にFe膜を設けたFe/Ta積層薄膜7を設け、前記Fe/Ta積層薄膜7を成長起点としてチャネル4幅方向に延在する金属的性質を示すカーボンナノチューブを成長させて電界緩和用電極8を形成する工程を有することを特徴とする電界効果型トランジスタの製造方法。
(付記9) 上記ゲート電極6の形成工程において、チャネル4端部にTa膜上にFe膜を設けたゲート電極成長用Fe/Ta積層薄膜を設け、上記電界緩和用電極8の形成工程と同時に前記ゲート電極成長用Fe/Ta積層薄膜を成長起点としてチャネル4幅方向に延在する金属的性質を示すカーボンナノチューブを成長させてゲート電極6とすることを特徴とする付記8記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
(付記10) 絶縁性の基板1上にAl膜上にFe膜を設けたFe/Al積層薄膜からなる触媒作用を有する第1の電極2を設けるとともに、前記第1の電極2に間隔を隔てて対向する触媒作用を有さない第2の電極3を設ける工程と、前記絶縁性の基板1上に第1の開口部と前記第1の開口部より大きな第2の開口部を有するレジストパターンをマスクとして触媒作用を有するFe/Ta積層薄膜を堆積させて前記第1の開口部に第3の電極を形成するとともに、前記第2の開口部に第4の電極を形成する工程と、前記第1の電極2を成長起点として前記第2の電極3に達する半導体的性質を示すチャネルとなるカーボンナノチューブ、前記第3の電極を成長起点としてチャネル幅方向に延在する金属的性質を示す電界緩和用電極8となるカーボンナノチューブ、及び、前記第4の電極を成長起点としてチャネル幅方向に延在する金属的性質を示すゲート電極6となるカーボンナノチューブを一度の成長で形成する工程と、前記チャネル、ゲート電極6、電界緩和用電極8上及び前記チャネルとゲート電極6間、前記チャネルと電界緩和用電極8間に絶縁膜を形成する工程を有することを特徴とする電界効果型トランジスタの製造方法。
2 第1の電極
3 第2の電極
4 チャネル
5 ゲート絶縁膜
6 ゲート電極
7 Fe/Ta積層薄膜
8 電界緩和用電極
11 サファイア基板
12 ソース電極
13 Al膜
14 Fe膜
15 ドレイン電極
16 カーボンナノチューブ
17 SiO2 膜
18 ゲート電極
19 Ti膜
20 Pt層
21 成長用電極
22 Ta膜
23 Fe膜
24 電界緩和用電極
25 成長用電極
26 ゲート電極
27 成長用電極
28 成長用電極
29 Ta膜
30 Fe膜
31 ゲート電極
32 電界緩和用電極
33 SiO2 膜
34 ソース電極
35 Al膜
36 Fe膜
37 ドレイン電極
38 カーボンナノチューブ
39 SiO2 膜
41 半絶縁性GaAs基板
42 i型GaAs動作層
43 ソースコンタクト領域
44 ドレインコンタクト領域
45 SiO2 膜
46 ゲート電極
47 Wシリサイド層
48 Au層
49 成長用電極
50 Ta膜
51 Fe膜
52 電界緩和用電極
61 サファイア基板
62 ソース電極
63 ドレイン電極
64 カーボンナノチューブ
65 SiO2 膜
66 ゲート電極
67 電界緩和用電極
Claims (5)
- ゲート−ドレイン間に金属的性質を示すカーボンナノチューブからなる電界緩和用電極を設けたことを特徴とする電界効果型トランジスタ。
- ゲート電極が、金属的性質を示すカーボンナノチューブからなることを特徴とする請求項1記載の電界効果型トランジスタ。
- 上記ゲート電極と上記電界緩和用電極の少なくとも一方が、基板とチャネルとの間に埋め込まれた埋込構造であることを特徴とする請求項1または2に記載の電界効果型トランジスタ。
- チャネルが半導体的性質を示すカーボンナノチューブからなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の電界効果型トランジスタ。
- 絶縁性の基板上にAl膜上にFe膜を設けたFe/Al積層薄膜からなる触媒作用を有する第1の電極を設けるとともに、前記第1の電極に間隔を隔てて対向する触媒作用を有さない第2の電極を設け、前記第1の電極を成長起点として前記第2の電極に達する半導体的性質を示すカーボンナノチューブを成長させてチャネルとする工程、前記チャネル上にゲート絶縁膜を堆積する工程、前記ゲート絶縁膜上にゲート電極を形成する工程、及び、前記第1の電極或いは第2の電極のうちのドレイン電極となる一方の電極と前記ゲート電極との間の端部にTa膜上にFe膜を設けたFe/Ta積層薄膜を設け、前記Fe/Ta積層薄膜を成長起点としてチャネル幅方向に延在する金属的性質を示すカーボンナノチューブを成長させて電界緩和用電極を形成する工程を有することを特徴とする電界効果型トランジスタの製造方法。
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JP2000003919A (ja) * | 1998-06-16 | 2000-01-07 | Nec Corp | 電界効果型トランジスタ |
JP2001237250A (ja) * | 2000-02-22 | 2001-08-31 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2003109974A (ja) * | 2001-10-01 | 2003-04-11 | Fujitsu Ltd | カーボンナノチューブゲート電界効果トランジスタとその製造方法、及び微細パターン形成方法 |
JP2004071654A (ja) * | 2002-08-01 | 2004-03-04 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | カーボンナノチューブ半導体素子の作製方法 |
JP2005116618A (ja) * | 2003-10-03 | 2005-04-28 | Fujitsu Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
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JP2000003919A (ja) * | 1998-06-16 | 2000-01-07 | Nec Corp | 電界効果型トランジスタ |
JP2001237250A (ja) * | 2000-02-22 | 2001-08-31 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2003109974A (ja) * | 2001-10-01 | 2003-04-11 | Fujitsu Ltd | カーボンナノチューブゲート電界効果トランジスタとその製造方法、及び微細パターン形成方法 |
JP2004071654A (ja) * | 2002-08-01 | 2004-03-04 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | カーボンナノチューブ半導体素子の作製方法 |
JP2005116618A (ja) * | 2003-10-03 | 2005-04-28 | Fujitsu Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
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