JP2007052939A - Method of assembling flat display device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of assembling a flat display device in which occurrence of displacement between two panels can be prevented effectively despite of a simplified constitution. <P>SOLUTION: In the method of assembling the flat display device, a first panel P<SB>1</SB>and a second panel P<SB>2</SB>are aligned in a state that a joint member 30 is arranged in their peripheral parts, and subsequently after positioning of the second panel P<SB>2</SB>to the first panel P<SB>1</SB>is carried out, while a force proceeding to a first ridge extending in a first direction of the second panel P<SB>2</SB>, a force proceeding to a second ridge extending in the second direction, and a force proceeding to the first panel P<SB>1</SB>are added against the second panel P<SB>2</SB>by an energizing means, and by heating the joint member 30, the first panel P<SB>1</SB>and the second panel P<SB>2</SB>are joined at their peripheries. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、平面型表示装置の組立方法に関する。   The present invention relates to a method for assembling a flat display device.

現在主流の陰極線管(CRT)に代わる画像表示装置として、平面型(フラットパネル形式)の表示装置が種々検討されている。このような平面型の表示装置として、液晶表示装置(LCD)、エレクトロルミネッセンス表示装置(ELD)、プラズマ表示装置(PDP)を例示することができる。また、電子放出素子を備えたカソードパネルを組み込んだ平面型表示装置の開発も進められている。ここで、電子放出素子として、冷陰極電界電子放出素子、金属/絶縁膜/金属型素子(MIM素子とも呼ばれる)、表面伝導型電子放出素子が知られており、これらの冷陰極電子源から構成された電子放出素子を備えたカソードパネルを組み込んだ平面型表示装置は、高解像度、高輝度のカラー表示、及び、低消費電力の観点から注目を集めている。   As an image display device that can replace the mainstream cathode ray tube (CRT), various types of flat display devices have been studied. Examples of such a flat display device include a liquid crystal display device (LCD), an electroluminescence display device (ELD), and a plasma display device (PDP). In addition, development of a flat display device incorporating a cathode panel equipped with an electron-emitting device is also in progress. Here, as the electron-emitting device, a cold cathode field electron-emitting device, a metal / insulating film / metal-type device (also called MIM device), and a surface conduction electron-emitting device are known. A flat display device incorporating a cathode panel provided with the electron-emitting device is attracting attention from the viewpoint of high-resolution, high-luminance color display and low power consumption.

電子放出素子としての冷陰極電界電子放出素子を組み込んだ平面型表示装置である冷陰極電界電子放出表示装置(以下、表示装置と略称する場合がある)は、一般に、複数の冷陰極電界電子放出素子(以下、電界放出素子と略称する場合がある)を備えたカソードパネルと、電界放出素子から放出された電子との衝突により励起されて発光する蛍光体層を有するアノードパネルとが、高真空に維持された空間を介して対向配置され、カソードパネルとアノードパネルとが周縁部において接合部材を介して接合された構成を有する。ここで、カソードパネルは、2次元マトリクス状に配列された各画素に対応した電子放出領域を有し、各電子放出領域には、1又は複数の電界放出素子が設けられている。電界放出素子として、スピント型、扁平型、エッジ型、平面型等を挙げることができる。   A cold cathode field emission display device (hereinafter sometimes abbreviated as a display device), which is a flat display device incorporating a cold cathode field electron emission device as an electron emission device, generally has a plurality of cold cathode field electron emission. A cathode panel provided with a device (hereinafter sometimes abbreviated as a field emission device) and an anode panel having a phosphor layer that emits light when excited by collision with electrons emitted from the field emission device are high vacuum. The cathode panel and the anode panel are joined to each other at the peripheral edge portion via a joining member. Here, the cathode panel has an electron emission region corresponding to each pixel arranged in a two-dimensional matrix, and one or a plurality of field emission elements are provided in each electron emission region. Examples of field emission devices include Spindt type, flat type, edge type, and planar type.

一例として、スピント型電界放出素子を有する表示装置の概念的な一部端面図を図7に示し、カソードパネルCP及びアノードパネルAPを分解したときのカソードパネルCPとアノードパネルAPの一部分の模式的な分解斜視図を図9に示す。表示装置を構成するスピント型電界放出素子は、支持体10に形成されたカソード電極11と、支持体10及びカソード電極11上に形成された絶縁層12と、絶縁層12上に形成されたゲート電極13と、ゲート電極13及び絶縁層12に設けられた開口部14(ゲート電極13に設けられた第1開口部14A、及び、絶縁層12に設けられた第2開口部14B)と、開口部14の底部に位置するカソード電極11上に形成された円錐形の電子放出部15から構成されている。   As an example, a conceptual partial end view of a display device having a Spindt-type field emission device is shown in FIG. 7, and a schematic view of a part of the cathode panel CP and the anode panel AP when the cathode panel CP and the anode panel AP are disassembled. A simple exploded perspective view is shown in FIG. A Spindt-type field emission device constituting a display device includes a cathode electrode 11 formed on a support 10, an insulating layer 12 formed on the support 10 and the cathode electrode 11, and a gate formed on the insulating layer 12. An electrode 13, an opening 14 provided in the gate electrode 13 and the insulating layer 12 (a first opening 14 </ b> A provided in the gate electrode 13 and a second opening 14 </ b> B provided in the insulating layer 12), and an opening It is composed of a conical electron emission portion 15 formed on the cathode electrode 11 located at the bottom of the portion 14.

あるいは又、略平面状の電子放出部15Aを備えた、所謂扁平型電界放出素子を有する表示装置の概念的な一部端面図を図8に示す。この電界放出素子は、支持体10上に形成されたカソード電極11と、支持体10及びカソード電極11上に形成された絶縁層12と、絶縁層12上に形成されたゲート電極13と、ゲート電極13及び絶縁層12に設けられた開口部14(ゲート電極13に設けられた第1開口部14A、及び、絶縁層12に設けられた第2開口部14B)と、開口部14の底部に位置するカソード電極11上に形成された電子放出部15Aから構成されている。電子放出部15Aは、例えば、マトリックスに一部分が埋め込まれた多数のカーボン・ナノチューブから構成されている。   Alternatively, FIG. 8 shows a conceptual partial end view of a display device having a so-called flat type field emission device provided with a substantially planar electron emission portion 15A. The field emission device includes a cathode electrode 11 formed on a support 10, an insulating layer 12 formed on the support 10 and the cathode electrode 11, a gate electrode 13 formed on the insulating layer 12, a gate An opening 14 provided in the electrode 13 and the insulating layer 12 (a first opening 14A provided in the gate electrode 13 and a second opening 14B provided in the insulating layer 12) and a bottom of the opening 14 The electron emission portion 15A is formed on the cathode electrode 11 positioned. The electron emission portion 15A is composed of, for example, a large number of carbon nanotubes partially embedded in a matrix.

これらの表示装置において、カソード電極11は、X方向(図7、図8あるいは図9のX方向参照)に延びる帯状であり、ゲート電極13は、X方向とは異なるY方向(図7、図8あるいは図9のY方向参照)に延びる帯状である。一般に、カソード電極11とゲート電極13とは、これらの両電極11,13の射影像が互いに直交する方向に各々帯状に形成されている。帯状のカソード電極11と帯状のゲート電極13とが重複する重複領域が、電子放出領域EAであり、1サブピクセルに相当する。そして、係る電子放出領域EAが、カソードパネルCPの有効領域(実際の表示部分として機能する領域)内に、通常、2次元マトリクス状に配列されている。   In these display devices, the cathode electrode 11 has a strip shape extending in the X direction (refer to the X direction in FIG. 7, FIG. 8 or FIG. 9), and the gate electrode 13 has a Y direction different from the X direction (FIG. 7, FIG. 8 or refer to the Y direction in FIG. 9). In general, the cathode electrode 11 and the gate electrode 13 are each formed in a strip shape in a direction in which the projected images of both the electrodes 11 and 13 are orthogonal to each other. An overlapping region where the strip-shaped cathode electrode 11 and the strip-shaped gate electrode 13 overlap is an electron emission region EA, which corresponds to one subpixel. The electron emission areas EA are normally arranged in a two-dimensional matrix within the effective area of the cathode panel CP (area that functions as an actual display portion).

一方、アノードパネルAPは、基板20上に所定のパターンを有する蛍光体層22(具体的には、赤色発光蛍光体層22R、緑色発光蛍光体層22G、及び、青色発光蛍光体層22B)が形成され、蛍光体層22がアノード電極24で覆われた構造を有する。これらの蛍光体層22の間は、カーボン等の光吸収性材料から成る光吸収層(ブラックマトリックス)23で埋め込まれており、表示画像の色濁り、光学的クロストークの発生を防止している。尚、図中、参照番号21は隔壁を表す。図8及び図9においては、隔壁の図示を省略した。   On the other hand, the anode panel AP has a phosphor layer 22 (specifically, a red light-emitting phosphor layer 22R, a green light-emitting phosphor layer 22G, and a blue light-emitting phosphor layer 22B) having a predetermined pattern on the substrate 20. The phosphor layer 22 is formed and covered with the anode electrode 24. A space between these phosphor layers 22 is embedded with a light absorbing layer (black matrix) 23 made of a light absorbing material such as carbon, thereby preventing display image color turbidity and optical crosstalk. . In the figure, reference numeral 21 represents a partition wall. In FIGS. 8 and 9, the illustration of the partition walls is omitted.

1サブピクセルは、カソードパネル側の電子放出領域EAと、これらの電界放出素子の一群に対面したアノードパネル側の蛍光体層22とによって構成されている。有効領域には、画素(ピクセル)が、例えば数十万〜数百万個ものオーダーにて配列されている。尚、カラー表示の表示装置においては、1画素(1ピクセル)は、赤色発光サブピクセル、緑色発光サブピクセル、及び、青色発光サブピクセルの組から構成されている。   One subpixel is composed of an electron emission area EA on the cathode panel side and a phosphor layer 22 on the anode panel side facing a group of these field emission elements. In the effective area, pixels (pixels) are arranged in an order of several hundred thousand to several million, for example. In a display device for color display, one pixel (one pixel) is composed of a set of a red light emitting subpixel, a green light emitting subpixel, and a blue light emitting subpixel.

表示装置の組立においては、フリットガラス(図示せず)が塗布された枠体から成る接合部材30を準備する。そして、例えば、アノードパネルAPの周縁部に接合部材30を配置した後、アノードパネルAPとカソードパネルCPとを、電子放出領域EAと蛍光体層22とが対向するように位置合わせし、位置決めを行う。その後、フリットガラスを焼成することで、アノードパネルAPとカソードパネルCPとが、それらの周縁部において接合部材30を介して接合される。次いで、カソードパネルCPの無効領域(即ち、表示画面として機能する有効領域を取り囲む領域)に相当する支持体10の部分に設けられた貫通孔(図示せず)、及び、支持体10に取り付けられたガラス管から成る排気管(図示せず)を介して、カソードパネルCPとアノードパネルAPによって挟まれた空間(より具体的には、カソードパネルCPとアノードパネルAPと接合部材30とによって囲まれた空間)を排気し、空間が所定の真空度に達した後、排気管を封じ切る。こうして、表示装置を作製することができる。   In assembling the display device, a joining member 30 made of a frame body coated with frit glass (not shown) is prepared. Then, for example, after the bonding member 30 is disposed on the peripheral edge of the anode panel AP, the anode panel AP and the cathode panel CP are aligned so that the electron emission region EA and the phosphor layer 22 face each other. Do. Thereafter, the frit glass is baked, so that the anode panel AP and the cathode panel CP are bonded to each other at the peripheral portion via the bonding member 30. Next, a through hole (not shown) provided in a portion of the support 10 corresponding to an ineffective area of the cathode panel CP (that is, an area surrounding an effective area functioning as a display screen), and the cathode panel CP are attached to the support 10. A space sandwiched between the cathode panel CP and the anode panel AP (more specifically, surrounded by the cathode panel CP, the anode panel AP, and the joining member 30 through an exhaust pipe (not shown) made of a glass tube. After the space has reached a predetermined degree of vacuum, the exhaust pipe is sealed. Thus, a display device can be manufactured.

ところで、良好な表示画像を得るためには、カソードパネル側の電子放出領域EAとアノードパネル側の蛍光体層22とを、正確に相対して配置させることが重要である。   By the way, in order to obtain a good display image, it is important to dispose the electron emission area EA on the cathode panel side and the phosphor layer 22 on the anode panel side accurately and relative to each other.

通常、上述したとおり、カソードパネルCPとアノードパネルAPとの接合にあっては、フリットガラスが塗布された枠体から成る接合部材30を用いる。接合前のフリットガラスが塗布された枠体から成る接合部材30の厚さ(高さであり、カソードパネルCPとアノードパネルAPとの間の接合前の距離である)をH、表示装置完成時のアノードパネルAPとカソードパネルCPとの間の距離をd0としたとき、H>d0の関係にある。例えば、アノードパネルAPの周縁部に接合部材30を配置した後、アノードパネルAPとカソードパネルCPとを、電子放出領域EAと蛍光体層22とが対向するように位置合わせし、位置決めを行った後、従来の技術にあっては、アノードパネルAPとカソードパネルCPとの間で位置ずれが生じないように、アノードパネルAPとカソードパネルCPとを固定治具によって固定する。固定治具は、例えば、バネ付きの一種のクランプから成る。 Usually, as described above, in joining the cathode panel CP and the anode panel AP, the joining member 30 made of a frame body coated with frit glass is used. The thickness (the height, which is the distance before joining between the cathode panel CP and the anode panel AP) of the joining member 30 composed of the frame body to which the frit glass before joining is applied is H, and when the display device is completed of the distance between the anode panel AP and the cathode panel CP when the d 0, a relationship of H> d 0. For example, after the joining member 30 is disposed on the peripheral edge of the anode panel AP, the anode panel AP and the cathode panel CP are aligned and positioned so that the electron emission region EA and the phosphor layer 22 face each other. Thereafter, in the conventional technique, the anode panel AP and the cathode panel CP are fixed by a fixing jig so that no positional deviation occurs between the anode panel AP and the cathode panel CP. The fixing jig is composed of, for example, a kind of clamp with a spring.

そして、このようなアノードパネルAPとカソードパネルCPと接合部材30との組立体を焼成炉内に搬入し、焼成炉内で加熱処理を施すことでフリットガラスを焼成する。フリットガラスの焼成時、アノードパネルAPとカソードパネルCPとの間の距離は、「H」から「d0」へと変化する。即ち、アノードパネルAPを基準としたとき、カソードパネルCPは、アノードパネルAPに近づく方向(Z方向)に変位するが、このとき、XY方向にも変位し易い。アノードパネルAPに対して、カソードパネルCPがXY方向に変位してしまうと、カソードパネル側の電子放出領域EAとアノードパネル側の蛍光体層22とが、正確に相対して配置された状態ではなくなってしまう。即ち、アノードパネルAPとカソードパネルCPとの間で位置ずれが発生する。 Then, the assembly of the anode panel AP, the cathode panel CP, and the joining member 30 is carried into a firing furnace, and the frit glass is fired by performing heat treatment in the firing furnace. When the frit glass is fired, the distance between the anode panel AP and the cathode panel CP changes from “H” to “d 0 ”. That is, when the anode panel AP is used as a reference, the cathode panel CP is displaced in the direction approaching the anode panel AP (Z direction), but at this time, it is easily displaced in the XY directions. When the cathode panel CP is displaced in the X and Y directions with respect to the anode panel AP, the electron emission area EA on the cathode panel side and the phosphor layer 22 on the anode panel side are accurately positioned relative to each other. It will disappear. That is, a positional deviation occurs between the anode panel AP and the cathode panel CP.

このような位置ずれの発生を防止する技術が、例えば、特開平10−254374号公報や特開平11−67094号公報、特開2005−5141号公報から公知である。   Techniques for preventing the occurrence of such misalignment are known from, for example, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 10-254374, 11-67094, and 2005-5141.

特開平10−254374号公報JP 10-254374 A 特開平11−67094号公報JP 11-67094 A 特開2005−5141号公報JP 2005-5141 A

これらの特許公開公報に開示された技術によって、アノードパネルAPとカソードパネルCPとの間の位置ずれの発生を効果的に防止することができるものの、特開平10−254374号公報や特開平11−67094号公報に開示された技術にあっては、位置合わせ部材あるいは位置決め固定部材が複数の部品から構成されており、位置合わせ部材あるいは位置決め固定部材の製造コストが高く、最終的に、表示装置の製造コスト増を招く。また、特開2005−5141号公報に開示された技術にあっては、焼成炉内で加熱処理を施すことでフリットガラスを焼成する際のアノードパネルAPを構成する材料とカソードパネルCPを構成する材料との熱膨張の差に起因して、アノードパネルAPとカソードパネルCPとを円滑に組み立てられない場合が生じ得る。   Although the technique disclosed in these patent publications can effectively prevent the occurrence of misalignment between the anode panel AP and the cathode panel CP, Japanese Patent Laid-Open Nos. 10-254374 and 11- In the technique disclosed in Japanese Patent No. 67094, the positioning member or the positioning fixing member is composed of a plurality of parts, and the manufacturing cost of the positioning member or the positioning fixing member is high. Increases manufacturing costs. In the technique disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-5141, the cathode panel CP and the material constituting the anode panel AP when the frit glass is fired by performing the heat treatment in the firing furnace. The anode panel AP and the cathode panel CP may not be smoothly assembled due to a difference in thermal expansion from the material.

従って、本発明の目的は、極めて簡素化された構成であるにも拘わらず、2つのパネル間における位置ずれの発生を効果的に防止することができる平面型表示装置の組立方法を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for assembling a flat panel display device that can effectively prevent the occurrence of misalignment between two panels despite the extremely simplified configuration. It is in.

上記の目的を達成するための本発明の平面型表示装置の組立方法は、平面形状が矩形の第1パネルと第2パネルとが、それらの周縁部において接合部材を介して接合されて成る平面型表示装置の組立方法であって、
(A)第1パネルと第2パネルとを、それらの周縁部に接合部材を配した状態で、位置合わせし、次いで、
(B)第1パネルに対する第2パネルの位置決めを行った後、
(C)第2パネルに対して、第2パネルの第1方向に延びる第1の辺に向かう力、該第1の辺に隣接し、第1の方向とは異なる第2の方向に延びる第2の辺に向かう力、及び、第1パネルに向かう力を付勢手段によって加えながら、接合部材を加熱することによって第1パネルと第2パネルとをそれらの周縁部において接合する、
工程を具備することを特徴とする。
In order to achieve the above object, the flat panel display assembly method of the present invention is a flat surface in which a first panel and a second panel having a rectangular planar shape are joined to each other at a peripheral portion thereof via a joining member. A method of assembling a mold display device,
(A) The first panel and the second panel are aligned in a state where the joining members are arranged on the peripheral portions thereof, and then,
(B) After positioning the second panel relative to the first panel,
(C) For the second panel, the force toward the first side extending in the first direction of the second panel, the second side adjacent to the first side and extending in a second direction different from the first direction The first panel and the second panel are joined at their peripheral portions by heating the joining member while applying a force toward the two sides and a force toward the first panel by the biasing means.
It comprises the process.

本発明の平面型表示装置の組立方法において、付勢手段は、ピン、ピンに力を加えるためのバネ、及び、ピン取付部から成る構成とすることができ、この場合、ピンに力を加えるためのバネによって、ピン取付部に取り付けられたピンには、第1の辺に向かう力(第1水平分力と呼ぶ場合がある)、第2の辺に向かう力(第2水平分力と呼ぶ場合がある)、及び、第1パネルに向かう力(垂直分力と呼ぶ場合がある)が合成された力が加えられる形態とすることができる。尚、このような付勢手段の数として、第1パネル、第2パネルの1辺当たり2個以上、好ましくは5個以上を例示することができる。ピンの軸線と第2パネルの法線との成す角度として、1度乃至40度、好ましくは、5度乃至20度を挙げることができる。   In the assembling method of the flat display device of the present invention, the biasing means can be composed of a pin, a spring for applying a force to the pin, and a pin mounting portion. In this case, the force is applied to the pin. For the pin attached to the pin attachment portion by the spring for the purpose, a force toward the first side (sometimes referred to as a first horizontal component force), a force toward the second side (a second horizontal component force) And a combined force of a force toward the first panel (sometimes referred to as a vertical component force) may be applied. In addition, as the number of such urging means, two or more, preferably five or more per side of the first panel and the second panel can be exemplified. The angle formed by the axis of the pin and the normal line of the second panel can be 1 to 40 degrees, preferably 5 to 20 degrees.

あるいは又、本発明の平面型表示装置の組立方法において、付勢手段はクリップから成る構成とすることができる。そして、この場合、クリップは、第1パネルを保持する保持部を有する保持部材、第2パネルと接触部で接する接触部材、保持部材と接触部材とを回動自在に相互に固定する固定部、及び、保持部材の保持部と接触部材の接触部とが相互に近接する方向に保持部材及び接触部材に力を加える付勢部材から成り;付勢部材によって、接触部材の接触部には、第1の辺に向かう力(第1水平分力)、第2の辺に向かう力(第2水平分力)、及び、第1パネルに向かう力(垂直分力)が合成された力が加えられる形態とすることができる。あるいは又、この場合、クリップは、第1パネルを保持する保持部を有する保持部材、第2パネルと接触部で接する接触部材、保持部材と接触部材とを回動自在に相互に固定する固定部、及び、保持部材の保持部と接触部材の接触部とが相互に近接する方向に保持部材及び接触部材に力を加える付勢部材から成り;接触部材の接触部を構成する材料の熱膨張率は、保持部材の保持部を構成する材料の熱膨張率よりも小さく;接合部材によって第1パネルと第2パネルとをそれらの周縁部において接合する際の加熱処理による接触部材及び保持部材の熱膨張によって、接触部材の接触部には、第1の辺に向かう力(第1水平分力)、第2の辺に向かう力(第2水平分力)、及び、第1パネルに向かう力(垂直分力)が合成された力が加えられる形態とすることができる。このような付勢手段の数として、第1パネル、第2パネルの1辺当たり2個以上、好ましくは5個以上を例示することができる。   Alternatively, in the method for assembling the flat display device of the present invention, the urging means can be constituted by a clip. In this case, the clip includes a holding member having a holding portion that holds the first panel, a contact member that contacts the second panel at the contact portion, a fixing portion that rotatably fixes the holding member and the contact member to each other, And the holding portion of the holding member and the contact portion of the contact member include a biasing member that applies a force to the holding member and the contact member in a direction in which they are close to each other; A force is applied that is a combination of a force toward the first side (first horizontal component force), a force toward the second side (second horizontal component force), and a force toward the first panel (vertical component force). It can be in the form. Alternatively, in this case, the clip includes a holding member having a holding portion that holds the first panel, a contact member that comes into contact with the second panel at the contact portion, and a fixing portion that rotatably fixes the holding member and the contact member to each other. And a biasing member that applies force to the holding member and the contact member in a direction in which the holding portion of the holding member and the contact portion of the contact member are close to each other; the coefficient of thermal expansion of the material constituting the contact portion of the contact member Is smaller than the coefficient of thermal expansion of the material constituting the holding portion of the holding member; the heat of the contact member and the holding member by heat treatment when the first panel and the second panel are joined at the peripheral edge by the joining member. Due to the expansion, the contact portion of the contact member has a force toward the first side (first horizontal component force), a force toward the second side (second horizontal component force), and a force toward the first panel ( The combined force of the vertical component force is applied It can be a state. Examples of the number of such urging means include two or more, preferably five or more per side of the first panel and the second panel.

以上の好ましい構成、形態を含む本発明の平面型表示装置の組立方法にあっては、第1パネルと第2パネルとの位置合わせの完了後、第2パネルの第1の辺の縁部に接する第1位置決め部材、及び、第2パネルの第2の辺の縁部に接する第2位置決め部材を、それぞれ、第1パネルに固定することで、第1パネルに対する第2パネルの位置決めを行う形態とすることができる。この場合、第1位置決め部材や第2位置決め部材は、例えば、ステンレス鋼等の金属や、各種のガラス、セラミックスから作製すればよい。第2パネルに接する第1位置決め部材及び第2位置決め部材の部分は、第1パネルに対して垂直でなければならない。フリットガラスの焼成時、第1パネルと第2パネルとの間の距離が「H」から「d0」へと変化する際、第1位置決め部材及び第2位置決め部材に沿って移動するので、第1位置決め部材や第2位置決め部材に、例えばθ°の傾斜が付いていると、(H−d0)tan(θ)だけずれてしまうからである。位置決め部材の形状を円柱形状あるいは角柱形状とすることが望ましい。位置決め部材の形状が円柱形状の場合、第2パネルの縁部(側面部)の断面が垂直であれば、位置決め部材とこの第2パネルの縁部(側面部)との接触状態は線接触となる。一方、位置決め部材の形状が角柱形状の場合、接触状態は面接触あるいは線接触となる。第1位置決め部材及び第2位置決め部材の第1パネルへの固定方法として、例えば、位置決め部材の底面にポリイミド系接着剤や無機系耐熱接着剤を塗布しておき、第1位置決め部材及び第2位置決め部材を第2パネルの第1の辺及び第2の辺の縁部に接触させた状態で、レーザビーム等によって接着剤を加熱することで、接着剤を硬化させる方法を例示することができる。ここで、(第1位置決め部材,第2位置決め部材)の組合せの個数として、(1,2)、(2,1)、(2,2)を例示することができる。また、位置決め精度の向上のため、少なくとも第1位置決め部材に接する第2パネルの第1の辺の縁部の部分、及び、少なくとも第2位置決め部材に接する第2パネルの第2の辺の縁部は、面取りされていることが望ましい。ここで、面取り部分の断面形状として、円形、楕円形等の滑らかな曲線を有する形状、三角形、丸みを帯びた稜線を有する三角形、稜線が切り落とされた三角形を例示することができる。面取りを施すことにより、円柱形状の位置決め部材と第2パネルの第1の辺の縁部、第2の辺の縁部との接触状態は点接触となる。面取り部分の頂点の位置は、第2パネルの厚さの1/2よりも第2パネル下面側に位置することが好ましい。 In the assembling method of the flat panel display device of the present invention including the above preferred configuration and form, after the alignment between the first panel and the second panel is completed, the edge of the first side of the second panel is The form which performs positioning of the 2nd panel to the 1st panel by fixing the 1st positioning member which touches, and the 2nd positioning member which touches the edge of the 2nd edge of the 2nd panel to a 1st panel, respectively. It can be. In this case, the first positioning member and the second positioning member may be made of, for example, a metal such as stainless steel, various kinds of glass, and ceramics. The portions of the first positioning member and the second positioning member that contact the second panel must be perpendicular to the first panel. When the frit glass is fired, when the distance between the first panel and the second panel changes from “H” to “d 0 ”, the frit glass moves along the first positioning member and the second positioning member. This is because, if the one positioning member or the second positioning member is inclined by, for example, θ °, it is displaced by (H−d 0 ) tan (θ). It is desirable that the positioning member has a cylindrical shape or a prismatic shape. When the shape of the positioning member is cylindrical, if the cross section of the edge (side surface) of the second panel is vertical, the contact state between the positioning member and the edge (side surface) of the second panel is line contact. Become. On the other hand, when the shape of the positioning member is a prismatic shape, the contact state is surface contact or line contact. As a method for fixing the first positioning member and the second positioning member to the first panel, for example, a polyimide-based adhesive or an inorganic heat-resistant adhesive is applied to the bottom surface of the positioning member, and the first positioning member and the second positioning member are then applied. A method of curing the adhesive by heating the adhesive with a laser beam or the like in a state where the member is in contact with the first side and the edge of the second side of the second panel can be exemplified. Here, (1, 2), (2, 1), (2, 2) can be exemplified as the number of combinations of (first positioning member, second positioning member). In order to improve positioning accuracy, at least the edge portion of the first side of the second panel in contact with the first positioning member, and the edge portion of the second side of the second panel in contact with at least the second positioning member Is preferably chamfered. Here, examples of the cross-sectional shape of the chamfered portion include a shape having a smooth curve such as a circle and an ellipse, a triangle, a triangle having a rounded ridgeline, and a triangle having a ridgeline cut off. By chamfering, the contact state between the cylindrical positioning member, the edge of the first side of the second panel, and the edge of the second side is point contact. The position of the apex of the chamfered portion is preferably located on the lower surface side of the second panel with respect to 1/2 of the thickness of the second panel.

あるいは又、以上の好ましい構成、形態を含む本発明の平面型表示装置の組立方法にあっては、第1パネルと第2パネルとの位置合わせの完了後、第2パネルの第1の辺の縁部に第1位置決め装置を当接させ、第2パネルの第2の辺の縁部に第2位置決め装置を当接させることで、第1パネルに対する第2パネルの位置決めを行う形態とすることができ、この場合、第1位置決め装置及び第2位置決め装置は、限定するものではないが、付勢手段ハウジングに螺合していることが好ましい。第1位置決め装置や第2位置決め装置の第2パネルの第1の辺の縁部、第2の辺の縁部への当接部分は、例えば、ステンレス鋼等の金属や、各種のガラス、セラミックスから作製すればよい。また、位置決め装置の当接部分の形状を曲面状、稜線状あるいは平面状とすることが望ましい。位置決め装置の当接部分の形状が曲面状あるいは稜線状の場合、第2パネルの縁部(側面部)の断面が垂直であれば、位置決め装置の当接部分と第2パネルの縁部(側面部)との接触状態は線接触となる。一方、位置決め装置の当接部分の形状が平面状の場合、接触状態は面接触となる。ここで、(第1位置決め装置,第2位置決め装置)の組合せの個数として、(1,2)、(2,1)、(2,2)を例示することができる。また、位置決め精度の向上のため、少なくとも第1位置決め装置に当接する第2パネルの第1の辺の縁部の部分、及び、少なくとも第2位置決め装置に当接する第2パネルの第2の辺の縁部は、面取りされていることが望ましい。ここで、面取り部分の断面形状として、円形、楕円形等の滑らかな曲線を有する形状、三角形、丸みを帯びた稜線を有する三角形、稜線が切り落とされた三角形を例示することができる。面取りを施すことにより、円柱形状の位置決め部材と第2パネルの第1の辺の縁部、第2の辺の縁部との接触状態は点接触となる。面取り部分の頂点の位置は、第2パネルの厚さの1/2よりも第2パネル下面側に位置することが好ましい。   Alternatively, in the assembling method of the flat display device of the present invention including the above preferred configuration and form, after the alignment between the first panel and the second panel is completed, the first side of the second panel The first positioning device is brought into contact with the edge and the second positioning device is brought into contact with the edge of the second side of the second panel, thereby positioning the second panel with respect to the first panel. In this case, the first positioning device and the second positioning device are not limited, but are preferably screwed into the biasing means housing. The first side edge of the first positioning device or the second side of the second positioning device, the contact part of the second side edge to the edge of the second side, for example, metal such as stainless steel, various glass, ceramics Can be made from Further, it is desirable that the contact portion of the positioning device has a curved surface shape, a ridge line shape, or a planar shape. When the shape of the contact portion of the positioning device is curved or ridgeline, the contact portion of the positioning device and the edge (side surface) of the second panel are provided if the cross section of the edge (side surface) of the second panel is vertical. Part) is a line contact. On the other hand, when the shape of the contact portion of the positioning device is planar, the contact state is surface contact. Here, (1, 2), (2, 1), (2, 2) can be exemplified as the number of combinations of (first positioning device, second positioning device). Further, in order to improve the positioning accuracy, at least the edge portion of the first side of the second panel that contacts the first positioning device, and at least the second side of the second panel that contacts the second positioning device. The edge is preferably chamfered. Here, examples of the cross-sectional shape of the chamfered portion include a shape having a smooth curve such as a circle and an ellipse, a triangle, a triangle having a rounded ridgeline, and a triangle having a ridgeline cut off. By chamfering, the contact state between the cylindrical positioning member, the edge of the first side of the second panel, and the edge of the second side is point contact. The position of the apex of the chamfered portion is preferably located on the lower surface side of the second panel with respect to 1/2 of the thickness of the second panel.

以上の好ましい構成、形態を含む本発明の平面型表示装置の組立方法にあっては、平面型表示装置として、冷陰極電界電子放出素子を備えた冷陰極電界電子放出表示装置を挙げることができるし、金属/絶縁膜/金属型素子(MIM素子)が組み込まれた平面型表示装置、表面伝導型電子放出素子が組み込まれた平面型表示装置、プラズマ表示装置を挙げることができる。尚、平面型表示装置を冷陰極電界電子放出表示装置から構成する場合、接合部材の最終的な厚さ(高さ)d0として、0.5mm乃至3.0mm、好ましくは、1mm乃至2mmを例示することができる。 In the assembling method of the flat display device of the present invention including the above preferred configurations and forms, the flat display device can include a cold cathode field emission display device equipped with a cold cathode field emission device. Examples thereof include a flat display device in which a metal / insulating film / metal element (MIM element) is incorporated, a flat display device in which a surface conduction electron-emitting device is incorporated, and a plasma display device. When the flat display device is composed of a cold cathode field emission display device, the final thickness (height) d 0 of the bonding member is 0.5 mm to 3.0 mm, preferably 1 mm to 2 mm. It can be illustrated.

本発明の平面型表示装置の組立方法にあっては、第1パネルと第2パネルとを周縁部において接合部材を介して接合するが、ここで、接合部材は、ガラスやセラミックス等の絶縁剛性材料から成る枠体と、枠体の頂面及び底面に形成された接着層とから成る構成とすることができるし、場合によっては、接着層のみから成る構成(具体的には、例えば、プレス成形された棒状のフリットガラスから成るフリットバーや、フレーム状(枠状)に賦形されたフリットガラス)を挙げることができる。枠体と接着層とを併用する場合には、枠体の高さを適宜選択することにより、接着層のみを使用する場合に比べ、第1パネルと第2パネルとの間の対向距離をより長く設定することが可能である。接着層の構成材料としては、B23−PbO系フリットガラスやSiO2−B23−PbO系フリットガラスといったフリットガラスが一般的であるが、融点が120〜400゜C程度の所謂低融点金属材料を用いてもよい。係る低融点金属材料としては、In(インジウム:融点157゜C);インジウム−金系の低融点合金;Sn80Ag20(融点220〜370゜C)、Sn95Cu5(融点227〜370゜C)等の錫(Sn)系高温はんだ;Pb97.5Ag2.5(融点304゜C)、Pb94.5Ag5.5(融点304〜365゜C)、Pb97.5Ag1.5Sn1.0(融点309゜C)等の鉛(Pb)系高温はんだ;Zn95Al5(融点380゜C)等の亜鉛(Zn)系高温はんだ;Sn5Pb95(融点300〜314゜C)、Sn2Pb98(融点316〜322゜C)等の錫−鉛系標準はんだ;Au88Ga12(融点381゜C)等のろう材(以上の添字は全て原子%を表す)を例示することができる。 In the method for assembling the flat display device of the present invention, the first panel and the second panel are joined to each other at the peripheral portion via a joining member. Here, the joining member is made of insulating rigidity such as glass or ceramics. It can be constituted by a frame made of a material and an adhesive layer formed on the top and bottom surfaces of the frame, and in some cases, it can be constituted by only an adhesive layer (specifically, for example, press Examples thereof include a frit bar made of a molded rod-shaped frit glass and a frit glass shaped into a frame shape (frame shape). When the frame and the adhesive layer are used in combination, the distance between the first panel and the second panel can be further increased by appropriately selecting the height of the frame as compared with the case where only the adhesive layer is used. It can be set longer. As a constituent material of the adhesive layer, a frit glass such as a B 2 O 3 —PbO-based frit glass or a SiO 2 —B 2 O 3 —PbO-based frit glass is generally used. A low melting point metal material may be used. Such low melting point metal materials include In (indium: melting point 157 ° C.); indium-gold based low melting point alloy; Sn 80 Ag 20 (melting point 220 to 370 ° C.), Sn 95 Cu 5 (melting point 227 to 370 ° C.) C) tin (Sn) type high temperature solder such as Pb 97.5 Ag 2.5 (melting point 304 ° C.), Pb 94.5 Ag 5.5 (melting point 304 to 365 ° C.), Pb 97.5 Ag 1.5 Sn 1.0 (melting point 309 ° C.), etc. Lead (Pb) high temperature solder; zinc (Zn) high temperature solder such as Zn 95 Al 5 (melting point 380 ° C.); Sn 5 Pb 95 (melting point 300 to 314 ° C.), Sn 2 Pb 98 (melting point 316 to 322) Tin-lead standard solder such as ° C); brazing material such as Au 88 Ga 12 (melting point 381 ° C) (the above subscripts all represent atomic%).

本発明の平面型表示装置の組立方法にあっては、接合前の接合部材を間に挟んだ状態で第1パネルと第2パネルとを位置合わせするが、係る工程は、例えば、接合前の接合部材が配置された第1パネルを載置台(パネルステージ)上に載置しておき、第1パネル及び第2パネルに設けられたアライメントマークを光学的に読み取り、第1パネルに対する第2パネルの位置を調節しながら、接合前の接合部材上に第2パネルを置く工程から構成することができる。   In the method for assembling the flat display device of the present invention, the first panel and the second panel are aligned with the joining member before joining interposed therebetween. The first panel on which the joining member is arranged is placed on a placement table (panel stage), alignment marks provided on the first panel and the second panel are optically read, and the second panel relative to the first panel is read. While adjusting the position, the second panel can be placed on the joining member before joining.

第1パネルと第2パネルと接合部材の三者を接合する場合、三者を同時に接合してもよいし、あるいは、第1段階で第1パネル又は第2パネルのいずれか一方と接合部材とを接合し、第2段階で第1パネル又は第2パネルの他方と接合部材とを接合してもよい。三者同時接合や第2段階における接合を高真空雰囲気中で行えば、第1パネルと第2パネルと接合部材とにより囲まれた空間は、接合と同時に真空となる。あるいは、三者の接合終了後、第1パネルと第2パネルと接合部材とによって囲まれた空間を排気し、真空とすることもできる。接合後に排気を行う場合、接合時の雰囲気の圧力は常圧/減圧のいずれであってもよく、また、雰囲気を構成する気体は、大気であっても、あるいは窒素ガスや周期律表0族に属するガス(例えばArガス)を含む不活性ガスであってもよい。   When joining the three members of the first panel, the second panel, and the joining member, the three members may be joined at the same time, or either the first panel or the second panel and the joining member in the first stage. And the other member of the first panel or the second panel and the joining member may be joined in the second stage. If the three-party simultaneous bonding or the second stage bonding is performed in a high vacuum atmosphere, the space surrounded by the first panel, the second panel, and the bonding member becomes a vacuum simultaneously with the bonding. Alternatively, after the three members are joined, the space surrounded by the first panel, the second panel, and the joining member can be evacuated to create a vacuum. When exhausting after joining, the pressure of the atmosphere at the time of joining may be normal pressure / depressurized, and the gas constituting the atmosphere may be air, or nitrogen gas or group 0 of the periodic table An inert gas containing a gas belonging to (for example, Ar gas) may be used.

排気を行う場合、排気は、第1パネル及び/又は第2パネルに予め接続されたチップ管とも呼ばれる排気管を通じて行うことができる。排気管は、典型的にはガラス管、あるいは、低熱膨張率を有する金属や合金[例えば、ニッケル(Ni)を42重量%含有した鉄(Fe)合金や、ニッケル(Ni)を42重量%、クロム(Cr)を6重量%含有した鉄(Fe)合金]から成る中空管から構成され、第1パネル及び/又は第2パネルの無効領域(平面型表示装置としての実用上の機能を果たす中央部の表示領域である有効領域を額縁状に包囲する領域)に設けられた貫通孔の周囲に、フリットガラス又は上述の低融点金属材料を用いて接合され、空間が所定の真空度に達した後、熱融着によって封じ切られ、あるいは又、圧着することにより封じられる。尚、封じる前に、平面型表示装置全体を一旦加熱してから降温させると、空間に残留ガスを放出させることができ、この残留ガスを排気により空間外へ除去することができるので好適である。   When exhaust is performed, the exhaust can be performed through an exhaust pipe called a tip pipe connected in advance to the first panel and / or the second panel. The exhaust pipe is typically a glass pipe, or a metal or alloy having a low coefficient of thermal expansion [for example, an iron (Fe) alloy containing 42 wt% nickel (Ni), 42 wt% nickel (Ni), A hollow tube made of an iron (Fe) alloy containing 6% by weight of chromium (Cr)] and serving as an ineffective area of the first panel and / or the second panel (practical function as a flat display device) Around the through-hole provided in the frame (the area surrounding the effective area, which is the display area in the center), it is joined using frit glass or the above-mentioned low melting point metal material, and the space reaches a predetermined degree of vacuum. After that, it is sealed by thermal fusion or sealed by pressure bonding. In addition, if the whole flat display device is once heated and then cooled before sealing, it is preferable because residual gas can be released into the space, and this residual gas can be removed out of the space by exhaust. .

本発明の平面型表示装置の組立方法(以下、本発明と略称する場合がある)において、第1パネル、第2パネルを構成する基板、支持体として、ガラス基板、表面に絶縁膜が形成されたガラス基板、石英基板、表面に絶縁膜が形成された石英基板、表面に絶縁膜が形成された半導体基板を挙げることができるが、製造コスト低減の観点からは、ガラス基板、あるいは、表面に絶縁膜が形成されたガラス基板を用いることが好ましい。ガラス基板として、高歪点ガラス、ソーダガラス(Na2O・CaO・SiO2)、硼珪酸ガラス(Na2O・B23・SiO2)、フォルステライト(2MgO・SiO2)、鉛ガラス(Na2O・PbO・SiO2)、無アルカリガラスを例示することができる。 In the method for assembling a flat panel display device of the present invention (hereinafter sometimes referred to as the present invention), a glass substrate is used as a substrate constituting the first panel, the second panel, and a support, and an insulating film is formed on the surface. Glass substrate, quartz substrate, quartz substrate having an insulating film formed on the surface, and semiconductor substrate having an insulating film formed on the surface. From the viewpoint of reducing the manufacturing cost, the glass substrate or the surface may be provided. It is preferable to use a glass substrate over which an insulating film is formed. As a glass substrate, high strain point glass, soda glass (Na 2 O · CaO · SiO 2 ), borosilicate glass (Na 2 O · B 2 O 3 · SiO 2 ), forsterite (2MgO · SiO 2 ), lead glass (Na 2 O · PbO · SiO 2 ) and alkali-free glass can be exemplified.

平面型表示装置を冷陰極電界電子放出表示装置とする場合、電子放出領域を構成する冷陰極電界電子放出素子(以下、電界放出素子と略称する)が、第2パネルあるいは第1パネル(カソードパネルと呼ぶ場合がある)に設けられ、一方、アノード電極及び蛍光体層が、第1パネルあるいは第2パネル(アノードパネルと呼ぶ場合がある)に設けられている。   When the flat-type display device is a cold cathode field electron emission display device, a cold cathode field electron emission device (hereinafter, abbreviated as a field emission device) constituting an electron emission region is a second panel or a first panel (cathode panel). On the other hand, the anode electrode and the phosphor layer are provided on the first panel or the second panel (sometimes referred to as an anode panel).

そして、電界放出素子は、
(a)支持体上に形成され、X方向に延びる帯状のカソード電極、
(b)カソード電極及び支持体上に形成された絶縁層、
(c)絶縁層上に形成され、X方向とは異なるY方向に延びる帯状のゲート電極、
(d)カソード電極とゲート電極の重複する重複領域に位置するゲート電極及び絶縁層の部分に設けられ、底部にカソード電極が露出した開口部、及び、
(e)開口部の底部に露出したカソード電極上に設けられた電子放出部、
から成る。
And the field emission device is
(A) a strip-shaped cathode electrode formed on the support and extending in the X direction;
(B) an insulating layer formed on the cathode electrode and the support;
(C) a strip-shaped gate electrode formed on the insulating layer and extending in the Y direction different from the X direction;
(D) an opening provided in a portion of the gate electrode and the insulating layer located in an overlapping region where the cathode electrode and the gate electrode overlap, and an exposed portion of the cathode electrode at the bottom; and
(E) an electron emission portion provided on the cathode electrode exposed at the bottom of the opening,
Consists of.

電界放出素子の型式は特に限定されず、スピント型電界放出素子(円錐形の電子放出部が、開口部の底部に位置するカソード電極の上に設けられた電界放出素子)や、扁平型電界放出素子(略平面の電子放出部が、開口部の底部に位置するカソード電極の上に設けられた電界放出素子)を挙げることができる。   The type of the field emission device is not particularly limited, and a Spindt-type field emission device (a field emission device in which a conical electron emission portion is provided on the cathode electrode positioned at the bottom of the opening) or a flat type field emission device An element (a field emission element in which a substantially planar electron emission portion is provided on a cathode electrode positioned at the bottom of an opening) can be given.

カソードパネルにおいて、カソード電極の射影像とゲート電極の射影像とは直交することが、即ち、X方向とY方向とは直交することが、冷陰極電界電子放出表示装置の構造の簡素化といった観点から好ましい。そして、カソード電極とゲート電極とが重複する重複領域は電子放出領域に該当し、電子放出領域が2次元マトリクス状に配列されており、各電子放出領域には、1又は複数の電界放出素子が設けられている。   In the cathode panel, the projection image of the cathode electrode and the projection image of the gate electrode are orthogonal, that is, the X direction and the Y direction are orthogonal, from the viewpoint of simplifying the structure of the cold cathode field emission display device. To preferred. An overlapping region where the cathode electrode and the gate electrode overlap corresponds to an electron emission region, and the electron emission regions are arranged in a two-dimensional matrix, and each electron emission region includes one or a plurality of field emission elements. Is provided.

冷陰極電界電子放出表示装置にあっては、カソード電極及びゲート電極に印加された電圧によって生じた強電界が電子放出部に加わる結果、量子トンネル効果により電子放出部から電子が放出される。そして、この電子は、アノードパネルに設けられたアノード電極によってアノードパネルへと引き付けられ、蛍光体層に衝突する。そして、蛍光体層への電子の衝突の結果、蛍光体層が発光し、画像として認識することができる。   In the cold cathode field emission display, a strong electric field generated by a voltage applied to the cathode electrode and the gate electrode is applied to the electron emission portion, and as a result, electrons are emitted from the electron emission portion by the quantum tunnel effect. The electrons are attracted to the anode panel by the anode electrode provided on the anode panel, and collide with the phosphor layer. As a result of the collision of electrons with the phosphor layer, the phosphor layer emits light and can be recognized as an image.

冷陰極電界電子放出表示装置において、カソード電極はカソード電極制御回路に接続され、ゲート電極はゲート電極制御回路に接続され、アノード電極はアノード電極制御回路に接続されている。尚、これらの制御回路は周知の回路から構成することができる。実動作時、アノード電極制御回路の出力電圧VAは、通常、一定であり、例えば、5キロボルト〜15キロボルトとすることができる。あるいは又、アノードパネルとカソードパネルとの間の距離をd0(但し、0.5mm≦d0≦10mm)としたとき、VA/d0(単位:キロボルト/mm)の値は、0.5以上20以下、好ましくは1以上10以下、一層好ましくは4以上8以下を満足することが望ましい。冷陰極電界電子放出表示装置の実動作時、カソード電極に印加する電圧VC及びゲート電極に印加する電圧VGに関しては、階調制御方式として電圧変調方式を採用することができる。 In the cold cathode field emission display, the cathode electrode is connected to the cathode electrode control circuit, the gate electrode is connected to the gate electrode control circuit, and the anode electrode is connected to the anode electrode control circuit. Note that these control circuits can be constituted by known circuits. During actual operation, the output voltage V A of the anode electrode control circuit is normally constant, and can be, for example, 5 kilovolts to 15 kilovolts. Alternatively, when the distance between the anode panel and the cathode panel is d 0 (where 0.5 mm ≦ d 0 ≦ 10 mm), the value of V A / d 0 (unit: kilovolt / mm) is 0. It is desirable to satisfy 5 or more and 20 or less, preferably 1 or more and 10 or less, and more preferably 4 or more and 8 or less. In actual operation of the cold cathode field emission display, the voltage modulation method can be adopted as the gradation control method for the voltage V C applied to the cathode electrode and the voltage V G applied to the gate electrode.

電界放出素子は、一般に、以下の方法で製造することができる。
(1)支持体上にカソード電極を形成する工程、
(2)全面(支持体及びカソード電極上)に絶縁層を形成する工程、
(3)絶縁層上にゲート電極を形成する工程、
(4)カソード電極とゲート電極との重複領域におけるゲート電極及び絶縁層の部分に開口部を形成し、開口部の底部にカソード電極を露出させる工程、
(5)開口部の底部に位置するカソード電極上に電子放出部を形成する工程。
A field emission device can be generally manufactured by the following method.
(1) forming a cathode electrode on a support;
(2) forming an insulating layer on the entire surface (on the support and the cathode electrode);
(3) forming a gate electrode on the insulating layer;
(4) forming an opening in a portion of the gate electrode and the insulating layer in a region where the cathode electrode and the gate electrode overlap, and exposing the cathode electrode at the bottom of the opening;
(5) A step of forming an electron emission portion on the cathode electrode located at the bottom of the opening.

あるいは又、電界放出素子は、以下の方法で製造することもできる。
(1)支持体上にカソード電極を形成する工程、
(2)カソード電極上に電子放出部を形成する工程、
(3)全面(支持体及び電子放出部上、あるいは、支持体、カソード電極及び電子放出部上)に絶縁層を形成する工程、
(4)絶縁層上にゲート電極を形成する工程、
(5)カソード電極とゲート電極との重複領域におけるゲート電極及び絶縁層の部分に開口部を形成し、開口部の底部に電子放出部を露出させる工程。
Alternatively, the field emission device can be manufactured by the following method.
(1) forming a cathode electrode on a support;
(2) forming an electron emission portion on the cathode electrode;
(3) forming an insulating layer on the entire surface (on the support and the electron emission portion or on the support, the cathode electrode and the electron emission portion);
(4) forming a gate electrode on the insulating layer;
(5) A step of forming an opening in a portion of the gate electrode and the insulating layer in an overlapping region between the cathode electrode and the gate electrode and exposing the electron emission portion at the bottom of the opening.

電界放出素子には収束電極が備えられていてもよい。即ち、例えばゲート電極及び絶縁層上には更に層間絶縁層が設けられ、層間絶縁層上に収束電極が設けられている電界放出素子、あるいは又、ゲート電極の上方に収束電極が設けられている電界放出素子とすることもできる。ここで、収束電極とは、開口部から放出され、アノード電極へ向かう放出電子の軌道を収束させ、以て、輝度の向上や隣接画素間の光学的クロストークの防止を可能とするための電極である。アノード電極とカソード電極との間の電位差が数キロボルト以上のオーダーであって、アノード電極とカソード電極との間の距離が比較的長い、所謂高電圧タイプの冷陰極電界電子放出表示装置において、収束電極は特に有効である。収束電極には、収束電極制御回路から相対的な負電圧(例えば、0ボルト)が印加される。収束電極は、必ずしも、カソード電極とゲート電極とが重複する重複領域に設けられた電子放出部あるいは電子放出領域のそれぞれを取り囲むように個別に形成されている必要はなく、例えば、電子放出部あるいは電子放出領域の所定の配列方向に沿って延在させてもよいし、電子放出部あるいは電子放出領域の全てを1つの収束電極で取り囲む構成としてもよく(即ち、収束電極を、冷陰極電界電子放出表示装置としての実用上の機能を果たす中央部の表示領域である有効領域の全体を覆う薄い1枚のシート状の構造としてもよく)、これによって、複数の電子放出部あるいは電子放出領域に共通の収束効果を及ぼすことができる。   The field emission device may be provided with a focusing electrode. That is, for example, a field emission element in which an interlayer insulating layer is further provided on the gate electrode and the insulating layer, and a focusing electrode is provided on the interlayer insulating layer, or a focusing electrode is provided above the gate electrode. It can also be a field emission device. Here, the focusing electrode is an electrode for converging the trajectory of emitted electrons that are emitted from the opening and directed toward the anode electrode, thereby improving the luminance and preventing optical crosstalk between adjacent pixels. It is. In a so-called high voltage type cold cathode field emission display, the potential difference between the anode electrode and the cathode electrode is on the order of several kilovolts or more and the distance between the anode electrode and the cathode electrode is relatively long. The electrode is particularly effective. A relative negative voltage (for example, 0 volts) is applied to the focusing electrode from the focusing electrode control circuit. The focusing electrode does not necessarily have to be individually formed so as to surround each of the electron emission portion or the electron emission region provided in the overlapping region where the cathode electrode and the gate electrode overlap, for example, the electron emission portion or The electron emission region may be extended along a predetermined arrangement direction, or the electron emission portion or the electron emission region may be surrounded by one focusing electrode (that is, the focusing electrode may be a cold cathode field electron). It may be a thin sheet-like structure covering the entire effective area, which is the central display area that performs a practical function as an emission display device), thereby providing a plurality of electron emission areas or electron emission areas. A common convergence effect can be exerted.

スピント型電界放出素子にあっては、電子放出部を構成する材料として、モリブデン、モリブデン合金、タングステン、タングステン合金、チタン、チタン合金、ニオブ、ニオブ合金、タンタル、タンタル合金、クロム、クロム合金、及び、不純物を含有するシリコン(ポリシリコンやアモルファスシリコン)から成る群から選択された少なくとも1種類の材料を挙げることができる。スピント型電界放出素子の電子放出部は、真空蒸着法の他、例えばスパッタリング法や化学的気相成長法(CVD法)によっても形成することができる。   In the Spindt-type field emission device, as the material constituting the electron emission portion, molybdenum, molybdenum alloy, tungsten, tungsten alloy, titanium, titanium alloy, niobium, niobium alloy, tantalum, tantalum alloy, chromium, chromium alloy, and And at least one material selected from the group consisting of silicon (polysilicon and amorphous silicon) containing impurities. The electron emission portion of the Spindt-type field emission device can be formed by, for example, a sputtering method or a chemical vapor deposition method (CVD method) in addition to the vacuum deposition method.

扁平型電界放出素子にあっては、電子放出部を構成する材料として、カソード電極を構成する材料よりも仕事関数Φの小さい材料から構成することが好ましく、どのような材料を選択するかは、カソード電極を構成する材料の仕事関数、ゲート電極とカソード電極との間の電位差、要求される放出電子電流密度の大きさ等に基づいて決定すればよい。あるいは又、電子放出部を構成する材料として、係る材料の2次電子利得δがカソード電極を構成する導電性材料の2次電子利得δよりも大きくなるような材料から適宜選択してもよい。扁平型電界放出素子にあっては、特に好ましい電子放出部の構成材料として、炭素、より具体的にはアモルファスダイヤモンドやグラファイト、カーボン・ナノチューブ構造体(カーボン・ナノチューブ及び/又はグラファイト・ナノファイバー)、ZnOウィスカー、MgOウィスカー、SnO2ウィスカー、MnOウィスカー、Y23ウィスカー、NiOウィスカー、ITOウィスカー、In23ウィスカー、Al23ウィスカーを挙げることができる。尚、電子放出部を構成する材料は、必ずしも導電性を備えている必要はない。 In the flat field emission device, it is preferable that the material constituting the electron emission portion is composed of a material having a work function Φ smaller than that of the material constituting the cathode electrode. What is necessary is just to determine based on the work function of the material which comprises a cathode electrode, the electric potential difference between a gate electrode and a cathode electrode, the magnitude | size of the emission electron current density requested | required, etc. Alternatively, the material constituting the electron emission portion may be appropriately selected from materials in which the secondary electron gain δ of the material is larger than the secondary electron gain δ of the conductive material constituting the cathode electrode. In the flat type field emission device, carbon, more specifically, amorphous diamond or graphite, a carbon nanotube structure (carbon nanotube and / or graphite nanofiber), as a particularly preferable constituent material of the electron emission portion, Examples thereof include ZnO whiskers, MgO whiskers, SnO 2 whiskers, MnO whiskers, Y 2 O 3 whiskers, NiO whiskers, ITO whiskers, In 2 O 3 whiskers, and Al 2 O 3 whiskers. In addition, the material which comprises an electron emission part does not necessarily need to be provided with electroconductivity.

カソード電極、ゲート電極、収束電極の構成材料として、アルミニウム(Al)、タングステン(W)、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)、モリブデン(Mo)、クロム(Cr)、銅(Cu)、金(Au)、銀(Ag)、チタン(Ti)、ニッケル(Ni)、コバルト(Co)、ジルコニウム(Zr)、鉄(Fe)、白金(Pt)、亜鉛(Zn)等の金属;これらの金属元素を含む合金(例えばMoW)あるいは化合物(例えばTiN等の窒化物や、WSi2、MoSi2、TiSi2、TaSi2等のシリサイド);シリコン(Si)等の半導体;ダイヤモンド等の炭素薄膜;ITO(酸化インジウム−錫)、酸化インジウム、酸化亜鉛等の導電性金属酸化物を例示することができる。また、これらの電極の形成方法として、例えば、電子ビーム蒸着法や熱フィラメント蒸着法といった蒸着法、スパッタリング法、CVD法やイオンプレーティング法とエッチング法との組合せ;スクリーン印刷法;メッキ法(電気メッキ法や無電解メッキ法);リフトオフ法;レーザアブレーション法;ゾル−ゲル法等を挙げることができる。スクリーン印刷法やメッキ法によれば、直接、例えば帯状のカソード電極やゲート電極を形成することが可能である。 The constituent materials of the cathode electrode, gate electrode, and focusing electrode are aluminum (Al), tungsten (W), niobium (Nb), tantalum (Ta), molybdenum (Mo), chromium (Cr), copper (Cu), gold ( Metals such as Au), silver (Ag), titanium (Ti), nickel (Ni), cobalt (Co), zirconium (Zr), iron (Fe), platinum (Pt), zinc (Zn); these metal elements Alloys (eg, MoW) or compounds (eg, nitrides such as TiN, silicides such as WSi 2 , MoSi 2 , TiSi 2 , TaSi 2 ); semiconductors such as silicon (Si); carbon thin films such as diamond; ITO ( Examples thereof include conductive metal oxides such as indium oxide-tin oxide, indium oxide, and zinc oxide. In addition, as a method for forming these electrodes, for example, a vapor deposition method such as an electron beam vapor deposition method or a hot filament vapor deposition method, a sputtering method, a combination of a CVD method, an ion plating method and an etching method; a screen printing method; Plating method and electroless plating method); lift-off method; laser ablation method; sol-gel method and the like. According to the screen printing method or the plating method, for example, a strip-like cathode electrode or gate electrode can be formed directly.

絶縁層や層間絶縁層の構成材料として、SiO2、BPSG、PSG、BSG、AsSG、PbSG、SiON、SOG(スピンオングラス)、低融点ガラス、ガラスペーストといったSiO2系材料;SiN系材料;ポリイミド等の絶縁性樹脂を、単独あるいは適宜組み合わせて使用することができる。絶縁層や層間絶縁層の形成には、CVD法、塗布法、スパッタリング法、スクリーン印刷法等の公知のプロセスが利用できる。 As a material for constituting the insulating layer and the interlayer insulating layer, SiO 2, BPSG, PSG, BSG, AsSG, PbSG, SiON, SOG ( spin on glass), low-melting glass, SiO 2 based materials such glass paste; SiN-based materials; polyimide These insulating resins can be used alone or in appropriate combination. For forming the insulating layer or the interlayer insulating layer, a known process such as a CVD method, a coating method, a sputtering method, or a screen printing method can be used.

第1開口部(ゲート電極に形成された開口部)あるいは第2開口部(絶縁層に形成された開口部)の平面形状(支持体表面と平行な仮想平面で開口部を切断したときの形状)は、円形、楕円形、矩形、多角形、丸みを帯びた矩形、丸みを帯びた多角形等、任意の形状とすることができる。第1開口部の形成は、例えば、異方性エッチング、等方性エッチング、異方性エッチングと等方性エッチングの組合せによって行うことができ、あるいは又、ゲート電極の形成方法に依っては、第1開口部を直接形成することもできる。第2開口部の形成も、例えば、異方性エッチング、等方性エッチング、異方性エッチングと等方性エッチングの組合せによって行うことができる。   Planar shape of the first opening (opening formed in the gate electrode) or the second opening (opening formed in the insulating layer) (shape when the opening is cut in a virtual plane parallel to the support surface) ) Can be any shape such as a circle, an ellipse, a rectangle, a polygon, a rounded rectangle, a rounded polygon. The formation of the first opening can be performed by, for example, anisotropic etching, isotropic etching, a combination of anisotropic etching and isotropic etching, or, depending on the method of forming the gate electrode, The first opening can also be formed directly. The second opening can also be formed by, for example, anisotropic etching, isotropic etching, or a combination of anisotropic etching and isotropic etching.

電界放出素子においては、電界放出素子の構造に依存するが、1つの開口部内に1つの電子放出部が存在してもよいし、1つの開口部内に複数の電子放出部が存在してもよいし、ゲート電極に複数の第1開口部を設け、係る第1開口部と連通する1つの第2開口部を絶縁層に設け、絶縁層に設けられた1つの第2開口部内に1又は複数の電子放出部が存在してもよい。   In the field emission device, depending on the structure of the field emission device, one electron emission portion may exist in one opening, or a plurality of electron emission portions may exist in one opening. In addition, a plurality of first openings are provided in the gate electrode, one second opening communicating with the first opening is provided in the insulating layer, and one or more are provided in one second opening provided in the insulating layer. There may be an electron emission portion.

電界放出素子において、カソード電極と電子放出部との間に抵抗体膜を設けてもよい。抵抗体膜を設けることによって、電界放出素子の動作安定化、電子放出特性の均一化を図ることができる。抵抗体膜を構成する材料として、シリコンカーバイド(SiC)やSiCNといったカーボン系材料、SiN、アモルファスシリコン等の半導体材料、酸化ルテニウム(RuO2)、酸化タンタル、窒化タンタル等の高融点金属酸化物を例示することができる。抵抗体膜の形成方法として、スパッタリング法や、CVD法やスクリーン印刷法を例示することができる。1つの電子放出部当たりの電気抵抗値は、概ね1×106〜1×1011Ω、好ましくは数十ギガΩとすればよい。 In the field emission device, a resistor film may be provided between the cathode electrode and the electron emission portion. By providing the resistor film, the operation of the field emission device can be stabilized and the electron emission characteristics can be made uniform. As a material constituting the resistor film, a carbon-based material such as silicon carbide (SiC) or SiCN, a semiconductor material such as SiN or amorphous silicon, or a refractory metal oxide such as ruthenium oxide (RuO 2 ), tantalum oxide, or tantalum nitride. It can be illustrated. Examples of the method for forming the resistor film include a sputtering method, a CVD method, and a screen printing method. The electrical resistance value per one electron emitting portion may be approximately 1 × 10 6 to 1 × 10 11 Ω, preferably several tens of gigaΩ.

平面型表示装置において、アノード電極と蛍光体層の構成例として、(1)基板上に、アノード電極を形成し、アノード電極の上に蛍光体層を形成する構成、(2)基板上に、蛍光体層を形成し、蛍光体層上にアノード電極を形成する構成、を挙げることができる。尚、(1)の構成において、蛍光体層の上に、アノード電極と導通した所謂メタルバック膜を形成してもよい。また、(2)の構成において、アノード電極の上にメタルバック膜を形成してもよい。   In the flat display device, examples of the configuration of the anode electrode and the phosphor layer include (1) a configuration in which the anode electrode is formed on the substrate and the phosphor layer is formed on the anode electrode, and (2) on the substrate. The structure which forms a fluorescent substance layer and forms an anode electrode on a fluorescent substance layer can be mentioned. In the configuration (1), a so-called metal back film that is electrically connected to the anode electrode may be formed on the phosphor layer. In the configuration (2), a metal back film may be formed on the anode electrode.

アノード電極は、全体として1つのアノード電極から構成されていてもよいし、複数のアノード電極ユニットから構成されていてもよい。後者の場合、アノード電極ユニットとアノード電極ユニットとは抵抗体層によって電気的に接続されていることが好ましい。抵抗体層を構成する材料として、カーボン、シリコンカーバイド(SiC)やSiCNといったカーボン系材料;SiN系材料;酸化ルテニウム(RuO2)、酸化タンタル、窒化タンタル、酸化クロム、酸化チタン等の高融点金属酸化物;アモルファスシリコン等の半導体材料;ITOを挙げることができる。また、SiC抵抗膜上に抵抗値の低いカーボン薄膜を積層するといった複数の膜の組み合わせにより、安定した所望のシート抵抗値を実現することも可能である。抵抗体層のシート抵抗値として、1×10-1Ω/□乃至1×1010Ω/□、好ましくは1×103Ω/□乃至1×108Ω/□を例示することができる。アノード電極ユニットの数(Q)は2以上であればよく、例えば、直線状に配列された蛍光体層の列の総数をq列としたとき、Q=qとし、あるいは、q=k・Q(kは2以上の整数であり、好ましくは10≦k≦100、一層好ましくは20≦k≦50)としてもよいし、一定の間隔をもって配設されるスペーサの数に1を加えた数とすることができるし、ピクセルの数あるいはサブピクセルの数と一致した数、あるいは、ピクセルの数あるいはサブピクセルの数の整数分の一とすることもできる。また、各アノード電極ユニットの大きさは、アノード電極ユニットの位置に拘わらず同じとしてもよいし、アノード電極ユニットの位置に依存して異ならせてもよい。全体として1つのアノード電極の上に抵抗体層を形成してもよい。 The anode electrode may be composed of one anode electrode as a whole, or may be composed of a plurality of anode electrode units. In the latter case, it is preferable that the anode electrode unit and the anode electrode unit are electrically connected by a resistor layer. As the material constituting the resistor layer, carbon, carbon carbide (SiC), SiCN, and other carbon materials; SiN materials; ruthenium oxide (RuO 2 ), tantalum oxide, tantalum nitride, chromium oxide, titanium oxide, and other high melting point metals Examples thereof include oxides; semiconductor materials such as amorphous silicon; ITO. It is also possible to realize a stable desired sheet resistance value by combining a plurality of films such as laminating a carbon thin film having a low resistance value on the SiC resistance film. Examples of the sheet resistance value of the resistor layer include 1 × 10 −1 Ω / □ to 1 × 10 10 Ω / □, preferably 1 × 10 3 Ω / □ to 1 × 10 8 Ω / □. The number (Q) of anode electrode units may be two or more. For example, when the total number of rows of phosphor layers arranged in a straight line is q, Q = q or q = k · Q (K is an integer of 2 or more, preferably 10 ≦ k ≦ 100, more preferably 20 ≦ k ≦ 50), or a number obtained by adding 1 to the number of spacers arranged at a constant interval. It can also be a number that matches the number of pixels or sub-pixels, or an integer fraction of the number of pixels or sub-pixels. The size of each anode electrode unit may be the same regardless of the position of the anode electrode unit, or may vary depending on the position of the anode electrode unit. A resistor layer may be formed on one anode electrode as a whole.

アノード電極(アノード電極ユニットを包含する)は、導電材料層を用いて形成すればよい。導電材料層の形成方法として、例えば、電子ビーム蒸着法や熱フィラメント蒸着法といった蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、レーザアブレーション法といった各種の物理的気相成長法(PVD法);各種のCVD法;スクリーン印刷法;メタルマスク印刷法;リフトオフ法;ゾル−ゲル法等を挙げることができる。即ち、導電材料から成る導電材料層を形成し、リソグラフィ技術及びエッチング技術に基づき、この導電材料層をパターニングしてアノード電極を形成することができる。あるいは又、アノード電極のパターンを有するマスクやスクリーンを介して導電材料をPVD法やスクリーン印刷法に基づき形成することによって、アノード電極を得ることもできる。尚、抵抗体層も同様の方法で形成することができる。即ち、抵抗体材料から抵抗体層を形成し、リソグラフィ技術及びエッチング技術に基づきこの抵抗体層をパターニングしてもよいし、あるいは、抵抗体層のパターンを有するマスクやスクリーンを介して抵抗体材料のPVD法やスクリーン印刷法に基づく形成により、抵抗体層を得ることができる。基板上(あるいは基板上方)におけるアノード電極の平均厚さ(後述するように隔壁を設ける場合、隔壁の頂面上におけるアノード電極の平均厚さ)として、3×10-8m(30nm)乃至5×10-7m(0.5μm)、好ましくは5×10-8m(50nm)乃至3×10-7m(0.3μm)を例示することができる。 The anode electrode (including the anode electrode unit) may be formed using a conductive material layer. Examples of the method of forming the conductive material layer include various physical vapor deposition methods (PVD methods) such as an evaporation method such as an electron beam evaporation method and a hot filament evaporation method, a sputtering method, an ion plating method, and a laser ablation method; Examples include CVD method; screen printing method; metal mask printing method; lift-off method; sol-gel method. That is, it is possible to form an anode electrode by forming a conductive material layer made of a conductive material and patterning the conductive material layer based on a lithography technique and an etching technique. Alternatively, the anode electrode can be obtained by forming a conductive material based on a PVD method or a screen printing method through a mask or screen having an anode electrode pattern. The resistor layer can also be formed by a similar method. That is, a resistor layer may be formed from a resistor material, and the resistor layer may be patterned based on a lithography technique and an etching technique, or the resistor material may be provided via a mask or screen having a resistor layer pattern. The resistor layer can be obtained by formation based on the PVD method or the screen printing method. 3 × 10 −8 m (30 nm) to 5 as the average thickness of the anode electrode on the substrate (or above the substrate) (when the partition is provided as described later, the average thickness of the anode electrode on the top surface of the partition) Examples include x10 −7 m (0.5 μm), preferably 5 × 10 −8 m (50 nm) to 3 × 10 −7 m (0.3 μm).

アノード電極の構成材料として、モリブデン(Mo)、アルミニウム(Al)、クロム(Cr)、タングステン(W)、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)、金(Au)、銀(Ag)、チタン(Ti)、コバルト(Co)、ジルコニウム(Zr)、鉄(Fe)、白金(Pt)、亜鉛(Zn)等の金属;これらの金属元素を含む合金あるいは化合物(例えばTiN等の窒化物や、WSi2、MoSi2、TiSi2、TaSi2等のシリサイド);シリコン(Si)等の半導体;ダイヤモンド等の炭素薄膜;ITO(酸化インジウム−錫)、酸化インジウム、酸化亜鉛等の導電性金属酸化物を例示することができる。尚、抵抗体層を形成する場合、抵抗体層の抵抗値を変化させない導電材料からアノード電極を構成することが好ましく、例えば、抵抗体層をシリコンカーバイド(SiC)から構成した場合、アノード電極をモリブデン(Mo)から構成することが好ましい。 As the constituent material of the anode electrode, molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), tungsten (W), niobium (Nb), tantalum (Ta), gold (Au), silver (Ag), titanium (Ti) ), Cobalt (Co), zirconium (Zr), iron (Fe), platinum (Pt), zinc (Zn), etc .; alloys or compounds containing these metal elements (for example, nitrides such as TiN, WSi 2 Silicide such as MoSi 2 , TiSi 2 , TaSi 2 ); Semiconductor such as silicon (Si); Carbon thin film such as diamond; Conductive metal oxide such as ITO (indium oxide-tin oxide), indium oxide, zinc oxide can do. When the resistor layer is formed, the anode electrode is preferably made of a conductive material that does not change the resistance value of the resistor layer. For example, when the resistor layer is made of silicon carbide (SiC), the anode electrode is It is preferable to comprise from molybdenum (Mo).

蛍光体層は、単色の蛍光体粒子から構成されていても、3原色の蛍光体粒子から構成されていてもよい。蛍光体層の配列様式は、例えば、ドット状である。具体的には、平面型表示装置がカラー表示の場合、蛍光体層の配置、配列として、デルタ配列、ストライプ配列、ダイアゴナル配列、レクタングル配列を挙げることができる。即ち、直線状に配列された蛍光体層の1列は、全てが赤色発光蛍光体層で占められた列、緑色発光蛍光体層で占められた列、及び、青色発光蛍光体層で占められた列から構成されていてもよいし、赤色発光蛍光体層、緑色発光蛍光体層、及び、青色発光蛍光体層が順に配置された列から構成されていてもよい。ここで、蛍光体層とは、平面型表示装置において1つの輝点を生成する蛍光体領域であると定義する。また、1画素(1ピクセル)は、1つの赤色発光蛍光体層、1つの緑色発光蛍光体層、及び、1つの青色発光蛍光体層の集合から構成され、1サブピクセルは、1つの蛍光体層(1つの赤色発光蛍光体層、あるいは、1つの緑色発光蛍光体層、あるいは、1つの青色発光蛍光体層)から構成される。尚、隣り合う蛍光体層の間の隙間がコントラスト向上を目的とした光吸収層(ブラックマトリックス)で埋め込まれていてもよい。   The phosphor layer may be composed of single-color phosphor particles or may be composed of three primary color phosphor particles. The arrangement pattern of the phosphor layers is, for example, a dot shape. Specifically, when the flat display device is a color display, examples of the arrangement and arrangement of the phosphor layers include a delta arrangement, a stripe arrangement, a diagonal arrangement, and a rectangle arrangement. That is, one line of the phosphor layers arranged in a straight line is occupied by a line occupied by the red light emitting phosphor layer, a line occupied by the green light emitting phosphor layer, and a blue light emitting phosphor layer. It may be comprised from the row | line | column, and it may be comprised from the row | line | column in which the red light emission fluorescent substance layer, the green light emission fluorescent substance layer, and the blue light emission fluorescent substance layer were arrange | positioned in order. Here, the phosphor layer is defined as a phosphor region that generates one bright spot in the flat display device. Further, one pixel (one pixel) is composed of a set of one red light emitting phosphor layer, one green light emitting phosphor layer, and one blue light emitting phosphor layer, and one subpixel is one phosphor. It is composed of layers (one red-emitting phosphor layer, one green-emitting phosphor layer, or one blue-emitting phosphor layer). A gap between adjacent phosphor layers may be filled with a light absorption layer (black matrix) for the purpose of improving contrast.

蛍光体層は、発光性結晶粒子(例えば、粒径2〜10nm程度の蛍光体粒子)から調製された発光性結晶粒子組成物を使用し、例えば、赤色の感光性の発光性結晶粒子組成物(赤色蛍光体スラリー)を全面に塗布し、露光、現像して、赤色発光蛍光体層を形成し、次いで、緑色の感光性の発光性結晶粒子組成物(緑色蛍光体スラリー)を全面に塗布し、露光、現像して、緑色発光蛍光体層を形成し、更に、青色の感光性の発光性結晶粒子組成物(青色蛍光体スラリー)を全面に塗布し、露光、現像して、青色発光蛍光体層を形成する方法にて形成することができる。あるいは又、赤色発光蛍光体スラリー、緑色発光蛍光体スラリー、青色発光蛍光体スラリーを順次塗布した後、各蛍光体スラリーを順次露光、現像して、各蛍光体層を形成してもよいし、スクリーン印刷法やインクジェット法、フロート塗布法、沈降塗布法、蛍光体フィルム転写法等により各蛍光体層を形成してもよい。基板上における蛍光体層の平均厚さは、限定するものではないが、3μm乃至20μm、好ましくは5μm乃至10μmであることが望ましい。発光性結晶粒子を構成する蛍光体材料としては、従来公知の蛍光体材料の中から適宜選択して用いることができる。カラー表示の場合、色純度がNTSCで規定される3原色に近く、3原色を混合した際の白バランスがとれ、残光時間が短く、3原色の残光時間がほぼ等しくなる蛍光体材料を組み合わせることが好ましい。   The phosphor layer uses a luminescent crystal particle composition prepared from luminescent crystal particles (for example, phosphor particles having a particle size of about 2 to 10 nm), for example, a red photosensitive luminescent crystal particle composition. (Red phosphor slurry) is applied to the entire surface, exposed and developed to form a red light emitting phosphor layer, and then a green photosensitive luminescent crystal particle composition (green phosphor slurry) is applied to the entire surface. Then, it is exposed to light and developed to form a green light emitting phosphor layer. Further, a blue photosensitive luminescent crystal particle composition (blue phosphor slurry) is applied to the entire surface, exposed to light and developed to emit blue light. It can be formed by a method of forming a phosphor layer. Alternatively, after sequentially applying the red light emitting phosphor slurry, the green light emitting phosphor slurry, and the blue light emitting phosphor slurry, each phosphor slurry may be sequentially exposed and developed to form each phosphor layer. Each phosphor layer may be formed by a screen printing method, an inkjet method, a float coating method, a sedimentation coating method, a phosphor film transfer method, or the like. The average thickness of the phosphor layer on the substrate is not limited, but is preferably 3 μm to 20 μm, preferably 5 μm to 10 μm. The phosphor material constituting the luminescent crystal particles can be appropriately selected from conventionally known phosphor materials. In the case of color display, a phosphor material whose color purity is close to the three primary colors specified by NTSC, white balance is achieved when the three primary colors are mixed, the afterglow time is short, and the afterglow time of the three primary colors is almost equal. It is preferable to combine them.

蛍光体層からの光を吸収する光吸収層が、隣り合う蛍光体層の間、あるいは、隔壁と基板との間に形成されていることが、表示画像のコントラスト向上といった観点から好ましい。ここで、光吸収層は、所謂ブラックマトリックスとして機能する。光吸収層を構成する材料として、蛍光体層からの光を90%以上吸収する材料を選択することが好ましい。このような材料として、カーボン、金属薄膜(例えば、クロム、ニッケル、アルミニウム、モリブデン等、あるいは、これらの合金)、金属酸化物(例えば、酸化クロム)、金属窒化物(例えば、窒化クロム)、耐熱性有機樹脂、ガラスペースト、黒色顔料や銀等の導電性粒子を含有するガラスペースト等の材料を挙げることができ、具体的には、感光性ポリイミド樹脂、酸化クロムや、酸化クロム/クロム積層膜を例示することができる。尚、酸化クロム/クロム積層膜においては、クロム膜が基板と接する。光吸収層は、例えば、真空蒸着法やスパッタリング法とエッチング法との組合せ、真空蒸着法やスパッタリング法、スピンコーティング法とリフトオフ法との組合せに、スクリーン印刷法、リソグラフィ技術等、使用する材料に依存して適宜選択された方法にて形成することができる。   The light absorption layer that absorbs light from the phosphor layer is preferably formed between adjacent phosphor layers or between the partition wall and the substrate from the viewpoint of improving the contrast of the display image. Here, the light absorption layer functions as a so-called black matrix. As the material constituting the light absorption layer, it is preferable to select a material that absorbs 90% or more of light from the phosphor layer. Such materials include carbon, metal thin films (eg, chromium, nickel, aluminum, molybdenum, etc., or alloys thereof), metal oxides (eg, chromium oxide), metal nitrides (eg, chromium nitride), heat resistance Materials such as photosensitive organic resins, glass pastes, glass pastes containing conductive particles such as black pigments and silver, and specifically, photosensitive polyimide resins, chromium oxides, and chromium oxide / chromium laminated films Can be illustrated. In the chromium oxide / chromium laminated film, the chromium film is in contact with the substrate. For example, the light absorption layer is a combination of a vacuum vapor deposition method, a sputtering method and an etching method, a vacuum vapor deposition method, a sputtering method, a combination of a spin coating method and a lift-off method, a screen printing method, a lithography technique, etc. It can be formed by a method appropriately selected depending on the method.

蛍光体層から反跳した電子、あるいは、蛍光体層から放出された2次電子が他の蛍光体層に入射し、所謂光学的クロストーク(色濁り)が発生することを防止するために、あるいは又、蛍光体層から反跳した電子、あるいは、蛍光体層から放出された2次電子が他の蛍光体層に向かって侵入することを防止するために、隔壁を設けることが好ましい。   In order to prevent the electrons recoiled from the phosphor layer or the secondary electrons emitted from the phosphor layer from entering other phosphor layers, so-called optical crosstalk (color turbidity) is generated. Alternatively, it is preferable to provide a partition in order to prevent electrons recoiled from the phosphor layer or secondary electrons emitted from the phosphor layer from entering another phosphor layer.

隔壁の形成方法として、スクリーン印刷法、ドライフィルム法、感光法、キャスティング法、サンドブラスト形成法を例示することができる。ここで、スクリーン印刷法とは、隔壁を形成すべき部分に対応するスクリーンの部分に開口が形成されており、スクリーン上の隔壁形成用材料をスキージを用いて開口を通過させ、基板上に隔壁形成用材料層を形成した後、係る隔壁形成用材料層を焼成する方法である。ドライフィルム法とは、基板上に感光性フィルムをラミネートし、露光及び現像によって隔壁形成予定部位の感光性フィルムを除去し、除去によって生じた開口に隔壁形成用材料を埋め込み、焼成する方法である。感光性フィルムは焼成によって燃焼、除去され、開口に埋め込まれた隔壁形成用材料が残り、隔壁となる。感光法とは、基板上に感光性を有する隔壁形成用材料層を形成し、露光及び現像によってこの隔壁形成用材料層をパターニングした後、焼成(硬化)を行う方法である。キャスティング法(型押し成形法)とは、ペースト状とした有機材料あるいは無機材料から成る隔壁形成用材料層を型(キャスト)から基板上に押し出すことで隔壁形成用材料層を形成した後、係る隔壁形成用材料層を焼成する方法である。サンドブラスト形成法とは、例えば、スクリーン印刷やメタルマスク印刷法、ロールコーター、ドクターブレード、ノズル吐出式コーター等を用いて隔壁形成用材料層を基板上に形成し、乾燥させた後、隔壁を形成すべき隔壁形成用材料層の部分をマスク層で被覆し、次いで、露出した隔壁形成用材料層の部分をサンドブラスト法によって除去する方法である。隔壁を形成した後、隔壁を研磨し、隔壁頂面の平坦化を図ってもよい。   Examples of the partition wall forming method include a screen printing method, a dry film method, a photosensitive method, a casting method, and a sandblast forming method. Here, in the screen printing method, an opening is formed in a portion of the screen corresponding to a portion where a partition is to be formed, and the partition forming material on the screen is passed through the opening using a squeegee, and the partition is formed on the substrate. In this method, after the formation material layer is formed, the partition wall formation material layer is fired. The dry film method is a method of laminating a photosensitive film on a substrate, removing the photosensitive film at the part where the partition wall is to be formed by exposure and development, embedding the partition wall forming material in the opening generated by the removal, and baking. . The photosensitive film is burned and removed by baking, and the partition wall-forming material embedded in the openings remains to form partition walls. The photosensitive method is a method in which a barrier rib-forming material layer having photosensitivity is formed on a substrate, the barrier rib-forming material layer is patterned by exposure and development, and then fired (cured). The casting method (embossing molding method) refers to a method for forming a partition wall forming material layer by extruding a partition wall forming material layer made of a paste-like organic material or inorganic material onto a substrate from a mold (cast). In this method, the partition wall forming material layer is fired. The sand blast forming method is, for example, forming a partition wall forming material layer on a substrate using a screen printing or metal mask printing method, a roll coater, a doctor blade, a nozzle discharge type coater, etc. In this method, the part of the partition wall forming material layer to be covered is covered with a mask layer, and then the exposed part of the partition wall forming material layer is removed by sandblasting. After the partition wall is formed, the partition wall may be polished to flatten the top surface of the partition wall.

隔壁における蛍光体層を取り囲む部分の平面形状(隔壁側面の射影像の内側輪郭線に相当し、一種の開口領域である)として、矩形形状、円形形状、楕円形状、長円形状、三角形形状、五角形以上の多角形形状、丸みを帯びた三角形形状、丸みを帯びた矩形形状、丸みを帯びた多角形等を例示することができる。これらの平面形状(開口領域の平面形状)が2次元マトリクス状に配列されることにより、格子状の隔壁が形成される。この2次元マトリクス状の配列は、例えば井桁様に配列されるものでもよいし、千鳥様に配列されるものでもよい。   As a planar shape of the part surrounding the phosphor layer in the partition wall (corresponding to the inner contour line of the projected image of the partition wall side surface and a kind of opening region), a rectangular shape, a circular shape, an elliptical shape, an oval shape, a triangular shape, Examples include pentagonal or more polygonal shapes, rounded triangular shapes, rounded rectangular shapes, rounded polygons, and the like. By arranging these planar shapes (planar shapes of the opening regions) in a two-dimensional matrix, a lattice-like partition is formed. This two-dimensional matrix-like arrangement may be arranged, for example, like a cross or like a zigzag.

隔壁形成用材料として、例えば、感光性ポリイミド樹脂や、酸化コバルト等の金属酸化物により黒色に着色した鉛ガラス、SiO2、低融点ガラスペーストを例示することができる。隔壁の表面(頂面及び側面)には、隔壁に電子ビームが衝突して隔壁からガスが放出されることを防止するための保護層(例えば、SiO2、SiON、あるいは、AlNから成る)を形成してもよい。 Examples of the partition wall forming material include photosensitive polyimide resin, lead glass colored with a metal oxide such as cobalt oxide, SiO 2 , and a low melting point glass paste. A protective layer (for example, made of SiO 2 , SiON, or AlN) is provided on the surface (top surface and side surface) of the partition wall to prevent an electron beam from colliding with the partition wall and releasing gas from the partition wall. It may be formed.

平面型表示装置によっては、第1パネルと第2パネルによって挟まれた空間は高真空となっている。従って、第1パネルと第2パネルとの間に、例えば、セラミック材料やガラスといった高抵抗材料から作製されたスペーサを配設しておかないと、大気圧によって平面型表示装置が損傷を受けてしまう。スペーサは、例えばセラミックスやガラスから構成することができる。スペーサをセラミックスから構成する場合、セラミックスとして、ムライトやアルミナ、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、ジルコニア、コーディオライト、硼珪酸塩バリウム、珪酸鉄、ガラスセラミックス材料、これらに、酸化チタンや酸化クロム、酸化鉄、酸化バナジウム、酸化ニッケルを添加したもの等を例示することができる。この場合、所謂グリーンシートを成形して、グリーンシートを焼成し、係るグリーンシート焼成品を切断することによってスペーサを製造することができる。また、スペーサを構成するガラスとして、ソーダライムガラスを挙げることができる。スペーサは、例えば、隔壁と隔壁との間に挟み込んで固定すればよく、あるいは又、例えば、第1パネルや第2パネルにスペーサ保持部を形成し、スペーサ保持部によって固定すればよい。   Depending on the flat display device, the space between the first panel and the second panel is in a high vacuum. Therefore, if a spacer made of a high resistance material such as ceramic material or glass is not disposed between the first panel and the second panel, the flat display device is damaged by atmospheric pressure. End up. The spacer can be made of ceramics or glass, for example. When the spacer is made of ceramics, the ceramics include mullite, alumina, barium titanate, lead zirconate titanate, zirconia, cordiolite, borosilicate barium, iron silicate, glass ceramic materials, titanium oxide and chromium oxide. Examples thereof include iron oxide, vanadium oxide, and nickel oxide added. In this case, the spacer can be manufactured by forming a so-called green sheet, firing the green sheet, and cutting the green sheet fired product. Moreover, soda-lime glass can be mentioned as glass which comprises a spacer. The spacer may be fixed by being sandwiched between the partition walls, for example. Alternatively, for example, a spacer holding part may be formed on the first panel or the second panel and fixed by the spacer holding part.

スペーサの表面には、帯電防止膜が設けられていてもよい。帯電防止膜を構成する材料は、その2次電子放出係数が1に近いことが好ましく、帯電防止膜を構成する材料として、グラファイト等の半金属、酸化物、ホウ化物、炭化物、硫化物、及び、窒化物等を用いることができる。例えば、グラファイト等の半金属及びMoSe2等の半金属元素を含む化合物、CrOx、CrAlxy、Nd23、LaxBa2-xCuO4、LaxBa2-xCuO4、Lax1-xCrO3等の酸化物、AlB2、TiB2等のホウ化物、SiC等の炭化物、MoS2、WS2等の硫化物、及び、BN、TiN、AlN等の窒化物等を挙げることができるし、更には、例えば、特表2004−500688号公報等に記載されている材料等を用いることもできる。帯電防止膜は、単一の種類の材料から成るものであってもよいし、複数の種類の材料から成るものであってもよいし、単層構造であってもよいし、多層構造であってもよい。帯電防止膜は、スパッタリング法、真空蒸着法、CVD法等、周知の方法に基づき形成することができる。 An antistatic film may be provided on the surface of the spacer. The material constituting the antistatic film preferably has a secondary electron emission coefficient close to 1, and as the material constituting the antistatic film, a semimetal such as graphite, an oxide, a boride, a carbide, a sulfide, and A nitride or the like can be used. For example, compounds containing a metalloid element 2 such as a semi-metal and MoSe such as graphite, CrO x, CrAl x O y , Nd 2 O 3, La x Ba 2-x CuO 4, La x Ba 2-x CuO 4, Oxides such as La x Y 1-x CrO 3 , borides such as AlB 2 and TiB 2 , carbides such as SiC, sulfides such as MoS 2 and WS 2 , and nitrides such as BN, TiN and AlN In addition, for example, materials described in, for example, JP-T-2004-500688 can be used. The antistatic film may be composed of a single type of material, may be composed of a plurality of types of materials, may be a single layer structure, or may be a multilayer structure. May be. The antistatic film can be formed based on a known method such as a sputtering method, a vacuum deposition method, a CVD method, or the like.

本発明の平面型表示装置の組立方法にあっては、接合部材を加熱することによって第1パネルと第2パネルとをそれらの周縁部において接合するが、この際、接合部材の高さ(第1パネルと第2パネルとの間の距離)は「H」から「d0(<H)」へと変化する。即ち、第1パネルを基準としたとき、第2パネルは、第1パネルに近づく方向(Z方向)に変位する。然るに、第1パネルに対して第2パネルは位置決めされた状態にあり、しかも、第2パネルには、第1の辺に向かう力、第2の辺に向かう力、及び、第1パネルに向かう力が付勢手段によって加えられている。従って、第2パネルが、第1の方向、第2の方向のいずれにも変位することはない。それ故、第1パネルと第2パネルとの間で位置ずれが発生することがなく、高品質の平面型表示装置を提供することができる。しかも、第1パネルと第2パネルとの間の位置ずれを防止するための手段は、付勢手段といった、極めて簡素な構成である。 In the assembling method of the flat display device of the present invention, the first panel and the second panel are joined at their peripheral portions by heating the joining member. At this time, the height of the joining member (first The distance between the first panel and the second panel) changes from “H” to “d 0 (<H)”. That is, when the first panel is used as a reference, the second panel is displaced in the direction approaching the first panel (Z direction). However, the second panel is positioned with respect to the first panel, and the second panel has a force toward the first side, a force toward the second side, and toward the first panel. Power is applied by the biasing means. Therefore, the second panel is not displaced in either the first direction or the second direction. Therefore, there is no displacement between the first panel and the second panel, and a high-quality flat display device can be provided. Moreover, the means for preventing the displacement between the first panel and the second panel has a very simple configuration such as an urging means.

以下、図面を参照して、実施例に基づき本発明を説明する。   Hereinafter, the present invention will be described based on examples with reference to the drawings.

実施例1は、本発明の平面型表示装置の組立方法に関し、平面形状が矩形の第1パネルと第2パネルとが、それらの周縁部において接合部材を介して接合されて成る平面型表示装置の組立方法である。ここで、実施例1の平面型表示装置は、より具体的には、冷陰極電界電子放出表示装置(以下、表示装置と略称する)から成る。実施例1の表示装置を構成する第1パネルを、以下、アノードパネルAPと呼び、第2パネルを、以下、カソードパネルCPと呼ぶ場合がある。ここで、スピント型冷陰極電界電子放出素子(以下、電界放出素子と呼ぶ)を有する実施例1あるいは後述する実施例2〜実施例4の表示装置の模式的な一部断面図は図7に示したと同様であり、扁平型電界放出素子を有する実施例1あるいは後述する実施例2〜実施例4の表示装置の模式的な一部断面図は図8に示したと同様である。また、第1パネルP1(アノードパネルAP)及び第2パネルP2(カソードパネルCP)を分解したときの第1パネルP1(アノードパネルAP)と第2パネルP2(カソードパネルCP)の一部分の模式的な分解斜視図は、図9に示したと同様である。 Example 1 relates to a method for assembling a flat display device according to the present invention, and includes a flat panel display device in which a first panel and a second panel having a rectangular planar shape are bonded to each other at a peripheral portion thereof via a bonding member. This is an assembly method. Here, more specifically, the flat display device of Example 1 includes a cold cathode field emission display device (hereinafter, abbreviated as a display device). The first panel constituting the display device according to the first embodiment may be hereinafter referred to as an anode panel AP, and the second panel may be hereinafter referred to as a cathode panel CP. Here, FIG. 7 shows a schematic partial cross-sectional view of the display device of Example 1 having Spindt-type cold cathode field emission devices (hereinafter referred to as field emission devices) or Examples 2 to 4 described later. The schematic partial cross-sectional view of the display device of Example 1 having a flat field emission device or Examples 2 to 4 described later is the same as that shown in FIG. The first panel P 1 (anode panel AP) and a second panel P 2 first panel P when decomposing (cathode panel CP) 1 (anode panel AP) and the second panel P 2 of (cathode panel CP) A schematic exploded perspective view of a part is the same as that shown in FIG.

即ち、実施例1あるいは後述する実施例2〜実施例4の表示装置は、平面形状が矩形の第1パネルP1(アノードパネルAP)と第2パネルP2(カソードパネルCP)とが、それらの周縁部において接合部材30を介して接合されて成る。より具体的には、この表示装置は、電子を放出する電子放出領域EAが支持体10に複数、形成されて成る第2パネルP2(カソードパネルCP)と、電子放出領域EAから放出された電子が衝突する蛍光体層22及びアノード電極24が基板20に形成されて成る第1パネルP1(アノードパネルAP)とが、それらの周縁部において接合部材30を介して接合され、第1パネルP1(アノードパネルAP)と第2パネルP2(カソードパネルCP)とによって挟まれた空間が真空に保持されている。 That is, the display device of Example 1 or Examples 2 to 4 described later includes a first panel P 1 (anode panel AP) and a second panel P 2 (cathode panel CP) having a rectangular planar shape. It is joined via the joining member 30 in the peripheral part. More specifically, in this display device, a second panel P 2 (cathode panel CP) in which a plurality of electron emission areas EA that emit electrons are formed on the support 10 and the electron emission area EA are emitted. The first panel P 1 (anode panel AP) formed by forming the phosphor layer 22 and the anode electrode 24 on which the electrons collide is formed on the substrate 20 is bonded to the first panel via the bonding member 30 at the peripheral portion thereof. A space sandwiched between P 1 (anode panel AP) and the second panel P 2 (cathode panel CP) is maintained in a vacuum.

ここで、実施例1あるいは後述する実施例2〜実施例4において、電子放出領域EAを構成する電界放出素子は、例えば、スピント型電界放出素子から構成されている。スピント型電界放出素子は、図7に示すように、
(a)支持体10に形成されたカソード電極11、
(b)支持体10及びカソード電極11上に形成された絶縁層12、
(c)絶縁層12上に形成されたゲート電極13、
(d)ゲート電極13及び絶縁層12に設けられた開口部14(ゲート電極13に設けられた第1開口部14A、及び、絶縁層12に設けられた第2開口部14B)、並びに、
(e)開口部14の底部に位置するカソード電極11上に形成された円錐形の電子放出部15、
から構成されている。
Here, in the first embodiment or the second to fourth embodiments described later, the field emission elements constituting the electron emission region EA are configured by, for example, Spindt type field emission elements. As shown in FIG. 7, the Spindt-type field emission device has
(A) a cathode electrode 11 formed on the support 10;
(B) an insulating layer 12 formed on the support 10 and the cathode electrode 11;
(C) a gate electrode 13 formed on the insulating layer 12;
(D) the opening 14 provided in the gate electrode 13 and the insulating layer 12 (the first opening 14A provided in the gate electrode 13 and the second opening 14B provided in the insulating layer 12), and
(E) a conical electron emission portion 15 formed on the cathode electrode 11 located at the bottom of the opening 14;
It is composed of

あるいは又、実施例1あるいは後述する実施例2〜実施例4にあっては、電界放出素子は、例えば扁平型電界放出素子から構成されている。扁平型電界放出素子は、図8に示すように、
(a)支持体10上に形成されたカソード電極11、
(b)支持体10及びカソード電極11上に形成された絶縁層12、
(c)絶縁層12上に形成されたゲート電極13、
(d)ゲート電極13及び絶縁層12に設けられた開口部14(ゲート電極13に設けられた第1開口部14A、及び、絶縁層12に設けられた第2開口部14B)、並びに、
(e)開口部14の底部に位置するカソード電極11上に形成された電子放出部15A、
から構成されている。尚、電子放出部15Aは、例えば、マトリックスに一部分が埋め込まれた多数のカーボン・ナノチューブから構成されている。
Alternatively, in Example 1 or Examples 2 to 4 to be described later, the field emission device is constituted by, for example, a flat type field emission device. As shown in FIG.
(A) a cathode electrode 11 formed on the support 10;
(B) an insulating layer 12 formed on the support 10 and the cathode electrode 11;
(C) a gate electrode 13 formed on the insulating layer 12;
(D) the opening 14 provided in the gate electrode 13 and the insulating layer 12 (the first opening 14A provided in the gate electrode 13 and the second opening 14B provided in the insulating layer 12), and
(E) an electron emission portion 15A formed on the cathode electrode 11 located at the bottom of the opening 14;
It is composed of The electron emission portion 15A is composed of, for example, a large number of carbon nanotubes partially embedded in a matrix.

カソードパネルCPにおいて、カソード電極11は、X方向に延びる帯状であり、ゲート電極13は、X方向とは異なるY方向に延びる帯状である。カソード電極11とゲート電極13とは、これらの両電極11,13の射影像が互いに直交する方向に各々帯状に形成されている。1サブピクセルに相当する電子放出領域EAには、複数の電界放出素子が設けられており、1サブピクセルに相当する電子放出領域EAが、カソードパネルCPの有効領域内に、2次元マトリクス状に配列されている。また、1サブピクセルは、カソードパネル側の電子放出領域EAと、この電子放出領域EAに対面したアノードパネル側の蛍光体層22とによって構成されている。尚、絶縁層12及びゲート電極13上には層間絶縁層(図示せず)が設けられており、更には、収束電極(図示せず)が、電界放出素子の所定の配列方向に沿って層間絶縁層上に設けられており、複数の電界放出素子に共通の収束効果を及ぼすことができる。カソードパネルCPの無効領域には、真空排気用の貫通孔(図示せず)が設けられており、この貫通孔には、真空排気後に封じ切られるチップ管とも呼ばれる排気管(図示せず)が取り付けられている。   In the cathode panel CP, the cathode electrode 11 has a strip shape extending in the X direction, and the gate electrode 13 has a strip shape extending in the Y direction different from the X direction. The cathode electrode 11 and the gate electrode 13 are each formed in a strip shape in a direction in which the projected images of both the electrodes 11 and 13 are orthogonal to each other. The electron emission area EA corresponding to one subpixel is provided with a plurality of field emission elements, and the electron emission areas EA corresponding to one subpixel are arranged in a two-dimensional matrix within the effective area of the cathode panel CP. It is arranged. One subpixel is constituted by an electron emission area EA on the cathode panel side and a phosphor layer 22 on the anode panel side facing the electron emission area EA. An interlayer insulating layer (not shown) is provided on the insulating layer 12 and the gate electrode 13, and further, a focusing electrode (not shown) is provided between the interlayers along a predetermined arrangement direction of the field emission elements. It is provided on the insulating layer and can exert a common convergence effect on a plurality of field emission devices. A through hole (not shown) for evacuation is provided in the ineffective region of the cathode panel CP, and an exhaust pipe (not shown) called a tip tube that is sealed after evacuation is provided in the through hole. It is attached.

実施例1あるいは後述する実施例2〜実施例4において、アノードパネルAPは、基板20、並びに、この基板20上に形成された蛍光体層22(カラー表示の場合、赤色発光蛍光体層22R、緑色発光蛍光体層22G、青色発光蛍光体層22B)、及び、蛍光体層22を覆うアノード電極24から構成されている。即ち、アノードパネルAPは、より具体的には、基板20、基板20上に形成された隔壁21と隔壁21との間の基板20上に形成され、多数の蛍光体粒子から成る蛍光体層22(赤色発光蛍光体層22R、緑色発光蛍光体層22G、青色発光蛍光体層22B)、及び、蛍光体層22上に形成されたアノード電極24を備えている。アノード電極24は、厚さ約70nmのアルミニウム(Al)から成り、有効領域を覆う薄い1枚のシート状であり、隔壁21及び蛍光体層22を覆う状態で設けられている。蛍光体層22と蛍光体層22との間であって、隔壁21と基板20との間には、表示画像の色濁り、光学的クロストークの発生を防止するために、光吸収層(ブラックマトリックス)23が形成されている。そして、第1パネルP1(アノードパネルAP)と第2パネルP2(カソードパネルCP)とによって挟まれた空間は真空状態(圧力:例えば10-3Pa以下)とされている。 In Example 1 or Examples 2 to 4 to be described later, the anode panel AP includes a substrate 20 and a phosphor layer 22 formed on the substrate 20 (in the case of color display, a red light-emitting phosphor layer 22R, The green light emitting phosphor layer 22 </ b> G, the blue light emitting phosphor layer 22 </ b> B), and the anode electrode 24 covering the phosphor layer 22. That is, the anode panel AP is more specifically formed on the substrate 20 and the substrate 20 between the partition walls 21 formed on the substrate 20 and the phosphor layer 22 made of a large number of phosphor particles. (A red light emitting phosphor layer 22R, a green light emitting phosphor layer 22G, a blue light emitting phosphor layer 22B), and an anode electrode 24 formed on the phosphor layer 22. The anode electrode 24 is made of aluminum (Al) having a thickness of about 70 nm, is in the form of a thin sheet that covers the effective region, and is provided so as to cover the partition wall 21 and the phosphor layer 22. Between the phosphor layer 22 and the phosphor layer 22, and between the partition wall 21 and the substrate 20, a light absorption layer (black) is used to prevent the occurrence of color turbidity and optical crosstalk in the display image. Matrix) 23 is formed. The space sandwiched between the first panel P 1 (anode panel AP) and the second panel P 2 (cathode panel CP) is in a vacuum state (pressure: for example, 10 −3 Pa or less).

実施例1あるいは後述する実施例2〜実施例4において、カソード電極11はカソード電極制御回路81に接続され、ゲート電極13はゲート電極制御回路82に接続され、収束電極は収束電極制御回路(図示せず)に接続され、アノード電極24はアノード電極制御回路83に接続されている。これらの制御回路は周知の回路から構成することができる。表示装置の実動作時、アノード電極制御回路83からアノード電極24に印加されるアノード電圧VAは、通常、一定であり、例えば、5キロボルト〜15キロボルトとすることができる。一方、表示装置の実動作時、カソード電極11に印加する電圧VC及びゲート電極13に印加する電圧VGに関しては、
(1)カソード電極11に印加する電圧VCを一定とし、ゲート電極13に印加する電圧VGを変化させる方式
(2)カソード電極11に印加する電圧VCを変化させ、ゲート電極13に印加する電圧VGを一定とする方式
(3)カソード電極11に印加する電圧VCを変化させ、且つ、ゲート電極13に印加する電圧VGも変化させる方式
のいずれを採用してもよい。
In Embodiment 1 or Embodiments 2 to 4 described later, the cathode electrode 11 is connected to the cathode electrode control circuit 81, the gate electrode 13 is connected to the gate electrode control circuit 82, and the focusing electrode is the focusing electrode control circuit (see FIG. The anode electrode 24 is connected to the anode electrode control circuit 83. These control circuits can be constituted by known circuits. During actual operation of the display device, the anode voltage V A applied from the anode electrode control circuit 83 to the anode electrode 24 is normally constant, and can be, for example, 5 kilovolts to 15 kilovolts. On the other hand, regarding the voltage V C applied to the cathode electrode 11 and the voltage V G applied to the gate electrode 13 during actual operation of the display device,
(1) A method in which the voltage V C applied to the cathode electrode 11 is constant and the voltage V G applied to the gate electrode 13 is changed. (2) The voltage V C applied to the cathode electrode 11 is changed and applied to the gate electrode 13. the voltage V G for changing the voltage V C applied to the method (3) a cathode electrode 11, constant, and may employ any method to change the voltage V G applied to the gate electrode 13.

表示装置の実動作時、カソード電極11には相対的に負電圧(VC)がカソード電極制御回路81から印加され、ゲート電極13には相対的に正電圧(VG)がゲート電極制御回路82から印加され、収束電極には収束電極制御回路から例えば0ボルトが印加され、アノード電極24にはゲート電極13よりも更に高い正電圧(アノード電圧VA)がアノード電極制御回路83から印加される。係る表示装置において表示を行う場合、例えば、カソード電極11にカソード電極制御回路81から走査信号を入力し、ゲート電極13にゲート電極制御回路82からビデオ信号を入力する。尚、カソード電極11にカソード電極制御回路81からビデオ信号を入力し、ゲート電極13にゲート電極制御回路82から走査信号を入力してもよい。カソード電極11とゲート電極13との間に電圧を印加した際に生ずる電界により、量子トンネル効果に基づき電子放出部15,15Aから電子が放出され、この電子がアノード電極24に引き付けられ、アノード電極24を通過して蛍光体層22に衝突する。その結果、蛍光体層22が励起されて発光し、所望の画像を得ることができる。つまり、この表示装置の動作は、基本的に、ゲート電極13に印加される電圧VG、及びカソード電極11に印加される電圧VCによって制御される。 During actual operation of the display device, a relatively negative voltage (V C ) is applied to the cathode electrode 11 from the cathode electrode control circuit 81, and a relatively positive voltage (V G ) is applied to the gate electrode 13. 82, for example, 0 V is applied to the focusing electrode from the focusing electrode control circuit, and a positive voltage (anode voltage V A ) higher than that of the gate electrode 13 is applied to the anode electrode 24 from the anode electrode control circuit 83. The When performing display in such a display device, for example, a scanning signal is input to the cathode electrode 11 from the cathode electrode control circuit 81, and a video signal is input to the gate electrode 13 from the gate electrode control circuit 82. Note that a video signal may be input to the cathode electrode 11 from the cathode electrode control circuit 81, and a scanning signal may be input to the gate electrode 13 from the gate electrode control circuit 82. Electrons are emitted from the electron emission portions 15 and 15A based on the quantum tunnel effect due to an electric field generated when a voltage is applied between the cathode electrode 11 and the gate electrode 13, and the electrons are attracted to the anode electrode 24. It passes through 24 and collides with the phosphor layer 22. As a result, the phosphor layer 22 is excited to emit light, and a desired image can be obtained. That is, the operation of this display device is basically controlled by the voltage V G applied to the gate electrode 13 and the voltage V C applied to the cathode electrode 11.

以下、図1の(A)〜(C)、図2の(A)〜(C)、及び、図3の(A)、(B)を参照して、実施例1の表示装置の組立方法を説明する。尚、図1の(A)、図2の(A)、及び、図3の(A)は、第1パネル等の模式的な平面図であり、図1の(B)、及び、図2の(B)は、矢印A−Aに沿った第1パネル等の模式的な断面図であり、図1の(C)、図2の(C)、及び、図3の(B)は、第1パネル等の模式的な一部断面図である。また、図1の(A)、図2の(A)、及び、図3の(A)においては、第1パネルP1、第2パネルP2、接合部材(明示のために斜線を付す)、位置決め部材以外の図示を省略しているし、第1パネルP1、第2パネルP2の構成要素の詳細な図示を省略している。 Hereinafter, with reference to FIGS. 1A to 1C, FIGS. 2A to 2C, and FIGS. 3A and 3B, the method of assembling the display device of the first embodiment will be described below. Will be explained. 1A, 2A, and 3A are schematic plan views of the first panel, etc., and FIG. 1B and FIG. (B) of FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the first panel and the like along the arrow AA, and (C) of FIG. 1, (C) of FIG. 2, and (B) of FIG. It is a typical partial sectional view of the 1st panel etc. 1A, FIG. 2A, and FIG. 3A, the first panel P 1 , the second panel P 2 , and the joining member (hatched for clarity). In addition, illustrations other than the positioning members are omitted, and detailed illustrations of components of the first panel P 1 and the second panel P 2 are omitted.

ここで、実施例1における付勢手段50は、ピン51、ピンに力を加えるためのバネ(押しバネ)52、及び、ピン取付部53から成る。ピン取付部53は、付勢手段ハウジング54に取り付けられている。ピン51の後端部が図示しない係止部に係止された状態にあるとき、ピン51は後進端に位置し(図1の(C)、図2の(C)参照))、ピン51の後端部が図示しない係止部による係止状態を解かれ、バネ52の付勢力によって押された状態になると、前進して第2パネルP2と接する(図3の(B)参照)。そして、この状態にあっては、ピン取付部53に取り付けられたピン51には、第2パネルP2の第1の辺に向かう力(第1水平分力)、第2の辺に向かう力(第2水平分力)、及び、第1パネルP1に向かう力(垂直分力)が合成された力が加えられる。即ち、ピン51の軸線は、図3の(A)及び(B)の白抜き矢印で示す方向に対して平行に配置されており、ピン51に加えられる力の成分には、後述する第1位置決め部材41、第2位置決め部材42に向かう成分、並びに、第1パネルP1に向かう成分が含まれる。実施例1にあっては、1つの付勢手段50によって、第1パネルP1と第2パネルP2との間に200g/cm2の加圧が加わるように、500g・fの加圧力を有する付勢手段50を、公称20インチパネルで28個、使用した。 Here, the urging means 50 in the first embodiment includes a pin 51, a spring (pressing spring) 52 for applying a force to the pin, and a pin mounting portion 53. The pin attachment portion 53 is attached to the urging means housing 54. When the rear end portion of the pin 51 is in a state of being locked by a locking portion (not shown), the pin 51 is positioned at the backward movement end (see FIGS. 1C and 2C). rear end is solved the locked state by the locking unit (not shown) of, at a state of being pressed by the biasing force of the spring 52, in contact with the second panel P 2 advances (see (B) in FIG. 3) . In this state, the pin 51 attached to the pin attachment portion 53 has a force (first horizontal component) toward the first side of the second panel P 2 and a force toward the second side. A force obtained by combining (second horizontal component force) and a force (vertical component force) toward the first panel P 1 is applied. That is, the axis of the pin 51 is arranged in parallel to the direction indicated by the white arrow in FIGS. 3A and 3B, and the force component applied to the pin 51 includes a first component described later. A component toward the positioning member 41 and the second positioning member 42 and a component toward the first panel P 1 are included. In Example 1, a pressing force of 500 g · f is applied so that a pressure of 200 g / cm 2 is applied between the first panel P 1 and the second panel P 2 by one urging means 50. 28 biasing means 50 having a nominal 20 inch panel were used.

[工程−100]
先ず、アノード電極24や蛍光体層22等が設けられた第1パネルP1(アノードパネルAP)、及び、電界放出素子が設けられた第2パネルP2(カソードパネルCP)を準備する。そして、図1の(A)、(B)及び(C)に示すように、第1パネルP1(アノードパネルAP)と第2パネルP2(カソードパネルCP)とを、それらの周縁部に接合部材30[枠体31に接着層32(具体的にはフリットガラス・ペースト)を塗布し、350゜Cで20分、仮焼成したもの]を配した状態で、位置合わせする。具体的には、周縁部に接合部材30が配され、スペーサが所定の位置に取り付けられた第1パネルP1(アノードパネルAP)を付勢手段ハウジング54に収納する。そして、この付勢手段ハウジング54を図示しない載置台(パネルステージ)上に載置し、第1パネルP1及び第2パネルP2に設けられたアライメントマーク(図示せず)を光学的に読み取り、第1パネルP1に対する第2パネルP2の位置を調節しながら、接合部材30上に第2パネルP2を置く。尚、ピン51の後端部は図示しない係止部に係止された状態にあり、ピン51は後進端に位置し、ピン51の先端部は第2パネルP2と接してはいない。接合部材30は、枠体31、並びに、枠体31の頂面及び底面に塗布されたフリットガラスから成る接着層32から構成されている。尚、接合部材30の厚さ(高さであり、第1パネルP1と第2パネルP2との間の接合前の距離である)はH(具体的には、2.8mm)である。
[Step-100]
First, a first panel P 1 (anode panel AP) provided with the anode electrode 24 and the phosphor layer 22 and a second panel P 2 (cathode panel CP) provided with field emission elements are prepared. Then, as shown in FIGS. 1A, 1B, and 1C, the first panel P 1 (anode panel AP) and the second panel P 2 (cathode panel CP) are attached to the peripheral portions thereof. Positioning is performed in a state where the joining member 30 [applied to the frame 31 with an adhesive layer 32 (specifically, frit glass paste) and pre-fired at 350 ° C. for 20 minutes] is disposed. Specifically, the first panel P 1 (anode panel AP) in which the joining member 30 is arranged at the peripheral portion and the spacer is attached at a predetermined position is housed in the biasing means housing 54. Then, the urging means housing 54 is placed on a mounting table (panel stage) (not shown), and alignment marks (not shown) provided on the first panel P 1 and the second panel P 2 are optically read. The second panel P 2 is placed on the joining member 30 while adjusting the position of the second panel P 2 with respect to the first panel P 1 . Incidentally, the rear end portion of the pin 51 is in a state of being engaged with an engaging portion (not shown), the pin 51 is located in the backward end, the distal end portion of the pin 51 is not in contact with the second panel P 2. The joining member 30 includes a frame body 31 and an adhesive layer 32 made of frit glass applied to the top and bottom surfaces of the frame body 31. The thickness of the joining member 30 (height, which is the distance before joining between the first panel P 1 and the second panel P 2 ) is H (specifically, 2.8 mm). .

[工程−110]
次いで、図2の(A)、(B)及び(C)に示すように、第1パネルP1に対する第2パネルP2の位置決めを行う。具体的には、第2パネルP2の第1の辺の縁部に接する第1位置決め部材41、及び、第2パネルP2の第2の辺の縁部に接する第2位置決め部材42を、それぞれ、第1パネルP1に固定する。第1位置決め部材41及び第2位置決め部材42は、円柱形状を有するガラスから成り、位置決め部材41,42と第2パネルP2の縁部(側面部)との接触状態は、後述するように、少なくとも第1位置決め部材41に接する第2パネルP2の第1の辺の縁部の部分、及び、少なくとも第2位置決め部材42に接する第2パネルP2の第2の辺の縁部が、面取りされているので、点接触となる。位置決め部材41,42を、それぞれ、第1パネルP1に固定するためには、位置決め部材41,42の底面にポリイミド系接着剤を塗布しておき、第1位置決め部材41及び第2位置決め部材42を第2パネルP2の第1の辺及び第2の辺の縁部に接触させた状態で、レーザビーム等によって接着剤を加熱することで、接着剤を硬化させればよい。尚、(第1位置決め部材,第2位置決め部材)の組合せの個数を、(2,1)とした。
[Step-110]
Next, as shown in FIGS. 2A, 2B, and 2C, the second panel P 2 is positioned with respect to the first panel P 1 . Specifically, the first positioning member 41 in contact with the edge of the first side of the second panel P 2, and a second positioning member 42 in contact with the edge of the second side of the second panel P 2, Each is fixed to the first panel P 1 . The first positioning member 41 and the second positioning member 42 are made of glass having a columnar shape, and the contact state between the positioning members 41 and 42 and the edge portion (side surface portion) of the second panel P 2 will be described later. At least the edge portion of the first side of the second panel P 2 in contact with the first positioning member 41 and the edge portion of the second side of the second panel P 2 in contact with at least the second positioning member 42 are chamfered. Since it is, it becomes a point contact. In order to fix the positioning members 41 and 42 to the first panel P 1 , respectively, polyimide adhesive is applied to the bottom surfaces of the positioning members 41 and 42, and the first positioning member 41 and the second positioning member 42 are applied. in a state in contact with the edge of the first side and a second side of the second panel P 2, by heating the adhesive by a laser beam or the like, it is sufficient to cure the adhesive. The number of combinations of (first positioning member, second positioning member) was (2, 1).

また、位置決め精度の向上のため、少なくとも第1位置決め部材41に接する第2パネルP2の第1の辺の縁部の部分、及び、少なくとも第2位置決め部材42に接する第2パネルP2の第2の辺の縁部は、面取りされている。面取り部分の断面形状を、丸みを帯びた稜線を有する三角形とした。また、面取り部分の断面形状に存在する頂点の位置は、第2パネルP2の厚さの1/2よりも第2パネル下面側(第1パネル側)に位置する。更には、第1パネルP1への第1位置決め部材41及び第2位置決め部材42の固定後の第1位置決め部材41及び第2位置決め部材42の高さは、後の[工程−130]の完了時において第1パネルP1(アノードパネルAP)と第2パネルP2(カソードパネルCP)との間の距離が「d0」となったときでも、第2パネルP2の頂面から第1位置決め部材41及び第2位置決め部材42の頂面が突出しない高さとする。このような構成にすることで、第1位置決め部材41及び第2位置決め部材42が表示装置の組立工程において障害物となることを確実に防止することができる。尚、第1位置決め部材41及び第2位置決め部材42のこのような構成、構造、第2パネルP2の面取りに関しては、以下の実施例2〜実施例4においても同様である。 Moreover, to improve the positioning accuracy, at least a first portion of the edge of the sides of the second panel P 2 in contact with the first positioning member 41, and, the second panel P 2 in contact with at least a second positioning member 42 first The edges of the two sides are chamfered. The cross-sectional shape of the chamfered portion was a triangle having a rounded ridgeline. The position of the vertex existing in the cross-sectional shape of the chamfered portion are located than half the thickness of the second panel P 2 second panel lower surface side (first panel side). Further, the height of the first positioning member 41 and the second positioning member 42 after the first positioning member 41 and the second positioning member 42 are fixed to the first panel P 1 is the same as the completion of the subsequent [Step-130]. Even when the distance between the first panel P 1 (anode panel AP) and the second panel P 2 (cathode panel CP) becomes “d 0 ”, the first panel P 2 has the first surface from the top surface. The height is set such that the top surfaces of the positioning member 41 and the second positioning member 42 do not protrude. With such a configuration, it is possible to reliably prevent the first positioning member 41 and the second positioning member 42 from becoming obstacles in the assembly process of the display device. In addition, about the structure and structure of the 1st positioning member 41 and the 2nd positioning member 42, and the chamfering of the 2nd panel P2, it is the same also in the following Examples 2-4 .

[工程−120]
その後、ピン51の後端部の図示しない係止部による係止状態を解くと、図3の(A)及び(B)に示すように、ピン51はバネ52の付勢力によって押された状態になり、前進して第2パネルP2と接する。そして、この状態にあっては、ピン取付部53に取り付けられたピン51には、第1の辺に向かう力(第1水平分力)、第2の辺に向かう力(第2水平分力)、及び、第1パネルP1に向かう力(垂直分力)が合成された力(図3の(A)及び(B)の白抜き矢印参照)が加えられる。その結果、第2パネルP2に対して、第2パネルP2の第1方向に延びる第1の辺に向かう力(第1水平分力)、第1の辺に隣接し、第1の方向とは異なる第2の方向に延びる第2の辺に向かう力(第2水平分力)、及び、第1パネルP1に向かう力(垂直分力)が加えられる。但し、第1位置決め部材41及び第2位置決め部材42が存在するので、第2パネルP2は、第1の方向、第2の方向に変位(移動)することはない。
[Step-120]
Thereafter, when the locking state of the rear end portion of the pin 51 by the locking portion (not shown) is released, the pin 51 is pushed by the urging force of the spring 52 as shown in FIGS. to be in contact with the second panel P 2 to move forward. In this state, the pin 51 attached to the pin attachment portion 53 has a force toward the first side (first horizontal component force) and a force toward the second side (second horizontal component force). ), and, (force vertical component force) is synthesized (shown in FIG. 3 (a) force toward the first panel P 1 see the white arrow and (B)) is added. As a result, the second panel P 2, the force toward the first side extending in the first direction of the second panel P 2 (first horizontal force), adjacent to the first side, the first direction A force toward the second side extending in the second direction different from (second horizontal component force) and a force toward the first panel P 1 (vertical component force) are applied. However, since the first positioning member 41 and the second positioning member 42 exist, the second panel P 2 is not displaced (moved) in the first direction and the second direction.

[工程−130]
次いで、組立体全体を焼成炉内に搬入し、焼成炉内で加熱処理を施すことで、フリットガラスから成る接着層32を、約400゜Cの温度にて約30分間、本焼成する。焼成時の雰囲気の圧力は常圧/減圧のいずれであってもよく、また、雰囲気を構成する気体は、大気であっても、あるいは窒素ガスや周期律表0族に属するガス(例えばArガス)を含む不活性ガスであってもよい。フリットガラスの焼成の完了時点において、第1パネルP1(アノードパネルAP)と第2パネルP2(カソードパネルCP)との間の距離は、「H」から「d0」(2.0mm)へと変化する。
[Step-130]
Next, the entire assembly is carried into a firing furnace and subjected to heat treatment in the firing furnace, whereby the adhesive layer 32 made of frit glass is finally fired at a temperature of about 400 ° C. for about 30 minutes. The pressure of the atmosphere during firing may be either normal pressure or reduced pressure, and the gas constituting the atmosphere may be air, or nitrogen gas or a gas belonging to group 0 of the periodic table (for example, Ar gas) ) Including an inert gas. When the frit glass firing is completed, the distance between the first panel P 1 (anode panel AP) and the second panel P 2 (cathode panel CP) is “H” to “d 0 ” (2.0 mm). To change.

[工程−140]
その後、組立体全体を焼成炉から搬出し、第1パネルP1(アノードパネルAP)と第2パネルP2(カソードパネルCP)と接合部材30とによって囲まれた空間を、貫通孔(図示せず)及び排気管(図示せず)を通じて排気し、空間の圧力が10-4Pa程度に達した時点で排気管を加熱溶融により封じ切る。尚、封じ切りを行う前に、表示装置全体を一旦加熱してから降温させると、空間に残留ガスを放出させることができ、この残留ガスを排気により空間外へ除去することができるので、好適である。このようにして、第1パネルP1(アノードパネルAP)と第2パネルP2(カソードパネルCP)と接合部材30とによって囲まれた空間を真空にすることができる。その後、必要な外部回路との配線接続を行い、表示装置を完成させる。
[Step-140]
Thereafter, the entire assembly is carried out of the firing furnace, and a space surrounded by the first panel P 1 (anode panel AP), the second panel P 2 (cathode panel CP), and the joining member 30 is formed as a through hole (not shown). And the exhaust pipe (not shown), and when the pressure in the space reaches about 10 −4 Pa, the exhaust pipe is sealed by heating and melting. In addition, if the entire display device is once heated and then cooled down before sealing, the residual gas can be released into the space, and this residual gas can be removed out of the space by exhaust. It is. Thus, the space surrounded by the first panel P 1 (anode panel AP), the second panel P 2 (cathode panel CP), and the bonding member 30 can be evacuated. Thereafter, wiring connection with necessary external circuits is performed, and the display device is completed.

第1パネルP1(アノードパネルAP)と第2パネルP2(カソードパネルCP)とを、それらの周縁部において接合部材30を介して接合する際の雰囲気を高真空雰囲気とすれば、第1パネルP1(アノードパネルAP)と第2パネルP2(カソードパネルCP)との接合と同時に、空間を真空にすることができる。 If the atmosphere at the time of joining the first panel P 1 (anode panel AP) and the second panel P 2 (cathode panel CP) via the joining member 30 at the peripheral portion thereof is a high vacuum atmosphere, the first The space can be evacuated simultaneously with the joining of the panel P 1 (anode panel AP) and the second panel P 2 (cathode panel CP).

実施例1にあっては、[工程−130]においてフリットガラスから成る接着層32を焼成する際、第1パネルP1を基準としたとき、第2パネルP2は、第1パネルP1に近づく方向(Z方向)に変位する。このとき、第2パネルP2には付勢手段50によって、第1の辺に向かう力(第1水平分力)、第2の辺に向かう力(第2水平分力)、及び、第1パネルP1に向かう力(垂直分力)が合成された力が加えられている。しかしながら、第1位置決め部材41及び第2位置決め部材42が存在するので、第2パネルP2は、第1の方向、第2の方向のいずれにも変位(移動)することはない。それ故、カソードパネル側の電子放出領域EAとアノードパネル側の蛍光体層22とが、正確に相対して配置された状態を確実に保持することができる。即ち、第1パネルP1(アノードパネルAP)と第2パネルP2(カソードパネルCP)との間で位置ずれが発生することがない。しかも、第1パネルP1(アノードパネルAP)と第2パネルP2(カソードパネルCP)との間の位置ずれを防止するための手段は、付勢手段50及び位置決め部材41,42といった、極めて簡素な構成である。 In Example 1, during the firing of the adhesive layer 32 made of fritted glass in [Step-130], when the first panel P 1 and the reference, the second panel P 2 is the first panel P 1 Displacement in the approaching direction (Z direction). At this time, the force toward the first side (first horizontal component force), the force toward the second side (second horizontal component force), and the first force are applied to the second panel P 2 by the urging means 50. A force obtained by synthesizing a force (vertical component force) toward the panel P 1 is applied. However, since the first positioning member 41 and the second positioning member 42 exist, the second panel P 2 is not displaced (moved) in either the first direction or the second direction. Therefore, the electron emission area EA on the cathode panel side and the phosphor layer 22 on the anode panel side can be reliably maintained in a state in which they are accurately opposed to each other. That is, no positional deviation occurs between the first panel P 1 (anode panel AP) and the second panel P 2 (cathode panel CP). In addition, means for preventing displacement between the first panel P 1 (anode panel AP) and the second panel P 2 (cathode panel CP) are extremely strong, such as the biasing means 50 and the positioning members 41 and 42. It is a simple configuration.

実施例2は、実施例1の変形である。実施例1にあっては、位置決め部材41,42を用いて第1パネルP1に対する第2パネルP2の位置決めを行った。一方、実施例2にあっては、第1パネルP1と第2パネルP2との位置合わせの完了後、実施例1の[工程−110]と同様の工程において、第2方向に沿った模式的な一部断面図である図4の(A)に示すように、第2パネルP2の第1の辺の縁部に第1位置決め装置43を当接させ、第1方向に沿った模式的な一部断面図である図4の(B)に示すように、第2パネルP2の第2の辺の縁部に第2位置決め装置46を当接させることで、第1パネルP1に対する第2パネルP2の位置決めを行う。ここで、第1位置決め装置43、第2位置決め装置46は、その先端部分に当接部分44,47を有し、これらの当接部分44,47の形状は曲面状である。また、第1位置決め装置43、第2位置決め装置46の中央部にはネジ部45,48が設けられており、付勢手段ハウジング54Aに螺合している。 The second embodiment is a modification of the first embodiment. In Example 1, the positioning of the second panel P 2 with respect to the first panel P 1 was performed using the positioning members 41 and 42. On the other hand, in Example 2, after completion of the alignment between the first panel P 1 and the second panel P 2 , in the same process as [Process-110] of Example 1, it was along the second direction. As shown in FIG. 4A, which is a schematic partial cross-sectional view, the first positioning device 43 is brought into contact with the edge of the first side of the second panel P 2 , and is along the first direction. As shown in FIG. 4B which is a schematic partial sectional view, the first panel P is brought into contact with the edge of the second side of the second panel P 2 by bringing the second positioning device 46 into contact therewith. Position the second panel P 2 with respect to 1 . Here, the first positioning device 43 and the second positioning device 46 have contact portions 44 and 47 at their tip portions, and the shapes of these contact portions 44 and 47 are curved. In addition, screw portions 45 and 48 are provided at the central portions of the first positioning device 43 and the second positioning device 46, and are screwed into the biasing means housing 54A.

実施例2にあっては、実施例1の[工程−110]と同様の工程において、第1パネルP1に対する第2パネルP2の位置決めを行うが、具体的には、第1位置決め装置43を回転させて、第2パネルP2の第1の辺の縁部に、第1位置決め装置43の当接部分44を当接させる。更には、第2位置決め装置46を回転させて、第2パネルP2の第2の辺の縁部に、第2位置決め装置46の当接部分47を当接させる。尚、(第1位置決め装置,第2位置決め装置)の組合せの個数を、(2,1)とした。また、位置決め精度の向上のため、少なくとも第1位置決め装置43に当接する第2パネルP2の第1の辺の縁部の部分、及び、少なくとも第2位置決め装置46に当接する第2パネルP2の第2の辺の縁部は、実施例1において説明したと同様に、面取りされている。 In the second embodiment, the second panel P 2 is positioned with respect to the first panel P 1 in the same process as [Process-110] of the first embodiment. the rotate, the edge of the first side of the second panel P 2, is brought into contact with the contact portion 44 of the first positioning device 43. Furthermore, the second positioning device 46 is rotated, the edge of the second side of the second panel P 2, is brought into contact with the contact portion 47 of the second positioning device 46. The number of combinations of (first positioning device, second positioning device) was (2, 1). Further, in order to improve positioning accuracy, at least the edge portion of the first side of the second panel P 2 that contacts the first positioning device 43 and at least the second panel P 2 that contacts the second positioning device 46. The edge of the second side is chamfered in the same manner as described in the first embodiment.

以上の点を除き、実施例2の平面型表示装置の組立方法は、実施例1において説明した平面型表示装置の組立方法と同様とすることができるので、詳細な説明は省略する。   Except for the above points, the method for assembling the flat display device according to the second embodiment can be the same as the method for assembling the flat display device described in the first embodiment, and a detailed description thereof will be omitted.

実施例3も、実施例1の変形である。実施例1にあっては、付勢手段をピン51等から構成した。一方、実施例3にあっては、付勢手段はクリップ(クランプ)60から成る。具体的には、図5に模式図を示すように、クリップ60は、第1パネルP1を保持する保持部62を有する保持部材61、第2パネルP2と接触部64で接する接触部材63、保持部材61と接触部材63とを回動自在に相互に固定する固定部65、及び、保持部材61の保持部62と接触部材63の接触部64とが相互に近接する方向に保持部材61及び接触部材63に力を加える付勢部材66(具体的には、押しバネ)から成る。そして、付勢部材66である押しバネによって、接触部材63の接触部64には、第1の辺に向かう力(第1水平分力)、第2の辺に向かう力(第2水平分力)、及び、第1パネルP1に向かう力(垂直分力)が合成された力が加えられる。実施例3にあっては、1つのクリップ60によって、第1パネルP1と第2パネルP2との間に200g/cm2の加圧が加わるように、1kg・fの加圧力を有するクリップ60を、公称20インチパネルで14個、使用した。 The third embodiment is also a modification of the first embodiment. In Example 1, the urging means is composed of the pin 51 and the like. On the other hand, in the third embodiment, the urging means includes a clip (clamp) 60. Specifically, as shown schematically in FIG. 5, the clip 60 includes a holding member 61 having a holding portion 62 that holds the first panel P 1 , and a contact member 63 that comes into contact with the second panel P 2 through the contact portion 64. The holding member 61 and the contact member 63 are rotatably fixed to each other, and the holding member 61 is in a direction in which the holding portion 62 of the holding member 61 and the contact portion 64 of the contact member 63 are close to each other. And an urging member 66 (specifically, a pressing spring) for applying a force to the contact member 63. Then, a force toward the first side (first horizontal component force) and a force toward the second side (second horizontal component force) are applied to the contact portion 64 of the contact member 63 by the pressing spring that is the urging member 66. ) And a force obtained by synthesizing a force (vertical component force) toward the first panel P 1 is applied. In Example 3, a clip having a pressure of 1 kg · f so that a pressure of 200 g / cm 2 is applied between the first panel P 1 and the second panel P 2 by one clip 60. Fourteen 60 were used with a nominal 20 inch panel.

以下、図1の(A)、(B)、図2の(A)、(B)、図3の(A)を参照して、実施例3の平面型表示装置の組立方法を説明する。   Hereinafter, a method of assembling the flat display device of Example 3 will be described with reference to FIGS. 1A and 1B, FIGS. 2A and 2B, and FIG.

[工程−300]
先ず、実施例1と同様にして、アノード電極24や蛍光体層22等が設けられた第1パネルP1(アノードパネルAP)、及び、電界放出素子が設けられた第2パネルP2(カソードパネルCP)を準備する。そして、図1の(A)及び(B)に示すように、第1パネルP1(アノードパネルAP)と第2パネルP2(カソードパネルCP)とを、それらの周縁部に接合部材30を配した状態で、位置合わせする。具体的には、周縁部に接合部材30が配され、スペーサが所定の位置に取り付けられた第1パネルP1(アノードパネルAP)を図示しない載置台(パネルステージ)上に載置し、第1パネルP1及び第2パネルP2に設けられたアライメントマーク(図示せず)を光学的に読み取り、第1パネルP1に対する第2パネルP2の位置を調節しながら、接合部材30上に第2パネルP2を置く。接合部材30は、実施例1にて説明した接合部材30と同じ構成、構造を有する。
[Step-300]
First, as in Example 1, the first panel P 1 (anode panel AP) provided with the anode electrode 24 and the phosphor layer 22 and the second panel P 2 (cathode) provided with field emission elements. Prepare panel CP). Then, as shown in FIGS. 1A and 1B, the first panel P 1 (anode panel AP) and the second panel P 2 (cathode panel CP) are joined to each other with a joining member 30 at the periphery. Align it in the arranged state. Specifically, the first panel P 1 (anode panel AP) in which the joining member 30 is arranged at the peripheral portion and the spacer is attached at a predetermined position is placed on a mounting table (panel stage) (not shown). An alignment mark (not shown) provided on the first panel P 1 and the second panel P 2 is optically read, and the position of the second panel P 2 with respect to the first panel P 1 is adjusted, and then on the joining member 30. placing the second panel P 2. The joining member 30 has the same configuration and structure as the joining member 30 described in the first embodiment.

[工程−310]
次いで、図2の(A)及び(B)に示すように、第1パネルP1に対する第2パネルP2の位置決めを行う。具体的には、第2パネルP2の第1の辺の縁部に接する第1位置決め部材41、及び、第2パネルP2の第2の辺の縁部に接する第2位置決め部材42を、それぞれ、第1パネルP1に固定する。第1位置決め部材41及び第2位置決め部材42は、実施例1にて説明した第1位置決め部材41及び第2位置決め部材42と同じ構成、構造を有する。また、位置決め部材41,42の第1パネルP1への固定も、実施例1と同様の方法で行うことができる。尚、位置決め精度の向上のため、少なくとも第1位置決め部材41に接する第2パネルP2の第1の辺の縁部の部分、及び、少なくとも第2位置決め部材42に接する第2パネルP2の第2の辺の縁部は、実施例1において説明したと同様に、面取りされている。
[Step-310]
Next, as shown in FIGS. 2A and 2B, the second panel P 2 is positioned with respect to the first panel P 1 . Specifically, the first positioning member 41 in contact with the edge of the first side of the second panel P 2, and a second positioning member 42 in contact with the edge of the second side of the second panel P 2, Each is fixed to the first panel P 1 . The first positioning member 41 and the second positioning member 42 have the same configuration and structure as the first positioning member 41 and the second positioning member 42 described in the first embodiment. Further, the positioning members 41 and 42 can be fixed to the first panel P 1 in the same manner as in the first embodiment. Since the improvement of positioning accuracy, at least a first portion of the edge of the sides of the second panel P 2 in contact with the first positioning member 41, and, the second panel P 2 in contact with at least a second positioning member 42 first The edge of the side of 2 is chamfered as described in the first embodiment.

[工程−320]
その後、図5の左手に示すように、第1パネルP2と第2パネルP2の周縁部をクリップ60で挟む。尚、図5の右手には、図5の左手に示したクリップ60の上下を逆にした状態のクリップで第1パネルP2と第2パネルP2の周縁部を挟んだ状態を示す。クリップ60の軸線が、図3の(A)の白抜き矢印で示す方向と平行な方向となるように、クリップ60を配置する。これによって、接触部材63の接触部64には、第1の辺に向かう力(第1水平分力)、第2の辺に向かう力(第2水平分力)、及び、第1パネルP1に向かう力(垂直分力)が合成された力が加えられる。即ち、接触部材63の接触部64に加えられる力の成分には、第1位置決め部材41、第2位置決め部材42に向かう成分、並びに、第1パネルP1に向かう成分が含まれる。その結果、第2パネルP2には、第1の辺に向かう力(第1水平分力)、第2の辺に向かう力(第2水平分力)、及び、第1パネルP1に向かう力(垂直分力)が合成された力が加えられる。但し、第1位置決め部材41及び第2位置決め部材42が存在するので、第2パネルP2は、第1の方向、第2の方向に変位(移動)することはない。
[Step-320]
Thereafter, as shown in the left hand of FIG. 5, the peripheral portions of the first panel P 2 and the second panel P 2 are sandwiched between clips 60. The right hand in FIG. 5 shows a state in which the peripheral portions of the first panel P 2 and the second panel P 2 are sandwiched by clips in a state where the clip 60 shown in the left hand in FIG. 5 is turned upside down. The clip 60 is arranged so that the axis of the clip 60 is parallel to the direction indicated by the white arrow in FIG. Accordingly, the contact portion 64 of the contact member 63 has a force toward the first side (first horizontal component force), a force toward the second side (second horizontal component force), and the first panel P 1. A force that is a composite of the force toward the (vertical component force) is applied. That is, the component of force applied to the contact portion 64 of the contact member 63, the first positioning member 41, the component toward the second positioning member 42, and includes a component directed to the first panel P 1. As a result, the second panel P 2 has a force toward the first side (first horizontal component force), a force toward the second side (second horizontal component force), and toward the first panel P 1 . The combined force of force (vertical component force) is applied. However, since the first positioning member 41 and the second positioning member 42 exist, the second panel P 2 is not displaced (moved) in the first direction and the second direction.

[工程−330]
次いで、実施例1の[工程−140]、[工程−150]を実行することで、表示装置を得ることができる。
[Step-330]
Next, a display device can be obtained by executing [Step-140] and [Step-150] of Example 1.

尚、実施例3あるいは後述する実施例4において、実施例2にて説明した第1位置決め装置43及び第2位置決め装置46を用いて、第1パネルP1に対する第2パネルP2の位置決めを行ってもよい。 In the third embodiment or the fourth embodiment described later, the second panel P 2 is positioned with respect to the first panel P 1 using the first positioning device 43 and the second positioning device 46 described in the second embodiment. May be.

実施例4は、実施例3の変形である。実施例4にあっては、クリップ(クランプ)70は、第1パネルP1を保持する保持部72を有する保持部材71、第2パネルP2と接触部74で接する接触部材73、保持部材71と接触部材73とを回動自在に相互に固定する固定部75、及び、保持部材71の保持部72と接触部材73の接触部74とが相互に近接する方向に保持部材71及び接触部材73に力を加える付勢部材76(具体的には、押しバネ)から成る。そして、接触部材73の接触部74を構成する材料の熱膨張率は、保持部材71の保持部72を構成する材料の熱膨張率よりも小さい。具体的には、保持部材71の保持部72を構成する材料(実施例4にあっては、保持部72は保持部材71と一体的に作製されているので、保持部材71を構成する材料)はステンレス鋼(SUS−304)であり、熱膨張率は1.7×10-6/゜Cである。一方、接触部材73の接触部74を構成する材料(実施例4にあっては、接触部74は接触部材73と一体的に作製されているので、接触部材73を構成する材料)はコバールあるいはフェルニコとも呼ばれるFe−Ni−Co合金であり、熱膨張率は0.5×10-6/゜Cである。実施例4にあっては、1つのクリップ70によって、第1パネルP1と第2パネルP2との間に200g/cm2の加圧が加わるように、1kg・fの加圧力を有するクリップ70を、公称20インチパネルで14個、使用した。 The fourth embodiment is a modification of the third embodiment. In the fourth embodiment, the clip (clamp) 70 includes a holding member 71 having a holding portion 72 that holds the first panel P 1 , a contact member 73 that contacts the second panel P 2 at the contact portion 74, and a holding member 71. The holding member 71 and the contact member 73 in the direction in which the holding portion 72 of the holding member 71 and the contact portion 74 of the contact member 73 are close to each other. It comprises an urging member 76 (specifically, a push spring) that applies a force to the. The coefficient of thermal expansion of the material constituting the contact part 74 of the contact member 73 is smaller than the coefficient of thermal expansion of the material constituting the holding part 72 of the holding member 71. Specifically, the material constituting the holding portion 72 of the holding member 71 (in Example 4, since the holding portion 72 is manufactured integrally with the holding member 71, the material constituting the holding member 71) Is stainless steel (SUS-304) and has a coefficient of thermal expansion of 1.7 × 10 −6 / ° C. On the other hand, the material constituting the contact portion 74 of the contact member 73 (in the fourth embodiment, since the contact portion 74 is integrally formed with the contact member 73, the material constituting the contact member 73) is Kovar or It is an Fe—Ni—Co alloy also called Fernico, and its coefficient of thermal expansion is 0.5 × 10 −6 / ° C. In Example 4, a clip having a pressure of 1 kg · f so that a pressure of 200 g / cm 2 is applied between the first panel P 1 and the second panel P 2 by one clip 70. 14 were used with a nominal 20 inch panel.

実施例4にあっては、第1パネルP1に対する第2パネルP2の位置決めを行った後、実施例3の[工程−320]と同様の工程において、図6の左手に示すように、第1パネルP2と第2パネルP2の周縁部をクリップ70で挟む。尚、図6の右手には、図6の左手に示したクリップ70の上下を逆にした状態のクリップで第1パネルP2と第2パネルP2の周縁部を挟んだ状態を示す。クリップ70の軸線が、図3の(A)の白抜き矢印で示す方向と平行な方向となるように、クリップ70を配置する。 In Example 4, after positioning the second panel P 2 with respect to the first panel P 1 , in the same step as [Step-320] of Example 3, as shown in the left hand of FIG. The peripheral portions of the first panel P 2 and the second panel P 2 are sandwiched between clips 70. The right hand in FIG. 6 shows a state in which the peripheral portions of the first panel P 2 and the second panel P 2 are sandwiched between the clips 70 in the state in which the clip 70 shown in the left hand in FIG. 6 is turned upside down. The clip 70 is arranged so that the axis of the clip 70 is parallel to the direction indicated by the white arrow in FIG.

そして、実施例1の[工程−130]と同様の工程において、接合部材30によって第1パネルP1と第2パネルP2とをそれらの周縁部において接合する際の加熱処理による接触部材73及び保持部材71の熱膨張によって、接触部材73の接触部74には、第1の辺に向かう力(第1水平分力)、第2の辺に向かう力(第2水平分力)、及び、第1パネルP1に向かう力(垂直分力)が合成された力が加えられる。その結果、第2パネルP2には、第1の辺に向かう力(第1水平分力)、第2の辺に向かう力(第2水平分力)、及び、第1パネルP1に向かう力(垂直分力)が合成された力が加えられる。即ち、接触部材73の接触部74に加えられる力の成分には、第1位置決め部材41、第2位置決め部材42に向かう成分、並びに、第1パネルP1に向かう成分が含まれる。但し、第1位置決め部材41及び第2位置決め部材42が存在するので、第2パネルP2は、第1の方向、第2の方向に変位(移動)することはない。 Then, in a step similar to [Step-130] of Example 1, the joining member 30 the first panel P 1 and the second panel P 2 contact member 73 and by heat treatment in bonding at their periphery Due to the thermal expansion of the holding member 71, the contact portion 74 of the contact member 73 has a force toward the first side (first horizontal component force), a force toward the second side (second horizontal component force), and A force obtained by synthesizing a force (vertical component force) toward the first panel P 1 is applied. As a result, the second panel P 2 has a force toward the first side (first horizontal component force), a force toward the second side (second horizontal component force), and toward the first panel P 1 . The combined force of force (vertical component force) is applied. That is, the component of force applied to the contact portion 74 of the contact member 73, the first positioning member 41, the component toward the second positioning member 42, and includes a component directed to the first panel P 1. However, since the first positioning member 41 and the second positioning member 42 exist, the second panel P 2 is not displaced (moved) in the first direction and the second direction.

以上の点を除き、実施例4の平面型表示装置の組立方法は、実施例3において説明した平面型表示装置の組立方法と同様とすることができるので、詳細な説明は省略する。   Except for the above points, the assembling method of the flat display device of the fourth embodiment can be the same as the assembling method of the flat display device described in the third embodiment, and thus detailed description thereof is omitted.

以上、本発明を、好ましい実施例に基づき説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。実施例にて説明した平面型表示装置、第1パネル、第2パネル、カソードパネルやアノードパネル、冷陰極電界電子放出表示装置や冷陰極電界電子放出素子の構成、構造は例示であり、適宜変更することができる。更には、表示装置においては、専らカラー表示を例にとり説明したが、単色表示とすることもできる。場合によっては、収束電極の形成を省略することもできる。   As mentioned above, although this invention was demonstrated based on the preferable Example, this invention is not limited to these Examples. The configurations and structures of the flat panel display device, the first panel, the second panel, the cathode panel and the anode panel, the cold cathode field emission display device and the cold cathode field emission device described in the embodiments are examples and are appropriately changed. can do. Furthermore, the display device has been described by taking color display exclusively as an example, but it may also be a single color display. In some cases, the formation of the focusing electrode can be omitted.

実施例においては、第1パネルをアノード電極及び蛍光体層が形成されたアノードパネルAPから構成し、第2パネルを複数の冷陰極電界電子放出素子が形成されたカソードパネルCPから構成したが、その代わりに、第1パネルを複数の冷陰極電界電子放出素子が形成されたカソードパネルCPから構成し、第2パネルをアノード電極及び蛍光体層が形成されたアノードパネルAPから構成してもよい。   In the embodiment, the first panel is composed of an anode panel AP on which an anode electrode and a phosphor layer are formed, and the second panel is composed of a cathode panel CP on which a plurality of cold cathode field emission devices are formed. Instead, the first panel may be constituted by a cathode panel CP in which a plurality of cold cathode field emission devices are formed, and the second panel may be constituted by an anode panel AP in which an anode electrode and a phosphor layer are formed. .

また、電界放出素子においては、専ら1つの開口部に1つの電子放出部が対応する形態を説明したが、電界放出素子の構造に依っては、1つの開口部に複数の電子放出部が対応した形態、あるいは、複数の開口部に1つの電子放出部が対応する形態とすることもできる。あるいは又、ゲート電極に複数の第1開口部を設け、絶縁層にかかる複数の第1開口部に連通した第2開口部を設け、1又は複数の電子放出部を設ける形態とすることもできる。   In addition, in the field emission device, the mode in which one electron emission portion corresponds to one opening has been described. However, depending on the structure of the field emission device, a plurality of electron emission portions correspond to one opening. Alternatively, one electron emission portion may correspond to a plurality of openings. Alternatively, a plurality of first openings may be provided in the gate electrode, a second opening connected to the plurality of first openings in the insulating layer may be provided, and one or a plurality of electron emission portions may be provided. .

平面型表示装置を、表面伝導型電子放出素子と通称される電子放出素子を備えた平面型表示装置とすることもできる。この表面伝導型電子放出素子は、例えばガラスから成る支持体上に酸化錫(SnO2)、金(Au)、酸化インジウム(In23)/酸化錫(SnO2)、カーボン、酸化パラジウム(PdO)等の導電材料から成り、微小面積を有し、所定の間隔(ギャップ)を開けて配された一対の電極がマトリクス状に形成されて成る。それぞれの電極の上には炭素薄膜が形成されている。そして、一対の電極の内の一方の電極に行方向配線が接続され、一対の電極の内の他方の電極に列方向配線が接続された構成を有する。一対の電極に電圧を印加することによって、ギャップを挟んで向かい合った炭素薄膜に電界が加わり、炭素薄膜から電子が放出される。係る電子をアノードパネル上の蛍光体層に衝突させることによって、蛍光体層が励起されて発光し、所望の画像を得ることができる。あるいは又、平面型表示装置を、金属/絶縁膜/金属型素子を備えた平面型表示装置とすることもできるし、プラズマ表示装置とすることもできる。 The flat display device may be a flat display device including an electron-emitting device commonly referred to as a surface conduction electron-emitting device. This surface conduction electron-emitting device is formed on a support made of glass, for example, tin oxide (SnO 2 ), gold (Au), indium oxide (In 2 O 3 ) / tin oxide (SnO 2 ), carbon, palladium oxide ( A pair of electrodes made of a conductive material such as (PdO), having a very small area and arranged with a predetermined gap (gap) are formed in a matrix. A carbon thin film is formed on each electrode. The row direction wiring is connected to one electrode of the pair of electrodes, and the column direction wiring is connected to the other electrode of the pair of electrodes. By applying a voltage to the pair of electrodes, an electric field is applied to the carbon thin films facing each other across the gap, and electrons are emitted from the carbon thin film. By causing the electrons to collide with the phosphor layer on the anode panel, the phosphor layer is excited to emit light, and a desired image can be obtained. Alternatively, the flat display device can be a flat display device including a metal / insulating film / metal element, or a plasma display device.

図1の(A)は、実施例1の平面型表示装置の組立方法を説明するための第1パネル等の模式的な平面図であり、図1の(B)は、矢印A−Aに沿った模式的な断面図であり、図1の(C)は、模式的な一部断面図である。FIG. 1A is a schematic plan view of a first panel and the like for explaining a method of assembling the flat display device according to the first embodiment, and FIG. FIG. 1C is a schematic partial cross-sectional view taken along the line. 図2の(A)は、実施例1の平面型表示装置の組立方法を説明するための第1パネル等の模式的な平面図であり、図2の(B)は、矢印A−Aに沿った模式的な断面図であり、図2の(C)は、模式的な一部断面図である。FIG. 2A is a schematic plan view of a first panel and the like for explaining the assembly method of the flat display device of Example 1, and FIG. 2B is an arrow AA. FIG. 2C is a schematic partial cross-sectional view taken along the line. 図3の(A)及び(B)は、実施例1の平面型表示装置の組立方法を説明するための第1パネル等の模式的な平面図、及び、模式的な一部断面図である。FIGS. 3A and 3B are a schematic plan view and a schematic partial cross-sectional view of a first panel and the like for explaining an assembly method of the flat display device of the first embodiment. . 図4の(A)及び(B)は、実施例2の平面型表示装置の組立方法を説明するための第1パネル等の模式的な一部断面図である。4A and 4B are schematic partial cross-sectional views of a first panel and the like for explaining a method of assembling the flat display device according to the second embodiment. 図5は、実施例3の平面型表示装置の組立方法を説明するための第1パネル等の模式的な一部断面図である。FIG. 5 is a schematic partial cross-sectional view of a first panel and the like for explaining an assembling method of the flat display device according to the third embodiment. 図6は、実施例4の平面型表示装置の組立方法を説明するための第1パネル等の模式的な一部断面図である。FIG. 6 is a schematic partial cross-sectional view of the first panel and the like for explaining the assembly method of the flat display device according to the fourth embodiment. 図7は、スピント型冷陰極電界電子放出素子を有する冷陰極電界電子放出表示装置から成る平面型表示装置の概念的な一部端面図である。FIG. 7 is a conceptual partial end view of a flat display device including a cold cathode field emission display device having a Spindt-type cold cathode field emission device. 図8は、扁平型冷陰極電界電子放出素子を有する冷陰極電界電子放出表示装置から成る平面型表示装置の概念的な一部端面図である。FIG. 8 is a conceptual partial end view of a flat display device including a cold cathode field emission display device having a flat type cold cathode field emission device. 図9は、冷陰極電界電子放出表示装置におけるカソードパネルとアノードパネルの一部分の模式的な分解斜視図である。FIG. 9 is a schematic exploded perspective view of a part of a cathode panel and an anode panel in a cold cathode field emission display.

符号の説明Explanation of symbols

1・・・第1パネル、P2・・・第2パネル、CP・・・カソードパネル(第2パネル)、AP・・・アノードパネル(第1パネル)、EA・・・電子放出領域、10・・・支持体、11・・・カソード電極、12・・・絶縁層、13・・・ゲート電極、14・・・開口部、14A・・・第1開口部、14B・・・第2開口部、15,15A・・・電子放出部、20・・・基板、21・・・隔壁、22,22R,22G,22B・・・蛍光体層、23・・・光吸収層(ブラックマトリックス)、24・・・アノード電極、30・・・接合部材、31・・・枠体、32・・・接着層、41・・・第1位置決め部材、42・・・第2位置決め部材、43,46・・・位置決め装置、44,47・・・位置決め装置の当接部分、45,48・・・ネジ部、50・・・付勢手段、51・・・ピン、52・・・バネ、53・・・ピン取付部、54,54A・・・付勢手段ハウジング、60,70・・・クリップ、61,71・・・保持部材、62,72・・・保持部、63,73・・・接触部材、64,74・・・接触部、65,75・・・固定部、66,76・・・付勢部材、81・・・カソード電極制御回路、82・・・ゲート電極制御回路、83・・・アノード電極制御回路
P 1, first panel, P 2, second panel, CP, cathode panel (second panel), AP, anode panel (first panel), EA, electron emission region, DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Support body, 11 ... Cathode electrode, 12 ... Insulating layer, 13 ... Gate electrode, 14 ... Opening part, 14A ... 1st opening part, 14B ... 2nd Opening part, 15, 15A ... electron emission part, 20 ... substrate, 21 ... partition wall, 22, 22R, 22G, 22B ... phosphor layer, 23 ... light absorption layer (black matrix) 24 ... anode electrode, 30 ... bonding member, 31 ... frame, 32 ... adhesive layer, 41 ... first positioning member, 42 ... second positioning member, 43, 46 ... Positioning device, 44,47 ... Contact portion of positioning device, 45,48 ... , 50 ... biasing means, 51 ... pin, 52 ... spring, 53 ... pin mounting part, 54, 54A ... biasing means housing, 60, 70 ... clip, 61, 71 ... holding member, 62, 72 ... holding portion, 63, 73 ... contact member, 64, 74 ... contact portion, 65, 75 ... fixing portion, 66, 76 ... .Biasing member, 81... Cathode electrode control circuit, 82... Gate electrode control circuit, 83.

Claims (12)

平面形状が矩形の第1パネルと第2パネルとが、それらの周縁部において接合部材を介して接合されて成る平面型表示装置の組立方法であって、
(A)第1パネルと第2パネルとを、それらの周縁部に接合部材を配した状態で、位置合わせし、次いで、
(B)第1パネルに対する第2パネルの位置決めを行った後、
(C)第2パネルに対して、第2パネルの第1方向に延びる第1の辺に向かう力、該第1の辺に隣接し、第1の方向とは異なる第2の方向に延びる第2の辺に向かう力、及び、第1パネルに向かう力を付勢手段によって加えながら、接合部材を加熱することによって第1パネルと第2パネルとをそれらの周縁部において接合する、
工程を具備することを特徴とする平面型表示装置の組立方法。
A planar display device assembly method in which a first panel and a second panel having a rectangular planar shape are joined to each other at a peripheral edge portion thereof via a joining member,
(A) The first panel and the second panel are aligned in a state where the joining members are arranged on the peripheral portions thereof, and then,
(B) After positioning the second panel relative to the first panel,
(C) For the second panel, the force toward the first side extending in the first direction of the second panel, the second side adjacent to the first side and extending in a second direction different from the first direction The first panel and the second panel are joined at their peripheral portions by heating the joining member while applying a force toward the two sides and a force toward the first panel by the biasing means.
A method for assembling a flat panel display device comprising the steps.
付勢手段は、ピン、ピンに力を加えるためのバネ、及び、ピン取付部から成ることを特徴とする請求項1に記載の平面型表示装置の組立方法。   2. The flat panel display assembly method according to claim 1, wherein the urging means includes a pin, a spring for applying a force to the pin, and a pin mounting portion. ピンに力を加えるためのバネによって、ピン取付部に取り付けられたピンには、第1の辺に向かう力、第2の辺に向かう力、及び、第1パネルに向かう力が合成された力が加えられることを特徴とする請求項2に記載の平面型表示装置の組立方法。   A force that is applied to the pin mounting portion by a spring for applying a force to the pin is a combined force of the force toward the first side, the force toward the second side, and the force toward the first panel. The method for assembling a flat display device according to claim 2, wherein: 付勢手段は、クリップから成ることを特徴とする請求項1に記載の平面型表示装置の組立方法。   2. The method of assembling a flat display device according to claim 1, wherein the urging means comprises a clip. クリップは、第1パネルを保持する保持部を有する保持部材、第2パネルと接触部で接する接触部材、保持部材と接触部材とを回動自在に相互に固定する固定部、及び、保持部材の保持部と接触部材の接触部とが相互に近接する方向に保持部材及び接触部材に力を加える付勢部材から成り、
付勢部材によって、接触部材の接触部には、第1の辺に向かう力、第2の辺に向かう力、及び、第1パネルに向かう力が合成された力が加えられることを特徴とする請求項4に記載の平面型表示装置の組立方法。
The clip includes a holding member having a holding portion that holds the first panel, a contact member that contacts the second panel at the contact portion, a fixing portion that rotatably fixes the holding member and the contact member to each other, and a holding member The holding portion and the contact portion of the contact member are composed of a biasing member that applies a force to the holding member and the contact member in a direction in which they are close to each other,
The urging member applies a force that is a combination of a force toward the first side, a force toward the second side, and a force toward the first panel, to the contact portion of the contact member. The method for assembling the flat display device according to claim 4.
クリップは、第1パネルを保持する保持部を有する保持部材、第2パネルと接触部で接する接触部材、保持部材と接触部材とを回動自在に相互に固定する固定部、及び、保持部材の保持部と接触部材の接触部とが相互に近接する方向に保持部材及び接触部材に力を加える付勢部材から成り、
接触部材の接触部を構成する材料の熱膨張率は、保持部材の保持部を構成する材料の熱膨張率よりも小さく、
接合部材によって第1パネルと第2パネルとをそれらの周縁部において接合する際の加熱処理による接触部材及び保持部材の熱膨張によって、接触部材の接触部には、第1の辺に向かう力、第2の辺に向かう力、及び、第1パネルに向かう力が合成された力が加えられることを特徴とする請求項4に記載の平面型表示装置の組立方法。
The clip includes a holding member having a holding portion that holds the first panel, a contact member that contacts the second panel at the contact portion, a fixing portion that rotatably fixes the holding member and the contact member to each other, and a holding member The holding portion and the contact portion of the contact member are composed of a biasing member that applies a force to the holding member and the contact member in a direction in which they are close to each other,
The thermal expansion coefficient of the material constituting the contact part of the contact member is smaller than the thermal expansion coefficient of the material constituting the holding part of the holding member,
Due to the thermal expansion of the contact member and the holding member by the heat treatment when joining the first panel and the second panel at their peripheral portions by the joining member, the contact portion of the contact member has a force toward the first side, The flat panel display assembling method according to claim 4, wherein a force obtained by combining a force toward the second side and a force toward the first panel is applied.
第1パネルと第2パネルとの位置合わせの完了後、第2パネルの第1の辺の縁部に接する第1位置決め部材、及び、第2パネルの第2の辺の縁部に接する第2位置決め部材を、それぞれ、第1パネルに固定することで、第1パネルに対する第2パネルの位置決めを行うことを特徴とする請求項1に記載の平面型表示装置の組立方法。   After the alignment between the first panel and the second panel is completed, the first positioning member in contact with the edge of the first side of the second panel and the second in contact with the edge of the second side of the second panel The flat panel display assembly method according to claim 1, wherein the second panel is positioned with respect to the first panel by fixing the positioning members to the first panel. 少なくとも第1位置決め部材に接する第2パネルの第1の辺の縁部の部分、及び、少なくとも第2位置決め部材に接する第2パネルの第2の辺の縁部は、面取りされており、面取り部分の頂点の位置は、第2パネルの厚さの1/2よりも第2パネル下面側に位置することを特徴とする請求項7に記載の平面型表示装置の組立方法。   The edge portion of the first side of the second panel in contact with at least the first positioning member and the edge portion of the second side of the second panel in contact with at least the second positioning member are chamfered, and the chamfered portion 8. The method of assembling a flat display device according to claim 7, wherein the position of the top of the flat panel display device is located on the lower surface side of the second panel with respect to 1/2 of the thickness of the second panel. 第1パネルと第2パネルとの位置合わせの完了後、第2パネルの第1の辺の縁部に第1位置決め装置を当接させ、第2パネルの第2の辺の縁部に第2位置決め装置を当接させることで、第1パネルに対する第2パネルの位置決めを行うことを特徴とする請求項1に記載の平面型表示装置の組立方法。   After the alignment between the first panel and the second panel is completed, the first positioning device is brought into contact with the edge of the first side of the second panel, and the second edge of the second panel is brought into contact with the edge of the second side. The flat panel display assembly method according to claim 1, wherein the second panel is positioned with respect to the first panel by bringing the positioning device into contact therewith. 第1位置決め装置及び第2位置決め装置は、付勢手段ハウジングに螺合していることを特徴とする請求項8に記載の平面型表示装置の組立方法。   9. The method of assembling a flat display device according to claim 8, wherein the first positioning device and the second positioning device are screwed into the urging means housing. 少なくとも第1位置決め装置に当接する第2パネルの第1の辺の縁部の部分、及び、少なくとも第2位置決め装置に当接する第2パネルの第2の辺の縁部は、面取りされており、面取り部分の頂点の位置は、第2パネルの厚さの1/2よりも第2パネル下面側に位置することを特徴とする請求項9に記載の平面型表示装置の組立方法。   The edge portion of the first side of the second panel that contacts at least the first positioning device, and the edge portion of the second side of the second panel that contacts at least the second positioning device are chamfered, 10. The method of assembling a flat display device according to claim 9, wherein the position of the apex of the chamfered portion is located on the lower surface side of the second panel with respect to 1/2 of the thickness of the second panel. 平面型表示装置は冷陰極電界電子放出表示装置であることを特徴とする請求項1乃至請求項11のいずれか1項に記載の平面型表示装置の組立方法。
12. The method for assembling a flat display device according to claim 1, wherein the flat display device is a cold cathode field emission display device.
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