JP2007046973A - 励振装置および励振方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ガウシアンビームを被試験試料であるマルチモード光導波路コアに入射させ、当該マルチモード光導波路端面からの反射戻り光の強度が最大となるようにビーム入射手段とマルチモード光導波路コアとの相対位置を調整してガウシアンビームとマルチモード光導波路コアとの位置決めを行うと共に、ガウシアンビームのビームウェストをマルチモード光導波路端面位置に設定してマルチモード光導波路の光学特性を測定する。
【選択図】 図2
Description
(測定原理)各実施例に共通する測定原理を以下に説明する。
第一実施例では前述の原理を用いた本発明によるマルチモード光回路の評価方法を示す。図2にはその基本測定光学系を示す。符号6は被試験試料であるマルチモード光導波路、符号7は第二レンズ、符号9は第一レンズ、符号10はファイバピッグテール、符号11は光学ヘッド、符号12は偏光子、符号13は光カプラ、符号14−a、14−bは偏光子付偏波保持光ファイバ、符号15は848nmで発振するスーパールミネッセントダイオード(SLD:Super Luminescent Diode)、符号16は光パワー検出器、符号17は光学ヘッド端面に取り付けられたコンタクトセンサ、18はサンプルホルダである。
この偏波保存光ファイバの出射端14−b、ならびに測定光出射方向対向位置に第一レンズ9が光学ヘッド11に保持されて設置されている。第一レンズ9によって偏波保存光ファイバから出射する測定光をコリメートビームとしている。コリメートビームとなった測定光は光学ヘッド11に保持されている第二レンズ7によって集光され所望のスポットサイズを有するガウシアンビームに変換される。これら第一ならびに第二の光学レンズ9ならびに7の変更によって所望のスポットサイズを有するガウシアンビームを実現することができる。
本実施例では、本発明による測定系による測定過程を図8〜図10を参照して説明する。符号12は偏光子、符号6はマルチモード光導波路、符号11は光学ヘッド、符号13は光カプラ、符号14−a、14−bは偏波保存光ファイバ、符号15はSLD光源、符号16は光パワー検出器、符号17はコンタクトセンサである。図8は測定過程Iを示しており、光学ヘッド11をマルチモード光導波路基板6の端面にコンタクトさせることによって、光学ヘッド11とマルチモード光導波路端面との原点位置を認識させた。
Mode Volume)値を用いた。
(実施例まとめ)
スポットサイズが小さなガウシアンビームを、ビームウェストが測定対象となるマルチモード光導波路の光入射端面に位置するように入射することにより、図11(b)のEMVinputが0.07の点(y軸にほぼ接している点)で、EMVoutputが11.5×103という値が得られていることからわかるように、従来のJISC686ならびにJISC6836−02に示される定常モード励振方法に匹敵するモード規模での励振が実現できる。
2 励振器
3 ファイバシェイカ
4 光源
5 フォトディテクタ
6 マルチモード光導波路
6−a 光導波路コア
6−b 光導波路上部クラディング
6−c 光導波路下部クラディング
6−d 基板
7 第二レンズ
8 ガウシアンビーム等位相面
9 第一レンズ
10 ファイバピッグテール
11 光学ヘッド
12 偏光子
13 光カプラ
14、14−a、14−b 偏波保存光ファイバ
15 スーパールミネッセント(SLD)光源
16 光パワー検出器
17 コンタクトセンサ
18 サンプルホルダ
Claims (6)
- スーパールミネッセントダイオード(SLD)光源と、
このSLD光源に接続されこのSLD光が入射される偏波保存光ファイバと、
この偏波保存光ファイバに挿入され前記SLD光を一定偏波とする偏光素子と、
この偏波保存光ファイバからの出射光ビームのスポットサイズを変換するスポットサイズ変換手段と、
このスポットサイズ変換手段からの出射光ビームをマルチモード光導波路コアに入射させるビーム入射手段と
を備えた当該マルチモード光導波路の光学特性を測定するための励振装置。 - 前記ビーム入射手段の光出射端面にコンタクトセンサを設け、
このコンタクトセンサを、前記マルチモード光導波路端面もしくは前記マルチモード光導波路を搭載するサンプルホルダ端面に突き当てることにより前記ビーム入射手段と前記マルチモード光導波路端面もしくは前記サンプルホルダ端面との距離を測定する手段を備えた請求項1記載の励振装置。 - 前記SLD光源と前記スポットサイズ変換手段との間の偏波保存光ファイバに2入力×1出力光カプラが挿入され、
前記SLD光源からの出力光が前記偏波保存光ファイバを介して当該光カプラの一方の入力側端子に入射され、
他方の入力側端子には前記SLD光の前記マルチモード光導波路端もしくは前記サンプルホルダ端からの反射戻り光の強度を検出する光パワー検出手段が接続され、
当該光カプラの出力側端子には前記スポットサイズ変換手段が前記偏波保存光ファイバを介して接続された
請求項1記載の励振装置。 - 請求項2または3記載の励振装置を用い、
前記ビーム入射手段から出射されるガウシアンビームを被試験試料であるマルチモード光導波路コアに入射させ、
当該マルチモード光導波路端面からの反射戻り光の強度を前記光パワー検出手段により検出してこの強度が最大となるように前記ビーム入射手段と前記マルチモード光導波路コアとの相対位置を調整して前記ガウシアンビームと前記マルチモード光導波路コアとの位置決めを行うと共に、前記ガウシアンビームのビームウェストを前記マルチモード光導波路端面位置に設定して前記マルチモード光導波路の光学特性を測定する
励振方法。 - 前記ガウシアンビームのビームウェストを前記マルチモード光導波路端面位置に設定する際に、当該マルチモード光導波路端面からの反射戻り光の強度を前記光パワー検出手段により検出してこの強度が最大となるように前記ビーム入射手段端面と前記マルチモード光導波路端面もしくは前記サンプルホルダ端面との距離を設定する請求項4記載の励振方法。
- 設定された前記距離を前記コンタクトセンサにより測定し、次回以降の光学特性の測定からは今回測定して得られた前記距離の値を、前記ガウシアンビームのビームウェストを前記マルチモード光導波路端面位置に設定することができる確定値として扱う請求項5記載の励振方法。
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JPH09210619A (ja) * | 1996-01-31 | 1997-08-12 | Nikon Corp | 光導波路を用いた焦点検出装置 |
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