JP2007041235A - Exposure apparatus, image forming apparatus and method of exposure - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an exposure apparatus in which the structure is more simplified than a conventional apparatus and an equivalent scanning speed is realized. <P>SOLUTION: An exposure apparatus 2 is provided with a multibeam light source apparatus 11, a collimator lens 12, a deflection mirror 13, an Fθ lens 14, a mirror 15 and a control part 16. A plurality of beams emitted from the multibeam light source apparatus 11 is parallelized by the collimator lens 12. The deflection mirror 13 is provided with a single reflecting face 13s and the plurality of beams are deflected by the reflecting face 13s. The plurality of beams deflected by the reflecting face 13s are focused by the Fθ lens 14 and reflected by the mirror 15 and radiated on different positions on the surface of a photoreceptor drum 3 which is an object to be exposed. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、レーザビームプリンタ、複写機等に搭載される露光装置、画像形成装置、および露光方法に関するものであり、特に、反射面によりビームを偏向して走査を行う露光装置に関する。   The present invention relates to an exposure apparatus, an image forming apparatus, and an exposure method mounted on a laser beam printer, a copying machine, and the like, and more particularly, to an exposure apparatus that performs scanning by deflecting a beam with a reflecting surface.

従来、図8に示すような構成を備えた露光装置が知られている。図8は、従来型の露光装置の概略図である。図8の露光装置80は、単一(つまり1本)のビームを射出する光源81、コリメータレンズ82、シリンドリカルレンズ83、ポリゴンミラー84、Fθレンズ85、および、ミラー86を備えている。ポリゴンミラー84は、複数の連続した反射面を備えている。より詳しくは、ポリゴンミラー84は、各側面が反射面となっている多角柱形状をしており、回転軸を中心に、図中の矢印A方向に回転するミラーである。なお、以下では、Fθレンズ85とミラー86とからなる光学系を走査光学系と称する。   Conventionally, an exposure apparatus having a configuration as shown in FIG. 8 is known. FIG. 8 is a schematic view of a conventional exposure apparatus. 8 includes a light source 81 that emits a single beam (that is, one beam), a collimator lens 82, a cylindrical lens 83, a polygon mirror 84, an Fθ lens 85, and a mirror 86. The polygon mirror 84 includes a plurality of continuous reflecting surfaces. More specifically, the polygon mirror 84 has a polygonal column shape in which each side surface is a reflecting surface, and is a mirror that rotates in the direction of arrow A in the drawing around the rotation axis. Hereinafter, an optical system including the Fθ lens 85 and the mirror 86 is referred to as a scanning optical system.

光源1から射出されたビームは、まず、コリメータレンズ82によって平行光にされる。平行光となったビームは、シリンドリカルレンズ83によって、ポリゴンミラー84の回転軸方向におけるビーム径が小さくされる。ポリゴンミラー84の回転軸方向におけるビーム径が小さくなったビームは、次に、ポリゴンミラー84によって反射される。そして、ポリゴンミラー84によって反射されたビームは、さらに、Fθレンズ85により集光された後、ミラー86によって反射される。そして、ミラー86によって反射されたビームは、露光対象である感光体ドラム87の表面上に照射される。   The beam emitted from the light source 1 is first converted into parallel light by the collimator lens 82. The beam that has become parallel light is reduced in diameter by the cylindrical lens 83 in the rotation axis direction of the polygon mirror 84. The beam having a smaller beam diameter in the direction of the rotation axis of the polygon mirror 84 is then reflected by the polygon mirror 84. The beam reflected by the polygon mirror 84 is further collected by the Fθ lens 85 and then reflected by the mirror 86. The beam reflected by the mirror 86 is irradiated onto the surface of the photosensitive drum 87 that is an exposure target.

このようにして感光体ドラム87の表面上に照射されたビームは、ポリゴンミラー84の、図中の矢印A方向への回転に伴って、図中の矢印B方向(以下、主走査方向と称する)に感光体ドラム87の表面上を走査する。   The beam irradiated onto the surface of the photosensitive drum 87 in this way is accompanied by the rotation of the polygon mirror 84 in the direction of the arrow A in the drawing (hereinafter referred to as the main scanning direction). ) Is scanned over the surface of the photosensitive drum 87.

また、ポリゴンミラー84の回転に伴い、感光体ドラム87も、図中の矢印C方向に回転する。したがって、感光体ドラム87の回転によって、ミラー86によって反射されたビームによる、感光体ドラム87の表面上における、図中の矢印D方向(以下、副走査方向と称する)に関する走査が行われる。   As the polygon mirror 84 rotates, the photosensitive drum 87 also rotates in the direction of arrow C in the drawing. Therefore, by the rotation of the photoconductor drum 87, the beam reflected by the mirror 86 is scanned on the surface of the photoconductor drum 87 in the direction of arrow D (hereinafter referred to as the sub-scanning direction) in the drawing.

また、ポリゴンミラー84の一つの反射面によるビームの反射が行われると、該反射面に隣接した反射面によるビームの反射が行われる。この場合、各反射面により反射されたビームによる、上記主走査方向に関する感光体ドラム87の表面上の走査開始位置は、互いに同じ位置となる。   When the beam is reflected by one reflecting surface of the polygon mirror 84, the beam is reflected by the reflecting surface adjacent to the reflecting surface. In this case, the scanning start positions on the surface of the photosensitive drum 87 in the main scanning direction by the beams reflected by the respective reflecting surfaces are the same positions.

このようにポリゴンミラー84を用いることにより、シリンドリカルレンズ83から射出したビームを、ポリゴンミラー84の各反射面にて同様に反射できると共に、該ビームを上記複数の反射面によって連続して反射することができる。   By using the polygon mirror 84 in this way, the beam emitted from the cylindrical lens 83 can be similarly reflected by each reflection surface of the polygon mirror 84, and the beam is continuously reflected by the plurality of reflection surfaces. Can do.

したがって、反射面を1つしか備えない構成よりも、ポリゴンミラー84を備える構成の方が、通常は、高速な露光(走査)を行うことができる。   Therefore, the configuration including the polygon mirror 84 can usually perform high-speed exposure (scanning) than the configuration including only one reflecting surface.

また、近年、ポリゴンミラーを用いる代わりに、単一の反射面を備えた反射鏡を用い、かつ、高速に露光(走査)可能な方式も提案されている(例えば、特許文献1参照)。この方式では、反射面は単一であるものの、走査光学系を複数配置している。そして、この方式においては、上記反射面により反射されたビームは、反射面の回転に伴って、それぞれの走査光学系に入射する。
特開平11−249042号公報(1999年9月17日公開)
In recent years, there has also been proposed a system that uses a reflecting mirror having a single reflecting surface instead of using a polygon mirror and can be exposed (scanned) at high speed (for example, see Patent Document 1). In this system, although there is a single reflecting surface, a plurality of scanning optical systems are arranged. In this system, the beam reflected by the reflecting surface enters each scanning optical system as the reflecting surface rotates.
Japanese Patent Laid-Open No. 11-290442 (published on September 17, 1999)

しかしながら、上記従来の構成では、以下のような問題を生じる。   However, the conventional configuration causes the following problems.

すなわち、図8の構成では、ポリゴンミラー84は、上述したように、各側面が反射面となっている多角柱形状をしており、回転軸を中心に、図中矢印A方向に回転する。この回転軸と反射面とがなす角度、回転軸方向における反射面の長さ、反射面の反射率などが、複数の反射面で互いに異なると、感光体ドラム87上に形成されるビームスポットに関し、位置ずれや光量の変動が生じる。したがって、上記位置ずれや光量の変動を防ぐためには、ポリゴンミラー84を非常に高い加工精度で製造する必要がある。このため、ポリゴンミラー84の製造コストが高額となっていた。   That is, in the configuration of FIG. 8, the polygon mirror 84 has a polygonal column shape in which each side surface is a reflection surface as described above, and rotates in the direction of the arrow A in the drawing around the rotation axis. When the angle formed by the rotation axis and the reflection surface, the length of the reflection surface in the rotation axis direction, the reflectance of the reflection surface, and the like are different among the plurality of reflection surfaces, the beam spot formed on the photosensitive drum 87 , Positional deviation and light quantity fluctuations occur. Therefore, in order to prevent the positional deviation and the fluctuation of the light amount, it is necessary to manufacture the polygon mirror 84 with very high processing accuracy. For this reason, the manufacturing cost of the polygon mirror 84 is high.

また、回転軸と反射面とがなす角度が反射面ごとに異なることにより生じる不具合を低減するために、ポリゴンミラーの回転軸方向におけるビーム径を小さくする必要があった。したがって、シリンドリカルレンズ83を用いることが必須であった。   Further, in order to reduce problems caused by the difference between the angles of the rotation axis and the reflection surface for each reflection surface, it is necessary to reduce the beam diameter in the rotation axis direction of the polygon mirror. Therefore, it is essential to use the cylindrical lens 83.

一方、ポリゴンミラー84の代わりに、単一の反射面を備えた反射鏡を用いれば、このような問題は生じない。しかし、反射面の回転速度を従来型の露光装置と同一とすると、例えば反射面の数が6面である従来型のポリゴンミラーに比較して、走査速度(単位時間あたりに走査される画像領域の、副走査方向における長さ)は、1/6に低下する。走査速度も同じとするには、反射面の回転速度を従来の6倍にする必要がある。ところが、現状でも、反射面は数万rpmと十分に高速回転しており、これ以上の高速化は困難である。   On the other hand, if a reflecting mirror having a single reflecting surface is used instead of the polygon mirror 84, such a problem does not occur. However, if the rotational speed of the reflecting surface is the same as that of the conventional exposure apparatus, the scanning speed (image area scanned per unit time) is compared with, for example, a conventional polygon mirror having six reflecting surfaces. (Length in the sub-scanning direction) is reduced to 1/6. In order to make the scanning speed the same, the rotational speed of the reflecting surface needs to be six times that of the conventional one. However, even in the present situation, the reflecting surface rotates at a sufficiently high speed of tens of thousands of rpm, and it is difficult to increase the speed further.

この点、特許文献1の方式によれば、例えば、6個の走査光学系を配置することにより、反射面の回転速度が、反射面の数が6面であるポリゴンミラーと同じであっても、走査速度は同一とすることができる。   In this regard, according to the method of Patent Document 1, for example, by arranging six scanning optical systems, even if the rotational speed of the reflecting surface is the same as that of the polygon mirror having six reflecting surfaces, The scanning speed can be the same.

しかしながら、特許文献1の方式では、走査光学系を複数備える必要がある。また、走査光学系の数だけ感光体ドラムが必要になる。さらに、全ての走査光学系を印刷紙が通過するための搬送系も別途必要になる。このため、装置の製造コストが増加し、装置サイズも増大するという問題が生じる。さらに、複数の走査光学系があるということは、各走査光学系間で、感光体ドラムの表面上に形成されるビームスポットの位置ズレが当然、発生する。このため、各部品の精度や組立て精度を高精度にする必要があり、単一の反射面としたメリットが損なわれる。よって、特許文献1の方式では、十分な解決策になっていなかった。   However, the method of Patent Document 1 requires a plurality of scanning optical systems. Further, as many photosensitive drums as the number of scanning optical systems are required. Furthermore, a transport system for passing the printing paper through all scanning optical systems is also required. For this reason, the manufacturing cost of an apparatus increases and the problem that an apparatus size also arises arises. Furthermore, the fact that there are a plurality of scanning optical systems naturally causes a positional deviation of a beam spot formed on the surface of the photosensitive drum between the scanning optical systems. For this reason, it is necessary to make the precision and assembly precision of each component high, and the merit of using a single reflecting surface is impaired. Therefore, the method of Patent Document 1 has not been a sufficient solution.

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、従来よりも装置構成を簡略化しつつ、従来に劣らない走査速度を実現できる露光装置、画像形成装置および露光方法を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide an exposure apparatus, an image forming apparatus, and an exposure method capable of realizing a scanning speed not inferior to the conventional one while simplifying the apparatus configuration as compared with the conventional one. It is to provide.

本発明に係る露光装置は、上記課題を解決するために、ビームを射出するビーム射出手段と、該ビーム射出手段から射出されたビームを回転可能な反射面によって偏向する偏向手段とを備え、上記反射面の回転に伴い、偏向後のビームを感光材の表面上に走査させて該感光材の表面を露光する露光装置において、上記偏向手段は、上記反射面として単一の反射面を備え、上記単一の反射面により偏向された後の上記複数本のビームを上記感光材の表面上の異なる位置に照射することを特徴としている。   In order to solve the above-described problems, an exposure apparatus according to the present invention includes: a beam emitting unit that emits a beam; and a deflecting unit that deflects the beam emitted from the beam emitting unit with a rotatable reflecting surface. In the exposure apparatus that exposes the surface of the photosensitive material by scanning the surface of the photosensitive material with the deflected beam as the reflecting surface rotates, the deflecting unit includes a single reflecting surface as the reflecting surface, The plurality of beams after being deflected by the single reflecting surface are irradiated to different positions on the surface of the photosensitive material.

上記の構成によれば、偏向手段が有する反射面は、単一の反射面である。それゆえ、偏向手段自体が、ポリゴンミラーよりも簡易な構成となっている。また、反射面が1つしかないので、反射面と反射面の回転軸とがなす角度が反射面ごとに異なる、ということはない。このため、反射面と反射面の回転軸とがなす角度の反射面毎の差異による不具合を低減するための、シリンドリカルレンズを設ける必要がない。以上の理由から、ポリゴンミラーによりビームを偏向する構成よりも、装置構成を簡略化できる。   According to said structure, the reflective surface which a deflection | deviation means has is a single reflective surface. Therefore, the deflecting means itself has a simpler configuration than the polygon mirror. In addition, since there is only one reflecting surface, the angle formed by the reflecting surface and the rotation axis of the reflecting surface does not differ for each reflecting surface. For this reason, it is not necessary to provide a cylindrical lens for reducing a problem due to a difference between the reflecting surfaces and the angle formed by the reflecting surfaces and the rotation axes of the reflecting surfaces. For the above reasons, the apparatus configuration can be simplified compared to the configuration in which the beam is deflected by the polygon mirror.

さらに、上記反射面により偏向された複数本のビームを感光材の表面上の異なる位置に照射するので、感光材の表面上を、複数本のビームによって同時に走査できる。このため、ポリゴンミラーによりビームを偏向する構成に劣らない走査速度を実現できる。   Further, since the plurality of beams deflected by the reflecting surface are irradiated to different positions on the surface of the photosensitive material, the surface of the photosensitive material can be simultaneously scanned by the plurality of beams. Therefore, it is possible to realize a scanning speed not inferior to the configuration in which the beam is deflected by the polygon mirror.

したがって、上記の構成によれば、従来よりも装置構成を簡略化しつつ、従来に劣らない走査速度を実現できる露光装置を提供できる。   Therefore, according to said structure, the exposure apparatus which can implement | achieve the scanning speed not inferior to the past can be provided, simplifying an apparatus structure compared with the past.

本発明に係る露光装置は、上記の露光装置において、上記感光材は、回転可能な感光体ドラムであり、上記感光体ドラムの周長をLと、上記感光体ドラムの単位時間あたりの回転数をbと、上記反射面の回転に伴い、偏向後のビームが上記感光体ドラムの表面を走査する際の走査方向を主走査方向と、上記感光体ドラムの回転方向とは逆の方向を副走査方向と、主走査方向への1回の走査によって上記感光体ドラムの表面上に形成される画像領域の副走査方向長さをdとすると、上記反射面の上記単位時間あたりの回転数aは、Lとdとの単位を同一とした場合、
a<L×b/d
で示される構成であってもよい。
The exposure apparatus according to the present invention is the above exposure apparatus, wherein the photosensitive material is a rotatable photosensitive drum, and the circumference of the photosensitive drum is L, and the rotational speed per unit time of the photosensitive drum. B, the scanning direction when the deflected beam scans the surface of the photosensitive drum with the rotation of the reflecting surface is the main scanning direction, and the direction opposite to the rotating direction of the photosensitive drum is the auxiliary direction. the scanning direction, number of rotations per above the photoreceptor length in the sub-scanning direction of the image area formed on the surface of the drum and d 1, the unit of the reflective surface time by one scanning in the main scanning direction a is the same as the unit of L and d 1 ,
a <L × b / d 1
The structure shown by may be sufficient.

上記の構成によれば、偏向手段の単一の反射面が1回転するために要する時間は、感光体ドラムの表面が、上記長さdの分だけ回転するために要する時間よりも長くなる。それゆえ、主走査方向への1回の走査によって感光体ドラムの表面上に形成される画像領域と、主走査方向への次の1回の走査によって感光体ドラムの表面上に形成される画像領域との間に、重複部分は生じない。すなわち、感光体ドラムの表面上の同じ領域が続けて露光されることはない。したがって、感光体ドラムの表面上に形成される静電潜像の品位低下を防止できる。 According to the above configuration, the time required for one rotation of the single reflecting surface of the deflecting unit is longer than the time required for the surface of the photosensitive drum to rotate by the length d 1. . Therefore, an image area formed on the surface of the photosensitive drum by one scanning in the main scanning direction and an image formed on the surface of the photosensitive drum by the next scanning in the main scanning direction. There is no overlap between the areas. That is, the same area on the surface of the photosensitive drum is not continuously exposed. Therefore, it is possible to prevent a deterioration in the quality of the electrostatic latent image formed on the surface of the photosensitive drum.

本発明に係る露光装置は、上記の露光装置において、上記複数本のビームがそれぞれ主走査方向に沿って感光体ドラムの表面上に形成する像であって、隣り合う像についての、感光体ドラムの表面に沿った副走査方向の間隔は一定であり、該間隔をdとすると、上記回転数aは、dとdとの単位を同一とした場合、
a=L×b/(d+d
で示される構成であってもよい。
The exposure apparatus according to the present invention is the above-described exposure apparatus, wherein the plurality of beams are images formed on the surface of the photosensitive drum along the main scanning direction, and the photosensitive drums of adjacent images are formed. The distance in the sub-scanning direction along the surface is constant, and when the distance is d 2 , the rotation speed a is the same when the units of d 1 and d 2 are the same:
a = L × b / (d 1 + d 2 )
The structure shown by may be sufficient.

上記の構成によれば、複数本のビームが主走査方向に沿って感光体ドラムの表面上に形成する像であって、隣り合う像についての、感光体ドラムの表面に沿った副走査方向の間隔は一定値dであり、かつ、主走査方向への1回の走査によって感光体ドラムの表面上に形成される画像領域と、主走査方向への次の1回の走査によって感光体ドラムの表面上に形成される画像領域との間の間隔は、上記dに等しくなる。それゆえ、主走査方向に沿って感光体ドラムの表面上に形成される像の全てについて、感光体ドラムの表面に沿った副走査方向の間隔が一定となる。それゆえ、感光体ドラムの回転による副走査方向への走査を、常に一定間隔で行うことができる。したがって、ムラのない高品位な静電潜像を、感光体ドラムの表面上に形成できる。 According to the above configuration, the plurality of beams are images formed on the surface of the photosensitive drum along the main scanning direction, and adjacent images in the sub-scanning direction along the surface of the photosensitive drum. interval is a constant value d 2, and the main by one scanning in the scanning direction and an image region formed on the surface of the photosensitive drum, the photosensitive drum by the following one scan in the main scanning direction spacing between the image area to be formed on the surface of the is equal to the d 2. Therefore, the intervals in the sub-scanning direction along the surface of the photosensitive drum are constant for all the images formed on the surface of the photosensitive drum along the main scanning direction. Therefore, scanning in the sub-scanning direction by rotation of the photosensitive drum can always be performed at regular intervals. Therefore, a high-quality electrostatic latent image without unevenness can be formed on the surface of the photosensitive drum.

本発明に係る露光装置は、上記の露光装置において、上記ビーム射出手段からの複数本のビームの出力をオンにするかオフにするかを切り換える出力制御手段をさらに備え、上記出力制御手段は、上記複数本のビームの光路上に上記偏向手段の反射面がない期間は、上記ビーム射出手段からのビームの出力をオフにする構成であってもよい。   The exposure apparatus according to the present invention further comprises output control means for switching whether to turn on or off the output of the plurality of beams from the beam emitting means in the exposure apparatus, wherein the output control means comprises: The structure may be such that the output of the beam from the beam emitting means is turned off during a period when there is no reflecting surface of the deflecting means on the optical path of the plurality of beams.

ビームの光路上に偏向手段の反射面がない間は、ビーム射出手段からのビームの出力をオフにすることにより、反射面以外の部分によってビームが反射されることを防止できる。それゆえ、反射面以外の部分によって反射されたビームが感光材の表面上に照射されることはなくなる。したがって、感光材の表面上に不要なビームが入射することによる、静電潜像の品位低下を防止できる。   While there is no reflecting surface of the deflecting unit on the optical path of the beam, turning off the beam output from the beam emitting unit can prevent the beam from being reflected by a portion other than the reflecting surface. Therefore, the beam reflected by the portion other than the reflecting surface is not irradiated on the surface of the photosensitive material. Therefore, it is possible to prevent the quality of the electrostatic latent image from deteriorating due to an unnecessary beam incident on the surface of the photosensitive material.

本発明に係る露光装置は、上記の露光装置において、上記偏向手段の反射面以外の部分であって、反射面の回転に伴って上記複数本のビームが入射する部分は、該ビームの反射を防止する表面処理がなされていてもよい。   In the exposure apparatus according to the present invention, in the exposure apparatus described above, a portion other than the reflection surface of the deflecting unit, where the plurality of beams are incident as the reflection surface rotates, reflects the beam. Surface treatment to prevent may be made.

上記の構成によれば、偏向手段の反射面以外の部分であって、反射面の回転に伴って上記複数本のビームが入射する部分は、該ビームの反射を防止する表面処理がなされていることにより、反射面以外の部分によってビームが反射されることを防止できる。それゆえ、反射面以外の部分によって反射されたビームが感光材の表面上に照射されることはなくなる。したがって、感光材の表面上に不要なビームが入射することによる、静電潜像の品位低下を防止できる。   According to the above configuration, the portion other than the reflection surface of the deflecting unit, on which the plurality of beams are incident as the reflection surface rotates, is subjected to surface treatment for preventing the reflection of the beams. Thus, it is possible to prevent the beam from being reflected by a portion other than the reflecting surface. Therefore, the beam reflected by the portion other than the reflecting surface is not irradiated on the surface of the photosensitive material. Therefore, it is possible to prevent the quality of the electrostatic latent image from deteriorating due to an unnecessary beam incident on the surface of the photosensitive material.

本発明に係る露光装置は、上記の露光装置において、上記ビーム射出手段は、単一のビームを射出する光源と、上記光源から射出された単一のビームを上記複数本のビームに分割する分割手段とを備えていてもよい。   An exposure apparatus according to the present invention is the above exposure apparatus, wherein the beam emitting means is a light source that emits a single beam, and a division that divides the single beam emitted from the light source into the plurality of beams. Means.

上記の構成によれば、光源から射出された単一のビームを分割手段によって分割することにより、複数本のビームを得ることができる。   According to the above configuration, a plurality of beams can be obtained by dividing the single beam emitted from the light source by the dividing unit.

また、本発明に係る露光装置は、上記の露光装置において、上記ビーム射出手段は、複数の発光部を備え、各発光部が単一のビームを射出する構成であってもよい。   The exposure apparatus according to the present invention may be configured such that in the exposure apparatus described above, the beam emitting means includes a plurality of light emitting units, and each light emitting unit emits a single beam.

上記の構成によれば、ビーム射出手段が複数の発光部を備え、各発光部が単一のビームを射出することにより、複数本のビームを簡単な構成によって得ることができる。   According to said structure, a beam emission means is provided with the several light emission part, and each light emission part inject | emits a single beam, A multiple beam can be obtained by simple structure.

また、本発明に係る露光装置は、上記の露光装置において、上記分割手段は、複数の光変調素子を備え、全ての光変調素子が、上記光源から射出された単一のビームを反射することにより、上記複数本のビームに分割するものであって、上記各光変調素子は、上記光源から射出された単一のビームを反射させるか、透過させるかを切り換える構成であってもよい。   In the exposure apparatus according to the present invention, in the exposure apparatus described above, the dividing unit includes a plurality of light modulation elements, and all the light modulation elements reflect a single beam emitted from the light source. Thus, the light modulation element may be divided into the plurality of beams, and each of the light modulation elements may be configured to switch between reflecting and transmitting a single beam emitted from the light source.

上記の構成によれば、全ての光変調素子が、光源から射出された単一のビームを反射させるか、透過させるかを切り換えるので、ビーム射出手段からのビームの出力をオンにするかオフにするかを、ビーム毎に切り換えることができる。   According to the above configuration, all the light modulation elements switch whether to reflect or transmit the single beam emitted from the light source, so that the beam output from the beam emitting means is turned on or off. This can be switched for each beam.

また、本発明に係る露光装置は、上記の露光装置において、上記ビーム射出手段は、上記分割手段により分割された上記複数本のビームを集光する集光手段を備えると共に、上記集光手段で集光されたビーム毎に、自素子に入射するビームを反射させるか、透過させるかを切り換える光変調素子を個別に備えており、上記反射または透過したビームが上記反射面によって偏向される構成であってもよい。   In the exposure apparatus according to the present invention, in the exposure apparatus, the beam emitting unit includes a condensing unit that condenses the plurality of beams divided by the dividing unit. Each of the collected beams is provided with a light modulation element that switches between reflecting and transmitting a beam incident on the element, and the reflected or transmitted beam is deflected by the reflecting surface. There may be.

上記の構成によれば、上記ビーム射出手段は、上記分割手段により分割された上記複数本のビームを集光する集光手段を備えると共に、上記集光手段で集光されたビーム毎に、自素子に入射するビームを反射させるか、透過させるかを切り換える光変調素子を個別に備えているので、ビーム射出手段からのビームの出力をオンにするかオフにするかを、ビーム毎に切り換えることができる。また、集光手段によって集光されることによりビーム径が小さくなったビームを光変調素子に照射するので、小さくなったビーム径に応じて、光変調素子を小型化できる。光変調素子を小型化することにより、ビームを反射させるか、透過させるかの切り換えがより高速となるので、各ビームの出力をオンにするかオフにするかの切り換えを、より高速に行うことができる。   According to the above configuration, the beam emitting means includes the condensing means for condensing the plurality of beams divided by the dividing means, and for each beam condensed by the condensing means, Since the light modulation element that switches whether the beam incident on the element is reflected or transmitted is individually provided, the beam output from the beam emitting means is switched on or off for each beam. Can do. In addition, since the light modulation element is irradiated with a beam having a beam diameter reduced by being condensed by the light condensing means, the light modulation element can be reduced in size according to the reduced beam diameter. By miniaturizing the light modulation element, switching between reflecting and transmitting the beam becomes faster, so switching between turning on and off the output of each beam is performed at higher speed. Can do.

また、本発明に係る露光装置は、上記の露光装置において、上記分割手段は回折格子であってもよい。   Further, in the exposure apparatus according to the present invention, in the above exposure apparatus, the dividing unit may be a diffraction grating.

分割手段として回折格子を用いることにより、複数本のビームを簡単な構成によって得ることができる。   By using a diffraction grating as the dividing means, a plurality of beams can be obtained with a simple configuration.

本発明に係る画像形成装置は、上記課題を解決するために、上記した露光装置を備えていることを特徴としている。   In order to solve the above-described problems, an image forming apparatus according to the present invention includes the above-described exposure apparatus.

上記の構成によれば、上記した露光装置を備えていることにより、従来よりも装置構成を簡略化しつつ、従来に劣らない走査速度を実現できる露光装置を備えた、画像形成装置を実現できる。   According to the above configuration, by providing the above-described exposure apparatus, it is possible to realize an image forming apparatus including an exposure apparatus that can realize a scanning speed that is not inferior to that of the prior art while simplifying the configuration of the apparatus.

本発明に係る露光方法は、上記課題を解決するために、ビームを射出するビーム射出ステップと、射出したビームを回転可能な反射面によって偏向する偏向ステップとを有し、上記反射面の回転に伴い、偏向後のビームを感光材の表面上に走査させて該感光材を露光する露光方法において、上記ビーム射出ステップでは、複数本のビームを同時に射出し、上記偏向ステップでは、上記複数本のビームを、単一の反射面により同時に偏向することを特徴としている。   In order to solve the above problems, an exposure method according to the present invention includes a beam emitting step for emitting a beam and a deflection step for deflecting the emitted beam by a rotatable reflecting surface. Accordingly, in the exposure method of scanning the surface of the photosensitive material with the deflected beam to expose the photosensitive material, the beam emitting step simultaneously emits a plurality of beams, and the deflection step includes the plurality of beams. It is characterized in that the beam is simultaneously deflected by a single reflecting surface.

上記の方法によれば、偏向手段が有する反射面は、単一の反射面である。それゆえ、偏向手段自体が、ポリゴンミラーよりも簡易な構成となっている。また、反射面が1つしかないので、反射面と反射面の回転軸とがなす角度が反射面ごとに異なる、ということはない。このため、反射面と反射面の回転軸とがなす角度の反射面毎の差異による不具合を低減するための、シリンドリカルレンズを設ける必要がない。以上の理由から、ポリゴンミラーによりビームを偏向する構成よりも、装置構成を簡略化できる。   According to said method, the reflective surface which a deflection | deviation means has is a single reflective surface. Therefore, the deflecting means itself has a simpler configuration than the polygon mirror. In addition, since there is only one reflecting surface, the angle formed by the reflecting surface and the rotation axis of the reflecting surface does not differ for each reflecting surface. For this reason, it is not necessary to provide a cylindrical lens for reducing a problem due to a difference between the reflecting surfaces and the angle formed by the reflecting surfaces and the rotation axes of the reflecting surfaces. For the above reasons, the apparatus configuration can be simplified compared to the configuration in which the beam is deflected by the polygon mirror.

さらに、複数本のビームを感光材の表面上の異なる位置に照射するので、感光材の表面上を、複数本のビームによって同時に走査できる。このため、ポリゴンミラーによりビームを偏向する構成に劣らない走査速度を実現できる。   Furthermore, since a plurality of beams are irradiated to different positions on the surface of the photosensitive material, the surface of the photosensitive material can be simultaneously scanned by the plurality of beams. Therefore, it is possible to realize a scanning speed not inferior to the configuration in which the beam is deflected by the polygon mirror.

したがって、上記の構成によれば、従来よりも装置構成を簡略化しつつ、従来に劣らない走査速度を実現できる露光方法を提供できる。   Therefore, according to said structure, the exposure method which can implement | achieve the scanning speed not inferior to the past can be provided, simplifying an apparatus structure compared with the past.

本発明に係る露光装置は、以上のように、上記偏向手段は、上記反射面として単一の反射面を備え、上記単一の反射面により偏向された後の上記複数本のビームを上記感光材の表面上の異なる位置に照射するので、従来よりも装置構成を簡略化しつつ、従来に劣らない走査速度を実現できる露光装置を提供できる。   In the exposure apparatus according to the present invention, as described above, the deflecting unit includes a single reflecting surface as the reflecting surface, and the plurality of beams after being deflected by the single reflecting surface are subjected to the photosensitive. Since different positions on the surface of the material are irradiated, it is possible to provide an exposure apparatus that can realize a scanning speed not inferior to that of the prior art while simplifying the configuration of the apparatus as compared with the prior art.

また、本発明に係る画像形成装置は、以上のように、本発明に係る露光装置を備えているので、従来よりも装置構成を簡略化しつつ、従来に劣らない走査速度を実現できる露光装置を備えた、画像形成装置を実現できる。   Moreover, since the image forming apparatus according to the present invention includes the exposure apparatus according to the present invention as described above, an exposure apparatus capable of realizing a scanning speed not inferior to the conventional one while simplifying the apparatus configuration as compared with the conventional one. The provided image forming apparatus can be realized.

また、本発明に係る露光方法は、以上のように、上記ビーム射出ステップでは、複数本のビームを同時に射出し、上記偏向ステップでは、上記複数本のビームを、単一の反射面により同時に偏向するので、従来よりも装置構成を簡略化しつつ、従来に劣らない走査速度を実現可能な露光方法を提供できる。   In the exposure method according to the present invention, as described above, in the beam emission step, a plurality of beams are simultaneously emitted, and in the deflection step, the plurality of beams are simultaneously deflected by a single reflecting surface. Therefore, it is possible to provide an exposure method capable of realizing a scanning speed not inferior to the conventional one while simplifying the apparatus configuration as compared with the conventional one.

本発明の一実施形態について図1ないし図7に基づいて説明すると、以下の通りである。   An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 7 as follows.

まず、本実施の形態の露光装置を備えた画像形成装置について、図1に基づいて説明する。図1は、本実施の形態の露光装置を備えた画像形成装置の概略図である。   First, an image forming apparatus provided with the exposure apparatus of the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a schematic view of an image forming apparatus provided with the exposure apparatus of the present embodiment.

画像形成装置1は、露光装置(光走査装置)2および感光体ドラム3を備えている。露光装置2は、マルチビーム光源装置(ビーム射出手段)11、コリメータレンズ12、偏向ミラー(偏向手段)13、Fθレンズ14、ミラー15、および制御部(回転制御部、出力制御部)16を備えている。   The image forming apparatus 1 includes an exposure device (optical scanning device) 2 and a photosensitive drum 3. The exposure apparatus 2 includes a multi-beam light source device (beam emitting means) 11, a collimator lens 12, a deflecting mirror (deflecting means) 13, an Fθ lens 14, a mirror 15, and a control unit (rotation control unit, output control unit) 16. ing.

マルチビーム光源装置11は、同時に6本のビームを射出する装置である。なお、マルチビーム光源装置11の具体的な構成については、後述する。コリメータレンズ12は、マルチビーム光源装置11から射出された各ビームを平行光にするレンズである。   The multi-beam light source device 11 is a device that emits six beams simultaneously. A specific configuration of the multi-beam light source device 11 will be described later. The collimator lens 12 is a lens that collimates each beam emitted from the multi-beam light source device 11.

偏向ミラー13は、図中の矢印A方向に回転可能な単一の反射面13sを備えており、コリメータレンズ12によって平行化された各ビームを、この反射面13sによって同時に偏向するものである。Fθレンズ14は、偏向ミラー13により偏向された各ビームを集光するためのレンズである。ミラー15は、Fθレンズ14により集光された各ビームを、露光対象である感光体ドラム3の表面上に照射させるための鏡である。   The deflecting mirror 13 includes a single reflecting surface 13s that can rotate in the direction of arrow A in the figure, and deflects the beams collimated by the collimator lens 12 simultaneously by the reflecting surface 13s. The Fθ lens 14 is a lens for condensing each beam deflected by the deflection mirror 13. The mirror 15 is a mirror for irradiating the surface of the photosensitive drum 3 as an exposure target with each beam condensed by the Fθ lens 14.

感光体ドラム3は、表面に感光材料が塗布された、円筒形状の部材である。この感光体ドラム3は、円形の各底部の中心を通る線を回転軸として、図中C方向に回転可能に構成されている。また、感光体ドラム3は、図示しない帯電器により帯電されている。   The photosensitive drum 3 is a cylindrical member whose surface is coated with a photosensitive material. The photosensitive drum 3 is configured to be rotatable in the direction C in the drawing with a line passing through the center of each circular bottom as a rotation axis. The photosensitive drum 3 is charged by a charger (not shown).

制御部16は、反射面13sの回転と、感光体ドラム3の回転とを制御する部材である。また、制御部16は、図示しないセンサが検出した反射面13sの回転角度に基づいて、マルチビーム光源装置11からの出力をオンにするかオフにするかを制御する部材である。   The control unit 16 is a member that controls the rotation of the reflecting surface 13 s and the rotation of the photosensitive drum 3. The control unit 16 is a member that controls whether the output from the multi-beam light source device 11 is turned on or off based on the rotation angle of the reflecting surface 13s detected by a sensor (not shown).

マルチビーム光源装置11から射出された6本のビームは、まず、コリメータレンズ12によって平行光にされる。平行光となった各ビームは、次に、偏向ミラー13によって反射される。   The six beams emitted from the multi-beam light source device 11 are first converted into parallel light by the collimator lens 12. Each beam that has become parallel light is then reflected by the deflection mirror 13.

偏向ミラー13によって反射された各ビームは、Fθレンズ14によって集光される。その後、各ビームは、ミラー15によって反射され、感光体ドラム3の表面上の異なる位置(より具体的には、後述する副走査方向において互いに異なる位置)に、6つのビームスポットを形成する。   Each beam reflected by the deflection mirror 13 is collected by the Fθ lens 14. Thereafter, each beam is reflected by the mirror 15 to form six beam spots at different positions on the surface of the photosensitive drum 3 (more specifically, positions different from each other in the sub-scanning direction described later).

感光体ドラム3の表面上に照射された6本のビームは、偏向ミラー13の反射面13sの回転に伴って、図中の矢印B方向(以下、主走査方向と称する)に向かって、感光体ドラム7の表面上を走査する。   The six beams irradiated on the surface of the photosensitive drum 3 are photosensitized in the direction of arrow B (hereinafter referred to as the main scanning direction) in the drawing as the reflecting surface 13s of the deflection mirror 13 rotates. The surface of the body drum 7 is scanned.

また、反射面13sの回転に伴い、感光体ドラム3も、図中の矢印C方向に回転する。したがって、感光体ドラム3の回転によって、反射面13sによって反射されたビームによる、感光体ドラム3の表面上における、図中の矢印D方向(以下、副走査方向と称する)に関する走査が行われる。   Further, along with the rotation of the reflecting surface 13s, the photosensitive drum 3 also rotates in the direction of arrow C in the drawing. Therefore, by the rotation of the photosensitive drum 3, the beam reflected by the reflecting surface 13s is scanned on the surface of the photosensitive drum 3 in the direction of arrow D (hereinafter referred to as the sub-scanning direction) in the drawing.

このような、反射面13sの回転による主走査方向への走査と、感光体ドラム3の回転による副走査方向への走査とによって、露光された感光体ドラム3の表面上には、静電潜像が形成される。   Due to the scanning in the main scanning direction by the rotation of the reflecting surface 13s and the scanning in the sub-scanning direction by the rotation of the photosensitive drum 3, the electrostatic latent image is formed on the surface of the exposed photosensitive drum 3. An image is formed.

このようにして形成された静電潜像は、図示しない現像装置によって顕像化された後、図示しない転写器によって、紙などの記録材に転写される。   The electrostatic latent image formed in this manner is visualized by a developing device (not shown) and then transferred to a recording material such as paper by a transfer device (not shown).

本実施の形態の露光装置2では、同時に照射される6本のビームがそれぞれ主走査方向に沿って感光体ドラム3の表面上に形成する像であって、隣り合う像についての、感光体ドラム3の表面に沿った副走査方向の間隔は、一定となっている。また、この間隔をd(mm)と、感光体ドラム3の周長をL(mm)と、感光体ドラム3の1分あたりの回転数をb(rpm)と、主走査方向への1回の走査によって感光体ドラム3の表面上に形成される画像領域の副走査方向長さをd(mm)とすると、反射面13sの1分あたりの回転数a(rpm)は、以下の式(1)で示される関係を満たすように、制御部16によって制御されている。 In the exposure apparatus 2 of the present embodiment, the six simultaneously irradiated beams are images formed on the surface of the photosensitive drum 3 along the main scanning direction, and the photosensitive drums of adjacent images are formed. The interval in the sub-scanning direction along the surface 3 is constant. Further, this interval is d 2 (mm), the circumferential length of the photosensitive drum 3 is L (mm), the rotational speed of the photosensitive drum 3 per minute is b (rpm), and 1 in the main scanning direction. Assuming that the length of the image region formed on the surface of the photosensitive drum 3 by the scanning of the sub scanning direction is d 1 (mm), the number of rotations a (rpm) per minute of the reflecting surface 13s is as follows. It is controlled by the control unit 16 so as to satisfy the relationship represented by Expression (1).

a=L×b/(d+d) … (1)
上記式(1)で示される関係が満たされているとき、反射面13sが1回転するために要する時間1/a(分)は、以下の式(2)で示される。
a = L × b / (d 1 + d 2 ) (1)
When the relationship represented by the above equation (1) is satisfied, the time 1 / a (minute) required for the reflecting surface 13s to make one rotation is represented by the following equation (2).

1/a=(d+d)/L×b … (2)
ここで、L×bは、感光体ドラム3の表面の回転速度を示している。よって、上記式(2)からは、(反射面13sが1回転するために要する時間)=(感光体ドラム3の表面が上記長さdに上記間隔dを加えた長さの分だけ回転するために要する時間)という関係が導かれる。よって、反射面13sが1回転する期間に、感光体ドラム3の表面は、上記長さdに上記間隔dを加えた長さの分だけ回転するということが分かる。このとき、主走査方向への1回の走査によって感光体ドラム3の表面上に形成される画像領域と、主走査方向への次の1回の走査によって感光体ドラム3の表面上に形成される画像領域との間の間隔は、上記dに等しくなる。したがって、主走査方向に沿って感光体ドラム3の表面上に形成される像の全てについて、感光体ドラム3の表面に沿った副走査方向の間隔が一定となる。
1 / a = (d 1 + d 2 ) / L × b (2)
Here, L × b indicates the rotational speed of the surface of the photosensitive drum 3. Therefore, from the above equation (2), (reflecting surface 13s is time required for one rotation) = (surface of the photosensitive drum 3 is by the length obtained by adding the distance d 2 in the length d 1 The relationship of time required for rotation) is derived. Therefore, the period in which the reflecting surface 13s is rotated 1, the surface of the photosensitive drum 3, it can be seen that rotation by the length obtained by adding the distance d 2 in the length d 1. At this time, an image area formed on the surface of the photosensitive drum 3 by one scanning in the main scanning direction and a surface formed on the surface of the photosensitive drum 3 by the next scanning in the main scanning direction. spacing between the image area is equal to the d 2 that. Therefore, the intervals in the sub-scanning direction along the surface of the photosensitive drum 3 are constant for all the images formed on the surface of the photosensitive drum 3 along the main scanning direction.

このように、同時に照射される6本のビームがそれぞれ主走査方向に沿って感光体ドラム3上に形成する像であって、隣り合う像についての、感光体ドラム3の表面に沿った副走査方向の間隔が一定であり、かつ、制御部16が、上記式(1)の関係を満足するように、反射面13sの1分あたりの回転数aを制御することにより、主走査方向に沿って感光体ドラム3の表面上に形成される像の全てについて、感光体ドラム3の表面に沿った副走査方向の間隔が一定となる。それゆえ、感光体ドラム3の回転による副走査方向への走査を、常に一定間隔で行うことができる。したがって、ムラのない高品位な静電潜像を、感光体ドラム3の表面上に形成できる。   As described above, the six beams simultaneously irradiated are images formed on the photosensitive drum 3 along the main scanning direction, respectively, and sub-scanning along the surface of the photosensitive drum 3 is performed for adjacent images. Along the main scanning direction, the control unit 16 controls the number of rotations a per minute of the reflecting surface 13s so that the direction interval is constant and the relationship of the above expression (1) is satisfied. Thus, the intervals in the sub-scanning direction along the surface of the photosensitive drum 3 are constant for all the images formed on the surface of the photosensitive drum 3. Therefore, scanning in the sub-scanning direction due to rotation of the photosensitive drum 3 can always be performed at regular intervals. Therefore, a high-quality electrostatic latent image without unevenness can be formed on the surface of the photosensitive drum 3.

本実施の形態においては、反射面の数が6面であるポリゴンミラーを用いる構成と同一の走査速度(単位時間あたりに走査される画像領域の、副走査方向における長さ)を確保すべく、マルチビーム光源装置11から射出されるビームの数が6本の場合について記載している。しかしながら、射出されるビームの数は、6本に限られない。ビームの数が多くなるほど、反射面13sが1回転する間に走査される画像領域の、副走査方向における長さは増加するので、より高速な走査を行うことができる。   In this embodiment, in order to ensure the same scanning speed (length in the sub-scanning direction of the image area scanned per unit time) as the configuration using the polygon mirror having six reflecting surfaces, The case where the number of beams emitted from the multi-beam light source device 11 is six is described. However, the number of emitted beams is not limited to six. As the number of beams increases, the length in the sub-scanning direction of the image area scanned while the reflecting surface 13s rotates once increases, so that higher-speed scanning can be performed.

また、本実施の形態においては、制御部16は、上記式(1)で示される関係を満たすように、反射面13sの1分あたりの回転数aを制御している。しかしながら、制御部16は、以下の式(3)で示される関係を満たすように、上記回転数aを制御してもよい。   Moreover, in this Embodiment, the control part 16 is controlling the rotation speed a per minute of 13 s of reflective surfaces so that the relationship shown by said Formula (1) may be satisfy | filled. However, the control part 16 may control the said rotation speed a so that the relationship shown by the following formula | equation (3) may be satisfy | filled.

a<L×b/d … (3)
上記式(3)で示される関係が満たされているとき、反射面13sが1回転するために要する時間1/a(分)は、以下の式(4)で示される。
a <L × b / d 1 (3)
When the relationship represented by the above formula (3) is satisfied, the time 1 / a (minute) required for the reflecting surface 13s to make one rotation is represented by the following formula (4).

1/a>d/L×b … (4)
上述したように、L×bは、感光体ドラム3の表面の回転速度を示している。よって、上記式(4)からは、(反射面13sが1回転するために要する時間)>(感光体ドラム3の表面が上記長さdの分だけ回転するために要する時間)という関係が導かれる。このとき、主走査方向への1回の走査によって感光体ドラム3の表面上に形成される画像領域と、主走査方向への次の1回の走査によって感光体ドラム3の表面上に形成される画像領域との間に、重複部分は生じない。すなわち、感光体ドラム3の表面上の同じ領域が続けて露光されることはない。したがって、感光体ドラム3の表面上に形成される静電潜像の品位低下を防止できる。
1 / a> d 1 / L × b (4)
As described above, L × b indicates the rotational speed of the surface of the photosensitive drum 3. Therefore, from the above equation (4), the relationship (time reflecting surface 13s is required for one revolution)> (the time the surface of the photosensitive drum 3 is required to rotate by the amount of the length d 1) Led. At this time, an image area formed on the surface of the photosensitive drum 3 by one scanning in the main scanning direction and a surface formed on the surface of the photosensitive drum 3 by the next scanning in the main scanning direction. There is no overlap between the image area. That is, the same area on the surface of the photosensitive drum 3 is not continuously exposed. Accordingly, it is possible to prevent the deterioration of the quality of the electrostatic latent image formed on the surface of the photosensitive drum 3.

また、本実施の形態においては、図1に示すように、6本のビームが主走査方向に沿って感光体ドラムの表面上に形成する像は、副走査方向において互いに等間隔に並んでいる。この構成によれば、感光体ドラム3の表面上に形成される静電潜像に生じるムラが少なくなるという利点がある。しかしながら、6本のビームが主走査方向に沿って感光体ドラムの表面上に形成する像は、必ずしも、副走査方向において互いに等間隔に並んでいる必要はない。   In the present embodiment, as shown in FIG. 1, the images formed by the six beams on the surface of the photosensitive drum along the main scanning direction are arranged at equal intervals in the sub-scanning direction. . According to this configuration, there is an advantage that unevenness generated in the electrostatic latent image formed on the surface of the photosensitive drum 3 is reduced. However, the images formed by the six beams on the surface of the photosensitive drum along the main scanning direction are not necessarily arranged at equal intervals in the sub-scanning direction.

また、上記の説明では感光材として感光体ドラムを用いたが、感光材はこれに限らず、例えば印画紙であってもよい。印画紙を用いる場合は、印画紙を搬送するための搬送系を別途設けることになる。このとき、同時に照射される6本のビームがそれぞれ印画紙の表面上に形成する像であって、隣り合う像についての、印画紙の搬送方向における間隔は一定とすることが好ましい。また、一定としたこの間隔をd(mm)と、印画紙の搬送速度をv(mm/分)と、印画紙の表面上に照射された6本のビームが1回の走査によって印画紙の表面上に形成する画像領域の、印画紙の搬送方向長さをd(mm)とするとき、制御部16は、以下の式(5)で示される関係を満たすように、反射面13sの1分あたりの回転数aを制御することが好ましい。 In the above description, the photosensitive drum is used as the photosensitive material. However, the photosensitive material is not limited to this and may be, for example, photographic paper. When photographic paper is used, a transport system for transporting the photographic paper is separately provided. At this time, it is preferable that the six beams simultaneously irradiated are images formed on the surface of the photographic paper, and the interval between adjacent images in the conveyance direction of the photographic paper is constant. In addition, this constant interval is d 4 (mm), the conveyance speed of the photographic paper is v (mm / min), and the six beams irradiated on the surface of the photographic paper are scanned by one scan. When the length of the photographic paper in the image area formed on the surface is d 3 (mm), the control unit 16 reflects the reflecting surface 13s so as to satisfy the relationship represented by the following expression (5). It is preferable to control the rotation speed a per minute.

a=v/(d+d) … (5)
上記式(5)で示される関係が満たされているとき、反射面13sが1回転するために要する時間1/a(分)は、以下の式(6)で示される。
a = v / (d 3 + d 4 ) (5)
When the relationship represented by the above equation (5) is satisfied, the time 1 / a (minute) required for the reflecting surface 13s to make one rotation is represented by the following equation (6).

1/a=(d+d)/v … (6)
上記式(6)は、(反射面13sが1回転するために要する時間)=(印画紙が上記長さdに上記間隔dを加えた長さの分だけ搬送されるために要する時間)という関係を示している。よって、反射面13sが1回転する期間に、印画紙は、上記長さdに上記間隔dを加えた長さの分だけ搬送されるということが分かる。このとき、6本のビームが1回の走査によって印画紙の表面上に形成する画像領域と、6本のビームが次の1回の走査によって印画紙の表面上に形成する画像領域との間の間隔は、上記dに等しくなる。それゆえ、印画紙の表面上に形成される像の全てについて、印画紙の搬送方向における間隔が一定となるので、印画紙の搬送による走査を、常に一定間隔で行うことができる。したがって、ムラのない高品位な静電潜像を、印画紙の表面上に形成できる。
1 / a = (d 3 + d 4 ) / v (6)
The formula (6) is (time reflecting surface 13s is required for one rotation) = (photographic paper the time required in order to be conveyed by the length obtained by adding the distance d 4 to the length d 3 ). Therefore, the period for rotating the reflecting surface 13s is 1, photographic paper, it can be seen that is conveyed to the length d 3 of the distance d 4 min length only plus. At this time, there is an interval between an image area formed by six beams on the surface of the photographic paper by one scanning and an image area formed by six beams on the surface of the photographic paper by the next scanning. the spacing, equal to the d 4. Therefore, since the interval in the conveyance direction of the photographic paper is constant for all the images formed on the surface of the photographic paper, scanning by the conveyance of the photographic paper can always be performed at a constant interval. Therefore, a high-quality electrostatic latent image without unevenness can be formed on the surface of the photographic paper.

また、感光材として印画紙を用いる場合、制御部16は、以下の式(7)で示される関係を満たすように、上記回転数aを制御してもよい。   When photographic paper is used as the photosensitive material, the control unit 16 may control the rotational speed a so as to satisfy the relationship represented by the following formula (7).

a<v/d … (7)
上記式(7)で示される関係が満たされているとき、反射面13sが1回転するために要する時間1/a(分)は、以下の式(8)で示される。
a <v / d 3 (7)
When the relationship represented by the above formula (7) is satisfied, the time 1 / a (minute) required for the reflecting surface 13s to make one rotation is represented by the following formula (8).

1/a>d/v … (8)
上記式(8)は、(反射面13sが1回転するために要する時間)>(印画紙が上記長さdの分だけ搬送されるために要する時間)という関係を示している。このとき、6本のビームが1回の走査によって印画紙の表面上に形成する画像領域と、6本のビームが次の1回の走査によって印画紙の表面上に形成する画像領域との間に、重複部分は生じない。すなわち、印画紙の表面上の同じ領域が続けて露光されることはない。したがって、印画紙の表面上に形成される静電潜像の品位低下を防止できる。
1 / a> d 3 / v (8)
The equation (8) shows the relationship (time reflecting surface 13s is required for one revolution)> (the time required for photographic paper is conveyed by the amount of the length d 3). At this time, there is an interval between an image area formed by six beams on the surface of the photographic paper by one scanning and an image area formed by six beams on the surface of the photographic paper by the next scanning. In addition, there is no overlap. That is, the same area on the surface of the photographic paper is not continuously exposed. Accordingly, it is possible to prevent the deterioration of the quality of the electrostatic latent image formed on the surface of the photographic paper.

上記の説明では、露光装置2の制御部16が反射面13sの1分あたりの回転数aを制御するとしたが、これに代えて、またはこれと共に、画像形成装置1の図示しない制御部が、感光体ドラム3の1分あたりの回転数bまたは印画紙の搬送速度vを制御してもよい。   In the above description, the control unit 16 of the exposure apparatus 2 controls the number of rotations a per minute of the reflecting surface 13s, but instead of or together with this, the control unit (not shown) of the image forming apparatus 1 The number of revolutions b per minute of the photosensitive drum 3 or the conveyance speed v of the photographic paper may be controlled.

なお、上記の説明で用いた各単位は例示であり、同種の量に同じ単位を用いる限り、上記と異なる単位を用いてもよい。   In addition, each unit used by said description is an illustration, You may use a unit different from the above, as long as the same unit is used for the same kind of quantity.

次に、マルチビーム光源装置11について、図2〜図7を用いて説明する。なお、同一の機能を有する部材には同一の参照番号を付し、その説明を省略する。   Next, the multi-beam light source device 11 will be described with reference to FIGS. In addition, the same reference number is attached | subjected to the member which has the same function, and the description is abbreviate | omitted.

図2は、マルチビーム光源装置11の一構成例を示す概略図である。図2に示すマルチビーム光源装置11は、光源21と、光変調素子アレイ24とを備えている。   FIG. 2 is a schematic diagram illustrating a configuration example of the multi-beam light source device 11. The multi-beam light source device 11 shown in FIG. 2 includes a light source 21 and a light modulation element array 24.

光源21は、単一の光ビームを射出する部材である。   The light source 21 is a member that emits a single light beam.

光変調素子アレイ24は、図3に示すように、8個の光変調素子30を備えている。この光変調素子30は、それぞれ、光源21から射出された単一のビームを反射させるか透過させるかを、自身に印加される電圧に応じて切り換える光変調素子である。   The light modulation element array 24 includes eight light modulation elements 30 as shown in FIG. Each of the light modulation elements 30 is a light modulation element for switching whether to reflect or transmit a single beam emitted from the light source 21 according to a voltage applied to itself.

図3では、各光変調素子30は、自身に電圧が印加されている時はビームを反射させ、電圧が印加されていない時はビームを透過させる。   In FIG. 3, each light modulation element 30 reflects a beam when a voltage is applied to itself, and transmits a beam when a voltage is not applied.

なお、図3では、光変調素子アレイ24は、8個の光変調素子30を備えている。しかし、光変調素子30の数は、複数本のビームをマルチビーム光源装置11から射出できるように複数個設けられていれば、特に限定されない。     In FIG. 3, the light modulation element array 24 includes eight light modulation elements 30. However, the number of light modulation elements 30 is not particularly limited as long as a plurality of light modulation elements 30 are provided so that a plurality of beams can be emitted from the multi-beam light source device 11.

また、図3では、各ビームが主走査方向に沿って感光体ドラム3の表面上に形成する像を副走査方向において等間隔に並ばせるための構成として、光変調素子30を、一直線上に等間隔に配列している。しかしながら、光変調素子30の配列は、これに限られるものではない。図4は、光変調素子30の他の配列例を示す図である。例えば、図4に示すように、光変調素子30を、マトリクス状に配列し所定の角度θだけ傾けた構成としてもよい。この場合も、各光変調素子30同士の間隔および所定の角度θを適宜調節することにより、各ビームが主走査方向に沿って感光体ドラム3の表面上に形成する像を副走査方向において等間隔に並ばせることができる。   In FIG. 3, the light modulation elements 30 are aligned on a straight line as a configuration for aligning the images formed by the beams on the surface of the photosensitive drum 3 along the main scanning direction at equal intervals in the sub-scanning direction. They are arranged at equal intervals. However, the arrangement of the light modulation elements 30 is not limited to this. FIG. 4 is a diagram illustrating another arrangement example of the light modulation elements 30. For example, as shown in FIG. 4, the light modulation elements 30 may be arranged in a matrix and tilted by a predetermined angle θ. Also in this case, by appropriately adjusting the distance between the light modulation elements 30 and the predetermined angle θ, an image formed on the surface of the photosensitive drum 3 along the main scanning direction by each beam in the sub-scanning direction, etc. It can be arranged at intervals.

図2に示すマルチビーム光源装置11では、光変調素子30によって反射したビームを、装置外部に出力する構成となっている。よって、各光変調素子30に対して電圧を印加するか否かを、露光装置2の制御部16が制御することにより、マルチビーム光源装置11からビームを外部に出力するか否かを切り換えられる。   The multi-beam light source device 11 shown in FIG. 2 is configured to output the beam reflected by the light modulation element 30 to the outside of the device. Therefore, whether or not to output the beam from the multi-beam light source device 11 can be switched by controlling the controller 16 of the exposure apparatus 2 whether or not to apply a voltage to each light modulation element 30. .

具体的には、制御部16は、図示しないセンサによって反射面13sの回転角度を検出し、検出した回転角度に基づいて、マルチビーム光源装置11から射出されるビームの光路上に反射面13sがあるか否かを判断する。マルチビーム光源装置11から射出されるビームの光路上に反射面13sがある期間には、制御部16は、光変調素子30に対して電圧を印加するように、図示しない電圧供給源を制御する。一方、マルチビーム光源装置11から射出されるビームの光路上に反射面13sがない期間には、制御部16は、光変調素子30へ電圧を印加しないように、図示しない電圧供給源を制御する。   Specifically, the control unit 16 detects the rotation angle of the reflection surface 13s by a sensor (not shown), and the reflection surface 13s is on the optical path of the beam emitted from the multi-beam light source device 11 based on the detected rotation angle. Judge whether there is. During a period in which the reflection surface 13s is on the optical path of the beam emitted from the multi-beam light source device 11, the control unit 16 controls a voltage supply source (not shown) so as to apply a voltage to the light modulation element 30. . On the other hand, during a period when there is no reflecting surface 13 s on the optical path of the beam emitted from the multi-beam light source device 11, the control unit 16 controls a voltage supply source (not shown) so as not to apply a voltage to the light modulation element 30. .

これにより、マルチビーム光源装置11から射出されるビームの光路上に反射面13sがある期間には、マルチビーム光源装置11からのビームの出力をオンにでき、マルチビーム光源装置11から射出されるビームの光路上に反射面13sがない期間には、マルチビーム光源装置11からのビームの出力をオフにできる。その結果、反射面13s以外の部分によって反射されたビームが感光体ドラム3の表面上に照射されることはなくなるので、感光体ドラム3の表面上に不要なビームが入射することによる、静電潜像の品位低下を防止できる。   As a result, during the period in which the reflecting surface 13s is on the optical path of the beam emitted from the multi-beam light source device 11, the beam output from the multi-beam light source device 11 can be turned on and emitted from the multi-beam light source device 11. During a period when there is no reflecting surface 13s on the beam optical path, the beam output from the multi-beam light source device 11 can be turned off. As a result, the beam reflected by the portion other than the reflecting surface 13 s is not irradiated on the surface of the photosensitive drum 3, so that an unnecessary beam is incident on the surface of the photosensitive drum 3. Degradation of the latent image can be prevented.

図2の構成によれば、光源21から射出された単一のビームを、複数の光変調素子30によって反射させることにより、複数本のビームに分割できる。その際、分割されたそれぞれのビームについて、ビームの出力をオンにするかオフにするかを、個別に切り換えることができるので、各ビームにより露光パターンを形成できる。   According to the configuration of FIG. 2, a single beam emitted from the light source 21 can be split into a plurality of beams by reflecting the plurality of light modulation elements 30. At that time, for each of the divided beams, whether the beam output is turned on or off can be individually switched, so that an exposure pattern can be formed by each beam.

図5は、マルチビーム光源装置11の他の構成例を示す概略図である。図2に示すマルチビーム光源装置11では、光変調素子30によって反射されたビームを、装置外部に出力する構成となっているが、図5に示すように、光変調素子30を透過したビームを、装置外部に出力する構成とすることもできる。   FIG. 5 is a schematic diagram illustrating another configuration example of the multi-beam light source device 11. The multi-beam light source device 11 shown in FIG. 2 is configured to output a beam reflected by the light modulation element 30 to the outside of the device. However, as shown in FIG. Also, it can be configured to output to the outside of the apparatus.

ところで、上述したように、図3の構成における光変調素子30は、自身に電圧が印加されている時はビームを反射させる一方、電圧が印加されていない時はビームを透過させる。しかし、これとは逆に、自身に電圧が印加されている時はビームを透過させる一方、電圧が印加されていない時はビームを反射させる構成の光変調素子を用いてもよい。   By the way, as described above, the light modulation element 30 in the configuration of FIG. 3 reflects the beam when a voltage is applied to itself, and transmits the beam when a voltage is not applied. However, on the contrary, it is also possible to use a light modulation element configured to transmit a beam when a voltage is applied to itself and to reflect a beam when a voltage is not applied.

図6は、マルチビーム光源装置11のさらに他の構成例を示す概略図である。図6に示すマルチビーム光源装置11は、光源21と、回折格子(分割手段)22と、光学レンズ(集光手段)23と、光変調素子アレイ24とを備えている。なお、特許請求の範囲に記載した分割手段に相当する部材は、図6の構成においては、回折格子22である。   FIG. 6 is a schematic diagram showing still another configuration example of the multi-beam light source device 11. The multi-beam light source device 11 shown in FIG. 6 includes a light source 21, a diffraction grating (dividing unit) 22, an optical lens (condensing unit) 23, and a light modulation element array 24. The member corresponding to the dividing means described in the claims is the diffraction grating 22 in the configuration of FIG.

回折格子22は、光源21から射出された単一のビームを、複数本のビームに分割する部材である。光学レンズ23は、回折格子22によって分割されたビームを集光する部材である。   The diffraction grating 22 is a member that divides a single beam emitted from the light source 21 into a plurality of beams. The optical lens 23 is a member that condenses the beam divided by the diffraction grating 22.

光源21から射出された単一のビームは、まず、回折格子22によって、複数本のビームに分割される。その後、この複数本のビームは、光学レンズ23によって光変調素子アレイ24上に集光される。光変調素子アレイ24上に集光されたビームは、それぞれのビームと1対1に対応する光変調素子30によって反射または透過される。光変調素子30によって反射されたビームは、コリメータレンズ12に入射する。   A single beam emitted from the light source 21 is first divided into a plurality of beams by the diffraction grating 22. Thereafter, the plurality of beams are condensed on the light modulation element array 24 by the optical lens 23. The beams condensed on the light modulation element array 24 are reflected or transmitted by the light modulation elements 30 corresponding to the respective beams one to one. The beam reflected by the light modulation element 30 enters the collimator lens 12.

図6の構成によれば、回折格子22による分割後の各ビームを、該ビームに対応する光変調素子30によって反射または透過させるので、回折格子22による分割後の各ビームについて、ビームの出力をオンにするかオフにするかを、個別に切り換えることができる。また、回折格子22による分割後の各ビームを光学レンズ23によって集光することにより、各ビームのビーム径が小さくなる。したがって、小さくなったビーム径に応じて、光変調素子30を小型化できる。また、光変調素子30を小型化することにより、ビームを反射させるか透過させるかの切り換えがより高速となる。したがって、光変調素子30を小型化すれば、各ビームの出力をオンにするかオフにするかの切り換えを、より高速に行うことができる。   According to the configuration of FIG. 6, each beam after the division by the diffraction grating 22 is reflected or transmitted by the light modulation element 30 corresponding to the beam. It can be switched individually between on and off. Further, by condensing each beam after being divided by the diffraction grating 22 by the optical lens 23, the beam diameter of each beam is reduced. Therefore, the light modulation element 30 can be reduced in size according to the reduced beam diameter. Further, by downsizing the light modulation element 30, switching between reflecting and transmitting the beam becomes faster. Therefore, if the light modulation element 30 is reduced in size, switching between turning on or off the output of each beam can be performed at higher speed.

図6は、簡略化のため、回折格子22によってビームを3本に分割する場合を記載しているが、回折格子以外の部材によってビームを分割してもよい。また、分割後のビームの数は、3本に限らず、2本でもよいし、4本以上でもよい。   FIG. 6 shows a case where the beam is divided into three beams by the diffraction grating 22 for simplification, but the beam may be divided by a member other than the diffraction grating. Further, the number of beams after the division is not limited to three, but may be two or four or more.

回折格子を用いてビームを分割する構成とすれば、複数の光学素子を用いてビームを分割する構成に比べて、ビームが経由する光学素子の数を減らすことができる。したがって、ビームの光量損失を低減できる。また、回折格子を用いる場合は、分割後の各ビームの光量が均一となるように、格子溝深さと格子断面形状とを最適化することが好ましい。   If the beam is split using a diffraction grating, the number of optical elements through which the beam passes can be reduced as compared with a configuration in which a beam is split using a plurality of optical elements. Therefore, the light quantity loss of the beam can be reduced. In addition, when using a diffraction grating, it is preferable to optimize the grating groove depth and the grating cross-sectional shape so that the light quantity of each beam after division is uniform.

また、図6では、光変調素子30によって反射されたビームを、装置外部に出力する構成となっているが、光変調素子30を透過したビームを、装置外部に出力する構成とすることもできる。   In FIG. 6, the beam reflected by the light modulation element 30 is output to the outside of the apparatus. However, the beam transmitted through the light modulation element 30 may be output to the outside of the apparatus. .

また、マルチビーム光源装置11として、例えばマルチビームレーザ、面発光レーザアレイ(VCSEL)などの、2個以上の発光部を有する光源装置を用いてもよい。これらの光源装置を用いる構成では、露光装置2の制御部16は、各発光部へ電圧を印加するか否かを切り換えることにより、マルチビーム光源装置11からのビームの出力をオンにするかオフにするかを切り換えることができる。さらに、ビームを分割するための光学系が不要になるので、マルチビーム光源装置11を小型化できる。   Further, as the multi-beam light source device 11, a light source device having two or more light emitting units such as a multi-beam laser or a surface emitting laser array (VCSEL) may be used. In the configuration using these light source devices, the control unit 16 of the exposure apparatus 2 turns on or off the output of the beam from the multi-beam light source device 11 by switching whether to apply a voltage to each light emitting unit. Can be switched. Furthermore, since an optical system for splitting the beam is not necessary, the multi-beam light source device 11 can be reduced in size.

また、マルチビーム光源装置11として2個以上の発光部を有する光源装置を用いた場合も、図4に示した構成と同様にして、各発光部を、マトリクス状に配列し所定の角度θだけ傾けた構成としてもよい。この場合も、各発光部同士の間隔および所定の角度θを適宜調節することにより、各ビームが主走査方向に沿って感光体ドラム3の表面上に形成する像を副走査方向において等間隔に並ばせることができる。   In addition, when a light source device having two or more light emitting units is used as the multi-beam light source device 11, the light emitting units are arranged in a matrix and are set at a predetermined angle θ as in the configuration shown in FIG. A tilted configuration may be used. Also in this case, by appropriately adjusting the interval between the light emitting sections and the predetermined angle θ, the images formed by the beams on the surface of the photosensitive drum 3 along the main scanning direction are equally spaced in the sub scanning direction. Can be lined up.

図7は、マルチビーム光源装置11のさらに他の構成例を示す概略図である。図7に示すマルチビーム光源装置11は、光源41a・41b、コリメータレンズ42a・42b、反射面43a・43b、偏光ビームスプリッタ44、および、光検出器45を備えている。   FIG. 7 is a schematic diagram showing still another configuration example of the multi-beam light source device 11. The multi-beam light source device 11 shown in FIG. 7 includes light sources 41a and 41b, collimator lenses 42a and 42b, reflecting surfaces 43a and 43b, a polarizing beam splitter 44, and a photodetector 45.

2つの光源41a・41bは、それぞれ単一のビームを射出する部材である。コリメータレンズ42a・42bは、それぞれ、光源41a・41bから射出されたビームを平行光にするレンズである。反射面43a・43bは、それぞれ、コリメータレンズ42a・42bによって平行光となったビームを反射させる部材である。   The two light sources 41a and 41b are members that each emit a single beam. The collimator lenses 42a and 42b are lenses that collimate the beams emitted from the light sources 41a and 41b, respectively. The reflecting surfaces 43a and 43b are members that reflect the beams that have become parallel light by the collimator lenses 42a and 42b, respectively.

偏光ビームスプリッタ44は、自身に入射する各ビームをそれぞれ分割する部材である。   The polarization beam splitter 44 is a member that divides each beam incident on itself.

光検出器45は、自身に入射したビームから、各光源の相対的な位置情報や光量情報を検出する部材である。   The light detector 45 is a member that detects relative position information and light amount information of each light source from a beam incident thereon.

光源41aから射出されたビームは、コリメータレンズ42aによって平行化された後、反射面43aによって反射される。反射面43aによって反射されたビームは、偏光ビームスプリッタ44によって、2本のビームに分割される。偏光ビームスプリッタ44は、この2本のビームのうち一方については、偏向することなく透過させることにより、マルチビーム光源装置11の外部に射出する。また、偏光ビームスプリッタ44は、上記2本のビームのうち他方については、偏向することにより、光検出器45に入射させる。   The beam emitted from the light source 41a is collimated by the collimator lens 42a and then reflected by the reflecting surface 43a. The beam reflected by the reflecting surface 43 a is split into two beams by the polarization beam splitter 44. The polarization beam splitter 44 emits one of the two beams to the outside of the multi-beam light source device 11 by transmitting the beam without deflection. The polarization beam splitter 44 causes the other of the two beams to be incident on the photodetector 45 by being deflected.

一方、光源41bから射出されたビームは、コリメータレンズ42bによって平行化された後、反射面43bによって反射される。反射面43bによって反射されたビームは、偏光ビームスプリッタ44によって、2本のビームに分割される。偏光ビームスプリッタ44は、この2本のビームのうち一方については、偏向することなく透過させることにより、光検出器45に入射させる。また、偏光ビームスプリッタ44は、上記2本のビームのうち他方については、偏向することにより、マルチビーム光源装置11の外部に射出する。   On the other hand, the beam emitted from the light source 41b is collimated by the collimator lens 42b and then reflected by the reflecting surface 43b. The beam reflected by the reflecting surface 43b is split into two beams by the polarization beam splitter 44. The polarization beam splitter 44 causes one of the two beams to pass through without being deflected so as to enter the photodetector 45. The polarization beam splitter 44 deflects the other of the two beams and emits it to the outside of the multi-beam light source device 11.

このようにして、偏光ビームスプリッタ44からは、光源41aから射出されたビームの一部と、光源41bから射出されたビームの一部とが、マルチビーム光源装置11の外部に射出される。一方、光検出器45は、光源41aから射出されたビームの他の一部と、光源41bから射出されたビームの他の一部とを受光する。そして、光検出器45は、受光したビームに基づいて、光源41a・41bの相対的な位置情報や、光源41a・41bから射出された各ビームの光量情報を検出する。   In this way, a part of the beam emitted from the light source 41 a and a part of the beam emitted from the light source 41 b are emitted from the polarization beam splitter 44 to the outside of the multi-beam light source device 11. On the other hand, the photodetector 45 receives the other part of the beam emitted from the light source 41a and the other part of the beam emitted from the light source 41b. The light detector 45 detects the relative position information of the light sources 41a and 41b and the light amount information of each beam emitted from the light sources 41a and 41b based on the received beam.

図7の構成によれば、コリメータレンズ42a・42b、反射面43a・43b、および偏向ビームスプリッタ44の設定を適宜変更することにより、光源41a・41bから射出された各ビームをマルチビーム光源装置11の外部へ射出する際の、ビーム同士の間隔やビームの射出方向を任意に設定できる。   According to the configuration of FIG. 7, by appropriately changing the settings of the collimator lenses 42 a and 42 b, the reflecting surfaces 43 a and 43 b, and the deflection beam splitter 44, the beams emitted from the light sources 41 a and 41 b are changed to the multi-beam light source device 11. It is possible to arbitrarily set the interval between beams and the beam emission direction when the beam is emitted to the outside.

なお、ここでは偏光ビームスプリッタを用いているが、自身に入射したビームを分割し、分割後のビームのうち少なくとも1本を透過させ、少なくとも他の1本を偏向させることができる手段であれば、他の手段を用いてもよい。   Although a polarization beam splitter is used here, any means can be used as long as it can split a beam incident on itself, transmit at least one of the divided beams, and deflect at least another. Other means may be used.

なお、図7に示した例では、光源の数を2つとして説明したが、光源の数は3つ以上でもよい。   In the example shown in FIG. 7, the number of light sources is two, but the number of light sources may be three or more.

上述したマルチビーム光源装置11の各構成においては、マルチビーム光源装置11から射出されるビームの光路上に反射面13sがない期間には、マルチビーム光源装置11からのビームの出力をオフにしている。しかし、これに限らず、偏向ミラー13の反射面13s以外の部分であって、反射面13sの回転に伴ってビームが入射する部分には、ビームの反射を防止する表面処理を施してもよい。そのような処理としては、例えば、艶消しの黒色塗装や表面を粗面加工することで、正反射する光量を減少させる方法と、反射光を上下に回折させてFθレンズに入射しないように、反射面13の図中の上下方向断面が波型や三角形状とする、もしくは、光源波長オーダーの回折格子を形成する方法が挙げられる。このようにビームの反射を防止する表面処理を施すことによっても、反射面13s以外の部分によって反射されたビームが感光体ドラム3の表面上に照射されることはなくなるので、感光体ドラム3の表面上に不要なビームが入射することによる、静電潜像の品位低下を防止できる。   In each configuration of the multi-beam light source device 11 described above, the output of the beam from the multi-beam light source device 11 is turned off during a period when there is no reflecting surface 13s on the optical path of the beam emitted from the multi-beam light source device 11. Yes. However, the present invention is not limited to this, and a surface treatment for preventing the reflection of the beam may be applied to a portion other than the reflection surface 13s of the deflecting mirror 13 and a portion where the beam is incident as the reflection surface 13s rotates. . As such a process, for example, a matte black coating or roughening the surface to reduce the amount of specularly reflected light, and diffracting reflected light up and down so that it does not enter the Fθ lens. A method of forming a diffraction grating having a wave-like or triangular shape in the vertical cross section of the reflecting surface 13 in the drawing or a light source wavelength order is mentioned. Even if the surface treatment for preventing the reflection of the beam is performed in this manner, the beam reflected by the portion other than the reflecting surface 13s is not irradiated on the surface of the photosensitive drum 3. It is possible to prevent the quality of the electrostatic latent image from deteriorating due to the incidence of an unnecessary beam on the surface.

以上のように、本実施の形態の露光装置2によれば、マルチビーム光源装置11は、複数本のビームを同時に射出し、偏向ミラー13は、単一の反射面13sを備え、上記複数本のビームを、単一の反射面13sにより同時に偏向することにより、偏向後の上記複数本のビームを、感光体ドラム3の表面上の異なる位置に照射する。   As described above, according to the exposure apparatus 2 of the present embodiment, the multi-beam light source device 11 emits a plurality of beams simultaneously, and the deflection mirror 13 includes a single reflecting surface 13s, and the plurality of beams Are simultaneously deflected by a single reflecting surface 13 s, so that the plurality of deflected beams are irradiated to different positions on the surface of the photosensitive drum 3.

上記の構成によれば、偏向ミラー13が備えている反射面13sは、単一の反射面である。それゆえ、偏向ミラー13は、ポリゴンミラーよりも簡易な構成となっている。また、反射面が1つしかないので、反射面と反射面の回転軸とがなす角度が反射面ごとに異なる、ということはない。このため、反射面と反射面の回転軸とがなす角度の反射面毎の差異による不具合を低減するための、シリンドリカルレンズを設ける必要がない。以上の理由から、ポリゴンミラーによりビームを偏向する構成よりも、装置構成を簡略化できる。   According to the above configuration, the reflecting surface 13s provided in the deflection mirror 13 is a single reflecting surface. Therefore, the deflection mirror 13 has a simpler configuration than the polygon mirror. In addition, since there is only one reflecting surface, the angle formed by the reflecting surface and the rotation axis of the reflecting surface does not differ for each reflecting surface. For this reason, it is not necessary to provide a cylindrical lens for reducing a problem due to a difference between the reflecting surfaces and the angle formed by the reflecting surfaces and the rotation axes of the reflecting surfaces. For the above reasons, the apparatus configuration can be simplified compared to the configuration in which the beam is deflected by the polygon mirror.

さらに、6本のビームを感光体ドラム3の表面上の異なる位置に照射するので、感光体ドラム3の表面上を、6本のビームによって同時に走査できる。このため、6つの反射面を有するポリゴンミラーにより1本のビームを偏向する構成に劣らない走査速度を実現できる。さらに、ビーム数を12本、24本と増やせば、走査速度を2倍、4倍とすることができる。   Furthermore, since six beams are irradiated to different positions on the surface of the photosensitive drum 3, the surface of the photosensitive drum 3 can be simultaneously scanned by the six beams. Therefore, it is possible to realize a scanning speed not inferior to the configuration in which one beam is deflected by a polygon mirror having six reflecting surfaces. Furthermore, if the number of beams is increased to 12 or 24, the scanning speed can be doubled or quadrupled.

したがって、上記の構成によれば、従来よりも装置構成を簡略化しつつ、従来に劣らない走査速度を実現可能な露光装置2を提供できる。   Therefore, according to said structure, the exposure apparatus 2 which can implement | achieve the scanning speed which is not inferior to the past can be provided, simplifying an apparatus structure compared with the past.

以下に、本実施の形態の露光装置2における露光処理フローについて説明する。   Below, the exposure process flow in the exposure apparatus 2 of this Embodiment is demonstrated.

まず、マルチビーム光源装置11により、6本のビームを同時に射出する(S1;ビーム射出ステップ)。   First, six beams are simultaneously emitted by the multi-beam light source device 11 (S1; beam emission step).

次に、マルチビーム光源装置11から射出した6本のビームを、偏向ミラー13の単一の反射面13sにより同時に偏向し、偏向後の6本のビームを感光体ドラム3の表面上の異なる位置(より具体的には、副走査方向において互いに異なる位置)に照射する(S2;偏向ステップ)。   Next, the six beams emitted from the multi-beam light source device 11 are simultaneously deflected by the single reflecting surface 13 s of the deflecting mirror 13, and the deflected six beams are at different positions on the surface of the photosensitive drum 3. (More specifically, irradiation is performed on different positions in the sub-scanning direction) (S2: deflection step).

以上のステップの結果、感光体ドラム7の表面上に照射された6本のビームは、偏向ミラー13の反射面13sの回転に伴って、図1中の矢印B方向(主走査方向)に向かって、感光体ドラム3の表面上を走査する。   As a result of the above steps, the six beams irradiated on the surface of the photosensitive drum 7 are directed in the arrow B direction (main scanning direction) in FIG. 1 as the reflecting surface 13s of the deflection mirror 13 rotates. Then, the surface of the photosensitive drum 3 is scanned.

また、反射面13sの回転に伴い、感光体ドラム3も、図1中の矢印C方向に回転する。したがって、感光体ドラム3の回転によって、反射面13sによって反射されたビームによる、感光体ドラム3の表面上における、図中の矢印D方向(副走査方向)に関する走査が行われる。   Further, along with the rotation of the reflecting surface 13s, the photosensitive drum 3 also rotates in the direction of arrow C in FIG. Therefore, by the rotation of the photosensitive drum 3, the beam reflected by the reflecting surface 13s is scanned on the surface of the photosensitive drum 3 in the direction of arrow D (sub scanning direction) in the drawing.

このような、反射面13sの回転による主走査方向への走査と、感光体ドラム3の回転による副走査方向への走査とによって、露光された感光体ドラム3の表面上には、静電潜像が形成される。   Due to the scanning in the main scanning direction by the rotation of the reflecting surface 13s and the scanning in the sub-scanning direction by the rotation of the photosensitive drum 3, the electrostatic latent image is formed on the surface of the exposed photosensitive drum 3. An image is formed.

上記の方法によれば、偏向ミラー13が備えている反射面13sは、単一の反射面である。それゆえ、偏向ミラー13は、ポリゴンミラーよりも簡易な構成となっている。また、反射面が1つしかないので、反射面と反射面の回転軸とがなす角度が反射面ごとに異なる、ということはない。このため、反射面と反射面の回転軸とがなす角度の反射面毎の差異による不具合を低減するための、シリンドリカルレンズを設ける必要がない。以上の理由から、ポリゴンミラーによりビームを偏向する構成よりも、装置構成を簡略化できる。   According to the above method, the reflecting surface 13s provided in the deflecting mirror 13 is a single reflecting surface. Therefore, the deflection mirror 13 has a simpler configuration than the polygon mirror. In addition, since there is only one reflecting surface, the angle formed by the reflecting surface and the rotation axis of the reflecting surface does not differ for each reflecting surface. For this reason, it is not necessary to provide a cylindrical lens for reducing a problem due to a difference between the reflecting surfaces and the angle formed by the reflecting surfaces and the rotation axes of the reflecting surfaces. For the above reasons, the apparatus configuration can be simplified compared to the configuration in which the beam is deflected by the polygon mirror.

さらに、6本のビームを感光体ドラム3の表面上の異なる位置に照射するので、感光体ドラム3の表面上を、6本のビームによって同時に走査できる。このため、6つの反射面を有するポリゴンミラーにより1本のビームを偏向する構成に劣らない走査速度を実現できる。さらに、ビーム数を12本、24本と増やせば、走査速度を2倍、4倍とすることができる。   Furthermore, since six beams are irradiated to different positions on the surface of the photosensitive drum 3, the surface of the photosensitive drum 3 can be simultaneously scanned by the six beams. Therefore, it is possible to realize a scanning speed not inferior to the configuration in which one beam is deflected by a polygon mirror having six reflecting surfaces. Furthermore, if the number of beams is increased to 12 or 24, the scanning speed can be doubled or quadrupled.

したがって、上記の方法によれば、従来よりも装置構成を簡略化しつつ、従来に劣らない走査速度を実現可能な露光方法を提供できる。   Therefore, according to the above method, it is possible to provide an exposure method capable of realizing a scanning speed not inferior to the conventional one while simplifying the apparatus configuration as compared with the conventional one.

本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。すなわち、請求項に示した範囲で適宜変更した技術的手段を組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made within the scope of the claims. That is, embodiments obtained by combining technical means appropriately changed within the scope of the claims are also included in the technical scope of the present invention.

本発明は、複写機やプリンタといった画像形成装置における露光装置、およびこの露光装置を備えた画像形成装置に利用可能である。   The present invention is applicable to an exposure apparatus in an image forming apparatus such as a copying machine or a printer, and an image forming apparatus provided with this exposure apparatus.

本発明の一実施形態に係る露光装置を備えた画像形成装置の概略図である。1 is a schematic diagram of an image forming apparatus including an exposure apparatus according to an embodiment of the present invention. 図1の露光装置におけるマルチビーム光源装置の一構成例を示す概略図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing one configuration example of a multi-beam light source device in the exposure apparatus of FIG. 1. 図1の露光装置におけるマルチビーム光源装置が備える光変調素子アレイの概略図である。FIG. 2 is a schematic view of a light modulation element array provided in a multi-beam light source device in the exposure apparatus of FIG. 1. 図3の光変調素子アレイにおける光変調素子の他の配置例を示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating another arrangement example of the light modulation elements in the light modulation element array of FIG. 3. 図1の露光装置におけるマルチビーム光源装置の他の構成例を示す概略図である。It is the schematic which shows the other structural example of the multi-beam light source device in the exposure apparatus of FIG. 図1の露光装置におけるマルチビーム光源装置のさらに他の構成例を示す概略図である。FIG. 10 is a schematic view showing still another configuration example of the multi-beam light source device in the exposure apparatus of FIG. 1. 図1の露光装置におけるマルチビーム光源装置のさらに他の構成例を示す概略図である。FIG. 10 is a schematic view showing still another configuration example of the multi-beam light source device in the exposure apparatus of FIG. 1. 従来型の露光装置の概略図である。It is the schematic of a conventional exposure apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

1 画像形成装置
2 露光装置
3 感光体ドラム(感光材)
11 マルチビーム光源装置(ビーム射出手段)
13 偏向ミラー(偏向手段)
13s 反射面
16 制御部(出力制御手段)
21 光源
22 回折格子(分割手段)
23 光学レンズ(集光手段)
30 光変調素子(分割手段)
41a・41b 光源(発光部)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Image forming apparatus 2 Exposure apparatus 3 Photosensitive drum (photosensitive material)
11 Multi-beam light source device (beam emission means)
13 Deflection mirror (deflection means)
13s reflecting surface 16 control unit (output control means)
21 Light source 22 Diffraction grating (dividing means)
23 Optical lens (Condensing means)
30 Light modulation element (dividing means)
41a / 41b Light source (light emitting part)

Claims (12)

ビームを射出するビーム射出手段と、該ビーム射出手段から射出されたビームを回転可能な反射面によって偏向する偏向手段とを備え、上記反射面の回転に伴い、偏向後のビームを感光材の表面上に走査させて該感光材の表面を露光する露光装置において、
上記ビーム射出手段は、複数本のビームを同時に射出し、
上記偏向手段は、上記反射面として単一の反射面を備え、
上記単一の反射面により偏向された後の上記複数本のビームを上記感光材の表面上の異なる位置に照射することを特徴とする露光装置。
Beam emitting means for emitting a beam, and deflecting means for deflecting the beam emitted from the beam emitting means by a rotatable reflecting surface, and the deflected beam is moved to the surface of the photosensitive material as the reflecting surface rotates. In an exposure apparatus that scans up and exposes the surface of the photosensitive material,
The beam emitting means emits a plurality of beams simultaneously,
The deflection means includes a single reflecting surface as the reflecting surface,
An exposure apparatus for irradiating different positions on the surface of the photosensitive material with the plurality of beams deflected by the single reflecting surface.
上記感光材は、回転可能な感光体ドラムであり、
上記感光体ドラムの周長をLと、
上記感光体ドラムの単位時間あたりの回転数をbと、
上記反射面の回転に伴い、偏向後のビームが上記感光体ドラムの表面を走査する際の走査方向を主走査方向と、
上記感光体ドラムの回転方向とは逆の方向を副走査方向と、
主走査方向への1回の走査によって上記感光体ドラムの表面上に形成される画像領域の副走査方向長さをdとすると、
上記反射面の上記単位時間あたりの回転数aは、Lとdとの単位を同一とした場合、
a<L×b/d
で示されることを特徴とする請求項1記載の露光装置。
The photosensitive material is a rotatable photosensitive drum,
The circumferential length of the photosensitive drum is L,
The number of rotations per unit time of the photosensitive drum is b,
With the rotation of the reflecting surface, the scanning direction when the deflected beam scans the surface of the photosensitive drum is the main scanning direction,
The direction opposite to the rotation direction of the photosensitive drum is a sub-scanning direction,
When the length of the image area formed on the surface of the photosensitive drum by one scanning in the main scanning direction is d 1 in the sub-scanning direction,
The rotation speed a per the unit time of the reflective surface, when the same units of L and d 1,
a <L × b / d 1
The exposure apparatus according to claim 1, wherein
上記複数本のビームがそれぞれ主走査方向に沿って感光体ドラムの表面上に形成する像であって、隣り合う像についての、感光体ドラムの表面に沿った副走査方向の間隔は一定であり、該間隔をdとすると、
上記回転数aは、dとdとの単位を同一とした場合、
a=L×b/(d+d
で示されることを特徴とする請求項2記載の露光装置。
Each of the plurality of beams is an image formed on the surface of the photosensitive drum along the main scanning direction, and an interval between adjacent images in the sub-scanning direction along the surface of the photosensitive drum is constant. If the interval is d 2 ,
In the case where the unit of d 1 and d 2 is the same, the rotational speed a is
a = L × b / (d 1 + d 2 )
The exposure apparatus according to claim 2, wherein
上記ビーム射出手段からの複数本のビームの出力をオンにするかオフにするかを切り換える出力制御手段をさらに備え、
上記出力制御手段は、上記複数本のビームの光路上に上記偏向手段の反射面がない期間は、上記ビーム射出手段からのビームの出力をオフにすることを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の露光装置。
Output control means for switching whether to turn on or off the output of the plurality of beams from the beam emitting means,
4. The output control means according to claim 1, wherein the output control means turns off the output of the beam from the beam emitting means during a period when there is no reflecting surface of the deflecting means on the optical path of the plurality of beams. The exposure apparatus according to any one of the above.
上記偏向手段の反射面以外の部分であって、反射面の回転に伴って上記複数本のビームが入射する部分は、該ビームの反射を防止する表面処理がなされていることを特徴とする、請求項1から3の何れか1項に記載の露光装置。   The portion other than the reflecting surface of the deflecting means, where the plurality of beams are incident as the reflecting surface rotates, is subjected to surface treatment for preventing the reflection of the beams. The exposure apparatus according to any one of claims 1 to 3. 上記ビーム射出手段は、
単一のビームを射出する光源と、
上記光源から射出された単一のビームを上記複数本のビームに分割する分割手段とを備えていることを特徴とする請求項1から5の何れか1項に記載の露光装置。
The beam emitting means is
A light source that emits a single beam;
6. The exposure apparatus according to claim 1, further comprising a splitting unit that splits a single beam emitted from the light source into the plurality of beams.
上記ビーム射出手段は、複数の発光部を備え、各発光部が単一のビームを射出することを特徴とする請求項1から5の何れか1項に記載の露光装置。   6. The exposure apparatus according to claim 1, wherein the beam emitting unit includes a plurality of light emitting units, and each light emitting unit emits a single beam. 上記分割手段は、複数の光変調素子を備え、全ての光変調素子が、上記光源から射出された単一のビームを反射することにより、上記複数本のビームに分割するものであって、
上記各光変調素子は、上記光源から射出された単一のビームを反射させるか、透過させるかを切り換えることを特徴とする請求項6記載の露光装置。
The dividing means includes a plurality of light modulation elements, and all the light modulation elements reflect a single beam emitted from the light source, thereby dividing the plurality of beams,
7. The exposure apparatus according to claim 6, wherein each of the light modulation elements switches whether to reflect or transmit a single beam emitted from the light source.
上記ビーム射出手段は、上記分割手段により分割された上記複数本のビームを集光する集光手段を備えると共に、上記集光手段で集光されたビーム毎に、自素子に入射するビームを反射させるか、透過させるかを切り換える光変調素子を個別に備えており、
上記反射または透過したビームが上記反射面によって偏向されることを特徴とする請求項6記載の露光装置。
The beam emitting means includes a condensing means for condensing the plurality of beams divided by the dividing means, and reflects a beam incident on the element for each of the beams condensed by the condensing means. Individually equipped with light modulation elements that switch between transmission and transmission,
7. The exposure apparatus according to claim 6, wherein the reflected or transmitted beam is deflected by the reflecting surface.
上記分割手段は回折格子であることを特徴とする請求項6または9に記載の露光装置。   10. The exposure apparatus according to claim 6, wherein the dividing unit is a diffraction grating. 請求項1から10の何れか1項に記載の露光装置を備えたことを特徴とする画像形成装置。   An image forming apparatus comprising the exposure apparatus according to claim 1. ビームを射出するビーム射出ステップと、射出したビームを回転可能な反射面によって偏向する偏向ステップとを有し、上記反射面の回転に伴い、偏向後のビームを感光材の表面上に走査させて該感光材を露光する露光方法において、
上記ビーム射出ステップでは、複数本のビームを同時に射出し、
上記偏向ステップでは、上記反射面として単一の反射面を用いて上記複数本のビームを同時に偏向することにより、偏向後の上記複数本のビームを上記感光材の表面上の異なる位置に照射することを特徴とする露光方法。
A beam emitting step for emitting the beam, and a deflection step for deflecting the emitted beam by a rotatable reflecting surface, and the deflected beam is scanned on the surface of the photosensitive material as the reflecting surface rotates. In an exposure method for exposing the photosensitive material,
In the beam injection step, a plurality of beams are simultaneously emitted,
In the deflection step, the plurality of beams are simultaneously deflected using a single reflecting surface as the reflecting surface, so that the deflected plurality of beams are irradiated to different positions on the surface of the photosensitive material. An exposure method characterized by the above.
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