JPH05107492A - Light beam scanning optical system - Google Patents
Light beam scanning optical systemInfo
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- JPH05107492A JPH05107492A JP3269911A JP26991191A JPH05107492A JP H05107492 A JPH05107492 A JP H05107492A JP 3269911 A JP3269911 A JP 3269911A JP 26991191 A JP26991191 A JP 26991191A JP H05107492 A JPH05107492 A JP H05107492A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、光ビ−ム走査光学系、
特にレーザビームプリンタやファクシミリ等に組み込ま
れ、光ビ−ムを回転偏向器によって偏向する光ビ−ム走
査光学系の構造に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to an optical beam scanning optical system,
In particular, the present invention relates to a structure of an optical beam scanning optical system incorporated in a laser beam printer, a facsimile or the like, which deflects an optical beam by a rotary deflector.
【0002】[0002]
【従来の技術】一般に、レ−ザビ−ムプリンタやファク
シミリで使用されている光ビ−ム走査光学系は、発光部
としての半導体レ−ザ、複数の反射面を有するポリゴン
ミラ−及びfθレンズを備えている。ポリゴンミラ−
は、半導体レ−ザから発せられた光ビ−ムを等角速度で
偏向するものである。fθレンズは、光ビ−ムがポリゴ
ンミラ−によって偏向された時に発生する主走査方向に
ついての走査速度差(歪曲収差)を補償するために設け
られている。2. Description of the Related Art Generally, an optical beam scanning optical system used in a laser beam printer or a facsimile includes a semiconductor laser as a light emitting portion, a polygon mirror having a plurality of reflecting surfaces, and an fθ lens. Is equipped with. Polygon mirror
Is for deflecting an optical beam emitted from a semiconductor laser at a constant angular velocity. The fθ lens is provided for compensating for the scanning speed difference (distortion aberration) in the main scanning direction that occurs when the light beam is deflected by the polygon mirror.
【0003】ところが、複数の反射面を有するポリゴン
ミラ−では、それぞれの反射面が加工の際に互いに傾い
てしまうと(面倒れ)、光ビ−ムの走査線間隔にばらつ
きが生じ、走査不良を発生させる原因となる。この面倒
れによる走査不良を防止するためには、面倒れ補正のた
めの光学系を設ければよいが、この光学系を設けると装
置自体が高価なものになってしまう。However, in a polygon mirror having a plurality of reflecting surfaces, if the reflecting surfaces are tilted with respect to each other during processing (surface tilt), the scanning line intervals of the optical beam vary, resulting in defective scanning. Cause to occur. In order to prevent the scanning failure due to the surface tilt, an optical system for correcting the surface tilt may be provided, but if this optical system is provided, the apparatus itself becomes expensive.
【0004】そこで、特開昭63−188112号公報
には、反射面が1つのみの回転偏向器が開示されてい
る。この公報による回転偏向器では、光ビ−ムを反射す
る面が1つのみであるため、複数の反射面を有するポリ
ゴンミラ−のように、面倒れ補正の光学系を設ける必要
がない。Therefore, Japanese Laid-Open Patent Publication No. 63-188112 discloses a rotary deflector having only one reflecting surface. Since the rotary deflector according to this publication has only one surface that reflects the light beam, it is not necessary to provide an optical system for correcting the surface tilt unlike a polygon mirror having a plurality of reflecting surfaces.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、偏向器
を回転させるモ−タの回転数が同じであれば、1つのみ
の反射面を有する回転偏向器と複数の反射面を有するポ
リゴンミラ−とを比較すると、反射面が1つのみの回転
偏向器を用いた場合の方が、複数の反射面を有するポリ
ゴンミラ−を用いた場合よりも印字密度が低くなる。と
いうのは、反射面が1つのみの回転偏向器は、反射面が
少ない分だけ、偏向器1回転当たりに形成される走査線
の数が少ないからである。この印字密度を高くするに
は、モ−タの回転数を上げればよいが、モ−タの回転数
には限界がある。However, if the number of rotations of the motor for rotating the deflector is the same, a rotary deflector having only one reflecting surface and a polygon mirror having a plurality of reflecting surfaces are provided. In comparison, the print density is lower when the rotary deflector having only one reflecting surface is used than when the polygon mirror having a plurality of reflecting surfaces is used. This is because a rotary deflector having only one reflecting surface has a smaller number of scanning lines formed per revolution of the deflector due to the smaller number of reflecting surfaces. In order to increase the printing density, the motor rotation speed may be increased, but the motor rotation speed is limited.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め本発明は、複数本の走査線を走査媒体上に形成するよ
うに複数本の光ビ−ムを発生する発光部と、反射面を1
つのみ有し前記発光部から発生された複数本の光ビ−ム
を偏向する回転偏向器とを備えたことを特徴とする。SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above problems, the present invention provides a light emitting portion for generating a plurality of light beams so as to form a plurality of scanning lines on a scanning medium, and a reflecting surface. 1
And a rotary deflector for deflecting a plurality of optical beams generated from the light emitting section.
【0007】[0007]
【作用】以上の構成において、発光部から発生された複
数本の光ビ−ムは、反射面が1つのみの回転偏向器によ
って偏向される。この偏向された複数本の光ビ−ムは、
走査媒体に向かって偏向され、走査媒体上に複数本の走
査線を形成する。In the above structure, the plurality of light beams generated from the light emitting portion are deflected by the rotary deflector having only one reflecting surface. The deflected optical beams are
The scan lines are deflected to form a plurality of scan lines on the scan medium.
【0008】[0008]
【実施例】以下に、図面を用いて本発明の実施例を説明
する。図1は本実施例の光ビ−ム走査光学系の全体構成
を示す図である。半導体レ−ザ1は、図4に示すように
3つの発光部1a,1b,1cを有している。これら発
光部1a,1b,1cは、副走査方向に一直線に並んで
おり、それぞれ後述の制御回路によって駆動される。こ
れら駆動された発光部は、強度変調された発散光ビ−ム
を発生する。各発散光ビ−ムは、これら光ビ−ムを収束
させる特性をもつコリメ−タレンズ6を通過し、それぞ
れ収束光ビ−ムとなって偏向器10に達する。この偏向
器10は、図示しないモ−タによって支軸11を中心に
矢印a方向に一定速度で回転駆動される。従って、コリ
メ−タレンズ6を通過した収束光ビ−ムは、偏向器10
の反射面10aで連続的に反射され、等角速度で偏向さ
れる。偏向器10の反射面10aで反射された光ビ−ム
は、球面ミラ−20に達する。この球面ミラ−20は、
反射面が凹形状を成しており、この反射面で光ビ−ムを
感光体30に向かって反射する。感光体30上に偏向さ
れた光ビ−ムは、偏向器10の回転により感光体30上
の矢印b方向に走査される(主走査)。一方、感光体3
0は、矢印c方向に一定速度で回転駆動されている。こ
の感光体30の回転により、感光体30上に形成される
走査線間隔が決定される(副走査)。以上の光学系によ
って、同時に副走査方向に並ぶ3本の走査線が形成さ
れ、前述した主走査と副走査により、感光体30上に画
像が形成される。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing the overall configuration of the optical beam scanning optical system of this embodiment. The semiconductor laser 1 has three light emitting portions 1a, 1b and 1c as shown in FIG. These light emitting units 1a, 1b, 1c are aligned in the sub-scanning direction, and each is driven by a control circuit described later. These driven light emitting parts generate divergent light beams whose intensity is modulated. Each diverging light beam passes through the collimator lens 6 having the characteristic of converging these light beams, and reaches the deflector 10 as a converging light beam. The deflector 10 is rotationally driven at a constant speed in the direction of arrow a around the support shaft 11 by a motor (not shown). Therefore, the convergent light beam that has passed through the collimator lens 6 is deflected by the deflector 10.
Is continuously reflected by the reflecting surface 10a of the above and is deflected at a constant angular velocity. The light beam reflected by the reflecting surface 10a of the deflector 10 reaches the spherical mirror 20. This spherical mirror-20
The reflecting surface has a concave shape, and the reflecting surface reflects the light beam toward the photoconductor 30. The light beam deflected on the photoconductor 30 is scanned in the direction of arrow b on the photoconductor 30 by the rotation of the deflector 10 (main scanning). On the other hand, the photoconductor 3
0 is rotationally driven at a constant speed in the direction of arrow c. The rotation of the photoconductor 30 determines the scanning line interval formed on the photoconductor 30 (sub-scanning). With the above optical system, three scanning lines lined up in the sub-scanning direction are simultaneously formed, and an image is formed on the photoconductor 30 by the main scanning and the sub-scanning described above.
【0009】偏向器10は反射面10aを1つのみ有
し、この反射面10aは凸の球面を成している。この偏
向器10は、プラスチック成形で作られており、色素を
混ぜることにより光ビ−ムを反射しないように着色され
た母体上に反射面10aとして金属反射膜を蒸着して構
成されている。従って、金属反射膜が蒸着されていない
非反射面10bは、光ビ−ムを反射しない。The deflector 10 has only one reflecting surface 10a, and this reflecting surface 10a forms a convex spherical surface. The deflector 10 is formed by plastic molding, and is formed by vapor-depositing a metal reflection film as a reflection surface 10a on a base body which is colored by mixing a dye so as not to reflect the light beam. Therefore, the non-reflective surface 10b on which the metal reflective film is not deposited does not reflect the light beam.
【0010】また、この偏向器10が凸の球面形状を成
した反射面10aをもち、球面ミラ−20が凹形状を成
した反射面をもっていることから、この偏向器10と球
面ミラ−20は、従来のfθレンズのもつ歪曲収差補正
と、主走査方向及び副走査方向の像面湾曲の補正を行
う。Since the deflector 10 has a convex reflecting surface 10a and the spherical mirror 20 has a concave reflecting surface, the deflector 10 and the spherical mirror 20 have the same shape. The correction of the distortion aberration of the conventional fθ lens and the correction of the field curvature in the main scanning direction and the sub scanning direction are performed.
【0011】尚、画像書き込み開始位置検出用受光素子
(SOSセンサ)31は、光ビ−ムが感光体30を走査
する手前において、この偏向された光ビ−ムを受光でき
る位置に設けられている。An image writing start position detecting light receiving element (SOS sensor) 31 is provided at a position where the deflected light beam can be received before the light beam scans the photosensitive member 30. There is.
【0012】次に、この光学系の動作について説明す
る。Next, the operation of this optical system will be described.
【0013】図5は本実施例における光学系の制御回路
のブロック図である。図6は図5で示される制御回路の
タイミングチャ−トであり、図7は制御回路中の画像メ
モリ105について説明する図である。先ず、図5に示
すホストコンピュ−タからのデ−タ101がデ−タ解析
部102に送られてくると、このデ−タ解析部102で
は印字デ−タ103と制御コマンドとを識別する。印字
デ−タ103はメモリコントロ−ラ104を介し、画像
メモリ105上に展開される。印字デ−タ103の展開
が完了すると、デ−タ解析部102からエンジンコント
ロ−ラ106に向かってプリント命令107が出力され
る。プリント命令107が出力されると、偏向器10を
回転させるモ−タ(図示せず)を駆動する命令108が
出力される。この命令108により、偏向器10が回転
を開始する。一方、エンジンコントロ−ラ106は半導
体レ−ザ1の発光部1aを駆動する駆動電流109を出
力する。この駆動電流109を受けて、発光部1aが発
光する。SOSセンサ31は、発光部1aの光ビ−ムを
検出すると同期信号発生回路113に向かってSOS信
号112を送る。このSOS信号112に応答して同期
信号発生回路113は、メモリコントロ−ラ104に向
かって同期クロック114を出力する。以降、すべての
動作タイミングは、この同期クロック114を基準とし
て制御される。FIG. 5 is a block diagram of the control circuit of the optical system in this embodiment. 6 is a timing chart of the control circuit shown in FIG. 5, and FIG. 7 is a diagram for explaining the image memory 105 in the control circuit. First, when the data 101 from the host computer shown in FIG. 5 is sent to the data analysis section 102, the data analysis section 102 distinguishes the print data 103 from the control command. .. The print data 103 is expanded on the image memory 105 via the memory controller 104. When the expansion of the print data 103 is completed, a print command 107 is output from the data analysis unit 102 to the engine controller 106. When the print command 107 is output, a command 108 for driving a motor (not shown) that rotates the deflector 10 is output. This command 108 causes the deflector 10 to start rotating. On the other hand, the engine controller 106 outputs a drive current 109 for driving the light emitting portion 1a of the semiconductor laser 1. Upon receiving the drive current 109, the light emitting unit 1a emits light. When the SOS sensor 31 detects the light beam of the light emitting section 1a, it sends the SOS signal 112 to the synchronization signal generating circuit 113. In response to the SOS signal 112, the sync signal generation circuit 113 outputs the sync clock 114 to the memory controller 104. After that, all the operation timings are controlled with the synchronous clock 114 as a reference.
【0014】具体的には、同期クロック114が所定回
(図6では3パルス目)出力されると、画像メモリ10
5の1ライン目から3ライン目の画像デ−タ115が、
メモリコントロ−ラ104を介してエンジンコントロ−
ラ106によって読み出される。この画像デ−タ115
に基づいて、エンジンコントロ−ラ106が発光部1
a,1b,1cを駆動する。これにより、発光部1a,
1b,1cから発生される光ビ−ムは画像デ−タ115
に基づいて変調される。Specifically, when the synchronous clock 114 is output a predetermined number of times (the third pulse in FIG. 6), the image memory 10
The image data 115 from the first line to the third line of 5
Engine controller via the memory controller 104
It is read by the printer 106. This image data 115
Based on the above, the engine controller 106 causes the light emitting unit 1 to
Drive a, 1b and 1c. Thereby, the light emitting unit 1a,
The light beams generated from 1b and 1c are image data 115.
Is modulated based on.
【0015】1ライン目から3ライン目の画像デ−タ1
15に基づいて露光が終了すると、次に、エンジンコン
トロ−ラ106がSOS信号に相当する基準パルス11
2′を判別する。この基準パルス112′は、同期クロ
ック114の1パルスであって、同期クロック114が
何パルス目であるかを検出することにより判別される。
基準パルス112′が出力された後、再び同期クロック
114が所定回出ると、今度は画像メモリ105の4ラ
イン目から6ライン目の画像デ−タ115が同時にメモ
リコントロ−ラ104を介してエンジンコントロ−ラ1
06によって読み出される。エンジンコントロ−ラ10
6は、これらの画像デ−タ115に基づいて発光部1
a,1b,1cを駆動する。Image data 1 from the first line to the third line
When the exposure is completed based on 15, the engine controller 106 then outputs the reference pulse 11 corresponding to the SOS signal.
Determine 2 '. The reference pulse 112 'is one pulse of the synchronous clock 114, and is discriminated by detecting what number of pulse the synchronous clock 114 is.
After the reference pulse 112 'is output and the synchronous clock 114 is output again a predetermined number of times, the image data 115 of the fourth line to the sixth line of the image memory 105 are simultaneously sent to the engine via the memory controller 104. Controller 1
It is read by 06. Engine controller 10
6 is a light emitting unit 1 based on these image data 115.
Drive a, 1b and 1c.
【0016】以下、n+1ライン、n+2ライン、n+
3ラインに関しても同様に、エンジンコントロ−ラ10
6は、画像メモリ105上の画像デ−タ115に基づい
て3ライン毎に駆動電流109、110、111を出力
し、発光部1a,1b,1cを駆動する。Hereinafter, n + 1 line, n + 2 line, n +
Similarly for the three lines, the engine controller 10
Reference numeral 6 outputs drive currents 109, 110 and 111 for every three lines based on the image data 115 on the image memory 105 to drive the light emitting portions 1a, 1b and 1c.
【0017】このようにして、一度の走査で3ライン分
の画像デ−タ115に基づいて感光体30上に露光する
ことにより、偏向器10の反射面10aが1つのみであ
ることによる印字密度の低下を補償している。In this way, printing is performed by exposing the photoconductor 30 on the basis of the image data 115 for three lines in one scan, so that the deflector 10 has only one reflecting surface 10a. It compensates for the decrease in density.
【0018】さらに、本実施例では、偏向器10の反射
面10aが1つのみであることから、ポリゴンミラ−の
ように複数の反射面を有する偏向器に必要な面倒れ補正
が不要である。Further, in the present embodiment, since the deflector 10 has only one reflecting surface 10a, it is not necessary to correct the surface tilt necessary for a deflector having a plurality of reflecting surfaces such as a polygon mirror. ..
【0019】また、図6のタイミングチャ−トに示すよ
うに、SOSセンサ31による画像書き込み開始位置の
検出を、1頁分の画像記録につき1回のみ行えばよい。
これにより、各走査毎に画像書き込み開始位置の検出を
行う方法よりも、画像書き込み開始位置の検出のための
発光回数が減少でき、この発光により発生する画像ノイ
ズを低減できる。但し、画像書き込み開始位置の検出
は、本実施例の方法にとらわれず、1走査毎に行っても
よい。Further, as shown in the timing chart of FIG. 6, the detection of the image writing start position by the SOS sensor 31 may be carried out only once for recording one page of image.
As a result, the number of times of light emission for detecting the image writing start position can be reduced as compared with the method of detecting the image writing start position for each scan, and the image noise generated by this light emission can be reduced. However, the detection of the image writing start position is not limited to the method of this embodiment, and may be performed for each scanning.
【0020】偏向器10の変形例として、図8に示すよ
うに偏向器10′の非反射面10b′がレ−ザ光を乱反
射させるような形状にしてもよい。図8(a)、図8
(b)及び図8(c)は、それぞれ偏向器10′の平面
図、正面図及び側面図である。図8における偏向器1
0′の非反射面10b′には、反射面10a′と平行な
面が形成されていない。そのため、光ビ−ムがこの非反
射面10b′に当たっても球面ミラ−20に到達しな
い。As a modification of the deflector 10, as shown in FIG. 8, the non-reflective surface 10b 'of the deflector 10' may be shaped to diffusely reflect the laser light. 8 (a) and FIG.
8B and 8C are a plan view, a front view, and a side view of the deflector 10 ', respectively. Deflector 1 in FIG.
The 0'non-reflective surface 10b 'has no surface parallel to the reflective surface 10a'. Therefore, even if the light beam hits the non-reflective surface 10b ', it does not reach the spherical mirror 20.
【0021】以上に説明した実施例において、半導体レ
−ザ1の発光部1a,1b,1cは、副走査方向に平行
に一直線に設けられていたが、印字密度をさらに上げる
ために、図9に示すように半導体レ−ザ1を傾斜させて
もよい。但し、半導体レ−ザ1を傾斜させることは、主
走査方向に光ビ−ムのずれを発生させることになる。し
かし、このずれは半導体レ−ザ1の各発光部ごとに変調
開始タイミングをずらすことで補正できる。例えば、エ
ンジンコントロ−ラ106は、画像デ−タ115に基づ
いてn+1ライン目を走査する発光部1aを発光させる
ために駆動電流109を出力してから、所定時間の遅延
の後、n+2ライン目を走査する発光部1bを発光させ
るための駆動電流110を出力する。さらに所定時間の
遅延の後、エンジンコントロ−ラ106は、画像デ−タ
115に基づいてn+3ライン目を走査する発光部1c
を発光させるための駆動電流111を出力する。従っ
て、エンジンコントロ−ラ106によって発光部1a、
発光部1b及び発光部1cは、この順に所定時間の遅延
を間に挟んで駆動される。この遅延によって、主走査方
向に発生する光ビ−ムのずれを補正できる。In the embodiment described above, the light emitting portions 1a, 1b, 1c of the semiconductor laser 1 are provided in a straight line in parallel with the sub-scanning direction. However, in order to further increase the printing density, FIG. The semiconductor laser 1 may be inclined as shown in FIG. However, inclining the semiconductor laser 1 causes a shift of the optical beam in the main scanning direction. However, this shift can be corrected by shifting the modulation start timing for each light emitting portion of the semiconductor laser 1. For example, the engine controller 106 outputs the drive current 109 to cause the light emitting unit 1a that scans the (n + 1) th line based on the image data 115 to emit light, and after a delay of a predetermined time, the (n + 2) th line. A drive current 110 for causing the light emitting unit 1b that scans to emit light is output. After a further delay of a predetermined time, the engine controller 106 scans the (n + 3) th line on the basis of the image data 115 to emit a light.
The drive current 111 for causing the light to be emitted is output. Therefore, the engine controller 106 causes the light emitting portion 1a,
The light emitting unit 1b and the light emitting unit 1c are driven in this order with a delay of a predetermined time in between. This delay makes it possible to correct the deviation of the optical beam generated in the main scanning direction.
【0022】また、本実施例では、半導体レ−ザ1の発
光部を1a,1b,1cの3つとし、3本の光ビ−ムを
発生させることとしたが、この数に限らず、発光部はい
くつ設けてもよい。さらに、半導体レ−ザ1以外に他の
レ−ザ発生装置や点光源を用いることもできる。In the present embodiment, the semiconductor laser 1 has three light emitting portions 1a, 1b and 1c to generate three light beams, but the number is not limited to this. Any number of light emitting units may be provided. Further, other than the semiconductor laser 1, another laser generator or a point light source can be used.
【0023】その他、本実施例では、コリメ−タレンズ
6により半導体レ−ザ1から放射された発散光ビ−ムを
収束光ビ−ムに修正しているが、単に略平行光ビ−ムを
修正するだけでもよい。In addition, in this embodiment, the diverging light beam emitted from the semiconductor laser 1 is corrected by the collimator lens 6 into a converging light beam, but a substantially parallel light beam is simply used. You can just modify it.
【0024】[0024]
【発明の効果】以上、本発明によれば、回転偏向器の反
射面を1つのみとすることで、複数の反射面を有する回
転偏向器に必要であった面倒れ補正が不要となる。さら
に、光ビ−ムが複数本発生されることにより、回転偏向
器の反射面を1つのみとしても印字密度を高めることが
できる。As described above, according to the present invention, by providing only one reflecting surface of the rotary deflector, it becomes unnecessary to perform the surface tilt correction which is necessary for the rotary deflector having a plurality of reflecting surfaces. Further, by generating a plurality of optical beams, the printing density can be increased even if the rotary deflector has only one reflecting surface.
【図1】本発明における実施例の光ビ−ム走査光学系の
全体構成を示す斜視図。FIG. 1 is a perspective view showing the overall configuration of an optical beam scanning optical system according to an embodiment of the present invention.
【図2】本発明における実施例の光ビ−ム走査光学系の
平面図。FIG. 2 is a plan view of an optical beam scanning optical system according to an embodiment of the present invention.
【図3】本発明における実施例の光ビ−ム走査光学系の
側面図。FIG. 3 is a side view of an optical beam scanning optical system according to an embodiment of the present invention.
【図4】本実施例における半導体レ−ザの発光部の配置
を示す図。FIG. 4 is a diagram showing an arrangement of light emitting portions of a semiconductor laser in this embodiment.
【図5】本発明における実施例の光ビ−ム走査光学系の
制御回路のブロック図。FIG. 5 is a block diagram of a control circuit of an optical beam scanning optical system according to an embodiment of the present invention.
【図6】本発明における実施例の光ビ−ム走査光学系の
制御回路のタイミングチャ−ト。FIG. 6 is a timing chart of the control circuit of the optical beam scanning optical system according to the embodiment of the present invention.
【図7】本実施例における制御回路中の画像メモリにつ
いて説明する図。FIG. 7 is a diagram illustrating an image memory in a control circuit according to this embodiment.
【図8】偏向器の変形例を示す構成図。FIG. 8 is a configuration diagram showing a modified example of the deflector.
【図9】本実施例における半導体レ−ザの発光部の配置
の変形例を示す図。FIG. 9 is a diagram showing a modification of the arrangement of the light emitting portions of the semiconductor laser according to the present embodiment.
1 半導体レ−ザ 6 コリメ−タレンズ 10 偏向器 10a 反射面 20 球面ミラ− 30 感光体 31 SOSセンサ 1a,1b,1c 発光部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Semiconductor laser 6 Collimator lens 10 Deflector 10a Reflecting surface 20 Spherical mirror 30 Photoconductor 31 SOS sensor 1a, 1b, 1c Light emitting part
Claims (1)
ように複数本の光ビ−ムを発生する発光部と、 反射面を1つのみ有し前記発光部から発生された複数本
の光ビ−ムを偏向する回転偏向器とを備えたことを特徴
とする光ビ−ム走査光学系。1. A light emitting part for generating a plurality of light beams so as to form a plurality of scanning lines on a scanning medium, and a plurality of light emitting parts having only one reflecting surface. And a rotary deflector for deflecting the above-mentioned optical beam.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3269911A JPH05107492A (en) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | Light beam scanning optical system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3269911A JPH05107492A (en) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | Light beam scanning optical system |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05107492A true JPH05107492A (en) | 1993-04-30 |
Family
ID=17478942
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3269911A Pending JPH05107492A (en) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | Light beam scanning optical system |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05107492A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07250209A (en) * | 1994-03-14 | 1995-09-26 | Ricoh Co Ltd | Optical recorder using semiconductor laser array |
JP2007041235A (en) * | 2005-08-02 | 2007-02-15 | Sharp Corp | Exposure apparatus, image forming apparatus and method of exposure |
KR20140077871A (en) * | 2011-03-28 | 2014-06-24 | 엑시코 프랑스 | Method and apparatus for forming a straight line projection on a semiconductor substrate |
-
1991
- 1991-10-18 JP JP3269911A patent/JPH05107492A/en active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07250209A (en) * | 1994-03-14 | 1995-09-26 | Ricoh Co Ltd | Optical recorder using semiconductor laser array |
JP2007041235A (en) * | 2005-08-02 | 2007-02-15 | Sharp Corp | Exposure apparatus, image forming apparatus and method of exposure |
JP4554463B2 (en) * | 2005-08-02 | 2010-09-29 | シャープ株式会社 | Exposure apparatus, image forming apparatus, and exposure method |
KR20140077871A (en) * | 2011-03-28 | 2014-06-24 | 엑시코 프랑스 | Method and apparatus for forming a straight line projection on a semiconductor substrate |
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