JP2007027247A - Mounting method of electronic component - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a mounting method of an electronic component which detects falling of a component sucked by a multiple-nozzle unit during mounting work. <P>SOLUTION: In this mounting method of an electronic component, electronic components are sucked by the multiple-nozzle unit 20 connected to a manifold 30 communicated with vacuum sources 24 and 26, and the individual electronic components are mounted one by one at a plurality of mounting positions while detecting the vacuum pressure inside the manifold 30. The vacuum pressure inside the manifold 30 is detected by a vacuum pressure detection sensor 32 attached to the manifold 30 before and after the multiple-nozzle unit 20 moves to the mounting positions for the electronic components sequentially. When a difference in vacuum pressure before and after the movement is within a predetermined threshold value or less, it is determined that there was no falling of components and the components are mounted. When the difference in vacuum pressure before and after the movement exceeds the threshold value, it is determined that there has been falling of components and the components are not mounted. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、多連ノズルにより電子部品供給部の電子部品を吸着して基板等の実装対象に実装する電子部品の実装方法に関するものである。   The present invention relates to an electronic component mounting method in which an electronic component of an electronic component supply unit is sucked by a multiple nozzle and mounted on a mounting target such as a substrate.

電子部品(以下「部品」という)の実装分野では、移載ヘッドに設けられたノズルにより電子部品供給部の部品を吸着し、これを基板等の実装対象に実装する実装装置が広く用いられている。また、部品の実装効率を高めるため、移載ヘッドに複数のノズル(多連ノズル)を装着するものが知られている。   In the field of mounting electronic components (hereinafter referred to as “components”), mounting devices are widely used in which components of an electronic component supply unit are adsorbed by a nozzle provided in a transfer head and mounted on a mounting target such as a substrate. Yes. In addition, in order to increase the mounting efficiency of components, there is known one in which a plurality of nozzles (multiple nozzles) are mounted on a transfer head.

この種の実装装置においては、多連ノズルで吸着した部品を基板に確実に実装して欠品基板の発生を防止することが重要な課題となっている。そのため、多連ノズルに電子部品供給部の部品を吸着してピックアップした後に、カメラ等の認識手段によりノズルの吸着面に部品が吸着されているか否かを確認する認識作業が行われている。   In this type of mounting apparatus, it has become an important issue to prevent the occurrence of a missing part substrate by reliably mounting the components adsorbed by the multiple nozzles on the substrate. For this reason, after the components of the electronic component supply unit are picked up and picked up by the multiple nozzles, a recognition operation is performed to check whether or not the components are picked up by the suction surface of the nozzle by a recognition unit such as a camera.

しかし、この認識作業において部品を吸着していると確認されたノズルであっても、認識作業後、部品を基板に実装するまでの間に部品がノズルから落下する場合があり、この場合には、部品を吸着していないノズルにより実装が行われることになり、欠品基板が発生するおそれがあった。   However, even in the case of a nozzle that has been confirmed to be picking up a component in this recognition work, the part may fall from the nozzle after the recognition work until the part is mounted on the board. In this case, mounting is performed by a nozzle that does not adsorb components, and there is a possibility that a shortage substrate is generated.

このような問題を解決する手段として、多連ノズル内の真空圧を真空圧センサで監視し、部品吸着時の真空圧と実装直前の真空圧との差が所定の閾値以上である場合に部品の落下が発生したと判断する実装方法が提案されている。また、コストメリット及び可動部を軽量化するため、真空圧の監視を1個の真空センサで行うことも提案されている。
特開2004−71830号公報
As a means to solve such problems, the vacuum pressure in the multiple nozzles is monitored by a vacuum pressure sensor, and when the difference between the vacuum pressure at the time of component adsorption and the vacuum pressure immediately before mounting is a predetermined threshold or more, the component A mounting method has been proposed for determining that a fall has occurred. Further, in order to reduce the cost merit and the weight of the movable part, it has been proposed to monitor the vacuum pressure with a single vacuum sensor.
JP 2004-71830 A

しかしながら、上記特許文献に開示されたものは、カメラによる認識作業後に移載ヘッドが基板への実装位置に移動する際に生じうる部品の落下を検知するものであり、多連ノズルにそれぞれ吸着された複数の部品を基板に順次実装する際に、基板上で他の実装位置へ順次移動するノズルからの部品落下まで検知するものではなかった。   However, what is disclosed in the above-mentioned patent document is to detect a drop of a component that may occur when the transfer head moves to the mounting position on the substrate after the recognition work by the camera, and is adsorbed to each of the multiple nozzles. Further, when a plurality of components are sequentially mounted on the substrate, the component drop from the nozzle that sequentially moves to another mounting position on the substrate is not detected.

そこで本発明は、多連ノズルに吸着された部品の実装作業中における落下を検知することができる電子部品の実装方法を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an electronic component mounting method capable of detecting a drop during the mounting operation of a component adsorbed by a multiple nozzle.

請求項1記載の発明は、真空発生源に連通する吸気路に接続された多連ノズルにそれぞれ電子部品を吸着し、この吸気路内の真空圧を検知しながら電子部品を実装対象の複数の実装位置に順次実装する電子部品の実装方法であって、前記多連ノズルを前記実装対象の最初の実装位置上に移動させる第1の移動工程と、前記第1の移動工程の前後における真空圧の差が第1の閾値以下であれば、前記最初の実装位置に電子部品を実装する第1の実装工程と、前記多連ノズルを前記実装対象の次の実装位置上に移動させる第2の移動工程と、前記第2の移動工程の前後における真空圧の差が第2の閾値以下であれば、前記次の実装位置に電子部品を実装する第2の実装工程と、を含み、前記第2の移動工程及び前記第2の実装工程を繰り返し行って、前記実装対象の複数の実装位置に電子部品を順次実装する。   According to the first aspect of the present invention, each of the electronic components is adsorbed to the multiple nozzles connected to the intake passage communicating with the vacuum generation source, and the electronic components are mounted on the plurality of mounting targets while detecting the vacuum pressure in the intake passage. A method for mounting electronic components to be sequentially mounted at a mounting position, the first moving step of moving the multiple nozzles onto the first mounting position to be mounted, and the vacuum pressure before and after the first moving step If the difference is equal to or smaller than the first threshold value, the first mounting step of mounting the electronic component at the first mounting position, and the second of moving the multiple nozzles onto the next mounting position of the mounting target And a second mounting step of mounting an electronic component at the next mounting position if the difference in vacuum pressure before and after the second moving step is equal to or less than a second threshold. 2. Repeating the moving process 2 and the second mounting process Sequentially mounting electronic components on a plurality of mounting positions of the mounting object.

請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記第1の移動工程の前後における真空圧の差が前記第1の閾値を超えた場合には前記第1の実装工程を中断して電子部品の実装を行わない。   According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, when the difference in vacuum pressure before and after the first moving step exceeds the first threshold value, the first mounting step is interrupted. Do not mount electronic components.

請求項3記載の発明は、請求項1又は2記載の発明において、前記第2の移動工程の前後における真空圧の差が前記第2の閾値を超えた場合には前記第2の実装工程を中断して電子部品の実装を行わない。   The invention according to claim 3 is the invention according to claim 1 or 2, wherein the second mounting step is performed when the difference in vacuum pressure before and after the second moving step exceeds the second threshold value. Stop and do not mount electronic components.

請求項4記載の発明は、請求項1乃至3の何れかに記載の発明において、前記第2の閾値が前記第1の閾値より小さい。   According to a fourth aspect of the present invention, in the invention according to any one of the first to third aspects, the second threshold value is smaller than the first threshold value.

本発明によれば、多連ノズルによる実装作業中の部品の落下を検知することが可能となり、欠品基板の発生を防止することができる。   According to the present invention, it is possible to detect a drop of a component during a mounting operation by a multiple nozzle, and it is possible to prevent the occurrence of a missing substrate.

本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態における電子部品の実装装置の斜視図、図2は本発明の一実施の形態における多連ノズルの側面図、図3は本発明の一実施の形態における吸排気系の構造図、図4は本発明の一実施の形態における吸気系の配管図、図5は本発明の一実施の形態における電子部品の実装装置の制御系の構成図、図6は本発明の一実施の形態における電子部品の実装動作を示したフローチャート、図7は本発明の一実施の形態における吸気路内の絶対真空圧の変動を示したグラフ、図8、図9は本発明の一実施の形態における吸気路内の相対真空圧の変動を示したグラフ、図10は本発明の他の実施の形態における多連ノズルの側面図である。   An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a perspective view of an electronic component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view of a multiple nozzle according to an embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 4 is a schematic diagram of an exhaust system, FIG. 4 is a piping diagram of an intake system according to an embodiment of the present invention, FIG. 5 is a configuration diagram of a control system of an electronic component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a flowchart showing the mounting operation of the electronic component in one embodiment of the invention, FIG. 7 is a graph showing the fluctuation of the absolute vacuum pressure in the intake passage in one embodiment of the invention, and FIGS. FIG. 10 is a side view of a multiple nozzle according to another embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a graph showing fluctuations in the relative vacuum pressure in the intake passage in the embodiment.

まず、電子部品の実装装置について、図1及び図2を参照して説明する。図1において、基台1上の略中央にはX方向に延伸する搬送路2が配設されている。搬送路2は、実装対象としての基板3を搬送して所定位置に位置決めする。なお、本発明において、基板の搬送方向をX方向とし、これに水平面内で直交する方向をY方向とする。搬送路2のY方向における両側方には電子部品供給部4が配設されており、複数個のテープフィーダ5が着脱自在に並設されている。テープフィーダ5には多数の部品が格納されている。   First, an electronic component mounting apparatus will be described with reference to FIGS. In FIG. 1, a conveyance path 2 extending in the X direction is disposed at a substantially center on a base 1. The conveyance path 2 conveys the substrate 3 as a mounting target and positions it at a predetermined position. In the present invention, the substrate transport direction is the X direction, and the direction perpendicular to the substrate in the horizontal plane is the Y direction. An electronic component supply unit 4 is disposed on both sides of the transport path 2 in the Y direction, and a plurality of tape feeders 5 are detachably arranged in parallel. A number of parts are stored in the tape feeder 5.

基台1のX方向における両端部には一対のYテーブル6が配設されている。これらのYテーブル6上にはXテーブル7が架設されており、Yテーブル6の駆動によりY方向に移動する。Xテーブル7の側部には移載ヘッド8が配設されており、Xテーブル7の駆動によりX方向に移動する。移載ヘッド8には、図2に示すように、部品を吸着する多連ノズルとしての複数個のノズル20(本実施の形態では10個)がX方向に一列に装着されている。Yテーブル6及びXテーブル7は、ノズル20を基台1上で水平移動させる水平移動手段になっている。   A pair of Y tables 6 are disposed at both ends of the base 1 in the X direction. An X table 7 is installed on these Y tables 6 and moves in the Y direction by driving the Y table 6. A transfer head 8 is disposed on the side of the X table 7 and moves in the X direction by driving the X table 7. As shown in FIG. 2, the transfer head 8 is provided with a plurality of nozzles 20 (10 nozzles in the present embodiment) as multiple nozzles for sucking parts in a line in the X direction. The Y table 6 and the X table 7 are horizontal moving means for moving the nozzle 20 horizontally on the base 1.

図1において、搬送路2と電子部品供給部4の間には部品認識手段としてのラインカメラ9が配設されており、移載ヘッド8のノズル21に吸着されピックアップされた部品を下方から撮像して部品の有無や吸着姿勢等を認識する(図2参照)。   In FIG. 1, a line camera 9 as a component recognition unit is disposed between the conveyance path 2 and the electronic component supply unit 4, and picks up and picks up a component picked up by the nozzle 21 of the transfer head 8 from below. Then, the presence / absence of a component, the suction posture, etc. are recognized (see FIG. 2).

次に、移載ヘッド8における吸排気系の構造について、図3及び図4を参照して説明する。図3は吸排気構造の配管図であり、図4は吸気系の配管図である。   Next, the structure of the intake / exhaust system in the transfer head 8 will be described with reference to FIGS. FIG. 3 is a piping diagram of the intake / exhaust structure, and FIG. 4 is a piping diagram of the intake system.

図3において、各ノズル20にはそれぞれ吸気管21と排気管22が接続されており、吸気管21と排気管22は、空気圧調整ユニット23を介して空気圧源24と接続されて
いる。各ノズル20はそれぞれ吸気バルブ25を介して吸気管21と接続されており、吸気バルブ25の開閉により任意のノズル20における部品の吸着・非吸着を選択的に制御することができる。吸気管21にはエジェクタ26、レギュレータ27が直列に介設されており、空気圧源24からエジェクタ26に圧縮空気流が送られると吸気管21内が負圧となって吸引される。空気圧源24とエジェクタ26は、ノズル20に部品を吸着させる真空発生源となっている。
In FIG. 3, an intake pipe 21 and an exhaust pipe 22 are connected to each nozzle 20, and the intake pipe 21 and the exhaust pipe 22 are connected to an air pressure source 24 via an air pressure adjusting unit 23. Each nozzle 20 is connected to an intake pipe 21 via an intake valve 25, and the adsorption / non-adsorption of components at any nozzle 20 can be selectively controlled by opening / closing the intake valve 25. An ejector 26 and a regulator 27 are provided in series in the intake pipe 21. When a compressed air flow is sent from the air pressure source 24 to the ejector 26, the intake pipe 21 is sucked with a negative pressure. The air pressure source 24 and the ejector 26 serve as a vacuum generation source that causes the nozzle 20 to attract components.

また、各ノズル20はそれぞれ排気バルブ28を介して排気管22と接続されており、排気バルブ28の開閉により任意のノズル20における部品の吸着破壊を選択的に制御することができる。排気管22にはレギュレータ29が介設されている。   In addition, each nozzle 20 is connected to the exhaust pipe 22 via an exhaust valve 28, and the suction and breakage of components at any nozzle 20 can be selectively controlled by opening and closing the exhaust valve 28. A regulator 29 is interposed in the exhaust pipe 22.

図4において、吸気管21はマニホールド30と連通しており、マニホールド30には10個のノズル20が一列に等間隔で整列して装着されている。各ノズル20は通気路31によりマニホールド30と連通しており、通気路31には上記の吸気バルブ25が介設されている。マニホールド30の略中央には真空圧センサ32が取り付けられており、吸気管21から各ノズル20に至る吸気系における真空圧を検知する。マニホールド30は、空気圧源24とエジェクタ26からなる真空発生源と各ノズル20を連通させる吸気路となっている。   In FIG. 4, the intake pipe 21 communicates with a manifold 30, and ten nozzles 20 are attached to the manifold 30 in a line at equal intervals. Each nozzle 20 communicates with the manifold 30 through a ventilation path 31, and the intake valve 25 is interposed in the ventilation path 31. A vacuum pressure sensor 32 is attached substantially at the center of the manifold 30 to detect the vacuum pressure in the intake system from the intake pipe 21 to each nozzle 20. The manifold 30 serves as an intake passage for communicating each nozzle 20 with a vacuum generation source including an air pressure source 24 and an ejector 26.

移載ヘッド8における吸排気系は以上のように構成されるので、真空発生源の故障やエアリーク、また、多連ノズルの各ノズル20のうち半数程度のノズル20で部品の非吸着が起きると吸気系において多量のエアリークが発生し、他のノズル20において部品を安定して吸着し続けることが困難なほどにマニホールド30内の真空圧が低下する。従って、閾値を絶対的な真空圧値として予め設定しておくことにより、マニホールド30内の真空圧が設定された閾値以下となっている場合には、上記のような要因により部品の安定吸着が困難な状態になっていると判断することができる。   Since the intake / exhaust system in the transfer head 8 is configured as described above, when a vacuum generation source malfunctions or air leaks, or when about half of the nozzles 20 of the multi-nozzle nozzles 20 do not adsorb components. A large amount of air leak occurs in the intake system, and the vacuum pressure in the manifold 30 decreases to such a degree that it is difficult to stably adsorb components in the other nozzles 20. Therefore, by setting the threshold value as an absolute vacuum pressure value in advance, when the vacuum pressure in the manifold 30 is equal to or lower than the set threshold value, the component can be stably adsorbed due to the above factors. It can be determined that the situation is difficult.

また、ノズル20に部品を吸着した後、基板3へ実装するために移載ヘッド8が移動する際に部品が落下した場合も吸気系においてエアリークが発生し、マニホールド30内の真空圧が低下する。従って、閾値を相対的な真空圧値として予め設定しておくことにより、移載ヘッド8の移動前後におけるマニホールド30内の真空圧の差が予め設定した閾値を上回っている場合には、途中で部品が落下して何れかのノズル20において部品が非吸着となっていると判断することができる。   In addition, after the component is sucked to the nozzle 20 and the component is dropped when the transfer head 8 is moved for mounting on the substrate 3, an air leak occurs in the intake system, and the vacuum pressure in the manifold 30 decreases. . Therefore, by setting the threshold value in advance as a relative vacuum pressure value, when the difference in vacuum pressure in the manifold 30 before and after the transfer head 8 moves exceeds the preset threshold value, It can be determined that the component has fallen and the component is not attracted to any nozzle 20.

次に、電子部品の実装装置の制御系の構成について、図5を参照して説明する。制御部50は、搬送路2、テープフィーダ5、Yテーブル6、Xテーブル7、移載ヘッド8、ラインカメラ9、吸気バルブ25、排気バルブ28、真空圧センサ32、空気圧調整ユニット23、空気圧源24と電気的に接続されている。さらに制御部50は、データベース部43、操作入力部44、表示部45とバス51により接続されている。データベース部43には、部品データ43a、制御パラメータ43b、基板データ43c、ノズルデータ43d、閾値データ43eが記憶されている。   Next, the configuration of the control system of the electronic component mounting apparatus will be described with reference to FIG. The control unit 50 includes a transport path 2, a tape feeder 5, a Y table 6, an X table 7, a transfer head 8, a line camera 9, an intake valve 25, an exhaust valve 28, a vacuum pressure sensor 32, an air pressure adjusting unit 23, an air pressure source. 24 is electrically connected. Further, the control unit 50 is connected to the database unit 43, the operation input unit 44, and the display unit 45 through a bus 51. The database unit 43 stores component data 43a, control parameters 43b, board data 43c, nozzle data 43d, and threshold data 43e.

電子部品の実装装置は、制御部50の制御指令を受け、真空発生源に連通する吸気路に接続された多連ノズルにそれぞれ電子部品を吸着し、この吸気路内の真空圧を検知しながら電子部品を実装対象の複数の実装位置に順次実装する動作を行う。   The electronic component mounting apparatus receives a control command from the control unit 50, adsorbs the electronic components to the multiple nozzles connected to the intake passage communicating with the vacuum generation source, and detects the vacuum pressure in the intake passage. The operation of sequentially mounting electronic components at a plurality of mounting positions to be mounted is performed.

電子部品の実装装置は以上のように構成され、次に電子部品の実装動作について、図6を参照して説明する。図6は電子部品の実装動作を示したフローチャートである。まず、実装装置の駆動をスタートさせ、移載ヘッド8をテープフィーダ5上のピックアップ位置に移動させるとともに空気圧源24を駆動させてノズル20に所定の部品を吸着させる(
ST1)。部品吸着後、真空圧センサ32によりマニホールド30内の真空圧を検知して予め設定された第3の閾値TH3との比較を行い、マニホールド30内の真空圧が第3の閾値TH3以上であるか否かの判定が行われる(ST2)。第3の閾値TH3は絶対的な真空圧値として例えば40kPaに設定されており、マニホールド30内の真空圧が40kPa以下である場合には、真空発生源の故障やエアリーク、また、多連ノズルの各ノズル20のうち半数程度のノズル20で部品の非吸着が起きると吸気系において多量のエアリークが発生し、部品を安定して吸着し続けることが困難な状態になっていると判断される。
The electronic component mounting apparatus is configured as described above. Next, the electronic component mounting operation will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a flowchart showing the mounting operation of the electronic component. First, the driving of the mounting apparatus is started, the transfer head 8 is moved to the pickup position on the tape feeder 5 and the air pressure source 24 is driven to adsorb predetermined components to the nozzle 20 (
ST1). After the components are sucked, the vacuum pressure in the manifold 30 is detected by the vacuum pressure sensor 32 and compared with a preset third threshold value TH3. Whether the vacuum pressure in the manifold 30 is equal to or higher than the third threshold value TH3. It is determined whether or not (ST2). The third threshold value TH3 is set as an absolute vacuum pressure value, for example, 40 kPa. When the vacuum pressure in the manifold 30 is 40 kPa or less, failure of the vacuum generation source, air leak, and the multiple nozzles If non-adsorption of components occurs in about half of the nozzles 20 among the nozzles 20, it is determined that a large amount of air leak occurs in the intake system, making it difficult to keep the components stably adsorbed.

図7は、部品をテープフィーダ5からピックアップしてノズル20に吸着する動作(ST1)におけるマニホールド30内の真空圧の変動の一例を示している。吸着を開始してから時間t1までは部品を順調に吸着し、一定の真空圧P0を保っている。なお、部品の吸着は、ノズル20の下端部を部品の上面に当接させた後に当該ノズル20の吸気バルブ25を開いて(他のノズル20の吸気バルブ25は閉鎖した状態)真空吸着して行うので、部品の吸着に成功するとマニホールド30内の真空圧にほとんど変動はなく略一定の真空圧状態を保つ。時間t1において、何れかのノズル20が部品の吸着に失敗してエアリークが発生し、真空圧がP0からP1に低下している。時間t2において、別のノズル20が部品の吸着に失敗し、真空圧P2に低下して第3の閾値TH3を下回る。   FIG. 7 shows an example of fluctuations in the vacuum pressure in the manifold 30 in the operation (ST1) of picking up parts from the tape feeder 5 and sucking them onto the nozzles 20. From the start of the suction until the time t1, the parts are sucked smoothly and a constant vacuum pressure P0 is maintained. The suction of the component is performed by bringing the lower end of the nozzle 20 into contact with the upper surface of the component and then opening the intake valve 25 of the nozzle 20 (the intake valves 25 of the other nozzles 20 are closed). Therefore, if the suction of the parts is successful, the vacuum pressure in the manifold 30 hardly fluctuates and a substantially constant vacuum pressure state is maintained. At time t1, any one of the nozzles 20 fails to adsorb the component, causing an air leak, and the vacuum pressure is reduced from P0 to P1. At time t2, another nozzle 20 fails to adsorb the component, drops to the vacuum pressure P2, and falls below the third threshold value TH3.

このように、マニホールド30内の真空圧が第3の閾値TH3を下回っている場合には、実装装置の動作を停止する(ST3)。一方、吸着終了時におけるマニホールド30内の真空圧が第3の閾値TH3以上である場合には、移載ヘッド8をラインカメラ9の上方へ移動させてノズル20に吸着された部品を下方からスキャンニングする(ST4)。スキャンニングによりノズル20に吸着された部品の姿勢等を認識するとともに部品の有無を確認し(ST5)、非吸着のノズル20については部品の実装動作を行わない(ST6)。これにより、部品の空実装を未然に防止して欠品基板の発生を回避している。   Thus, when the vacuum pressure in the manifold 30 is lower than the third threshold value TH3, the operation of the mounting apparatus is stopped (ST3). On the other hand, when the vacuum pressure in the manifold 30 at the end of the suction is equal to or higher than the third threshold value TH3, the transfer head 8 is moved above the line camera 9 to scan the part sucked by the nozzle 20 from below. (ST4). The posture of the component sucked by the nozzle 20 by scanning is recognized and the presence / absence of the component is confirmed (ST5), and the component mounting operation is not performed for the non-sucking nozzle 20 (ST6). As a result, empty mounting of components is prevented in advance, and occurrence of a missing substrate is avoided.

従来、非吸着のノズル20の存在が確認されると、そのノズル20の吸気バルブ25を閉鎖して真空圧の回復を図っていたが、ラインカメラ9の認識パラメータの入力ミス等があった場合には、部品を吸着しているノズル20を非吸着ノズルであると誤判断し、吸気バルブを閉鎖して部品を落下させてしまっていたので、これを防止するために吸気バルブ25を閉鎖しないようにしている。   Conventionally, when the presence of the non-adsorbing nozzle 20 is confirmed, the suction valve 25 of the nozzle 20 is closed to recover the vacuum pressure. However, when there is an input error in the recognition parameter of the line camera 9 or the like. In this case, the nozzle 20 that sucks the component is erroneously determined to be a non-suction nozzle, and the intake valve is closed and the component is dropped, so the intake valve 25 is not closed to prevent this. I am doing so.

スキャンニングが終了すると、マニホールド30内の真空圧をゼロリセットする(ST7)。ゼロリセット後における部品の落下による真空圧の低下量は真空圧の差として相対値で管理される。   When the scanning is completed, the vacuum pressure in the manifold 30 is reset to zero (ST7). The amount of decrease in vacuum pressure due to component drop after zero reset is managed as a difference in vacuum pressure as a relative value.

次に、移載ヘッド8を基板3上に移動させ、最初に実装される部品を吸着したノズル20を基板3上の最初の実装位置へ移動させる(ST8)。このST8の動作は第1の移動工程となっている。   Next, the transfer head 8 is moved onto the substrate 3, and the nozzle 20 that sucks the component to be mounted first is moved to the first mounting position on the substrate 3 (ST8). The operation of ST8 is the first movement process.

第1の移動工程(ST8)の後、最初の実装位置に移動した際のマニホールド30内の真空圧を検知し、予め設定された第1の閾値th1との比較を行い、真空圧の差が第1の閾値th1以下であるか否かの判定を行う(ST9)。真空圧の差が第1の閾値th1を上回っている場合には、移載ヘッド8が基板3上の第1の実装位置に移動中に何れかのノズル20から部品が落下したと判断される。   After the first moving step (ST8), the vacuum pressure in the manifold 30 when moving to the first mounting position is detected and compared with a preset first threshold th1, and the difference in vacuum pressure is determined. It is determined whether it is equal to or less than the first threshold th1 (ST9). When the difference in vacuum pressure exceeds the first threshold th1, it is determined that the component has dropped from any of the nozzles 20 while the transfer head 8 is moving to the first mounting position on the substrate 3. .

なお、第1の閾値th1が大きすぎると、部品の落下により真空圧の低下量が第1の閾値th1まで到達せず、部品が落下しているのもかかわらず吸着保持されていると誤判断するおそれがある。また、逆に小さすぎると、他のノズルにおける部品の非吸着、または
吸着されていても吸着姿勢によってはエアリークが発生するため、これによる真空圧の低下量が第1の閾値th1に到達して、部品を吸着しているのもかかわらず落下したと誤認識するおそれがある。従って、本実施の形態においては、第1の閾値th1として、あるノズル20に部品を吸着している場合としていない場合とのマニホールド30内の真空圧の差の略半分の数値である8kPaに設定し、誤認識がおきないようにしている。
If the first threshold th1 is too large, the amount of decrease in the vacuum pressure does not reach the first threshold th1 due to the drop of the component, and it is erroneously determined that the component is attracted and held despite the component falling. There is a risk. On the other hand, if it is too small, air leakage may occur depending on the suction posture even if parts are not picked up or picked up by other nozzles. Therefore, the amount of decrease in the vacuum pressure reaches the first threshold th1. There is a risk of misrecognizing that the component has fallen despite the fact that the component is adsorbed. Therefore, in the present embodiment, the first threshold th1 is set to 8 kPa, which is a value that is approximately half of the difference in vacuum pressure in the manifold 30 from the case where no component is adsorbed to a certain nozzle 20. In order to prevent misrecognition.

図8は、ST8におけるマニホールド30内の真空圧の変動の一例を示している。ゼロリセット(ST7)してから時間t1までは部品を安定して吸着しており、相対真空圧0を保っている。時間t1において、何れかのノズル20から部品が落下してエアリークが発生し、相対真空圧がp1に低下している。   FIG. 8 shows an example of fluctuations in the vacuum pressure in the manifold 30 at ST8. From time zero reset (ST7) to time t1, the parts are stably adsorbed and the relative vacuum pressure 0 is maintained. At time t1, a component falls from one of the nozzles 20 to cause an air leak, and the relative vacuum pressure is reduced to p1.

このように、真空圧の差p1が第1の閾値th1を上回っている場合には、実装装置の動作を停止する(ST10)。これにより、部品の空実装を未然に防止して欠品基板の発生を回避している。一方、第1の閾値th1以下である場合には、部品の落下はなかったと判断されて部品の実装が行われる(ST11)。ST9及びST11の動作は第1の実装工程となっている。   In this way, when the vacuum pressure difference p1 exceeds the first threshold th1, the operation of the mounting apparatus is stopped (ST10). As a result, empty mounting of components is prevented in advance, and occurrence of a missing substrate is avoided. On the other hand, if it is equal to or less than the first threshold th1, it is determined that the component has not dropped, and the component is mounted (ST11). The operations of ST9 and ST11 are the first mounting process.

次に、第1の実装工程(ST9、ST11)終了時におけるマニホールド30内の真空圧を再度ゼロリセットする(ST12)。次に、移載ヘッド8を基板3上で移動させ、次に実装される部品を吸着したノズル20を基板3上の次の実装位置へ移動させる(ST13)。このST13の動作は第2の移動工程となっている。   Next, the vacuum pressure in the manifold 30 at the end of the first mounting process (ST9, ST11) is reset again to zero (ST12). Next, the transfer head 8 is moved on the substrate 3, and the nozzle 20 that sucks the component to be mounted next is moved to the next mounting position on the substrate 3 (ST13). The operation of ST13 is a second moving process.

第2の移動工程(ST13)の後、第2の実装位置に移動した際の真空圧値を検知し、予め設定された第2の閾値th2との比較を行い、真空圧の差が第2の閾値th2以下であるか否かの判定を行う(ST14)。第2の閾値th2は第1の閾値th1の略半分に設定し、真空圧の差が第2の閾値th2を上回っている場合には、移載ヘッド8が基板3上の第1の実装位置から第2の実装位置に移動中に何れかのノズル20から部品が落下したと判断される。   After the second moving step (ST13), the vacuum pressure value at the time of moving to the second mounting position is detected and compared with a preset second threshold th2, and the difference in vacuum pressure is the second difference. It is determined whether or not it is equal to or less than the threshold th2 (ST14). The second threshold th2 is set to approximately half of the first threshold th1, and when the difference in vacuum pressure exceeds the second threshold th2, the transfer head 8 is positioned on the substrate 3 at the first mounting position. It is determined that the component has fallen from any of the nozzles 20 while moving from the position to the second mounting position.

なお、第2の閾値th2を第1の閾値th1の略半分の値に設定したのは、ノズル20の移動距離の差に起因する。すなわち、基板上の最初の実装位置から次の実装位置までの距離は、スキャンニング終了後に基板上の最初の実装位置まで移動する距離(微小部品の場合は1mm程度)に比べ短く、移動に要する時間が少ない。従って、部品の落下によるマニホールド30内の真空圧の変化の応答遅れが真空圧センサ32における検出値に影響し、真空圧の低下量が第1の閾値th1に至る以前に真空圧が検知されることがある。この場合、部品が落下しているにもかかわらず落下がなかったと誤認識されるおそれがある。そのため、基板上を短スパンで移動するノズル20からの部品の落下については、第1の閾値th1より小さい第2の閾値th2を設定し、上記のような誤認識がおきないようにしている。   The reason why the second threshold th2 is set to a value approximately half of the first threshold th1 is due to the difference in the movement distance of the nozzle 20. In other words, the distance from the first mounting position on the board to the next mounting position is shorter than the distance (about 1 mm in the case of micro components) that moves to the first mounting position on the board after the scanning is completed, and is required for movement. There is little time. Therefore, the response delay of the change in the vacuum pressure in the manifold 30 due to the drop of the component affects the detection value in the vacuum pressure sensor 32, and the vacuum pressure is detected before the amount of decrease in the vacuum pressure reaches the first threshold th1. Sometimes. In this case, there is a possibility that a part may be mistakenly recognized as having not fallen despite being dropped. For this reason, the second threshold th2 smaller than the first threshold th1 is set for the drop of the component from the nozzle 20 that moves on the substrate with a short span so that the above-described erroneous recognition does not occur.

図9は、ST13におけるマニホールド30内の真空圧の変動の一例を示している。時間t1において、第1の実装工程(ST9、ST11)終了時におけるマニホールド30内の真空圧値を再度ゼロリセット(ST12)している。ゼロリセット後、時間t2までは部品を安定して吸着し、相対真空圧0を保っている。時間t2において、何れかのノズル20から部品が落下してエアリークが発生し、相対真空圧がp2に低下している。   FIG. 9 shows an example of the fluctuation of the vacuum pressure in the manifold 30 at ST13. At time t1, the vacuum pressure value in the manifold 30 at the end of the first mounting process (ST9, ST11) is reset again to zero (ST12). After the zero reset, the component is stably adsorbed and maintained at a relative vacuum pressure of 0 until time t2. At time t2, a component falls from one of the nozzles 20 to cause an air leak, and the relative vacuum pressure is reduced to p2.

このように、真空圧の差p2が第2の閾値th2を上回っている場合には、実装装置の動作を停止する(ST15)。これにより、部品の空実装を未然に防止して欠品基板の発生を回避している。一方、第2の閾値th2以下である場合には、部品の落下はなかったと判断されて部品の実装が行われる(ST16)。ST14及びST16の動作は第2の
実装工程となっている。
As described above, when the vacuum pressure difference p2 exceeds the second threshold th2, the operation of the mounting apparatus is stopped (ST15). As a result, empty mounting of components is prevented in advance, and occurrence of a missing substrate is avoided. On the other hand, if it is equal to or smaller than the second threshold th2, it is determined that the component has not dropped, and the component is mounted (ST16). The operations of ST14 and ST16 are the second mounting process.

以後、第2の移動工程(ST13)及び第2の実装工程(ST14、ST16)を繰り返し行うことにより、さらに次の実装位置に移載ヘッド8を移動させてノズル20に吸着された部品を基板3の複数の実装位置に順次実装する。このとき、移載ヘッド8の移動前後における真空圧の差が第2の閾値th2を上回っている場合には、実装動作を停止して部品の空実装を未然に防止し、欠品基板の発生を回避する。   Thereafter, by repeatedly performing the second moving step (ST13) and the second mounting step (ST14, ST16), the transfer head 8 is further moved to the next mounting position, and the component adsorbed by the nozzle 20 is placed on the substrate. 3 are sequentially mounted at a plurality of mounting positions. At this time, if the difference in vacuum pressure before and after the movement of the transfer head 8 exceeds the second threshold th2, the mounting operation is stopped to prevent the component from being empty-mounted and the occurrence of a missing substrate. To avoid.

このように、本発明によれば、多連ノズルと真空発生源とを連通させる吸気路内の真空圧を検知することにより、実装作業中における多連ノズルからの部品の落下を判断することができるので、一つの真空圧センサと個別に部品の吸着・非吸着制御可能に構成された多連ノズルからなる実装装置に好適であり、部品の空実装を未然に防止して欠品基板の発生を回避できる電子部品の実装装置を実現することができる。   As described above, according to the present invention, it is possible to determine the fall of the component from the multiple nozzles during the mounting operation by detecting the vacuum pressure in the intake passage that communicates the multiple nozzles with the vacuum generation source. Therefore, it is suitable for a mounting device consisting of one vacuum pressure sensor and multiple nozzles configured to be able to control suction / non-suction of components individually. It is possible to realize an electronic component mounting apparatus that can avoid the above-described problem.

なお、上記のマニホールド30内の真空圧値のゼロリセット(ST7、ST12)は本発明において必須の動作ではない。部品のスキャンニング(ST5)の後における真空圧と第1の移動工程(ST8)の後における真空圧との差と、第1の閾値th1を比較することによっても部品の落下を判断することができる。また、最初の実装位置への部品実装(ST11)の後における真空圧と第2の移動工程(ST13)の後における真空圧との差と、第2の閾値th2を比較することによっても部品の落下を判断することができる。   Note that the above-described zero reset (ST7, ST12) of the vacuum pressure value in the manifold 30 is not an essential operation in the present invention. The fall of the component can also be determined by comparing the difference between the vacuum pressure after the component scanning (ST5) and the vacuum pressure after the first moving step (ST8) with the first threshold th1. it can. Also, by comparing the difference between the vacuum pressure after mounting the component at the first mounting position (ST11) and the vacuum pressure after the second moving step (ST13) with the second threshold th2, Can determine fall.

また、上記の各閾値th1、th2、TH3は、空気圧源24から送られる空気圧や吸気管21等の配管の形態、ノズル20の種類や個数等を勘案して予め設定されており、本発明が適用される実装装置の諸条件に応じた値に設定できる。   The threshold values th1, th2, and TH3 are set in advance in consideration of the air pressure sent from the air pressure source 24, the form of piping such as the intake pipe 21, the type and number of nozzles 20, and the like. The value can be set according to various conditions of the mounting apparatus to be applied.

また、第2の閾値th2は第1の閾値th1より小さい値に設定することにより、実装対象の基板3上で移動するノズル20からの部品の落下判断をより精確に行うことができる。特に、実装される部品が微小なチップ部品であり、隣接する部品間が1mm程度で近接している場合、実装位置から次の実装位置への移動時間が極めて短いので、部品の落下によるマニホールド30内の真空圧の変化の応答遅れが真空圧センサ32の検出値に影響し、真空圧の低下量が第1の閾値th1に至る以前に真空圧が検知されることがある。この場合には、部品が落下しているにもかかわらず落下がなかったと誤認識される。従って、基板上での移動における真空圧の検知においては、第1の閾値th1より小さい第2の閾値th2を設けて部品の落下のより精確な判断を行って欠品基板の発生を防止する。   Further, by setting the second threshold th2 to a value smaller than the first threshold th1, it is possible to more accurately determine whether or not a component has dropped from the nozzle 20 that moves on the substrate 3 to be mounted. In particular, when the component to be mounted is a minute chip component and the adjacent components are close to each other at about 1 mm, the moving time from the mounting position to the next mounting position is extremely short. The response delay of the change in the vacuum pressure affects the detection value of the vacuum pressure sensor 32, and the vacuum pressure may be detected before the amount of decrease in the vacuum pressure reaches the first threshold th1. In this case, it is erroneously recognized that the part has not been dropped although it has been dropped. Therefore, in the detection of the vacuum pressure during movement on the substrate, a second threshold value th2 smaller than the first threshold value th1 is provided to make a more accurate determination of component dropping to prevent the occurrence of a missing substrate.

また、部品認識手段としてのラインカメラ9は必ずしも基台1上に設けなくてもよい。例えば、図10に示すように、移動ヘッド8に直接ラインカメラ60を取り付けることもできる。移動ヘッド8にX方向に延伸して設けられたビーム61にブラケット62を介して取り付けられたラインカメラ60は、各ノズル20の下方を順次移動し、各ノズル20における部品の吸着位置や姿勢、部品の有無等を認識する。これにより、移動ヘッド8を固定されたラインカメラ9の上方に移動させる動作を行うことなく、任意の位置において部品の認識を行う、いわゆるオンザフライ方式による認識作業が可能となって効率的である   Further, the line camera 9 as the component recognition means is not necessarily provided on the base 1. For example, as shown in FIG. 10, the line camera 60 can be directly attached to the moving head 8. A line camera 60 attached via a bracket 62 to a beam 61 extending in the X direction on the moving head 8 sequentially moves below each nozzle 20, and picks up and positions the components at each nozzle 20. Recognize the presence or absence of parts. This enables efficient recognition work by a so-called on-the-fly method of recognizing a component at an arbitrary position without performing an operation of moving the moving head 8 above the fixed line camera 9.

本発明の電子部品の実装方法よれば、多連ノズルによる実装作業中の部品の落下を検知することが可能となり、欠品基板の発生を防止することができるので、多連ノズルにより電子部品供給部の電子部品を吸着して基板等の実装対象に実装する電子部品の実装分野において有用である。   According to the electronic component mounting method of the present invention, it is possible to detect the falling of the component during the mounting work by the multiple nozzles, and it is possible to prevent the occurrence of a missing part substrate. This is useful in the field of mounting electronic components that adsorb some electronic components and mount them on a mounting target such as a substrate.

本発明の一実施の形態における電子部品の実装装置の斜視図The perspective view of the mounting device of the electronic component in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における多連ノズルの側面図The side view of the multiple nozzle in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態における吸排気系の構造図Structure diagram of intake and exhaust system in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態における吸気系の配管図Intake system piping diagram in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態における電子部品の実装装置の制御系の構成図1 is a configuration diagram of a control system of an electronic component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態における電子部品の実装動作を示したフローチャートThe flowchart which showed the mounting operation | movement of the electronic component in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における吸気路内の絶対真空圧の変動を示したグラフThe graph which showed the fluctuation | variation of the absolute vacuum pressure in the intake passage in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における吸気路内の相対真空圧の変動を示したグラフThe graph which showed the fluctuation | variation of the relative vacuum pressure in the intake passage in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における吸気路内の相対真空圧の変動を示したグラフThe graph which showed the fluctuation | variation of the relative vacuum pressure in the intake passage in one embodiment of this invention 本発明の他の実施の形態における多連ノズルの側面図Side view of multiple nozzles in another embodiment of the present invention

符号の説明Explanation of symbols

3 基板
20 ノズル
24 空気圧源
26 エジェクタ
30 マニホールド
th1 第1の閾値
th2 第2の閾値
TH3 第3の閾値
3 Substrate 20 Nozzle 24 Air Pressure Source 26 Ejector 30 Manifold th1 First Threshold th2 Second Threshold TH3 Third Threshold

Claims (4)

真空発生源に連通する吸気路に接続された多連ノズルにそれぞれ電子部品を吸着し、この吸気路内の真空圧を検知しながら電子部品を実装対象の複数の実装位置に順次実装する電子部品の実装方法であって、
前記多連ノズルを前記実装対象の最初の実装位置上に移動させる第1の移動工程と、
前記第1の移動工程の前後における真空圧の差が第1の閾値以下であれば、前記最初の実装位置に電子部品を実装する第1の実装工程と、
前記多連ノズルを前記実装対象の次の実装位置上に移動させる第2の移動工程と、
前記第2の移動工程の前後における真空圧の差が第2の閾値以下であれば、前記次の実装位置に電子部品を実装する第2の実装工程と、
を含み、
前記第2の移動工程及び前記第2の実装工程を繰り返し行って、前記実装対象の複数の実装位置に電子部品を順次実装することを特徴とする電子部品の実装方法。
An electronic component that adsorbs electronic components to multiple nozzles connected to an intake passage communicating with a vacuum generation source, and sequentially mounts the electronic components at a plurality of mounting positions to be mounted while detecting the vacuum pressure in the intake passage. Implementation method,
A first moving step of moving the multiple nozzles onto an initial mounting position of the mounting target;
If the difference in vacuum pressure before and after the first moving step is equal to or less than a first threshold, a first mounting step for mounting an electronic component at the first mounting position;
A second moving step of moving the multiple nozzles onto the next mounting position of the mounting target;
If the difference in vacuum pressure before and after the second moving step is equal to or less than a second threshold, a second mounting step of mounting an electronic component at the next mounting position;
Including
An electronic component mounting method, wherein the second moving step and the second mounting step are repeatedly performed to sequentially mount electronic components at a plurality of mounting positions to be mounted.
前記第1の移動工程の前後における真空圧の差が前記第1の閾値を超えた場合には前記第1の実装工程を中断して電子部品の実装を行わないことを特徴とする請求項1記載の電子部品の実装方法。   The electronic component is not mounted by interrupting the first mounting step when the difference in vacuum pressure before and after the first moving step exceeds the first threshold value. The electronic component mounting method described. 前記第2の移動工程の前後における真空圧の差が前記第2の閾値を超えた場合には前記第2の実装工程を中断して電子部品の実装を行わないことを特徴とする請求項1又は2記載の電子部品の実装方法。   2. The electronic component is not mounted by interrupting the second mounting step when the difference in vacuum pressure before and after the second moving step exceeds the second threshold value. Or the mounting method of the electronic component of 2. 前記第2の閾値が前記第1の閾値より小さいことを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載の部品の実装方法。
4. The component mounting method according to claim 1, wherein the second threshold value is smaller than the first threshold value.
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