JP2007027226A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2007027226A5
JP2007027226A5 JP2005203876A JP2005203876A JP2007027226A5 JP 2007027226 A5 JP2007027226 A5 JP 2007027226A5 JP 2005203876 A JP2005203876 A JP 2005203876A JP 2005203876 A JP2005203876 A JP 2005203876A JP 2007027226 A5 JP2007027226 A5 JP 2007027226A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ultraviolet light
multilayer mirror
ultra
optical system
traveling direction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2005203876A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2007027226A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2005203876A priority Critical patent/JP2007027226A/ja
Priority claimed from JP2005203876A external-priority patent/JP2007027226A/ja
Publication of JP2007027226A publication Critical patent/JP2007027226A/ja
Publication of JP2007027226A5 publication Critical patent/JP2007027226A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP2005203876A 2005-07-13 2005-07-13 反射光学系、照明光学装置及び露光装置 Pending JP2007027226A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005203876A JP2007027226A (ja) 2005-07-13 2005-07-13 反射光学系、照明光学装置及び露光装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005203876A JP2007027226A (ja) 2005-07-13 2005-07-13 反射光学系、照明光学装置及び露光装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007027226A JP2007027226A (ja) 2007-02-01
JP2007027226A5 true JP2007027226A5 (ko) 2008-10-30

Family

ID=37787645

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005203876A Pending JP2007027226A (ja) 2005-07-13 2005-07-13 反射光学系、照明光学装置及び露光装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007027226A (ko)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010032753A1 (ja) * 2008-09-18 2010-03-25 株式会社ニコン 開口絞り、光学系、露光装置及び電子デバイスの製造方法
DE102009045135A1 (de) * 2009-09-30 2011-03-31 Carl Zeiss Smt Gmbh Beleuchtungsoptik für die Mikrolithographie
DE102011084266A1 (de) 2011-10-11 2013-04-11 Carl Zeiss Smt Gmbh Kollektor

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3862347B2 (ja) * 1996-04-11 2006-12-27 キヤノン株式会社 Ｘ線縮小露光装置およびこれを利用したデバイス製造方法
JP2004510344A (ja) * 2000-09-29 2004-04-02 カール　ツァイス　シュティフトゥング　トレイディング　アズ　カール　ツァイス 特にマイクロリソグラフィ用の照明光学系
JP2002323599A (ja) * 2001-04-27 2002-11-08 Nikon Corp 多層膜反射鏡の製造方法及び露光装置
DE10208854A1 (de) * 2002-03-01 2003-09-04 Zeiss Carl Semiconductor Mfg Beleuchtungssystem mit genestetem Kollektor zur annularen Ausleuchtung einer Austrittspupille
JP4356695B2 (ja) * 2003-05-09 2009-11-04 株式会社ニコン 照明光学系、投影露光装置、マイクロデバイスの製造方法
JP4366152B2 (ja) * 2003-09-09 2009-11-18 キヤノン株式会社 露光装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6558484B2 (ja) パターン形成装置
TWI712867B (zh) 直接描繪曝光裝置
TWI709006B (zh) 圖案描繪裝置及圖案描繪方法
TWI585541B (zh) A substrate processing apparatus, an element manufacturing system, and an element manufacturing method
JP2004214242A5 (ko)
JP2010062281A5 (ko)
JP2012155330A5 (ja) 露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法
JP2012168543A5 (ja) 投影光学系、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法
JP2016001308A5 (ja) 露光装置、およびデバイス製造方法
JP2015132848A5 (ja) 照明光学系、露光装置、照明方法、露光方法、およびデバイス製造方法
JP6705527B2 (ja) 投影露光装置
JP2010020017A5 (ko)
JP2018063406A5 (ko)
JP2005166785A5 (ko)
JP2007027226A5 (ko)
JP2014035412A (ja) 露光装置、およびデバイス製造方法
JP2005243904A5 (ko)
JP2006220903A5 (ko)
KR102178173B1 (ko) 주사 노광 방법 및 디바이스 제조 방법
TW200400419A (en) Exposure method and apparatus
JP2004158786A5 (ko)
JP2005122132A5 (ko)
JP2010048913A5 (ko)
JP2006058023A5 (ko)
JP2004363571A5 (ko)