JP2007024873A - 起伏検査装置、起伏検査方法、起伏検査装置の制御プログラム、記録媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 被検査物に光照射を行う照射手段(ライン照明2)と、該光照射に対する被検査物表面からの光についてその光強度分布を取得する光強度取得手段(エリアセンサ3)と、上記被検査物表面からの光のうち所定の光だけを取得する撮像手段(ラインセンサ4)と、上記光強度取得手段から得られる光強度分布に基づいて、上記照射手段(ライン照明2)を調整する調整手段(画像処理部20・照明駆動制御部21)と、該調整を行った後の撮像手段の撮像結果に基づいて、被検査物表面に形成された起伏の状態を判定する判定手段(欠陥判定処理部23)とを備える。
【選択図】 図1
Description
被検査物表面からの光の光強度分布を算出する工程と、上記光強度分布に基づいて、上記照射手段および撮像手段の少なくとも一方を調整する工程と、該調整を行った後の撮像手段の撮像結果に基づいて、被検査物表面に形成された起伏の状態を判定する工程とを、コンピュータに実行させることを特徴とする。
2 ライン照明
3 エリアセンサ
4 ラインセンサ
5 基板駆動ステージ
6 照明駆動ステージ
8・8x・8y 制御装置
9 表示モニタ
10 カラーフィルタ基板
19 記憶部
20 20x 画像処理部
21 21x 照明駆動制御部
22 基板駆動制御部
23 欠陥判定処理部
70 光束調節部
71 スリット
77 シリンドリカルレンズ
80 指向フィルタ(縦格子)
90 指向フィルタ(横格子)
110 正反射領域
111 乱反射領域
112 低反射領域
Claims (18)
- 被検査物の表面に形成された起伏の状態を判定する起伏検査装置であって、
上記被検査物に光照射を行う照射手段と、
該光照射に対する被検査物表面からの光についてその光強度分布を取得する光強度取得手段と、
上記被検査物表面からの光のうち所定の光だけを取得する撮像手段と、
上記光強度取得手段から得られる光強度分布に基づいて、上記照射手段および撮像手段の少なくとも一方を調整する調整手段と、
該調整を行った後の撮像手段の撮像結果に基づいて、被検査物表面に形成された起伏の状態を判定する判定手段と、を備えることを特徴とする起伏検査装置。 - 上記調整手段は、上記光強度分布に基づいて正反射領域、乱反射領域および低反射領域を識別するとともに上記撮像手段が上記乱反射領域および低反射領域の境界近傍領域の光を取得できるように、上記照射手段あるいは撮像手段を調整することを特徴とする請求項1記載の起伏検査装置。
- 上記光強度取得手段は、被検査物表面からの光をエリア状に取得するエリアセンサを備えることを特徴とする請求項1記載の起伏検査装置。
- 上記照射手段はライン状に光照射を行うライン照明であり、上記撮像手段は被検査物表面からの光をライン状に取得するラインセンサを備えることを特徴とする請求項1記載の起伏検査装置。
- 上記照射手段に石英ロッドが用いられていることを特徴とする請求項1記載の起伏検査装置。
- 上記被検査物表面からの光が、被検査物表面での反射光であることを特徴とする請求項1記載の起伏検査装置。
- 上記被検査物は光透過性を有し、被検査物表面からの光が、被検査物の裏面から表面へ透過するとともに該表面で反射した光であることを特徴とする請求項1記載の起伏検査装置。
- 上記調整手段は、照射手段あるいは撮像手段を移動させることで両者の相対的位置関係を調整することを特徴とする請求項1記載の起伏検査装置。
- 被検査物の表面に形成された起伏の状態を判定する起伏検査装置であって、
上記被検査物に光照射を行う照射手段と、
上記被検査物表面からの光のうち所定の光だけを取得する撮像手段と、
照射手段を移動させつつ上記撮像手段による撮像を行うことで被検査物表面からの光の光強度分布を取得し、この光強度分布に基づいて上記照射手段および撮像手段の相対的位置関係を設定する設定手段と、
該設定を行った後の撮像手段の撮像結果に基づいて、被検査物表面に形成された起伏の状態を判定する判定手段と、を備えることを特徴とする起伏検査装置。 - 上記設定手段は、上記光強度分布に基づいて正反射領域、乱反射領域および低反射領域を識別するとともに上記撮像手段が上記乱反射領域および低反射領域の境界近傍領域の光を取得できるように、上記照射手段および撮像手段の相対的位置関係を設定することを特徴とする請求項9記載の起伏検査装置。
- 上記照射手段はライン状に光照射を行うライン照明であり、上記撮像手段は被検査物表面からの光をライン状に取得するラインセンサを備えることを特徴とする請求項9記載の起伏検査装置。
- 上記被検査物に光照射を行う照射手段と上記被検査物表面からの光のうち所定の光だけを取得する撮像手段とを用い、被検査物の表面に形成された起伏の状態を判定する起伏検査方法であって、
上記被検査物に光照射を行い、該光照射に対する被検査物表面からの光についてその光強度分布を取得する光強度取得ステップと、
上記光強度取得ステップで得られる光強度分布に基づいて、上記照射手段あるいは撮像手段を調整する調整ステップと、
該調整を行った後の上記撮像手段の撮像結果に基づいて、被検査物表面に形成された起伏の状態を判定する判定ステップと、含むことを特徴とする起伏検査方法。 - 上記調整ステップでは、上記光強度分布に基づいて正反射領域、乱反射領域および低反射領域を識別し、上記撮像手段が上記乱反射領域および低反射領域の境界近傍領域の光を取得できるように、上記照射手段あるいは撮像手段を調整することを特徴とする請求項12記載の起伏検査方法。
- 上記照射手段の照射光の光束を絞る光束調整手段を備えることを特徴とする請求項1または9記載の起伏検査装置。
- 上記光束調整手段はスリットを有することを特徴とする請求項14記載の起伏検査装置。
- 上記スリットの位置および幅の少なくとも一方が可変であることを特徴とする請求項15記載の起伏検査装置。
- 請求項1記載の起伏検査装置を制御する、起伏検査装置の制御プログラムであって、
被検査物表面からの光の光強度分布を算出する工程と、
上記光強度分布に基づいて、上記照射手段および撮像手段の少なくとも一方を調整する工程と、
該調整を行った後の撮像手段の撮像結果に基づいて、被検査物表面に形成された起伏の状態を判定する工程とを、コンピュータに実行させることを特徴とする起伏検査装置の制御プログラム。 - 請求項17に記載の起伏検査装置の制御プログラムが記録されていることを特徴とするコンピュータの読み取り可能な記録媒体。
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