JP2007015022A - 溝部形成方法及び平面光波回路 - Google Patents
溝部形成方法及び平面光波回路 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007015022A JP2007015022A JP2005195738A JP2005195738A JP2007015022A JP 2007015022 A JP2007015022 A JP 2007015022A JP 2005195738 A JP2005195738 A JP 2005195738A JP 2005195738 A JP2005195738 A JP 2005195738A JP 2007015022 A JP2007015022 A JP 2007015022A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- workpiece
- groove
- abrasive grains
- lightwave circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
本発明では、溝部の側壁面の傾斜角度を垂直に近く形成することが可能な溝部形成方法及び当該溝部を備えた平面光波回路を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明に係る溝部形成方法は、被加工物の上面に所定のレジストパターンを形成した後、砥粒を出射するノズルの前記砥粒の出射口からの砥粒の出射中心線が前記被加工物の前記砥粒の当たる上面の法線に対して傾斜するように前記ノズルを配置して前記出射口から前記砥粒を出射させ、前記レジストパターンをマスクにして前記被加工物の前記上面に溝部を形成することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
中心から離れるほど少なくなる。そのため、深さ300μm程度の溝部を形成する場合、図7に示すように、加工された溝部の側壁面61は、溝部のへり63から側壁面61の終端点(側壁面61の傾斜角度が底面62と一致した点64)を見下ろす角度が40°程度の丸みをおびた面ダレ形状となる。
3:ステージ
5:被加工物
6:基板
8:法線
10:ノズル台
11:ノズル
12:出射中心線
13:砥粒
14a:ねじ
14b:ねじ
15a:切り欠き
15b:切り欠き
16a:軸
16b:軸
17:貫通溝
18:角度メモリ
19:切り欠き
20:砥粒出射部
21a:冶具
21b:冶具
22:出射口
23a:冶具
23b:冶具
24a:ローラー軸受け
24b:ローラー軸受け
25a:固定壁
25b:固定壁
26:砥粒密度線
30a:レール
30b:レール
30c:レール
30d:レール
40:クラッド
41:光導波路
42:レジストパターン
45:側壁面
46:溝部
46a、46b、46c:溝部
47:法線
48:底面
50:平面光波回路
60:被加工物
61:側壁面
62:底面
63:へり
64:点
70:ノズル台
71:ノズル
72:砥粒
73a:レール
73b:レール
74:出射中心線
75:ステージ
76:出射口
100:サンドブラスト装置
Claims (4)
- 被加工物の上面に所定のレジストパターンを形成した後、砥粒を出射するノズルの前記砥粒の出射口からの砥粒の出射中心線が前記被加工物の前記砥粒の当たる上面の法線に対して傾斜するように前記ノズルを配置して前記出射口から前記砥粒を出射させ、前記レジストパターンをマスクにして前記被加工物の前記上面に溝部を形成することを特徴とする溝部形成方法。
- さらに、前記出射中心線の前記法線に対する傾斜を維持したまま、前記ノズルと前記被加工物の前記上面との相対位置を前記法線及び前記出射中心線を含む面に対して略垂直方向に変化させることを特徴とする請求項1に記載の溝部形成方法。
- 前記ノズルを、前記出射中心線の前記法線に対する傾斜の角度が20°以上50°以下となるように配置したことを特徴とする請求項1又は2に記載の溝部形成方法。
- 基板に入り込む側壁面により囲まれる溝部を備える平面光波回路であって、前記側壁面は、前記溝部の底面からの高さ1mmまでの間に前記基板の前記上面の法線に対する前記側壁面の傾斜の角度を10°以下にして形成されていることを特徴とする平面光波回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005195738A JP2007015022A (ja) | 2005-07-05 | 2005-07-05 | 溝部形成方法及び平面光波回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005195738A JP2007015022A (ja) | 2005-07-05 | 2005-07-05 | 溝部形成方法及び平面光波回路 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007015022A true JP2007015022A (ja) | 2007-01-25 |
Family
ID=37752617
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005195738A Pending JP2007015022A (ja) | 2005-07-05 | 2005-07-05 | 溝部形成方法及び平面光波回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007015022A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011509834A (ja) * | 2008-01-08 | 2011-03-31 | オプレント エレクトロニクス インターナショナル ピーティーイー エルティーディー | 電子積層体の深部加工方法および本方法を達成するための装置 |
US10030176B2 (en) | 2013-01-10 | 2018-07-24 | E I Du Pont De Nemours And Company | Electrically conductive adhesives comprising fluoroelastomers |
-
2005
- 2005-07-05 JP JP2005195738A patent/JP2007015022A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011509834A (ja) * | 2008-01-08 | 2011-03-31 | オプレント エレクトロニクス インターナショナル ピーティーイー エルティーディー | 電子積層体の深部加工方法および本方法を達成するための装置 |
US10030176B2 (en) | 2013-01-10 | 2018-07-24 | E I Du Pont De Nemours And Company | Electrically conductive adhesives comprising fluoroelastomers |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102499697B1 (ko) | 유연한 기판 시트에서의 홀의 연속 제조 방법 및 이에 관한 물품 | |
US20030045031A1 (en) | Dicing method and dicing apparatus for dicing plate-like workpiece | |
KR100913510B1 (ko) | 기계 가공 기판, 특히 반도체 웨이퍼 | |
KR101770782B1 (ko) | 전기/기계 마이크로칩 및 버스트 초고속 레이저 펄스로 만드는 방법 | |
JP5939752B2 (ja) | ウェーハの分割方法 | |
JP4750427B2 (ja) | ウエーハのレーザー加工方法 | |
KR101889523B1 (ko) | 샌드블라스팅에 의한 절삭 방법 | |
JP2023164878A (ja) | 脆性材料から成る基板の容積に微細な構造を形成する方法 | |
EP2828028B1 (en) | Method and apparatus for forming fine scale structures in dielectric substrate | |
KR20030064808A (ko) | 반도체 재료의 레이저 기계 가공 | |
CN102256739A (zh) | 用于电子部件制造的切割装置以及切割方法 | |
JP2011520153A (ja) | 大口径コアの中空導波路を製造する方法 | |
CN101198218A (zh) | 印刷基板的激光加工方法 | |
JP2007015022A (ja) | 溝部形成方法及び平面光波回路 | |
JPH06269968A (ja) | ガラスの切断方法及びその装置 | |
JP2000323441A (ja) | セラミックス基板上に形成した光導波回路チップの切断方法 | |
JP2016131997A (ja) | レーザ切断光学ユニット及びレーザ切断装置 | |
JP4229380B2 (ja) | 基板保持用真空チャック | |
US20080055695A1 (en) | Method of using an ultrathin optical element | |
JPH11342483A (ja) | 基板の加工方法及びその加工装置 | |
US8709328B2 (en) | Method for forming ventilation holes in an electrode plate | |
JP2001228339A (ja) | ライトガイドをレーザ加工するための方法及び装置、これにより得られるライトガイド、及び該ライトガイドを組み込んだバックライトスクリーン | |
KR20210066910A (ko) | 다중-섹션 디스플레이들을 형성하기 위한 시스템들 및 방법들 | |
US6796145B2 (en) | Method for cutting mother rod lens | |
WO2017006683A1 (ja) | ブラスト加工装置およびブラスト加工による製品製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070814 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070828 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090917 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091006 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100216 |