JP2007010966A - 光スイッチ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】入力光ファイバ102と出力光ファイバ103と、光信号を波長の異なる複数の光信号に分波するグレーティング107と、分波された光信号を各々反射し出力光ファイバ103に対し適宜方向付ける、各々傾斜可能な複数の可動ミラー108a等と、各可動ミラー108a等の傾斜角度を各々検出するミラー角度検出器109a等と、複数の波長の光信号を識別する波長番号λno及び入力光ファイバ102または出力光ファイバ103を識別する出力先番号103を各可動ミラー108a等の傾斜角度に関連付けるテーブル111と、テーブル111から出力される傾斜角度ADとミラー角度検出器109a等からの出力とが一致するように可動ミラー108a等をフィードバック制御する制御回路110とを有する。
【選択図】 図1
Description
第二の独立電極に第一のリファレンス信号とは位相が約180度異なる第二のリファレンス信号を印加し、共通電極に現れる信号を検出することによって第一の容量と第二の容量の差分を検出することが望ましい。
まず、スイッチ装置100の基本動作を説明する。異なる波長を有する独立した光信号は、多重された状態で入力光ファイバ102へ入力される。入力された光は、入力光ファイバ102から出射して、コリメータレンズ104cに入射する。コリメータレンズ104cは、入射した光を平行光に変換して射出する。コリメータレンズ104cを出射した光は、正の屈折力を有するレンズ105と、正の屈折力を有するレンズ106を透過して、グレーティング107に入射する。レンズ105とレンズ106とは、例えば、それぞれ両凸形状を有している。
可動ミラー108a等は、制御回路110により制御される。可動ミラー108a等は、ミラーの傾斜角を検出する角度センサアレイ109と一体的に構成されている。角度センサアレイ109は、各可動ミラー108a等に対応して設けられている角度センサ109a、109b・・・(以下、適宜、「角度センサ109a等」という。)から構成されている。制御回路110は、角度センサ109a等により検出された各可動ミラー108a等の現在の傾斜角度(検出値)と、テーブル111から出力されるミラー角度の目標値とが一致するよう、フィードバック制御を行う。フィードバック制御の詳細については後述する。
可動ミラーアレイ108、角度センサアレイ109の周辺の構成を図2に示す。可動ミラーアレイ108は、ミラー基板121と、ベース基板122から構成される。ミラー基板121とベース基板122は、バンプ123により所定の間隔をもって接続されている。ミラー基板121およびベース基板122には複数の電極が設けられており、電極間の容量を検出することにより可動ミラー108a等の傾斜角度が検出される。
可動ミラーアレイ108および角度センサアレイ109の細部を図3に示す。図3では、可動ミラーアレイ108または角度センサアレイ109を構成するアレイ状の複数の可動ミラー108a等または角度センサ109a等のうち、1つのみの構成を示している。
固定電極群134、可動電極群135は、各々ベース基板122、ミラー基板121の上に、図4、図5に示すように構成されている。図4は可動電極群135の上面図、図5は固定電極群134の上面図である。可動板131には、可動電極として可動側センサ電極141a、141bと、可動側駆動電極142が設けられている。可動側センサ電極141a、141bは結線されており、電気的にはひとつの電極と考えることができる。可動側センサ電極141a、141bからの可動部側センサ電極配線144と、可動側駆動電極142からの可動側駆動電極配線145とは、それぞれ逆側のヒンジ132に沿って引き出されている。
上述したように、可動ミラー108a等の傾斜、即ち可動板131の傾斜は、静電力によって行われる。これは、可動側駆動電極142を一定電位(例えば、GND電位)とし、固定側駆動電極152a、152bに異なった電圧を与えることにより実現できる。例えば、固定側駆動電極152aに固定側駆動電極152bよりも高い(絶対値が大きい)電圧を与えると、可動側駆動電極142との間でより強く静電引力が発生する。このため、可動板131は固定側駆動電極152aの側がベース基板122に近づくように傾斜する。
一方、可動ミラー108a等の傾斜角度の検出は、静電容量の変化を検出することによって行われる。これは、可動側センサ電極141a、141bと固定側センサ電極151a、151bとの間の容量に基づいて行われる。両電極間の距離が小さければ静電容量が大きくなる。これに対して、両電極間の距離が大きくなると静電容量は小さくなる。このため、静電容量を検出することで、可動ミラー108a等の傾斜角度の検出を行うことができる。
このようにして得られた可動ミラー108a等の傾斜角度の情報は、図7に詳細構成を示す制御回路110によって可動ミラー108aの駆動信号へとフィードバックされる。不図示のコントローラからテーブル111に対して、切り替えトリガTRGと波長番号λnoと出力先番号OUTnoとが入力される。なお、制御回路110は、各可動ミラー108a等の数量に応じて設けられている。例えば、k個の可動ミラー108a等のとき、制御回路110もk個設けられている(kは任意の整数)。
制御回路110へ与えられる角度目標値ATは、テーブル111により求められる。本実施例の光スイッチ装置100では、独立した複数の波長の光を、それぞれいずれかの出力光ファイバ103a等へと低損失で結合させる必要がある。このため、テーブル111は、上述したように、波長ごとに、換言すると個々の可動ミラー108a等ごとに、出力先の光ファイバに応じたミラー角度の値を保持している。
実施例1の光スイッチ装置100では図7に示したように角度検出値ADが角度目標値ATと一致するようなフィードバック制御を行っている。換言すると、可動ミラー108a等の駆動電圧は、角度検出値ADと角度目標値ATとの差分を増幅することによって生成されている。しかしながら、これに限られず、本変形例のように、図9に示す構成によるフィードフォワードを併用するようにしてもよい。
また、実施例1の光スイッチ装置では、出力される光量が大きくなるよう、損失が十分小さくなるよう動作するものとして説明している。ここで、テーブルを変更することにより、波長ごとに独立動作可能なアッテネーション機能を実現することもできる。これを実現するための構成を図10に示す。
なお、以上の説明では入力光ファイバが1本、出力光ファイバが4本の場合について説明しているが、出力光ファイバの本数が増減可能なのは言うまでもない。また、図1とは逆向きに光を通すことにより、複数の入力光ファイバからの光を選択して1本の出力光ファイバへと出力することも可能である。いずれの場合においても、本発明によれば出力光ファイバ側にタップやスペクトル・モニターを設けることなく、可動ミラー108a等の制御を行うことができる。
102 入力光ファイバ
103 出力光ファイバ
103a、103b、103c、103d 出力光ファイバ
104 コリメータレンズアレイ
105、106 レンズ
107 グレーティング
108 可動ミラーアレイ
108a、108b 可動ミラー
109 角度センサアレイ
109a、109b 角度センサ
110 制御回路
111、111a、111b テーブル
121 ミラー基板
122 ベース基板
123 バンプ
124 アンプ
131 可動板
132 ヒンジ
133 フレーム
134 固定電極
135 可動電極
136 バンプ用電極
141a、141b 可動側センサ電極
142 可動側駆動電極
143 可動側駆動電極
144 可動側センサ電極配線
151a、151b 固定側センサ電極
152a、152b 固定側駆動電極
153 固定側バンプ用電極
155 固定側駆動電極配線
156 C−V変換回路
157 パルス発生回路
158 反転回路
161 減算回路
162 位相補償回路
163 駆動電圧生成回路
162a、164b ドライバ
171 加算回路
λno 波長番号
OUTno 出力先番号
AT 角度目標値
AD 角度検出値
Claims (14)
- 複数の波長の光信号が多重されて入力される少なくとも一つの入力光ファイバと、
少なくとも一つの出力光ファイバと、
前記入力光ファイバからの光信号を波長の異なる複数の光信号に分波する分光器と、
前記分光器からの分波された光信号を各々反射し前記出力光ファイバに対し適宜方向付ける、各々傾斜可能な複数の可動ミラーと、
前記各可動ミラーの傾斜角度を各々検出するミラー角度検出器と、
前記複数の波長の光信号を識別する第一の値及び前記入力光ファイバまたは前記出力光ファイバを識別する第二の値を前記各可動ミラーの傾斜角度に関連付ける第一の演算器と、
前記第一の演算器から出力される可動ミラーの傾斜角度値と前記ミラー角度検出器からの出力とが一致するように前記可動ミラーをフィードバック制御する制御回路と、
を有することを特徴とする光スイッチ装置。 - 前記第一の値及び前記第二の値を前記各可動ミラーの駆動電圧または駆動電流に関連付ける第二の演算器をさらに有し、
前記第二の演算器の出力は、前記制御回路に対して加算されることを特徴とする請求項1に記載の光スイッチ装置。 - 前記第一の演算器は、更に、前記光信号に与える減衰量に相当する第三の値を前記各可動ミラーの傾斜角度に関連付けることを特徴とする請求項1または2に記載の光スイッチ装置。
- 前記可動ミラーは、ミラーが形成された可動部と、
固定部と、
前記可動部を前記固定部に対し傾斜可能に支持する弾性支持部と、
前記固定部に接続され前記可動部と対向するよう設けられたベース基板と、
前記ベース基板に設けられた固定電極と、
前記可動部に設けられた可動電極とを有し、
前記ミラー角度検出器は、前記固定電極と前記可動電極の間の静電容量に基づいて前記可動ミラーの傾斜角を検出することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の光スイッチ装置。 - 前記固定電極及び前記可動電極のうちのいずれか一方は、前記可動部の傾斜軸を挟んで略対称に設けられた第一の独立電極及び第二の独立電極の2つの電極から成り、
前記固定電極及び前記可動電極のうちの他方は、同電位となる1つの共通電極から成り、
前記ミラー角度検出器は、前記第一の独立電極と前記共通電極により構成される第一の容量と、前記第二の独立電極と前記共通電極により構成される第二の容量と、の差分に基づいて前記可動ミラーの傾斜角度を検出することを特徴とする請求項4に記載の光スイッチ装置。 - 前記固定電極は前記第一の独立電極と前記第二の独立電極とを構成しており、
前記可動電極は前記共通電極を構成していることを特徴とする請求項5に記載の光スイッチ装置。 - 前記第一の独立電極に第一のリファレンス信号を印加し、
前記第二の独立電極に前記第一のリファレンス信号とは位相が約180度異なる第二のリファレンス信号を印加し、
前記共通電極に現れる信号を検出することによって前記第一の容量と前記第二の容量の差分を検出することを特徴とする請求項5に記載の光スイッチ装置。 - 前記固定部または前記ベース基板に、前記第一のリファレンス信号及び前記第二のリファレンス信号を発生するとともに前記共通電極から取り出した信号を増幅するアンプ回路が設けられていることを特徴とする請求項7に記載の光スイッチ装置。
- 前記弾性支持部は前記可動部を挟んで略対称に第一弾性支持部と第二弾性支持部が設けられ、
前記第一弾性支持部と前記第二弾性支持部を結ぶ直線は前記可動ミラーが複数設けられている方向と略直交しており、
前記可動電極からの配線の取出しが、前記第一弾性支持部または前記第二弾性支持部に沿って行なわれていることを特徴とする請求項7に記載の光スイッチ装置。 - 所定の側から順に数えて奇数番目に配置されている前記可動ミラーにおいては前記可動電極からの配線の取出しが前記第一弾性支持部に沿って行われ、
偶数番目に配置されている前記可動ミラーにおいては前記可動電極からの配線の取出しが前記第二弾性支持部に沿って行われていること特徴とする請求項9に記載の光スイッチ装置。 - 前記固定部と前記ベース基板を電気的に接続するための複数の金属柱を有し、
前記可動電極からの配線は前記金属柱を介して前記ベース基板へ各々接続されることを特徴とする請求項9に記載の光スイッチ装置。 - 前記固定部上に設けられた固定駆動電極と、
前記可動部上に前記固定駆動電極と対向して設けられた可動駆動電極と、を有し、
前記固定駆動電極と前記可動駆動電極との間の静電引力によって前記可動部を傾斜させることを特徴とする請求項4〜11のいずれか一項に記載の光スイッチ装置。 - 前記固定電極と前記固定駆動電極、及び前記可動電極と前記可動駆動電極が電気的に分離して設けられていることを特徴とする請求項12に記載の光スイッチ装置。
- 前記可動駆動電極からの配線の引き出しと、前記可動電極からの配線の引き出しとが、前記可動ミラーを挟んで逆側へ行われることを特徴とする請求項12に記載の光スイッチ装置。
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