JP2007005138A - Organic el element and thin organic electroluminescent panel using it - Google Patents

Organic el element and thin organic electroluminescent panel using it Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thin organic EL panel with a sealing performance equivalent to or superior to an organic EL panel using glass with a concave part as a sealing substrate, of low cost, high strength, and high heat conduction. <P>SOLUTION: The organic EL element, provided with a substrate, transparent electrode, shadow mask, cathode-separating wall, organic EL layer, reflective electrode, inorganic protection layer, and moisture absorption layer, has its inorganic protection layer formed so as to cover at least side faces of the organic EL layer and side faces as well as a top face of the reflective electrode, and its moisture absorption layer formed at least on the inorganic protection layer. Further, an adhesive is filled between the element and the sealing substrate to seal the organic EL panel. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、有機EL素子およびそれを用いた薄型の有機ELパネルに関する。より詳細には、本発明は、凹部を設けた封止用基板と吸湿剤とを備えた従来の有機ELパネルに比べて、より薄型で低コストの有機ELパネルを提供すること、および、該パネルの構成要素として適用可能な有機EL素子を提供することに関する。   The present invention relates to an organic EL element and a thin organic EL panel using the same. More specifically, the present invention provides a thinner and lower cost organic EL panel than the conventional organic EL panel provided with a sealing substrate provided with a recess and a hygroscopic agent, and The present invention relates to providing an organic EL element applicable as a component of a panel.

表示装置に適用されるような発光素子の一例としては、有機化合物の薄膜積層構造を有する有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、「有機EL素子」と称する)が知られている。有機EL素子については、1987年、イーストマンコダック社のC.W.Tangらによって、高効率の発光を実現する2層積層構造の有機EL素子が発表されて以来、現在に至るまでに様々な有機EL素子が開発され、その一部は既に実用化され始めている。   As an example of a light-emitting element that can be applied to a display device, an organic electroluminescence element (hereinafter, referred to as “organic EL element”) having a thin film laminated structure of an organic compound is known. Regarding organic EL elements, in 1987, Eastman Kodak's C.I. W. Since Tang et al. Announced the organic EL element having a two-layer structure that realizes high-efficiency light emission, various organic EL elements have been developed so far, and some of them have already been put into practical use.

しかしながら、当該有機EL素子は、素子を構成する有機EL層や反射電極などが、大気中に存在する酸素や水分などの影響を受けて劣化するために、貯蔵寿命や動作寿命が極めて短くなるといった問題をかかえている。したがって、このような問題を解決するために、有機EL素子をガラスや金属缶で封止して、大気中からの水分および酸素の侵入を防ぐ工夫がなされている。中でもガラスを利用することが多いが、これは、ガラスが水分を透過させないこと、および、有機EL素子の透明基板として用いられるガラス基板と線膨張係数が一致するため、貼り合せ後の反りや応力の発生を押さえることが可能であること、といった利点を有するためである。   However, the organic EL element has a very short shelf life and operating life because the organic EL layer and the reflective electrode constituting the element deteriorate due to the influence of oxygen, moisture, etc. existing in the atmosphere. I have a problem. Therefore, in order to solve such a problem, the organic EL element is sealed with glass or a metal can so as to prevent entry of moisture and oxygen from the atmosphere. Of these, glass is often used. This is because glass does not transmit moisture, and the linear expansion coefficient matches that of a glass substrate used as a transparent substrate for organic EL elements. This is because it has the advantage that it is possible to suppress the occurrence of.

より具体的には、図1および図2に示すようなボトムエミッション型の有機ELパネルの場合、最初に、該パネルに適用される有機EL素子を、例えば、透明なガラス基板11上に、色変換フィルタ層21、透明電極22、シャドウマスク23、有機EL層25、反射電極26などの各層を含む有機EL素子の積層膜12を積層することによって形成する。ここで、シャドウマスク23は、有機EL素子の複数の発光部位に相当する位置の開口部を除いた透明基板11および透明電極22の全面に形成されている。また、有機EL層25は、有機材料から形成されているため、反射電極26の成膜後にストライプ形状をエッチング処理で形成する場合、該有機EL層25を劣化させる可能性がある。したがって、このような劣化を生じさせずに、ストライプ状の有機EL層25および反射電極26を形成する必要がある。そのような方法の1つとして、陰極分離壁24を用いる方法がある。この方法は、図2に示すような断面形状の陰極分離壁24を、透明電極22と直交する方向にレジスト材料を用いてフォトリソグラフ法によって形成し、次いで、真空蒸着装置内で有機EL層25成分および反射電極26成分を順次蒸着して、ストライプ状の有機EL層25および反射電極26を形成するという方法である。   More specifically, in the case of a bottom emission type organic EL panel as shown in FIGS. 1 and 2, first, an organic EL element applied to the panel is colored on a transparent glass substrate 11, for example. It is formed by laminating the laminated film 12 of organic EL elements including the conversion filter layer 21, the transparent electrode 22, the shadow mask 23, the organic EL layer 25, the reflective electrode 26, and the like. Here, the shadow mask 23 is formed on the entire surface of the transparent substrate 11 and the transparent electrode 22 excluding openings at positions corresponding to a plurality of light emitting portions of the organic EL element. In addition, since the organic EL layer 25 is made of an organic material, there is a possibility that the organic EL layer 25 may be deteriorated when a stripe shape is formed by etching after the reflective electrode 26 is formed. Therefore, it is necessary to form the stripe-shaped organic EL layer 25 and the reflective electrode 26 without causing such deterioration. As one of such methods, there is a method using a cathode separation wall 24. In this method, a cathode separation wall 24 having a cross-sectional shape as shown in FIG. 2 is formed by a photolithography method using a resist material in a direction orthogonal to the transparent electrode 22, and then the organic EL layer 25 in a vacuum evaporation apparatus. In this method, the stripe-shaped organic EL layer 25 and the reflective electrode 26 are formed by sequentially vapor-depositing the component and the reflective electrode 26 component.

上記のような構成の有機EL素子の場合、図2に示すような、反射電極26に覆われない有機EL層25の僅かな剥き出し部(端部27)が存在する。有機EL層25は、酸素や水分に極めて弱いため、このような状況のまま有機EL素子を大気中に暴露すると、前記端部27を通じて水分などが侵入して有機EL層25を短時間で劣化させ、最終的には発光を生じなくさせる。この他にも、反射電極26が、侵入した酸素によって酸化され、導電性や反射率が低下するという劣化も生じる。したがって、このような劣化を防止するために、一般的には、有機EL素子形成後に、酸素や水分を極限まで抑えたチャンバー内で、有機EL素子と封止用基板14とを、図1(b)のように紫外線硬化型の接着剤13などで接合して封止する。しかしながら、接合に利用される接着剤13は、高分子でできていて密度が粗いために水分などが比較的容易に出入りしてしまう。したがって、接着剤13の隙間から侵入する水分を捕獲するために、有機EL素子および封止基板14の間に吸湿剤15を内蔵させる。さらにこの際、封止用基板14には、該基板と有機EL素子の積層膜12との接触を避けるため、かつ、吸湿剤15の入る隙間を確保するために、有機EL素子の積層膜12と対向する位置に凹部19を設けた基板が用いられることがある。これにより、吸湿剤15を有機EL素子に接触させることなく、封止用基板14の接合部を数μmレベルまで有機EL素子の透明基板11に近づけること(すなわち、接着剤13の厚さを減少させること)が可能となるため、封止用基板14に平板ガラスを用いた有機ELパネルよりも封止性能をさらに高めることができる(特許文献1参照)。   In the case of the organic EL element having the above configuration, there is a slight exposed portion (end portion 27) of the organic EL layer 25 that is not covered with the reflective electrode 26 as shown in FIG. Since the organic EL layer 25 is extremely sensitive to oxygen and moisture, when the organic EL element is exposed to the atmosphere in such a situation, moisture or the like enters through the end portion 27 and degrades the organic EL layer 25 in a short time. In the end, no light emission occurs. In addition to this, the reflective electrode 26 is oxidized by the invading oxygen, so that the conductivity and the reflectance are deteriorated. Therefore, in order to prevent such deterioration, generally, after the formation of the organic EL element, the organic EL element and the sealing substrate 14 are placed in a chamber in which oxygen and moisture are minimized as shown in FIG. As shown in b), they are joined and sealed with an ultraviolet curable adhesive 13 or the like. However, since the adhesive 13 used for joining is made of a polymer and has a low density, moisture and the like can enter and exit relatively easily. Therefore, in order to capture moisture entering from the gaps in the adhesive 13, the hygroscopic agent 15 is incorporated between the organic EL element and the sealing substrate 14. Further, at this time, in order to avoid contact between the substrate and the organic EL element laminated film 12 and to secure a gap for the moisture absorbent 15 to enter the sealing substrate 14, the organic EL element laminated film 12. In some cases, a substrate provided with a recess 19 at a position opposite to is used. Accordingly, the bonding portion of the sealing substrate 14 is brought close to the transparent substrate 11 of the organic EL element to a level of several μm without bringing the hygroscopic agent 15 into contact with the organic EL element (that is, the thickness of the adhesive 13 is reduced). Therefore, the sealing performance can be further enhanced as compared with an organic EL panel using flat glass for the sealing substrate 14 (see Patent Document 1).

特開2004−235077号公報JP 2004-235077 A

凹部19を設けた封止用基板14を適用する図1のような有機ELパネルによれば封止性能は大幅に高められるものの、サンドブラストやエッチングによって、封止用基板14に数百μmの深さの凹部19を形成する必要があり、平板ガラスを適用する場合に比べて非常に高コストとなる。また、凹部19を設けた封止用基板14では、凹部19の肉厚が薄くなることと、加工時に入ったマイクロクラックとの影響で機械的強度が低下する。この機械的強度の低下を避けるため、封止用基板14に比較的厚いガラス(厚さ:0.7mm〜2mm)が一般的に使用されるが、これにより有機ELパネル全体の厚さを薄くできないのが現状である。   According to the organic EL panel as shown in FIG. 1 to which the sealing substrate 14 provided with the recess 19 is applied, the sealing performance is greatly improved, but the depth of several hundred μm is formed in the sealing substrate 14 by sandblasting or etching. It is necessary to form the concave portion 19, which is very expensive compared to the case where flat glass is applied. Further, in the sealing substrate 14 provided with the recesses 19, the mechanical strength is lowered due to the influence of the thickness of the recesses 19 being reduced and the microcracks entered during the processing. In order to avoid this decrease in mechanical strength, a relatively thick glass (thickness: 0.7 mm to 2 mm) is generally used for the sealing substrate 14, but this reduces the thickness of the entire organic EL panel. The current situation is not possible.

さらに、有機ELパネルを高輝度発光させた場合、自己発熱によって有機ELパネルの温度が上昇して動作寿命が顕著に低下してくるため、発生した熱を効率よく外部に放熱させる必要がある。しかしながら、図1(b)に示すような封止構造の有機ELパネルでは、有機ELパネルの内部(凹部19)が中空であり、そこを通じての熱伝導がほとんど期待できないために、自己発熱による動作寿命の低下を解決することができない。   Further, when the organic EL panel emits light with high brightness, the temperature of the organic EL panel rises due to self-heating and the operation life is remarkably reduced. Therefore, it is necessary to efficiently dissipate the generated heat to the outside. However, in the organic EL panel having a sealing structure as shown in FIG. 1B, the inside (recessed portion 19) of the organic EL panel is hollow, and almost no heat conduction through it can be expected. Cannot solve the decrease in life.

したがって、本発明の目的は、封止用基板14に凹部19を設けたガラスなどを使用する従来の有機ELパネルに比べて同等以上の封止性能を確保しつつ、安価で高強度かつ高熱伝導の実用的で薄型の有機ELパネルを提供すること、およびその有機ELパネルの構成要素として適用可能な有機EL素子を提供することにある。   Therefore, an object of the present invention is to provide a sealing performance equal to or higher than that of a conventional organic EL panel using glass or the like in which a recess 19 is provided on the sealing substrate 14, while being inexpensive, high strength, and high thermal conductivity. Are to provide a practical and thin organic EL panel, and to provide an organic EL element applicable as a component of the organic EL panel.

本発明は、上述の課題を解決するために、以下の通りの発明を提供する。   In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides the following inventions.

本発明の有機EL素子は、透明基板と、前記透明基板上にストライプ状に形成された透明電極と、前記透明電極上に複数の開口部を有するように形成されたシャドウマスクと、前記透明電極に対して直交する方向および前記シャドウマスクの開口部間に形成された陰極分離壁と、前記シャドウマスクの開口部内および前記陰極分離壁上に形成された少なくとも有機発光層を含む有機EL層と、前記有機EL層上に形成された反射電極とを有する有機EL素子であって、前記有機EL層の側面並びに反射電極の側面および上面を少なくとも覆うように形成された無機保護層と、少なくとも前記無機保護層上に形成された吸湿層とをさらに有することを特徴とする。   The organic EL device of the present invention includes a transparent substrate, a transparent electrode formed in a stripe shape on the transparent substrate, a shadow mask formed so as to have a plurality of openings on the transparent electrode, and the transparent electrode A cathode separation wall formed between the direction perpendicular to the shadow mask and the opening of the shadow mask, and an organic EL layer including at least an organic light emitting layer formed in the shadow mask opening and on the cathode separation wall; An organic EL element having a reflective electrode formed on the organic EL layer, the inorganic protective layer formed to cover at least the side surface of the organic EL layer and the side surface and top surface of the reflective electrode, and at least the inorganic It further has a moisture absorption layer formed on the protective layer.

また、本発明の有機ELパネルは、上記有機EL素子と、封止用基板と、前記有機EL素子および封止用基板を接合するための接着剤とを有する有機ELパネルであって、
前記有機EL素子と封止用基板との間に前記接着剤を隙間無く充填して、前記有機EL素子および封止用基板が貼り合わされていることを特徴とする。
The organic EL panel of the present invention is an organic EL panel having the organic EL element, a sealing substrate, and an adhesive for joining the organic EL element and the sealing substrate.
The adhesive is filled with no gap between the organic EL element and the sealing substrate, and the organic EL element and the sealing substrate are bonded together.

封止用基板として凹部を設けたガラスを用いる代わりに平板ガラスを用いた場合、接合部(接着剤層)の厚みは相対的に厚くなるため、一般的に封止性能は減少する。しかしながら、本発明によれば、有機EL層および反射電極の周囲を、無機保護層および吸湿層で直接的に被覆しているため封止性能が大幅に向上し、平板ガラスの使用による封止性能の減少分をカバーすることができる。したがって、本発明によれば、封止性能を減少させることなく封止用基板に平板ガラスを使用できるため、封止用基板に凹部を設けたガラスなどを使用する従来の有機ELパネルに比べて安価な有機ELパネルを提供することができる。また、平板ガラスの使用により封止用基板の厚みをより薄くでき、従来の有機ELパネルよりも薄型の有機ELパネルを提供することができる。   When flat glass is used instead of the glass provided with the recess as the sealing substrate, the thickness of the joint (adhesive layer) becomes relatively thick, so that the sealing performance generally decreases. However, according to the present invention, since the periphery of the organic EL layer and the reflective electrode is directly covered with the inorganic protective layer and the hygroscopic layer, the sealing performance is greatly improved. The decrease of can be covered. Therefore, according to the present invention, since flat glass can be used for the sealing substrate without reducing the sealing performance, compared to a conventional organic EL panel using glass or the like having a recess in the sealing substrate. An inexpensive organic EL panel can be provided. Moreover, the thickness of the substrate for sealing can be made thinner by using flat glass, and an organic EL panel thinner than the conventional organic EL panel can be provided.

また、本発明の有機ELパネルは、該パネルを構成する有機EL素子と封止用基板との間を接着剤で隙間なく充填して固着させる構造のため、パネル内に隙間を有する従来の有機ELパネルに比べて、高強度で放熱性能の良好な有機ELパネルを提供することもできる。この際、充填した接着剤から生じる水分やガス成分による有機EL素子の劣化が考えられるが、本発明では、有機EL層および反射電極が無機保護層と吸湿層とで直接的に被覆されているので、このような影響を受けることがない。   In addition, the organic EL panel of the present invention has a structure in which the space between the organic EL element constituting the panel and the sealing substrate is filled and fixed with an adhesive without any gap, so that the conventional organic EL panel having a gap in the panel is used. It is also possible to provide an organic EL panel that has higher strength and better heat dissipation performance than an EL panel. At this time, deterioration of the organic EL element due to moisture and gas components generated from the filled adhesive can be considered, but in the present invention, the organic EL layer and the reflective electrode are directly covered with the inorganic protective layer and the moisture absorbing layer. So you will not be affected by this.

この他、上記に示したような封止性能および放熱性能の向上により、本発明の有機ELパネルは、貯蔵寿命および動作寿命の長寿命化を実現できる。   In addition, the organic EL panel of the present invention can realize a long shelf life and an operating life by improving the sealing performance and the heat dissipation performance as described above.

本発明は、上記のような特徴を有するが、図3に本発明の有機ELパネルの1つの実施形態を示す。本発明の有機ELパネルは、有機EL素子と封止用基板34との間に接着剤33が充填された構造になっている。この内、有機EL素子は、透明基板11と、前記透明基板11上にストライプ状に形成された透明電極22と、前記透明電極22上に複数の開口部を有するように形成されたシャドウマスク23と、前記透明電極22に対して直交方向および前記シャドウマスク23の開口部間に形成された陰極分離壁24と、前記シャドウマスク23の開口部内および前記陰極分離壁24上に形成された少なくとも有機発光層を含む有機EL層25と、前記有機EL層25上に形成された反射電極26と、前記有機EL層25の側面並びに前記反射電極26の側面および上面を少なくとも覆うように形成された無機保護層31と、少なくとも前記無機保護層31上に形成された吸湿層32とを有する構造をしている。図3の有機ELパネルはさらに、透明基板11と透明電極22との間に色変換フィルタ層21を有している。   Although the present invention has the above-described features, FIG. 3 shows one embodiment of the organic EL panel of the present invention. The organic EL panel of the present invention has a structure in which an adhesive 33 is filled between the organic EL element and the sealing substrate 34. Among these, the organic EL element includes a transparent substrate 11, a transparent electrode 22 formed in a stripe shape on the transparent substrate 11, and a shadow mask 23 formed so as to have a plurality of openings on the transparent electrode 22. A cathode separation wall 24 formed in a direction orthogonal to the transparent electrode 22 and between the openings of the shadow mask 23, and at least organic formed in the opening of the shadow mask 23 and on the cathode separation wall 24. An organic EL layer 25 including a light emitting layer, a reflective electrode 26 formed on the organic EL layer 25, and an inorganic layer formed so as to cover at least the side surface of the organic EL layer 25 and the side surface and top surface of the reflective electrode 26. The protective layer 31 and the hygroscopic layer 32 formed on at least the inorganic protective layer 31 are used. The organic EL panel of FIG. 3 further includes a color conversion filter layer 21 between the transparent substrate 11 and the transparent electrode 22.

透明基板11は、積層される層の形成に用いられる条件(溶媒、温度等)に耐えるものであるべきであり、かつ、寸法安定性に優れていることが好ましい。好ましい材料は、ガラス、ポリエチレンテレフタレート、ポリメチルメタクリレートなどの樹脂を含む。あるいはまた、ポリオレフィン、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂またはポリイミド樹脂などから形成される可撓性フィルムを基板として用いてもよい。   The transparent substrate 11 should be able to withstand the conditions (solvent, temperature, etc.) used for forming the layer to be laminated, and preferably has excellent dimensional stability. Preferred materials include resins such as glass, polyethylene terephthalate, polymethyl methacrylate. Alternatively, a flexible film formed from polyolefin, acrylic resin, polyester resin, polyimide resin, or the like may be used as the substrate.

必要に応じて、透明基板11上に、色変換フィルタ層21を形成することができる。本明細書において、色変換フィルタ層21とは、カラーフィルタ層、色変換層、およびカラーフィルタ層と色変換層との積層体の総称を指す。フルカラー表示を可能にするためには、少なくとも青色(B)領域、緑色(G)領域および赤色(R)領域の光を放出する独立した色変換フィルタ層21が設けられる。なお、有機EL層25自体で、前記R、G、B領域を含む光を放出できる場合には、色変換フィルタ層21としてカラーフィルタ層のみの構成を用いることができる。   The color conversion filter layer 21 can be formed on the transparent substrate 11 as necessary. In this specification, the color conversion filter layer 21 refers to a generic name of a color filter layer, a color conversion layer, and a laminate of a color filter layer and a color conversion layer. In order to enable full color display, an independent color conversion filter layer 21 that emits light of at least a blue (B) region, a green (G) region, and a red (R) region is provided. If the organic EL layer 25 itself can emit light including the R, G, and B regions, the color conversion filter layer 21 can be configured with only a color filter layer.

カラーフィルタ層は、所望される波長域の光のみを透過させる層である。また、色変換層との積層構成を採る場合、色変換層にて波長分布変換された光の色純度を向上させることにカラーフィルタ層は有効である。例えば、市販の液晶用カラーフィルタ材料(富士フィルムアーチ製カラーモザイクなど)を用いてカラーフィルタ層を形成してもよい。   The color filter layer is a layer that transmits only light in a desired wavelength range. In the case of adopting a laminated structure with the color conversion layer, the color filter layer is effective in improving the color purity of the light subjected to wavelength distribution conversion in the color conversion layer. For example, the color filter layer may be formed using a commercially available color filter material for liquid crystal (such as a color mosaic manufactured by Fuji Film Arch).

色変換層とは、有機EL層25にて発光される近紫外領域ないし可視領域の光、特に青色ないし青緑色領域の光を吸収して異なる波長の可視光を発光するものである。RGBそれぞれの色変換層は、少なくとも有機蛍光色素とマトリクス樹脂とを含む。   The color conversion layer absorbs light in the near ultraviolet region or visible region emitted from the organic EL layer 25, particularly light in the blue or blue-green region, and emits visible light having a different wavelength. Each of the RGB color conversion layers includes at least an organic fluorescent dye and a matrix resin.

1)有機蛍光色素
本発明において、好ましくは、少なくとも赤色領域の蛍光を発する蛍光色素の1種類以上を用い、さらに緑色領域の蛍光を発する蛍光色素の1種類以上と組み合わせてもよい。これは、光源として青色ないし青緑色領域の光を発光する有機EL層25を用いる場合、有機EL層25からの光を単なる赤色フィルタに通して赤色領域の光を得ようとすると、元々赤色領域の波長の光が少ないために極めて暗い出力光になってしまうからである。
1) Organic fluorescent dye In the present invention, preferably, at least one fluorescent dye emitting fluorescence in the red region is used, and further combined with one or more fluorescent dyes emitting green region fluorescence. This is because when the organic EL layer 25 that emits light in the blue to blue-green region is used as the light source, if light from the organic EL layer 25 is passed through a simple red filter to obtain light in the red region, This is because the output light becomes extremely dark due to the small amount of light of the wavelength.

したがって、有機EL層25からの青色ないし青緑色領域の光を、蛍光色素によって赤色領域の光に変換することにより、十分な強度を有する赤色領域の光の出力が可能となる。発光体から発せられる青色から青緑色領域の光を吸収して、赤色領域の蛍光を発する蛍光色素としては、例えばローダミンB、ローダミン6G、ローダミン3B、ローダミン101、ローダミン110、スルホローダミン、ベーシックバイオレット11、ベーシックレッド2などのローダミン系色素、シアニン系色素、1−エチル−2−[4−(p−ジメチルアミノフェニル)−1,3−ブタジエニル]−ピリジニウムパークロレート(ピリジン1)などのピリジン系色素、あるいはオキサジン系色素などが挙げられる。さらに、各種染料(直接染料、酸性染料、塩基性染料、分散染料など)も蛍光性があれば使用することができる。   Therefore, by converting the light in the blue or blue-green region from the organic EL layer 25 into the light in the red region by the fluorescent dye, the light in the red region having sufficient intensity can be output. Examples of fluorescent dyes that absorb light in the blue to blue-green region emitted from the luminescent material and emit fluorescence in the red region include rhodamine B, rhodamine 6G, rhodamine 3B, rhodamine 101, rhodamine 110, sulforhodamine, basic violet 11 Pyridine dyes such as rhodamine dyes such as basic red 2, cyanine dyes, 1-ethyl-2- [4- (p-dimethylaminophenyl) -1,3-butadienyl] -pyridinium perchlorate (pyridine 1) Or oxazine dyes. Furthermore, various dyes (direct dyes, acid dyes, basic dyes, disperse dyes, etc.) can be used if they are fluorescent.

発光体から発せられる青色ないし青緑色領域の光を吸収して、緑色領域の蛍光を発する蛍光色素としては、例えば3−(2’−ベンゾチアゾリル)−7−ジエチルアミノ−クマリン(クマリン6)、3−(2’−ベンゾイミダゾリル)−7−ジエチルアミノ−クマリン(クマリン7)、3−(2’−N−メチルベンゾイミダゾリル)−7−ジエチルアミノ−クマリン(クマリン30)、2,3,5,6−1H,4H−テトラヒドロ−8−トリフルオロメチルキノリジン(9,9a,1−gh)クマリン(クマリン153)などのクマリン系色素、あるいはクマリン色素系染料であるベーシックイエロー51、さらにはソルベントイエロー11、ソルベントイエロー116などのナフタルイミド系色素などが挙げられる。さらに、各種染料(直接染料、酸性染料、塩基性染料、分散染料など)も蛍光性があれば使用することができる。   Examples of fluorescent dyes that absorb blue to blue-green light emitted from a light emitter and emit green light include 3- (2′-benzothiazolyl) -7-diethylamino-coumarin (coumarin 6), 3- (2′-Benzimidazolyl) -7-diethylamino-coumarin (coumarin 7), 3- (2′-N-methylbenzimidazolyl) -7-diethylamino-coumarin (coumarin 30), 2,3,5,6-1H, 4H -Coumarin-based dyes such as tetrahydro-8-trifluoromethylquinolidine (9,9a, 1-gh) coumarin (coumarin 153), or basic yellow 51 which is a coumarin dye-based dye, solvent yellow 11, solvent yellow 116 And naphthalimide dyes. Furthermore, various dyes (direct dyes, acid dyes, basic dyes, disperse dyes, etc.) can be used if they are fluorescent.

さらに、青色領域の光に関しては、有機EL層25が発する近紫外光または青緑色光の波長分布変換を行って青色光を出力する青色変換層を含んでもよい。ただし、有機EL層25が青色から青緑色の光を発する場合、青色カラーフィルタ層のみを用いることが好ましい。   Furthermore, regarding the light in the blue region, a blue conversion layer that performs wavelength distribution conversion of near-ultraviolet light or blue-green light emitted from the organic EL layer 25 and outputs blue light may be included. However, when the organic EL layer 25 emits blue to blue-green light, it is preferable to use only the blue color filter layer.

有機EL層25が白色発光する場合には、カラーフィルタ層のみにて所望の色を得ることができるが、各色変換層を用いることによりカラーフィルタ層のみの場合よりも高い効率で3原色の発光を得ることが可能となる。   When the organic EL layer 25 emits white light, a desired color can be obtained only by the color filter layer, but by using each color conversion layer, light emission of the three primary colors can be performed with higher efficiency than in the case of only the color filter layer. Can be obtained.

なお、本発明に用いる有機蛍光色素を、ポリメタクリル酸エステル、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合樹脂、アルキッド樹脂、芳香族スルホンアミド樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、ベンゾグアナミン樹脂およびこれらの樹脂混合物などに予め練り込んで顔料化して、有機蛍光顔料としてもよい。また、これらの有機蛍光色素や有機蛍光顔料(本明細書中で、前記2つを合わせて有機蛍光色素と総称する)は単独で用いてもよく、蛍光の色相を調整するために2種以上を組み合わせて用いてもよい。   The organic fluorescent dye used in the present invention is a polymethacrylate, polyvinyl chloride, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer resin, alkyd resin, aromatic sulfonamide resin, urea resin, melamine resin, benzoguanamine resin, and these resins. An organic fluorescent pigment may be obtained by kneading into a mixture or the like in advance to obtain a pigment. In addition, these organic fluorescent dyes and organic fluorescent pigments (in the present specification, the above two are collectively referred to as organic fluorescent dyes) may be used alone, or two or more of them may be used to adjust the hue of fluorescence. May be used in combination.

本発明の色変換層は、該色変換層の重量を基準として0.01〜5質量%、より好ましくは0.1〜2質量%の有機蛍光色素を含有する。前記含有量範囲の有機蛍光色素を用いることにより、濃度消光などの効果による色変換効率の低下を伴うことなしに、充分な波長変換を行うことが可能となる。   The color conversion layer of the present invention contains 0.01 to 5% by mass, more preferably 0.1 to 2% by mass of an organic fluorescent dye based on the weight of the color conversion layer. By using the organic fluorescent dye in the content range, it is possible to perform sufficient wavelength conversion without being accompanied by a decrease in color conversion efficiency due to effects such as concentration quenching.

2)マトリクス樹脂
次に、本発明の色変換層に用いられるマトリクス樹脂は、光硬化性または光熱併用型硬化性樹脂(レジスト)を光および/または熱処理して、ラジカル種またはイオン種を発生させて重合または架橋させ、不溶不融化させたものである。また、色変換層のパターニングを行うために、該光硬化性または光熱併用型硬化性樹脂は、未露光の状態において有機溶媒またはアルカリ溶液に可溶性であることが望ましい。
2) Matrix resin Next, the matrix resin used in the color conversion layer of the present invention generates radical species or ion species by light and / or heat treatment of a photocurable or photothermal combination type curable resin (resist). Polymerized or cross-linked and insoluble and infusible. In order to perform patterning of the color conversion layer, it is desirable that the photocurable or photothermal combination type curable resin is soluble in an organic solvent or an alkaline solution in an unexposed state.

具体的には、マトリクス樹脂は、(1)アクリロイル基やメタクリロイル基を複数有するアクリル系多官能モノマーおよびオリゴマーと、光または熱重合開始剤とからなる組成物膜を光または熱処理して、光ラジカルまたは熱ラジカルを発生させて重合させたもの、(2)ボリビニル桂皮酸エステルと増感剤とからなる組成物を光または熱処理により二量化させて架橋したもの、(3)鎖状または環状オレフィンとビスアジドとからなる組成物膜を光または熱処理してナイトレンを発生させ、オレフィンと架橋させたもの、および(4)エポキシ基を有するモノマーと酸発生剤とからなる組成物膜を光または熱処理により、酸(カチオン)を発生させて重合させたものなどを含む。特に、(1)のアクリル系多官能モノマーおよびオリゴマーと光または熱重合開始剤とからなる組成物を重合させたものが好ましい。なぜなら、該組成物は高精細なパターニングが可能であり、および重合した後は耐溶剤性、耐熱性等の信頼性が高いからである。   Specifically, the matrix resin is obtained by subjecting a composition film comprising (1) an acrylic polyfunctional monomer and oligomer having a plurality of acryloyl groups and methacryloyl groups and light or heat polymerization initiator to light or heat treatment, Or a polymer obtained by generating thermal radicals, (2) a composition comprising a polyvinylcinnamic acid ester and a sensitizer dimerized by light or heat treatment, and (3) a chain or cyclic olefin A composition film composed of bisazide is irradiated with light or heat to generate nitrene and crosslinked with olefin, and (4) a composition film composed of a monomer having an epoxy group and an acid generator is subjected to light or heat treatment, Including those polymerized by generating an acid (cation). In particular, a polymer obtained by polymerizing a composition comprising the acrylic polyfunctional monomer and oligomer (1) and light or a thermal polymerization initiator is preferred. This is because the composition can be patterned with high definition and has high reliability such as solvent resistance and heat resistance after polymerization.

本発明で用いることができる光重合開始剤、増感剤および酸発生剤は、含まれる蛍光変換色素が吸収しない波長の光によって重合を開始させるものであることが好ましい。本発明の色変換層において、光硬化性または光熱併用型硬化性樹脂中の樹脂自身が光または熱により重合することが可能である場合には、光重合開始剤および熱重合開始剤を添加しないことも可能である。   The photopolymerization initiator, sensitizer, and acid generator that can be used in the present invention are preferably those that initiate polymerization by light having a wavelength that is not absorbed by the fluorescent conversion dye contained therein. In the color conversion layer of the present invention, when the resin itself in the photocurable or photothermal combination curable resin can be polymerized by light or heat, a photopolymerization initiator and a thermal polymerization initiator are not added. It is also possible.

マトリクス樹脂(色変換層)は、光硬化性または光熱併用型硬化性樹脂、有機蛍光色素および添加剤を含有する溶液または分散液を、支持基板上に塗布して樹脂の層を形成し、そして所望される部分の光硬化性または光熱併用型硬化性樹脂を露光することにより重合させて形成される。所望される部分に露光を行って光硬化性または光熱併用型硬化性樹脂を不溶化させた後に、パターニングを行う。該パターニングは、未露光部分の樹脂を溶解または分散させる有機溶媒またはアルカリ溶液を用いて、未露光部分の樹脂を除去するなどの慣用の方法によって実施することができる。   A matrix resin (color conversion layer) is formed by applying a solution or dispersion containing a photocurable or photothermal combination curable resin, an organic fluorescent dye and an additive on a support substrate, and forming a resin layer, and It is formed by polymerizing a desired portion of a photocurable or photothermal combination type curable resin by exposure. Patterning is performed after exposing the desired portion to insolubilize the photocurable or photothermal combination type curable resin. The patterning can be performed by a conventional method such as removing the resin in the unexposed portion using an organic solvent or an alkali solution in which the resin in the unexposed portion is dissolved or dispersed.

3)構成
赤色に関しては、赤色変換層のみから形成されてもよい。しかし、蛍光色素による変換のみでは十分な色純度が得られない場合は、赤色変換層とカラーフィルタ層との積層体としてもよい。カラーフィルタ層を併用する場合、カラーフィルタ層の厚さは1〜2μmであることが好ましい。
3) Configuration Regarding red, it may be formed of only a red color conversion layer. However, when sufficient color purity cannot be obtained only by conversion with a fluorescent dye, a laminate of a red conversion layer and a color filter layer may be used. When the color filter layer is used in combination, the thickness of the color filter layer is preferably 1 to 2 μm.

また、緑色に関しては、緑色変換層のみから形成されてもよい。しかし、蛍光色素による変換のみでは十分な色純度が得られない場合は、緑色変換層とカラーフィルタ層との積層体としてもよい。カラーフィルタ層を併用する場合、カラーフィルタ層の厚さは1〜2μmであることが好ましい。   Moreover, about green, you may form only from a green conversion layer. However, when sufficient color purity cannot be obtained only by conversion with a fluorescent dye, a laminate of a green conversion layer and a color filter layer may be used. When the color filter layer is used in combination, the thickness of the color filter layer is preferably 1 to 2 μm.

一方、青色に関しては、カラーフィルタ層のみとすることができる。カラーフィルタ層のみを用いる場合、その厚さは1〜17μmであることが好ましい。   On the other hand, for blue, only the color filter layer can be used. When only the color filter layer is used, the thickness is preferably 1 to 17 μm.

色変換層は、スピンコート法、ロールコート法、キャスト法、ディップコート法などを用いて基板に塗布し、続いてフォトリソグラフ法などを用いてパターニングすることによって形成することができる。色変換層の厚さは5〜15μmであることが好ましい。   The color conversion layer can be formed by applying to a substrate using a spin coat method, a roll coat method, a cast method, a dip coat method, etc., and then patterning using a photolithographic method or the like. The thickness of the color conversion layer is preferably 5 to 15 μm.

色変換フィルタ層21を形成する場合、ブラックマトリックスを、各色に対応する色変換フィルタ層21の間の領域に、スピンコート法、ロールコート法、キャスト法、ディップコート法などを用いて基板に塗布し、続いてフォトリソグラフ法などを用いてパターニングすることによって形成することが好ましい。ブラックマトリックスの材料としては、市販の液晶用などのフラットパネルディスプレイ用ブラックマトリックス材料などを用いることができる。ブラックマトリックスを設けることによって、隣接するサブピクセルの色変換フィルタ層21への光の漏れを防止して、にじみのない所望される蛍光変換色のみを得ることが可能となる。後述する有機ELパネルの封止を妨げないことを条件として、透明基板11上の色変換フィルタ層21が設けられている領域の周囲にブラックマスクを設けてもよい。   When the color conversion filter layer 21 is formed, the black matrix is applied to the substrate using a spin coating method, a roll coating method, a casting method, a dip coating method, or the like, in a region between the color conversion filter layers 21 corresponding to each color. Then, it is preferably formed by patterning using a photolithographic method or the like. As the black matrix material, a commercially available black matrix material for flat panel displays such as for liquid crystal can be used. By providing the black matrix, it is possible to prevent leakage of light to the color conversion filter layer 21 of the adjacent sub-pixel and obtain only a desired fluorescence conversion color without blur. You may provide a black mask around the area | region in which the color conversion filter layer 21 on the transparent substrate 11 is provided on the condition that sealing of the organic EL panel mentioned later is not prevented.

任意選択的に、色変換フィルタ層21を覆うように平滑層を、キャスト法、スピンコート法またはロールディップコート法で形成することができる。この平滑層は、色変換フィルタ層21上に平滑な塗膜を形成することができ、色変換層の機能を低下させないポリマー材料で構成されることが好ましい。より好ましくは、該材料は、可視域における透明性が高く(400〜800nmの範囲で透過率50%以上)、電気絶縁性を有し、水分、酸素および低分子成分に対するバリア性を有するポリマー材料である。   Optionally, a smooth layer can be formed by a casting method, a spin coating method or a roll dip coating method so as to cover the color conversion filter layer 21. This smooth layer is preferably made of a polymer material that can form a smooth coating film on the color conversion filter layer 21 and does not deteriorate the function of the color conversion layer. More preferably, the material is a polymer material having high transparency in the visible region (transmittance of 50% or more in the range of 400 to 800 nm), electrical insulation, and barrier properties against moisture, oxygen, and low molecular components. It is.

上記のようなブラックマトリックス、色変換フィルタ層21、平滑層などを形成した場合、これらから生じる水分やガス成分などによって有機EL層25などが劣化する可能性がある。したがって、任意選択的ではあるが、これらの最上部に50nm〜1000nmの厚さのSiO、SiNなどからなるガスバリア層を、スパッタ法やCVD法によって形成することが望ましい。 When the black matrix, the color conversion filter layer 21, the smooth layer, and the like as described above are formed, the organic EL layer 25 and the like may be deteriorated by moisture, gas components, and the like generated therefrom. Therefore, although it is optional, it is desirable to form a gas barrier layer made of SiO 2 , SiN or the like having a thickness of 50 nm to 1000 nm on these uppermost portions by sputtering or CVD.

透明基板11上、または存在する場合に前述の色変換フィルタ層21などの上に、透明電極22(陽極)をスパッタ法によって積層する。透明電極22は、SnO、In、ITO、IZO、ZnO:Alなどの導電性金属酸化物を用いて形成される。透明電極22は、波長400〜800nmの光に対して好ましくは50%以上、より好ましくは85%以上の透過率を有することが好ましい。 A transparent electrode 22 (anode) is laminated by sputtering on the transparent substrate 11 or, if present, on the color conversion filter layer 21 described above. The transparent electrode 22 is formed using a conductive metal oxide such as SnO 2 , In 2 O 3 , ITO, IZO, ZnO: Al. The transparent electrode 22 preferably has a transmittance of 50% or more, more preferably 85% or more with respect to light having a wavelength of 400 to 800 nm.

透明電極22は、第一の方向に延びるストライプ状の複数の部分電極から形成される。そのような透明電極22は、所望の形状を与えるマスクを用いて形成してもよいし、最初に基板上に均一な層を形成してフォトリソグラフィーなどを用いて形成してもよいし、あるいはリフトオフ法を用いて形成してもよい。   The transparent electrode 22 is formed of a plurality of striped partial electrodes extending in the first direction. Such a transparent electrode 22 may be formed by using a mask that gives a desired shape, may be formed by first forming a uniform layer on the substrate and using photolithography, or the like, or You may form using a lift-off method.

次いで、シャドウマスク23を、有機EL素子の複数の発光部位に相当する位置の開口部を除いた透明基板11および透明電極22の全面に形成する。シャドウマスク23は、有機または無機の絶縁性材料を用いて形成することができる。例えば、有機材料としては、ノボラック系樹脂膜(例えば、「JEM−700R2」、商品名、JSR製)のような感光性レジスト材料などを用いることができ、無機材料としては、SiO、SiN、SiN、AlO、TiO、TaOなどの無機酸化物または無機窒化物などを用いることができる。ここで、シャドウマスク23に無機材料を使用した場合、シャドウマスク23は、その下に設けられる色変換フィルタ層21などからの水分および酸素が有機EL層25に侵入するのを防止するガスバリア層としての機能も有することができる。一方、感光性レジスト材料のような有機材料を使用した場合には、シャドウマスク23の加工は通常のフォトプロセスだけで精度良く実現でき、工程を簡略化できる。 Next, the shadow mask 23 is formed on the entire surface of the transparent substrate 11 and the transparent electrode 22 excluding openings at positions corresponding to a plurality of light emitting portions of the organic EL element. The shadow mask 23 can be formed using an organic or inorganic insulating material. For example, a photosensitive resist material such as a novolac resin film (for example, “JEM-700R2”, trade name, manufactured by JSR) can be used as the organic material, and SiO x , SiN x can be used as the inorganic material. Inorganic oxides or inorganic nitrides such as SiN x O y , AlO x , TiO x , and TaO x can be used. Here, when an inorganic material is used for the shadow mask 23, the shadow mask 23 serves as a gas barrier layer that prevents moisture and oxygen from the color conversion filter layer 21 and the like provided thereunder from entering the organic EL layer 25. It can also have the function of. On the other hand, when an organic material such as a photosensitive resist material is used, processing of the shadow mask 23 can be realized with high accuracy only by a normal photo process, and the process can be simplified.

なお、シャドウマスク23は、任意の色を有することができるが、透明(この場合、70〜100%の可視光透過率を有することが望ましい)であってもよい。あるいはまた、シャドウマスク23を黒色にして、ブラックマトリックスと同様の性能を発揮させることができる。また、シャドウマスク23は、絶縁性を確保するために、0.1〜5μm、好ましくは1〜2μmの膜厚を有することが望ましい。   The shadow mask 23 can have any color, but may be transparent (in this case, it is desirable to have a visible light transmittance of 70 to 100%). Alternatively, the shadow mask 23 can be made black to exhibit the same performance as the black matrix. The shadow mask 23 desirably has a thickness of 0.1 to 5 μm, preferably 1 to 2 μm, in order to ensure insulation.

次いで、陰極分離壁24を、有機レジスト材料を使用して、シャドウマスク23の開口部間、および透明電極22と直交する方向(すなわち、第一の方向に対して直交方向)に連続的に延びるように、露光量や露光時間などを調整して所望の断面形状を有するようにフォトリソグラフ法で形成した。陰極分離壁24の断面形状としては、反射電極26の形成において、該電極を正確に分離でき、陽極と短絡させない形状であればどのような形状をとってもよいが、中でも、底面幅が5μm以上、上面幅が底面幅+3〜+10μm、高さが2〜5μmの逆テーパの形状が好ましい。このような逆テーパ形状であれば、以下で詳述する無機保護層31および吸湿層33を都合よく形成することができる。   Next, the cathode separation wall 24 is continuously extended between the openings of the shadow mask 23 and in a direction orthogonal to the transparent electrode 22 (that is, a direction orthogonal to the first direction) using an organic resist material. As described above, the exposure amount and the exposure time were adjusted to form a desired cross-sectional shape by a photolithographic method. The cross-sectional shape of the cathode separation wall 24 may be any shape as long as the electrode can be accurately separated in the formation of the reflective electrode 26 and is not short-circuited with the anode. A reverse taper shape having an upper surface width of +3 to +10 μm and a height of 2 to 5 μm is preferable. With such a reverse taper shape, the inorganic protective layer 31 and the hygroscopic layer 33 described in detail below can be conveniently formed.

次に、透明電極22および陰極分離壁24の上に有機EL層25が形成される。有機EL層25は、有機発光層を少なくとも含み、必要に応じて正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、電子注入層を含む。これらの各層は、それぞれにおいて所望される特性を実現するのに充分な膜厚を有して形成される。例えば、下記のような層構成からなるものが採用される。
(1)有機発光層
(2)正孔注入層/有機発光層
(3)有機発光層/電子注入層
(4)正孔注入層/有機発光層/電子注入層
(5)正孔輸送層/有機発光層/電子注入層
(6)正孔注入層/正孔輸送層/有機発光層/電子注入層
(7)正孔注入層/正孔輸送層/有機発光層/電子輸送層/電子注入層
(上記の構成において、陽極として機能する電極が左側に接続され、陰極として機能する電極が右側に接続される)
Next, the organic EL layer 25 is formed on the transparent electrode 22 and the cathode separation wall 24. The organic EL layer 25 includes at least an organic light emitting layer, and includes a hole injection layer, a hole transport layer, an electron transport layer, and an electron injection layer as necessary. Each of these layers is formed to have a film thickness sufficient to realize desired characteristics in each layer. For example, what consists of the following layer structures is employ | adopted.
(1) Organic light emitting layer (2) Hole injection layer / organic light emitting layer (3) Organic light emitting layer / electron injection layer (4) Hole injection layer / organic light emitting layer / electron injection layer (5) Hole transport layer / Organic light emitting layer / electron injection layer (6) Hole injection layer / hole transport layer / organic light emitting layer / electron injection layer (7) Hole injection layer / hole transport layer / organic light emitting layer / electron transport layer / electron injection Layer (In the above configuration, the electrode functioning as the anode is connected to the left side, and the electrode functioning as the cathode is connected to the right side)

正孔注入層と正孔輸送層の両機能を有する正孔注入輸送層を用いてもよく、また、電子注入層と電子輸送層の両機能を有する電子注入輸送層を用いてもよい。   A hole injection / transport layer having both functions of a hole injection layer and a hole transport layer may be used, or an electron injection / transport layer having both functions of an electron injection layer and an electron transport layer may be used.

有機発光層の材料としては、任意の公知の材料を用いることができる。例えば、青色から青緑色の発光を得るためには、例えば、ベンゾチアゾール系、ベンゾイミダゾール系、ベンゾオキサゾール系などの蛍光増白剤、金属キレート化オキソニウム化合物、スチリルベンゼン系化合物、芳香族ジメチリディン系化合物などの材料が好ましく使用される。あるいはまた、ホスト化合物にドーパントを添加することによって、種々の波長域の光を発する有機発光層を形成してもよい。ホスト化合物としては、ジスチリルアリーレン系化合物(例えば、出光興産製IDE−120など)、N,N’−ジトリル−N,N’−ジフェニルビフェニルアミン(TPD)、アルミニウムトリス(8−キノリノラート)(Alq)などを用いることができる。ドーパントとしては、ペリレン(青紫色)、クマリン6(青色)、キナクリドン系化合物(青緑色〜緑色)、ルブレン(黄色)、4−ジシアノメチレン−2−(p−ジメチルアミノスチリル)−6−メチル−4H−ピラン(DCM、赤色)、白金オクタエチルポルフィリン錯体(PtOEP、赤色)などを用いることができる。 Any known material can be used as the material of the organic light emitting layer. For example, in order to obtain light emission from blue to blue-green, for example, fluorescent brighteners such as benzothiazole, benzimidazole, and benzoxazole, metal chelated oxonium compounds, styrylbenzene compounds, aromatic dimethylidin compounds Such materials are preferably used. Or you may form the organic light emitting layer which emits the light of a various wavelength range by adding a dopant to a host compound. Examples of host compounds include distyrylarylene compounds (for example, IDE-120 manufactured by Idemitsu Kosan Co., Ltd.), N, N′-ditolyl-N, N′-diphenylbiphenylamine (TPD), aluminum tris (8-quinolinolate) (Alq). 3 ) etc. can be used. As dopants, perylene (blue purple), coumarin 6 (blue), quinacridone compounds (blue green to green), rubrene (yellow), 4-dicyanomethylene-2- (p-dimethylaminostyryl) -6-methyl- 4H-pyran (DCM, red), platinum octaethylporphyrin complex (PtOEP, red), or the like can be used.

正孔注入層の材料としては、Pc類(CuPcなどを含む)またはインダンスレン系化合物などを用いることができる。   As a material for the hole injection layer, Pc (including CuPc) or indanthrene compounds can be used.

正孔輸送層は、トリフェニルアミン誘導体(TPD)、N,N’−ビス(1−ナフチル)−N,N’−ジフェニルビフェニルアミン(α−NPD)、4,4’,4”−トリス−(N−3−トリル−N−フェニルアミノ)トリフェニルアミン(m−MTDATA)、N,N,N’−テトラビフェニル−4,4’−ビフェニレンジアミン(TBPB)などのようなトリアリールアミン系材料を用いることができる。   The hole transport layer is composed of triphenylamine derivative (TPD), N, N′-bis (1-naphthyl) -N, N′-diphenylbiphenylamine (α-NPD), 4,4 ′, 4 ″ -tris- Triarylamine materials such as (N-3-tolyl-N-phenylamino) triphenylamine (m-MTDATA), N, N, N′-tetrabiphenyl-4,4′-biphenylenediamine (TBPB), etc. Can be used.

電子輸送層としては、2−(4−ビフェニル)−5−(p−tブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール(PBD)のようなオキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、トリアジン誘導体、フェニルキノキサリン類、およびアルミニウムのキノリノール錯体(例えばAlq)などを用いることができる。   As the electron transport layer, oxadiazole derivatives such as 2- (4-biphenyl) -5- (pt-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazole (PBD), triazole derivatives, triazine derivatives, Phenylquinoxalines, aluminum quinolinol complexes (eg, Alq), and the like can be used.

電子注入層の材料としては、アルミニウム錯体、またはアルカリ金属ないしアルカリ土類金属をドープしたアルミニウムのキノリノール錯体(例えば、Alq)を用いてもよい。 As the material for the electron injection layer, an aluminum complex or an aluminum quinolinol complex doped with an alkali metal or an alkaline earth metal (for example, Alq 3 ) may be used.

さらに電子注入性を向上させるために、有機EL層25と反射電極26との界面にバッファ層を設けてもよい。バッファ層の材料としては、Li、Na、K、またはCsなどのアルカリ金属、Ba、Srなどのアルカリ土類金属またはそれらを含む合金、希土類金属、あるいはそれら金属のフッ化物などを用いることができるが、それらに限定されるものではない。バッファ層の膜厚は、駆動電圧および透明性等を考慮して適宜選択することができるが、通常の場合には10nm以下であることが好ましい。   In order to further improve the electron injection property, a buffer layer may be provided at the interface between the organic EL layer 25 and the reflective electrode 26. As the material of the buffer layer, alkali metals such as Li, Na, K, or Cs, alkaline earth metals such as Ba and Sr, alloys containing them, rare earth metals, or fluorides of these metals can be used. However, it is not limited to them. The film thickness of the buffer layer can be appropriately selected in consideration of the driving voltage, transparency, and the like, but in a normal case, it is preferably 10 nm or less.

有機EL層25を構成するそれぞれの層は、蒸着法(抵抗加熱または電子ビーム加熱)などの当該技術分野において知られている任意の手段を用いて形成することができる。   Each layer constituting the organic EL layer 25 can be formed by using any means known in the art such as vapor deposition (resistance heating or electron beam heating).

反射電極26(陰極)は、蒸着(抵抗加熱または電子ビーム加熱)、イオンプレーティング、レーザーアブレーションなどの当該技術分野において知られている任意の手段を用いて、有機EL層25上に積層される。反射電極26は、90%以上の反射率を有するAl、Agのような金属またはそれらの合金を用いて形成されることが好ましい。中でも、低コストで高反射率のAlが特に好ましい。   The reflective electrode 26 (cathode) is laminated on the organic EL layer 25 by using any means known in the art such as vapor deposition (resistance heating or electron beam heating), ion plating, laser ablation. . The reflective electrode 26 is preferably formed using a metal such as Al or Ag having a reflectance of 90% or more, or an alloy thereof. Of these, low cost and high reflectivity Al is particularly preferable.

なお、本実施形態においては、透明電極22と直交する方向に図3に示すような逆テーパ状の陰極分離壁24が形成されている。したがって、Alなどからなる反射電極26を蒸着法などで形成すると、反射電極26の成分は、陰極分離壁の根元付近までは回り込まずに直線的に垂直方向に堆積していく。その結果、反射電極26は分断され、透明電極に対して直交方向に延びるストライプ状の反射電極26が形成される。   In the present embodiment, a reverse-tapered cathode separation wall 24 as shown in FIG. 3 is formed in a direction orthogonal to the transparent electrode 22. Therefore, when the reflective electrode 26 made of Al or the like is formed by vapor deposition or the like, the components of the reflective electrode 26 are linearly deposited in the vertical direction without going around the base of the cathode separation wall. As a result, the reflective electrode 26 is divided, and a striped reflective electrode 26 extending in a direction orthogonal to the transparent electrode is formed.

無機保護層31とは、有機EL素子を劣化させる水分や酸素などが該素子へ侵入することを防止する層であり、SiOやSiNなどの材料からなり、スパッタまたはCVDなどを用いて適用される。シャドウマスク23が無機材料の場合、シャドウマスク23自体に無機保護層31と同等の機能(ガスバリア層)が備わっているため、無機保護層31は、図3に示すように少なくとも露出している有機EL層25の側面部並びに反射電極26の側面部および上面部に形成すればよいが、好ましくは、図4に示すように有機EL素子の表面全てを被覆するように形成した方がよい。また、シャドウマスク23が有機材料の場合には、水分や酸素が該シャドウマスク23を通じて、有機EL層25に侵入する可能性があるため、図4に示すように有機EL素子の表面全てを被覆するように形成することが好ましい。無機保護層31の形成方法としては、陰極分離壁24の影になる部分への無機保護層31成分の回り込みが大きい、上記のようなスパッタやCVDを用いることが望ましいが、基板を自公転させるような手段をとれば、電子ビーム蒸着やイオンプレーティング法を用いることもできる。無機保護層31の厚さは、保護性能と膜応力との兼ね合いで選定されるが、50nm〜1000nm、好ましくは、100nm〜600nmが望ましい。 The inorganic protective layer 31 is a layer that prevents moisture, oxygen, or the like that deteriorates the organic EL element from entering the element, and is made of a material such as SiO 2 or SiN, and is applied by sputtering or CVD. The When the shadow mask 23 is made of an inorganic material, the shadow mask 23 itself has a function (gas barrier layer) equivalent to that of the inorganic protective layer 31. Therefore, the inorganic protective layer 31 is at least exposed as shown in FIG. It may be formed on the side surface portion of the EL layer 25 and the side surface portion and the upper surface portion of the reflective electrode 26, but preferably it is formed so as to cover the entire surface of the organic EL element as shown in FIG. Further, when the shadow mask 23 is an organic material, moisture and oxygen may enter the organic EL layer 25 through the shadow mask 23, so that the entire surface of the organic EL element is covered as shown in FIG. It is preferable to form so as to. As a method for forming the inorganic protective layer 31, it is desirable to use the above-described sputtering or CVD, in which the inorganic protective layer 31 component wraps around the shadowed portion of the cathode separation wall 24, but the substrate is revolved. If such means is taken, electron beam evaporation or ion plating can be used. The thickness of the inorganic protective layer 31 is selected in consideration of the protection performance and the film stress, but 50 nm to 1000 nm, preferably 100 nm to 600 nm is desirable.

無機保護層31の上には吸湿層32が設けられる。無機保護層31として欠陥が全くない層を形成して一切の水分を透過させないようにすることができれば吸湿層32は必ずしも必要ではないが、そのような完全無欠な無機保護層31を形成するのは非常に困難であり、ピンホール、粒界の隙間、その他の欠陥などが生じやすい。そこで無機保護層21にこのような欠陥が生じていてもそこから水分を透過させないように無機保護層31の上に吸湿層32を設ける。   A hygroscopic layer 32 is provided on the inorganic protective layer 31. The hygroscopic layer 32 is not necessarily required if a layer having no defects can be formed as the inorganic protective layer 31 so as not to allow any moisture to permeate. However, such a perfect inorganic protective layer 31 is formed. Is very difficult to easily cause pinholes, grain boundary gaps, and other defects. Therefore, even if such a defect occurs in the inorganic protective layer 21, a moisture absorbing layer 32 is provided on the inorganic protective layer 31 so that moisture does not permeate therethrough.

吸湿層32は、接合部を通じて侵入してきた水分や、接着剤に含有している水分を捕獲する層であり、NaOやKOのようなアルカリ金属酸化物、CaOやSrO、BaO、MgOのようなアルカリ土類金属酸化物、NaSOやCaSO、MgSOのような硫酸塩、CaCl、MgClのような金属ハロゲン化物などの材料からなる。吸湿層32は、無機保護層31で使用される方法と同様な方法を用いて適用され、図3または図4に示すように、少なくとも無機保護層31の形成前に露出していた有機EL層25の側面部並びに反射電極26の側面部および上面部に該吸湿層33を形成すればよいが、好ましくは、図5に示すように有機EL素子の表面全てを被覆するように形成した方がよい。 The moisture absorption layer 32 is a layer that captures moisture that has penetrated through the bonding portion and moisture contained in the adhesive, and includes alkali metal oxides such as Na 2 O and K 2 O, CaO, SrO, BaO, It consists of materials such as alkaline earth metal oxides such as MgO, sulfates such as Na 2 SO 4 , CaSO 4 and MgSO 4 , metal halides such as CaCl 2 and MgCl 2 . The hygroscopic layer 32 is applied using a method similar to the method used in the inorganic protective layer 31, and as shown in FIG. 3 or FIG. 4, the organic EL layer exposed at least before the formation of the inorganic protective layer 31 The moisture absorbing layer 33 may be formed on the side surface portion 25 and the side surface portion and the upper surface portion of the reflective electrode 26. Preferably, the moisture absorbing layer 33 is formed so as to cover the entire surface of the organic EL element as shown in FIG. Good.

さらに、本実施形態の有機EL素子を、乾燥窒素雰囲気内(例えば、酸素5ppm以下、水分5ppm以下)に移動させ、図7のような真空滴下貼り合せ法によって封止することができる。この真空滴下貼り合せ法とは、封止用基板34上に紫外線硬化型のエポキシ系またはアクリル系低粘度接着剤33(0.3〜3Pa・sの粘度を有する)を滴下した後、0.1〜10Paの真空下において、封止用基板34および有機EL素子を重ね合せ、引き続き大気圧に開放することによって有機EL素子と封止用基板34とを貼り合せる方法である。この方法によれば、有機EL素子および封止用基板34の間を隙間なく接着剤で充填することが可能である。この際、封止用基板34上の接着部の周囲部分に対応する位置に、紫外線硬化型のエポキシ系またはアクリル系高粘度接着剤61(100〜400Pa・sの粘度を有し、スペーサとなるビーズを含有してもよい)で土手部分を予め作製しておくことにより、きれいな充填形状および一定のギャップ間隔を維持することができる。貼り合せ終了後、必要に応じてマスクした上で封止用基板34側もしくは透明基板11側から紫外線を照射して、低粘度接着剤33および高粘度接着剤61を硬化させ、最終的な有機ELパネルを形成することができる。なお、熱硬化型の接着剤で代用する場合には、紫外線ではなく加熱することで同様に対応することができる。   Furthermore, the organic EL element of this embodiment can be moved into a dry nitrogen atmosphere (for example, oxygen 5 ppm or less, moisture 5 ppm or less) and sealed by a vacuum drop bonding method as shown in FIG. This vacuum dropping bonding method is a method in which an ultraviolet curable epoxy-based or acrylic low-viscosity adhesive 33 (having a viscosity of 0.3 to 3 Pa · s) is dropped on the sealing substrate 34, and then, 0. In this method, the sealing substrate 34 and the organic EL element are overlapped under a vacuum of 1 to 10 Pa, and subsequently released to atmospheric pressure to bond the organic EL element and the sealing substrate 34 together. According to this method, it is possible to fill the space between the organic EL element and the sealing substrate 34 with no adhesive. At this time, an ultraviolet curable epoxy-based or acrylic high-viscosity adhesive 61 (having a viscosity of 100 to 400 Pa · s is provided as a spacer at a position corresponding to the peripheral portion of the bonding portion on the sealing substrate 34. By preparing the bank portion in advance (which may contain beads), a clean filling shape and a constant gap interval can be maintained. After the bonding is completed, masking is performed as necessary, and ultraviolet rays are irradiated from the sealing substrate 34 side or the transparent substrate 11 side to cure the low viscosity adhesive 33 and the high viscosity adhesive 61, and the final organic An EL panel can be formed. In addition, when it substitutes with a thermosetting type adhesive agent, it can respond similarly by heating instead of an ultraviolet-ray.

また、前述した接着剤に、高い熱伝導性を有する充填剤(例えば、シリコーン、炭素繊維、金属粉末など)を添加することもできる。ただし、この場合、紫外線硬化を妨げないという条件が必要となる。   In addition, a filler having high thermal conductivity (for example, silicone, carbon fiber, metal powder, etc.) can be added to the adhesive described above. However, in this case, the condition that the ultraviolet curing is not hindered is necessary.

封止用基板34は、上記の封止工程の条件(接着剤成分、温度等)に耐えられるものであり、かつ、寸法安定性に優れていることが好ましい。さらに、使用される透明基板11との線膨張係数を考慮して選択されることが好ましい。封止用基板34の材料としては、ガラス、金属、またはポリエチレンテレフタレート、ポリメチルメタクリレートなどの樹脂を用いることができるが、中でもガラスが好ましい。あるいはまた、ポリオレフィン、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂またはポリイミド樹脂などから形成される可撓性フィルムを基板として用いることも可能である。   It is preferable that the sealing substrate 34 can withstand the above-described sealing process conditions (adhesive component, temperature, etc.) and has excellent dimensional stability. Furthermore, it is preferable to select in consideration of the linear expansion coefficient with the transparent substrate 11 to be used. As a material of the sealing substrate 34, glass, metal, or a resin such as polyethylene terephthalate or polymethyl methacrylate can be used, and glass is particularly preferable. Alternatively, a flexible film formed from polyolefin, acrylic resin, polyester resin, polyimide resin, or the like can be used as the substrate.

また、封止用基板34に、有機EL素子の積層膜(有機EL層25、陰極分離壁24などを含む)の膜厚程度(数十μm)の深さを有する浅い凹部を設ければ、有機EL素子の周辺部で図1(b)のような狭いギャップを形成することができ、図6(b)の構造以上に封止性能を向上させることができる。凹部をサンドブラスト加工で形成する場合、サンドブラストのコストは、一般的に加工深さに大きく依存するが、上記のような比較的浅い凹部加工では、加工費用は極端に安く抑えることができる。   Further, if a shallow concave portion having a depth (several tens of μm) as thick as a laminated film of organic EL elements (including the organic EL layer 25 and the cathode separation wall 24) is provided on the sealing substrate 34, A narrow gap as shown in FIG. 1B can be formed at the periphery of the organic EL element, and the sealing performance can be improved more than the structure of FIG. 6B. In the case where the recess is formed by sandblasting, the cost of sandblasting generally depends largely on the processing depth, but the processing cost can be kept extremely low in the above relatively shallow recess processing.

以下、実施例により本発明をより具体的に説明するが、これらは本発明を限定するものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは言うまでもない。なお、本実施例は、図5の構成の有機ELパネルに基づくものである。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically by way of examples. However, these examples do not limit the present invention, and it goes without saying that various modifications can be made without departing from the scope of the present invention. In addition, a present Example is based on the organic electroluminescent panel of the structure of FIG.

有機EL素子の透明基板11としては、230mm×200mm×厚さ0.7mmの大きさの無アルカリガラス基板を使用した。該基板を用いた場合、有機EL素子の複数取りが可能であるが、以下においては、複数の有機EL素子の中の1つの有機EL素子について説明する。前記透明基板11の色変換フィルタ層21を形成する部分以外の部分に、感光性フォトレジストをスピンコートし、フォトリソグラフィー法を用いてブラックマトリックスを形成した。次いで、色変換フィルタ層21を構成するカラーフィルタおよび色変換層をスピンコートとその後のフォトリソグラフィーで順次形成した。形成したブラックマトリックスおよび色変換フィルタ層21の上面に平滑層をスピンコートとその後のフォトリソグラフィーで形成し、次いで、これらの各層から生じる水分やガス成分を遮断するために、約200nmのSiOのガスバリア層をスパッタで形成した。ここでスパッタ装置にはRF−プレーナマグネトロン装置を使用し、スパッタガスにはArを使用した。ガスバリア層形成時における基板温度は80℃とした。 As the transparent substrate 11 of the organic EL element, an alkali-free glass substrate having a size of 230 mm × 200 mm × thickness 0.7 mm was used. When the substrate is used, a plurality of organic EL elements can be obtained. Hereinafter, one organic EL element among the plurality of organic EL elements will be described. A photosensitive photoresist was spin coated on the transparent substrate 11 other than the portion where the color conversion filter layer 21 was formed, and a black matrix was formed using a photolithography method. Next, a color filter and a color conversion layer constituting the color conversion filter layer 21 were sequentially formed by spin coating and subsequent photolithography. A smooth layer is formed on the upper surface of the formed black matrix and the color conversion filter layer 21 by spin coating and subsequent photolithography, and then about 200 nm of SiO 2 is used to block moisture and gas components generated from each of these layers. A gas barrier layer was formed by sputtering. Here, an RF-planar magnetron apparatus was used as the sputtering apparatus, and Ar was used as the sputtering gas. The substrate temperature during the formation of the gas barrier layer was 80 ° C.

さらに、ガスバリア層の上面に、ターゲットとしてIDIXO(出光興産株式会社製、インジウムおよび亜鉛の酸化物と酸化インジウムとの混合物)を用いるスパッタ法によって膜厚300nmのIZOを全面成膜した。成膜されたIZO上にレジスト剤「OFPR−800」(東京応化社製)をスピンコートした後、フォトリソグラフィー法にてパターニングを行い、ストライプ状の複数の部分電極からなる透明電極22を形成した。   Further, an IZO film having a thickness of 300 nm was formed on the entire surface of the gas barrier layer by sputtering using IDIXO (produced by Idemitsu Kosan Co., Ltd., a mixture of indium and zinc oxides and indium oxide) as a target. After spin-coating a resist agent “OFPR-800” (manufactured by Tokyo Ohka Co., Ltd.) on the formed IZO, patterning was performed by photolithography to form a transparent electrode 22 composed of a plurality of stripe-shaped partial electrodes. .

これに有機レジスト剤を塗布して1μmのレジスト膜を形成し、次いで、フォトプロセスで、透明電極22上の発光部位に開口部を設けてシャドウマスク23を形成した。シャドウマスク23の開口部は、約80μm×240μmとした。次に、マトリックス駆動型構造の有機EL素子となるように、透明電極22を形成するストライプの延びる方向と直交する方向で、シャドウマスク23の開口部間の隙間に位置する部分に陰極分離壁24を形成した。ここで、陰極分離壁24は、有機レジスト材料を使用し、露光時間を調整して、上面が約12μm幅、底面が約6μm幅、高さ約4μmの逆テーパ形状とした。   An organic resist agent was applied thereon to form a 1 μm resist film, and then a shadow mask 23 was formed by providing an opening at a light emitting portion on the transparent electrode 22 by a photo process. The opening of the shadow mask 23 was about 80 μm × 240 μm. Next, the cathode separation wall 24 is formed in a portion located in the gap between the openings of the shadow mask 23 in a direction orthogonal to the extending direction of the stripe forming the transparent electrode 22 so as to be an organic EL element having a matrix driving structure. Formed. Here, the cathode separation wall 24 was made of an organic resist material, and the exposure time was adjusted to have a reverse taper shape with a top surface of about 12 μm width, a bottom surface of about 6 μm width, and a height of about 4 μm.

次いで、陰極分離壁24まで形成された基板を抵抗加熱蒸着装置内に装着し、正孔注入層、正孔輸送層、有機発光層、電子注入層を、真空を破らずに順次成膜し、有機EL層25を形成した。成膜に際して真空槽内圧は1×10−4Pa まで減圧した。正孔注入層としては膜厚100nmの銅フタロシアニン(CuPc)を積層した。正孔輸送層としては膜厚20nmの4,4′−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(α−NPD)を積層した。発光層としては膜厚30nmの4,4′−ビス(2,2′−ジフェニルビニル)ビフェニル(DPVBi)を積層した。電子注入層としては膜厚20nmのアルミキレート(Alq)を積層した。 Next, the substrate formed up to the cathode separation wall 24 is mounted in a resistance heating vapor deposition apparatus, and a hole injection layer, a hole transport layer, an organic light emitting layer, and an electron injection layer are sequentially formed without breaking the vacuum, An organic EL layer 25 was formed. During film formation, the internal pressure of the vacuum chamber was reduced to 1 × 10 −4 Pa. As the hole injection layer, copper phthalocyanine (CuPc) having a film thickness of 100 nm was laminated. As the hole transporting layer, 4,4′-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenylamino] biphenyl (α-NPD) having a thickness of 20 nm was laminated. As the light emitting layer, 4,4′-bis (2,2′-diphenylvinyl) biphenyl (DPVBi) having a thickness of 30 nm was laminated. As the electron injection layer, an aluminum chelate (Alq 3 ) having a thickness of 20 nm was laminated.

有機EL層25を形成した後、陰極分離壁24を利用して、透明電極22のストライプに対して直交する方向に延びるストライプ状の反射電極26が得られるように、厚さ200nmのAlからなる反射電極26を、真空を破らずに蒸着で形成した。   After the organic EL layer 25 is formed, the cathode separation wall 24 is used to form a stripe-shaped reflective electrode 26 extending in a direction orthogonal to the stripe of the transparent electrode 22 and made of Al having a thickness of 200 nm. The reflective electrode 26 was formed by vapor deposition without breaking the vacuum.

反射電極26を形成した後、該基板をインライン(大気開放せず)のまま対向スパッタのチャンバー内に移動し、圧力を1Pa、基板温度を80℃に設定し、スパッタガスにArを使用して、SiOからなる無機保護層31を200nm成膜した。この対向スパッタは、有機EL層25にダメージを与えにくく、かつ、陰極分離壁24の根元までスパッタ成分を回り込ませることが期待できるため、無機保護層31および吸湿層33の形成においては有効な手段である。上記のように形成された無機保護層31は、図5に示すように、陰極分離壁24の根元に至るまで隙間なく全面に形成されていた。同様に対向スパッタを用いて、SrOからなる吸湿層32を、図5に示すように無機保護層31上の全面を覆うように2μmの厚さで成膜して、最終的な有機EL素子を形成した。 After forming the reflective electrode 26, the substrate is moved in-line (without opening to the atmosphere) into the facing sputtering chamber, the pressure is set to 1 Pa, the substrate temperature is set to 80 ° C., and Ar is used as the sputtering gas. An inorganic protective layer 31 made of SiO 2 was formed to a thickness of 200 nm. This counter sputtering hardly damages the organic EL layer 25 and can be expected to cause the sputter components to wrap around to the base of the cathode separation wall 24. Therefore, it is an effective means for forming the inorganic protective layer 31 and the moisture absorbing layer 33. It is. As shown in FIG. 5, the inorganic protective layer 31 formed as described above was formed on the entire surface without a gap until reaching the base of the cathode separation wall 24. Similarly, by using facing sputtering, a moisture absorbing layer 32 made of SrO is formed to a thickness of 2 μm so as to cover the entire surface of the inorganic protective layer 31 as shown in FIG. Formed.

次いで、形成された有機EL素子を、酸素5ppm、水分5ppm以下の貼り合せ装置に移動させた。貼り合せ装置内には、予めアセトン洗浄および200℃、5分間の真空加熱乾燥が終了している230mm×200mm×厚さ0.3mmの無アルカリ平板ガラス(封止用基板34)がセットされている。図7に示すように、この封止用基板34の接着部の周囲部分に対応する56mm×46mmの外周位置に、紫外線硬化型のビーズ含有エポキシ系高粘度接着剤61をディスペンサーで塗布しておき、引き続きパネル中央部に対応する位置に、高粘度接着剤61よりも低粘度の紫外線硬化型のエポキシ系低粘度接着剤33を滴下し、約1Pa程度まで減圧して、有機EL素子および封止用基板34を貼り合せた。貼り合せ後、大気圧に解放し、封止用基板34側から紫外線を照射した。次いで、加熱炉に入れて80℃で1時間加熱し、炉内で30分間自然冷却して取り出し、有機ELパネルを作製した。   Next, the formed organic EL element was moved to a bonding apparatus having 5 ppm oxygen and 5 ppm water. In the laminating apparatus, 230 mm × 200 mm × 0.3 mm thick non-alkali flat glass (sealing substrate 34), which has been previously washed with acetone and vacuum heated and dried at 200 ° C. for 5 minutes, is set. Yes. As shown in FIG. 7, an ultraviolet curable bead-containing epoxy-based high-viscosity adhesive 61 is applied to a peripheral position of 56 mm × 46 mm corresponding to the peripheral portion of the bonding portion of the sealing substrate 34 with a dispenser. Subsequently, an ultraviolet curable epoxy low-viscosity adhesive 33 having a viscosity lower than that of the high-viscosity adhesive 61 is dropped at a position corresponding to the center portion of the panel, and the pressure is reduced to about 1 Pa to reduce the organic EL element and the sealing. A substrate 34 was attached. After bonding, the pressure was released to atmospheric pressure, and ultraviolet rays were irradiated from the sealing substrate 34 side. Then, it put in the heating furnace, heated at 80 degreeC for 1 hour, naturally cooled in the furnace for 30 minutes, and took out, and the organic EL panel was produced.

以上のように、本発明によれば、約1mm(透明基板11(厚さ0.7mm)+封止用基板34(厚さ0.3mm)+有機EL素子の積層膜(全膜厚約50μm))の薄型有機ELパネルを実現できることが明らかとなった。また、封止用基板34に平板ガラスを使用することが可能になったため、凹部を設けたガラスを使用する従来の有機ELパネル(以下、従来型有機ELパネルと称す)に比べてコストを大幅に低減することができた。さらに、本発明の有機ELパネルは、有機EL素子および封止用基板34の間が接着剤34で隙間無く充填されて貼り合わされているため、隙間を有する従来型有機ELパネルに比べて薄くとも機械的強度を向上させることができた。水分や酸素などの封止性能は、従来型有機ELパネルと同程度であったが、有機EL素子および封止用基板34に隙間無く充填した接着剤34により放熱性能が向上したため、従来型有機ELパネルに比べて高輝度駆動時の動作寿命を延ばせることが期待できる。   As described above, according to the present invention, about 1 mm (transparent substrate 11 (thickness 0.7 mm) + sealing substrate 34 (thickness 0.3 mm) + organic EL element laminated film (total thickness about 50 μm) It has become clear that the thin organic EL panel of)) can be realized. In addition, since flat glass can be used for the sealing substrate 34, the cost is significantly higher than that of a conventional organic EL panel (hereinafter referred to as a conventional organic EL panel) using a glass having a recess. It was possible to reduce it. Furthermore, since the organic EL panel of the present invention is filled and bonded with an adhesive 34 between the organic EL element and the sealing substrate 34 without any gap, it is thinner than a conventional organic EL panel having a gap. The mechanical strength could be improved. The sealing performance of moisture, oxygen and the like was similar to that of the conventional organic EL panel, but the heat dissipation performance was improved by the adhesive 34 filled in the organic EL element and the sealing substrate 34 without any gaps. Compared to the EL panel, it can be expected to extend the operating life at the time of high luminance driving.

(a)は従来型有機ELパネルの封止領域を示す概略図であり、(b)は従来型有機ELパネルの概略的な横断面図であり、(c)は従来型有機ELパネルの封止領域および表示部を示す概略図である。(A) is the schematic which shows the sealing area | region of a conventional organic EL panel, (b) is a schematic cross-sectional view of a conventional organic EL panel, (c) is the sealing of a conventional organic EL panel. It is the schematic which shows a stop area | region and a display part. 従来型有機ELパネルの封止構造および成膜状態を示す概略的な横断面図である。It is a rough cross-sectional view which shows the sealing structure and film-forming state of a conventional organic EL panel. 本発明の有機ELパネルの一実施形態であり、該有機ELパネルの封止構造および成膜状態を示す概略的な横断面図である。It is one Embodiment of the organic EL panel of this invention, and is a rough cross-sectional view which shows the sealing structure and film-forming state of this organic EL panel. 本発明の有機ELパネルの一実施形態であり、該有機ELパネルの封止構造および成膜状態を示す概略的な横断面図である。It is one Embodiment of the organic electroluminescent panel of this invention, and is a rough cross-sectional view which shows the sealing structure and film-forming state of this organic electroluminescent panel. 本発明の有機ELパネルの理想的な実施形態であり、該有機ELパネルの封止構造および成膜状態を示す概略的な横断面図である。It is ideal embodiment of the organic electroluminescent panel of this invention, and is a schematic cross-sectional view which shows the sealing structure and film-forming state of this organic electroluminescent panel. (a)は本発明の有機ELパネルの封止領域を示す概略図であり、(b)は本発明の有機ELパネルの概略的な横断面図であり、(c)は本発明の有機ELパネルの封止領域および表示部を示す概略図である。(A) is the schematic which shows the sealing area | region of the organic electroluminescent panel of this invention, (b) is a schematic cross-sectional view of the organic electroluminescent panel of this invention, (c) is organic electroluminescent of this invention. It is the schematic which shows the sealing area | region and display part of a panel. 真空滴下貼り合せ法による本発明の封止工程を示す概略図である。It is the schematic which shows the sealing process of this invention by a vacuum drop bonding method.

符号の説明Explanation of symbols

11 透明基板
12 有機EL素子積層膜
13 接着剤
14 封止用ガラス基板
15 吸湿剤
16 表示部
17 端子取り出し部
18 接着剤封止領域
19 凹部
21 色変換フィルタ層
22 透明電極
23 シャドウマスク
24 陰極分離壁
25 有機EL層
26 反射電極
27 端部
31 無機保護層
32 吸湿層
33 低粘度接着剤
34 封止用基板
61 高粘度接着剤
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Transparent substrate 12 Organic EL element laminated film 13 Adhesive 14 Glass substrate for sealing 15 Hygroscopic agent 16 Display part 17 Terminal extraction part 18 Adhesive sealing area | region 19 Recessed part 21 Color conversion filter layer 22 Transparent electrode 23 Shadow mask 24 Cathode separation Wall 25 Organic EL layer 26 Reflective electrode 27 End 31 Inorganic protective layer 32 Hygroscopic layer 33 Low viscosity adhesive 34 Substrate for sealing 61 High viscosity adhesive

Claims (7)

透明基板と、前記透明基板上にストライプ状に形成された透明電極と、前記透明電極上に複数の開口部を有するように形成されたシャドウマスクと、前記透明電極に対して直交する方向および前記シャドウマスクの開口部間に形成された陰極分離壁と、前記シャドウマスクの開口部内および前記陰極分離壁上に形成された少なくとも有機発光層を含む有機EL層と、前記有機EL層上に形成された反射電極とを有する有機EL素子であって、
前記有機EL層の側面並びに反射電極の側面および上面を少なくとも覆うように形成された無機保護層と、少なくとも前記無機保護層上に形成された吸湿層とをさらに有することを特徴とする有機EL素子。
A transparent substrate, a transparent electrode formed in a stripe shape on the transparent substrate, a shadow mask formed to have a plurality of openings on the transparent electrode, a direction orthogonal to the transparent electrode, and the A cathode separation wall formed between the openings of the shadow mask, an organic EL layer including at least an organic light emitting layer formed in the opening of the shadow mask and on the cathode separation wall, and formed on the organic EL layer An organic EL element having a reflective electrode,
An organic EL element, further comprising: an inorganic protective layer formed so as to cover at least a side surface of the organic EL layer and a side surface and an upper surface of the reflective electrode; and a moisture absorbing layer formed on at least the inorganic protective layer .
透明基板と、前記透明基板上にストライプ状に形成された透明電極と、前記透明電極上に複数の開口部を有するように形成されたシャドウマスクと、前記透明電極に対して直交する方向および前記シャドウマスクの開口部間に形成された陰極分離壁と、前記シャドウマスクの開口部内および前記陰極分離壁上に形成された少なくとも有機発光層を含む有機EL層と、前記有機EL層上に形成された反射電極とを有する有機EL素子であって、
前記有機EL素子の表面を全て覆うように形成された無機保護層と、前記無機保護層上に形成された吸湿層とをさらに有することを特徴とする有機EL素子。
A transparent substrate, a transparent electrode formed in a stripe shape on the transparent substrate, a shadow mask formed to have a plurality of openings on the transparent electrode, a direction orthogonal to the transparent electrode, and the A cathode separation wall formed between the openings of the shadow mask, an organic EL layer including at least an organic light emitting layer formed in the opening of the shadow mask and on the cathode separation wall, and formed on the organic EL layer An organic EL element having a reflective electrode,
An organic EL element, further comprising an inorganic protective layer formed so as to cover the entire surface of the organic EL element, and a moisture absorbing layer formed on the inorganic protective layer.
前記吸湿層が、前記無機保護層の下部に位置する有機EL層の側面部並びに反射電極の側面部および上面部を少なくとも覆うように形成されることを特徴とする請求項2に記載の有機EL素子。   3. The organic EL according to claim 2, wherein the moisture absorption layer is formed so as to cover at least a side surface portion of the organic EL layer located under the inorganic protective layer and a side surface portion and an upper surface portion of the reflective electrode. element. 前記吸湿層が、前記無機保護層の全面を覆うように形成されることを特徴とする請求項2に記載の有機EL素子。   The organic EL element according to claim 2, wherein the moisture absorption layer is formed so as to cover the entire surface of the inorganic protective layer. 透明基板と透明電極との間に、色変換フィルタ層が形成されることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の有機EL素子。   The organic EL element according to claim 1, wherein a color conversion filter layer is formed between the transparent substrate and the transparent electrode. 請求項1から5のいずれか一項に記載の有機EL素子と、封止用基板と、前記有機EL素子および封止用基板を接合するための接着剤とを有する有機ELパネルであって、
前記有機EL素子と封止用基板との間に前記接着剤を隙間無く充填して、前記有機EL素子および封止用基板が貼り合わされていることを特徴とする有機ELパネル。
An organic EL panel having the organic EL element according to any one of claims 1 to 5, a sealing substrate, and an adhesive for joining the organic EL element and the sealing substrate,
An organic EL panel, wherein the organic EL element and the sealing substrate are bonded together by filling the adhesive without any gap between the organic EL element and the sealing substrate.
前記封止用基板は、凹部を設けたガラスであることを特徴とする請求項6に記載の有機ELパネル。
The organic EL panel according to claim 6, wherein the sealing substrate is glass provided with a recess.
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