JP2007003671A - Liquid crystal device, method for manufacturing liquid crystal device, and electronic appliance - Google Patents

Liquid crystal device, method for manufacturing liquid crystal device, and electronic appliance Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid crystal device for which moisture absorption and moisture intrusion are prevented. <P>SOLUTION: The liquid crystal device 100 is constructed with a pair of substrates 10, 20 placed opposite to each other and having a liquid crystal 50 interposed in between. Alignment layers 40 (60) are arranged on respective inside faces of the pair of substrates 10, 20. A sealing material 52 is arranged between the alignment layers 40, 60 in the state of enclosing the liquid crystal 50 in between. A moisture resistant film 90 is formed on the side end face side of the pair of substrates 10, 20 by applying a sol-gel solution containing a silane coupling agent, a metal alkoxide, and water thereto in a state of covering at least the sealing material 52 and the alignment layers 40, 60 and hardening it. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、液晶装置、液晶装置の製造方法、及び電子機器に関する。   The present invention relates to a liquid crystal device, a method for manufacturing a liquid crystal device, and an electronic apparatus.

液晶プロジェクタ等に搭載される光変調手段や、携帯電話等に搭載される直視型表示装置として用いられる液晶装置は、液晶層に電圧を印加するための電極を具備する一対の基板を主体として構成されている。液晶装置を構成する一対の基板の各内面側には、導電膜(画素電極、対向電極等)や、液晶分子の初期配向状態を制御するための配向膜が形成されている。そして、これら配向膜間がシール材によって接合されることにより、基板どうしが貼り合わされ、さらにこのシール材に囲まれた領域内に液晶が封入されるようになっている。   A liquid crystal device used as a light modulation means mounted on a liquid crystal projector or the like or a direct-view display device mounted on a mobile phone or the like mainly includes a pair of substrates having electrodes for applying a voltage to a liquid crystal layer. Has been. A conductive film (pixel electrode, counter electrode, etc.) and an alignment film for controlling the initial alignment state of liquid crystal molecules are formed on each inner surface side of the pair of substrates constituting the liquid crystal device. The alignment films are bonded to each other by a sealing material so that the substrates are bonded to each other, and liquid crystal is sealed in a region surrounded by the sealing material.

ところで、液晶装置では、吸湿や水分の浸入が品質低下の原因となることから、配向膜の表面に撥水処理を施したり、配向膜の表面に撥水性を有する膜を形成する技術が提供されている。
特開2002−202509号公報
By the way, in the liquid crystal device, moisture absorption and moisture intrusion cause deterioration in quality, and therefore, a technique for performing water repellency treatment on the surface of the alignment film or forming a film having water repellency on the surface of the alignment film is provided. ing.
JP 2002-202509 A

しかしながら、配向膜の表面に撥水膜を形成する技術では、撥水膜の膜厚不均一性に伴って液晶素子のプレチルトに乱れが生じたり、撥水膜との接触によって液晶層内で気泡の発生などの不具合をまねく場合がある。また、一対の基板を貼り合わせるためのシール材の硬化に用いられる光や熱により、配向膜の撥水性が低下する場合がある。   However, in the technique of forming a water repellent film on the surface of the alignment film, the pretilt of the liquid crystal element is disturbed due to the non-uniform thickness of the water repellent film, or bubbles are generated in the liquid crystal layer due to contact with the water repellent film. May cause problems such as the occurrence of In addition, the water repellency of the alignment film may decrease due to light or heat used to cure the sealing material for bonding the pair of substrates.

さらに、このように配向膜の表面に撥水処理を施しても、配向膜とシール材との界面やシール材自体の側面から透湿が起こり、液晶装置内に水分が侵入することにより、やはり品質低下が起きてしまう。   Furthermore, even if the surface of the alignment film is subjected to water repellency treatment in this way, moisture permeation occurs from the interface between the alignment film and the sealing material or from the side surface of the sealing material itself, and moisture penetrates into the liquid crystal device. Quality degradation will occur.

本発明は前記課題を解決するためになされたもので、吸湿や水分の浸入を防止することができる液晶装置とその製造方法、さらにはこれを用いた電子機器を提供することを目的としている。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is that it provides a liquid crystal device capable of preventing moisture absorption and moisture intrusion, a method for manufacturing the same, and an electronic apparatus using the liquid crystal device.

前記目的を達成するため本発明の液晶装置は、互いに対向する一対の基板間に液晶を挟持してなる液晶装置であって、
前記一対の基板のそれぞれの内面に配向膜が設けられ、
前記配向膜間に、前記液晶を封入した状態でシール材が設けられ、
前記一対の基板の側端面側に、少なくとも前記シール材と前記配向膜とを覆った状態で、シランカップリング材と金属アルコキシドと水とを含有してなるゾルゲル溶液が、塗布され、硬化せしめられて防湿膜が形成されていることを特徴としている。
In order to achieve the above object, a liquid crystal device of the present invention is a liquid crystal device in which liquid crystal is sandwiched between a pair of substrates facing each other,
An alignment film is provided on each inner surface of the pair of substrates,
A sealing material is provided between the alignment films in a state where the liquid crystal is sealed,
A sol-gel solution containing a silane coupling material, a metal alkoxide, and water is applied and cured on the side end surfaces of the pair of substrates in a state of covering at least the sealing material and the alignment film. It is characterized in that a moisture-proof film is formed.

この液晶装置によれば、シランカップリング材と金属アルコキシドと水とを含有してなるゾルゲル溶液により、前記一対の基板の側端面側の、少なくとも前記シール材と前記配向膜とを覆った位置に防湿膜が形成されているので、この防湿膜によって配向膜とシール材との界面やシール材自体の側面からの透湿が防止され、これにより吸湿(透湿)に起因する液晶装置の品質低下が防止される。   According to this liquid crystal device, a sol-gel solution containing a silane coupling material, a metal alkoxide, and water is at a position that covers at least the sealing material and the alignment film on the side end surfaces of the pair of substrates. Since the moisture-proof film is formed, the moisture-proof film prevents moisture permeation from the interface between the alignment film and the sealing material and from the side surface of the sealing material itself, thereby reducing the quality of the liquid crystal device due to moisture absorption (moisture permeability). Is prevented.

また、前記液晶装置においては、前記金属アルコキシドが、Zrアルコキシド、Alアルコキシド、Tiアルコキシド、Mgアルコキシドのうちの少なくとも一種からなるのが好ましい。
このようにすれば、これら金属アルコキシド中のZr、Al、Ti、Mgが例えば酸化物となり、シランカップリング材によって形成されたポリシロキサン骨格と結合し、または前記配向膜やシール材中の有機官能基などと結合するので、得られる防湿膜の膜密度が高くなって透湿性が低くなり、防湿性が高くなる。また、シール材や配向膜との密着性が高くなることから、防湿効果が長期に亘って確保され、信頼性が向上する。さらに、配向膜等に溜まった電荷を放出することによる、静電気防止機能も有するものとなる。
In the liquid crystal device, the metal alkoxide is preferably composed of at least one of Zr alkoxide, Al alkoxide, Ti alkoxide, and Mg alkoxide.
In this way, Zr, Al, Ti, and Mg in these metal alkoxides become, for example, oxides, which are combined with the polysiloxane skeleton formed by the silane coupling material, or organic functionalities in the alignment film and the sealing material. Since it bonds to a group or the like, the film density of the resulting moisture barrier film is increased, moisture permeability is decreased, and moisture resistance is increased. Moreover, since the adhesiveness with the sealing material and the alignment film is increased, the moisture-proof effect is ensured over a long period of time, and the reliability is improved. Further, it also has an antistatic function by discharging charges accumulated in the alignment film or the like.

また、前記液晶装置においては、前記シランカップリング材が複数種のアルコキシシランを有してなり、これらアルコキシシランは、それぞれのアルコキシ基における炭素数が互いに異なるのが好ましい。
このように、複数種のアルコキシシランの、それぞれのアルコキシ基における炭素数が互いに異なっていれば、特にこれらが炭素数の多い長鎖と少ない短鎖とからなっている場合に、長鎖による網目構造内に短鎖が入り込むことで、防湿膜の膜密度がより高くなってその透湿性が低くなり、防湿性がより高くなる。
In the liquid crystal device, the silane coupling material preferably includes a plurality of types of alkoxysilanes, and these alkoxysilanes preferably have different numbers of carbon atoms in the respective alkoxy groups.
Thus, if the number of carbons in each alkoxy group of a plurality of types of alkoxysilanes is different from each other, particularly when these are composed of a long chain with a large number of carbons and a short chain with a small number of carbons, When the short chain enters the structure, the film density of the moisture-proof film becomes higher, the moisture permeability becomes lower, and the moisture resistance becomes higher.

また、前記液晶装置においては、前記ゾルゲル溶液が、撥水基を有してなる撥水材料を含有し、該ゾルゲル溶液が硬化して得られる前記防湿膜が、撥水性を有しているのが好ましい。
このようにすれば、防湿膜の撥水性によってこの防湿膜上、すなわちシール材や配向膜上に水分が付着することが防止されているので、このような水分の付着によって透湿が起こり易くなってしまうことが防止される。また、水分の付着による液晶装置内への水分の浸入も、もちろん防止される。
In the liquid crystal device, the sol-gel solution contains a water-repellent material having a water-repellent group, and the moisture-proof film obtained by curing the sol-gel solution has water repellency. Is preferred.
In this way, the water repellency of the moisture-proof film prevents moisture from adhering to the moisture-proof film, that is, the sealing material and the alignment film. Is prevented. In addition, it is of course possible to prevent moisture from entering the liquid crystal device due to moisture adhesion.

なお、この液晶装置では、前記防湿膜が、前記一対の基板の側端面側の全面に形成されているのが好ましい。
このようにすれば、一対の基板の側端面側の全面に水分が付着するのが防止されるので、このような水分の付着によって一対の基板の側端面側から透湿が起こり易くなってしまうことが防止される。また、透湿自体についても、防湿膜が側端面の全面に形成されているので、より良好に防止される。
In this liquid crystal device, it is preferable that the moisture-proof film is formed on the entire surface on the side end surfaces of the pair of substrates.
In this way, moisture is prevented from adhering to the entire surface on the side end surfaces of the pair of substrates, so that moisture permeation easily occurs from the side end surfaces of the pair of substrates. It is prevented. Further, the moisture permeation itself is prevented more favorably because the moisture-proof film is formed on the entire side end surface.

本発明の液晶装置の製造方法は、内面に配向膜を形成した一対の基板を、シール材を介して貼り合わせる工程と、
前記シール材に囲まれた領域に液晶を配置する工程と、
前記一対の基板の側端面側に、少なくとも前記シール材と前記配向膜とを覆った状態で、シランカップリング材と金属アルコキシドと水とを含有してなるゾルゲル溶液を塗布する工程と、
前記ゾルゲル溶液を硬化して防湿膜とする工程と、を備えたことを特徴としている。
The method for producing a liquid crystal device of the present invention includes a step of bonding a pair of substrates having an alignment film formed on the inner surface through a sealing material;
Disposing a liquid crystal in a region surrounded by the sealing material;
Applying a sol-gel solution containing a silane coupling material, a metal alkoxide, and water in a state of covering at least the sealing material and the alignment film on the side end face sides of the pair of substrates;
And a step of curing the sol-gel solution to form a moisture-proof film.

この液晶装置の製造方法によれば、シランカップリング材と金属アルコキシドと水とを含有してなるゾルゲル溶液により、前記一対の基板の側端面側の、少なくとも前記シール材と前記配向膜とを覆った位置に防湿膜を形成するので、この防湿膜によって配向膜とシール材との界面やシール材自体の側面からの透湿を防止し、これにより吸湿(透湿)に起因する液晶装置の品質低下を防止することができる。   According to this method of manufacturing a liquid crystal device, at least the sealing material and the alignment film on the side end face sides of the pair of substrates are covered with a sol-gel solution containing a silane coupling material, a metal alkoxide, and water. The moisture-proof film is formed at the position where the moisture-proof film prevents moisture permeation from the interface between the alignment film and the sealing material and from the side surface of the sealing material itself, thereby improving the quality of the liquid crystal device due to moisture absorption (moisture permeability). A decrease can be prevented.

本発明の電子機器は、前記の液晶装置を備えることを特徴としている。
この電子機器によれば、吸湿(透湿)に起因する品質低下が防止された液晶装置を備えているので、この電子機器自体も品質低下が防止され、表示の信頼性が向上したものとなる。
An electronic apparatus according to the present invention includes the above-described liquid crystal device.
According to this electronic device, since the liquid crystal device in which deterioration due to moisture absorption (moisture permeability) is prevented is provided, the electronic device itself is also prevented from being deteriorated in quality and improved in display reliability. .

(液晶装置)
図1は、本発明の液晶装置の一実施形態としての液晶セルを示す模式断面図である。
図1に示すように、液晶セル100は、互いに対向する一対の基板10,20間に、液晶50(液晶層)を挟持した構成を有している。基板10の内面側(対向面側)には、透光性導電膜9(画素電極)と、配向膜40とが順次配設されている。一方、基板20の内面側(対向面側)には、透光性導電膜21(共通電極、対向電極)と、配向膜60とが順次形成されている。
(Liquid crystal device)
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a liquid crystal cell as an embodiment of the liquid crystal device of the present invention.
As shown in FIG. 1, the liquid crystal cell 100 has a configuration in which a liquid crystal 50 (liquid crystal layer) is sandwiched between a pair of substrates 10 and 20 facing each other. A translucent conductive film 9 (pixel electrode) and an alignment film 40 are sequentially disposed on the inner surface side (opposing surface side) of the substrate 10. On the other hand, a translucent conductive film 21 (common electrode, counter electrode) and an alignment film 60 are sequentially formed on the inner surface side (opposing surface side) of the substrate 20.

基板10と基板20とは、その配向膜40,60間でシール材52によって貼り合わされ、このシール材52によって区画された領域内に液晶50が封入・保持されている。このシール材52には、例えば基板10と基板20とを貼り合わせた後に液晶を注入するための、液晶注入口(図示せず)が形成されている。ただし、基板10と基板20とを貼り合わせる前に、予め一方の基板に液晶注入口を形成することなく環状にシール材52を塗布しておき、このシール材52の内側に液晶を充填した後、基板10と基板20とを貼り合わせるようにしてもよい。その場合には、前記したようにシール材52には液晶注入口が形成されないことになる。   The substrate 10 and the substrate 20 are bonded together by a sealing material 52 between the alignment films 40 and 60, and the liquid crystal 50 is sealed and held in a region partitioned by the sealing material 52. In the sealing material 52, for example, a liquid crystal injection port (not shown) for injecting liquid crystal after the substrate 10 and the substrate 20 are bonded together is formed. However, before the substrate 10 and the substrate 20 are bonded together, a sealing material 52 is applied in an annular shape in advance without forming a liquid crystal injection port on one substrate, and the liquid crystal is filled inside the sealing material 52. The substrate 10 and the substrate 20 may be bonded together. In that case, the liquid crystal injection port is not formed in the sealing material 52 as described above.

導電膜9,21としては、例えば錫をドープした酸化インジウム膜(ITO膜)が用いられる。また、これ以外にも、IZO膜、FTO膜等の透光性と導電性を有する公知の様々な導電膜を用いることもできる。また、透光性を必要としない場合には、優れた導電性を有する公知の様々な導電膜が適用可能である。ITO膜は、蒸着法やスパッタ法、焼成法(塗布熱分解法とも言う)等により形成することができる。   As the conductive films 9 and 21, for example, an indium oxide film doped with tin (ITO film) is used. In addition, various known conductive films having translucency and conductivity, such as an IZO film and an FTO film, can also be used. In the case where translucency is not required, various known conductive films having excellent conductivity can be applied. The ITO film can be formed by an evaporation method, a sputtering method, a baking method (also referred to as a coating pyrolysis method), or the like.

スパッタ法を用いてITO膜を形成するには、基板表面温度を所定温度(例えば、200℃)に設定して酸化インジウムと酸化スズからなるITO透明導電膜を所定の膜厚(例えば、0.05μm〜10μm)に成膜し、所定の温度(例えば、200℃〜250℃)に一定時間(例えば、60分)保持して熱処理を行う。その後、必要に応じて、フォトリソグラフィ法により所望の平面形状にパターニングする。   In order to form an ITO film by using the sputtering method, an ITO transparent conductive film made of indium oxide and tin oxide is set to a predetermined film thickness (for example, 0.8 mm) by setting the substrate surface temperature to a predetermined temperature (for example, 200 ° C.). A film is formed to a thickness of 05 μm to 10 μm, and heat treatment is performed while maintaining a predetermined temperature (for example, 200 ° C. to 250 ° C.) for a certain time (for example, 60 minutes). Thereafter, patterning is performed in a desired planar shape by photolithography as necessary.

焼成法を用いてITO膜を形成するには、ITO膜の液体材料を基板上に配置し、その膜を熱処理する。液相法を用いた導電膜の形成は、製造コスト低減に有利である。液体材料の配置技術としては、インクジェット法、Capコート法、スピンコート法等を用いることができる。前記液体材料として、インジウムの有機化合物及び錫の有機化合物を有機アミンの存在下に溶解した有機溶媒を用いることにより、比較的低温(例えば250℃以下)での焼成が可能となる。また、透光性の導電性微粒子を含む微粒子膜を基板上に形成した後に、その微粒子膜上に透光性の導電性微粒子を溶解した有機溶媒を染み込ませ、その後にその膜を熱処理(焼成)することにより、焼成温度が比較的低温(例えば250℃以下)であっても導電性に優れた透光性導電膜を得ることができる。   In order to form the ITO film using the firing method, a liquid material of the ITO film is placed on the substrate, and the film is heat-treated. Formation of a conductive film using a liquid phase method is advantageous in reducing manufacturing costs. As an arrangement technique of the liquid material, an inkjet method, a Cap coating method, a spin coating method, or the like can be used. By using an organic solvent in which an organic compound of indium and an organic compound of tin are dissolved in the presence of an organic amine as the liquid material, firing at a relatively low temperature (for example, 250 ° C. or less) becomes possible. Further, after a fine particle film containing light-transmitting conductive fine particles is formed on a substrate, an organic solvent in which the light-transmitting conductive fine particles are dissolved is infiltrated into the fine particle film, and then the film is subjected to heat treatment (firing). ), A light-transmitting conductive film having excellent conductivity can be obtained even when the firing temperature is relatively low (for example, 250 ° C. or lower).

配向膜40,60としては、有機配向膜、及び無機配向膜のいずれも適用可能である。
有機配向膜は、例えば、ポリイミドなどの高分子膜の表面にラビング等の配向処理を施すことにより形成することができる。無機配向膜は、有機配向膜に比べて耐光性や耐熱性が高く、SiOのような無機膜を蒸着法あるいはスパッタ法を用いて形成した後にイオンビームや粒子ビームを無機膜表面に照射して配向処理を施すことにより形成することができる。あるいは、無機配向膜は、基板に対して斜めに無機材料を入射させて斜方柱状構造を有する膜を形成する、いわゆる斜方蒸着法によっても形成することができる。
As the alignment films 40 and 60, either an organic alignment film or an inorganic alignment film can be applied.
The organic alignment film can be formed, for example, by performing an alignment process such as rubbing on the surface of a polymer film such as polyimide. An inorganic alignment film has higher light resistance and heat resistance than an organic alignment film. After an inorganic film such as SiO 2 is formed by vapor deposition or sputtering, the surface of the inorganic film is irradiated with an ion beam or particle beam. It can be formed by performing an orientation treatment. Alternatively, the inorganic alignment film can be formed by a so-called oblique vapor deposition method in which an inorganic material is incident on the substrate obliquely to form a film having an oblique columnar structure.

ここで、本実施形態の液晶セル100の側面には、防湿膜90が形成されている。この防湿膜90は、基板10,20の側端面側の全面、すなわち、基板10,20、導電膜9,21、配向膜40,60、及びシール材52の各側面(端面)を連続的にかつ全周にわたって覆うように配設されたものである。また、この防湿膜90は、特に透湿性が極めて低く、したがってこれが覆う箇所での透湿を良好に防止する機能を有したものである。   Here, a moisture-proof film 90 is formed on the side surface of the liquid crystal cell 100 of the present embodiment. The moisture-proof film 90 continuously covers the entire surface on the side end face side of the substrates 10, 20, that is, the side surfaces (end faces) of the substrates 10, 20, the conductive films 9, 21, the alignment films 40, 60, and the sealing material 52. And it is arrange | positioned so that it may cover over a perimeter. In addition, the moisture-proof film 90 has a particularly low moisture permeability, and thus has a function of satisfactorily preventing moisture permeability at a portion covered by the moisture-proof film 90.

すなわち、この防湿膜90は、シランカップリング材と金属アルコキシドと水とを含有してなるゾルゲル溶液が、塗布され、硬化せしめられて形成されたものである。シランカップリング材としては、各種アルコキシシランやアクリロキシシランから選択された一種あるいは複数種が用いられ、具体的には、tetramethoxysilane、3-glycidoxyproyl-trimethoxysilane、3-aminopropyl-triethoxysilane、N-trimethoxysilylpropyl-N,N,N-trimethylammonium chloride、methacryloxypropyltrimethoxysilaneなどが好適に用いられる。ここで、特にシランカップリング材として複数種のもの、例えば複数種のアルコキシシランを用いる場合には、これらアルコキシシランとして、それぞれのアルコキシ基における炭素数が互いに異なるものを用いるのが好ましい。すなわち、直鎖の炭素数が多くこの直鎖が長鎖となるアルコキシ基(アルキル基)を有するアルコキシシランと、直鎖の炭素数が少なくこの直鎖が短鎖となるアルコキシ基(アルキル基)を有するアルコキシシランとを混合して用いるのが好ましい。このような複数種のアルコキシシランを用いれば、後述するように長鎖による網目構造内に短鎖が入り込むことで、得られる防湿膜90の膜密度をより高くし、その透湿性を低くして防湿膜90の防湿性をより高めることができる。   That is, the moisture-proof film 90 is formed by applying and curing a sol-gel solution containing a silane coupling material, a metal alkoxide, and water. As the silane coupling material, one or more selected from various alkoxysilanes and acryloxysilanes are used. Specifically, tetramethoxysilane, 3-glycidoxyproyl-trimethoxysilane, 3-aminopropyl-triethoxysilane, N-trimethoxysilylpropyl-N N, N-trimethylammonium chloride, methacryloxypropyltrimethoxysilane, etc. are preferably used. Here, in particular, when a plurality of types of silane coupling materials, for example, a plurality of types of alkoxysilanes are used, it is preferable to use those alkoxysilanes having different numbers of carbon atoms in the respective alkoxy groups. That is, an alkoxysilane having an alkoxy group (alkyl group) having a long straight chain and a long chain, and an alkoxy group (alkyl group) having a short straight chain and a short chain. It is preferable to use a mixture of alkoxysilane having If such a plurality of types of alkoxysilanes are used, the short chain enters the network structure of long chains as will be described later, thereby increasing the film density of the resulting moisture-proof film 90 and reducing its moisture permeability. The moisture resistance of the moisture barrier film 90 can be further increased.

また、金属アルコキシドとしては、Zrアルコキシド、Alアルコキシド、Tiアルコキシド、Mgアルコキシドが好適とされ、これらから選択された一種あるいは複数種が好適に用いられる。具体的には、aluminum-sec-butoxide、zirconium-n-propoxideなどが好適とされる。そして、これらシランカップリング材と金属アルコキシドとの混合物に対し、これらを加水分解させるのに必要な水が添加され、適宜な温度で撹拌等の適宜処理がなされることにより、本発明におけるゾルゲル溶液とされる。   Moreover, as a metal alkoxide, Zr alkoxide, Al alkoxide, Ti alkoxide, and Mg alkoxide are suitable, and the 1 type or multiple types selected from these are used suitably. Specifically, aluminum-sec-butoxide, zirconium-n-propoxide, and the like are preferable. The sol-gel solution in the present invention is added to the mixture of the silane coupling material and the metal alkoxide by adding water necessary to hydrolyze them and performing appropriate treatment such as stirring at an appropriate temperature. It is said.

また、本実施形態では、前記防湿膜90は撥水性を有したものとなっている。これは、前記ゾルゲル溶液が、撥水基を有してなる撥水材料を含有して形成されていることにより、該ゾルゲル溶液が硬化して得られる防湿膜90が撥水性を有するものとなっているのである。
ここで、前記の撥水材料については、前記のシランカップリング材及び金属アルコキシド以外の材料として、これら材料に新たに加えるようにしてもよく、または、前記のシランカップリング材や金属アルコキシド自体を、撥水材料としてもよい。すなわち、前記のシランカップリング材及び金属アルコキシドに撥水材料を加え、ゾルゲル溶液を形成するようにしてもよく、または、シランカップリング材又は金属アルコキシドとして、撥水性を有するものを用い、これによってゾルゲル溶液を形成するようにしてもよい。
In the present embodiment, the moisture-proof film 90 has water repellency. This is because the sol-gel solution is formed to contain a water-repellent material having a water-repellent group, so that the moisture-proof film 90 obtained by curing the sol-gel solution has water repellency. -ing
Here, the water repellent material may be newly added to these materials as materials other than the silane coupling material and metal alkoxide, or the silane coupling material or metal alkoxide itself may be added. Alternatively, a water repellent material may be used. That is, a water-repellent material may be added to the silane coupling material and metal alkoxide to form a sol-gel solution, or a silane coupling material or metal alkoxide having water repellency may be used. A sol-gel solution may be formed.

前記のシランカップリング材及び金属アルコキシド以外の材料として、新たに撥水材料を加える場合、この撥水材料としては、例えば被処理面にシラン化合物や界面活性剤等の有機分子からなる有機薄膜を形成し、撥水性を付与するものが用いられる。被処理面を撥水化するための有機分子は、被処理面を形成する基材に物理的または化学的に結合可能な官能基と、その反対側に、基材の表面性を改質して(表面エネルギーを制御して)撥液性にする官能基とを備え、基材に結合して有機薄膜を形成し、理想的には単分子膜となる。中でも、基材との結合可能な官能基と、その反対側の官能基とを結ぶ有機構造が炭素の直鎖あるいは一部分岐した炭素鎖である有機分子は、基材に結合して自己組織化するので好ましい。   When a water repellent material is newly added as a material other than the silane coupling material and the metal alkoxide, for example, an organic thin film made of an organic molecule such as a silane compound or a surfactant is applied to the surface to be treated. Those which are formed and impart water repellency are used. Organic molecules for making the treated surface water repellent modify the surface properties of the substrate on the opposite side to the functional group that can be physically or chemically bonded to the substrate that forms the treated surface. And a functional group that makes liquid repellency (controlling the surface energy), bonds to a base material to form an organic thin film, and ideally becomes a monomolecular film. In particular, organic molecules in which the organic structure that connects the functional group that can bind to the base material and the functional group on the opposite side of the functional group is a linear or partially branched carbon chain of carbon binds to the base material and self-assembles. This is preferable.

このような自己組織化する化合物、すなわち前記の撥水材料としては、例えば下記一般式(1)に示すようなシラン化合物を用いることができる。式(1)中、Rは有機基を表し、X及びXは−OR(アルコキシ基)、−R(アルキル基)、−Cl(塩素基)を示し、X及びXに含まれるRは炭素数1〜4のアルキル基を示し、aは1〜3の整数を示している。
SiX (3−a) …(1)
As such a self-organizing compound, that is, the water repellent material, for example, a silane compound represented by the following general formula (1) can be used. In formula (1), R 1 represents an organic group, X 1 and X 2 represent —OR 2 (alkoxy group), —R 2 (alkyl group), —Cl (chlorine group), and X 1 and X 2 R 2 contained in 1 represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and a represents an integer of 1 to 3.
R 1 SiX 1 a X 2 (3-a) (1)

一般式(1)で表されるシラン化合物は、シラン分子に有機基が置換し、さらに残りの結合基にアルコキシ基またはアルキル基または塩素基が置換したものである。なお、特にアルコキシ基を有するシラン化合物は、前記した本発明におけるゾルゲル溶液を構成するシランカップリング材となるアルコキシシランであり、したがって、前述したようにシランカップリング材に撥水性を付与したい場合には、前記一般式(1)で示されるアルコキシシランを用いればよいことになる。   In the silane compound represented by the general formula (1), an organic group is substituted on the silane molecule, and an alkoxy group, an alkyl group, or a chlorine group is substituted on the remaining bonding group. In particular, the silane compound having an alkoxy group is an alkoxy silane serving as the silane coupling material constituting the sol-gel solution in the present invention, and therefore, as described above, when it is desired to impart water repellency to the silane coupling material. In this case, an alkoxysilane represented by the general formula (1) may be used.

有機基Rの例としては、例えば、フェニル基、ベンジル基、フェネチル基、ヒドロキシフェニル基、クロロフェニル基、アミノフェニル基、ナフチル基、アンスレニル基、ピレニル基、チエニル基、ピロリル基、シクロヘキシル基、シクロヘキセニル基、シクロペンチル基、シクロペンテニル基、ピリジニル基、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、オクタデシル基、n−オクチル基、クロロメチル基、メトキシエチル基、ヒドロキシエチル基、アミノエチル基、シアノ基、メルカプトプロピル基、ビニル基、アリル基、アクリロキシエチル基、メタクリロキシエチル基、グリシドキシプロピル基、アセトキシ基等を例示できる。
及びXのアルコキシ基や塩素基は、Si−O−Si結合等を形成するための官能基であり、水により加水分解されてアルコールや酸として脱離する。アルコキシ基としては例えば、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、イソプロポキシ基、n−ブトキシ基、イソブトキシ基、sec−ブトキシ基、tert−ブトキシ基等を挙げることができる。
の炭素数は脱離するアルコールの分子量が比較的小さく、除去が容易であり形成される膜(防湿膜90)の緻密性の低下を抑制できるという観点から、1〜4の範囲であることが好ましい。
Examples of the organic group R 1 include, for example, phenyl group, benzyl group, phenethyl group, hydroxyphenyl group, chlorophenyl group, aminophenyl group, naphthyl group, anthrenyl group, pyrenyl group, thienyl group, pyrrolyl group, cyclohexyl group, cyclohexane Hexenyl, cyclopentyl, cyclopentenyl, pyridinyl, methyl, ethyl, n-propyl, isopropyl, n-butyl, isobutyl, sec-butyl, tert-butyl, octadecyl, n- Octyl group, chloromethyl group, methoxyethyl group, hydroxyethyl group, aminoethyl group, cyano group, mercaptopropyl group, vinyl group, allyl group, acryloxyethyl group, methacryloxyethyl group, glycidoxypropyl group, acetoxy group Etc. can be illustrated.
The alkoxy group and chlorine group of X 1 and X 2 are functional groups for forming a Si—O—Si bond and the like, and are hydrolyzed by water and eliminated as alcohol or acid. Examples of the alkoxy group include a methoxy group, an ethoxy group, an n-propoxy group, an isopropoxy group, an n-butoxy group, an isobutoxy group, a sec-butoxy group, and a tert-butoxy group.
The number of carbon atoms of R 2 is in the range of 1 to 4 from the viewpoint that the molecular weight of the alcohol to be eliminated is relatively small, can be easily removed, and the deterioration of the denseness of the formed film (moisture-proof film 90) can be suppressed. It is preferable.

一般式(1)で表される代表的な撥水性シラン化合物としては、含フッ素アルキルシラン化合物が挙げられる。特にRがパ−フルオロアルキル構造C(2n+1)で表される構造を有するものであり、一般式(2)で表される化合物を例示することができる。式(2)中、nは1から18の整数を、mは2から6までの整数をそれぞれ表し、XおよびXおよびaは、前記式(1)と同じ意味を表す。
含フッ素アルキルシラン化合物を用いることにより、得られる防湿膜90の表面にフルオロアルキル基が位置するように各化合物が配向して自己組織化膜が形成されるので、防湿膜90の表面に撥水性を付与することができる。
(2n+1)(CHSiX (3−a) …(2)
A typical water-repellent silane compound represented by the general formula (1) includes a fluorine-containing alkylsilane compound. In particular, R 1 has a structure represented by the perfluoroalkyl structure C n F (2n + 1) , and examples thereof include compounds represented by the general formula (2). In the formula (2), n represents an integer of 1 to 18, m represents an integer of 2 to 6, and X 1, X 2 and a represent the same meaning as in the formula (1).
By using the fluorine-containing alkylsilane compound, each compound is oriented so that the fluoroalkyl group is located on the surface of the resulting moisture-proof film 90 and a self-assembled film is formed. Can be granted.
C n F (2n + 1) (CH 2) m SiX 1 a X 2 (3-a) ... (2)

より具体的には、CF−CHCH−Si(OCH、CF(CF−CHCH−Si(OCH、CF(CF−CHCH−Si(OCH、CF(CF−CHCH−Si(OC、CF(CF−CHCH−Si(OCH、CF(CF11−CHCH−Si(OC、CF(CF−CHCH−Si(CH)(OCH、CF(CF−CHCH−Si(CH)(OCH、CF(CF−CHCH−Si(CH)(OC、CF(CF−CHCH−Si(C)(OC等が挙げられる。 More specifically, CF 3 —CH 2 CH 2 —Si (OCH 3 ) 3 , CF 3 (CF 2 ) 3 —CH 2 CH 2 —Si (OCH 3 ) 3 , CF 3 (CF 2 ) 5 —CH 2 CH 2 —Si (OCH 3 ) 3 , CF 3 (CF 2 ) 5 —CH 2 CH 2 —Si (OC 2 H 5 ) 3 , CF 3 (CF 2 ) 7 —CH 2 CH 2 —Si (OCH 3) ) 3 , CF 3 (CF 2 ) 11 —CH 2 CH 2 —Si (OC 2 H 5 ) 3 , CF 3 (CF 2 ) 3 —CH 2 CH 2 —Si (CH 3 ) (OCH 3 ) 2 , CF 3 (CF 2) 7 -CH 2 CH 2 -Si (CH 3) (OCH 3) 2, CF 3 (CF 2) 8 -CH 2 CH 2 -Si (CH 3) (OC 2 H 5) 2, CF 3 (CF 2 ) 8 —CH 2 CH 2 —Si (C 2 H 5 ) (OC 2 H 5 ) 2 and the like.

また、Rがパ−フルオロアルキルエーテル構造C(2n+1)2pで表される構造を有するものも挙げることができる。その具体例としては例えば、下記一般式(3)で表される化合物を例示することができる。
(2p+1)O(C2pO)(CHSiX (3−a) …(3)
Further, R 1 Gapa - perfluoroalkyl ether structure C n F (2n + 1) O p F can also be mentioned those having a structure represented by 2p O r. Specific examples thereof include a compound represented by the following general formula (3).
C p F (2p + 1) O (C p F 2p O) r (CH 2) m SiX 1 a X 2 (3-a) ... (3)

式(3)中、mは2から6の整数を、pは1から4の整数を、rは1から10の整数をそれぞれ表し、X1およびX2およびaは、前出と同じ意味を表す。
具体的な化合物の例としては、CFO(CFO)−CHCH−Si(OC、CFO(CO)−CHCH−Si(OCH、CFO(CO)(CFO)−CHCH−Si(OCH、CFO(CO)−CHCH−Si(OCH、CFO(CO)−CHCH−Si(OCH、CFO(CO)−CHCH−Si(CH)(OC、CFO(CO)−CHCH−Si(C)(OCH等が挙げられる。
In Formula (3), m represents an integer of 2 to 6, p represents an integer of 1 to 4, r represents an integer of 1 to 10, and X1, X2, and a represent the same meaning as described above.
Specific examples of the compound include CF 3 O (CF 2 O) 6 —CH 2 CH 2 —Si (OC 2 H 5 ) 3 , CF 3 O (C 3 F 6 O) 4 —CH 2 CH 2 —. Si (OCH 3) 3, CF 3 O (C 3 F 6 O) 2 (CF 2 O) 3 -CH 2 CH 2 -Si (OCH 3) 3, CF 3 O (C 3 F 6 O) 8 -CH 2 CH 2 —Si (OCH 3 ) 3 , CF 3 O (C 4 F 9 O) 5 —CH 2 CH 2 —Si (OCH 3 ) 3 , CF 3 O (C 4 F 9 O) 5 —CH 2 CH 2 -Si (CH 3) (OC 2 H 5) 2, CF 3 O (C 3 F 6 O) 4 -CH 2 CH 2 -Si (C 2 H 5) (OCH 3) 2 , and the like.

フルオロアルキル基やパ−フルオロアルキルエーテル構造を有するシラン化合物は「FAS」と総称される。これらの化合物は、単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。なお、FASを用いることにより、基材との密着性と良好な撥水性とを得ることができる。   Silane compounds having a fluoroalkyl group or a perfluoroalkyl ether structure are collectively referred to as “FAS”. These compounds may be used alone or in combination of two or more. In addition, by using FAS, adhesiveness with a base material and favorable water repellency can be obtained.

また、前記撥水材料として、下記一般式(4)で表される界面活性剤を用いることもできる。式(4)中、Rは疎水性の有機基を表し、Yは親水性の極性基、−OH、−(CHCHO)H、−COOH、−COOA、−CONH、−SOH、−SOA、−OSOH、−OSOA、−PO、−POA、−NO、−NH、−NHB(アンモニウム塩)、≡NHB(ピリジニウム塩)、−NX13B(アルキルアンモニウム塩)等である。ただし、Aは1個以上の陽イオンを表し、Bは1個以上の陰イオンを表すものとする。また、X1は前出と同じ炭素数1〜4のアルキル基を意味を表すものとする。
…(4)
Further, as the water repellent material, a surfactant represented by the following general formula (4) can also be used. In Formula (4), R 1 represents a hydrophobic organic group, Y 1 represents a hydrophilic polar group, —OH, — (CH 2 CH 2 O) n H, —COOH, —COOA, —CONH 2 , —SO 3 H, —SO 3 A, —OSO 3 H, —OSO 3 A, —PO 3 H 2 , —PO 3 A, —NO 2 , —NH 2 , —NH 3 B (ammonium salt), ≡NHB (Pyridinium salt), -NX13B (alkyl ammonium salt) and the like. However, A represents one or more cations, and B represents one or more anions. X1 represents the same alkyl group having 1 to 4 carbon atoms as described above.
R 1 Y 1 (4)

一般式(4)で表される界面活性剤は、親油性の有機基Rに親水性の官能基が結合した化合物である。Yは親水性の極性基を表し、基材との結合あるいは吸着するための官能基であり、有機基Rは親油性を有し、親水面の反対側に並ぶことにより親水面上に親油面が形成される。有機基Rの例としては、例えば、フェニル基、ベンジル基、フェネチル基、ヒドロキシフェニル基、クロロフェニル基、アミノフェニル基、ナフチル基、アンスレニル基、ピレニル基、チエニル基、ピロリル基、シクロヘキシル基、シクロヘキセニル基、シクロペンチル基、シクロペンテニル基、ピリジニル基、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、オクタデシル基、n−オクチル基、クロロメチル基、メトキシエチル基、ヒドロキシエチル基、アミノエチル基、シアノ基、メルカプトプロピル基、ビニル基、アリル基、アクリロキシエチル基、メタクリロキシエチル基、グリシドキシプロピル基、アセトキシ基等を例示できる。 The surfactant represented by the general formula (4) is a compound in which a hydrophilic functional group is bonded to a lipophilic organic group R 1 . Y 1 represents a hydrophilic polar group, which is a functional group for bonding or adsorbing to the base material, and the organic group R 1 has lipophilicity and is arranged on the opposite side of the hydrophilic surface so as to be on the hydrophilic surface. A lipophilic surface is formed. Examples of the organic group R 1 include, for example, phenyl group, benzyl group, phenethyl group, hydroxyphenyl group, chlorophenyl group, aminophenyl group, naphthyl group, anthrenyl group, pyrenyl group, thienyl group, pyrrolyl group, cyclohexyl group, cyclohexane Hexenyl, cyclopentyl, cyclopentenyl, pyridinyl, methyl, ethyl, n-propyl, isopropyl, n-butyl, isobutyl, sec-butyl, tert-butyl, octadecyl, n- Octyl group, chloromethyl group, methoxyethyl group, hydroxyethyl group, aminoethyl group, cyano group, mercaptopropyl group, vinyl group, allyl group, acryloxyethyl group, methacryloxyethyl group, glycidoxypropyl group, acetoxy group Etc. can be illustrated.

一般式(4)で表される代表的な撥水性の界面活性剤としては、含フッ素アルキル構造を有する化合物が挙げられる。特にRがパ−フルオロアルキル構造C(2n+1)で表される構造を有するものが有用である。より具体的には、F(CFCF(1〜7)−CHCH−N(CHCl、C17SONHC−N(CH)、F(CFCF(1〜7)−CHCHSCHCH−CO−Li、C17SON(C)−CO−K、(F(CFCF(1〜7))CHCHO)1,2PO(ONH 1,2、C1021SO NH 、C13CHCHSOH、C13CHCHSO NH 、C17SON(C)−(CHCHO)(0〜25)H、C17SON(C)−(CHCHO)(0〜25)CH、F(CFCF(1〜7)−CHCHO−(CHCHO)(0〜25)Hが挙げられる。 A typical water-repellent surfactant represented by the general formula (4) includes a compound having a fluorine-containing alkyl structure. In particular, those having a structure in which R 1 is represented by the perfluoroalkyl structure C n F (2n + 1) are useful. More specifically, F (CF 2 CF 2) (1~7) -CH 2 CH 2 -N + (CH 3) 3 Cl -, C 8 F 17 SO 2 NHC 3 H 6 -N + (CH 3 ), F (CF 2 CF 2 ) (1-7) —CH 2 CH 2 SCH 2 CH 2 —CO 2 —Li + , C 8 F 17 SO 2 N (C 2 H 5 ) —CO 2 —K + , (F (CF 2 CF 2) (1~7)) CH 2 CH 2 O) 1,2 PO (O - NH 4 +) 1,2, C 10 F 21 SO 3 - NH 4 +, C 6 F 13 CH 2 CH 2 SO 3 H, C 6 F 13 CH 2 CH 2 SO 3 - NH 4 +, C 8 F 17 SO 2 N (C 2 H 5) - (CH 2 CH 2 O) (0~25) H , C 8 F 17 SO 2 N (C 2 H 5) - (CH 2 CH 2 O) (0~25) CH , F (CF 2 CF 2) (1~7) -CH 2 CH 2 O- (CH 2 CH 2 O) (0~25) H and the like.

フルオロアルキル基を有する界面活性剤は、単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。なお、フルオロアルキル基を有する界面活性剤を用いることにより、基材との密着性と良好な撥水性とを得ることができる。
さらに、フッ素を含有しないアルキル基を有した構造であってもよく、一般的な界面活性剤にも緻密な膜を形成させることで、撥水性を得ることができる。
The surfactant having a fluoroalkyl group may be used alone or in combination of two or more. In addition, adhesiveness with a base material and favorable water repellency can be obtained by using the surfactant which has a fluoroalkyl group.
Further, it may have a structure having an alkyl group that does not contain fluorine, and water repellency can be obtained by forming a dense film on a general surfactant.

また、前記のシランカップリング材や金属アルコキシド自体を、撥水材料とする場合、このような撥水性を有するシランカップリング材または金属アルコキシドとしては、例えば前述したように、シランカップリング材としてアルコキシシランを用いればよい。また、より撥水性を高めるためには、このアルコキシシランのアルコキシ基、または金属アルコキシドのアルコキシ基中におけるアルキル基にフッ素基が導入されたもの、例えばパ−フルオロアルキル構造[C(2n+1)]を有するものを用いるようにすればよい。さらに、フッ素基が導入されていなくても、特に前記アルコキシ基中におけるアルキル基の炭素数が多く、その直鎖が十分に長いものであれば、これが疎水基となることで、得られる防湿膜90は撥水性を有するものとなる。 Further, when the silane coupling material or the metal alkoxide itself is used as a water repellent material, the silane coupling material or metal alkoxide having such a water repellency is, for example, as described above, an alkoxy compound as a silane coupling material. Silane may be used. In order to further improve the water repellency, a fluorine group introduced into the alkoxy group of this alkoxysilane or the alkoxy group of the metal alkoxide, for example, a perfluoroalkyl structure [C n F (2n + 1) ] May be used. Furthermore, even if a fluorine group is not introduced, the moisture-proof film 90 obtained by forming a hydrophobic group if the alkyl group in the alkoxy group has a large number of carbon atoms and the straight chain is sufficiently long. Has water repellency.

このような材料によって形成されるゾルゲル溶液、すなわち、シランカップリング材及び金属アルコキシドと、必要に応じて添加される撥水材料との混合物に、水が加えられて形成されるゾルゲル溶液は、前記基板10、20の側端面側に塗布され、さらに硬化処理がなされることにより、防湿膜90に形成される。ここで、本実施形態では、ゾルゲル溶液として、前記のtetramethoxysilane、3-glycidoxyproyl-trimethoxysilane、3-aminopropyl-triethoxysilane、及びaluminum-sec-butoxide、zirconium-n-propoxideを適宜な比で混合し、これらの混合物に当量の水を添加し撹拌することで、粘性が高く、したがって粘着性が高いゾルゲル溶液を作製している。   A sol-gel solution formed by such a material, that is, a sol-gel solution formed by adding water to a mixture of a silane coupling material and a metal alkoxide and a water-repellent material added as necessary, It is formed on the moisture-proof film 90 by being applied to the side end surfaces of the substrates 10 and 20 and further subjected to a curing process. Here, in the present embodiment, as the sol-gel solution, the tetramethoxysilane, 3-glycidoxyproyl-trimethoxysilane, 3-aminopropyl-triethoxysilane, aluminum-sec-butoxide, and zirconium-n-propoxide are mixed at an appropriate ratio, and these are mixed. By adding an equivalent amount of water to the mixture and stirring, a sol-gel solution having high viscosity and thus high tackiness is prepared.

このようにして得られたゾルゲル溶液の塗布については、特に限定されることなく種々の方法が採用可能である。具体的には、浸漬法(ディップコート法)やスプレーコート法、各種印刷法、さらにはディスペンス法やインクジェット法などが好適に用いられる。なお、本実施形態では、特に基板10,20の側端面側の全面に防湿膜90を形成するので、例えば液晶セル100の表裏面となる基板10,20の外面(表面)をマスキングしておき、その状態で基板10,20の側端面側を前記ゾルゲル溶液中に浸漬するといった方法が、簡易であることから好適に採用される。   The application of the sol-gel solution thus obtained is not particularly limited, and various methods can be adopted. Specifically, a dipping method (dip coating method), a spray coating method, various printing methods, a dispensing method, an inkjet method, and the like are preferably used. In the present embodiment, since the moisture-proof film 90 is formed on the entire surface on the side end surfaces of the substrates 10 and 20, for example, the outer surfaces (front surfaces) of the substrates 10 and 20 that are the front and back surfaces of the liquid crystal cell 100 are masked. In this state, a method of immersing the side end surfaces of the substrates 10 and 20 in the sol-gel solution is preferably employed because it is simple.

このようにして塗布すると、ゾルゲル溶液は前述したように粘着性が高いことから、塗布箇所に良好に付着する。そこで、この塗布面に紫外線を例えば数秒から60秒程度照射することにより、前記ゾルゲル溶液を硬化させ、防湿膜90を得ることができる。または、150℃以下(例えば80℃〜150℃)の、液晶セル100の特性を劣化させない温度で数分から数十分程度加熱処理を行うことにより、前記ゾルゲル溶液を硬化させて防湿膜90を得ることもできる。もちろん、このような紫外線照射処理と加熱処理とを併用することにより、硬化時間をより短縮することもできる。
なお、このような防湿膜90の形成に先立ち、前記ゾルゲル溶液の塗布箇所を、適宜な方法で洗浄処理しておくことが望ましい。
When applied in this manner, the sol-gel solution adheres well to the application site because of its high adhesiveness as described above. Therefore, the sol-gel solution is cured by irradiating the coated surface with ultraviolet rays for several seconds to 60 seconds, for example, and the moisture-proof film 90 can be obtained. Alternatively, the moisture-proof film 90 is obtained by curing the sol-gel solution by performing heat treatment at a temperature of 150 ° C. or less (for example, 80 ° C. to 150 ° C.) at a temperature that does not deteriorate the characteristics of the liquid crystal cell 100 for several minutes to several tens of minutes. You can also. Of course, the curing time can be further shortened by using such ultraviolet irradiation treatment and heat treatment in combination.
Prior to the formation of such a moisture-proof film 90, it is desirable to wash the application portion of the sol-gel solution by an appropriate method.

このようにして得られた防湿膜90は、例えばシール材52の透湿率が約5g/m・24hrであるのに対し、約0.16g/m・24hrと格段に低いことから、特に配向膜40,60とシール材52との界面やシール材52自体の側面からの透湿をより良好に防止することができる。
したがって、本実施形態の液晶セル100にあっては、吸湿(透湿)に起因する品質低下が確実に防止されたものとなる。
The moisture-proof film 90 obtained in this manner has a remarkably low value of about 0.16 g / m 2 · 24 hr while the moisture permeability of the sealing material 52 is about 5 g / m 2 · 24 hr, for example. In particular, moisture permeation from the interface between the alignment films 40 and 60 and the sealing material 52 and the side surface of the sealing material 52 itself can be prevented more favorably.
Therefore, in the liquid crystal cell 100 of the present embodiment, quality deterioration due to moisture absorption (moisture permeability) is reliably prevented.

また、防湿膜90を形成するゾルゲル溶液について、金属アルコキシドとしてZrアルコキシド及びAlアルコキシドを用いているので、これら金属アルコキシドが加水分解されてその金属(Zr、Al)が例えば[ZrO]や[AlO]のような八面体構造を形成する酸化物となることから、これが被塗布箇所の有機官能器やシランカップリング材からなる構造に結合することなどにより、特に得られる防湿膜90の膜密度が高くなり、その透湿性が低くなって防湿性が高くなる。すなわち、シランカップリング材だけであれば、これが加水分解されて[SiO]のような四面体構造となり、これが被塗布箇所の有機官能器等に結合するだけとなる。しかし、このような一種類の構造からなる膜よりは前述したような八面体構造のものを含めた二種類の構造からなる膜のほうが、より膜密度が高くなり、透湿性が低くなって防湿性が高くなるのである。また、硬化する前のゾルゲル溶液の状態においても、液の密度が高くなることで粘性が高く粘着性が高くなることにより、被塗布箇所に対する密着性が良好になるのである。 In addition, since Zr alkoxide and Al alkoxide are used as the metal alkoxide for the sol-gel solution forming the moisture-proof film 90, these metal alkoxides are hydrolyzed and the metal (Zr, Al) is, for example, [ZrO 6 ] or [AlO 6 ], which is an oxide that forms an octahedral structure, such as when bonded to a structure made of an organic functional device or a silane coupling material at the application site, the film density of the moisture-proof film 90 obtained in particular. Becomes higher, moisture permeability becomes lower and moisture resistance becomes higher. That is, if only the silane coupling agent, which is hydrolysed becomes tetrahedral structure as [SiO 4], which is the only bind to the organic functional device, etc. of the coating portion. However, a film having two types of structures including the octahedron structure as described above has a higher film density and a lower moisture permeability than a film having one type of structure. The nature becomes higher. In addition, even in the state of the sol-gel solution before curing, the viscosity of the liquid becomes high and the adhesiveness becomes high by increasing the density of the liquid, thereby improving the adhesion to the application site.

さらに、防湿膜90中には前記金属アルコキシド中の金属(Zr、Al)が存在することから、配向膜40,60等に溜まった電荷を放出することによる、静電気防止機能も発揮するものとなる。
なお、シランカップリング材として、例えば前記のN-trimethoxysilylpropyl-N,N,N-trimethylammonium chlorideのような極性化合物を用いれば、これが配向膜40,60等に溜まった電荷を放出する機能を有するものとなることにより、防湿膜90は静電気防止機能を発揮するものとなる。
Further, since the metal (Zr, Al) in the metal alkoxide is present in the moisture-proof film 90, the anti-static function is exhibited by releasing the charge accumulated in the alignment films 40, 60 and the like. .
If a polar compound such as N-trimethoxysilylpropyl-N, N, N-trimethylammonium chloride is used as the silane coupling material, for example, this has a function of releasing charges accumulated in the alignment films 40, 60, etc. As a result, the moisture-proof film 90 exhibits an antistatic function.

また、ゾルゲル溶液を形成するシランカップリング材として、特に直鎖の炭素数が多くこの直鎖が長鎖となるアルコキシ基(アルキル基)を有するアルコキシシランと、直鎖の炭素数が少なくこの直鎖が短鎖となるアルコキシ基(アルキル基)を有するアルコキシシランとを混合して用いれば、長鎖による網目構造内に短鎖が入り込むことで、防湿膜90の膜密度がより高くなってその透湿性が低くなり、防湿性がより高くなる。   In addition, as a silane coupling material for forming a sol-gel solution, an alkoxysilane having an alkoxy group (alkyl group) having a large number of straight-chain carbons and a long straight chain, and a straight chain having a small number of straight-chain carbons. If an alkoxysilane having an alkoxy group (alkyl group) having a short chain is mixed and used, the short chain enters the network structure of the long chain, and the film density of the moisture-proof film 90 becomes higher. Moisture permeability becomes lower and moisture resistance becomes higher.

また、防湿膜90が撥水性を有しており、したがってこの防湿膜90上に水分が付着するのを防止しているので、例えばシール材52や配向膜40,60上に水分が付着するのを防止することができ、これにより水分の付着によって透湿が起こり易くなってしまうのを防止することができる。また、水分の付着による液晶セル100内への水分の浸入も、もちろん防止することができる。特に、防湿膜90を基板10,20の側端面側の全面に形成しているので、これら基板10,20の側端面側からの透湿や水の浸入をより良好に防止することができる。   Further, since the moisture-proof film 90 has water repellency, and thus prevents moisture from adhering to the moisture-proof film 90, for example, moisture adheres to the sealing material 52 and the alignment films 40 and 60. Thus, moisture permeation can be prevented from being easily caused by adhesion of moisture. In addition, it is possible to prevent moisture from entering the liquid crystal cell 100 due to moisture adhesion. In particular, since the moisture-proof film 90 is formed on the entire surface of the side end surfaces of the substrates 10 and 20, moisture permeation and water intrusion from the side end surfaces of the substrates 10 and 20 can be prevented better.

さらに、この液晶セル100によれば、配向膜40,60の表面に対する撥水処理を省くことが可能となり、配向膜40,60の表面に撥水膜を形成することによって生じる液晶素子への影響(例えば撥水膜の不均一性に伴うプレチルトの乱れ、撥水膜との接触による液晶層50内での気泡の発生など)を回避することができる。また、一対の基板10,20を貼り合わせた後に、防湿膜90を形成することから、シール材52の硬化時の光や熱によって防湿膜90の機能が低下することを回避することができる。   Furthermore, according to the liquid crystal cell 100, it is possible to omit the water repellent treatment on the surfaces of the alignment films 40 and 60, and the influence on the liquid crystal element caused by forming the water repellent film on the surfaces of the alignment films 40 and 60. (For example, pretilt disturbance due to non-uniformity of the water repellent film, generation of bubbles in the liquid crystal layer 50 due to contact with the water repellent film, etc.) can be avoided. In addition, since the moisture-proof film 90 is formed after the pair of substrates 10 and 20 are bonded together, it is possible to avoid the function of the moisture-proof film 90 from being deteriorated by light or heat when the sealing material 52 is cured.

次に、図1に示した実施形態の変形例を、図2、図3、図4を参照して説明する。
図2の液晶装置(液晶パネル130)は、図1と異なり、基板10,20の外面側に、偏光板45,65と、防塵板46,66とが配設されており、偏光板45,65の側面と防塵板46,66の側面とをさらに覆って防湿膜90が形成されている。すなわち、防湿膜90は、基板10,20の側端面側の全面、つまり、基板10,20、導電膜9,21、配向膜40,60、及びシール材52の各側面に加え、偏光板45,65,及び防塵板46,66の各側面を連続的にかつ全周にわたって覆うように配設されている。そして、本例の液晶パネル130でも、基板10,20と導電膜9,21との接合部分、導電膜9,21と配向膜40,60との接合部分、及び配向膜40,60とシール材52との接合部分に加え、基板10,20と偏光板45,65との接合部分、偏光板45,65と防塵板46,66との接合部分がそれぞれ、防湿膜90に覆われることから、それらの接合部分やシール材52自体から装置内部に透湿(吸湿)が起こり、あるいは水分の浸入が起こるのを防止することができる。
Next, a modification of the embodiment shown in FIG. 1 will be described with reference to FIG. 2, FIG. 3, and FIG.
The liquid crystal device (liquid crystal panel 130) of FIG. 2 differs from FIG. 1 in that polarizing plates 45 and 65 and dustproof plates 46 and 66 are disposed on the outer surface side of the substrates 10 and 20, and the polarizing plates 45, A moisture-proof film 90 is formed to further cover the side surfaces of 65 and the side surfaces of the dust-proof plates 46 and 66. That is, the moisture-proof film 90 is applied to the entire surface on the side end face side of the substrates 10 and 20, that is, the side surfaces of the substrates 10 and 20, the conductive films 9 and 21, the alignment films 40 and 60, and the sealing material 52. , 65 and the dustproof plates 46, 66 are disposed so as to cover the entire circumference continuously. Also in the liquid crystal panel 130 of the present example, the joint portion between the substrates 10 and 20 and the conductive films 9 and 21, the joint portion between the conductive films 9 and 21 and the alignment films 40 and 60, and the alignment films 40 and 60 and the sealing material. In addition to the bonding portion with 52, the bonding portions between the substrates 10 and 20 and the polarizing plates 45 and 65 and the bonding portions between the polarizing plates 45 and 65 and the dustproof plates 46 and 66 are covered with the moisture-proof film 90, respectively. It is possible to prevent moisture permeation (moisture absorption) from occurring in the apparatus from these joint portions and the sealing material 52 itself, or intrusion of moisture.

図3の液晶装置(液晶セル150)は、図1と同様に、防湿膜90が、基板10,20、導電膜9,21、配向膜40,60、及びシール材52の各側面を連続的にかつ全域にわたって覆うように配設されている。また、図3の液晶セル150は、図1と異なり、基板10,20の側面に比べてシール材52の側面が内方に位置し、その段差に沿って連続的に防湿膜90が形成されている。   In the liquid crystal device (liquid crystal cell 150) of FIG. 3, the moisture-proof film 90 is continuously formed on each side of the substrates 10, 20, the conductive films 9, 21, the alignment films 40, 60, and the sealing material 52, as in FIG. And is arranged so as to cover the entire area. Further, unlike the liquid crystal cell 150 of FIG. 1, the side surface of the sealing material 52 is located inward compared to the side surfaces of the substrates 10 and 20, and the moisture-proof film 90 is continuously formed along the step. ing.

すなわち、図3の液晶セル150では、シール材52の側面が基板10,20の側面に比べて凹んでおり、基板10,20、導電膜9,21、及び配向膜40,60の側面に加え、その凹部に防湿膜90が充填されている。そして、防湿膜90の膜厚に関して、基板10,20、導電膜9,21、及び配向膜40,60の各側面位置に比べて、シール材52の側面位置が厚くなっている。したがって、本例の液晶セル150によれば、厚膜の防湿膜90に覆われた部分、すなわち、配向膜40,60とシール材52との界面(接合部分)、及びシール材52の側面において、吸湿(透湿)や水分の浸入がより確実に防止されたものとなっている。さらに、本例の液晶セル150では、基板10,20の側面側に段差が形成され、その段差部分を覆って防湿膜90が形成されていることから、この防湿膜90が段差部分に係合した状態で基板10,20の側面側に形成されたものとなり、したがって、基板10,20の側面側に対する防湿膜90の密着性がより良好となる。   That is, in the liquid crystal cell 150 of FIG. 3, the side surface of the sealing material 52 is recessed compared to the side surfaces of the substrates 10 and 20, and in addition to the side surfaces of the substrates 10 and 20, the conductive films 9 and 21, and the alignment films 40 and 60. The moisture-proof film 90 is filled in the recess. In terms of the film thickness of the moisture-proof film 90, the side surface position of the sealing material 52 is thicker than the side surface positions of the substrates 10 and 20, the conductive films 9 and 21, and the alignment films 40 and 60. Therefore, according to the liquid crystal cell 150 of this example, the portion covered with the thick moisture-proof film 90, that is, the interface (bonding portion) between the alignment films 40 and 60 and the sealing material 52 and the side surface of the sealing material 52. Further, moisture absorption (moisture permeability) and moisture intrusion are prevented more reliably. Further, in the liquid crystal cell 150 of this example, a step is formed on the side surfaces of the substrates 10 and 20, and the moisture-proof film 90 is formed so as to cover the step portion. Therefore, the moisture-proof film 90 is engaged with the step portion. In this state, it is formed on the side surfaces of the substrates 10 and 20, and therefore, the adhesion of the moisture-proof film 90 to the side surfaces of the substrates 10 and 20 becomes better.

図4の液晶セルで140は、図3の液晶セル150に対し、特に防湿膜90を、基板10,20の側面側の全面でなく、配向膜40,60及びシール材52のみを覆った状態で形成している。このようにしても、防湿膜90の透湿防止効果が優れているので、配向膜40,60とシール材52との界面(接合部分)、及びシール材52の側面からの吸湿(透湿)や水分の浸入を確実に防止することができる。   In the liquid crystal cell 140 of FIG. 4, the liquid crystal cell 150 of FIG. 3 has a moisture-proof film 90 that covers not only the entire side surfaces of the substrates 10 and 20 but only the alignment films 40 and 60 and the sealing material 52. It is formed with. Even in this case, since the moisture permeation preventing effect of the moisture proof film 90 is excellent, moisture absorption (moisture permeability) from the interface (bonding portion) between the alignment films 40 and 60 and the seal material 52 and from the side surface of the seal material 52 is achieved. Intrusion of moisture and water can be reliably prevented.

次に、本発明の液晶装置の具体的な構成例について説明する。
図5は本実施形態の液晶装置の全体構造を示す平面図である。図6は図5の液晶装置の縦断面図である。図7は本実施形態の液晶装置の画像表示領域を構成するマトリックス状に配置された複数の画素におけるスイッチング素子、信号線等を示す等価回路図である。
Next, a specific configuration example of the liquid crystal device of the present invention will be described.
FIG. 5 is a plan view showing the overall structure of the liquid crystal device of this embodiment. 6 is a longitudinal sectional view of the liquid crystal device of FIG. FIG. 7 is an equivalent circuit diagram showing switching elements, signal lines, and the like in a plurality of pixels arranged in a matrix constituting the image display region of the liquid crystal device of this embodiment.

図5及び図6に示すように、この液晶装置(透過型液晶セル150)は、TFTアレイ基板10と対向基板20とがシール材52によって貼り合わされ、このシール材52によって区画された領域内に液晶50が封入、保持されている。シール材52には、製造時においてTFTアレイ基板10と対向基板20とを貼り合わせた後に液晶を注入するための液晶注入口55が形成されており、該液晶注入口55は液晶注入後に封止材54により封止されている。   As shown in FIG. 5 and FIG. 6, in this liquid crystal device (transmission type liquid crystal cell 150), the TFT array substrate 10 and the counter substrate 20 are bonded together by a sealing material 52, and in a region partitioned by the sealing material 52. Liquid crystal 50 is enclosed and held. The sealing material 52 is formed with a liquid crystal injection port 55 for injecting liquid crystal after the TFT array substrate 10 and the counter substrate 20 are bonded together at the time of manufacturing. The liquid crystal injection port 55 is sealed after the liquid crystal injection. It is sealed with a material 54.

シール材52の内側の領域には、遮光性材料からなる周辺見切り(図示略)が形成される一方、シール材52の外側の領域には、データ線駆動回路201及び実装端子202がTFTアレイ基板10の一辺に沿って形成されており、この一辺に隣接する2辺に沿って走査線駆動回路204が形成されている。TFTアレイ基板10の残る一辺には、画像表示領域の両側に設けられた走査線駆動回路204の間を接続するための複数の配線205が設けられている。   A peripheral part (not shown) made of a light-shielding material is formed in a region inside the sealing material 52, while a data line driving circuit 201 and a mounting terminal 202 are provided in the TFT array substrate in a region outside the sealing material 52. The scanning line driving circuit 204 is formed along two sides adjacent to the one side. On the remaining side of the TFT array substrate 10, a plurality of wirings 205 are provided for connecting between the scanning line driving circuits 204 provided on both sides of the image display area.

図7に示すように、画像表示領域を構成するマトリックス状に配置された複数の画素に、画素電極9と、この画素電極9を制御するためのスイッチング素子であるTFT素子30とがそれぞれ形成されており、画像信号が供給されるデータ線6aが当該TFT素子30のソースに電気的に接続されている。データ線6aに供給される画像信号S1、S2、…、Snは、この順に線順次に供給されるか、あるいは相隣接する複数のデータ線6aに対してグループ毎に供給される。   As shown in FIG. 7, a pixel electrode 9 and a TFT element 30 that is a switching element for controlling the pixel electrode 9 are formed on a plurality of pixels arranged in a matrix that forms an image display area. The data line 6 a to which the image signal is supplied is electrically connected to the source of the TFT element 30. The image signals S1, S2,..., Sn supplied to the data line 6a are supplied line-sequentially in this order, or are supplied for each group to a plurality of adjacent data lines 6a.

また、走査線3aがTFT素子30のゲートに電気的に接続されており、複数の走査線3aに対して走査信号G1、G2、…、Gmが所定のタイミングでパルス的に線順次で印加される。また、画素電極9はTFT素子30のドレインに電気的に接続されており、このTFT素子30を一定期間だけオン状態とすることにより、データ線6aから供給される画像信号S1、S2、…、Snを所定のタイミングで書き込むようになっている。   In addition, the scanning line 3a is electrically connected to the gate of the TFT element 30, and scanning signals G1, G2,..., Gm are applied to the plurality of scanning lines 3a in a pulse-sequential manner at predetermined timing. The The pixel electrode 9 is electrically connected to the drain of the TFT element 30. By turning on the TFT element 30 for a certain period, the image signals S1, S2,. Sn is written at a predetermined timing.

画素電極9を介して液晶に書き込まれた所定レベルの画像信号S1、S2、…、Snは、後述する共通電極との間で一定期間保持される。この液晶は、印加される電圧レベルにより分子集合の配向や秩序が変化することにより、光を変調し、階調表示を可能にする。
保持された画像信号がリークすることを防止するために、画素電極9と共通電極との間に形成される液晶容量と並列に蓄積容量17が付加されている。
A predetermined level of image signals S1, S2,..., Sn written to the liquid crystal via the pixel electrode 9 is held for a certain period with the common electrode described later. This liquid crystal modulates light by changing the orientation and order of the molecular assembly according to the applied voltage level, thereby enabling gradation display.
In order to prevent the held image signal from leaking, a storage capacitor 17 is added in parallel with the liquid crystal capacitor formed between the pixel electrode 9 and the common electrode.

図5及び図6に戻り、TFTアレイ基板10の液晶層50側の表面には、画素電極9と、電圧無印加時における液晶層50内の液晶分子の配向を制御するための配向膜40が形成されている。なお、TFTアレイ基板10の液晶層50側と反対側の表面には、所定の偏光のみを透過する偏光板、及び必要に応じて防塵板が配設される。   5 and 6, the pixel electrode 9 and an alignment film 40 for controlling the alignment of the liquid crystal molecules in the liquid crystal layer 50 when no voltage is applied are formed on the surface of the TFT array substrate 10 on the liquid crystal layer 50 side. Is formed. A polarizing plate that transmits only predetermined polarized light and, if necessary, a dustproof plate are disposed on the surface of the TFT array substrate 10 opposite to the liquid crystal layer 50 side.

他方、対向基板20の液晶層50側の表面には、ITO等の透明電極材料からなる共通電極21と、電圧無印加時における液晶層50内の液晶分子の配向を制御するための配向膜60とが形成されている。なお、TFTアレイ基板10の液晶層50側と反対側の表面には、所定の偏光のみを透過する偏光板、及び必要に応じて防塵板が配設される。   On the other hand, on the surface of the counter substrate 20 on the liquid crystal layer 50 side, a common electrode 21 made of a transparent electrode material such as ITO and an alignment film 60 for controlling the alignment of liquid crystal molecules in the liquid crystal layer 50 when no voltage is applied. And are formed. A polarizing plate that transmits only predetermined polarized light and, if necessary, a dustproof plate are disposed on the surface of the TFT array substrate 10 opposite to the liquid crystal layer 50 side.

そして、本例の液晶セル150では、基板10、導電膜9,21、配向膜40,60、及びシール材52の各側面(端面)を連続的にかつ全周にわたって覆うように防湿膜90が配設されている。なお、電極や配線(データ線駆動回路201、実装端子202、配線205など)などの防湿膜の不要な部分は、予めマスキングした後に成膜がなされたり、成膜後に防湿膜が除去されるなどにより、露出させられている。   In the liquid crystal cell 150 of this example, the moisture-proof film 90 is formed so as to continuously and entirely cover the side surfaces (end surfaces) of the substrate 10, the conductive films 9 and 21, the alignment films 40 and 60, and the sealing material 52. It is arranged. Note that unnecessary portions of the moisture-proof film such as electrodes and wiring (data line driving circuit 201, mounting terminal 202, wiring 205, etc.) are formed after masking in advance, or the moisture-proof film is removed after film formation. Is exposed.

その結果、本例の液晶セル150では、防湿膜90によって導電膜9,21、配向膜40,60、及びシール材52の各側面からの吸湿(透湿)が防止され、さらに、基板10,20と導電膜9,21との接合部分、導電膜9,21と配向膜40,60との接合部分、及び配向膜40,60とシール材52との接合部分がそれぞれ、防湿膜90に覆われることから、それらの接合部分(界面)から装置内部への吸湿や水分の浸入が防止される。   As a result, in the liquid crystal cell 150 of this example, moisture absorption (moisture permeability) from the respective side surfaces of the conductive films 9 and 21, the alignment films 40 and 60, and the sealing material 52 is prevented by the moisture-proof film 90. 20 and the conductive film 9, 21, the conductive film 9, 21 and the alignment film 40, 60, and the alignment film 40, 60 and the sealing material 52, respectively. Therefore, moisture absorption and moisture intrusion into the inside of the apparatus from those joint portions (interfaces) are prevented.

なお、本実施形態においては、TNモードの液晶装置についてのみ説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、本発明は、垂直配向モード、STN(Super TwistedNematic)モードなど、電圧無印加時の液晶分子の配向状態がいかなる液晶装置にも適用することができる。本発明を、垂直配向モードの液晶装置に適用する場合には、液晶層を、液晶分子の長短軸方向が短長軸方向に比較して分極しやすい、正負の誘電率異方性を有する液晶により構成すれば良い。この場合には、電圧無印加時に、液晶層内の液晶分子が配向膜によって制御され、所定の方向に配列するのに対し、電圧印加時には、液晶層内の液晶分子が、その長軸方向を一対の基板間に発生する縦電界の方向に対して略垂直平行方向に向けて配列するため、電圧無印加時、電圧印加時における液晶分子の配列を光学的に識別し、表示を行うことができる。   In the present embodiment, only the TN mode liquid crystal device has been described. However, the present invention is not limited to this, and the present invention does not apply voltage such as a vertical alignment mode and an STN (Super Twisted Nematic) mode. The alignment state of the liquid crystal molecules at the time can be applied to any liquid crystal device. When the present invention is applied to a vertical alignment mode liquid crystal device, the liquid crystal layer has a positive and negative dielectric anisotropy in which the major and minor axis directions of the liquid crystal molecules are more easily polarized than the minor and major axis directions. What is necessary is just to comprise. In this case, when no voltage is applied, the liquid crystal molecules in the liquid crystal layer are controlled by the alignment film and are aligned in a predetermined direction, whereas when a voltage is applied, the liquid crystal molecules in the liquid crystal layer have their major axis direction changed. Since it is arranged in a direction substantially perpendicular to the direction of the vertical electric field generated between the pair of substrates, the arrangement of liquid crystal molecules when no voltage is applied and when the voltage is applied can be optically identified and displayed. it can.

図8は、パッシブマトリックス型の透過型液晶装置の全体構成を示す斜視図である。
この透過型液晶装置は、液晶層(図示略)を挟持して対向配置された一対の基板70,80を具備して概略構成されている。
FIG. 8 is a perspective view showing the overall configuration of a passive matrix transmissive liquid crystal device.
This transmissive liquid crystal device is schematically configured to include a pair of substrates 70 and 80 arranged to face each other with a liquid crystal layer (not shown) interposed therebetween.

より詳細には、基板70は、基板本体71の液晶層側表面に、ストライプ状に形成された多数の透明電極72と、イオン吸着性微粒子を含有してなる保護膜(図示略)と配向膜(図示略)とを順次具備して構成されている。また、基板80は、基板本体81の液晶層側表面に、ストライプ状に形成された多数の透明電極82と、イオン吸着性微粒子を含有してなる保護膜(図示略)と配向膜(図示略)とを順次具備して構成されている。   More specifically, the substrate 70 includes a plurality of transparent electrodes 72 formed in a stripe shape on the surface of the substrate body 71 on the liquid crystal layer side, a protective film (not shown) and an alignment film containing ion-adsorbing fine particles. (Not shown) are sequentially provided. The substrate 80 includes a large number of transparent electrodes 82 formed in a stripe pattern on the surface of the substrate body 81 on the liquid crystal layer side, a protective film (not shown) containing ion-adsorbing fine particles, and an alignment film (not shown). ) In order.

なお、図示するように、基板70の透明電極72と基板80の透明電極82とは互いに交差する方向に形成されている。また、一対の基板70,80の側面には、全周に不図示の防湿膜が連続的に形成されている。
このように、本発明は、パッシブマトリックス型の透過型液晶装置にも適用することができ、アクティブマトリックス型の透過型液晶装置と同様の効果を得ることができる。
As shown in the figure, the transparent electrode 72 of the substrate 70 and the transparent electrode 82 of the substrate 80 are formed in a direction crossing each other. Further, a moisture-proof film (not shown) is continuously formed on the entire sides of the pair of substrates 70 and 80.
As described above, the present invention can also be applied to a passive matrix transmissive liquid crystal device, and the same effect as that of an active matrix transmissive liquid crystal device can be obtained.

前記の各実施形態においては、TFT素子を用いたアクティブマトリックス型の透過型液晶装置、パッシブマトリックス型の透過型液晶装置についてのみ説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、TFD(Thin-Film Diode)素子に代表される2端子型素子を用いたアクティブマトリックス型液晶装置等にも適用可能である。   In each of the above embodiments, only the active matrix type transmissive liquid crystal device and the passive matrix type transmissive liquid crystal device using TFT elements have been described. However, the present invention is not limited to these, and the TFD ( The present invention can also be applied to an active matrix liquid crystal device using a two-terminal element typified by a thin-film diode element.

また、前記の各実施形態においては、透過型液晶装置を取り上げて説明したが、本発明は、一対の基板を貼り合わせた後にそれらの基板の外面に防湿膜を形成した構成であればよく、前記の各実施形態に限定されるものではない。例えば、透過型液晶装置以外の反射型液晶装置、半透過反射型液晶装置にも適用可能であり、いかなる構造の液晶装置にも適用することができる。   Further, in each of the embodiments described above, the transmissive liquid crystal device has been taken up and described, but the present invention only needs to have a configuration in which a moisture-proof film is formed on the outer surface of a pair of substrates after being bonded together. It is not limited to the above embodiments. For example, the present invention can be applied to a reflective liquid crystal device other than a transmissive liquid crystal device and a transflective liquid crystal device, and can be applied to a liquid crystal device having any structure.

(電子機器)
次に、本発明の電子機器の一例としてプロジェクタについて説明する。
図9は、プロジェクタを概略的に示す図である。
このプロジェクタPJ1は、本発明の液晶装置を光変調手段(液晶ライトバルブ)として用いており、R(赤)、G(緑)、B(青)の異なる色毎に透過型液晶ライトバルブを備えた3板式の間欠表示型カラー液晶プロジェクタである。
(Electronics)
Next, a projector will be described as an example of the electronic apparatus of the invention.
FIG. 9 schematically shows the projector.
This projector PJ1 uses the liquid crystal device of the present invention as a light modulation means (liquid crystal light valve), and includes a transmissive liquid crystal light valve for each of different colors of R (red), G (green), and B (blue). 3 plate type intermittent display type color liquid crystal projector.

図9に示すように、プロジェクタPJ1は、光源810と、ダイクロイックミラー813,814と、反射ミラー815,816,817と、入射レンズ818と、リレーレンズ819と、射出レンズ820と、液晶ライトバルブ822,823,824と、クロスダイクロイックプリズム825と、投射レンズ826とを備えて構成されている。   As shown in FIG. 9, the projector PJ1 includes a light source 810, dichroic mirrors 813, 814, reflection mirrors 815, 816, 817, an incident lens 818, a relay lens 819, an exit lens 820, and a liquid crystal light valve 822. , 823, 824, a cross dichroic prism 825, and a projection lens 826.

光源810は、メタルハライド等のランプ811とランプの光を反射するリフレクタ812とを含む。
ダイクロイックミラー813は、光源810からの白色光に含まれる赤色光を透過させるとともに、青色光と緑色光とを反射する。透過した赤色光は反射ミラー817で反射されて、赤色光用液晶ライトバルブ822に入射する。また、ダイクロイックミラー813で反射された緑色光は、ダイクロイックミラー814によって反射され、緑色光用液晶ライトバルブ822に入射する。さらに、ダイクロイックミラー813で反射された青色光は、ダイクロイックミラー814を透過する。青色光に対しては、長い光路による光損失を防ぐため、入射レンズ818、リレーレンズ819および射出レンズ820を含むリレーレンズ系からなる導光手段821が設けられている。この導光手段821を介して、青色光が青色光用液晶ライトバルブ824に入射する。
The light source 810 includes a lamp 811 such as a metal halide and a reflector 812 that reflects the light of the lamp.
The dichroic mirror 813 transmits red light contained in white light from the light source 810 and reflects blue light and green light. The transmitted red light is reflected by the reflection mirror 817 and enters the red light liquid crystal light valve 822. The green light reflected by the dichroic mirror 813 is reflected by the dichroic mirror 814 and enters the liquid crystal light valve 822 for green light. Further, the blue light reflected by the dichroic mirror 813 passes through the dichroic mirror 814. For blue light, in order to prevent light loss due to a long optical path, a light guide means 821 including a relay lens system including an incident lens 818, a relay lens 819, and an exit lens 820 is provided. Blue light is incident on the blue light liquid crystal light valve 824 via the light guiding means 821.

各液晶ライトバルブ822,823,824により変調された3つの色光は、クロスダイクロイックプリズム825に入射する。このクロスダイクロイックプリズム825は4つの直角プリズムを貼り合わせたものであり、その界面には赤光を反射する誘電体多層膜と青光を反射する誘電体多層膜とがX字状に形成されている。これらの誘電体多層膜により3つの色光が合成されて、カラー画像を表す光が形成される。合成された光は、投射光学系である投射レンズ826によってスクリーン827上に投影され、画像が拡大されて表示される。   The three color lights modulated by the liquid crystal light valves 822, 823, and 824 are incident on the cross dichroic prism 825. The cross dichroic prism 825 is formed by bonding four right-angle prisms. A dielectric multilayer film that reflects red light and a dielectric multilayer film that reflects blue light are formed in an X shape at the interface. Yes. These dielectric multilayer films combine the three color lights to form light representing a color image. The synthesized light is projected onto the screen 827 by the projection lens 826 which is a projection optical system, and the image is enlarged and displayed.

このようなプロジェクタPJ1によれば、液晶ライトバルブ822,823,824における吸湿(透湿)や水の侵入による表示品質の低下が防止されていることから、表示品質が向上して表示の信頼性が向上したものとなる。   According to such a projector PJ1, since the display quality is prevented from deteriorating due to moisture absorption (moisture permeability) and water intrusion in the liquid crystal light valves 822, 823, and 824, display quality is improved and display reliability is improved. Will be improved.

なお、本例では赤色光用,緑色光用,青色光用の各液晶ライトバルブに本発明の液晶装置を採用したが、係る液晶装置は必ずしも全ての液晶ライトバルブに適用される必要はなく、少なくともR,G,Bのうちのいずれかの液晶ライトバルブに適用すれば、その効果を得ることができる。光のエネルギーが高い青色光(B)用の液晶ライトバルブに本発明の液晶装置を適用すると特に効果的である。
また、3板式の投射型表示装置(プロジェクタ)を例にして説明したが、単板式の投射型表示装置や直視型表示装置に本発明を適用することも可能である。
In this example, the liquid crystal device of the present invention is adopted for each of the liquid crystal light valves for red light, green light, and blue light. However, the liquid crystal device is not necessarily applied to all liquid crystal light valves. When applied to at least one of the liquid crystal light valves of R, G, and B, the effect can be obtained. The liquid crystal device of the present invention is particularly effective when applied to a liquid crystal light valve for blue light (B) having high light energy.
Further, although the description has been given by taking a three-plate projection display device (projector) as an example, the present invention can also be applied to a single-plate projection display device or a direct-view display device.

また、本発明の液晶装置を、プロジェクタ以外の電子機器に適用することも可能である。その具体例として、本発明の液晶装置を表示部に備えた携帯電話を挙げることができる。また、その他の電子機器としては、例えば、ビデオカメラ、パーソナルコンピュータ、ヘッドマウントディスプレイ、さらに表示機能付きファックス装置、デジタルカメラのファインダ、携帯型TV、PDA(Personal Digital Assistant)、電子手帳、電光掲示盤、宣伝公告用ディスプレイ等が挙げられる。   The liquid crystal device of the present invention can also be applied to electronic devices other than projectors. As a specific example, a mobile phone including the liquid crystal device of the present invention in a display portion can be given. Other electronic devices include, for example, a video camera, a personal computer, a head mounted display, a fax machine with a display function, a digital camera finder, a portable TV, a PDA (Personal Digital Assistant), an electronic notebook, and an electric bulletin board. And advertising announcement displays.

以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。   As described above, the preferred embodiments according to the present invention have been described with reference to the accompanying drawings, but the present invention is not limited to the examples. It is obvious for those skilled in the art that various changes or modifications can be conceived within the scope of the technical idea described in the claims. It is understood that it belongs to.

本発明の液晶装置の一例としての液晶セルを示す模式断面図。1 is a schematic cross-sectional view showing a liquid crystal cell as an example of a liquid crystal device of the present invention. 図1の液晶装置の変形例を示す図。FIG. 6 is a diagram showing a modification of the liquid crystal device in FIG. 1. 図1の液晶装置の変形例を示す図。FIG. 6 is a diagram showing a modification of the liquid crystal device in FIG. 1. 図1の液晶装置の変形例を示す図。FIG. 6 is a diagram showing a modification of the liquid crystal device in FIG. 1. 液晶装置の全体構造を示す平面図。The top view which shows the whole structure of a liquid crystal device. 図5の液晶装置の縦断面図。FIG. 6 is a longitudinal sectional view of the liquid crystal device of FIG. 5. 透過型液晶装置の画像表示領域を示す等価回路図。FIG. 6 is an equivalent circuit diagram illustrating an image display area of the transmissive liquid crystal device. パッシブマトリックス型の透過型液晶装置を示す斜視図。FIG. 6 is a perspective view illustrating a passive matrix transmissive liquid crystal device. プロジェクタの一例を概略的に示す図。FIG. 2 schematically shows an example of a projector.

符号の説明Explanation of symbols

10…基板、20…基板、9…画素電極(導電膜)、21…共通電極(導電膜)、50…液晶層(液晶)、52…シール材、40,60…配向膜、70…下側基板、80…上側基板、90…防湿膜、100,140,150…液晶セル(液晶装置)、130…液晶パネル(液晶装置)、PJ1…プロジェクタ。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Substrate, 20 ... Substrate, 9 ... Pixel electrode (conductive film), 21 ... Common electrode (conductive film), 50 ... Liquid crystal layer (liquid crystal), 52 ... Sealing material, 40, 60 ... Alignment film, 70 ... Lower side Substrate, 80 ... upper substrate, 90 ... moisture-proof film, 100, 140, 150 ... liquid crystal cell (liquid crystal device), 130 ... liquid crystal panel (liquid crystal device), PJ1 ... projector.

Claims (7)

互いに対向する一対の基板間に液晶を挟持してなる液晶装置であって、
前記一対の基板のそれぞれの内面に配向膜が設けられ、
前記配向膜間に、前記液晶を封入した状態でシール材が設けられ、
前記一対の基板の側端面側に、少なくとも前記シール材と前記配向膜とを覆った状態で、シランカップリング材と金属アルコキシドと水とを含有してなるゾルゲル溶液が、塗布され、硬化せしめられて防湿膜が形成されていることを特徴とする液晶装置。
A liquid crystal device having a liquid crystal sandwiched between a pair of substrates facing each other,
An alignment film is provided on each inner surface of the pair of substrates,
A sealing material is provided between the alignment films in a state where the liquid crystal is sealed,
A sol-gel solution containing a silane coupling material, a metal alkoxide, and water is applied and cured on the side end surfaces of the pair of substrates in a state of covering at least the sealing material and the alignment film. A liquid crystal device having a moisture-proof film formed thereon.
前記金属アルコキシドが、Zrアルコキシド、Alアルコキシド、Tiアルコキシド、Mgアルコキシドのうちの少なくとも一種からなることを特徴とする請求項1記載の液晶装置。   2. The liquid crystal device according to claim 1, wherein the metal alkoxide comprises at least one of Zr alkoxide, Al alkoxide, Ti alkoxide, and Mg alkoxide. 前記シランカップリング材が複数種のアルコキシシランを有してなり、これらアルコキシシランは、それぞれのアルコキシ基における炭素数が互いに異なることを特徴とする請求項1又は2に記載の液晶装置。   3. The liquid crystal device according to claim 1, wherein the silane coupling material includes a plurality of types of alkoxysilanes, and the alkoxysilanes have different numbers of carbon atoms in the respective alkoxy groups. 前記ゾルゲル溶液が、撥水基を有してなる撥水材料を含有し、該ゾルゲル溶液が硬化して得られる前記防湿膜が、撥水性を有していることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の液晶装置。   The sol-gel solution contains a water-repellent material having a water-repellent group, and the moisture-proof film obtained by curing the sol-gel solution has water repellency. 4. The liquid crystal device according to any one of 3. 前記防湿膜が、前記一対の基板の側端面側の全面に形成されていることを特徴とする請求項4記載の液晶装置。   5. The liquid crystal device according to claim 4, wherein the moisture-proof film is formed on the entire surface on the side end face side of the pair of substrates. 内面に配向膜を形成した一対の基板を、シール材を介して貼り合わせる工程と、
前記シール材に囲まれた領域に液晶を配置する工程と、
前記一対の基板の側端面側に、少なくとも前記シール材と前記配向膜とを覆った状態で、シランカップリング材と金属アルコキシドと水とを含有してなるゾルゲル溶液を塗布する工程と、
前記ゾルゲル溶液を硬化して防湿膜とする工程と、を備えたことを特徴とする液晶装置の製造方法。
A step of bonding a pair of substrates having an alignment film formed on the inner surface through a sealing material;
Disposing a liquid crystal in a region surrounded by the sealing material;
Applying a sol-gel solution containing a silane coupling material, a metal alkoxide, and water in a state of covering at least the sealing material and the alignment film on the side end face sides of the pair of substrates;
And a step of curing the sol-gel solution to form a moisture-proof film.
請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載の液晶装置を備えることを特徴とする電子機器。
An electronic apparatus comprising the liquid crystal device according to any one of claims 1 to 5.
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