JP2006523309A - 気体フローを調節して圧力変化率の測定を改善する方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1にブロック図として示されているシステム10を考察する。このシステム10は、測定チャンバ14に結合された入口貯留槽(reservoir)12を含んでいる。入口貯留槽12は、入口圧力Pi(t)によって特徴付けられる。測定チャンバ14は、入口貯留槽12は測定チャンバ14に結合されている入口ポート16と、内部体積Vと、内部圧力P(t)とによって特徴付けられる。入口フローQ(t)は、入口ポート16を通過して、入口貯留槽12から測定チャンバ14に流れる。時間の関数としての測定チャンバ14の中の圧力P(t)の変化率は、PSTPを標準温度及び圧力におけるチャンバ圧力として、次の数式1で与えられる。
別の実施例では、前記圧力センサは、前記入口ポートに配置され、入口フロー圧力に対応する圧力信号を生じる。
別の実施例では、前記ダンパ伝達関数は、(i)前記入口ダンパの両端での圧力低下と(ii)前記入口ダンパを通過する気体フローとの間の非線形の関係を記述する。
別の実施例では、前記サンプリング周波数の所定の分数は約0.4である。
別の実施例では、前記ダンパは前記フロー・センサの後であり前記圧力センサの前に配置される。
別の実施例は、前記圧力センサを前記入口ポートに配置するステップを更に含み、よって、前記圧力センサが入口フロー圧力に対応する圧力信号を生じるようにする。
別の実施例は、前記ダンパを前記フロー・センサの後であり前記圧力センサの前に配置するステップを更に含む。
図3は、気体フローを調節してその気体フローに関連する圧力変化率の測定を改善する装置100の好適実施例のブロック図を示している。装置100は、測定チャンバ102と、圧力センサ104と、信号プロセッサ106と、入口ダンパ108とを含む。測定チャンバ102は、内部部分を含み、この内部部分のサイズは、内部体積Vによって定義される。測定チャンバ102は、また、貯留槽114から気体フロー112を受け取る入口ポート110を含む。
数式3によって記述されるダンパを有する実施例では、チャンバ圧力Pの時間変化は、次の数式4で示すように、数式3を数式1に代入することによって与えられる。
Claims (20)
- 気体フローを調節して前記気体フローに関連する圧力変化率の測定を改善する装置であって、
内部体積に特長付けられた内部部分と前記気体フローを受け取る入口ポートとを有する測定チャンバと、
前記測定チャンバの前記内部部分の中の圧力を感知して、前記測定チャンバの中の圧力に対応する圧力信号を生じる圧力センサと、
前記圧力信号を受け取り、あるサンプリング周波数でサンプリングし、フィルタリングしてサンプリングした圧力信号を生じ、前記サンプリングされた圧力信号の時間導関数を計算する信号プロセッサと、
前記入口ポート配置された入口ダンパであって、前記気体フローは前記入口ポートを通過する前に少なくとも部分的にはこの入口ダンパを通過して前記測定チャンバの中へ流れるように構成され調整されており、前記気体フローの1又は複数の特性をこの入口ダンパの両端の間の圧力低下の関数としてダンパ伝達関数に従って修正する入口ダンパと、
を備えており、前記内部体積と前記ダンパ伝達関数とは、前記測定チャンバの中の圧力の変動に関連する周波数を前記サンプリング周波数の所定の分数に制限するように選択されることを特徴とする装置。 - 請求項1記載の装置において、前記圧力センサは前記測定チャンバの前記内部部分の中に配置されていることを特徴とする装置。
- 請求項1記載の装置において、前記圧力センサは、前記入口ポートに配置され、入口フロー圧力に対応する圧力信号を生じることを特徴とする装置。
- 請求項1記載の装置において、前記ダンパ伝達関数は、(i)前記入口ダンパの両端での圧力低下と(ii)前記入口ダンパを通過する気体フローとの間の線形の関係を記述することを特徴とする装置。
- 請求項1記載の装置において、前記ダンパ伝達関数は、(i)前記入口ダンパの両端での圧力低下と(ii)前記入口ダンパを通過する気体フローとの間の非線形の関係を記述することを特徴とする装置。
- 請求項1記載の装置において、前記サンプリング周波数の所定の分数は、前記サンプリングされた圧力信号の時間導関数を計算する信号プロセッサと関連する性能限度に対応することを特徴とする装置。
- 請求項1記載の装置において、前記サンプリング周波数の所定の分数は約0.4であることを特徴とする装置。
- 請求項1記載の装置において、
前記入口ポートを通過する気体フローを測定し前記入口ポートを通過する気体フローに対応するフロー信号を生じるフロー・センサと、
前記測定チャンバ上にあり出口気体フローを通過させる出口ポートと、
前記出口ポートに配置され前記出口気体フローを制御する弁と、
を更に備えており、前記信号プロセッサは、(i)前記フロー信号を前記サンプリングされた圧力信号の時間導関数と組み合わせて前記出口気体フローの評価を生じ、(ii)前記弁を前記評価の関数として制御して、実質的に一定の出口気体フローを生じることを特徴とする装置。 - 請求項8記載の装置において、前記ダンパは前記フロー・センサの前に配置されることを特徴とする装置。
- 請求項8記載の装置において、前記ダンパは前記フロー・センサの後であり前記圧力センサの前に配置されることを特徴とする装置。
- 気体フローを調節して前記気体フローに関連する圧力変化率の測定を改善する方法であって、
内部体積に特長付けられた内部部分と前記気体フローを受け取る入口ポートとを有する測定チャンバを提供するステップと、
前記測定チャンバの前記内部部分の中の圧力を感知して、前記測定チャンバの中の圧力に対応する圧力信号を生じるステップと、
前記圧力信号をあるサンプリング周波数でサンプリングし、フィルタリングして、サンプリングされた圧力信号を生じ、前記サンプリングされた圧力信号の時間導関数を計算するステップと、
前記入口ポート配置された入口ダンパを介して前記気体フローを減衰し、前記気体フローは前記入口ポートを通過する前に少なくとも部分的にはこの入口ダンパを通過して前記測定チャンバの中へ流れるように構成され調整されており、前記気体フローの1又は複数の特性を前記入口ダンパの両端の間の圧力低下の関数としてダンパ伝達関数に従って修正するステップと、
前記測定チャンバの中の圧力の変動に関連する周波数を前記サンプリング周波数の所定の分数に制限するように、前記内部体積と前記ダンパ伝達関数とを選択するステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 請求項11記載の方法において、前記圧力センサを前記測定チャンバの前記内部部分の中に配置するステップを更に含むことを特徴とする方法。
- 請求項11記載の方法において、前記圧力センサを前記入口ポートに配置するステップを更に含み、よって、前記圧力センサが入口フロー圧力に対応する圧力信号を生じるようにすることを特徴とする方法。
- 請求項11記載の方法において、(i)前記入口ダンパの両端での圧力低下と(ii)前記入口ダンパを通過する気体フローとの間の線形の関係を記述するダンパ伝達関数を提供するステップを更に含むことを特徴とする方法。
- 請求項11記載の方法において、(i)前記入口ダンパの両端での圧力低下と(ii)前記入口ダンパを通過する気体フローとの間の非線形の関係を記述するダンパ伝達関数を提供するステップを更に含むことを特徴とする方法。
- 請求項11記載の方法において、前記測定チャンバの中の圧力変動に関連する周波数を前記サンプリングされた圧力信号の時間導関数を計算する信号プロセッサと関連する性能限度に対応するサンプリング周波数の所定の分数に制限するように、前記内部体積と前記ダンパ伝達関数とを選択するステップを更に含むことを特徴とする方法。
- 請求項11記載の方法において、前記測定チャンバの中の圧力変動に関連する周波数を前記サンプリング周波数の約0.4のサンプリング周波数の所定の分数に制限するように、前記内部体積と前記ダンパ伝達関数とを選択するステップを更に含むことを特徴とする方法。
- 請求項11記載の方法において、
前記入口ポートを通過する気体フローを測定し前記入口ポートを通過する気体フローに対応するフロー信号を生じるステップと、
前記測定チャンバ上に、出口気体フローを通過させる出口気体フローを提供するステップと、
前記フロー信号を前記サンプリングされた圧力信号の時間導関数と組み合わせて前記出口気体フローの評価を生じるステップと、
前記出口ポートにおける前記出口気体フローを前記評価の関数として制御して、実質的に一定の出口気体フローを生じるステップと、
を更に含むことを特徴とする方法。 - 請求項18記載の方法において、前記ダンパを前記フロー・センサの前に配置するステップを更に含むことを特徴とする方法。
- 請求項18記載の方法において、前記ダンパを前記フロー・センサの後であり前記圧力センサの前に配置するステップを更に含むことを特徴とする方法。
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