JP2006349814A - Photosensitive resin composition, and method for manufacturing resist pattern and method for manufacturing flexible wiring board using the same - Google Patents

Photosensitive resin composition, and method for manufacturing resist pattern and method for manufacturing flexible wiring board using the same Download PDF

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JP2006349814A JP2005173552A JP2005173552A JP2006349814A JP 2006349814 A JP2006349814 A JP 2006349814A JP 2005173552 A JP2005173552 A JP 2005173552A JP 2005173552 A JP2005173552 A JP 2005173552A JP 2006349814 A JP2006349814 A JP 2006349814A
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真之 浜
Tomohiro Hirata
知広 平田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition showing little warpage when the composition is cured and resulting favorable workability upon mounting components, and having excellent folding durability, photosensitive characteristics, electric corrosion resistance, and PCT resistance, and to provide a method for manufacturing a resist pattern and a method for manufacturing a flexible wiring board using the composition. <P>SOLUTION: The photosensitive resin composition comprises: an acid-modified vinyl epoxy resin (A) which is an addition reaction product prepared by reacting a reactive elastomer component (b) and an unsaturated monocarboxylic acid component (c) with an epoxy resin (a) expressed by formula (1), wherein R represents a hydrogen atom or a substituent expressed by formula (1a), to obtain an esterified product, and further adding a saturated or unsaturated polybasic acid anhydride (d) to the above esterified product; a photo initiator (B); an epoxy resin (C); and an epoxy group-containing polyamide imide resin (D). <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、感光性樹脂組成物、それを用いたレジストパターンの製造方法及びフレキシブル配線板の製造方法に関するものである。   The present invention relates to a photosensitive resin composition, a method for producing a resist pattern using the same, and a method for producing a flexible wiring board.

ソルダレジストはプリント基板の最外層に形成される、はんだ保護膜として使用されている。従来は熱硬化型のものをスクリーン印刷法で印刷してレジストパターンを形成する方法が主流であったが、プリント基板の配線の高密度化に伴い解像度の点で限界が生じてきたため、写真法でパターン形成する感光性ソルダレジストが主流となってきた。中でも炭酸ソーダ溶液等の弱アルカリ溶液で現像可能なアルカリ現像型のものは作業環境保全、地球環境保全の点で優れるため、現在の主流となっている。このようなアルカリ現像型の感光性ソルダレジストの代表例として、フェノールノボラック型、もしくはクレゾールノボラック型エポキシアクリレートを主成分とする、特開平1−54390号公報に示される感光性樹脂組成物が広く知られている。   The solder resist is used as a solder protective film formed on the outermost layer of the printed circuit board. Conventionally, the method of forming a resist pattern by printing a thermosetting type by screen printing method has been the mainstream, but since the density of printed circuit board wiring has become higher, the resolution has become limited. Photosensitive solder resists that form patterns in the mainstream have become mainstream. Among them, the alkali developing type that can be developed with a weak alkaline solution such as a sodium carbonate solution is excellent in terms of the preservation of the working environment and the global environment, and has become the current mainstream. As a representative example of such an alkali developing type photosensitive solder resist, a photosensitive resin composition disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-54390, which is mainly composed of a phenol novolak type or cresol novolak type epoxy acrylate, is widely known. It has been.

感光性ソルダレジスト付きのプリント基板は、導体回路パターンの形成された絶縁基板上に感光性樹脂組成物層を形成し、電子部品と電気接続を行う導体箇所を遮蔽部を設けたフォトマスクを介して紫外線を照射して露光部分を光硬化させ、弱アルカリ溶液による現像で前記、遮蔽部(未露光部分)の感光性樹脂組成物を選択的に除去した後、所定の熱硬化処理を行って製造される。   A printed circuit board with a photosensitive solder resist is formed through a photomask in which a photosensitive resin composition layer is formed on an insulating substrate on which a conductor circuit pattern is formed, and a conductor portion that is electrically connected to an electronic component is provided with a shielding portion. The exposed portion is photocured by irradiating with ultraviolet rays, and after selectively removing the photosensitive resin composition of the shielding portion (unexposed portion) by development with a weak alkaline solution, a predetermined thermosetting treatment is performed. Manufactured.

導体回路パターンの形成された絶縁基板上に感光性樹脂層を形成する方法としては、液状の感光性樹脂組成物をスクリーン印刷、ロールコート、カーテンコートする方法や予め、前記感光性樹脂組成物を耐熱性樹脂フィルム上に塗布してフィルム化し、ラミネートにより貼り合せる方法がある。プリント基板生産性の点では液状材料を基板に直接塗布する方式よりもフィルムをラミネートする方式の方が感光性樹脂層を両面同時に形成できる、ソルダレジスト層形成時の気泡、異物の混入がない、有機溶剤による作業場の汚染がないなどの点で有利であるが、用途に応じて厚みを塗り分ける、材料コストが安価である、塗膜物性に優れる等の理由で液状材料(液状ソルダレジスト)を用いているメーカが大多数を占める。
特開平1−54390号公報
As a method of forming a photosensitive resin layer on an insulating substrate on which a conductor circuit pattern is formed, a liquid photosensitive resin composition is screen-printed, roll-coated, curtain-coated, or the photosensitive resin composition is previously prepared. There exists the method of apply | coating on a heat resistant resin film, forming into a film, and bonding together by lamination. In terms of printed circuit board productivity, the method of laminating a film can form both sides of the photosensitive resin layer at the same time than the method of directly applying a liquid material to the substrate, there is no air bubbles or foreign matter mixing when forming the solder resist layer, It is advantageous in that there is no contamination of the workplace with organic solvents, but liquid materials (liquid solder resists) are used for reasons such as coating the thickness according to the application, low material costs, and excellent film properties. The majority of manufacturers use it.
JP-A-1-54390

感光性ソルダレジストについては、これまで写真法によるパターン形成とはんだ保護膜としての特性以外は重視されていなかったが、近年の電子機器の高機能化に伴い、上記以外の特性についても重視されるようになってきた。携帯電話に代表される小型情報端末機器は1990年代後半以降、軽量化、小型化、高機能化が急速に進み、狭い空間に高密度に電子部品を実装する技術が盛んに検討されてきた。その結果、半導体チップをフレキシブル配線板上に搭載するCOF実装が高密度実装に極めて有利であることがわかり、各電子部品メーカで採用、検討が相次いでいる。しかし、COF実装にはまだ課題が多い。その一つとしてフレキシブル配線板の最外層に形成される感光性ソルダレジストの特性が低いという課題がある。   For the photosensitive solder resist, there has been no emphasis so far other than the characteristics as a pattern formation by photographic method and a solder protective film. However, with the recent enhancement of functionality of electronic devices, the other characteristics are also emphasized. It has become like this. Small information terminal devices represented by mobile phones have been rapidly reduced in weight, size and functionality since the latter half of the 1990s, and techniques for mounting electronic components at high density in a narrow space have been actively studied. As a result, it has been found that COF mounting, in which a semiconductor chip is mounted on a flexible wiring board, is extremely advantageous for high-density mounting, and is being adopted and studied by various electronic component manufacturers. However, there are still many problems in COF mounting. One of the problems is that the characteristic of the photosensitive solder resist formed on the outermost layer of the flexible wiring board is low.

具体的には特開平1−54390号公報に代表される、現在主流のフェノールノボラック型、もしくはクレゾールノボラック型エポキシアクリレートを主成分とする感光性ソルダレジストは熱硬化処理した際の基板のそり量が約5mmと大きいため、COF実装時の基板の位置合わせ精度に問題が生じやすいこと、耐折性が低いことが知られており、これらの特性の向上が求められてきた。これらの特性を満足することを目的として、従来は光硬化性成分であるフェノールノボラック型、もしくはクレゾールノボラック型エポキシアクリレートの配合比率を下げて、エポキシアクリレートの酸価を増やす手法が試みられてきたが、この手法ではそり特性、耐折性と感光特性、耐電食性、耐PCT性等の両立が困難であった。本発明の目的は硬化した際のそり量が小さく、部品実装時の作業性が良好であり、耐折性、感光特性、耐電食性、耐PCT性に優れる感光性樹脂組成物、それを用いたレジストパターンの製造方法及びフレキシブル配線板の製造方法を提供することにある。   Specifically, a photosensitive solder resist mainly composed of phenol novolac type or cresol novolac type epoxy acrylate, which is currently mainstream, represented by JP-A-1-54390, has a warpage amount of the substrate when thermally cured. Since it is as large as about 5 mm, it is known that there is a problem in the alignment accuracy of the substrate during COF mounting, and it is known that the folding resistance is low, and improvement of these characteristics has been demanded. For the purpose of satisfying these characteristics, there has been an attempt to increase the acid value of the epoxy acrylate by lowering the blending ratio of the phenol novolac type or cresol novolac type epoxy acrylate that is a photocurable component. In this method, it is difficult to achieve both warpage characteristics, folding resistance and photosensitive characteristics, electric corrosion resistance, PCT resistance, and the like. The object of the present invention is a photosensitive resin composition having a small amount of warping when cured, good workability at the time of component mounting, and excellent folding resistance, photosensitive characteristics, electric corrosion resistance, and PCT resistance, and the use thereof. The object is to provide a method for producing a resist pattern and a method for producing a flexible wiring board.

すなわち、本発明は以下の通りである。
1.一般式(1)で示されるエポキシ樹脂(a)に反応性エラストマ成分(b)、不飽和モノカルボン酸成分(c)を反応させて得られるエステル化物にさらに飽和又は不飽和多塩基酸無水物(d)を付加した付加反応生成物である酸変性ビニルエポキシ樹脂(A)、光開始剤(B)、エポキシ樹脂(C)、エポキシ基含有ポリアミドイミド樹脂(D)を成分とする感光性樹脂組成物。
That is, the present invention is as follows.
1. The esterified product obtained by reacting the reactive elastomer component (b) and the unsaturated monocarboxylic acid component (c) with the epoxy resin (a) represented by the general formula (1) is further saturated or unsaturated polybasic acid anhydride. Photosensitive resin comprising acid-modified vinyl epoxy resin (A), photoinitiator (B), epoxy resin (C), and epoxy group-containing polyamideimide resin (D) as an addition reaction product to which (d) is added Composition.

Figure 2006349814

(Rは、水素原子あるいは一般式(1a)示される置換基である)
Figure 2006349814

(R is a hydrogen atom or a substituent represented by the general formula (1a))

Figure 2006349814
Figure 2006349814

2.反応性エラストマ成分(b)が、分子両末端にカルボキシル基を有し、ブタジエン骨格を含有する平均分子量が500〜5000の低分子量ポリマー成分であることを特徴とする項1に記載の感光性樹脂組成物。
3.エポキシ基含有ポリアミドイミド樹脂(D)が、ポリアルキレンオキサイドユニットおよびポリカーボネートユニットから選ばれる少なくとも1種のポリマーユニットを分子構造中に有するカルボキシル基末端ポリアミドイミド樹脂(e)とエポキシ樹脂(f)とを、エポキシ基/カルボキシル基のモル比を1より大きくして反応させて得られるエポキシ基含有ポリアミドイミド樹脂であることを特徴とする項1または2に記載の感光性樹脂組成物。
4.エポキシ基含有ポリアミドイミド(D)が酸変性ビニルエポキシ樹脂(A)の固形分100重量部に対して、20〜50重量部であることを特徴とする項1〜3いずれかに記載の感光性樹脂組成物。
5.加熱硬化した際の、常温(25℃)での引張り弾性率が1500MPa以下、引張り伸び率が10〜30%であることを特徴とする項1〜4いずれかに記載の感光性樹脂組成物。
6.項1〜5いずれかに記載の感光性樹脂組成物をフィルム基板上に積層し、紫外線を画像上に照射して露光部分を光硬化させ、未露光部分を現像により選択除去することを特徴とするレジストパターンの製造方法。
7.項6に記載のレジストパターンの製造方法により、永久マスクを形成することを特徴とするフレキシブル配線板の製造方法。
2. Item 2. The photosensitive resin according to Item 1, wherein the reactive elastomer component (b) is a low molecular weight polymer component having a carboxyl group at both molecular ends and containing a butadiene skeleton and having an average molecular weight of 500 to 5,000. Composition.
3. The epoxy group-containing polyamideimide resin (D) comprises a carboxyl group-terminated polyamideimide resin (e) having at least one polymer unit selected from a polyalkylene oxide unit and a polycarbonate unit in the molecular structure, and an epoxy resin (f). Item 3. The photosensitive resin composition according to Item 1 or 2, which is an epoxy group-containing polyamideimide resin obtained by reacting with an epoxy group / carboxyl group molar ratio greater than 1.
4). Item 4. The photosensitive property according to any one of Items 1 to 3, wherein the epoxy group-containing polyamideimide (D) is 20 to 50 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the solid content of the acid-modified vinyl epoxy resin (A). Resin composition.
5. Item 5. The photosensitive resin composition according to any one of Items 1 to 4, which has a tensile elastic modulus at ordinary temperature (25 ° C.) of 1500 MPa or less and a tensile elongation of 10 to 30% when heated and cured.
6). The photosensitive resin composition according to any one of Items 1 to 5, wherein the photosensitive resin composition is laminated on a film substrate, an ultraviolet ray is irradiated onto an image to photocur an exposed portion, and an unexposed portion is selectively removed by development. A method for producing a resist pattern.
7). A method for producing a flexible wiring board, wherein a permanent mask is formed by the method for producing a resist pattern according to Item 6.

硬化した際のそり量が小さく、部品実装時の作業性が良好であり、耐折性、感光特性、耐電食性、耐PCT性に優れる感光性樹脂組成物、それを用いたレジストパターンの製造方法及びフレキシブル配線板の製造方法を提供することが可能となった。   A photosensitive resin composition having a small amount of warping when cured, good workability at the time of component mounting, and excellent in folding resistance, photosensitive characteristics, electric corrosion resistance, and PCT resistance, and a method of producing a resist pattern using the same And it became possible to provide the manufacturing method of a flexible wiring board.

本発明は、前記一般式(1)で示されるエポキシ樹脂(a)に反応性エラストマ成分(b)、不飽和モノカルボン酸成分(c)を反応させて得られるエステル化物にさらに飽和又は不飽和多塩基酸無水物(d)を付加した付加反応生成物である酸変性ビニルエポキシ樹脂(A)、光開始剤(B)、エポキシ樹脂(C)、ポリアミドイミド樹脂(D)を成分とする感光性樹脂組成物を提供するものである。   In the present invention, the epoxy resin (a) represented by the general formula (1) is further saturated or unsaturated to an esterified product obtained by reacting a reactive elastomer component (b) and an unsaturated monocarboxylic acid component (c). Photosensitivity comprising acid-modified vinyl epoxy resin (A), photoinitiator (B), epoxy resin (C), and polyamideimide resin (D), which are addition reaction products to which polybasic acid anhydride (d) is added. The resin composition is provided.

本発明に用いられる酸変性ビニルエポキシ樹脂(A)の原材料であるエポキシ樹脂(a)としては一般式(1)で示されるビスフェノールF型骨格とフェノールノボラック型骨格を含有するエポキシ樹脂を挙げることができる。その製造方法に制限はないが、ビスフェノールF型エポキシ樹脂およびフェノールノボラック型エポキシ樹脂にエピクロルヒドリンを反応させる公知の方法で得ることができる。上記一般式(1)で示されるビスフェノールF型骨格とフェノールノボラック型骨格を含有するエポキシ樹脂としては日本化薬株式会社製のNERシリーズ、東都化成株式会社製のYDPFシリーズ等が挙げられる。   Examples of the epoxy resin (a) which is a raw material of the acid-modified vinyl epoxy resin (A) used in the present invention include an epoxy resin containing a bisphenol F type skeleton and a phenol novolak type skeleton represented by the general formula (1). it can. Although there is no restriction | limiting in the manufacturing method, It can obtain by the well-known method of making epichlorohydrin react with a bisphenol F type epoxy resin and a phenol novolak type epoxy resin. Examples of the epoxy resin containing the bisphenol F skeleton and the phenol novolak skeleton represented by the general formula (1) include NER series manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., YDPF series manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd., and the like.

反応性エラストマ成分(b)としては分子両末端にカルボキシル基を有し、ブタジエン骨格を含有する低分子量ポリマー成分が好ましく、具体的にはポリブタジエンアクリロニトリルジカルボン酸、ポリブタジエンジカルボン酸等を挙げることができる。また、その平均分子量は500〜5000が好ましく、更には1000〜3000が好ましい。平均分子量が500未満では感光性樹脂組成物に十分な耐折性が付与できず、5000を超えると耐電食性、耐PCT性等の信頼性が低下する。反応性エラストマ成分としてはこの他に分子中にシリコンを含有するタイプの低分子ポリマー成分もあるが、COF実装においては部品実装工程時の熱履歴でシリコン成分が分解し、アウトガスによる封止材接着力が低下する可能性があるため、使用は好ましくない。上記のポリブタジエンアクリロニトリルジカルボン酸としては宇部興産株式会社製のハイカーCTBNシリーズ、ポリブタジエンジカルボン酸としては日本曹達株式会社製のC−1000等があげられる。   The reactive elastomer component (b) is preferably a low molecular weight polymer component having a carboxyl group at both molecular ends and containing a butadiene skeleton, and specific examples thereof include polybutadiene acrylonitrile dicarboxylic acid and polybutadiene dicarboxylic acid. Moreover, the average molecular weight is preferably 500 to 5000, and more preferably 1000 to 3000. When the average molecular weight is less than 500, sufficient folding resistance cannot be imparted to the photosensitive resin composition, and when it exceeds 5000, reliability such as resistance to electric corrosion and PCT is lowered. Other reactive elastomer components include low molecular weight polymer components that contain silicon in the molecule, but in COF mounting, the silicon component decomposes due to the thermal history during the component mounting process, and the sealing material adheres by outgassing. Use is not preferred as it can reduce force. Examples of the polybutadiene acrylonitrile dicarboxylic acid include Hiker CTBN series manufactured by Ube Industries, Ltd., and examples of the polybutadiene dicarboxylic acid include C-1000 manufactured by Nippon Soda Co., Ltd.

不飽和基モノカルボン酸(c)としてはアクリル酸、アクリル酸のニ量体、メタクリル酸、βーフルフリルアクリル酸、βースチリルアクリル酸、桂皮酸、クロトン酸、αーシアノ桂皮酸等が挙げられる。また、水酸基含有アクリレートと飽和あるいは不飽和二塩基酸無水物との反応生成物である半エステル化合物が挙げられる。半エステル化合物は水酸基含有アクリレート、不飽和基含有モノグリシジルエーテルと飽和あるいは不飽和二塩基酸無水物とを等モル比で反応させることで得られる。これら不飽和基含有モノカルボン酸(c)は、単独、または二種類以上併用して用いることができる。   Examples of the unsaturated monocarboxylic acid (c) include acrylic acid, dimer of acrylic acid, methacrylic acid, β-furfurylacrylic acid, β-styrylacrylic acid, cinnamic acid, crotonic acid, α-cyanocinnamic acid and the like. It is done. Moreover, the half ester compound which is a reaction product of a hydroxyl-containing acrylate and a saturated or unsaturated dibasic acid anhydride is mentioned. The half-ester compound can be obtained by reacting a hydroxyl group-containing acrylate or unsaturated group-containing monoglycidyl ether with a saturated or unsaturated dibasic acid anhydride in an equimolar ratio. These unsaturated group-containing monocarboxylic acids (c) can be used alone or in combination of two or more.

不飽和基含有モノカルボン酸(c)の一例である上記半エステル化合物の合成に用いられる水酸基含有アクリレート、不飽和基含有モノグリシジルエーテルとしては、例えば、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシプロピルアクリレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート、ヒドロキシブチルアクリレート、ヒドロキシブチルメタクリレート、ポリエチレングリコールモノアクリレート、ポリエチレングリコールモノメタクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、トリメチロールプロパンジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ペンタエリスリトールペンタメタクリレート、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレート等が挙げられる。上記半エステル化合物の合成に用いられる飽和あるいは不飽和二塩基酸無水物としては、例えば、無水コハク酸、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、エチルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、エチルヘキサヒドロ無水フタル酸、無水イタコン酸等が挙げられる。   Examples of the hydroxyl group-containing acrylate and unsaturated group-containing monoglycidyl ether used in the synthesis of the half ester compound as an example of the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (c) include hydroxyethyl acrylate, hydroxyethyl methacrylate, and hydroxypropyl acrylate. , Hydroxypropyl methacrylate, hydroxybutyl acrylate, hydroxybutyl methacrylate, polyethylene glycol monoacrylate, polyethylene glycol monomethacrylate, trimethylolpropane diacrylate, trimethylolpropane dimethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate , Pentaerythritol pentamethacrylate , Glycidyl acrylate and glycidyl methacrylate and the like. Examples of the saturated or unsaturated dibasic acid anhydride used in the synthesis of the half ester compound include succinic anhydride, maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, phthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, and ethyltetrahydrophthalic anhydride. Examples thereof include acid, hexahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, ethylhexahydrophthalic anhydride, itaconic anhydride and the like.

本発明におけるエポキシ樹脂(a)と反応性エラストマ成分(b)および不飽和基含有モノカルボン酸(c)との反応において、エポキシ樹脂(a)のエポキシ基1当量に対して、反応性エラストマ成分(b)と不飽和基含有モノカルボン酸(c)の合計が0.8〜1.20当量となる比率で反応させることが好ましく、更に好ましくは0.9〜1.10当量である。   In the reaction of the epoxy resin (a) with the reactive elastomer component (b) and the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (c) in the present invention, the reactive elastomer component with respect to 1 equivalent of the epoxy group of the epoxy resin (a) It is preferable to make it react in the ratio from which the sum total of (b) and unsaturated group containing monocarboxylic acid (c) will be 0.8-1.20 equivalent, More preferably, it is 0.9-1.10 equivalent.

また、反応性エラストマ成分(b)が不飽和基含有モノカルボン酸(c)に対して、0.005〜0.1当量が好ましく、更には0.01〜0.05当量であることが好ましい。反応性エラストマ成分(b)が不飽和基含有モノカルボン酸(c)に対して、0.005等量未満では十分な可とう性が得られず、耐折性が低下する。一方、反応性エラストマ成分(b)が不飽和基含有モノカルボン酸(c)に対して0.1等量を超えると樹脂の光硬化性が低下し、感光特性、耐電食性、耐PCT性が低下する。   The reactive elastomer component (b) is preferably 0.005 to 0.1 equivalent, more preferably 0.01 to 0.05 equivalent, relative to the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (c). . If the reactive elastomer component (b) is less than 0.005 equivalent to the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (c), sufficient flexibility cannot be obtained, and folding resistance is lowered. On the other hand, when the reactive elastomer component (b) exceeds 0.1 equivalent with respect to the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (c), the photocurability of the resin is lowered, and the photosensitive properties, electric corrosion resistance, and PCT resistance are reduced. descend.

エポキシ樹脂(a)と反応性エラストマ成分(b)不飽和基含有モノカルボン酸(c)は有機溶剤に溶かして反応させられ、有機溶剤としては、例えば、エチルメチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類、酢酸エチル、酢酸ブチル、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート等のエステル類、オクタン、デカンなどの脂肪族炭化水素類、石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤等が挙げられる。更に、反応を促進させるために触媒を用いるのが好ましい。用いられる触媒としては、例えば、トリエチルアミン、ベンジルメチルアミン、メチルトリエチルアンモニウムクロライド、ベンジルトリメチルアンモニウムクロライド、ベンジルトリメチルアンモニウムブロマイド、ベンジルトリメチルアンモニウムアイオダイド、トリフェニルホスフィン等が挙げられる。触媒の使用量は、エポキシ樹脂(a)と反応性エラストマ成分(b)および不飽和基含有モノカルボン酸(c)の合計100重量部に対して、0.1〜10重量部である。反応中の重合を防止する目的で、重合禁止剤を使用するのが好ましい。重合禁止剤としては、例えば、ハイドロキノン、メチルハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、カテコール、ピロガロール等が挙げられ、その使用量は、エポキシ樹脂(a)と反応性エラストマ成分(b)および不飽和基含有モノカルボン酸(c)の合計100重量部に対して、0.01〜1重量部である。また、その反応温度60〜150℃が好ましく、80〜120℃が更に好ましい。   The epoxy resin (a) and the reactive elastomer component (b) the unsaturated group-containing monocarboxylic acid (c) are dissolved and reacted in an organic solvent. Examples of the organic solvent include ketones such as ethyl methyl ketone and cyclohexanone, Aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, tetramethylbenzene, methyl cellosolve, butyl cellosolve, methyl carbitol, butyl carbitol, propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, triethylene glycol mono Glycol ethers such as ethyl ether, esters such as ethyl acetate, butyl acetate, butyl cellosolve acetate and carbitol acetate, aliphatic hydrocarbons such as octane and decane, petroleum ether, petroleum naphtha , Hydrogenated petroleum naphtha, petroleum solvents such as solvent naphtha. Furthermore, it is preferable to use a catalyst to accelerate the reaction. Examples of the catalyst used include triethylamine, benzylmethylamine, methyltriethylammonium chloride, benzyltrimethylammonium chloride, benzyltrimethylammonium bromide, benzyltrimethylammonium iodide, and triphenylphosphine. The usage-amount of a catalyst is 0.1-10 weight part with respect to a total of 100 weight part of an epoxy resin (a), a reactive elastomer component (b), and an unsaturated group containing monocarboxylic acid (c). For the purpose of preventing polymerization during the reaction, a polymerization inhibitor is preferably used. Examples of the polymerization inhibitor include hydroquinone, methyl hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, catechol, pyrogallol and the like. The amount used is an epoxy resin (a), a reactive elastomer component (b), and an unsaturated group-containing monocarboxylic acid. It is 0.01-1 weight part with respect to a total of 100 weight part of an acid (c). The reaction temperature is preferably 60 to 150 ° C, more preferably 80 to 120 ° C.

本発明において、光硬化性樹脂である酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂(A)は、上述のエポキシ樹脂(a)と反応性エラストマ成分(b)不飽和基含有モノカルボン酸(c)を反応せしめて得られる反応生成物(A’)に飽和もしくは不飽和基含有多塩基酸無水物(d)を反応させることで得られる。飽和もしくは不飽和基含有多塩基酸無水物(d)としては、例えば、無水コハク酸、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、エチルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、エチルヘキサヒドロ無水フタル酸、無水イタコン酸等が挙げられ、これらは単独もしくは2種類以上の複数を組み合わせて使用することができる。   In the present invention, the acid-modified vinyl group-containing epoxy resin (A), which is a photocurable resin, reacts the above-mentioned epoxy resin (a) with the reactive elastomer component (b) unsaturated group-containing monocarboxylic acid (c). It is obtained by reacting the reaction product (A ′) obtained in this manner with a saturated or unsaturated group-containing polybasic acid anhydride (d). Examples of the saturated or unsaturated group-containing polybasic acid anhydride (d) include, for example, succinic anhydride, maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, phthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, ethyltetrahydrophthalic anhydride, hexahydroanhydride Examples thereof include phthalic acid, methylhexahydrophthalic anhydride, ethylhexahydrophthalic anhydride, itaconic anhydride and the like, and these can be used alone or in combination of two or more.

反応生成物(A’)と飽和もしくは不飽和基含有多塩基酸無水物(d)との反応において、反応生成物(A’)中の水酸基1当量に対して、飽和もしくは不飽和基含有多塩基酸無水物(d)を0.1〜1.0当量反応させることで、酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂(A)の酸価を調整できる。酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂(A)の酸価は30〜150mgKOH/gであることが好ましく、50〜120mgKOH/gであることが更に好ましい。酸価が30mgKOH/g未満では光硬化性樹脂組成物の希アルカリ溶液への溶解性が低下し、150mgKOH/gを超えると硬化膜の電気特性が低下する傾向がある。反応生成物(A’)と飽和もしくは不飽和基含有多塩基酸無水物(d)との反応温度は、60〜120℃が好ましく、80〜100℃が更に好ましい。   In the reaction of the reaction product (A ′) with the saturated or unsaturated group-containing polybasic acid anhydride (d), a saturated or unsaturated group-containing polyhydric acid is used with respect to 1 equivalent of the hydroxyl group in the reaction product (A ′). By reacting the basic acid anhydride (d) in an amount of 0.1 to 1.0 equivalent, the acid value of the acid-modified vinyl group-containing epoxy resin (A) can be adjusted. The acid value of the acid-modified vinyl group-containing epoxy resin (A) is preferably 30 to 150 mgKOH / g, and more preferably 50 to 120 mgKOH / g. When the acid value is less than 30 mgKOH / g, the solubility of the photocurable resin composition in a dilute alkali solution is lowered, and when it exceeds 150 mgKOH / g, the electric properties of the cured film tend to be lowered. The reaction temperature between the reaction product (A ′) and the saturated or unsaturated group-containing polybasic acid anhydride (d) is preferably 60 to 120 ° C., more preferably 80 to 100 ° C.

本発明に用いられる光重合開始剤(B)としてはプリント配線板製造用の汎用露光機より紫外線を照射した際にラジカルを発生するタイプのものを用いることができる。例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のベンゾイン類、アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、N,N−ジメチルアミノアセトフェノン等のアセトフェノン類、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−tert−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン、2−アミルアントラキノン、2−アミノアントラキノン等のアントラキノン類、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類、アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類、ベンゾフェノン、メチルベンゾフェノン、4,4’−ジクロロベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルサルファイド等のベンゾフェノン類、9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9,9’−アクリジニル)ヘプタン等のアクリジ誘導体、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイドなどが挙げられる。これらは単独もしくは2種以上の複数を組み合わせて使用することができる。   As the photopolymerization initiator (B) used in the present invention, a type that generates radicals when irradiated with ultraviolet rays from a general-purpose exposure machine for producing printed wiring boards can be used. For example, benzoins such as benzoin, benzoin methyl ether, benzoin isopropyl ether, acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone, 1-hydroxy Acetophenones such as cyclohexyl phenyl ketone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2,2-diethoxyacetophenone, N, N-dimethylaminoacetophenone, 2 -Anthraquinones such as methyl anthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-tert-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2-amylanthraquinone, 2-aminoanthraquinone, 2,4-dimethylthioki Thioxanthones such as nitrophenone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal, benzophenone, methylbenzophenone, 4,4′-dichlorobenzophenone, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, Michler's ketone, benzophenones such as 4-benzoyl-4'-methyldiphenyl sulfide, acridi such as 9-phenylacridine, 1,7-bis (9,9'-acridinyl) heptane Derivatives, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, and the like. These can be used alone or in combination of two or more.

上記、光重合開始剤(B)の配合量は、感光性樹脂組成物100重量部に対して、0.5〜20重量部が好ましく、更には1〜10重量%が好ましい。配合量が0.5重量部未満では紫外線によるラジカル発生量が不足するため、感光性樹脂組成物の光硬化性が不十分となり、露光部の耐現像液性に問題が生じる。一方、配合量が20重量部を超えると、感光性樹脂層の低部に光が十分透過せず、アンダーカット等の不具合が発生する。   The blending amount of the photopolymerization initiator (B) is preferably 0.5 to 20 parts by weight, more preferably 1 to 10% by weight with respect to 100 parts by weight of the photosensitive resin composition. When the blending amount is less than 0.5 parts by weight, the amount of radicals generated by ultraviolet rays is insufficient, so that the photocurability of the photosensitive resin composition becomes insufficient, and a problem arises in the developer resistance of the exposed portion. On the other hand, if the blending amount exceeds 20 parts by weight, light is not sufficiently transmitted to the lower part of the photosensitive resin layer, and problems such as undercut occur.

本発明に用いられるエポキシ樹脂(C)は感光性樹脂組成物に絶縁性、耐熱性を付与する目的で使用される。その種類に特に制限はないが、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂等の汎用公知のエポキシ樹脂を用いることができる。このようなエポキシ樹脂の例としてビスフェノールA型エポキシ樹脂としてはJER株式会社製のエピコート815、828、834、1001、1009、ビスフェノールF型エポキシ樹脂としては東都化成株式会社製のYDPFシリーズ、新日鉄化学株式会社製のYSLV−80XY、ノボラック型エポキシ樹脂としては大日本インキ化学工業株式会社製のDEN−438、住友化学株式会社製のESCN−195、旭電化工業株式会社製のKRM−2650等を挙げることができる。   The epoxy resin (C) used in the present invention is used for the purpose of imparting insulating properties and heat resistance to the photosensitive resin composition. Although there is no restriction | limiting in particular in the kind, For example, general purpose well-known epoxy resins, such as a bisphenol A type epoxy resin, a bisphenol F type epoxy resin, a novolak type epoxy resin, can be used. Examples of such epoxy resins include Epicoats 815, 828, 834, 1001, and 1009 manufactured by JER Co., Ltd. as bisphenol A type epoxy resins, YDPF series manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd., and Nippon Steel Chemical Co., Ltd. as bisphenol F type epoxy resins. Company-made YSLV-80XY, novolac type epoxy resin includes DEN-438 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, ESCN-195 manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., KRM-2650 manufactured by Asahi Denka Kogyo Co., Ltd. Can do.

その他、例えばビフェニル型エポキシ樹脂(JER株式会社製:YX4000)、ジシクロ型エポキシ樹脂(大日本インキ化学工業株式会社製:エピクロンHP7200)、グリシジルアミン型エポキシ樹脂(大日本インキ化学工業株式会社製:エピクロン430、住友化学工業株式会社製:ELM100、120、434)、グリシジルエステル型エポキシ樹脂(ナガセ工業株式会社製:デナコールEX−721)、ナフタレン型エポキシ樹脂(大日本化学工業株式会社製:エピクロンHP−4032、日本化薬株式会社製:NC−7000)、ビスフェノールS型エポキシ樹脂(東都化成株式会社製:EBPS−300、大日本インキ化学工業株式会社製:EXA−4004)等を挙げることができる。これらのエポキシ樹脂は単独あるいは2種類以上を組み合わせて用いることができる。また、その配合量は感光性樹脂組成物の固形分100重量部に対して1〜70重量部が好ましく、更には20〜50重量部が好ましい。1重量部未満では、レジスト塗膜の耐熱性、耐薬品性、絶縁信頼性が低下する傾向にあり、70重量部を超えると感光性樹脂組成物の光硬化性が低下し、耐現像液性が低下する上に耐折性が低下する傾向にある。   In addition, for example, biphenyl type epoxy resin (manufactured by JER Corporation: YX4000), dicyclo type epoxy resin (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc .: Epicron HP7200), glycidylamine type epoxy resin (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc .: Epicron 430, Sumitomo Chemical Co., Ltd .: ELM100, 120, 434), Glycidyl ester type epoxy resin (Nagase Kogyo Co., Ltd .: Denacol EX-721), Naphthalene type epoxy resin (Dainippon Kagaku Kogyo Co., Ltd .: Epicron HP-) 4032, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd .: NC-7000), bisphenol S type epoxy resin (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd .: EBPS-300, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc .: EXA-4004), and the like. These epoxy resins can be used alone or in combination of two or more. Moreover, the compounding quantity is preferable 1-70 weight part with respect to 100 weight part of solid content of the photosensitive resin composition, Furthermore, 20-50 weight part is preferable. If the amount is less than 1 part by weight, the heat resistance, chemical resistance and insulation reliability of the resist coating film tend to be lowered. If the amount exceeds 70 parts by weight, the photocurability of the photosensitive resin composition is lowered and the developer resistance is increased. In addition, the folding resistance tends to decrease.

本発明に用いられるエポキシ基含有ポリアミドイミド樹脂(D)は有機ジイソシアネートあるいはジアミンから縮合反応により合成できる酸末端ポリアミドイミド樹脂(e)にエポキシ樹脂(f)を反応させ製造する。酸末端ポリアミドイミド(e)の合成に際しては、必要に応じてジカルボン酸、トリカルボン酸、テトラカルボン酸二無水物等の多価カルボン酸成分を用いることもできる。   The epoxy group-containing polyamideimide resin (D) used in the present invention is produced by reacting an epoxy resin (f) with an acid-terminated polyamideimide resin (e) that can be synthesized from an organic diisocyanate or diamine by a condensation reaction. In synthesizing the acid-terminated polyamideimide (e), a polyvalent carboxylic acid component such as dicarboxylic acid, tricarboxylic acid, or tetracarboxylic dianhydride can be used as necessary.

酸末端ポリアミドイミド樹脂(e)の製造に使用される多価カルボン酸成分としては、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、アゼライン酸、セバシン酸、デカン二酸、ドデカン二酸、ダイマー酸等の脂肪族ジカルボン酸、イソフタル酸、テレフタル酸、フタル酸、ナフタレンジカルボン酸、オキシジ安息香酸等の芳香族ジカルボン酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ジフェニルスルホンテトラカルボキシリックジアンハイドライド等の芳香族カルボン酸無水物等が挙げられる。これらは単独または2種類以上を組み合わせて使用することができる。   Examples of the polyvalent carboxylic acid component used for the production of the acid-terminated polyamideimide resin (e) include succinic acid, glutaric acid, adipic acid, azelaic acid, sebacic acid, decanedioic acid, dodecanedioic acid, and dimer acid. Aromatic dicarboxylic acids such as aromatic dicarboxylic acids such as aromatic dicarboxylic acids, isophthalic acid, terephthalic acid, phthalic acid, naphthalene dicarboxylic acid, oxydibenzoic acid, trimellitic acid, pyromellitic acid, diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride Etc. These can be used alone or in combination of two or more.

本発明で用いられるポリアミドイミド樹脂(e)の製造に使用される有機ジイソシアネートとしては4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート、1,5−ナフタレンジイソシアネート、3,3−ジメチル−4,4−ジフェニルメタンジイソシアネート、P−フェニレンジイソシアネート、m−キシレンジイソシアネート、m−テトラメチルキシレンジイソシアネート等の芳香族イソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、2,2,4−トリメチルへキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、4,4’−ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート、トランスシクロへキサン−1,4−ジイソシアネート、水添m−キシレンジイソシアネート、リジンジイソシアネート等の脂肪族イソシアネートなどが挙げられる。これらのうちでは耐熱性の点から芳香族ジイソシアネートが好ましく、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、トリレンジイソシアネートが特に好ましい。これらは単独で使用してもよいが、結晶性が高くなるので2種類以上を組み合わせて使用することが好ましい。   The organic diisocyanate used in the production of the polyamideimide resin (e) used in the present invention is 4,4′-diphenylmethane diisocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, 1,5-naphthalene. Aromatic isocyanates such as diisocyanate, 3,3-dimethyl-4,4-diphenylmethane diisocyanate, P-phenylene diisocyanate, m-xylene diisocyanate, m-tetramethylxylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, 2,2,4-trimethylhexa Methylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, 4,4′-dicyclohexylmethane diisocyanate, transcyclohexane-1,4-diisocyanate, hydrogenated m-xylene diisocyanate Over DOO, and aliphatic isocyanates such as lysine diisocyanate. Of these, aromatic diisocyanates are preferable from the viewpoint of heat resistance, and 4,4'-diphenylmethane diisocyanate and tolylene diisocyanate are particularly preferable. These may be used singly, but since crystallinity increases, it is preferable to use two or more in combination.

上記ジイソシアネートの代わりにジアミンも使用できる。ジアミンとしてはフェニレンジアミン、ジアミノジフェニルプロパン、ジアミノジフェニルメタン、ベンジジン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルファイド、ジアミノジフェニルエーテル等が挙げられる。有機溶剤に対する可溶性を向上させるために2,2−ビス(3−アミノフェノキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)プロパン、3,3−ビス(3−アミノフェノキシフェニル)スルホン、4,4−ビス(3−アミノフェノキシフェニル)スルホン、3,8−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)スルホン、4,4−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)スルホン、2,2−ビス(3−アミノフェノキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4−(p−フェニレンジイソプロピリデン)ビスアニリン、4,4−(m−フェニレンジイソプロピリデン)ビスアニリン等のジアミンを用いることが好ましい。これらジアミン及びジイソシアネートは単独で使用してもよいが、2種類以上を組み合わせて使用しても良い。ただしジアミンとジイソシアネートは同時に用いると反応し、耐熱性の劣る尿素結合ができるので好ましくない。   Diamine can also be used in place of the diisocyanate. Examples of the diamine include phenylenediamine, diaminodiphenylpropane, diaminodiphenylmethane, benzidine, 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 4,4'-diaminodiphenylsulfide, diaminodiphenyl ether, and the like. 2,2-bis (3-aminophenoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4-aminophenoxyphenyl) propane, 3,3-bis (3-aminophenoxyphenyl) sulfone to improve solubility in organic solvents 4,4-bis (3-aminophenoxyphenyl) sulfone, 3,8-bis (4-aminophenoxyphenyl) sulfone, 4,4-bis (4-aminophenoxyphenyl) sulfone, 2,2-bis (3 -Aminophenoxyphenyl) hexafluoropropane, 2,2-bis (4-aminophenoxyphenyl) hexafluoropropane, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene 4,4- (p-phenylenediisopropylidene) bisaniline, 4,4- (m-fu It is preferable to use a two-range isopropylidene) diamines such bisaniline. These diamines and diisocyanates may be used alone or in combination of two or more. However, if diamine and diisocyanate are used at the same time, they react to form a urea bond with poor heat resistance, which is not preferable.

本発明で用いられるポリアミドイミド樹脂(e)としては、ポリアルキレンオキサイドユニット及びポリカーボネートユニットから選ばれる少なくとも1種類のポリマーユニットを分子構造中に有するカルボキシル基末端ポリアミドイミド樹脂が好ましく用いられる。ポリアミドイミド樹脂の分子構造中に導入されるポリアルキレンオキサイドユニット、ポリカーボネートユニットは、通常ポリアルキレングリコール又は、ポリカーボネートジオールの両末端カルボン酸物のようなジカルボン酸を多価カルボン酸成分として用い、ジイソシアネートと反応させポリアミドイミド骨格に導入する。ポリアルキレングリコールとしては、ポリテトラメチレンエーテルグリコール、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ビスフェノールAあるいは水添ビスフェノールAとこれらポリアルキレングリコールとの反応物が挙げられ、これらアルキレンオキサイドユニットは一分子中に2種以上存在していてもよい。ポリカーボネートジオールとしては直鎖状脂肪族ポリカーボネートジオールが挙げられ、プラクセルCDシリーズ(ダイセル化学工業社製)ニッポラン980、981(日本ポリウレタン工業社製)などが挙げられる。ポリカーボネートジオールの化学構造については、例えば次式(2)で表されるものが挙げられる。   As the polyamideimide resin (e) used in the present invention, a carboxyl group-terminated polyamideimide resin having at least one polymer unit selected from a polyalkylene oxide unit and a polycarbonate unit in the molecular structure is preferably used. The polyalkylene oxide unit and the polycarbonate unit introduced into the molecular structure of the polyamideimide resin are usually a polyalkylene glycol or a dicarboxylic acid such as a carboxylate at both ends of a polycarbonate diol as a polyvalent carboxylic acid component, Reaction is introduced into the polyamideimide skeleton. Examples of the polyalkylene glycol include a reaction product of polytetramethylene ether glycol, polypropylene glycol, polyethylene glycol, bisphenol A or hydrogenated bisphenol A and these polyalkylene glycols, and two or more of these alkylene oxide units per molecule. May be present. Examples of the polycarbonate diol include linear aliphatic polycarbonate diols, such as Plaxel CD series (manufactured by Daicel Chemical Industries), NIPPOLAN 980, 981 (manufactured by Nippon Polyurethane Industry), and the like. About the chemical structure of polycarbonate diol, what is represented, for example by following formula (2) is mentioned.

Figure 2006349814

(式中、Rは2価アルコール残基を表し、nは1〜10の整数である。)
Figure 2006349814

(In the formula, R represents a dihydric alcohol residue, and n is an integer of 1 to 10.)

特に、2価アルコール残基が、炭素数1〜100のもの、例えば、1,5−ペンタンジオール残基、メチルペンタンジオール残基、シクロヘキサノンジメタノール残基、1,6−ヘキサンジオール残基、1,9−ノナンジオール残基、2−メチル−1,8−オクタンジオール残基を有し、常温(25℃)で液状のものが好適に用いられる。   In particular, the dihydric alcohol residue has 1 to 100 carbon atoms, such as 1,5-pentanediol residue, methylpentanediol residue, cyclohexanone dimethanol residue, 1,6-hexanediol residue, 1 , 9-nonanediol residue, 2-methyl-1,8-octanediol residue, and liquid at room temperature (25 ° C.) are preferably used.

ポリアルキレングリコール、ポリカーボネートジオールを両末端カルボン酸にするには、前記した多価カルボン酸成分と同様の多価カルボン酸、好ましくはジカルボン酸をポリアルキレングリコール、ポリカーボネートジオールに反応させればよい。ポリアルキレンオキサイドユニット又はポリカーボネートユニットの含有量の合計は、接着性の点からポリアミドイミド樹脂(e)中に10重量%以上、耐熱性の点から70重量%以下の使用とすることが好ましい。   In order to make polyalkylene glycol and polycarbonate diol into carboxylic acids at both terminals, the same polyvalent carboxylic acid as that of the polyvalent carboxylic acid component, preferably dicarboxylic acid, may be reacted with polyalkylene glycol and polycarbonate diol. The total content of the polyalkylene oxide unit or the polycarbonate unit is preferably 10% by weight or more in the polyamideimide resin (e) from the viewpoint of adhesiveness and 70% by weight or less from the viewpoint of heat resistance.

カルボキシル基末端ポリアミドイミド樹脂(e)の製造において、多価カルボン酸成分はジイソシアネート成分とジアミン成分の合計に対してモル比で1以上、好ましくは1〜3、より好ましくは1.1〜1.3となるように配合し、反応させる。上記の反応はγ−ブチロラクトン等のラクトン類、N−メチルピロリドン(NMP)、ジメチルホルムアミド(DMF)等のアミド系溶媒、テトラメチレンスルホン等のスルホン類、ジエチレングリコールジメチルエーテル等のエーテル類などの溶媒を使用し50℃〜250℃で反応させる。反応収率、溶解性及び後工程での揮散性を考慮するとγ−ブチロラクトンを溶媒の主成分にするのがよい。   In the production of the carboxyl group-terminated polyamideimide resin (e), the polyvalent carboxylic acid component is 1 or more, preferably 1 to 3, more preferably 1.1 to 1. in a molar ratio with respect to the total of the diisocyanate component and the diamine component. 3. Mix and react. The above reaction uses lactones such as γ-butyrolactone, amide solvents such as N-methylpyrrolidone (NMP) and dimethylformamide (DMF), sulfones such as tetramethylene sulfone, and ethers such as diethylene glycol dimethyl ether. And react at 50 to 250 ° C. Considering the reaction yield, solubility, and volatility in the subsequent step, it is preferable to use γ-butyrolactone as the main component of the solvent.

酸末端ポリアミドイミド樹脂(e)と反応させるエポキシ樹脂(f)としてはビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂及びその変性物、ビキシレニルジグリシジルエーテル、YDC1312(東都化成社製商品名)、テクモアVG3101(三井石油化学社製商品名)、TMH574(住友化学社製商品名)、エピコート1031S(油化シェル社製商品名)等の芳香族系エポキシ樹脂、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル等の脂肪族系エポキシ樹脂、トリグリシジルイソシアヌレート等の複素環式エポキシ化合物などが挙げられる。これらのうちでは、反応制御の点から2官能エポキシ樹脂が好ましい。これらは単独又は2種類以上組み合わせて使用される。またこれらのエポキシ樹脂はカルボキシル基末端のポリアミドイミド樹脂とエポキシ基/カルボキシル基のモル比を1より大きくして反応させる。エポキシ基/カルボキシル基のモル比が1以下では末端エポキシの樹脂が得られない。このようにして得られる変性エポキシ樹脂のエポキシ当量は500〜40,000であることが好ましい。500より小さくては分子量が低く接着性が低下し、40,000を超えると分子量が高すぎるために現像性が低下する。   The epoxy resin (f) to be reacted with the acid-terminated polyamideimide resin (e) is bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, naphthalene type Epoxy resin and modified product thereof, Bixylenyl diglycidyl ether, YDC1312 (trade name, manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.), Techmore VG3101 (trade name, manufactured by Mitsui Petrochemical Co., Ltd.), TMH574 (trade name, manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.), Epicote 1031S (oil) Aromatic epoxy resins such as Kabushiki Kaisha's trade name), aliphatic epoxy resins such as neopentyl glycol diglycidyl ether, polypropylene glycol diglycidyl ether, and tetrahydrophthalic acid diglycidyl ester, trig And heterocyclic epoxy compounds such as triglycidyl isocyanurate. Among these, a bifunctional epoxy resin is preferable from the viewpoint of reaction control. These may be used alone or in combination of two or more. These epoxy resins are reacted with a carboxyl group-terminated polyamideimide resin and an epoxy group / carboxyl molar ratio greater than 1. When the molar ratio of epoxy group / carboxyl group is 1 or less, a terminal epoxy resin cannot be obtained. The epoxy equivalent of the modified epoxy resin thus obtained is preferably 500 to 40,000. If the molecular weight is less than 500, the molecular weight is low and the adhesiveness is lowered.

本発明において用いられるエポキシ基含有ポリアミドイミド樹脂(D)中には水酸基が残っているが、感光特性等を考慮し、さらに、イソシアネートエチル(メタ)アクリレート、あるいはトリレンジイソシアネートまたはイソホロンジイソシアネートと1分子中に水酸基を1個以上有する(メタ)アクリレート類例えばヒドロキシエチル(メタ)アクリレートとの等モル反応物を反応させてウレタン結合を介して不飽和結合を導入しても良い。   Although the hydroxyl group remains in the epoxy group-containing polyamideimide resin (D) used in the present invention, in consideration of the photosensitive characteristics and the like, further, isocyanatoethyl (meth) acrylate, tolylene diisocyanate or isophorone diisocyanate and one molecule. An unsaturated bond may be introduced via a urethane bond by reacting an equimolar reaction product with (meth) acrylate having one or more hydroxyl groups therein, for example, hydroxyethyl (meth) acrylate.

エポキシ基含有ポリアミドイミド樹脂(D)の配合量は、感光性樹脂組成物の固形分100重量部に対して5〜30重量部が好ましく、更には10〜25重量部が好ましい。配合量が5重量部未満では感光性樹脂組成物に十分な耐折性を付与することができない。一方、配合量が25重量部を超えると、現像性に問題が生じる。   The blending amount of the epoxy group-containing polyamideimide resin (D) is preferably 5 to 30 parts by weight, more preferably 10 to 25 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the solid content of the photosensitive resin composition. If the amount is less than 5 parts by weight, sufficient folding resistance cannot be imparted to the photosensitive resin composition. On the other hand, if the blending amount exceeds 25 parts by weight, a problem occurs in developability.

感光性樹脂組成物の現像性を向上させることを目的として上記、エポキシ基含有ポリアミドイミドの一部を、エポキシ基含有ポリアミドイミド(D)のエポキシ基に不飽和モノカルボン酸成分(c)を反応せしめて得られるエステル化物にさらに飽和又は不飽和多塩基酸無水物(d)を付加した付加反応生成物である、酸変性ポリアミドイミド(D’)で置きかえることもできる。上記、酸変性ポリアミドイミド(D’)の付加反応に用いられる不飽和モノカルボン酸成分(c)および飽和又は不飽和多塩基酸無水物(d)としては、エポキシ樹脂(a)から酸変性ビニルエポキシ樹脂(A)を得る際に使用可能な各種の化合物を用いることができる。その配合量は感光性樹脂組成物の固形分100重量部に対して0〜60重量部が好ましく、更には0〜35重量部であることが好ましい。配合量が60重量部を超えると現像性に問題が生じる。   For the purpose of improving the developability of the photosensitive resin composition, a part of the epoxy group-containing polyamideimide is reacted with the unsaturated monocarboxylic acid component (c) to the epoxy group of the epoxy group-containing polyamideimide (D). It can also be replaced with an acid-modified polyamideimide (D ′), which is an addition reaction product obtained by adding a saturated or unsaturated polybasic acid anhydride (d) to the esterified product obtained in advance. Examples of the unsaturated monocarboxylic acid component (c) and saturated or unsaturated polybasic acid anhydride (d) used in the addition reaction of the acid-modified polyamideimide (D ′) include an epoxy resin (a) and an acid-modified vinyl. Various compounds that can be used in obtaining the epoxy resin (A) can be used. The blending amount is preferably 0 to 60 parts by weight, more preferably 0 to 35 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the solid content of the photosensitive resin composition. If the blending amount exceeds 60 parts by weight, a problem occurs in developability.

本発明の感光性樹脂組成物において、必要に応じて光感度、耐現像液性を向上させる目的で、光重合性モノマーを用いることができる。光重合性モノマーとしては、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、N,N−ジメチル(メタ)アクリレート、N−メチロール(メタ)アクリルアミド、あるいはポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ビスフェノールAのポリエチレングリコールあるいはプロピレングリコール、トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌル酸のモノあるいは多官能(メタ)アクリレート類、トリグリシジルイソシアヌレートなどのグリシジルエーテルの(メタ)アクリレート類、ジアリルフタレート等の光重合性モノマーが使用できる。これらは単独もしくは2種以上の複数を組み合わせて使用できる。上記の光重合性モノマーの配合量は、感光性樹脂組成物100重量部に対して0.5〜30重量部が好ましい。配合量が0.5重量部未満では、露光感度が低いため、露光工程に多くの時間を費やすことが必要となり、基板の生産性が低下する傾向がある。一方、配合量が30重量部を超えると、可とう性や耐熱性が低下する傾向がある。   In the photosensitive resin composition of the present invention, a photopolymerizable monomer can be used for the purpose of improving photosensitivity and developer resistance as required. Examples of the photopolymerizable monomer include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, N, N-dimethyl ( (Meth) acrylate, N-methylol (meth) acrylamide, polyethylene glycol, polypropylene glycol, polyethylene glycol or propylene glycol of bisphenol A, mono- or polyfunctional (meth) acrylates of tris (2-hydroxyethyl) isocyanuric acid, triglycidyl Photopolymerizable monomers such as (meth) acrylates of glycidyl ether such as isocyanurate and diallyl phthalate can be used. These can be used alone or in combination of two or more. As for the compounding quantity of said photopolymerizable monomer, 0.5-30 weight part is preferable with respect to 100 weight part of photosensitive resin compositions. If the blending amount is less than 0.5 parts by weight, the exposure sensitivity is low, so that it is necessary to spend a lot of time in the exposure process, and the productivity of the substrate tends to decrease. On the other hand, if the blending amount exceeds 30 parts by weight, flexibility and heat resistance tend to decrease.

本発明の感光性樹脂組成物において、必要に応じて塗膜の機械強度を向上させる目的で無機フィラーを用いることができる。無機フィラーとしては、例えば硫酸バリウム、酸化珪素、酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、珪酸ジルコニウム、酸化ジルコニウム、珪酸カルシウム、タルク、クレー、シリカ、ベントナイト、カオリン珪酸ジルコニウム等が使用できる。これらは単独もしくは2種以上の複数を組み合わせて使用できる。   In the photosensitive resin composition of this invention, an inorganic filler can be used for the purpose of improving the mechanical strength of a coating film as needed. Examples of the inorganic filler that can be used include barium sulfate, silicon oxide, magnesium oxide, calcium carbonate, zirconium silicate, zirconium oxide, calcium silicate, talc, clay, silica, bentonite, and kaolin zirconium silicate. These can be used alone or in combination of two or more.

本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて、フタロシアニン・ブルー、フタロシアニン・グリーン、アイオジン・グリーン、ビスアゾイエロー、クリスタルバイオレット、酸化チタン、カーボンブラック、ナフタレンブラック等の公知の着色剤、ハイドロキノン、メチルハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、カテコール、ピロガロール等の重合禁止剤、シリコーン系、フッ素系、ビニル樹脂系の消泡剤、シランカップリング剤、密着性付与剤等、公知慣用の各種添加剤を用いることができる。   In the photosensitive resin composition of the present invention, as required, known colorants such as phthalocyanine blue, phthalocyanine green, iodin green, bisazo yellow, crystal violet, titanium oxide, carbon black, naphthalene black, Various known and commonly used additives such as polymerization inhibitors such as hydroquinone, methylhydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, catechol, pyrogallol, silicone-based, fluorine-based, vinyl resin-based antifoaming agents, silane coupling agents, adhesion imparting agents, etc. Can be used.

以下、実施例により本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
酸変性ビニルエポキシ樹脂(A−1)の製造例
(A−1)製造例
攪拌機、還流冷却器および温度計を備えたフラスコに一般式(1)で示されるエポキシ樹脂であるNER−7403(エポキシ等量291g/eq)(東都化成株式会社製:商品名)200重量部、ポリブタジエンアクリロニトリルジカルボン酸CTBN1300×13(平均分子量:3000(カルボン酸1等量あたりの平均分子量:1500))、25重量部ブチルジグリコールアセテート110重量部を仕込み、窒素雰囲気下、100℃の条件で加熱攪拌して、混合物を溶解した。次に溶液を70℃まで冷却し、酸素雰囲気下に切り替えた後、アクリル酸45重量部、メチルハイドロキノン0.2重量部、トリフェニルホスフィン1.2重量部、ブチルジグリコールアセテート36重量部を仕込み、100℃に加熱し、酸価が2(KOHmg/g)以下になるまで反応させた。次に得られた溶液を70℃まで冷却し、無水コハク酸21重量部、テトラヒドロ無水フタル酸33重量部、ブチルジグリコールアセテート30重量部を仕込み、80℃で所定時間反応させ、酸価51(KOHmg/g)、固形分65重量%のポリブタジエンアクリロニトリルジカルボン酸(CTBN)付加型酸変性ビニルエポキシ樹脂(A−1)を得た。
EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention in detail, this invention is not limited to these.
Production Example of Acid-Modified Vinyl Epoxy Resin (A-1) (A-1) Production Example NER-7403 (epoxy) which is an epoxy resin represented by the general formula (1) in a flask equipped with a stirrer, a reflux condenser and a thermometer. Equivalent 291 g / eq) (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd .: trade name) 200 parts by weight, polybutadiene acrylonitrile dicarboxylic acid CTBN 1300 × 13 (average molecular weight: 3000 (average molecular weight per equivalent of carboxylic acid: 1500)), 25 parts by weight 110 parts by weight of butyl diglycol acetate was charged and heated and stirred under a nitrogen atmosphere at 100 ° C. to dissolve the mixture. Next, after cooling the solution to 70 ° C. and switching to an oxygen atmosphere, 45 parts by weight of acrylic acid, 0.2 part by weight of methylhydroquinone, 1.2 parts by weight of triphenylphosphine, and 36 parts by weight of butyl diglycol acetate are charged. The mixture was heated to 100 ° C. and reacted until the acid value was 2 (KOH mg / g) or less. Next, the resulting solution was cooled to 70 ° C., charged with 21 parts by weight of succinic anhydride, 33 parts by weight of tetrahydrophthalic anhydride, and 30 parts by weight of butyl diglycol acetate, reacted at 80 ° C. for a predetermined time, and acid value 51 ( KOH mg / g), polybutadiene acrylonitrile dicarboxylic acid (CTBN) addition type acid-modified vinyl epoxy resin (A-1) having a solid content of 65% by weight was obtained.

酸変性ビニルエポキシ樹脂(A−2)の製造例
(A−2)製造例
A−1製造例中のポリブタジエンアクリロニトリルジカルボン酸(CTBN1300×13)をポリブタジエンジカルボン酸(C−1000)(平均分子量:2000(カルボン酸1等量あたりの平均分子量:1000)で置き換えた以外は同一の方法で製造した。得られたポリブタエンジカルボン酸(C−1000)付加型酸変性ビニルエポキシ樹脂(A−2)の酸価は53(KOHmg/g)、固形分は64重量%であった。
Production Example of Acid-Modified Vinyl Epoxy Resin (A-2) (A-2) Production Example A polybutadiene acrylonitrile dicarboxylic acid (CTBN 1300 × 13) in Production Example A-1 was converted to polybutadiene dicarboxylic acid (C-1000) (average molecular weight: 2000) (The average molecular weight per equivalent of carboxylic acid: 1000) The same production method was used except that the polybutene dicarboxylic acid (C-1000) addition type acid-modified vinyl epoxy resin (A-2) was obtained. The acid value was 53 (KOHmg / g), and the solid content was 64% by weight.

エポキシ基含有ポリアミドイミド樹脂(D−1)の製造例
(D−1)製造例
攪拌機、還流冷却器および温度計を備えたフラスコに両末端をアミン変性したポリエチレングリコールであるPEG#1000ジアミン(平均分子量:1146)(日本油脂株式会社:商品名)173重量部、トリメリット酸57重量部を仕込み、窒素雰囲気下120℃の条件で加熱攪拌して、混合物を溶解した。次にトルエンを適量添加してフラスコ中の水分を除去した。水分を除去した後、窒素雰囲気下200℃の条件で脱トルエン反応を行ない、ポリイミド(i)を得た。次に溶液を室温(25℃)まで冷却し、(i)に4,4−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)0.45重量部、トリレンジイソシアネート(TDI)(日本ポリウレタン工業株式会社製:商品名)1.26重量部、γ−ブチロラクトン28重量部を仕込み、200℃条件下で4時間保温し、ポリアミドイミドを得た。次に溶液を120℃まで冷却し、ビスフェノールF型エポキシ樹脂であるYDF−2001(エポキシ当量471g/eq)(東都化成株式会社製:商品名)6.4重量部、γ―ブチロラクトン9重量部を仕込み、6時間保温した。得られたエポキシ基含有ポリアミドイミド樹脂の酸価は1.1(KOHmg/g)、固形分は45重量%であった。
Production example (D-1) of epoxy group-containing polyamideimide resin (D-1) Production example (D-1) PEG # 1000 diamine (average), which is a polyethylene glycol in which both ends are amine-modified in a flask equipped with a stirrer, reflux condenser and thermometer (Molecular weight: 1146) (Nippon Yushi Co., Ltd .: trade name) 173 parts by weight and 57 parts by weight of trimellitic acid were charged, and the mixture was dissolved by heating and stirring under a nitrogen atmosphere at 120 ° C. Next, an appropriate amount of toluene was added to remove water in the flask. After removing water, a toluene removal reaction was performed under a nitrogen atmosphere at 200 ° C. to obtain polyimide (i). Next, the solution was cooled to room temperature (25 ° C.), 0.45 parts by weight of 4,4-diphenylmethane diisocyanate (MDI) and tolylene diisocyanate (TDI) (trade name: manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.) 1 .26 parts by weight and 28 parts by weight of γ-butyrolactone were charged, and kept at 200 ° C. for 4 hours to obtain polyamideimide. Next, the solution was cooled to 120 ° C., and 6.4 parts by weight of YDF-2001 (epoxy equivalent 471 g / eq) (product name of Toto Kasei Co., Ltd.), which is a bisphenol F type epoxy resin, and 9 parts by weight of γ-butyrolactone were added. Charged and kept warm for 6 hours. The resulting epoxy group-containing polyamideimide resin had an acid value of 1.1 (KOHmg / g) and a solid content of 45% by weight.

エポキシ基含有ポリアミドイミド樹脂(D−2)の製造例
(D−2製造例)
攪拌機、還流冷却器および温度計を備えたフラスコに両末端をアミン変性したポリエチレングリコールであるPEG#1000ジアミン(平均分子量:1146)(日本油脂株式会社:商品名)173重量部、トリメリット酸57重量部を仕込み、窒素雰囲気下120℃の条件で加熱攪拌して、混合物を溶解した。次にトルエンを適量添加してフラスコ中の水分を除去した。水分を除去した後、窒素雰囲気下200℃の条件で脱トルエン反応を行ない、ポリイミド(i)を得た。
Production example of epoxy group-containing polyamideimide resin (D-2) (D-2 production example)
A flask equipped with a stirrer, reflux condenser and thermometer, PEG # 1000 diamine (average molecular weight: 1146) (Nippon Yushi Co., Ltd .: trade name), a polyethylene glycol whose both ends are amine-modified, 173 parts by weight, trimellitic acid 57 A part by weight was charged and heated and stirred under a nitrogen atmosphere at 120 ° C. to dissolve the mixture. Next, an appropriate amount of toluene was added to remove water in the flask. After removing water, a toluene removal reaction was performed under a nitrogen atmosphere at 200 ° C. to obtain polyimide (i).

攪拌機、還流冷却器および温度計を備えたフラスコにポリカーボネートジオールであるプラクセルCD220(平均分子量:2000)(ダイセル化学工業株式会社:商品名)149重量部、4,4−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)7.5重量部、トリレンジイソシアネート(TDI)(日本ポリウレタン工業株式会社製:商品名)20.9重量部、γ−ブチロラクトン118重量部を仕込み、窒素雰囲気下150℃条件下で4時間保温し、ポリカーボネート(ii)を得た。   6. A flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, and a thermometer. Plaxel CD220 (average molecular weight: 2000) which is a polycarbonate diol (Daicel Chemical Industries, Ltd .: trade name), 149 parts by weight, 4,4-diphenylmethane diisocyanate (MDI) 5 parts by weight, 20.9 parts by weight of tolylene diisocyanate (TDI) (manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd .: trade name) and 118 parts by weight of γ-butyrolactone were added, and kept at 150 ° C. for 4 hours under a nitrogen atmosphere. (Ii) was obtained.

次に攪拌機、還流冷却器および温度計を備えたフラスコにポリイミド(i)52重量部、炭素数20の直鎖脂肪酸であるL−20、22重量部、γ−ブチロラクトン176重量部を仕込み、窒素雰囲気下100℃の条件で加熱攪拌して、混合物を溶解した。次に得られた溶液を70℃まで冷却し、ポリカーボネート(ii)276重量部、γ―ブチロラクトン176重量部を仕込み、窒素雰囲気下200℃条件下で3時間保温し、ポリアミドイミドを得た。   Next, a flask equipped with a stirrer, a reflux condenser and a thermometer was charged with 52 parts by weight of polyimide (i), L-20, which is a linear fatty acid having 20 carbon atoms, 176 parts by weight of γ-butyrolactone, and nitrogen. The mixture was dissolved by heating and stirring under conditions of 100 ° C. in an atmosphere. Next, the resulting solution was cooled to 70 ° C., charged with 276 parts by weight of polycarbonate (ii) and 176 parts by weight of γ-butyrolactone, and kept at 200 ° C. for 3 hours in a nitrogen atmosphere to obtain polyamideimide.

次に溶液を120℃まで冷却し、ビスフェノールF型エポキシ樹脂であるYDF−2001(エポキシ当量471g/eq)(東都化成株式会社製:商品名)61重量部を仕込み、6時間保温した。得られたエポキシ基含有ポリアミドイミド樹脂の酸価は0.3(KOHmg/g)、固形分は46重量%であった。   Next, the solution was cooled to 120 ° C., and 61 parts by weight of YDF-2001 (epoxy equivalent 471 g / eq) (manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.), which is a bisphenol F type epoxy resin, was charged and kept warm for 6 hours. The resulting epoxy group-containing polyamideimide resin had an acid value of 0.3 (KOHmg / g) and a solid content of 46% by weight.

酸変性ポリアミドイミド樹脂(D’−1)の製造例
(D’−1製造例)
(D−1)製造例に基づいて作製したエポキシ基含有ポリアミドイミド(D−1)371重量部、メタクリル酸3.2重量部、メチルハイドロキノン0.02重量部、トリフェニルホスフィン0.2重量部を攪拌機、還流冷却器および温度計を備えたフラスコに仕込み、酸素雰囲気下120℃の条件下で4時間保温し、酸価が3〜5(KOHmg/g)の範囲になるまで反応させた。次に得られた溶液を70℃まで冷却し、テトラヒドロ無水フタル酸43重量部を仕込み、80℃で所定時間反応させ、酸価47(KOHmg/g)、固形分46重量%の酸変性ポリアミドイミド樹脂(D’−1)を得た。
Production Example of Acid-Modified Polyamideimide Resin (D′-1) (D′-1 Production Example)
(D-1) 371 parts by weight of an epoxy group-containing polyamideimide (D-1) produced based on the production example, 3.2 parts by weight of methacrylic acid, 0.02 parts by weight of methylhydroquinone, 0.2 parts by weight of triphenylphosphine Was placed in a flask equipped with a stirrer, a reflux condenser and a thermometer, and kept under an oxygen atmosphere at 120 ° C. for 4 hours to react until the acid value was in the range of 3 to 5 (KOH mg / g). Next, the resulting solution was cooled to 70 ° C., charged with 43 parts by weight of tetrahydrophthalic anhydride, reacted at 80 ° C. for a predetermined time, and acid-modified polyamideimide having an acid value of 47 (KOHmg / g) and a solid content of 46% by weight. Resin (D′-1) was obtained.

酸変性ポリアミドイミド樹脂(D’−2)の製造例
(D’−2製造例)
(D−2)製造例に基づいて作製したエポキシ基含有ポリアミドイミド(D−2)382重量部、アクリル酸4.3重量部、メチルハイドロキノン0.05重量部、トリフェニルホスフィン0.3重量部を攪拌機、還流冷却器および温度計を備えたフラスコに仕込み、酸素雰囲気下120℃の条件下で4時間保温し、酸価が3〜5(KOHmg/g)の範囲になるまで反応させた。次に得られた溶液を70℃まで冷却し、テトラヒドロ無水フタル酸39重量部を仕込み、80℃で所定時間反応させ、酸価41(KOHmg/g)、固形分43重量%の酸変性ポリアミドイミド樹脂(D’−2)を得た。
Production example of acid-modified polyamideimide resin (D′-2) (D′-2 production example)
(D-2) 382 parts by weight of an epoxy group-containing polyamideimide (D-2) prepared based on the production example, 4.3 parts by weight of acrylic acid, 0.05 part by weight of methylhydroquinone, 0.3 part by weight of triphenylphosphine Was placed in a flask equipped with a stirrer, a reflux condenser and a thermometer, and kept under an oxygen atmosphere at 120 ° C. for 4 hours to react until the acid value was in the range of 3 to 5 (KOH mg / g). Next, the resulting solution was cooled to 70 ° C., charged with 39 parts by weight of tetrahydrophthalic anhydride, reacted at 80 ° C. for a predetermined time, and acid-modified polyamideimide having an acid value of 41 (KOHmg / g) and a solid content of 43% by weight. Resin (D′-2) was obtained.

(実施例1〜4)
以上のようにして得られた酸変性ビニルエポキシ樹脂(A)、エポキシ基含有ポリアミドイミド樹脂(D)、酸変性ポリアミドイミド樹脂(D’)を用い、下記表1、2に示す配合(組成)に従って、主剤1〜4(4種類)および硬化剤1〜2(2種類)の樹脂組成物を三本ロールミルを用いてそれぞれ別々に混練、作製した。得られた主剤と硬化剤は下記表3に示す実施例1〜4の組みあわせで、重量比70:30の比率で混合することにより、感光性樹脂組成物(レジストインク組成物)とした。
(Examples 1-4)
Using the acid-modified vinyl epoxy resin (A), epoxy group-containing polyamide-imide resin (D), and acid-modified polyamide-imide resin (D ′) obtained as described above, the formulations (compositions) shown in Tables 1 and 2 below. Accordingly, the resin compositions of main agents 1 to 4 (4 types) and curing agents 1 to 2 (2 types) were separately kneaded and produced using a three-roll mill. The obtained main agent and curing agent were combined in Examples 1 to 4 shown in Table 3 below, and mixed at a weight ratio of 70:30 to obtain a photosensitive resin composition (resist ink composition).

(比較例1〜3)
以下に示す方法により製造したクレゾールノボラック型エポキシアクリレート(A−3)を使用した場合、ならびにエポキシ基含有ポリアミドイミド樹脂(D−1)の配合量を調整した場合について、実施例との比較を行なった。下記表1、2に示す配合(組成)に従って、主剤5、6(2種類)および硬化剤3、4(2種類)の樹脂組成物を三本ロールミルを用いてそれぞれ別々に混練、作製した。得られた主剤と硬化剤は下記表3に示す比較例1〜3の組みあわせで、重量比70:30の比率で混合することにより、感光性樹脂組成物(レジストインク組成物)とした。
(Comparative Examples 1-3)
The case where the cresol novolac type epoxy acrylate (A-3) produced by the method shown below is used and the case where the blending amount of the epoxy group-containing polyamideimide resin (D-1) is adjusted are compared with the examples. It was. According to the formulation (composition) shown in Tables 1 and 2 below, resin compositions of main agents 5, 6 (2 types) and curing agents 3, 4 (2 types) were separately kneaded and prepared using a three-roll mill. The obtained main agent and curing agent were combined in Comparative Examples 1 to 3 shown in Table 3 below, and mixed at a weight ratio of 70:30 to obtain a photosensitive resin composition (resist ink composition).

酸変性ビニルエポキシ樹脂(A−3)の製造例
(A−3)製造例
攪拌機、還流冷却器および温度計を備えたフラスコにクレゾールノボラック型エポキシ樹脂であるDEN−438(エポキシ等量200g/eq)(大日本インキ株式会社製:商品名)200重量部、ポリブタジエンアクリロニトリルジカルボン酸CTBN1300×13(平均分子量:3000(カルボン酸1等量あたりの平均分子量:1500))、23重量部ブチルジグリコールアセテート148重量部を仕込み、窒素雰囲気下、100℃の条件で加熱攪拌して、混合物を溶解した。次に溶液を70℃まで冷却し、酸素雰囲気下に切り替えた後、アクリル酸52重量部、メチルハイドロキノン0.15重量部、トリフェニルホスフィン1重量部を仕込み、100℃に加熱し、酸価が2(KOHmg/g)以下になるまで反応させた。次に得られた溶液を70℃まで冷却し、無水コハク酸15重量部、テトラヒドロ無水フタル酸24重量部、ブチルジグリコールアセテート29重量部を仕込み、80℃で所定時間反応させ、酸価54(KOHmg/g)、固形分65重量%のポリブタジエンアクリロニトリルジカルボン酸(CTBN)付加型酸変性ビニルエポキシ樹脂(A−3)を得た。
Production Example of Acid-Modified Vinyl Epoxy Resin (A-3) (A-3) Production Example DEN-438 (epoxy equivalent 200 g / eq), which is a cresol novolac type epoxy resin, in a flask equipped with a stirrer, reflux condenser and thermometer. ) (Dainippon Ink Co., Ltd .: trade name) 200 parts by weight, polybutadiene acrylonitrile dicarboxylic acid CTBN 1300 × 13 (average molecular weight: 3000 (average molecular weight per equivalent of carboxylic acid: 1500)), 23 parts by weight butyl diglycol acetate 148 parts by weight were charged, and the mixture was heated and stirred under a nitrogen atmosphere at 100 ° C. to dissolve the mixture. Next, after cooling the solution to 70 ° C. and switching to an oxygen atmosphere, 52 parts by weight of acrylic acid, 0.15 part by weight of methylhydroquinone and 1 part by weight of triphenylphosphine were added and heated to 100 ° C. The reaction was continued until 2 (KOHmg / g) or less. Next, the obtained solution was cooled to 70 ° C., charged with 15 parts by weight of succinic anhydride, 24 parts by weight of tetrahydrophthalic anhydride, and 29 parts by weight of butyl diglycol acetate, reacted at 80 ° C. for a predetermined time, and acid value 54 ( KOH mg / g), polybutadiene acrylonitrile dicarboxylic acid (CTBN) addition type acid-modified vinyl epoxy resin (A-3) having a solid content of 65% by weight was obtained.

Figure 2006349814

*1:チバガイギー株式会社製、*2:日本化薬株式会社製、*3:山陽色素株式会社製
Figure 2006349814

* 1: Ciba Geigy Co., Ltd. * 2: Nippon Kayaku Co., Ltd. * 3: Sanyo Dye Co., Ltd.

Figure 2006349814

*4:新日鉄化学株式会社製、*5:日本化薬株式会社製
Figure 2006349814

* 4: Nippon Steel Chemical Co., Ltd. * 5: Nippon Kayaku Co., Ltd.

Figure 2006349814
Figure 2006349814

実施例1〜4、比較例1〜3の感光性樹脂組成物(レジストインク組成物)の特性は以下の項目で評価した。
(感光特性)
以下の方法で塗膜外観試験評価用のサンプルを作製して評価した。
1)厚さ25μmのポリイミドフィルム基板(エスパネックス:新日鐵化学株式会社製:商品名)上に感光性樹脂組成物を乾燥後の膜厚が10〜15μmとなるように塗布、乾燥(80℃/15分)する。
2)レジストパターンを形成する箇所にΦ100μmの丸型の遮蔽部を設けたフォトマスクを介して、500〜1000mJ/cmの露光量で紫外線を照射する。
3)次に、30±5℃に保たれた所定のアルカリ現像液で1〜3分現像することにより、未露光部分を溶解除去してレジストパターン(Φ100μmビア)を形成する。
4)150℃で60分間熱硬化処理を行う。
The characteristics of the photosensitive resin compositions (resist ink compositions) of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 3 were evaluated by the following items.
(Photosensitive characteristics)
Samples for coating film appearance test evaluation were prepared and evaluated by the following methods.
1) A photosensitive resin composition is applied onto a polyimide film substrate (Espanex: manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd .: trade name) with a thickness of 25 μm so that the film thickness after drying is 10 to 15 μm and dried (80 ° C / 15 minutes).
2) Ultraviolet rays are irradiated with an exposure amount of 500 to 1000 mJ / cm 2 through a photomask in which a circular shielding portion having a diameter of 100 μm is provided at a position where a resist pattern is to be formed.
3) Next, by developing for 1 to 3 minutes with a predetermined alkaline developer kept at 30 ± 5 ° C., the unexposed portion is dissolved and removed to form a resist pattern (Φ100 μm via).
4) A thermosetting treatment is performed at 150 ° C. for 60 minutes.

(耐折性)
L/S=50/50μmの導体回路を形成した厚さ25μmのポリイミドフィルム基板(エスパネックス:新日鐵化学株式会社製:商品名)上に感光性樹脂組成物を乾燥後の膜厚が10〜15μmとなるように塗布、乾燥(80℃/15分)する。以下、感光特性と同様の露光、現像、熱硬化処理を実施してサンプルを作製した。耐折性の評価はJIS P 8115に準拠した135°対向折り曲げにより行ない、回路が断線するまでの曲げ回数を評価した。
(Folding resistance)
The film thickness after drying the photosensitive resin composition on a 25 μm thick polyimide film substrate (Espanex: manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd .: trade name) on which a conductor circuit of L / S = 50/50 μm is formed is 10 It is applied and dried (80 ° C./15 minutes) so as to be ˜15 μm. Hereinafter, the same exposure, development, and thermosetting treatment as the photosensitive characteristics were performed to prepare samples. The folding resistance was evaluated by 135 ° facing bending according to JIS P 8115, and the number of bendings until the circuit was disconnected was evaluated.

(反り特性)
厚さ25μm、大きさ50mm×50mmのポリイミドフィルム基板(エスパネックス:新日鐵化学株式会社製:商品名)上に感光性樹脂組成物を乾燥後の膜厚が10〜15μmとなるように塗布、乾燥(80℃/15分)する。以下、感光特性と同様の露光、現像、熱硬化処理を実施してサンプルを作製した。反りの評価はn=5で行ない、その値はn=5の平均値で表した。
(Warpage characteristics)
The photosensitive resin composition is applied on a polyimide film substrate (Espanex: manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd .: trade name) having a thickness of 25 μm and a size of 50 mm × 50 mm so that the film thickness after drying is 10 to 15 μm. Dry (80 ° C./15 minutes). Hereinafter, the same exposure, development, and thermosetting treatment as the photosensitive characteristics were performed to prepare samples. The warpage was evaluated at n = 5, and the value was expressed as an average value of n = 5.

(耐PCT性)
そり特性評価サンプルと同一のサンプルを用い、評価した。評価は121℃/100%の条件下で96時放置した後の、レジスト塗膜の外観を評価することにより行なった。塗膜に膨れ、剥離等の異常が認められないものを○、膨れ、剥離等の異常が認められるものを×とした。
(PCT resistance)
Evaluation was performed using the same sample as the warpage characteristic evaluation sample. The evaluation was performed by evaluating the appearance of the resist coating film after being left for 96 hours under the condition of 121 ° C./100%. A sample in which no abnormality such as swelling and peeling was observed in the coating film was marked with “◯”, and a sample in which abnormality such as swelling and peeling was found was marked with “X”.

(耐電食性)
L/S=50/50μmのクシ型導体回路を形成した、厚さ25μmのポリイミドフィルム基板(エスパネックス:新日鐵化学株式会社製:商品名)上に感光性樹脂組成物を乾燥後の膜厚が10〜15μmとなるように塗布、乾燥(80℃/15分)する。以下、感光特性と同様の露光、現像、熱硬化処理を実施してサンプルを作製した。評価は85℃/85%の条件下で100Vの電圧を1000時間印加し、回路間の絶縁抵抗値の変化を調べた。1000時間に達するまでに回路間の絶縁抵抗値が8乗オーダー以下となった場合は絶縁不良(耐電食性不十分:×)と判断した。
(Electric corrosion resistance)
Film after drying photosensitive resin composition on 25 μm-thick polyimide film substrate (Espanex: manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd .: trade name) on which a comb-shaped conductor circuit of L / S = 50/50 μm is formed It is applied and dried (80 ° C./15 minutes) so that the thickness becomes 10 to 15 μm. Hereinafter, the same exposure, development, and thermosetting treatment as the photosensitive characteristics were performed to prepare samples. In the evaluation, a voltage of 100 V was applied for 1000 hours under the condition of 85 ° C./85%, and the change in the insulation resistance value between the circuits was examined. When the insulation resistance value between the circuits was 8th order or less before reaching 1000 hours, it was determined that the insulation was defective (insufficient electric corrosion resistance: x).

(引張り弾性率、伸び率)
厚さ50μmのPETフィルム上に感光性樹脂組成物を乾燥後の膜厚が40〜60μmとなるように塗布、乾燥(80℃/15分)する。以下、感光特性と同様の露光、現像、熱硬化処理を実施し、PETフィルムを剥離してフィルム硬化物(引張り伸び、弾性率評価サンプル)を得た。引張り伸び、弾性率はn=5で評価し、その値はn=5の平均値で表した。
以上の評価結果のまとめを表4に示した。
(Tensile modulus, elongation)
The photosensitive resin composition is applied onto a PET film having a thickness of 50 μm and dried (80 ° C./15 minutes) so that the film thickness after drying becomes 40 to 60 μm. Thereafter, exposure, development, and thermosetting treatment similar to the photosensitive characteristics were performed, and the PET film was peeled off to obtain a film cured product (tensile elongation, elastic modulus evaluation sample). The tensile elongation and the elastic modulus were evaluated by n = 5, and the value was expressed as an average value of n = 5.
A summary of the above evaluation results is shown in Table 4.

Figure 2006349814
Figure 2006349814

従来の感光性ソルダレジスト用の感光性樹脂塑性物ではCOF実装用フレキシブル配線板で要求される、耐折性、そり特性を満足することが困難であったが、本発明によれば一般式(1)で示されるエポキシ樹脂(a)に反応性エラストマ成分(b)、不飽和モノカルボン酸成分(c)を反応させて得られるエステル化物にさらに飽和又は不飽和多塩基酸無水物(d)を付加した付加反応生成物である酸変性ビニルエポキシ樹脂(A)、光開始剤(B)、エポキシ樹脂(C)、エポキシ基含有ポリアミドイミド樹脂(D)を用いることで、表4に示したように、耐電食性、耐PCT性等の信頼性を損なうことなく耐折性、そり特性に優れた感光性樹脂組成物を得ることができた。


Conventional photosensitive resin plastics for photosensitive solder resists have been difficult to satisfy the bending resistance and warpage characteristics required for a flexible wiring board for COF mounting. The esterified product obtained by reacting the reactive elastomer component (b) and the unsaturated monocarboxylic acid component (c) with the epoxy resin (a) represented by 1) is further saturated or unsaturated polybasic acid anhydride (d). Using the acid-modified vinyl epoxy resin (A), photoinitiator (B), epoxy resin (C), and epoxy group-containing polyamide-imide resin (D), which are addition reaction products obtained by adding bisphenol, are shown in Table 4. Thus, a photosensitive resin composition excellent in folding resistance and warpage characteristics could be obtained without impairing reliability such as electric corrosion resistance and PCT resistance.


Claims (7)

一般式(1)で示されるエポキシ樹脂(a)に反応性エラストマ成分(b)、不飽和モノカルボン酸成分(c)を反応させて得られるエステル化物にさらに飽和又は不飽和多塩基酸無水物(d)を付加した付加反応生成物である酸変性ビニルエポキシ樹脂(A)、光開始剤(B)、エポキシ樹脂(C)、エポキシ基含有ポリアミドイミド樹脂(D)を成分とする感光性樹脂組成物。
Figure 2006349814

(Rは、水素原子あるいは一般式(1a)示される置換基である)
Figure 2006349814
The esterified product obtained by reacting the reactive elastomer component (b) and the unsaturated monocarboxylic acid component (c) with the epoxy resin (a) represented by the general formula (1) is further saturated or unsaturated polybasic acid anhydride. Photosensitive resin comprising acid-modified vinyl epoxy resin (A), photoinitiator (B), epoxy resin (C), and epoxy group-containing polyamideimide resin (D) as an addition reaction product to which (d) is added Composition.
Figure 2006349814

(R is a hydrogen atom or a substituent represented by the general formula (1a))
Figure 2006349814
反応性エラストマ成分(b)が、分子両末端にカルボキシル基を有し、ブタジエン骨格を含有する平均分子量が500〜5000の低分子量ポリマー成分であることを特徴とする請求項1に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive elastomer according to claim 1, wherein the reactive elastomer component (b) is a low molecular weight polymer component having a carboxyl group at both molecular ends and containing a butadiene skeleton and having an average molecular weight of 500 to 5,000. Resin composition. エポキシ基含有ポリアミドイミド樹脂(D)が、ポリアルキレンオキサイドユニットおよびポリカーボネートユニットから選ばれる少なくとも1種のポリマーユニットを分子構造中に有するカルボキシル基末端ポリアミドイミド樹脂(e)とエポキシ樹脂(f)とを、エポキシ基/カルボキシル基のモル比を1より大きくして反応させて得られるエポキシ基含有ポリアミドイミド樹脂であることを特徴とする請求項1または2に記載の感光性樹脂組成物。   The epoxy group-containing polyamideimide resin (D) comprises a carboxyl group-terminated polyamideimide resin (e) having at least one polymer unit selected from a polyalkylene oxide unit and a polycarbonate unit in the molecular structure, and an epoxy resin (f). The photosensitive resin composition according to claim 1, which is an epoxy group-containing polyamideimide resin obtained by reacting with an epoxy group / carboxyl group molar ratio of greater than 1. エポキシ基含有ポリアミドイミド(D)が酸変性ビニルエポキシ樹脂(A)の固形分100重量部に対して、20〜50重量部であることを特徴とする請求項1〜3いずれかに記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive group according to any one of claims 1 to 3, wherein the epoxy group-containing polyamideimide (D) is 20 to 50 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the solid content of the acid-modified vinyl epoxy resin (A). Resin composition. 加熱硬化した際の、常温(25℃)での引張り弾性率が1500MPa以下、引張り伸び率が10〜30%であることを特徴とする請求項1〜4いずれかに記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4, which has a tensile modulus at ordinary temperature (25 ° C) of 1500 MPa or less and a tensile elongation of 10 to 30% when heat-cured. . 請求項1〜5いずれかに記載の感光性樹脂組成物をフィルム基板上に積層し、紫外線を画像上に照射して露光部分を光硬化させ、未露光部分を現像により選択除去することを特徴とするレジストパターンの製造方法。   The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 5 is laminated on a film substrate, and an exposed part is photocured by irradiating an ultraviolet ray onto an image, and an unexposed part is selectively removed by development. A method for producing a resist pattern. 請求項6に記載のレジストパターンの製造方法により、永久マスクを形成することを特徴とするフレキシブル配線板の製造方法。

A method for producing a flexible wiring board, wherein a permanent mask is formed by the method for producing a resist pattern according to claim 6.

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