JP2006346949A - Projection pattern forming method - Google Patents

Projection pattern forming method Download PDF

Info

Publication number
JP2006346949A
JP2006346949A JP2005174560A JP2005174560A JP2006346949A JP 2006346949 A JP2006346949 A JP 2006346949A JP 2005174560 A JP2005174560 A JP 2005174560A JP 2005174560 A JP2005174560 A JP 2005174560A JP 2006346949 A JP2006346949 A JP 2006346949A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin composition
photocurable resin
forming
portions
protrusions
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2005174560A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hide Nakamura
秀 中村
Kenichi Azuma
賢一 東
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sekisui Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sekisui Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sekisui Chemical Co Ltd filed Critical Sekisui Chemical Co Ltd
Priority to JP2005174560A priority Critical patent/JP2006346949A/en
Publication of JP2006346949A publication Critical patent/JP2006346949A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a projection pattern forming method capable of easily forming a projection pattern having a large number of fine projections with high precision. <P>SOLUTION: A photo-setting resin composition 2 having fluidity is prepared and a part of this photo-setting resin composition 2 is drawn upward from the liquid surface of the photo-setting resin composition 2 at a large number of parts and irradiated with light in this state to cure the photo-setting resin composition 2. A plurality of projections are formed from a plurality of the parts of the drawn-up photo-setting resin composition 2 to form the projection pattern. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、例えば液晶表示装置や光学機器において反射を防止する用途や、表面を粗化する用途に適した突起パターンの形成方法に関し、より詳細には、光硬化性樹脂組成物を光の照射により硬化させることにより複数の微小突起を形成する突起パターンの形成方法に関する。   The present invention relates to a method for forming a projection pattern suitable for, for example, a liquid crystal display device or an optical instrument for preventing reflection or for roughening the surface. More specifically, the present invention relates to light irradiation of a photocurable resin composition. The present invention relates to a method for forming a protrusion pattern in which a plurality of minute protrusions are formed by being cured by the above.

従来、微細な突起パターンを部材表面に形成することにより、該部材に光学的機能を有する技術が種々提案されている。例えば、表面に突起パターンからなるモスアイ構造が形成された偏光板が下記の特許文献1に開示されている。ここでは、偏光板表面にモスアイ構造を設けることにより、波長に関わらず透過率を高め得る旨が示されている。   Conventionally, various techniques have been proposed in which a fine protrusion pattern is formed on the surface of a member to have an optical function on the member. For example, the following Patent Document 1 discloses a polarizing plate having a moth-eye structure formed of a protrusion pattern on the surface. Here, it is shown that the transmittance can be increased regardless of the wavelength by providing a moth-eye structure on the polarizing plate surface.

モスアイ構造とは、入射電磁波、例えば可視光の波長以下の構造の突起が密集された状態で形成されている構造である。このような微小突起パターンを形成してモスアイ構造を形成することにより、様々な波長において透過率が高められるとされている。   The moth-eye structure is a structure in which protrusions having a structure with a wavelength equal to or less than the wavelength of incident electromagnetic waves, for example, visible light, are densely formed. By forming such a moth-eye structure by forming such a microprojection pattern, it is said that the transmittance at various wavelengths can be increased.

そして、特許文献1では、このようなモスアイ構造を有する表面の形成方法として、偏光板の保護膜としてのトリメチルメタクリレート樹脂などの合成樹脂からなる保護膜の表面に、微小突起パターンに応じた凹型の表面を有するスタンパーを加熱下で押し当てる転写法、あるいは合成樹脂表面に微小突起を形成するように射出成形する方法などが開示されている。   And in patent document 1, as a formation method of the surface which has such a moth-eye structure, on the surface of the protective film which consists of synthetic resins, such as a trimethyl methacrylate resin, as a protective film of a polarizing plate, the concave type according to a microprotrusion pattern is provided. A transfer method in which a stamper having a surface is pressed under heating, or a method of injection molding so as to form minute protrusions on the surface of a synthetic resin are disclosed.

また、下記の特許文献2には、反射防止性能を有する微細凹凸パターンの作製方法が開示されている。特許文献2に記載の微細凹凸パターンの形成方法においても、特許文献1と同様に、スタンパーにより転写する方法などが示されている。
特開2003−302532号公報 特開2004−205990号公報
Patent Document 2 below discloses a method for producing a fine concavo-convex pattern having antireflection performance. Also in the method of forming a fine concavo-convex pattern described in Patent Document 2, as with Patent Document 1, a method of transferring with a stamper is shown.
JP 2003-302532 A JP 2004-205990 A

しかしながら、スタンパーなどを用いた転写法では、より小さい突起を高精度に多数形成することは困難であった。また、スタンパーに合成樹脂層の一部が付着し、合成樹脂層をスタンパーから剥離することが困難となりがちであった。   However, in the transfer method using a stamper or the like, it is difficult to form a large number of smaller protrusions with high accuracy. In addition, a part of the synthetic resin layer adheres to the stamper, and it tends to be difficult to peel the synthetic resin layer from the stamper.

射出成形法を用いる方法においても、同様に、非常に微小な突起を高精度に分散形成することは困難であった。また、非常に小さい突起を多数形成してなる微小突起パターンを射出成形法により形成する場合においても、成形型から、成形後の突起パターンを無理なく剥離することは困難であった。   Similarly, in the method using the injection molding method, it is difficult to form very minute protrusions with high accuracy. In addition, even when a microprojection pattern formed by forming a large number of very small projections is formed by an injection molding method, it is difficult to reasonably peel the projection pattern after molding from the mold.

本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、微小突起パターンを高精度にかつ容易に形成することが可能な方法を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a method capable of eliminating the above-described drawbacks of the prior art and forming a microprojection pattern with high accuracy and ease.

本発明に係る突起パターンの形成方法は、流動性を有する光硬化性樹脂組成物を用意する工程と、前記光硬化性樹脂組成物の液面から一部の光硬化性樹脂組成物を複数の部分で上方に引き上げる工程と、前記光硬化性樹脂組成物の一部を複数の部分で引き上げた状態で、光を照射し、光硬化性樹脂組成物を硬化し、引き上げられている複数の光硬化性樹脂組成物部分により複数の突起を形成する工程とを備えることを特徴とする。   The method for forming a protrusion pattern according to the present invention includes a step of preparing a photocurable resin composition having fluidity, and a plurality of photocurable resin compositions from a liquid surface of the photocurable resin composition. A step of pulling upward at a portion, and a plurality of light being pulled by irradiating with light in a state where a part of the photocurable resin composition is pulled up at a plurality of portions, curing the photocurable resin composition Forming a plurality of protrusions with the curable resin composition portion.

本発明に係る突起パターンの形成方法のある特定の局面では、前記光硬化性樹脂組成物を複数の部分で上方に引き上げる工程が、前記光硬化性樹脂組成物の液面に複数の部分で付着する治具を用意し、該治具を複数の部分で前記光硬化性樹脂組成物の液面に当接させた後、該治具を引き上げることにより行われる。   In a specific aspect of the method for forming a protrusion pattern according to the present invention, the step of pulling the photocurable resin composition upward at a plurality of portions adheres to the liquid surface of the photocurable resin composition at a plurality of portions. This is performed by preparing a jig to be used, bringing the jig into contact with the liquid surface of the photocurable resin composition at a plurality of portions, and then pulling up the jig.

本発明に係る突起パターンの形成方法の他の特定の局面では、前記治具が、下面に複数の突部を有し、該突部が、前記複数の突起に対応した位置に設けられている。   In another specific aspect of the method for forming a protrusion pattern according to the present invention, the jig has a plurality of protrusions on a lower surface, and the protrusions are provided at positions corresponding to the plurality of protrusions. .

本発明に係る突起パターンの形成方法のさらに別の特定の局面では、前記治具の下面が、複数の突起が設けられる部分において光硬化性樹脂組成物と親和性を有する領域と、光硬化性樹脂組成物と親和性を有しない残りの領域とを有する。   In still another specific aspect of the method for forming a protrusion pattern according to the present invention, the lower surface of the jig has a region having an affinity for the photocurable resin composition in a portion where a plurality of protrusions are provided, and a photocurable property. And the remaining region having no affinity with the resin composition.

本発明に係る突起パターンの形成方法のさらに他の特定の局面では、前記光硬化性樹脂組成物を複数の部分で上方に引き上げる工程が、光硬化性樹脂組成物の液面に光硬化性樹脂組成物に親和性を有しない流動性媒体を吹き付けることにより行われる。   In still another specific aspect of the method for forming a protrusion pattern according to the present invention, the step of pulling the photocurable resin composition upward at a plurality of portions is performed on the liquid surface of the photocurable resin composition. This is done by spraying a fluid medium that has no affinity for the composition.

本発明に係る突起パターンの形成方法のさらに他の特定の局面では、前記光硬化性樹脂組成物を複数の部分で上方に引き上げる工程が、前記光硬化性樹脂組成物の液面の上方から、光硬化性樹脂組成物を引き上げる部分において選択的に吸引することにより行われる。   In still another specific aspect of the method for forming a protrusion pattern according to the present invention, the step of pulling the photocurable resin composition upward at a plurality of portions from above the liquid level of the photocurable resin composition, It is performed by selectively sucking in the portion where the photocurable resin composition is pulled up.

本発明に係る突起パターンの形成方法のさらに別の特定の局面によれば、前記光硬化性樹脂組成物を複数の部分で上方に引き上げる工程が、光硬化性樹脂組成物中に、突起が設けられている領域間に固形部材を進入させ、それによって固形部材が進入されている領域の側方において光硬化性樹脂組成物を盛り上げることにより行われる。   According to still another specific aspect of the method for forming a projection pattern according to the present invention, the step of pulling the photocurable resin composition upward at a plurality of portions is provided with projections in the photocurable resin composition. This is done by causing the solid member to enter between the regions where the solid member is inserted, thereby raising the photocurable resin composition on the side of the region where the solid member is inserted.

本発明に係る突起パターンの形成方法のさらに他の特定の局面では、前記光硬化性樹脂組成物を部分的に上方に引き上げる工程が、光硬化性樹脂組成物の液面を振動させ、定在波を発生させることにより凹凸を付与することにより行われる。   In still another specific aspect of the method for forming a protrusion pattern according to the present invention, the step of partially pulling the photocurable resin composition upward vibrates the liquid level of the photocurable resin composition, and is standing. This is done by providing irregularities by generating waves.

本発明に係る突起パターンの形成方法では、上記光硬化性樹脂組成物は、特に限定されないが、好ましくは、光ラジカル重合により硬化する光重合性化合物と、光ラジカル重合開始剤とを含む。   In the method for forming a protrusion pattern according to the present invention, the photocurable resin composition is not particularly limited, but preferably includes a photopolymerizable compound that is cured by photoradical polymerization and a photoradical polymerization initiator.

本発明に係る突起パターンの形成方法では、流動性を有する光硬化性樹脂組成物を用意し、該光硬化性樹脂組成物の液面から一部の光硬化性樹脂組成物を複数の部分で上方に引き上げた状態で、光を照射する。光の照射により光硬化性樹脂組成物が硬化し、引き上げられている部分により、複数の突起が形成される。従って、上記光硬化性樹脂組成物を複数の部分で上方に引き上げるだけで、微細突起パターンを高精度にかつ容易に形成することが可能となる。しかも、従来のスタンパーを用いた転写法や射出成形法では、突起パターンの全面が転写剤や成形型と面接触していたため、突起パターン形成後に剥離し難いという問題があったのに対し、本発明の突起パターンの形成方法では、突起パターンの全面が他の部材に接触されないため、剥離等が困難になることもない。   In the method for forming a protrusion pattern according to the present invention, a photocurable resin composition having fluidity is prepared, and a part of the photocurable resin composition is divided into a plurality of portions from the liquid surface of the photocurable resin composition. Irradiate with light in a state of being pulled upward. The photocurable resin composition is cured by light irradiation, and a plurality of protrusions are formed by the pulled-up portions. Therefore, it is possible to easily form the fine protrusion pattern with high accuracy simply by pulling the photocurable resin composition upward at a plurality of portions. Moreover, the conventional transfer method or injection molding method using a stamper has a problem that it is difficult to peel off after the projection pattern is formed because the entire surface of the projection pattern is in surface contact with the transfer agent or the mold. In the method for forming a projection pattern of the invention, the entire surface of the projection pattern is not in contact with other members, so that peeling or the like does not become difficult.

本発明において、光硬化性樹脂組成物を複数の部分で上方に引き上げるに際し、複数の部分で光硬化性樹脂組成物の液面に付着する治具を用意し、治具を液面に当接させた後、該治具を引き上げる方法を用いた場合には、上記治具の複数の部分を光硬化性樹脂組成物の液面に接触させて引き上げるだけで、複数の突起部分に相当する部分を容易に形成することができる。   In the present invention, when pulling the photocurable resin composition upward at a plurality of portions, a jig that adheres to the liquid surface of the photocurable resin composition at a plurality of portions is prepared, and the jig is brought into contact with the liquid surface. When the method of pulling up the jig is used, a portion corresponding to the plurality of protruding portions can be obtained simply by bringing the plurality of portions of the jig into contact with the liquid surface of the photocurable resin composition. Can be easily formed.

上記治具が下面に複数の突部を有し、該突部が複数の突起に対応した位置に設けられている場合には、複数の突部の先端を液面に接触させて治具を引き上げるだけで、容易に光硬化性樹脂組成物を複数の部分で引き上げることができる。   When the jig has a plurality of protrusions on the lower surface and the protrusions are provided at positions corresponding to the plurality of protrusions, the tips of the protrusions are brought into contact with the liquid surface to The photocurable resin composition can be easily pulled up at a plurality of portions simply by pulling up.

また、治具の下面が、複数の突起が設けられるべき部分において光硬化性樹脂組成物と親和性を有する領域を有し、親和性を有しない残りの領域とを有する場合には、治具の光硬化性樹脂組成物と親和性を有する領域において、光硬化性樹脂組成物が付着し、残りの部分には付着し難いため、治具の下面を光硬化性樹脂組成物の液面に接触させて、治具を上方に引き上げるだけで、光硬化性樹脂組成物の一部を複数の部分で引き上げた状態とすることができる。   In addition, when the lower surface of the jig has a region having affinity with the photocurable resin composition in a portion where a plurality of protrusions are to be provided, and the remaining region having no affinity, the jig In the region having an affinity for the photocurable resin composition, the photocurable resin composition adheres and hardly adheres to the remaining portion, so the lower surface of the jig is placed on the liquid surface of the photocurable resin composition. By bringing them into contact and pulling the jig upward, a part of the photocurable resin composition can be pulled up at a plurality of portions.

また、光硬化性樹脂組成物の液面に光硬化性樹脂組成物に親和性を有しない流動性媒体を吹き付けることにより、複数の部分で光硬化性樹脂組成物を上方に引き上げる場合には、ガスなどの流動性媒体を吹き付けるだけで、非接触的に光硬化性樹脂組成物の一部を複数の部分で引き上げた状態とすることができる。従って、硬化後に、複数の突起パターンが他の部材と接触していないため、複数の突起パターンを他の部材から剥離する工程を省略することができる。   Further, when the photocurable resin composition is pulled up upward at a plurality of portions by spraying a fluid medium having no affinity to the photocurable resin composition on the liquid surface of the photocurable resin composition, By spraying a fluid medium such as gas, a part of the photo-curable resin composition can be brought up in a plurality of portions in a non-contact manner. Accordingly, since the plurality of projection patterns are not in contact with other members after curing, the step of peeling the plurality of projection patterns from the other members can be omitted.

また、光硬化性樹脂組成物を複数の部分で上方に引き上げる工程が、光硬化性樹脂組成物の液面の上方から選択的に吸引することにより行われる場合においても、同様に、選択的に吸引することにより、すなわち非接触的に光硬化性樹脂組成物を部分的に上方に引き上げることができる。   Similarly, when the step of pulling the photocurable resin composition upward at a plurality of portions is performed by selectively suctioning from above the liquid surface of the photocurable resin composition, the same is selectively performed. By sucking, that is, the photocurable resin composition can be partially pulled upward in a non-contact manner.

光硬化性樹脂組成物を複数の部分で上方に引き上げる工程が、突起が設けられるべき領域間に固定部材を進入させ、それによって固形部材が進入されている領域の側方において光硬化性樹脂組成物を盛り上げることにより行われる場合には、固形部材の進入位置及び先端の形状を調整するだけで、所望とする複数の突起を所望とする密度で容易に形成することができる。   The step of pulling the photocurable resin composition upward at a plurality of portions causes the fixing member to enter between the regions where the protrusions are to be provided, and thereby the photocurable resin composition on the side of the region where the solid member is inserted When the process is performed by raising the object, it is possible to easily form a plurality of desired projections with a desired density simply by adjusting the entry position of the solid member and the shape of the tip.

光硬化性樹脂組成物の液面を振動させ、定在波を発生させることにより凹凸を付与して光硬化性樹脂組成物を部分的に上方に引き上げる方法では、非接触的方法により光硬化性樹脂組成物を部分的に上方に引き上げることができる。従って、硬化後に、突起を他の部材から剥離する工程を省略することができる。   In the method in which the liquid surface of the photocurable resin composition is vibrated and a standing wave is generated to provide unevenness and the photocurable resin composition is partially pulled up, the photocurable property is obtained by a non-contact method. The resin composition can be partially pulled upward. Therefore, the process of peeling the protrusions from other members after curing can be omitted.

光ラジカル重合により硬化する光重合性化合物と、光ラジカル重合開始剤とを含む光硬化性樹脂組成物を用いた場合には、重合が速やかに行われるため、上方に部分的に引き上げられた光硬化性樹脂組成物を、その状態で速やかに硬化させることができる。   In the case of using a photocurable resin composition containing a photopolymerizable compound that is cured by photoradical polymerization and a photoradical polymerization initiator, the polymerization is performed quickly, so that the light partially lifted upwards The curable resin composition can be quickly cured in that state.

本発明においては、まず流動性を有する光硬化性樹脂組成物を用意する。この光硬化性樹脂組成物とは、光の照射により硬化する樹脂組成物を広く含むものとし、光ラジカル重合により硬化する光硬化性樹脂組成物及び光カチオン重合により硬化する光硬化性樹脂組成物のいずれを用いてもよい。もっとも、光照射後の硬化速度が速いため、光ラジカル重合により硬化する光硬化性樹脂組成物が好ましく用いられる。   In the present invention, first, a photocurable resin composition having fluidity is prepared. This photocurable resin composition includes a wide range of resin compositions that are cured by light irradiation, and includes a photocurable resin composition that is cured by photoradical polymerization and a photocurable resin composition that is cured by photocationic polymerization. Any of them may be used. However, since the curing rate after light irradiation is high, a photocurable resin composition that cures by photoradical polymerization is preferably used.

上記光硬化性樹脂組成物が、光ラジカル重合により硬化する組成物である場合には、光硬化性樹脂組成物は、光ラジカル重合により硬化する光重合性化合物と、光ラジカル重合開始剤とを含む。   When the photocurable resin composition is a composition that is cured by photoradical polymerization, the photocurable resin composition comprises a photopolymerizable compound that is cured by photoradical polymerization, and a photoradical polymerization initiator. Including.

上記光重合性化合物としては、重合・硬化後に、透明性、強度、耐擦傷性、耐熱性、耐水性、耐薬品性、基材に対する密着性、可撓性などの特性を満たす微細突起パターンの表面構造を形成し得るポリマーが好ましい。   As the photopolymerizable compound, a fine projection pattern satisfying characteristics such as transparency, strength, scratch resistance, heat resistance, water resistance, chemical resistance, adhesion to a substrate, and flexibility after polymerization and curing. Polymers that can form surface structures are preferred.

上記のようなポリマーとしては、例えば、アクリル樹脂、ポリエステル、エポキシ樹脂、ポリオレフィン、スチロール樹脂、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリウレタン、ポリ酢酸ビニル、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリカーボネート、メラミン樹脂、尿素樹脂、アルキッド樹脂、フェノール樹脂、セルロース樹脂、ジアリルフタレート樹脂、シリコーン樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリアセタール樹脂、スチレン−イソプレンゴム等が挙げられるが、これらに限定されない。   Examples of the polymer include acrylic resin, polyester, epoxy resin, polyolefin, styrene resin, polyamide, polyimide, polyamideimide, polyurethane, polyvinyl acetate, polyvinyl alcohol, polyvinyl butyral, polycarbonate, melamine resin, urea resin, Examples include, but are not limited to, alkyd resins, phenol resins, cellulose resins, diallyl phthalate resins, silicone resins, polyarylate resins, polyacetal resins, and styrene-isoprene rubber.

上記の中でも、アクリル樹脂、ウレタンアクリレート、及び、ポリエステルアクリレートは特に好ましい。   Among the above, acrylic resin, urethane acrylate, and polyester acrylate are particularly preferable.

アクリル樹脂としては、分子内に少なくとも一つの(メタ)アクリロイル基を有するモノマーを重合させるか、または、そのような(メタ)アクリロイル基含有モノマーの2種以上、あるいは、そこにさらにビニルモノマーやアリルモノマー等のエチレン性不飽和結合を有するモノマーを加えて共重合またはグラフト重合させて得られるポリマーであれば、いずれをも使用できる。   As the acrylic resin, a monomer having at least one (meth) acryloyl group in the molecule is polymerized, or two or more of such (meth) acryloyl group-containing monomers, or further vinyl monomer or allyl are added thereto. Any polymer can be used as long as it is a polymer obtained by adding a monomer having an ethylenically unsaturated bond such as a monomer and copolymerizing or graft-polymerizing it.

なお、本明細書中において(メタ)アクリロイルはアクリロイル及びメタクリロイルを表し、(メタ)アクリレートはアクリレート及びメタクリレートを表し、(メタ)アクリルはアクリル及びメタクリルを表す。   In the present specification, (meth) acryloyl represents acryloyl and methacryloyl, (meth) acrylate represents acrylate and methacrylate, and (meth) acryl represents acryl and methacryl.

(メタ)アクリロイル基含有モノマーとしては、例えば、アルキル(メタ)アクリレート類、アルコキシアルキル(メタ)アクリレート類、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類、アルコキシアルコキシアルキル(メタ)アクリレート類、アルコキシアルキレングリコール(メタ)アクリレート類、ジアルキルアミノアルキル(メタ)アクリレート類、イソボルニル(メタ)アクリレート等の環状構造を有するモノマー、ビスフェノキシエタノールフルオレンジ(メタ)アクリレート等のカルド構造を有するモノマー、(メタ)アクリロイル変性シリコーン等の離型性を有するモノマー等を挙げることができる。   Examples of the (meth) acryloyl group-containing monomer include alkyl (meth) acrylates, alkoxyalkyl (meth) acrylates, hydroxyalkyl (meth) acrylates, alkoxyalkoxyalkyl (meth) acrylates, and alkoxyalkylene glycol (meth). Monomers having a cyclic structure such as acrylates, dialkylaminoalkyl (meth) acrylates, isobornyl (meth) acrylate, monomers having a cardo structure such as bisphenoxyethanol full orange (meth) acrylate, and (meth) acryloyl-modified silicones Examples thereof include monomers having mold properties.

アクリル樹脂を構成する共重合モノマーとして、硬化性を有するモノマー、例えば、エポキシ基を有するモノマー、オキセタン化合物、メチロール基を有するモノマー等の熱硬化性を有するモノマーや、光二量化反応を起こす基を有するモノマー、イソシアネート基を有するモノマー等を使用すれば、ポリマーに反応性を付与することができる。   As a copolymerization monomer constituting the acrylic resin, there is a curable monomer such as a monomer having an epoxy group, a thermosetting monomer such as a monomer having an oxetane compound or a methylol group, or a group causing a photodimerization reaction. If a monomer, a monomer having an isocyanate group, or the like is used, the reactivity can be imparted to the polymer.

アクリル樹脂には、共重合の際のモノマーに光硬化性、熱硬化性等の硬化性を持つ(メタ)アクリレートを使用するほかに、さらに側鎖に官能基を導入して硬化性を付与することもできる。官能基を導入する方法としては、例えば、ウレタン変性、エポキシ変性、エステル変性等の方法がある。   In addition to the use of (meth) acrylates with photocuring and thermosetting properties as the monomer for copolymerization, acrylic resins are further provided with curability by introducing functional groups into the side chains. You can also. Examples of the method for introducing a functional group include urethane modification, epoxy modification, ester modification and the like.

アクリル樹脂の中では、特開2000−63459号公報に記載されているようなウレタン変性アクリル樹脂が好ましい。   Among the acrylic resins, urethane-modified acrylic resins as described in JP 2000-63459 A are preferable.

ウレタン変性アクリル樹脂は、例えば、水酸基をもつアクリル樹脂に、2−イソシアネートエチル(メタ)アクリレート等のイソシアネート基をもつ(メタ)アクリレートを反応させるか、あるいは逆に、イソシアネート基をもつアクリル樹脂に、水酸基をもつ(メタ)アクリレートを反応させて、(メタ)アクリロイル基を導入することにより得られる。   The urethane-modified acrylic resin is, for example, made by reacting an acrylic resin having a hydroxyl group with an (meth) acrylate having an isocyanate group such as 2-isocyanatoethyl (meth) acrylate, or conversely, an acrylic resin having an isocyanate group, It can be obtained by reacting a (meth) acrylate having a hydroxyl group and introducing a (meth) acryloyl group.

ウレタンアクリレートは、分子中にウレタン結合と、光重合性を有する(メタ)アクリロイル基を有するものであれば、いずれも使用できる。ウレタンアクリレートの中では、2個以上のイソシアネート基を有するイソシアネート化合物と、2個以上の水酸基を有する化合物と、1個以上の水酸基及び1個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を反応させて得られるウレタンアクリレート、または、2個以上のイソシアネート基を有するイソシアネート化合物と、2個以上の水酸基及び1個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を反応させて得られるウレタンアクリレートが好ましい。   Any urethane acrylate can be used as long as it has a urethane bond and a photopolymerizable (meth) acryloyl group in the molecule. Among urethane acrylates, an isocyanate compound having two or more isocyanate groups, a compound having two or more hydroxyl groups, and a compound having one or more hydroxyl groups and one or more (meth) acryloyl groups are reacted. The urethane acrylate obtained by reacting the obtained urethane acrylate or an isocyanate compound having two or more isocyanate groups with a compound having two or more hydroxyl groups and one or more (meth) acryloyl groups is preferred.

特に好ましく用いられるウレタンアクリレートとして、特開2001−329031号公報に記載されているタックフリーな皮膜を与える化合物がある。この化合物は、融点が40℃以上のイソシアネート化合物、特にイソホロンジイソシアネートの3量体と、(メタ)アクリロイル基を有していてかつイソシアネート基と反応し得る(メタ)アクリル化合物との反応生成物が挙げられる。   As urethane acrylates that are particularly preferably used, there are compounds that give a tack-free film described in JP-A-2001-329031. This compound is a reaction product of an isocyanate compound having a melting point of 40 ° C. or more, particularly a trimer of isophorone diisocyanate, and a (meth) acryl compound having a (meth) acryloyl group and capable of reacting with the isocyanate group. Can be mentioned.

ポリエステルアクリレートは、分子中にエステル結合と、光重合性を有する(メタ)アクリロイル基を有するものであれば、いずれも使用できる。ポリエステルアクリレートの中では、2個以上の水酸基を有する化合物または環状エステル化合物と多塩基酸とから合成したポリエステル化合物に、さらに(メタ)アクリロイル基を持つ化合物を反応させて得られるポリエステルアクリレートが好ましい。   Any polyester acrylate may be used as long as it has an ester bond and a photopolymerizable (meth) acryloyl group in the molecule. Among polyester acrylates, polyester acrylates obtained by further reacting a compound having two or more hydroxyl groups or a polyester compound synthesized from a cyclic ester compound and a polybasic acid with a compound having a (meth) acryloyl group are preferred.

これらの中でもウレタン変性アクリル樹脂やウレタンアクリレートは、ウレタン結合を多く持っているため凝集力が高く、樹脂組成物の動的貯蔵弾性率を好ましい範囲に調整しやすいので特に好ましい。   Among these, urethane-modified acrylic resins and urethane acrylates are particularly preferable because they have a large number of urethane bonds and thus have high cohesive strength and can easily adjust the dynamic storage elastic modulus of the resin composition to a preferable range.

バインダーポリマーは、ポリスチレン換算重量平均分子量が5,000〜500,000のポリマー成分であることが好ましい。上記分子量が5,000未満の場合には、充分な成膜性が得られないばかりでなく、塗工後に室温で巻取り保管した時にブロッキングを起こし易い。また、上記分子量が500,000を超える場合には軟化しにくいために賦形性が悪くなる。   The binder polymer is preferably a polymer component having a weight average molecular weight in terms of polystyrene of 5,000 to 500,000. When the molecular weight is less than 5,000, not only a sufficient film forming property cannot be obtained, but also blocking tends to occur when the film is wound and stored at room temperature after coating. On the other hand, when the molecular weight exceeds 500,000, it is difficult to soften, resulting in poor formability.

樹脂の分子量が上記範囲にあっても常温で液状のものがあり、そのような樹脂を単独でバインダーポリマーとして用いることはできない。例えば、ウレタンアクリレート、ポリエステルアクリレート、ポリエステル樹脂、エラストマー等では、軟化温度が室温以下の場合もある。その場合は、常温で液状の樹脂を、常温で固体状の材料と混合し、見かけ上固体にすることで、バインダーポリマーとして用いることができる。   Even if the molecular weight of the resin is within the above range, some resins are liquid at room temperature, and such a resin cannot be used alone as a binder polymer. For example, in the case of urethane acrylate, polyester acrylate, polyester resin, elastomer, etc., the softening temperature may be below room temperature. In that case, a resin that is liquid at normal temperature is mixed with a material that is solid at normal temperature to form an apparent solid, which can be used as a binder polymer.

むしろ、バインダーポリマーは単独で使用するよりも、常温で固体状の軟化温度が高いもの(70〜120℃程度)と、常温で液状の樹脂を混合することによって、耐ブロッキング性を維持し、かつ、適度な熱可塑性を与えて凹凸形成性を良好とすることができる。特に、アクリル樹脂と、ウレタンアクリレートの組み合わせは好ましい。   Rather, the binder polymer maintains blocking resistance by mixing a solid resin having a high softening temperature at room temperature (about 70 to 120 ° C.) and a liquid resin at room temperature, rather than using alone. Therefore, it is possible to give an appropriate thermoplasticity to improve the unevenness forming property. In particular, a combination of an acrylic resin and urethane acrylate is preferable.

光硬化性を有する微細凹凸パターン形成材料を調製する場合には、上述したようなバインダーポリマーの中から光重合性官能基を有するかまたは有しないバインダーポリマーを選び、必要に応じて光重合性官能基を有するモノマーやオリゴマー、光重合開始剤、重合禁止剤等の光硬化系成分を配合し、さらに離型剤、有機金属カップリング剤等の他の成分を配合して調製することができる。以下において、光硬化系成分について説明する。   When preparing a fine concavo-convex pattern forming material having photocurability, a binder polymer having or not having a photopolymerizable functional group is selected from the binder polymers as described above, and a photopolymerizable functional group is selected as necessary. It can be prepared by blending a monomer or oligomer having a group, a photocurable component such as a photopolymerization initiator or a polymerization inhibitor, and further blending other components such as a mold release agent or an organometallic coupling agent. Below, a photocuring type component is demonstrated.

なお、本発明における光重合性化合物とは、上述したバインダーポリマーの中から光重合性官能基を有するもの、あるいは上記光重合性官能基を有するモノマーもしくはオリゴマーを広く含むものとする。   In addition, the photopolymerizable compound in this invention shall include widely the thing which has a photopolymerizable functional group from the binder polymer mentioned above, or the monomer or oligomer which has the said photopolymerizable functional group.

光重合性官能基は、可視光または紫外線や電子線等の電離放射線を含む放射線により重合反応して分子間に架橋結合を形成し得る官能基であり、光照射により直接活性化して光重合反応を起こすものであってもよいし、光重合性官能基と光重合開始剤を共存させて光照射した時に光重合開始剤から発生した活性種の作用により重合反応が開始、促進されるものであってもよい。光重合性官能基としては、例えば、エチレン性二重結合のような光ラジカル重合反応性を有するものや、グリシジル基、脂環式エポキシ基、ビニルエーテル基、オキセタン構造等の光カチオン重合及び光アニオン重合反応性の有するものを例示することができ、その中でも光ラジカル重合性基、特にエチレン性二重結合が好ましい。エチレン性二重結合としては、特に(メタ)アクリロイル基が好ましい。   A photopolymerizable functional group is a functional group that can form a cross-linking bond between molecules by visible light or radiation containing ionizing radiation such as ultraviolet rays or electron beams, and is directly activated by light irradiation to cause a photopolymerization reaction. The polymerization reaction may be initiated and accelerated by the action of active species generated from the photopolymerization initiator when irradiated with light in the presence of a photopolymerizable functional group and a photopolymerization initiator. There may be. Examples of the photopolymerizable functional group include those having radical photopolymerization reactivity such as an ethylenic double bond, and photocationic polymerization and photoanion such as glycidyl group, alicyclic epoxy group, vinyl ether group, oxetane structure, etc. Those having polymerization reactivity can be exemplified, and among them, a radical photopolymerizable group, particularly an ethylenic double bond is preferable. As the ethylenic double bond, a (meth) acryloyl group is particularly preferable.

光硬化性樹脂組成物には、光硬化性の付与、当該樹脂組成物の粘度低下、柔軟性の付与、架橋密度の向上のために、光重合性官能基を1つ以上有する(すなわち単官能または多官能の)モノマーまたはオリゴマーを配合してもよい。   The photocurable resin composition has one or more photopolymerizable functional groups (that is, monofunctional) in order to impart photocurability, decrease the viscosity of the resin composition, impart flexibility, and improve crosslink density. Or a polyfunctional monomer or oligomer may be blended.

光カチオン重合反応を利用する場合には、エポキシ化合物、ビニルエーテル化合物、オキセタン化合物等を使用することができる。   When utilizing a photocationic polymerization reaction, an epoxy compound, a vinyl ether compound, an oxetane compound, or the like can be used.

モノマーあるいはオリゴマーの使用量が少なすぎる場合には、得られる硬化樹脂層の強度、耐熱性、耐擦傷性、耐水性、耐薬品性、基材に対する密着性が不充分となる場合がある。一方、モノマーあるいはオリゴマーの使用量が多すぎる場合には、表面タックの増大、ブロッキング、複製時の版取られ等を引き起こす場合がある。かかる観点からモノマーまたはオリゴマーは、光硬化性樹脂組成物の固形分全量中に5〜40重量%の割合で配合することが好ましいが、モノマーまたはオリゴマーを配合した組成物全体として常温で見かけ上固体になる必要がある。なお、光硬化性樹脂組成物の固形分には、溶剤以外の液状成分も含まれる。   If the amount of the monomer or oligomer used is too small, the strength, heat resistance, scratch resistance, water resistance, chemical resistance and adhesion to the substrate of the resulting cured resin layer may be insufficient. On the other hand, if the amount of the monomer or oligomer used is too large, it may cause an increase in surface tack, blocking, plate removal during replication, and the like. From this point of view, the monomer or oligomer is preferably blended in a proportion of 5 to 40% by weight in the total solid content of the photocurable resin composition, but the whole composition blended with the monomer or oligomer is apparently solid at room temperature. Need to be. In addition, liquid components other than a solvent are also contained in solid content of a photocurable resin composition.

光硬化性樹脂組成物には、必要に応じて、使用する光源の波長に対して活性を有する光重合開始剤が配合される。光重合開始剤は、バインダーやモノマーの反応形式の違い(例えばラジカル重合やカチオン重合など)に応じて適切な活性種を発生させるものを用いる。   If necessary, the photocurable resin composition is blended with a photopolymerization initiator having activity with respect to the wavelength of the light source to be used. As the photopolymerization initiator, a photopolymerization initiator that generates an appropriate active species according to the difference in the reaction mode of the binder or monomer (for example, radical polymerization or cationic polymerization) is used.

光ラジカル開始剤としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、α−メチルベンゾイン、α−フェニルベンゾイン、アントラキノン、メチルアントラキノン、アセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトン、ベンジルジアセチルアセトフェノン、ベンゾフェノン、p−クロロベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオフェノン、ジフェニルジスルフィド、テトラメチルチウラムスルフィド、α−クロルメチルナフタレン、アントラセン、ヘキサクロロブタジエン、ペンタクロロブタジエン、ミヒラーズケトン、2クロロチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチルケタール、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパノン−1,2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、1[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン等がある。   Examples of the photo radical initiator include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, α-methylbenzoin, α-phenylbenzoin, anthraquinone, methylanthraquinone, acetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 2, 2-dimethoxy-2-phenylacetone, benzyldiacetylacetophenone, benzophenone, p-chlorobenzophenone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, diphenyldisulfide, tetramethylthiuram sulfide, α-chloromethylnaphthalene, anthracene, hexachlorobutadiene, Pentachlorobutadiene, Michler's ketone, 2 chlorothioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, benzyldimethylketer Bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropanone-1,2-hydroxy-2-methyl-1 -Phenylpropan-1-one, 1 [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one and the like.

光カチオン開始剤としては、例えば、芳香族ジアゾニウム塩、芳香族ヨードニウム塩、芳香族スルホニウム塩、芳香族ホスホニウム塩、混合配位子金属塩等が挙げられる。   Examples of the photocation initiator include aromatic diazonium salts, aromatic iodonium salts, aromatic sulfonium salts, aromatic phosphonium salts, mixed ligand metal salts, and the like.

光アニオン開始剤としては、例えば、1,10−ジアミノデカンや4,4′−トリメチレンジピペリジン、カルバメート類及びその誘導体、コバルト−アミン錯体類、アミノオキシイミノ類、アンモニウムボレート類等を例示することができる。   Examples of the photoanion initiator include 1,10-diaminodecane, 4,4'-trimethylenedipiperidine, carbamates and derivatives thereof, cobalt-amine complexes, aminooxyiminos, ammonium borates and the like. be able to.

上記光重合開始剤は、光硬化性樹脂組成物の固形分全量に対して0.5〜10重量%の割合で配合するのが好ましい。光重合開始剤は1種のみを単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   The photopolymerization initiator is preferably blended at a ratio of 0.5 to 10% by weight with respect to the total solid content of the photocurable resin composition. A photoinitiator may be used individually by 1 type and may be used in combination of 2 or more type.

本発明の光硬化性樹脂組成物には、貯蔵安定性を向上させるために、重合禁止剤を配合してもよい。重合禁止剤としては、例えば、ハイドロキノン、t−ブチルハイドロキノン、カテコール、ハイドロキノンモノメチルエーテル等のフェノール類;ベンゾキノン、ジフェニルベンゾキノン等のキノン類;フェノチアジン類;銅類等を用いることができる。重合禁止剤は、光硬化性樹脂組成物の固形分全量に対して0.1〜10重量%の割合で配合するのが好ましい。   In order to improve the storage stability, a polymerization inhibitor may be blended in the photocurable resin composition of the present invention. As a polymerization inhibitor, for example, phenols such as hydroquinone, t-butylhydroquinone, catechol and hydroquinone monomethyl ether; quinones such as benzoquinone and diphenylbenzoquinone; phenothiazines; coppers and the like can be used. The polymerization inhibitor is preferably blended at a ratio of 0.1 to 10% by weight with respect to the total solid content of the photocurable resin composition.

次に、図1〜図4を参照して、本発明の突起パターンの形成方法の具体的な実施形態を説明する。   Next, a specific embodiment of the method for forming a projection pattern of the present invention will be described with reference to FIGS.

図1(a)及び(b)は、本発明の第1の実施形態に係る突起パターンの形成方法を示す正面図及び正面断面図である。   1A and 1B are a front view and a front sectional view showing a method for forming a protrusion pattern according to the first embodiment of the present invention.

本実施形態では、まず、図1(a)に示されている支持プレート1を用意する。支持プレート1は、本実施形態で形成される突起パターンを表面に有することとなる光学部材であってもよく、突起パターン形成後に突起パターンから剥離され、突起パターン形成に際しての支持部材としてのみ用いられている板状部材であってもよい。   In this embodiment, first, the support plate 1 shown in FIG. The support plate 1 may be an optical member that has the projection pattern formed in the present embodiment on the surface, and is peeled off from the projection pattern after the projection pattern is formed, and is used only as a support member when the projection pattern is formed. It may be a plate-like member.

本実施形態では、支持プレート1は、透明な合成樹脂板からなり、該支持プレート1上に突起パターンを形成することにより、モスアイ構造と称されているような微細突起パターンを表面に有する透明部材が得られる。   In this embodiment, the support plate 1 is made of a transparent synthetic resin plate, and by forming a projection pattern on the support plate 1, a transparent member having a fine projection pattern called a moth-eye structure on the surface. Is obtained.

まず、平坦な支持プレート1上に、上述した光硬化性樹脂組成物を塗布する。光硬化性樹脂組成物は流動性を有するが、塗布直後の液面は平坦である。   First, the above-described photocurable resin composition is applied on the flat support plate 1. The photocurable resin composition has fluidity, but the liquid level immediately after coating is flat.

次に、図1(a)において支持プレート1の上方に図示されている治具3を用意する。治具3は、下面が平坦なプレート3aと、プレート3aの下面から下方に突出した複数の突部3bとを有する。突起パターンとして形成すべき微小突起の数及び密度に応じて、複数の突部3bがプレート3aの下面に設けられている。   Next, the jig 3 illustrated above the support plate 1 in FIG. The jig 3 includes a plate 3a having a flat lower surface and a plurality of protrusions 3b protruding downward from the lower surface of the plate 3a. A plurality of protrusions 3b are provided on the lower surface of the plate 3a according to the number and density of minute protrusions to be formed as a protrusion pattern.

突起パターンの形成は、流動性を有する光硬化性樹脂組成物の液面に、複数の突部3bの先端が接触するように治具3を光硬化性樹脂組成物の液面の上方から降下し、しかる後、突部3bの先端が液面に接触した後に治具3を上方に引き上げることにより行う。この引き上げにより、図1(a)に示すように、流動性を有する光硬化性樹脂組成物2が、突部3bの先端に付着し、突部3bが設けられている複数の部分において上方に引き上げられることになる。この状態において、直ちに光硬化性樹脂組成物2を硬化する光を矢印で示すように照射する。ここでは、支持プレート1が透明であり、治具3も透明であるため、支持プレート1の下面及び治具3の上面の双方から光が照射される。もっとも、光の照射方向はこれに限定されず、光硬化性樹脂組成物2の引き上げられている部分の側方から光を照射してもよい。   The protrusion pattern is formed by lowering the jig 3 from above the liquid surface of the photocurable resin composition so that the tips of the plurality of protrusions 3b come into contact with the liquid surface of the photocurable resin composition having fluidity. Then, after that, the jig 3 is pulled upward after the tip of the protrusion 3b contacts the liquid surface. By this pulling up, as shown in FIG. 1 (a), the photocurable resin composition 2 having fluidity adheres to the tip of the protrusion 3b, and in a plurality of portions where the protrusion 3b is provided, it is upward. Will be raised. In this state, light for curing the photocurable resin composition 2 is immediately irradiated as indicated by an arrow. Here, since the support plate 1 is transparent and the jig 3 is also transparent, light is irradiated from both the lower surface of the support plate 1 and the upper surface of the jig 3. But the irradiation direction of light is not limited to this, You may irradiate light from the side of the part where the photocurable resin composition 2 is pulled up.

また、照射する光は、光硬化性樹脂組成物に応じて適宜選択される。このような光としては、高エネルギー電離放射線、及び紫外線などが挙げられる。高エネルギー電離放射線源としては、例えば、コッククロフト型加速器、ハンデグラーフ型加速器、リニヤーアクセレーター、ベータトロン、サイクロトロン等の加速器によって加速された電子線が工業的に最も便利かつ経済的に使用されるが、その他に放射性同位元素や原子炉等から放射されるγ線、X線、α線、中性子線、陽子線等の放射線も使用できる。紫外線源としては、例えば、紫外線螢光灯、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノン灯、炭素アーク灯、太陽灯等が挙げられる。   Moreover, the light to irradiate is suitably selected according to a photocurable resin composition. Examples of such light include high energy ionizing radiation and ultraviolet rays. As the high-energy ionizing radiation source, for example, an electron beam accelerated by an accelerator such as a cockcroft accelerator, a handagraaf accelerator, a linear accelerator, a betatron, or a cyclotron is industrially most conveniently and economically used. However, radiation such as γ rays, X rays, α rays, neutron rays, proton rays emitted from radioisotopes or nuclear reactors can also be used. Examples of the ultraviolet ray source include an ultraviolet fluorescent lamp, a low-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, an ultrahigh-pressure mercury lamp, a xenon lamp, a carbon arc lamp, and a solar lamp.

また、上記照射する光の強度についても、光硬化性樹脂組成物2の組成に応じて適宜選択すればよい。   Moreover, what is necessary is just to select suitably according to the composition of the photocurable resin composition 2 also about the intensity | strength of the said light to irradiate.

また、光の照射時間は、光硬化性樹脂組成物2が図1(a)に示す状態で硬化するのに十分な時間であればよく、図1(a)に示す形状を維持した状態で硬化させるには、あまり長くないことが望ましい。従って、光硬化性樹脂組成物2の組成や突起の形状にもよるが、上記照射時間は、通常、0.01〜10s程度とすればよい。   Moreover, the light irradiation time should just be sufficient time for the photocurable resin composition 2 to harden | cure in the state shown to Fig.1 (a), in the state which maintained the shape shown to Fig.1 (a). It is desirable not to be too long to cure. Therefore, although depending on the composition of the photocurable resin composition 2 and the shape of the protrusions, the irradiation time may be usually about 0.01 to 10 s.

光ラジカル重合により光硬化性樹脂組成物2が硬化する場合には、光の照射により速やかに硬化が進行し、硬化が完了した段階で光の照射を停止すればよい。   When the photocurable resin composition 2 is cured by photoradical polymerization, the curing proceeds rapidly by the light irradiation, and the light irradiation may be stopped when the curing is completed.

また、前述したように、光硬化性樹脂組成物2が光カチオン重合性化合物及び光カチオン重合開始剤を含む場合には、光の照射を停止した後もカチオン重合により硬化が進行する。従って、その場合には、硬化が完了する前に光の照射を停止してもよい。   Moreover, as mentioned above, when the photocurable resin composition 2 contains a photocationic polymerizable compound and a photocationic polymerization initiator, curing proceeds by cationic polymerization even after the light irradiation is stopped. Therefore, in that case, light irradiation may be stopped before the curing is completed.

上記のようにして、光硬化性樹脂組成物2が複数の部分で上方に引き上げられた状態で光を照射し硬化させた後、治具3を光硬化性樹脂組成物2の硬化物から分離すればよい。このようにして、図1(b)に示すように、複数の突起2aが設けられた突起パターン2bを支持プレート1上に形成することができる。従って、透明な支持プレート1の表面にモスアイ構造を形成することができる。   As described above, after the photocurable resin composition 2 is cured by being irradiated with light while being pulled upward at a plurality of portions, the jig 3 is separated from the cured product of the photocurable resin composition 2. do it. In this way, as shown in FIG. 1B, a projection pattern 2 b provided with a plurality of projections 2 a can be formed on the support plate 1. Therefore, a moth-eye structure can be formed on the surface of the transparent support plate 1.

本実施形態の突起パターンの製造方法では、上記のように、光硬化性樹脂組成物2に光を照射し、硬化することにより複数の突起2aが形成される。従って、微小な突起を容易にかつ速やかに形成することができる。また、従来のスタンパーなどを用いた転写法では、微小な突起を形成した場合に、転写剤を突起パターンから剥離することが困難となることがあったが、本実施形態では、そのような全面的に接触している部材を剥離する必要はない。従って、突起2aの寸法を小さくし、かつ突起2a間の密度が高い場合であっても、容易にかつ速やかに突起パターンを形成することができる。   In the method for producing the projection pattern of the present embodiment, as described above, the plurality of projections 2a are formed by irradiating the photocurable resin composition 2 with light and curing. Therefore, minute protrusions can be formed easily and quickly. In addition, in the transfer method using a conventional stamper or the like, it may be difficult to peel off the transfer agent from the protrusion pattern when a minute protrusion is formed. It is not necessary to peel off the members that are in contact with each other. Therefore, even when the dimensions of the protrusions 2a are reduced and the density between the protrusions 2a is high, the protrusion pattern can be formed easily and quickly.

図2は、第1の実施形態の変形例に係る突起パターンの形成方法を説明するための模式的正面図である。   FIG. 2 is a schematic front view for explaining a method of forming a protrusion pattern according to a modification of the first embodiment.

第1の実施形態では、平坦な支持プレート1上において、光硬化性樹脂組成物層の上面から複数の突部3bが下面に並設された治具3を下降させたが、図2に示すように、複数の突部13aが外周面に設けられたローラー13を用いてもよい。ここでは、搬送される長尺状の支持プレート11上に、光硬化性樹脂組成物層が塗工ロール14を用いて形成される。流動性を有する光硬化性樹脂組成物12は、長尺状の支持ベルト11上に塗布された後に、図示の矢印方向に、支持ベルト11とともに搬送される。   In the first embodiment, on the flat support plate 1, the jig 3 having a plurality of protrusions 3b arranged in parallel on the lower surface is lowered from the upper surface of the photocurable resin composition layer, as shown in FIG. Thus, you may use the roller 13 by which the some protrusion 13a was provided in the outer peripheral surface. Here, a photocurable resin composition layer is formed using a coating roll 14 on a long support plate 11 to be conveyed. After the photocurable resin composition 12 having fluidity is applied onto the long support belt 11, the photocurable resin composition 12 is conveyed together with the support belt 11 in the direction of the arrow shown in the drawing.

複数の突部13aが設けられたロール13の各突部13aが上記光硬化性樹脂組成物12の液面に接触し、図示の矢印方向に回転するとともに、光硬化性樹脂組成物12が支持ベルト11の長さ方向に搬送されるにつれ、突部13aの先端に接触した光硬化性樹脂組成物部分が上方に引き上げられることになる。従って、この状態で、矢印Aで示すように光を照射することにより、光硬化性樹脂組成物を硬化し、突起を形成することができる。すなわち、複数の突部13aを、図2の紙面−紙背方向に配置することにより、複数の突起を支持ベルト11の搬送方向と直交する方向にも形成することができる。よって、第1の実施形態の場合と同様に、光硬化性樹脂組成物を用い、微小突起パターンを高精度にかつ容易に形成することができる。   Each protrusion 13a of the roll 13 provided with a plurality of protrusions 13a comes into contact with the liquid surface of the photocurable resin composition 12 and rotates in the direction of the arrow shown in the figure, and the photocurable resin composition 12 supports it. As the belt 11 is transported in the length direction, the portion of the photocurable resin composition that comes into contact with the tip of the protrusion 13a is pulled upward. Therefore, in this state, by irradiating light as indicated by an arrow A, the photocurable resin composition can be cured and protrusions can be formed. In other words, by arranging the plurality of protrusions 13 a in the paper-back direction of FIG. 2, the plurality of protrusions can be formed in a direction orthogonal to the conveying direction of the support belt 11. Therefore, similarly to the case of the first embodiment, the micro-projection pattern can be easily formed with high accuracy by using the photocurable resin composition.

図3(a)及び(b)は、本発明の突起パターンの形成方法のさらに他の実施形態を説明するための各模式的部分切欠正面断面図である。   FIGS. 3A and 3B are schematic partial cutaway front sectional views for explaining still another embodiment of the method for forming a projection pattern of the present invention.

図3(a)では、光硬化性樹脂組成物2を部分的に上方に引き上げる工程が、流動性媒体吹き付け手段21を用いて行われる。すなわち、流動性媒体吹き付け手段21は、例えば高圧ガス噴射ノズルにより形成されており、該流動性媒体吹き付け手段21から矢印Bで示すようにガスを吹き付けることにより、流動性を有する光硬化性樹脂組成物2の一部の厚みが薄くなる。すなわち、ガスが吹き付けられている部分からその周囲に光硬化性樹脂組成物2が移動され、周囲において光硬化性樹脂組成物2の厚みが相対的に厚くなる。従って、このようなガス吹き付け領域を選択し、ガスが吹き付けられている領域以外の領域において光硬化性樹脂組成物を上方に引き上げることができる。よって、この状態を維持したまま、光を照射すれば、光硬化性樹脂組成物2が上方に引き上げられている部分において光硬化性樹脂組成物2の硬化により突起を形成することができる。   In FIG. 3A, the step of partially lifting the photocurable resin composition 2 upward is performed using the fluid medium spraying means 21. That is, the fluid medium spraying means 21 is formed by, for example, a high-pressure gas injection nozzle, and by spraying a gas from the fluid medium spraying means 21 as indicated by an arrow B, the photocurable resin composition having fluidity is provided. The thickness of a part of the object 2 is reduced. That is, the photocurable resin composition 2 is moved from the portion where the gas is sprayed to the periphery thereof, and the thickness of the photocurable resin composition 2 is relatively increased in the periphery. Therefore, such a gas spraying region can be selected, and the photocurable resin composition can be pulled upward in a region other than the region where the gas is sprayed. Therefore, if light is irradiated while maintaining this state, protrusions can be formed by curing the photocurable resin composition 2 at the portion where the photocurable resin composition 2 is pulled upward.

なお、上記流動性媒体は、ガスに限らず、液体であってもよく、またガスとしては、空気、窒素ガス等の様々な気体を用いることができる。また、ガスは混合気体であってもよい。さらに、液体を吹き付ける場合には、液体をスプレーガンなどにより多数の微小液滴として吹き付けてもよい。   The fluid medium is not limited to gas but may be liquid, and various gases such as air and nitrogen gas can be used as the gas. The gas may be a mixed gas. Further, when the liquid is sprayed, the liquid may be sprayed as a large number of fine droplets with a spray gun or the like.

他方、図3(b)に示す実施形態では、矢印Cで示すように、流動性を有する光硬化性樹脂組成物2の液面を部分的に吸引することにより、吸引されている部分において光硬化性樹脂組成物2が上方に引き上げられている。この方法では、複数の部分で光硬化性樹脂組成物2を選択的に吸引することにより、吸引されている部分において、光硬化性樹脂組成物2を上方に引き上げることができる。従って、吸引を持続した状態で、光硬化性樹脂組成物2に光を照射し、硬化させれば、前述した第1の実施形態の場合と同様に、複数の突起を有する突起パターンを光硬化性樹脂組成物2の光の照射による硬化を利用して容易にかつ高精度に形成することができる。   On the other hand, in the embodiment shown in FIG. 3 (b), as indicated by an arrow C, the liquid surface of the fluid curable resin composition 2 is partially sucked so that light is absorbed in the sucked portion. The curable resin composition 2 is pulled upward. In this method, by selectively sucking the photocurable resin composition 2 in a plurality of portions, the photocurable resin composition 2 can be pulled upward in the sucked portion. Therefore, if the photocurable resin composition 2 is irradiated with light while being sucked and cured, the projection pattern having a plurality of projections is photocured as in the case of the first embodiment described above. The resin composition 2 can be easily and highly accurately formed by utilizing the curing by light irradiation.

図4は、本発明の突起パターンの形成方法のさらに他の実施形態を説明するための部分切欠拡大正面断面図である。ここでは、流動性を有する光硬化性樹脂組成物2に、突起が設けられている領域以外の領域に、固形の光硬化性樹脂組成物移動部材31を進入させる。それによって、光硬化性樹脂組成物がその周囲の領域に移動される。その結果、周囲の領域において、図示のように光硬化性樹脂組成物が盛り上がり、上方に引き上げられた状態とされる。ここでは、光硬化性樹脂組成物移動部材31の先端は図示のように曲面状の形状を有し、該曲面状の形状の曲率に応じ、また光硬化性樹脂組成物移動部材31の進入速度及び寸法により、所望とする形態で光硬化性樹脂組成物をその周囲で上方に引き上げることができる。よって、これらのファクターを調整することにより、複数の部分で所望の高さに光硬化性樹脂組成物が上方に引き上げられた状態を実現することができる。よって、その状態のまま、光を照射すれば、上述した第1の実施形態と同様に、突起パターンを速やかにかつ高精度に形成することができる。   FIG. 4 is a partially cutaway enlarged front sectional view for explaining still another embodiment of the method for forming a projection pattern of the present invention. Here, the solid photocurable resin composition moving member 31 is caused to enter the region other than the region where the protrusions are provided in the photocurable resin composition 2 having fluidity. Thereby, the photocurable resin composition is moved to the surrounding area. As a result, in the surrounding area, the photocurable resin composition is swelled as shown in the drawing and is pulled upward. Here, the front end of the photocurable resin composition moving member 31 has a curved shape as shown in the drawing, and the entry speed of the photocurable resin composition moving member 31 depends on the curvature of the curved shape. Depending on the size and size, the photocurable resin composition can be pulled up around the periphery in a desired form. Therefore, by adjusting these factors, it is possible to realize a state where the photocurable resin composition is pulled up to a desired height at a plurality of portions. Therefore, if light is irradiated in that state, the projection pattern can be formed quickly and with high accuracy, as in the first embodiment described above.

また、図5は、本発明の突起パターンの形成方法のさらに他の変形例を説明するための模式的正面図である。ここでは、下面に突起が形成されるべき部分において光硬化性樹脂組成物と親和性を有する領域41aを有し、残りの部分で親和性を有しない領域41bを有する治具41を用いる。治具41の下面を光硬化性樹脂組成物2の液面に接触させかつ引き上げることにより、図5に示すように、光硬化性樹脂組成物を部分的に複数の部分で引き上げた状態とすることができる。すなわち、治具41の下面を選択的に光硬化性樹脂組成物と親和性を有する領域41aと、親和性を有しない領域41bとに区画することにより、親和性を有する領域41aを第1の実施形態の突部と同様に機能させることができる。   FIG. 5 is a schematic front view for explaining still another modification of the method for forming a projection pattern of the present invention. Here, a jig 41 having a region 41a having an affinity for the photocurable resin composition in a portion where a protrusion is to be formed on the lower surface and a region 41b having no affinity in the remaining portion is used. By bringing the lower surface of the jig 41 into contact with the liquid surface of the photocurable resin composition 2 and pulling it up, as shown in FIG. 5, the photocurable resin composition is partially pulled up at a plurality of portions. be able to. That is, the lower surface of the jig 41 is selectively partitioned into a region 41a having an affinity for the photocurable resin composition and a region 41b having no affinity, thereby making the region 41a having an affinity a first region. It can be made to function similarly to the protrusion of the embodiment.

光硬化性樹脂組成物の好ましい粘度は、上記のような部分的な上方への引き上げを容易かつ確実とし、かつ引き上げられた状態を維持するには、引き上げを行う温度で1〜500000cps程度の範囲とすることが望ましい。なお、引き上げを行う温度は通常25℃程度の室温である。1cps未満では、上方に引き上げた状態を維持することが困難となり、500000cpsを超えると、治具等を用いて上方に引き上げること自体が困難となるおそれがある。   The preferable viscosity of the photocurable resin composition is within a range of about 1 to 500,000 cps at the temperature at which the photo-curing resin composition is pulled up in order to make it easy and reliable to pull up partially and maintain the pulled-up state. Is desirable. In addition, the temperature which raises is about room temperature of about 25 degreeC normally. If it is less than 1 cps, it is difficult to maintain the state where it is pulled upward, and if it exceeds 500,000 cps, it may be difficult to pull it upward using a jig or the like.

次に、具体的な実施例につき説明する。   Next, specific examples will be described.

光硬化性樹脂組成物として、ウレタンアクリレート(日本合成化学社製、商品名:ゴーセラックUV−7500B)67gと、2−ヒドロキシプロピルアクリレート33gとを混合し、加熱溶解し、これにBHT0.2gを添加し、光硬化性樹脂化合物溶液を用意した。この光硬化性化合物溶液に、光ラジカル重合開始剤としてメチルフェニルグリオキシレート1.0gを添加した。この光重合開始剤は、波長280〜398nmの範囲でモル吸光係数が10以上である。   As a photocurable resin composition, 67 g of urethane acrylate (manufactured by Nippon Synthetic Chemical Co., Ltd., trade name: Gooselac UV-7500B) and 33 g of 2-hydroxypropyl acrylate are mixed, dissolved by heating, and 0.2 g of BHT is added thereto. A photocurable resin compound solution was prepared. To this photocurable compound solution, 1.0 g of methylphenylglyoxylate was added as a radical photopolymerization initiator. This photopolymerization initiator has a molar extinction coefficient of 10 or more in the wavelength range of 280 to 398 nm.

さらに、上記のようにして調製された組成物に、紫外線吸収剤として、2−(5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)ベンゾトリアゾール0.3gを添加し、光硬化性樹脂組成物とした。   Furthermore, 0.3 g of 2- (5-methyl-2-hydroxyphenyl) benzotriazole was added as an ultraviolet absorber to the composition prepared as described above to obtain a photocurable resin composition.

上記のようにして得られた光硬化性樹脂組成物の25℃における粘度は100cpsであり、常温において流動性を有していた。   The photocurable resin composition obtained as described above had a viscosity at 25 ° C. of 100 cps and had fluidity at room temperature.

図1に示した支持プレート1として、PET(ポリエチレンテレフタレート)からなる厚み80μmの東洋紡製のフィルム上に、上記光硬化性樹脂組成物を、厚みが100μmとなるように塗工した。しかる後、SUS304からなる治具3を用意した。なお、治具3の下面に設けられた複数の突部3bのピッチは100nmとし、突部3bの下方突出長さは20nmとした。   As the support plate 1 shown in FIG. 1, the photocurable resin composition was coated on a Toyobo film made of PET (polyethylene terephthalate) and having a thickness of 80 μm so as to have a thickness of 100 μm. Thereafter, a jig 3 made of SUS304 was prepared. In addition, the pitch of the some protrusion 3b provided in the lower surface of the jig | tool 3 was 100 nm, and the downward protrusion length of the protrusion 3b was 20 nm.

上記治具3の下面側から上記のようにして塗布された光硬化性樹脂組成物の液面に近づけ、複数の突部3bの先端を液面に接触させた後、突部3bの先端を光硬化性樹脂組成物2の当初の液面から上方に100nmの高さに引き上げた。しかる後、その状態を維持したまま、超高圧水銀ランプを用い、紫外線を100mW/cm2の照射量となるように照射した。照射時間は1秒とした。 After approaching the liquid surface of the photocurable resin composition applied as described above from the lower surface side of the jig 3, the tips of the plurality of protrusions 3b are brought into contact with the liquid surface, and then the tips of the protrusions 3b are moved. The photocurable resin composition 2 was pulled up to a height of 100 nm upward from the initial liquid level. Thereafter, while maintaining this state, an ultrahigh pressure mercury lamp was used to irradiate with ultraviolet rays so as to give an irradiation dose of 100 mW / cm 2 . The irradiation time was 1 second.

このようにして、光硬化性樹脂組成物を硬化させ、図1(b)に示す微小突起パターンを形成した。このようにして得られた突起パターンの平均反射率を以下の要領で求めた。   In this way, the photocurable resin composition was cured to form a microprojection pattern shown in FIG. The average reflectance of the protrusion pattern thus obtained was determined as follows.

平均反射率の測定;まず、作製した反射防止フィルムを5cm角に切り抜き、裏面を#400のサンドペーパーで荒らした後に、黒インクにて直径2cm程度の大きさに塗りつぶしてサンプルを作製した。この裏面処理したサンプルについて、波長200〜780nmの5度入射における反射率スペクトルを、分光光度計(島津製作所社製、型式「UV−3101PC」)を用いて測定した。測定した反射率スペクトルから、視感度補正平均反射率を読み取った。   Measurement of average reflectance: First, the prepared antireflection film was cut into a 5 cm square, and the back surface was roughened with # 400 sandpaper, and then painted with black ink to a size of about 2 cm to prepare a sample. With respect to this back-treated sample, the reflectance spectrum at 5 ° incidence with a wavelength of 200 to 780 nm was measured using a spectrophotometer (manufactured by Shimadzu Corporation, model “UV-3101PC”). The visibility-corrected average reflectance was read from the measured reflectance spectrum.

その結果、平均反射率は0.4%であり、モスアイ構造を有する微小突起パターンを形成し得ることが確かめられた。   As a result, the average reflectance was 0.4%, and it was confirmed that a microprojection pattern having a moth-eye structure can be formed.

従って、上記実施例からも明らかなように、本発明によれば、複数の微小突起を有するパターンを速やかにかつ容易に形成し得ることがわかる。本願発明者の実験によれば、突起として、nmオーダーからcmオーダーまでの寸法の突起を様々なピッチで高精度に形成し得ることが確かめられている。   Therefore, as is clear from the above embodiments, according to the present invention, it can be seen that a pattern having a plurality of minute protrusions can be formed quickly and easily. According to the experiment by the present inventor, it has been confirmed that protrusions having dimensions from the nm order to the cm order can be formed with high accuracy at various pitches.

(a)及び(b)は、本発明の一実施形態における突起パターンの形成方法を説明するための正面図及び正面断面図。(A) And (b) is the front view and front sectional drawing for demonstrating the formation method of the protrusion pattern in one Embodiment of this invention. 本発明の突起パターンの形成方法の変形例を説明するための略図的正面図。The schematic front view for demonstrating the modification of the formation method of the projection pattern of this invention. (a)及び(b)は、本発明の突起パターンの形成方法の他の実施形態を説明するための各部分切欠拡大断面図。(A) And (b) is each partial notch enlarged sectional drawing for demonstrating other embodiment of the formation method of the projection pattern of this invention. 本発明の突起パターンの形成方法のさらに別の実施形態を説明するための部分切欠拡大正面断面図。The partial notch expansion front sectional view for demonstrating another embodiment of the formation method of the projection pattern of this invention. 本発明のさらに他の実施形態の突起パターンの形成方法を説明するための模式的正面図。The typical front view for demonstrating the formation method of the protrusion pattern of other embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1…支持プレート
2…光硬化性樹脂組成物
2a…突起
2b…硬化物
3…治具
3a…プレート
3b…突部
11…支持ベルト
12…光硬化性樹脂組成物
13…ロール
13a…突部
14…塗工ロール
21…流動性媒体吹き付け装置
31…光硬化性樹脂組成物移動部材
41…治具
41a,41b…領域
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Support plate 2 ... Photocurable resin composition 2a ... Protrusion 2b ... Hardened | cured material 3 ... Jig 3a ... Plate 3b ... Protrusion 11 ... Support belt 12 ... Photocurable resin composition 13 ... Roll 13a ... Protrusion 14 ... Coating roll 21 ... Flowable medium spraying device 31 ... Photocurable resin composition moving member 41 ... Jig 41a, 41b ... Area

Claims (9)

流動性を有する光硬化性樹脂組成物を用意する工程と、
前記光硬化性樹脂組成物の液面から一部の光硬化性樹脂組成物を複数の部分で上方に引き上げる工程と、
前記光硬化性樹脂組成物の一部を複数の部分で引き上げた状態で、光を照射し、光硬化性樹脂組成物を硬化し、引き上げられている複数の光硬化性樹脂組成物部分により複数の突起を形成する工程とを備える、突起パターンの形成方法。
Preparing a photocurable resin composition having fluidity; and
A step of pulling upward some of the photocurable resin composition from the liquid surface of the photocurable resin composition in a plurality of portions;
In a state where a part of the photocurable resin composition is pulled up at a plurality of portions, light is irradiated to cure the photocurable resin composition, and a plurality of the photocurable resin composition portions are pulled up to a plurality of portions. Forming a protrusion of the protrusion pattern.
前記光硬化性樹脂組成物を複数の部分で上方に引き上げる工程が、前記光硬化性樹脂組成物の液面に複数の部分で付着する治具を用意し、該治具を複数の部分で前記光硬化性樹脂組成物の液面に当接させた後、該治具を引き上げることにより行われる、請求項1に記載の突起パターンの形成方法。   The step of pulling up the photocurable resin composition upward at a plurality of portions prepares a jig that adheres to the liquid surface of the photocurable resin composition at a plurality of portions, The method for forming a projection pattern according to claim 1, wherein the protrusion pattern is formed by pulling up the jig after contacting the liquid level of the photocurable resin composition. 前記治具が、下面に複数の突部を有し、該突部が、前記複数の突起に対応した位置に設けられている、請求項2に記載の突起パターンの形成方法。   The method for forming a projection pattern according to claim 2, wherein the jig has a plurality of protrusions on a lower surface, and the protrusions are provided at positions corresponding to the plurality of protrusions. 前記治具の下面が、複数の突起が設けられる部分において光硬化性樹脂組成物と親和性を有する領域と、光硬化性樹脂組成物と親和性を有しない残りの領域とを有する、請求項2に記載の突起パターンの形成方法。   The lower surface of the jig has a region having affinity with the photocurable resin composition in a portion where a plurality of protrusions are provided, and a remaining region having no affinity with the photocurable resin composition. 3. A method for forming a projection pattern according to 2. 前記光硬化性樹脂組成物を複数の部分で上方に引き上げる工程が、光硬化性樹脂組成物の液面に光硬化性樹脂組成物に親和性を有しない流動性媒体を吹き付けることにより行われる、請求項1に記載の突起パターンの形成方法。   The step of pulling the photocurable resin composition upward in a plurality of portions is performed by spraying a fluid medium having no affinity for the photocurable resin composition on the liquid surface of the photocurable resin composition. The method for forming a protrusion pattern according to claim 1. 前記光硬化性樹脂組成物を複数の部分で上方に引き上げる工程が、前記光硬化性樹脂組成物の液面の上方から、光硬化性樹脂組成物を引き上げる部分において選択的に吸引することにより行われる、請求項1に記載の突起パターンの形成方法。   The step of pulling the photocurable resin composition upward at a plurality of portions is performed by selectively sucking the photocurable resin composition from above the liquid surface of the photocurable resin composition at the portion where the photocurable resin composition is pulled up. The method for forming a protrusion pattern according to claim 1. 前記光硬化性樹脂組成物を複数の部分で上方に引き上げる工程が、光硬化性樹脂組成物中に、突起が設けられている領域間に固形部材を進入させ、それによって固形部材が進入されている領域の側方において光硬化性樹脂組成物を盛り上げることにより行われる、請求項1に記載の突起パターンの形成方法。   The step of pulling up the photocurable resin composition upward at a plurality of portions causes the solid member to enter between the regions where the protrusions are provided in the photocurable resin composition, thereby causing the solid member to enter. The method for forming a projection pattern according to claim 1, wherein the method is performed by raising a photocurable resin composition on a side of a region where the protrusion is present. 前記光硬化性樹脂組成物を部分的に上方に引き上げる工程が、光硬化性樹脂組成物の液面を振動させ、定在波を発生させることにより凹凸を付与することにより行われる、請求項1に記載の突起パターンの形成方法。   The step of partially pulling up the photocurable resin composition upward is performed by vibrating the liquid surface of the photocurable resin composition and generating a standing wave to provide irregularities. A method for forming a projection pattern according to the above. 前記光硬化性樹脂組成物が、光ラジカル重合により硬化する光重合性化合物と、光ラジカル重合開始剤とを含む、請求項1〜8のいずれか1項に記載の突起パターンの形成方法。
The method for forming a projection pattern according to claim 1, wherein the photocurable resin composition includes a photopolymerizable compound that is cured by photoradical polymerization and a photoradical polymerization initiator.
JP2005174560A 2005-06-15 2005-06-15 Projection pattern forming method Withdrawn JP2006346949A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005174560A JP2006346949A (en) 2005-06-15 2005-06-15 Projection pattern forming method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005174560A JP2006346949A (en) 2005-06-15 2005-06-15 Projection pattern forming method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006346949A true JP2006346949A (en) 2006-12-28

Family

ID=37643295

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005174560A Withdrawn JP2006346949A (en) 2005-06-15 2005-06-15 Projection pattern forming method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006346949A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009044578A1 (en) * 2007-10-01 2009-04-09 Omron Corporation Antireflection sheet, display element and display device
JP2011069884A (en) * 2009-09-24 2011-04-07 Asahi Kasei E-Materials Corp Pattern forming substrate

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009044578A1 (en) * 2007-10-01 2009-04-09 Omron Corporation Antireflection sheet, display element and display device
JP2009104103A (en) * 2007-10-01 2009-05-14 Omron Corp Antireflection sheet, display element and display device
JP4539759B2 (en) * 2007-10-01 2010-09-08 オムロン株式会社 Antireflection sheet, display element and display device
JP2011069884A (en) * 2009-09-24 2011-04-07 Asahi Kasei E-Materials Corp Pattern forming substrate

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5899145B2 (en) Composition for forming underlayer film for imprint and pattern forming method
US10344177B2 (en) Under layer film-forming composition for imprints and method for forming pattern
JP6047049B2 (en) Composition, cured product, laminate, method for producing underlayer film, pattern forming method, pattern and method for producing semiconductor resist
JP6116651B2 (en) Photo-curable resin composition for imprint molding, imprint molding cured body, and production method thereof
WO2011034123A1 (en) Photocurable transfer sheet, and method for forming recessed and projected pattern using same
EP1344108B1 (en) Optical recording materials
JP4324374B2 (en) Fine uneven pattern forming material, fine uneven pattern forming method, transfer foil, optical article and stamper
JP2004205990A (en) Manufacturing method of fine rugged pattern having antireflection performance and antireflection article
JP4956167B2 (en) Film-forming transfer sheet and method for forming coating film using the same
JP2012168301A (en) Forming method of thin metallic wire and manufacturing method of wire grid polarizer using the same
JP2017061676A (en) Adhesive composition, laminate using the same and manufacturing method therefor
JP5556039B2 (en) Prism sheet
JP2018009102A (en) Photocurable resin composition for imprint molding
JPH0961601A (en) Ionization radiation curing type resin composition for optical articles, optical articles and surface light source
KR101391241B1 (en) Method of manufacturing clear hard coating film for optical use
JP2012041521A (en) Photocurable composition and method for manufacturing photocured product using thereof
JP2011082347A (en) Curable composition for imprint, method of manufacturing cured product, and the cured product
WO2011111815A1 (en) Method for formation of concave-convex pattern using photocurable transcription sheet, and device for use in the method
KR20160062305A (en) Adhesive composition and display device
JP5662005B2 (en) Curable resin composition and multilayer structure produced using the composition
JP2006346949A (en) Projection pattern forming method
KR101501499B1 (en) Ultraviolet Curable Resin Composition
JP2012107109A (en) Photocurable transfer sheet
JP2002182017A (en) Substrate having rugged shape on surface and method for producing the same
JP4385204B2 (en) Active energy ray-curable resin composition

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080304

A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20100113