JP2006329858A - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【課題】 慣性駆動ステージの上盤の振動を減衰させ、走査型プローブ顕微鏡像の原子像観察が可能な走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 少なくとも1つの探針を用い、複数の探針を用いる場合にはそれぞれの探針を独立に動かして試料表面の観察及び分析を行なう走査型プローブ顕微鏡において、
慣性駆動ステージの基盤1側に上盤7が押し付けられるように、前記基盤1及び上盤7の周りにリング状制振材8を巻回する。このように構成すれば、慣性駆動ステージの上盤7の振動を減衰させ、SPM像の原子像観察が可能になる。
【選択図】 図1
【解決手段】 少なくとも1つの探針を用い、複数の探針を用いる場合にはそれぞれの探針を独立に動かして試料表面の観察及び分析を行なう走査型プローブ顕微鏡において、
慣性駆動ステージの基盤1側に上盤7が押し付けられるように、前記基盤1及び上盤7の周りにリング状制振材8を巻回する。このように構成すれば、慣性駆動ステージの上盤7の振動を減衰させ、SPM像の原子像観察が可能になる。
【選択図】 図1
Description
本発明は走査型プローブ顕微鏡に関し、更に詳しくは試料表面の観察及び分析を行なう走査型プローブ顕微鏡及び探針を独立に動かすマルチプローブ等に使用される走査型プローブ顕微鏡に関する。
走査型トンネル顕微鏡(STM)等の走査型プローブ顕微鏡(SPM)は、探針を試料に数nm程度近づけ、試料上で探針を走査して試料像を得る装置であり、非常に高い分解能がある。SPMは探針又は試料をマイクロメータ(μm)以下の精度で移動させることが必要であり、ネジ及びテコを利用したモータ駆動の移動機構や慣性駆動方式と呼ばれるよりコンパクトな移動機構が使用されている。
特に、最近では多探針SPMと呼ばれる2個以上の探針を独立に動かす装置が開発されてきており、コンパクトな慣性駆動方式の移動機構(慣性駆動ステージ)は、多探針SPMには必要不可欠になっている。図5は従来装置の構成例を示す図であり、従来の慣性駆動ステージ(1軸)の基本構造を示した図である。(a)はX軸方向から見た図、(b)はY方向から見た図である。(a)と(b)は向きが90度違った方向から見ている。
図において、1は基盤であり、該基盤1にはX方向に伸びる溝2があり、片方の溝はY方向にずれないようにV字型溝になっている。もう一方の溝2は、V字型の溝と相まって全体として滑らかな移動を実現するため、凹字型の溝となっている。溝2の上側には、凹状のサファイアやアルミナ或いは超硬合金等の硬いものでできた滑り部材3が取り付けられている。その表面は鏡面研磨されている。
7は上盤であり、該上盤7には圧電素子5が装着されており、更に該圧電素子5には、ルビーやサファイヤ或いは超硬合金等の硬いものでできた球4が接着されている。そして図のように、球4は滑り部材3の上に置かれている。(b)のように圧電素子5及び球4はX方向にそれぞれ3組ずつで構成されている。即ち、図5の(a)に示すV字型の溝を持つ移動機構と、凹型の溝を持つ移動機構とが、(b)に示すように、それぞれX軸方向に3個設けられている。基盤1には永久磁石6が取り付けられており、上盤7は磁性体でできており、永久磁石6により基盤1に引き寄せられている。
その動作は図示しないピエゾ素子駆動用の電源により、のこぎり歯状の電圧を圧電素子5に印加することにより、X方向に上盤7を移動させることができる。波形を変えることにより、X方向のプラス側にもマイナス側にも移動できる。この図に示す機構は1軸の場合であり、SPMに使用するには、2軸以上必要であり、2個以上を組み合わせて使用する。
従来のこの種の装置としては、固定ステージと可動ステージを有し、シェアー型ピエゾ素子を可動ステージの駆動に用いる移動ステージにおいて、固定ステージと可動ステージが接触するように固定ステージと可動ステージの間に引力を与えるようにした装置が知られている(例えば特許文献1参照)。
特開平10−271856号公報(段落0007、図1)
前述した従来の装置では、永久磁石6で引き寄せることにより、上盤7は基盤1に押し付けられているが、慣性駆動ステージの上盤7の振動の減衰を行う構成を有しないために上盤7は振動に弱く、SPM像のノイズの原因になり、原子分解能の像を得ることは難しい状況にある。
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであって、慣性駆動ステージの上盤の振動を減衰させ、SPM像の原子像観察が可能なSPMを提供することを目的としている。
(1)請求項1記載の発明は、少なくとも1つの探針を用い、複数の探針を用いる場合にはそれぞれの探針を独立に動かして試料表面の観察及び分析を行なう走査型プローブ顕微鏡において、慣性駆動ステージの基盤側に上盤が押し付けられるように、前記基盤及び上盤の周りにリング状制振材が巻回されていることを特徴とする。
(2)請求項2記載の発明は、前記リング状制振材としてゴム製のOリングを用いたことを特徴とする。
(3)請求項3記載の発明は、前記基盤及び上盤から前記リング状制振材が外れないように、前記基盤及び上盤の少なくとも何れか一方に、前記リング状制振材の動きを規制するガイドを設けたことを特徴とする。
(2)請求項2記載の発明は、前記リング状制振材としてゴム製のOリングを用いたことを特徴とする。
(3)請求項3記載の発明は、前記基盤及び上盤から前記リング状制振材が外れないように、前記基盤及び上盤の少なくとも何れか一方に、前記リング状制振材の動きを規制するガイドを設けたことを特徴とする。
(1)請求項1記載の発明によれば、基盤及び上盤の周りにリング状制振材が巻回されており、上盤が基盤に対して相対的に移動するには、リング状制振材が伸縮することになり、上盤の振動を減衰させることが可能となり、SPM像の原子像観察が可能となる。
(2)請求項2記載の発明によれば、リング状制振材としてゴム製のOリングを用いることにより、振動を減衰させることができる。
(3)請求項3記載の発明によれば、リング状制振材が慣性駆動ステージの基盤や上盤から外れないようにすることができる。
(2)請求項2記載の発明によれば、リング状制振材としてゴム製のOリングを用いることにより、振動を減衰させることができる。
(3)請求項3記載の発明によれば、リング状制振材が慣性駆動ステージの基盤や上盤から外れないようにすることができる。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態例を詳細に説明する。
(実施の形態1)
図1は本発明の第1の実施の形態例を示す構成図である。図において、(a)はX方向から見た図、(b)Y方向から見た図である。(a)と(b)は90度別の方向から見ている。図5と同一のものは、同一の符号を付して示す。図において、8は上盤7と基盤1の周りに巻回されたリング状制振材である。このリング状制振材8はその伸縮により基盤1に対する上盤7の相対的な振動を制振させる作用をもつ。(b)に示したように、基盤1と上盤7とが合わさったユニットの周りにリング状制振材8が巻き付けられている。このリング状制振材8は、基盤1と上盤7を合わせたユニットの外径(外周の長さ)よりも小さい内径(長さ)を有しており、装着時には、伸長状態にあり、基盤1に上盤7を押し付けている。
(実施の形態1)
図1は本発明の第1の実施の形態例を示す構成図である。図において、(a)はX方向から見た図、(b)Y方向から見た図である。(a)と(b)は90度別の方向から見ている。図5と同一のものは、同一の符号を付して示す。図において、8は上盤7と基盤1の周りに巻回されたリング状制振材である。このリング状制振材8はその伸縮により基盤1に対する上盤7の相対的な振動を制振させる作用をもつ。(b)に示したように、基盤1と上盤7とが合わさったユニットの周りにリング状制振材8が巻き付けられている。このリング状制振材8は、基盤1と上盤7を合わせたユニットの外径(外周の長さ)よりも小さい内径(長さ)を有しており、装着時には、伸長状態にあり、基盤1に上盤7を押し付けている。
リング状制振材8の材料としては、ゴム、高分子系やエストラマー系のものが用いられる。リング状制振材8の具体例としては、バイトンOリング(デュポン社の登録商標)を挙げることができる。このバイトンOリングは、制振作用を有するだけでなく、良好な弾性を有しており、基盤1に上盤7をしっかり押圧させることができる。なお、リング状制振材8としては、バイトンOリングに限るものではなく、その他のゴム製Oリングを使用することもできる。リング状制振材8の断面形状も円形に限らず、矩形等のものを使用してもよい。更に、ひも状制振材を結んでリング状制振材8として用いてよい。リング状制振材8の巻回も、1ターンに限らず、複数ターン巻くようにしてもよい。また、リング状制振材8の配置数は1個でもよいが、バランス的には(b)に示すように両端に2個取り付けるのが望ましい。なお、締付け力の高いリング状制振材8を用いることで、場合によっては磁石6(図5参照)は不要となる場合もある。
このように構成された装置の動作を説明すれば、以下の通りである。図示していないピエゾ素子駆動用の電源により、のこぎり歯状の電圧を圧電素子5に印加することにより、X方向に上盤7を移動させることができる。この場合において、波形を変えることにより、X方向のプラス側にもマイナス側にも移動することができる。基盤1と上盤7は、リング状制振材8に巻かれているので、振動を減衰でき、このステージを3個組み合わせた3軸移動可能なSPMにおいても原子分解能で像観察が可能である。
以上、詳細に説明したように、この実施の形態例によれば、慣性駆動ステージの基盤1及び上盤7をリング状制振材8で巻いたので、振動を減衰させることが可能となり、SPM像の原子像観察が可能となる。
(実施の形態2)
図2は本発明の第2の実施の形態例を示す構成図である。図1と同一のものは、同一の符号を付して示す。図において、ガイド9は、上盤7に設けられリング状制振材8の移動を規制するガイドである。このようにすれば、リング状制振材8が基盤1及び上盤7から外れない。
(実施の形態2)
図2は本発明の第2の実施の形態例を示す構成図である。図1と同一のものは、同一の符号を付して示す。図において、ガイド9は、上盤7に設けられリング状制振材8の移動を規制するガイドである。このようにすれば、リング状制振材8が基盤1及び上盤7から外れない。
なお、ガイド9は上盤7ではなく、基盤1側に設けるようにすることもできる。
(実施の形態3)
図3は本発明の第3の実施の形態例を示す構成図である。図2と同一のものは、同一の符号を付して示す。図に示す実施の形態例は、図2で示したガイド9の代わりにガイド溝10を設けたものである。図では、上盤7にガイド溝10設けた場合を例にとっているが、基盤1側に設けてもよい。この実施の形態例では、図2に示すようなガイドによる出っ張りがないので、コンパクトな装置を作ることができる。
(実施の形態4)
図4は本発明の第4の実施の形態例を示す構成図で、本発明を多探針走査型プローブ顕微鏡に適用させた例を示す図である。この実施の形態例は、X,Y,Z方向の3軸移動機構を示したものである。図において、11は基台、12は該基台11上に載置された試料ホルダ、13は該試料ホルダ12に載置された試料である。14はX方向移動ステージ、15はY方向移動ステージ、16はZ方向移動ステージである。17は各移動ステージに設けられたピエゾスキャナ、18は探針、19は探針18からの信号を受信して処理するSPMユニットである。
(実施の形態3)
図3は本発明の第3の実施の形態例を示す構成図である。図2と同一のものは、同一の符号を付して示す。図に示す実施の形態例は、図2で示したガイド9の代わりにガイド溝10を設けたものである。図では、上盤7にガイド溝10設けた場合を例にとっているが、基盤1側に設けてもよい。この実施の形態例では、図2に示すようなガイドによる出っ張りがないので、コンパクトな装置を作ることができる。
(実施の形態4)
図4は本発明の第4の実施の形態例を示す構成図で、本発明を多探針走査型プローブ顕微鏡に適用させた例を示す図である。この実施の形態例は、X,Y,Z方向の3軸移動機構を示したものである。図において、11は基台、12は該基台11上に載置された試料ホルダ、13は該試料ホルダ12に載置された試料である。14はX方向移動ステージ、15はY方向移動ステージ、16はZ方向移動ステージである。17は各移動ステージに設けられたピエゾスキャナ、18は探針、19は探針18からの信号を受信して処理するSPMユニットである。
慣性駆動ステージが下からそれぞれX方向(X方向移動ステージ14),Y方向(Y方向移動ステージ15),Z方向(Z方向移動ステージ16)に移動できるように取り付けられている。Z方向移動ステージ16には、ピエゾスキャナ17が取り付けられており、ピエゾスキャナ17の先端には探針18が取り付けられている。X方向移動ステージ14,Y方向移動ステージ15,Z方向移動ステージ16には、上記リング状制振材8と同様なリング状制振材20は装着されている。
更に、基台11には、試料ホルダ12が取り付けられており、試料ホルダ12には試料13が固定されている。図ではX・Y・Z方向移動ステージ14〜16,ピエゾスキャナ17,探針18を組み合わせた探針ユニットは2個しか示されていないが、もっと数を増やすことも可能である。最近は4組使用するSPMが主流となっている。
このように構成された装置において、X・Y・Z方向移動ステージ14〜16を動作させて、探針18を用いて試料13表面上を走査し、SPM像を観察するが、本発明の移動機構(ステージ)は、リング状制振材が設けられているため、振動に強く、また振動を減衰させる効果があり、安定な原子像を得ることが可能である。また、例えば4本の探針を試料上の任意の位置に接触固定させ、一般的に行われている4端子法による電気計測も可能である。
以上、説明した効果を列挙すれば、以下の通りである。
1)慣性駆動ステージの基盤と上盤をリング状制振材で巻いたことにより、振動を減衰させる効果があり、SPMの原子像観察が可能になる。
2)慣性駆動ステージの基盤又は上盤にリング状制振材用のガイドを設けることにより、リンク状制振材が抜け落ちることがなく、より安定に動作が可能となる。
3)慣性駆動ステージの基盤又は上盤にリング状制振材用のガイド溝を設けることにより、リング状制振材が抜け落ちることがなく、より安定に動作可能となる。また、構造をよりコンパクトにでき、ステージを組み合わせるのが容易になる。
1)慣性駆動ステージの基盤と上盤をリング状制振材で巻いたことにより、振動を減衰させる効果があり、SPMの原子像観察が可能になる。
2)慣性駆動ステージの基盤又は上盤にリング状制振材用のガイドを設けることにより、リンク状制振材が抜け落ちることがなく、より安定に動作が可能となる。
3)慣性駆動ステージの基盤又は上盤にリング状制振材用のガイド溝を設けることにより、リング状制振材が抜け落ちることがなく、より安定に動作可能となる。また、構造をよりコンパクトにでき、ステージを組み合わせるのが容易になる。
1 基盤
7 上盤
8 リング状制振材
7 上盤
8 リング状制振材
Claims (3)
- 少なくとも1つの探針を用い、複数の探針を用いる場合にはそれぞれの探針を独立に動かして試料表面の観察及び分析を行なう走査型プローブ顕微鏡において、
慣性駆動ステージの基盤側に上盤が押し付けられるように、前記基盤及び上盤の周りにリング状制振材が巻回されていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 前記リング状制振材としてゴム製のOリングを用いたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
- 前記基盤及び上盤から前記リング状制振材が外れないように、前記基盤及び上盤の少なくとも何れか一方に、前記リング状制振材の動きを規制するガイドを設けたことを特徴とする請求項1又は2記載の走査型プローブ顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005155323A JP2006329858A (ja) | 2005-05-27 | 2005-05-27 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005155323A JP2006329858A (ja) | 2005-05-27 | 2005-05-27 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006329858A true JP2006329858A (ja) | 2006-12-07 |
Family
ID=37551688
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005155323A Withdrawn JP2006329858A (ja) | 2005-05-27 | 2005-05-27 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006329858A (ja) |
-
2005
- 2005-05-27 JP JP2005155323A patent/JP2006329858A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
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A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20080805 |