JP2006301038A - Optical element, manufacturing method of optical element and liquid crystal display - Google Patents

Optical element, manufacturing method of optical element and liquid crystal display Download PDF

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豪 安藤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical element free from void display and color mixing between adjacent pixels, to provide a manufacturing method of the optical element and to provide a liquid crystal display using the optical element. <P>SOLUTION: The optical element having at least a plurality of pixels and a dark color pixel separating wall separating the pixels on a substrate and the manufacturing method of the optical element satisfy at least: (a) a corner projecting to the dark color pixel separating wall side when a boundary line between the pixel and the dark color pixel separating wall is viewed in a substrate thickness direction from a pixel formation side has a curve shape having ≥0.5 μm radius of curvature; (b) formation of the pixels is performed by a method of applying liquid drops of a colored liquid composition between the dark color pixel separating walls after the dark color pixel separating wall is formed; and (c) the formation of the dark color pixel separating wall is performed by exposing a layer formed on the substrate and composed of a photosensitive resin composition under an oxygen poor atmosphere. The liquid crystal display using the optical element is also provided. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、カラーテレビ、パーソナルコンピュータモニターなどに使用されている液晶表示装置の構成部材であるカラーフィルターや複数の発光層を備えたフルカラー表示のエレクトロルミネッセンス素子といった光学素子、及びその製造方法に関する。   The present invention relates to an optical element such as a color filter, which is a constituent member of a liquid crystal display device used in color televisions, personal computer monitors, and the like, and a full-color display electroluminescent element including a plurality of light emitting layers, and a method for manufacturing the same.

表示装置用カラーフィルターは、ガラス等の基板上に赤色、緑色、青色等の矩形状画像をそれぞれマトリックス状に配置し、その境界をブラックマトリックス等の濃色離画壁で区分した構造である。このようなカラーフィルターの製造方法としては、従来、支持体としてガラス等の基板を用い、1)染色法、2)印刷法、3)着色した感光性樹脂液の塗布と露光及び現像の繰り返しによる着色感光性樹脂液法(着色レジスト法)(例えば、特許文献1参照。)、4)仮支持体上に形成した画像を順次、最終又は仮の支持体上に転写する方法(例えば、特許文献2参照。)、5)予め着色した感光性樹脂液を仮支持体上に塗布することにより着色層を形成し、順次直接、基板上にこの感光性着色層を転写し、露光して現像することを色の数だけ繰り返す方法等により多色画像を形成する方法(転写方式)(例えば、特許文献3参照。)が知られている。
これらの方法に共通することは赤色、緑色、青色の3色画素を形成する場合には、同一の工程を3回繰り返す必要があり、コスト高になることである。さらに、工程数が多いため、歩留まりが低下しやすいという問題も有している。
A color filter for a display device has a structure in which rectangular images such as red, green, and blue are arranged in a matrix on a substrate such as glass, and the boundaries are divided by dark color separation walls such as a black matrix. As a method for producing such a color filter, conventionally, a substrate such as glass is used as a support, 1) a dyeing method, 2) a printing method, 3) application of a colored photosensitive resin solution, and repeated exposure and development. Colored photosensitive resin liquid method (colored resist method) (see, for example, Patent Document 1), 4) Method of sequentially transferring images formed on a temporary support onto a final or temporary support (for example, Patent Document) 2), 5) A colored layer is formed by applying a pre-colored photosensitive resin solution on a temporary support, and the photosensitive colored layer is transferred directly onto the substrate, exposed, and developed. A method (transfer system) for forming a multicolor image by a method of repeating this for the number of colors is known (for example, see Patent Document 3).
What is common to these methods is that when three-color pixels of red, green, and blue are formed, it is necessary to repeat the same process three times, resulting in high costs. In addition, since the number of processes is large, there is a problem that the yield is likely to decrease.

これらを克服すべく、近年、ブラックマトリックスを着色レジスト法で形成し、RGB画素をインクジェット法で作製するカラーフィルター製造法が検討されている。インクジェット方式を利用した本方法は、製造プロセスが簡略で、低コストであるという利点がある。
また、インクジェット方式はカラーフィルターの製造に限らず、エレクトロルミネッセンス素子の製造にも応用が可能である。
In order to overcome these problems, a color filter manufacturing method in which a black matrix is formed by a colored resist method and an RGB pixel is manufactured by an ink jet method has been studied in recent years. This method using the ink jet method has an advantage that the manufacturing process is simple and the cost is low.
In addition, the inkjet method is not limited to the manufacture of color filters, but can also be applied to the manufacture of electroluminescent elements.

エレクトロルミネッセンス素子は、蛍光性の無機及び有機化合物を含む薄膜を、陰極と陽極とで挟んだ構成を有し、上記薄膜に電子及び正孔(ホール)を注入して再結合させることにより励起子を生成させ、この励起子が失活する際の蛍光或いは燐光の放出を利用して発光させる素子である。このようなエレクトロルミネッセンス素子に用いられる蛍光性材料を、例えばTFT等素子を形成した基板上にインクジェット方式により付与して発光層を形成し、素子を構成することができる。   An electroluminescence element has a structure in which a thin film containing a fluorescent inorganic and organic compound is sandwiched between a cathode and an anode, and excitons are obtained by injecting electrons and holes into the thin film and recombining them. Is generated by utilizing the emission of fluorescence or phosphorescence when the exciton is deactivated. A fluorescent material used for such an electroluminescence element can be applied to a substrate on which an element such as a TFT is formed by an ink jet method to form a light emitting layer, whereby the element can be configured.

上記したように、インクジェット方式等の液滴を付与する方法は、製造プロセスの簡略化及びコスト削減を図ることができることから、カラーフィルターやエレクトロルミネッセンス素子といった光学素子の製造へ応用されている。しかしながら、このような光学素子の製造において、液滴を付与する方法特有の問題として、「白抜け」及び「混色」という問題がある。   As described above, the ink jet method or the like method for applying droplets can be applied to the manufacture of optical elements such as a color filter and an electroluminescence element because the manufacturing process can be simplified and the cost can be reduced. However, in the manufacture of such an optical element, there are problems of “white spots” and “color mixing” as problems specific to the method of applying droplets.

この白抜けの問題を解決する手法として、例えば、濃色離画壁間(濃色離画壁に囲まれた領域)が、水に対して20°以下の接触角となるよう親インク処理された基板を用いることが提案されている(例えば、特許文献4参照。)。親インク性を付与する方法としては、水溶性のレベリング剤や水溶性の界面活性剤が例示されている。また、ドライエッチングにより基板を清浄にし、また基板に撥インク化処理を施す方法としてプラズマ処理を行うことが提案されている(例えば、特許文献5参照。)。更には、撥インク化処理を施す方法として界面活性剤による処理(例えば、特許文献6参照。)などが開示されている
しかし、このような方法では親インク性を付与する工程が必要となり、コスト的に不利である。また、これらの手段では混色を防止することや、更には、白抜けの抑制も未だ十分なものではなかった。
特開昭63−298304号公報 特開昭61−99103号公報 特開昭61−99102号公報 特開平9−203803号公報 特開2001−343518号公報 特開2001−235618号公報
As a technique for solving the white spot problem, for example, the parent ink treatment is performed so that the contact angle between the dark color separation walls (the region surrounded by the dark color separation walls) is 20 ° or less with respect to water. It has been proposed to use a thick substrate (see, for example, Patent Document 4). Examples of methods for imparting ink affinity include water-soluble leveling agents and water-soluble surfactants. Further, it has been proposed to perform a plasma treatment as a method for cleaning a substrate by dry etching and performing an ink repellent treatment on the substrate (see, for example, Patent Document 5). Furthermore, a method using a surfactant (see, for example, Patent Document 6) is disclosed as a method for performing an ink repellent treatment. However, such a method requires a step of imparting ink affinity, and costs are increased. Disadvantageous. Further, these means have not yet been sufficient to prevent color mixing and further to suppress white spots.
JP-A-63-298304 JP-A-61-99103 JP-A-61-99102 JP-A-9-203803 JP 2001-343518 A JP 2001-235618 A

したがって、本発明の目的は、白抜け及び隣接する画素間での混色のない光学素子を提供し、また該光学素子を安定して得られる光学素子の製造方法及び該光学素子を用いた液晶表示装置を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide an optical element free from white spots and color mixture between adjacent pixels, a method for producing an optical element that can stably obtain the optical element, and a liquid crystal display using the optical element To provide an apparatus.

上記従来の課題は、以下の本発明によって達成される。即ち、本発明の光学素子は、
<1> 基板上に、複数の画素と、該画素を離画する濃色離画壁と、を少なくとも有する光学素子であって、少なくとも下記(a)、(b)及び(c)を満たすことを特徴とする光学素子である。
The above conventional problems are achieved by the present invention described below. That is, the optical element of the present invention is
<1> An optical element having at least a plurality of pixels and a dark color separation wall separating the pixels on the substrate, and satisfying at least the following (a), (b) and (c): It is an optical element characterized by these.

(a)前記画素と濃色離画壁との境界線を、前記基板の厚さ方向画素形成側から観察した場合における濃色離画壁側に凸な角が、曲率半径0.5μm以上の曲線形状であること。
(b)前記画素の形成が、前記濃色離画壁形成後の該濃色離画壁間に、着色液体組成物による液滴を付与する方法で行われていること。
(c)前記濃色離画壁の形成が、前記基板上に形成された感光性樹脂組成物からなる層を、貧酸素雰囲気下で露光して行われていること。
(A) When the boundary line between the pixel and the dark color separation wall is observed from the pixel forming side in the thickness direction of the substrate, the convex corner on the dark color separation wall side has a radius of curvature of 0.5 μm or more. It must be a curved shape.
(B) The pixel is formed by a method of applying droplets of a colored liquid composition between the dark color separation walls after the dark color separation wall is formed.
(C) The dark color separation wall is formed by exposing a layer made of the photosensitive resin composition formed on the substrate in a poor oxygen atmosphere.

<2> 前記(b)に記載の液滴を付与する方法がインクジェット法であることを特徴とする前記<1>に記載の光学素子である。   <2> The optical element according to <1>, wherein the method for applying the droplet according to (b) is an inkjet method.

<3> 前記濃色離画壁の高さが1.8μm以上10μm以下であることを特徴とする前記<1>又は<2>に記載の光学素子である。   <3> The optical element according to <1> or <2>, wherein the dark color separation wall has a height of 1.8 μm or more and 10 μm or less.

<4> 前記濃色離画壁が黒色であることを特徴とする前記<1>〜<3>のいずれか1項に記載の光学素子である。   <4> The optical element according to any one of <1> to <3>, wherein the dark color separation wall is black.

<5> 前記濃色離画壁の光学濃度が2.5以上10以下であることを特徴とする前記<4>に記載の光学素子である。   <5> The optical element according to <4>, wherein the dark color separation wall has an optical density of 2.5 or more and 10 or less.

また、本発明の光学素子の製造方法は、
<6> 基板上に、感光性樹脂組成物からなる層を形成する工程と、該感光性樹脂組成物からなる層を貧酸素雰囲気下で露光し濃色離画壁を形成する工程と、該濃色離画壁形成後の濃色離画壁間に着色液体組成物による液滴を付与して画素を形成する工程と、を少なくとも経て、前記<1>〜<5>のいずれか1項に記載の光学素子を得ることを特徴とする光学素子の製造方法である。
In addition, the method for producing the optical element of the present invention includes:
<6> a step of forming a layer made of a photosensitive resin composition on a substrate, a step of exposing the layer made of the photosensitive resin composition in a poor oxygen atmosphere to form a dark color separation wall, Any one of the above <1> to <5>, through at least a step of forming a pixel by applying droplets of a colored liquid composition between the dark color separation walls after the dark color separation wall is formed A method for producing an optical element, comprising obtaining the optical element described in 1.

<7> 前記濃色離画壁を形成する工程と前記画素を形成する工程との間に、プラズマ撥水化処理工程を有することを特徴とする前記<6>に記載の光学素子の製造方法である。   <7> The method for producing an optical element according to <6>, further comprising: a plasma water repellency treatment step between the step of forming the dark color separation wall and the step of forming the pixel. It is.

更に、本発明の液晶表示装置は、
<8> 前記<1>〜<5>のいずれか1項に記載の光学素子を有することを特徴とする液晶表示装置である。
Furthermore, the liquid crystal display device of the present invention is
<8> A liquid crystal display device comprising the optical element according to any one of <1> to <5>.

本発明によれば、白抜け及び隣接する画素間での混色のない光学素子を提供し、また該光学素子を安定して得られる光学素子の製造方法及び該光学素子を用いた液晶表示装置を提供することができる。   According to the present invention, an optical element free from white spots and color mixture between adjacent pixels is provided, and a method for manufacturing an optical element capable of stably obtaining the optical element and a liquid crystal display device using the optical element are provided. Can be provided.

本発明の光学素子は、基板上に、複数の画素と、該画素を離画する濃色離画壁と、を少なくとも有する光学素子であって、少なくとも下記(a)、(b)及び(c)を満たすことを特徴とする。
(a)前記画素と濃色離画壁との境界線を、前記基板の厚さ方向画素形成側から観察した場合における濃色離画壁側に凸な角が、曲率半径0.5μm以上の曲線形状であること。
(b)前記画素の形成が、前記濃色離画壁形成後の該濃色離画壁間に、着色液体組成物による液滴を付与する方法で行われていること。
(c)前記濃色離画壁の形成が、前記基板上に形成された感光性樹脂組成物からなる層を、貧酸素雰囲気下で露光して行われていること。
The optical element of the present invention is an optical element having at least a plurality of pixels and a dark color separation wall separating the pixels on a substrate, and at least the following (a), (b) and (c) ) Is satisfied.
(A) When the boundary line between the pixel and the dark color separation wall is observed from the pixel forming side in the thickness direction of the substrate, the convex corner on the dark color separation wall side has a radius of curvature of 0.5 μm or more. It must be a curved shape.
(B) The pixel is formed by a method of applying droplets of a colored liquid composition between the dark color separation walls after the dark color separation wall is formed.
(C) The dark color separation wall is formed by exposing a layer made of the photosensitive resin composition formed on the substrate in a poor oxygen atmosphere.

光学素子の画素と濃色離画壁との境界線の上記曲率半径を0.5μm以上とすることで白抜けを効果的に防止することができ、また、濃色離画壁を形成する感光性樹脂組成物を、貧酸素雰囲気下で露光して形成し、濃色離画壁を形成することにより混色を非常に効果的に防ぐことができる。   By setting the radius of curvature of the boundary line between the pixel of the optical element and the dark color separation wall to 0.5 μm or more, white spots can be effectively prevented, and a photosensitive material for forming the dark color separation wall is formed. The color mixing can be very effectively prevented by forming the photosensitive resin composition by exposure in an oxygen-poor atmosphere and forming a dark color separation wall.

ここで、上記「白抜け」及び「混色」の現象について説明する。
「白抜け」は、主に付与された着色液体組成物による液滴(以下、単に「インク」ということがある。)が濃色離画壁によって囲まれた画素部に十分且つ均一に拡散することができないことに起因して発生する障害であり、色ムラやコントラストの低下といった表示不良の原因となる。ここで、図1に、白抜けの概念図を示す。
以下、白抜けの発生原因を述べる。濃色離画壁33を形成する際には、一般的にレジストを用いたフォトリソグラフィ工程が使用されており、レジストに含まれる種々の成分により基板31の表面に汚染物が付着して、インク36の拡散の妨げとなる場合がある。
さらに近年、TFT型液晶素子用のカラーフィルターにおいては、TFTを外光から保護することや開口率を大きくして明るい表示を得ることを目的として、濃色離画壁33の開口部形状が複雑になっており、複数の角を有するものが一般的に使用されている。
このため図1に示すように、該角に対してインク36が十分に拡散しないという問題が発生する。
Here, the phenomenon of “white spots” and “mixed colors” will be described.
“White void” is a liquid droplet (hereinafter sometimes simply referred to as “ink”) mainly formed from a colored liquid composition that diffuses sufficiently and uniformly into a pixel portion surrounded by a dark color separation wall. This is a failure that occurs due to the inability to do so, and causes display defects such as color unevenness and a decrease in contrast. Here, FIG. 1 shows a conceptual diagram of white spots.
Hereinafter, the cause of white spots will be described. When the dark color separation wall 33 is formed, a photolithography process using a resist is generally used, and contaminants adhere to the surface of the substrate 31 due to various components contained in the resist, so that the ink This may hinder the diffusion of 36.
In recent years, in color filters for TFT-type liquid crystal elements, the shape of the opening of the dark color separation wall 33 is complicated in order to protect the TFT from external light and to obtain a bright display by increasing the aperture ratio. In general, those having a plurality of corners are used.
Therefore, as shown in FIG. 1, there is a problem that the ink 36 does not diffuse sufficiently with respect to the corner.

また「混色」は、隣接する異なる色の画素(着色部)間においてインクが混ざり合うことにより発生する障害である。濃色離画壁間(濃色離画壁で囲まれた領域)にインクを付与して着色部を形成するカラーフィルターの製造方法においては、濃色離画壁の開口部の容積に対して、数倍〜数十倍の体積を有するインクを付与する必要がある。
インク中に含まれる着色剤や硬化成分等の固形分濃度が高い場合、即ち付与するインクの体積が比較的少ない場合においては、濃色離画壁が十分に濃色離画壁として機能し、該濃色離画壁間にインクを保持することができるため、付与されたインクが濃色離画壁を乗り越えて、隣接する異なる色の着色部にまで到達することはない。しかしながら、インク中の固形分濃度が低い場合、即ち多量のインクを付与する必要がある場合には、濃色離画壁を超えてインクがあふれてしまうため、隣接する着色部間で混色が発生してしまう。特に、インクジェット方式によりインクを付与する場合、インクジェットヘッドのノズルより安定して吐出可能なインクの粘度には限界があり、インク中に含有される固形分の濃度にも限界があるため、混色を回避するための技術が必要である。
Further, “mixed color” is a failure that occurs when ink is mixed between adjacent pixels (colored portions) of different colors. In the method of manufacturing a color filter that forms a colored portion by applying ink between dark color separation walls (region surrounded by the dark color separation wall), the volume of the opening of the dark color separation wall is It is necessary to apply an ink having a volume several times to several tens of times.
When the solid content concentration of the colorant or the curing component contained in the ink is high, that is, when the volume of the applied ink is relatively small, the dark color separation wall sufficiently functions as a dark color separation wall, Since the ink can be held between the dark color separation walls, the applied ink does not get over the dark color separation wall and reach the adjacent colored portions of different colors. However, when the solid content concentration in the ink is low, that is, when it is necessary to apply a large amount of ink, the ink overflows beyond the color separation wall, so color mixing occurs between adjacent colored portions. Resulting in. In particular, when ink is applied by an ink jet method, there is a limit to the viscosity of ink that can be stably ejected from the nozzles of an ink jet head, and there is also a limit to the concentration of solids contained in the ink. Techniques to avoid it are necessary.

上記問題は、エレクトロルミネッセンス素子を製造する場合にも同様に生じる。即ち、エレクトロルミネッセンス素子において、例えばR、G、Bの各光を発光する有機半導体材料をインクとして用い、濃色離画壁で囲まれた領域に該インクを付与して画素(発光層)を形成する際に、隣接する発光層間でインクが混じり合った場合、当該発光層では所望の色、輝度の発光が得られないという問題が生じる。また、単一色の発光層であっても、通常濃色離画壁内に充填するインク量を均一化しているため、隣接発光層へインクが流入すると、インク量に不均一性が生じ、輝度ムラとして認識され、問題となる。また、濃色離画壁で囲まれた領域内に十分にインクが拡散しなかった場合には、発光層と濃色離画壁との境界部分で十分な発光輝度が得られないという問題を生じる。
本発明によれば、上記白抜け及び隣接する画素間での混色を効果的に抑制した光学素子を得ることができる。
The above problem also occurs when manufacturing an electroluminescence element. That is, in an electroluminescence element, for example, an organic semiconductor material that emits R, G, and B light is used as ink, and the ink is applied to a region surrounded by a dark color separation wall to form a pixel (light emitting layer). When forming, when ink mixes between adjacent light emitting layers, the light emitting layer cannot emit light of a desired color and luminance. Even in the case of a single color light emitting layer, the amount of ink that is normally filled in the dark color separation wall is made uniform, so when ink flows into the adjacent light emitting layer, the amount of ink becomes non-uniform and the luminance is increased. It is recognized as unevenness and becomes a problem. In addition, if the ink is not sufficiently diffused in the area surrounded by the dark color separation wall, there is a problem that sufficient light emission luminance cannot be obtained at the boundary portion between the light emitting layer and the dark color separation wall. Arise.
According to the present invention, it is possible to obtain an optical element that effectively suppresses the white spots and color mixture between adjacent pixels.

以下、本発明を詳細に説明するにあたり、まず本発明における濃色離画壁について詳述し、その後本発明の光学素子及びその製造方法と、液晶表示装置について述べる。
尚、以下の記述においては、便宜上、エレクトロルミネッセンス素子を製造する場合においても、隣接する発光層間でのインクの混じり合いを「混色」、発光層と濃色離画壁の境界部でのインクの反発による発光輝度ムラの発生を「白抜け」と記す。
Hereinafter, in describing the present invention in detail, the dark color separation wall in the present invention will be described in detail, and then the optical element of the present invention, its manufacturing method, and a liquid crystal display device will be described.
In the following description, for the sake of convenience, even when an electroluminescence element is manufactured, the mixing of ink between adjacent light emitting layers is referred to as “mixed color”, and the ink at the boundary between the light emitting layer and the dark color separation wall is used. Occurrence of light emission luminance unevenness due to repulsion is referred to as “outline”.

<濃色離画壁>
本発明においては、濃色離画壁と隣接する画素との境界線の、基板の厚さ方向画素形成側から観察した場合における濃色離画壁側に凸な角(以下、単に「濃色離画壁側に凸な角」ということがある。)が、曲率半径0.5μm以上の曲線形状をなしており、濃色離画壁は、上記曲線形状となるように形成される。
ここで、図2〜4に本発明の様々な実施形態における、濃色離画壁側に凸な角の例を示す。図2〜4にも示すとおり、「濃色離画壁側に凸な角」とは、その画素側の角度(曲線形状ではなく、直線部分がそのまま交差したものと想定した場合における角度)が180°未満である部分をさし、その形状は曲率半径が0.5μm以上ということ以外特に制限は無い。
また、「基板の厚さ方向画素形成側」からの観察とは、形成された濃色離画壁と画素との最表面の境界線を観察する場合は勿論、濃色離画壁及び画素を膜厚方向と直交するように切断し、その断面を基板の厚さ方向画素形成側から観察する場合をも含む。
<Dark color separation wall>
In the present invention, the boundary line between the dark color separation wall and the adjacent pixel is a corner that protrudes toward the dark color separation wall side when viewed from the pixel forming side in the thickness direction of the substrate (hereinafter simply referred to as “dark color”). The corner having a convexity on the side of the separation wall is sometimes referred to as a curved shape having a curvature radius of 0.5 μm or more, and the dark-colored separation wall is formed to have the curved shape.
Here, FIGS. 2 to 4 show examples of corners protruding toward the dark color separation wall in various embodiments of the present invention. As shown in FIGS. 2 to 4, the “convex angle toward the dark color separation wall” is an angle on the pixel side (an angle in the case where it is assumed that the straight line portion intersects as it is, not a curved shape). The portion is less than 180 °, and the shape is not particularly limited except that the radius of curvature is 0.5 μm or more.
The observation from the “pixel forming side in the thickness direction of the substrate” means not only the observation of the boundary line between the formed dark color separation wall and the pixel but also the dark color separation wall and the pixel. It includes a case where the substrate is cut so as to be orthogonal to the film thickness direction and the cross section is observed from the pixel forming side in the thickness direction of the substrate.

尚、上記濃色離画壁側に凸な角の曲率半径は、露光の際に使用するマスクの前記濃色離画壁側に凸な角に該当する部分の曲率半径を0.5μm以上とすることにより、上記範囲に制御することができる。
上記曲率半径を0.5μm以上とすることで、該角部分において着色液体組成物による液滴が充分に濡れ広がり、白抜けを効果的に防止することができる。該曲率半径は更に1.0μm以上が好ましく、2.0μm以上がより好ましく、3.0μm以上が特に好ましい。曲率半径が0.5μmよりも小さいと該角部分において液滴が濡れ広がらず、白抜けが発生する。尚、曲率半径は液滴が濡れ広がりやすいという観点では特に上限は無いが、大きすぎると濃色離画壁/画素パターンを形成できなくなるという観点から、曲率半径は10000μm以下が好ましい。
The radius of curvature of the corner convex toward the dark color separation wall is 0.5 μm or more at the radius of curvature of the portion of the mask used for exposure corresponding to the corner of the dark color separation wall. By doing so, it is possible to control within the above range.
By setting the radius of curvature to 0.5 μm or more, droplets of the colored liquid composition are sufficiently wetted and spread at the corners, and white spots can be effectively prevented. The curvature radius is further preferably 1.0 μm or more, more preferably 2.0 μm or more, and particularly preferably 3.0 μm or more. If the radius of curvature is less than 0.5 μm, the droplets do not wet and spread at the corners, and white spots occur. The radius of curvature is not particularly limited from the viewpoint that droplets are likely to spread and spread, but if it is too large, the radius of curvature is preferably 10,000 μm or less from the viewpoint that a dark color separation wall / pixel pattern cannot be formed.

(感光性樹脂組成物)
本発明における上記濃色離画壁は、着色剤を含有する濃色の感光性樹脂組成物から形成される。ここで、濃色の感光性樹脂組成物とは、高い光学濃度を有する組成物のことであり、その値は2.5以上が好ましく、2.5〜10.0がより好ましく、2.5〜6.0が更に好ましく、3.0〜5.0が特に好ましい。
また、この感光性樹脂組成物は、後述するように好ましくは光開始系で硬化させる為、露光波長(一般には紫外域)に対する光学濃度も重要である。すなわち、その値は2.0〜10.0が好ましく、より好ましくは2.5〜6.0、最も好ましいのは3.0〜5.0である。2.0未満では濃色離画壁形状が望みのものとならないことがあり、10.0を超えると重合を開始することができず濃色離画壁の形成自体が困難となる懸念がある。
(Photosensitive resin composition)
The dark color separation wall in the present invention is formed from a dark photosensitive resin composition containing a colorant. Here, the dark photosensitive resin composition is a composition having a high optical density, and the value is preferably 2.5 or more, more preferably 2.5 to 10.0, and 2.5 -6.0 is still more preferable, and 3.0-5.0 is especially preferable.
Moreover, since this photosensitive resin composition is preferably cured by a photoinitiating system as described later, the optical density with respect to the exposure wavelength (generally the ultraviolet region) is also important. That is, the value is preferably 2.0 to 10.0, more preferably 2.5 to 6.0, and most preferably 3.0 to 5.0. If it is less than 2.0, the dark color separation wall shape may not be as desired, and if it exceeds 10.0, polymerization may not be started and formation of the dark color separation wall itself may be difficult. .

尚、上記光学濃度の測定は、上記感光性樹脂組成物を用い、透明基板上に、本発明の濃色離画壁形成時と同じ厚みの層を形成し、パターン状に露光しない以外は同様の工程を経て、測定用のサンプル(膜状)を得る。この透過光学濃度を分光光度計(島津製作所製、UV−2100)を用いて555nmで測定した(OD)。別途上記透明基板の透過光学濃度を同様の方法で測定し(OD0)、ODからOD0を差し引いた値を濃色離画壁の光学濃度とした。 The measurement of the optical density is the same except that the photosensitive resin composition is used, a layer having the same thickness as the dark color separation wall formation of the present invention is formed on the transparent substrate, and the pattern is not exposed. Through the steps, a measurement sample (film-like) is obtained. This transmission optical density was measured at 555 nm using a spectrophotometer (manufactured by Shimadzu Corporation, UV-2100) (OD). Separately, the transmission optical density of the transparent substrate was measured by the same method (OD 0 ), and the value obtained by subtracting OD 0 from OD was defined as the optical density of the dark color separation wall.

(着色剤)
本発明に用いる着色剤としては、具体的には、下記染料、顔料に記載のカラーインデックス(C.I.)番号が付されているものを挙げることができる。
本発明における感光性樹脂組成物には、有機顔料、無機顔料、染料等を好適に用いることができ、感光性樹脂層に遮光性が要求される際には、カーボンブラック、酸化チタン、4酸化鉄等の金属酸化物粉、金属硫化物粉、金属粉といった遮光剤の他に、赤、青、緑色等の顔料の混合物等を用いることができる。
着色剤のうち顔料を用いる場合には、感光性樹脂組成物中に均一に分散されていることが好ましい。前記感光性樹脂組成物の固形分中の着色剤の比率は、十分に現像時間を短縮する観点から、30〜70質量%であることが好ましく、40〜60質量%であることがより好ましく、50〜55質量%であることが更に好ましい。
(Coloring agent)
Specific examples of the colorant used in the present invention include those given the color index (CI) numbers described in the following dyes and pigments.
For the photosensitive resin composition in the present invention, organic pigments, inorganic pigments, dyes, and the like can be suitably used. When the photosensitive resin layer is required to have light shielding properties, carbon black, titanium oxide, tetraoxide In addition to light-shielding agents such as metal oxide powder such as iron, metal sulfide powder, and metal powder, a mixture of pigments such as red, blue, and green can be used.
When using a pigment among colorants, it is preferable that the pigment is uniformly dispersed in the photosensitive resin composition. The ratio of the colorant in the solid content of the photosensitive resin composition is preferably 30 to 70% by mass, more preferably 40 to 60% by mass, from the viewpoint of sufficiently shortening the development time. More preferably, it is 50-55 mass%.

上記公知の染料ないし顔料としては、ビクトリア・ピュアーブルーBO(C.I.42595)、オーラミン(C.I.41000)、ファット・ブラックHB(C.I.26150)、C.I.ピグメント・イエロー1、C.I.ピグメント・イエロー3、C.I.ピグメント・イエロー12、C.I.ピグメント・イエロー13、C.I.ピグメント・イエロー14、C.I.ピグメント・イエロー5、C.I.ピグメント・イエロー16、C.I.ピグメント・イエロー17、C.I.ピグメント・イエロー20、C.I.ピグメント・イエロー24、C.I.ピグメント・イエロー31、C.I.ピグメント・イエロー55、C.I.ピグメント・イエロー60、C.I.ピグメント・イエロー61、C.I.ピグメント・イエロー65、C.I.ピグメント・イエロー71、C.I.ピグメント・イエロー73、C.I.ピグメント・イエロー74、C.I.ピグメント・イエロー81、C.I.ピグメント・イエロー83、C.I.ピグメント・イエロー93、C.I.ピグメント・イエロー95、C.I.ピグメント・イエロー97、C.I.ピグメント・イエロー98、C.I.ピグメント・イエロー100、C.I.ピグメント・イエロー101、C.I.ピグメント・イエロー104、C.I.ピグメント・イエロー106、C.I.ピグメント・イエロー108、C.I.ピグメント・イエロー109、C.I.ピグメント・イエロー110、C.I.ピグメント・イエロー113、C.I.ピグメント・イエロー114、C.I.ピグメント・イエロー116、C.I.ピグメント・イエロー117、C.I.ピグメント・イエロー119、C.I.ピグメント・イエロー120、C.I.ピグメント・イエロー126、C.I.ピグメント・イエロー127、C.I.ピグメント・イエロー128、C.I.ピグメント・イエロー129、C.I.ピグメント・イエロー138、C.I.ピグメント・イエロー139、C.I.ピグメント・イエロー150、C.I.ピグメント・イエロー151、C.I.ピグメント・イエロー152、C.I.ピグメント・イエロー153、C.I.ピグメント・イエロー154、C.I.ピグメント・イエロー155、C.I.ピグメント・イエロー156、C.I.ピグメント・イエロー166、C.I.ピグメント・イエロー168、C.I.ピグメント・イエロー175、C.I.ピグメント・イエロー180、C.I.ピグメント・イエロー185;   Examples of the known dyes or pigments include Victoria Pure Blue BO (C.I. 42595), Auramine (C.I. 41000), Fat Black HB (C.I. 26150), C.I. I. Pigment yellow 1, C.I. I. Pigment yellow 3, C.I. I. Pigment yellow 12, C.I. I. Pigment yellow 13, C.I. I. Pigment yellow 14, C.I. I. Pigment yellow 5, C.I. I. Pigment yellow 16, C.I. I. Pigment yellow 17, C.I. I. Pigment yellow 20, C.I. I. Pigment yellow 24, C.I. I. Pigment yellow 31, C.I. I. Pigment yellow 55, C.I. I. Pigment yellow 60, C.I. I. Pigment yellow 61, C.I. I. Pigment yellow 65, C.I. I. Pigment yellow 71, C.I. I. Pigment yellow 73, C.I. I. Pigment yellow 74, C.I. I. Pigment yellow 81, C.I. I. Pigment yellow 83, C.I. I. Pigment yellow 93, C.I. I. Pigment yellow 95, C.I. I. Pigment yellow 97, C.I. I. Pigment yellow 98, C.I. I. Pigment yellow 100, C.I. I. Pigment yellow 101, C.I. I. Pigment yellow 104, C.I. I. Pigment yellow 106, C.I. I. Pigment yellow 108, C.I. I. Pigment yellow 109, C.I. I. Pigment yellow 110, C.I. I. Pigment yellow 113, C.I. I. Pigment yellow 114, C.I. I. Pigment yellow 116, C.I. I. Pigment yellow 117, C.I. I. Pigment yellow 119, C.I. I. Pigment yellow 120, C.I. I. Pigment yellow 126, C.I. I. Pigment yellow 127, C.I. I. Pigment yellow 128, C.I. I. Pigment yellow 129, C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 150, C.I. I. Pigment yellow 151, C.I. I. Pigment yellow 152, C.I. I. Pigment yellow 153, C.I. I. Pigment yellow 154, C.I. I. Pigment yellow 155, C.I. I. Pigment yellow 156, C.I. I. Pigment yellow 166, C.I. I. Pigment yellow 168, C.I. I. Pigment yellow 175, C.I. I. Pigment yellow 180, C.I. I. Pigment yellow 185;

C.I.ピグメント・オレンジ1、C.I.ピグメント・オレンジ5、C.I.ピグメント・オレンジ13、C.I.ピグメント・オレンジ14、C.I.ピグメント・オレンジ16、C.I.ピグメント・オレンジ17、C.I.ピグメント・オレンジ24、C.I.ピグメント・オレンジ34、C.I.ピグメント・オレンジ36、C.I.ピグメント・オレンジ38、C.I.ピグメント・オレンジ40、C.I.ピグメント・オレンジ43、C.I.ピグメント・オレンジ46、C.I.ピグメント・オレンジ49、C.I.ピグメント・オレンジ51、C.I.ピグメント・オレンジ61、C.I.ピグメント・オレンジ63、C.I.ピグメント・オレンジ64、C.I.ピグメント・オレンジ71、C.I.ピグメント・オレンジ73;C.I.ピグメント・バイオレット1、C.I.ピグメント・バイオレット19、C.I.ピグメント・バイオレット23、C.I.ピグメント・バイオレット29、C.I.ピグメント・バイオレット32、C.I.ピグメント・バイオレット36、C.I.ピグメント・バイオレット38;   C. I. Pigment orange 1, C.I. I. Pigment orange 5, C.I. I. Pigment orange 13, C.I. I. Pigment orange 14, C.I. I. Pigment orange 16, C.I. I. Pigment orange 17, C.I. I. Pigment orange 24, C.I. I. Pigment orange 34, C.I. I. Pigment orange 36, C.I. I. Pigment orange 38, C.I. I. Pigment orange 40, C.I. I. Pigment orange 43, C.I. I. Pigment orange 46, C.I. I. Pigment orange 49, C.I. I. Pigment orange 51, C.I. I. Pigment orange 61, C.I. I. Pigment orange 63, C.I. I. Pigment orange 64, C.I. I. Pigment orange 71, C.I. I. Pigment orange 73; C.I. I. Pigment violet 1, C.I. I. Pigment violet 19, C.I. I. Pigment violet 23, C.I. I. Pigment violet 29, C.I. I. Pigment violet 32, C.I. I. Pigment violet 36, C.I. I. Pigment violet 38;

C.I.ピグメント・レッド1、C.I.ピグメント・レッド2、C.I.ピグメント・レッド3、C.I.ピグメント・レッド4、C.I.ピグメント・レッド5、C.I.ピグメント・レッド6、C.I.ピグメント・レッド7、C.I.ピグメント・レッド8、C.I.ピグメント・レッド9、C.I.ピグメント・レッド10、C.I.ピグメント・レッド11、C.I.ピグメント・レッド12、C.I.ピグメント・レッド14、C.I.ピグメント・レッド15、C.I.ピグメント・レッド16、C.I.ピグメント・レッド17、C.I.ピグメント・レッド18、C.I.ピグメント・レッド19、C.I.ピグメント・レッド21、C.I.ピグメント・レッド22、C.I.ピグメント・レッド23、C.I.ピグメント・レッド30、C.I.ピグメント・レッド31、C.I.ピグメント・レッド32、C.I.ピグメント・レッド37、C.I.ピグメント・レッド38、C.I.ピグメント・レッド40、C.I.ピグメント・レッド41、C.I.ピグメント・レッド42、C.I.ピグメント・レッド48:1、C.I.ピグメント・レッド48:2、C.I.ピグメント・レッド48:3、C.I.ピグメント・レッド48:4、C.I.ピグメント・レッド49:1、C.I.ピグメント・レッド49:2、C.I.ピグメント・レッド50:1、C.I.ピグメント・レッド52:1、C.I.ピグメント・レッド53:1、C.I.ピグメント・レッド57、C.I.ピグメント・レッド57:1、C.I.ピグメント・レッド57:2、C.I.ピグメント・レッド58:2、C.I.ピグメント・レッド58:4、C.I.ピグメント・レッド60:1、C.I.ピグメント・レッド63:1、C.I.ピグメント・レッド63:2、C.I.ピグメント・レッド64:1、C.I.ピグメント・レッド81:1、C.I.ピグメント・レッド83、C.I.ピグメント・レッド88、C.I.ピグメント・レッド90:1、C.I.ピグメント・レッド97、C.I.ピグメント・レッド101、C.I.ピグメント・レッド102、C.I.ピグメント・レッド104、C.I.ピグメント・レッド105、C.I.ピグメント・レッド106、C.I.ピグメント・レッド108、C.I.ピグメント・レッド112、C.I.ピグメント・レッド113、C.I.ピグメント・レッド114、C.I.ピグメント・レッド122、C.I.ピグメント・レッド123、C.I.ピグメント・レッド144、C.I.ピグメント・レッド146、C.I.ピグメント・レッド149、C.I.ピグメント・レッド150、C.I.ピグメント・レッド151、C.I.ピグメント・レッド166、C.I.ピグメント・レッド168、C.I.ピグメント・レッド170、C.I.ピグメント・レッド171、C.I.ピグメント・レッド172、C.I.ピグメント・レッド174、C.I.ピグメント・レッド175、C.I.ピグメント・レッド176、C.I.ピグメント・レッド177、C.I.ピグメント・レッド178、C.I.ピグメント・レッド179、C.I.ピグメント・レッド180、C.I.ピグメント・レッド185、C.I.ピグメント・レッド187、C.I.ピグメント・レッド188、C.I.ピグメント・レッド190、C.I.ピグメント・レッド193、C.I.ピグメント・レッド194、C.I.ピグメント・レッド202、C.I.ピグメント・レッド206、C.I.ピグメント・レッド207、C.I.ピグメント・レッド208、C.I.ピグメント・レッド209、C.I.ピグメント・レッド215、C.I.ピグメント・レッド216、C.I.ピグメント・レッド220、C.I.ピグメント・レッド224、C.I.ピグメント・レッド226、C.I.ピグメント・レッド242、C.I.ピグメント・レッド243、C.I.ピグメント・レッド245、C.I.ピグメント・レッド254、C.I.ピグメント・レッド255、C.I.ピグメント・レッド264、C.I.ピグメント・レッド265;   C. I. Pigment red 1, C.I. I. Pigment red 2, C.I. I. Pigment red 3, C.I. I. Pigment red 4, C.I. I. Pigment red 5, C.I. I. Pigment red 6, C.I. I. Pigment red 7, C.I. I. Pigment red 8, C.I. I. Pigment red 9, C.I. I. Pigment red 10, C.I. I. Pigment red 11, C.I. I. Pigment red 12, C.I. I. Pigment red 14, C.I. I. Pigment red 15, C.I. I. Pigment red 16, C.I. I. Pigment red 17, C.I. I. Pigment red 18, C.I. I. Pigment red 19, C.I. I. Pigment red 21, C.I. I. Pigment red 22, C.I. I. Pigment red 23, C.I. I. Pigment red 30, C.I. I. Pigment red 31, C.I. I. Pigment red 32, C.I. I. Pigment red 37, C.I. I. Pigment red 38, C.I. I. Pigment red 40, C.I. I. Pigment red 41, C.I. I. Pigment red 42, C.I. I. Pigment red 48: 1, C.I. I. Pigment red 48: 2, C.I. I. Pigment red 48: 3, C.I. I. Pigment red 48: 4, C.I. I. Pigment red 49: 1, C.I. I. Pigment red 49: 2, C.I. I. Pigment red 50: 1, C.I. I. Pigment red 52: 1, C.I. I. Pigment red 53: 1, C.I. I. Pigment red 57, C.I. I. Pigment red 57: 1, C.I. I. Pigment red 57: 2, C.I. I. Pigment red 58: 2, C.I. I. Pigment red 58: 4, C.I. I. Pigment red 60: 1, C.I. I. Pigment red 63: 1, C.I. I. Pigment red 63: 2, C.I. I. Pigment red 64: 1, C.I. I. Pigment red 81: 1, C.I. I. Pigment red 83, C.I. I. Pigment red 88, C.I. I. Pigment red 90: 1, C.I. I. Pigment red 97, C.I. I. Pigment red 101, C.I. I. Pigment red 102, C.I. I. Pigment red 104, C.I. I. Pigment red 105, C.I. I. Pigment red 106, C.I. I. Pigment red 108, C.I. I. Pigment red 112, C.I. I. Pigment red 113, C.I. I. Pigment red 114, C.I. I. Pigment red 122, C.I. I. Pigment red 123, C.I. I. Pigment red 144, C.I. I. Pigment red 146, C.I. I. Pigment red 149, C.I. I. Pigment red 150, C.I. I. Pigment red 151, C.I. I. Pigment red 166, C.I. I. Pigment red 168, C.I. I. Pigment red 170, C.I. I. Pigment red 171, C.I. I. Pigment red 172, C.I. I. Pigment red 174, C.I. I. Pigment red 175, C.I. I. Pigment red 176, C.I. I. Pigment red 177, C.I. I. Pigment red 178, C.I. I. Pigment red 179, C.I. I. Pigment red 180, C.I. I. Pigment red 185, C.I. I. Pigment red 187, C.I. I. Pigment red 188, C.I. I. Pigment red 190, C.I. I. Pigment red 193, C.I. I. Pigment red 194, C.I. I. Pigment red 202, C.I. I. Pigment red 206, C.I. I. Pigment red 207, C.I. I. Pigment red 208, C.I. I. Pigment red 209, C.I. I. Pigment red 215, C.I. I. Pigment red 216, C.I. I. Pigment red 220, C.I. I. Pigment red 224, C.I. I. Pigment red 226, C.I. I. Pigment red 242, C.I. I. Pigment red 243, C.I. I. Pigment red 245, C.I. I. Pigment red 254, C.I. I. Pigment red 255, C.I. I. Pigment red 264, C.I. I. Pigment red 265;

C.I.ピグメント・ブルー15、C.I.ピグメント・ブルー15:3、C.I.ピグメント・ブルー15:4、C.I.ピグメント・ブルー15:6、C.I.ピグメント・ブルー60;C.I.ピグメント・グリーン7、C.I.ピグメント・グリーン36;C.I.ピグメント・ブラウン23、C.I.ピグメント・ブラウン25;C.I.ピグメント・ブラック1、C.I.ピグメント・ブラック7等が挙げられる。   C. I. Pigment blue 15, C.I. I. Pigment blue 15: 3, C.I. I. Pigment blue 15: 4, C.I. I. Pigment blue 15: 6, C.I. I. Pigment blue 60; C.I. I. Pigment green 7, C.I. I. Pigment green 36; C.I. I. Pigment brown 23, C.I. I. Pigment brown 25; C.I. I. Pigment black 1, C.I. I. Pigment black 7 and the like.

本発明においては、前記着色剤の中でも黒色着色剤を用いることが好ましい。黒色着色剤として、更に例示すると、カーボンブラック、チタンカーボン、酸化鉄、酸化チタン、黒鉛などが挙げられ、中でも、カーボンブラックが好ましい。   In the present invention, it is preferable to use a black colorant among the colorants. Illustrative examples of the black colorant include carbon black, titanium carbon, iron oxide, titanium oxide, and graphite. Among these, carbon black is preferable.

また、顔料を用いる場合には、分散液として使用することが望ましい。この分散液は、前記顔料と顔料分散剤とを予め混合して得られる組成物を、後述する有機溶媒(又はビヒクル)に添加して分散させることによって調製することができる。前記ビビクルとは、塗料が液体状態にある時に顔料を分散させている媒質の部分をいい、液状であって前記顔料と結合して塗膜を固める部分(バインダー)と、これを溶解希釈する成分(有機溶媒)とを含む。前記顔料を分散させる際に使用する分散機としては、特に制限はなく、例えば、朝倉邦造著、「顔料の事典」、第一版、朝倉書店、2000年、438項に記載されているニーダー、ロールミル、アトライダー、スーパーミル、ディゾルバ、ホモミキサー、サンドミル等の公知の分散機が挙げられる。更に該文献310項記載の機械的摩砕により、摩擦力を利用し微粉砕してもよい。   Moreover, when using a pigment, it is desirable to use it as a dispersion liquid. This dispersion can be prepared by adding and dispersing a composition obtained by previously mixing the pigment and the pigment dispersant in an organic solvent (or vehicle) described later. The vehicle refers to a portion of a medium in which the pigment is dispersed when the paint is in a liquid state. The portion is a liquid that binds to the pigment and hardens the coating film (binder), and a component that dissolves and dilutes the portion. (Organic solvent). The disperser used for dispersing the pigment is not particularly limited. For example, the kneader described in Kazuzo Asakura, “Encyclopedia of Pigments”, first edition, Asakura Shoten, 2000, 438, Known dispersing machines such as a roll mill, an atrider, a super mill, a dissolver, a homomixer, and a sand mill can be used. Further, fine grinding may be performed using frictional force by mechanical grinding described in Item 310 of the document.

本発明で用いる着色剤(例えば顔料)は、分散安定性の観点から、数平均粒径0.001〜0.1μmのものが好ましく、更に0.01〜0.08μmのものが好ましい。数平均粒径が0.1μmを超えると、着色剤による偏光の解消が生じ、コントラストが低下し、好ましくない。尚、ここで言う「粒径」とは粒子の電子顕微鏡写真画像を同面積の円とした時の直径を言い、また「数平均粒径」とは多数の粒子について上記の粒径を求め、この100個平均値をいう。   The colorant (for example, pigment) used in the present invention preferably has a number average particle diameter of 0.001 to 0.1 μm, more preferably 0.01 to 0.08 μm, from the viewpoint of dispersion stability. When the number average particle diameter exceeds 0.1 μm, the polarization is canceled by the colorant, and the contrast is lowered. The “particle diameter” as used herein refers to the diameter when the electron micrograph image of the particle is a circle of the same area, and the “number average particle diameter” is the above-mentioned particle diameter for a number of particles, This 100 average value is said.

本発明における感光性樹脂組成物は前記着色剤以外に、バインダー・樹脂・ポリマー、重合開始剤、モノマーを少なくとも含んでなることが好ましい。また、必要に応じて更に公知の添加剤、例えば、可塑剤、充填剤、安定化剤、重合禁止剤、界面活性剤、溶剤、密着促進剤等を含有させることができる。さらに感光性樹脂組成物は少なくとも150℃以下の温度で軟化もしくは粘着性になることが好ましく、熱可塑性であることが好ましい。かかる観点からは、相溶性の可塑剤を添加することで改質することができる。   The photosensitive resin composition in the present invention preferably comprises at least a binder / resin / polymer, a polymerization initiator, and a monomer in addition to the colorant. Further, if necessary, a known additive such as a plasticizer, a filler, a stabilizer, a polymerization inhibitor, a surfactant, a solvent, an adhesion promoter, and the like can be further contained. Further, the photosensitive resin composition is preferably softened or tacky at a temperature of at least 150 ° C., and is preferably thermoplastic. From such a viewpoint, it can be modified by adding a compatible plasticizer.

(バインダー・樹脂・ポリマー)
感光性樹脂組成物に用いるバインダーとしては、側鎖にカルボン酸基やカルボン酸塩基などの極性基を有するポリマーが好ましい。その例としては、特開昭59−44615号公報、特公昭54−34327号公報、特公昭58−12577号公報、特公昭54−25957号公報、特開昭59−53836号公報、及び特開昭59−71048号公報に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等を挙げることができる。また側鎖にカルボン酸基を有するセルロース誘導体も挙げることができる。この他に水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加したものも好ましく使用することができる。また、特に好ましい例として、米国特許第4139391号明細書に記載のベンジル(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸との共重合体や、ベンジル(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸と他のモノマーとの多元共重合体を挙げることができる。これらの極性基を有するバインダーポリマーは、単独で用いてもよく、或いは通常の膜形成性のポリマーと併用する組成物の状態で使用してもよい。
(Binder / Resin / Polymer)
As a binder used for the photosensitive resin composition, a polymer having a polar group such as a carboxylic acid group or a carboxylic acid group in the side chain is preferable. Examples thereof include JP-A-59-44615, JP-B-54-34327, JP-B-58-12577, JP-B-54-25957, JP-A-59-53836, and JP-A-59-53836. A methacrylic acid copolymer, an acrylic acid copolymer, an itaconic acid copolymer, a crotonic acid copolymer, a maleic acid copolymer, a partially esterified maleic acid copolymer as described in JP-A-59-71048 A coalescence etc. can be mentioned. Moreover, the cellulose derivative which has a carboxylic acid group in a side chain can also be mentioned. In addition, a polymer having a hydroxyl group added to a cyclic acid anhydride can also be preferably used. Further, as particularly preferred examples, copolymers of benzyl (meth) acrylate and (meth) acrylic acid described in US Pat. No. 4,139,391, benzyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid and other monomers And a multi-component copolymer. These binder polymers having a polar group may be used alone or in a composition used in combination with a normal film-forming polymer.

(開始剤)
感光性樹脂組成物を硬化させる方法としては、熱開始剤を用いる熱開始系や光開始剤を用いる光開始系が一般的であるが、本発明では、光開始系を用いることが好ましい。ここで用いる光重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等の放射線の照射(露光ともいう)により、後述の多官能性モノマーの重合を開始する活性種を発生し得る化合物であり、公知の光重合開始剤若しくは光重合開始剤系の中から適宜選択することができる。
(Initiator)
As a method for curing the photosensitive resin composition, a thermal initiation system using a thermal initiator and a photoinitiation system using a photoinitiator are common, but in the present invention, it is preferable to use a photoinitiation system. The photopolymerization initiator used here generates an active species that initiates polymerization of a polyfunctional monomer, which will be described later, upon irradiation with radiation such as visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, or X-ray (also referred to as exposure). It is a compound to be obtained and can be appropriately selected from known photopolymerization initiators or photopolymerization initiator systems.

例えば、トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、ジアゾ系化合物等を挙げることができる。
具体的には、特開2001−117230号公報に記載の、トリハロメチル基が置換したトリハロメチルオキサゾール誘導体又はs−トリアジン誘導体、米国特許第4239850号明細書に記載のトリハロメチル−s−トリアジン化合物、米国特許第4212976号明細書に記載のトリハロメチルオキサジアゾール化合物などのトリハロメチル基含有化合物;
For example, trihalomethyl group-containing compounds, acridine compounds, acetophenone compounds, biimidazole compounds, triazine compounds, benzoin compounds, benzophenone compounds, α-diketone compounds, polynuclear quinone compounds, xanthone compounds, diazo compounds A compound etc. can be mentioned.
Specifically, a trihalomethyloxazole derivative or s-triazine derivative substituted with a trihalomethyl group described in JP-A No. 2001-117230, a trihalomethyl-s-triazine compound described in US Pat. No. 4,239,850, Trihalomethyl group-containing compounds such as the trihalomethyloxadiazole compounds described in US Pat. No. 4,221,976;

9−フェニルアクリジン、9−ピリジルアクリジン、9−ピラジニルアクリジン、1,2−ビス(9−アクリジニル)エタン、1,3−ビス(9−アクリジニル)プロパン、1,4−ビス(9−アクリジニル)ブタン、1,5−ビス(9−アクリジニル)ペンタン、1,6−ビス(9−アクリジニル)ヘキサン、1,7−ビス(9−アクリジニル)ヘプタン、1,8−ビス(9−アクリジニル)オクタン、1,9−ビス(9−アクリジニル)ノナン、1,1,0−ビス(9−アクリジニル)デカン、1,1,1−ビス(9−アクリジニル)ウンデカン、1,1,2−ビス(9−アクリジニル)ドデカン等のビス(9−アクリジニル)アルカン、などのアクリジン系化合物;   9-phenylacridine, 9-pyridylacridine, 9-pyrazinylacridine, 1,2-bis (9-acridinyl) ethane, 1,3-bis (9-acridinyl) propane, 1,4-bis (9-acridinyl) ) Butane, 1,5-bis (9-acridinyl) pentane, 1,6-bis (9-acridinyl) hexane, 1,7-bis (9-acridinyl) heptane, 1,8-bis (9-acridinyl) octane 1,9-bis (9-acridinyl) nonane, 1,1,0-bis (9-acridinyl) decane, 1,1,1-bis (9-acridinyl) undecane, 1,1,2-bis (9 Acridine compounds such as bis (9-acridinyl) alkanes such as -acridinyl) dodecane;

6−(p−メトキシフェニル)−2,4−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、6−〔p−(N,N−ビス(エトキシカルボニルメチル)アミノ)フェニル〕−2,4−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジンなどのトリアジン系化合物;
その他、9,10−ジメチルベンズフェナジン、ミヒラーズケトン、ベンゾフェノン/ミヒラーズケトン、ヘキサアリールビイミダゾール/メルカプトベンズイミダゾール、ベンジルジメチルケタール、チオキサントン/アミン、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールなどが挙げられる。
6- (p-methoxyphenyl) -2,4-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 6- [p- (N, N-bis (ethoxycarbonylmethyl) amino) phenyl] -2,4-bis ( Triazine compounds such as trichloromethyl) -s-triazine;
In addition, 9,10-dimethylbenzphenazine, Michler's ketone, benzophenone / Michler's ketone, hexaarylbiimidazole / mercaptobenzimidazole, benzyldimethyl ketal, thioxanthone / amine, 2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 Examples include ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole.

上記のうち、トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物から選択される少なくとも一種が好ましく、特に、トリハロメチル基含有化合物及びアクリジン系化合物から選択される少なくとも一種を含有することが好ましい。トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物は、汎用性でかつ安価である点でも有用である。   Among the above, at least one selected from a trihalomethyl group-containing compound, an acridine compound, an acetophenone compound, a biimidazole compound, and a triazine compound is preferable, and particularly selected from a trihalomethyl group-containing compound and an acridine compound. It is preferable to contain at least one kind. Trihalomethyl group-containing compounds and acridine compounds are also useful in that they are versatile and inexpensive.

特に好ましいのは、トリハロメチル基含有化合物としては、2−トリクロロメチル−5−(p−スチリルスチリル)−1,3,4−オキサジアゾールであり、アクリジン系化合物としては、9−フェニルアクリジンであり、更に、6−〔p−(N,N−ビス(エトキシカルボニルメチル)アミノ)フェニル〕−2,4−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−ブトキシスチリル)−5−トリクロロメチル−1,3,4−オキサジアゾールなどのトリハロメチル基含有化合物、及びミヒラーズケトン、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールである。   Particularly preferred as the trihalomethyl group-containing compound is 2-trichloromethyl-5- (p-styrylstyryl) -1,3,4-oxadiazole, and as the acridine compound, 9-phenylacridine is preferred. Further, 6- [p- (N, N-bis (ethoxycarbonylmethyl) amino) phenyl] -2,4-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-butoxystyryl) -5 Trihalomethyl group-containing compounds such as trichloromethyl-1,3,4-oxadiazole, and Michler's ketone, 2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl- 1,2'-biimidazole.

前記光重合開始剤は、単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。前記光重合開始剤の感光性樹脂組成物における総量としては、感光性樹脂組成物の全固形分(質量)の0.1〜20質量%が好ましく、0.5〜10質量%が特に好ましい。前記総量が、0.1質量%未満であると、組成物の光硬化の効率が低く露光に長時間を要することがあり、20質量%を超えると、現像する際に、形成された画像パターンが欠落したり、パターン表面に荒れが生じやすくなることがある。   The said photoinitiator may be used independently and may use 2 or more types together. As a total amount in the photosensitive resin composition of the said photoinitiator, 0.1-20 mass% of the total solid (mass) of the photosensitive resin composition is preferable, and 0.5-10 mass% is especially preferable. When the total amount is less than 0.1% by mass, the photocuring efficiency of the composition is low and exposure may take a long time. When it exceeds 20% by mass, an image pattern formed during development is formed. May be lost or the pattern surface may be rough.

前記光重合開始剤は、水素供与体を併用して構成されてもよい。該水素供与体としては、感度をより良化することができる点で、以下で定義するメルカプタン系化合物、アミン系化合物等が好ましい。ここでの「水素供与体」とは、露光により前記光重合開始剤から発生したラジカルに対して、水素原子を供与することができる化合物をいう。
前記メルカプタン系化合物は、ベンゼン環或いは複素環を母核とし、該母核に直接結合したメルカプト基を1個以上、好ましくは1〜3個、更に好ましくは1〜2個有する化合物(以下、「メルカプタン系水素供与体」という)である。また、前記アミン系化合物は、ベンゼン環或いは複素環を母核とし、該母核に直接結合したアミノ基を1個以上、好ましくは1〜3個、更に好ましくは1〜2個有する化合物(以下、「アミン系水素供与体」という)である。尚、これらの水素供与体は、メルカプト基とアミノ基とを同時に有していてもよい。
The photopolymerization initiator may be configured using a hydrogen donor in combination. The hydrogen donor is preferably a mercaptan compound or an amine compound as defined below from the viewpoint that sensitivity can be further improved. The “hydrogen donor” herein refers to a compound that can donate a hydrogen atom to a radical generated from the photopolymerization initiator by exposure.
The mercaptan-based compound is a compound having a benzene ring or a heterocyclic ring as a mother nucleus and having one or more, preferably 1 to 3, more preferably 1 to 2, mercapto groups directly bonded to the mother nucleus (hereinafter referred to as “ A mercaptan-based hydrogen donor). The amine compound is a compound having a benzene ring or a heterocyclic ring as a mother nucleus and having 1 or more, preferably 1 to 3, more preferably 1 to 2 amino groups directly bonded to the mother nucleus (hereinafter referred to as “the amine compound”). , Referred to as “amine-based hydrogen donor”). These hydrogen donors may have a mercapto group and an amino group at the same time.

上記のメルカプタン系水素供与体の具体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2,5−ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾール、2−メルカプト−2,5−ジメチルアミノピリジン、等が挙げられる。これらのうち、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾールが好ましく、特に2−メルカプトベンゾチアゾールが好ましい。
上記のアミン系水素供与体の具体例としては、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチルアミノプロピオフェノン、エチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、4−ジメチルアミノ安息香酸、4−ジメチルアミノベンゾニトリル等が挙げられる。これらのうち、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましく、特に4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。
Specific examples of the mercaptan hydrogen donor include 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzoimidazole, 2,5-dimercapto-1,3,4-thiadiazole, 2-mercapto-2. , 5-dimethylaminopyridine, and the like. Of these, 2-mercaptobenzothiazole and 2-mercaptobenzoxazole are preferable, and 2-mercaptobenzothiazole is particularly preferable.
Specific examples of the amine-based hydrogen donor include 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4-diethylaminoacetophenone, 4-dimethylaminopropiophenone, ethyl. Examples include -4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethylaminobenzoic acid, 4-dimethylaminobenzonitrile and the like. Of these, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone and 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone are preferable, and 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone is particularly preferable.

前記水素供与体は、単独で又は2種以上を混合して使用することができ、形成された画像が現像時に永久支持体上から脱落し難く、かつ強度及び感度も向上させ得る点で、1種以上のメルカプタン系水素供与体と1種以上のアミン系水素供与体とを組合せて使用することが好ましい。   The hydrogen donor can be used alone or in admixture of two or more, and the formed image is less likely to fall off from the permanent support during development, and can be improved in strength and sensitivity. It is preferable to use a combination of one or more mercaptan hydrogen donors and one or more amine hydrogen donors.

前記メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との組合せの具体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等が挙げられる。より好ましい組合せは、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンであり、特に好ましい組合せは、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンである。   Specific examples of the combination of the mercaptan hydrogen donor and the amine hydrogen donor include 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-. Examples thereof include bis (diethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone. More preferred combinations are 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone and 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, and a particularly preferred combination is 2-mercaptobenzobenzone. Thiazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone.

前記メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体とを組合せた場合の、メルカプタン系水素供与体(M)とアミン系水素供与体(A)との質量比(M:A)は、通常1:1〜1:4が好ましく、1:1〜1:3がより好ましい。前記水素供与体の感光性樹脂組成物における総量としては、感光性樹脂組成物の全固形分(質量)の0.1〜20質量%が好ましく、0.5〜10質量%が特に好ましい。   When the mercaptan hydrogen donor and the amine hydrogen donor are combined, the mass ratio (M: A) of the mercaptan hydrogen donor (M) to the amine hydrogen donor (A) is usually 1: 1-1: 4 is preferable, and 1: 1-1: 3 is more preferable. As a total amount in the photosensitive resin composition of the said hydrogen donor, 0.1-20 mass% of the total solid (mass) of the photosensitive resin composition is preferable, and 0.5-10 mass% is especially preferable.

(モノマー)
感光性樹脂組成物に用いる多官能性モノマーとしては、下記化合物を単独で又は他のモノマーと組合わせて使用することが好ましい。具体的には、t−ブチル(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、2−エチル−2−ブチル−プロパンジオールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ポリオキシエチル化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリス(2−(メタ)アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、1,4−ジイソプロペニルベンゼン、1,4−ジヒドロキシベンゼンジ(メタ)アクリレート、デカメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、スチレン、ジアリルフマレート、トリメリット酸トリアリル、ラウリル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド、キシリレンビス(メタ)アクリルアミド等が挙げられる。
(monomer)
As the polyfunctional monomer used in the photosensitive resin composition, the following compounds are preferably used alone or in combination with other monomers. Specifically, t-butyl (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, 2- Ethyl-2-butyl-propanediol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, polyoxy Ethylated trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tris (2- (meth) acryloyloxyethyl) isocyanurate, 1,4-diisopropenylbenzene, 1,4-dihydroxy Nzenji (meth) acrylate, decamethylene glycol di (meth) acrylate, styrene, diallyl fumarate, triallyl trimellitate, lauryl (meth) acrylate, (meth) acrylamide, xylylenebis (meth) acrylamide.

また、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート等のヒドロキシル基を有する化合物とヘキサメチレンジイソシアネート、トルエンジイソシアネート、キシレンジイソシアネート等のジイソシアネートとの反応物も使用できる。
これらのうち、特に好ましいのは、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、トリス(2−アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレートである。
Moreover, reaction of a compound having a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, and polyethylene glycol mono (meth) acrylate with a diisocyanate such as hexamethylene diisocyanate, toluene diisocyanate, and xylene diisocyanate. Things can also be used.
Of these, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, and tris (2-acryloyloxyethyl) isocyanurate are particularly preferable.

多官能性モノマーの感光性樹脂組成物における含有量としては、感光性樹脂組成物の全固形分(質量)に対して、5〜80質量%が好ましく、10〜70質量%が特に好ましい。前記含有量が、5質量%未満であると、組成物の露光部でのアルカリ現像液への耐性が劣ることがあり、80質量%を越えると、感光性樹脂組成物とした時のタッキネスが増加してしまい、取扱い性に劣ることがある。   As content in the photosensitive resin composition of a polyfunctional monomer, 5-80 mass% is preferable with respect to the total solid (mass) of the photosensitive resin composition, and 10-70 mass% is especially preferable. When the content is less than 5% by mass, the resistance to an alkaline developer at the exposed portion of the composition may be inferior, and when it exceeds 80% by mass, the tackiness when a photosensitive resin composition is obtained. It may increase and may be inferior in handleability.

(溶剤)
本発明の感光性樹脂組成物においては、上記成分の他に、更に有機溶媒を用いてもよい。有機溶媒の例としては、メチルエチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、シクロヘキサノール、メチルイソブチルケトン、乳酸エチル、乳酸メチル、カプロラクタム等を挙げることができる。
(solvent)
In the photosensitive resin composition of the present invention, an organic solvent may be further used in addition to the above components. Examples of the organic solvent include methyl ethyl ketone, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, cyclohexanone, cyclohexanol, methyl isobutyl ketone, ethyl lactate, methyl lactate, caprolactam and the like.

(界面活性剤)
本発明における濃色離画壁を形成するにあたっては、後述するスリット状ノズル等を用いることにより、感光性樹脂組成物を基板、又は感光性転写材料における仮支持体に塗布することができるが、該感光性樹脂組成物中に適切な界面活性剤を含有させることにより、均一な膜厚に制御でき、塗布ムラを効果的に防止することができる。
上記界面活性剤としては、特開2003−337424号公報、特開平11−133600号公報に開示されている界面活性剤が、好適なものとして挙げられる。
尚、感光性樹脂組成物の全固形分に対する界面活性剤の含有量は、0.001〜1%が一般的であり、0.01〜0.5%が好ましく、0.03〜0.3%が特に好ましい。
(Surfactant)
In forming the dark color separation wall in the present invention, the photosensitive resin composition can be applied to a temporary support in a substrate or a photosensitive transfer material by using a slit-like nozzle described later, By containing an appropriate surfactant in the photosensitive resin composition, it is possible to control the film thickness to be uniform and effectively prevent coating unevenness.
Preferred examples of the surfactant include surfactants disclosed in JP-A Nos. 2003-337424 and 11-133600.
The surfactant content relative to the total solid content of the photosensitive resin composition is generally 0.001 to 1%, preferably 0.01 to 0.5%, and preferably 0.03 to 0.3. % Is particularly preferred.

(紫外線吸収剤)
本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤としては、特開平5−72724号公報記載の化合物の他、サリシレート系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、シアノアクリレート系、ニッケルキレート系、ヒンダードアミン系などが挙げられる。
具体的には、フェニルサリシレート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、2,4−ジ−t−ブチルフェニル−3’,5’−ジ−t−4’−ヒドロキシベンゾエート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、2,4−ジヒドロキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−n−オクトキシベンゾフェノン、2−(2’−ヒドロキシ−5’−メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−3’−t−ブチル−5’−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、エチル−2−シアノ−3,3−ジ−フェニルアクリレート、2,2’−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、ニッケルジブチルジチオカーバメート、ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピリジン)−セバケート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、サルチル酸フェニル、4−ヒドロキシ−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン縮合物、コハク酸−ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリデニル)−エステル、2−[2−ヒドロキシ−3,5−ビス(α,α−ジメチルベンジル)フェニル]−2H−ベンゾトリアゾール、7−{[4−クロロ−6−(ジエチルアミノ)−5−トリアジン−2−イル]アミノ}−3−フェニルクマリン等が挙げられる。
尚、感光性樹脂組成物の全固形分に対する紫外線吸収剤の含有量は、0.5〜15%が一般的であり、1〜12%が好ましく、1.2〜10%が特に好ましい。
(UV absorber)
The photosensitive resin composition of the present invention can contain an ultraviolet absorber as necessary. Examples of the ultraviolet absorber include salicylate series, benzophenone series, benzotriazole series, cyanoacrylate series, nickel chelate series, hindered amine series and the like in addition to the compounds described in JP-A-5-72724.
Specifically, phenyl salicylate, 4-t-butylphenyl salicylate, 2,4-di-t-butylphenyl-3 ′, 5′-di-t-4′-hydroxybenzoate, 4-t-butylphenyl salicylate 2,4-dihydroxybenzophenone, 2-hydroxy-4-methoxybenzophenone, 2-hydroxy-4-n-octoxybenzophenone, 2- (2′-hydroxy-5′-methylphenyl) benzotriazole, 2- (2 '-Hydroxy-3'-t-butyl-5'-methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole, ethyl-2-cyano-3,3-di-phenyl acrylate, 2,2'-hydroxy-4-methoxybenzophenone , Nickel dibutyldithiocarbamate, bis (2,2,6,6-tetramethyl-4-pyridine) -Sebake 4-t-butylphenyl salicylate, phenyl salicylate, 4-hydroxy-2,2,6,6-tetramethylpiperidine condensate, succinic acid-bis (2,2,6,6-tetramethyl-4- Piperidenyl) -ester, 2- [2-hydroxy-3,5-bis (α, α-dimethylbenzyl) phenyl] -2H-benzotriazole, 7-{[4-chloro-6- (diethylamino) -5-triazine -2-yl] amino} -3-phenylcoumarin and the like.
In addition, as for content of the ultraviolet absorber with respect to the total solid of the photosensitive resin composition, 0.5 to 15% is common, 1 to 12% is preferable, and 1.2 to 10% is especially preferable.

(その他)
−熱重合防止剤−
また、本発明の感光性樹脂組成物は、熱重合防止剤を含むことが好ましい。該熱重合防止剤の例としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2−メルカプトベンズイミダゾール、フェノチアジン等が挙げられる。
尚、感光性樹脂組成物の全固形分に対する熱重合防止剤の含有量は、0.01〜1%が一般的であり、0.02〜0.7%が好ましく、0.05〜0.5%が特に好ましい。
また、本発明の感光性樹脂組成物においては、上記添加剤の他に、特開平11−133600号公報に記載の「接着助剤」や、その他の添加剤等を含有させることができる。
(Other)
-Thermal polymerization inhibitor-
Moreover, it is preferable that the photosensitive resin composition of this invention contains a thermal polymerization inhibitor. Examples of the thermal polymerization inhibitor include hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4′-thiobis (3-methyl). -6-t-butylphenol), 2,2'-methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol), 2-mercaptobenzimidazole, phenothiazine and the like.
The content of the thermal polymerization inhibitor relative to the total solid content of the photosensitive resin composition is generally 0.01 to 1%, preferably 0.02 to 0.7%, and preferably 0.05 to 0.00. 5% is particularly preferred.
Moreover, in the photosensitive resin composition of this invention, the "adhesion adjuvant" described in Unexamined-Japanese-Patent No. 11-133600, other additives, etc. other than the said additive can be contained.

(基板)
光学素子を構成する基板(永久支持体)としては、金属性支持体、金属張り合わせ支持体、ガラス、セラミック、合成樹脂フィルム等を使用することができる。特に好ましくは、透明性で寸度安定性の良好なガラスや合成樹脂フィルムが挙げられる。
(substrate)
As the substrate (permanent support) constituting the optical element, a metallic support, a metal bonded support, glass, ceramic, synthetic resin film, or the like can be used. Particularly preferred are transparent glass and synthetic resin film having good dimensional stability.

(濃色離画壁の形成)
本発明における濃色離画壁は、上記感光性樹脂組成物を用いて形成される。即ち、(1)該濃色離画壁は、着色剤を含有する感光性樹脂組成物を基板に塗布乾燥した後、該基板上に形成された濃色感光性樹脂層を、貧酸素雰囲気下で露光し現像して形成する。
また、該濃色離画壁は、その他の方法によっても得ることができる。その他の方法としては、(2)前記感光性樹脂組成物により仮支持体上に形成された濃色感光性転写層(濃色感光性樹脂層)を有する感光性転写材料を前記基板上に転写した後、前記と同様に貧酸素雰囲気下で露光し現像して、濃色離画壁を形成することができる。
(Formation of dark color separation wall)
The dark color separation wall in the present invention is formed using the photosensitive resin composition. That is, (1) the dark color separation wall is formed by applying a photosensitive resin composition containing a colorant to a substrate and drying it, and then subjecting the dark color photosensitive resin layer formed on the substrate to a poor oxygen atmosphere. To be exposed and developed.
The dark color separation wall can also be obtained by other methods. Other methods include (2) transferring a photosensitive transfer material having a dark photosensitive transfer layer (dark photosensitive resin layer) formed on a temporary support by the photosensitive resin composition onto the substrate. After that, exposure and development are performed in an oxygen-poor atmosphere in the same manner as described above to form a dark color separation image wall.

尚、前記濃色離画壁は一般には黒であることが多いが、黒に限定されるものではない。
ここで、本発明における黒色とは、無彩色点(x=0.333,y=0.333)からの色度のズレがΔEで30以内である色のことをさし、実際の測定は、本発明の濃色離画壁を形成する材料を用い、透明基板上に、本発明の濃色離画壁形成時と同じ厚みの層を形成し、パターン状に露光しない以外は本発明の濃色離画壁と同様の工程を経て、測定用のサンプルを得、これを測定する。
色度の測定は、C光源にて行い、このサンプルのx、y、Yを算出する。無彩色点からの色度のズレを計算する場合は、無彩色点のYがサンプルのY値と等しいとして計算する。より好ましくは15以内、最も好ましくは10以内である。色差ΔEが30を越えると、濃色離画壁がブラックマトリックスとして機能する際、光漏れが生じて好ましくない。また、色差ΔEに下限はなく、小さいほど好ましく、液晶表示装置の製造可能な範囲であれば好ましい。
The dark color separation wall is generally black in many cases, but is not limited to black.
Here, black in the present invention refers to a color in which the chromaticity deviation from the achromatic color point (x = 0.333, y = 0.333) is ΔE within 30, and the actual measurement is Using the material for forming the dark color separation wall of the present invention, a layer having the same thickness as that of the dark color separation wall formation of the present invention is formed on the transparent substrate, and the pattern of the present invention is not exposed. A sample for measurement is obtained through the same process as the dark-colored separation wall, and this is measured.
Chromaticity is measured with a C light source, and x, y, and Y of this sample are calculated. When calculating the chromaticity shift from the achromatic color point, the calculation is performed assuming that the Y of the achromatic color point is equal to the Y value of the sample. More preferably, it is within 15 and most preferably within 10. When the color difference ΔE exceeds 30, when the dark color separation wall functions as a black matrix, light leakage occurs, which is not preferable. In addition, the color difference ΔE has no lower limit and is preferably as small as possible, and is preferably within a range in which a liquid crystal display device can be manufactured.

−貧酸素雰囲気−
本発明における感光性樹脂組成物を露光し硬化させる際の前記貧酸素雰囲気下とは、酸素の分圧が0.15気圧以下であることを指しており、これらは詳しくは以下の通りである。
通常、大気(1気圧)下では酸素の分圧は0.21気圧であるので、酸素の分圧を0.15気圧以下に下げるためには、(a)露光時の大気を減圧して0.71気圧以下にするか、(b)空気と酸素以外の気体(例えば、窒素やアルゴン等の不活性ガス)を空気に対して40vol%以上混合することにより達成できる。
本発明における貧酸素雰囲気については、特に限定されず前記いずれの方法も用いることが出来る。
前記酸素分圧は0.15気圧以下とする方法を用いる場合、更に0.10気圧以下が好ましく、0.08気圧以下がより好ましく、0.05気圧以下が特に好ましい。酸素分圧の下限には特に制限はない。真空又は雰囲気を空気以外の気体(例えば窒素)で置換することにより酸素分圧を事実上0にすることができるが、これも好ましい方法である。酸素分圧は酸素計を用いて測定することができる。
-Anoxic atmosphere-
The above-mentioned poor oxygen atmosphere when exposing and curing the photosensitive resin composition in the present invention means that the partial pressure of oxygen is 0.15 atm or less, and these are as follows in detail. .
Normally, the partial pressure of oxygen is 0.21 atm under the atmosphere (1 atm). Therefore, in order to reduce the partial pressure of oxygen to 0.15 atm or less, (a) the atmosphere at the time of exposure is reduced to 0 0.7 b or less, or (b) a gas other than air and oxygen (for example, an inert gas such as nitrogen or argon) is mixed by 40 vol% or more with respect to air.
The poor oxygen atmosphere in the present invention is not particularly limited, and any of the above methods can be used.
When using the method in which the oxygen partial pressure is 0.15 atm or less, it is preferably 0.10 atm or less, more preferably 0.08 atm or less, and particularly preferably 0.05 atm or less. There is no particular limitation on the lower limit of the oxygen partial pressure. By substituting the vacuum or atmosphere with a gas other than air (eg, nitrogen), the oxygen partial pressure can be effectively reduced to zero, which is also a preferred method. The oxygen partial pressure can be measured using an oximeter.

前記不活性ガスとは、N2、H2、CO2、などの一般的な気体や、He、Ne、Arなどの希ガス類をいう。この中でも、安全性や入手の容易さ、コストの問題から、N2が好適に利用される。
前記(a)の方法における減圧の状態は、500hPa以下、更には100hPa以下の状態であることが好ましい。
The inert gas refers to a general gas such as N 2 , H 2 , or CO 2 or a rare gas such as He, Ne, or Ar. Among these, N 2 is preferably used because of safety, availability, and cost.
The reduced pressure in the method (a) is preferably 500 hPa or less, more preferably 100 hPa or less.

前記感光性樹脂層を、貧酸素雰囲気下で露光し濃色離画壁を形成することにより、その濃色離画壁間(濃色離画壁で囲まれた領域)に打滴された液滴は該濃色離画壁を乗り越えにくくなる。そのため、隣接画素との混色などを防いで良好な光学素子を得ることができる。また、露光感度がアップし、露光の時間負荷が減り、生産性が向上するという利点もある。   The photosensitive resin layer is exposed in an oxygen-poor atmosphere to form a dark color separation wall, whereby droplets are ejected between the dark color separation walls (area surrounded by the dark color separation wall). Drops are difficult to get over the dark color separation wall. Therefore, it is possible to obtain a good optical element while preventing color mixing with adjacent pixels. In addition, there is an advantage that exposure sensitivity is increased, exposure time load is reduced, and productivity is improved.

−感光性樹脂組成物を用いた濃色離画壁の形成(塗布法)−
まず、基板を洗浄した後、該基板を熱処理して表面状態を安定化させる。該基板を温調後、前記感光性樹脂組成物を塗布し、感光性樹脂組成物塗膜を形成する。引き続き、溶媒の1部を乾燥して塗布膜の流動性をなくした後、EBR(エッジ・ビード・リムーバー)等にて基板周囲の不要な塗布液を除去し、プリベークして濃色感光性樹脂層を得る。
前記塗布としては、特に限定されず、公知のスリット状ノズルを有するガラス基板用コーター(例えば、エフ・エー・エス・ジャパン社製、商品名:MH−1600)等を用いて行うことができる。
前記乾燥は、公知の乾燥装置(例えば、VCD(真空乾燥装置;東京応化工業社製)等)を用いて行うことができる、
プリベークとしては、特に限定されないが、例えば、120℃3分間することにより達成することができる。
-Formation of dark color separation walls using photosensitive resin composition (coating method)-
First, after cleaning the substrate, the substrate is heat-treated to stabilize the surface state. After temperature-controlling this board | substrate, the said photosensitive resin composition is apply | coated and the photosensitive resin composition coating film is formed. Subsequently, after part of the solvent is dried to eliminate the fluidity of the coating film, unnecessary coating liquid around the substrate is removed by EBR (edge bead remover), etc., and pre-baked to dark-color photosensitive resin. Get a layer.
The application is not particularly limited, and can be performed using a known coater for glass substrates having a slit-like nozzle (for example, product name: MH-1600, manufactured by F.S. Japan).
The drying can be performed using a known drying apparatus (for example, VCD (vacuum drying apparatus; manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.)).
Although it does not specifically limit as prebaking, For example, it can achieve by making 120 degreeC 3 minutes.

続いて、該感光性樹脂層を貧酸素雰囲気下、基板と画像パターンを有するマスク(例えば、石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該感光性樹脂層との間の距離を適宜(例えば、200μm)に設定し露光する。
該露光としては、例えば、超高圧水銀灯を有すプロキシミティー型露光機(例えば、日立電子エンジニアリング株式会社製)等で行い、露光量としては適宜(例えば、300mJ/cm2)選択することができる。
Subsequently, a distance between the exposure mask surface and the photosensitive resin layer in a state where the photosensitive resin layer is placed in a poor oxygen atmosphere and a mask having an image pattern (for example, a quartz exposure mask) stands vertically. Is appropriately set (for example, 200 μm) and exposed.
The exposure is performed, for example, with a proximity type exposure machine (for example, manufactured by Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd.) having an ultra-high pressure mercury lamp, and the exposure amount can be appropriately selected (for example, 300 mJ / cm 2 ). .

次に、現像液で現像してパターニング画像を得、引き続き必要に応じて、水洗処理して濃色離画壁を得る。
前記現像の前には、純水をシャワーノズル等にて噴霧して、該感光性樹脂層の表面を均一に湿らせることが好ましい。前記現像処理に用いる現像液としては、アルカリ性物質の希薄水溶液が用いられるが、更に水と混和性の有機溶剤を少量添加したものでもよい。
光照射に用いる光源としては、中圧〜超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドランプ等が挙げられる。
Next, it develops with a developing solution, a patterning image is obtained, and if necessary, it wash-processes and obtains a deep color separation wall.
Prior to the development, it is preferable to spray pure water with a shower nozzle or the like to uniformly wet the surface of the photosensitive resin layer. As the developer used in the development process, a dilute aqueous solution of an alkaline substance is used, but it may be further added with a small amount of an organic solvent miscible with water.
Examples of the light source used for the light irradiation include medium to ultrahigh pressure mercury lamps, xenon lamps, metal halide lamps, and the like.

−感光性転写材料を用いた濃色離画壁の形成−
仮支持体上に、感光性樹脂層、更に該層上に保護フイルムが設けられた感光性転写材料を用意する。また必要により、仮支持体と感光性樹脂層との間に熱可塑性樹脂層を設けてもよい。
まず、保護フイルムを剥離除去した後、露出した感光性樹脂層の表面を永久支持体(基板)上に貼り合わせ、ラミネータ等を通して加熱、加圧して積層する(積層体)。ラミネータには、従来公知のラミネーター、真空ラミネーター等の中から適宜選択したものが使用でき、より生産性を高めるには、オートカットラミネーターも使用可能である。
-Formation of dark color separation walls using photosensitive transfer material-
A photosensitive transfer material provided with a photosensitive resin layer on a temporary support and a protective film on the layer is prepared. If necessary, a thermoplastic resin layer may be provided between the temporary support and the photosensitive resin layer.
First, after removing and removing the protective film, the exposed surface of the photosensitive resin layer is bonded onto a permanent support (substrate), and laminated by heating and pressurizing through a laminator or the like (laminate). As the laminator, those appropriately selected from conventionally known laminators, vacuum laminators and the like can be used, and an auto-cut laminator can also be used in order to further increase the productivity.

次いで、仮支持体と感光性樹脂層との間(熱可塑性樹脂層を設けている場合には仮支持体と該熱可塑性樹脂層との間でもよい)で剥離し、仮支持体を除去する。続いて、仮支持体除去後の除去面の上方に所望のフォトマスクを配置し、貧酸素雰囲気下にて光源より露光し、露光後所定の処理液を用いて現像処理して、パターニング画像を得て、引き続き必要に応じて、水洗処理して、濃色離画壁を得る。
現像処理に用いる現像液及び露光に用いる光源は、前記塗布法を用いた形成における現像液及び光源が同様に用いられる。
Next, peeling is performed between the temporary support and the photosensitive resin layer (in the case where a thermoplastic resin layer is provided, it may be between the temporary support and the thermoplastic resin layer), and the temporary support is removed. . Subsequently, a desired photomask is disposed above the removal surface after removal of the temporary support, exposed from a light source in an oxygen-poor atmosphere, and developed using a predetermined processing solution after exposure to form a patterning image. Then, if necessary, it is washed with water to obtain a dark color separation wall.
As the developer used for the development process and the light source used for the exposure, the developer and the light source in the formation using the coating method are similarly used.

前記感光性樹脂組成物による塗布法及び後述感光性転写材料を用いた方法におけるアルカリ性物質としては、アルカリ金属水酸化物類(例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム)、アルカリ金属炭酸塩類(例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム)、アルカリ金属重炭酸塩類(例えば、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム)、アルカリ金属ケイ酸塩類(例えば、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム)、アルカリ金属メタケイ酸塩類(例えば、メタケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム)、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、モルホリン、テトラアルキルアンモンニウムヒドロキシド類(例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド)、燐酸三ナトリウム、等が挙げられる。アルカリ性物質の濃度は、0.01〜30質量%が好ましく、pHは8〜14が好ましい。   Examples of the alkaline substance in the coating method using the photosensitive resin composition and the method using the photosensitive transfer material described below include alkali metal hydroxides (for example, sodium hydroxide, potassium hydroxide), alkali metal carbonates (for example, Sodium carbonate, potassium carbonate), alkali metal bicarbonates (eg, sodium bicarbonate, potassium bicarbonate), alkali metal silicates (eg, sodium silicate, potassium silicate), alkali metal metasilicates (eg, metasilicate) Acid sodium, potassium metasilicate), triethanolamine, diethanolamine, monoethanolamine, morpholine, tetraalkylammonium hydroxides (for example, tetramethylammonium hydroxide), trisodium phosphate, and the like. The concentration of the alkaline substance is preferably 0.01 to 30% by mass, and the pH is preferably 8 to 14.

前記「水と混和性の有機溶剤」としては、例えば、メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノn−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、N−メチルピロリドン等が好適に挙げられる。水と混和性の有機溶剤の濃度は0.1〜30質量%が好ましい。更に、公知の界面活性剤を添加することもでき、該界面活性剤の濃度としては0.01〜10質量%が好ましい。   Examples of the “water-miscible organic solvent” include, for example, methanol, ethanol, 2-propanol, 1-propanol, butanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono n-butyl ether. Benzyl alcohol, acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ε-caprolactone, γ-butyrolactone, dimethylformamide, dimethylacetamide, hexamethylphosphoramide, ethyl lactate, methyl lactate, ε-caprolactam, N-methylpyrrolidone and the like are preferable. . The concentration of the organic solvent miscible with water is preferably 0.1 to 30% by mass. Furthermore, a known surfactant can be added, and the concentration of the surfactant is preferably 0.01 to 10% by mass.

前記現像液は、浴液としても、あるいは噴霧液としても用いることができる。感光性樹脂層の未硬化部分を除去する場合、現像液中で回転ブラシや湿潤スポンジで擦るなどの方法を組合わせることができる。現像液の液温度は、通常室温付近から40℃が好ましい。現像時間は、感光性樹脂層の組成、現像液のアルカリ性や温度、有機溶剤を添加する場合にはその種類と濃度、等に依るが、通常10秒〜2分程度である。短すぎると非露光部の現像が不充分となると同時に露光時の吸光度も不充分となることがあり、長すぎると露光部もエッチングされることがある。いずれの場合にも、濃色離画壁形状を好適なものとすることが困難となる。この現像工程にて、濃色離画壁形状は前述のごとく形成される。   The developer can be used as a bath solution or a spray solution. When removing the uncured portion of the photosensitive resin layer, methods such as rubbing with a rotating brush or a wet sponge in the developer can be combined. The liquid temperature of the developer is usually preferably from about room temperature to 40 ° C. The development time is usually about 10 seconds to 2 minutes, depending on the composition of the photosensitive resin layer, the alkalinity and temperature of the developer, and the type and concentration when an organic solvent is added. If it is too short, the development of the non-exposed area may be insufficient, and the absorbance at the time of exposure may be insufficient. If it is too long, the exposed area may be etched. In either case, it is difficult to make the dark color separation wall shape suitable. In this development step, the dark color separation wall shape is formed as described above.

尚、上記より得られる濃色離画壁の高さとしては、1.8μm以上10μm以下であることが好ましく、より好ましくは1.9μm以上10μm以下であり、更に好ましくは20μm以上7μm以下であり、特に好ましくは2.2μm以上5μm以下である。高さを1.8μm以上とすることで、より効果的に混色を防止することができる。尚、10μmを越えると、濃色離画壁の形成が難しくなる懸念がある。   The height of the dark color separation wall obtained from the above is preferably 1.8 μm or more and 10 μm or less, more preferably 1.9 μm or more and 10 μm or less, and further preferably 20 μm or more and 7 μm or less. Particularly preferably, it is 2.2 μm or more and 5 μm or less. By setting the height to 1.8 μm or more, color mixing can be more effectively prevented. If it exceeds 10 μm, it may be difficult to form a dark color separation wall.

−感光性転写材料の製造−
ここで、上記感光性転写材料の製造について説明する。
上記の感光性転写材料における仮支持体としては、化学的及び熱的に安定であって、可撓性の物質で構成されるものから適宜選択することができる。具体的には、テフロン(登録商標)、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン等、薄いシート若しくはこれらの積層体が好ましい。前記仮支持体の厚みとしては、5〜300μmが適当であり、好ましくは20〜150μmである。中でも2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。
-Manufacture of photosensitive transfer materials-
Here, the production of the photosensitive transfer material will be described.
The temporary support in the above photosensitive transfer material can be appropriately selected from those that are chemically and thermally stable and composed of a flexible substance. Specifically, a thin sheet such as Teflon (registered trademark), polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene, polypropylene, or a laminate thereof is preferable. As thickness of the said temporary support body, 5-300 micrometers is suitable, Preferably it is 20-150 micrometers. Among them, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film is particularly preferable.

上記の感光性転写材料における濃色感光性樹脂層は、前記感光性樹脂組成物から形成され、その形状等の特性、形成方法等については、前記塗布法により形成された層と同様であり、好ましい態様も同様である。   The dark color photosensitive resin layer in the photosensitive transfer material is formed from the photosensitive resin composition, and the characteristics such as the shape, the formation method, and the like are the same as the layer formed by the coating method, The preferred embodiment is also the same.

更に、上記の感光性転写材料は、必要に応じて熱可塑性樹脂層を有していてもよい。かかる熱可塑性樹脂層とは、アルカリ可溶性であって、少なくとも樹脂成分を含んで構成され、該樹脂成分としては、実質的な軟化点が80℃以下であることが好ましい。このような熱可塑性樹脂層が設けられることにより、前述の濃色離画壁形成方法において、永久支持体との良好な密着性を発揮することができる。
軟化点が80℃以下のアルカリ可溶性の熱可塑性樹脂としては、エチレンとアクリル酸エステル共重合体のケン化物、スチレンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ビニルトルエンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の(メタ)アクリル酸エステル共重合体などのケン化物、等が挙げられる。
熱可塑性樹脂層には、上記の熱可塑性樹脂の少なくとも一種を適宜選択して用いることができ、更に「プラスチック性能便覧」(日本プラスチック工業連盟、全日本プラスチック成形工業連合会編著、工業調査会発行、1968年10月25日発行)による、軟化点が約80℃以下の有機高分子のうちアルカリ水溶液に可溶なものを使用することができる。
また、軟化点が80℃以上の有機高分子物質についても、その有機高分子物質中に該高分子物質と相溶性のある各種可塑剤を添加することで、実質的な軟化点を80℃以下に下げて用いることもできる。また、これらの有機高分子物質には、仮支持体との接着力を調節する目的で、実質的な軟化点が80℃を越えない範囲で、各種ポリマーや過冷却物質、密着改良剤或いは界面活性剤、離型剤、等を加えることもできる。
好ましい可塑剤の具体例としては、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ジオクチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェニルフォスフェートビフェニルジフェニルフォスフェートを挙げることができる。
尚、熱可塑性樹脂層の好ましい膜厚は2〜30μmである。
Further, the photosensitive transfer material may have a thermoplastic resin layer as necessary. Such a thermoplastic resin layer is alkali-soluble and includes at least a resin component, and the resin component preferably has a substantial softening point of 80 ° C. or less. By providing such a thermoplastic resin layer, it is possible to exhibit good adhesion to the permanent support in the above-described dark color separation wall forming method.
Examples of alkali-soluble thermoplastic resins having a softening point of 80 ° C. or lower include saponified products of ethylene and acrylate copolymers, saponified products of styrene and (meth) acrylate copolymers, vinyltoluene and (meth) acrylic. Examples thereof include saponification products of acid ester copolymers, saponification products such as poly (meth) acrylic acid esters, and (meth) acrylic acid ester copolymers such as butyl (meth) acrylate and vinyl acetate.
For the thermoplastic resin layer, at least one of the above-mentioned thermoplastic resins can be appropriately selected and used. Further, “Plastic Performance Handbook” (edited by the Japan Plastics Industry Federation, All Japan Plastics Molding Industry Federation, published by the Industrial Research Council, Of those organic polymers having a softening point of about 80 ° C. or lower, issued on October 25, 1968), those soluble in an alkaline aqueous solution can be used.
In addition, for an organic polymer substance having a softening point of 80 ° C. or higher, by adding various plasticizers compatible with the polymer substance to the organic polymer substance, the substantial softening point is 80 ° C. or lower. It can also be used by lowering. In addition, these organic polymer substances include various polymers, supercooling substances, adhesion improvers or interfaces within the range where the substantial softening point does not exceed 80 ° C. for the purpose of adjusting the adhesive force with the temporary support. Activators, mold release agents, etc. can also be added.
Specific examples of preferable plasticizers include polypropylene glycol, polyethylene glycol, dioctyl phthalate, diheptyl phthalate, dibutyl phthalate, tricresyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate biphenyl diphenyl phosphate.
In addition, the preferable film thickness of a thermoplastic resin layer is 2-30 micrometers.

感光性樹脂層の上には、貯蔵の際の汚染や損傷から保護するために薄い保護フイルムを設けることが好ましい。保護フイルムは仮支持体と同じか又は類似の材料からなってもよいが、感光性樹脂層から容易に分離されねばならない。保護フイルム材料としては例えばシリコーン紙、ポリオレフィン若しくはポリテトラフルオロエチレンシートが適当である。尚、保護フイルムの厚さは、4〜40μmが一般的であり、5〜30μmが好ましく、10〜25μmが特に好ましい。   It is preferable to provide a thin protective film on the photosensitive resin layer in order to protect it from contamination and damage during storage. The protective film may be made of the same or similar material as the temporary support, but it must be easily separated from the photosensitive resin layer. For example, silicone paper, polyolefin or polytetrafluoroethylene sheet is suitable as the protective film material. The thickness of the protective film is generally 4 to 40 μm, preferably 5 to 30 μm, and particularly preferably 10 to 25 μm.

本発明における感光性転写材料は、上記仮支持体上に熱可塑性樹脂層の添加剤を溶解した塗布液(熱可塑性樹脂層用塗布液)を塗布し、乾燥することにより熱可塑性樹脂層を設け、その後熱可塑性樹脂層上に濃色感光性樹脂層用塗布液を、熱可塑性樹脂層を溶解しない溶剤で塗布、乾燥して設ける等の方法により作製することができる。
また、前記の仮支持体上に熱可塑性樹脂層を設けたシート、及び保護フイルム上に感光性樹脂層を設けたシートを用意し、熱可塑性樹脂層と濃色感光性樹脂層が接するように相互に貼り合わせることによっても作製することができる。
尚、上記作製方法における塗布は、公知の塗布装置等によって行うことができるが、本発明においては、スリット状ノズルを用いた塗布装置(スリットコータ)によって行うことが好ましい。
In the photosensitive transfer material of the present invention, a thermoplastic resin layer is provided by applying a coating solution (a coating solution for a thermoplastic resin layer) in which the additive for the thermoplastic resin layer is dissolved on the temporary support, and drying. Then, the coating solution for the dark color photosensitive resin layer can be prepared on the thermoplastic resin layer by a method such as coating with a solvent that does not dissolve the thermoplastic resin layer and drying.
In addition, a sheet provided with a thermoplastic resin layer on the temporary support and a sheet provided with a photosensitive resin layer on a protective film are prepared so that the thermoplastic resin layer and the dark photosensitive resin layer are in contact with each other. It can also be produced by sticking together.
In addition, although application | coating in the said preparation method can be performed with a well-known coating apparatus etc., in this invention, it is preferable to perform with the coating apparatus (slit coater) using a slit-shaped nozzle.

(プラズマ撥水化処理)
前述の方法により濃色離画壁を形成した基板には、「混色」を防ぐ手段として、プラズマによる撥水化処理をすることが好ましい。プラズマ処理撥水化処理工程で導入するガスとしては、少なくともフッ素原子を含むガス、好ましくは、CF4、SF6、CHF3、C26、C38、C58から選択される少なくとも1種のハロゲンガス、或いは、CF4、SF6、CHF3、C26、C38、C58から選択される少なくとも1種のハロゲンガスとO2ガスとの混合ガスであり、O2の混合比率が30%以下であるガスを用いるものである。
(Plasma water repellent treatment)
The substrate on which the dark color separation wall is formed by the above-described method is preferably subjected to water repellency treatment using plasma as a means for preventing “color mixing”. The gas introduced in the plasma treatment water repellent treatment step is a gas containing at least fluorine atoms, preferably selected from CF 4 , SF 6 , CHF 3 , C 2 F 6 , C 3 F 8 , and C 5 F 8. A mixture of at least one halogen gas selected from CF 4 , SF 6 , CHF 3 , C 2 F 6 , C 3 F 8 and C 5 F 8 and O 2 gas A gas having a O 2 mixing ratio of 30% or less is used.

<各画素の形成>
本発明の光学素子における画素は、前述の様にして濃色離画壁を形成した基板に、着色液体組成物による液滴を前記濃色離画壁間に侵入させて形成させることを特徴とする。
即ち、前記現像工程にて基板上に形成された濃色離画壁間(濃色離画壁で囲まれた領域)に対し、画素(例えば、RGB各画素)を形成する為の着色液体組成物をその空隙に侵入させて複数の画素を形成する。
この着色液体組成物を濃色離画壁間に侵入させる方法としては、インクジェット法やストライプギーサー塗布法など公知のものを使用することができ、インクジェット法がコスト的に好ましい。また、このように各画素を形成する前に、濃色離画壁の形状を固定化してもよく、その手段は特に限定されないが以下のようなものが挙げられる。すなわち、1)現像後、再露光を行う(ポスト露光と呼ぶことがある)、2)現像後、比較的低い温度で加熱処理を行う等である。ここで言う加熱処理とは濃色離画壁を有する基板を電気炉、乾燥器等の中で加熱する、あるいは赤外線ランプを照射するということをさす。
<Formation of each pixel>
The pixel in the optical element of the present invention is characterized in that droplets made of a colored liquid composition are formed between the dark color separation walls on the substrate on which the dark color separation walls are formed as described above. To do.
That is, a colored liquid composition for forming pixels (for example, RGB pixels) between dark color separation walls (regions surrounded by dark color separation walls) formed on the substrate in the development step. A plurality of pixels are formed by allowing an object to enter the gap.
As a method for allowing the colored liquid composition to enter between the deep color separation walls, a known method such as an ink jet method or a stripe Geyser coating method can be used, and the ink jet method is preferable in terms of cost. In addition, before forming each pixel in this way, the shape of the dark color separation wall may be fixed, and the means is not particularly limited, but includes the following. That is, 1) re-exposure after development (sometimes referred to as post-exposure), and 2) heat treatment at a relatively low temperature after development. The heat treatment here refers to heating a substrate having a dark color separation wall in an electric furnace, a dryer or the like, or irradiating an infrared lamp.

ここで、上記1)を行う場合の露光量は、大気下であれば500〜3000mJ/cm2、好ましくは1000〜2000mJ/cm2である。また、同じく2)を行う場合の加熱温度は50〜120℃、好ましくは70〜100℃程度であり、その加熱時間は、10〜40分程度である。温度が50℃より低い場合には濃色離画壁の硬化が進まない懸念があり、120℃より大きい場合には濃色離画壁形状が崩れてしまう懸念がある。 Here, the exposure amount in the case of performing 1) above, if the atmosphere 500~3000mJ / cm 2, preferably 1000~2000mJ / cm 2. Similarly, the heating temperature in the case of 2) is 50 to 120 ° C., preferably about 70 to 100 ° C., and the heating time is about 10 to 40 minutes. When the temperature is lower than 50 ° C., there is a concern that the dark color separation wall will not be cured, and when it is higher than 120 ° C., there is a concern that the dark color separation wall shape may be broken.

各画素形成のために用いるインクジェット法に関しては、インクを熱硬化させる方法、光硬化させる方法、あらかじめ基板上に透明な受像層を形成しておいてから打滴する方法など、公知の方法を用いることができる。   Regarding the ink jet method used for forming each pixel, a known method such as a method of thermally curing ink, a method of photocuring, or a method of performing droplet ejection after forming a transparent image receiving layer on a substrate in advance is used. be able to.

好ましくは、各画素を形成した後、加熱処理(いわゆるベーク処理)する加熱工程を設ける。即ち、光照射により光重合した層を有する基板を電気炉、乾燥器等の中で加熱する、あるいは赤外線ランプを照射する。加熱の温度及び時間は、感光性樹脂組成物の組成や形成された層の厚みに依存するが、一般に充分な耐溶剤性、耐アルカリ性、及び紫外線吸光度を獲得する観点から、約120℃〜約250℃で約10分〜約120分間加熱することが好ましい。   Preferably, after each pixel is formed, a heating step of performing a heat treatment (so-called baking treatment) is provided. That is, a substrate having a layer photopolymerized by light irradiation is heated in an electric furnace, a dryer or the like, or an infrared lamp is irradiated. The heating temperature and time depend on the composition of the photosensitive resin composition and the thickness of the formed layer, but generally from about 120 ° C. to about 120 ° C. from the viewpoint of obtaining sufficient solvent resistance, alkali resistance, and ultraviolet absorbance. Heating at 250 ° C. for about 10 minutes to about 120 minutes is preferred.

このようにして形成された画素のパターン形状は特に限定されるものではなく、一般的なストライプ状や格子状(具体的には、図6(B)に示すような形状)であっても、さらにはデルタ配列状(具体的には、図6(A)に示すような形状)であってもよい。露光時に用いるパターン形成用マスクは、一般的なストライプ状であっても、格子状であっても、さらにはデルタ配列状であってもよい。   The pattern shape of the pixel thus formed is not particularly limited, and even if it is a general stripe shape or lattice shape (specifically, a shape as shown in FIG. 6B), Further, it may be in a delta arrangement (specifically, a shape as shown in FIG. 6A). The pattern forming mask used at the time of exposure may be a general stripe shape, a lattice shape, or a delta arrangement.

(インクジェット方式)
本発明に用いるインクジェット方式としては、帯電したインクを連続的に噴射し電場によって制御する方法、圧電素子を用いて間欠的にインクを噴射する方法、インクを加熱しその発泡を利用して間欠的に噴射する方法等、各種の方法を採用できる。
用いるインクは油性、水性のいずれをも使用できる。また、そのインクに含まれる着色剤は染料、顔料ともに使用でき、耐久性の面からは顔料の使用がより好ましい。また、公知のカラーフィルタ作製に用いる、塗布方式の着色インク(着色樹脂組成物、例えば、特開2005−3861号公報[0034]〜[0063]記載)や、特開平10−195358号公報[0009]〜[0026]に記載のインクジェット用組成物を使用することもできる。
本発明におけるインクには、着色後の工程を考慮し、加熱によって硬化する、又は紫外線などのエネルギー線によって硬化する成分を添加することもできる。加熱によって硬化する成分としては各種の熱硬化性樹脂が広く用いられ、またエネルギー線によって硬化する成分としては例えばアクリレート誘導体又はメタクリレート誘導体に光反応開始剤を添加したものを例示できる。特に耐熱性を考慮してアクリロイル基、メタクリロイル基を分子内に複数有するものがより好ましい。これらのアクリレート誘導体、メタクリレート誘導体は水溶性のものが好ましく使用でき、水に難溶性のものでもエマルション化するなどして使用できる。
この場合、上記<感光性樹脂組成物>の項で挙げた、顔料などの着色剤を含有させた感光性樹脂組成物を、好適なものとして用いることができる。
(Inkjet method)
The ink jet system used in the present invention includes a method in which charged ink is continuously ejected and controlled by an electric field, a method in which ink is ejected intermittently using a piezoelectric element, and an ink is intermittently heated by using its foam. Various methods such as a method of injecting the ink can be employed.
The ink used can be either oily or water-based. Further, the colorant contained in the ink can be used for both dyes and pigments, and the use of pigments is more preferable from the viewpoint of durability. In addition, a coating-type colored ink (colored resin composition, for example, described in JP-A No. 2005-3861 [0034] to [0063]) or JP-A No. 10-195358 [0009] is used for producing a known color filter. ]-[0026] The inkjet composition as described above can also be used.
In consideration of the process after coloring, a component that is cured by heating or that is cured by energy rays such as ultraviolet rays can be added to the ink in the present invention. Various thermosetting resins are widely used as components that are cured by heating, and examples of components that are cured by energy rays include those obtained by adding a photoinitiator to an acrylate derivative or a methacrylate derivative. In particular, in view of heat resistance, those having a plurality of acryloyl groups and methacryloyl groups in the molecule are more preferable. These acrylate derivatives and methacrylate derivatives are preferably water-soluble, and even those that are sparingly soluble in water can be used after being emulsified.
In this case, the photosensitive resin composition containing a colorant such as a pigment as mentioned in the above section <Photosensitive resin composition> can be suitably used.

また、本発明において用いることができるインクとしては、少なくともバインダー、及び、2官能乃至3官能のエポキシ基含有モノマーを含有するカラーフィルター用熱硬化性インクも好適なものとして用いることができる。   Further, as the ink that can be used in the present invention, a thermosetting ink for a color filter containing at least a binder and a bifunctional to trifunctional epoxy group-containing monomer can also be used as a suitable ink.

本発明における光学素子は、インクジェット方式で画素形成されたものであることが好ましい。
この光学素子は、光の透過や発光を制御する素子であり、カラーフィルターやエレクトロルミネッセンス素子等として用いられる。
The optical element in the present invention is preferably one in which pixels are formed by an inkjet method.
This optical element is an element that controls light transmission and light emission, and is used as a color filter, an electroluminescence element, or the like.

<液晶表示装置>
本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田 龍男編集、(株)工業調査会 1994年発行)」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。本発明はこれらのなかで特にカラーTFT方式の液晶表示装置に対して有効である。カラーTFT方式の液晶表示装置については例えば「カラーTFT液晶ディスプレイ(共立出版(株)1996年発行)」に記載されている。さらに本発明はもちろんIPSなどの横電界駆動方式、MVAなどの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置にも適用できる。これらの方式については例えば「EL、PDP、LCDディスプレイ−技術と市場の最新動向−(東レリサーチセンター調査研究部門 2001年発行)」の43ページに記載されている。
<Liquid crystal display device>
There are no particular limitations on the liquid crystal display device to which the present invention can be applied. For example, various types of liquid crystal display devices described in “Next-generation liquid crystal display technology (edited by Tatsuo Uchida, published by Kogyo Kenkyukai 1994)” Applicable. Among these, the present invention is particularly effective for a color TFT liquid crystal display device. The color TFT liquid crystal display device is described in, for example, “Color TFT liquid crystal display (issued in 1996 by Kyoritsu Publishing Co., Ltd.)”. Further, the present invention can be applied to a liquid crystal display device with a wide viewing angle such as a lateral electric field driving method such as IPS and a pixel division method such as MVA. These methods are described, for example, on page 43 of "EL, PDP, LCD display-latest technology and market trends-(issued in 2001 by Toray Research Center Research Division)".

液晶表示装置はカラーフィルター以外に電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、視野角保障フィルムなどさまざまな部材から構成される。本発明の光学素子はこれらの公知の部材で構成される液晶表示装置に適用することができる。これらの部材については例えば「’94液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場(島 健太郎 (株)シーエムシー 1994年発行)」、「2003液晶関連市場の現状と将来展望(下巻)(表 良吉 (株)富士キメラ総研 2003年発行)」に記載されている。   In addition to the color filter, the liquid crystal display device includes various members such as an electrode substrate, a polarizing film, a retardation film, a backlight, a spacer, and a viewing angle guarantee film. The optical element of the present invention can be applied to a liquid crystal display device composed of these known members. For example, “'94 Liquid Crystal Display Peripheral Materials and Chemicals Market (Kentaro Shima, CMC Co., Ltd., 1994)”, “2003 Liquid Crystal Related Market Status and Future Prospects (Volume 2)” (Table Yoshiyoshi) Fuji Chimera Research Institute, published in 2003) ”.

以下、実施例により本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。尚、実施例中において、「部」、「%」及び「分子量」は、特に断りのない限りそれぞれ「質量部」、「質量%」及び「重量平均分子量」を意味する。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited to these. In the examples, “parts”, “%” and “molecular weight” mean “parts by mass”, “mass%” and “weight average molecular weight” unless otherwise specified.

(実施例1)
−濃色離画壁の形成−
無アルカリガラス基板を、UV洗浄装置で洗浄後、洗浄剤を用いてブラシ洗浄し、更に超純水で超音波洗浄した。該基板を120℃3分熱処理して表面状態を安定化させた。
該基板を冷却し23℃に温調後、スリット状ノズルを有すガラス基板用コーター(エフ・エー・エス・ジャパン社製、商品名:MH−1600)にて、下記表1に記載の組成よりなる着色感光性樹脂組成物K1を塗布した。引き続きVCD(真空乾燥装置;東京応化工業社製)で30秒間、溶媒の1部を乾燥して塗布層の流動性をなくした後、EBR(エッジ・ビード・リムーバー)にて基板周囲の不要な塗布液を除去し、120℃3分間プリベークして膜厚2.4μmの感光性樹脂層K1を得た。
Example 1
-Formation of dark color separation walls-
The alkali-free glass substrate was cleaned with a UV cleaning apparatus, then brush-cleaned with a cleaning agent, and further ultrasonically cleaned with ultrapure water. The substrate was heat-treated at 120 ° C. for 3 minutes to stabilize the surface state.
After cooling the substrate and adjusting the temperature to 23 ° C., the composition described in Table 1 below is applied on a glass substrate coater (manufactured by FS Japan, trade name: MH-1600) having a slit-like nozzle. A colored photosensitive resin composition K1 was applied. Subsequently, after part of the solvent was dried by VCD (vacuum drying apparatus; manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) for 30 seconds to eliminate the fluidity of the coating layer, the substrate periphery was unnecessary with EBR (edge bead remover). The coating solution was removed and prebaked at 120 ° C. for 3 minutes to obtain a photosensitive resin layer K1 having a thickness of 2.4 μm.

超高圧水銀灯を有すプロキシミティー型露光機(日立電子エンジニアリング株式会社製)で、基板とマスク(画像パターンを有す石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該感光性樹脂層の間の距離を200μmに設定し、窒素ガス雰囲気下露光量300mJ/cm2でパターン露光した。マスク形状は格子状で曲線部の曲率半径は0.6μmとした With a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd.) with an ultra-high pressure mercury lamp, with the substrate and mask (quartz exposure mask with image pattern) standing vertically, the exposure mask surface and the photosensitive resin The distance between the layers was set to 200 μm, and pattern exposure was performed at an exposure amount of 300 mJ / cm 2 in a nitrogen gas atmosphere. The mask shape is a lattice shape, and the radius of curvature of the curved portion is 0.6 μm.

次に、純水をシャワーノズルにて噴霧して、該感光性樹脂層K1の表面を均一に湿らせた後、KOH系現像液(KOH、ノニオン性界面活性剤含有、商品名:CDK−1、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)にて23℃80秒、フラットノズル圧力0.04MPaでシャワー現像しパターニング画像を得た。引き続き、超純水を、超高圧洗浄ノズルにて9.8MPaの圧力で噴射して残渣除去を行い、離画壁を得た。引き続き、220℃で30分間熱処理した。   Next, pure water is sprayed with a shower nozzle to uniformly wet the surface of the photosensitive resin layer K1, and then a KOH-based developer (KOH, containing a nonionic surfactant, product name: CDK-1) , Manufactured by Fuji Film Electronics Materials Co., Ltd.) and subjected to shower development at 23 ° C. for 80 seconds and a flat nozzle pressure of 0.04 MPa to obtain a patterning image. Subsequently, ultrapure water was sprayed at a pressure of 9.8 MPa with an ultrahigh pressure washing nozzle to remove the residue, thereby obtaining a separation wall. Subsequently, heat treatment was performed at 220 ° C. for 30 minutes.

Figure 2006301038
Figure 2006301038

ここで、上記表1に記載の着色感光性樹脂組成物K1の調製について説明する。
着色感光性樹脂組成物K1は、まず表1に記載の量のK顔料分散物1、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度24℃(±2℃)で混合して150rpm10分間攪拌し、次いで、表1に記載の量のシクロヘキサノン、バインダー1、ハイドロキノンモノメチルエーテル、DPHA液、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[4’−(N,N−ビスエトキシカルボニルメチル)−3’−ブロモフェニル]−s−トリアジン、界面活性剤1をはかり取り、温度25℃(±2℃)でこの順に添加して、温度40℃(±2℃)で150rpm30分間攪拌することによって得られた。
Here, preparation of the colored photosensitive resin composition K1 described in Table 1 will be described.
The colored photosensitive resin composition K1 is first weighed in K pigment dispersion 1 and propylene glycol monomethyl ether acetate in the amounts shown in Table 1, mixed at a temperature of 24 ° C. (± 2 ° C.), stirred at 150 rpm for 10 minutes, and then The amounts of cyclohexanone, binder 1, hydroquinone monomethyl ether, DPHA solution, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [4 '-(N, N-bisethoxycarbonylmethyl) -3'- Bromophenyl] -s-triazine and surfactant 1 were weighed out, added in this order at a temperature of 25 ° C. (± 2 ° C.), and stirred at a temperature of 40 ° C. (± 2 ° C.) at 150 rpm for 30 minutes.

尚、表1に記載の組成物の内、
*K顔料分散物1の組成は、
・カーボンブラック(デグッサ社製、商品名Special Black 250) 13.1部
・5−[3−オキソ−2−[4−[3,5−ビス(3−ジエチルアミノプロピル
アミノカルボニル)フェニル]アミノカルボニル]フェニルアゾ]−
ブチロイルアミノベンズイミダゾロン 0.65部
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比
のランダム共重合物、分子量3.7万) 6.72部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 79.53部
Of the compositions listed in Table 1,
* The composition of K pigment dispersion 1 is
Carbon black (trade name Special Black 250, manufactured by Degussa) 13.1 parts 5- [3-oxo-2- [4- [3,5-bis (3-diethylaminopropylaminocarbonyl) phenyl] aminocarbonyl] Phenylazo]-
0.65 parts of butyroylaminobenzimidazolone ・ Polymer (Random copolymer of benzyl methacrylate / methacrylic acid = 72/28 molar ratio, molecular weight 37,000) 6.72 parts ・ 79.53 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate

*バインダー1の組成は、
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=78/22モル比
のランダム共重合物、分子量4万) 27部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 73部
* The composition of binder 1 is
・ Polymer (benzyl methacrylate / methacrylic acid = 78/22 molar ratio
Random copolymer, molecular weight 40,000) 27 parts, propylene glycol monomethyl ether acetate 73 parts

*DPHA液の組成は、
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(重合禁止剤MEHQ
500ppm含有、日本化薬(株)製、商品名:KAYARAD DPHA) 76部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 24部
* The composition of DPHA solution is
・ Dipentaerythritol hexaacrylate (polymerization inhibitor MEHQ
Containing 500 ppm, Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name: KAYARAD DPHA) 76 parts, 24 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate

*界面活性剤1(メガファックF−780−F(大日本インキ化学工業(株)製))の組成は、
・C613CH2CH2OCOCH=CH2 : 40部と
H(OCH(CH3)CH27OCOCH=CH2 : 55部と
H(OCH2CH27OCOCH=CH2 : 5部と、の共重合体、
(分子量3万) 30部
・メチルエチルケトン 70部
* The composition of surfactant 1 (Megafac F-780-F (manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.))
C 6 F 13 CH 2 CH 2 OCOCH═CH 2 : 40 parts and H (OCH (CH 3 ) CH 2 ) 7 OCOCH═CH 2 : 55 parts and H (OCH 2 CH 2 ) 7 OCOCH═CH 2 : 5 And a copolymer of
(Molecular weight 30,000) 30 parts / Methyl ethyl ketone 70 parts

−プラズマ撥水化処理−
その後、下記方法によりプラズマ撥水化処理を行った。
濃色離画壁を形成した前記基板に、カソードカップリング方式平行平板型プラズマ処理装置を用いて、以下の条件にてプラズマ撥水化処理を行った。
使用ガス :CF4 ガス流量 :80sccm
圧力 :40Pa
RFパワー :50W
処理時間 :30sec
-Plasma water repellency treatment-
Thereafter, plasma water repellency treatment was performed by the following method.
A plasma water repellency treatment was performed on the substrate on which the dark color separation wall was formed using a cathode coupling parallel plate type plasma treatment apparatus under the following conditions.
Gas used: CF 4 gas flow rate: 80 sccm
Pressure: 40Pa
RF power: 50W
Processing time: 30 sec

−画素用着色インキの調製−
下記の成分のうち、先ず、顔料、高分子分散剤及び溶剤を混合し、3本ロールとビーズミルを用いて顔料分散液を得た。その顔料分散液をディソルバー等で十分攪拌しながら、その他の材料を少量ずつ添加し、赤色(R)画素用着色インク組成物を調製した。
〈赤色画素用着色インキの組成〉
・顔料(C.I.ピグメントレッド254) 5部
・高分子分散剤(AVECIA社製ソルスパース24000) 1部
・バインダー(グリシジルメタクリレート−スチレン共重合体) 3部
・第一エポキシ樹脂(ノボラック型エポキシ樹脂、
油化シェル社製エピコート154) 2部
・第二エポキシ樹脂(ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル) 5部
・硬化剤(トリメリット酸) 4部
・溶剤:3−エトキシプロピオン酸エチル 80部
上記成分のうち、溶剤である3−エトキシプロピオン酸エチルは、JIS−K6768に規定する濡れ試験において示された標準液を用い、液滴を接触させて30秒後の接触角(θ)を測定し、ジスマンプロットのグラフにより求めた臨界表面張力が30mN/mの試験片の表面に対する接触角が18°であり、且つ、臨界表面張力が70mN/mの試験片の表面に対する接触角が0°であった。
-Preparation of colored ink for pixels-
Among the following components, first, a pigment, a polymer dispersant, and a solvent were mixed, and a pigment dispersion was obtained using a three roll and bead mill. While sufficiently stirring the pigment dispersion with a dissolver or the like, other materials were added little by little to prepare a colored ink composition for red (R) pixels.
<Composition of colored ink for red pixels>
・ Pigment (CI Pigment Red 254) 5 parts ・ Polymer dispersant (Solsperse 24000 manufactured by AVECIA) 1 part ・ Binder (glycidyl methacrylate-styrene copolymer) 3 parts ・ First epoxy resin (novolak type epoxy resin) ,
Epicoat 154 manufactured by Yuka Shell Co., Ltd.) 2 parts, second epoxy resin (neopentyl glycol diglycidyl ether) 5 parts, curing agent (trimellitic acid) 4 parts, solvent: ethyl 3-ethoxypropionate 80 parts For the solvent, ethyl 3-ethoxypropionate, the standard solution shown in the wetting test specified in JIS-K6768 was used, and the contact angle (θ) after 30 seconds was measured after contacting the droplet. The contact angle with respect to the surface of the test piece having a critical surface tension of 30 mN / m determined from the graph of the plot was 18 °, and the contact angle with respect to the surface of the test piece having a critical surface tension of 70 mN / m was 0 °. .

また、第二エポキシ樹脂であるネオペンチルグリコールジグリシジルエーテルは、同様の試験において、臨界表面張力が30mN/mの試験片表面に対する接触角が37°であり、且つ、臨界表面張力が70mN/mの試験片表面に対する接触角が0℃であった。   Further, neopentyl glycol diglycidyl ether as the second epoxy resin has a contact angle of 37 ° with respect to the surface of the test piece having a critical surface tension of 30 mN / m and a critical surface tension of 70 mN / m in the same test. The contact angle with respect to the surface of the test piece was 0 ° C.

さらに、上記組成中のC.I.ピグメントレッド254に代えてC.I.ピグメントグリーン36を同量用いるほかは赤色画素部着色インク組成物の場合と同様にして緑色(G)画素用着色インク組成物を調製した。
さらに、上記組成中のC.I.ピグメントレッド254に代えてC.I.ピグメントブルー15:6を同量用いるほかは赤色画素用着色インク組成物の場合と同様にして青色(B)画素用着色インク組成物を調製した。
Further, C.I. I. Pigment Red 254 instead of C.I. I. A colored ink composition for green (G) pixels was prepared in the same manner as in the red pixel portion colored ink composition except that the same amount of pigment green 36 was used.
Further, C.I. I. Pigment Red 254 instead of C.I. I. A blue (B) pixel colored ink composition was prepared in the same manner as the red pixel colored ink composition except that the same amount of CI Pigment Blue 15: 6 was used.

−画素形成−
次に、上記より得たRGB各色のインク組成物を、上記で得られた画素形成用基板の濃色離画壁間(濃色離画壁で区分された領域内)に、インクジェット方式の記録装置を用いて所望の濃度になるまでインク組成物の吐出を行い、赤、緑、青のパターンからなる画素を形成した。インク組成物吐出後の基板を230℃オーブン中で30分ベークすることで、各画素を完全に硬化させ、カラーフィルターを作製した。
-Pixel formation-
Next, the ink composition of each color of RGB obtained as described above is recorded in the ink jet system between the dark color separation walls of the pixel forming substrate obtained above (in the region divided by the dark color separation wall). The ink composition was discharged using the apparatus until a desired density was obtained, thereby forming pixels composed of red, green, and blue patterns. The substrate after discharging the ink composition was baked in an oven at 230 ° C. for 30 minutes, whereby each pixel was completely cured to produce a color filter.

−オーバーコート層−
その後、画素が形成された基板をクリーンテック社の低圧水銀灯(有効波長254nm)UV洗浄装置で洗浄し残渣及び異物を除去してから、透明オーバーコート剤を、膜の厚さが1.5μmになるように全面塗布後、230℃で40分間ベークした。この時、透明オーバーコート層を形成するために下記の化学式6のポリアミック酸と化学式7のエポキシ化合物を3:1の質量比で混合して使用した。
-Overcoat layer-
After that, the substrate on which the pixels are formed is cleaned with a clean-tech low-pressure mercury lamp (effective wavelength 254 nm) UV cleaning device to remove residues and foreign matters, and then the transparent overcoat agent is added to a film thickness of 1.5 μm. After coating the entire surface, baking was performed at 230 ° C. for 40 minutes. At this time, in order to form a transparent overcoat layer, a polyamic acid represented by the following chemical formula 6 and an epoxy compound represented by the chemical formula 7 were mixed at a mass ratio of 3: 1.

Figure 2006301038
Figure 2006301038

前記式6で、Rはメチレン基であり、mは50の整数である。   In Formula 6, R is a methylene group, and m is an integer of 50.

Figure 2006301038
Figure 2006301038

−ITOパターン(PVAモード)の形成−
前記オーバーコート層が形成されたガラス基板をスパッタ装置に入れて、100℃で1300Å厚さのITO(インヂウム錫酸化物)を全面真空蒸着した後、240℃で90分間アニールしてITOを結晶化し、フォト工程でITOパターンを作り王水で不要ITOをエッチングしてパターン形成を完了した。
-Formation of ITO pattern (PVA mode)-
The glass substrate on which the overcoat layer is formed is put in a sputtering apparatus, and 1300 mm thick ITO (indium tin oxide) is vacuum-deposited on the entire surface at 100 ° C., and then annealed at 240 ° C. for 90 minutes to crystallize the ITO. Then, an ITO pattern was formed by a photo process, and unnecessary ITO was etched with aqua regia to complete pattern formation.

−スペーサの形成−
上記ITO形成後の基板に対して、上記で作製した濃色離画壁における、着色感光性樹脂組成物K1の処方を下記の感光性樹脂層用塗布液処方S1に変更した以外は、同様の方法を用いてスペーサを作製した。
但し、露光、現像、及び、ベーク工程は、以下の方法を用いた。
所定のフォトマスクを介して超高圧水銀灯により300mJ/cm2でプロキシミティー露光した。露光後、KOH現像液〔CDK−1(商品名)の100倍希釈液(pH=11.8)、富士写真フイルム(株)製〕を用いて未露光部の感光性樹脂層を溶解除去した。
続いて、230℃で30分間ベークし、ガラス基板上のITO膜の上に直径16μm、平均高さ3.7μmの透明な柱状スペーサパターンを形成した。
-Spacer formation-
Similar to the substrate after the ITO formation except that the prescription of the colored photosensitive resin composition K1 in the dark color separation wall produced above was changed to the following coating solution prescription S1 for the photosensitive resin layer. A spacer was prepared using this method.
However, the following methods were used for exposure, development, and baking.
Proximity exposure was performed at 300 mJ / cm 2 with an ultrahigh pressure mercury lamp through a predetermined photomask. After the exposure, the unexposed portion of the photosensitive resin layer was dissolved and removed using a KOH developer [CDK-1 (trade name) 100-fold diluted solution (pH = 11.8), manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.]. .
Subsequently, baking was performed at 230 ° C. for 30 minutes to form a transparent columnar spacer pattern having a diameter of 16 μm and an average height of 3.7 μm on the ITO film on the glass substrate.

*感光性樹脂層用塗布液の処方:S1
・メタクリル酸/アリルメタクリレート共重合体 …108部
(モル比=20/80、分子量40000)
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(重合性モノマー) …64.7部
・2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔4’−(N,N−ビスエトキシ
カルボニルメチル)−3’−ブロモフェニル〕−s−トリアジン …6.24部
・ハイドロキノンモノメチルエーテル …0.0336部
・ビクトリアピュアブルーBOHM(保土ヶ谷化学社製) …0.874部
・メガファックF780F …0.856部
(大日本インキ化学工業(株)製;界面活性剤)
・メチルエチルケトン …328部
・1−メトキシ−2−プロピルアセテート …475部
・メタノール …16.6部
* Prescription of coating solution for photosensitive resin layer: S1
-Methacrylic acid / allyl methacrylate copolymer: 108 parts (molar ratio = 20/80, molecular weight 40000)
Dipentaerythritol hexaacrylate (polymerizable monomer) 64.7 parts 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [4 '-(N, N-bisethoxycarbonylmethyl) -3'-bromophenyl]- s-triazine: 6.24 parts, hydroquinone monomethyl ether: 0.0336 parts, Victoria Pure Blue BOHM (manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.): 0.874 parts, MegaFuck F780F: 0.856 parts (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.) ) Made; Surfactant)
・ Methyl ethyl ketone: 328 parts ・ 1-methoxy-2-propyl acetate: 475 parts ・ Methanol: 16.6 parts

−液晶表示装置の作製−
上記で得られた液晶表示装置用基板を用いて、特開平11−242243号公報の第一実施例[0079]〜[0082]に記載の方法を用いて、実施例1の液晶表示装置を作製した。
-Production of liquid crystal display device-
Using the liquid crystal display device substrate obtained above, the liquid crystal display device of Example 1 was produced using the method described in the first example [0079] to [0082] of JP-A-11-242243. did.

(実施例2)
マスク形状を格子状で前記曲率半径を2.1μmとした以外は、実施例1と同様の方法で濃色離画壁を作製した。次にインクジェット方式の記録装置を用いて、赤、緑、青のパターンからなるカラーフィルタを形成し、オーバーコート層を設けず、該カラーフィルタ上に透明電極膜をITOのスパッタリングにより形成した。該ITOを形成した基板上に、実施例1と同様の方法でスペーサを、下記の方法により液晶配向制御用突起を、形成した以外は、実施例1と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
(Example 2)
A dark color separation wall was produced in the same manner as in Example 1 except that the mask shape was a lattice and the radius of curvature was 2.1 μm. Next, a color filter composed of red, green, and blue patterns was formed using an ink jet recording apparatus, and a transparent electrode film was formed on the color filter by sputtering of ITO without providing an overcoat layer. A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Example 1 except that spacers were formed on the ITO-formed substrate in the same manner as in Example 1 and liquid crystal alignment control protrusions were formed in the following manner. .

−液晶配向制御用突起の形成−
実施例1で作製した濃色離画壁において、着色感光性樹脂組成物K1の処方を下記の感光性樹脂層用塗布液処方T1に変更した以外は、同様の方法を用いて液晶配向制御用突起を作製した。
但し、露光、現像、及び、ベーク工程は、以下の方法を用いた。
所定のフォトマスクが感光性樹脂層の表面から100μmの距離となるようにプロキシミティ露光機を配置し、該フォトマスクを介して超高圧水銀灯により照射エネルギー150mJ/cm2で窒素ガス雰囲気下でプロキシミティ露光した。その後、2.38%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を、シャワー式現像装置にて33℃で30秒間基板に噴霧しながら現像し、感光性樹脂層の不要部(露光部)を現像除去した。カラーフィルタ側基板上には、所望の形状にパターニングされた感光性樹脂層よりなる液晶配向制御用突起が形成された。
次いで、該液晶配向制御用突起が形成された液晶表示装置用基板を230℃下で30分ベークすることにより、液晶表示装置用基板上に液晶配向制御用突起を形成した。
-Formation of liquid crystal alignment control protrusions-
For the dark color separation wall produced in Example 1, for the liquid crystal alignment control using the same method except that the formulation of the colored photosensitive resin composition K1 was changed to the following coating solution formulation T1 for photosensitive resin layer Protrusions were made.
However, the following methods were used for exposure, development, and baking.
A proximity exposure machine is arranged so that the predetermined photomask is at a distance of 100 μm from the surface of the photosensitive resin layer, and the proxy is passed through the photomask by an ultrahigh pressure mercury lamp at an irradiation energy of 150 mJ / cm 2 in a nitrogen gas atmosphere. Mitty exposed. Thereafter, the 2.38% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution was developed while sprayed on a substrate at 33 ° C. for 30 seconds with a shower type developing device, and unnecessary portions (exposed portions) of the photosensitive resin layer were developed and removed. On the color filter side substrate, a liquid crystal alignment control protrusion made of a photosensitive resin layer patterned in a desired shape was formed.
Next, the liquid crystal display device substrate on which the liquid crystal alignment control protrusions were formed was baked at 230 ° C. for 30 minutes to form liquid crystal alignment control protrusions on the liquid crystal display device substrate.

*感光性樹脂層用塗布液T1の組成
・ポジ型レジスト液(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製、
FH−2413F) 53.3部
・メチルエチルケトン 46.7部
・メガファックF−780F(大日本インキ化学工業(株)製) 0.04部
* Composition of photosensitive resin layer coating solution T1; positive resist solution (Fuji Film Electronics Materials Co., Ltd.,
FH-2413F) 53.3 parts ・ Methyl ethyl ketone 46.7 parts ・ Megafac F-780F (manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.) 0.04 parts

(実施例3)
着色感光性樹脂組成物K1を着色感光性樹脂組成物K2に変更し、マスク形状を格子状で前記曲率半径を1.1μmとした以外は、実施例1と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
(Example 3)
A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Example 1 except that the colored photosensitive resin composition K1 was changed to the colored photosensitive resin composition K2, the mask shape was latticed and the curvature radius was 1.1 μm. did.

(実施例4)
着色感光性樹脂組成物K1を着色感光性樹脂組成物K2に変更し、マスク形状を格子状で前記曲率半径を3.2μmとした以外は、実施例1と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
Example 4
A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Example 1 except that the colored photosensitive resin composition K1 was changed to the colored photosensitive resin composition K2, the mask shape was latticed and the radius of curvature was 3.2 μm. did.

(実施例5)
実施例3において、窒素ガス雰囲気下で露光する工程を、0.7気圧(酸素分圧が0.15気圧)まで減圧した環境下で露光する工程に変更した以外は、実施例3と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
(Example 5)
In Example 3, the step of exposing in a nitrogen gas atmosphere was changed to the step of exposing in an environment where the pressure was reduced to 0.7 atm (oxygen partial pressure was 0.15 atm). A liquid crystal display device was produced by this method.

(比較例1)
実施例1において、窒素ガス雰囲気下で露光する工程を、大気圧(1気圧(酸素分圧が0.21気圧))下、3000mJ/cm2の条件で露光する工程に変更した以外は、実施例1と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
(Comparative Example 1)
In Example 1, except that the step of exposing in a nitrogen gas atmosphere was changed to a step of exposing at 3000 mJ / cm 2 under atmospheric pressure (1 atm (oxygen partial pressure is 0.21 atm)). A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Example 1.

(比較例2)
マスク形状を格子状で前記曲率半径を0.3μmとした以外は、実施例1と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
(Comparative Example 2)
A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Example 1 except that the mask shape was a lattice and the radius of curvature was 0.3 μm.

[評価方法]
<曲率半径>
基板と厚さ方向画素形成側から光学顕微鏡により観察し、濃色離画壁側に凸なそれぞれの角について、図5に示すように、角の頂点を中心として両方面に1μmずつ、合計2μmの長さの境界線の曲率半径を求めた。
[Evaluation methods]
<Curvature radius>
As shown in FIG. 5, for each corner that is observed with the optical microscope from the substrate and the pixel forming side in the thickness direction and is convex toward the dark color separation wall side, 1 μm on both sides centering on the vertex of the corner, 2 μm in total The radius of curvature of the boundary line of the length was obtained.

<濃色離画壁の高さ>
接触式表面粗さ計P−10(TENCOR社製)を用いて、ベーク後の濃色離画壁について、その高さを測定した。
<Height of dark separation wall>
Using a contact type surface roughness meter P-10 (manufactured by TENCOR), the height of the dark color separation wall after baking was measured.

<光学濃度>
光学濃度については、実施例及び比較例にて濃色離画壁を形成した材料を用い、透明基板上に同じ厚みの層を形成し、パターン状に露光しない以外は各実施例及び比較例と同様の工程を経て、測定用のサンプル(膜状)を得た。この透過光学濃度を分光光度計(島津製作所製、UV−2100)を用いて555nmで測定した(OD)。別途ガラス基板の透過光学濃度を同様の方法で測定した(OD0)。ODからOD0を差し引いた値を濃色離画壁の透過光学濃度とした。
<Optical density>
For the optical density, each of the examples and comparative examples is the same as the examples and comparative examples, except that the material having the dark color separation wall formed in the examples and comparative examples is used, a layer having the same thickness is formed on the transparent substrate, and the pattern is not exposed. A sample for measurement (film-like) was obtained through the same steps. This transmission optical density was measured at 555 nm using a spectrophotometer (manufactured by Shimadzu Corporation, UV-2100) (OD). Separately, the transmission optical density of the glass substrate was measured by the same method (OD0). The value obtained by subtracting OD0 from OD was defined as the transmission optical density of the dark color separation wall.

<濃色離画壁の色度測定>
上記実施例、比較例で濃色離画壁作製に用いた感光性樹脂組成物を、透明基板上に実施例、比較例と同じ厚みの層を形成し、露光し測定用のサンプルを作製した。このサンプルの色度を、C光源にて測定し、このサンプルのx、y、Yを算出した。無彩色点(x、y=0.33、0.33)からの色度のズレΔEを計算した。無彩色点のYの値は、サンプルのY値と同様であるとして計算した。
<Measurement of chromaticity of dark color separation wall>
The photosensitive resin composition used for the dark color separation wall preparation in the above-mentioned examples and comparative examples was formed on a transparent substrate by forming a layer having the same thickness as the examples and comparative examples, and a sample for measurement was prepared by exposure. . The chromaticity of this sample was measured with a C light source, and x, y, and Y of this sample were calculated. The chromaticity deviation ΔE from the achromatic color point (x, y = 0.33, 0.33) was calculated. The achromatic color point Y value was calculated to be similar to the sample Y value.

<混色・白抜け>
基板と厚さ方向画素形成側から光学顕微鏡で観察し、混食及び白抜けについて評価した。混色については、画素内に色の混ざりが見られるか観察し、白抜けについては、画素内にインクが付着していない箇所があるか観察すると共に、濃色離画壁上面にインクが残っているか観察した。
混色の観察は、光学素子内の任意の100画素について行った。
白抜けの観察は、画素内の、濃色離画壁側に凸な角の任意の100点について行った。
上記評価結果を、下記表2に示す。
<Mixed colors and white spots>
It observed with the optical microscope from the board | substrate and the thickness direction pixel formation side, and mixed food and white-out were evaluated. For mixed colors, observe if there is a color mixture in the pixel, and for white spots, observe whether there is any ink in the pixel, and ink remains on the upper surface of the dark color separation wall. Observed.
The observation of the color mixture was performed on an arbitrary 100 pixels in the optical element.
The observation of white spots was performed at arbitrary 100 points in the pixel that had a convex corner toward the dark color separation wall.
The evaluation results are shown in Table 2 below.

Figure 2006301038
Figure 2006301038

ここで、表2において(*1)は、混色は見られなかったが、離画壁上にインク付着が1箇所あったことを示す。尚、該インク付着は、実用上は問題ない。   Here, in Table 2, (* 1) indicates that no color mixture was observed, but there was one ink adhesion on the image separation wall. The ink adhesion is not a problem in practical use.

(a)は、白抜けが発生している画素及び濃色離画壁を、基板に対し厚さ方向から観察した際の概念図であり、(b)は、(a)のA−B線における断面を横から観察した際の概念図である。(A) is a conceptual diagram at the time of observing the pixel and dark color separation wall from which the white spot has generate | occur | produced from the thickness direction with respect to a board | substrate, (b) is AB line of (a). It is a conceptual diagram when the cross section in is observed from the side. 本発明における濃色離画壁の形状の一実施形態を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows one Embodiment of the shape of the deep color separation wall in this invention. 本発明における濃色離画壁の形状の一実施形態を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows one Embodiment of the shape of the deep color separation wall in this invention. 本発明における濃色離画壁の形状の一実施形態を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows one Embodiment of the shape of the deep color separation wall in this invention. 濃色離画壁側に凸な角の曲率半径を求める際の測定部分を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows the measurement part at the time of calculating | requiring the curvature radius of a corner convex on the dark color separation wall side. (A)は、デルタ配列状に形成された画素を示す概念図であり、(B)は、ストライプ状又は格子状に形成された画素を示す概念図である。(A) is a conceptual diagram showing pixels formed in a delta arrangement, and (B) is a conceptual diagram showing pixels formed in a stripe shape or a lattice shape.

符号の説明Explanation of symbols

31 基板
33 濃色離画壁
36 インク
38 白抜け発生箇所
31 Substrate 33 Dark color separation wall 36 Ink 38 White spot

Claims (8)

基板上に、複数の画素と、該画素を離画する濃色離画壁と、を少なくとも有する光学素子であって、少なくとも下記(a)、(b)及び(c)を満たすことを特徴とする光学素子。
(a)前記画素と濃色離画壁との境界線を、前記基板の厚さ方向画素形成側から観察した場合における濃色離画壁側に凸な角が、曲率半径0.5μm以上の曲線形状であること。
(b)前記画素の形成が、前記濃色離画壁形成後の該濃色離画壁間に、着色液体組成物による液滴を付与する方法で行われていること。
(c)前記濃色離画壁の形成が、前記基板上に形成された感光性樹脂組成物からなる層を、貧酸素雰囲気下で露光して行われていること。
An optical element having at least a plurality of pixels and a dark color separation wall separating the pixels on a substrate, wherein the optical element satisfies at least the following (a), (b), and (c): Optical element.
(A) When the boundary line between the pixel and the dark color separation wall is observed from the pixel forming side in the thickness direction of the substrate, the convex corner on the dark color separation wall side has a radius of curvature of 0.5 μm or more. It must be a curved shape.
(B) The pixel is formed by a method of applying droplets of a colored liquid composition between the dark color separation walls after the dark color separation wall is formed.
(C) The dark color separation wall is formed by exposing a layer made of the photosensitive resin composition formed on the substrate in a poor oxygen atmosphere.
前記(b)に記載の液滴を付与する方法がインクジェット法であることを特徴とする請求項1に記載の光学素子。   2. The optical element according to claim 1, wherein the method for applying droplets according to (b) is an ink jet method. 3. 前記濃色離画壁の高さが1.8μm以上10μm以下であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の光学素子。   The optical element according to claim 1, wherein a height of the dark color separation wall is 1.8 μm or more and 10 μm or less. 前記濃色離画壁が黒色であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の光学素子。   The optical element according to any one of claims 1 to 3, wherein the dark color separation wall is black. 前記濃色離画壁の光学濃度が2.5以上10以下であることを特徴とする請求項4に記載の光学素子。   5. The optical element according to claim 4, wherein an optical density of the dark color separation wall is 2.5 or more and 10 or less. 基板上に、感光性樹脂組成物からなる層を形成する工程と、該感光性樹脂組成物からなる層を貧酸素雰囲気下で露光し濃色離画壁を形成する工程と、該濃色離画壁形成後の濃色離画壁間に着色液体組成物による液滴を付与して画素を形成する工程と、を少なくとも経て、請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の光学素子を得ることを特徴とする光学素子の製造方法。   Forming a layer made of a photosensitive resin composition on a substrate; exposing the layer made of the photosensitive resin composition in an oxygen-poor atmosphere to form a dark color separation wall; and 6. The optical device according to claim 1, through at least a step of forming a pixel by applying droplets of a colored liquid composition between dark-colored separation walls after the image wall is formed. A method for producing an optical element, comprising obtaining an element. 前記濃色離画壁を形成する工程と前記画素を形成する工程との間に、プラズマ撥水化処理工程を有することを特徴とする請求項6に記載の光学素子の製造方法。   The method of manufacturing an optical element according to claim 6, further comprising a plasma water repellency treatment step between the step of forming the dark color separation wall and the step of forming the pixel. 請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の光学素子を有することを特徴とする液晶表示装置。   A liquid crystal display device comprising the optical element according to claim 1.
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