JP2006300580A - 管内圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】体流通管1の内壁にフィルム状圧電素子2を貼り付けた管内圧力センサである。
流体流通管1の断面形状を円筒状または角形状である。
そして、フィルム状圧電素子2は、フィルム状の基板21と、該基板21の上面に形成される第一電極層22と、該第一電極より上方に形成される圧電体層23と、該圧電体層より上方に形成される第二電極層24とを有する。
【選択図】 図6
Description
より詳しくは、流体流通管の内壁に環状に変形させたフィルム状圧電素子を貼り付けた管内圧力センサに関する。
この圧力センサとしては、流体を流す管内から枝管を分岐させ、この枝管に取り付けて使用するもの、いわゆるシングルポート型のものが広く使われている。
しかし、このシングルポート型の圧力センサは、枝管内の流体を滞留させるために液体に、例えば変質等の悪影響を与える。
また枝管を設けるために圧力センサ装置自体が複雑な構造となる欠点がある。
そして、管内に突出した部分が存在するために流れに乱れが生じ易く、この乱流の発生によって流体に少なくとも悪影響を及ぼす欠点もある。
すなわち、本発明は、細径の流体流通管の内圧を十分な感度で測定することができ、構造が簡単で且つ測定の対象となる流体の流れに乱れが生じない管内圧力センサを提供することを目的とする。
そのため、該圧電素子の受圧面積を大きく取ることができるので、細径の流体流通管の内圧であっても、十分な感度で測定することができる。
また、管内に突出物が存在しないため管内を流れる流体の流れが乱れることがない。
また、フィルム状圧電素子を多重巻きにすることで、圧力センサとしての感度が向上する。
〔第一実施形態〕
図1は本発明の管内圧力センサの第一実施形態に用いられるフィルム状圧電素子の流体流通管内壁への取付け形態を示している。
この第一実施形態の管内圧力センサでは、アクリル樹脂製の円筒状の細径の流体流通管1の内壁に、フィルム状圧電素子2が貼り付けられている。
このようなフィルム状圧電素子2は、丸めた際に発生するスプリングバック力により管壁に密着するように広がるため取り付けが簡単である。
フィルム状圧電素子2の端面は、流体が導電性の場合を考慮すると導通防止を施すことが好ましい。
また比較的高精度に圧力測定を行うことができる。
またフィルム状圧電素子2が管内壁に貼り付いているために、管内に突出することはなく乱流が生じにくい。
このフィルム状圧電素子2は、フィルム状の基板21、第一電極層22、圧電体層23及び第二電極層24を備えている。
基板21は、第一電極層22、圧電体層23及び第二電極層24を支持する機能を有するものであり、基板21の材質には可撓性を有する薄い樹脂シートが用いられる。
また、基板21の厚さは、第一電極層22、圧電体層23及び第二電極層24を損傷することなく支持しつつ、基板21が容易に変形する厚さが良く、例えば、0.1mmとするのが好ましい。
また、第一電極層22及び第二電極層24の厚さは、0.005μm〜50μmとするのが好ましい。
0.005μmより小さいと電極としての機能を十分に発揮することができなくなるからであり、また50μmを超えると、不必要に厚くなり材料が無駄になる上、湾曲性が低下するからである。
ここで圧電性を有する材質の一例を挙げると、ペロブスカイト構造(ABO3)の複合酸化物が挙げられる。
Aサイトとしては通常、Pb,Ba,Ca,Sr,La,Li,Biの中から選択される少なくとも一種類の元素が採用される。
またBサイトとしてはTi,Zr,Zn,Ni,Mg,Co,W,Nb,Sb,Ta,Feの中から選択される少なくとも一種類の元素が採用される。
ウルツ鉱型構造の化合物としては具体的には窒化アルミニウム、窒化ガリウム、窒化インジウム、酸化ベリリウム、酸化亜鉛、硫化カドミウム、硫化亜鉛又はヨウ化銀等があり、これらの中から一種類以上を主成分とすれば良い。
因みに、前述した電極層の形成方法も上記のような手法を適宜選択する。
圧電体層23の厚さは0.1μm〜10μmとすることが好ましい。
0.1μm未満では圧力センサとして用いた場合に十分な出力が得られにくく、逆に10μmを超えるとクラックや剥離が発生し易くなるからである。
そのため、該圧電素子2の受圧面積を大きく取ることができるので、細径の流体流通管1の内圧であっても、十分な感度で測定することができる。
また、フィルム状圧電素子2を使っているために、管内に貼り付ける場合にも、スプリングバック力を生かして湾曲させることにより簡単に取り付けることができ製造が容易である。
図3は本発明の管内圧力センサの第二実施形態に用いられるフィルム状圧電素子の流体流通管内壁への取付け形態を示している。
この第二実施形態の管内圧力センサでは、アクリル樹脂製で形成された円筒状の細径の流体流通管1の内壁に、フィルム状圧電素子2が貼り付けられている。
フィルム状圧電素子2は、多重巻きにして環状に貼り付けられており、このようにフィルム状圧電素子2を多重巻きにすると、受圧面積が更に大きくなり、圧力センサとしての感度が向上する。
例えば、上述した実施形態では、流体流通管1の径はフィルム状圧電素子2が極めて薄いものであるために小径のものから大径のものまで適用可能である。
また、流体流通管の断面形状は円筒状に限らず、楕円形、或いは四角形、8角形等の角形でも当然採用可能である。
例えば、図4に示すように、圧電体層23と第二電極層24との間に絶縁層25を形成しても良いし、図5に示すように、第一電極層22と圧電体層23との間に絶縁層25を形成しても良い。
図に示すように、流体流通管1の両端にシリコンチューブ3A,3Bを接続した。
一方のシリコンチューブ3Aの一端には、外部の空気をシリコンチューブ3A内に吸引するために、エアポンプ4を接続した。
下方のシリコンチューブ3Bの一端には、圧力測定のためのプラスチック製のエアチャンバ5(11cm×7.5cm×3.5cm)を接続した。
なお、エアチャンバ5にはオリフィス付きのドレイン8を設け、内部圧力が一定値以上に上昇しないようにエアーを逃がすようにした。
そして、この流体流通管1の内壁にフィルム状圧電素子2を貼り付けた。
ここではフィルム状圧電素子2の多重巻きの回数は15回とした。
また、フィルム状圧電素子2の電極層に接続されたケーブル線をアクリル製の円筒状部材に設けた小穴から外部に引き出して圧力測定器7に接続した。
これで、流体流通管1内を流れる流体の圧力を測定する準備が整った。
具体的には、絶縁層25として厚さ8.5μmのポリイミドフィルムを用いた。
このポリイミドフィルムの片面に圧電体層23として窒化アルミニウム膜をスパッタリングにより1μm形成した。
また、ポリイミドフィルムのもう一方の面には、第一電極層22として、第二電極層24と同一の条件で、膜厚0.1μmのPt膜を形成した。
そして、第一電極層22にフィルム状の基板21として厚さ5μmのポリ塩化ビニル(PVC)フィルムをシリコン系接着剤を用いて貼り付け、フィルム状圧電素子2を形成した。
すると、シリコンチューブ3A,3B及び流体流通管1内にエアが流れ、エアチャンバ5内にエアが流入した。
しばらくの間、エアポンプ4を作動させておくと、ドレイン8からのエアの逃げ量とエアポンプ4からのエアを送出量とが等しくなり、多少の圧力変動が生じる定常状態となった。
そこで、この状態で3秒間圧力測定を行った。
その最初の秒間の結果を図7に示す。
図に示すように、フィルム状圧電素子2による測定値とエアチャンバ5内の歪ゲージ6による測定値とは相違しているが、これは、シリコンチューブ3B内等で圧力損失が発生するからと考えられる。
また、両出力とも周期は等しく、フィルム状圧電素子2の出力には、図中丸印で示す部分にエアチャンバ5のエア入口部からの反射波が観測された。
すなわち、フィルム状圧電素子2の感度は、かかる反射波をも的確に観測することができる程度に高感度であることが分かった。
なお追加実験として、流体流通管1の断面形状を8角形(すなわち内壁が8角形で最大内長4mm)のものを使って、上述の実験に準じて実験を行ったが、ほぼ同様な効果を得ている。
2 フィルム状圧電素子
21 基板
22 第一電極層
23 圧電体層
24 第二電極層
25 絶縁層
3A,3B シリコンチューブ
4 エアポンプ
5 エアチャンバ
6 歪ゲージ
7 圧力測定器
8 ドレイン
Claims (8)
- 流体流通管の内壁にフィルム状圧電素子を貼り付けたことを特徴とする管内圧力センサ。
- 前記流体流通管の断面形状を円筒状にしたことを特徴とする請求項1に記載の管内圧力センサ。
- 前記流体流通管の断面形状を角形状にしたことを特徴とする請求項1に記載の管内圧力センサ。
- 前記フィルム状圧電素子は、多重巻きしたことを特徴とする請求項1に記載の管内圧力センサ。
- 前記フィルム状圧電素子は、フィルム状の基板と、該基板の上面に形成される第一電極層と、該第一電極より上方に形成される圧電体層と、該圧電体層より上方に形成される第二電極層と、を有することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の管内圧力センサ。
- 前記第一電極層と前記第二電極層との間には、短絡防止用の絶縁層が形成されたことを特徴とする請求項5に記載の管内圧力センサ。
- 前記第一電極層及び前記第二電極層の材質は、アルミニウム、鉄、ニッケル、クロム、銅、チタン、タングステン、シリコン、マグネシウム、亜鉛、スズ、モリブデン、ニオブ、ジルコニア、白金、金、銀、パラジウム、ロジウム、ルテニウム、イリジウム、イットリウム、ステンレス、黄銅又は青銅のうち少なくとも1種類を含むことを特徴とする請求項5に記載の管内圧力センサ。
- 前記圧電体層の材質は、窒化アルミニウム、酸化亜鉛、ポリフッ化ビニリデン、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、チタン酸鉛、ニオブ酸リチウム、ニオブ酸タンタル、チタン酸ストロンチウム又はチタン酸バリウムのうち少なくとも1種類を主成分として含むものであることを特徴とする請求項5に記載の管内圧力センサ。
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