JP2006278498A - プラズマエッチング方法及びその装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】フッ素含有化合物ガスを含む処理ガスをプラズマ化し、そのプラズマにより被処理基板のシリコン部分をプラズマエッチングするにあたって、高いエッチングレートでシリコンをエッチングすること。
【解決手段】フッ素含有化合物ガス例えばSF6ガスをプラズマ化したプラズマによって被処理体のシリコン部分をエッチングするのに伴って、被処理体の表面に反応生成物例えばSiF4の光吸収波長帯域に光強度のピークを有する光、具体的には9μm以上、10μm未満に光強度のピークを有する光源を用いて、ここからの光を照射する。この光を吸収したSiF4は活性化されて運動エネルギーが大きくなり、ホールから速やかに排出される。そのためホール内においてエッチャントであるフッ素ラジカルの量(分圧)が増すことで、シリコンのエッチング速度が高くなる。
【選択図】図7
【解決手段】フッ素含有化合物ガス例えばSF6ガスをプラズマ化したプラズマによって被処理体のシリコン部分をエッチングするのに伴って、被処理体の表面に反応生成物例えばSiF4の光吸収波長帯域に光強度のピークを有する光、具体的には9μm以上、10μm未満に光強度のピークを有する光源を用いて、ここからの光を照射する。この光を吸収したSiF4は活性化されて運動エネルギーが大きくなり、ホールから速やかに排出される。そのためホール内においてエッチャントであるフッ素ラジカルの量(分圧)が増すことで、シリコンのエッチング速度が高くなる。
【選択図】図7
Description
本発明は、フッ素含有化合物ガスを含む処理ガスをプラズマ化し、そのプラズマに被処理体のシリコン部分をエッチングするプラズマエッチング方法及びその装置に関する。
近時、三次元的なデバイス構造を有する三次元実装デバイスが開発されている。この三次元実装デバイスは、例えばロジックを形成した単結晶シリコン(Si)基板やメモリを形成した単結晶シリコン基板等を複数枚重ね、これら基板同士を配線で接続する構成を有しており、これにより、よりスペース効率の高いデバイス構造を実現するものである。
このような三次元実装デバイスは、例えば100〜200μm程度の厚さを有するシリコン基板に口径が10〜70μm程度の配線用の孔(ホール)を形成する必要があることから、極めて高速のエッチングが求められる。
そこで特許文献1には、フッ素含有化合物ガスとして1分子に存在するフッ素の数が多いガス例えばSF6(六フッ化イオウ)ガスやS2F10(十フッ化イオウ)ガス等をプラズマ化し、更に処理容器内のガス圧力を13〜1333Pa(100mTorr〜10Torr)と高く設定することで、十分な量のフッ素ラジカルを生成し、これによって20μm/分もの高速のエッチングが行えることが記載されている。
ところで例えばSF6ガスを用いてシリコン層をエッチングすると、下記の反応式(1)に示すようにフッ素ラジカルとSiとの反応によりSiF4(四フッ化シリコン)が生成される。
4F*+Si→SiF4 ……(1)
ホール内で生成されたSiF4はホールの外へと排出されるが、シリコンのエッチング速度が数十μm/分にもなると、SiF4の生成量が多くなり、ホール内に供給されるフッ素ラジカルの量とホールから排出される反応生成物の量とが略同じオーダーとなる。このためホール内におけるSiF4の分圧が高くなり、フッ素ラジカルの分圧を高めることが抑えられるため、結果的にエッチング速度(エッチングレート)をそれ程高められないという問題がある。
ホール内で生成されたSiF4はホールの外へと排出されるが、シリコンのエッチング速度が数十μm/分にもなると、SiF4の生成量が多くなり、ホール内に供給されるフッ素ラジカルの量とホールから排出される反応生成物の量とが略同じオーダーとなる。このためホール内におけるSiF4の分圧が高くなり、フッ素ラジカルの分圧を高めることが抑えられるため、結果的にエッチング速度(エッチングレート)をそれ程高められないという問題がある。
なお、特許文献2にはシリコンをエッチングする処理ガスとしてSF6ガスを用い、ガス分圧を50Paとし、10kWのCO2レーザーによってSF6分子を振動励起させて、シリコンをエッチングして行くことが記載されているが、シリコン層を20μm/分を越えた高速エッチングを実現するための手法については記載されていない。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、被処理体のシリコン部分をプラズマエッチングするにあたって、高いエッチング速度でシリコンをエッチングすることができるプラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置を提供することにある。
本発明は、フッ素含有化合物ガスを含む処理ガスをプラズマ化し、そのプラズマにより被処理体のシリコン部分をエッチングするプラズマエッチング方法において、
エッチングにより生成される反応生成物の光吸収波長帯域に光強度のピークを有する光を被処理体の表面に照射することを特徴とする。
エッチングにより生成される反応生成物の光吸収波長帯域に光強度のピークを有する光を被処理体の表面に照射することを特徴とする。
上述したプラズマエッチング方法において、前記反応生成物は例えばフッ化シリコン(SiF4)であり、前記光吸収波長帯域が例えば9μm以上、10μm未満である。前記フッ素含有化合物ガスは、例えばSF6及びS2F10の少なくとも一方を含む。また前記処理ガスは、さらに酸素ガスを含むことが好ましい。
また本発明は、気密な処理容器内にて、フッ素含有化合物ガスを含む処理ガスをプラズマ化して得られたプラズマにより、載置台に載置された被処理体のシリコン部分をエッチングするプラズマエッチング装置において、
フッ素含有化合物とシリコンとの反応生成物の光吸収波長帯域に光強度のピークを有する光を発光し、載置台上の被処理体の表面に照射するための光源部と、
前記処理容器内に処理ガスを導入するためのガス供給部と、を備えたことを特徴とする。
フッ素含有化合物とシリコンとの反応生成物の光吸収波長帯域に光強度のピークを有する光を発光し、載置台上の被処理体の表面に照射するための光源部と、
前記処理容器内に処理ガスを導入するためのガス供給部と、を備えたことを特徴とする。
上記プラズマエッチング装置において、前記光源部は、処理容器の外に設けられ、前記ガス供給部は、載置台と対向する面内に、処理ガスを処理容器内に導入するガス導入孔と、前記光源部からの光を処理容器内に透過させる光透過窓と、を備えたことを特徴とする。また例えば光透過窓は、前記光吸収波長帯域の光を選択的に透過するバンドパスフィルターの機能を有するものであってもよい。
本発明によれば、フッ素含有化合物ガスをプラズマ化したプラズマによって被処理体のシリコン部分をエッチングするのに伴って、被処理体の表面に、反応生成物例えばSiF4に光吸収波長帯域の光強度のピークを有する光を照射しているので、反応生成物は、この光を吸収して活性化されて運動エネルギーが大きくなり、ホールから速やかに排出される。従ってホール内における反応生成物の量(分圧)を低減できるため、エッチャントの量(分圧)を増やすことができ、この結果シリコンのエッチング速度を高めることができる。
先ず、本発明のプラズマエッチング方法を実施するために用いられるプラズマエッチング装置について図1〜図4に基づいて説明する。この例では装置としてマグネトロンRIE(Reactive Ion Etching)装置を用いている。図1中1は、例えばアルミニウムからなる処理容器(真空チャンバー)である。前記処理容器1は、小径の円筒状の上部1aと大径の円筒状の下部1bとからなり、気密に構成されている。この処理容器1内には、被処理体である被処理基板Wを水平に支持する載置台である支持テーブル2が設けられている。前記支持テーブル2は例えばアルミニウムで構成されており、絶縁板3を介して導体の支持台4に支持されている。また、前記支持テーブル2の上方の外周にはシリコン以外の材料、例えば石英で形成されたフォーカスリング5が設けられている。上記支持テーブル2と支持台4は、ボールねじ7を含むボールねじ機構により昇降可能となっており、支持台4の下方の可動部分は、ステンレス鋼(SUS)製のベローズ8で覆われている。前記ベローズ8の外側にはベローズカバー9が設けられている。なお、上記フォーカスリング5の外側にはバッフル板10が設けられており、このバッフル板10、支持台4、ベローズ8を通して処理容器1と導通している。また前記処理容器1は接地されている。
前記処理容器1の下部1bの側壁には、排気ポート11が形成されており、この排気ポート11には真空ポンプ12が接続されている。そして前記真空ポンプ12を作動させることにより処理容器1内を所定の真空度まで減圧することができるようになっている。一方、処理容器1の下部1bの側壁上側には、被処理基板Wの搬入出口を開閉するゲートバルブ13が設けられている。
前記支持テーブル2には、整合器14及び18を介して夫々プラズマ形成用の第1の高周波電源15及びイオン引き込み用の第2の高周波電源19が接続されており、この第1の高周波電源15及び第2の高周波電源19から所定の周波数の高周波電力が支持テーブル2に供給されるようになっている。なお、前記第2の高周波電源19は第1の高周波電源15の周波数よりも低い高周波電力を供給する。一方、支持テーブル2に対向してその上方には後で詳細に説明するガス供給部であるガスシャワーヘッド20が設けられており、このガスシャワーヘッド20は接地されている。したがって、支持テーブル2及びガスシャワーヘッド20は一対の電極として機能する。
前記支持テーブル2の表面上には被処理基板Wを静電吸着して保持するための静電チャック6が設けられている。この静電チャック6は絶縁体6bの間に電極6aが介在されて構成されており、電極6aには直流電源16が接続されている。そして電極6aに電源16から電圧が印加されることにより、静電力例えばクーロン力によって被処理基板Wが吸着保持される。
前記支持テーブル2の内部には、冷却室17が設けられており、この冷却室17には、冷媒が冷媒導入管17aを介して導入され冷媒排出管17bから排出されて循環し、その冷熱が支持テーブル2を介して被処理基板Wに対して伝熱され、これにより被処理体Wの処理面が所望の温度に制御される。
ガス供給部であるガスシャワーヘッド20の上方には、光源部40が設けられ、この光源部40としては、エッチングにより生成される反応生成物例えばSiF4の光吸収波長帯域に光強度のピークを有するもの、例えばハロゲンランプまたは半導体レーザー等が用いられる。反応生成物がSiF4の場合、SiF4の光吸収スペクトルは、図2(a)に示されるように9μm以上、10μm未満の波長領域に存在することから、光源部40の光強度のピークは、この波長帯域に含まれることになる。また図2(b)には後述するエッチングガスであるSF6ガスと反応生成物であるSiF4との光吸収スペクトルを示している。図2(b)に示すようにSF6及びSiF4は波数が夫々947cm−1(波長10.6μm)及び1030cm−1(波長9.7μm)に吸光度のピークを示すことが分かる。また前記光源部40は、支持テーブル2上の円形基板をカバーできるように、例えば基板の直径と略同じ長さの棒状のランプを複数並行状に配置した構成を採用できる。
前記ガスシャワーヘッド20は、内部が通気室21になっている中空の扁平な円筒状に形成され、処理容器1の天壁部分に支持テーブル2に対向するように設けられている。図1及び図3に示すように前記ガスシャワーヘッド20の上面20aには、例えば直径が5〜20mmの光透過窓22が多数形成されている。また前記ガスシャワーヘッド20の下面20bには、例えば直径が0.5〜1mmのガス導入孔23と例えば直径が5〜20mmの光透過窓24とが多数形成されており、前記光透過窓24は光透過窓22と対向するように配列されている。前記光透過窓24(22)のレイアウトについては、光源部40からの透過光が被処理基板Wに均一に照射されるように設定される。
前記光透過窓22及び24は、被処理基板Wの表面に、エッチングにより生成される反応生成物例えばSiF4の光吸収波長帯域の波長を高い透過率で透過させる材質のものが用いられ、例えばBaF2、Ge、KCl、KBr、KRS−5、ZnSe、ZnS等が用いられる。あるいは前記光透過窓22及び24は、前記光吸収波長帯域の光を選択的に透過するバンドパスフィルターとしての機能を有するものであってもよい。
また前記ガスシャワーヘッド20の上面20aの一端側にはガス導入部27が形成されている。前記ガス導入部27にはガス供給管29が接続されており、このガス供給管29の基端側は、分岐管29a及び分岐管29bに分岐されている。一方の分岐管29aには、フッ素含有化合物ガス例えばSF6ガスの供給源であるガス供給源30がガス供給機器群31を介して接続されている。また他方の分岐管29bには、酸素(O2)ガスの供給源であるガス供給源32がガス供給機器群33を介して接続されている。これらの混合ガスは処理ガス(エッチングガス)をなすものであり、ガス供給管29及びガス導入部27を介してガスシャワーヘッド20の通気室21に至り、ガス導入孔22から処理容器1内に供給されるようになっている。なお、ガス供給機器群31及び33はバルブや流量調整部であるマスフローコントローラなどを含むものである。
一方、処理容器1の上部1aの周囲には、同心状に、ダイポールリング磁石34が配置されている。前記ダイポールリング磁石34は、図4の水平断面図に示すように、複数の異方性セグメント柱状磁石35がリング状の磁性体のケーシング36に取り付けられて構成されている。この例では、円柱状をなす16個の異方性セグメント柱状磁石35がリング状に配置されている。図4中、異方性セグメント柱状磁石35の中に示す矢印は磁化の方向を示すものであり、この図に示すように、複数の異方性セグメント柱状磁石35の磁化の方向を少しずつずらして全体として一方向に向かう一様な水平磁界Bが形成されるようになっている。
従って、支持テーブル2とガスシャワーヘッド20との間の空間には、図5に模式的に示すように、第1の高周波電源15により鉛直方向の電界ELが形成され、且つダイポーリング磁石34により水平磁界Bが形成され、このように形成された直交電磁界によりマグネトロン放電が生成される。これによって高エネルギー状態のエッチングガスのプラズマが形成される。
次にこのように構成されたプラズマエッチング装置を用いて本発明のプラズマエッチング方法の実施の形態について説明する。なお、被処理体である被処理基板Wとしては、例えば各々回路部が形成されたシリコン基板が用いられる。そしてここで行われるプロセスによりシリコン基板をエッチングした後、Cu等の埋め込みにより貫通電極を形成したのち、基板を薄くし、そしてこれらの基板同士を複数枚貼り合せることで三次元実装デバイスが得られることになる。先ず、ゲートバルブ13を開にして図6に示すように一番上のシリコン基板80の表面に酸化シリコン膜(SiO2膜)90がパターニングされた被処理基板Wを処理容器1内に搬入し、支持テーブル2に載置した後、支持テーブル2を図示の位置まで上昇させ、真空ポンプ12により排気ポート11を介して処理容器1内を排気する。
そして前記ガス供給源30からのSF6ガスを例えば50〜1000sccmの流量で、また前記ガス供給源32からのO2ガスを例えば0〜500sccmの流量で各々ガスシャワーヘッド20のガス導入孔23を介して処理容器1内に供給する。なお、SF6ガスと共に酸素ガスを用いる理由は、シリコンと酸素とにより凹部の側壁にシリコン酸化物を付着させて側壁を保持しながらエッチングするため、エッチングの異方性を高めることができると共にエッチングの形状性を良好にすることができるからである。そして処理容器1内のガス圧力を例えば13〜1333Pa(100mTorr〜10Torr)にし、その状態で第1の高周波電源15から支持テーブル2に例えば40MHzの高周波電力を供給する。一方第2の高周波電源19からは、プラズマのイオンエネルギーをコントロールするために例えば3.2MHzの高周波電力が供給されている。この際、被処理基板Wは、直流電源16から静電チャック6の電極6aに所定の電圧が印加されることにより例えばクーロン力により静電チャック6に吸着保持されると共に、上部電極であるガスシャワーヘッド20と下部電極である支持テーブル2との間に高周波電界が形成される。ガスシャワーヘッド20と支持テーブル2との間にはダイポールリング磁石34により水平磁界Bが形成されているので、被処理基板Wが存在する電極間の処理空間には例えば1700μT(170G)の直交電磁界が形成され、これによって生じた電子のドリフトによりマグネトロン放電が形成される。そしてこのマグネトロン放電によりSF6ガス及びO2ガスがプラズマ化し、その中でフッ素ラジカル(F*)がシリコン基板80の厚さ方向にエッチングをして行く。このとき下記の反応式(2)に示すようにフッ素ラジカルとSiとの反応によりSiF4が生成される。またエッチング反応の一部において、下記の反応式(3)に示すようにSF4とSiとO2との反応によりSiF4及びSO2が生成される。このようにエッチング反応では、SiF4が主たる反応生成物となる。
4F*+Si→SiF4 ……(2)
SF4+Si+O2→SiF4+SO2 ……(3)
一方光源部40から既述のようにSiF4の光吸収波長帯域に例えば9μm以上、10μm未満に光強度のピークを有する光が光透過窓22及び24を透過してシリコン基板80の表面に照射される。
SF4+Si+O2→SiF4+SO2 ……(3)
一方光源部40から既述のようにSiF4の光吸収波長帯域に例えば9μm以上、10μm未満に光強度のピークを有する光が光透過窓22及び24を透過してシリコン基板80の表面に照射される。
図7(a)は、シリコン基板80に既述の光を照射しながらフッ素ラジカル(F*)を含む活性種によりエッチングを行って配線用の孔(ホール)81を形成して行く様子を示す図である。既述の反応式(2)に示すようにフッ素ラジカルとSiとの反応によりSiF4が生成される。このSiF4は、9μm以上、10μm未満の光を吸収することでSiF4分子が活性化されて運動エネルギーが大きくなる。このためホール81から排出されるSiF4分子の運動速度が増し、ホール81から速やかに排出される。なお、図7(b)はシリコン基板80に対して光を照射しない他は同様にしてエッチングを行った場合の図である。この場合、図7(b)に示すようにホール81から排出されるSiF4分子の運動速度が光を照射する場合に比べて小さいので、ホール81内におけるSiF4の滞留の程度が大きい。
上述の実施の形態によれば、SF6ガスと酸素ガスをプラズマ化することで得られる、主としてフッ素ラジカル(F*)によってシリコン基板80をエッチングするのに伴って、シリコン基板80の表面に反応生成物であるSiF4の光吸収波長帯域の光、具体的には9μm以上、10μm未満の光を照射しているので、SiF4は、この光を吸収して活性化されて運動エネルギーが大きくなり、ホール81から速やかに排出される。従ってホール81内におけるSiF4の量(分圧)を低減できるため、エッチャントであるフッ素ラジカル(F*)の量(分圧)を増やすことができ、この結果シリコン基板80のエッチング速度を高めることができる。
この実施の形態の手法によれば、特にアスペクト比が2以上でホール径が100μm以下のホールを高速でエッチングするのに好適であり、30μm/分以上の高速エッチングが期待できる。
以上において、光源部40としては処理容器1の外の大気雰囲気に配置することに限られるものではなく、処理容器1内の真空雰囲気に配置するようにしてもよい。またエッチングによる孔部の構造としては、貫通孔に限られるものではなく、有底のホールであってもよい。更にまた本発明のプラズマエッチング方法を実施する装置としては、平行平板型の容量結合型以外にも誘導結合型やマイクロ波を使用したプラズマ装置などであってもよい。
また、本実施の形態にかかるプラズマエッチング方法について、エッチング用のガスとしてSF6ガスとO2ガスとを用いて説明したが、エッチング用のガスとしてS2F10ガスとO2ガスとを用いても主たる反応生成物はSiF4であるため上述と同様の作用効果を呈する。この場合、図1に示す装置において、ガス供給源30からS2F10ガスが処理容器1内に供給されることになる。
なお本発明では、光源部40から9μm以上、10μm未満に光強度のピークを有する光を照射しているが、この光照射と共にSF6分子の吸収波長である10.6μmにピーク波長を有する光の照射を併用してもよい。
W 被処理基板
1 処理容器
2 支持テーブル
12 真空ポンプ
2 載置台
15 第1の高周波電源
17 冷却室
19 第2の高周波電源
20 ガスシャワーヘッド
21 通気室
22 光透過窓
23 ガス導入孔
24 光透過窓
34 ダイポールリング磁石
40 光源部
6 静電チャック
1 処理容器
2 支持テーブル
12 真空ポンプ
2 載置台
15 第1の高周波電源
17 冷却室
19 第2の高周波電源
20 ガスシャワーヘッド
21 通気室
22 光透過窓
23 ガス導入孔
24 光透過窓
34 ダイポールリング磁石
40 光源部
6 静電チャック
Claims (7)
- フッ素含有化合物ガスを含む処理ガスをプラズマ化し、そのプラズマにより被処理体のシリコン部分をエッチングするプラズマエッチング方法において、
エッチングにより生成される反応生成物の光吸収波長帯域に光強度のピークを有する光を被処理体の表面に照射することを特徴とするプラズマエッチング方法。 - 前記反応生成物はフッ化シリコン(SiF4)であり、前記光吸収波長帯が9μm以上、10μm未満であることを特徴とする請求項1記載のプラズマエッチング方法。
- 前記フッ素含有化合物ガスは、SF6及びS2F10の少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項1または2に記載のプラズマエッチング方法。
- 前記処理ガスは、さらに酸素ガスを含むことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載のプラズマエッチング方法。
- 気密な処理容器内にて、フッ素含有化合物ガスを含む処理ガスをプラズマ化して得られたプラズマにより、載置台に載置された被処理体のシリコン部分をエッチングするプラズマエッチング装置において、
フッ素含有化合物とシリコンとの反応生成物の光吸収波長帯域に光強度のピークを有する光を発光し、載置台上の被処理体の表面に照射するための光源部と、
前記処理容器内に処理ガスを導入するためのガス供給部と、を備えたことを特徴とするプラズマエッチング装置。 - 前記光源部は、処理容器の外に設けられ、
前記ガス供給部は、載置台と対向する面内に、処理ガスを処理容器内に導入するガス導入孔と、前記光源部からの光を処理容器内に透過させる光透過窓と、を備えたことを特徴とする請求項5記載のプラズマエッチング装置。 - 前記光透過窓は、前記光吸収波長帯域の光を選択的に透過するバンドパスフィルターの機能を備えたことを特徴とする請求項6記載のプラズマエッチング装置。
Priority Applications (3)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2012173122A1 (ja) * | 2011-06-15 | 2012-12-20 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマエッチング方法 |
KR20170039564A (ko) * | 2015-09-23 | 2017-04-11 | 램 리써치 코포레이션 | 프로세스 레이트 결정을 위한 방법 및 장치 |
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2005
- 2005-03-28 JP JP2005092354A patent/JP2006278498A/ja active Pending
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KR102586826B1 (ko) | 2015-09-23 | 2023-10-06 | 램 리써치 코포레이션 | 프로세스 레이트 결정을 위한 방법 및 장치 |
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