JP2006276173A - Photopolymerizable resin layered body and glass substrate with black matrix - Google Patents

Photopolymerizable resin layered body and glass substrate with black matrix Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photopolymerizable resin layered body for a black matrix having high sensitivity to light and high adhesiveness to a glass substrate. <P>SOLUTION: The photopolymerizable resin layered body comprises a photopolymerizable resin composition containing a compound expressed by formula (I) as a photopolymerization initiator by 0.1 to 20 mass% layered on a transparent supporting film. In formula (I), each of R<SB>1</SB>, R<SB>2</SB>, R<SB>3</SB>independently represents CH<SB>3</SB>or C<SB>2</SB>H<SB>5</SB>; R<SB>4</SB>represents one selected from a group consisting of H, CH<SB>3</SB>, C<SB>2</SB>H<SB>5</SB>, n-C<SB>3</SB>H<SB>7</SB>, CH(CH<SB>3</SB>)<SB>2</SB>, n-C<SB>4</SB>H<SB>9</SB>, CH(CH<SB>3</SB>)C<SB>2</SB>H<SB>5</SB>, CH<SB>2</SB>CH(CH<SB>3</SB>)<SB>2</SB>and C(CH<SB>3</SB>)<SB>3</SB>. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、液晶ディスプレイ等に用いられるカラーフィルタ、及びその一部であるブラックマトリックス付きガラス基板、並びにブラックマトリックス付きガラス基板の製造に有用な光重合性樹脂積層体等に関する。   The present invention relates to a color filter used for a liquid crystal display or the like, a glass substrate with a black matrix which is a part thereof, a photopolymerizable resin laminate useful for producing a glass substrate with a black matrix, and the like.

カラー液晶ディスプレイにおいて重要な部品であるカラーフィルタは、ガラス基板等の上に赤色、緑色、青色のドット状画像を画素(以下、「カラー画素」ともいう。)としてそれぞれタテ数百〜数千画素ヨコ数百〜数千画素のマトリックス状に配置したものである。また、該カラーフィルタの性能を向上させるために、その赤色、緑色、青色のマトリックス状に配置された各画素間にブラックマトリックスと呼ばれる遮光部分を配することが知られており、この場合は上記各画素が配置されたブラックマトリックス付きガラス基板をカラーフィルタと呼んでいる。
上記ブラックマトリックスは、画素間の隙間から光が洩れるのを防止することによって表示コントラストを高める目的で形成される。このブラックマトリックスには、クロムや酸化クロムなどの金属薄膜によるものと、黒色樹脂によるものがあるが、近年黒色樹脂によるブラックマトリックスの開発が盛んである。該黒色樹脂によるブラックマトリックスを形成するに当たっては、黒色でかつ光重合性を有する樹脂を用いる方法が、コスト、プロセスの面から、例えば黒色樹脂を別の光重合性を有する樹脂でパターニングする手法に比べて優れている。
A color filter, which is an important component in a color liquid crystal display, has hundreds to thousands of vertical, red, green, and blue dot images as pixels (hereinafter also referred to as “color pixels”) on a glass substrate or the like. They are arranged in a matrix of horizontal hundreds to thousands of pixels. Further, in order to improve the performance of the color filter, it is known that a light-shielding portion called a black matrix is arranged between each pixel arranged in a red, green, and blue matrix. A glass substrate with a black matrix on which each pixel is arranged is called a color filter.
The black matrix is formed for the purpose of increasing display contrast by preventing light from leaking from the gaps between pixels. The black matrix includes a metal thin film such as chromium and chromium oxide, and a black resin. Recently, a black matrix using a black resin has been actively developed. In forming the black matrix with the black resin, a method using a black and photopolymerizable resin is a method for patterning, for example, a black resin with another photopolymerizable resin from the viewpoint of cost and process. It is superior compared.

黒色樹脂によるブラックマトリックスを含むカラーフィルタを形成する手法としては、ガラス基板等に先にブラックマトリックスを形成してブラックマトリックス付きガラス基板としてからカラー画素を形成する手法と、ガラス基板に先にカラー画素を形成してからブラックマトリックスを形成する手法がある。近年、カラー画素の形成にインクジェット法を用いてカラーインクをガラス基板に印刷することによるカラーフィルタの開発が盛んである。上記インクジェット法でカラー画素を形成する際には、定められた微小な領域に的確にインクを塗出しなければならず、ガラス基板に先にブラックマトリックスを形成し、形成されたブラックマトリックスを堰として用いることは異なる画素のインクの混合を防ぐ観点からより優れた手法である。   As a method of forming a color filter including a black matrix made of a black resin, a method of forming a color matrix after forming a black matrix on a glass substrate or the like, and then forming a color pixel on a glass substrate, There is a method of forming a black matrix after forming the film. In recent years, development of color filters by printing color ink on a glass substrate using an ink jet method for forming color pixels has been extensive. When forming color pixels by the ink jet method, it is necessary to accurately apply ink to a predetermined minute region. A black matrix is formed on a glass substrate first, and the formed black matrix is used as a weir. Use is a better technique from the viewpoint of preventing mixing of inks of different pixels.

黒色でかつ光重合性を有する樹脂を用いてガラス基板にブラックマトリックスを形成する方法としては、液体の感光性樹脂を直接ガラス基板に塗布して用いる手法が知られている(特許文献1〜3参照)。また、あらかじめ仮支持体に樹脂積層体を作製してからガラス基板に転写して用いる手法が知られている(特許文献4参照)。
特許文献1では、着色剤とバインダーポリマー、重合性化合物、光重合開始剤および光重合開始助剤を含有した組成物であって、光重合開始剤に2−メチル−2−モルフォリノ−1−(4−(メチルチオフェニル)−プロパン−1−オンを、光重合開始助剤に4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノンを用いた着色光重合性樹脂組成物が記載されている。しかし、この樹脂組成物では光に対する感度が十分ではなく、特に黒色の光重合性樹脂組成物にした場合に光硬化が不十分であり、ガラス基板上にブラックマトリックスとして用いた場合の密着性が満足のいくものではなかった。
As a method of forming a black matrix on a glass substrate using a black resin having photopolymerizability, a method in which a liquid photosensitive resin is directly applied to a glass substrate is used (Patent Documents 1 to 3). reference). Further, a method is known in which a resin laminate is prepared in advance on a temporary support and then transferred to a glass substrate and used (see Patent Document 4).
In patent document 1, it is a composition containing a colorant, a binder polymer, a polymerizable compound, a photopolymerization initiator, and a photopolymerization initiation assistant, and the photopolymerization initiator is 2-methyl-2-morpholino-1- ( A colored photopolymerizable resin composition using 4- (methylthiophenyl) -propan-1-one and 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone as a photopolymerization initiator is described. The resin composition does not have sufficient sensitivity to light, particularly when it is a black photopolymerizable resin composition, photocuring is insufficient, and satisfactory adhesion when used as a black matrix on a glass substrate is satisfactory. It was not a thing.

特許文献2には、着色剤、アルカリ可溶性樹脂、多官能性単量体、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイドからなる感放射線性組成物が記載されている。また、特許文献3には、ビスアシルフォスフィンオキサイド、少なくとも一個のエチレン性不飽和結合するモノマー、アルカリ可溶な分散樹脂、着色剤を含有する光重合性組成物が記載されている。しかし、これらの樹脂組成物では光に対する感度が十分ではなく、特に黒色の光重合性樹脂組成物にした場合に光硬化が不十分であり、ガラス基板上にブラックマトリックスとして用いた場合の密着性が満足のいくものではなかった。
特許文献4には、仮支持体上にアルカリ可溶な熱可塑性支持層、中間層、黒色の感光性樹脂層を設けた転写材料を用いて、ガラス基板に遮光性画素を形成する手法が記載されている。しかし露光前に仮支持体を剥離する必要があり、3層の転写材料は工程面やコスト面からも満足行くものではなく、ガラス基板上にブラックマトリックスとして用いた場合の密着性や遮光性においても満足のいくものではなかった。
Patent Document 2 describes a radiation-sensitive composition comprising a colorant, an alkali-soluble resin, a polyfunctional monomer, and bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide. Patent Document 3 describes a photopolymerizable composition containing bisacylphosphine oxide, at least one monomer capable of ethylenically unsaturated bond, an alkali-soluble dispersion resin, and a colorant. However, these resin compositions do not have sufficient sensitivity to light, particularly when they are made into a black photopolymerizable resin composition, photocuring is insufficient, and adhesion when used as a black matrix on a glass substrate Was not satisfactory.
Patent Document 4 describes a method of forming a light-shielding pixel on a glass substrate using a transfer material in which an alkali-soluble thermoplastic support layer, an intermediate layer, and a black photosensitive resin layer are provided on a temporary support. Has been. However, it is necessary to peel off the temporary support before exposure, and the three-layer transfer material is not satisfactory in terms of process and cost, and in terms of adhesion and light shielding when used as a black matrix on a glass substrate Was not satisfactory.

また、特許文献5には特定のアミノアセトフェノン系開始剤を含有するカラーフィルタ用光重合性樹脂組成物が記載されている。更には、特許文献6には特定のアミノアセトフェノン系開始剤を含む感光性組成物をカラーフィルタレジストに使用することが提案されている。しかしながら、特許文献5に記載されている黒色のカラーフィルタ用光重合性樹脂組成物をそのまま液状レジストとしてブラックマトリックスに適用した場合、光に対する感度、及びガラス基板に対する密着性が不十分なものであった。また、特許文献6には具体的なブラックマトリックスの製造方法の開示は無く、後述の比較例にて示すように、本願の発明者らが適当と思われる条件を適宜設定して追試したところ、光に対する感度、及びガラス基板に対する密着性が不十分なものであった。   Patent Document 5 describes a photopolymerizable resin composition for a color filter containing a specific aminoacetophenone-based initiator. Furthermore, Patent Document 6 proposes that a photosensitive composition containing a specific aminoacetophenone-based initiator is used for the color filter resist. However, when the black photopolymerizable resin composition for a color filter described in Patent Document 5 is applied as it is to a black matrix as a liquid resist, the sensitivity to light and the adhesion to a glass substrate are insufficient. It was. In addition, there is no disclosure of a specific black matrix production method in Patent Document 6, and as shown in a comparative example described later, the inventors of the present application set the conditions that seemed appropriate, and made a retrial. The sensitivity to light and the adhesion to the glass substrate were insufficient.

特開2002−287348号公報JP 2002-287348 A 特開平11−211911号公報JP-A-11-211911 特開平11−184093号公報JP-A-11-184093 特許第3409925号公報Japanese Patent No. 3409925 特許第2678684号公報Japanese Patent No. 2678684 特表2004−536352号公報(請求項16および17)JP-T-2004-536352 (Claims 16 and 17)

本発明は、着色物質を用いているにもかかわらず光に対して高感度で、かつガラス基板への密着性が高いブラックマトリックス用光重合性樹脂積層体を得ることを目的とする。また、該ブラックマトリックス用光重合性樹脂積層体を用いた、高遮光性、高解像性を有するブラックマトリックス付きガラス基板の製造方法、さらに該ブラックマトリックス付きガラス基板を用いたカラーフィルタの製造方法を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to obtain a photopolymerizable resin laminate for a black matrix that has high sensitivity to light and high adhesion to a glass substrate despite the use of a colored substance. Also, a method for producing a glass substrate with a black matrix having a high light-shielding property and a high resolution using the photopolymerizable resin laminate for black matrix, and a method for producing a color filter using the glass substrate with a black matrix The purpose is to provide.

本発明者は、前期課題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、光に対して高感度とされている光開始剤を単純に黒色の光重合性樹脂組成物に用いただけでは、ブラックマトリックスを形成する場合の感度とガラス基板に対する密着性が十分に満足の行くものではないことを見出した。そして、特定の光重合開始剤を用い、特定の割合でこれと特定の線状重合体と光重合性化合物と着色物質とを配合し、さらに特定の支持フィルムを用いて光重合性樹脂積層体とすることによってはじめて、ブラックマトリックスを形成する場合の十分な感度とガラス基板に対する密着性が得られることを見出して、発明をなすに至った。   As a result of intensive studies to solve the previous problems, the present inventor has simply used a photoinitiator that is highly sensitive to light in a black photopolymerizable resin composition. It has been found that the sensitivity and the adhesion to the glass substrate when forming the film are not satisfactory. Then, using a specific photopolymerization initiator, blending this with a specific linear polymer, a photopolymerizable compound and a coloring substance at a specific ratio, and further using a specific support film, a photopolymerizable resin laminate For the first time, the inventors have found that sufficient sensitivity and adhesion to a glass substrate when forming a black matrix can be obtained, and the present invention has been made.

すなわち、本発明は、
(1) (a)重量平均分子量が3000〜50000で酸当量が100〜600である線状重合体を1〜70質量%、(b)エチレン性不飽和二重結合を少なくとも一つ以上有する光重合性化合物を5〜50質量%、(c)光重合開始剤を0.1〜20質量%、(d)着色物質を5〜70質量%、それぞれ含有し、(c)成分として、下記式(I)で示される化合物を0.1〜20質量%含有する光重合性樹脂組成物からなる層を、厚みが5〜40μmである透明な支持フィルム上に、積層したことを特徴とするブラックマトリックス用光重合性樹脂積層体。

Figure 2006276173
(式中、R、R、及びRは、各々独立にCHまたはCを表し、Rは、H、CH、C、n−C、CH(CH、n−C、CH(CH)C、CHCH(CH、及びC(CHからなる群から選択されるいずれかを表す) That is, the present invention
(1) (a) 1 to 70% by mass of a linear polymer having a weight average molecular weight of 3000 to 50000 and an acid equivalent of 100 to 600, and (b) light having at least one ethylenically unsaturated double bond. 5 to 50% by mass of the polymerizable compound, (c) 0.1 to 20% by mass of the photopolymerization initiator, (d) 5 to 70% by mass of the coloring substance, and (c) the following formula: A black layer obtained by laminating a layer made of a photopolymerizable resin composition containing 0.1 to 20% by mass of the compound represented by (I) on a transparent support film having a thickness of 5 to 40 μm. Photopolymerizable resin laminate for matrix.
Figure 2006276173
(In the formula, R 1 , R 2 , and R 3 each independently represent CH 3 or C 2 H 5 , and R 4 represents H, CH 3 , C 2 H 5 , n-C 3 H 7 , CH Represents any one selected from the group consisting of (CH 3 ) 2 , nC 4 H 9 , CH (CH 3 ) C 2 H 5 , CH 2 CH (CH 3 ) 2 , and C (CH 3 ) 3. )

(2) 線状重合体(a)の含有量が光重合性化合物(b)の含有量の1.0〜3.0倍である光重合性樹脂組成物からなる層を支持フィルム上に積層したことを特徴とする(1)記載のブラックマトリックス用光重合性樹脂積層体。
(3) 線状重合体(a)の含有量が光重合性化合物(b)の含有量の2.0〜3.0倍であり、かつ、上記式(I)で示される化合物を5〜20質量%含有する光重合性樹脂組成物からなる層を支持フィルム上に積層したことを特徴とする(1)または(2)に記載のブラックマトリックス用光重合性樹脂積層体。
(2) A layer made of a photopolymerizable resin composition in which the content of the linear polymer (a) is 1.0 to 3.0 times the content of the photopolymerizable compound (b) is laminated on the support film. (1) The photopolymerizable resin laminate for black matrix according to (1).
(3) The content of the linear polymer (a) is 2.0 to 3.0 times the content of the photopolymerizable compound (b), and the compound represented by the above formula (I) is 5 to The photopolymerizable resin laminate for black matrix according to (1) or (2), wherein a layer made of a photopolymerizable resin composition containing 20% by mass is laminated on a support film.

(4) 下記式(II)または式(III)で示される化合物のうち少なくとも1種類以上を0.05〜10質量%含有する光重合性樹脂組成物からなる層を支持フィルム上に積層したことを特徴とする(1)〜(3)のいずれかに記載のブラックマトリックス用光重合性樹脂積層体。

Figure 2006276173
(式中、R、RおよびRは、各々独立にHまたはCHを表す。) (4) A layer made of a photopolymerizable resin composition containing 0.05 to 10% by mass of at least one of the compounds represented by the following formula (II) or formula (III) was laminated on the support film. The photopolymerizable resin laminate for black matrix according to any one of (1) to (3).
Figure 2006276173
(In the formula, R 5 , R 6 and R 7 each independently represent H or CH 3. )

Figure 2006276173
(式中、Rは、HまたはCHを表す。XはCまたはCH(CH)CHまたはCHCH(CH)を表し、nは1〜6の正の整数である。また、Yは炭素数が1〜6の2価の鎖状飽和炭化水素基、若しくは炭素数が5〜7の2価の環状飽和炭化水素基、または2価の芳香族基を表す。)
Figure 2006276173
(Wherein R 8 represents H or CH 3 , X represents C 2 H 4 or CH (CH 3 ) CH 2 or CH 2 CH (CH 3 ), and n represents a positive integer of 1 to 6. Y represents a divalent chain saturated hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, a divalent cyclic saturated hydrocarbon group having 5 to 7 carbon atoms, or a divalent aromatic group. )

(5) (1)〜(4)のいずれかに記載のブラックマトリックス用光重合性樹脂積層体を光重合性樹脂組成物からなる層がガラス基板と接触するように該ガラス基板に積層する積層工程、支持フィルム側からマトリックスパターンを有するフォトマスク及び支持フィルムを通して該光重合性樹脂組成物からなる層に活性光線を照射する露光工程、及び該露光工程で硬化しなかった光重合性樹脂組成物を現像液にて除去し硬化した光重合性樹脂組成物からなるブラックマトリックスを該ガラス基板上に形成する現像工程を含むことを特徴とするブラックマトリックス付きガラス基板の製造方法。
(6) 露光工程と現像工程の間に、光重合性樹脂組成物からなる層が積層されたガラス基板を60〜130℃で1〜6分加熱する加熱工程を有することを特徴とする(5)記載のブラックマトリックス付きガラス基板の製造方法。
(7) (5)または(6)に記載の方法により製造されるブラックマトリックス付きガラス基板。
(8) (4)または(5)に記載の方法によりブラックマトリックス付きガラス基板を製造する工程、及び該ブラックマトリックス付きガラス基板の少なくともブラックマトリックスで覆われていない部分の一部に感熱性または感光性のカラーインクをインクジェット方式により印刷する印刷工程を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
(9) (8)に記載の方法により製造されるカラーフィルタ。
(5) Lamination for laminating the photopolymerizable resin laminate for black matrix according to any one of (1) to (4) on the glass substrate so that the layer made of the photopolymerizable resin composition is in contact with the glass substrate A photomask having a matrix pattern from the support film side, an exposure step of irradiating the layer comprising the photopolymerizable resin composition through the support film with an actinic ray, and a photopolymerizable resin composition not cured in the exposure step The manufacturing method of the glass substrate with a black matrix characterized by including the image development process which forms the black matrix which consists of a photopolymerizable resin composition which removed and hardened | cured with the developing solution on this glass substrate.
(6) A heating step of heating a glass substrate on which a layer made of a photopolymerizable resin composition is laminated at 60 to 130 ° C. for 1 to 6 minutes between the exposure step and the development step (5) ) A method for producing a glass substrate with a black matrix.
(7) A glass substrate with a black matrix produced by the method according to (5) or (6).
(8) A step of producing a glass substrate with a black matrix by the method according to (4) or (5), and at least a part of the glass substrate with a black matrix not covered with the black matrix is heat sensitive or photosensitive. A method for producing a color filter, comprising a printing step of printing a color ink having a color characteristic by an ink jet method.
(9) A color filter produced by the method according to (8).

本発明のブラックマトリックス用光重合性樹脂積層体は光に対して高感度であり、硬化後のブラックマトリックスのガラス基板への密着性が高い。また、本発明のブラックマトリックス付きガラス基板の製造方法を用いることにより、遮光性と解像性に優れた高性能のブラックマトリックス付きガラス基板を提供することができる。さらに本発明のカラーフィルタの製造方法を用いることにより、高性能なカラーフィルタを提供することが出来る。   The photopolymerizable resin laminate for black matrix of the present invention is highly sensitive to light and has high adhesion to the glass substrate of the cured black matrix. In addition, by using the method for producing a glass substrate with a black matrix of the present invention, a high performance glass substrate with a black matrix having excellent light-shielding properties and resolution can be provided. Furthermore, a high-performance color filter can be provided by using the method for producing a color filter of the present invention.

以下、本発明について具体的に説明する。なお本発明における各成分の配合量は、光重合性樹脂組成物全体を基準とした場合の質量%で記載される。
本発明のブラックマトリックス用光重合性樹脂積層体に用いられる光重合性樹脂組成物は、下記の式(I)で表される化合物を0.1〜20質量%含有することが必須である。感度の点から0.1質量%以上である必要がある。また、露光時にフォトマスクを通した光の回折によるかぶりを減少し十分な解像度を得るという観点から20質量%以下である必要がある。より好ましくは0.5%以上10%以下である。式(I)で表される化合物を用いることにより、高遮光性を維持しつつ高感度と高解像高密着性を発現することが出来る。
Hereinafter, the present invention will be specifically described. In addition, the compounding quantity of each component in this invention is described in the mass% at the time of making the reference | standard the whole photopolymerizable resin composition.
It is essential that the photopolymerizable resin composition used in the photopolymerizable resin laminate for black matrix of the present invention contains 0.1 to 20% by mass of a compound represented by the following formula (I). From the point of sensitivity, it is necessary to be 0.1% by mass or more. Moreover, it is necessary to be 20% by mass or less from the viewpoint of reducing fogging due to light diffraction through a photomask during exposure and obtaining sufficient resolution. More preferably, it is 0.5% or more and 10% or less. By using the compound represented by the formula (I), high sensitivity and high resolution and high adhesion can be exhibited while maintaining high light shielding properties.

Figure 2006276173
Figure 2006276173

上記の式(I)で表される化合物としては、2−(4−メチルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−(4−エチルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−(4−イソプロピルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−(4−n−プロピルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−[4−(2−メチルプロパ−1−イル)−ベンジル]−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−(4−n−ブチルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−(4−ベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン、等が挙げられ、特に2−(4−メチルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン、が好ましい。   Examples of the compound represented by the formula (I) include 2- (4-methylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2- (4-ethyl Benzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2- (4-isopropylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butane- 1-one, 2- (4-n-propylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2- [4- (2-methylprop-1-yl) -Benzyl] -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2- (4-n-butylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -Bu 1-one, 2- (4-benzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, and the like, particularly 2- (4-methylbenzyl)- 2-Dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one is preferred.

本発明における光重合性樹脂組成物は、式(I)で表される化合物以外の光重合開始剤を含んでも構わない。ここでいう光重合開始剤とは、各種の活性光線、例えば紫外線等により活性化され、重合を開始する化合物である。
上記の光重合開始剤としては、例えば、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ビス−(m−メトキシフェニル)イミダゾール二量体、及び2−(p−メトシキフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体等の2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体類が挙げられる。
また、p−アミノベンゾフェノン、p−ブチルアミノフェノン、p−ジメチルアミノアセトフェノン、p−ジメチルアミノベンゾフェノン、p,p’−ビス(エチルアミノ)ベンゾフェノン、p,p’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン[ミヒラーズケトン]、p,p’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、及びp,p’−ビス(ジブチルアミノ)ベンゾフェノン等のp−アミノフェニルケトン類が挙げられる。
The photopolymerizable resin composition in the present invention may contain a photopolymerization initiator other than the compound represented by the formula (I). The photopolymerization initiator here is a compound that is activated by various actinic rays, such as ultraviolet rays, and initiates polymerization.
Examples of the photopolymerization initiator include 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-bis- (m-methoxyphenyl) imidazole. 2,4,5-triarylimidazole dimers such as dimer and 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer.
In addition, p-aminobenzophenone, p-butylaminophenone, p-dimethylaminoacetophenone, p-dimethylaminobenzophenone, p, p′-bis (ethylamino) benzophenone, p, p′-bis (dimethylamino) benzophenone [Michler's ketone] ], P, p'-bis (diethylamino) benzophenone, and p-aminophenyl ketones such as p, p'-bis (dibutylamino) benzophenone.

また、2−エチルアントラキノン、及び2−tert−ブチルアントラキノン等のキノン類、ベンゾフェノン等の芳香族ケトン類、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、及びベンゾインエチルエーテル等のベンゾインエーテル類、9−フェニルアクリジン等のアクリジン化合物、並びにベンジルジメチルケタール、及びベンジルジエチルケタール等のベンジルケタール類が挙げられる。
また、1−フェニル−1,2−プロパンジオン−2−O−ベンゾイルオキシム、及び1−フェニル−1,2−プロパンジオン−2−(O−エトキシカルボニル)オキシム、1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−エタン−1−オンオキシム−O−アセテート、等のオキシムエステル類等が挙げられる。
また、N−アリール−α−アミノ酸化合物も用いることも可能であり、これらの中では、N−フェニルグリシンが好ましい。
また、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイド、及び2−メチル−2−モルフォリノ−1−(4−(メチルチオフェニル)−プロパン−1−オン等が挙げられる。
Further, quinones such as 2-ethylanthraquinone and 2-tert-butylanthraquinone, aromatic ketones such as benzophenone, benzoin ethers such as benzoin, benzoin methyl ether, and benzoin ethyl ether, and acridine such as 9-phenylacridine And benzyl ketals such as benzyl dimethyl ketal and benzyl diethyl ketal.
In addition, 1-phenyl-1,2-propanedione-2-O-benzoyloxime, 1-phenyl-1,2-propanedione-2- (O-ethoxycarbonyl) oxime, 1- [9-ethyl-6 -(2-Methylbenzoyl) -9. H. And oxime esters such as -carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-acetate.
Further, N-aryl-α-amino acid compounds can also be used, and among these, N-phenylglycine is preferable.
Further, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, 2-methyl-2-morpholino-1- (4- (methylthiophenyl) -propan-1-one, and the like can be given.

本発明における、式(I)で表される化合物を含めた、全ての(c)光重合開始剤の、光重合性樹脂組成物に占める割合は、0.1質量%〜20質量%であることが好ましい。感度の観点から0.1質量%以上が好ましい。また、露光時にフォトマスクを通した光の回折によるかぶりを減少し十分な解像度を得るという観点から20質量%以下が好ましい。
本発明に用いられる(a)線状重合体(以下、「バインダー樹脂」ともいう。)の重量平均分子量は、3000〜50000である必要がある。現像性の観点から分子量は50000以下が好ましく、エッジフューズの観点から3000以上が好ましい。ここでいうエッジフューズとは、本発明の光重合性樹脂組成物を少なくとも支持体と積層し、ロール状に巻き取った場合に、光重合性樹脂組成物の一部がロール端面より染み出す現象のことを示す。本発明の効果をさらに良く発揮するためには、分子量が、10000〜40000であることが特に好ましい。なお、分子量の測定は、日本分光(株)製ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)(ポンプ:Gulliver、PU−1580型、カラム:昭和電工(株)製Shodex(登録商標)(KF−807、KF−806M、KF−806M、KF−802.5)4本直列、移動層溶媒:テトラヒドロフラン、ポリスチレン標準サンプルによる検量線使用)により重量平均分子量(ポリスチレン換算)として求められる。
In the present invention, the proportion of all (c) photopolymerization initiators including the compound represented by formula (I) in the photopolymerizable resin composition is 0.1% by mass to 20% by mass. It is preferable. From the viewpoint of sensitivity, 0.1% by mass or more is preferable. Further, it is preferably 20% by mass or less from the viewpoint of reducing fogging due to light diffraction through a photomask during exposure and obtaining sufficient resolution.
The weight average molecular weight of the linear polymer (hereinafter also referred to as “binder resin”) used in the present invention needs to be 3000 to 50000. The molecular weight is preferably 50000 or less from the viewpoint of developability, and 3000 or more is preferable from the viewpoint of edge fuse. The edge fuse here is a phenomenon in which a part of the photopolymerizable resin composition oozes out from the roll end face when the photopolymerizable resin composition of the present invention is laminated at least with a support and wound into a roll. It shows that. In order to further exhibit the effects of the present invention, the molecular weight is particularly preferably 10,000 to 40,000. The molecular weight was measured by gel permeation chromatography (GPC) manufactured by JASCO Corporation (pump: Gulliver, PU-1580 type, column: Shodex (registered trademark) (KF-807, KF manufactured by Showa Denko KK). -806M, KF-806M, KF-802.5) It is calculated | required as a weight average molecular weight (polystyrene conversion) by 4 in-line, moving bed solvent: Tetrahydrofuran, using a calibration curve by a polystyrene standard sample).

本発明に用いられる(a)線状重合体に含まれるカルボキシル基の量は、酸当量で100〜600である必要がある。酸当量とは、1当量のカルボキシル基を有する重合体の質量を示す。(a)線状重合体中のカルボキシル基は、未硬化の光重合性樹脂組成物からなる層にアルカリ水溶液に対する現像性を与えるために必要である。現像性の観点から酸当量は600以下である必要があり、ガラス基板との密着性や解像度の観点から酸当量は100以上である必要がある。実用上の観点から、250〜500であることが好ましい。なお、酸当量の測定は、平沼産業(株)製、平沼自動滴定装置(COM−555)を使用し、0.1mol/Lの水酸化ナトリウムを用いて電位差滴定法により行われる。
本発明に用いられる(a)線状重合体は、アクリル系重合体、エポキシ系重合体、フェノキシ系重合体、ポリエステル系重合体、ポリエーテル系重合体、及びウレタン系重合体、などが挙げられるが、中でもアクリル系重合体とウレタン系重合体が好ましく、特にアクリル系重合体が特に好ましい。
The amount of the carboxyl group contained in the linear polymer (a) used in the present invention needs to be 100 to 600 in terms of acid equivalent. An acid equivalent shows the mass of the polymer which has a 1 equivalent carboxyl group. (A) The carboxyl group in the linear polymer is necessary for imparting developability to an aqueous alkali solution to a layer made of an uncured photopolymerizable resin composition. The acid equivalent needs to be 600 or less from the viewpoint of developability, and the acid equivalent needs to be 100 or more from the viewpoint of adhesion to the glass substrate and resolution. From a practical viewpoint, it is preferably 250 to 500. In addition, the measurement of an acid equivalent is performed by the potentiometric titration method using Hiranuma Sangyo Co., Ltd. product and Hiranuma automatic titrator (COM-555) using 0.1 mol / L sodium hydroxide.
Examples of the (a) linear polymer used in the present invention include acrylic polymers, epoxy polymers, phenoxy polymers, polyester polymers, polyether polymers, and urethane polymers. Among them, acrylic polymers and urethane polymers are preferable, and acrylic polymers are particularly preferable.

本発明に用いられる前記アクリル系重合体は、次に記す2種類の単量体の中より、各々一種又はそれ以上の単量体を共重合させることにより得られる。
第一の単量体は、分子中にエチレン性不飽和二重結合を一個有するカルボン酸又は酸無水物である。例えば、(メタ)アクリル酸、フマル酸、ケイ皮酸、クロトン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸無水物、及びマレイン酸半エステル等が挙げられる。
第二の単量体は、非酸性で、分子中にエチレン性不飽和二重結合を一個有し、光重合性樹脂層の現像性、硬化膜の可とう性等の種々の特性を保持するように選ばれる。このようなものとしては、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート等のアルキル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリロニトリル、フェニル基を有するビニル化合物(例えば、スチレン)、及びベンジル(メタ)アクリレート等が挙げられる。また、ブラックマトリックスとしての耐熱性の点でベンジル(メタ)アクリレートを用いることは本発明の好ましい実施態様である。
The acrylic polymer used in the present invention can be obtained by copolymerizing one or more monomers from the following two types of monomers.
The first monomer is a carboxylic acid or acid anhydride having one ethylenically unsaturated double bond in the molecule. Examples include (meth) acrylic acid, fumaric acid, cinnamic acid, crotonic acid, itaconic acid, citraconic acid, maleic anhydride, and maleic acid half ester.
The second monomer is non-acidic, has one ethylenically unsaturated double bond in the molecule, and retains various characteristics such as developability of the photopolymerizable resin layer and flexibility of the cured film. So chosen. Examples of such compounds include alkyl (meth) acrylates such as methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, and 2-ethylhexyl (meth) acrylate, and 2-hydroxyethyl (meth) acrylate. , 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, (meth) acrylonitrile, vinyl compounds having a phenyl group (for example, styrene), benzyl (meth) acrylate, and the like. In addition, it is a preferred embodiment of the present invention to use benzyl (meth) acrylate in terms of heat resistance as a black matrix.

本発明に用いられる前記アクリル系重合体の光重合性樹脂組成物に対する割合は、1〜70質量%の範囲が好ましく、ブラックマトリックスの現像工程における耐性という観点から、10〜50質量%の範囲が特に好ましい。
本発明に用いられる前記アクリル系重合体は、上記単量体の混合物を、アセトン、メチルエチルケトン、イソプロパノール等の溶剤で希釈した溶液に、過酸化ベンゾイル、アゾビスイソブチロニトリル等のラジカル重合開始剤を適量添加し、加熱攪拌することにより合成を行うことが好ましい。混合物の一部を反応液に滴下しながら合成を行う場合もある。反応終了後、さらに溶媒を加えて、所望の濃度に調整する場合もある。合成手段としては、溶液重合以外に、塊状重合、懸濁重合及び乳化重合を用いてもよい。
本発明における(b)エチレン性不飽和二重結合を少なくとも一つ以上有する光重合性化合物には公知の種々の化合物を用いることが出来る。
The ratio of the acrylic polymer used in the present invention to the photopolymerizable resin composition is preferably in the range of 1 to 70% by mass, and in the range of 10 to 50% by mass from the viewpoint of resistance in the development process of the black matrix. Particularly preferred.
The acrylic polymer used in the present invention is a radical polymerization initiator such as benzoyl peroxide or azobisisobutyronitrile in a solution obtained by diluting a mixture of the above monomers with a solvent such as acetone, methyl ethyl ketone, or isopropanol. It is preferable to synthesize by adding an appropriate amount of and stirring with heating. In some cases, the synthesis is performed while a part of the mixture is dropped into the reaction solution. After completion of the reaction, a solvent may be further added to adjust to a desired concentration. As synthesis means, bulk polymerization, suspension polymerization and emulsion polymerization may be used in addition to solution polymerization.
Various known compounds can be used as the photopolymerizable compound (b) having at least one ethylenically unsaturated double bond in the present invention.

例えばビスフェノールAの両端にそれぞれ平均2モルのプロピレンオキサイドと平均6モルのエチレンオキサイドを付加したポリアルキレングリコールのジメタクリレートや、ビスフェノールAの両端にそれぞれ平均5モルのエチレンオキサイドを付加したポリエチレングリコールのジメタクリレート(新中村化学工業(株)製NKエステルBPE−500)、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,4−シクロヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、またポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、2−ジ(p−ヒドロキシフェニル)プロパンジ(メタ)アクリレート、グリセロールトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ポリオキシプロピルトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ポリオキシエチルトリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート及び、β−ヒドロキシプロピル−β’−(アクリロイルキシ)プロピルフタレート、フェノキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、ノニルフェニキシポリアルキレングリコール(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート等が挙げられる。   For example, dimethacrylate of polyalkylene glycol in which an average of 2 mol of propylene oxide and an average of 6 mol of ethylene oxide are added to both ends of bisphenol A, or a polyethylene glycol dimethacrylate in which an average of 5 mol of ethylene oxide is added to both ends of bisphenol A, respectively. Methacrylate (NK Nakamura Chemical Co., Ltd. NK ester BPE-500), 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, 1,4-cyclohexanediol di (meth) acrylate, or polypropylene glycol di (meth) acrylate, Polyethylene glycol di (meth) acrylate, 2-di (p-hydroxyphenyl) propane di (meth) acrylate, glycerol tri (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate Polyoxypropyltrimethylolpropane tri (meth) acrylate, polyoxyethyltrimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, trimethylolpropane triglycidyl ether tri (meth) ) Acrylate, bisphenol A diglycidyl ether di (meth) acrylate, β-hydroxypropyl-β ′-(acryloyloxy) propyl phthalate, phenoxypolyethylene glycol (meth) acrylate, nonylphenoxypolyethylene glycol (meth) acrylate, nonylphenoxy Examples include polyalkylene glycol (meth) acrylate and polypropylene glycol mono (meth) acrylate. .

本発明に(b)成分として、カルボキシル基とエチレン性不飽和二重結合を同一分子内にそれぞれ少なくとも一つ以上持ち、分子量が100〜1000である化合物を含むことが、ガラス基板への密着性を向上させるために好ましい。カルボキシル基とエチレン性不飽和二重結合を同一分子内にそれぞれ少なくとも一つ以上持ち、分子量が100〜1000である化合物としては、式(II)で表される化合物や式(III)で表される化合物などが挙げられる。

Figure 2006276173
(式中、R、RおよびRは、HまたはCHを表す。) As the component (b) in the present invention, it is possible to include a compound having at least one carboxyl group and an ethylenically unsaturated double bond in the same molecule, and having a molecular weight of 100 to 1000, to adhere to a glass substrate. It is preferable for improving. The compound having at least one carboxyl group and at least one ethylenically unsaturated double bond in the same molecule and having a molecular weight of 100 to 1000 is represented by the compound represented by formula (II) or formula (III). And the like.
Figure 2006276173
(In the formula, R 5 , R 6 and R 7 represent H or CH 3. )

Figure 2006276173
(式中、Rは、HまたはCHを表す。XはCまたはCH(CH)CHまたはCHCH(CH)を表し、nは1〜6の正の整数である。また、Yは炭素数が1〜6の2価の鎖状飽和炭化水素基、若しくは炭素数が5〜7の2価の環状飽和炭化水素基、または2価の芳香族基を表す。)
Figure 2006276173
(Wherein R 8 represents H or CH 3 , X represents C 2 H 4 or CH (CH 3 ) CH 2 or CH 2 CH (CH 3 ), and n represents a positive integer of 1 to 6. Y represents a divalent chain saturated hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, a divalent cyclic saturated hydrocarbon group having 5 to 7 carbon atoms, or a divalent aromatic group. )

式(II)で挙げられる化合物としては、コハク酸変性ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、フタル酸変性ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、イソフタル酸変性ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、及びテレフタル酸変性ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、などが挙げられる。
また、式(III)で挙げられる化合物としては、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートにエチレンオキサイドを1〜3モル追加した化合物とヘキサヒドロフタル酸とのハーフエステル化合物、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートにエチレンオキサイドを1〜3モル追加した化合物とコハク酸とのハーフエステル化合物、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートにエチレンオキサイドを1〜3モル追加した化合物とイソフタル酸とのハーフエステル化合物、及び2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートにエチレンオキサイドを1〜3モル追加した化合物とテレフタル酸とのハーフエステル化合物などが挙げられる。
これらの化合物は、基材への密着性の観点から、0.1質量%以上が好ましく、現像性の観点から30質量%以下であることが好ましい。1〜30質量%含有することがより好ましい。
Examples of the compound represented by the formula (II) include succinic acid-modified pentaerythritol tri (meth) acrylate, phthalic acid-modified pentaerythritol tri (meth) acrylate, isophthalic acid-modified pentaerythritol tri (meth) acrylate, and terephthalic acid-modified pentaerythritol. And tri (meth) acrylate.
Moreover, as a compound mentioned by Formula (III), the half ester compound of the compound which added 1-3 mol of ethylene oxide to 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, and hexahydrophthalic acid, 2-hydroxyethyl (meth) A half ester compound of succinic acid and a compound obtained by adding 1 to 3 moles of ethylene oxide to an acrylate, a half ester compound of a compound obtained by adding 1 to 3 moles of ethylene oxide to 2-hydroxyethyl (meth) acrylate and isophthalic acid, and Examples thereof include a half ester compound of terephthalic acid and a compound obtained by adding 1 to 3 moles of ethylene oxide to 2-hydroxyethyl (meth) acrylate.
These compounds are preferably 0.1% by mass or more from the viewpoint of adhesion to the substrate, and preferably 30% by mass or less from the viewpoint of developability. It is more preferable to contain 1-30 mass%.

本発明における光重合性樹脂組成物にはエチレン性不飽和二重結合を有するウレタン化合物を含んでも良い。該ウレタン化合物としては、例えば、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、又は2,2,4−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物と、一分子中にヒドロキシル基と(メタ)アクリル基を有する化合物(2−ヒドロキシプロピルアクリレート、オリゴプロピレングリコールモノメタクリレート等)とのウレタン化合物等が挙げられる。具体的には、ヘキサメチレンジイソシアネートとオリゴプロピレングリコ−ルモノメタクリレート(日本油脂(株)製、ブレンマーPP1000)との反応物がある。
(b)エチレン性不飽和二重結合を少なくとも一つ以上有する光重合性化合物(以下、「光重合性モノマー」ともいう。)の、光重合性樹脂組成物全体に対する割合は、5〜50質量%の範囲が好ましい。この割合が、5質量%未満では感度の点で充分ではなく、エッジフューズの観点から50質量%以下が好ましい。好ましくは10〜50質量%、より好ましくは10〜40質量%である。
The photopolymerizable resin composition in the present invention may contain a urethane compound having an ethylenically unsaturated double bond. Examples of the urethane compound include a diisocyanate compound such as hexamethylene diisocyanate, tolylene diisocyanate, or 2,2,4-trimethylhexamethylene diisocyanate, and a compound having a hydroxyl group and a (meth) acryl group in one molecule (2 -Hydroxypropyl acrylate, oligopropylene glycol monomethacrylate and the like) and urethane compounds. Specifically, there is a reaction product of hexamethylene diisocyanate and oligopropylene glycol monomethacrylate (Nippon Yushi Co., Ltd., Bremer PP1000).
(B) The ratio of the photopolymerizable compound having at least one ethylenically unsaturated double bond (hereinafter also referred to as “photopolymerizable monomer”) to the entire photopolymerizable resin composition is 5 to 50 mass. % Range is preferred. If this ratio is less than 5% by mass, the sensitivity is not sufficient, and 50% by mass or less is preferable from the viewpoint of edge fuse. Preferably it is 10-50 mass%, More preferably, it is 10-40 mass%.

本発明における(a)と(b)の配合比は、(a)/(b)の値が1.0〜3.0であることが好ましい。(a)/(b)の値が3.0以下である場合には、低濃度のアルカリ現像液でも現像可能になり、現像に要する時間が適度な長さになって好ましい。(a)/(b)の値が1.0以上である場合には、現像時間が長い条件でのガラス基板への密着性が高いため好ましく、ガラス基板にラミネートして支持フィルムを剥がした際の感光性樹脂層の転写が容易になるため好ましい。
本発明において、(a)/(b)の値と前記の式(I)で表される化合物の量は、光重合性樹脂組成物の光に対する感度と重要な関連性がある。(a)/(b)は過現像密着性の観点からより大きい値が好ましいが、(a)/(b)が大きくなると、パターンを十分に硬化させるために必要な露光量が多くなり、感度が相対的に低くなる傾向がある。 (a)/(b)の値が2.0〜3.0である場合が過現像密着性の観点から好ましいが、この場合は十分な感度を維持する観点から、同時に式(I)で表される化合物を5〜20質量%含有することが好ましい。(a)/(b)が2.0〜3.0でありかつ式(I)で表される化合物を8〜20質量%含有することがより好ましい。
As for the compounding ratio of (a) and (b) in the present invention, the value of (a) / (b) is preferably 1.0 to 3.0. When the value of (a) / (b) is 3.0 or less, development is possible even with a low-concentration alkaline developer, and the time required for development is preferably moderate. When the value of (a) / (b) is 1.0 or more, it is preferable because the adhesiveness to the glass substrate is high under conditions where the development time is long. When the support film is peeled off after being laminated on the glass substrate Since the transfer of the photosensitive resin layer becomes easy, it is preferable.
In the present invention, the value of (a) / (b) and the amount of the compound represented by the formula (I) have an important relationship with the sensitivity of the photopolymerizable resin composition to light. (A) / (b) is preferably a larger value from the viewpoint of over-development adhesion, but if (a) / (b) is increased, the amount of exposure necessary to sufficiently cure the pattern increases, and the sensitivity Tends to be relatively low. The case where the value of (a) / (b) is 2.0 to 3.0 is preferable from the viewpoint of over-development adhesion, but in this case, from the viewpoint of maintaining sufficient sensitivity, it is simultaneously represented by the formula (I). It is preferable to contain 5-20 mass% of compounds made. It is more preferable that (a) / (b) is 2.0 to 3.0 and 8 to 20% by mass of the compound represented by the formula (I) is contained.

本発明における(d)着色物質としては、顔料、染料などが挙げられ、これらは同時に用いられても構わない。顔料としては、フタロシアニン系、アントラキノン系、ビスアントラキノン系、キナクリドン系、ジオキサジン系、メチン・アゾメチン系、イソインドリノン系などの有機顔料や、カーボンブラック類、チタンブラック、チタン酸窒化物、黒色低次酸化チタン、グラファイト粉末、鉄黒、酸化銅、などの無機顔料があり、複数の顔料を含んでも構わない。これらの顔料には、光重合性樹脂組成物での分散性を高めるため、あるいは電気抵抗値を高めるための表面処理がなされていてもよい。染料としては、アゾ系、アクリジン系、アリザニン系、アントラキノン系、インジゴ系、ペリレン系などが挙げられる。
顔料としては、例えば、カラーインデックス(C.I.;The Society of Dyers and Colourists社発行)において、ピグメント(Pigment)に分割されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス(C.I.)番号が付されているものを挙げることが出来る。
Examples of the coloring material (d) in the present invention include pigments and dyes, and these may be used simultaneously. Examples of pigments include organic pigments such as phthalocyanine, anthraquinone, bisanthraquinone, quinacridone, dioxazine, methine / azomethine, and isoindolinone, carbon blacks, titanium black, titanium oxynitride, black lower order There are inorganic pigments such as titanium oxide, graphite powder, iron black, and copper oxide, and a plurality of pigments may be included. These pigments may be subjected to a surface treatment for enhancing the dispersibility in the photopolymerizable resin composition or for increasing the electric resistance value. Examples of the dye include azo series, acridine series, alizanin series, anthraquinone series, indigo series, and perylene series.
Examples of the pigment include compounds divided into pigments in the color index (CI; issued by The Society of Dyers and Colorists), and specifically, the following color index (C.I. I.) Numbers can be mentioned.

C.I.ピグメントレッド9、C.I.ピグメントレッド97、C.I.ピグメントレッド105、C.I.ピグメントレッド122、C.I.ピグメントレッド123、C.I.ピグメントレッド144、C.I.ピグメントレッド149、C.I.ピグメントレッド166、C.I.ピグメントレッド168、C.I.ピグメントレッド176、C.I. ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド180、C.I.ピグメントレッド192、C.I.ピグメントレッド215、C.I.ピグメントレッド216、C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピグメントレッド242、C.I.ピグメントレッド254、 C.I.ピグメンレッド264、及びC.I.ピグメントレッド265などの赤色顔料が挙げられる。
更に、C.I.ピグメントオレンジ13、C.I.ピグメントオレンジ31、C.I.ピグメントオレンジ36、C.I.ピグメントオレンジ38、C.I.ピグメントオレンジ40、C.I.ピグメントオレンジ42、C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピグメントオレンジ51、C.I.ピグメントオレンジ55、C.I.ピグメントオレンジ59、C.I.ピグメントオレンジ61、C.I.ピグメントオレンジ64、C.I.ピグメントオレンジ65、C.I.ピグメントオレンジ71、及びC. I.ピグメントオレンジ73などの橙色顔料が挙げられる。
C. I. Pigment red 9, C.I. I. Pigment red 97, C.I. I. Pigment red 105, C.I. I. Pigment red 122, C.I. I. Pigment red 123, C.I. I. Pigment red 144, C.I. I. Pigment red 149, C.I. I. Pigment red 166, C.I. I. Pigment red 168, C.I. I. Pigment red 176, C.I. I. Pigment red 177, C.I. I. Pigment red 180, C.I. I. Pigment red 192, C.I. I. Pigment red 215, C.I. I. Pigment red 216, C.I. I. Pigment red 224, C.I. I. Pigment red 242, C.I. I. Pigment red 254, C.I. I. Pigment Red 264, and C.I. I. And red pigments such as CI Pigment Red 265.
Furthermore, C.I. I. Pigment orange 13, C.I. I. Pigment orange 31, C.I. I. Pigment orange 36, C.I. I. Pigment orange 38, C.I. I. Pigment orange 40, C.I. I. Pigment orange 42, C.I. I. Pigment orange 43, C.I. I. Pigment orange 51, C.I. I. Pigment orange 55, C.I. I. Pigment orange 59, C.I. I. Pigment orange 61, C.I. I. Pigment orange 64, C.I. I. Pigment orange 65, C.I. I. Pigment orange 71, and C.I. I. And orange pigments such as CI Pigment Orange 73.

更に、C.I.ピグメントイエロー1、C.I.ピグメントイエロー3、C.I.ピグメントイ エロー12、C.I.ピグメントイエロー13、C.I.ピグメントイエロー14、C.I.ピグメントイエロー15、C.I.ピグメントイエロー16、C.I.ピグメントイエロー17、C.I.ピグメントイエロー20、C.I.ピグメントイエロー24、C.I.ピグメントイエロー31、C.I.ピグメントイエロー53、C.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー86、C.I.ピグメントイエロー93、C.I.ピグメントイエロー94、C.I.ピグメントイエロー109、C.I.ピグメントイエロー110、C.I.ピグメントイエロー117、C.I.ピグメントイエロー125、C.I.ピグメントイエロー128、C.I.ピグメントイエロー137、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー147、C.I.ピグメントイエロー148、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー153、C.I.ピグメントイエロー154、C.I.ピグメントイエロー166、及びC.I.ピグメントイエロー173などの黄色顔料が挙げられる。   Furthermore, C.I. I. Pigment yellow 1, C.I. I. Pigment yellow 3, C.I. I. Pigment Yellow 12, C.I. I. Pigment yellow 13, C.I. I. Pigment yellow 14, C.I. I. Pigment yellow 15, C.I. I. Pigment yellow 16, C.I. I. Pigment yellow 17, C.I. I. Pigment yellow 20, C.I. I. Pigment yellow 24, C.I. I. Pigment yellow 31, C.I. I. Pigment yellow 53, C.I. I. Pigment yellow 83, C.I. I. Pigment yellow 86, C.I. I. Pigment yellow 93, C.I. I. Pigment yellow 94, C.I. I. Pigment yellow 109, C.I. I. Pigment yellow 110, C.I. I. Pigment yellow 117, C.I. I. Pigment yellow 125, C.I. I. Pigment yellow 128, C.I. I. Pigment yellow 137, C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 147, C.I. I. Pigment yellow 148, C.I. I. Pigment yellow 150, C.I. I. Pigment yellow 153, C.I. I. Pigment yellow 154, C.I. I. Pigment yellow 166, and C.I. I. And yellow pigments such as CI Pigment Yellow 173.

更に、C.I.ピグメントグリーン7、及びC.I.ピグメントグリーン36などの緑色顔料、C.I.ピグメントブルー15、C.I.ピグメントブルー15:3、C.I.ピグメントブルー15:4、C.I.ピグメントブルー15:6、及びC.I.ピグメントブルー60などの青色顔料、C.I.ピグメントバイオレット1、C.I.ピグメントバイオレット19、C.I.ピグメントバイオレット23、C.I.ピグメントバイオレット29、C.I.ピグメントバイオレット32、C.I.ピグメントバイオレット36、及びC.I.ピグメントバイオレット38などの紫色顔料、並びにC.I.ピグメントブラウン23、及びC.I.ピグメントブラウン25などの茶色顔料が挙げられる。
染料としては、例えば、フクシン、フタロシアニングリーン、カルコキシドグリーンS,パラマジエンタ、クリスタルバイオレット、メチルオレンジ、ナイルブルー2B、ビクトリアブルー、マラカイトグリーン(保土ヶ谷化学(株)製 アイゼン(登録商標) MALACHITE GREEN)、ベイシックブルー20、ダイアモンドグリーン(保土ヶ谷化学(株)製 アイゼン(登録商標) DIAMOND GREEN GH)等が挙げられる。
Furthermore, C.I. I. Pigment green 7, and C.I. I. Green pigments such as C.I. Pigment Green 36, C.I. I. Pigment blue 15, C.I. I. Pigment blue 15: 3, C.I. I. Pigment blue 15: 4, C.I. I. Pigment blue 15: 6, and C.I. I. Blue pigments such as C.I. Pigment Blue 60, C.I. I. Pigment violet 1, C.I. I. Pigment violet 19, C.I. I. Pigment violet 23, C.I. I. Pigment violet 29, C.I. I. Pigment violet 32, C.I. I. Pigment violet 36, and C.I. I. Purple pigments such as CI Pigment Violet 38, and C.I. I. Pigment brown 23, and C.I. I. And brown pigments such as CI Pigment Brown 25.
Examples of the dye include fuchsin, phthalocyanine green, chalcoxide green S, paramadienta, crystal violet, methyl orange, Nile blue 2B, Victoria blue, malachite green (Aizen (registered trademark) MALACHITE GREEN manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.), basic Blue 20 and diamond green (Eizen (registered trademark) DIAMOND GREEN GH manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.) and the like.

本発明における(d)着色物質としては、ブラックマトリックスとしての遮光性、感度、解像度、及び密着性への影響の観点から、カーボンブラック、及びチタンブラックが好ましい。
本発明における光重合性樹脂組成物には、光照射により発色する発色系染料を含有させることも、硬化前の光感度と硬化後の遮光性を両立させる観点から、好ましい態様である。用いられる発色系染料としては、例えば、ロイコ染料又はフルオラン染料と、ハロゲン化合物の組み合わせがある。
上記ロイコ染料としては、例えば、トリス(4−ジメチルアミノ−2−メチルフェニル)メタン[ロイコクリスタルバイオレット]等が挙げられる。
As the coloring substance (d) in the present invention, carbon black and titanium black are preferable from the viewpoints of light shielding properties, sensitivity, resolution, and adhesion as a black matrix.
In the photopolymerizable resin composition of the present invention, it is a preferable embodiment that a coloring dye that develops color by light irradiation is also included from the viewpoint of achieving both photosensitivity before curing and light-shielding property after curing. Examples of the coloring dye used include a combination of a leuco dye or a fluorane dye and a halogen compound.
Examples of the leuco dye include tris (4-dimethylamino-2-methylphenyl) methane [leuco crystal violet].

上記ハロゲン化合物としては、臭化アミル、臭化イソアミル、臭化イソブチレン、臭化エチレン、臭化ジフェニルメチル、臭化ベンザル、臭化メチレン、トリブロモメチルフェニルスルフォン、四臭化炭素、トリス(2,3−ジブロモプロピル)ホスフェート、トリクロロアセトアミド、ヨウ化アミル、ヨウ化イソブチル、1,1,1−トリクロロ−2,2−ビス(p−クロロフェニル)エタン、ヘキサクロロエタン、トリアジン化合物等が挙げられる。
上記トリアジン化合物としては、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジンが挙げられる。
このような発色系染料の中でも、トリブロモメチルフェニルスルフォンとロイコ染料との組み合わせや、トリアジン化合物とロイコ染料との組み合わせが有用である。
(d)着色物質の光重合性樹脂組成物全体に対する割合は、5〜70質量%の範囲である必要がある。ブラックマトリックスの遮光性から5質量%以上が必要であり、光重合性組成物の硬化性、ブラックマトリックスパターンの形成性から70質量%以下である。
Examples of the halogen compound include amyl bromide, isoamyl bromide, isobutylene bromide, ethylene bromide, diphenylmethyl bromide, benzal bromide, methylene bromide, tribromomethylphenyl sulfone, carbon tetrabromide, tris (2, 3-dibromopropyl) phosphate, trichloroacetamide, amyl iodide, isobutyl iodide, 1,1,1-trichloro-2,2-bis (p-chlorophenyl) ethane, hexachloroethane, triazine compounds and the like.
Examples of the triazine compound include 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine and 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine.
Among such coloring dyes, a combination of tribromomethylphenylsulfone and a leuco dye or a combination of a triazine compound and a leuco dye is useful.
(D) The ratio with respect to the whole photopolymerizable resin composition of a coloring material needs to be the range of 5-70 mass%. 5 mass% or more is required from the light-shielding property of a black matrix, and it is 70 mass% or less from the curability of a photopolymerizable composition and the formation property of a black matrix pattern.

本発明において、光重合性樹脂組成物の熱安定性や保存安定性を向上させるために、光重合性樹脂組成物にラジカル重合禁止剤を含有させることは好ましい。このようなラジカル重合禁止剤としては、例えば、p−メトキシフェノール、ハイドロキノン、ピロガロール、ナフチルアミン、tert−ブチルカテコール、塩化第一銅、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール、2,2’−メチレンビス(4−エチル−6−tert−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−tert−ブチルフェノール)、ジフェニルニトロソアミン、トリエチレングリコール−ビス−[3−(3−ターシャリブチル−5−メチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]、及びペンタエリスリトールテトラキス[3−(3,5−ジターシャリブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]等が挙げられる。ラジカル重合禁止剤の光重合性樹脂組成物全体に対する割合は、0.01%〜3%であることが好ましい。
また、本発明における光重合性樹脂組成物に、必要に応じて可塑剤等の添加剤を含有させることもできる。そのような添加剤としては、例えば、ジエチルフタレート等のフタル酸エステル類やp−トルエンスルホンアミド、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル等が挙げられる。
In the present invention, in order to improve the thermal stability and storage stability of the photopolymerizable resin composition, it is preferable to include a radical polymerization inhibitor in the photopolymerizable resin composition. Examples of such radical polymerization inhibitors include p-methoxyphenol, hydroquinone, pyrogallol, naphthylamine, tert-butylcatechol, cuprous chloride, 2,6-di-tert-butyl-p-cresol, 2,2 '-Methylenebis (4-ethyl-6-tert-butylphenol), 2,2'-methylenebis (4-methyl-6-tert-butylphenol), diphenylnitrosamine, triethyleneglycol-bis- [3- (3-tertiary Butyl-5-methyl-4-hydroxyphenyl) propionate], pentaerythritol tetrakis [3- (3,5-ditertiarybutyl-4-hydroxyphenyl) propionate] and the like. The ratio of the radical polymerization inhibitor to the entire photopolymerizable resin composition is preferably 0.01% to 3%.
Moreover, additives, such as a plasticizer, can also be contained in the photopolymerizable resin composition in this invention as needed. Examples of such additives include phthalic acid esters such as diethyl phthalate, p-toluenesulfonamide, polypropylene glycol, and polyethylene glycol monoalkyl ether.

本発明における光重合性樹脂積層体は、前述した光重合性樹脂組成物を厚みが5〜40μmの透明な支持フィルム上に塗工して作製することが好ましい。ここで用いられる支持フィルムとしては、活性光線を透過する透明なものである必要がある。活性光線を透過する支持フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、塩化ビニリデン共重合体フィルム、ポリメタクリル酸メチル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリアクリロニトリルフィルム、スチレン共重合体フィルム、ポリアミドフィルム、セルロース誘導体フィルム、トリアセチルセルロースフィルム、及びポリプロピレンフィルム等が挙げられる。これらのフィルムとしては、必要に応じ延伸されたものも使用可能である。
また、上記支持フィルムのヘーズは5.0以下であるものが好ましい。ここでいうヘーズ(Haze)とは濁度を表す値であり、ランプにより照射され試料中を透過した全透過率Tと、試料中で拡散され散乱した光の透過率Dにより、ヘーズ値H=D/T×100として求められる。これらはJIS−K−7105により規定されており、市販の濁度計によって容易に測定可能である。より好ましいヘーズ値は2.5%以下であり、さらに好ましくは1.0%以下である。
The photopolymerizable resin laminate in the present invention is preferably prepared by coating the above-described photopolymerizable resin composition on a transparent support film having a thickness of 5 to 40 μm. The support film used here needs to be transparent to transmit actinic rays. Support films that transmit actinic rays include polyethylene terephthalate film, polyvinyl alcohol film, polyvinyl chloride film, vinyl chloride copolymer film, polyvinylidene chloride film, vinylidene chloride copolymer film, polymethyl methacrylate copolymer film. , Polystyrene film, polyacrylonitrile film, styrene copolymer film, polyamide film, cellulose derivative film, triacetyl cellulose film, and polypropylene film. As these films, those stretched as necessary can be used.
The haze of the support film is preferably 5.0 or less. The haze here is a value representing turbidity, and the haze value H = the total transmittance T that is irradiated by the lamp and transmitted through the sample and the transmittance D of the light diffused and scattered in the sample. It is calculated as D / T × 100. These are defined by JIS-K-7105 and can be easily measured by a commercially available turbidimeter. A more preferable haze value is 2.5% or less, and further preferably 1.0% or less.

本発明における光重合性樹脂積層体において、光重合性樹脂からなる層の上記支持フィルムとは反対側の表面に、必要に応じて保護フィルムを積層することも出来る。支持フィルムと光重合性樹脂層との密着力よりも、保護フィルムと光重合性樹脂層との密着力が充分小さく、容易に剥離できることが好ましい。
このような保護フィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、及びポリプロピレンフィルム等が挙げられる。さらに保護フィルム上の凹凸が感光性樹脂層に転写するのを抑制する観点から、表面が平滑な保護フィルムを用いることが好ましい。保護フィルム上の凹凸が感光性樹脂層に転写するとこれが基材にラミネートされた際に基材と感光性樹脂層との間にマイクロエアーボイドが発生する場合がある。上述のような転写は光重合性樹脂からなる層が薄い場合に顕著になる傾向がある。例えば延伸ポリプロピレンフィルム(OPP)などを用いることが好ましい。具体的には王子製紙(株)製E−200AおよびE−200Cなどを挙げることが出来る。
In the photopolymerizable resin laminate of the present invention, a protective film can be laminated on the surface of the layer made of the photopolymerizable resin opposite to the support film, if necessary. It is preferable that the adhesive force between the protective film and the photopolymerizable resin layer is sufficiently smaller than the adhesive force between the support film and the photopolymerizable resin layer and can be easily peeled off.
Examples of such a protective film include a polyethylene film, a polyethylene terephthalate film, and a polypropylene film. Furthermore, it is preferable to use a protective film having a smooth surface from the viewpoint of suppressing unevenness on the protective film from being transferred to the photosensitive resin layer. When the unevenness on the protective film is transferred to the photosensitive resin layer, micro air voids may be generated between the substrate and the photosensitive resin layer when this is laminated on the substrate. Transfer as described above tends to be prominent when the layer made of a photopolymerizable resin is thin. For example, it is preferable to use a stretched polypropylene film (OPP). Specific examples include E-200A and E-200C manufactured by Oji Paper Co., Ltd.

本発明のブラックマトリックス用光重合性樹脂積層体は、例えば次のような手法で作製することが出来る。光重合性樹脂組成物として、バインダー樹脂と光重合性モノマーと光重合開始剤と顔料と顔料分散剤とラジカル重合禁止剤と溶媒とを混合して、光重合性樹脂ドープ液を作製する。支持フィルムとなる厚み20μmの透明ポリエステルフィルムの上に上記光重合性樹脂ドープ液を塗布して乾燥し、光重合性樹脂からなる層を形成する。この時の光重合性樹脂からなる層の厚みは、0.5μmから4.5μmの範囲が好ましい。ブラックマトリックスの遮光性と塗布時の膜厚精度から、厚みは0.5μm以上であることが好ましい。また、カラーフィルタに用いたときの平坦性から、4.5μm以下であることが好ましい。その後で保護フィルムとなるポリエチレンフィルムを貼り合わせて積層する。
上記溶媒としては、上記のバインダー樹脂と光重合性モノマーと光重合開始剤と顔料と顔料分散剤とラジカル重合禁止剤の各成分を溶解する液体であれば公知の溶媒を用いることが出来る。例えば、アルコール類、エーテル類、芳香族炭化水素類、ケトン類、分子内に1つ以上のエーテル結合またはエステル結合を有する炭化水素化合物などの有機溶媒があげられる。中でもメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、が好ましい。
The photopolymerizable resin laminate for black matrix of the present invention can be produced, for example, by the following method. As a photopolymerizable resin composition, a binder resin, a photopolymerizable monomer, a photopolymerization initiator, a pigment, a pigment dispersant, a radical polymerization inhibitor, and a solvent are mixed to prepare a photopolymerizable resin dope solution. The photopolymerizable resin dope solution is applied onto a 20 μm thick transparent polyester film to be a support film and dried to form a layer made of the photopolymerizable resin. The thickness of the layer made of the photopolymerizable resin at this time is preferably in the range of 0.5 μm to 4.5 μm. From the light shielding property of the black matrix and the film thickness accuracy at the time of coating, the thickness is preferably 0.5 μm or more. Moreover, it is preferable that it is 4.5 micrometers or less from flatness when it uses for a color filter. Thereafter, a polyethylene film to be a protective film is laminated and laminated.
As the solvent, any known solvent can be used as long as it is a liquid that dissolves the binder resin, the photopolymerizable monomer, the photopolymerization initiator, the pigment, the pigment dispersant, and the radical polymerization inhibitor. Examples thereof include organic solvents such as alcohols, ethers, aromatic hydrocarbons, ketones, and hydrocarbon compounds having one or more ether bonds or ester bonds in the molecule. Of these, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, and propylene glycol monomethyl ether acetate are preferable.

上記顔料分散剤は、顔料がドープ液中で凝集するのを防ぐために必要に応じて用いられる。場合によっては、あらかじめ顔料と顔料分散剤を上記溶媒内で混合して顔料分散液を別途作製した上で、光重合性樹脂ドープ液に混合しても良い。この際、必要に応じて、顔料表面と顔料分散剤とを電気的、化学的に吸着し、分散安定性を向上させるために分散助剤を用いてもよい。
上記顔料分散剤としては上記溶媒に分散する公知の化合物を挙げることが出来るが、例えば、ポリウレタン、ポリアクリレートなどのカルボン酸エステル、不飽和ポリアミド、ポリカルボン酸(部分)アミン塩、ポリカルボン酸アンモニウム塩、ポリカルボン酸アルキルアミン塩、ポリシロキサン、水酸基含有ポリカルボン酸エステルや、これらの変性物、ポリ(低級アルキレンイミン)と遊離のカルボン酸基を有するポリエステルとの反応により形成されたアミドやその塩などが挙げられ、(a)線状重合体の分子量が20000以下のものも顔料分散剤として用いることが出来る。上記の分散助剤としては、例えばポリカルボン酸型高分子活性剤、ポリスルホン酸型高分子活性剤等のアニオン性の活性剤、ポリオキシエチレン、ポリオキシレンブロックポリマー等のノニオン系の活性剤などが挙げられる。
The pigment dispersant is used as necessary to prevent the pigment from aggregating in the dope solution. In some cases, the pigment and the pigment dispersant may be mixed in advance in the solvent to prepare a pigment dispersion separately, and then mixed with the photopolymerizable resin dope solution. At this time, if necessary, a dispersion aid may be used to improve the dispersion stability by electrically and chemically adsorbing the pigment surface and the pigment dispersant.
Examples of the pigment dispersant include known compounds that are dispersed in the solvent. For example, carboxylic acid esters such as polyurethane and polyacrylate, unsaturated polyamides, polycarboxylic acid (partial) amine salts, and ammonium polycarboxylates. Salts, polycarboxylic acid alkylamine salts, polysiloxanes, hydroxyl group-containing polycarboxylic acid esters, modified products thereof, amides formed by the reaction of poly (lower alkyleneimines) and polyesters having free carboxylic acid groups, and the like (A) A linear polymer having a molecular weight of 20000 or less can also be used as a pigment dispersant. Examples of the dispersion aid include anionic activators such as polycarboxylic acid type polymer activators and polysulfonic acid type polymer activators, and nonionic activators such as polyoxyethylene and polyoxylene block polymers. Can be mentioned.

本発明のブラックマトリックス付きガラス基板は、上記の光重合性樹脂積層体を用いて例えば次のような手法で形成することが出来る。まず光重合性樹脂積層体から保護フィルムを剥離した後、ガラス基板に上記ブラックマトリックス用光重合性樹脂積層体をラミネート(熱圧着)する積層工程を行う。ガラス基板としては、無アルカリガラス基板などが好ましく用いられる。
次に、マトリックスパターンを有するフォトマスク(マスクフィルムまたはガラスマスク)を通して活性光線により支持フィルム側から照射する露光工程を行う。この際、支持フィルムを剥離せずに露光を行うことは感度が高くなって好ましい。また、必要に応じて、露光中または露光後にガラス基板を加熱する加熱工程を行うことが、感度やガラス基板への密着性の点から好ましい。加熱温度は60〜130℃が好ましく、加熱時間は1〜6分であることが好ましい。加熱工程は露光開始直後から露光終了後10分以内に行うことが好ましく、露光終了後1〜5分以内に行うことがより好ましい。
The glass substrate with a black matrix of the present invention can be formed, for example, by the following method using the above photopolymerizable resin laminate. First, after the protective film is peeled from the photopolymerizable resin laminate, a lamination step is performed in which the photopolymerizable resin laminate for black matrix is laminated (thermocompression bonding) on a glass substrate. As the glass substrate, an alkali-free glass substrate or the like is preferably used.
Next, an exposure step of irradiating with actinic rays from the support film side through a photomask (mask film or glass mask) having a matrix pattern is performed. At this time, it is preferable to perform exposure without peeling off the support film because of high sensitivity. Moreover, it is preferable from the point of sensitivity or the adhesiveness to a glass substrate to perform the heating process which heats a glass substrate during exposure after exposure as needed. The heating temperature is preferably 60 to 130 ° C., and the heating time is preferably 1 to 6 minutes. The heating step is preferably performed within 10 minutes after the exposure is completed immediately after the start of exposure, and more preferably within 1 to 5 minutes after the exposure is completed.

次に、光重合性樹脂層上の支持フィルムを取り除き、未露光部の光重合性樹脂層を現像液で溶解除去する現像工程を行う。除去する手法としては、露光部と未露光部のアルカリ水溶液への溶解性の差を利用した、いわゆるアルカリ現像がある。アルカリ水溶液としては、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等の水溶液を用いる。これらのアルカリ水溶液は光重合性樹脂層の特性に合わせて選択されるが、一般的に0.1〜3質量%の炭酸ナトリウム水溶液が用いられる。必要に応じて、現像しきれずに残っている光重合性樹脂層を取り除くために、別の現像液において更に現像を行っても良い。別の現像液とは、初めに光重合性樹脂層を現像する際に用いる現像液とはアルカリ性の異なるアルカリ水溶液であったり、酸性現像液であったり、有機溶剤を含有する現像液であったりしてもよく、現像液に合わせて光重合性樹脂層の組成を適宜選ぶことが出来る。
これらの現像液は浴液、あるいは噴霧液として用いられ、これらの現像液を用いた現像方法としては、ディップ現像や、シャワー現像、スプレー現像やパドル現像などが挙げられる。
Next, the supporting film on the photopolymerizable resin layer is removed, and a developing process is performed in which the unexposed photopolymerizable resin layer is dissolved and removed with a developer. As a removal method, there is so-called alkali development using a difference in solubility in an alkaline aqueous solution between an exposed portion and an unexposed portion. An aqueous solution of sodium carbonate, potassium carbonate or the like is used as the alkaline aqueous solution. These alkaline aqueous solutions are selected in accordance with the characteristics of the photopolymerizable resin layer, but generally 0.1 to 3% by mass of sodium carbonate aqueous solution is used. In order to remove the photopolymerizable resin layer remaining undeveloped as necessary, further development may be performed in another developer. Another developer is an aqueous alkali solution having a different alkalinity from the developer used for developing the photopolymerizable resin layer first, an acid developer, or a developer containing an organic solvent. The composition of the photopolymerizable resin layer can be appropriately selected according to the developer.
These developing solutions are used as bath solutions or spray solutions. Examples of developing methods using these developing solutions include dip development, shower development, spray development, and paddle development.

また、現像後、必要に応じて蒸留水、イオン交換水、超純水を用いた水洗工程を行うことが好ましい。水洗方法としてはディップ水洗や、シャワー水洗、スプレー水洗やパドル水洗が挙げられるが、現像しきれずに残っている未露光部の光重合性樹脂層を除去しやすいという効果からシャワー水洗、スプレー水洗が好ましい。また、現像しきれずに残っている未露光部の光重合性樹脂層は、プラズマを利用したドライデスミアやサンドブラストなどの方法により物理的に除去することも出来る。
また、未露光部の光重合性樹脂層を除去する手法として、アルカリ水溶液によって未露光部の光重合性樹脂層を膨潤または変性させるにとどめておき、ディップ水洗や、シャワー水洗、スプレー水洗やパドル水洗等の水洗手法によって未露光部の光重合性樹脂層を除去することも出来る。この場合、未露光部の光重合性樹脂層がガラス基板に残っているため、アルカリ水溶液によるレジストサイドからの染み込みが少なく、ガラス基板への密着性が高く好ましい手法である。
Moreover, it is preferable to perform the washing process using distilled water, ion-exchange water, and an ultrapure water as needed after image development. Examples of water washing methods include dip water washing, shower water washing, spray water washing and paddle water washing, but shower water washing and spray water washing are effective because it is easy to remove the unexposed photopolymerizable resin layer remaining without being developed. preferable. The unexposed photopolymerizable resin layer remaining undeveloped can be physically removed by a method such as dry desmear or sandblast using plasma.
In addition, as a method for removing the unexposed portion of the photopolymerizable resin layer, the unexposed portion of the photopolymerizable resin layer is swollen or modified with an alkaline aqueous solution, and then washed with dip water, shower water, spray water or paddle. The photopolymerizable resin layer in the unexposed area can also be removed by a water washing technique such as water washing. In this case, since the photopolymerizable resin layer of the unexposed part remains on the glass substrate, the penetration from the resist side by the alkaline aqueous solution is small, and the adhesiveness to the glass substrate is high, which is a preferable method.

本発明のカラーフィルタは、上記のブラックマトリックス付きガラス基板を形成後、該ブラックマトリックス付きガラス基板の少なくともブラックマトリックスで覆われていない部分の一部に、感熱性または感光性のカラーインクによって、赤・青・緑の画素パターンを形成することによって作製できる。
ブラックマトリックスの形状は画素を囲む格子状のものが一般的である。また、格子の各辺のパターン幅は5μm〜50μm、格子点間隔は30μm〜500μmであるのが一般的である。
赤・青・緑の画素パターンは、液状レジストあるいはドライフィルムレジストなどのカラーレジストを用いたフォトリソグラフィーによって作製したり、カラーインクを用いたインクジェット法によって作製したり、種々の方法を用いることが出来る。中でもインクジェット法は、高価なマスクを必要とする露光工程を必要としない、現像工程を必要としない、凹凸にかかわらず画素パターンを形成できる、歩留まりが向上する、などの面から、低コストで簡便に画素パターンを形成できるので好ましい。感熱性または感光性のカラーインクとしては公知のものを用いることが出来る。また、本発明において、着色物質として例示した顔料および染料、エチレン性不飽和二重結合を有するモノマー、熱または光重合性開始剤とを有し、溶剤により粘度を適宜調整した組成物を用いることが出来る。例えば特開2004−213033号公報の実施例1に記載の着色インクなどを用いることが出来る。
The color filter of the present invention, after forming the glass substrate with a black matrix described above, is formed on at least a part of the glass substrate with a black matrix that is not covered with the black matrix by a heat-sensitive or photosensitive color ink. -It can be produced by forming a blue / green pixel pattern.
The shape of the black matrix is generally a lattice shape surrounding pixels. Further, the pattern width of each side of the lattice is generally 5 μm to 50 μm, and the lattice point interval is generally 30 μm to 500 μm.
The pixel pattern of red, blue, and green can be produced by photolithography using a color resist such as a liquid resist or a dry film resist, or can be produced by an ink jet method using a color ink, and various methods can be used. . In particular, the inkjet method is inexpensive and simple because it does not require an exposure process that requires an expensive mask, does not require a development process, can form a pixel pattern regardless of unevenness, and improves yield. It is preferable because a pixel pattern can be formed. Known heat-sensitive or photosensitive color inks can be used. In the present invention, a composition having a pigment and a dye exemplified as a coloring substance, a monomer having an ethylenically unsaturated double bond, a heat or photopolymerization initiator, and having a viscosity adjusted appropriately with a solvent is used. I can do it. For example, the color ink described in Example 1 of JP-A-2004-213033 can be used.

本発明のブラックマトリックス付きガラス基板の製造方法においては、厚みが5μm〜40μmの透明な支持フィルム上に積層した光重合性樹脂積層体を使用する必要がある。本発明の光重合性樹脂積層体を用いたブラックマトリックスの製造方法は、光重合性樹脂組成物をガラス基板に直接塗布して乾燥し、後にフォトマスクを通して露光・現像する製造方法と比較して、乾燥工程を使用しない、ガラスに塗布する際の膜厚ムラが生じない、透明な支持フィルムが光重合性樹脂組成物とフォトマスクとの接触を防いでいるのでフォトマスクが汚れにくい、などの面で好ましい手法である。
本発明の光重合性樹脂積層体を用いて作製されたブラックマトリックス付きガラス基板は、光重合性樹脂組成物をガラス基板に直接塗布して乾燥し、後にフォトマスクを通して露光・現像して作製されたブラックマトリックス付きガラス基板と比較して、露光時に、光重合性樹脂組成物が透明な支持フィルムとガラス基板との間にあって、空気に接していないために酸素阻害の影響を受けにくいと考えられ、着色物質を高濃度に含んでいても光に対する感度が高く、ガラス基板への密着性や解像度が優れているので好ましい。
In the manufacturing method of the glass substrate with a black matrix of this invention, it is necessary to use the photopolymerizable resin laminated body laminated | stacked on the transparent support film whose thickness is 5 micrometers-40 micrometers. The manufacturing method of the black matrix using the photopolymerizable resin laminate of the present invention is compared with the manufacturing method in which the photopolymerizable resin composition is directly applied to a glass substrate, dried, and then exposed and developed through a photomask. , Without using a drying process, no film thickness unevenness when applied to glass, and the transparent support film prevents the photopolymerizable resin composition from contacting the photomask, so the photomask is less likely to get dirty, etc. This is a preferable method.
A glass substrate with a black matrix prepared using the photopolymerizable resin laminate of the present invention is prepared by directly applying a photopolymerizable resin composition to a glass substrate, drying, and then exposing and developing through a photomask. Compared to a glass substrate with a black matrix, the photopolymerizable resin composition is located between the transparent support film and the glass substrate at the time of exposure, and is not susceptible to oxygen inhibition because it is not in contact with air. Even if the coloring substance is contained in a high concentration, it is preferable because the sensitivity to light is high and the adhesion to the glass substrate and the resolution are excellent.

また通常、光重合性樹脂積層体を用いてカラーフィルタを作成する場合は、厚み約2μmのカラー画素をガラス基板上に形成した後に光重合性樹脂積層体を画素付きガラス基板に積層し、ガラス基板側から露光する(特許文献4参照)。この順序でブラックマトリックスを形成すると、もともと画素の間にしかブラックマトリックスが形成されないので、画素とブラックマトリックスの位置合わせが省略できるためである。同時に、画素間に光重合性樹脂を埋め込むために、支持フィルムは70ないし100μm以上の厚みをもったものを使用せざるを得ない。このような厚い支持フィルムを通して露光すると解像度、パターンの再現性の観点から対応が難しく、どうしても支持フィルムを剥離して露光する工程が必要となる。この時点で露光時に光重合性樹脂の硬化が酸素により遮断されることを防ぐため、光重合性樹脂層と支持フィルムとの間に中間層などを設けなければならず、ブラックマトリックス用光重合性樹脂積層体の構成は複雑なものとなる。   In general, when a color filter is formed using a photopolymerizable resin laminate, a color pixel having a thickness of about 2 μm is formed on a glass substrate, and then the photopolymerizable resin laminate is laminated on a glass substrate with pixels. Exposure is performed from the substrate side (see Patent Document 4). This is because when the black matrix is formed in this order, the black matrix is originally formed only between the pixels, so that the alignment between the pixels and the black matrix can be omitted. At the same time, in order to embed the photopolymerizable resin between the pixels, a support film having a thickness of 70 to 100 μm or more must be used. When exposure is performed through such a thick support film, it is difficult to cope with from the viewpoint of resolution and pattern reproducibility, and a process of peeling and exposing the support film is necessary. At this time, in order to prevent the curing of the photopolymerizable resin from being blocked by oxygen at the time of exposure, an intermediate layer or the like must be provided between the photopolymerizable resin layer and the support film. The structure of the resin laminate is complicated.

一方、本発明のカラーフィルタ製造方法においては、ガラス基板にブラックマトリックスを画素に先行して形成し、好ましくはブラックマトリックスで堰を形成した後に、インクジェット方式で画素を充填する方法を採用することにより、支持フィルムを薄く設計することができる。支持フィルムの厚みが40μm以下と薄いために、露光時に支持フィルムを通した露光であっても、マスクからの回折光の量が少なく、マスク設計幅に比べてパターン幅が太くなってしまう、いわゆる画像太りがおきにくいと考えられる。その結果、高感度、高密着の光重合性樹脂積層体、および、高解像かつパターン再現性に優れたブラックマトリックス付きガラス基板を得ることができる。
支持フィルムの厚みは、上記の理由から40μm以下であり、強度を維持する観点から5μm以上である。より好ましくは10μm以上25μm以下である。
On the other hand, in the color filter manufacturing method of the present invention, by adopting a method of forming a black matrix on a glass substrate in advance of the pixels, preferably forming a weir with a black matrix and then filling the pixels by an ink jet method. The support film can be designed to be thin. Since the thickness of the support film is as thin as 40 μm or less, even in exposure through the support film during exposure, the amount of diffracted light from the mask is small, and the pattern width becomes thicker than the mask design width, so-called It is thought that image fatness is difficult to occur. As a result, a photopolymerizable resin laminate having high sensitivity and high adhesion, and a glass substrate with a black matrix having high resolution and excellent pattern reproducibility can be obtained.
The thickness of the support film is 40 μm or less for the above reason, and 5 μm or more from the viewpoint of maintaining strength. More preferably, they are 10 micrometers or more and 25 micrometers or less.

本発明を実施例に基づいて説明する。
[実施例1〜7]
○光重合性樹脂組成物溶液の作製
バインダー溶液とモノマーと光重合開始剤と添加剤とを表1に示す割合で混合し、固形分量が20質量%の光重合性樹脂組成物溶液1〜7を得る。なお、表1において、略号(P−1〜B−3)で表した光重合性樹脂組成物を構成する成分は次に示すとおりである。
P−1:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=8/2(質量比)の共重合体で重量平均分子量20000、酸当量430、固形分濃度40%のバインダーのメチルエチルケトン溶液
M−1:トリエトキシメチロールプロパントリアクリレート
M−2:ノナエチレングリコールジアクリレート
M−3:コハク酸変性ペンタエリスリトールトリアクリレート (東亜合成(株)社製 アロニックス TO−756)
M−4:2−ヒドロキシエチルメタクリレートにエチレンオキサイドを1モル追加した化合物とヘキサヒドロフタル酸とのハーフエステル化合物
A−1:2−(4−メチルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン (チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製 IRGACURE379)
A−2:2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン (チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製 IRGACURE907)
A−3:2−メルカプトベンゾトリアゾール
A−4:ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド (チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製 IRGACURE819)
I−1:トリエチレングリコール−ビス−[3−(3−ターシャリブチル−5−メチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート] (チバ・スペシャルティ・ケミカルズ製 IRGANOX245)
B−1:ダイアモンドグリ−ン(保土ヶ谷化学(株)製 アイゼン(登録商標) DIAMOND GREEN GH)
B−2:ロイコクリスタルバイオレット
B−3:カーボンブラック
MEK:メチルエチルケトン
The present invention will be described based on examples.
[Examples 1-7]
Preparation of Photopolymerizable Resin Composition Solution A binder solution, a monomer, a photopolymerization initiator, and an additive are mixed at a ratio shown in Table 1, and a photopolymerizable resin composition solution 1-7 having a solid content of 20% by mass. Get. In Table 1, components constituting the photopolymerizable resin composition represented by abbreviations (P-1 to B-3) are as follows.
P-1: Copolymer of benzyl methacrylate / methacrylic acid = 8/2 (mass ratio) and a methyl ethyl ketone solution of a binder having a weight average molecular weight of 20,000, an acid equivalent of 430, and a solid content of 40% M-1: triethoxymethylolpropane tri Acrylate M-2: Nonaethylene glycol diacrylate M-3: Succinic acid-modified pentaerythritol triacrylate (Aronix TO-756 manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.)
M-4: Half-ester compound of a compound obtained by adding 1 mol of ethylene oxide to 2-hydroxyethyl methacrylate and hexahydrophthalic acid A-1: 2- (4-methylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4 -Morpholinophenyl) -butan-1-one (IRGACURE 379 manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
A-2: 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one (IRGACURE907 manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
A-3: 2-mercaptobenzotriazole A-4: Bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide (IRGACURE 819 manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
I-1: Triethylene glycol-bis- [3- (3-tertiarybutyl-5-methyl-4-hydroxyphenyl) propionate] (IRGANOX245 manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
B-1: Diamond Green (Eizen (registered trademark) DIAMOND GREEN GH manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.)
B-2: leuco crystal violet B-3: carbon black MEK: methyl ethyl ketone

○光重合性樹脂積層体の作製
前記光重合性樹脂組成物溶液1〜7を、厚さ20μmのポリエチレンテレフタレート製支持フィルム(帝人デュポンフィルム(株)製AT301)にバーコーターを用いて均一に塗布し、95℃の乾燥機中で3分間乾燥する。次いで、得られる光重合性樹脂組成物積層体上に厚さ25μmのポリエチレン製保護フィルム(タマポリ(株)製GF85)を貼り合わせ、実施例1〜7の光重合性樹脂積層体を得ることができる。また、保護フィルムを厚さ20μmの延伸ポリプロピレン製保護フィルム(王子製紙(株)製E−200A)に代える以外は実施例1と同様に作成し、実施例8の光重合性樹脂積層体を得ることが出来る。
○ Preparation of photopolymerizable resin laminate The photopolymerizable resin composition solutions 1 to 7 were uniformly applied to a 20 μm-thick polyethylene terephthalate support film (AT301 manufactured by Teijin DuPont Films Co., Ltd.) using a bar coater. And dried in a dryer at 95 ° C. for 3 minutes. Next, a 25 μm-thick polyethylene protective film (GF85 manufactured by Tamapoly Co., Ltd.) is bonded to the resulting photopolymerizable resin composition laminate, and the photopolymerizable resin laminates of Examples 1 to 7 are obtained. it can. In addition, the photopolymerizable resin laminate of Example 8 is obtained in the same manner as in Example 1 except that the protective film is replaced with a 20 μm thick stretched polypropylene protective film (E-200A manufactured by Oji Paper Co., Ltd.). I can do it.

○ブラックマトリックス付きガラス基板の形成
上記実施例1〜7の光重合性樹脂積層体の保護フィルムを剥がして、厚み0.7mmの無アルカリガラス基板に95℃でラミネートした後、ライン幅/スペース幅が5μm/45μm、10μm/90μmのパターンのガラス製フォトマスクを通して、超高圧水銀ランプ((株)オーク製作所製HMW−801)により露光する。このとき、支持フィルムは剥離せずに、支持フィルム側から露光を行う。露光量は100mJ/cmを標準露光量とし、光重合性樹脂積層体の感度に応じて25〜200mJ/cmの範囲で調整する。支持フィルムを剥離した後、0.2質量%の炭酸ナトリウム水溶液を30℃でスプレーし、未露光部分の光重合性樹脂層を溶解除去して現像する。このときの標準現像時間は、未露光部分の光重合性樹脂層がガラス基板からちょうど除去されたときの時間(ブレイクポイントと定義)の1.5倍とする。その後、240℃で60分ポストベークし、ブラックマトリックス付きガラス基板を形成する。
Formation of glass substrate with black matrix After peeling off the protective film of the photopolymerizable resin laminate of Examples 1 to 7 above and laminating it on a non-alkali glass substrate having a thickness of 0.7 mm at 95 ° C., the line width / space width Is exposed through a glass photomask having a pattern of 5 μm / 45 μm, 10 μm / 90 μm with an ultrahigh pressure mercury lamp (HMW-801, manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.). At this time, exposure is performed from the support film side without peeling off the support film. The exposure amount is 100 mJ / cm 2 as a standard exposure amount, and is adjusted in the range of 25 to 200 mJ / cm 2 according to the sensitivity of the photopolymerizable resin laminate. After peeling off the support film, a 0.2% by mass aqueous sodium carbonate solution is sprayed at 30 ° C. to dissolve and remove the unexposed photopolymerizable resin layer and develop. The standard development time at this time is 1.5 times the time (defined as a break point) when the unexposed portion of the photopolymerizable resin layer is just removed from the glass substrate. Thereafter, post baking is performed at 240 ° C. for 60 minutes to form a glass substrate with a black matrix.

○ブラックマトリックス付きガラス基板の評価
(1)膜厚
上記のガラス基板上のブラックマトリックスについて、テンコール・インスツルメンツ社製アルファステップ(AS200)を用いてガラス基板に形成されたパターンの高さを測定し、これを膜厚とする。
(2)遮光性(光学濃度)
上記のブラックマトリックス付きガラス基板と同様の方法でベタパターン付きガラス基板を作成し、遮光性の評価として、グレタグマクベス社製光学濃度計D200−IIを用いて光学濃度を測定する。光学濃度とは、ある光源の光に対して入射光強度をI、透過光強度をIとした場合に、光学濃度=log10(I/I)の関係で表される。
(3)密着性
密着性の評価として、ライン幅/スペース幅=5μm/45μm、10μm/90μmのマトリックスパターンが形成できているかどうかを光学顕微鏡で目視にて観察する。
○ Evaluation of Glass Substrate with Black Matrix (1) Film Thickness About the black matrix on the above glass substrate, the height of the pattern formed on the glass substrate was measured using Alpha Step (AS200) manufactured by Tencor Instruments, This is the film thickness.
(2) Light shielding properties (optical density)
A glass substrate with a solid pattern is prepared in the same manner as the above glass substrate with a black matrix, and the optical density is measured using an optical densitometer D200-II manufactured by Gretag Macbeth as an evaluation of light shielding properties. The optical density is expressed by the relationship of optical density = log 10 (I 0 / I), where the incident light intensity is I 0 and the transmitted light intensity is I with respect to light from a certain light source.
(3) Adhesion As an evaluation of adhesion, whether or not a matrix pattern of line width / space width = 5 μm / 45 μm, 10 μm / 90 μm is formed is visually observed with an optical microscope.

(4)過現像密着性
過現像密着性の評価として、現像時間を標準現像時間の1.5倍にして上記のブラックマトリックスを作製した時に、ライン幅/スペース幅=5μm/45μm、10μm/90μmのマトリックスパターンが形成できているかどうかを光学顕微鏡で目視にて観察する。
(5)線幅再現性
ガラス基板上に形成されたライン幅/スペース幅=10μm/90μmのマトリックスパターンの線幅を、測長顕微鏡を用いて測定する。マスクの線幅に対してパターンの線幅測定値が2μm以上太ければ線幅太りとし、2μm以上細くなっていれば線幅細りとし、それぞれ不良とする。
(6)ST感度
光に対する感度の評価として、別途用意したガラス基板に上記と同じように光重合性樹脂積層体をラミネートした後、ストーファー21段ステップタブレットのマスクフィルムを通して、上記と同じように露光・現像、ポストベークしたガラス基板を、ステップタブレットパターンが何段まで残っているかを目視で読み取った評価する。
上記(1)〜(6)の評価結果を表2に示す。実施例8の評価結果は実施例1の評価結果と同様である。
(4) Over-development adhesion As an evaluation of over-development adhesion, line width / space width = 5 μm / 45 μm, 10 μm / 90 μm when the above-mentioned black matrix was produced with development time 1.5 times the standard development time. Whether the matrix pattern is formed is visually observed with an optical microscope.
(5) Line width reproducibility The line width of the matrix pattern of line width / space width = 10 μm / 90 μm formed on the glass substrate is measured using a length measuring microscope. If the measured line width of the pattern is 2 μm or more thicker than the mask line width, the line width is thickened. If it is thinner than 2 μm, the line width is thinned.
(6) ST sensitivity As an evaluation of sensitivity to light, after laminating a photopolymerizable resin laminate on a separately prepared glass substrate in the same manner as described above, it was passed through a mask film of a stove 21-step tablet in the same manner as described above. The glass substrate subjected to exposure / development and post-baking is evaluated by visually reading how many step tablet patterns remain.
The evaluation results of the above (1) to (6) are shown in Table 2. The evaluation result of Example 8 is the same as the evaluation result of Example 1.

[比較例1および2]
実施例に用いたバインダー溶液とモノマーと光重合開始剤と添加剤を表1に示す割合で混合し、固形分量が20重量%の光重合性樹脂組成物溶液8および9を得る。この光重合性樹脂組成物溶液8および9を、実施例と同じようにして厚さ20μmのポリエチレンテレフタレート製支持フィルム上に製膜して、ポリエチレン製保護フィルムを張り合わせて、比較例1および2の光重合性樹脂積層体を作製する。これらの比較例1および2の光重合性樹脂積層体を用いて、実施例1と同じようにして、ブラックマトリックス付きガラス基板を形成する。比較例1、2の評価については、実施例と同じ項目を評価し、結果を表2に示す。
[Comparative Examples 1 and 2]
The binder solution, the monomer, the photopolymerization initiator, and the additive used in the examples are mixed in the ratio shown in Table 1 to obtain photopolymerizable resin composition solutions 8 and 9 having a solid content of 20% by weight. The photopolymerizable resin composition solutions 8 and 9 were formed on a polyethylene terephthalate support film having a thickness of 20 μm in the same manner as in the Examples, and a protective film made of polyethylene was laminated. A photopolymerizable resin laminate is prepared. Using these photopolymerizable resin laminates of Comparative Examples 1 and 2, a glass substrate with a black matrix is formed in the same manner as in Example 1. For the evaluation of Comparative Examples 1 and 2, the same items as in the Examples were evaluated, and the results are shown in Table 2.

[比較例3]
実施例1に用いた光重合性樹脂組成物溶液1を、厚み0.7mmの無アルカリガラス基板に滴下した後、スピンコーターを用いて乾燥膜厚が1.2μmになるように塗布し、オーブンを用いて95℃で2分間乾燥させる。ライン幅/スペース幅が5μm/45μmおよび10μm/90μmのパターンのガラスマスクを通して、超高圧水銀ランプ((株)オ−ク製作所製HMW−801)により200mJ/cmで露光する。このとき、マスクとガラス基板との間が50μmになるようにギャップを固定する。0.2質量%の炭酸ナトリウム水溶液を30℃で標準現像時間スプレ−し、未露光部分の光重合性樹脂層を溶解除去して現像する。その後、240℃で60分ポストベークし、ブラックマトリックス付きガラス基板を形成する。評価については、実施例1と同じようにして評価し、結果を表2に示す。
[比較例4]
実施例1に用いた光重合性樹脂組成物溶液1を、実施例1と同じようにして厚さ75μmのポリエチレンテレフタレート製支持フィルム上に製膜して、ポリエチレン製保護フィルムを張り合わせて、比較例4の光重合性樹脂積層体を作製する。この比較例4の光重合性樹脂積層体を用いて、実施例1と同じようにして、ブラックマトリックス付きガラス基板を形成する。評価については、実施例1と同じようにして評価し、結果を表2に示す。
[Comparative Example 3]
The photopolymerizable resin composition solution 1 used in Example 1 was dropped on a non-alkali glass substrate having a thickness of 0.7 mm, and then applied using a spin coater so that the dry film thickness was 1.2 μm. For 2 minutes at 95 ° C. It exposes at 200 mJ / cm < 2 > with a super-high pressure mercury lamp (HMW-801 by Corporation | KK Oak Manufacturing Co., Ltd.) through the glass mask of the pattern whose line width / space width is 5 micrometers / 45 micrometers and 10 micrometers / 90 micrometers. At this time, the gap is fixed so that the distance between the mask and the glass substrate is 50 μm. A 0.2% by mass aqueous sodium carbonate solution is sprayed at 30 ° C. for a standard development time, and the unexposed photopolymerizable resin layer is dissolved and removed for development. Thereafter, post baking is performed at 240 ° C. for 60 minutes to form a glass substrate with a black matrix. About evaluation, it evaluates like Example 1 and a result is shown in Table 2.
[Comparative Example 4]
The photopolymerizable resin composition solution 1 used in Example 1 was formed on a polyethylene terephthalate support film having a thickness of 75 μm in the same manner as in Example 1, and a protective film made of polyethylene was laminated thereon. 4 photopolymerizable resin laminate is prepared. Using the photopolymerizable resin laminate of Comparative Example 4, a glass substrate with a black matrix is formed in the same manner as in Example 1. About evaluation, it evaluates like Example 1 and a result is shown in Table 2.

[比較例5]
実施例1に用いた光重合性樹脂組成物溶液1を、実施例1と同じようにして厚さ20μmのポリエチレンテレフタレート製支持フィルム上に製膜して、ポリエチレン製保護フィルムを張り合わせて、比較例5の光重合性樹脂積層体を作製する。この光重合性樹脂積層体の保護フィルムを剥がして、厚み0.7mmの無アルカリガラス基板に95℃でラミネートした後、支持フィルムを剥がしてから、ライン幅/スペース幅が5μm/45μm、10μm/90μmのパターンのガラス製のフォトマスクを通して、超高圧水銀ランプ((株)オ−ク製作所製HMW−801)により200mJ/cmで露光する。このとき、マスクとガラス基板との間が50μmになるようにギャップを固定する。また、光重合性樹脂積層体側から露光を行う。0.2質量%の炭酸ナトリウム水溶液を30℃で標準現像時間スプレ−し、未露光部分の光重合性樹脂層を溶解除去して現像する。その後、240℃で60分ポストベークし、ブラックマトリックス付きガラス基板を形成する。評価については、実施例1と同じようにして評価し、結果を表2に示す。
[Comparative Example 5]
The photopolymerizable resin composition solution 1 used in Example 1 was formed on a polyethylene terephthalate support film having a thickness of 20 μm in the same manner as in Example 1, and a protective film made of polyethylene was bonded thereto. 5 is produced. The protective film of the photopolymerizable resin laminate is peeled off and laminated on a non-alkali glass substrate having a thickness of 0.7 mm at 95 ° C., and then the support film is peeled off, and then the line width / space width is 5 μm / 45 μm, 10 μm / It exposes at 200 mJ / cm < 2 > with a super high pressure mercury lamp (HMW-801 by Oak Manufacturing Co., Ltd.) through a glass photomask having a 90 [mu] m pattern. At this time, the gap is fixed so that the distance between the mask and the glass substrate is 50 μm. Moreover, it exposes from the photopolymerizable resin laminated body side. A 0.2% by mass aqueous sodium carbonate solution is sprayed at 30 ° C. for a standard development time, and the unexposed photopolymerizable resin layer is dissolved and removed for development. Thereafter, post baking is performed at 240 ° C. for 60 minutes to form a glass substrate with a black matrix. About evaluation, it evaluates like Example 1 and a result is shown in Table 2.

Figure 2006276173
Figure 2006276173

Figure 2006276173
本発明のブラックマトリックス用光重合性樹脂積層体は高い光感度を有し、ガラス基板への密着性が高く、高い光学濃度を有しながら高解像度でパターンを形成できる。
Figure 2006276173
The photopolymerizable resin laminate for black matrix of the present invention has high photosensitivity, high adhesion to a glass substrate, and can form a pattern with high resolution while having high optical density.

本発明のブラックマトリックス用光重合性樹脂積層体により、ブラックマトリックス付きガラス基板、カラーフィルタ等を製造することが出来る。本発明のブラックマトリックス付きガラス基板、及びカラーフィルタは、液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ、及びプラズマディスプレイなどのフラットパネルディスプレイの分野で利用でき、特に液晶ディスプレイの分野で好適に用いられる。   With the photopolymerizable resin laminate for black matrix of the present invention, a glass substrate with a black matrix, a color filter and the like can be produced. The glass substrate with a black matrix and the color filter of the present invention can be used in the field of flat panel displays such as liquid crystal displays, organic EL displays, and plasma displays, and are particularly preferably used in the field of liquid crystal displays.

Claims (9)

(a)重量平均分子量が3000〜50000で酸当量が100〜600である線状重合体を1〜70質量%、(b)エチレン性不飽和二重結合を少なくとも一つ以上有する光重合性化合物を5〜50質量%、(c)光重合開始剤を0.1〜20質量%、(d)着色物質を5〜70質量%、それぞれ含有し、(c)成分として、下記式(I)で示される化合物を0.1〜20質量%含有する光重合性樹脂組成物からなる層を、厚みが5〜40μmである透明な支持フィルム上に、積層したことを特徴とするブラックマトリックス用光重合性樹脂積層体。
Figure 2006276173
(式中、R、R、及びRは、各々独立にCHまたはCを表し、Rは、H、CH、C、n−C、CH(CH、n−C、CH(CH)C、CHCH(CH、及びC(CHからなる群から選択されるいずれかを表す)
(A) 1 to 70% by mass of a linear polymer having a weight average molecular weight of 3000 to 50000 and an acid equivalent of 100 to 600, and (b) a photopolymerizable compound having at least one ethylenically unsaturated double bond. 5 to 50% by mass, (c) 0.1 to 20% by mass of a photopolymerization initiator, (d) 5 to 70% by mass of a colored substance, and (c) as a component represented by the following formula (I) Light for black matrix, characterized in that a layer made of a photopolymerizable resin composition containing 0.1 to 20% by mass of a compound represented by the formula (1) is laminated on a transparent support film having a thickness of 5 to 40 μm. Polymeric resin laminate.
Figure 2006276173
(In the formula, R 1 , R 2 , and R 3 each independently represent CH 3 or C 2 H 5 , and R 4 represents H, CH 3 , C 2 H 5 , n-C 3 H 7 , CH Represents any one selected from the group consisting of (CH 3 ) 2 , nC 4 H 9 , CH (CH 3 ) C 2 H 5 , CH 2 CH (CH 3 ) 2 , and C (CH 3 ) 3. )
線状重合体(a)の含有量が光重合性化合物(b)の含有量の1.0〜3.0倍である光重合性樹脂組成物からなる層を支持フィルム上に積層したことを特徴とする請求項1記載のブラックマトリックス用光重合性樹脂積層体。   That the layer which consists of a photopolymerizable resin composition whose content of a linear polymer (a) is 1.0-3.0 times of content of a photopolymerizable compound (b) was laminated | stacked on the support film. The photopolymerizable resin laminate for a black matrix according to claim 1. 線状重合体(a)の含有量が光重合性化合物(b)の含有量の2.0〜3.0倍であり、かつ、上記式(I)で示される化合物を5〜20質量%含有する光重合性樹脂組成物からなる層を支持フィルム上に積層したことを特徴とする請求項1または2に記載のブラックマトリックス用光重合性樹脂積層体。   The content of the linear polymer (a) is 2.0 to 3.0 times the content of the photopolymerizable compound (b), and 5 to 20% by mass of the compound represented by the above formula (I). 3. The photopolymerizable resin laminate for a black matrix according to claim 1 or 2, wherein a layer made of the photopolymerizable resin composition is laminated on a support film. 下記式(II)または式(III)で示される化合物のうち少なくとも1種類以上を0.05〜10質量%含有する光重合性樹脂組成物からなる層を支持フィルム上に積層したことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のブラックマトリックス用光重合性樹脂積層体。
Figure 2006276173
(式中、R、RおよびRは、各々独立にHまたはCHを表す。)
Figure 2006276173
(式中、Rは、HまたはCHを表す。XはCまたはCH(CH)CHまたはCHCH(CH)を表し、nは1〜6の正の整数である。また、Yは炭素数が1〜6の2価の鎖状飽和炭化水素基、若しくは炭素数が5〜7の2価の環状飽和炭化水素基、または2価の芳香族基を表す。)
A layer comprising a photopolymerizable resin composition containing 0.05 to 10% by mass of at least one of the compounds represented by the following formula (II) or formula (III) is laminated on a support film. The photopolymerizable resin laminate for black matrix according to any one of claims 1 to 3.
Figure 2006276173
(In the formula, R 5 , R 6 and R 7 each independently represent H or CH 3. )
Figure 2006276173
(Wherein R 8 represents H or CH 3 , X represents C 2 H 4 or CH (CH 3 ) CH 2 or CH 2 CH (CH 3 ), and n represents a positive integer of 1 to 6. Y represents a divalent chain saturated hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, a divalent cyclic saturated hydrocarbon group having 5 to 7 carbon atoms, or a divalent aromatic group. )
請求項1〜4のいずれかに記載のブラックマトリックス用光重合性樹脂積層体を光重合性樹脂組成物からなる層がガラス基板と接触するように該ガラス基板に積層する積層工程、支持フィルム側からマトリックスパターンを有するフォトマスク及び支持フィルムを通して該光重合性樹脂組成物からなる層に活性光線を照射する露光工程、及び該露光工程で硬化しなかった光重合性樹脂組成物を現像液にて除去し硬化した光重合性樹脂組成物からなるブラックマトリックスを該ガラス基板上に形成する現像工程を含むことを特徴とするブラックマトリックス付きガラス基板の製造方法。   A lamination step of laminating the photopolymerizable resin laminate for a black matrix according to any one of claims 1 to 4 on the glass substrate so that the layer made of the photopolymerizable resin composition is in contact with the glass substrate, the support film side An exposure step of irradiating the photopolymerizable resin composition layer with actinic rays through a photomask having a matrix pattern and a support film, and a photopolymerizable resin composition not cured in the exposure step with a developer A method for producing a glass substrate with a black matrix, comprising a development step of forming a black matrix comprising a photopolymerizable resin composition removed and cured on the glass substrate. 露光工程と現像工程の間に、光重合性樹脂組成物からなる層が積層されたガラス基板を60〜130℃で1〜6分加熱する加熱工程を有することを特徴とする請求項5記載のブラックマトリックス付きガラス基板の製造方法。   6. The method according to claim 5, further comprising a heating step of heating the glass substrate on which the layer made of the photopolymerizable resin composition is laminated at 60 to 130 ° C. for 1 to 6 minutes between the exposure step and the development step. Manufacturing method of glass substrate with black matrix. 請求項5または6に記載の方法により製造されるブラックマトリックス付きガラス基板。   A glass substrate with a black matrix produced by the method according to claim 5 or 6. 請求項4または5に記載の方法によりブラックマトリックス付きガラス基板を製造する工程、及び該ブラックマトリックス付きガラス基板の少なくともブラックマトリックスで覆われていない部分の一部に感熱性または感光性のカラーインクをインクジェット方式により印刷する印刷工程を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。   6. A step of producing a glass substrate with a black matrix by the method according to claim 4 or 5, and at least a part of the glass substrate with a black matrix not covered with a black matrix is coated with a heat-sensitive or photosensitive color ink. A method for producing a color filter, comprising a printing step of printing by an inkjet method. 請求項8に記載の方法により製造されるカラーフィルタ。   A color filter manufactured by the method according to claim 8.
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