JP2006270092A

JP2006270092A - Substrate transfer device and substrare treatment device

Info

Publication number: JP2006270092A
Application number: JP2006053705A
Authority: JP
Inventors: Tatsuhiko Inada; 龍彦稲田; Hiroyuki Tsujino; 浩之辻野
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2005-02-28
Filing date: 2006-02-28
Publication date: 2006-10-05

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate transfer device and a substrate treatment device capable of cancelling the operation of a brake that a motor has, in a state that the supply of electric power from a main power supply to the motor is interrupted by an emergency interrupting circuit. <P>SOLUTION: The electric power is inputted to a servo motor 12 through a power supply path 18 from the main power supply 17. The emergency blocking circuit 19 desinged to be switched from a continuity state that allows the electric power supplied from the supply 17 to the motor 12 to an interruption state that interrupts the supply of the electric power is provided in response to the pushbutton operation of an emergency blocking switch 9 on the path 18. Even if the circuit 19 is in interruption, the braking operation of the motor 12 is cancelled because the electric power stored in the battery charger 21 of a brake release unit 10 is inputted to a brake release terminal 14 of the motor 12, if the unit 10 is connected to a joint 11. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

この発明は、基板を処理するための基板処理装置およびこれに備えられる基板搬送装置に関する。 The present invention relates to a substrate processing apparatus for processing a substrate and a substrate transfer apparatus provided in the same.

半導体装置や液晶表示装置の製造工程では、半導体ウエハや液晶表示装置用ガラス基板などの基板を処理（たとえば、洗浄処理やエッチング処理）する基板処理装置が用いられる。
たとえば、基板を１枚ずつ処理する枚葉式の基板処理装置は、処理チャンバと、基板を搬送するための搬送ロボットとを備えている。基板に対する処理に際しては、搬送ロボットによって、未処理の基板が１枚ずつ処理チャンバに搬入される。処理チャンバに未処理の基板が搬入されると、その処理チャンバにおいて、基板に対する所定の処理が実行される。そして、処理チャンバにおける処理が終了すると、搬送ロボットによって、処理済みの基板が処理チャンバから搬出される。 In a manufacturing process of a semiconductor device or a liquid crystal display device, a substrate processing device that processes a substrate such as a semiconductor wafer or a glass substrate for a liquid crystal display device (for example, a cleaning process or an etching process) is used.
For example, a single-wafer type substrate processing apparatus that processes substrates one by one includes a processing chamber and a transfer robot for transferring the substrate. When processing a substrate, unprocessed substrates are carried into the processing chamber one by one by the transfer robot. When an unprocessed substrate is carried into the processing chamber, a predetermined process is performed on the substrate in the processing chamber. When the processing in the processing chamber is finished, the processed substrate is unloaded from the processing chamber by the transfer robot.

このような基板処理装置では、搬送ロボットによる基板の高精度な搬送を実現するために、搬送ロボットに対して、その搬送ロボットによって基板が搬送されるべき位置（たとえば、処理チャンバ内における基板の受け渡し位置）の正確な情報を教示（ティーチング）するための作業が行われる。この作業では、作業者による操作によって、搬送ロボットのハンドがホームポジションから基板が搬送されるべき位置へと導かれ、そのときのハンドの移動量が搬送ロボットの動作を制御するための制御装置に入力される。 In such a substrate processing apparatus, in order to realize highly accurate transfer of a substrate by the transfer robot, a position where the substrate is to be transferred by the transfer robot (for example, delivery of the substrate in the processing chamber) Work for teaching (teaching) accurate information on the position is performed. In this operation, the operator's operation leads the transfer robot hand from the home position to the position where the substrate is to be transferred, and the amount of movement of the hand at that time becomes a control device for controlling the operation of the transfer robot. Entered.

作業者による搬送ロボットの操作は、搬送ロボットのハンドの位置を目視するために、作業者が基板処理装置内に入った状態で行われる。そのため、作業者が搬送ロボットの操作を誤ると、搬送ロボットが作業者に接触したり、作業者が搬送ロボットと装置フレームとの間に挟まれたりする事故が起きるおそれがある。
そこで、搬送ロボットを操作するための操作ボックスに緊急遮断スイッチが設けられるとともに、搬送ロボットの駆動源であるモータへの給電経路上に緊急遮断回路が設けられている。そして、緊急遮断スイッチが押されると、緊急遮断回路が導通状態から遮断状態に切り替わることにより、モータへの通電（電力の供給）が停止されて、搬送ロボットの動作が緊急停止されるようになっている。 The operation of the transfer robot by the operator is performed in a state where the operator enters the substrate processing apparatus in order to visually check the position of the hand of the transfer robot. Therefore, if the operator misoperates the transfer robot, there is a possibility that an accident may occur in which the transfer robot contacts the operator or the operator is caught between the transfer robot and the apparatus frame.
Therefore, an emergency cut-off switch is provided in an operation box for operating the transfer robot, and an emergency cut-off circuit is provided on a power supply path to a motor that is a drive source of the transfer robot. When the emergency cut-off switch is pressed, the emergency cut-off circuit is switched from the conductive state to the cut-off state, so that the energization (power supply) to the motor is stopped and the operation of the transfer robot is stopped in an emergency. ing.

緊急遮断回路は、遮断状態に切り替わると、基板処理装置が再起動されない限り、その遮断状態から導通状態に復帰しない構成となっている。また、搬送ロボットのモータには、ブレーキ付きのモータが用いられており、このモータへの通電が停止されている間、モータにブレーキがかかることによって、搬送ロボットは不動な状態となる。したがって、そのブレーキの作動を解除して、不動状態の搬送ロボットを再び動作させるには、基板処理装置を再起動させる必要がある。
特開２００１−１５６１５３号公報 When the emergency shut-off circuit is switched to the shut-off state, the emergency shut-off circuit is configured not to return from the shut-off state to the conductive state unless the substrate processing apparatus is restarted. In addition, a motor with a brake is used as the motor of the transfer robot. The brake is applied to the motor while the energization to the motor is stopped, so that the transfer robot becomes immobile. Therefore, it is necessary to restart the substrate processing apparatus in order to release the operation of the brake and operate the stationary transfer robot again.
JP 2001-156153 A

ところが、基板処理装置の再起動に時間がかかるため、搬送ロボットの再動作が可能となるまでに長い時間を要してしまう。そのため、作業者が搬送ロボットと装置フレームとの間に挟まれる事故が起きて、緊急遮断スイッチが押された場合には、搬送ロボットの動作停止から再動作が可能となるまでの長い時間、その作業者の身動きが取れない状態が続くことになる。 However, since it takes time to restart the substrate processing apparatus, it takes a long time before the transfer robot can be restarted. Therefore, if an accident occurs where the operator is caught between the transfer robot and the device frame and the emergency shut-off switch is pressed, it takes a long time from when the transfer robot stops operating until it can be restarted. The state where an operator cannot move will continue.

このような問題は、搬送ロボットに限らず、基板処理装置内において、ブレーキ付きのモータの駆動力により動作する他の可動部材についても生じうる。たとえば、処理チャンバ内に、基板をほぼ水平に保持するスピンチャックと、スピンチャックに保持された基板の表面に対して近接配置される遮断板とが備えられ、この遮断板がブレーキ付きのモータの駆動力により基板に対して近接および離間する構成では、遮断板などのメンテナンスのための作業中に、その作業者の手などがスピンチャックと遮断板との間に挟まれる事故が起きるおそれがある。そのため、緊急遮断スイッチが設けられ、この緊急遮断スイッチが押されると、モータへの通電が停止されて、遮断板の動作が緊急停止されるようになっている。しかし、緊急遮断スイッチが押された場合に、遮断板の動作停止から再動作が可能となるまでの長い時間、作業者の身動きが取れない状態が続くことになる。 Such a problem may occur not only in the transfer robot but also in other movable members that operate by the driving force of a motor with a brake in the substrate processing apparatus. For example, a processing chamber is provided with a spin chuck that holds the substrate substantially horizontally and a blocking plate that is disposed in proximity to the surface of the substrate held by the spin chuck. In the configuration in which the driving force moves close to and away from the substrate, there is a possibility that the operator's hand may be pinched between the spin chuck and the blocking plate during the maintenance work for the blocking plate and the like. . Therefore, an emergency cut-off switch is provided, and when the emergency cut-off switch is pressed, the power supply to the motor is stopped and the operation of the cut-off plate is stopped in an emergency. However, when the emergency cut-off switch is pressed, the worker cannot move for a long time from the stoppage of the operation of the cut-off plate until the re-operation is possible.

モータの駆動力がベルトを介して可動部材に伝達される構成の場合には、緊急遮断スイッチが押されて、可動部材の動作が緊急停止した後、ベルトを切断して、可動部材をモータから切り離すことにより、可動部材の不動状態を解除することが考えられる。しかし、基板処理装置を再起動させるためには、ベルトの装着および調整をしなければならず、再起動までにかなりの時間を要する。したがって、ベルトの切断は、好ましい手法ではない。 In the case where the driving force of the motor is transmitted to the movable member via the belt, the emergency cut-off switch is pushed, and the operation of the movable member is urgently stopped. Then, the belt is cut and the movable member is removed from the motor. It is conceivable to release the immovable state of the movable member by separating. However, in order to restart the substrate processing apparatus, it is necessary to mount and adjust the belt, and it takes a considerable time to restart. Therefore, cutting the belt is not a preferred method.

また、緊急停止時に、可動部材をモータのブレーキ力に抗して動かすためのハンドルを設けることも考えられるが、そのためのスペースが必要になり、基板処理装置の小型化の妨げとなってしまう。
そこで、この発明の目的は、緊急遮断回路によって主電源からモータへの電力の供給が遮断された状態で、モータが有するブレーキの作動を解除することができる基板搬送装置および基板処理装置を提供することである。 In addition, it is conceivable to provide a handle for moving the movable member against the braking force of the motor at the time of emergency stop. However, a space for this is required, which hinders downsizing of the substrate processing apparatus.
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a substrate transfer apparatus and a substrate processing apparatus that can release the operation of a brake of a motor in a state where the supply of power from the main power source to the motor is interrupted by an emergency cutoff circuit. That is.

上記の目的を達成するための請求項１記載の発明は、基板（Ｗ）を搬送するための搬送ロボット（５，８）と、この搬送ロボットの駆動源として用いられ、電力の供給を受けていない状態で作動するブレーキを有するモータ（１２）と、上記搬送ロボットの動作を緊急停止させるために操作される緊急操作部（９）と、この緊急操作部の操作に応答して、主電源から上記モータへの電力の供給を遮断する緊急遮断回路（１９）と、この緊急遮断回路によって上記主電源から上記モータへの電力の供給が遮断されている状態で、上記ブレーキの作動を解除すべきときに、上記ブレーキの作動を解除可能な電力を上記モータに供給するためのブレーキリリースユニット（１０）が接続される接続部（１１）とを含むことを特徴とする基板搬送装置である。 The invention according to claim 1 for achieving the above object is a transfer robot (5, 8) for transferring a substrate (W) and a drive source of the transfer robot, and is supplied with electric power. In response to the operation of the emergency operation unit, the motor (12) having a brake that operates in a non-operating state, the emergency operation unit (9) operated to stop the operation of the transfer robot urgently, from the main power supply The emergency shutoff circuit (19) for shutting off the power supply to the motor and the operation of the brake should be released in a state where the power supply from the main power source to the motor is shut off by the emergency shutoff circuit. And a connecting portion (11) to which a brake release unit (10) for supplying electric power capable of releasing the operation of the brake to the motor is connected. A.

なお、括弧内の英数字は、後述の実施形態における対応構成要素等を表す。以下、この項において同じ。
この構成によれば、緊急操作部が操作されると、この操作に応答して、緊急遮断回路によって主電源からモータへの電力の供給が遮断される。主電源からモータへの電力の供給が遮断されると、搬送ロボットの動作が緊急停止されるとともに、モータのブレーキが作動して、搬送ロボットが緊急停止した状態で不動に保持される。そして、その状態でブレーキリリースユニットが接続部に接続されると、ブレーキリリースユニットからモータに電力が供給され、この電力供給によってモータのブレーキの作動が解除される。そのため、緊急遮断回路によって主電源からモータへの電力の供給が遮断された状態でも、モータが有するブレーキの作動を解除することができる。よって、そのブレーキの作動を解除するために、緊急遮断回路を主電源からモータへの電力の供給を許容する状態に復帰させなくてもよいから、その復帰のための処理（基板処理装置の再起動）を不要とすることができる。 In addition, the alphanumeric characters in parentheses represent corresponding components in the embodiments described later. The same applies hereinafter.
According to this configuration, when the emergency operation unit is operated, the supply of power from the main power supply to the motor is interrupted by the emergency cutoff circuit in response to this operation. When the supply of electric power from the main power supply to the motor is cut off, the operation of the transfer robot is urgently stopped, and the brake of the motor is operated, so that the transfer robot is held stationary in an emergency stop state. When the brake release unit is connected to the connecting portion in this state, electric power is supplied from the brake release unit to the motor, and the operation of the brake of the motor is released by this electric power supply. Therefore, even when the supply of power from the main power source to the motor is interrupted by the emergency cutoff circuit, the operation of the brake of the motor can be released. Therefore, in order to cancel the operation of the brake, it is not necessary to return the emergency shut-off circuit to a state in which power supply from the main power supply to the motor is permitted. Activation) can be made unnecessary.

これにより、たとえば、搬送ロボットと装置フレームとの間に作業者が挟まれた場合に、緊急操作部が操作されて、搬送ロボットが不動状態となり、その作業者の身動きが取れない状態となっても、搬送ロボットの不動状態を即座に解除することができ、作業者の身動きが取れない状態が長く続くのを防止することができる。
請求項２記載の発明は、基板（Ｗ）を搬送するための搬送ロボット（５，８）と、この搬送ロボットの駆動源として用いられ、電力の供給を受けていない状態で作動するブレーキを有するモータ（１２）と、上記搬送ロボットの動作を緊急停止させるために操作される緊急操作部（９）と、この緊急操作部の操作に応答して、主電源から上記モータへの電力の供給を遮断する緊急遮断回路（１９）と、上記ブレーキの作動を解除可能な電力を上記モータに供給するためのブレーキリリースユニット（１０）と、上記緊急遮断回路によって上記主電源から上記モータへの電力の供給が遮断されている状態で、上記ブレーキの作動を解除すべきときに、上記ブレーキリリースユニットと上記モータとを接続するために操作されるブレーキリリース操作部（２３）とを含むことを特徴とする基板搬送装置である。 Thereby, for example, when an operator is sandwiched between the transfer robot and the apparatus frame, the emergency operation unit is operated, the transfer robot becomes immobile, and the operator cannot move. However, the immobilization state of the transfer robot can be released immediately, and the state where the worker cannot move can be prevented from continuing for a long time.
The invention described in claim 2 has a transfer robot (5, 8) for transferring the substrate (W), and a brake that is used as a drive source of the transfer robot and operates in a state where it is not supplied with electric power. In response to the operation of the motor (12), the emergency operation unit (9) operated to urgently stop the operation of the transfer robot, and the operation of the emergency operation unit, the power supply from the main power supply to the motor is performed. An emergency shut-off circuit (19) for shutting off, a brake release unit (10) for supplying the motor with electric power capable of releasing the operation of the brake, and an electric power to the motor from the main power supply by the emergency shut-off circuit Brake release operated to connect the brake release unit and the motor when the brake operation should be released when the supply is cut off A substrate transfer apparatus which comprises work portion (23).

この構成によれば、緊急操作部が操作されると、この操作に応答して、緊急遮断回路によって主電源からモータへの電力の供給が遮断される。主電源からモータへの電力の供給が遮断されると、搬送ロボットの動作が緊急停止されるとともに、モータのブレーキが作動して、搬送ロボットが緊急停止した状態で不動に保持される。そして、その状態でブレーキリリース操作部が操作されると、ブレーキリリースユニットがモータに接続されて、ブレーキリリースユニットからモータに電力が供給され、この電力供給によってモータのブレーキの作動が解除される。そのため、緊急遮断回路によって主電源からモータへの電力の供給が遮断された状態でも、モータが有するブレーキの作動を解除することができる。よって、そのブレーキの作動を解除するために、緊急遮断回路を主電源からモータへの電力の供給を許容する状態に復帰させなくてもよいから、その復帰のための処理（基板処理装置の再起動）を不要とすることができる。 According to this configuration, when the emergency operation unit is operated, the supply of power from the main power supply to the motor is interrupted by the emergency cutoff circuit in response to this operation. When the supply of electric power from the main power supply to the motor is cut off, the operation of the transfer robot is urgently stopped, and the brake of the motor is operated, so that the transfer robot is held stationary in an emergency stop state. When the brake release operation unit is operated in this state, the brake release unit is connected to the motor, and electric power is supplied from the brake release unit to the motor, and the operation of the brake of the motor is released by this electric power supply. Therefore, even when the supply of power from the main power source to the motor is interrupted by the emergency cutoff circuit, the operation of the brake of the motor can be released. Therefore, in order to cancel the operation of the brake, it is not necessary to return the emergency shut-off circuit to a state in which power supply from the main power supply to the motor is permitted. Activation) can be made unnecessary.

これにより、たとえば、搬送ロボットと装置フレームとの間に作業者が挟まれた場合に、緊急操作部が操作されて、搬送ロボットが不動状態となり、その作業者の身動きが取れない状態となっても、搬送ロボットの不動状態を即座に解除することができ、作業者の身動きが取れない状態が長く続くのを防止することができる。
上記ブレーキリリースユニットは、充電不可能な電池を備えていてもよいが、請求項３に記載のように、上記ブレーキの作動を解除可能な電力を蓄えておくための充電池（２１）と、この充電池を充電するための充電回路（２２）とを備えていることが好ましい。この場合、ブレーキリリースユニットの使用によって、充電池に蓄えられている電力が消費されても、充電回路によって充電池を充電することができる。そのため、ブレーキリリースユニットを繰り返し使用することができる。 Thereby, for example, when an operator is sandwiched between the transfer robot and the apparatus frame, the emergency operation unit is operated, the transfer robot becomes immobile, and the operator cannot move. However, the immobilization state of the transfer robot can be released immediately, and the state where the worker cannot move can be prevented from continuing for a long time.
The brake release unit may include a battery that cannot be recharged. However, as described in claim 3, a rechargeable battery (21) for storing electric power capable of releasing the operation of the brake; It is preferable to include a charging circuit (22) for charging the rechargeable battery. In this case, even if the electric power stored in the rechargeable battery is consumed by using the brake release unit, the rechargeable battery can be charged by the charging circuit. Therefore, the brake release unit can be used repeatedly.

請求項４記載の発明は、基板を処理するための処理室（７）と、請求項１ないし３のいずれかに記載の基板搬送装置とを含み、上記搬送ロボットは、上記処理室に対して基板を搬送するための主搬送ロボット（８）であることを特徴とする基板処理装置である。
この構成によれば、請求項１ないし３のいずれかに記載の基板搬送装置が備えられているので、緊急遮断回路によって主電源からモータへの電力の供給が遮断された状態でも、モータが有するブレーキの作動を解除することができる。よって、そのブレーキの作動を解除するために、緊急遮断回路を主電源からモータへの電力の供給を許容する状態に復帰させなくてもよいから、その復帰のための処理（基板処理装置の再起動）を不要とすることができる。これにより、主搬送ロボットと装置フレームとの間に作業者が挟まれた場合に、緊急操作部が操作されて、主搬送ロボットが不動状態となり、その作業者の身動きが取れない状態となっても、主搬送ロボットの不動状態を即座に解除することができ、作業者の身動きが取れない状態が長く続くのを防止することができる。 Invention of Claim 4 contains the process chamber (7) for processing a substrate, and the substrate transfer apparatus in any one of Claim 1 thru | or 3, The said transfer robot is with respect to the said process chamber. The substrate processing apparatus is a main transfer robot (8) for transferring a substrate.
According to this configuration, since the substrate transfer device according to any one of claims 1 to 3 is provided, the motor has even when the power supply from the main power source to the motor is cut off by the emergency cut-off circuit. The brake can be released. Therefore, in order to cancel the operation of the brake, it is not necessary to return the emergency shut-off circuit to a state in which power supply from the main power supply to the motor is permitted. Activation) can be made unnecessary. As a result, when an operator is sandwiched between the main transfer robot and the apparatus frame, the emergency operation unit is operated, the main transfer robot becomes immobile, and the worker cannot move. However, the stationary state of the main transfer robot can be released immediately, and it is possible to prevent the state in which the operator cannot move for a long time.

請求項５記載の発明は、基板を収容可能なカセット（Ｃ）が載置されるカセット載置部（３）と、請求項１ないし３のいずれかに記載の基板搬送装置とを含み、上記搬送ロボットは、上記カセット載置部に載置されたカセットに対して基板を搬送するためのインデクサロボット（５）であることを特徴とする基板処理装置である。
この構成によれば、請求項１ないし３のいずれかに記載の基板搬送装置が備えられているので、緊急遮断回路によって主電源からモータへの電力の供給が遮断された状態でも、モータが有するブレーキの作動を解除することができる。よって、そのブレーキの作動を解除するために、緊急遮断回路を主電源からモータへの電力の供給を許容する状態に復帰させなくてもよいから、その復帰のための処理（基板処理装置の再起動）を不要とすることができる。これにより、インデクサロボットと装置フレームとの間に作業者が挟まれた場合に、緊急操作部が操作されて、インデクサロボットが不動状態となり、その作業者の身動きが取れない状態となっても、インデクサロボットの不動な状態を即座に解除することができ、作業者の身動きが取れない状態が長く続くのを防止することができる。 A fifth aspect of the present invention includes a cassette placement portion (3) on which a cassette (C) capable of accommodating a substrate is placed, and the substrate transfer device according to any one of the first to third aspects, The transport robot is an indexer robot (5) for transporting a substrate to a cassette placed on the cassette placement section.
According to this configuration, since the substrate transfer device according to any one of claims 1 to 3 is provided, the motor has even when the power supply from the main power source to the motor is cut off by the emergency cut-off circuit. The brake can be released. Therefore, in order to cancel the operation of the brake, it is not necessary to return the emergency shut-off circuit to a state in which power supply from the main power supply to the motor is permitted. Activation) can be made unnecessary. As a result, when an operator is sandwiched between the indexer robot and the device frame, the emergency operation unit is operated, the indexer robot becomes immobile, and the worker cannot move. The immovable state of the indexer robot can be released immediately, and it is possible to prevent the state where the worker cannot move for a long time.

請求項６記載の発明は、電力の供給を受けていない状態で作動するブレーキを有するモータ（１２；３９）と、このモータの駆動力により動作する可動部材（５，８；３２；４１）と、この可動部材の動作を緊急停止させるために操作される緊急操作部（９）と、この緊急操作部の操作に応答して、主電源から上記モータへの電力の供給を遮断する緊急遮断回路（１９；４７）と、この緊急遮断回路によって上記主電源から上記モータへの電力の供給が遮断されている状態で、上記ブレーキの作動を解除すべきときに、上記ブレーキの作動を解除可能な電力を上記モータに供給するためのブレーキリリースユニット（１０）が接続される接続部（１１）とを含むことを特徴とする基板処理装置である。 According to the sixth aspect of the present invention, there is provided a motor (12; 39) having a brake that operates in a state in which no electric power is supplied, and a movable member (5, 8; 32; 41) operated by the driving force of the motor. An emergency operation section (9) operated to stop the operation of the movable member in an emergency, and an emergency shut-off circuit for shutting off the supply of power from the main power supply to the motor in response to the operation of the emergency operation section (19; 47), and when the operation of the brake should be released when the power supply from the main power source to the motor is cut off by the emergency cut-off circuit, the operation of the brake can be released. A substrate processing apparatus comprising: a connection portion (11) to which a brake release unit (10) for supplying electric power to the motor is connected.

この構成によれば、緊急操作部が操作されると、この操作に応答して、緊急遮断回路によって主電源からモータへの電力の供給が遮断される。主電源からモータへの電力の供給が遮断されると、可動部材の動作が緊急停止されるとともに、モータのブレーキが作動して、可動部材が緊急停止した状態で不動に保持される。そして、その状態でブレーキリリースユニットが接続部に接続されると、ブレーキリリースユニットからモータに電力が供給され、この電力供給によってモータのブレーキの作動が解除される。そのため、緊急遮断回路によって主電源からモータへの電力の供給が遮断された状態でも、モータが有するブレーキの作動を解除することができる。よって、そのブレーキの作動を解除するために、緊急遮断回路を主電源からモータへの電力の供給を許容する状態に復帰させなくてもよいから、その復帰のための処理（基板処理装置の再起動）を不要とすることができる。これにより、可動部材の不動状態を即座に解除することができる。 According to this configuration, when the emergency operation unit is operated, the supply of power from the main power supply to the motor is interrupted by the emergency cutoff circuit in response to this operation. When the supply of electric power from the main power supply to the motor is interrupted, the operation of the movable member is urgently stopped, the brake of the motor is activated, and the movable member is held stationary in an urgently stopped state. When the brake release unit is connected to the connecting portion in this state, electric power is supplied from the brake release unit to the motor, and the operation of the brake of the motor is released by this electric power supply. Therefore, even when the supply of power from the main power source to the motor is interrupted by the emergency cutoff circuit, the operation of the brake of the motor can be released. Therefore, in order to cancel the operation of the brake, it is not necessary to return the emergency shut-off circuit to a state in which power supply from the main power supply to the motor is permitted. Activation) can be made unnecessary. As a result, the immovable state of the movable member can be immediately released.

また、緊急停止時に可動部材を動かすためのハンドルを設ける構成と異なり、基板処理装置の大型化を招くこともない。
請求項７記載の発明は、基板を処理するための処理室（７）と、この処理室内に配置され、基板を保持するための基板保持機構（３１）とをさらに含み、上記可動部材は、上記基板保持機構の上方に配置され、上記基板保持機構に保持された基板に近接および離間可能に設けられた遮断板（３２）であることを特徴とする請求項６記載の基板処理装置である。 Further, unlike the configuration in which a handle for moving the movable member at the time of emergency stop is provided, the substrate processing apparatus is not increased in size.
The invention described in claim 7 further includes a processing chamber (7) for processing a substrate, and a substrate holding mechanism (31) disposed in the processing chamber for holding the substrate, wherein the movable member includes: The substrate processing apparatus according to claim 6, wherein the substrate processing apparatus is a blocking plate (32) disposed above the substrate holding mechanism and provided close to and away from the substrate held by the substrate holding mechanism. .

この構成では、作業者の操作ミスによって、遮断板と基板保持機構との間に作業者の手が挟まれる事故が起きるおそれがある。このような事故が起きた場合に、緊急操作部が操作されて、遮断板が不動状態となり、その手を抜くことができない状態となっても、ブレーキリリースユニットが接続部に接続することにより、遮断板の不動状態を即座に解除することができるので、遮断板と基板保持機構との間から手を抜くことができない状態が長時間続くのを防止することができる。 In this configuration, there is a possibility that an accident in which the operator's hand is caught between the shielding plate and the substrate holding mechanism due to an operator's operation error. When such an accident occurs, even if the emergency operation part is operated, the shut-off plate becomes immovable and the hand cannot be removed, the brake release unit is connected to the connection part, Since the stationary state of the shielding plate can be immediately released, it is possible to prevent a state in which a hand cannot be removed from between the shielding plate and the substrate holding mechanism from continuing for a long time.

以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図１は、この発明の一実施形態に係る基板処理装置のレイアウトを示す図解的な平面図である。この基板処理装置は、基板の一例としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という。）Ｗを１枚ずつ処理する枚葉式の装置であり、インデクサ部１と、このインデクサ部１の一方側に結合された基板処理部２と、インデクサ部１の他方側（基板処理部２と反対側）に並べて配置された複数のカセット載置台３とを備えている。各カセット載置台３には、複数枚のウエハＷを多段に積層した状態で収容して保持するカセットＣが載置される。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 is a schematic plan view showing a layout of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention. This substrate processing apparatus is a single-wafer type apparatus that processes semiconductor wafers (hereinafter simply referred to as “wafers”) W as an example of a substrate one by one, and includes an indexer unit 1 and one side of the indexer unit 1. And a plurality of cassette mounting tables 3 arranged side by side on the other side of the indexer unit 1 (the side opposite to the substrate processing unit 2). On each cassette mounting table 3, a cassette C that stores and holds a plurality of wafers W stacked in multiple stages is mounted.

なお、この基板処理装置の処理対象となる基板は、ウエハＷに限らず、液晶表示装置用ガラス基板、プラズマディプレイパネル用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板および磁気／光ディスク用基板などの他の種類の基板であってもよい。
インデクサ部１には、カセット載置台３の配列方向に延びる直線搬送路４が形成されている。 The substrate to be processed by the substrate processing apparatus is not limited to the wafer W, but may be other glass substrates for liquid crystal display devices, glass substrates for plasma display panels, glass substrates for photomasks, and magnetic / optical disk substrates. It may be a type of substrate.
The indexer unit 1 is formed with a straight conveyance path 4 extending in the arrangement direction of the cassette mounting table 3.

直線搬送路４には、インデクサロボット５が配置されている。インデクサロボット５は、直線搬送路４に沿って往復移動可能に設けられており、各カセット載置台３に載置されたカセットＣに対向することができる。また、インデクサロボット５は、ウエハＷを保持するためのハンド（図示せず）を備えており、カセットＣに対向した状態で、そのカセットＣにハンドをアクセスさせて、カセットＣから未処理のウエハＷを取り出したり、処理済みのウエハＷをカセットＣに収容したりすることができる。さらに、インデクサロボット５は、直線搬送路４の中央部に位置した状態で、基板処理部２に対してハンドをアクセスさせて、後述する主搬送ロボット８にウエハＷを受け渡したり、主搬送ロボット８からウエハＷを受け取ったりすることができる。 An indexer robot 5 is disposed on the straight conveyance path 4. The indexer robot 5 is provided so as to be able to reciprocate along the straight conveyance path 4 and can face the cassette C mounted on each cassette mounting table 3. Further, the indexer robot 5 includes a hand (not shown) for holding the wafer W. The hand is accessed to the cassette C while facing the cassette C, and an unprocessed wafer is transferred from the cassette C. W can be taken out, or a processed wafer W can be stored in the cassette C. Further, the indexer robot 5 makes the hand access to the substrate processing unit 2 while being positioned at the central portion of the linear transfer path 4, and delivers the wafer W to the main transfer robot 8 described later, or the main transfer robot 8. The wafers W can be received from.

基板処理部２には、インデクサ部１の直線搬送路４の中央部から直線搬送路４と直交する方向に延びる搬送室６が形成されている。また、この搬送室６に対してその長手方向と直交する方向の両側には、それぞれ複数（この実施形態では、４つ）の処理室７が搬送室６に沿って並べて形成されている。
搬送室６の中央には、主搬送ロボット８が配置されている。この主搬送ロボット８は、ウエハＷを保持するハンド（図示せず）を備えており、このハンドを各処理室７にアクセスさせて、各処理室７にウエハＷを搬入および搬出することができる。また、主搬送ロボット８は、インデクサロボット５との間でウエハＷの受け渡しを行うことができる。 In the substrate processing unit 2, a transfer chamber 6 is formed that extends from the center of the linear transfer path 4 of the indexer unit 1 in a direction orthogonal to the straight transfer path 4. A plurality (four in this embodiment) of processing chambers 7 are formed side by side along the transfer chamber 6 on both sides of the transfer chamber 6 in the direction orthogonal to the longitudinal direction.
A main transfer robot 8 is arranged in the center of the transfer chamber 6. The main transfer robot 8 includes a hand (not shown) for holding the wafer W. The hand can access each processing chamber 7 to load and unload the wafer W into each processing chamber 7. . Further, the main transfer robot 8 can deliver the wafer W to and from the indexer robot 5.

インデクサロボット５によってカセットＣから取り出された未処理のウエハＷは、インデクサロボット５から主搬送ロボット８に受け渡されて、この主搬送ロボット８によって処理室７のいずれかに搬入される。各処理室７では、ウエハＷに対して所定の処理が行われる。処理室７で処理を受けたウエハＷは、主搬送ロボット８によって処理室７から搬出される。そして、その主搬送ロボット８からインデクサロボット５へと受け渡されて、インデクサロボット５によって所定のカセットＣ（処理済みのウエハＷを搬送するためのカセットＣ）に収容される。 The unprocessed wafer W taken out from the cassette C by the indexer robot 5 is transferred from the indexer robot 5 to the main transfer robot 8 and is transferred into one of the processing chambers 7 by the main transfer robot 8. In each processing chamber 7, a predetermined process is performed on the wafer W. The wafer W that has been processed in the processing chamber 7 is unloaded from the processing chamber 7 by the main transfer robot 8. Then, it is transferred from the main transfer robot 8 to the indexer robot 5 and is stored in a predetermined cassette C (a cassette C for transferring a processed wafer W) by the indexer robot 5.

なお、処理室７で行われる処理は、たとえば、フッ酸、硫酸、硝酸、塩酸、リン酸、酢酸、アンモニア、クエン酸、蓚酸、ＴＭＡＨ（テトラ・メチル・アンモニウム・ハイドロオキサイド）などの薬液を用いてウエハＷの表面を洗浄（エッチング）する処理であってもよいし、純水、イオン水、オゾン水、炭酸水、還元水（水素水）、磁気水などのリンス液を用いてウエハＷの表面を洗浄する処理であってもよい。また、硫酸および過酸化水素水の混合液を用いてウエハＷの表面に形成されている不要なレジスト膜を剥離するレジスト剥離処理であってもよいし、ポリマー除去液を用いてウエハＷの表面に付着しているポリマーを除去するポリマー除去処理であってもよい。 The treatment performed in the treatment chamber 7 uses, for example, a chemical solution such as hydrofluoric acid, sulfuric acid, nitric acid, hydrochloric acid, phosphoric acid, acetic acid, ammonia, citric acid, oxalic acid, TMAH (tetramethylmethylammonium hydroxide). The surface of the wafer W may be cleaned (etched), or the wafer W may be cleaned using a rinse liquid such as pure water, ion water, ozone water, carbonated water, reducing water (hydrogen water), or magnetic water. It may be a process for cleaning the surface. Further, it may be a resist stripping process for stripping an unnecessary resist film formed on the surface of the wafer W using a mixed solution of sulfuric acid and hydrogen peroxide water, or a surface of the wafer W using a polymer removing solution. The polymer removal process which removes the polymer adhering to may be sufficient.

このような構成の基板処理装置では、インデクサロボット５および主搬送ロボット８によるウエハＷの高精度な搬送を実現するために、基板処理装置の組み立て後に、インデクサロボット５および主搬送ロボット８に対して、それぞれインデクサロボット５および主搬送ロボット８によるウエハＷの搬送位置の正確な情報をティーチングするための作業が行われる。 In the substrate processing apparatus having such a configuration, the indexer robot 5 and the main transfer robot 8 can be transferred to the indexer robot 5 and the main transfer robot 8 after the substrate processing apparatus is assembled in order to realize high-precision transfer of the wafer W by the indexer robot 5 and the main transfer robot 8. Then, an operation for teaching accurate information of the transfer position of the wafer W by the indexer robot 5 and the main transfer robot 8 is performed.

たとえば、主搬送ロボット８に対して、処理室７におけるウエハＷの受け渡し位置をティーチングするための作業（ティーチング作業）では、作業者による操作によって、主搬送ロボット８のハンドがホームポジションから受け渡し位置へと導かれ、そのときのハンドの移動量が主搬送ロボット８の動作を制御するための制御装置に入力される。作業者による主搬送ロボット８の操作は、主搬送ロボット８のハンドの位置を目視するために、作業者が搬送室６内に入った状態で行われる。そのため、作業者が主搬送ロボット８の操作を誤ると、主搬送ロボット８が作業者に接触したり、作業者が主搬送ロボット８と搬送室６の隔壁との間に挟まれたりする事故が起きるおそれがある。 For example, in the work (teaching work) for teaching the transfer position of the wafer W in the processing chamber 7 with respect to the main transfer robot 8, the hand of the main transfer robot 8 is moved from the home position to the transfer position by an operation by the operator. The amount of movement of the hand at that time is input to a control device for controlling the operation of the main transfer robot 8. The operator operates the main transfer robot 8 in a state where the operator enters the transfer chamber 6 in order to visually check the position of the hand of the main transfer robot 8. Therefore, if the operator misoperates the main transfer robot 8, there is an accident in which the main transfer robot 8 comes into contact with the operator or the operator is caught between the main transfer robot 8 and the partition wall of the transfer chamber 6. May happen.

そこで、この基板処理装置の外側面に設けられた操作パネルＰには、インデクサロボット５および主搬送ロボット８の動作を緊急停止させるための緊急遮断スイッチ９が配置されている。
また、インデクサロボット５と主搬送ロボット８との間の所定位置には、ブレーキリリースユニット１０が備えられている。このブレーキリリースユニット１０は、後述するサーボモータ１２のブレーキの作動を解除するためのものであり、インデクサロボット５および主搬送ロボット８に付随して設けられている接続部１１に選択的に接続可能に構成されている。 Therefore, an emergency shut-off switch 9 for urgently stopping the operations of the indexer robot 5 and the main transfer robot 8 is disposed on the operation panel P provided on the outer surface of the substrate processing apparatus.
A brake release unit 10 is provided at a predetermined position between the indexer robot 5 and the main transfer robot 8. The brake release unit 10 is for releasing the brake operation of a servo motor 12 described later, and can be selectively connected to a connecting portion 11 provided along with the indexer robot 5 and the main transfer robot 8. It is configured.

なお、緊急遮断スイッチ９は、操作パネルＰだけでなく、基板処理装置内で作業を行う作業者がインデクサロボット５および主搬送ロボット８を操作するために所持する操作ボックス（図示せず）に配置されていてもよい。
図２は、インデクサロボット５および主搬送ロボット８の給電系の構成を示すブロック図である。インデクサロボット５および主搬送ロボット８は、それぞれサーボモータ１２を駆動源として備えている。 The emergency cut-off switch 9 is arranged not only on the operation panel P but also on an operation box (not shown) possessed by an operator working in the substrate processing apparatus to operate the indexer robot 5 and the main transfer robot 8. May be.
FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of the power feeding system of the indexer robot 5 and the main transfer robot 8. Each of the indexer robot 5 and the main transfer robot 8 includes a servo motor 12 as a drive source.

なお、インデクサロボット５の給電系と主搬送ロボット８の給電系とは同様な構成を有しているため、以下では、主搬送ロボット８の給電系を取り上げて説明し、インデクサロボット５の給電系については説明を省略する。
サーボモータ１２は、電力の供給を受けていない状態で作動するブレーキを内蔵している。このブレーキが作動すると、サーボモータ１２のロータが不動になり、主搬送ロボット８が不動な状態で保持される。また、サーボモータ１２は、駆動電流入力端子１３とブレーキリリース電流入力端子１４とを備えており、ブレーキの作動は、ブレーキリリース電流入力端子１４に所定のブレーキリリース電流が入力されると解除される。そして、ブレーキの作動が解除された状態で、駆動電流入力端子１３に駆動電流が入力されると、サーボモータ１２は、主搬送ロボット８を動作させるための駆動力を発生する。 Since the power supply system of the indexer robot 5 and the power supply system of the main transfer robot 8 have the same configuration, the power supply system of the main transfer robot 8 will be described below, and the power supply system of the indexer robot 5 will be described below. Description of is omitted.
The servo motor 12 has a built-in brake that operates in a state where it is not supplied with electric power. When this brake is actuated, the rotor of the servo motor 12 is stationary, and the main transfer robot 8 is held in a stationary state. The servo motor 12 includes a drive current input terminal 13 and a brake release current input terminal 14, and the brake operation is canceled when a predetermined brake release current is input to the brake release current input terminal 14. . When a drive current is input to the drive current input terminal 13 in a state where the brake is released, the servo motor 12 generates a drive force for operating the main transport robot 8.

また、サーボモータ１２には、ロータの回転位置に応じたパルス信号を出力するエンコーダ１５が付設されている。
さらにまた、サーボモータ１２には、マイクロコンピュータや各種回路を備えるモータコントローラ１６が接続されている。このモータコントローラ１６には、交流２００ボルト（ＡＣ２００Ｖ）の電源電圧を有する主電源１７から給電経路１８を介して電力が入力されるようになっている。また、モータコントローラ１６には、エンコーダ１５から出力されるパルス信号が与えられるようになっている。 Further, the servo motor 12 is provided with an encoder 15 that outputs a pulse signal corresponding to the rotational position of the rotor.
Furthermore, a motor controller 16 having a microcomputer and various circuits is connected to the servo motor 12. Electric power is input to the motor controller 16 from a main power supply 17 having a power supply voltage of AC 200 volts (AC200V) through a power supply path 18. Further, the motor controller 16 is supplied with a pulse signal output from the encoder 15.

モータコントローラ１６は、エンコーダ１５から入力されるパルス信号に基づいて、サーボモータ１２のロータの位置を検出し、それに応じた駆動電流をサーボモータ１２の駆動電流入力端子１３に入力する。また、モータコントローラ１６は、駆動電流入力端子１３に駆動電流を入力するときに、ブレーキリリース電流入力端子１４に所定のブレーキリリース電流を入力する。 The motor controller 16 detects the position of the rotor of the servo motor 12 based on the pulse signal input from the encoder 15, and inputs a drive current corresponding to the position to the drive current input terminal 13 of the servo motor 12. The motor controller 16 inputs a predetermined brake release current to the brake release current input terminal 14 when inputting the drive current to the drive current input terminal 13.

給電経路１８上には、緊急遮断スイッチ（ＥＭＯスイッチ）９の押操作に応答して、主電源１７からサーボモータ１２への電力の供給を許容する導通状態からその電力の供給を遮断する遮断状態に切り替わる緊急遮断回路（ＥＭＯ回路）１９が設けられている。この緊急遮断回路１９は、プログラム処理によって主電源１７からサーボモータ１２への電力の供給を遮断する構成のものではなく、緊急遮断スイッチ９の押操作に応答してオンからオフに切り替わるリレーなどを備えるハードウエア回路であり、導通状態から遮断状態に切り替わると、この基板処理装置が再起動されない限り、その遮断状態から導通状態に復帰しない。 On the power supply path 18, in response to a pressing operation of an emergency cutoff switch (EMO switch) 9, a cutoff state in which the supply of power is cut off from a conduction state that allows the supply of power from the main power supply 17 to the servo motor 12. An emergency cut-off circuit (EMO circuit) 19 for switching to is provided. The emergency shut-off circuit 19 is not configured to shut off the power supply from the main power supply 17 to the servo motor 12 by program processing, but includes a relay that switches from on to off in response to the pressing operation of the emergency shut-off switch 9. When the substrate processing apparatus is restarted, the hardware circuit does not return from the interrupted state to the conductive state.

また、給電経路１８には、緊急遮断回路１９とモータコントローラ１６との間において、ブレーキリリースユニット１０に電力を供給するための充電経路２０が分岐接続されている。
ブレーキリリースユニット１０は、サーボモータ１２のブレーキの作動を解除可能な電力を蓄えておくための充電池２１と、この充電池２１を充電するための充電回路２２とを備えている。このブレーキリリースユニット１０は、ティーチング作業中以外は、インデクサロボット５と主搬送ロボット８との間の所定位置にセットされて、充電回路２２が充電経路２０に接続される。これにより、主電源１７から給電経路１８および充電経路２０を介して充電回路２２に電力が供給され、充電回路２２の働きによって、その電力が充電池２１に蓄えられる。 In addition, a charging path 20 for supplying power to the brake release unit 10 is branched and connected to the power supply path 18 between the emergency cutoff circuit 19 and the motor controller 16.
The brake release unit 10 includes a rechargeable battery 21 for storing electric power capable of releasing the brake operation of the servo motor 12 and a charging circuit 22 for charging the rechargeable battery 21. The brake release unit 10 is set at a predetermined position between the indexer robot 5 and the main transfer robot 8 except during teaching work, and the charging circuit 22 is connected to the charging path 20. Thus, power is supplied from the main power supply 17 to the charging circuit 22 via the power supply path 18 and the charging path 20, and the power is stored in the rechargeable battery 21 by the function of the charging circuit 22.

ティーチング作業の開始に際して、基板処理装置内で作業する作業者は、インデクサロボット５と主搬送ロボット８との間の所定位置からブレーキリリースユニット１０を取り外す。そして、基板処理装置内で作業する作業者は、ティーチング作業が終了するまで、ブレーキリリースユニット１０を所持しておく。
ティーチング作業中に、たとえば、作業者の操作ミスによって、その作業者が主搬送ロボット８と搬送室６の隔壁との間に挟まれた場合には、まず、緊急遮断スイッチ９が押される。緊急遮断スイッチ９が押されると、緊急遮断回路１９が導通状態から遮断状態に切り替わり、主電源１７からサーボモータ１２への電力の供給が停止されることによって、主搬送ロボット８の動作が緊急停止される。また、サーボモータ１２のブレーキが作動して、主搬送ロボット８が緊急停止した状態で不動に保持される。主搬送ロボット８が不動となることにより、主搬送ロボット８のハンドなどの昇降駆動される部材が重力で下降することを防止でき、そのような部材が作業者に接触するといった二次的な事故の発生を防止することができる。 When starting the teaching work, an operator working in the substrate processing apparatus removes the brake release unit 10 from a predetermined position between the indexer robot 5 and the main transfer robot 8. Then, an operator working in the substrate processing apparatus holds the brake release unit 10 until the teaching work is completed.
During the teaching operation, for example, when the operator is sandwiched between the main transfer robot 8 and the partition wall of the transfer chamber 6 due to an operator's operation error, the emergency cut-off switch 9 is first pressed. When the emergency cut-off switch 9 is pressed, the emergency cut-off circuit 19 is switched from the conductive state to the cut-off state, and the supply of power from the main power supply 17 to the servo motor 12 is stopped. Is done. Further, the brake of the servo motor 12 is activated, and the main transfer robot 8 is held immobile in an emergency stop state. Since the main transfer robot 8 is stationary, it is possible to prevent a member that is driven to move up and down such as the hand of the main transfer robot 8 from being lowered due to gravity, and such a secondary accident that such a member comes into contact with an operator. Can be prevented.

そして、作業者は、主搬送ロボット８と搬送室６の隔壁との間から抜け出せない場合には、ブレーキリリースユニット１０を主搬送ロボット８に付随して設けられている接続部１１に接続する。ブレーキリリースユニット１０が接続部１１に接続されると、ブレーキリリースユニット１０の充電池２１に蓄えられている電力が、モータコントローラ１６を介して、サーボモータ１２のブレーキリリース電流入力端子１４に入力される。すると、サーボモータ１２のブレーキの作動が解除され、主搬送ロボット８の不動状態が解除される。したがって、主搬送ロボット８と搬送室６の隔壁との間に挟まっている作業者は、主搬送ロボット８を手動で動かして、主搬送ロボット８と搬送室６の隔壁との間から抜け出すことができる。 When the worker cannot escape from between the main transfer robot 8 and the partition wall of the transfer chamber 6, the operator connects the brake release unit 10 to the connection portion 11 provided accompanying the main transfer robot 8. When the brake release unit 10 is connected to the connecting portion 11, the electric power stored in the rechargeable battery 21 of the brake release unit 10 is input to the brake release current input terminal 14 of the servo motor 12 via the motor controller 16. The Then, the brake operation of the servo motor 12 is released, and the stationary state of the main transfer robot 8 is released. Therefore, an operator sandwiched between the main transfer robot 8 and the partition wall of the transfer chamber 6 can move the main transfer robot 8 manually to escape from between the main transfer robot 8 and the partition wall of the transfer chamber 6. it can.

以上のように、この実施形態によれば、緊急遮断回路１９が遮断状態に切り替えられたままでも、サーボモータ１２が有するブレーキの作動を解除することができる。よって、そのブレーキの作動を解除するために、緊急遮断回路１９を遮断状態から導通状態に復帰させなくてもよいから、その復帰のための処理（基板処理装置の再起動）を不要とすることができる。これにより、主搬送ロボット８と搬送室６の隔壁との間またはインデクサロボット５と直線搬送路４の隔壁との間に作業者が挟まれた場合に、緊急遮断スイッチ９が押されて、主搬送ロボット８またはインデクサロボット５が不動状態となり、作業者の身動きが取れない状態となっても、主搬送ロボット８またはインデクサロボット５の不動な状態を即座に解除することができ、作業者の身動きが取れない状態が長く続くのを防止することができる。 As described above, according to this embodiment, the brake operation of the servo motor 12 can be released even when the emergency cutoff circuit 19 is switched to the cutoff state. Therefore, in order to cancel the operation of the brake, the emergency shut-off circuit 19 does not have to be returned from the shut-off state to the conductive state, so that the processing for the return (restart of the substrate processing apparatus) is unnecessary. Can do. As a result, when an operator is sandwiched between the main transfer robot 8 and the partition wall of the transfer chamber 6 or between the indexer robot 5 and the partition wall of the straight transfer path 4, the emergency cut-off switch 9 is pressed to Even if the transfer robot 8 or the indexer robot 5 becomes immobile and the worker cannot move, the immobile state of the main transfer robot 8 or the indexer robot 5 can be immediately released, and the movement of the operator It is possible to prevent a state in which the image cannot be removed from continuing for a long time.

図３は、この発明の他の実施形態に係る基板処理装置のレイアウトを示す図解的な平面図である。また、図４は、その基板処理装置に備えられているインデクサロボット５および主搬送ロボット８の給電系の構成を示すブロック図である。
図３において、上述した図１に示す各部に相当する部分には、図１の場合と同一の参照符号を付し、図４において、上述した図２に示す各部に相当する部分には、図２の場合と同一の参照符号を付している。 FIG. 3 is a schematic plan view showing a layout of a substrate processing apparatus according to another embodiment of the present invention. FIG. 4 is a block diagram showing the configuration of the power feeding system of the indexer robot 5 and the main transfer robot 8 provided in the substrate processing apparatus.
3, parts corresponding to the respective parts shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals as those in FIG. 1, and in FIG. 4, the parts corresponding to the respective parts shown in FIG. The same reference numerals as those in the case of 2 are given.

この基板処理装置では、インデクサロボット５の近傍に、ブレーキリリーススイッチ２３が配置されている。また、インデクサロボット５に関連づけて、ブレーキリリースユニット１０が固定的に設けられている。そして、ブレーキリリーススイッチ２３が押されると、ブレーキリリースユニット１０の充電池２１に蓄えられている電力が、モータコントローラ１６を介して、インデクサロボット５のサーボモータ１２のブレーキリリース電流入力端子１４に入力されるようになっている。ブレーキリリース電流入力端子１４にブレーキリリースユニット１０からの電力が入力されることにより、サーボモータ１２のブレーキの作動が解除され、インデクサロボット５の不動状態が解除される。 In this substrate processing apparatus, a brake release switch 23 is disposed in the vicinity of the indexer robot 5. Further, a brake release unit 10 is fixedly provided in association with the indexer robot 5. When the brake release switch 23 is pressed, the electric power stored in the rechargeable battery 21 of the brake release unit 10 is input to the brake release current input terminal 14 of the servo motor 12 of the indexer robot 5 via the motor controller 16. It has come to be. When the electric power from the brake release unit 10 is input to the brake release current input terminal 14, the operation of the brake of the servo motor 12 is released, and the immobility state of the indexer robot 5 is released.

また、主搬送ロボット８の近傍にも、ブレーキリリーススイッチ２３が配置されている。また、主搬送ロボット８に関連づけて、ブレーキリリースユニット１０が固定的に設けられている。そして、ブレーキリリーススイッチ２３が押されると、ブレーキリリースユニット１０の充電池２１に蓄えられている電力が、モータコントローラ１６を介して、主搬送ロボット８のサーボモータ１２のブレーキリリース電流入力端子１４に入力されるようになっている。ブレーキリリース電流入力端子１４にブレーキリリースユニット１０からの電力が入力されることにより、サーボモータ１２のブレーキの作動が解除され、主搬送ロボット８の不動状態が解除される。 A brake release switch 23 is also disposed near the main transfer robot 8. A brake release unit 10 is fixedly associated with the main transfer robot 8. When the brake release switch 23 is pressed, the electric power stored in the rechargeable battery 21 of the brake release unit 10 is supplied to the brake release current input terminal 14 of the servo motor 12 of the main transfer robot 8 via the motor controller 16. It is designed to be entered. When the electric power from the brake release unit 10 is input to the brake release current input terminal 14, the brake operation of the servo motor 12 is released and the immobile state of the main transport robot 8 is released.

この実施形態の構成によっても、緊急遮断回路１９が遮断状態に切り替えられたままでも、サーボモータ１２が有するブレーキの作動を解除することができる。よって、そのブレーキの作動を解除するために、緊急遮断回路１９を遮断状態から導通状態に復帰させなくてもよいから、その復帰のための処理（基板処理装置の再起動）を不要とすることができる。これにより、主搬送ロボット８と搬送室６の隔壁との間またはインデクサロボット５と直線搬送路４の隔壁との間に作業者が挟まれた場合に、緊急遮断スイッチ９が押されて、主搬送ロボット８またはインデクサロボット５が不動状態となり、作業者の身動きが取れない状態となっても、主搬送ロボット８またはインデクサロボット５の不動な状態を即座に解除することができ、作業者の身動きが取れない状態が長く続くのを防止することができる。 Even with the configuration of this embodiment, the brake operation of the servo motor 12 can be released even when the emergency cutoff circuit 19 is switched to the cutoff state. Therefore, in order to cancel the operation of the brake, the emergency shut-off circuit 19 does not have to be returned from the shut-off state to the conductive state, so that the processing for the return (restart of the substrate processing apparatus) is unnecessary. Can do. As a result, when an operator is sandwiched between the main transfer robot 8 and the partition wall of the transfer chamber 6 or between the indexer robot 5 and the partition wall of the straight transfer path 4, the emergency cut-off switch 9 is pressed to Even if the transfer robot 8 or the indexer robot 5 becomes immobile and the worker cannot move, the immobile state of the main transfer robot 8 or the indexer robot 5 can be immediately released, and the movement of the operator It is possible to prevent a state in which the image cannot be removed from continuing for a long time.

図５は、この発明のさらに他の実施形態に係る基板処理装置のレイアウトを示す図解的な平面図である。この図５以降の各図において、上述の各部に相当する部分には、その各部と同一の参照符号を付している。また、その同一の参照符号を付した部分については、以下での詳細な説明は省略する。
図５に示す基板処理装置は、図１に示す構成に加えて、２個の緊急遮断スイッチ９と、ブレーキリリースユニット１０をそれぞれ接続可能な４個の接続部１１とを備えている。 FIG. 5 is a schematic plan view showing a layout of a substrate processing apparatus according to still another embodiment of the present invention. In each figure after FIG. 5, the same reference numerals are assigned to the parts corresponding to the above-described parts. Further, the detailed description below will be omitted for the portions denoted by the same reference numerals.
The substrate processing apparatus shown in FIG. 5 includes, in addition to the configuration shown in FIG. 1, two emergency cutoff switches 9 and four connection portions 11 to which the brake release unit 10 can be connected.

すなわち、図５に示す基板処理装置は、合計で３個の緊急遮断スイッチ９を備えており、これらの緊急遮断スイッチ９は、基板処理装置の外側面において、操作パネルＰと、搬送室６の両側で隣接する処理室７の各間とに配置されている。また、図５に示す基板処理装置は、合計で６個の接続部１１を備えており、これらの接続部１１は、インデクサロボット５、主搬送ロボット８および各処理室７に付随して設けられている。 That is, the substrate processing apparatus shown in FIG. 5 includes a total of three emergency cutoff switches 9, and these emergency cutoff switches 9 are connected to the operation panel P and the transfer chamber 6 on the outer surface of the substrate processing apparatus. It arrange | positions between each of the process chambers 7 adjacent on both sides. Further, the substrate processing apparatus shown in FIG. 5 includes a total of six connection portions 11, and these connection portions 11 are provided in association with the indexer robot 5, the main transfer robot 8, and each processing chamber 7. ing.

なお、緊急遮断スイッチ９は、さらに多く設けられていてもよく、基板処理装置の周囲で作業する作業者の手の届く範囲内（たとえば、３メートル以内）に少なくとも１つ配置されていることが好ましい。
図６は、処理室７の内部およびその下方の部分の構成を示す図解的な断面図である。
処理室７内には、ウエハＷをほぼ水平に保持して回転させるためのスピンチャック３１と、スピンチャック３１に保持されたウエハＷの表面付近の雰囲気を制御するための遮断板３２とが備えられている。 Note that more emergency cut-off switches 9 may be provided, and at least one emergency cut-off switch 9 may be disposed within a range (for example, within 3 meters) within the reach of an operator working around the substrate processing apparatus. preferable.
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of the inside of the processing chamber 7 and the lower portion thereof.
In the processing chamber 7, there are provided a spin chuck 31 for holding and rotating the wafer W substantially horizontally and a blocking plate 32 for controlling the atmosphere near the surface of the wafer W held by the spin chuck 31. It has been.

スピンチャック３１としては、たとえば、ウエハＷの端面を複数個の挟持部材で挟持することにより、ウエハＷをほぼ水平な姿勢で保持し、さらにその状態でほぼ鉛直な軸線まわりに回転することにより、その保持したウエハＷを回転させることができる構成のものや、ウエハＷの下面を真空吸着することにより、ウエハＷを水平な姿勢で保持し、さらにその状態で鉛直な軸線まわりに回転することにより、その保持したウエハＷを回転させることができるものを採用することができる。 As the spin chuck 31, for example, the wafer W is held in a substantially horizontal posture by holding the end surface of the wafer W with a plurality of holding members, and further rotated around a substantially vertical axis in that state. By holding the wafer W held in a horizontal posture by vacuum-sucking the lower surface of the wafer W, or by rotating the wafer W around the vertical axis in that state. A wafer capable of rotating the held wafer W can be employed.

遮断板３２は、スピンチャック３１の上方でほぼ水平に配置され、スピンチャック３１の上方に大きく退避する退避位置と、スピンチャック３１に保持されたウエハＷの表面（上面）に近接して対向する近接位置とに昇降可能に設けられている。
より具体的には、スピンチャック３１の上方には、ほぼ水平に延びるアーム３３が設けられている。遮断板３２は、そのアーム３３の先端部から垂下する遮断板軸３４の下端に取り付けられて、ほぼ水平に配置されている。一方、アーム３３の基端部は、鉛直方向に延びる昇降軸３５の上端に結合されている。昇降軸３５は、処理室７の底壁を貫通して、処理室７の下方へと延びており、その下端部には、昇降駆動機構３６が結合されている。遮断板３２は、昇降駆動機構３６による昇降軸３５の鉛直方向の直動（昇降）によって、退避位置と近接位置との間で昇降する。 The blocking plate 32 is disposed substantially horizontally above the spin chuck 31 and opposes the retreat position where it largely retreats above the spin chuck 31 in proximity to the surface (upper surface) of the wafer W held by the spin chuck 31. It is provided so that it can be moved up and down in the proximity position.
More specifically, an arm 33 extending substantially horizontally is provided above the spin chuck 31. The blocking plate 32 is attached to the lower end of the blocking plate shaft 34 that hangs down from the tip of the arm 33 and is disposed substantially horizontally. On the other hand, the base end portion of the arm 33 is coupled to the upper end of the elevating shaft 35 extending in the vertical direction. The elevating shaft 35 passes through the bottom wall of the processing chamber 7 and extends downward from the processing chamber 7, and an elevating drive mechanism 36 is coupled to the lower end portion thereof. The blocking plate 32 moves up and down between the retracted position and the close position by the vertical movement (lifting) of the lifting shaft 35 by the lifting drive mechanism 36.

昇降駆動機構３５は、外周面にねじが切られたねじ軸３７と、このねじ軸３７に螺合可能なねじが内周面に切られたナットプーリ３８と、昇降用モータ３９と、この昇降用モータ３９の出力軸に固定されたモータプーリ４０と、ナットプーリ３８およびモータプーリ４０に巻き回されたベルト４１とを備えている。これにより、昇降用モータ３９の駆動力が、モータプーリ４０およびベルト４１を介してナットプーリ３８に入力されると、ナットプーリ３８が回転し、このナットプーリ３８の回転がねじ軸３７の直線運動に変換され、ねじ軸３７が鉛直方向に直動する。このねじ軸３７の直動に伴って、昇降軸３５が鉛直方向に直動する。 The elevating drive mechanism 35 includes a screw shaft 37 whose outer peripheral surface is threaded, a nut pulley 38 whose inner peripheral surface is screwed with the screw shaft 37, an elevating motor 39, and the elevating and lowering mechanism 35. A motor pulley 40 fixed to the output shaft of the motor 39, a nut pulley 38, and a belt 41 wound around the motor pulley 40 are provided. Thereby, when the driving force of the elevating motor 39 is input to the nut pulley 38 via the motor pulley 40 and the belt 41, the nut pulley 38 rotates, and the rotation of the nut pulley 38 is converted into a linear motion of the screw shaft 37, The screw shaft 37 moves linearly in the vertical direction. As the screw shaft 37 moves linearly, the elevating shaft 35 moves in the vertical direction.

昇降用モータ３９としては、たとえば、電力の供給を受けていない状態で作動するブレーキを内蔵したサーボモータが採用されている。したがって、ブレーキが作動すると、サーボモータのロータが不動になり、遮断板３２が不動状態で停止する。
遮断板３２は、ウエハＷの搬入出の際には、退避位置に配置されており、ウエハＷを高速回転させて乾燥させる処理の際に、退避位置から近接位置に下降される。高速回転しているウエハＷの表面に対して遮断板３２が近接して配置され、たとえば、その遮断板３２とウエハＷとの間に窒素ガスなどの不活性ガスが供給される。これにより、遮断板３２とウエハＷとの間の空間を窒素ガス雰囲気に制御することができ、ウエハＷの表面に乾燥跡などを生じない良好な乾燥処理を実現することができる。 As the raising / lowering motor 39, for example, a servo motor with a built-in brake that operates in a state where power is not supplied is employed. Therefore, when the brake is activated, the rotor of the servo motor is stationary, and the blocking plate 32 is stopped in a stationary state.
The blocking plate 32 is disposed at the retracted position when the wafer W is loaded and unloaded, and is lowered from the retracted position to the close position when the wafer W is rotated at a high speed and dried. The shielding plate 32 is disposed close to the surface of the wafer W that is rotating at high speed. For example, an inert gas such as nitrogen gas is supplied between the shielding plate 32 and the wafer W. As a result, the space between the shielding plate 32 and the wafer W can be controlled to a nitrogen gas atmosphere, and a good drying process that does not cause drying marks or the like on the surface of the wafer W can be realized.

このような基板処理装置では、たとえば、近接位置における遮断板３２とウエハＷとの間の間隔を適正な間隔とするための調整が行われる。通常、処理室７内のメンテナンスは、基板処理装置の電源をオフにした状態で行われるが、遮断板３２の近接位置の調整は、遮断板３２を動かす必要があるため、基板処理装置の電源をオンにしたままで行われる。そのため、作業者が遮断板３２の操作を誤ると、調整作業のために処理室７内に入れられている作業者の手に遮断板３２が接触したり、その手が遮断板３２とスピンチャック３１との間に挟まれたりする事故が起きるおそれがある。 In such a substrate processing apparatus, for example, adjustment is performed to set an appropriate distance between the shielding plate 32 and the wafer W at the close position. Normally, the maintenance in the processing chamber 7 is performed in a state where the power of the substrate processing apparatus is turned off. However, the adjustment of the proximity position of the shielding plate 32 requires moving the shielding plate 32. It is done with the on. Therefore, if the operator mistakes the operation of the shielding plate 32, the shielding plate 32 comes into contact with the operator's hand placed in the processing chamber 7 for adjustment work, or the hand touches the shielding plate 32 and the spin chuck. There is a risk that an accident will occur.

図７は、昇降用モータ３９の給電系の構成を示すブロック図である。
昇降用モータ３９は、駆動電流入力端子４２とブレーキリリース電流入力端子４３とを備えており、ブレーキの作動は、ブレーキリリース電流入力端子４３に所定のブレーキリリース電流が入力されると解除される。そして、ブレーキの作動が解除された状態で、駆動電流入力端子４２に駆動電流が入力されると、昇降用モータ３９は、遮断板３２を昇降させるための駆動力を発生する。 FIG. 7 is a block diagram showing the configuration of the power feeding system of the lifting motor 39.
The lifting motor 39 includes a drive current input terminal 42 and a brake release current input terminal 43, and the operation of the brake is canceled when a predetermined brake release current is input to the brake release current input terminal 43. When a drive current is input to the drive current input terminal 42 in a state where the brake is released, the lifting motor 39 generates a driving force for lifting and lowering the blocking plate 32.

また、昇降用モータ３９には、ロータの回転位置に応じたパルス信号を出力するエンコーダ４４が付設されている。
さらにまた、昇降用モータ３９には、マイクロコンピュータや各種回路を備えるモータコントローラ４５が接続されている。このモータコントローラ４５には、交流２００ボルト（ＡＣ２００Ｖ）の電源電圧を有する主電源１７から給電経路４６を介して電力が入力されるようになっている。また、モータコントローラ４５には、エンコーダ４４から出力されるパルス信号が与えられるようになっている。 In addition, the lift motor 39 is provided with an encoder 44 that outputs a pulse signal corresponding to the rotational position of the rotor.
Furthermore, a motor controller 45 having a microcomputer and various circuits is connected to the lifting motor 39. Electric power is input to the motor controller 45 from the main power supply 17 having a power supply voltage of AC 200 volts (AC 200 V) via the power supply path 46. The motor controller 45 is given a pulse signal output from the encoder 44.

モータコントローラ４５は、エンコーダ４４から入力されるパルス信号に基づいて、昇降用モータ３９のロータの位置を検出し、それに応じた駆動電流を昇降用モータ３９の駆動電流入力端子４２に入力する。また、モータコントローラ４５は、駆動電流入力端子４２に駆動電流を入力するときに、ブレーキリリース電流入力端子４３に所定のブレーキリリース電流を入力する。 The motor controller 45 detects the position of the rotor of the lifting / lowering motor 39 based on the pulse signal input from the encoder 44, and inputs a driving current corresponding to the position to the driving current input terminal 42 of the lifting / lowering motor 39. Further, the motor controller 45 inputs a predetermined brake release current to the brake release current input terminal 43 when inputting the drive current to the drive current input terminal 42.

給電経路４６上には、緊急遮断スイッチ（ＥＭＯスイッチ）９の押操作に応答して、主電源１７から昇降用モータ３９への電力の供給を許容する導通状態からその電力の供給を遮断する遮断状態に切り替わる緊急遮断回路（ＥＭＯ回路）４７が設けられている。この緊急遮断回路４７は、上述の緊急遮断回路１９と同じ構成のものであり、導通状態から遮断状態に切り替わると、この基板処理装置が再起動されない限り、その遮断状態から導通状態に復帰しない。 On the power supply path 46, in response to a pressing operation of the emergency cut-off switch (EMO switch) 9, a cut-off that cuts off the supply of power from a conduction state that allows the supply of power from the main power supply 17 to the lifting motor 39 is performed. An emergency cut-off circuit (EMO circuit) 47 that switches to a state is provided. This emergency shut-off circuit 47 has the same configuration as the emergency shut-off circuit 19 described above. When the conductive processing state is switched to the shut-off state, the emergency shut-off circuit 47 does not return from the shut-off state to the conductive state unless the substrate processing apparatus is restarted.

また、ブレーキリリース電流入力端子４３には、処理室７に付随した接続部１１が接続されている。通常、接続部１１には、図６に示すように、基板処理装置の起動時に電力を供給するためのコネクタ４８が接続されている。
遮断板３２の調整作業中、処理室７内に手を入れて作業する作業者は、その作業が終了するまで、ブレーキリリースユニット１０を所持しておく。 In addition, the brake release current input terminal 43 is connected to a connection portion 11 associated with the processing chamber 7. Normally, as shown in FIG. 6, a connector 48 for supplying power when the substrate processing apparatus is activated is connected to the connecting portion 11.
During the adjustment work of the shielding plate 32, an operator who puts his hand into the processing chamber 7 holds the brake release unit 10 until the work is completed.

調整作業中に、たとえば、作業者の操作ミスによって、その作業者の手が遮断板３２とスピンチャック３１との間に挟まれた場合には、まず、緊急遮断スイッチ９が押される。緊急遮断スイッチ９が押されると、緊急遮断回路４７が導通状態から遮断状態に切り替わり、主電源１７から昇降用モータ３９への電力の供給が停止されることによって、遮断板３２の動作が緊急停止する。また、昇降用モータ３９のブレーキが作動して、遮断板３２が緊急停止した状態で不動となる。 When the operator's hand is pinched between the blocking plate 32 and the spin chuck 31 during an adjustment operation due to an operator's operation error, for example, the emergency cutoff switch 9 is first pressed. When the emergency cut-off switch 9 is pressed, the emergency cut-off circuit 47 is switched from the conductive state to the cut-off state, and the supply of power from the main power supply 17 to the lifting motor 39 is stopped, whereby the operation of the cut-off plate 32 is stopped in an emergency. To do. Moreover, the brake of the raising / lowering motor 39 is actuated, so that the blocking plate 32 becomes immobile in an emergency stop state.

そして、遮断板３２とスピンチャック３１との間から手を抜くことができない場合には、ブレーキリリースユニット１０が接続部１１に接続される。ブレーキリリースユニット１０が接続部１１に接続されると、ブレーキリリースユニット１０の充電池２１に蓄えられている電力が、昇降用モータ３９のブレーキリリース電流入力端子４３に入力される。すると、昇降用モータ３９のブレーキの作動が解除され、遮断板３２の不動状態が解除される。したがって、作業者は、主搬送ロボット８を手動で動かして、遮断板３２とスピンチャック１との間から手を抜くことができる。 When the hand cannot be removed from between the blocking plate 32 and the spin chuck 31, the brake release unit 10 is connected to the connection portion 11. When the brake release unit 10 is connected to the connection portion 11, the electric power stored in the rechargeable battery 21 of the brake release unit 10 is input to the brake release current input terminal 43 of the lifting / lowering motor 39. Then, the operation of the brake of the lifting motor 39 is released, and the stationary state of the blocking plate 32 is released. Therefore, the operator can manually move the main transfer robot 8 and remove the hand from between the blocking plate 32 and the spin chuck 1.

以上のように、この実施形態によれば、緊急遮断回路４７が遮断状態に切り替えられたままでも、昇降用モータ３９が有するブレーキの作動を解除することができる。したがって、そのブレーキの作動を解除するために、緊急遮断回路４７を遮断状態から導通状態に復帰させなくてもよいから、その復帰のための処理（基板処理装置の再起動）を不要とすることができる。そのため、緊急遮断スイッチ９が押された後の遮断板３１の不動状態を即座に解除することができる。よって、遮断板３２とスピンチャック３１との間に作業者の手が挟まれた事故が起きた場合に、遮断板３２とスピンチャック３１との間から手を抜くことができない状態が長時間続くのを防止することができる。 As described above, according to this embodiment, the operation of the brake of the lifting motor 39 can be released even when the emergency cutoff circuit 47 is switched to the cutoff state. Therefore, in order to release the operation of the brake, the emergency shut-off circuit 47 does not have to be returned from the shut-off state to the conductive state, and therefore the processing for the return (restart of the substrate processing apparatus) is not required. Can do. Therefore, the immobilization state of the blocking plate 31 after the emergency cutoff switch 9 is pushed can be immediately released. Therefore, when an accident occurs in which an operator's hand is caught between the blocking plate 32 and the spin chuck 31, a state in which the hand cannot be pulled out between the blocking plate 32 and the spin chuck 31 continues for a long time. Can be prevented.

また、緊急停止時に遮断板３２を動かすためのハンドルを設ける構成と異なり、基板処理装置の大型化を招くこともない。
以上、この発明の３つの実施形態を説明したが、この発明は、さらに他の形態で実施することもできる。たとえば、上記の各実施形態では、インデクサロボット５および主搬送ロボット８の駆動源としてサーボモータ１２が適用され、また、遮断板３２を昇降させるための昇降用モータ３９としてサーボモータが適用された場合を取り上げたが、これらのサーボモータに代えて、電力の供給を受けていない状態で作動するブレーキを有するステッピングモータが適用されてもよい。 Further, unlike the configuration in which a handle for moving the blocking plate 32 at the time of emergency stop is provided, the substrate processing apparatus is not increased in size.
Although three embodiments of the present invention have been described above, the present invention can also be implemented in other forms. For example, in each of the above embodiments, the servo motor 12 is applied as the drive source of the indexer robot 5 and the main transfer robot 8, and the servo motor is applied as the elevating motor 39 for elevating the blocking plate 32. However, instead of these servo motors, a stepping motor having a brake that operates in a state where no power is supplied may be applied.

また、ブレーキリリースユニット１０は、充電池２１および充電回路２２を備えているとしたが、これらに代えて、充電不可能な電池を備えていてもよい。ただし、充電池２１および充電回路２２を備えている場合、ブレーキリリースユニット１０の使用によって、充電池２１に蓄えられている電力が消費されても、充電回路２２によって充電池２１を充電することができる。そのため、ブレーキリリースユニット１０を繰り返し使用することができる。また、少なくともティーチング作業が行われていない間は、充電池２１への充電が行われるから、ティーチング作業時に、ブレーキリリースユニット１０（充電池２１）に蓄えられている電力が不足しているといったことがなく、常にブレーキリリースユニット１０を使用できる状態にしておくことができる。 Moreover, although the brake release unit 10 was provided with the rechargeable battery 21 and the charging circuit 22, it may replace with these and may be provided with the battery which cannot be charged. However, when the rechargeable battery 21 and the charging circuit 22 are provided, the rechargeable battery 21 can be charged by the charging circuit 22 even if the power stored in the rechargeable battery 21 is consumed by using the brake release unit 10. it can. Therefore, the brake release unit 10 can be used repeatedly. In addition, since the rechargeable battery 21 is charged at least while the teaching work is not performed, the power stored in the brake release unit 10 (rechargeable battery 21) is insufficient during the teaching work. The brake release unit 10 can always be used.

また、基板処理装置内においてブレーキ付きのモータの駆動力により動作する可動部材として、インデクサロボット５、主搬送ロボット８および遮断板３２を例にとって、この発明の実施形態を説明したが、そのような可動部材としては、図６に示すベルト４１、処理室７内で水平方向に揺動するスキャンノズル、処理室７内で水平方向に揺動するスキャンブラシ、処理室７の隔壁に形成されたウエハ搬入出口を開閉するためのモータ駆動式のシャッタなどを例示することができる。 Further, the embodiment of the present invention has been described by taking the indexer robot 5, the main transfer robot 8, and the blocking plate 32 as examples of movable members that are operated by the driving force of a motor with a brake in the substrate processing apparatus. The movable member includes a belt 41 shown in FIG. 6, a scan nozzle that swings horizontally in the processing chamber 7, a scan brush that swings horizontally in the processing chamber 7, and a wafer formed on the partition wall of the processing chamber 7. A motor-driven shutter for opening and closing the loading / unloading port can be exemplified.

その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。 In addition, various design changes can be made within the scope of the matters described in the claims.

この発明の一実施形態に係る基板処理装置のレイアウトを示す図解的な平面図である。1 is a schematic plan view showing a layout of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention. 図１に示す基板処理装置に備えられているインデクサロボットおよび主搬送ロボットの給電系の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the electric power feeding system of the indexer robot and main transfer robot with which the substrate processing apparatus shown in FIG. 1 is equipped. この発明の他の実施形態に係る基板処理装置のレイアウトを示す図解的な平面図である。It is an illustrative top view which shows the layout of the substrate processing apparatus which concerns on other embodiment of this invention. 図３に示す基板処理装置に備えられているインデクサロボットおよび主搬送ロボットの給電系の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the electric power feeding system of the indexer robot and main transfer robot with which the substrate processing apparatus shown in FIG. 3 is equipped. この発明のさらに他の実施形態に係る基板処理装置のレイアウトを示す図解的な平面図である。It is an illustrative top view which shows the layout of the substrate processing apparatus which concerns on further another embodiment of this invention. 図５に示す基板処理装置に備えられている処理室の内部およびその下方の部分の図解的な断面図である。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of a portion inside and below a processing chamber provided in the substrate processing apparatus shown in FIG. 5. 図６に示す昇降用モータの給電系の構成を説明するためのブロック図である。It is a block diagram for demonstrating the structure of the electric power feeding system of the raising / lowering motor shown in FIG.

Explanation of symbols

３カセット載置台
５インデクサロボット
７処理室
８主搬送ロボット
９緊急遮断スイッチ
１０ブレーキリリースユニット
１１接続部
１２サーボモータ
１７主電源
１９緊急遮断回路
２１充電池
２２充電回路
２３ブレーキリリーススイッチ
３１スピンチャック
３２遮断板
３９昇降用モータ
４１ベルト
４７緊急遮断回路
Ｃカセット
Ｗウエハ DESCRIPTION OF SYMBOLS 3 Cassette mounting base 5 Indexer robot 7 Processing chamber 8 Main transfer robot 9 Emergency cut-off switch 10 Brake release unit 11 Connection part 12 Servo motor 17 Main power supply 19 Emergency cut-off circuit 21 Rechargeable battery 22 Charging circuit 23 Brake release switch 31 Spin chuck 32 Cut-off Plate 39 Lifting motor 41 Belt 47 Emergency cut-off circuit C Cassette W Wafer

Claims

A transfer robot for transferring substrates;
A motor having a brake that is used as a driving source of the transfer robot and operates in a state of not being supplied with electric power;
An emergency operation unit operated to urgently stop the operation of the transfer robot;
In response to the operation of the emergency operation unit, an emergency cutoff circuit that cuts off the power supply from the main power source to the motor,
In the state where the power supply from the main power source to the motor is cut off by the emergency cut-off circuit, when the brake operation is to be released, the electric power capable of releasing the brake operation is supplied to the motor. And a connecting part to which a brake release unit is connected.

A transfer robot for transferring substrates;
A motor having a brake that is used as a driving source of the transfer robot and operates in a state of not being supplied with electric power;
An emergency operation unit operated to urgently stop the operation of the transfer robot;
In response to the operation of the emergency operation unit, an emergency cutoff circuit that cuts off the power supply from the main power source to the motor,
A brake release unit for supplying the motor with electric power capable of releasing the operation of the brake;
It is operated to connect the brake release unit and the motor when the operation of the brake should be released in a state where the power supply from the main power source to the motor is interrupted by the emergency cutoff circuit. And a brake release operation unit.

The said brake release unit is provided with the rechargeable battery for storing the electric power which can cancel | release the action | operation of the said brake, and the charging circuit for charging this rechargeable battery, The characterized by the above-mentioned. The board | substrate conveyance apparatus of description.

A processing chamber for processing the substrate;
A substrate transfer device according to any one of claims 1 to 3,
The substrate processing apparatus, wherein the transfer robot is a main transfer robot for transferring a substrate to the processing chamber.

A cassette placement section on which a cassette capable of accommodating a substrate is placed;
A substrate transfer device according to any one of claims 1 to 3,
The substrate processing apparatus, wherein the transport robot is an indexer robot for transporting a substrate to a cassette placed on the cassette placing portion.

A motor having a brake that operates in a state of not being supplied with power;
A movable member that operates by the driving force of the motor;
An emergency operation unit operated to urgently stop the operation of the movable member;
In response to the operation of the emergency operation unit, an emergency cutoff circuit that cuts off the power supply from the main power source to the motor,
In the state where the power supply from the main power source to the motor is cut off by the emergency cut-off circuit, when the brake operation is to be released, the electric power capable of releasing the brake operation is supplied to the motor. And a connecting portion to which a brake release unit is connected.

A processing chamber for processing the substrate;
A substrate holding mechanism disposed in the processing chamber for holding the substrate;
7. The substrate processing apparatus according to claim 6, wherein the movable member is a blocking plate disposed above the substrate holding mechanism and provided so as to be able to approach and separate from the substrate held by the substrate holding mechanism. .