JP2006265432A - Image display device - Google Patents

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JP2006265432A JP2005087830A JP2005087830A JP2006265432A JP 2006265432 A JP2006265432 A JP 2006265432A JP 2005087830 A JP2005087830 A JP 2005087830A JP 2005087830 A JP2005087830 A JP 2005087830A JP 2006265432 A JP2006265432 A JP 2006265432A
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Masaaki Komatsu
正明 小松
Akira Inoue
亮 井上
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the chromaticity of a phosphor film for a field emission type display device and enhance the lifetime of luminance. <P>SOLUTION: A field emission type display device provided with a face plate having a phosphor film formed thereon and an electron source for irradiating an electron beam on the phosphor film is provided, which uses a phosphor film formed by mixing or laminating a phosphor composed of ZnS as a base material and having a shoulder of the emission observed on the 0.3 eV high-energy side of the primary emission of the emission spectrum and a phosphor composed of Y<SB>2</SB>SiO<SB>5</SB>as a base material. The use of the phosphor film improves chromaticity characteristics which have not been solved by the conventional method and leads to the improvement of the lifetime of luminance. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、蛍光膜が形成されたフェースプレートと、前記蛍光膜に電子線を照射する電子源とを備えた画像表示装置に係り、特に蛍光膜を構成する蛍光体としてZnS蛍光体とY2SiO5蛍光体とを混合、またはこれらの蛍光体を積層したことを特徴とする電界放出型ディスプレイ装置(以下FEDとする)に関する。 The present invention relates to an image display device including a face plate on which a fluorescent film is formed and an electron source that irradiates the fluorescent film with an electron beam, and in particular, ZnS phosphor and Y 2 as phosphors constituting the fluorescent film. mixing a SiO 5 phosphor, or a field emission display device, characterized in that a laminate of these phosphors (hereinafter referred to as FED).

映像情報システムにおいては、高精細化、大画面化、薄型化、低消費電力化といった様々な要求に応じて各種ディスプレイ装置の研究開発が盛んに行われている。このような要求に応える薄型化、低消費電力化を実現するディスプレイとしてFEDの研究開発が近年、盛んに行われている。   In video information systems, various display devices are actively researched and developed in response to various demands such as high definition, large screen, thinning, and low power consumption. In recent years, research and development of FED has been actively conducted as a display that realizes thinning and low power consumption to meet such demands.

FEDは平面状の電界放出型電子源を真空外囲器の背面に設置し、前面のフェースプレートの内面に蛍光膜を設置した構造となっており、加速電圧約0.1kVから10kV程度の低加速電子線を蛍光膜に照射して発光させ、画像を表示する。   The FED has a structure in which a planar field emission electron source is installed on the back of the vacuum envelope, and a fluorescent film is installed on the inner surface of the front face plate. The acceleration voltage is about 0.1 to 10 kV. The fluorescent film is irradiated with an electron beam to emit light, and an image is displayed.

ここで、蛍光膜に照射する電子線の電流密度は一般のブラウン管の約10倍から1000倍程度と高電流密度であるため、FED用蛍光膜においてはチャージアップを引き起こさない、低抵抗な特性が望まれる。さらに、高電流密度下における寿命特性が良好であり、輝度飽和が少なく高輝度な特性も必要とされる。   Here, since the current density of the electron beam applied to the fluorescent film is about 10 to 1000 times that of a general cathode ray tube, it is a high current density. Therefore, the FED fluorescent film has a low resistance characteristic that does not cause charge-up. desired. Furthermore, a life characteristic under a high current density is good, and a characteristic with low luminance saturation and high luminance is also required.

これまで、蛍光膜の低抵抗化、長寿命化、高輝度化を実現するために様々な開発が行われてきた。蛍光体を混合することによりFED用蛍光膜の性能を向上する方法としては、例えば特許文献1のように高抵抗な蛍光体と低抵抗な蛍光体を混合することにより駆動電圧2kV以下で優れた輝度特性を有する方法がある。   Until now, various developments have been made in order to realize low resistance, long life and high brightness of the fluorescent film. As a method for improving the performance of the FED phosphor film by mixing phosphors, for example, as shown in Patent Document 1, a high-resistance phosphor and a low-resistance phosphor are mixed and excellent at a driving voltage of 2 kV or less. There are methods having luminance characteristics.

また、例えば特許文献2のように硫化物系蛍光体と、イットリウムのアルミン酸塩系もしくは珪酸塩系蛍光体である酸化物系蛍光体との混合蛍光体からなり、経時的に発光輝度維持率が良好な方法がある。しかしながら、発光スペクトルの主発光の0.3eV高エネルギー側に発光のショルダーが観測されるZnS蛍光体を用いる方法については記載されていない。   Further, for example, as disclosed in Patent Document 2, it is composed of a mixed phosphor of a sulfide-based phosphor and an oxide-based phosphor that is an aluminate-based or silicate-based phosphor of yttrium. There is a good way. However, there is no description about a method using a ZnS phosphor in which a light emission shoulder is observed on the high energy side of the main light emission of the emission spectrum.

これまで、FED用蛍光膜の低抵抗化、長寿命化、高輝度化を実現するために様々な方法が検討されてきた。しかしながら、これら従来の方法でその課題が全て解決されたわけではない。特に、色度が良好であり、長寿命化を実現する新しい方法が必要である。   Until now, various methods have been studied in order to realize low resistance, long life, and high brightness of FED phosphor films. However, these conventional methods have not solved all the problems. In particular, there is a need for a new method that has good chromaticity and realizes a long life.

特開平09−87618号公報Japanese Patent Laid-Open No. 09-87618 特開平12−96046号公報JP-A-12-96046

したがって本発明の目的は、上記従来の蛍光膜の輝度寿命、色度の各特性の改善を図ることであり、優れた輝度寿命特性を有する画像表示装置を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to improve the luminance life and chromaticity characteristics of the above-described conventional fluorescent film, and to provide an image display device having excellent luminance life characteristics.

上記目的は蛍光膜が形成されたフェースプレートと、前記蛍光膜に電子線を照射する電子源とを備えた電界放出型ディスプレイ装置であって、前記蛍光膜を形成する蛍光体は、ZnSを母体材料とする蛍光体であり発光スペクトルの主発光の0.3eV高エネルギー側に発光のショルダーが観測される蛍光体と、Y2SiO5を母体材料とする蛍光体との混合物を含むことを特徴とする画像表示装置により達成される。 The above object is a field emission display device comprising a face plate on which a fluorescent film is formed and an electron source for irradiating the fluorescent film with an electron beam, wherein the phosphor forming the fluorescent film is based on ZnS. It is characterized in that it includes a mixture of a phosphor that is a material and has a phosphor emission shoulder observed on the high energy side of the main emission of the emission spectrum of 0.3 eV, and a phosphor that uses Y 2 SiO 5 as a base material. Achieved by the image display device.

ここで、蛍光膜に使用されるZnSを母体材料とする蛍光体の組成としては、一般式ZnS:M,N(ただし、MはCu、 Ag、 Auのいずれか一種またはこれらを混合した元素、NはAl、 Ga、 In、 Clのいずれか一種またはこれらを混合した元素)で表される。   Here, as the composition of the phosphor using ZnS as a base material used for the phosphor film, the general formula ZnS: M, N (where M is any one of Cu, Ag, Au or a mixture of these, N is represented by any one of Al, Ga, In, and Cl, or a mixture of these.

また、Y2SiO5を母体材料とする蛍光体の組成としては、一般式Y2SiO5:R(ただし、RはCe、 Eu、 Tb、 Tmのいずれか一種またはこれらを混合した元素)で表される蛍光体を用いるのが良い。 In addition, the composition of the phosphor using Y 2 SiO 5 as a base material is represented by the general formula Y 2 SiO 5 : R (where R is one of Ce, Eu, Tb, Tm, or a mixture of these). It is preferable to use the phosphor described.

例えば、Y2SiO5:Ce蛍光体は輝度維持率が良好であるが、青色蛍光体としては色度が青色よりも青白色に近く、発光輝度も低い。そのため、高エネルギー発光成分のあるZnS:Ag,Al蛍光体と混合することで目的とする青色の色度に近い蛍光膜を得られ発光輝度が向上する。また、ZnS:Ag,Al蛍光体単独で使用するよりもY2SiO5:Ce蛍光体を混合することによって輝度維持率を改善することができる。 For example, the Y 2 SiO 5 : Ce phosphor has a good luminance maintenance ratio, but as a blue phosphor, the chromaticity is closer to bluish white than blue, and the emission luminance is also low. Therefore, by mixing with a ZnS: Ag, Al phosphor having a high-energy light-emitting component, a phosphor film close to the intended blue chromaticity can be obtained, and the emission luminance is improved. Further, the luminance maintenance ratio can be improved by mixing the Y 2 SiO 5 : Ce phosphor rather than using the ZnS: Ag, Al phosphor alone.

また、ZnSの母体結晶中にIIa族からなる群から選ばれる少なくとも一種の元素を添加して混晶とした蛍光体、例えばZnMgS:Cu,Al蛍光体によりZnS:Cu,Al蛍光体を用いるよりも発光輝度の向上が図られる。   In addition, a phosphor made into a mixed crystal by adding at least one element selected from the group consisting of the group IIa into the base crystal of ZnS, for example, using ZnS: Cu, Al phosphor by ZnMgS: Cu, Al phosphor Also, the emission luminance can be improved.

また、Y2SiO5の母体結晶中にIIIa族からなる群から選ばれる少なくとも一種の元素を添加して混晶とした蛍光体、例えば(Y,Gd)2SiO5:Ce蛍光体によりY2SiO5:Ce蛍光体を用いるよりも発光輝度の向上が図られる。 Further, a phosphor made into a mixed crystal by adding at least one element selected from the group consisting of the group IIIa into the base crystal of Y 2 SiO 5 , for example, a Y 2 by a (Y, Gd) 2 SiO 5 : Ce phosphor. Luminance of light emission can be improved as compared with the use of SiO 5 : Ce phosphor.

これら混晶蛍光体のいずれか一種またはこれらを混合した蛍光体を用いることにより、発光輝度を向上することができる。また、これらの蛍光体を製造する工程で、例えばフラックスを用いて焼成した場合、Ia族、VIIb族及び希土類からなる群から選ばれる少なくとも一種の微量不純物を含有することがある。   The light emission luminance can be improved by using any one of these mixed crystal phosphors or a phosphor obtained by mixing them. Further, in the process of manufacturing these phosphors, for example, when baked using a flux, at least one trace impurity selected from the group consisting of Group Ia, Group VIIb, and rare earth may be contained.

ZnS母体結晶は立方晶である蛍光体が一般に用いられている。焼成温度を1020℃以上とすること、あるいはMg混晶とすることなどにより六方晶、あるいは立方晶と六方晶の混晶とすることができる。六方晶の場合、バンドギャップが立方晶よりも約0.1eV大きくなるため発光が短波長側にずれる。例えば、ZnS:Ag,Al蛍光体の場合には青色から青紫色に発光色がずれるが、これは青白色のY2SiO5:Ce蛍光体との混合に色度の点で好適である。ZnS蛍光体に対するY2SiO5蛍光体の混合割合は発光輝度及び色度の点から10重量%以上50重量%以下の範囲とするのが良い。 The ZnS base crystal is generally a cubic phosphor. A hexagonal crystal or a mixed crystal of cubic and hexagonal crystals can be obtained by setting the firing temperature to 1020 ° C. or higher, or using Mg mixed crystal. In the case of the hexagonal crystal, the band gap is about 0.1 eV larger than that of the cubic crystal, so that the emission shifts to the short wavelength side. For example, in the case of a ZnS: Ag, Al phosphor, the emission color shifts from blue to blue-violet, which is suitable in terms of chromaticity for mixing with a blue-white Y 2 SiO 5 : Ce phosphor. The mixing ratio of the Y 2 SiO 5 phosphor to the ZnS phosphor is preferably in the range of 10 wt% or more and 50 wt% or less in terms of light emission luminance and chromaticity.

また、ここで用いるZnS蛍光体は硫黄を含む雰囲気中で処理温度100℃以上600℃以下の範囲でアニールすることにより寿命特性が改善されており、その特徴として主発光の0.3eV高エネルギー側に発光のショルダーが観測される。発光スペクトルのショルダー部分の発光強度が横軸をエネルギーで表した時にガウス曲線でフィッティングした強度よりも4倍以上大きい場合、ZnS蛍光体の表面処理として行っているアニールの効果が大きい。この高エネルギー発光成分は、ZnS:Cu,Al蛍光体については高電流密度で主発光の0.3eV高エネルギー側に観測されるBlue-Cuとして知られている発光成分であるが、本発明の蛍光体についてはその成分強度が大きい特徴がある。   In addition, the ZnS phosphor used here has improved lifetime characteristics by annealing in a sulfur-containing atmosphere at a processing temperature in the range of 100 ° C to 600 ° C. A light emission shoulder is observed. When the emission intensity at the shoulder portion of the emission spectrum is 4 times or more larger than the intensity fitted with a Gaussian curve when the horizontal axis is expressed in energy, the effect of annealing performed as the surface treatment of the ZnS phosphor is great. This high-energy light-emitting component is a light-emitting component known as Blue-Cu, which is observed at a high current density and 0.3 eV high-energy side of main light emission for ZnS: Cu, Al phosphors. The body is characterized by high component strength.

さらに、Agを発光中心として添加したZnS蛍光体、例えばZnS:Ag,Al蛍光体については、主発光の0.3eV高エネルギー側に従来知られていなかったViolet-Ag成分を観測することができる。これらBlue-Cu及びViolet-Agなどの高エネルギー発光成分の強度は試料温度依存性が大きく、液体窒素温度程度の低温でより明瞭に観測することができる。   Furthermore, with respect to ZnS phosphors added with Ag as the emission center, such as ZnS: Ag, Al phosphors, a Violet-Ag component that has not been conventionally known can be observed on the high-energy side of the main emission at 0.3 eV. The intensity of these high-energy luminescent components such as Blue-Cu and Violet-Ag is highly dependent on the sample temperature, and can be observed more clearly at a temperature as low as the liquid nitrogen temperature.

また、本発明の蛍光膜に用いる蛍光体粒子の表面が透光性導電物質を含む透光性導電膜で被覆されることにより、低抵抗化が図られる。透光性導電物質としては、In2O3、 MgO、 Sn2Oなどが挙げられる。 In addition, the surface of the phosphor particles used in the phosphor film of the present invention is covered with a translucent conductive film containing a translucent conductive material, thereby reducing the resistance. Examples of the light-transmitting conductive material include In 2 O 3 , MgO, and Sn 2 O.

蛍光膜の構造については、ZnS蛍光体とY2SiO5蛍光体を混合して成る単層の蛍光膜のほか、ZnS蛍光体からなる層とY2SiO5蛍光体からなる層とを積層して多層構造とすることもできる。 Regarding the structure of the phosphor film, in addition to a single-layer phosphor film composed of a mixture of ZnS phosphor and Y 2 SiO 5 phosphor, a layer composed of ZnS phosphor and a layer composed of Y 2 SiO 5 phosphor are laminated. It is also possible to have a multilayer structure.

本発明の電界放出型ディスプレイ装置は、主発光の0.3eV高エネルギー側に発光のショルダーが観測されるZnS蛍光体とY2SiO5蛍光体を混合または積層した蛍光膜を用いているため、ディスプレイの色度が良好であり、輝度寿命が向上する。 Since the field emission display device of the present invention uses a phosphor film in which ZnS phosphor and Y 2 SiO 5 phosphor, in which a light emission shoulder is observed on the high-emission side of the main light emission of 0.3 eV, are used, a display is used. The chromaticity is good, and the luminance life is improved.

ここでは本発明の画像表示装置に使用する蛍光体の製造方法及び輝度維持率等の各特性について詳述するが、以下に示す実施例は、本発明を具体化する一例を示すものであり、本発明を拘束するものではない。   Here, the manufacturing method of the phosphor used in the image display device of the present invention and the respective characteristics such as the luminance maintenance ratio will be described in detail, but the examples shown below show an example embodying the present invention, This invention is not restrained.

(1)立方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体の製造:
本発明に用いる立方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体は以下に述べる方法で製造できる。付活剤として用いるAgはAgNO3を純水に溶解して10-4mol/ml溶液として所定量を加えた。共付活として用いるAlはAl(NO3)3・9H2Oを純水に溶解して10-4mol/ml溶液として所定量を加えた。
(1) Production of cubic ZnS: Ag, Al sulfurating treatment phosphor:
The cubic ZnS: Ag, Al sulfurating treatment phosphor used in the present invention can be produced by the method described below. Ag used as an activator was prepared by dissolving AgNO 3 in pure water and adding a predetermined amount as a 10 −4 mol / ml solution. Al used as coactivator was prepared by dissolving Al (NO 3 ) 3 · 9H 2 O in pure water and adding a predetermined amount as a 10 −4 mol / ml solution.

ZnS:Ag,Al蛍光体(Ag=500重量ppm、 Al=200重量ppm)の時のそれぞれの原料の分量は下記の通りである。
硫化亜鉛生粉 ZnS 9.746g
銀溶液 Ag 0.451ml
アルミ溶液 Al 0.722ml
上記原料をよく混合して乾燥する。次に、得られた蛍光体原料混合物を石英ボートに詰めて管状合成炉の石英管中にセットして焼成を行う。焼成はArガスによって全体を置換した後に、H2Sガス100ml/minを石英管中に流して硫化水素雰囲気で行った。焼成温度は950℃とし、焼成時間は2時間とした。焼成物を軽くほぐした後、フルイにかけて本発明に用いる蛍光体コアを得た。
The amount of each raw material when ZnS: Ag, Al phosphor (Ag = 500 wt ppm, Al = 200 wt ppm) is as follows.
Zinc sulfide raw powder ZnS 9.746g
Silver solution Ag 0.451ml
Aluminum solution Al 0.722ml
The above raw materials are mixed well and dried. Next, the obtained phosphor raw material mixture is packed in a quartz boat, set in a quartz tube of a tubular synthesis furnace, and fired. Firing was performed in a hydrogen sulfide atmosphere by substituting the whole with Ar gas and then flowing H 2 S gas at 100 ml / min into the quartz tube. The firing temperature was 950 ° C., and the firing time was 2 hours. The fired product was lightly loosened and then sieved to obtain a phosphor core used in the present invention.

次に、硫化処理によって蛍光体コア表面の硫黄欠陥を修復し、硫黄欠陥濃度を低減する。合成したZnS:Ag,Al蛍光体を石英ボートに詰めて管状合成炉の石英管中にセットする。Arガスによって全体を置換した後に、H2Sガス200 ml/minを石英管中に流して硫化水素雰囲気で硫化処理を行った。アニール温度は400 ℃とし、アニール時間は0.5時間とした。硫化処理したZnS:Ag,Al蛍光体は軽くほぐした後、フルイにかけて本発明に用いる蛍光体を得た。
(2)立方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体の発光スペクトルの測定:
次に、作製した立方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体の発光スペクトルの測定を行った。試料はNiメッキしたCu基板上に沈降塗布法により蛍光膜を形成した。塗布重量は2〜5mg/cm2とした。作製した試料を電子銃を搭載したデマウンタブル装置にセットして測定を行った。
Next, sulfur defects on the phosphor core surface are repaired by sulfuration treatment to reduce the sulfur defect concentration. The synthesized ZnS: Ag, Al phosphor is packed in a quartz boat and set in a quartz tube of a tubular synthesis furnace. After the entire gas was replaced with Ar gas, H 2 S gas (200 ml / min) was allowed to flow through the quartz tube to perform sulfuration treatment in a hydrogen sulfide atmosphere. The annealing temperature was 400 ° C. and the annealing time was 0.5 hours. The ZnS: Ag, Al phosphor subjected to sulfurization was loosened and then sieved to obtain a phosphor used in the present invention.
(2) Measurement of emission spectrum of cubic ZnS: Ag, Al sulfurating treatment phosphor:
Next, the emission spectrum of the produced cubic ZnS: Ag, Al sulfurating treatment phosphor was measured. As a sample, a fluorescent film was formed on a Ni-plated Cu substrate by precipitation coating. The coating weight was 2-5 mg / cm 2 . The prepared sample was set in a demountable device equipped with an electron gun and measured.

デマウンタブル装置における電子線は偏向ヨークにより、一般のテレビと同じ周波数で左右及び上下に走査され、上述のように作製した蛍光膜上の一定範囲に四角いラスタ(電子線照射範囲)を描く。発光スペクトルは、加速電圧7kV、照射面積6×6mm、照射電流20μA、電流密度56μA/cm2、試料温度-190℃の条件で測定を行った。電子線を照射する側(反射側)に光ファイバーを設置して電子線照射による発光を取り込み、分光器を通して発光スペクトルを得た。 The electron beam in the demountable device is scanned left and right and up and down at the same frequency as a general television by a deflection yoke, and a square raster (electron beam irradiation range) is drawn in a certain range on the phosphor film produced as described above. The emission spectrum was measured under the conditions of an acceleration voltage of 7 kV, an irradiation area of 6 × 6 mm, an irradiation current of 20 μA, a current density of 56 μA / cm 2 , and a sample temperature of −190 ° C. An optical fiber was installed on the electron beam irradiation side (reflection side) to capture light emitted by electron beam irradiation, and an emission spectrum was obtained through a spectrometer.

図1に立方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体の発光スペクトル及びそのガウス(gauss)曲線によるフィッティング結果を示す。立方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体の発光スペクトルはgauss曲線によりフィッティングされ、硫化処理蛍光体では主発光2.8eVの0.3eV高エネルギー側にショルダーが観測される。立方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体の3.1eVにおける発光強度はgauss曲線の4.8倍の大きさであり、4倍以上大きい。ZnS蛍光体では硫化処理を施すことによって、主発光の0.3eV高エネルギー側に観測されるショルダーの発光強度が大きくなる特徴がある。
(3)立方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体とY2SiO5:Ce蛍光体の混合蛍光膜の輝度特性評価:
次に、立方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体とY2SiO5:Ce蛍光体の混合蛍光膜の輝度特性評価を行った。Y2SiO5:Ce蛍光体は市販のものを用いた。蛍光膜試料は、立方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体に対してY2SiO5:Ce蛍光体が0、 10、 30、 50重量%となるように各蛍光体を量り取り混合した試料を用いてNiメッキしたCu基板上に沈降塗布法により蛍光膜を形成した。塗布重量は2〜5mg/cm2とした。
FIG. 1 shows an emission spectrum of a cubic ZnS: Ag, Al sulfurating treatment phosphor and a fitting result by a gauss curve thereof. The emission spectrum of the cubic ZnS: Ag, Al sulfurating treatment phosphor is fitted by a gauss curve, and a shoulder is observed on the 0.3eV high energy side of the main emission of 2.8 eV in the sulfurating treatment phosphor. The emission intensity at 3.1 eV of the cubic ZnS: Ag, Al sulfurating treatment phosphor is 4.8 times as large as that of the gauss curve, and is more than 4 times larger. ZnS phosphors are characterized by increasing the emission intensity of the shoulder observed on the high-energy side of the main emission by 0.3 eV by performing sulfuration treatment.
(3) Evaluation of luminance characteristics of mixed phosphor film of cubic ZnS: Ag, Al sulfurating phosphor and Y 2 SiO 5 : Ce phosphor:
Next, luminance characteristics of the mixed phosphor film of cubic ZnS: Ag, Al sulfurating treatment phosphor and Y 2 SiO 5 : Ce phosphor were evaluated. A commercially available Y 2 SiO 5 : Ce phosphor was used. The phosphor film sample is a sample in which each phosphor is weighed and mixed so that the Y 2 SiO 5 : Ce phosphor becomes 0, 10, 30, 50% by weight with respect to the cubic ZnS: Ag, Al sulfurating treatment phosphor. A phosphor film was formed on a Cu substrate plated with Ni by precipitation coating. The coating weight was 2-5 mg / cm 2 .

作製した試料を電子銃を搭載したデマウンタブル装置にセットして評価を行った。発光輝度及びラジオメトリックフィルターを通した輝度(発光エネルギー)は反射側から色彩色差計及びSiホトセルを用いて測定した。輝度特性評価は、加速電圧7kV、照射面積6×6mm、照射電流2μA、電流密度5.6μA/cm2、試料温度20℃の条件で行った。輝度特性の評価結果を表1に示す。 The prepared sample was set in a demountable device equipped with an electron gun and evaluated. Luminance and luminous intensity (radiation energy) through the radiometric filter were measured from the reflection side using a color difference meter and Si photocell. The luminance characteristics were evaluated under the conditions of an acceleration voltage of 7 kV, an irradiation area of 6 × 6 mm, an irradiation current of 2 μA, a current density of 5.6 μA / cm 2 , and a sample temperature of 20 ° C. Table 1 shows the evaluation results of the luminance characteristics.

Figure 2006265432
表1から、Y2SiO5:Ce蛍光体の発光輝度は立方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体の75.4%であるが、これは色度y値が0.198と大きいため見かけの輝度が高くでている。発光エネルギーは31.1%であり、青色蛍光体として用いる場合にはこちらの値を用いる方が妥当である。混合蛍光膜の色度y値を見ると、混合比率(括弧内に表示した)が50重量%まではy値の上昇が0.085と青色蛍光膜として使用可能な範囲である。
Figure 2006265432
From Table 1, the emission brightness of the Y 2 SiO 5 : Ce phosphor is 75.4% of the cubic ZnS: Ag, Al sulfurating treatment phosphor, but this has a high apparent brightness because the chromaticity y value is as large as 0.198. It is out. The emission energy is 31.1%, and this value is more appropriate when used as a blue phosphor. Looking at the chromaticity y value of the mixed phosphor film, the increase in the y value is 0.085, up to 50% by weight of the mixing ratio (indicated in parentheses), which is a usable range as a blue phosphor film.

図2に色度y値の照射電流量変化を示す。立方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体の色度y値は照射電流量が高くなるにつれて低下する傾向があるが、Y2SiO5:Ce蛍光体の混合比率を高めていくと、色度y値の変化は小さくなる。これは、Y2SiO5:Ce蛍光体の色度変化が立方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体よりも小さいためである。 FIG. 2 shows an irradiation current amount change of the chromaticity y value. Chromaticity y value of cubic ZnS: Ag, Al sulfurating treatment phosphor tends to decrease as the amount of irradiation current increases, but as the mixing ratio of Y 2 SiO 5 : Ce phosphor increases, the chromaticity y value The change in y value is small. This is because the chromaticity change of the Y 2 SiO 5 : Ce phosphor is smaller than that of the cubic ZnS: Ag, Al sulfurating treatment phosphor.

図3に相対発光輝度の照射電流量変化、図4に相対発光エネルギーの照射電流量変化を示す。混合蛍光膜の相対発光輝度は照射電流量が高くなるに従って増加する傾向がある。これは、Y2SiO5:Ce蛍光体のγ特性(発光輝度の電流に対する伸びであり、輝度―電流のlog-logプロットの傾きがγ値である)が立方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体よりも良好であること、立方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体では照射電流量が高くなると色度y値が低下して輝度が低くでることが挙げられる。 FIG. 3 shows a change in the amount of irradiation current of the relative light emission luminance, and FIG. 4 shows a change in the amount of irradiation current of the relative light emission energy. The relative emission luminance of the mixed phosphor film tends to increase as the amount of irradiation current increases. This is a γ-characteristic of Y 2 SiO 5 : Ce phosphor (emission luminance increases with current, and the slope of luminance-current log-log plot is γ value) is cubic ZnS: Ag, Al sulfide treatment For example, the cubic ZnS: Ag, Al sulfurating treatment phosphor is better than the phosphor, and when the irradiation current amount is increased, the chromaticity y value is lowered and the luminance is lowered.

図4に見られるように、混合蛍光膜では照射電流量が高くなると相対発光エネルギーがやや増加する傾向が見られる。
(4)立方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体とY2SiO5:Ce蛍光体の混合蛍光膜の輝度維持率特性評価:
次に、立方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体とY2SiO5:Ce蛍光体の混合蛍光膜の輝度維持率特性評価を行った。試料の作製及び評価装置は輝度特性評価の場合と同様である。輝度維持率の加速試験は、加速電圧7kV、照射面積6×6mm、照射電流100μA、電流密度278μA/cm2、試料温度200℃、電子線照射時間1時間の条件で行った。表2に輝度維持率及び色度変化の評価結果を示す。
As seen in FIG. 4, in the mixed fluorescent film, the relative light emission energy tends to increase slightly as the irradiation current amount increases.
(4) Luminance maintenance ratio characteristic evaluation of mixed phosphor film of cubic ZnS: Ag, Al sulfurating treatment phosphor and Y 2 SiO 5 : Ce phosphor:
Next, the luminance maintenance factor characteristics of the mixed phosphor film of cubic ZnS: Ag, Al sulfurating treatment phosphor and Y 2 SiO 5 : Ce phosphor were evaluated. The sample preparation and evaluation apparatus is the same as in the luminance characteristic evaluation. The luminance maintenance rate acceleration test was performed under the conditions of an acceleration voltage of 7 kV, an irradiation area of 6 × 6 mm, an irradiation current of 100 μA, a current density of 278 μA / cm 2 , a sample temperature of 200 ° C., and an electron beam irradiation time of 1 hour. Table 2 shows the evaluation results of the luminance maintenance rate and chromaticity change.

Figure 2006265432
表1と表2で色度y値が異なるのは、試料温度が異なるためである。表2に見られるようにY2SiO5:Ce蛍光体の発光エネルギーは評価前後で変化がなく、輝度維持率は良好である。ただし、色度y値は電子線照射によって上昇する傾向が見られた。混合蛍光膜の輝度維持率は立方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光膜よりも高く、Y2SiO5:Ceの混合比率が10重量%と低い場合にも4.2%高い。また、評価前後における色度y値の変化が小さい。
Figure 2006265432
The reason why the chromaticity y value is different between Table 1 and Table 2 is that the sample temperature is different. As seen in Table 2, the emission energy of the Y 2 SiO 5 : Ce phosphor does not change before and after the evaluation, and the luminance maintenance rate is good. However, the chromaticity y value tended to increase due to electron beam irradiation. The luminance maintenance ratio of the mixed phosphor film is higher than that of the cubic ZnS: Ag, Al sulfurating treatment phosphor film, and is 4.2% higher even when the mixing ratio of Y 2 SiO 5 : Ce is as low as 10% by weight. Moreover, the change of the chromaticity y value before and after evaluation is small.

図5に立方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光膜(細線)及びY2SiO5:Ceの混合比率50重量%の混合蛍光膜(太線)の加速試験評価時の輝度維持率曲線を示す。表2の輝度維持率と値が異なるのは、表2が加速試験前後で照射電流量2μAでの発光エネルギーを比較した場合であるのに対して、図5は照射電流量が100μAと高いためである。図5に見られるように、混合蛍光膜の発光エネルギーは長期的な劣化の傾きは立方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光膜と大きな違いはないが、初期劣化が低く抑えられており輝度維持率が良好である。 FIG. 5 shows luminance maintenance factor curves at the time of an accelerated test evaluation of a cubic ZnS: Ag, Al sulfide treatment phosphor film (thin line) and a mixed phosphor film (thick line) with a mixing ratio of 50 wt% of Y 2 SiO 5 : Ce. The brightness maintenance factor in Table 2 is different from the value in Table 2 when the emission energy at 2 μA of irradiation current is compared before and after the acceleration test, whereas in FIG. 5, the amount of irradiation current is as high as 100 μA. It is. As shown in FIG. 5, the emission energy of the mixed phosphor film is not significantly different from that of cubic ZnS: Ag, Al sulfide treatment phosphor film, but the initial degradation is kept low and the brightness is maintained. The rate is good.

本発明に用いる六方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体は蛍光体の焼成温度を1050℃として、その他の工程は(実施例1)と同様にして作製することができる。発光輝度特性の評価結果を表3に示す。   The hexagonal ZnS: Ag, Al sulfurating treatment phosphor used in the present invention can be produced in the same manner as in Example 1 except that the firing temperature of the phosphor is 1050 ° C. Table 3 shows the evaluation results of the light emission luminance characteristics.

Figure 2006265432
混合蛍光膜の色度y値は混合比率が50重量%で0.082であり、青色蛍光膜として使用可能な範囲である。また、混合比率が30重量%では色度y値が0.062と青色発光として良好である。
Figure 2006265432
The chromaticity y value of the mixed phosphor film is 0.082 at a mixing ratio of 50% by weight, and is in a range that can be used as a blue phosphor film. Further, when the mixing ratio is 30% by weight, the chromaticity y value is 0.062, which is good as blue light emission.

図6に色度y値の照射電流量変化を示す。六方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体の色度y値は照射電流量が高くなるにつれて低下する傾向があるが、Y2SiO5:Ce蛍光体の混合比率を高めていくと、色度y値の変化は小さくなる。 FIG. 6 shows the irradiation current amount change of the chromaticity y value. The chromaticity y value of hexagonal ZnS: Ag, Al sulfurating treatment phosphor tends to decrease as the amount of irradiation current increases, but as the mixing ratio of Y 2 SiO 5 : Ce phosphor increases, the chromaticity y value The change in y value is small.

図7に相対発光輝度の照射電流量変化、図8に相対発光エネルギーの照射電流量変化を示す。混合蛍光膜で相対輝度が高くなっているのは六方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体よりもY2SiO5:Ce蛍光体の輝度が高いこと、Y2SiO5:Ce蛍光体のγ特性が六方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体よりも良好であること、六方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体では照射電流量が高くなると色度y値が低下して輝度が低くでることが挙げられる。 FIG. 7 shows changes in the amount of irradiation current of the relative light emission luminance, and FIG. 8 shows changes in the amount of irradiation current of the relative light emission energy. The relative luminance of the mixed phosphor film is higher than that of the hexagonal ZnS: Ag, Al sulfurating phosphor. The Y 2 SiO 5 : Ce phosphor has a higher luminance than the Y 2 SiO 5 : Ce phosphor. The characteristics are better than the hexagonal ZnS: Ag, Al sulfurating treatment phosphor. In the hexagonal ZnS: Ag, Al sulfurating treatment phosphor, the chromaticity y value decreases and the luminance decreases as the irradiation current increases. Can be mentioned.

表3に見られるように、相対発光エネルギーは立方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体とY2SiO5:Ce蛍光体を混合した場合とほぼ同様に、Y2SiO5:Ce蛍光体の混合比率を増加すると低下している。 As seen in Table 3, the relative emission energy cubic ZnS: substantially in the same manner as if a mixture of Ce phosphor, Y 2 SiO 5:: Ag , Al sulfide treatment phosphor and Y 2 SiO 5 Ce phosphor Increasing the mixing ratio decreases.

また、図8に見られるように、照射電流量を高くすると六方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光膜に比べて混合蛍光膜の相対発光エネルギーは増加する傾向がある。   Further, as shown in FIG. 8, when the amount of irradiation current is increased, the relative emission energy of the mixed phosphor film tends to increase as compared with the hexagonal ZnS: Ag, Al sulfuration treatment phosphor film.

次に、六方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体とY2SiO5:Ce蛍光体の混合蛍光膜の輝度維持率特性評価を行った。表4に輝度維持率及び色度変化の評価結果を示す。 Next, the luminance maintenance factor characteristics of the mixed phosphor film of hexagonal ZnS: Ag, Al sulfurating treatment phosphor and Y 2 SiO 5 : Ce phosphor were evaluated. Table 4 shows the evaluation results of the luminance maintenance rate and chromaticity change.

Figure 2006265432
表3と表4で色度y値が異なるのは、試料温度が異なるためである。混合蛍光膜の輝度維持率は六方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光膜に比べて高くなっており、混合比率が10重量%の場合には輝度維持率は3.3%高くなっている。また、混合比率が低い場合には電子線照射による色度y値の変化が小さい。
Figure 2006265432
The reason why the chromaticity y value is different between Table 3 and Table 4 is that the sample temperature is different. The luminance maintenance ratio of the mixed phosphor film is higher than that of the hexagonal ZnS: Ag, Al sulfurating treatment phosphor film. When the mixing ratio is 10% by weight, the luminance maintenance ratio is 3.3% higher. When the mixing ratio is low, the change in chromaticity y value due to electron beam irradiation is small.

図9に六方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光膜(細線)及びY2SiO5:Ce蛍光体の混合比率が10重量%の場合の混合蛍光膜(太線)加速試験時の輝度維持率曲線を示す。図9に見られるように、混合蛍光膜の発光エネルギーは長期的な劣化の傾きは六方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光膜の輝度維持率曲線と大きな違いはないが、初期劣化が低く抑えられており輝度維持率が良好である。 Figure 9 shows the luminance maintenance factor curve during the accelerated test of the mixed phosphor film (thick line) when the mixing ratio of the hexagonal ZnS: Ag, Al sulfide treatment phosphor film (thin line) and the Y 2 SiO 5 : Ce phosphor is 10 wt%. Indicates. As can be seen in FIG. 9, the emission energy of the mixed phosphor film is not significantly different from the luminance retention curve of the hexagonal ZnS: Ag, Al sulfide treatment phosphor film, but the initial degradation is kept low. The luminance maintenance rate is good.

本発明の混合蛍光膜として立方晶ZnS:Ag,Cl硫化処理蛍光体及び(Y,Gd)2SiO5:Ce蛍光体を混合して蛍光膜を作製し、輝度・輝度維持率評価を行った。混合蛍光膜の色度及び輝度維持率は実施例1と同様に良好であった。 As the mixed phosphor film of the present invention, a cubic ZnS: Ag, Cl sulfurating treatment phosphor and a (Y, Gd) 2 SiO 5 : Ce phosphor were mixed to produce a phosphor film, and the luminance and luminance maintenance ratio were evaluated. . The chromaticity and luminance maintenance rate of the mixed phosphor film were good as in Example 1.

本発明の混合蛍光膜として立方晶ZnS:Cu,Al硫化処理蛍光体及びY2SiO5:Tb蛍光体を混合して蛍光膜を作製し、輝度・輝度維持率評価を行った。混合蛍光膜の色度は緑色発光として良好であり、輝度維持率は実施例1と同様に良好であった。 A cubic ZnS: Cu, Al sulfurating treatment phosphor and a Y 2 SiO 5 : Tb phosphor were mixed as a mixed phosphor film of the present invention to produce a phosphor film, and the luminance and luminance maintenance rate were evaluated. The chromaticity of the mixed phosphor film was good for green light emission, and the luminance maintenance rate was good as in Example 1.

本発明の混合蛍光膜として立方晶ZnS:Cu,Au,Al硫化処理蛍光体及びY2SiO5:Tb蛍光体を混合して蛍光膜を作製し、輝度・輝度維持率評価を行った。混合蛍光膜の色度は緑色発光として良好であり、輝度維持率は実施例1と同様に良好であった。   As the mixed fluorescent film of the present invention, a cubic ZnS: Cu, Au, Al sulfurating treatment phosphor and a Y2SiO5: Tb phosphor were mixed to produce a fluorescent film, and the luminance and luminance maintenance ratio were evaluated. The chromaticity of the mixed phosphor film was good for green light emission, and the luminance maintenance rate was good as in Example 1.

本発明の混合蛍光膜としてZnMgS:Cu,Al硫化処理蛍光体(立方晶と六方晶の混晶)及び(Y,Gd)2SiO5:Tb蛍光体を混合して蛍光膜を作製し、輝度・輝度維持率評価を行った。混合蛍光膜の色度は緑色発光として良好であり、輝度維持率は実施例1と同様に良好であった。 ZnMgS: Cu, Al sulfurated phosphor (mixed crystal of cubic and hexagonal crystals) and (Y, Gd) 2 SiO 5 : Tb phosphor are mixed to produce a phosphor film as a mixed phosphor film of the present invention, and brightness・ Brightness maintenance rate was evaluated. The chromaticity of the mixed phosphor film was good for green light emission, and the luminance maintenance rate was good as in Example 1.

MIM型電子源ディスプレイ装置(その1):
本発明のMIM型電子源ディスプレイ装置を図10に示す。MIM型電子源ディスプレイ装置12はフェースプレート2、MIM電子源11、リアプレイト7で構成されており、MIM型電子源11は下部電極(Al)8、絶縁層(Al2O3)9、上部電極(Ir-Pt-Au)10で形成されている。特に、フェースプレート2の内側には青色蛍光膜として、立方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体(70重量%)とY2SiO5:Ce蛍光体(30重量%)を混合することによって形成した蛍光膜3がある。
MIM type electron source display device (1):
The MIM type electron source display device of the present invention is shown in FIG. The MIM type electron source display device 12 includes a face plate 2, an MIM electron source 11, and a rear plate 7. The MIM type electron source 11 includes a lower electrode (Al) 8, an insulating layer (Al 2 O 3 ) 9, and an upper electrode. (Ir—Pt—Au) 10 is used. In particular, a blue phosphor film is formed inside the face plate 2 by mixing cubic ZnS: Ag, Al sulfurating phosphor (70 wt%) and Y 2 SiO 5 : Ce phosphor (30 wt%). There is a fluorescent film 3.

蛍光体の平均粒径はそれぞれ6μmとした。また、赤色蛍光膜にはY2O3:Eu蛍光体を用い、緑色蛍光膜にはY2SiO5:Tb蛍光体を用いた。精細度を上げるために1画素間に黒色導電材(ブラックマトリックス)1を設けた。 The average particle size of the phosphors was 6 μm. A Y 2 O 3 : Eu phosphor was used for the red phosphor film, and a Y 2 SiO 5 : Tb phosphor was used for the green phosphor film. In order to increase the definition, a black conductive material (black matrix) 1 was provided between the pixels.

黒色導電材1の作製では、全面にホトレジスト膜を塗布し、マスクを介して露光して現像し、部分的にホトレジスト膜を残す。その後、全面に黒鉛膜を形成してから過酸化水素などを作用させてホトレジスト膜とその上の黒鉛を取り除いて黒色導電材を形成した。   In the production of the black conductive material 1, a photoresist film is applied on the entire surface, exposed through a mask and developed to leave a photoresist film partially. Thereafter, after forming a graphite film on the entire surface, hydrogen peroxide or the like was applied to remove the photoresist film and the graphite thereon, thereby forming a black conductive material.

蛍光膜の塗布にはスクリーン印刷法を用いた。蛍光体をセルロース系樹脂等を主体としたベヒクルと混練してペースト状とし、調合する。次に、ステンレスメッシュを介して押印塗布する。赤、緑、青蛍光体の塗り分けは、メッシュの穴の位置をそれぞれの蛍光膜の位置に合わせることによって行った。次に、印刷により形成した蛍光膜を焼成して混合したセルロース樹脂等を除去した。このようにして蛍光体のパターンを形成した。蛍光膜の平均厚さは15μmとした。不図示のメタルバックは、周知の形成方法にしたがい蛍光膜3の内面にフィルミング加工してからAlを真空蒸着して作成する。その後、熱処理してフィルミング剤を飛ばして作製した。このようにして蛍光膜3が完成する。MIM型電子源ディスプレイの輝度維持率は向上して長時間画像表示を行った後も良好な輝度を示した。   A screen printing method was used for applying the fluorescent film. The phosphor is kneaded with a vehicle mainly composed of a cellulose-based resin to form a paste and is prepared. Next, a stamp is applied through a stainless mesh. The red, green, and blue phosphors were separately applied by matching the positions of the mesh holes with the positions of the respective phosphor films. Next, the phosphor film formed by printing was baked and mixed to remove the cellulose resin and the like. In this way, a phosphor pattern was formed. The average thickness of the fluorescent film was 15 μm. A metal back (not shown) is formed by film-depositing the inner surface of the fluorescent film 3 and vacuum-depositing Al in accordance with a known forming method. Then, it heat-processed and produced by skipping the filming agent. In this way, the phosphor film 3 is completed. The brightness maintenance rate of the MIM type electron source display was improved and showed a good brightness even after image display for a long time.

MIM型電子源ディスプレイ装置(その2):
本発明のMIM型電子源ディスプレイ装置を図10に示す。特に、フェースプレート2の内側には青色蛍光膜として、六方晶ZnS:Ag,Al蛍光体(50重量%)と(Y,Gd)2SiO5:Ce蛍光体(50重量%)を混合した蛍光膜3がある。赤色蛍光膜にはY2O3:Eu蛍光体を用い、緑色蛍光体にはY2SiO5:Tb蛍光体を用いた。蛍光膜、黒色導電材1及び不図示のメタルバックの形成方法は(実施例7)と同様である。本発明による輝度寿命は(実施例7)と同様に良好であった。
MIM type electron source display device (2):
The MIM type electron source display device of the present invention is shown in FIG. In particular, inside the face plate 2, as a blue fluorescent film, a fluorescent material in which hexagonal ZnS: Ag, Al phosphor (50 wt%) and (Y, Gd) 2 SiO 5 : Ce phosphor (50 wt%) are mixed. There is a membrane 3. A Y 2 O 3 : Eu phosphor was used for the red phosphor film, and a Y 2 SiO 5 : Tb phosphor was used for the green phosphor. The method for forming the fluorescent film, the black conductive material 1 and the metal back (not shown) is the same as in Example 7. The luminance life according to the present invention was as good as in (Example 7).

MIM型電子源ディスプレイ装置(その3):
本発明のMIM型電子源ディスプレイ装置を図10に示す。特に、フェースプレート2の内側には青色蛍光膜として、立方晶ZnS:Ag,Cl蛍光体(90重量%)とY2SiO5:Ce蛍光体(10重量%)を混合した蛍光膜3がある。赤色蛍光膜にはY2O2S:Eu蛍光体を用い、緑色蛍光体にはZnMgS:Cu,Al(80重量%)とY2SiO5:Tb蛍光体(20重量%)を混合した蛍光膜を用いた。蛍光膜、黒色導電材1及び不図示のメタルバックの形成方法は(実施例7)と同様である。本発明による輝度寿命は(実施例7)と同様に良好であった。
MIM type electron source display device (part 3):
The MIM type electron source display device of the present invention is shown in FIG. In particular, inside the face plate 2, there is a fluorescent film 3 in which a cubic ZnS: Ag, Cl phosphor (90% by weight) and a Y 2 SiO 5 : Ce phosphor (10% by weight) are mixed as a blue fluorescent film. . Y 2 O 2 S: Eu phosphor is used for the red phosphor film, and ZnMgS: Cu, Al (80 wt%) and Y 2 SiO 5 : Tb phosphor (20 wt%) are mixed for the green phosphor. A membrane was used. The method for forming the fluorescent film, the black conductive material 1 and the metal back (not shown) is the same as in Example 7. The luminance life according to the present invention was as good as in (Example 7).

MIM型電子源ディスプレイ装置(その4):
本発明のMIM型電子源ディスプレイ装置を図10に示す。特に、フェースプレート2の内側には青色蛍光膜として、立方晶と六方晶の混晶ZnMgS:Ag,Al硫化処理蛍光体(70重量%)と(Y,Gd)2SiO5:Ce蛍光体(30重量%)を混合した蛍光膜3がある。赤色蛍光膜にはY2O:Eu蛍光体を用い、緑色蛍光体にはZnS:Cu,Au,Al蛍光体(50重量%)とY2SiO5:Tb蛍光体(50重量%)を混合した蛍光膜を用いた。蛍光膜、黒色導電材1及び不図示のメタルバックの形成方法は(実施例7)と同様である。本発明による輝度寿命は(実施例7)と同様に良好であった。
MIM type electron source display device (part 4):
The MIM type electron source display device of the present invention is shown in FIG. In particular, as a blue fluorescent film on the inside of the face plate 2, cubic and hexagonal mixed crystal ZnMgS: Ag, Al sulfurated phosphor (70 wt%) and (Y, Gd) 2 SiO 5 : Ce phosphor ( There is a phosphor film 3 mixed with 30 wt%). Y 2 O 3 : Eu phosphor is used for the red phosphor film, and ZnS: Cu, Au, Al phosphor (50 wt%) and Y 2 SiO 5 : Tb phosphor (50 wt%) are used for the green phosphor. A mixed phosphor film was used. The method for forming the fluorescent film, the black conductive material 1 and the metal back (not shown) is the same as in Example 7. The luminance life according to the present invention was as good as in (Example 7).

MIM型電子源ディスプレイ装置(その5):
本発明のMIM型電子源ディスプレイ装置を図10に示す。特に、フェースプレート2の内側には青色蛍光膜として、立方晶ZnS:Ag,Al,Cl硫化処理蛍光体(90重量%)とY2SiO5:Ce蛍光体(10重量%)を混合した蛍光膜3がある。赤色蛍光膜にはY2O2S:Eu蛍光体を用い、緑色蛍光体にはZnS:Cu,Al蛍光体を用いた。蛍光膜、黒色導電材1及び不図示のメタルバックの形成方法は(実施例7)と同様である。本発明による輝度寿命は(実施例7)と同様に良好であった。
MIM type electron source display device (part 5):
The MIM type electron source display device of the present invention is shown in FIG. In particular, inside the face plate 2, as a blue fluorescent film, a fluorescent mixture of cubic ZnS: Ag, Al, Cl sulfurating treatment phosphor (90% by weight) and Y 2 SiO 5 : Ce phosphor (10% by weight) is mixed. There is a membrane 3. A Y 2 O 2 S: Eu phosphor was used for the red phosphor film, and a ZnS: Cu, Al phosphor was used for the green phosphor. The method for forming the fluorescent film, the black conductive material 1 and the metal back (not shown) is the same as in Example 7. The luminance life according to the present invention was as good as in (Example 7).

MIM型電子源ディスプレイ装置(その6):
本発明のMIM型電子源ディスプレイ装置を図10に示す。特に、フェースプレート2の内側には青色蛍光膜として、ZnSrS:Ag,Al蛍光体(60重量%)とY2SiO5:Ce蛍光体(40重量%)を混合した蛍光膜3がある。赤色蛍光膜にはY2O3:Eu蛍光体を用い、緑色蛍光体にはZnS:Cu,Al蛍光体を用いた。蛍光膜、黒色導電材1及び不図示のメタルバックの形成方法は(実施例7)と同様である。本発明による輝度寿命は(実施例7)と同様に良好であった。
MIM type electron source display device (6):
The MIM type electron source display device of the present invention is shown in FIG. In particular, inside the face plate 2, there is a fluorescent film 3 in which ZnSrS: Ag, Al phosphor (60% by weight) and Y 2 SiO 5 : Ce phosphor (40% by weight) are mixed as a blue fluorescent film. A Y 2 O 3 : Eu phosphor was used for the red phosphor film, and a ZnS: Cu, Al phosphor was used for the green phosphor. The method for forming the fluorescent film, the black conductive material 1 and the metal back (not shown) is the same as in Example 7. The luminance life according to the present invention was as good as in (Example 7).

MIM型電子源ディスプレイ装置(その7):
本発明のMIM型電子源ディスプレイ装置を図10に示す。特に、フェースプレート2の内側には青色蛍光膜として、六方晶ZnS:Ag,Cu,Al蛍光体(60重量%)と(Y,Gd)2SiO5:Ce蛍光体(40重量%)を混合した蛍光膜3がある。赤色蛍光膜にはY2O3:Eu蛍光体を用い、緑色蛍光体にはY2SiO5:Tb蛍光体を用いた。また、蛍光体の抵抗を下げるために導電性物質In2O3を蛍光膜に混合した。蛍光膜、黒色導電材1及び不図示のメタルバックの形成方法は(実施例7)と同様である。本発明による輝度寿命は(実施例7)と同様に良好であった。
MIM type electron source display device (7):
The MIM type electron source display device of the present invention is shown in FIG. In particular, a hexagonal ZnS: Ag, Cu, Al phosphor (60 wt%) and a (Y, Gd) 2 SiO 5 : Ce phosphor (40 wt%) are mixed inside the face plate 2 as a blue phosphor film. There is a fluorescent film 3. A Y 2 O 3 : Eu phosphor was used for the red phosphor film, and a Y 2 SiO 5 : Tb phosphor was used for the green phosphor. Further, in order to reduce the resistance of the phosphor, a conductive substance In 2 O 3 was mixed into the phosphor film. The method for forming the fluorescent film, the black conductive material 1 and the metal back (not shown) is the same as in Example 7. The luminance life according to the present invention was as good as in (Example 7).

MIM型電子源ディスプレイ装置(その8):
本発明のMIM型電子源ディスプレイ装置を図10に示す。特に、フェースプレート2の内側には青色蛍光膜として、立方晶ZnS:Ag,Al蛍光体の層と(Y,Gd)2SiO5:Ce蛍光体の層を有する蛍光膜3がある。赤色蛍光膜にはY2O3:Eu蛍光体を用い、緑色蛍光体にはY2SiO5:Tb蛍光体を用いた。また、蛍光体の抵抗を下げるために導電性物質In2O3を蛍光膜に混合した。蛍光膜、黒色導電材1及び不図示のメタルバックの形成方法は(実施例7)と同様である。本発明による輝度寿命は(実施例7)と同様に良好であった。
MIM type electron source display device (Part 8):
The MIM type electron source display device of the present invention is shown in FIG. In particular, inside the face plate 2, there is a fluorescent film 3 having a layer of cubic ZnS: Ag, Al phosphor and a layer of (Y, Gd) 2 SiO 5 : Ce phosphor as a blue phosphor film. A Y 2 O 3 : Eu phosphor was used for the red phosphor film, and a Y 2 SiO 5 : Tb phosphor was used for the green phosphor. Further, in order to reduce the resistance of the phosphor, a conductive substance In 2 O 3 was mixed into the phosphor film. The method for forming the fluorescent film, the black conductive material 1 and the metal back (not shown) is the same as in Example 7. The luminance life according to the present invention was as good as in (Example 7).

スピント型電子源ディスプレイ装置(その1):
本発明のスピント型電子源ディスプレイ装置を図11に示す。スピント型電子源ディスプレイ装置19はフェースプレート2、スピント型電子源18、リアプレイト7で構成されており、スピント型電子源18は陰極13、抵抗膜14、絶縁膜15、ゲート16、円錐型金属(Moなど)17で形成されている。
Spindt-type electron source display device (1):
A Spindt-type electron source display device of the present invention is shown in FIG. The Spindt-type electron source display device 19 includes a face plate 2, a Spindt-type electron source 18, and a rear plate 7. The Spindt-type electron source 18 includes a cathode 13, a resistance film 14, an insulating film 15, a gate 16, a conical metal ( Mo etc.) 17 is formed.

特に、フェースプレート2の内側には青色蛍光膜として、立方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体(70重量%)とY2SiO5:Ce蛍光体(30重量%)を混合することによって形成した蛍光膜3がある。蛍光体の平均粒径はそれぞれ6μmとした。また、赤色蛍光膜にはY2O3:Eu蛍光体を用い、緑色蛍光膜にはY2SiO5:Tb蛍光体を用いた。蛍光膜、黒色導電材1及び不図示のメタルバックの形成方法は(実施例7)と同様である。本発明による輝度寿命は(実施例7)と同様に良好であった。 In particular, a blue phosphor film is formed inside the face plate 2 by mixing cubic ZnS: Ag, Al sulfurating phosphor (70 wt%) and Y 2 SiO 5 : Ce phosphor (30 wt%). There is a fluorescent film 3. The average particle size of the phosphors was 6 μm. A Y 2 O 3 : Eu phosphor was used for the red phosphor film, and a Y 2 SiO 5 : Tb phosphor was used for the green phosphor film. The method for forming the fluorescent film, the black conductive material 1 and the metal back (not shown) is the same as in Example 7. The luminance life according to the present invention was as good as in (Example 7).

スピント型電子源ディスプレイ装置(その2):
本発明のスピント型電子源ディスプレイ装置を図11に示す。特に、フェースプレート2の内側には青色蛍光膜として、六方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体(50重量%)とY2SiO5:Ce蛍光体(50重量%)を混合した蛍光膜3がある。赤色蛍光膜にはY2O3:Eu蛍光体を用い、緑色蛍光体にはY2SiO5:Tb蛍光体を用いた。蛍光膜、黒色導電材1及び不図示のメタルバックの形成方法は(実施例7)と同様である。本発明による輝度寿命は(実施例7)と同様に良好であった。
Spindt-type electron source display device (2):
A Spindt-type electron source display device of the present invention is shown in FIG. In particular, a phosphor film 3 in which hexagonal ZnS: Ag, Al sulfuration treatment phosphor (50 wt%) and Y 2 SiO 5 : Ce phosphor (50 wt%) are mixed as a blue phosphor film inside the face plate 2. There is. A Y 2 O 3 : Eu phosphor was used for the red phosphor film, and a Y 2 SiO 5 : Tb phosphor was used for the green phosphor. The method for forming the fluorescent film, the black conductive material 1 and the metal back (not shown) is the same as in Example 7. The luminance life according to the present invention was as good as in (Example 7).

スピント型電子源ディスプレイ装置(その3):
本発明のスピント型電子源ディスプレイ装置を図11に示す。特に、フェースプレート2の内側には青色蛍光膜として、立方晶ZnS:Ag,Cl硫化処理蛍光体(90重量%)と(Y,Gd)2SiO5:Ce蛍光体(10重量%)を混合した蛍光膜3がある。赤色蛍光膜にはY2O3:Eu蛍光体を用い、緑色蛍光体には立方晶ZnS:Cu,Al硫化処理蛍光体(50重量%)とY2SiO5:Tb蛍光体(50重量%)を混合した蛍光膜を用いた。また、蛍光体の抵抗を下げるために導電性物質In2O3を蛍光膜に混合した。蛍光膜、黒色導電材1及び不図示のメタルバックの形成方法は(実施例7)と同様である。本発明による輝度寿命は(実施例7)と同様に良好であった。
Spindt-type electron source display device (Part 3):
A Spindt-type electron source display device of the present invention is shown in FIG. In particular, a cubic ZnS: Ag, Cl sulfurating treatment phosphor (90 wt%) and (Y, Gd) 2 SiO 5 : Ce phosphor (10 wt%) are mixed as a blue phosphor film inside the face plate 2. There is a fluorescent film 3. Y 2 O 3 : Eu phosphor is used for the red phosphor film, and cubic ZnS: Cu, Al sulfurating phosphor (50 wt%) and Y 2 SiO 5 : Tb phosphor (50 wt%) are used for the green phosphor. ) Was used. Further, in order to reduce the resistance of the phosphor, a conductive substance In 2 O 3 was mixed into the phosphor film. The method for forming the fluorescent film, the black conductive material 1 and the metal back (not shown) is the same as in Example 7. The luminance life according to the present invention was as good as in (Example 7).

カーボンナノチューブ型電子源ディスプレイ装置(その1):
本発明のカーボンナノチューブ型電子源ディスプレイ装置を図12に示す。カーボンナノチューブ型電子源ディスプレイ装置23はフェースプレート2、カーボンナノチューブ電子源22、リアプレイト7で構成されており、カーボンナノチューブ型電子源22は電極20、カーボンナノチューブ層21で形成されている。
Carbon nanotube type electron source display device (Part 1):
The carbon nanotube type electron source display device of the present invention is shown in FIG. The carbon nanotube type electron source display device 23 includes a face plate 2, a carbon nanotube electron source 22, and a rear plate 7, and the carbon nanotube type electron source 22 includes an electrode 20 and a carbon nanotube layer 21.

特に、フェースプレート2の内側には青色蛍光膜として、立方晶ZnS:Ag,Al硫化処理蛍光体(70重量%)とY2SiO5:Ce蛍光体(30重量%)を混合することによって形成した蛍光膜3がある。蛍光体の平均粒径はそれぞれ6μmとした。また、赤色蛍光膜にはY2O3:Eu蛍光体を用い、緑色蛍光膜にはY2SiO5:Tb蛍光体を用いた。蛍光膜、黒色導電材1及び不図示のメタルバックの形成方法は(実施例7)と同様である。本発明による輝度寿命は(実施例7)と同様に良好であった。 In particular, a blue phosphor film is formed inside the face plate 2 by mixing cubic ZnS: Ag, Al sulfurating phosphor (70 wt%) and Y 2 SiO 5 : Ce phosphor (30 wt%). There is a fluorescent film 3. The average particle size of the phosphors was 6 μm. A Y 2 O 3 : Eu phosphor was used for the red phosphor film, and a Y 2 SiO 5 : Tb phosphor was used for the green phosphor film. The method for forming the fluorescent film, the black conductive material 1 and the metal back (not shown) is the same as in Example 7. The luminance life according to the present invention was as good as in (Example 7).

カーボンナノチューブ電子源ディスプレイ装置(その2):
本発明のカーボンナノチューブ型電子源ディスプレイ装置を図12に示す。特に、フェースプレート2の内側には青色蛍光膜として、六方晶ZnS:Ag,Al蛍光体(50重量%)とY2SiO5:Ce蛍光体(50重量%)を混合した蛍光膜3がある。赤色蛍光膜にはY2O2S:Eu蛍光体を用い、緑色蛍光体にはY2SiO5:Tb蛍光体を用いた。蛍光膜、黒色導電材1及び不図示のメタルバックの形成方法は(実施例7)と同様である。本発明による輝度寿命は(実施例7)と同様に良好であった。
Carbon nanotube electron source display device (2):
The carbon nanotube type electron source display device of the present invention is shown in FIG. In particular, inside the face plate 2, there is a fluorescent film 3 in which hexagonal ZnS: Ag, Al phosphor (50% by weight) and Y 2 SiO 5 : Ce phosphor (50% by weight) are mixed as a blue fluorescent film. . A Y 2 O 2 S: Eu phosphor was used for the red phosphor film, and a Y 2 SiO 5 : Tb phosphor was used for the green phosphor. The method for forming the fluorescent film, the black conductive material 1 and the metal back (not shown) is the same as in Example 7. The luminance life according to the present invention was as good as in (Example 7).

カーボンナノチューブ電子源ディスプレイ装置(その3):
本発明のカーボンナノチューブ型電子源ディスプレイ装置を図12に示す。特に、フェースプレート2の内側には青色蛍光膜として、硫化処理を施した立方晶ZnS:Ag,Cl硫化処理蛍光体(90重量%)と(Y,Gd)2SiO5:Ce蛍光体(10重量%)を混合した蛍光膜3がある。赤色蛍光膜にはY2O3:Eu蛍光体を用い、緑色蛍光体には立方晶ZnS:Cu,Al硫化処理蛍光体(50重量%)とY2SiO5:Tb蛍光体(50重量%)を混合した蛍光膜を用いた。また、蛍光体の抵抗を下げるために導電性物質In2O3を蛍光膜に混合した。蛍光膜、黒色導電材1及び不図示のメタルバックの形成方法は(実施例1)と同様である。本発明による輝度寿命は実施例1と同様に良好であった。
Carbon nanotube electron source display device (Part 3):
The carbon nanotube type electron source display device of the present invention is shown in FIG. In particular, on the inside of the face plate 2, as a blue fluorescent film, sulfurized cubic ZnS: Ag, Cl sulfurated phosphor (90 wt%) and (Y, Gd) 2 SiO 5 : Ce phosphor (10 There is a phosphor film 3 mixed with (wt%). Y 2 O 3 : Eu phosphor is used for the red phosphor film, and cubic ZnS: Cu, Al sulfurating phosphor (50 wt%) and Y 2 SiO 5 : Tb phosphor (50 wt%) are used for the green phosphor. ) Was used. Further, in order to reduce the resistance of the phosphor, a conductive substance In 2 O 3 was mixed into the phosphor film. The method for forming the fluorescent film, the black conductive material 1 and the metal back (not shown) is the same as in Example 1. The luminance life according to the present invention was as good as in Example 1.

本発明の蛍光膜の発光スペクトルを示すグラフ。The graph which shows the emission spectrum of the fluorescent film of this invention. 本発明の蛍光膜の色度―照射電流量変化を示すグラフ。The graph which shows the chromaticity-irradiation current amount change of the fluorescent film of this invention. 本発明の蛍光膜の相対輝度―照射電流量変化を示すグラフ。The graph which shows the relative luminance-irradiation current amount change of the fluorescent film of this invention. 本発明の蛍光膜の相対発光エネルギー―照射電流量変化を示すグラフ。The graph which shows the relative light emission energy-irradiation current amount change of the fluorescent film of this invention. 本発明の蛍光膜の輝度維持率曲線を示すグラフ。The graph which shows the brightness | luminance maintenance factor curve of the fluorescent film of this invention. 本発明の蛍光膜の色度―照射電流量変化を示すグラフ。The graph which shows the chromaticity-irradiation current amount change of the fluorescent film of this invention. 本発明の蛍光膜の相対輝度―照射電流量変化を示すグラフ。The graph which shows the relative luminance-irradiation current amount change of the fluorescent film of this invention. 本発明の蛍光膜の相対発光エネルギー―照射電流量変化を示すグラフ。The graph which shows the relative light emission energy-irradiation current amount change of the fluorescent film of this invention. 本発明の蛍光膜の輝度維持率曲線を示すグラフ。The graph which shows the brightness | luminance maintenance factor curve of the fluorescent film of this invention. 本発明のMIM型電子源ディスプレイ装置の要部断面構造を示す模式図。The schematic diagram which shows the principal part cross-section of the MIM type | mold electron source display apparatus of this invention. 本発明のスピント型電子源ディスプレイ装置の要部断面構造を示す模式図。The schematic diagram which shows the principal part cross-section of the Spindt type | mold electron source display apparatus of this invention. 本発明のカーボンナノチューブ型電子源ディスプレイ装置の要部断面構造を示す模式図。The schematic diagram which shows the principal part cross-section of the carbon nanotube type | mold electron source display apparatus of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1…黒色導電材(ブラックマトリックス)、
2…フェースプレート、
3…蛍光膜、
7…リアプレイト、
8…下部電極、
9…絶縁層、
10…上部電極、
11…MIM型電子源、
12…MIM型電子源ディスプレイ装置、
13…陰極、
14…抵抗膜、
15…絶縁膜、
16…ゲート、
17…円錐型金属、
18…Spindt型電子源、
19…Spindt型電子源ディスプレイ装置、
20…電極、
21…カーボンナノチューブ層、
22…カーボンナノチューブ型電子源、
23…カーボンナノチューブ型電子源ディスプレイ装置。
1. Black conductive material (black matrix),
2 ... Face plate,
3 ... Fluorescent film,
7 ... Rear plate,
8 ... Lower electrode,
9: Insulating layer,
10 ... Upper electrode,
11 ... MIM type electron source,
12 ... MIM type electron source display device,
13 ... cathode,
14 ... resistive film,
15 ... Insulating film,
16 ... Gate,
17 ... conical metal,
18 ... Spindt type electron source,
19 ... Spindt type electron source display device,
20 ... Electrode,
21 ... carbon nanotube layer,
22 ... Carbon nanotube type electron source,
23 ... Carbon nanotube type electron source display device.

Claims (9)

蛍光膜が形成されたフェースプレートと、前記蛍光膜に電子線を照射する電子源とを備えた電界放出型ディスプレイ装置であって、前記蛍光膜を形成する蛍光体は、ZnSを母体材料とする蛍光体であり発光スペクトルの主発光の0.3eV高エネルギー側に発光のショルダーが観測される蛍光体と、Y2SiO5を母体材料とする蛍光体との混合物を含むことを特徴とする画像表示装置。 A field emission display device comprising a face plate on which a fluorescent film is formed and an electron source for irradiating the fluorescent film with an electron beam, wherein the phosphor forming the fluorescent film uses ZnS as a base material An image display comprising a mixture of a phosphor having a light emission shoulder observed on the high energy side of the main emission of the emission spectrum of 0.3 eV and a phosphor having Y 2 SiO 5 as a base material apparatus. 前記蛍光膜を形成するZnSを母体材料とする蛍光体の組成は、一般式ZnS:M,N(ただし、MはCu、 Ag、 Auのいずれか一種またはこれらを混合した元素、NはAl、 Ga、 In、 Clのいずれか一種またはこれらを混合した元素)で表され、Y2SiO5を母体材料とする蛍光体の組成は、一般式Y2SiO5:R(ただし、RはCe、 Eu、 Tb、 Tmのいずれか一種またはこれらを混合した元素)で表されることを特徴とする請求項1記載の画像表示装置。 The composition of the phosphor using ZnS as a base material for forming the phosphor film has the general formula ZnS: M, N (where M is one of Cu, Ag, Au, or a mixture thereof, N is Al, The composition of the phosphor represented by Y 2 SiO 5 as a base material is represented by the general formula Y 2 SiO 5 : R (where R is Ce, 2. The image display device according to claim 1, wherein the image display device is represented by any one of Eu, Tb, and Tm, or a mixed element thereof. 前記蛍光膜を形成するZnSを母体材料とする蛍光体は、少なくともAgを発光中心元素として含有するZnS蛍光体であることを特徴とする請求項1記載の画像表示装置。   2. The image display device according to claim 1, wherein the phosphor that uses ZnS as a base material for forming the phosphor film is a ZnS phosphor containing at least Ag as a luminescent center element. 前記ZnSを母体材料とする蛍光体の発光スペクトルのショルダー部分の発光強度は、ガウス曲線でフィッティングした強度よりも4倍以上大きいことを特徴とする請求項1記載の画像表示装置。   2. The image display device according to claim 1, wherein the emission intensity of the shoulder portion of the emission spectrum of the phosphor made of ZnS as a base material is four times or more larger than the intensity fitted with a Gaussian curve. 前記蛍光膜は、前記ZnSの母体結晶中にIIa族からなる群から選ばれる少なくとも一種の元素を添加して混晶とした蛍光体、または前記Y2SiO5の母体結晶中にIIIa族からなる群から選ばれる少なくとも一種の元素を添加して混晶とした蛍光体のいずれか一種またはこれらを混合した蛍光体を含むことを特徴とする請求項1記載の画像表示装置。 The phosphor film is a phosphor made of a mixed crystal by adding at least one element selected from the group consisting of Group IIa in the ZnS base crystal, or composed of Group IIIa in the Y 2 SiO 5 base crystal The image display device according to claim 1, comprising any one of phosphors added with at least one element selected from the group to form a mixed crystal, or a phosphor obtained by mixing them. 前記蛍光膜を構成する蛍光体が、Ia族、VIIb族及び希土類からなる群から選ばれる少なくとも一種の微量不純物を含有することを特徴とする請求項1記載の画像表示装置。   2. The image display device according to claim 1, wherein the phosphor constituting the phosphor film contains at least one trace impurity selected from the group consisting of Group Ia, Group VIIb, and rare earth. 前記蛍光膜を形成するZnS蛍光体に対するY2SiO5蛍光体の混合割合が10重量%以上50重量%以下の範囲であることを特徴とする請求項1に記載の画像表示装置。 2. The image display device according to claim 1, wherein the mixing ratio of the Y 2 SiO 5 phosphor to the ZnS phosphor forming the phosphor film is in the range of 10 wt% to 50 wt%. 前記蛍光膜を形成するZnS蛍光体は、硫黄を含む雰囲気中で処理温度100℃以上600℃以下の範囲でアニールされたものであることを特徴とする請求項1記載の画像表示装置。 The image display device according to claim 1, wherein the ZnS phosphor forming the phosphor film is annealed in a sulfur containing atmosphere at a processing temperature of 100 ° C to 600 ° C. 前記蛍光膜を構成する蛍光体粒子の表面が透光性導電物質を含む透光性導電膜で被覆されていることを特徴とする請求項1記載の画像表示装置。   2. The image display device according to claim 1, wherein the surface of the phosphor particles constituting the phosphor film is covered with a translucent conductive film containing a translucent conductive substance.
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