JP2006260225A - 治工具配備指示装置および治工具配備指示方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 生産設備の生産能率を向上させるための治工具配備指示装置および治工具配備指示方法を提供する。
【解決手段】 複数の生産設備の時系列における生産負荷のばらつきを少なくした治工具配備先情報に基づいて、所定時間単位で算出された治工具の移動作業量を示す情報である治工具移動作業量が、許容移動作業量を超えないような治工具移動指示情報を生成し、治工具移動指示情報に基づいて、治工具を生産設備へ移動させる治工具移動手段に与える。
【選択図】 図１

Description

本発明は、製造ラインの加工、検査、運搬等を行う生産設備において、生産するワーク固有の治工具が必要とされる生産設備へ、治工具を配備するための治工具配備指示装置および治工具配備指示方法に関するものである。

製造ライン内には、ワーク形状の加工や、ワーク特性の検査、あるいは、ワークの運搬のために、ワーク固有の治工具を必要とする場合がある。ここで、ワークとは、たとえば、半導体ウエハである。たとえば、半導体ウエハ製造ラインにおける露光工程では、レチクルと称する治工具を必要とする。

この治工具は、ガラスプレート上にワーク固有の回路パターンが形成されており、縮小投影露光装置（ステッパー）を用いることで、回路パターンをワークである半導体ウエハに投影、転写を行うものである。また、半導体ウエハ検査ラインにおけるプローブ検査工程では、プローブカードと称する治工具を必要とする。

この治工具には、ワークである半導体ウエハ上に形成されたＬＳＩチップの電気的特性を測定するために、ＬＳＩチップの電極部位置に対応するように探針が配置されており、検査装置内部でワークと機械的に接触させて測定を行うものである。これらのレチクルやプローブカードといった治工具は、ワークの生産に必要不可欠な生産資源である。

図４４は、ステッパー１９０１上に仕掛ワーク１９０２とレチクル１９０３がセットされている状態の模式図である。

図４５は、検査装置２００１上に、仕掛ワーク２００２とプローブカード２００３がセットされている状態の模式図である。

これらの治工具が適切な生産設備に適切なタイミングで準備されていないと、ワークの生産を行うことができなくなる。そのため、治工具の準備を円滑に行うための仕組みが必要となる。

そこで特開平６−２６８０４３号公報（特許文献１）に開示されている技術（以下においては、従来技術Ａとも称する）では、半導体ウエハ製造ラインにおいて、露光工程の数工程前からワークが露光装置に到着する時刻を予測しておき、次に、該当ワークの露光装置への予測到着時刻に、該当ワークが使用する治工具（レチクル）も露光装置に到着するように、治工具保管棚（レチクル収納棚）から出庫する時刻を予測する。

そして、実時刻が、レチクル出庫予測時刻になったら、該当レチクルをレチクル収納棚から出庫したのちに、該当露光装置に搬送する、というものである。従来技術Ａによれば、人の判断を介入させないでタイミングよく治工具の準備が可能となる。
特開平６−２６８０４３号公報

ところで、このような治工具を必要とする生産設備において、単一の製品のみを生産するような場合では、１種類の治工具を使用するだけでよい。つまり、生産設備が１台に対して治工具種類も１種類という、１対１の関係になる。

このような場合では、図４６で示すように、治工具１１０１は１台の生産設備１１０２上に常に設置しておけばよく、治工具の切替に伴う移動は発生しない。

しかし、複数の製品（例えばｎ種類）を１台の生産設備で生産する場合では、ｎ種類の治工具を切替なくてはならなくなる。つまり、生産設備が１台に対して治工具種類もｎ種類という、１対ｎの関係になる。

このような場合では、図４７で示すように、１種類の治工具１２０１については生産設備１２０２上に設置しておくことができるが、残りのｎ−１種類の治工具は、この生産設備の近傍の治工具保管棚１２０３に待避しておくなどの管理が必要となる。

そして、ｎ種類の製品を生産するためには、ｎ回の治工具の切替が発生し、その度に治工具保管棚と生産設備の間を治工具は移動することになる。この治工具の移動には、作業者や自動運搬台車１２０４などが用いられる。

当然のことであるが、移動回数や、移動距離、移動時間が増加するたびに、治工具を移動する作業者や自動運搬台車の作業負荷は増大する。ただしこの時の移動は、図４８で示すように、治工具保管棚１３０１と生産設備１３０２との間だけで行われるので、治工具保管棚の位置を生産設備に出来るだけ近い場所に設置するなどの工夫をすれば、移動時間、移動距離は抑制することができ、治工具移動に伴う作業負荷の増大はある程度抑制することができる。

さらに一般的なジョブショップ型の製造ラインでは、同種類の生産設備を複数台（例えば、ｍ台）保有していることがある。これらｍ台全ての生産設備がそれぞれｎ種類の製品を生産することができるならば、生産設備がｍ台に対して治工具種類がｎ種類という、ｍ対ｎの関係になる。

そして、これらｍ台の生産設備でそれぞれｎ種類ずつの治工具を全て用意しておけば、ｍ×ｎ個の治工具が必要となる。このような場合は、用意する治工具は多くなるものの、それぞれの治工具が使用される生産設備を固定することができるので、１つの治工具が異なる複数の生産設備間を移動することはない。

つまり図４９で示すように、治工具保管棚１４０１と生産設備１４０２間の移動作業をｎ×ｍ回行うことになる。前述したのと同様に、治工具保管棚の位置を生産設備に出来るだけ近い場所に設置するなどの工夫をすれば、移動時間、移動距離は抑制することができ、治工具移動に伴う作業負荷の増大はある程度抑制することができる。

ところが近年、顧客の多様なニーズにあわせた製品の多様化とともに、製品シリーズの寿命（新製品の発売開始から需要縮退に伴う生産中止までの需要期間）はますます短くなりつつある。

このため製造ラインでは、個別製品のみでしか使用できない治工具は必要最小限しか持たない傾向にある。何故ならば、潤沢に治工具を準備していても、それらの治工具で生産できる生産期間は短く、たちまち休眠資産になってしまうからである。

つまり、前述のように、ｍ台の生産設備でそれぞれｎ種類の治工具を保有することは現実的ではない。実際は、治工具の総保有数量はｍ×ｎ個よりもかなり少ない数となる。

この時、図５０で示すように、ある１つの治工具は異なる複数の生産設備間を移動する、つまり治工具を使いまわすことになる。

このことは、設置距離が離れている２台の生産設備の間で同一治工具を使いまわそうとする場合には、それらを運搬する作業者や自動運搬台車１５０１の移動距離や移動時間は増大することを意味する。

そして、この治工具移動に伴い発生する作業負荷の増大は、治工具保管棚の位置を生産設備に出来るだけ近い場所に設置する工夫するだけでは抑制することができない。何故ならば、治工具保管棚間の移動が発生するためである。

そして、治工具の移動を担う作業者や自動運搬台車の負荷が増大した場合には、タイミングよく治工具を準備することができなくなる。そしてこれにより、仕掛ワークの停滞増加や生産設備の稼動ロスが発生するという問題が生じる。

この問題を図５１を用いて、もう少し詳細に説明する。
図５１（Ａ）、（Ｂ）のグラフは、生産設備Ａ、および生産設備Ｂにおける将来に亘る時系列上の生産負荷数の推移を表したものであり、横軸に現在時刻を０とした場合の時刻を取り、縦軸に生産負荷数を取っている。

ここで、生産設備の生産負荷数とは、この生産設備で使用される治工具の生産負荷数を合計した値を意味している。

図５１（Ａ）中の丸１６０３で囲まれた部分は、時刻＝２において生産設備Ａの生産能力１６０１を超過した生産負荷数があることを示しており、このままでは、時刻＝２で生産できない生産負荷は、時刻＝３以降で生産されることになる。

すなわち、仕掛ワークが時刻＝２から時刻＝３にかけて停滞することになる。 一方で、図５１（Ｂ）中の丸１６０４で囲まれた部分は、時刻＝２において生産設備Ｂの生産能力１６０２よりも少ない生産負荷数しかないことを示しており、このままでは、生産設備Ｂは生産するものが枯渇することになる。

すなわち、生産設備Ｂでの稼動ロスが発生することになるという問題が生じる。
そこで、治工具の移動が出来るだけ少なくなるように、それぞれの治工具の配備先をできるだけ使用頻度の高い生産設備の最寄の治工具保管棚に決めておき、その治工具保管棚から最寄の生産設備間の移動は生じるものの、治工具保管棚間の移動は極力生じさせないような治工具の配備を実現することが課題となる。

従来技術Ａでは、タイミングよく治工具を配備する仕組みを有しているものの、治工具を配備するのに必要な作業負荷の増大を抑制する仕組みを有していない。

本発明は、生産設備の生産能率を向上させるための治工具配備指示装置を提供することである。

本発明のさらに他の目的は、生産設備の生産能率を向上させるための治工具配備指示方法を提供することである。

上述の課題を解決するために、この発明のある局面に従うと、被生産物である複数の仕掛ワークと、各仕掛ワークを生産する複数の生産設備と、複数の生産設備の少なくとも１つで必要に応じて使用される複数の治工具と、指示情報に基づいて、複数の治工具のいずれかを複数の生産設備のいずれかへ移動させるための治工具移動手段とを備える製造ラインにおいて、複数の治工具のいずれかを、必要とする生産設備へ移動させるための情報である治工具移動指示情報を治工具移動手段に与える治工具配備指示装置は、複数の生産設備の各々が仕掛ワークを生産するために必要な生産状況情報を取得する生産状況情報取得部と、生産状況情報を記憶する記憶部とを備え、生産状況情報は、複数の仕掛ワークに関する情報と、複数の生産設備に関する情報と、複数の治工具に関する情報と、治工具移動手段に関する情報とを含み、生産状況情報に基づいて、複数の治工具を、現状の配備位置から、複数の生産設備のいずれに配備するかを示す情報であって、複数の生産設備の時系列における生産負荷のばらつきを少なくした治工具配備先情報を算出する治工具配備先情報算出部と、治工具移動手段に対し、現状の配備位置から、治工具配備先情報に基づいた複数の生産設備のいずれかの配備先へ、複数の治工具のいずれかを移動させることによる各治工具の移動作業量を示す情報である治工具移動作業量を、所定時間単位で算出する治工具移動作業量算出部と、所定時間単位で算出された治工具移動作業量が、治工具移動手段に関する情報に基づく所定の許容移動作業量を超えている時間が存在する場合、複数の仕掛ワークに関する情報と、治工具配備先情報とに基づいて、超えている時間が存在しない、治工具移動指示情報を生成する、治工具移動指示情報生成部とをさらに備える。

この発明の他の局面に従うと、被生産物である複数の仕掛ワークと、各仕掛ワークを生産する複数の生産設備と、複数の生産設備の少なくとも１つで必要に応じて使用される複数の治工具と、指示情報に基づいて、複数の治工具のいずれかを複数の生産設備のいずれかへ移動させるための治工具移動手段とを備える製造ラインにおいて、複数の治工具のいずれかを、必要とする生産設備へ移動させるための情報である治工具移動指示情報を治工具移動手段に与える治工具配備指示方法は、複数の生産設備の各々が仕掛ワークを生産するために必要な生産状況情報を取得する工程とを含み、生産状況情報は、複数の仕掛ワークに関する情報と、複数の生産設備に関する情報と、複数の治工具に関する情報と、治工具移動手段に関する情報とを含み、生産状況情報に基づいて、複数の治工具を、現状の配備位置から、複数の生産設備のいずれに配備するかを示す情報であって、複数の生産設備の時系列における生産負荷のばらつきを少なくした治工具配備先情報を算出する工程と、治工具移動手段に対し、現状の配備位置から、治工具配備先情報に基づいた複数の生産設備のいずれかの配備先へ、複数の治工具のいずれかを移動させることによる各治工具の移動作業量を示す情報である治工具移動作業量を、所定時間単位で算出する工程と、所定時間単位で算出された治工具移動作業量が、治工具移動手段に関する情報に基づく所定の許容移動作業量を超えている時間が存在する場合、複数の仕掛ワークに関する情報と、治工具配備先情報とに基づいて、超えている時間が存在しない、治工具移動指示情報を生成する工程とをさらに含む。

本発明に係る治工具配備指示装置は、複数の生産設備の時系列における生産負荷のばらつきを少なくした治工具配備先情報に基づいて、所定時間単位で算出された治工具の移動作業量を示す情報である治工具移動作業量が、許容移動作業量を超えないような治工具移動指示情報を生成し、治工具移動指示情報に基づいて、治工具を生産設備へ移動させる治工具移動手段に与える。

したがって、生産設備の生産能率を向上させることができるという効果を奏する。
本発明に係る治工具配備指示方法は、複数の生産設備の時系列における生産負荷のばらつきを少なくした治工具配備先情報に基づいて、所定時間単位で算出された治工具の移動作業量を示す情報である治工具移動作業量が、許容移動作業量を超えないような治工具移動指示情報を生成し、治工具移動指示情報に基づいて、治工具を生産設備へ移動させる治工具移動手段に与える。

したがって、生産設備の生産能率を向上させることができるという効果を奏する。

以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。以下の説明では、同一の部品には同一の符号を付してある。それらの名称および機能も同じである。したがって、それらについての詳細な説明は繰り返さない。

＜第１の実施の形態＞
図１は、本実施の形態における製造ライン１０００を示す。

図１を参照して、製造ライン１０００は、治工具配備指示装置５００と、被生産物である複数の仕掛ワークからなる仕掛ワーク群２０１と、それらを生産する生産設備２０２Ａ，２０２Ｂと、生産設備２０２Ａ，２０２Ｂで使用される複数の治工具からなる治工具群２０３と、生産設備２０２Ａ，２０２Ｂにそれぞれ対応して設けられた、治工具群２０３を配備するための配備スペース２０４Ａ，２０４Ｂとを備える。なお、生産設備の数は２つに限定されることなく３つ以上であってもよい。また、生産設備２０２Ａ，２０２Ｂは、治工具を配備可能な配備スペースを備えるものであってもよい。この場合、治工具は、生産設備２０２Ａ，２０２Ｂの各々の配備スペースへ配備される。なお、以下においては、生産設備２０２Ａ，２０２Ｂを、それぞれ、設備００１，設備００２とも称する。治工具配備指示装置５００は、生産設備２０２Ａ，２０２Ｂとネットワークで接続されている。

治工具配備指示装置５００は、治工具を適切な生産設備または当該生産設備に対応して設けられた配備スペースへ適切なタイミングで配備するための治工具の移動指示情報を、接続された表示装置に表示させる装置である。治工具配備指示装置５００の操作は、オペレータ２１０が行なう。

図２は、本実施の形態における治工具配備指示装置５００の内部の構成を示すブロック図である。治工具配備指示装置５００は、たとえば、ＰＣ（Personal Computer）やワークステーション等のコンピュータである。なお、図２には、説明のために、記録媒体５５５、生産設備２０２Ａ，２０２Ｂも示している。記録媒体５５５には、後述する治工具配備指示プログラム１８０が記録されている。すなわち、治工具配備指示プログラム１８０は、媒体等に記録されてプログラム製品として流通される。

図２を参照して、治工具配備指示装置５００には、表示部５３０と、マウス５４２と、キーボード５４４とが接続される。

表示部５３０は、オペレータに各種情報を、文字や画像等で表示する機能を有する。表示部５３０は、治工具配備指示装置５００から出力された画像データに基づいた画像を表示する。表示部５３０は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ（Liquid Crystal Display））、ＣＲＴ（Cathode Ray Tube）、ＦＥＤ（Field Emission Display）、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）、有機ＥＬディスプレイ（Organic Electro luminescence Display）、ドットマトリクス等その他の画像表示方式の表示機器のいずれであってもよい。

マウス５４２は、オペレータ２１０が治工具配備指示装置５００を操作するためのインターフェースである。キーボード５４４は、オペレータ２１０が治工具配備指示装置５００を操作するためのインターフェースである。なお、表示部５３０およびキーボード５４４は、治工具配備指示装置５００の内部に設けられる構成であってもよい。また、マウス５４２は、たとえば、タッチパッド等として、治工具配備指示装置５００の内部に設けられる構成であってもよい。また、治工具配備指示装置５００には、ペンタブレットが入力機器として接続されていてもよい。

治工具配備指示装置５００は、制御部５１０と、データ一時記憶部５２２と、記憶部５２０と、通信部５６０と、通信部５６２と、ＶＤＰ（Video Display Processor）５３２と、ＣＧＲＯＭ（Character Graphic Read Only Memory）５３４と、ＶＲＡＭ（Video Random Access Memory）５３６と、入力部５４０と、記録媒体アクセス部５５０とを含む。

ＣＧＲＯＭ５３４には、フォントデータ、図形データなど、ＶＤＰ５３２が、表示部５３０で表示される画像を生成するための画像データが記憶されている。

記憶部５２０には、制御部５１０に後述する処理を行なわせるための治工具配備指示プログラム１８０、後述する生産状況情報１９０、その他各種プログラムおよびデータ等が記憶されている。記憶部５２０は、制御部５１０によってデータアクセスされる。

記憶部５２０は、大容量のデータを記憶可能なハードディスクである。なお、記憶部５２０は、ハードディスクに限定されることなく、電源を供給されなくてもデータを保持可能な媒体（たとえば、フラッシュメモリ）であればよい。

すなわち、記憶部５２０は、記憶の消去・書き込みを何度でも行えるＥＰＲＯＭ（Erasable Programmable Read Only Memory）、電気的に内容を書き換えることができるＥＥＰＲＯＭ（Electronically Erasable and Programmable Read Only Memory）、紫外線を使って記憶内容の消去・再書き込みを何度でも行えるＵＶ−ＥＰＲＯＭ（Ultra-Violet Erasable Programmable Read Only Memory）、その他、不揮発的にデータを記憶保持可能な構成を有する回路のいずれであってもよい。

制御部５１０は、記憶部５２０に記憶された治工具配備指示プログラム１８０に従って、治工具配備指示装置５００の内部の各機器に対する各種処理や、演算処理等を行なう機能を有する。制御部５１０は、マイクロプロセッサ（Microprocessor）、プログラミングすることができるＬＳＩ（Large Scale Integration）であるＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）、特定の用途のために設計、製造される集積回路であるＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）、その他の演算機能を有する回路のいずれであってもよい。

また、制御部５１０は、記憶部５２０に記憶された治工具配備指示プログラム１８０に従って、ＶＤＰ５３２に対し、画像を生成させ、当該画像を表示部５３０に表示させる指示（以下においては、「描画指示」とも称する）をだす。

ＶＤＰ５３２は表示部５３０と接続されている。ＶＤＰ５３２は、制御部５１０からの描画指示に応じて、ＣＧＲＯＭ５３４から必要な画像データを読出し、ＶＲＡＭ５３６を利用して画像を生成する。そして、ＶＤＰ５３２は、ＶＲＡＭ５３６に記憶された画像データを読出し、表示部５３０に、当該画像データに基づく画像を表示させる。

ＶＲＡＭ５３６は、ＶＤＰ５３２が生成した画像を一時的に記憶する機能を有する。
データ一時記憶部５２２は、制御部５１０によってデータアクセスされ、一時的にデータを記憶するワークメモリとして使用される。

データ一時記憶部５２２は、データを一時的に記憶可能なＲＡＭ（Random Access Memory）、ＳＲＡＭ（Static Random Access Memory）、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）、ＳＤＲＡＭ（Synchronous DRAM）、ダブルデータレートモードという高速なデータ転送機能を持ったＳＤＲＡＭであるＤＤＲ−ＳＤＲＡＭ（Double Data Rate SDRAM）、Rambus社が開発した高速インターフェース技術を採用したＤＲＡＭであるＲＤＲＡＭ（Rambus Dynamic Random Access Memory）、Ｄｉｒｅｃｔ−ＲＤＲＡＭ（Direct Rambus Dynamic Random Access Memory）、その他、データを揮発的に記憶保持可能な構成を有する回路のいずれであってもよい。

入力部５４０には、マウス５４２と、キーボード５４４とが接続されている。ユーザは、マウス５４２またはキーボード５４４を利用して、治工具配備指示装置５００に指示を与える。マウス５４２またはキーボード５４４からの入力指示は、入力部５４０を介して制御部５１０に伝達される。制御部５１０は、入力部５４０からの入力指示に基づいて所定の処理を行なう。

記録媒体アクセス部５５０は、治工具配備指示プログラム１８０が記録された記録媒体５５５から、治工具配備指示プログラム１８０を読出す機能を有する。記録媒体５５５に記憶されている治工具配備指示プログラム１８０は、制御部５１０の動作（インストール処理）により、記録媒体アクセス部５５０から読み出され、記憶部５２０に記憶される。

このインストール処理用プログラムは、予め、記憶部５２０に格納されており、インストール処理は、制御部５１０が、インストール処理用プログラムに基づいて行なう。

なお、記憶部５２０には、治工具配備指示プログラム１８０がインストールされていなくてもよい。この場合、制御部５１０は、記録媒体アクセス部５５０を介して、記録媒体５５５に記憶された治工具配備指示プログラム１８０を読み出して、治工具配備指示プログラム１８０に基づいた所定の処理を行なう。

記録媒体５５５は、ＤＶＤ−ＲＯＭ（Digital Versatile Disk Read Only Memory）、ＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disk Read Only Memory）、ＭＯ（Magneto Optical Disk）、フロッピー（登録商標）ディスク、ＣＦ(Compact Flash) カード、ＳＭ（Smart Media（登録商標））、ＭＭＣ（Multi Media Card）、ＳＤ（Secure Digital）メモリーカード、メモリースティック（登録商標）、ｘＤピクチャーカードおよびＵＳＢメモリ、磁気テープ、その他不揮発性メモリのいずれであってもよい。

通信部５６０は、制御部５１０とデータの授受を行なう。また、通信部５６０は、生産設備２０２Ａ，２０２Ｂと有線または無線で、データの授受を行なう。

制御部５１０は、通信部５６０を介して、生産設備２０２Ａ，２０２Ｂを制御するための制御データを送信する。また、制御部５１０は、生産設備２０２Ａ，２０２Ｂから、通信部５６０を介して、送信した制御データに応じたデータを受信する。

通信部５６０は、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）１．１、ＵＳＢ２．０、その他シリアル転送を行なう通信用インターフェースのいずれであってもよい。また、通信部５６０は、イーサネット（登録商標）を利用した通信用インターフェースであってもよい。また、通信部５６０は、セントロニクス仕様、ＩＥＥＥ１２８４（Institute of Electrical and Electronic Engineers 1284）、その他パラレル転送を行なう通信用インターフェースのいずれであってもよい。また、通信部５６０は、ＩＥＥＥ１３９４、その他ＳＣＳＩ規格を利用した通信用インターフェースのいずれであってもよい。

また、通信部５６０は、無線ＬＡＮの規格であるＩＥＥＥ８０２．１１ａ、ＩＥＥＥ８０２．１１ｂ、ＩＥＥＥ８０２．１１ｇ、その他無線技術を利用してデータ通信を行なう通信用インターフェースのいずれであってもよい。

通信部５６２は、制御部５１０と、データの授受を行なう。通信部５６２は、通信部５６０と同様なので詳細な説明は繰り返さない。

通信部６１０は、通信部５６２およびネットワーク６２０とデータの授受を行なう。ネットワーク１５０は、インターネットなどの外部のネットワークである。通信部６１０は、イーサネット（登録商標）を利用した通信用インターフェース（たとえば、ルータ）である。また、通信部６１０と、ネットワーク１５０とは、無線または有線でデータの授受を行なう。当該有線は、たとえば、電話線、光ファイバケーブル等である。

したがって、本実施の形態における治工具配備指示装置５００は、ネットワーク１５０から、通信部６１０および通信部５６２を介して、プログラムをダウンロード処理を行ない、記憶部５２０に格納することもできる。この場合、当該ダウンロードしたプログラムは、治工具配備指示プログラム１８０である。

制御部５１０は、ネットワーク１５０からダウンロードしたプログラム（治工具配備指示プログラム１８０）に従って、所定の処理を行なう。このダウンロード用プログラムは、予め、記憶部５２０に格納されており、ダウンロード処理は、制御部５１０が、ダウンロード用プログラムに基づいて行なう。

以上の構成の治工具配備指示装置５００が、表示部５３０に治工具の移動指示情報を表示させる処理を行なう。オペレータ２１１は、表示部５３０に表示された治工具の移動指示情報に基づいて、治工具を適切な生産設備または当該生産設備に対応して設けられた配備スペースへ移動させる。

治工具配備指示プログラム１８０は、治工具毎の将来に亘る一定期間の基準的な配備先情報を計算する処理と、治工具の移動指示情報を生成する処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムである。

再び、図１を参照して、オペレータ２１０は、マウス５４２またはキーボード５４４等の入力装置を利用して、治工具配備指示装置５００に生産状況情報１９０を入力する。なお、治工具配備指示装置５００は、ネットワークを介して、リアルタイムに、生産設備２０２Ａ，２０２Ｂが正常に動作しているか否かを示す最新の設備稼働状態情報を取得する。また、治工具配備指示装置５００は、ネットワークを介して、生産設備２０２Ａ，２０２Ｂから、対応する配備スペースの空き情報もリアルタイムに取得する。

図３は、生産状況情報１９０に含まれる情報を示す図である。
図３を参照して、生産状況情報１９０は、仕掛ワーク群に関する情報１９１と、生産設備群に関する情報１９２と、治工具群に関する情報１９３と、配備スペース群に関する情報１９４と、治工具の移動手段に関する情報１９５とを含む。

図４は、生産状況情報１９０に含まれる各情報の一例を示した図である。
図４（Ａ）は、仕掛ワーク群に関する情報１９１の一例を示した図である。

仕掛ワーク群に関する情報１９１は、一例として、各仕掛ワークの固有番号（以下においては、ＩＤとも称する）に対応付けられた、対象とする生産設備群へ到着する予定時刻、使用する治工具名、および生産時間等の情報を有する。

図４（Ｂ）は、生産設備群に関する情報１９２の一例を示した図である。
生産設備群に関する情報１９２は、一例として、生産設備ＩＤ、該生産設備における稼動状態、すなわち、「使用可」「使用不可」などの情報等を有する。

図４（Ｃ）は、治工具群に関する情報１９３の一例を示した図である。
治工具群に関する情報１９３は、一例として、治工具名、保有治工具数等の情報を有する。また、治工具群に関する情報１９３は、各治工具が、配置されている生産設備（たとえば、設備００１，設備００２等）の情報も有する。

図４（Ｄ）は、配備スペース群に関する情報１９４の一例を示した図である。
配備スペース群に関する情報１９４は、一例として、配備スペースＩＤ、最寄生産設備等の情報を有する。

図４（Ｅ）は、治工具の移動手段に関する情報１９５の一例を示した図である。
治工具の移動手段に関する情報１９５は、一例として、移動手段ＩＤ、単位時間当たりの許容移動作業量等の情報を有する。

このように、数多ある生産状況を示す情報の中でも、利用するデータ種類、データ項目を絞り込むことで数少ないデータ量で生産状況情報を表現することができる。

再び、図１および図２を参照して、オペレータ２１０により入力された生産状況情報１９０は、制御部５１０が、記憶部５２０に記憶させる。

オペレータ２１１は、表示部５３０に表示された治工具の移動指示情報に基づいて、生産設備２０２Ａ，２０２Ｂまたは生産設備２０２Ａ，２０２Ｂにそれぞれ対応して設けられた配備スペース群２０４Ａ，２０４Ｂのうちの必要な場所へ、治工具を手作業で運搬する。以下において使用する「生産設備」は、治工具の配備スペースを有するものであるとする。したがって、「治工具を生産設備へ移動させる」ということは、「治工具を生産設備に対応して設けられた配備スペースへ移動させる」ということとする。

図５は、治工具の移動指示情報の一例を示した図である。
図５を参照して、治工具の移動指示情報は、一例として、治工具名、現状配備先、移動先、移動予定時刻、移動手段ＩＤ等の情報を有する。

移動手段ＩＤは、階間の移動に運搬リフトを使用する場合、運搬リフトのＩＤ
を示す。また、移動手段ＩＤは、同一作業場内の移動に自動搬送車を使用する場合、自動搬送車のＩＤを示す。なお、移動手段ＩＤは、作業者（人）を特定するＩＤであってもよい。

このように、種類の異なる複数のリソースを移動手段として登録することが可能であるため、柔軟な治工具の移動指示を行なうことができる。

本実施の形態では、以下の処理が行われる。
図６は、本実施の形態における大まかな処理の流れを示すフローチャートである。

図６を参照して、ステップＳ１０００では、生産状況情報取得処理が行われる。ステップＳ１０００の処理が終了すると、ステップＳ１２００に進む。

ステップＳ１２００では、治工具配備先計算処理が行なわれる。ステップＳ１２００の処理が終了すると、ステップＳ１４００に進む。

ステップＳ１４００では、治工具移動指示情報算出処理が行なわれる。そして、本実施の形態の処理は終了する。

生産状況情報取得処理では、前述したように、オペレータ２１０が、マウス５４２またはキーボード５４４等の入力装置を利用して、治工具配備指示装置５００に生産状況情報１９０を入力する。制御部５１０は、入力された生産状況情報１９０を記憶部５２０に記憶させる。

なお、前述したように、生産状況情報１９０には、仕掛ワーク群に関する情報１９１と、生産設備群に関する情報１９２と、治工具群に関する情報１９３と、配備スペース群に関する情報１９４と、治工具の移動手段に関する情報１９５とが含まれる。

治工具配備先計算処理は、治工具を使用して生産する生産設備における将来に亘る一定期間の生産負荷を平準化するように配備先を計算する処理である。

次に、治工具配備先計算処理について説明する。
図７は、治工具配備先計算処理のフローチャートである。

図７を参照して、ステップＳ１２０では、治工具毎の時刻別生産負荷値を計算する時刻別生産負荷値算出処理が行なわれる。時刻別生産負荷値算出処理では、制御部５１０が、記憶部５２０から、仕掛ワーク群に関する情報１９１と、治工具群に関する情報１９３とを読み出す。

次に、制御部５１０は、読み出した仕掛ワーク群に関する情報１９１の、治工具が生産設備へ到着する到着予定時刻情報と、生産設備における生産時間とに基づいて治工具毎の時刻別生産負荷値を計算する。

具体的には、制御部５１０は、仕掛ワーク群に関する情報１９１から、仕掛ワークＩＤ毎に、対象とする生産設備へ治工具が到着する到着予定時刻情報、使用する治工具名および生産時間の情報を取得する。

たとえば、「ロット００１」、「ロット００２」、「ロット００３」、「ロット００４」の４ロットの仕掛ワークが存在する場合、制御部５１０は、以下の情報を取得する。

ロット００１については、制御部５１０は、たとえば、到着予定時刻が「２００４年６月１日０時」という情報と、使用する治工具が「治工具００１」という情報と、生産時間が「６０分」という情報とを取得する。

ロット００２については、制御部５１０は、たとえば、到着予定時刻が「２００４年６月１日１時」という情報と、使用する治工具が「治工具００２」という情報と、生産時間が「３０分」という情報とを取得する。

ロット００３については、制御部５１０は、たとえば、到着予定時刻が「２００４年６月１日２時」という情報と、使用する治工具が「治工具００１」という情報と、生産時間が「５０分」という情報とを取得する。

ロット００４については、制御部５１０は、たとえば、到着予定時刻が「２００４年６月１日１時」という情報と、使用する治工具が「治工具００２」という情報と、生産時間が「３０分」という情報とを取得する。

治工具毎の将来に亘る時系列上の時刻別生産負荷数は、各仕掛ワークの生産設備へ到着する予定時刻に生産時間を積上げて、それを治工具毎に集計することで得られる。

治工具毎の将来に亘る時系列上の時刻別生産負荷数は、これら仕掛ワークの各生産設備へ到着する予定時刻毎に生産時間を積上げて、それを治工具毎に集計することで得られる。

制御部５１０は、ロット００１〜００４の各々に対応する情報を取得し、当該取得した情報に基づいて、治工具毎の将来に亘る時系列上の時刻別生産負荷値を算出する。以下においては、治工具毎の将来に亘る時系列上の時刻別生産負荷値を示すデータを治工具毎時刻別生産負荷値データテーブルとも称する。なお、以下においては、治工具毎時刻別生産負荷値データテーブルの各治工具に対応する情報を、治工具毎時刻別生産負荷値情報とも称する。

図８は、一例としての治工具毎時刻別生産負荷値データテーブルＴ１００を示す図である。

図８を参照して、治工具毎時刻別生産負荷値データテーブルＴ１００により、治工具毎に、いつから、どれぐらいの期間使用されるかが分かる。

なお、読み出した治工具群に関する情報１９３により、保有治工具数が複数ある場合、つまり同一治工具を複数保有している場合には、治工具毎時刻別生産負荷値情報も複数になる。

たとえば、「治工具００２」が２つの同一の治工具を持つ場合には、制御部５１０は、治工具名を「治工具００２−１」と「治工具００２−２」とし、「治工具００２−１」および「治工具００２−２」の各々に対応する治工具毎時刻別生産負荷値情報を算出する。

以上のステップＳ１００の処理では、仕掛ワークの各生産設備へ到着する予定時刻を治工具名毎に集計するだけであるので、短時間で計算することができる。

再び、図７を参照して、ステップＳ１２０の処理の後、ステップＳ１４０に進む。
ステップＳ１４０では、治工具配備先情報算出処理が行なわれる。治工具配備先情報算出処理では、生産設備毎の時系列上の生産負荷のばらつきが少なくなるような処理が行われる。ここで、生産設備毎の時系列上の生産負荷は、各生産設備に対応する治工具毎時刻別生産負荷値情報の和で表現できる。つまり、生産設備毎の将来に亘る時系列上の生産負荷を平準化するためには、この生産設備で使用する治工具毎の治工具毎時刻別生産負荷値情報の和のばらつきを小さくするような組合せを決定することとなる。

各生産設備に対応する治工具毎時刻別生産負荷値情報の和は、治工具が使用可能な生産設備毎に治工具毎時刻別生産負荷値情報を集計した値である。

制御部５１０は、記憶部５２０から、生産設備群に関する情報１９２を読み出す。このとき、ステップＳ１２０により算出された治工具毎時刻別生産負荷値データテーブルが以下のような場合であるとする。

図９は、一例としての治工具毎時刻別生産負荷値データテーブルＴ１２０を示す図である。

図９を参照して、治工具毎時刻別生産負荷値情報が、たとえば、治工具毎時刻別生産負荷値データテーブルＴ１２０に示される情報であるとする。

また、治工具００１〜００４の全てが、「生産設備００１」および「生産設備００２」で使用可能であるとする。

この場合、治工具の生産設備への配備の組合せは、「全ての治工具を生産設備００１」という極端な場合も含めて「２の４乗」通り存在する。

ただしここで、生産設備群に関する情報１９２により取得される、生産設備毎の稼動状態が「使用不可」の生産設備については、生産に寄与する設備ではない。したがって、「生産設備００１」および「生産設備００２」以外の生産設備への配備は考慮しなくてもよい。

具体的には、取得した生産設備群に関する情報１９２により、「生産設備００１」が「使用不可」であれば、「生産設備００１」に治工具を配備することは意味がなくなる。この場合「生産設備００２」に全ての治工具を配備することになる。このように生産設備群の情報を入手し、配備の必要のない生産設備を控除した後に、生産設備毎の使用治工具の組合せを列挙する。

図１０は、生産設備毎の使用治工具の組合せの一例である。
図１０（Ａ）は、治工具毎時刻別生産負荷値データテーブルＴ１２０に基づいて、生産設備００１に治工具００１および治工具００３を配備した例である。

図１０（Ｂ）は、治工具毎時刻別生産負荷値データテーブルＴ１２０に基づいて、生産設備００２に治工具００２および治工具００４を配備した例である。

図１０（Ａ）を参照して、この組合せ例では、治工具毎時刻別生産負荷値情報が生産設備００１の時刻ｔ３で生産負荷が大きく偏ってしまう。

図１１は、生産設備毎の使用治工具の組合せの一例である。
図１１（Ａ）は、治工具毎時刻別生産負荷値データテーブルＴ１２０に基づいて、生産設備００１に治工具００１および治工具００２を配備した例である。

図１１（Ｂ）は、治工具毎時刻別生産負荷値データテーブルＴ１２０に基づいて、生産設備００２に治工具００３および治工具００４を配備した例である。

図１１（Ａ），図１１（Ｂ）を参照して、この組合せ例では、生産負荷の平準化度合いが比較的良好である。

このように、治工具の組合せ方の違いによって、生産設備毎の生産負荷の平準化度合いは、大きく変化することになる。そこで、このような生産設備毎の使用治工具の組合せ方の中から、最も生産負荷の平準化度合いの良い組合せを選択することが望ましい。

そして、生産設備毎の使用治工具の組合せが決定した後に、配備スペース群に関する情報１９４より、各生産設備にとっての最寄配備先スペースを検索し、各治工具をどの配備スペースに配備すべきかが決定される。

しかしながら、この方法では、以下の点で効率的ではない。
（１）生産設備数および、治工具数の増加に伴い、組合せの数は膨大になり、全ての場合を計算するには、多くの時間を要する。
（２）多くの時間を費やし、最も平準化度合いの良い組合せを計算できたとしても、その治工具配備を実現するためには、多くの治工具移動が発生する可能性がある。つまり、現状の治工具配備状態から、大きくかけ離れた配備状態を指示することもある。
（３）多くの時間を費やし、さらに多くの作業量を費やし、最も平準化度合いの良い治工具配備状態を作り出したとしても、突発的な設備トラブル等の予期せぬ事態により、予測通りにはならないことがある。その場合、治工具の配備状態は再度見直されることになる。

つまり、生産負荷の平準化度合いが良好な組合せを少ない検索時間で検索できること、さらには、現状の治工具配備状態からかけ離れた治工具配備状態を指示しないようにする必要がある。

そこで、前述の問題点を解決した生産設備毎の使用治工具の組合せ方の中から、最も生産負荷の平準化度合いの良い組合せを選択する治工具配備先情報算出処理について説明する。なお、以下に説明する治工具配備先情報算出処理では、治工具は、一例として、治工具００１〜００３の３つであるとし、使用可能な設備は、たとえば、設備００１，設備００２の２つであるとする。

図１２は、治工具配備先情報算出処理のフローチャートである。
図１２を参照して、ステップＳ１４１では、制御部５１０が、記憶部５２０に記憶されている治工具群に関する情報１９３を読み出し、各治工具が現在どの生産設備に配置されているかを示す情報を取得する。そして、制御部５１０は、治工具配備状態組合せリストを作成する。

図１３は、一例としての治工具配備状態組合せリスト２９０を示す図である。
図１３を参照して、治工具配備状態組合せリスト２９０は、複数の治工具配備データ２９０．１〜２９０．ｎから構成される。

１つの治工具配備データは、使用可能な治工具（たとえば、治工具００１〜００３）の各々に対し、現状の配備されている設備と、配備先の設備（基準配備先）とを対応づけたデータである。なお、治工具配備データ２９０．１〜２９０．ｎの各々における治工具の基準配備先の設備の組み合わせは、使用可能な治工具（たとえば、治工具００１〜００３）の各々に対し、重複しない組み合わせとなるようにする。

治工具配備データ２９０．１〜２９０．ｎの各々は、治工具００１〜００３の各々に対し、現状配備されている設備と、配備先の設備（基準配備先）との組合せが重複しないように設定されたデータである。すなわち、治工具配備データ２９０．１のデータと同じデータは、治工具配備データ２９０．２〜２９０．ｎの中には存在しない。

なお、治工具配備データ２９０．１〜２９０．ｎのうちの１番目のデータである治工具配備データ２９０．１は、各治工具において、現状の配備されている設備と、配備先の設備とが同じであることを示すデータである。すなわち、この組合せでは、治工具００１〜００３の移動はないことになる。

また、たとえば、治工具配備データ２９０．ｋの、治工具００３は、現状の配備されている設備と、配備先の設備とが異なる。すなわち、この組合せでは、治工具００３の移動はあることになる。

再び、図１２を参照して、ステップＳ１４１の処理が終了すると、ステップＳ１４２に進む。

ステップＳ１４２では、制御部５１０が、治工具配備状態組合せリスト２９０に対し、各治工具配備データ内で、基準配備先でデータをソートした治工具配備状態組合せソートリスト２９０Ａを生成する。制御部５１０は、生成した治工具配備状態組合せソートリスト２９０Ａを記憶部５２０に記憶させる。

図１４は、一例としての治工具配備状態組合せソートリスト２９０Ａを示す図である。
図１４を参照して、治工具配備状態組合せソートリスト２９０Ａは、複数の治工具配備データ２９０．１Ａ〜２９０．ｎＡから構成される。

再び、図１２を参照して、ステップＳ１４２の処理が終了すると、ステップＳ１４３に進む。

ステップＳ１４３では、制御部５１０が、記憶部５２０に記憶された治工具配備状態組合せソートリスト２９０Ａから、ｓ番目の治工具配備データを読み出すためのカウンタｓを“１”に設定する。その後、ステップＳ１４４に進む。

ステップＳ１４４では、治工具配備データ内の生産設備毎にデータを計算するためのカウンタｐを“１”に設定する。その後、ステップＳ１４５に進む。

ステップＳ１４５では、制御部５１０が、治工具配備状態組合せソートリスト２９０Ａから、ｓ番目の治工具配備データを読み出す。その後、ステップＳ１４５Ａに進む。

ステップＳ１４５Ａでは、制御部５１０が、変数Ｘに０を設定する。その後、ステップＳ１４５Ｂに進む。

ステップＳ１４５Ｂでは、制御部５１０が、設備００ｐの生産負荷を計算する。たとえば、ｐ＝１で、ステップＳ１４５で読み出されたデータが、治工具配備データ２９０．２Ａであるとする。

この場合、制御部５１０は、治工具毎時刻別生産負荷値データテーブルＴ１２０に基づいて、設備００１における、時刻毎の、生産負荷を２乗して、加算し、当該加算した値の、平方根を計算する。

たとえば、治工具配備データ２９０．２Ａは、設備００１で治工具００１，００２，００３が使用されることを示すデータである。したがって、治工具毎時刻別生産負荷値データテーブルＴ１２０の時刻ｔ１における、治工具００１，００２，００３のそれぞれの負荷のデータである、“６０”，“０”，“０”をそれぞれ２乗して加算する。また、治工具毎時刻別生産負荷値データテーブルＴ１２０の時刻ｔ２における、治工具００１，００２，００３のそれぞれの負荷のデータである、“０”，“６０”，“６０”をそれぞれ２乗して、時刻ｔ１の計算値に対し、加算する。このような処理を繰返し、最後に、加算したデータの平方根をとる。以下においては、当該平方根の値を、設備の負荷標準偏差とも称する。その後、ステップＳ１４５Ｃに進む。

ステップＳ１４５Ｃでは、制御部５１０が、ステップＳ１４５Ｂで計算された設備の負荷標準偏差を変数Ｘに加算する。その後、ステップＳ１４５Ｄに進む。

ステップＳ１４５Ｄでは、制御部５１０が、カウンタｐを１インクリメントする。その後、ステップＳ１４５Ｅに進む。

ステップＳ１４５Ｅでは、制御部５１０が、カウンタｐの値が設備数よりも多いか否かを判定する。ここで、設備数とは、設備の数である。この場合、設備は、設備００１，００２の２つなので、設備数は２となる。

ステップＳ１４５Ｅにおいて、ＹＥＳならば、ステップＳ１４６に進む。一方、ステップＳ１４５Ｅにおいて、ＮＯならば、再度、ステップＳ１４５Ｂに進む。

再度、ステップＳ１４５Ｂに進むと、設備００２の負荷標準偏差が、前述したのと同様に計算される。

ステップＳ１４６では、制御部５１０が、Ｘの値が変数Ｚより小さいか否かを判定する。なお、変数Ｚの初期値は、初めてステップＳ１４６の処理が行なわれる場合、Ｚ＞Ｘを必ず満たすような値に設定される。したがって、変数Ｚの初期値は、たとえば“１００００００”に設定されている。ステップＳ１４６において、ＹＥＳならば、Ｓ１４６Ａに進む。一方、ステップＳ１４６において、ＮＯならば、ステップＳ１４７に進む。

ステップＳ１４６Ａでは、制御部５１０が、変数Ｚに変数Ｘの値を代入する。すなわち、ステップＳ１４６，Ｓ１４６Ａの処理が繰り返されることにより、変数Ｚは、治工具配備データに基づく、各設備の負荷標準偏差の和の最小値となる。その後、ステップＳ１４６Ｂに進む。

ステップＳ１４６Ｂでは、制御部５１０が、ステップＳ１４６Ａの処理においてＸに設定された値を算出する元となったデータ（治工具配備データ）を記憶部５２０に記憶させる。なお、Ｘに設定された値を算出する元となった治工具配備データが既に記憶されている場合は、データを上書き記憶させる。その後、ステップＳ１４７に進む。

ステップＳ１４７では、制御部５１０が、ｓを１インクリメントする。その後、ステップＳ１４８に進む。

ステップＳ１４８では、制御部５１０が、カウンタｓの値が治工具配備状態組合せソートリスト２９０Ａのデータ数ｎより大きいか否かを判定する。ステップＳ１４８において、ＹＥＳならば、ステップＳ１４９に進む。一方、ステップＳ１４８において、ＮＯならば、再度、ステップＳ１４４の処理が行なわれる。

ステップＳ１４９では、制御部５１０は、記憶部５２０に記憶された治工具配備データに基づいて治工具配備先情報を算出する。当該治工具配備先情報が、最も生産負荷の平準化度合いの良い組合せの情報となる。

すなわち、このようにして求められた組合せの情報は、治工具を使用して生産する生産設備における将来に亘る一定期間の生産負荷を平準化するような治工具の移動が発生しにくい治工具配備を実現することができるという効果を奏する。

図１５は、一例としての治工具配備先情報３００を示す図である。
そして、制御部５２０は、算出した治工具配備先情報を記憶部５２０に記憶させる。以上により、この治工具配備先情報算出処理は終了し、図７の治工具配備先計算処理に戻る。そして、この治工具配備先計算処理は終了し、図６のステップＳ１２００の次のステップＳ１４００に進む。

ステップＳ１４００では、前述の治工具の移動指示情報を算出する治工具移動指示情報算出処理が行なわれる。

図１６は、治工具移動指示情報算出処理のフローチャートである。
図１６を参照して、ステップＳ３００では、治工具移動予定時刻算出処理が行なわれる。

図１７は、治工具移動予定時刻算出処理のフローチャートである。
図１７を算出して、ステップＳ３０１では、制御部５１０が、記憶部５２０から、治工具配備先情報を読出す。当該治工具配備先情報は、一例として、治工具配備先情報３００であるとする。その後、ステップＳ３０２に進む。

ステップＳ３０２では、制御部５１０が、治工具配備先情報３００に基づいて、移動が必要な治工具の情報を抽出する。以下においては、移動が必要な治工具の情報を移動必要治工具情報とも称する。抽出された移動必要治工具情報は、「治工具００１を設備００１から設備００２」へ移動する指示情報と、「治工具００３を設備００２から設備００１」へ移動する指示情報とがある。治工具配備先情報３００には、「治工具００２」については、既に基準となる配備先に移動が済んでいるため、移動指示の対象とはなっていない。

図１８は、移動必要治工具情報３００Ａを示す図である。
治工具の基準的な配備先は、生産設備にとって将来に亘る一定期間の生産負荷を平準化する効果があるため、「治工具００１」と「治工具００３」の両方を速やかに、基準的な配備先へ移動することが望ましい。

しかし、この例でも示すように、移動指示の対象となる治工具が複数ある場合、それらを一斉に移動させるには多くの労力が必要となるため、移動のタイミングに時差を設けて移動作業を行う必要がある。

そこで、以下の処理において、いつまでに治工具の移動を完了させる必要があるかを示す情報を算出する。以下においては、当該情報を治工具移動予定時刻情報とも称する。

再び、図１７を参照して、ステップＳ３０２の処理の後、ステップＳ３０３に進む。
ステップＳ３０３では、仕掛ワーク進捗管理情報生成処理が行なわれる。仕掛ワーク進捗管理情報生成処理では、制御部５１０が、記憶部５２０から仕掛ワーク群に関する情報１９１を読出し、仕掛ワーク群に関する情報１９１から、生産時間の情報以外の情報である仕掛ワーク進捗管理情報１９１Ａを取得する。

図１９は、一例としての仕掛ワーク進捗管理情報１９１Ａを示す図である。
再び、図１７を参照して、ステップＳ３０３の処理の後、ステップＳ３０４に進む。ステップＳ３０４では、治工具移動予定時刻情報算出処理が行なわれる。治工具移動予定時刻情報算出処理では、制御部５１０が、仕掛ワーク進捗管理情報１９１Ａおよび移動必要治工具情報３００Ａに基づいて、時系列に使用する治工具と、当該治工具に対応する情報を示す治工具移動予定時刻情報を算出する。制御部５１０は、算出した治工具移動予定時刻情報を記憶部５２０に記憶させる。

図２０は、一例としての治工具移動予定時刻情報３１０を示す図である。
図２０を参照して、例えば「治工具００３」を使用する「ロット００１」へは、「２００４／６／１ ００：０１」までに治工具００３の移動を完了させておく必要がある。また「治工具００１」を使用する「ロット００２」は「２００４／６／１ １０：５４」までに治工具００１の移動を完了させておく必要がある。なお、本実施の形態においては、移動手段は、移動手段００１の１つであるとして説明する。したがって、治工具移動予定時刻情報３１０に示される、治工具００３を設備００２から設備００１へ移動させるのは、移動手段００１となる。

なお、移動手段は、１つに限定されることなく、２つ以上であってもよい。
再び、図１７を参照して、ステップＳ３０４の処理が終了すると、この治工具移動予定時刻算出処理は終了し、図１６の治工具移動指示情報算出処理に戻り、ステップＳ３００の次のステップＳ３１０に進む。

ステップＳ３１０では、治工具移動作業量算出処理が行なわれる。
図２１は、治工具移動作業量算出処理を説明するための図である。

図２１を参照して、治工具移動作業量算出処理では、制御部５１０が、算出した治工具移動予定時刻情報３１０から将来に亘る時間系列上のどの時点でどれ位の移動作業量が発生するかを予測し、各移動手段の治工具移動作業量を計算する。当該計算は、制御部５１０が、図２１のように、治工具の移動作業量を将来に亘る時系列上に移動回数を山積みしていくことで行なう。以上の処理により、制御部５１０は、以下のような移動手段ＩＤ別の時間帯別の移動回数を示す治工具移動作業量情報を算出する。そして、制御部５１０は、治工具移動作業量情報を記憶部５２０に記憶させる。

図２２は、一例としての治工具移動作業量情報３２０を示す図である。
再び、図１６を参照して、ステップＳ３１０の処理が終了すると、ステップＳ３２０に進む。

ステップＳ３２０では、治工具移動指示情報最終決定処理が行なわれる。
図２３は、治工具移動指示情報最終決定処理のフローチャートである。

図２３を参照して、ステップＳ３２１では、制御部５１０が、記憶部５２０から、治工具の移動手段に関する情報１９５（図４（Ｅ）参照）と、治工具移動作業量情報３２０と、治工具移動予定時刻情報３１０とを読み出す。その後、ステップＳ３２２に進む。

ステップＳ３２２では、制御部５１０が、治工具移動作業量情報３２０における治工具移動手段毎の時系列上の移動作業量と、治工具の移動手段に関する情報１９５から取得した各治工具移動手段毎の単位時間当たりの許容移動作業量とを比較する。具体的には、制御部５１０は、治工具移動手段毎の時系列上の移動作業量が、対応する治工具移動手段の許容移動作業量を超えているか否かを判定する。

ステップＳ３２２において、ＹＥＳならば、ステップＳ３２３に進む。
一方、ステップＳ３２２において、ＮＯならば、ステップＳ３２２Ａに進む。
たとえば、治工具移動作業量情報３２０から、移動手段００１は、１０時〜１１時までの１時間の間に移動作業を６回行なう。しかし、治工具の移動手段に関する情報１９５から、移動手段００１の１時間の許容移動作業量は、２回である。したがって、この場合、ステップＳ３２２の処理では、ＹＥＳに該当する。

ステップＳ３２２Ａでは、制御部５１０が、読み出した治工具移動予定時刻情報３１０に基づいて、治工具移動予定時刻、治工具移動先、治工具移動手段の各情報を変更せずに治工具の移動指示情報を生成する。制御部５１０は、生成した治工具の移動指示情報を記憶部５２０に記憶させる。

図２４は、一例としての治工具の移動指示情報３９０を示した図である。
再び、図２３を参照して、ステップＳ３２２Ａの処理が終了すると、この治工具移動指示情報最終決定処理は終了し、図１６の治工具移動指示情報算出処理に戻り、ステップＳ３２０の次のステップＳ３３０に進む。

ステップＳ３３０では、制御部５１０が、記憶部５２０から、治工具の移動指示情報３９０を読み出して、表示部５１０に表示させる。その後、この治工具移動指示情報算出処理も終了し、図６の処理に戻り、本実施の形態の処理は終了する。

再び、図２３を参照して、ステップＳ３２３では、代替移動手段があるか否かが判定される。具体的には、制御部５１０が、他の治工具移動手段に治工具移動作業量の余裕があるか否かを検索する。

図２５は、治工具の代替移動手段が存在する場合の図を示している。
図２５（Ａ）は、時系列における移動手段００２の作業量を示している。

図２５（Ｂ）は、時系列における移動手段００１の作業量を示している。
この場合、時刻２：００において、移動手段００１の作業量は、許容量を超えているので、許容量を超えた分の作業量を、移動手段００２に代替してもらう。すなわち、この場合、移動手段００２が、移動手段００１の代替移動手段となる。

再び、図２３を参照して、ステップＳ３２３において、ＹＥＳならば、ステップＳ３２３Ａに進む。一方、ステップＳ３２３において、ＮＯならば、ステップＳ３２４に進む。

ステップＳ３２３Ａでは、制御部５１０が、読み出した治工具移動予定時刻情報３１０に基づいて、作業量が許容移動作業量を超過した時刻の移動手段を、代替移動手段に変更した治工具の移動指示情報３９０を生成する。制御部５１０は、生成した治工具の移動指示情報３９０を記憶部５２０に記憶させる。

ステップＳ３２３Ａの処理が終了すると、この治工具移動指示情報最終決定処理は終了し、図１６の治工具移動指示情報算出処理に戻り、ステップＳ３２０の次の前述したステップＳ３３０に進む。ステップＳ３３０では、制御部５１０が、記憶部５２０から、治工具の移動指示情報３９０を読み出して、表示部５１０に表示させる。その後、この治工具移動指示情報算出処理も終了し、図６の処理に戻り、本実施の形態の処理は終了する。

ステップＳ３２４では、制御部５１０が、治工具の移動作業量の前倒しが可能か否かを判定する。

図２６は、治工具の移動作業量の前倒しが可能な状態の図である。
図２６を参照して、制御部５１０は、時刻２：００において、治工具の移動作業量は、許容移動作業量を超えているので、許容移動作業量を超えた分の作業量を、治工具移動予定時刻（２：００）より以前に設定（前倒し）する。

再び、図２３を参照して、ステップＳ３２４でＹＥＳならば、ステップＳ３２４Ａに進む。一方、ステップＳ３２４でＮＯならば、ステップＳ３２５に進む。

ステップＳ３２４Ａでは、制御部５１０が、読み出した治工具移動予定時刻情報３１０に基づいて、前述したように治工具移動予定時刻を前倒しに変更した治工具の移動指示情報３９０を生成する。制御部５１０は、生成した治工具の移動指示情報３９０を記憶部５２０に記憶させる。

ステップＳ３２４Ａの処理が終了すると、この治工具移動指示情報最終決定処理は終了し、図１６の治工具移動指示情報算出処理に戻り、ステップＳ３２０の次の前述したステップＳ３３０に進む。ステップＳ３３０では、制御部５１０が、記憶部５２０から、治工具の移動指示情報３９０を読み出して、表示部５１０に表示させる。その後、この治工具移動指示情報算出処理も終了し、図６の処理に戻り、本実施の形態の処理は終了する。

ステップＳ３２５では、制御部５１０が、ネットワークを介して、最新の設備稼働状態情報を取得する。最新の設備稼働状態情報は、ネットワークで接続された生産設備の稼動状態を示す情報である。制御部５１０は、取得した最新の設備稼働状態情報により、ネットワークで接続された生産設備の状態を知ることができる。

図２７は、一例としての最新の設備稼働状態情報３４０を示す図である。
図２７を参照して、最新の設備稼働状態情報３４０では、「設備００２」は故障中であり、移動先が「設備００２」となっている治工具を早急に移動させる必要がない。つまり、図２０の治工具移動予定時刻情報３１０より「治工具００１」の移動を早急に実施する必要はない。何故ならば、移動させたとしても、生産設備自体が稼動していないためである。

再び、図２３を参照して、ステップＳ３２５の処理の後、ステップＳ３２６に進む。
ステップＳ３２６では、制御部５１０が、移動作業量の後倒しが可能か否かを判定する。具体的には、制御部５１０は、取得した最新の設備稼働状態情報３４０から、移動先設備の稼働状態を確認し、早急に移動させなくてもよい治工具があるか否かを判定する。

ステップＳ３２６において、ＹＥＳならば、ステップＳ３２６Ａに進む。一方、ステップＳ３２６において、ＮＯならば、ステップＳ３２７に進む。

ステップＳ３２６Ａでは、制御部５１０が、読み出した治工具移動予定時刻情報３１０に基づいて、治工具移動予定時刻を後倒しに変更した治工具の移動指示情報３９０を生成する。制御部５１０は、生成した治工具の移動指示情報３９０を記憶部５２０に記憶させる。

ステップＳ３２３Ａの処理が終了すると、この治工具移動指示情報最終決定処理は終了し、図１６の治工具移動指示情報算出処理に戻り、ステップＳ３２０の次の前述したステップＳ３３０に進む。ステップＳ３３０では、制御部５１０が、記憶部５２０から、治工具の移動指示情報３９０を読み出して、表示部５１０に表示させる。その後、この治工具移動指示情報算出処理も終了し、図６の処理に戻り、本実施の形態の処理は終了する。

ステップＳ３２７では、制御部５１０が、治工具の代替移動先があるか否かを判定する。治工具の代替移動先は、たとえば、治工具移動手段の移動作業量が少なくて済むような治工具配備スペースである。

この代替移動先は、基準となる治工具配備先とは異なるため、緊急退避的な処置となる。治工具移動手段の移動作業量が許容移動作業量内に収まるタイミングで再び、治工具移動手段の移動指示がでることになる。

ステップＳ３２７において、ＹＥＳならば、ステップＳ３２７Ａに進む。一方、ステップＳ３２７において、ＮＯならば、前述した図７のステップＳ１４０の処理に戻り、再度、基準的な治工具配備先情報を再計算することとなる。

ステップＳ３２７Ａでは、制御部５１０が、読み出した治工具移動予定時刻情報３１０に基づいて、治工具移動先を代替移動先に変更した治工具の移動指示情報３９０を生成する。制御部５１０は、生成した治工具の移動指示情報３９０を記憶部５２０に記憶させる。

ステップＳ３２７Ａの処理が終了すると、この治工具移動指示情報最終決定処理は終了し、図１６の治工具移動指示情報算出処理に戻り、ステップＳ３２０の次の前述したステップＳ３３０に進む。

ステップＳ３３０では、制御部５１０が、記憶部５２０から、治工具の移動指示情報３９０を読み出して、表示部５１０に表示させる。その後、この治工具移動指示情報算出処理も終了し、図６の処理に戻り、本実施の形態の処理は終了する。

以上の処理により、治工具移動手段としてのオペレータ２１１は、表示部５３０に表示された治工具の移動指示情報に基づいて、治工具を適切な生産設備または当該生産設備に対応して設けられた配備スペースへ、適切なタイミングで移動させる。

以上説明した処理により、各治工具を適切な生産設備に適切なタイミングで配備することができるという効果を奏する。

また、以上説明した処理により、治工具運搬に伴う作業負荷の増大を抑制しつつ、適切なタイミングで生産設備に治工具を配備することができるという効果を奏する。

すなわち、本実施の形態における処理により、生産設備の生産能率を向上させることができるという効果を奏する。

＜第２の実施の形態＞
次に、第１の実施の形態とは異なる製造ラインの一例を示す。

図２８は、本実施の形態における製造ライン１０００Ａを示す。
図２８を参照して、製造ライン１０００Ａは、図１の製造ライン１０００と比較して、治工具配備指示装置５００を備えない点と、入力装置２０６を備える点と、生産状況情報記録装置２０７を備える点と、演算装置２０８を備える点と、出力装置２０９を備える点とが異なる。入力装置２０６、生産状況情報記録装置２０７、演算装置２０８および出力装置２０９の各々は、ローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）のケーブル２１２で互いに接続されている。ケーブル２１２には、生産設備２０２Ａと２０２Ｂとが接続される。なお、ケーブル２１２は、ＬＡＮと限定しているわけではなく、インターネットでも勿論構わない。

入力装置２０６、演算装置２０８、生産状況情報記録装置２０７および出力装置２０９は、図２の治工具配備指示装置５００の一部の機能を有する。

入力装置２０６は、オペレータ２１０が、生産状況情報１９０を入力するための装置である。

生産状況情報記録装置２０７は、図２の治工具配備指示装置５００の記憶部５２０と同様な機能を有する。

入力装置２０６に入力された生産状況情報１９０は、ケーブル２１２を介して、生産状況情報記録装置２０７に記録される。

演算装置２０８は、第１の実施の形態で説明した、治工具配備指示装置５００の制御部５１０と同様な処理を行なう演算処理等を行なう機能を有する。また、演算装置２０８には、治工具配備指示プログラム１８０が記録されており、演算装置２０８は、治工具配備指示プログラム１８０に基づいて動作し、治工具の移動指示情報を算出する。

出力装置２０９は、第１の実施の形態で説明した治工具配備指示装置５００に接続された表示部５３０と同様な機能を有する。すなわち、出力装置２０９は、治工具の移動指示情報を表示する機能を有する。オペレータ２１１は、表示部５３０に表示された治工具の移動指示情報に基づいて動作する。

それ以外の構成および機能は、図１の製造ライン１０００と同様なので詳細な説明は繰り返さない。

＜第３の実施の形態＞
次に、第１および第２の実施の形態とは異なる製造ラインの一例を示す。

図２９は、本実施の形態における製造ライン１０００Ｂを示す。製造ライン１０００Ｂは、オペレータ２１０、２１１を排した、いわゆるファクトリーオートメーション（ＦＡ）の製造ラインである。

図２９を参照して、製造ライン１０００Ｂは、図２９の製造ライン１０００Ａと比較して、入力装置２０６を備えない点と、ラインコントローラ３０１を備える点と、治工具の移動手段である搬送機器３０２とを備える点と、が異なる。ラインコントローラ３０１は、ケーブル２１２に接続される。

ラインコントローラ３０１は、仕掛ワーク群に関する情報、生産設備群に関する情報、治工具群に関する情報、配備スペースに関する情報を含む生産状況情報１９０を収集することができる。すなわち、図６のステップＳ１０００の処理と同様な処理を行なう。

生産状況情報１９０は、ラインコントローラ３０１に接続されているローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）のケーブル２１２を介して生産状況情報記録装置２０７に記録される。

演算装置２０８は、治工具配備指示プログラム１８０に基づいて動作し、治工具の移動指示情報を算出し、治工具の移動指示はラインコントローラ３０１を介して搬送機器３０２に無線などに送信される。

また、この搬送機器も、自動搬送車や階間を昇降するリフト等の搬送機器の種類を限定するものではなく、搬送機器の数が複数で混在しても構わない。

この実施の形態では、オペレータを介さずに搬送機器に指示を実行できるので、リアルタイムでミスのない指示を実現することができる。

それ以外の構成および機能は、図２８製造ライン１０００Ａと同様なので詳細な説明は繰り返さない。

＜第４の実施の形態＞
なお、図１、図２８、図２９において、治工具の配備スペースは必ずしも生産設備の外部に限定するわけではなく、例えば図３０に示す半導体ウエハ製造における露光工程のように、ステッパー４０１の内部にマガジン４０２と呼ばれる複数のレチクルを配備することができるスペースが設置されている場合もあり、治工具の配備スペース群の設置場所を限定するものではない。

＜第５の実施の形態＞
一般的に、生産量の少ない製品品種（以下、単に品種）を生産するためには、他品種と生産設備を共用し、品種を切り替えながら断続的に生産されることが多い。そのため、生産量の少ない品種における、日毎、あるいは時間毎といった単位時間当たりの生産量は、ばらつくことになる。

一方、品種の生産量が多くなり、占有的に１台の生産設備を使用することができる生産量であれば、連続的に生産されるため、日毎、あるいは時間毎の生産量は比較的安定し、生産量のばらつきは少なくなる。

すなわち、現実の製造ラインでは、生産量の少ない品種ほど単位時間当たりの生産量のばらつきが大きく、生産量の多い品種ほど生産量のばらつきが小さい、という関係が成立することが多い。

そして、各品種における単位時間当たりの生産量がばらつけば、それより下流に位置する工程に対する単位時間当たりの到着量、すなわちその工程で使用する治工具の生産負荷数がばらつくことになり、各生産設備の将来に亘る一定期間の生産負荷を平準化できるか否かに大きな影響を与える。

つまり、現実の製造ラインでは、生産負荷の少ない治工具ほど単位時間当たりの生産負荷のばらつきが大きく、生産負荷の多い治工具ほど生産負荷のばらつきが小さい、という関係が成立する。以下でこのような関係を、「生産負荷ばらつき関係」と呼ぶ。

本実施の形態は、このような特徴を持つ製造ラインにおいて、生産負荷ばらつき関係の情報を活用することにより、第１の実施の形態のように治工具毎の時刻別生産負荷値を計算することなく、将来に亘る一定期間の生産負荷の平準化を実現する方法である。

図３１は、本実施の形態における製造ライン１０００Ａを示す。
図３１を参照して、本実施の形態における製造ライン１０００Ａは、図１の製造ライン１０００と比較して、治工具配備指示装置５００の代わりに治工具配備指示装置５００Ａを備えるが異なる。それ以外の構成は、製造ライン１０００と同様なので詳細な説明は繰り返さない。

なお、本実施の形態における製造ラインは、第２、第３、第４の実施の形態と同様な構成であってもよい。

図３２は、本実施の形態における治工具配備指示装置５００Ａの内部の構成を示すブロック図である。

図３２を参照して、治工具配備指示装置５００Ａは、治工具配備指示装置５００と比較して、記録媒体５５５の代わりに記録媒体５５５Ａにデータアクセスする点と、記憶部５２０に、治工具配備指示プログラム１８０の代わりに治工具配備指示プログラム１８０Ａが記録されている点と、記録媒体５５５Ａに治工具配備指示プログラム１８０Ａが記録されている点とが異なる。それ以外の構成および機能は治工具配備指示装置５００と同様なので詳細な説明は繰り返さない。

図３３は、本実施の形態における大まかな処理の流れを示すフローチャートである。
図３３を参照して、本実施の形態では、ステップＳ１２００の代わりにステップＳ１２００Ａが行なわれる点が異なる。それ以外の処理は、第１の実施の形態と同様なので詳細な説明は繰り返さない。

ステップＳ１２００Ａでは、治工具配備先計算処理Ａが行なわれる。治工具配備先計算処理Ａでは、前述したように、治工具毎の時刻別生産負荷値を計算はしない。なお、本実施の形態では、使用可能な設備は、設備００１と設備００２の２つであるとする。

図３４は、治工具配備先計算処理Ａのフローチャートである。
図３４を参照して、ステップＳ４００では、治工具毎生産負荷情報および生産負荷ばらつき関係情報に基づいて、治工具毎生産負荷標準偏差情報が計算される。

図３５は、一例としての治工具毎生産負荷情報、生産負荷ばらつき関係情報および治工具毎生産負荷標準偏差情報を示す図である。

図３５（Ａ）は、一例としての治工具毎生産負荷情報４００を示す図である。
図３５（Ａ）を参照して、治工具毎生産負荷情報４００は、治工具００１〜００６の各々に対応する生産負荷を示す情報である。なお、治工具毎生産負荷情報４００は、予め記憶部５２０に記憶されている。

図３５（Ｂ）は、一例としての生産負荷ばらつき関係情報４１０を示す図である。一般に、量の異なる変数のばらつきを比較する方法では、変動係数を使用することが多い。変数Ｘの変動係数とは「Ｘの標準偏差÷Ｘの平均」で定義される量である。なお、生産負荷ばらつき関係情報４１０は、予め記憶部５２０に記憶されている。

図３５（Ｂ）を参照して、生産負荷変動係数とは「生産負荷の標準偏差÷生産負荷の平均」で定義される量であり、その生産負荷のばらつきの大きさを示している。生産負荷ばらつき関係情報４１０では、治工具生産負荷が「３００以上」の生産負荷量の多い治工具は、生産負荷変動係数が「０．３」であり、生産負荷が「１００未満」の生産負荷量の少ない治工具は、生産負荷変動係数が「１．０」となっている。

生産負荷ばらつき関係情報４１０は、生産負荷の少ない治工具ほど単位時間当たりの生産負荷のばらつきが大きく、生産負荷の多い治工具ほど生産負荷のばらつきが小さい、という関係を具体的に表現する例となっている。

再び、図３４を参照して、ステップＳ４００では、前述したように治工具毎生産負荷情報および生産負荷ばらつき関係情報に基づいて、治工具毎生産負荷標準偏差情報が計算される。

具体的には、制御部５１０が、記憶部５２０から、治工具毎生産負荷情報４００および生産負荷ばらつき関係情報４１０読み出して、治工具毎の生産負荷標準偏差を、各治工具に対応する生産負荷＊生産負荷変動係数で計算する。

再び、図３５を参照して、図３５（Ｃ）は、一例としての治工具毎生産負荷標準偏差情報４２０を示す図である。たとえば、「治工具００１」の生産負荷標準偏差は、生産負荷（３００）＊生産負荷変動係数（０．３）により、“９０”である。治工具００２〜００６の各々の生産負荷標準偏差も、「治工具００１」と同様に算出される。ステップＳ４００の処理が終了すると、ステップＳ４１０に進む。

ステップＳ４１０では、治工具配備先情報算出処理Ａが行なわれる。治工具配備先情報算出処理Ａは、治工具毎生産負荷標準偏差情報４２０から生産設備毎の生産負荷標準偏差に基づくデータのばらつきが最小となる治工具の組み合わせの情報である治工具配備先情報を算出する処理である。

図３６は、治工具配備先情報算出処理Ａのフローチャートである。
以下においては、Ｘの平方根を、ＳＱＲＴ（Ｘ）と表現する。一般に、独立した変数ａと変数ｂとの和（ａ＋ｂ）の標準偏差は、ＳＱＲＴ（ａの標準偏差の２乗＋ｂの標準偏差の２乗）で計算することができる。３変数以上の場合も同様であり、各変数の標準偏差の２乗和を求め、その平方根を計算することで、その変数の総和の標準偏差を求めることができる。

ある生産設備に複数の治工具を配備した場合、該生産設備が受け持つ生産負荷は、該生産設備に配備されている治工具生産負荷の総和である。そのため、各治工具へのワーク到着が独立であると仮定すれば、該生産設備が受け持つ生産負荷の標準偏差は、ＳＱＲＴ（配備される治工具の生産負荷標準偏差の２乗和）で計算される。

ステップＳ４１１では、制御部５１０が、図１２のステップＳ１４１と同様な処理を行ない、治工具配備状態組合せリストを生成する。なお、本実施の形態では、たとえば、治工具００１〜００６が使用されるものとする。

図３７は、一例としての治工具配備状態組合せリスト２９２を示す図である。
図３７を参照して、治工具配備状態組合せリスト２９２は、複数の治工具配備データ２９２．１〜２９２．ｎから構成される。

１つの治工具配備データは、使用可能な治工具（たとえば、治工具００１〜００６）の各々に対し、現状の配備されている設備と、配備先の設備（基準配備先）とを対応づけたデータである。なお、治工具配備データ２９２．１〜２９２．ｎの各々における治工具の基準配備先の設備の組み合わせは、使用可能な治工具（たとえば、治工具００１〜００６）の各々に対し、重複しない組み合わせとなるようにする。

治工具配備データ２９２．１〜２９２．ｎの各々は、治工具００１〜００６の各々に対し、現状配備されている設備と、配備先の設備（基準配備先）との組合せが重複しないように設定されたデータである。すなわち、治工具配備データ２９２．１のデータと同じデータは、治工具配備データ２９２．２〜２９２．ｎの中には存在しない。

なお、治工具配備データ２９２．１〜２９２．ｎのうちの１番目のデータである治工具配備データ２９２．１は、各治工具において、現状の配備されている設備と、配備先の設備とが同じであることを示すデータである。

再び、図３６を参照して、ステップＳ４１１の処理が終了すると、ステップＳ４１２に進む。

ステップＳ４１２では、制御部５１０が、治工具配備状態組合せリスト２９２に対し、各治工具配備データ内で、基準配備先でデータをソートした治工具配備状態組合せソートリスト２９２Ａを生成する。制御部５１０は、生成した治工具配備状態組合せソートリスト２９２Ａを記憶部５２０に記憶させる。

図３８は、一例としての治工具配備状態組合せソートリスト２９２Ａを示す図である。
図３８を参照して、治工具配備状態組合せソートリスト２９２Ａは、複数の治工具配備データ２９２．１Ａ〜２９２．ｎＡから構成される。

再び、図３６を参照して、ステップＳ４１２の処理が終了すると、ステップＳ４１３に進む。

ステップＳ４１３では、制御部５１０が、治工具配備状態組合せソートリスト２９２Ａから、ｓ番目の治工具配備データを読み出すためのカウンタｓを“１”に設定する。その後、ステップＳ４１４に進む。

ステップＳ４１４では、治工具配備データ内の生産設備毎にデータを計算するためのカウンタｐを“１”に設定する。その後、ステップＳ４１５に進む。

ステップＳ４１５では、制御部５１０が、記憶部５２０に記憶された治工具配備状態組合せソートリスト２９２Ａから、ｓ番目の治工具配備データを読み出す。その後、ステップＳ４１５Ａに進む。

ステップＳ４１５Ａでは、制御部５１０が、変数Ｘを０に設定する。その後、ステップＳ４１５Ａ１に進む。

ステップＳ４１５Ａ１では、制御部５１０が、変数Ｙを０に設定する。その後、ステップＳ４１５Ｂに進む。

ステップＳ４１５Ｂでは、制御部５１０が、設備００ｐの生産負荷を計算する。たとえば、ｐ＝１で、ステップＳ１４５で読み出されたデータが以下の治工具配備データであるとする。

図３９は、一例としての治工具配備データ２９２．ｓＡと、対応するデータとを示す図である。なお、図３９には、治工具００１〜００６の各々に対応する、治工具毎生産負荷情報４００および治工具毎生産負荷標準偏差情報４２０も示している。

図３９を参照して、治工具配備データ２９２．ｓＡは、「設備００１」を基準配備先とした治工具が、治工具００１，００２であり、「設備００２」を基準配備先とした治工具が、治工具００３〜治工具００６であるデータである。

ｐ＝１の場合、制御部５１０は、設備００１における、生産負荷を計算する。当該生産負荷は、対象となる設備を基準配備先とした各治工具の生産負荷標準偏差を２乗して加算した値である。以下においては、当該加算した値を設備の２乗加算データとも称する。

したがって、制御部５１０は、治工具００１，００２の生産負荷標準偏差である、“９０”，“９０”をそれぞれ２乗して、加算して、２乗加算データを求める。

再び、図３６を参照して、ステップＳ４１５Ｂの処理が終了すると、ステップＳ４１５Ｃに進む。

ステップＳ４１５Ｃでは、制御部５１０が、ステップＳ４１５Ｂで計算された設備の２乗加算データを変数Ｘに加算する。その後、ステップＳ４１５Ｃ１に進む。

ステップＳ４１５Ｃ１では、制御部５１０が、変数Ｙが、Ｘの平方根の値より大きいか否かを判定する。ステップＳ４１５Ｃ１において、ＹＥＳならば、Ｓ４１５Ｃ２に進む。一方、ステップＳ４１５Ｃ１において、ＮＯならば、ステップＳ４１５Ｄに進む。

ステップＳ４１５Ｃ２では、制御部５１０が、変数Ｙに、Ｘの平方根の値を代入する。その後、ステップＳ４１５Ｄに進む。

ステップＳ４１５Ｄでは、制御部５１０が、カウンタｐを１インクリメントする。その後、ステップＳ４１５Ｅに進む。

ステップＳ４１５Ｅでは、制御部５１０が、カウンタｐの値が設備数よりも多いか否かを判定する。ここで、設備数とは、設備の数である。本実施の形態では、使用可能な設備は、設備００１，００２の２つなので、設備数は２となる。

ステップＳ４１５Ｅにおいて、ＹＥＳならば、ステップＳ４１６に進む。一方、ステップＳ４１５Ｅにおいて、ＮＯならば、再度、ステップＳ４１５Ａに進む。

再度、ステップＳ４１５Ａに進むと、設備００２の２乗加算データが、前述したのと同様に計算される。

以上の処理により、変数Ｙには、１つの治工具配備データにおける、設備００１の２乗加算データの平方根の値または設備００２の２乗加算データの平方根の値のうち、値の大きい方が代入される。すなわち、治工具配備データが図３９の治工具配備データ２９２．ｓＡである場合、変数Ｙには、設備００１の２乗加算データの平方根の値（１２７．３）または設備００２の２乗加算データの平方根の値（１４１．４）のうち、値の大きい方（１４１．４）が代入される。

なお、設備００１の２乗加算データの平方根の値と、設備００２の２乗加算データの平方根の値との差が大きいほど、設備００１と、設備００２との生産負荷のばらつきが大きいことになる。

ステップＳ４１６では、制御部５１０が、変数Ｙの値が変数Ｚより小さいか否かを判定する。なお、変数Ｚの初期値は、初めてステップＳ４１６の処理が行なわれる場合、Ｚ＞Ｙを必ず満たすような値に設定される。したがって、変数Ｚの初期値は、たとえば“１００００００”に設定されている。ステップＳ４１６において、ＹＥＳならば、Ｓ４１６Ａに進む。一方、ステップＳ４１６において、ＮＯならば、ステップＳ４１７に進む。

ステップＳ４１６Ａでは、制御部５１０が、変数Ｚに変数Ｙの値を代入する。すなわち、ステップＳ４１６，Ｓ４１６Ａの処理が繰り返されることにより、変数Ｚは、複数の治工具配備データにそれぞれ基づく、複数の２乗加算データの平方根の値のうち、最小の値となる。その後、ステップＳ４１６Ｂに進む。

ステップＳ４１６Ｂでは、制御部５１０が、ステップＳ４１６Ａの処理においてＹに設定された値を算出する元となったデータ（治工具配備データ）を記憶部５２０に記憶させる。なお、Ｙに設定された値を算出する元となった治工具配備データが既に記憶されている場合は、データを上書き記憶させる。その後、ステップＳ４１７に進む。

ステップＳ４１７では、制御部５１０が、ｓを１インクリメントする。その後、ステップＳ４１８に進む。

ステップＳ４１８では、制御部５１０が、カウンタｓの値が治工具配備状態組合せソートリスト２９２Ａのデータ数ｎより大きいか否かを判定する。ステップＳ４１８において、ＹＥＳならば、ステップＳ４１９に進む。一方、ステップＳ４１８において、ＮＯならば、再度、ステップＳ４１４の処理が行なわれる。

ステップＳ４１９では、記憶部５２０に記憶された治工具配備データに基づいて治工具配備先情報を算出する。制御部５２０は、算出した治工具配備先情報を記憶部５２０に記憶させる。以下に治工具配備先情報を算出する元となった治工具配備データを示す。

図４０は、一例としての治工具配備データ２９２．ｔＡと、対応するデータとを示す図である。なお、図４０には、治工具００１〜００６の各々に対応する、治工具毎生産負荷情報４００および治工具毎生産負荷標準偏差情報４２０も示している。

図４０を参照して、治工具配備データ２９２．ｔＡによれば、「設備００１」を基準配備先とした治工具が、治工具００１，００３，００５であり、「設備００２」を基準配備先とした治工具が、治工具００２，００４，００６であるデータである。この場合、設備００１の２乗加算データの平方根の値（１３４．５）と、設備００２の２乗加算データの平方根の値（１３４．５）との差は、“０”となる。したがって、設備００１と、設備００２との生産負荷のばらつきはほぼないことになる。

以上により、本実施の形態では、生産負荷の少ない治工具ほど単位時間当たりの生産負荷のばらつきが大きく、生産負荷の多い治工具ほど生産負荷のばらつきが小さい、という関係が成立する製造ラインにおいて、生産負荷ばらつき関係の情報を活用することにより、第１の実施の形態のように治工具毎の時刻別生産負荷値を計算することなく、最も生産負荷ばらつきの小さな最適な治工具配備データを計算できる。すなわち、少ない計算量で、将来に亘る一定期間の生産負荷の平準化を実現することができるという効果を奏する。

以上により、この治工具配備先情報算出処理Ａは終了し、図３４の治工具配備先計算処理Ａに戻る。そして、この治工具配備先計算処理Ａは終了し、図３３のステップＳ１２００Ａの次のステップＳ１４００に進む。

ステップＳ１４００では、第１の実施の形態と同様に、治工具の移動指示情報が生成されるので詳細な説明は繰り返さない。

＜第６の実施の形態＞
図４１は、仕掛ワークの進捗を制御する例を説明する図である。

図４１では、仕掛ワークの生産進捗を管理する手段６６０が、第１または第５の実施の形態で求められた治工具の移動指示情報を活用して、仕掛ワークの進捗を制御する。治工具の移動指示情報は、たとえば、治工具の移動指示情報３９０Ａであるとする。

たとえば、本実施の形態の製造ラインは、生産設備６１０と、生産設備６１１とから構成されるとする。生産設備６１１は、たとえば、治工具が必要な生産設備であるとする。生産設備６１１は、生産設備６１０の後工程であるとする。

この場合、生産設備６１１への治工具の配備が遅れている場合、当該治工具を使用する仕掛ワークを生産進捗させても、生産設備６１１で滞留するだけとなり、効率が悪い。

たとえば、現在、生産設備６１１には、治工具Ａ６２０が配備されているとする。一方、治工具Ｂ６２１は、直ちに使用できる状態ではないとする。

治工具の移動指示情報３９０Ａによれば、治工具Ｂ６２１が生産設備６１１に移動するのは「２００４／６／１ １０：００」とされており、「２００４／６／１ １０：００」以降でないと、治工具Ｂ６２１を使用する仕掛ワークを生産することができない。

つまり、ロットＩＤが「００１」の仕掛ワーク６３０（以下「ロット００１」ともいう）は、使用治工具が治工具Ｂ６２１であるため、生産設備６１０で直ちに生産を開始しても後工程である生産設備６１１で停滞するだけとなる。

一方、ロットＩＤ「００２」の仕掛ワーク６３１（以下「ロット００２」ともいう）は使用治工具が治工具Ａ６２０であるため、直ちに生産しても後工程である生産設備６１１で停滞することはない。

そこで、後工程での治工具の配備時刻、すなわち治工具の移動指示情報３９０Ａを利用し、治工具Ｂ６２１が生産設備６１１に移動され、使用可能な状態になる時刻までは、他の治工具（すなわち治工具Ａ６２０）を使用する仕掛ワークを生産しておけば、効率のよい生産が可能となる。

たとえば、仕掛ワーク進捗管理手段６６０で管理されている仕掛ワーク進捗管理情報（旧）６７０において記載されている、生産設備６１０における現在の生産着手順が、着手順１にロット００１、着手順２にロット００２となっていたとする。このままでは、ロット００１は、後工程である生産設備６１１で治工具の配備待ちに遭遇して、滞留が発生してしまう。

そこで、治工具の移動指示情報３９０Ａを活用し、進捗制御部６８０によって仕掛ワーク進捗管理情報（新）６７０Ａのように着手順を変更する。つまり、着手順１にロット００２、着手順２にロット００１とする。

なお、仕掛ワーク進捗管理手段６６０および進捗制御部６８０は、実施の形態１で説明した治工具配備指示装置の制御部５１０と同様な機能を有する。

この方法によって、後工程で治工具の配備遅れによる滞留を抑制することができ、効率のよい生産を行うことが可能となる。

図４２は、本実施の形態における治工具配備指示装置５００Ｂの内部の構成を示すブロック図である。

図４２を参照して、治工具配備指示装置５００Ｂは、図２の治工具配備指示装置５００と比較して、記録媒体５５５の代わりに記録媒体５５５Ｂにデータアクセスする点と、記憶部５２０に、治工具配備指示プログラム１８０の代わりに治工具配備指示プログラム１８０Ｂが記録されている点と、記録媒体５５５Ａに治工具配備指示プログラム１８０Ｂが記録されている点と、生産設備２０２Ａ，２０２Ｂの代わりに、生産設備６１０，６２０にネットワークで接続されている点が異なる。それ以外の構成および機能は治工具配備指示装置５００と同様なので詳細な説明は繰り返さない。

なお、記憶部５２０には、前述した治工具の移動指示情報３９０Ａ、仕掛ワーク進捗管理情報（旧）６７０が記憶されているとする。

治工具配備指示装置５００Ｂにより、図４１に説明した進歩制御処理が行われる。
図４３は、進歩制御処理のフローチャートである。

図４３を参照して、ステップＳ５００では、制御部５１０が、記憶部５２０から、仕掛ワーク進捗管理情報（旧）６７０を読み出す。その後、ステップＳ５１０に進む。

ステップＳ５１０では、制御部５１０が、治工具の移動指示情報３９０Ａを読み出す。その後、ステップＳ５２０に進む。

ステップＳ５２０では、制御部５１０が、仕掛ワーク進捗管理情報（旧）６７０および治工具の移動指示情報３９０Ａに基づいて、複数の生産設備において所定順序で生産される各ロットに対し、必要な治工具の配備の遅れがあるか否かを判定する。

ステップＳ５２０において、ＹＥＳならば、ステップＳ５３０に進む。一方、ステップＳ５２０において、ＮＯならば、この進歩制御処理は、終了する。

ステップＳ５３０では、仕掛ワーク進捗管理情報（旧）６７０および治工具の移動指示情報３９０Ａに基づいて、ロットの生産順序が変更可能か否かを判定する。ステップＳ５３０において、ＹＥＳならば、ステップＳ５４０に進む。一方、ステップＳ５３０において、ＮＯならば、この進歩制御処理は、終了する。

ステップＳ５４０では、制御部５１０が、治工具の配備の遅れによる生産の滞留が生じないように仕掛ワーク進捗管理情報（旧）６７０を仕掛ワーク進捗管理情報（新）６７０Ａに変更する。制御部５１０は、変更した仕掛ワーク進捗管理情報（新）６７０Ａを記憶部５２０に記憶させる。これにより、この進歩制御処理は終了する。

生産設備６１０，６１１は、変更された仕掛ワーク進捗管理情報（新）６７０Ａに基づいて、仕掛ワークの生産を行なう。

以上の処理により、治工具の移動指示情報を活用し、治工具移動のスケジュールに合わせて各仕掛ワークの生産進捗を制御することで、仕掛ワークもタイムリーに生産進捗させることができ、また、後工程で治工具の配備遅れによる滞留を抑制することができ、効率のよい生産を行うことが可能となるという効果を奏する。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

本実施の形態における製造ラインを示す。 本実施の形態における治工具配備指示装置の内部の構成を示すブロック図である。 生産状況情報に含まれる情報を示す図である。 生産状況情報に含まれる各情報の一例を示した図である。 治工具の移動指示情報の一例を示した図である。 本実施の形態における大まかな処理の流れを示すフローチャートである。 治工具配備先計算処理のフローチャートである。 一例としての治工具毎時刻別生産負荷値データテーブルを示す図である。 一例としての治工具毎時刻別生産負荷値データテーブルを示す図である。 生産設備毎の使用治工具の組合せの一例である。 生産設備毎の使用治工具の組合せの一例である。 治工具配備先情報算出処理のフローチャートである。 一例としての治工具配備状態組合せリストを示す図である。 一例としての治工具配備状態組合せソートリストを示す図である。 一例としての治工具配備先情報を示す図である。 治工具移動指示情報算出処理のフローチャートである。 治工具移動予定時刻算出処理のフローチャートである。 移動必要治工具情報を示す図である。 一例としての仕掛ワーク進捗管理情報を示す図である。 一例としての治工具移動予定時刻情報を示す図である。 治工具移動作業量算出処理を説明するための図である。 一例としての治工具移動作業量情報を示す図である。 治工具移動指示情報最終決定処理のフローチャートである。 一例としての治工具の移動指示情報を示した図である。 治工具の代替移動手段が存在する場合の図を示している。 治工具の移動作業量の前倒しが可能な状態の図である。 一例としての最新の設備稼働状態情報を示す図である。 本実施の形態における製造ラインを示す。 本実施の形態における製造ラインを示す。 治工具配備スペースを生産設備内部に設けた例を説明した図である。 本実施の形態における製造ラインを示す。 本実施の形態における治工具配備指示装置の内部の構成を示すブロック図である。 本実施の形態における大まかな処理の流れを示すフローチャートである。 治工具配備先計算処理Ａのフローチャートである。 一例としての治工具毎生産負荷情報、生産負荷ばらつき関係情報および治工具毎生産負荷標準偏差情報を示す図である。 治工具配備先情報算出処理Ａのフローチャートである。 一例としての治工具配備状態組合せリストを示す図である。 一例としての治工具配備状態組合せソートリストを示す図である。 一例としての治工具配備データと、対応するデータとを示す図である。 一例としての治工具配備データと、対応するデータとを示す図である。 仕掛ワークの進捗を制御する例を説明する図である。 本実施の形態における治工具配備指示装置の内部の構成を示すブロック図である。 進歩制御処理のフローチャートである。 半導体ウエハ製造ラインで治工具を必要とする露光工程を説明するための図である。 半導体ウエハ検査ラインで治工具を必要とするプローブ検査工程を説明するための図である。 生産設備と治工具の数が１対１の場合を説明する図である。 生産設備と治工具の数が１対ｎの場合を説明する図である。 治工具保管棚が生産設備と近接している場合を説明する図である。 治工具が生産設備間を移動しないことを説明する図である。 治工具が生産設備間を移動することを説明する図である。 発明が解決しようとする課題を説明する図である。

符号の説明

１８０，１８０Ａ，１８０Ｂ 治工具配備指示プログラム、２０１ 仕掛ワーク群、２０２Ａ，２０２Ｂ，６１０，６１１ 生産設備、２０３ 治工具群、２０４Ａ，２０４Ｂ 配備スペース、３０１ ラインコントローラ、３０２ 搬送機器、５００，５００Ａ，５００Ｂ 治工具配備指示装置、５１０ 制御部、５２０ 記憶部、５３０ 表示部、５３２ ＶＤＰ、５５５，５５５Ａ，５５５Ｂ 記録媒体、１０００，１０００Ａ，１０００Ｂ 製造ライン。

Claims (14)

1. 被生産物である複数の仕掛ワークと、各前記仕掛ワークを生産する複数の生産設備と、前記複数の生産設備の少なくとも１つで必要に応じて使用される複数の治工具と、指示情報に基づいて、前記複数の治工具のいずれかを前記複数の生産設備のいずれかへ移動させるための治工具移動手段とを備える製造ラインにおいて、前記複数の治工具のいずれかを、必要とする生産設備へ移動させるための情報である治工具移動指示情報を前記治工具移動手段に与える治工具配備指示装置であって、
   前記複数の生産設備の各々が前記仕掛ワークを生産するために必要な生産状況情報を取得する生産状況情報取得部と、
   前記生産状況情報を記憶する記憶部とを備え、
   前記生産状況情報は、前記複数の仕掛ワークに関する情報と、前記複数の生産設備に関する情報と、前記複数の治工具に関する情報と、前記治工具移動手段に関する情報とを含み、
   前記生産状況情報に基づいて、前記複数の治工具を、現状の配備位置から、前記複数の生産設備のいずれに配備するかを示す情報であって、前記複数の生産設備の時系列における生産負荷のばらつきを少なくした治工具配備先情報を算出する治工具配備先情報算出部と、
   前記治工具移動手段に対し、前記現状の配備位置から、前記治工具配備先情報に基づいた前記複数の生産設備のいずれかの配備先へ、前記複数の治工具のいずれかを移動させることによる各前記治工具の移動作業量を示す情報である治工具移動作業量を、所定時間単位で算出する治工具移動作業量算出部と、
   前記所定時間単位で算出された治工具移動作業量が、前記治工具移動手段に関する情報に基づく所定の許容移動作業量を超えている時間が存在する場合、前記複数の仕掛ワークに関する情報と、前記治工具配備先情報とに基づいて、前記超えている時間が存在しない、治工具移動指示情報を生成する、治工具移動指示情報生成部とをさらに備える、治工具配備指示装置。
2. 前記複数の仕掛ワークに関する情報は、前記複数の仕掛ワークの各々について、使用する前記治工具情報と、前記仕掛ワークの生産時間情報と、前記使用する治工具が使用可能となる時間の情報とを含み、
   前記治工具配備先情報算出部は、
   前記複数の治工具の各々の配備先を、前記複数の生産設備の中から重複を妨げないで選択した組合せの情報を、重複せずに複数個生成するための組合せ情報生成部と、
   前記複数の仕掛ワークの各々についての前記使用する治工具情報と、前記仕掛ワークの生産時間情報と、前記治工具が使用可能となる時間の情報とに基づいて、前記生成された複数の組合せの情報の各々の前記治工具毎の所定時間間隔での生産量負荷情報を算出するための生産量負荷算出部と、
   前記算出された複数の前記治工具毎の所定時間間隔での生産量負荷情報に基づいて、前記複数の組合せの情報のうち、前記複数の生産設備の各々の生産負荷のばらつきが最も少なくなる組合せの情報を選択する情報選択部と、
   前記選択された組合せの情報に基づいて、前記治工具配備先情報を算出するための情報算出部とを含む、請求項１に記載の治工具配備指示装置。
3. 前記記憶部は、治工具毎の生産負荷情報と、治工具毎の生産負荷に応じて定められているばらつき情報とを記憶しており、
   前記治工具配備先情報算出部は、
   前記複数の治工具の各々の配備先を、前記複数の生産設備の中から重複を妨げないで選択した組合せの情報を、重複せずに複数個生成するための組合せ情報生成部と、
   前記治工具毎の生産負荷情報と、前記ばらつき情報とに基づいて、前記複数の組合せの情報のうち、前記複数の生産設備の各々の生産負荷のばらつきが最も少なくなる組合せの情報を選択する情報選択部と、
   前記選択された組合せの情報に基づいて、前記治工具配備先情報を算出するための情報算出部とを含む、請求項１に記載の治工具配備指示装置。
4. 前記治工具移動指示情報生成部は、前記所定時間単位で算出された治工具移動作業量が、前記治工具移動手段に関する情報に基づく所定の許容移動作業量を超えている時間が存在する場合、前記超えている時間において、前記治工具移動手段の前記治工具の移動時間を変更させた治工具移動指示情報を、前記複数の仕掛ワークに関する情報と、前記治工具配備先情報とに基づいて生成する、請求項１に記載の治工具配備指示装置。
5. 前記治工具移動指示情報生成部は、前記所定時間単位で算出された治工具移動作業量が、前記治工具移動手段に関する情報に基づく所定の許容移動作業量を超えている時間が存在する場合、前記超えている時間において、前記治工具配備先情報に基づいた治工具の配備先とは異なる配備先へ、前記治工具の配備先を変更した治工具移動指示情報を、前記複数の仕掛ワークに関する情報と、前記治工具配備先情報とに基づいて生成する、請求項１に記載の治工具配備指示装置。
6. 前記製造ラインは、前記治工具を、前記複数の生産設備のいずれかへ移動させる他の治工具移動手段をさらに備え、
   前記治工具移動指示情報生成部は、前記所定時間単位で算出された治工具移動作業量が、前記治工具移動手段に関する情報に基づく所定の許容移動作業量を超えている時間が存在する場合であって、かつ、対応する治工具移動手段の代替となる前記他の治工具移動手段が利用可能な場合、前記超えている時間において、前記他の治工具移動手段を、前記対応する治工具移動手段の代わりとした治工具移動指示情報を、前記複数の仕掛ワークに関する情報と、前記治工具配備先情報とに基づいて生成する、請求項１に記載の治工具配備指示装置。
7. 治工具の配備の遅れがある生産設備がある場合、前記複数の仕掛ワークの各々に対し、前記複数の生産設備における、生産順の情報と、生産開示時間の情報とを含んだ仕掛ワーク進捗管理情報と、前記治工具移動指示情報とに基づいて、前記複数の仕掛ワークの生産順序を変更する生産順序管理部をさらに備える、請求項１に記載の治工具配備指示装置。
8. 被生産物である複数の仕掛ワークと、各前記仕掛ワークを生産する複数の生産設備と、前記複数の生産設備の少なくとも１つで必要に応じて使用される複数の治工具と、指示情報に基づいて、前記複数の治工具のいずれかを指示情報に基づいて前記複数の生産設備のいずれかへ移動させるための治工具移動手段とを備える製造ラインにおいて、前記複数の治工具のいずれかを、必要とする生産設備へ移動させるための情報である治工具移動指示情報を前記治工具移動手段に与える治工具配備指示方法であって、
   前記複数の生産設備の各々が前記仕掛ワークを生産するために必要な生産状況情報を取得する工程とを含み、
   前記生産状況情報は、前記複数の仕掛ワークに関する情報と、前記複数の生産設備に関する情報と、前記複数の治工具に関する情報と、前記治工具移動手段に関する情報とを含み、
   前記生産状況情報に基づいて、前記複数の治工具を、現状の配備位置から、前記複数の生産設備のいずれに配備するかを示す情報であって、前記複数の生産設備の時系列における生産負荷のばらつきを少なくした治工具配備先情報を算出する工程と、
   前記治工具移動手段に対し、前記現状の配備位置から、前記治工具配備先情報に基づいた前記複数の生産設備のいずれかの配備先へ、前記複数の治工具のいずれかを移動させることによる各前記治工具の移動作業量を示す情報である治工具移動作業量を、所定時間単位で算出する工程と、
   前記所定時間単位で算出された治工具移動作業量が、前記治工具移動手段に関する情報に基づく所定の許容移動作業量を超えている時間が存在する場合、前記複数の仕掛ワークに関する情報と、前記治工具配備先情報とに基づいて、前記超えている時間が存在しない、治工具移動指示情報を生成する工程とをさらに含む、治工具配備指示方法。
9. 前記複数の仕掛ワークに関する情報は、前記複数の仕掛ワークの各々について、使用する前記治工具情報と、前記仕掛ワークの生産時間情報と、前記使用する治工具が使用可能となる時間の情報とを含み、
   前記治工具配備先情報を算出する工程は、
   前記複数の治工具の各々の配備先を、前記複数の生産設備の中から重複を妨げないで選択した組合せの情報を、重複せずに複数個生成する工程と、
   前記複数の仕掛ワークの各々についての前記使用する治工具情報と、前記仕掛ワークの生産時間情報と、前記治工具が使用可能となる時間の情報とに基づいて、前記生成された複数の組合せの情報の各々の前記治工具毎の所定時間間隔での生産量負荷情報を算出する工程と、
   前記算出された複数の前記治工具毎の所定時間間隔での生産量負荷情報に基づいて、前記複数の組合せの情報のうち、前記複数の生産設備の各々の生産負荷のばらつきが最も少なくなる組合せの情報を選択する工程と、
   前記選択された組合せの情報に基づいて、前記治工具配備先情報を算出する工程とを含む、請求項８に記載の治工具配備指示方法。
10. コンピュータの記憶部には、治工具毎の生産負荷情報と、治工具毎の生産負荷に応じて定められているばらつき情報とが記憶されており、
    前記治工具配備先情報を算出する工程は、
    前記複数の治工具の各々の配備先を、前記複数の生産設備の中から重複を妨げないで選択した組合せの情報を、重複せずに複数個生成する工程と、
    前記治工具毎の生産負荷情報と、前記ばらつき情報とに基づいて、前記複数の組合せの情報のうち、前記複数の生産設備の各々の生産負荷のばらつきが最も少なくなる組合せの情報を選択する工程と、
    前記選択された組合せの情報に基づいて、前記治工具配備先情報を算出する工程とを含む、請求項８に記載の治工具配備指示方法。
11. 前記治工具移動指示情報を生成する工程は、前記所定時間単位で算出された治工具移動作業量が、前記治工具移動手段に関する情報に基づく所定の許容移動作業量を超えている時間が存在する場合、前記超えている時間において、前記治工具移動手段の前記治工具の移動時間を変更させた治工具移動指示情報を、前記複数の仕掛ワークに関する情報と、前記治工具配備先情報とに基づいて生成する工程を含む、請求項８に記載の治工具配備指示方法。
12. 前記治工具移動指示情報を生成する工程は、前記所定時間単位で算出された治工具移動作業量が、前記治工具移動手段に関する情報に基づく所定の許容移動作業量を超えている時間が存在する場合、前記超えている時間において、前記治工具配備先情報に基づいた治工具の配備先とは異なる配備先へ、前記治工具の配備先を変更した治工具移動指示情報を、前記複数の仕掛ワークに関する情報と、前記治工具配備先情報とに基づいて生成する工程を含む、請求項８に記載の治工具配備指示方法。
13. 前記製造ラインは、前記治工具を、前記複数の生産設備のいずれかへ移動させる他の治工具移動手段をさらに備え、
    前記治工具移動指示情報を生成する工程は、前記所定時間単位で算出された治工具移動作業量が、前記治工具移動手段に関する情報に基づく所定の許容移動作業量を超えている時間が存在する場合であって、かつ、対応する治工具移動手段の代替となる前記他の治工具移動手段が利用可能な場合、前記超えている時間において、前記他の治工具移動手段を、前記対応する治工具移動手段の代わりとした治工具移動指示情報を、前記複数の仕掛ワークに関する情報と、前記治工具配備先情報とに基づいて生成する工程を含む、請求項８に記載の治工具配備指示方法。
14. 治工具の配備の遅れがある生産設備がある場合、前記複数の仕掛ワークの各々に対し、前記複数の生産設備における、生産順の情報と、生産開示時間の情報とを含んだ仕掛ワーク進捗管理情報と、前記治工具移動指示情報とに基づいて、前記複数の仕掛ワークの生産順序を変更する工程をさらに含む、請求項８に記載の治工具配備指示方法。

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