JP2006251087A - 半導体光変調器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の一実施例による半導体光変調器の光導波路は、電気光学効果を有する光導波層20と、n型半導体からなるクラッド層10と、このクラッド層と光導波層との間に設けられた中間層40とを備える。この中間層40の伝導帯エネルギー準位を、n型半導体のクラッド層10よりも高くなるように構成することによって、n型半導体のクラッド層10からノンドープ層である光導波層20への電子1の拡散が防止される。これにより、光導波層20は電界を印加しない状態でも空乏化され、それゆえ、低いバイアス電圧でも電気光学効果による高効率な光変調を行うことが可能となる。
【選択図】 図1
Description
2 空乏領域
3 正孔
10、10a、10b n型半導体クラッド層
20 ノンドープ層/光導波層
30 p型半導体クラッド層
40、40a、40b、50 中間層
100 半導体変調器
110 入力導波路
120a 光分岐器
120b 光合波器
130 位相変調導波路
140 出力光導波路
150a、150b 高周波電界印加線路
Claims (11)
- 半導体光導波層と、半導体クラッド層とを備えた導波路を有する半導体光変調器において、
前記半導体光導波層と前記半導体クラッド層との間にあって、前記半導体クラッド層から前記半導体光導波層への多数キャリアの拡散を防ぐポテンシャル障壁となる中間層を備えたことを特徴とする半導体光変調器。 - 請求項1に記載の半導体光変調器において、
前記半導体クラッド層は、n型半導体クラッド層であり、
前記中間層は、伝導帯エネルギー準位が前記n型半導体クラッド層より高いことを特徴とする半導体光変調器。 - 請求項2に記載の半導体光変調器において、
前記中間層は、InAlAsを含むことを特徴とする半導体光変調器。 - 請求項1に記載の半導体光変調器において、
前記半導体クラッド層は、p型半導体クラッド層であり、
前記中間層は、価電子帯エネルギー準位が前記p型半導体クラッド層より低いことを特徴とする半導体光変調器。 - 請求項4に記載の半導体光変調器において、
前記中間層は、InGaAsPを含むことを特徴とする半導体光変調器。 - 電気光学効果を有する半導体光導波層と、該半導体層の上下を挟む第1のクラッド層と、該第1のクラッド層の上下を挟む第2のクラッド層を備えた半導体へテロ構造の光導波路を有する半導体光変調器において、
前記第2のクラッド層の少なくとも一方は、n型半導体層で構成され、
前記n型光導波層に接する前記第1のクラッド層は、伝導帯エネルギー準位が前記n型半導体層より高いことを特徴とする半導体光変調器。 - 請求項6に記載の半導体光変調器において、
前記第2のクラッド層は、ともにn型半導体層で構成されたことを特徴とする半導体光変調器。 - 電気光学効果を有する半導体光導波層と、該半導体層の上下を挟む第1のクラッド層と、該第1のクラッド層の上下を挟む第2のクラッド層を備えた半導体へテロ構造の光導波路を有する半導体光変調器において、
前記第2のクラッド層の少なくとも一方は、p型半導体層で構成され、
前記p型光導波層に接する前記第1のクラッド層は、価電子帯エネルギー準位が前記p型半導体層より低いことを特徴とする半導体光変調器。 - 請求項6ないし8のいずれかに記載の半導体光変調器において、
前記第1のクラッド層は、InAlAsを含むことを特徴とする半導体光変調器。 - 請求項8に記載の半導体光変調器において、
前記第1のクラッド層は、InGaAsPを含むことを特徴とする半導体光変調器。 - 請求項1ないし10のいずれかに記載の半導体光変調器であって、
マッハツェンダ干渉計により構成されたことを特徴とする半導体光変調器。
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