JP2006244769A - Laminated sheet, manufacturing method of back substrate for plasma display panel, back substrate for the plasma display panel and the plasma display panel - Google Patents

Laminated sheet, manufacturing method of back substrate for plasma display panel, back substrate for the plasma display panel and the plasma display panel Download PDF

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Yasushi Musashijima
康 武蔵島
Katsuya Kume
克也 久米
Norihide Baba
紀秀 馬場
Makoto Kai
誠 甲斐
Toshihiro Hatanaka
逸大 畑中
Shusuke Suzuki
秀典 鈴木
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laminated sheet used for simultaneously and integrally forming a dielectric layer and a barrier rib, without generating cracks or the like, to provide a manufacturing method of a back substrate for a plasma display panel capable of markedly reducing manufacturing processes by using the laminated sheet and superior in production efficiency, to provide a back substrate for a plasma display panel manufactured by the method, and to provide a plasma display panel that uses the back substrate. <P>SOLUTION: This laminated sheet is so structured that a viscoelastic layer is stacked on one surface side of a glass resin composition layer, containing inorganic powder and a binder resin; and the weight reduction rate of the viscoelastic layer in baking it, until a baking temperature becomes 400°C is 96% or lower and is used for integrally forming the dielectric layer and the barrier rib on a glass substrate having electrodes. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、誘電体層とバリアリブとを一体形成するために用いられる積層シート、該積層シートを用いたプラズマディスプレイパネル用背面基板の製造方法、プラズマディスプレイパネル用背面基板、及びプラズマディスプレイパネルに関する。   The present invention relates to a laminated sheet used for integrally forming a dielectric layer and a barrier rib, a method for producing a rear substrate for a plasma display panel using the laminated sheet, a rear substrate for a plasma display panel, and a plasma display panel.

近年、薄型平板状の大型ディスプレイとしては、液晶ディスプレイと共にプラズマディスプレイパネル(以下、「PDP」ともいう)が注目されている。   In recent years, plasma display panels (hereinafter also referred to as “PDPs”) have attracted attention as liquid crystal displays as thin flat large displays.

図1に3電極面放電型PDPの一例を示す。図1において、表示面となる前面ガラス基板1には、透明導電膜からなるサステイン電極(表示電極)2が形成され、サステイン電極2上には導電性を補う幅の狭い金属膜からなるバス電極3が形成されている。更に、サステイン電極2、バス電極3を被覆するように誘電体層4が形成され、該誘電体層4を被覆するようにMgO膜(保護層)5が形成されている。   FIG. 1 shows an example of a three-electrode surface discharge type PDP. In FIG. 1, a sustain electrode (display electrode) 2 made of a transparent conductive film is formed on a front glass substrate 1 serving as a display surface, and a bus electrode made of a narrow metal film that supplements conductivity is formed on the sustain electrode 2. 3 is formed. Further, a dielectric layer 4 is formed so as to cover the sustain electrode 2 and the bus electrode 3, and an MgO film (protective layer) 5 is formed so as to cover the dielectric layer 4.

一方、背面ガラス基板6には、金属膜からなるアドレス電極(データ電極)7が形成され、該アドレス電極7上には誘電体層8が形成されている。アドレス電極7の間には前面ガラス基板1と背面ガラス基板6の間隔を一定に保ち、放電空間を保持するバリアリブ9が形成されている。更に、誘電体層8及びバリアリブ9を被覆するように赤、緑、及び青の3原色の蛍光体層10が形成されている。そして、放電空間内には希ガスが封入され、アドレス電極7とサステイン電極2との各交点が画素セルを構成している。   On the other hand, an address electrode (data electrode) 7 made of a metal film is formed on the rear glass substrate 6, and a dielectric layer 8 is formed on the address electrode 7. Barrier ribs 9 are formed between the address electrodes 7 to keep the distance between the front glass substrate 1 and the rear glass substrate 6 constant and to maintain a discharge space. Further, a phosphor layer 10 of three primary colors of red, green and blue is formed so as to cover the dielectric layer 8 and the barrier rib 9. A rare gas is sealed in the discharge space, and each intersection of the address electrode 7 and the sustain electrode 2 forms a pixel cell.

誘電体層8の形成方法としては、ガラス粉末、バインダ樹脂及び溶剤を含有するペースト状組成物を電極が固定されたガラス基板の表面に直接塗布して膜形成材料層を形成し、膜形成材料層を焼成することにより、前記ガラス基板の表面に誘電体層を形成する方法が挙げられる。また、ガラス粉末、アクリル酸エステル系樹脂及び溶剤を含有するペースト状組成物を支持フィルム上に塗布して膜形成材料層を形成し、支持フィルム上に形成された膜形成材料層を、電極が固定されたガラス基板の表面に転写し、転写された膜形成材料層を焼成することにより、前記ガラス基板の表面に誘電体層を形成する方法が開示されている(特許文献1〜4)。   As a method of forming the dielectric layer 8, a film-forming material layer is formed by directly applying a paste-like composition containing glass powder, a binder resin and a solvent to the surface of a glass substrate on which an electrode is fixed. The method of forming a dielectric material layer on the surface of the said glass substrate by baking a layer is mentioned. In addition, a paste-form composition containing glass powder, an acrylate resin and a solvent is applied onto a support film to form a film-forming material layer, and the film-forming material layer formed on the support film A method of forming a dielectric layer on the surface of the glass substrate by transferring the film forming material layer onto the surface of the fixed glass substrate and firing the transferred film forming material layer is disclosed (Patent Documents 1 to 4).

放電空間を保持するバリアリブ9は、放電空間をできるだけ大きくして高輝度の発光を得るため高さの高い障壁であることが要求されており、通常100〜300μm程度の高さが必要である。従来、バリアリブ9は、ガラスペーストをリブパターン形成用印刷版を用いてスクリーン印刷により誘電体層8上に塗布し、乾燥する工程を十数回繰返すことによりガラス樹脂組成物層を形成し、該ガラス樹脂組成物層を焼結することにより形成されていた。ここで、スクリーン印刷による1回あたりの膜厚を厚くすると、塗膜の周辺部がダレて形状不良を起こすため、1回あたりの膜厚を10〜30μm程度としていた。そのため、前記バリアリブの形成方法は、ガラスペーストのスクリーン印刷、その後の乾燥を繰返し行う必要があり、バリアリブの形成精度が悪く、また生産性が悪いという問題を有していた。   The barrier rib 9 that holds the discharge space is required to be a high barrier in order to make the discharge space as large as possible to obtain high-luminance light emission, and usually requires a height of about 100 to 300 μm. Conventionally, the barrier rib 9 forms a glass resin composition layer by applying a glass paste on the dielectric layer 8 by screen printing using a printing plate for rib pattern formation, and repeating the drying step ten or more times. It was formed by sintering the glass resin composition layer. Here, when the film thickness per one time by the screen printing is increased, the peripheral portion of the coating film sags and causes a shape defect, so that the film thickness per time is about 10 to 30 μm. For this reason, the method for forming the barrier ribs requires the screen printing of the glass paste and the subsequent drying to be repeated, which has the problem that the formation accuracy of the barrier ribs is poor and the productivity is poor.

上記問題を解決する方法として、ガラス基板上に未硬化状態の厚さ100〜300μmであるドライガラスペーストフィルムとドライフォトレジストフィルムとを積層し、リブパターン用マスクを介して前記ドライフォトレジストフィルムを露光・現像する。その後、露光・現像されたドライフォトレジストフィルムをマスクとしてドライガラスペーストフィルムをサンドブラスト処理して放電空間形成用の凹部を形成し、前記ドライフォトレジストフィルムを除去すると共にドライガラスペーストフィルムを焼成してリブを形成する方法が開示されている(特許文献5)。   As a method of solving the above problem, a dry glass paste film having a thickness of 100 to 300 μm in an uncured state and a dry photoresist film are laminated on a glass substrate, and the dry photoresist film is interposed through a rib pattern mask. Exposure and development. Thereafter, the dry glass paste film is sandblasted using the exposed and developed dry photoresist film as a mask to form a recess for forming a discharge space, and the dry photoresist film is removed and the dry glass paste film is baked. A method of forming a rib is disclosed (Patent Document 5).

また、ベースフィルム上に障壁形成層を備えた転写シートからその障壁形成層をガラス基板上に転写し、転写された障壁形成層の上面にレジストパターンを形成し、該レジストパターンの開口部の障壁形成材料をサンドブラスト加工により除去する。その後、障壁形成材料上の残ったレジストを剥離し、焼成により障壁形成材料を焼結して障壁を形成する方法が開示されている(特許文献6)。   Further, the barrier forming layer is transferred onto a glass substrate from a transfer sheet having a barrier forming layer on the base film, a resist pattern is formed on the upper surface of the transferred barrier forming layer, and a barrier at the opening of the resist pattern is formed. The forming material is removed by sandblasting. Thereafter, a method is disclosed in which the remaining resist on the barrier forming material is peeled off and the barrier forming material is sintered by baking to form a barrier (Patent Document 6).

また、バリアリブ用粘着シートを背面ガラス基板に貼着し、150〜350℃で予備焼成した後、サンドブラストによりバリアリブ形状を形成し、さらに400〜750℃で焼成するバリアリブの形成方法が開示されている(特許文献7)。   In addition, a method for forming a barrier rib is disclosed in which a barrier rib adhesive sheet is attached to a rear glass substrate, pre-fired at 150 to 350 ° C., then formed into a barrier rib shape by sandblasting, and further fired at 400 to 750 ° C. (Patent Document 7).

また、ベースフィルムと、該ベースフィルム上に剥離可能に設けられた転写層と、該転写層上に設けられた応力吸収層とを備え、障壁等の高精度な膜厚パターン形成が可能な転写シートが開示されている(特許文献8)。   In addition, the transfer includes a base film, a transfer layer provided on the base film so as to be peelable, and a stress absorption layer provided on the transfer layer, and can form a highly accurate film thickness pattern such as a barrier. A sheet is disclosed (Patent Document 8).

また、基板上に結晶化ガラスを含む金属ペーストをアドレス電極のパターンに対応して形成し、該金属ペーストを含む基板上のほぼ全面に低融点ガラスペーストを形成し、さらに前記低融点ガラスペースト上の所定の位置に低融点ガラスの隔壁材料層を形成し、この後、前記金属ペーストと低融点ガラスペーストと低融点ガラス隔壁材料層を同時に焼成することにより、当該基板上にアドレス電極と誘電体層と隔壁の積層体を形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネル用背面基板の製造方法が開示されている(特許文献9)。   Further, a metal paste containing crystallized glass is formed on the substrate corresponding to the pattern of the address electrode, a low melting glass paste is formed on almost the entire surface of the substrate containing the metal paste, and the low melting glass paste is further formed on the low melting glass paste. A barrier material layer of low-melting glass is formed at a predetermined position, and then the metal paste, the low-melting glass paste, and the low-melting glass barrier material layer are fired at the same time, whereby an address electrode and a dielectric are formed on the substrate. A method for manufacturing a rear substrate for a plasma display panel, characterized in that a laminate of layers and barrier ribs is formed (Patent Document 9).

さらに、誘電体層形成層を基板上に形成する第1工程、該誘電体層形成層上に、障壁形成層を形成する第2工程、該障壁形成層上にレジストパターンを形成する第3工程、該レジストパターンの開口部の障壁形成層をサンドブラスト加工により除去する第4工程、障壁形成層上のレジストパターンを除去する第5工程、焼成により誘電体層形成層と障壁形成層を同時に焼結する第6工程からなるプラズマディスプレイパネルの形成方法が開示されている(特許文献10)。   Furthermore, a first step of forming a dielectric layer forming layer on the substrate, a second step of forming a barrier forming layer on the dielectric layer forming layer, and a third step of forming a resist pattern on the barrier forming layer The fourth step of removing the barrier forming layer at the opening of the resist pattern by sandblasting, the fifth step of removing the resist pattern on the barrier forming layer, and simultaneously sintering the dielectric layer forming layer and the barrier forming layer by firing A method for forming a plasma display panel comprising a sixth step is disclosed (Patent Document 10).

しかしながら、特許文献5〜7に記載のリブの形成方法は、電極が固定された背面ガラス基板上にまず誘電体層を形成し、その後に誘電体層上にリブを形成する方法であり、誘電体層を形成する工程とリブを形成する工程の2つの工程が必須である。上記リブの形成方法によりある程度の生産性の向上は見込めるが、誘電体層を形成する工程とリブを形成する工程の2つの工程は、従来と同様に必須であるため十分な生産性の向上は見込めない。また、特許文献8に記載の転写シートは、電極パターン、誘電体層、又は障壁(バリアリブ)をそれぞれ独立に形成するために用いられるものであり、誘電体層とバリアリブとを同時かつ一体的に形成するために用いられるものではない。   However, the rib forming methods described in Patent Documents 5 to 7 are methods in which a dielectric layer is first formed on a rear glass substrate on which electrodes are fixed, and then a rib is formed on the dielectric layer. Two steps, a step of forming a body layer and a step of forming a rib, are essential. Although a certain degree of productivity improvement can be expected by the above rib forming method, the two steps of forming the dielectric layer and the step of forming the rib are essential as in the conventional case, so that the sufficient productivity improvement is not possible. I can't expect. Further, the transfer sheet described in Patent Document 8 is used to independently form an electrode pattern, a dielectric layer, or a barrier (barrier rib), and the dielectric layer and the barrier rib are simultaneously and integrally formed. It is not used to form.

また、特許文献9に記載のPDP用背面基板の製造方法は、金属ペーストと低融点ガラスペーストと低融点ガラス隔壁材料層を同時に焼成することにより、基板上にアドレス電極と誘電体層と隔壁の積層体を形成することができるため、生産性の向上はある程度見込める。しかし、電極パターン形成後に低融点ガラスペーストを塗布して乾燥する工程、及び前記低融点ガラスペースト上にさらに低融点ガラス隔壁材料を形成する工程が必要になるため大幅な製造工程の短縮にはならない。   In addition, the manufacturing method of the rear substrate for PDP described in Patent Document 9 includes firing the metal paste, the low-melting glass paste, and the low-melting glass partition material layer at the same time, so that the address electrode, the dielectric layer, and the partition are formed on the substrate. Since a laminate can be formed, productivity can be improved to some extent. However, since a process of applying and drying a low-melting glass paste after electrode pattern formation and a process of forming a low-melting glass partition material on the low-melting glass paste are necessary, the manufacturing process is not greatly shortened. .

また、特許文献10に記載のプラズマディスプレイパネルの形成方法は、誘電体層形成層と障壁形成層を同時に焼結することにより、基板上に誘電体層と隔壁層とを同時に形成することができるため、生産性の向上はある程度見込める。しかし、誘電体層形成層を基板上に形成する第1工程、及び該誘電体層形成層上に障壁形成層を形成する第2工程が必要になるため大幅な製造工程の短縮にはならない。さらに、障壁形成層形成用転写シートを用いる場合には、シートの転写性を向上させるために障壁形成層形成材料に可塑剤を添加しており、サンドブラスト加工に際しての作業性や可塑剤のブリードによるレジストパターンへの影響を防止し、障壁形成層の形状を良好にするために、転写後に加熱により可塑剤を除去する工程が必要であり、製造工程が煩雑になる。   In the method for forming a plasma display panel described in Patent Document 10, the dielectric layer and the barrier layer can be simultaneously formed on the substrate by simultaneously sintering the dielectric layer forming layer and the barrier forming layer. Therefore, productivity improvement can be expected to some extent. However, since the first step of forming the dielectric layer forming layer on the substrate and the second step of forming the barrier forming layer on the dielectric layer forming layer are required, the manufacturing process is not greatly shortened. Furthermore, when using a transfer sheet for forming a barrier forming layer, a plasticizer is added to the barrier forming layer forming material in order to improve the transferability of the sheet. In order to prevent the influence on the resist pattern and to improve the shape of the barrier forming layer, a process of removing the plasticizer by heating after transfer is necessary, and the manufacturing process becomes complicated.

一方、本発明者らは、前記従来技術の課題を解決するために、電極を有するガラス基板上に誘電体層とバリアリブとを同時かつ一体的に形成するために用いられる積層シートを開発した(本件出願時未公開)。   On the other hand, the present inventors have developed a laminated sheet used to simultaneously and integrally form a dielectric layer and a barrier rib on a glass substrate having electrodes in order to solve the above-described problems of the prior art ( Not disclosed at the time of filing.

しかし、前記積層シートを用いて誘電体層とバリアリブとを同時かつ一体的に形成した場合、誘電体層にクラックが生じるという問題があった。
特開平9−102273号公報 特開平11−35780号公報 特開2001−185024号公報 国際公開第00/42622号パンフレット 特開平8−222135号公報 特開平8−273536号公報 特開平11−185603号公報 特開平11−260250号公報 特開2003−223851号公報 特開平10−144206号公報
However, when the dielectric layer and the barrier rib are formed simultaneously and integrally using the laminated sheet, there is a problem that a crack occurs in the dielectric layer.
JP-A-9-102273 Japanese Patent Laid-Open No. 11-35780 Japanese Patent Laid-Open No. 2001-185024 International Publication No. 00/42622 Pamphlet JP-A-8-222135 JP-A-8-273536 JP 11-185603 A JP 11-260250 A Japanese Patent Laid-Open No. 2003-223851 JP-A-10-144206

本発明は、このような従来技術の課題を解決したものであって、誘電体層とバリアリブとをクラック等の欠陥を生じさせることなく同時かつ一体的に形成するために用いられる積層シートを提供することを目的とする。また、該積層シートを用いることにより製造工程を大幅に削減した生産効率に優れるプラズマディスプレイパネル用背面基板の製造方法を提供することを目的とする。さらには、前記方法により製造されるプラズマディスプレイパネル用背面基板、及び該背面基板を用いたプラズマディスプレイパネルを提供することを目的とする。   The present invention solves such problems of the prior art, and provides a laminated sheet used for forming a dielectric layer and a barrier rib simultaneously and integrally without causing defects such as cracks. The purpose is to do. Moreover, it aims at providing the manufacturing method of the back substrate for plasma display panels which is excellent in the production efficiency which reduced the manufacturing process significantly by using this laminated sheet. Furthermore, it aims at providing the back substrate for plasma display panels manufactured by the said method, and the plasma display panel using this back substrate.

本発明者らは、前記課題を解決すべく鋭意検討した結果、以下に示す積層シートにより上記目的を達成できることを見出し本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have found that the above object can be achieved by the laminated sheet shown below, and have completed the present invention.

すなわち、本発明は、無機粉体及びバインダ樹脂を含有するガラス樹脂組成物層の片面側に粘弾性層が積層されており、前記粘弾性層は、焼成温度が400℃になるまで焼成した際の重量減少率が96%以下である、電極を有するガラス基板上に誘電体層とバリアリブとを一体形成するために用いられる積層シート、に関する。   That is, in the present invention, a viscoelastic layer is laminated on one side of a glass resin composition layer containing an inorganic powder and a binder resin, and the viscoelastic layer is fired until the firing temperature reaches 400 ° C. Is a laminated sheet used for integrally forming a dielectric layer and a barrier rib on a glass substrate having an electrode, the weight reduction rate of which is 96% or less.

前記積層シートは、ガラス樹脂組成物層の他面側にベースフィルムが積層されていることが好ましい。また前記積層シートは、ガラス樹脂組成物層とベースフィルムとの間にフォトレジスト層が積層されていることが好ましい。   The laminated sheet preferably has a base film laminated on the other surface side of the glass resin composition layer. The laminated sheet preferably has a photoresist layer laminated between the glass resin composition layer and the base film.

本発明のPDP用背面基板の製造方法は、電極を有するガラス基板上に請求項1記載の積層シートの粘弾性層を貼り合わせる貼付け工程、該ガラス樹脂組成物層の面上にレジストパターンを形成するパターン形成工程、該レジストパターンの開口部のガラス樹脂組成物層をサンドブラスト処理することにより、バリアリブ形成隔壁と、電極を被覆する誘電体層形成膜とを一体形成するサンドブラスト工程、バリアリブ形成隔壁と誘電体層形成膜とを焼結することによりバリアリブと誘電体層とを一体形成する焼成工程、を含むことを特徴とする。   The manufacturing method of the back substrate for PDP of the present invention is a bonding step of bonding the viscoelastic layer of the laminated sheet according to claim 1 on a glass substrate having electrodes, and forming a resist pattern on the surface of the glass resin composition layer A pattern forming step, a sandblasting step of integrally forming a barrier rib forming partition and a dielectric layer forming film covering the electrode by sandblasting the glass resin composition layer in the opening of the resist pattern, and a barrier rib forming partition And a firing step of integrally forming the barrier rib and the dielectric layer by sintering the dielectric layer forming film.

本発明の別のPDP用背面基板の製造方法は、金属ペーストからなる電極パターンをガラス基板上に形成する電極パターン形成工程、電極パターンを有するガラス基板上に請求項1記載の積層シートの粘弾性層を貼り合わせる貼付け工程、該ガラス樹脂組成物層の面上にレジストパターンを形成するパターン形成工程、該レジストパターンの開口部のガラス樹脂組成物層をサンドブラスト処理することにより、バリアリブ形成隔壁と、電極パターンを被覆する誘電体層形成膜とを一体形成するサンドブラスト工程、電極パターン、バリアリブ形成隔壁、及び誘電体層形成膜を焼結することにより、電極を形成し、かつバリアリブと誘電体層とを一体形成する焼成工程、を含むことを特徴とする。   The manufacturing method of the back substrate for PDP of this invention is an electrode pattern formation process which forms the electrode pattern which consists of metal pastes on a glass substrate, The viscoelasticity of the lamination sheet of Claim 1 on the glass substrate which has an electrode pattern A bonding step of laminating layers, a pattern forming step of forming a resist pattern on the surface of the glass resin composition layer, a sandblast treatment of the glass resin composition layer in the opening of the resist pattern, and a barrier rib-forming partition wall; An electrode is formed by sintering a sandblasting process for integrally forming a dielectric layer forming film covering the electrode pattern, an electrode pattern, a barrier rib forming partition wall, and a dielectric layer forming film, and the barrier rib and the dielectric layer Including a baking step of integrally forming the substrate.

本発明の別のPDP用背面基板の製造方法は、電極を有するガラス基板上に請求項2記載の積層シートの粘弾性層を貼り合わせる貼付け工程、該積層シートからベースフィルムを剥離する剥離工程、ガラス樹脂組成物層の面上にレジストパターンを形成するパターン形成工程、該レジストパターンの開口部のガラス樹脂組成物層をサンドブラスト処理することにより、バリアリブ形成隔壁と、電極を被覆する誘電体層形成膜とを一体形成するサンドブラスト工程、バリアリブ形成隔壁と誘電体層形成膜とを焼結することによりバリアリブと誘電体層とを一体形成する焼成工程、を含むことを特徴とする。   Another manufacturing method of the back substrate for PDP of the present invention is a pasting step of bonding the viscoelastic layer of the laminated sheet according to claim 2 on a glass substrate having electrodes, a peeling step of peeling the base film from the laminated sheet, A pattern forming step of forming a resist pattern on the surface of the glass resin composition layer, a barrier rib-forming partition wall and a dielectric layer covering the electrode by sandblasting the glass resin composition layer at the opening of the resist pattern It includes a sand blasting process for integrally forming the film, and a firing process for integrally forming the barrier rib and the dielectric layer by sintering the barrier rib forming partition wall and the dielectric layer forming film.

本発明の別のPDP用背面基板の製造方法は、金属ペーストからなる電極パターンをガラス基板上に形成する電極パターン形成工程、電極パターンを有するガラス基板上に請求項2記載の積層シートの粘弾性層を貼り合わせる貼付け工程、該積層シートからベースフィルムを剥離する剥離工程、ガラス樹脂組成物層の面上にレジストパターンを形成するパターン形成工程、該レジストパターンの開口部のガラス樹脂組成物層をサンドブラスト処理することにより、バリアリブ形成隔壁と、電極パターンを被覆する誘電体層形成膜とを一体形成するサンドブラスト工程、電極パターン、バリアリブ形成隔壁、及び誘電体層形成膜を焼結することにより、電極を形成し、かつバリアリブと誘電体層とを一体形成する焼成工程、を含むことを特徴とする。   The manufacturing method of the back substrate for another PDP of the present invention includes an electrode pattern forming step of forming an electrode pattern made of a metal paste on a glass substrate, and the viscoelasticity of the laminated sheet according to claim 2 on the glass substrate having the electrode pattern. A step of attaching the layers, a peeling step of peeling the base film from the laminated sheet, a pattern forming step of forming a resist pattern on the surface of the glass resin composition layer, and a glass resin composition layer at the opening of the resist pattern. By sandblasting, the barrier rib forming partition and the dielectric layer forming film that covers the electrode pattern are integrally formed by a sand blasting process, the electrode pattern, the barrier rib forming partition, and the dielectric layer forming film are sintered. And a firing step of integrally forming the barrier rib and the dielectric layer. That.

前記製造方法において、パターン形成工程が、ガラス樹脂組成物層上にフォトレジスト層とパターン形成用マスクとを積層し、パターン形成用マスクを介してフォトレジスト層を露光・現像してレジストパターンを形成する工程であることが好ましい。   In the manufacturing method, in the pattern formation step, a photoresist layer and a pattern formation mask are stacked on the glass resin composition layer, and the photoresist layer is exposed and developed through the pattern formation mask to form a resist pattern. It is preferable that it is a process to perform.

本発明の別のPDP用背面基板の製造方法は、電極を有するガラス基板上に請求項3記載の積層シートの粘弾性層を貼り合わせる貼付け工程、該積層シートからベースフィルムを剥離する剥離工程、ガラス樹脂組成物層の面上にレジストパターンを形成するパターン形成工程、該レジストパターンの開口部のガラス樹脂組成物層をサンドブラスト処理することにより、バリアリブ形成隔壁と、電極を被覆する誘電体層形成膜とを一体形成するサンドブラスト工程、バリアリブ形成隔壁と誘電体層形成膜とを焼結することによりバリアリブと誘電体層とを一体形成する焼成工程、を含むことを特徴とする。   Another manufacturing method of the back substrate for PDP of the present invention includes a pasting step of bonding the viscoelastic layer of the laminated sheet according to claim 3 on a glass substrate having electrodes, a peeling step of peeling the base film from the laminated sheet, A pattern forming step of forming a resist pattern on the surface of the glass resin composition layer, a barrier rib-forming partition wall and a dielectric layer covering the electrode by sandblasting the glass resin composition layer at the opening of the resist pattern It includes a sand blasting process for integrally forming the film, and a firing process for integrally forming the barrier rib and the dielectric layer by sintering the barrier rib forming partition wall and the dielectric layer forming film.

本発明の別のPDP用背面基板の製造方法は、金属ペーストからなる電極パターンをガラス基板上に形成する電極パターン形成工程、電極パターンを有するガラス基板上に請求項3記載の積層シートの粘弾性層を貼り合わせる貼付け工程、該積層シートからベースフィルムを剥離する剥離工程、ガラス樹脂組成物層の面上にレジストパターンを形成するパターン形成工程、該レジストパターンの開口部のガラス樹脂組成物層をサンドブラスト処理することにより、バリアリブ形成隔壁と、電極パターンを被覆する誘電体層形成膜とを一体形成するサンドブラスト工程、電極パターン、バリアリブ形成隔壁、及び誘電体層形成膜を焼結することにより、電極を形成し、かつバリアリブと誘電体層とを一体形成する焼成工程、を含むことを特徴とする。   The manufacturing method of the back substrate for PDP of this invention is an electrode pattern formation process which forms the electrode pattern which consists of metal pastes on a glass substrate, The viscoelasticity of the lamination sheet of Claim 3 on the glass substrate which has an electrode pattern A step of attaching the layers, a peeling step of peeling the base film from the laminated sheet, a pattern forming step of forming a resist pattern on the surface of the glass resin composition layer, and a glass resin composition layer at the opening of the resist pattern. By sandblasting, the barrier rib forming partition and the dielectric layer forming film that covers the electrode pattern are integrally formed by a sand blasting process, the electrode pattern, the barrier rib forming partition, and the dielectric layer forming film are sintered. And a firing step of integrally forming the barrier rib and the dielectric layer. That.

上記製造方法において、パターン形成工程が、フォトレジスト層上にパターン形成用マスクを積層し、パターン形成用マスクを介してフォトレジスト層を露光・現像してレジストパターンを形成する工程であることが好ましい。   In the above manufacturing method, the pattern formation step is preferably a step of laminating a pattern formation mask on the photoresist layer and exposing and developing the photoresist layer through the pattern formation mask to form a resist pattern. .

本発明のPDP用背面基板の製造方法においては、サンドブラスト工程と焼成工程との間に、ガラス樹脂組成物層上のレジストパターンを除去する工程を含むことが好ましい。   In the manufacturing method of the back substrate for PDP of this invention, it is preferable to include the process of removing the resist pattern on a glass resin composition layer between a sandblasting process and a baking process.

また本発明は、前記の方法により製造されるPDP用背面基板、に関する。   The present invention also relates to a PDP rear substrate manufactured by the above method.

さらに本発明は、前記PDP用背面基板を用いたPDP、に関する。   The present invention further relates to a PDP using the PDP back substrate.

以下、本発明について詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明の積層シートは、図2に示すように、無機粉体及びバインダ樹脂を含有するガラス樹脂組成物層11の片面側に粘弾性層12が積層されているものであり、電極を有するガラス基板上に誘電体層とバリアリブとを一体形成するために用いられる。本発明の積層シートは、ガラス樹脂組成物層11の他面側にベースフィルム13を有することが好ましい。ベースフィルム13を用いることによりガラス樹脂組成物層11の形成が容易になる。また、電極又は電極パターン(焼結することにより電極となるもの)を有するガラス基板表面上に積層シートを一括転写することができるため好ましい。また、本発明の積層シートは、粘弾性層12の表面に保護フィルム14を有することが好ましい。保護フィルム14を設けることにより、積層シートをロール状に巻き取った状態で保存し、供給することができる。   As shown in FIG. 2, the laminated sheet of the present invention is a glass in which a viscoelastic layer 12 is laminated on one side of a glass resin composition layer 11 containing an inorganic powder and a binder resin, and has an electrode. It is used to integrally form a dielectric layer and barrier ribs on a substrate. The laminated sheet of the present invention preferably has a base film 13 on the other surface side of the glass resin composition layer 11. By using the base film 13, the glass resin composition layer 11 can be easily formed. Moreover, since a lamination sheet can be collectively transferred onto the glass substrate surface which has an electrode or an electrode pattern (what turns into an electrode by sintering), it is preferable. The laminated sheet of the present invention preferably has a protective film 14 on the surface of the viscoelastic layer 12. By providing the protective film 14, a laminated sheet can be preserve | saved and supplied in the state wound up by roll shape.

さらに、本発明の積層シートは、図3に示すように、ガラス樹脂組成物層11とベースフィルム13との間にフォトレジスト層15が積層されていてもよい。フォトレジスト層15を予めガラス樹脂組成物層11の片面に設けておくことにより、ガラス樹脂組成物層11の面上にレジストパターンを形成するパターン形成工程を簡略化することができる。   Furthermore, in the laminated sheet of the present invention, as shown in FIG. 3, a photoresist layer 15 may be laminated between the glass resin composition layer 11 and the base film 13. By providing the photoresist layer 15 on one side of the glass resin composition layer 11 in advance, the pattern forming process for forming a resist pattern on the surface of the glass resin composition layer 11 can be simplified.

ガラス樹脂組成物層11は、無機粉体及びバインダ樹脂を少なくとも含有する。   The glass resin composition layer 11 contains at least inorganic powder and a binder resin.

無機粉体は、公知のものを特に制限なく用いることができ、具体的には、酸化珪素、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化カルシウム、酸化ホウ素、酸化亜鉛、ガラス粉末などが挙げられる。無機粉体の平均粒子径は0.1〜30μmであることが好ましい。   Known inorganic powders can be used without particular limitation, and specific examples include silicon oxide, titanium oxide, aluminum oxide, calcium oxide, boron oxide, zinc oxide, and glass powder. The average particle size of the inorganic powder is preferably 0.1 to 30 μm.

本発明においては、無機粉体としてガラスフリットを用いることが好ましい。ガラスフリットとしては公知のものを特に制限なく用いることができる。例えば、1)酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化珪素(ZnO−B23−SiO2系)の混合物、2)酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化珪素、酸化アルミニウム(ZnO−B23−SiO2−Al23系)の混合物、3)酸化鉛、酸化ホウ素、酸化珪素、酸化カルシウム(PbO−B23−SiO2−CaO系)の混合物、4)酸化鉛、酸化ホウ素、酸化珪素、酸化アルミニウム(PbO−B23−SiO2−Al23系)の混合物、5)酸化鉛、酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化珪素(PbO−ZnO−B23−SiO2系)の混合物、6)酸化鉛、酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化珪素、酸化アルミニウム(PbO−ZnO−B23−SiO2−Al23系)の混合物などを挙げることができる。また、必要に応じてこれらにNa2O、CaO、BaO、Bi23、SrO、TiO2、CuO、又はIn23などを添加したものであってもよい。使用するガラスフリットは、焼結時にガラス基板との熱膨張係数の違いによる歪みが生じにくく、ガラス基板に変形を生じない温度で焼結できる低融点のものが好ましい。焼結処理により誘電体層とバリアリブとを一体形成することを考慮すると、軟化点が400〜650℃であるガラスフリットが好ましい。 In the present invention, glass frit is preferably used as the inorganic powder. Any known glass frit can be used without particular limitation. For example, 1) a mixture of zinc oxide, boron oxide, silicon oxide (ZnO—B 2 O 3 —SiO 2 system), 2) zinc oxide, boron oxide, silicon oxide, aluminum oxide (ZnO—B 2 O 3 —SiO 2) mixture of -al 2 O 3 system), 3) lead oxide, boron oxide, silicon oxide, a mixture of calcium oxide (PbO-B 2 O 3 -SiO 2 -CaO -based), 4) lead oxide, boron oxide, silicon oxide , A mixture of aluminum oxide (PbO—B 2 O 3 —SiO 2 —Al 2 O 3 system), 5) lead oxide, zinc oxide, boron oxide, silicon oxide (PbO—ZnO—B 2 O 3 —SiO 2 system) 6) A mixture of lead oxide, zinc oxide, boron oxide, silicon oxide, aluminum oxide (PbO—ZnO—B 2 O 3 —SiO 2 —Al 2 O 3 series), and the like. Further, if necessary, Na 2 O, CaO, BaO, Bi 2 O 3 , SrO, TiO 2 , CuO, or In 2 O 3 may be added thereto. The glass frit used preferably has a low melting point that is unlikely to be distorted due to the difference in thermal expansion coefficient with the glass substrate during sintering and can be sintered at a temperature that does not cause deformation of the glass substrate. Considering that the dielectric layer and the barrier rib are integrally formed by a sintering process, a glass frit having a softening point of 400 to 650 ° C. is preferable.

バインダ樹脂は特に制限されず公知のものを用いることができるが、無機粉体の分散性がよく、ガラス樹脂組成物層の凝集性を向上させることができ、焼成工程において熱分解により完全に除去されるものが好ましい。具体的には、(メタ)アクリル系樹脂、セルロース系樹脂、ポリビニルアセタール系樹脂、ポリビニルアルキルエーテル系樹脂、ポリ酢酸ビニル誘導体系樹脂などが挙げられる。   The binder resin is not particularly limited and known ones can be used, but the dispersibility of the inorganic powder is good, the cohesiveness of the glass resin composition layer can be improved, and it is completely removed by thermal decomposition in the firing step. Are preferred. Specific examples include (meth) acrylic resins, cellulose resins, polyvinyl acetal resins, polyvinyl alkyl ether resins, and polyvinyl acetate derivative resins.

前記(メタ)アクリル系樹脂は、アクリル系モノマー又はメタクリル系モノマーの1種モノマーの重合体、前記モノマーの共重合体、又はそれらの混合物である。前記モノマーの具体例としては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、t−ブチル(メタ)アクリレート、ペンチル(メタ)アクリレ−ト、アミル(メタ)アクリレート、イソアミル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、ヘプチル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート、イソオクチル(メタ)アクリレート、エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ノニル(メタ)アクリレート、デシル(メタ)アクリレート、イソデシル(メタ)アクリレート、ウンデシル(メタ)アクリレート、ドデシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、イソステアリル(メタ)アクリレートなどのアルキル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、トリル(メタ)アクリレートなどのアリール(メタ)アクリレートなどが挙げられる。   The (meth) acrylic resin is a polymer of one type of acrylic monomer or methacrylic monomer, a copolymer of the monomer, or a mixture thereof. Specific examples of the monomer include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, t-butyl (meth) acrylate, pentyl (meth) acrylate, amyl (meth) acrylate, isoamyl ( (Meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, heptyl (meth) acrylate, octyl (meth) acrylate, isooctyl (meth) acrylate, ethylhexyl (meth) acrylate, nonyl (meth) acrylate, decyl (meth) acrylate, isodecyl (meth) Alkyl (meth) such as acrylate, undecyl (meth) acrylate, dodecyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, isostearyl (meth) acrylate Acrylate, phenyl (meth) acrylate, aryl (meth) acrylates such as tolyl (meth) acrylate.

また、水酸基やカルボキシル基などの極性基を有する(メタ)アクリル系モノマーを用いてもよい。該極性基を有する(メタ)アクリル系モノマーの具体例としては、(メタ)アクリル酸、イタコン酸、(メタ)アクリルアミド、N−メチロール(メタ)アクリルアミド、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、2−(メタ)アクリロイロキシエチルコハク酸、2−(メタ)アクリロイロキシエチルフタル酸、イミノール(メタ)アクリレートなどが挙げられる。   Moreover, you may use the (meth) acrylic-type monomer which has polar groups, such as a hydroxyl group and a carboxyl group. Specific examples of the (meth) acrylic monomer having the polar group include (meth) acrylic acid, itaconic acid, (meth) acrylamide, N-methylol (meth) acrylamide, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2- Hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, 3-hydroxybutyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, polyethylene glycol mono (meth) acrylate 2- (meth) acryloyloxyethyl succinic acid, 2- (meth) acryloyloxyethyl phthalic acid, iminol (meth) acrylate and the like.

セルロース系樹脂としては、酢酸セルロース、及び酪酸セルロールなどのセルロースエステル、メチルセルロース、エチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、カルボキシメチルセルロースなどが挙げられる。   Cellulose resins include cellulose esters such as cellulose acetate and cellulose butyrate, methyl cellulose, ethyl cellulose, hydroxyethyl cellulose, carboxymethyl cellulose, and the like.

ポリビニルアセタール系樹脂としては、ポリビニルホルマール、ポリビニルブチラールなど、ポリビニルアルキルエーテル系樹脂としてはポリビニルメチルエーテルなど、ポリ酢酸ビニル誘導体系樹脂としては、ポリ酢酸ビニル、ポリビニルアルコールなどが挙げられる。   Examples of the polyvinyl acetal resin include polyvinyl formal and polyvinyl butyral, examples of the polyvinyl alkyl ether resin include polyvinyl methyl ether, and examples of the polyvinyl acetate derivative resin include polyvinyl acetate and polyvinyl alcohol.

バインダ樹脂は、無機粉体100重量部に対して10重量部以下添加することが好ましく、さらに好ましくは8重量部以下であり、特に好ましくは5重量部以下である。バインダ樹脂の添加量が10重量部を超える場合には、ガラス樹脂組成物層の硬度が低下するためサンドブラスト処理においてガラス樹脂組成物層を切削しにくくなり、それによりサンドブラスト処理の効率が悪くなったり、精度の高いバリアリブを形成することが困難になる傾向にある。また、バインダ樹脂は、無機粉体100重量部に対して0.3重量部以上添加することが好ましく、さらに好ましくは0.5重量部以上であり、特に好ましくは0.7重量部以上である。バインダ樹脂の添加量が0.3重量部未満の場合には、ガラスペースト組成物をシート状に形成することが困難になる傾向にある。   The binder resin is preferably added in an amount of 10 parts by weight or less, more preferably 8 parts by weight or less, and particularly preferably 5 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the inorganic powder. When the added amount of the binder resin exceeds 10 parts by weight, the hardness of the glass resin composition layer is lowered, so that it becomes difficult to cut the glass resin composition layer in the sand blasting process, thereby reducing the efficiency of the sand blasting process. Therefore, it tends to be difficult to form a highly accurate barrier rib. Further, the binder resin is preferably added in an amount of 0.3 parts by weight or more, more preferably 0.5 parts by weight or more, and particularly preferably 0.7 parts by weight or more with respect to 100 parts by weight of the inorganic powder. . When the addition amount of the binder resin is less than 0.3 parts by weight, it tends to be difficult to form the glass paste composition into a sheet shape.

無機粉体及びバインダ樹脂を含有する組成物をベースフィルム(支持フィルム)上に塗布してガラス樹脂組成物層を形成した転写シートを作製する場合には、ベースフィルム上に均一に塗布できるように該組成物中に溶剤を加えることが好ましい。   When preparing a transfer sheet in which a composition containing an inorganic powder and a binder resin is applied on a base film (support film) to form a glass resin composition layer, the transfer sheet can be uniformly applied on the base film. It is preferable to add a solvent to the composition.

溶剤としては、無機粉体との親和性がよく、且つ、バインダ樹脂との溶解性がよいものであれば特に制限されるものではない。例えば、テルピネオール、ジヒドロ−α−テルピネオール、ジヒドロ−α−テルピニルアセテート、ブチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトール、イソプロピルアルコール、ベンジルアルコール、テレビン油、ジエチルケトン、メチルブチルケトン、ジプロピルケトン、シクロへキサノン、n−ペンタノール、4−メチル−2−ペンタノール、シクロへキサノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコ−ルモノメチルエーテル、エチレングリコ−ルモノエチルエーテル、エチレングリコ−ルモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、酢酸−n−ブチル、酢酸アミル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチル−3−エトキシプロピオネート、2,2,4−トリメチル−1,3−ペンタンジオール−1−イソブチレート、2,2,4−トリメチル−1,3−ペンタンジオール−3−イソブチレートなどが挙げられる。これらは単独で用いてもよく、任意の割合で2種類以上を併用してもよい。   The solvent is not particularly limited as long as it has good affinity with inorganic powder and good solubility with binder resin. For example, terpineol, dihydro-α-terpineol, dihydro-α-terpinyl acetate, butyl carbitol acetate, butyl carbitol, isopropyl alcohol, benzyl alcohol, turpentine oil, diethyl ketone, methyl butyl ketone, dipropyl ketone, cyclohexanone N-pentanol, 4-methyl-2-pentanol, cyclohexanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl Ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether , N-butyl acetate, amyl acetate, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethyl-3-ethoxypropionate, 2,2,4-trimethyl-1,3-pentanediol-1 -Isobutyrate, 2,2,4-trimethyl-1,3-pentanediol-3-isobutyrate and the like. These may be used alone or in combination of two or more at any ratio.

溶剤の添加量は、無機粉体100重量部に対して、10〜100重量部であることが好ましい。   The amount of the solvent added is preferably 10 to 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the inorganic powder.

また、ガラス樹脂組成物層には、可塑剤を添加してもよい。可塑剤を添加することにより、無機粉体及びバインダ樹脂を含有する組成物をベースフィルム上に塗布してガラス樹脂組成物層を形成した転写シートの可とう性や柔軟性、ガラス樹脂組成物層のガラス基板への転写性などを調整することができる。   Moreover, you may add a plasticizer to a glass resin composition layer. By adding a plasticizer, the flexibility and flexibility of a transfer sheet in which a composition containing an inorganic powder and a binder resin is coated on a base film to form a glass resin composition layer, the glass resin composition layer The transfer property to the glass substrate can be adjusted.

可塑剤としては、公知のものを特に制限なく使用することができる。例えば、ジイソノニルアジペート、ジ−2−エチルヘキシルアジペート、ジブチルジグリコールアジペ−トなどのアジピン酸誘導体、ジ−2−エチルヘキシルアゼレートなどのアゼライン酸誘導体、ジ−2−エチルヘキシルセバケートなどのセバシン酸誘導体、トリ(2−エチルヘキシル)トリメリテート、トリオクチルトリメリテート、トリイソノニルトリメリテート、トリイソデシルトリメリテートなどのトリメリット酸誘導体、テトラ−(2−エチルヘキシル)ピロメリテートなどのピロメリット酸誘導体、プロピレングリコールモノオレートなどのオレイン酸誘導体、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコールなどのグリコール系可塑剤などが挙げられる。   As the plasticizer, known ones can be used without particular limitation. For example, adipic acid derivatives such as diisononyl adipate, di-2-ethylhexyl adipate, dibutyl diglycol adipate, azelaic acid derivatives such as di-2-ethylhexyl azelate, sebacic acid derivatives such as di-2-ethylhexyl sebacate , Trimellitic acid derivatives such as tri (2-ethylhexyl) trimellitate, trioctyl trimellitate, triisononyl trimellitate, triisodecyl trimellitate, pyromellitic acid derivatives such as tetra- (2-ethylhexyl) pyromellitate, Examples include oleic acid derivatives such as propylene glycol monooleate and glycol plasticizers such as polyethylene glycol and polypropylene glycol.

可塑剤の添加量は、無機粉体100重量部に対して、5重量部以下であることが好ましく、さらに好ましくは3重量部以下、特に好ましくは1重量部以下である。可塑剤の添加量が5重量部を超えると、得られるガラス樹脂組成物層の強度や硬度が低下してしまい、サンドブラスト処理においてガラス樹脂組成物層を切削しにくくなるため好ましくない。   The addition amount of the plasticizer is preferably 5 parts by weight or less, more preferably 3 parts by weight or less, and particularly preferably 1 part by weight or less with respect to 100 parts by weight of the inorganic powder. When the addition amount of the plasticizer exceeds 5 parts by weight, the strength and hardness of the glass resin composition layer to be obtained are lowered, and it is difficult to cut the glass resin composition layer in the sandblast treatment, which is not preferable.

ガラス樹脂組成物層には、上記の成分の他、分散剤、シランカップリング剤、粘着性付与剤、レベリング剤、安定剤、消泡剤などの各種添加剤を添加してもよい。また、形成されるバリアリブの外光反射を低減し、コントラストを向上させるために黒色顔料や白色顔料を添加してもよい。   In addition to the above components, various additives such as a dispersant, a silane coupling agent, a tackifier, a leveling agent, a stabilizer, and an antifoaming agent may be added to the glass resin composition layer. Further, a black pigment or a white pigment may be added in order to reduce external light reflection of the formed barrier rib and improve contrast.

粘弾性層12は、積層シートに柔軟性を付与して積層シートの転写性を向上させる機能と、ガラス樹脂組成物層11を電極又は電極パターンを有するガラス基板上に保持する機能と、ガラス樹脂組成物層11をサンドブラスト処理することにより、ガラス基板上の電極又は電極パターンを被覆する薄い誘電体層形成膜を形成する機能とを有する層である。   The viscoelastic layer 12 has a function of imparting flexibility to the laminated sheet to improve the transferability of the laminated sheet, a function of holding the glass resin composition layer 11 on a glass substrate having an electrode or an electrode pattern, and a glass resin. This is a layer having a function of forming a thin dielectric layer forming film covering the electrode or the electrode pattern on the glass substrate by sandblasting the composition layer 11.

本発明において、前記粘弾性層は、焼成温度が400℃になるまで焼成した際の重量減少率が96%以下であることが必要である。重量減少率が96%を超える場合には、焼成時にバリアリブ形成隔壁や誘電体層形成膜に歪が生じやすくなって誘電体層にクラックが生じやすくなる。その理由としては、バリアリブ形成隔壁や誘電体層形成膜の形成材料である無機粉体が軟化する前に下層の粘弾性層が熱分解除去されるため、その構造変化にバリアリブ形成隔壁や誘電体層形成膜が十分追従できないためと考えられる。また、前記重量減少率は60%以上であることが好ましい。60%未満の場合には、焼成時に粘弾性層が熱分解除去されにくくなるため、焼成後にガラス基板上に有機成分が残存し、PDP用背面基板の品質が低下する恐れがある。   In the present invention, the viscoelastic layer needs to have a weight reduction rate of 96% or less when fired until the firing temperature reaches 400 ° C. When the weight reduction rate exceeds 96%, the barrier rib forming partition walls and the dielectric layer forming film are likely to be distorted during firing, and the dielectric layer is likely to be cracked. The reason is that the barrier rib-forming partition walls and dielectrics are affected by the structural change because the underlying viscoelastic layer is thermally decomposed and removed before the inorganic powder that forms the barrier rib-forming partition walls and dielectric layer forming film is softened. This is probably because the layer formation film cannot sufficiently follow. The weight reduction rate is preferably 60% or more. If it is less than 60%, the viscoelastic layer is hardly thermally decomposed and removed during firing, so that organic components remain on the glass substrate after firing, and the quality of the back substrate for PDP may be deteriorated.

本発明の粘弾性層の形成材料は、上記特性を満たす材料であれば特に制限されず、例えば、アクリル系粘着剤、合成ゴム系粘着剤、天然ゴム系粘着剤、シリコーン系粘着剤等の各種の粘着剤組成物(感圧性接着剤)や、常温では粘着性を示さないが加熱により粘着性を示す感熱性接着剤を使用することができる。   The material for forming the viscoelastic layer of the present invention is not particularly limited as long as the material satisfies the above characteristics. For example, various materials such as an acrylic adhesive, a synthetic rubber adhesive, a natural rubber adhesive, and a silicone adhesive are used. The pressure-sensitive adhesive composition (pressure-sensitive adhesive) or a heat-sensitive adhesive that does not exhibit tackiness at room temperature but exhibits tackiness upon heating can be used.

アクリル系粘着剤はアクリル系ポリマーをベースポリマーとしており、該アクリル系ポリマーに使用されるモノマーとしては、各種アクリル酸アルキルを使用できる。例えば、アクリル酸アルキルエステル(例えば、メチルエステル、エチルエステル、プロピルエステル、ブチルエステル、2−エチルヘキシルエステル、イソオクチルエステル、イソノニルエステル、イソデシルエステル、ドデシルエステル、ラウリルエステル、トリデシルエステル、ペンタデシルエステル、ヘキサデシルエステル、ヘプタデシルエステル、オクタデシルエステル、ノナデシルエステル、エイコシルエステル等の炭素数1〜20アルキルエステル)を例示でき、これらを単独もしくは組合せて使用できる。   The acrylic pressure-sensitive adhesive uses an acrylic polymer as a base polymer, and various types of alkyl acrylate can be used as a monomer used in the acrylic polymer. For example, acrylic acid alkyl ester (for example, methyl ester, ethyl ester, propyl ester, butyl ester, 2-ethylhexyl ester, isooctyl ester, isononyl ester, isodecyl ester, dodecyl ester, lauryl ester, tridecyl ester, pentadecyl C1-C20 alkyl ester such as ester, hexadecyl ester, heptadecyl ester, octadecyl ester, nonadecyl ester, eicosyl ester, etc.), and these can be used alone or in combination.

また、前記アクリル酸アルキルエステルとともに、メタクリル酸アルキルエステル; (メタ)アクリル酸、イタコン酸等のカルボキシル基含有単量体;(メタ)アクリル酸ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシプロピル等のヒドロキシル基含有単量体;N−メチロールアクリルアミド等のアミド基含有単量体;(メタ)アクリロニトリル等のシアノ基含有単量体;(メタ)アクリル酸グリシジル等のエポキシ基含有単量体;酢酸ビニル等のビニルエステル類;スチレン、α−メチルスチレン等のスチレン系単量体などを共重合モノマーとして用いることができる。特に、重量減少率を96%以下にするためには、アクリル系共重合モノマーを用いることが好ましい。なお、(メタ)アクリル系ポリマーの重合法は特に制限されず、溶液重合、乳化重合、懸濁重合、UV重合などの公知の重合法を採用できる。   Further, together with the alkyl acrylate, methacrylic acid alkyl ester; carboxyl group-containing monomers such as (meth) acrylic acid and itaconic acid; hydroxyl groups such as hydroxyethyl (meth) acrylate and hydroxypropyl (meth) acrylate Containing monomer; Amide group-containing monomer such as N-methylolacrylamide; Cyano group-containing monomer such as (meth) acrylonitrile; Epoxy group-containing monomer such as glycidyl (meth) acrylate; Vinyl acetate and the like Vinyl esters; styrene monomers such as styrene and α-methylstyrene can be used as copolymerization monomers. In particular, an acrylic copolymer monomer is preferably used in order to reduce the weight reduction rate to 96% or less. In addition, the polymerization method in particular of (meth) acrylic-type polymer is not restrict | limited, Well-known polymerization methods, such as solution polymerization, emulsion polymerization, suspension polymerization, and UV polymerization, are employable.

ゴム系粘着剤のベースポリマーとしては、たとえば、天然ゴム、イソプレン系ゴム、スチレン−ブタジエン系ゴム、再生ゴム、ポリイソブチレン系ゴム、さらにはスチレン−イソプレン−スチレン系ゴム、スチレン−ブタジエン−スチレン系ゴム等があげられる。
シリコーン系粘着剤のベースポリマーとしては、たとえば、ジメチルポリシロキサン、ジフェニルポリシロキサン等があげられる。
Examples of the base polymer of the rubber adhesive include natural rubber, isoprene rubber, styrene-butadiene rubber, recycled rubber, polyisobutylene rubber, styrene-isoprene-styrene rubber, and styrene-butadiene-styrene rubber. Etc.
Examples of the base polymer of the silicone pressure-sensitive adhesive include dimethylpolysiloxane and diphenylpolysiloxane.

感熱性接着剤のベースポリマーとしては、たとえば、セルロース樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリビニルアルコール、ブチラール樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ブタジエン−スチレン共重合体等が挙げられる。   Examples of the base polymer of the heat sensitive adhesive include cellulose resin, ethylene-vinyl acetate copolymer, polyvinyl alcohol, butyral resin, polyester resin, polyethylene resin, polypropylene resin, butadiene-styrene copolymer, and the like.

前記ベースポリマーの重量平均分子量は、粘弾性層の転写性、外観保持性を持たせるために60〜120万であることが好ましい。   The weight average molecular weight of the base polymer is preferably 600 to 1,200,000 in order to provide transferability and appearance retention of the viscoelastic layer.

前記粘着剤には、架橋剤を添加することができる。架橋剤としては、ポリイソシアネート化合物、ポリアミン化合物、メラミン樹脂、尿素樹脂、エポキシ樹脂等があげられる。さらに前記粘着剤には、必要に応じて、粘着付与剤、可塑剤、充填剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、シランカップリング剤等を適宜に使用することもできる。   A crosslinking agent can be added to the pressure-sensitive adhesive. Examples of the crosslinking agent include polyisocyanate compounds, polyamine compounds, melamine resins, urea resins, and epoxy resins. Furthermore, a tackifier, a plasticizer, a filler, an antioxidant, an ultraviolet absorber, a silane coupling agent and the like can be appropriately used for the pressure-sensitive adhesive as necessary.

本発明の積層シートの製造方法は特に制限されないが、例えば、まず無機粉体及びバインダ樹脂を含有する組成物をベースフィルム13上に塗布し、溶剤を乾燥除去してガラス樹脂組成物層11を形成する。その後、ガラス樹脂組成物層11に、直接、粘着剤(接着剤)を塗布し、乾燥して粘弾性層を形成することにより積層シートを製造することができる(直写法)。また、剥離ライナに粘着剤(接着剤)を塗布し、乾燥して形成した粘弾性層12をガラス樹脂組成物層11に転写して積層してもよい(転写法)。また、保護フィルム14に粘着剤(接着剤)を塗布し、乾燥して形成した粘弾性層12をガラス樹脂組成物層11に貼り合せてもよい。   The production method of the laminated sheet of the present invention is not particularly limited. For example, first, a composition containing an inorganic powder and a binder resin is applied onto the base film 13, and the solvent is removed by drying to form the glass resin composition layer 11. Form. Thereafter, a laminated sheet can be produced by directly applying a pressure-sensitive adhesive (adhesive) to the glass resin composition layer 11 and drying to form a viscoelastic layer (direct copying method). Alternatively, a viscoelastic layer 12 formed by applying a pressure-sensitive adhesive (adhesive) to a release liner and drying may be transferred and laminated on the glass resin composition layer 11 (transfer method). Alternatively, a viscoelastic layer 12 formed by applying a pressure-sensitive adhesive (adhesive) to the protective film 14 and drying may be bonded to the glass resin composition layer 11.

また、剥離ライナ上にガラス樹脂組成物層11を形成し、その後剥離ライナを剥離する。保護フィルム上に形成した粘弾性層12を、該ガラス樹脂組成物層11の剥離ライナを剥離した面側に貼り合わせ、該ガラス樹脂組成物層11の他面側にベースフィルム13を貼り合わせて積層シートを製造してもよい。該製造方法は、ガラス樹脂組成物層11の表面にドライフィルムレジストを貼り合わせるなどしてフォトレジスト層を形成する場合に有効である。   Further, the glass resin composition layer 11 is formed on the release liner, and then the release liner is released. The viscoelastic layer 12 formed on the protective film is bonded to the surface of the glass resin composition layer 11 from which the release liner has been peeled, and the base film 13 is bonded to the other surface of the glass resin composition layer 11. A laminated sheet may be manufactured. The production method is effective when a photoresist layer is formed by bonding a dry film resist to the surface of the glass resin composition layer 11.

ベースフィルム13は、耐熱性及び耐溶剤性を有すると共に可とう性を有する樹脂フィルムであることが好ましい。ベースフィルムが可とう性を有することにより、ロールコーターなどによってガラス樹脂組成物層の形成材料であるペースト状組成物を塗布することができ、積層シートをロール状に巻き取った状態で保存し、供給することができる。   The base film 13 is preferably a resin film having heat resistance and solvent resistance and having flexibility. When the base film has flexibility, a paste-like composition that is a material for forming the glass resin composition layer can be applied by a roll coater or the like, and the laminated sheet is stored in a rolled state, Can be supplied.

ベースフィルム13を形成する樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリイミド、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニル、ポリフルオロエチレンなどの含フッ素樹脂、ナイロン、セルロースなどを挙げることができる。   Examples of the resin forming the base film 13 include polyethylene terephthalate, polyester, polyethylene, polypropylene, polystyrene, polyimide, polyvinyl alcohol, polyvinyl chloride, polyfluoroethylene, and other fluorine-containing resins, nylon, and cellulose. .

ベースフィルム13の厚さは特に制限されないが、25〜100μm程度であることが好ましい。   The thickness of the base film 13 is not particularly limited, but is preferably about 25 to 100 μm.

なお、ベースフィルム13の表面には離型処理が施されていることが好ましい。これにより、積層シートをガラス基板上に転写する工程において、ベースフィルムの剥離操作を容易に行うことができる。   The surface of the base film 13 is preferably subjected to a mold release process. Thereby, the peeling operation of a base film can be easily performed in the process of transferring a lamination sheet on a glass substrate.

ガラス樹脂組成物層の形成材料であるペースト状組成物をベースフィルム上に塗布する方法としては、例えば、グラビア、キス、コンマなどのロ−ルコ−タ−、スロット、ファンテンなどのダイコータ−、スクイズコータ−、カーテンコータ−などの塗布方法を採用することができるが、ベースフィルム上に均一な塗膜を形成できればいかなる方法でもよい。   Examples of a method for applying a paste-like composition, which is a material for forming a glass resin composition layer, on a base film include, for example, roll coaters such as gravure, kiss, and comma, die coaters such as slots and phantoms, A coating method such as a squeeze coater or a curtain coater can be adopted, but any method can be used as long as a uniform coating film can be formed on the base film.

ガラス樹脂組成物層の厚さは、無機粉体の含有率、パネルの種類やサイズ、放電空間の大きさ(バリアリブの高さ)等によって異なるが、50〜400μmであることが好ましく、さらに好ましくは80〜300μmである。   The thickness of the glass resin composition layer varies depending on the content of the inorganic powder, the type and size of the panel, the size of the discharge space (height of the barrier rib), etc., but is preferably 50 to 400 μm, more preferably. Is 80-300 μm.

粘弾性層12の表面には保護フィルム14を設けてもよい。保護フィルムの形成材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレンなどが挙げられる。保護フィルムでカバーされた積層シートは、ロール状に巻き取った状態で保存し、供給することができる。なお、保護フィルムの表面は離型処理が施されていることが好ましい。   A protective film 14 may be provided on the surface of the viscoelastic layer 12. Examples of the material for forming the protective film include polyethylene terephthalate, polyester, polyethylene, and polypropylene. The laminated sheet covered with the protective film can be stored and supplied in a state of being rolled up. The surface of the protective film is preferably subjected to a mold release treatment.

保護フィルム14の厚さは特に制限されないが、25〜100μm程度であることが好ましい。   Although the thickness in particular of the protective film 14 is not restrict | limited, It is preferable that it is about 25-100 micrometers.

粘弾性層の形成材料である粘着剤(接着剤)をガラス樹脂組成物層、剥離ライナ、又は保護フィルム上に塗布する方法としては、前記塗布方法を採用することができるが、均一な塗膜を形成できればいかなる方法でもよい。   As a method for applying a pressure-sensitive adhesive (adhesive), which is a material for forming the viscoelastic layer, onto the glass resin composition layer, the release liner, or the protective film, the above-described application method can be employed, but a uniform coating film Any method may be used as long as it can be formed.

粘弾性層12の厚さ(乾燥膜厚)は、ガラス樹脂組成物層を電極を有するガラス基板上に保持するために必要とされる保持力(粘着力)や、電極の被覆に要求される誘電体層形成膜の厚さに応じて適宜決定されるが、通常0.5〜20μmであることが好ましく、さらに好ましくは1〜10μm、特に好ましくは1〜5μmである。粘弾性層の厚さが0.5μm未満の場合には、粘着力が十分でないため、積層シートをガラス基板に貼り合わせた際に剥がれや浮きが発生する傾向にある。また、積層シートの可とう性が不十分となり、積層シートの転写性が低下する傾向にある。さらに、粘弾性層が十分な粘弾性を有しないため、サンドブラスト処理において必要以上にガラス樹脂組成物層が切削されて誘電体層形成膜の厚さが薄くなり過ぎ、該誘電体層形成膜を焼結して得られる誘電体層の膜厚が不十分となって所望の誘電特性を確保することができない傾向にある。一方、粘弾性層の厚さが20μmを超える場合には、焼成後にガラス基板上に有機成分が残存し、PDP用背面基板の品質が低下する傾向にある。また、粘弾性層の強度が低くなるため、積層シートをガラス基板に貼り合わせる際に貼り合わせ位置がずれやすくなる傾向にある。さらには、粘弾性層の粘弾性が大きくなるため、サンドブラスト処理においてガラス樹脂組成物層が切削されにくくなる傾向にある。そのため、高さの高いバリアリブを形成すること(放電空間を十分に確保すること)が困難になったり、ガラス樹脂組成物層の切削効率が悪くなる傾向にある。   The thickness (dry film thickness) of the viscoelastic layer 12 is required for holding force (adhesive force) required to hold the glass resin composition layer on the glass substrate having the electrode, and for covering the electrode. Although it is appropriately determined according to the thickness of the dielectric layer forming film, it is usually preferably 0.5 to 20 μm, more preferably 1 to 10 μm, and particularly preferably 1 to 5 μm. When the thickness of the viscoelastic layer is less than 0.5 μm, the adhesive force is not sufficient, and therefore, when the laminated sheet is bonded to the glass substrate, peeling or floating tends to occur. Further, the flexibility of the laminated sheet becomes insufficient, and the transferability of the laminated sheet tends to decrease. Further, since the viscoelastic layer does not have sufficient viscoelasticity, the glass resin composition layer is cut more than necessary in the sandblasting process, and the thickness of the dielectric layer forming film becomes too thin. The thickness of the dielectric layer obtained by sintering tends to be insufficient, and desired dielectric properties tend not to be ensured. On the other hand, when the thickness of the viscoelastic layer exceeds 20 μm, organic components remain on the glass substrate after firing, and the quality of the back substrate for PDP tends to deteriorate. Moreover, since the intensity | strength of a viscoelastic layer becomes low, when bonding a laminated sheet to a glass substrate, it exists in the tendency for a bonding position to shift | deviate easily. Furthermore, since the viscoelasticity of the viscoelastic layer is increased, the glass resin composition layer tends to be difficult to be cut in the sandblast treatment. Therefore, it is difficult to form a high barrier rib (to ensure a sufficient discharge space), and the cutting efficiency of the glass resin composition layer tends to deteriorate.

本発明の積層シートは、ガラス樹脂組成物層11とベースフィルム13との間にフォトレジスト層15が積層されていてもよい。フォトレジスト層は、ガラス樹脂組成物層上にサンドブラスト処理では削れないレジストパターンをフォトリソグラフィにより形成するために用いられる。フォトレジスト層15は、ベースフィルム13やガラス樹脂組成物層11上に感光性樹脂を含有するペースト組成物を塗布・乾燥して成膜したり、シート状の感光性樹脂であるドライフィルムを貼り合わせることにより形成することができる。   In the laminated sheet of the present invention, a photoresist layer 15 may be laminated between the glass resin composition layer 11 and the base film 13. The photoresist layer is used to form a resist pattern on the glass resin composition layer that cannot be removed by sandblasting by photolithography. The photoresist layer 15 is formed by applying and drying a paste composition containing a photosensitive resin on the base film 13 or the glass resin composition layer 11 or attaching a dry film that is a sheet-like photosensitive resin. It can be formed by combining them.

以下に前記積層シートを用いたPDP用背面基板の製造方法を示す。図4は、本発明のPDP用背面基板の製造方法の一例を示す製造工程図である。   A method for producing a PDP rear substrate using the laminated sheet will be described below. FIG. 4 is a production process diagram showing an example of a method for producing a PDP rear substrate according to the present invention.

図4中の(1)は、ガラス基板17上に電極16a又は電極パターン16bが形成された電極付きガラス基板の構造を示す図である。ガラス基板17上に電極パターン16bを形成する方法は特に制限されず、公知の方法を採用することができる。例えば、電極の形成材料である金属ペーストをスクリーン印刷法によりガラス基板上に塗布して電極パターンを形成する方法、公知のコーティング法により金属ペーストをガラス基板上に塗布してフォトリソグラフィー法により電極パターンを形成する方法などが挙げられる。金属ペーストは、従来使用されている材料を特に制限なく使用可能であり、例えば、電極となる金属、有機バインダ、有機溶剤、低融点ガラス粉末などを混合したものが挙げられる。金属としては、例えば、銀、銅、アルミニウム、及びクロムなどが挙げられる。有機バインダとしては、例えば、(メタ)アクリル系樹脂、ビニル系樹脂、及びセルロース系樹脂などが挙げられる。   (1) in FIG. 4 is a diagram showing a structure of a glass substrate with an electrode in which an electrode 16a or an electrode pattern 16b is formed on the glass substrate 17. FIG. The method in particular of forming the electrode pattern 16b on the glass substrate 17 is not restrict | limited, A well-known method is employable. For example, a metal paste, which is an electrode forming material, is applied to a glass substrate by a screen printing method, and an electrode pattern is formed by applying a metal paste on a glass substrate by a known coating method and a photolithography method. The method of forming is mentioned. As the metal paste, conventionally used materials can be used without particular limitation, and examples thereof include a mixture of a metal serving as an electrode, an organic binder, an organic solvent, a low-melting glass powder, and the like. Examples of the metal include silver, copper, aluminum, and chromium. Examples of the organic binder include (meth) acrylic resins, vinyl resins, and cellulose resins.

ガラス基板17上に電極16aを形成する方法は特に制限されず、公知の方法を採用することができる。例えば、上記方法でガラス基板上に電極パターンを形成した後に、電極パターンを焼結して電極を形成する方法、CVDやスパッタなどの成膜法により金属膜を成膜し、エッチング法やリフトオフ法によりパターンニングして電極を形成する方法が挙げられる。   The method in particular of forming the electrode 16a on the glass substrate 17 is not restrict | limited, A well-known method is employable. For example, after forming an electrode pattern on a glass substrate by the above method, a method of forming an electrode by sintering the electrode pattern, a metal film is formed by a film formation method such as CVD or sputtering, an etching method or a lift-off method There is a method of patterning to form an electrode.

工程(a)は、電極16a又は電極パターン16bを有するガラス基板17上に前記積層シートの粘弾性層12を貼り合わせる貼付け工程である。透過型PDPの場合には電極は表示電極となり、反射型PDPの場合には電極はアドレス電極となる。前記積層シートが保護フィルムを有する場合には、保護フィルムを剥離した後に粘弾性層を貼り合わせる。粘弾性層を貼り合わせた後、積層シートがベースフィルムを有する場合には、該積層シートからベースフィルムを剥離して転写する。転写条件としては、例えば、ラミネーターの表面温度25〜100℃、ロール線圧0.5〜15kg/cm、移動速度0.1〜5m/分であるが、これら条件に限定されるものではない。また、ガラス基板は予熱されていてもよく、予熱温度は50〜150℃程度である。   Step (a) is a pasting step in which the viscoelastic layer 12 of the laminated sheet is bonded onto the glass substrate 17 having the electrode 16a or the electrode pattern 16b. In the case of the transmissive PDP, the electrode is a display electrode, and in the case of the reflective PDP, the electrode is an address electrode. When the said laminated sheet has a protective film, after peeling a protective film, a viscoelastic layer is bonded together. After laminating the viscoelastic layer, when the laminated sheet has a base film, the base film is peeled off from the laminated sheet and transferred. The transfer conditions are, for example, a laminator surface temperature of 25 to 100 ° C., a roll linear pressure of 0.5 to 15 kg / cm, and a moving speed of 0.1 to 5 m / min, but are not limited to these conditions. The glass substrate may be preheated, and the preheating temperature is about 50 to 150 ° C.

工程(b)〜(d)は、ガラス樹脂組成物層11の面上にレジストパターンを形成するパターン形成工程である。工程(b)は、ガラス樹脂組成物層11の面上にフォトレジスト層15を積層する工程である。フォトレジスト層は感光性樹脂を含有するペースト組成物をガラス樹脂組成物層の面上に塗布し、乾燥することにより成膜したり、ドライフィルムレジストを貼り合わせることにより形成することができる。ただし、ガラス樹脂組成物層上に予めフォトレジスト層が積層されている積層シートを用いた場合には、工程(b)は不要である。フォトレジスト層は、ポジ型であってもよく、ネガ型であってもよい。ポジ型の場合には、露光部が現像によって除去される。ネガ型の場合には、未露光部が現像によって除去される。図4のPDP用背面基板の製造工程図は、ネガ型のフォトレジストを用いた場合を例示している。レジスト現像時にガラス樹脂組成物層が悪影響を受けないようにするため、水現像型かアルカリ水溶液現像型のフォトレジストを用いることが好ましい。   Steps (b) to (d) are pattern forming steps for forming a resist pattern on the surface of the glass resin composition layer 11. Step (b) is a step of laminating a photoresist layer 15 on the surface of the glass resin composition layer 11. The photoresist layer can be formed by applying a paste composition containing a photosensitive resin on the surface of the glass resin composition layer and drying it, or by laminating a dry film resist. However, when a laminated sheet in which a photoresist layer is previously laminated on the glass resin composition layer is used, the step (b) is unnecessary. The photoresist layer may be positive or negative. In the case of the positive type, the exposed portion is removed by development. In the case of the negative type, the unexposed portion is removed by development. The manufacturing process diagram of the back substrate for PDP in FIG. 4 illustrates the case where a negative type photoresist is used. In order to prevent the glass resin composition layer from being adversely affected during resist development, it is preferable to use a water development type or alkaline aqueous solution development type photoresist.

工程(c)は、フォトレジスト層15上にパターン形成用マスク18を重ね、パターン形成用マスク18を介してフォトレジスト層15を露光する工程である。   Step (c) is a step of overlaying the pattern forming mask 18 on the photoresist layer 15 and exposing the photoresist layer 15 through the pattern forming mask 18.

工程(d)は、フォトレジスト層15を現像してレジストパターンを形成する工程である。現像することにより、未露光部分は除去され、露光部分は残る。このように工程(b)〜(d)によりガラス樹脂組成物層の面上にレジストパターンを形成することができるが、スクリーン印刷によりガラス樹脂組成物層の面上に直接パターニングすることも可能であり、その場合には工程(b)〜(d)は不要である。ただし、大面積で高精度のパターニングを行う場合には、フォトリソグラフィ法により形成することが好ましい。   Step (d) is a step of developing the photoresist layer 15 to form a resist pattern. By developing, an unexposed part is removed and an exposed part remains. As described above, the resist pattern can be formed on the surface of the glass resin composition layer by the steps (b) to (d), but it is also possible to directly pattern the surface of the glass resin composition layer by screen printing. In that case, steps (b) to (d) are unnecessary. However, when patterning is performed with a large area and high accuracy, it is preferably formed by a photolithography method.

工程(e)は、レジストパターンの開口部のガラス樹脂組成物層をサンドブラスト処理することにより、バリアリブ形成隔壁19と、電極又は電極パターンを被覆する誘電体層形成膜20とを一体形成するサンドブラスト工程である。サンドブラスト処理とは、一般的にバリアリブを形成するための方法であり、詳しくは、サンドブラストでは削れないレジストパターンをガラス樹脂組成物層上に形成して、ガラス樹脂組成物層全面にアルミナ、ガラスビーズ、炭酸カルシウムなどの微小粉体(研磨材)を吹き付けることにより、レジストパターンで覆われていないガラス樹脂組成物層を切削してバリアリブ隔壁を形成する方法である。   Step (e) is a sandblasting step of integrally forming the barrier rib-forming partition wall 19 and the dielectric layer forming film 20 covering the electrode or electrode pattern by sandblasting the glass resin composition layer at the opening of the resist pattern. It is. Sandblasting is a method for forming barrier ribs in general. Specifically, a resist pattern that cannot be cut by sandblasting is formed on a glass resin composition layer, and alumina and glass beads are formed on the entire surface of the glass resin composition layer. This is a method of forming barrier rib partition walls by cutting a glass resin composition layer not covered with a resist pattern by spraying fine powder (abrasive material) such as calcium carbonate.

本発明においては、ガラス樹脂組成物層と、電極又は電極パターンを有するガラス基板との間に粘弾性層を設けており、この粘弾性層の特性によりバリアリブ形成隔壁と、電極又は電極パターンを被覆する誘電体層形成膜とを一体形成することができる。上記で述べたように、従来のPDP用背面基板の製造は、ガラス基板上の電極を誘電体層でまず被覆し、その後、誘電体層上にバリアリブを形成していた。つまり誘電体層の形成とバリアリブの形成を別途独立に行っていたため、製造工程が長く、生産効率が非常に悪かった。本発明の製造方法によると、バリアリブ形成隔壁と誘電体層形成膜とを同時に一体的に形成することができるため、製造工程を大幅に削減することができ、生産効率を向上させることが可能である。このような顕著な効果が発現する理由は明らかではないが、以下のような理由が考えられる。   In the present invention, a viscoelastic layer is provided between the glass resin composition layer and the glass substrate having the electrode or electrode pattern, and the barrier rib-forming partition and the electrode or electrode pattern are covered by the characteristics of the viscoelastic layer. The dielectric layer forming film can be integrally formed. As described above, in the production of the conventional PDP rear substrate, the electrode on the glass substrate is first coated with the dielectric layer, and then the barrier rib is formed on the dielectric layer. That is, since the formation of the dielectric layer and the formation of the barrier ribs were performed separately, the manufacturing process was long and the production efficiency was very poor. According to the manufacturing method of the present invention, the barrier rib forming partition wall and the dielectric layer forming film can be integrally formed at the same time, so that the manufacturing process can be greatly reduced and the production efficiency can be improved. is there. The reason why such a remarkable effect appears is not clear, but the following reasons can be considered.

つまり、サンドブラスト処理の初期段階では、切削されるガラス樹脂組成物層の表面は硬く、脆く、また弾性をほとんど有さない(クッション性がない)ため、研磨材の有する衝撃エネルギーをガラス樹脂組成物層全体で吸収することができず、その衝撃エネルギーはガラス樹脂組成物層表面の研磨剤との接触部分に集中的に与えられることになる。そのためサンドブラスト処理の初期段階では、ガラス樹脂組成物層がよく切削されると考えられる。しかし、サンドブラスト処理の最終段階に近づいてくると、薄くなったガラス樹脂組成物層の下にある粘弾性を有する(クッション性を有する)粘弾性層の影響により研磨材の有する衝撃エネルギーが分散され、ガラス樹脂組成物層表面の研磨剤との接触部分の衝撃エネルギーが緩和されることになる。そのためガラス樹脂組成物層が切削されにくくなり、誘電体層形成膜となる薄膜が形成されると考えられる。   In other words, at the initial stage of the sandblast treatment, the surface of the glass resin composition layer to be cut is hard, brittle, and hardly elastic (no cushioning property). The entire layer cannot be absorbed, and the impact energy is concentrated on the contact portion of the glass resin composition layer surface with the abrasive. Therefore, it is considered that the glass resin composition layer is well cut at the initial stage of the sandblast treatment. However, as the final stage of the sandblasting process is approached, the impact energy of the abrasive is dispersed due to the viscoelastic (cushioning) viscoelastic layer under the thin glass resin composition layer. And the impact energy of the contact part with the abrasive | polishing agent of the glass resin composition layer surface will be relieved. Therefore, it is considered that the glass resin composition layer is difficult to cut, and a thin film to be a dielectric layer forming film is formed.

前記サンドブラスト処理における研磨材の噴射圧力は特に制限されないが、切削効率と高精度のバリアリブ形成隔壁と好適な厚さの誘電体層形成膜とを形成する観点から、0.05〜0.2MPaであることが好ましく、さらに好ましくは0.08〜0.15MPaである。   The spray pressure of the abrasive in the sandblasting treatment is not particularly limited, but it is 0.05 to 0.2 MPa from the viewpoint of forming cutting efficiency and high-precision barrier rib-forming partition walls and a dielectric layer-forming film having a suitable thickness. It is preferable that it is 0.08 to 0.15 MPa.

バリアリブ形成隔壁の高さは特に制限されないが、通常50〜400μmであり、好ましくは80〜300μmである。また、バリアリブ形成隔壁の上部の線幅も特に制限されないが、通常30〜100μmであり、好ましくは30〜70μmである。   The height of the barrier rib-forming partition wall is not particularly limited, but is usually 50 to 400 μm, preferably 80 to 300 μm. Moreover, although the line width of the upper part of the barrier rib-formed partition wall is not particularly limited, it is usually 30 to 100 μm, and preferably 30 to 70 μm.

電極又は電極パターンを被覆する誘電体層形成膜の厚さは特に制限されないが、焼結後の誘電体層の厚さを考慮すると1〜30μmであることが好ましく、さらに好ましくは5〜20μmである。   The thickness of the dielectric layer forming film covering the electrode or electrode pattern is not particularly limited, but is preferably 1 to 30 μm, more preferably 5 to 20 μm in consideration of the thickness of the dielectric layer after sintering. is there.

工程(f)は、ガラス樹脂組成物層上のレジストパターンを除去する工程である。レジストパターンの除去方法は特に制限されず、公知の方法を採用することができる。例えば、剥離液を用いて剥離する方法や引き剥がす方法が挙げられる。本発明においては、バリアリブ形成隔壁と誘電体層形成膜とを焼結する時にレジストパターンを熱分解除去してもよいが、焼成工程前に予め除去しておくことが好ましい。   Step (f) is a step of removing the resist pattern on the glass resin composition layer. The method for removing the resist pattern is not particularly limited, and a known method can be adopted. For example, a peeling method using a peeling solution and a peeling method may be mentioned. In the present invention, the resist pattern may be thermally decomposed and removed when the barrier rib-forming partition wall and the dielectric layer-forming film are sintered, but it is preferably removed in advance before the firing step.

工程(g)は、上記方法により形成したバリアリブ形成隔壁19と誘電体層形成膜20とを焼結することにより、バリアリブ21と誘電体層22とを一体形成する焼成工程である。ガラス基板上に電極パターン16bが形成されている場合には、バリアリブ形成隔壁19と誘電体層形成膜20とを焼結する際に、電極パターン16bも同時に焼結して電極16aを形成する。本発明の製造方法によると、電極、バリアリブ、及び誘電体層を1回の焼成工程で形成することができるため、生産効率に極めて優れる。   Step (g) is a firing step in which the barrier rib 21 and the dielectric layer 22 are integrally formed by sintering the barrier rib forming partition wall 19 and the dielectric layer forming film 20 formed by the above method. When the electrode pattern 16b is formed on the glass substrate, when the barrier rib-forming partition wall 19 and the dielectric layer forming film 20 are sintered, the electrode pattern 16b is simultaneously sintered to form the electrode 16a. According to the production method of the present invention, the electrode, the barrier rib, and the dielectric layer can be formed by a single firing step, and thus the production efficiency is extremely excellent.

バリアリブと、電極を被覆する誘電体層とを一体形成することができれば焼結の方法は特に制限されず、公知の方法を採用することができる。例えば、上記方法で作成したバリアリブ形成隔壁と誘電体層形成膜と粘弾性層と電極又は電極パターンを有するガラス基板を、200〜450℃、好ましくは300〜420℃の雰囲気下に配置することにより、バリアリブ形成隔壁、誘電体層形成膜、及び電極パターン中の有機物質(バインダ樹脂、残存溶剤、各種の添加剤など)、粘弾性層、及びレジストパターンを有する場合にはレジストを熱分解除去する。その後、バリアリブ形成隔壁及び誘電体層形成膜中の無機粉体を450〜600℃、好ましくは540〜585℃で溶融して焼結する。電極パターンが低融点ガラス粉末等の無機粉体を含有する場合には同時に溶融して焼結する。   If the barrier rib and the dielectric layer covering the electrode can be integrally formed, the sintering method is not particularly limited, and a known method can be adopted. For example, by disposing a glass substrate having a barrier rib-forming partition wall, a dielectric layer forming film, a viscoelastic layer, and an electrode or an electrode pattern created by the above method in an atmosphere of 200 to 450 ° C., preferably 300 to 420 ° C. If there is a barrier rib-forming partition wall, dielectric layer-forming film, and organic material (binder resin, residual solvent, various additives, etc.), viscoelastic layer, and resist pattern in the electrode pattern, the resist is thermally decomposed and removed. . Thereafter, the inorganic powder in the barrier rib forming partition walls and the dielectric layer forming film is melted and sintered at 450 to 600 ° C., preferably 540 to 585 ° C. When the electrode pattern contains an inorganic powder such as a low melting glass powder, it is simultaneously melted and sintered.

これにより、電極を有するガラス基板上には、無機焼結体からなるバリアリブと誘電体層とが同一工程で一体的に形成される。該誘電体層はガラス基板上の電極を完全に被覆しており、クラック等の欠陥も全くない。   Thereby, on the glass substrate which has an electrode, the barrier rib which consists of inorganic sintered bodies, and a dielectric material layer are integrally formed by the same process. The dielectric layer completely covers the electrodes on the glass substrate and has no defects such as cracks.

電極を被覆する誘電体層の厚さは特に制限されないが、1〜20μmであることが好ましく、さらに好ましくは5〜10μmである。電極を被覆する誘電体層の厚さが1μm未満の場合には、所望の誘電特性を確保することができない傾向にある。一方、20μmを超える場合には、放電空間が小さくなるため輝度が低下する傾向にある。   The thickness of the dielectric layer covering the electrode is not particularly limited, but is preferably 1 to 20 μm, more preferably 5 to 10 μm. When the thickness of the dielectric layer covering the electrode is less than 1 μm, desired dielectric characteristics tend not to be ensured. On the other hand, when the thickness exceeds 20 μm, the discharge space becomes small and the luminance tends to decrease.

焼成後のバリアリブの高さは特に制限されないが、通常50〜300μmであり、好ましくは80〜200μmである。   The height of the barrier rib after firing is not particularly limited, but is usually 50 to 300 μm, preferably 80 to 200 μm.

本発明のPDP用背面基板は、その後、バリアリブ及び誘電体層上に蛍光体層を形成することなどにより製造される。前記PDP用背面基板の製造方法は、バリアリブと誘電体層とが設けられるすべての種類のPDP用背面基板の製造に適用することができる。   The rear substrate for PDP of the present invention is then manufactured by forming a phosphor layer on the barrier rib and the dielectric layer. The manufacturing method of the back substrate for PDP can be applied to manufacturing all types of back substrates for PDP provided with barrier ribs and dielectric layers.

また、前記PDP用背面基板は、面放電型や対向放電型の交流型PDPに好適に使用することができる。   The PDP rear substrate can be suitably used for a surface discharge type or a counter discharge type AC type PDP.

以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be specifically described by way of examples, but the present invention is not limited thereto.

(重量平均分子量の測定)
作製したポリマーの重量平均分子量は、GPC(ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィ)にて測定し、標準ポリスチレンにより換算した。
GPC装置:東ソー社製、HLC−8220GPC
カラム:東ソー社製、TSKgel Super HZM−H、H−RC、HZ−H
流量:0.6ml/min
濃度:0.2wt%
注入量:20μl
カラム温度:40℃
溶離液:THF
(粘弾性層の重量減少率の測定)
作製した粘弾性層の重量減少率(%)は、TG−DTA測定装置(SSIテクノロジー社製、TG/DTA220)を用い、常温から400℃まで10℃/分の条件で昇温し、400℃での値を測定した。
(Measurement of weight average molecular weight)
The weight average molecular weight of the produced polymer was measured by GPC (gel permeation chromatography) and converted by standard polystyrene.
GPC device: manufactured by Tosoh Corporation, HLC-8220GPC
Column: manufactured by Tosoh Corporation, TSKgel Super HZM-H, H-RC, HZ-H
Flow rate: 0.6ml / min
Concentration: 0.2 wt%
Injection volume: 20 μl
Column temperature: 40 ° C
Eluent: THF
(Measurement of weight loss rate of viscoelastic layer)
The weight loss rate (%) of the produced viscoelastic layer was raised from room temperature to 400 ° C. under a condition of 10 ° C./min using a TG-DTA measuring device (TG / DTA 220, manufactured by SSI Technology). The value at was measured.

実施例1
〔ガラス樹脂組成物層の作成〕
ガラスフリット(RFW−401C、旭硝子(株)製)100重量部、ポリビニルブチラール(デンカブチラール、重合度:約2000、PVB比率=約80%)2.5重量部、及び可塑剤としてトリメリット酸トリオクチル(TOTM)0.3重量部を溶媒(α−テルピネオール/酢酸n−ブチルカルビトール=9/1(重量比)の混合溶媒)35重量部中に加え、ディスパー(回転プロペラ式撹拌機)で予備分散した後、3本ロール分散機を用いて本分散を行い、均一に混合されたガラスペースト組成物を調製した。ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムに剥離剤処理を施したベースフィルム上に、前記調製したガラスペースト組成物をロールコータを用いて塗布し、塗膜を140℃で5分間乾燥することにより溶剤を除去してガラス樹脂組成物層(厚さ:160μm)を形成した。その後、ガラス樹脂組成物層上に保護フィルム(PET)をカバーしてフィルム付きガラス樹脂組成物層を作成し、それをロール状に巻き取った。
Example 1
[Creation of glass resin composition layer]
100 parts by weight of glass frit (RFW-401C, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), 2.5 parts by weight of polyvinyl butyral (Denka butyral, degree of polymerization: about 2000, PVB ratio = about 80%), and trioctyl trimellitic acid as a plasticizer (TOTM) 0.3 part by weight is added to 35 parts by weight of a solvent (mixed solvent of α-terpineol / n-butyl carbitol acetate = 9/1 (weight ratio)) and preliminarily used with a disper (rotary propeller type stirrer). After dispersion, the dispersion was performed using a three-roll disperser to prepare a uniformly mixed glass paste composition. The prepared glass paste composition is applied on a base film obtained by subjecting a polyethylene terephthalate (PET) film to a release agent treatment, and the solvent is removed by drying the coating film at 140 ° C. for 5 minutes. A glass resin composition layer (thickness: 160 μm) was formed. Thereafter, a protective film (PET) was covered on the glass resin composition layer to prepare a glass resin composition layer with a film, which was wound into a roll.

〔粘弾性層の作成〕
モノマー重量組成比がブチルアクリレート/アクリル酸=100/5であり、重量平均分子量100万のアクリル系共重合体を40重量%含む酢酸エチル溶液に架橋剤(日本ポリウレタン社製、コロネートL)0.05重量部を添加してアクリル系粘着剤組成物を調製した。ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムに剥離剤処理を施した剥離ライナ(保護フィルム)上に、前記調製したアクリル系粘着剤組成物をロールコータを用いて塗布し、塗膜を80℃で3分間乾燥することにより溶剤を除去してアクリル系粘着剤からなる粘弾性層(厚さ:10μm、重量減少率:82%)を形成した。その後、粘弾性層上に保護フィルム(PET)をカバーしてフィルム付き粘弾性層を作成し、それをロール状に巻き取った。
(Creation of viscoelastic layer)
The monomer weight composition ratio is butyl acrylate / acrylic acid = 100/5, and a crosslinking agent (Coronate L, manufactured by Nippon Polyurethane Co., Ltd.) is added to an ethyl acetate solution containing 40% by weight of an acrylic copolymer having a weight average molecular weight of 1,000,000. An acrylic pressure-sensitive adhesive composition was prepared by adding 05 parts by weight. The prepared acrylic pressure-sensitive adhesive composition is applied on a release liner (protective film) obtained by subjecting a polyethylene terephthalate (PET) film to a release agent treatment, and the coating film is dried at 80 ° C. for 3 minutes. Thus, the solvent was removed to form a viscoelastic layer (thickness: 10 μm, weight reduction rate: 82%) made of an acrylic pressure-sensitive adhesive. Thereafter, a viscoelastic layer with a film was formed by covering a protective film (PET) on the viscoelastic layer, and the film was wound into a roll.

〔積層シートの作成〕
前記フィルム付きガラス樹脂組成物層から保護フィルムを剥離した。また、前記フィルム付き粘弾性層から保護フィルムを剥離した。そして、剥離面のガラス樹脂組成物層と粘弾性層とを当接するように重ね合わせ、ロール式ラミネータを用いて圧着し、ベースフィルム、ガラス樹脂組成物層、粘弾性層、及び保護フィルムからなる積層シートを作成した。
[Creation of laminated sheet]
The protective film was peeled off from the glass resin composition layer with a film. Moreover, the protective film was peeled from the viscoelastic layer with a film. Then, the glass resin composition layer and the viscoelastic layer on the release surface are overlapped so as to come into contact with each other, and are pressure-bonded using a roll laminator, and consist of a base film, a glass resin composition layer, a viscoelastic layer, and a protective film. A laminated sheet was created.

〔PDP用背面基板の作成〕
前記積層シートを所定サイズに切断し、保護フィルムを剥離した。そして、電極を有するガラス基板(旭硝子社製、PD200)上に、該積層シートの粘弾性層を重ね合わせ、ロール式ラミネータを用いて圧着した。その後、ベースフィルムを剥離することによりガラス樹脂組成物層及び粘弾性層からなる積層シートを転写して積層シート付きガラス基板を作成した。
[Creation of rear substrate for PDP]
The laminated sheet was cut into a predetermined size, and the protective film was peeled off. And the viscoelastic layer of this lamination sheet was piled up on the glass substrate (Asahi Glass Co., Ltd. product, PD200) which has an electrode, and it crimped | bonded using the roll-type laminator. Then, the laminated sheet which consists of a glass resin composition layer and a viscoelastic layer was transcribe | transferred by peeling a base film, and the glass substrate with a laminated sheet was created.

そして、フォトレジスト層としてドライフィルムレジスト(東京応化製、オーディルシリーズ)を熱ロールを用いて積層シート付きガラス基板のガラス樹脂組成物層上にラミネートした。次に、線幅50μm、ピッチ300μmのパターン形成用マスクを位置合わせをしてガラス樹脂組成物層上にラミネートし、パターン形成用マスクを介してフォトレジスト層を紫外線により露光した。   Then, as a photoresist layer, a dry film resist (manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd., Audil series) was laminated on the glass resin composition layer of the glass substrate with a laminated sheet using a heat roll. Next, a pattern forming mask having a line width of 50 μm and a pitch of 300 μm was aligned and laminated on the glass resin composition layer, and the photoresist layer was exposed to ultraviolet rays through the pattern forming mask.

露光後、炭酸ナトリウム現像液にて現像を行い、未露光部のレジストを除去した。次に、レジストパターンの開口部のガラス樹脂組成物層をサンドブラスト処理(研磨材:炭酸カルシウム粒子♯600、噴射圧力:0.04MPa)して、バリアリブ形成隔壁と誘電体層形成膜(厚さ:10μm)とを一体形成した。その後、ガラス樹脂組成物層上のレジストを端部からピールして剥離した。レジストにはガラスフリットは付着しておらず、ガラス樹脂組成物層の表面は平坦であった。バリアリブ形成隔壁の上部における線幅は50μmであり、高さは160μmであった。   After the exposure, development was performed with a sodium carbonate developer to remove the unexposed resist. Next, the glass resin composition layer at the opening of the resist pattern is sandblasted (abrasive: calcium carbonate particles # 600, spraying pressure: 0.04 MPa) to form barrier rib-forming partition walls and dielectric layer-forming film (thickness: 10 μm). Thereafter, the resist on the glass resin composition layer was peeled off from the end. Glass frit did not adhere to the resist, and the surface of the glass resin composition layer was flat. The line width in the upper part of the barrier rib-formed partition wall was 50 μm and the height was 160 μm.

次に、バリアリブ形成隔壁及び誘電体層形成膜が形成されたガラス基板を焼成炉内に配置し、炉内温度400℃で30分間焼成してバリアリブ形成隔壁や誘電体層形成膜中の有機物質(バインダ樹脂、残存溶剤、各種の添加剤など)及び粘弾性層を熱分解除去した。その後、560℃で30分間焼成してガラスフリットを溶融・焼結させた。その結果、ガラス基板上にバリアリブ(上部における線幅:40μm、高さ:110μm)と電極を被覆する誘電体層(電極の被覆部分の厚さ:7μm)とが一体形成されていた。作製したPDP用背面基板の表面を顕微鏡(ジャパンハイテック社製、倍率:200倍)で観察したところ、誘電体層にクラック等の欠陥は全くなかった。   Next, the glass substrate on which the barrier rib forming partition walls and the dielectric layer forming film are formed is placed in a firing furnace, and is baked at a furnace temperature of 400 ° C. for 30 minutes, and the organic material in the barrier rib forming partition walls and the dielectric layer forming film is baked. (Binder resin, residual solvent, various additives, etc.) and the viscoelastic layer were pyrolyzed and removed. Thereafter, the glass frit was melted and sintered by firing at 560 ° C. for 30 minutes. As a result, barrier ribs (line width at the top: 40 μm, height: 110 μm) and a dielectric layer (thickness of the covering portion of the electrode: 7 μm) were integrally formed on the glass substrate. When the surface of the produced back substrate for PDP was observed with a microscope (Japan Hightech Co., magnification: 200 times), the dielectric layer had no defects such as cracks.

比較例1
実施例1の粘弾性層の作成において、モノマー重量組成比がブチルアクリレート/アクリル酸=100/5であり、重量平均分子量100万のアクリル系共重合体の代わりに、モノマー組成がラウリルメタクリレート100%であり、重量平均分子量50万のメタクリル系共重合体を用いた以外は実施例1と同様の方法でPDP用背面基板を作成した。粘弾性層の重量減少率は97%であった。作製したPDP用背面基板の表面を顕微鏡(ジャパンハイテック社製、倍率:200倍)で観察したところ、誘電体層にクラックが多く発生していた。
Comparative Example 1
In the preparation of the viscoelastic layer of Example 1, the monomer composition was butyl acrylate / acrylic acid = 100/5, and instead of the acrylic copolymer having a weight average molecular weight of 1 million, the monomer composition was 100% lauryl methacrylate. A PDP rear substrate was prepared in the same manner as in Example 1 except that a methacrylic copolymer having a weight average molecular weight of 500,000 was used. The weight loss rate of the viscoelastic layer was 97%. When the surface of the manufactured back substrate for PDP was observed with a microscope (manufactured by Japan High-Tech, magnification: 200 times), many cracks were generated in the dielectric layer.

3電極面放電型PDPの構造を示す斜視図。The perspective view which shows the structure of 3 electrode surface discharge type PDP. 本発明の積層シートの断面図の一例。An example of sectional drawing of the lamination sheet of this invention. 本発明の積層シートの断面図の他の一例。The other example of sectional drawing of the lamination sheet of this invention. 本発明のPDP用背面基板の製造方法の一例を示す工程図。Process drawing which shows an example of the manufacturing method of the back substrate for PDP of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1:前面ガラス基板
2:サステイン電極(表示電極)
3:バス電極
4、8、22:誘電体層
5:MgO膜(保護層)
6:背面ガラス基板
7:アドレス電極(データ電極)
9、21:バリアリブ
10:蛍光体層
11:ガラス樹脂組成物層
12:粘弾性層
13:ベースフィルム
14:保護フィルム
15:フォトレジスト層
16a:電極
16b:電極パターン
17:ガラス基板
18:パターン形成用マスク
19:バリアリブ形成隔壁
20:誘電体層形成膜
1: Front glass substrate 2: Sustain electrode (display electrode)
3: Bus electrodes 4, 8, 22: Dielectric layer 5: MgO film (protective layer)
6: Rear glass substrate 7: Address electrode (data electrode)
9, 21: barrier rib 10: phosphor layer 11: glass resin composition layer 12: viscoelastic layer 13: base film 14: protective film 15: photoresist layer 16a: electrode 16b: electrode pattern 17: glass substrate 18: pattern formation Mask 19: barrier rib forming partition 20: dielectric layer forming film

Claims (14)

無機粉体及びバインダ樹脂を含有するガラス樹脂組成物層の片面側に粘弾性層が積層されており、前記粘弾性層は、焼成温度が400℃になるまで焼成した際の重量減少率が96%以下である、電極を有するガラス基板上に誘電体層とバリアリブとを一体形成するために用いられる積層シート。 A viscoelastic layer is laminated on one side of a glass resin composition layer containing an inorganic powder and a binder resin, and the viscoelastic layer has a weight reduction rate of 96 when fired until the firing temperature reaches 400 ° C. % Or less, a laminated sheet used for integrally forming a dielectric layer and a barrier rib on a glass substrate having an electrode. ガラス樹脂組成物層の他面側にベースフィルムが積層されている請求項1記載の積層シート。 The laminated sheet according to claim 1, wherein a base film is laminated on the other surface side of the glass resin composition layer. ガラス樹脂組成物層とベースフィルムとの間にフォトレジスト層が積層されている請求項2記載の積層シート。 The laminated sheet according to claim 2, wherein a photoresist layer is laminated between the glass resin composition layer and the base film. 電極を有するガラス基板上に請求項1記載の積層シートの粘弾性層を貼り合わせる貼付け工程、該ガラス樹脂組成物層の面上にレジストパターンを形成するパターン形成工程、該レジストパターンの開口部のガラス樹脂組成物層をサンドブラスト処理することにより、バリアリブ形成隔壁と、電極を被覆する誘電体層形成膜とを一体形成するサンドブラスト工程、バリアリブ形成隔壁と誘電体層形成膜とを焼結することによりバリアリブと誘電体層とを一体形成する焼成工程、を含むプラズマディスプレイパネル用背面基板の製造方法。 A pasting step of bonding the viscoelastic layer of the laminated sheet according to claim 1 on a glass substrate having electrodes, a pattern forming step of forming a resist pattern on the surface of the glass resin composition layer, an opening of the resist pattern By sandblasting the glass resin composition layer, a sandblasting process in which the barrier rib-forming partition and the dielectric layer forming film covering the electrode are integrally formed, and by sintering the barrier rib-forming partition and the dielectric layer forming film A method of manufacturing a rear substrate for a plasma display panel, comprising a firing step of integrally forming a barrier rib and a dielectric layer. 金属ペーストからなる電極パターンをガラス基板上に形成する電極パターン形成工程、電極パターンを有するガラス基板上に請求項1記載の積層シートの粘弾性層を貼り合わせる貼付け工程、該ガラス樹脂組成物層の面上にレジストパターンを形成するパターン形成工程、該レジストパターンの開口部のガラス樹脂組成物層をサンドブラスト処理することにより、バリアリブ形成隔壁と、電極パターンを被覆する誘電体層形成膜とを一体形成するサンドブラスト工程、電極パターン、バリアリブ形成隔壁、及び誘電体層形成膜を焼結することにより、電極を形成し、かつバリアリブと誘電体層とを一体形成する焼成工程、を含むプラズマディスプレイパネル用背面基板の製造方法。 The electrode pattern formation process which forms the electrode pattern which consists of metal pastes on a glass substrate, the sticking process which bonds the viscoelastic layer of the lamination sheet of Claim 1 on the glass substrate which has an electrode pattern, The glass resin composition layer A pattern forming process for forming a resist pattern on the surface, and a glass-resin composition layer at the opening of the resist pattern is sandblasted to integrally form a barrier rib-forming partition and a dielectric layer forming film covering the electrode pattern A back surface for a plasma display panel, comprising: a sand blasting step, an electrode pattern, a barrier rib-forming partition wall, and a firing step of forming an electrode by sintering a dielectric layer-forming film and integrally forming the barrier rib and the dielectric layer A method for manufacturing a substrate. 電極を有するガラス基板上に請求項2記載の積層シートの粘弾性層を貼り合わせる貼付け工程、該積層シートからベースフィルムを剥離する剥離工程、ガラス樹脂組成物層の面上にレジストパターンを形成するパターン形成工程、該レジストパターンの開口部のガラス樹脂組成物層をサンドブラスト処理することにより、バリアリブ形成隔壁と、電極を被覆する誘電体層形成膜とを一体形成するサンドブラスト工程、バリアリブ形成隔壁と誘電体層形成膜とを焼結することによりバリアリブと誘電体層とを一体形成する焼成工程、を含むプラズマディスプレイパネル用背面基板の製造方法。 A bonding step of bonding the viscoelastic layer of the laminated sheet according to claim 2 on a glass substrate having electrodes, a peeling step of peeling the base film from the laminated sheet, and forming a resist pattern on the surface of the glass resin composition layer A sandblasting process for integrally forming a barrier rib forming partition and a dielectric layer forming film covering the electrode by sandblasting the glass resin composition layer at the opening of the resist pattern; A method for manufacturing a back substrate for a plasma display panel, comprising a firing step of integrally forming a barrier rib and a dielectric layer by sintering a body layer forming film. 金属ペーストからなる電極パターンをガラス基板上に形成する電極パターン形成工程、電極パターンを有するガラス基板上に請求項2記載の積層シートの粘弾性層を貼り合わせる貼付け工程、該積層シートからベースフィルムを剥離する剥離工程、ガラス樹脂組成物層の面上にレジストパターンを形成するパターン形成工程、該レジストパターンの開口部のガラス樹脂組成物層をサンドブラスト処理することにより、バリアリブ形成隔壁と、電極パターンを被覆する誘電体層形成膜とを一体形成するサンドブラスト工程、電極パターン、バリアリブ形成隔壁、及び誘電体層形成膜を焼結することにより、電極を形成し、かつバリアリブと誘電体層とを一体形成する焼成工程、を含むプラズマディスプレイパネル用背面基板の製造方法。 An electrode pattern forming step of forming an electrode pattern made of a metal paste on a glass substrate, an attaching step of bonding the viscoelastic layer of the laminated sheet according to claim 2 on the glass substrate having the electrode pattern, and a base film from the laminated sheet Stripping step for peeling, pattern forming step for forming a resist pattern on the surface of the glass resin composition layer, sandblasting the glass resin composition layer at the opening of the resist pattern, thereby forming barrier rib-forming partition walls and electrode patterns The electrode is formed by sintering the sandblasting process for integrally forming the dielectric layer forming film to be covered, the electrode pattern, the barrier rib forming partition wall, and the dielectric layer forming film, and the barrier rib and the dielectric layer are integrally formed. The manufacturing method of the back substrate for plasma display panels including the baking process to perform. パターン形成工程が、ガラス樹脂組成物層上にフォトレジスト層とパターン形成用マスクとを積層し、パターン形成用マスクを介してフォトレジスト層を露光・現像してレジストパターンを形成する工程である請求項4〜7のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネル用背面基板の製造方法。 The pattern forming step is a step of laminating a photoresist layer and a pattern forming mask on the glass resin composition layer, and exposing and developing the photoresist layer through the pattern forming mask to form a resist pattern. Item 8. A method for producing a rear substrate for a plasma display panel according to any one of Items 4 to 7. 電極を有するガラス基板上に請求項3記載の積層シートの粘弾性層を貼り合わせる貼付け工程、該積層シートからベースフィルムを剥離する剥離工程、ガラス樹脂組成物層の面上にレジストパターンを形成するパターン形成工程、該レジストパターンの開口部のガラス樹脂組成物層をサンドブラスト処理することにより、バリアリブ形成隔壁と、電極を被覆する誘電体層形成膜とを一体形成するサンドブラスト工程、バリアリブ形成隔壁と誘電体層形成膜とを焼結することによりバリアリブと誘電体層とを一体形成する焼成工程、を含むプラズマディスプレイパネル用背面基板の製造方法。 A bonding step of bonding the viscoelastic layer of the laminated sheet according to claim 3 on a glass substrate having electrodes, a peeling step of peeling the base film from the laminated sheet, and forming a resist pattern on the surface of the glass resin composition layer A sandblasting process for integrally forming a barrier rib forming partition and a dielectric layer forming film covering the electrode by sandblasting the glass resin composition layer at the opening of the resist pattern; A method for manufacturing a back substrate for a plasma display panel, comprising a firing step of integrally forming a barrier rib and a dielectric layer by sintering a body layer forming film. 金属ペーストからなる電極パターンをガラス基板上に形成する電極パターン形成工程、電極パターンを有するガラス基板上に請求項3記載の積層シートの粘弾性層を貼り合わせる貼付け工程、該積層シートからベースフィルムを剥離する剥離工程、ガラス樹脂組成物層の面上にレジストパターンを形成するパターン形成工程、該レジストパターンの開口部のガラス樹脂組成物層をサンドブラスト処理することにより、バリアリブ形成隔壁と、電極パターンを被覆する誘電体層形成膜とを一体形成するサンドブラスト工程、電極パターン、バリアリブ形成隔壁、及び誘電体層形成膜を焼結することにより、電極を形成し、かつバリアリブと誘電体層とを一体形成する焼成工程、を含むプラズマディスプレイパネル用背面基板の製造方法。 An electrode pattern forming step of forming an electrode pattern made of a metal paste on a glass substrate, a bonding step of bonding the viscoelastic layer of the laminated sheet according to claim 3 on the glass substrate having the electrode pattern, and a base film from the laminated sheet Stripping step for peeling, pattern forming step for forming a resist pattern on the surface of the glass resin composition layer, sandblasting the glass resin composition layer at the opening of the resist pattern, thereby forming barrier rib-forming partition walls and electrode patterns The electrode is formed by sintering the sandblasting process for integrally forming the dielectric layer forming film to be covered, the electrode pattern, the barrier rib forming partition wall, and the dielectric layer forming film, and the barrier rib and the dielectric layer are integrally formed. The manufacturing method of the back substrate for plasma display panels including the baking process to perform. パターン形成工程が、フォトレジスト層上にパターン形成用マスクを積層し、パターン形成用マスクを介してフォトレジスト層を露光・現像してレジストパターンを形成する工程である請求項9又は10記載のプラズマディスプレイパネル用背面基板の製造方法。 11. The plasma according to claim 9, wherein the pattern forming step is a step of forming a resist pattern by laminating a pattern forming mask on the photoresist layer and exposing and developing the photoresist layer through the pattern forming mask. A method for manufacturing a rear substrate for a display panel. サンドブラスト工程と焼成工程との間に、ガラス樹脂組成物層上のレジストパターンを除去する工程を含む請求項4〜11のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネル用背面基板の製造方法。 The manufacturing method of the back substrate for plasma display panels in any one of Claims 4-11 including the process of removing the resist pattern on a glass resin composition layer between a sandblasting process and a baking process. 請求項4〜12のいずれかに記載の方法により製造されるプラズマディスプレイパネル用背面基板。 The back substrate for plasma display panels manufactured by the method in any one of Claims 4-12. 請求項13記載のプラズマディスプレイパネル用背面基板を用いたプラズマディスプレイパネル。 A plasma display panel using the back substrate for a plasma display panel according to claim 13.
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