JP2006237399A - 半導体センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】ダイアフラムの受けた振動を電気信号に変換する変換部をより容易且つ強靱に固定することのできる半導体センサを提供する。
【解決手段】外部から伝搬された音波を直接受圧して振動可能に配設されるダイアフラム11と、そのダイアフラム11の振動を電気信号に変換する平行平板型コンデンサを構成する可動電極13および固定電極14とを、半導体基板10上の異なる部位に形成する。そしてダイアフラム11と可動電極13とを、半導体基板10の上面から離間した状態で配設された振動伝達部材15によって連結する。
【選択図】 図1
【解決手段】外部から伝搬された音波を直接受圧して振動可能に配設されるダイアフラム11と、そのダイアフラム11の振動を電気信号に変換する平行平板型コンデンサを構成する可動電極13および固定電極14とを、半導体基板10上の異なる部位に形成する。そしてダイアフラム11と可動電極13とを、半導体基板10の上面から離間した状態で配設された振動伝達部材15によって連結する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、外部から伝搬される圧力変動を受圧し、それを電気信号に変換して出力する半導体センサに関する。
近年のMEMS(微細電気機械システム:Micro Electro Mechanical System )関連技術の進展により、微細な機械要素(可動要素)を備えた半導体部品が数多く開発されている。そうしたMEMS構造を備える半導体部品として、半導体基板上に形成された可動なダイアフラムを備え、外部から伝搬される圧力変動の受圧に伴うダイアフラムの振動を電気信号に変換して出力する半導体センサが知られている。そして従来、そうした半導体センサとして、例えば特許文献1,2にみられるような半導体音響センサ(マイクロフォン)が実用されている。
図8に、従来の一般的な半導体音響センサ5の断面構造を示す。同図(a)は、半導体音響センサ5の側部断面構造を示している。また同図(b)は、同半導体音響センサ5の平面構造を示している。
図8(a)に示すように、半導体音響センサ5は、固定電極51および可動ダイアフラム電極52の2枚の平板電極を備えて構成されている。可動ダイアフラム電極52は、半導体基板50の表面に形成されており、その後背には、半導体基板50を貫通する音孔57が形成されている。これにより、可動ダイアフラム電極52は、その平板中央部が周囲から遊離された状態とされている。また固定電極51は、半導体基板50の表面から上方に突出形成された支持部51Aによって、可動ダイアフラム電極52の表面から上方に離間した位置に支持されている。これにより、固定電極51および可動ダイアフラム電極52は、一定の間隔をおいて対向して配置され、それらによってコンデンサが形成される。
これら固定電極51および可動ダイアフラム電極52には、図8(b)に示すように、半導体基板50上に形成された配線53,55がそれぞれ接続されている。配線53,55は、同じく半導体基板50上に形成された電極パッド54,56にそれぞれ接続されている。そして固定電極51および可動ダイアフラム電極52は、これら電極パッド54,56を介して外部との電気接続がなされるようになっている。
以上のように構成された半導体音響センサ5では、音孔57を介して音波の伝搬により、可動ダイアフラム電極52が振動すると、固定電極51と可動ダイアフラム電極52との間の距離が変化して、それらにより構成されるコンデンサの静電容量が変化する。半導体音響センサ5は、そうした静電容量の変化に応じた両電極パッド54,56間の電圧変化を検出信号として出力する静電容量感知型のセンサとなっている。
特表2004−506394号公報
特表2003−508997号公報
こうした半導体音響センサ5の音響感度を良好に確保するには、可動ダイアフラム電極52の振動に伴って振動されることの無いように、固定電極51をリジッドに固定する必要がある。ところが、可動ダイアフラム電極52は、振動可能なようにその平板中央部を周囲から離間させた状態で設置する必要があり、それに対向して配設される固定電極51も半導体基板50から遊離した状態でしか設置できない構造となっている。そのため、上
記のような従来の半導体音響センサ5では、固定電極51の固定を十分な強度で行うことが困難な構造となっている。
記のような従来の半導体音響センサ5では、固定電極51の固定を十分な強度で行うことが困難な構造となっている。
ちなみに特許文献1に記載の半導体音響センサでは、窒化シリコン(SiN)の層によって固定電極51を補強する構造としている。しかしながら、そうした構造を採用しても、半導体基板50から離間した状態で設置される以上は、固定電極51の固定強度の向上には自ずと限界があった。
本発明は、こうした実状に鑑みてなされたものであって、その解決しようとする課題は、ダイアフラムの振動を電気信号に変換する変換部をより容易且つより確実に固定することのできる半導体センサを提供することにある。
請求項1に記載の発明は、外部から伝搬される圧力変動を受圧して振動可能に配設されるダイアフラムと、そのダイアフラムの振動を電気信号に変換する変換部とが半導体基板の表面に形成された半導体センサにおいて、前記ダイアフラムと前記変換部とを、前記半導体基板の表面のそれぞれ異なる部位に形成するとともに、前記半導体基板から離間して形成され、かつ前記ダイアフラムと前記変換部とを連結してそれらの一方から他方へと振動を伝達する振動伝達部材を備えたことをその要旨とする。
上記構成では、ダイアフラムの振動を、振動伝達部材を介して、半導体基板表面上のダイアフラムとは異なる位置に形成された変換部に伝達させ、その変換部で電気信号に変換するようにしている。そのため、半導体基板上でのダイアフラムの設置態様に拘束されることなく、変換部を設置することが可能となり、その設置の自由度が増すことから、変換部をより容易且つ強靱に固定することが可能となる。
請求項2に記載の発明は、半導体センサであって、半導体基板と、その半導体基板の表面に、外部から伝搬される圧力変動を受圧して振動可能に配設されたダイアフラムと、同半導体基板の表面の前記ダイアフラムとは異なる部位に振動可能に配設された可動電極と、前記半導体基板に固定され、かつ前記可動電極と対向して配設された固定電極と、前記半導体基板から離間して形成されるとともに、前記ダイアフラムと前記可動電極とを連結してそれらの一方から他方へと振動を伝達する振動伝達部材と、を備えることをその要旨とする。
上記構成では、固定電極および可動電極からなる対向電極がコンデンサを形成し、そのコンデンサが、振動を電気信号に変換する変換部として機能する。ここで上記構成では、外部から伝搬される圧力変動を受圧するダイアフラムが、そうした変換部の可動電極とは別途に形成されており、振動伝達部材を介してダイアフラムの振動を可動電極に伝達することで、電気信号を発生させるようになっている。そのため、半導体基板上でのダイアフラムの設置態様に拘束されることなく、固定電極を設置可能となり、その設置の自由度が増すことから、固定電極をより容易且つ強靱に固定することが可能となる。
こうして固定電極を、半導体基板表面上のダイアフラムとは異なる位置に設置するようにすれば、請求項3に記載のように、その一方の面の全体が半導体基板に当接するように固定電極を形成することが可能となり、それにより、固定電極をより確実に固定することができるようになる。
また請求項4に記載のように、ダイアフラムおよび可動電極を平板状に形成し、かつ振動伝達部材を、ダイアフラムの平板中央部および可動電極の平板中央部にそれぞれ連結するように構成すれば、ダイアフラムから可動電極への振動の伝達性を高めて、半導体セン
サの感度をより良好に確保することができる。
サの感度をより良好に確保することができる。
ちなみに上記請求項1〜4に記載の半導体センサは、請求項5に記載のように、外部から伝搬された音波を電気信号に変換して出力する半導体音響センサとして具現することが可能である。
本発明の半導体センサによれば、ダイアフラムの振動を電気信号に変換する変換部をより容易且つより確実に固定することができる。そしてその結果、半導体センサの感度を効果的に高めることができるようにもなる。
以下、本発明の半導体センサを、音波を検出する半導体音響センサとして具体化した一実施形態を、図1〜図4を参照して詳細に説明する。なお以下の説明では、半導体音響センサを構成する半導体基板について、そのダイアフラム等の形成される側の表面を「上面」と記載し、その反対側の表面を「下面」と記載する。
まず図1に基づいて、本実施形態の半導体音響センサ1の構造を説明する。図1(a)は、半導体音響センサ1の側部断面構造を、図1(b)はその平面構造をそれぞれ示している。
図1(a)に示すように半導体音響センサ1の半導体基板10には、その上面から下面までを貫通する音孔12が形成されており、その上面側を塞ぐように円板状のダイアフラム11が設置されている。このダイアフラム11には、音孔12を介して、外部から伝搬された音波、すなわち空気の圧力変動が直接受圧されるようになっている。この半導体音響センサ1では、ダイアフラム11は、ポリシリコンにより形成されている。
また半導体基板10の上面には、ダイアフラム11に隣接して、凹部10Aが形成されており、その上面側を塞ぐように円板状の可動電極13が形成されている。この半導体音響センサ1では、可動電極13はポリシリコンによって形成されており、その表面には、多数の孔13Aが設けられている。更に半導体基板10の上記凹部10Aの底面部分には、円板状の固定電極14が形成されている。この半導体音響センサ1では、固定電極14は、半導体基板10表面にリンやボロン等をドーピングすることで導電性を持たせた導電層によって形成されている。これら可動電極13および固定電極14は、同図に示すように一定の間隔をおいて対向配置されており、それらによって、振動を電気信号に変換する変換部となる平行平板型コンデンサが形成される。
さてこうした半導体音響センサ1のダイアフラム11および可動電極13は、半導体基板10から離間して形成された、線状の振動伝達部材15を介して連結されている。振動伝達部材15は、ダイアフラム11の平板中央部および可動電極13の平板中央部にそれぞれ連結されている。この半導体音響センサ1では、振動伝達部材15は、金により形成されている。
なお図1(b)に示すように、可動電極13および固定電極14は、半導体基板10の上面に形成された配線16,18にそれぞれ接続されている。また各配線16,18は、同じく半導体基板10の上面に形成された電極パッド17,19にそれぞれ接続されている。この半導体音響センサ1では、これら配線16,18および電極パッド17,19は、金により形成されている。
さて以上のように構成された半導体音響センサ1では、図2に示すように、音孔12を
通じて外部から伝搬された音波がダイアフラム11に伝達され、それによりダイアフラム11が振動すると、その振動は、振動伝達部材15を通じて可動電極13に伝達されるようになる。これにより、可動電極13が振動することで、可動電極13と固定電極14との距離が変化し、それらによって形成されるコンデンサの静電容量が変化する。半導体音響センサ1は、その静電容量の変化を電気信号に変換して、上記電極パッド17,19を通じて外部に出力する。そのため、この半導体音響センサ1では、音波を直接受圧するダイアフラム11と平行平板型コンデンサの一方の電極を構成する可動電極13とを別体とし、かつそれらを半導体基板10上面の異なる部位に形成する構成としながらも、音響の検出が可能となっている。
通じて外部から伝搬された音波がダイアフラム11に伝達され、それによりダイアフラム11が振動すると、その振動は、振動伝達部材15を通じて可動電極13に伝達されるようになる。これにより、可動電極13が振動することで、可動電極13と固定電極14との距離が変化し、それらによって形成されるコンデンサの静電容量が変化する。半導体音響センサ1は、その静電容量の変化を電気信号に変換して、上記電極パッド17,19を通じて外部に出力する。そのため、この半導体音響センサ1では、音波を直接受圧するダイアフラム11と平行平板型コンデンサの一方の電極を構成する可動電極13とを別体とし、かつそれらを半導体基板10上面の異なる部位に形成する構成としながらも、音響の検出が可能となっている。
続いて、こうした半導体音響センサ1の製造手順について、図3および図4を併せ参照して説明する。
まず半導体基板10に上記凹部10Aを形成する。凹部10Aの形成は、リソグラフィーによって、固定電極14の形成位置を除いた半導体基板10の上面に、図3(a)に示すようにレジスト膜20を形成した後、半導体基板10をその上面側からエッチングすることで行われる。
次にその形成された凹部10Aの底面部分に、固定電極14を形成する。固定電極14の形成は、再びリソグラフィーによって、図3(b)に示すように、形成された凹部10Aの底面部分を除いた半導体基板10の上面にレジスト膜21を形成し、その上面側からリンやボロン等のドーピングを行って凹部10A底面部分の半導体基板10表面を導電層とすることで形成される。
固定電極14の形成後、凹部10Aの深さと同等の厚さの酸化膜を半導体基板10の上面全体に形成した後、その形成された酸化膜を、リソグラフィーおよびエッチングを通じて、凹部10A内にのみ残存させる。これにより、図3(c)に示すように、上記凹部10Aに、犠牲層となる酸化膜22が充填される。
続いて上記凹部10Aへの酸化膜22の充填によって平坦とされた半導体基板10の上面に、図3(d)に示すように、窒化膜23およびポリシリコン層24を順に成膜する。そして図3(e)に示すように、それら成膜の上面にリソグラフィーによって、ダイアフラム11および可動電極13の形成部分の上面にレジスト膜25を形成した後、ポリシリコン層24のエッチングを行う。これにより、図4(a)に示すようにダイアフラム11および可動電極13が形成される。このとき、可動電極13には、後の工程で凹部10Aに充填された酸化膜22を除去するための多数の微細な孔13Aを形成しておく。
その後、図4(b)に示すように、ダイアフラム11および可動電極13の形成された半導体基板10の上面に、窒化膜26を成膜する。そして可動電極13上面の上記孔13Aの形成部分と、ダイアフラム11および可動電極13上面の上記振動伝達部材15(図1参照)との連結部分と、半導体基板10上面の上記配線16,18および電極パッド17,19の形成部分とには、リソグラフィーおよびエッチングによって成膜された窒化膜26に穴を開口させる。
次にダイアフラム11および可動電極13の形成された半導体基板10の上面に、図4(c)に示すように犠牲層となる酸化膜27を形成する。この酸化膜27には、リソグラフィーおよびエッチングによって、上記配線16,18および電極パッド17,19の形成部分に穴を、また振動伝達部材15の形成部分に同振動伝達部材15と同形状の溝29を形成する。そしてめっき処理により、図4(d)に示すように、酸化膜27に形成された穴および溝29に金を成膜して、振動伝達部材15、配線16,18および電極パッド17,19を形成する。
その後、エッチングによって犠牲層である酸化膜22,27を除去し、また下面側からの半導体基板10のエッチングによってダイアフラム11の後背部分に上記音孔12を形成する。以上により、図4(e)に示すように半導体音響センサ1が製造される。
以上説明した本実施形態の半導体音響センサ1によれば、次の効果を奏することができる。
(1)本実施形態の半導体音響センサ1では、外部から伝搬された音波を直接受けて振動するダイアフラム11と、振動を電気信号に変換する平行平板型コンデンサを構成する可動電極13および固定電極14とが、半導体基板10表面の異なる部位にそれぞれ形成されている。そのため、固定電極14を半導体基板10表面に直接形成することが、いわば一方の面の全体が半導体基板10に当接するように固定電極14を形成することが可能になり、その固定強度を十分に確保することができる。そしてその結果、固定電極14の振動による、望ましくない電圧信号レベルの変化を効果的に抑制し、半導体音響センサ1の感度を向上することができるようにもなる。
(2)振動を電気信号に変換する変換部(可動電極13および固定電極14)を、直接外部に曝す必要がないため、外部からの音圧や風圧、砂塵等に起因した変換部の劣化を抑制して、半導体音響センサ1の信頼性を向上することができるようにもなる。
(3)固定電極14が半導体基板10によって直接支持され、補強を行わずとも、十分な固定強度を確保できるため、半導体音響センサ1の小型化、特にその厚さの低減を図ることができる。
(4)ダイアフラム11および可動電極13にあって、その振動の振幅が最大となる平板中央部に振動伝達部材15がそれぞれ連結されているため、ダイアフラム11から可動電極13への振動の伝達性を高めて、半導体音響センサ1の感度をより良好に確保することができる。
なお上記実施形態は、以下のように変更して実施することもできる。
・ダイアフラム11、可動電極13および固定電極14の形成態様は、上記実施形態に例示したものに限らず、適宜変更しても良い。
例えば図5(a)に示すように、半導体基板10の上面から上方に突出形成された支持部11Aを設けることで、ダイアフラム11を半導体基板10の上面から上方に離間したさせた状態で配設するようにしても良い。この場合、その側周全体に亘るように形成された支持部11Aによってダイアフラム11を支持する構成としたり、あるいは図5(c)のように、単数あるいは複数の支持脚11Bによってダイアフラム11を支持する構成としたりすることができる。なお図6(a)および(b)に示すようなヒンジ構造を介してダイアフラム11を支持脚11Cに支持させるようにすることも可能である。
また可動電極13についても同様に、図7(a)に示すように、支持部13Bを設けて、半導体基板10の上面か上方に離間させた状態で配設するようにしても良い。またそうした場合には、図7(b)のように、半導体基板10の上面に凹部10Aを形成することなく、半導体基板10の上面に固定電極14を直接形成することも可能である。また可動電極13についても、ダイアフラム11と同様に、支持脚によって支持するようにしたり、あるいはその支持脚にヒンジ構造を介して連結させたりすることも可能である。
また固定電極14は、上記実施形態のようにリンやボロン等のドーピングによって半導体基板10の表面層に導電性を持たせる以外にも、図7(c)に示すように半導体基板1
0の表面上に、金や銅、ポリシリコン等の導電体からなる導電層を成膜して形成することも可能である。
0の表面上に、金や銅、ポリシリコン等の導電体からなる導電層を成膜して形成することも可能である。
更にダイアフラム11、可動電極13および固定電極14は、例えば四角板など、円板以外の形状に形成することも可能である。
・振動伝達部材15の形状は、上記実施形態に例示したものに限らず、適宜その形状を変更するようにしても良い。例えば上記実施形態と同様の製造手順で、振動伝達部材を平板状に形成することもできる。なお他の部材との干渉等のため、振動伝達部材15をダイアフラム11および可動電極13の平板中央部に連結することが困難な場合には、それらの平板中央部以外の部分に振動伝達部材15を連結するようにしても良い。
・本発明は、外部から伝搬される圧力変動を受圧して電気信号に変換して出力する半導体センサであれば、半導体音響センサ以外の半導体センサに適用することもできる。例えば静電容量感知型の圧力センサや加速度センサ等は、上記実施形態と同様、あるいはそれに準じた態様で形成することができる。また振動から電気信号への変換部として、平行平板型コンデンサ以外の構造を採用する半導体センサにも、本発明を適用することができる。要は、外部から伝搬される圧力変動を直接受圧するダイアフラムと、その受圧に伴うダイアフラムの振動を電気信号に変換する変換部と、を半導体基板表面の異なる部位に形成し、且つ半導体基板から離間して形成された振動伝達部材によってそれらを連結する構成とすれば、変換部の固定をより容易且つより確実とすることが可能となる。
1…半導体音響センサ(半導体センサ)、10…半導体基板、11…ダイアフラム、12…音孔、13…可動電極、14…固定電極、15…振動伝達部材、16,18…配線、17,19…電極パッド、20,21,25…レジスト膜、22,27…酸化膜(犠牲層)、23,26…窒化膜、24…ポリシリコン層、29…溝。
Claims (5)
- 外部から伝搬される圧力変動を受圧して振動可能に配設されるダイアフラムと、そのダイアフラムの振動を電気信号に変換する変換部とが半導体基板の表面に形成された半導体センサにおいて、
前記ダイアフラムと前記変換部とを、前記半導体基板の表面のそれぞれ異なる部位に形成するとともに、
前記半導体基板から離間して形成され、かつ前記ダイアフラムと前記変換部とを連結してそれらの一方から他方へと振動を伝達する振動伝達部材を備えた
ことを特徴とする半導体センサ。 - 半導体基板と、
その半導体基板の表面に、外部から伝搬される圧力変動を受圧して振動可能に配設されたダイアフラムと、
同半導体基板の表面の前記ダイアフラムとは異なる部位に、振動可能に配設された可動電極と、
前記半導体基板に固定され、かつ前記可動電極と対向して配設された固定電極と、
前記半導体基板から離間して形成されるとともに、前記ダイアフラムと前記可動電極とを連結してそれらの一方から他方へと振動を伝達する振動伝達部材と、
を備えること特徴とする半導体センサ。 - 前記固定電極は、その一方の面の全体が前記半導体基板に当接して形成されてなる請求項2に記載の半導体センサ。
- 前記ダイアフラムおよび可動電極は、平板状に形成されてなり、前記振動伝達部材は、前記ダイアフラムの平板中央部および前記可動電極の平板中央部にそれぞれ連結されてなる請求項2または3に記載の半導体センサ。
- 当該半導体センサは、音波を電気信号に変換して出力する半導体音響センサとして構成されてなる請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体センサ。
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