JP2006226825A - レーザ測長器とそれを使用した加工装置及び光ディスク原盤露光装置 - Google Patents
レーザ測長器とそれを使用した加工装置及び光ディスク原盤露光装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006226825A JP2006226825A JP2005040801A JP2005040801A JP2006226825A JP 2006226825 A JP2006226825 A JP 2006226825A JP 2005040801 A JP2005040801 A JP 2005040801A JP 2005040801 A JP2005040801 A JP 2005040801A JP 2006226825 A JP2006226825 A JP 2006226825A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- laser
- length measuring
- measurement
- measuring device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
【課題】被測定面に有する微細な凹凸や、被測定面に局在する比較的大きなキズ等の影響を受けずに、移動する物体の移動量や回転している曲面の変位を精度良く測定する。
【解決手段】レーザヘッド2から出射されたレーザビームをビームスプリッタ3で2分割し、分割した一方のビームを参照ビームとして参照ミラー4に照射し、他方の平行ビームを対物レンズ7で複数の収束ビームに分割して被測定物8表面に照射する。複数の収束ビームの被測定物8表面からの反射光を対物レンズ4で平行ビームに戻し、この被測定物体8表面からの反射ビームと参照ミラー4からの反射ビームによる干渉光の強度から測長を行い、被測定物体8表面の変位量や移動量を精度良く測定する。
【選択図】 図1
【解決手段】レーザヘッド2から出射されたレーザビームをビームスプリッタ3で2分割し、分割した一方のビームを参照ビームとして参照ミラー4に照射し、他方の平行ビームを対物レンズ7で複数の収束ビームに分割して被測定物8表面に照射する。複数の収束ビームの被測定物8表面からの反射光を対物レンズ4で平行ビームに戻し、この被測定物体8表面からの反射ビームと参照ミラー4からの反射ビームによる干渉光の強度から測長を行い、被測定物体8表面の変位量や移動量を精度良く測定する。
【選択図】 図1
Description
この発明は、レーザ光の直進性と干渉性を用いて変位を測定するレーザ測長器とそれを使用した加工装置及び光ディスク原盤露光装置、特に、移動する物体の移動量や回転している曲面の変位測定に関するものである。
レーザ光を利用した移動物体の変位測定では、被測定物体に平面ミラーやコーナーキューブを設置して反射鏡として利用することが多い。通常、レーザ測長器の光源からはHe−Neレーザ等の可視域レーザであり、直径数ミリ程度の円形平行光ビームが出射される。そのため被測定物体が微小な場合や曲面の場合は、物体の所望の位置に照射でき、また照射ビームの反射光が返ってくるように、レーザ測長器の測定用ビームを対物レンズで集光し小さく絞って物体表面に照射するのが通例である。
例えばマイケルソン干渉計を利用したレーザ測長器は、図15に示すように、レーザヘッド2から出射されたレーザビームをビームスプリッタ3により測定ビームと参照ビームに2分割する。参照ビームはビームスプリッタ3に対して一定間隔で固定された参照ミラー4で反射してビームスプリッタ3に戻る。測定ビームは対物レンズ50で収束されて被測定物体8の表面に集光し、その反射ビームは対物レンズ50を経て再び平行光に変換されビームスプリッタ3に戻り、参照ミラー4から反射された参照ビームと干渉して干渉光として光検出器6へ入射する。光検出器6は入射した干渉光の強度を検出し、測長回路7は光検出器6の検出出力に基づいて、基準点から被測定物体の移動量あるいは移動速度を測定する。この参照ビームと測定ビーム及び反射ビームの分離性を良くするため、直線偏光のレーザヘッドを使い、ビームスプリッタを偏光ビームスプリッタとし、偏光ビームスプリッタの対物レンズ側に1/4波長板を備える場合もある。また,参照ミラーを2個対向させ、測定ビームが被測定物体まで2往復する2パス干渉計を構成する場合もあり、その場合は分解能が2倍に向上する。
このレーザ測長器の測定精度を向上させるため、特許文献1に示されたレーザ測長器は、レーザヘッドから出射したレーザビームの直径を拡大してビームスプリッタに入射し、ビームスプリッタからの干渉光の直径を縮小して光検出器に入射して、時間的な空気揺らぎの影響を小さくするようにしている。
特許文献2に示されたレーザ測長器は、レーザヘッドから出射して被測定物体で反射した反射レーザ光を電気信号に変換した検出信号を、移動平均フィルタを利用して平均化し、ノイズ成分を除去して測定精度を高めるようにしている。
また、特許文献3に示されたレーザ測長器は、マイケルソン干渉計を利用したレーザ測長器でビームスプリッタから被測定物体に照射する測定ビームを1方向にのみ収束させて被測定物体の表面にスリット状に集光させ、その反射ビームを平行光にしてビームスプリッタに戻し、被測定物体表面の微細な凹凸に影響を受けない精度で変位を測定するようにしている。
特開平9−280827号公報
特開2001−4321号公報
特開2003−329408号公報
このレーザ測長器を用い、測定ビームを対物レンズで絞って回転する円板側面や円筒表面等の移動曲面の変位測定を行う場合、絞った測定ビームのスポットサイズは被測定曲面の曲率半径にもよるが、おおよそ数〜数十ミクロン程度である。このようなスポットサイズに対し、被測定曲面がミラーなど十分に研磨された平滑面、例えばレーザ波長をλとした場合、λ/10程度(λは0.5〜1ミクロン程度)であれば光検出器に戻る反射ビームの測長品質は問題ないが、被測定曲面が金属切削面などで構成されている場合は、測定ビームのスポットサイズに対して切削痕が無視できない大きさになり、また、図16(a)に示すように、切削痕9の深さもレーザ波長と同程度以上となるため、測定ビームのスポット51が切削痕9のどこに照射されているか、あるいは切削痕9と重なっているかに応じて測長データが変動してしまう。
例えば図16(b)に示すように、円筒からなる被測定物体8を回転させながら、その側面の変位量を測定する場合、円筒物体を金属切削して製作すると、切削の送り方向であるX方向と直交する円筒の外周方向であるY方向近傍に切削痕9が残るが、この切削痕9は完全に平行でなく蛇行したり部分的に消えたりする。また、円筒物体の回転にも振れがあるので、測定ビームを固定しても回転中に測定ビームはある程度切削痕9の横断を繰り返すことになる。この測定ビームの切削痕横断によって測長が不安定となり、測定値がシフトするなどして変位測定精度が低下してしまう。例えばアルミニューム材料を切削して製作した直径120mmの円筒を1200rpmで回転させながらヘテロダインレーザ干渉測長器により約50ミクロンのビームスポットに絞り込んで変位測定した結果、想定される円筒の振れ量以外に測定値が徐々にドリフトする現象が発生した。
このような切削痕に限らず傷が存在する場合や粗面でも、大きさによっては同様の現象が起こり得る。変位測定中に被測定物体が移動すると、一般的には測定ビームスポットの物体上照射位置も移動するので、測定ビームスポットが切削痕や傷などを横断する。そのため被測定面のミクロな凹凸の存在で測長データが変動を受け、物体曲面の変位というマクロ的な量を計測しているのにも関わらず、変位測定精度が低下する問題が発生する。このような問題は、被測定物体の曲面を研磨して鏡面化できれば解消するが、物体形状や大きさ、加工性、費用の点からアルミニューム材料等の金属材料を切削した状態で使用せざるを得ない場合も多い。
このように切削痕や傷等による変位測定値の変動は、特許文献1に示すように、測定時の空気揺らぎに起因するばらつきを改善する方法や、特許文献2に示すように、測定データのレーザ発振ノイズに起因するばらつきを改善する方法を使用しても解消することはできない。
また、金属材料を切削した場合、切削痕等のミクロな凹凸以外にも、より大きなキズ等の形状欠陥領域(以下、キズ領域という)が局在する場合が多い。このキズ領域は、切削や研磨を有限サイズの刃先や砥粒で行う以上完全に無くすことは困難であり、照射ビームスポットが完全に含まれるほど大きく例えば数〜数十ミクロン以上になったり、その段差(深さ・高さ)も照射ビームの波長オーダである0.5〜1ミクロン以上となると,キズ領域に照射されるビームからは他の照射ビームと比較して大きく異なる変位測定値となってしまう。このため特許文献3に示すように、計測ビームを一方向のみ集光して被計測物体表面上に照射して測定データの平均化を図っても、キズ領域の影響を打ち消すことはできず、測定精度が低下してしまう。
この発明は、このような問題点を解消し、被測定面に有する微細な凹凸や、被測定面に局在する比較的大きなキズ等の影響を受けずに、移動する物体の移動量や回転している曲面の変位を精度良く測定することができるレーザ測長器とそれを使用した加工装置及び光ディスク原盤の変位測定と露光精度を向上することができる光ディスク原盤露光装置を提供することを目的とするものである。
この発明のレーザ測長器は、レーザ光源から出射されたレーザビームを2分割し、分割した一方のビームを参照ビームとして参照ミラーに照射し、他方のビームを測定ビームとして被測定物表面に照射し、参照ミラーからの反射ビームと被測定物体表面からの反射ビームによる干渉光を検出し、検出した干渉の強度から測長を行うレーザ測長器において、
被測定物体表面に照射する測定ビームを1直線上に並ぶ複数ビームに分離し、分離した各ビームを集光して被測定物体表面に照射し、被測定物体表面からの複数の反射ビームを1本の平行ビームにする対物レンズ光学系を備えたことを特徴とする。
被測定物体表面に照射する測定ビームを1直線上に並ぶ複数ビームに分離し、分離した各ビームを集光して被測定物体表面に照射し、被測定物体表面からの複数の反射ビームを1本の平行ビームにする対物レンズ光学系を備えたことを特徴とする。
この発明の第2のレーザ測長器は、レーザ光源から出射されたレーザビームを2分割し、分割した第1のビームと第2のビームを、被測定物体の対向する両表面に同軸で照射し、被測定物体の対向する両表面からの第1のビームと第2のビームの反射ビームによる干渉光を検出し、検出した干渉の強度から測長を行うレーザ測長器であって、第1のビームと第2のビームの光路に、被測定物体の表面に照射するビームを1直線上に並ぶ複数ビームに分離し、分離した各ビームを集光して被測定物体表面に照射し、被測定物体表面からの複数の反射ビームを1本の平行ビームにする対物レンズ光学系を備えたことを特徴とする。
この発明の第3のレーザ測長器は、レーザ光源から出射されたレーザビームを2分割して第1の測定光学系と第2の測定光学系にそれぞれ入射し、第1の測定光学系と第2の測定光学系は、入射したビームを2分割し、分割した一方のビームを参照ビームとして参照ミラーに照射し、他方のビームを測定ビームとして被測定物体の直交する2方向から被測定物体表面に照射し、参照ミラーからの反射ビームと被測定物体表面からの反射ビームによる干渉光を検出し、検出した干渉の強度から測長を行うレーザ測長器であって、第1の測定光学系と第2の測定光学系は、被測定物体表面に照射する測定ビームを1直線上に並ぶ複数ビームに分割し、分割した各ビームを集光して被測定物体表面に照射し、被測定物体表面からの複数の反射ビームを1本の平行ビームに変換する対物レンズ光学系を備えたことを特徴とする。
前記対物レンズ光学系を、光軸を中心として回転させる回転機構を有することが望ましい。
また、前記対物レンズ光学系は、1直線上に並ぶ複数ビームに分割する任意のビームを遮断するビーム遮断手段を有すると良い。
この発明の加工装置は、送り機構により被加工物を移動しながら加工を行うものであり、前記レーザ測長器を有し、該レーザ測長器で送り機構の移動量を測定することを特徴とする。また、レーザ測長器で測定した移動量により送り機構の送り量を制御する。
この発明の光ディスク原盤露光装置は、ターンテーブル又は露光ビームの横送り機構を有し、前記レーザ測長器で横送り機構の基準点からの移動量を測定することを特徴とする。また、レーザ測長器で測定した移動量により横送り機構の送り量を制御する。さらに、レーザ測長器にレーザ光源から出射されたレーザビームの出射角度を可変する角度調整手段を有し、横送り機構に照射するレーザビームの光軸を横送り機構の横送り方向と一致させる。
この発明のレーザ測長器は、被測定物体表面に照射する測定ビームを1直線上に並ぶ複数ビームに分離し、分離した各ビームを集光して被測定物体表面に照射することにより、円筒など一方向のみに曲面を有する被測定物体の変位量や移動量を測定する場合、分割された複数の集光スポットの並ぶ方向を被測定物体の非曲面方向と一致させることができ、測定ビーム全体に対する被測定面のミクロな凹凸の影響を低下させて被測定物体表面の変位量や移動量を精度良く測定することができる。
また、測定ビームを被測定物体の対向する両表面に同軸で照射することにより、被測定物体の外周面や内周面の変位量や移動量を測定することができるとともに、被測定物体表面の変位量や移動量の測定の分解能をより高めることができる。
さらに、測定ビームを1直線上に並ぶ複数ビームに分離し、分離した各ビームを集光する対物レンズ光学系を、回転機構により光軸を中心として回転させることにより、分割された複数の集光スポットの並ぶ方向を被測定物体の非曲面方向と正確に一致させることができ、被測定物体表面の変位量や移動量するとき被測定面のミクロな凹凸の影響を確実に低下させることができる。
また、対物レンズ光学系で分割して集光する複数ビームのなかで任意のビームをビーム遮断手段で遮断することにより、被測定面のミクロな凹凸の部分にビームを集光することを防いで、被測定面のミクロな凹凸の影響をより確実に低下させることができる。
この発明のレーザ測長器で、送り機構を有する加工装置の送り量や、ターンテーブル又は露光ビームの送り機構を有する光ディスク原盤露光装置の横送り量を測定することにより、送り量を精度良く測定して送り量を制御でき、被加工物の加工精度や光ディスク原盤の露光精度を向上することができる。
図1(a),(b)は、この発明のレーザ測長器の構成図である。レーザ測長器1は円筒面など一方向に曲率を有する曲面の変位測定を行うものであり、レーザビームを出射するレーザヘッド2とビームスプリッタ3と参照ミラー4と対物レンズ5と光検出器6及び測長回路部7を有する。ビームスプリッタ3は出射されたレーザビームを測定ビームと参照ビームに分割する。参照ミラー4はビームスプリッタ3に対して一定間隔で固定され、参照ビームを反射してビームスプリッタ3に戻す。対物レンズ5は測定ビームを入射して被測定物体8の表面に集光し、その反射ビームを再び平行光に変換してビームスプリッタ3に戻すものであり、図2(a)の正面図と(b)の側面図及び(c)の上面図に示すように、一方の面にX方向に分割された複数の半円筒面を有し、Y方向に沿った面は全体として凸形状に形成されたレンズ群5a〜5nからなり、入射した平行ビームを複数の半円筒面でX方向に対して複数の収束ビームに分割する。光検出器6は参照ミラー4で反射した参照ビームと被測定物体8の表面から反射した測定ビームの干渉光をビームスプリッタ3から入射して、入射した干渉光の強度を検出する。測長回路部7は光検出器6の検出出力に基づいて、基準点から被測定物体8の表面の変位量を算出する。
このレーザ測長器1で、図1(c)に示すように、例えば円筒状に形成された被測定物体8の表面の変位量を測定する場合、被測定物体8の軸を支持して回転させながら、ビームスプリッタ3で分割した測定ビームを回転している被測定物体8の表面に照射し、その反射ビームを参照ビームの干渉光の強度で被測定物体8の表面の変位量を測定する。この変位量を測定する被測定物体8の表面を切削で形成した場合、切削痕9は切削の送り方向である被測定物体8の曲率有しない方向に並んで形成される。そこで被測定物体8に測定ビームを照射して変位を測定するとき、図1(a)に示すように、対物レンズ5のX方向に分割された複数の半円筒面を被測定物体8の回転軸方向、すなわち曲率を有しない方向に沿って配置し、図1(b)に示すように、全体として凸形状に形成されたY方向に沿った面を被測定物体8の曲率を有する方向に沿って配置するようにレーザ測長器1をセットする。
このように被測定物体8に対してレーザ測長器1をセットすると、対物レンズ5はビームスプリッタ3から入射した測定ビームを分割して集光し、図1(c)に示すように、被測定物体8の表面に、曲率を有しない方向すなわち切削痕9が並んでいる方向と一致するように一列に並んだ集光スポット10a〜10dを照射する。このように一列に並んだ集光スポット10a〜10dを被測定物体8の切削痕9が並んでいる方向に分割して照射することにより、集光スポット10a〜10dの全てが被測定物体8のミクロな凹凸である切削痕9や傷に照射することはなく、計測ビームの反射ビーム全体でみるとそれらの影響は平均化されて被測定物体8の曲率を有する面の変位を精度良く測定することができる。
前記のように測定ビームを対物レンズ5で分割して一列に並んだ集光スポット10a〜10dを被測定物体8の曲率を有しない方向と一致させるようにレーザ測長器1をセットするとき、被測定物体8に照査される集光スポット10a〜10dを目視で確認しながらレーザ測長器1と被測定物体8の相対的な位置を調整して、集光スポット10a〜10dが並んでいる方向を被測定物体8の曲率を有しない方向と一致させる必要がある。このようにレーザ測長器1と被測定物体8との相対的な位置を調整して集光スポット10a〜10dが並んでいる方向を被測定物体8の曲率を有しない方向と一致させるように調整してもある程度の調整誤差が発生する。この調整誤差は変位測定精度に影響するため、できるだけ小さくすることが望ましい。そこで図3(a)に示すように、対物レンズ5の光軸を中心にして対物レンズ5を回転する例えば歯車伝動機構等の回転機構11を設け、図3(b)に示すように、非測定物体8に照射する一列に並んだ集光スポット10a〜10dの位置が被測定物体8の曲率を有しない方向と一致するように、回転機構11で対物レンズ5を回転調整すれば良い。
前記説明では対物レンズ5で測定ビームを分割して集光した集光スポット10a〜10dをすべて被測定物体8の表面に照射した場合について説明したが、例えば図4(a),(b)に示すように、ビームスプリッタ3と対物レンズ5の間に、ビーム遮断手段12を配置し、図4(c)に示すように、被測定物体8の表面にキズ領域13が存在したとき、キズ領域13に対応する集光スポット10cを形成する対物レンズ5の領域に入射する測定ビームを遮断すると良い。この計測ビームの一部を遮断するビーム遮断手段12としては例えば液晶シャッタアレイなどを使用し、その分割パターンを、図5に示すように、対物レンズ5のレンズ群5a〜5nと対応させておくことにより、計測ビームを遮断する部分を任意に選択することができる。このように被測定物体8のキズ領域13に対応する部分に集光スポット10cを照射しないようにすることにより、キズ領域13による測定精度の低下が生じることを防ぐことができ、変位の測定精度をより向上することができる。
また、前記説明では、被測定物体8で反射した測定ビームと参照ミラー4で反射した参照ビームの干渉光により被測例物体8の曲面の変位や移動量を測定する場合について説明したが、被測定物体8に2組の測定ビームを照射して、その反射ビームによる干渉光により被測定物体8の変位や移動量を測定しても良い。
このように被測定物体8に2組の測定ビームを照射するレーザ測長器1aは、例えば図6の構成図に示すように、第1の対物レンズ光学系14と第2の対物レンズ光学系15を、被測定物体8を挟んだ両側に光軸を一致させて配置し、ビームスプリッタ3と第2の対物レンズ光学系15の間に、入射ビームを直角に反射するミラー16a〜16cを有する偏向光学系16を配置する。そして第1の対物レンズ光学系14にはビームスプリッタ3で同等な2組に分岐した一方の測定ビームを直接入射し、第2の対物レンズ光学系15には、ビームスプリッタ3で分岐した他方の測定ビームを偏向光学系16でビーム方向を変えて入射し、被測定物体8の両側に集光スポット10a〜10dを照射し、その反射ビームをビームスプリッタ3に戻し、2組の測定ビームの反射ビームによる干渉光により被測定物体8の変位や移動量を測定する。このように被測定物体8の両側に光軸を一致させた測定ビームを照射してその反射ビームをビームスプリッタ8に入射することにより、ビームスプリッタ8に入射する2組の測定ビームの光学的移動量、すなわち光路差を2倍にすることができ、回転する円筒や円板の外側面の変位や移動量をより精度良く測定することができる。
図6に示したレーザ測長器1aは、回転する円筒や円板の外側面の変位や移動量を測定する場合について説明したが、図7の構成図に示すように、ビームスプリッタ3と第1の対物レンズ光学系14の間にビームを90度偏向するミラー17aとミラー17bを対向して設けた第2の偏向光学系17を配置し、ビームスプリッタ3と第2の対物レンズ光学系15の間にもビームを90度偏向するミラー18aとミラー18bを対向して設けた第3の偏向光学系18を配置したレーザ測長器1bは、第1の対物レンズ光学系14から被測定物体8に照射するビームの照射方向と第2の対物レンズ光学系15から被測定物体8に照射するビームの照射方向を逆方向にすることができ、回転する円筒の内側面の変位も外側面と同様に精度良く測定することができる。
前記説明では、被測定物体8に一方向から測定ビームを照射して変位や移動量を測定するレーザ測長器1と、被測定物体8に2組の測定ビームの光軸を一致させて照射して変位や移動量を測定するレーザ測長器1a,1bについて説明したが、被測定物体8に対して直交する2軸方向から測定ビームを照射して直交する2軸方向の変位や移動量を測定するレーザ測長器1cについて説明する。
レーザ測長器1cは、図8の構成図に示すように、レーザヘッド2と、レーザヘッド2から出射したレーザビームを分割するビームスプリッタ19と、第1の測定光学系20と第2の測定光学系21と偏向光学系22及び2組の測長回路部7a,7bを有する。第1の測定光学系20と第2の測定光学系21は、それぞれビームスプリッタ3と参照ミラー4と対物レンズ5及び光検出器6を有し、ビームスプリッタ19で分割したレーザビームをビームスプリッタ3で参照ビームと測定ビームに分割し、分割した測定ビームを被測定物体8に対して直交する2軸方向から照射するように配置されている。偏向光学系22は、ビームを90度偏向するミラー22aとミラー22bを対向して配置し、ビームスプリッタ19で分割した一方の測定ビームを第2の測定光学系21に入射する。測長回路部7aは第1の測定光学系20の光検出器6に接続され、測長回路部7bは第2の測定光学系21の光検出器7bに接続されている。
このレーザ測長器1cではレーザヘッド2から出射されたレーザビームをビームスプリッタ19で2分割し、分割した一方のレーザビームを第1の測定光学系20に入射し、他方のレーザビームを偏向光学系22で偏向して第2の測定光学系21に入射し、第1の測定光学系20と第2の測定光学系21の光検出器6で、被測定物体8の表面で反射した測定ビームと参照ミラー4で反射した参照ビームの干渉光を検出して、測長回路部7a,7bで回転している被測定物体8の直交する2方向における動的変位量を同時に測定する。このように被測定物体8の直交する2方向における変位量を同時に測定することにより、測定した変位量を用いて補正を行うフィードバック制御に対応することができ、精密な回転機構を有するターンテーブルや光ディスク原盤露光装置やレーザ描画装置、電子線描画装置、精密加工装置、マスク転写装置等精密な移動機構を有する各種加工装置の動的変位量の測定と制御に適用することできる。
次にレーザ測長器1を使用した光ディスク原盤露光装置について説明する。光ディスク原盤露光装置30は、図9の構成図に示すように、レーザビーム又は電子ビームを出射する露光光源31と露光光学系32と光ディスク原盤を保持して回転するターンテーブル33とターンテーブル33を一方向に移動する横送り機構34及びレーザ測長器1を有する。なお、ターンテーブル33の代わりに露光光学系32の一部を一方向に移動しても良い。レーザ測長器1の少なくともビームスプリッタ3と参照ミラー4及び対物レンズ5は、ターンテーブル33を保持した横送り機構34の移動テーブル34aに固定され、ターンテーブル33と一体に移動する。
この光ディスク原盤露光装置30のターンテーブル33は、例えばアルミニューム等の金属で製作されているので、外周側面に切削痕を有する。このターンテーブル33の外周側面にレーザ測長器1から複数に分離して一列に並んだ集光スポット10a〜10d、あるいは切削痕の部分を遮断した集光スポット10を照射することにより、駆動回路33aでターンテーブル33を回転しているときの基準位置からの変位量を高精度に測定することができる。また、測定した基準位置からの変位量を横送り機構34の送り量制御手段35に送り、送り量制御手段35で測定している横送り方向の移動量に対してフィードバックして横送り量を制御することにより、ターンテーブル33を回転しているときの基準位置からの変位量を打ち消して原盤露光を行うことができ、横送り方向すなわち光ディスク原盤の半径方向の露光精度すなわちトラックピッチ精度を向上することができる。
また、光ディスク原盤露光装置30の露光光学系32には、露光フォーマットの関係上、図10に示すように横送り方向へのビーム位置制御手段32aが付加されていることも多い。このビーム位置制御手段32aを有する露光光学系32を使用した場合、レーザ測長器1で測定したターンテーブル33を回転しているときの基準位置からの変位量をビーム位置制御手段32aの駆動制御部36にフィードバックしてビーム位置を調整することにより、ターンテーブルの基準位置からの変位量を打ち消して原盤露光を行うことができ、光ディスク原盤の半径方向の露光精度を向上することができる。
さらに、横送り方向とその直交方向に対してビーム位置を制御可能なビーム位置制御手段を付加し、横送り方向とその直交方向の移動量に対してターンテーブル33を回転しているときの基準位置からの変位量をフィードバックしてビーム位置を調整することにより、横送り方向とその直交方向すなわち光ディスク原盤の半径方向とトラック方向の2方向において露光精度を向上することができ、光ディスク原盤のトラックピッチ精度とピット位置精度を高めることができる。
このようにレーザ測長器1でターンテーブル33を回転しているときの基準位置からの変位量を測定するとき、レーザ測長器1でターンテーブル33に照射する測定ビームの光軸とターンテーブル33の横送り方向を一致させる必要がある。例えば図11に示すように、レーザ測長器1の測定ビームの光軸Lとターンテーブル33の横送り方向Mに角度ずれδがあると、測定ビームの集光スポット10a〜10dの照射位置がターンテーブル33の移動にしたがって変動して変位測定に誤差が生じる。このレーザ測長器1のレーザヘッド2から出射するレーザビームは比較的変動が大きく、温度等の環境変動を極力排除してもミリラジアンオーダの出射軸角度変動が生じることがあり、測定ビームの光軸Lをターンテーブル33の横送り方向Mに一致させても再調整が必要となる場合も多い。そこで、そのため図12(a)に示すように、レーザヘッド2とビームスプリッタ3の間に角度調整手段40を配置し、原盤露光を行うたびに測定ビームの光軸Lの角度調整を行ってターンテーブル33の横送り方向Mと一致させると良い。この角度調整手段40としては、図12(b)に示すように、少なくとも2組の角度調整可能なミラー40a,40bを対向して配置し、各ミラー40a,40bの角度調整を行うことにより、測定ビームの光軸Lをターンテーブル33の横送り方向Mに一致させることができる。また、図12(c)に示すように、第1のミラー40aにより調整したレーザビームの光軸を第2のミラー40bの回転中心に入射させることにより、角度調整手段40を通過したレーザビームの光軸を常に一定位置に保持することができる。
次に、図8に示す第1の測定光学系20と第2の測定光学系21を有するレーザ測長器1cにより光ディスク原盤露光装置等に使用するターンテーブルの回転触れ量を測定した実施例について説明する。
[実施例1] 例えば図10に示すようにターンテーブル移動型の光ディスク原盤露光装置30に使用する外径170mm、高さ15mmのターンテーブル33をアルミ切削加工して製作し、露光中におけるターンテーブル33の回転振れ量をレーザ測長器1cで測定した。この回転触れ量の測定に際して、レーザヘッド2に〜出射するレーザビームは2波長レーザを利用した。この2波長レーザは波長633nmのHeNeレーザであり、周波数差約3MHzのP偏光とS偏光を直径6ミリの測定ビームとして出射した。また、測定ビームと反射ビームの分離度を上げるため、第1の測定光学系20と第2の測定光学系21に有するビームスプリッタ3の参照ミラー4と対物レンズ5側に、図13に示すように、1/4波長板37a,37bを設け、ビームスプリッタ3と2枚の1/4波長板37a,37b及び参照ミラー4を一体化した。光検出器6と測長回路7は2本の反射ビームの干渉光をヘテロダイン検出して、ターンテーブル33の基準点からの変位を10MHzの速度で計測した。対物レンズ5の焦点距離は25mmとし、ターンテーブル33の円筒面に照射する測定ビームを10分割し、焦点距離は25mmとし、直径約33μmの10個の集光スポット10を照射するようにした。また、対物レンズ5の手前に、ビーム遮断用に10分割された1次元液晶シャッタアレイ12を配置し、対物レンズ5と液晶シャッタアレイ12を回転自在なホルダーで一体に支持し、ホルダーの回転中心を測定ビーム光軸と一致させたうえで微少回転可能に構成し、集光スポット10の並んだ方向がターンテーブル33の外周の曲面方向に直交するよう調整できるようにした。そして直交するX軸とY軸の2軸方向で回転振れ測定を行った結果、測定の分解能は1.2nmであった。また、回転振れ測定信号から定常回転振れ成分を打ち消す回路を通して非定常成分を取り出し、非定常成分を、図10に示す横送り方向へのビーム位置制御手段32aの駆動制御部36にフィードバックして原盤露光することにより、原盤露光中のトラックピッチ変動を低下させることができた。
[実施例2] また、図14に示すように、第1の測定光学系20と第2の測定光学系21の参照ミラー4を取り外し、図6に示すレーザ測長器1aのように2本の測定ビームでターンテーブル33を挟み込むようにして露光中におけるターンテーブル33の回転振れ量を測定した結果、測定の分解能は実施例1と比べて2倍の0.6nmとなった。
1;レーザ測長器、2;レーザヘッド、3;ビームスプリッタ、4;参照ミラー、
5;対物レンズ、6;光検出器、7;測長回路部、8;被測定物体、9;切削痕、
10;集光スポット、11;回転機構、12;ビーム遮断手段、13;キズ領域、
14;第1の対物レンズ光学系、15;第2の対物レンズ光学系、
16;偏向光学系、17;第2の偏向光学系、18;第3の偏向光学系、
19;ビームスプリッタ、20;第1の測定光学系、21;第2の測定光学系、
30;光ディスク原盤露光装置、31;露光光源、32;露光光学系、
33;ターンテーブル、34;横送り機構、40;角度調整手段。
5;対物レンズ、6;光検出器、7;測長回路部、8;被測定物体、9;切削痕、
10;集光スポット、11;回転機構、12;ビーム遮断手段、13;キズ領域、
14;第1の対物レンズ光学系、15;第2の対物レンズ光学系、
16;偏向光学系、17;第2の偏向光学系、18;第3の偏向光学系、
19;ビームスプリッタ、20;第1の測定光学系、21;第2の測定光学系、
30;光ディスク原盤露光装置、31;露光光源、32;露光光学系、
33;ターンテーブル、34;横送り機構、40;角度調整手段。
Claims (10)
- レーザ光源から出射されたレーザビームを2分割し、分割した一方のビームを参照ビームとして参照ミラーに照射し、他方のビームを測定ビームとして被測定物表面に照射し、参照ミラーからの反射ビームと被測定物体表面からの反射ビームによる干渉光を検出し、検出した干渉の強度から測長を行うレーザ測長器において、
被測定物体表面に照射する測定ビームを1直線上に並ぶ複数ビームに分離し、分離した各ビームを集光して被測定物体表面に照射し、被測定物体表面からの複数の反射ビームを1本の平行ビームにする対物レンズ光学系を備えたことを特徴とするレーザ測長器。 - レーザ光源から出射されたレーザビームを2分割し、分割した第1のビームと第2のビームを、被測定物体の対向する両表面に同軸で照射し、被測定物体の対向する両表面からの第1のビームと第2のビームの反射ビームによる干渉光を検出し、検出した干渉の強度から測長を行うレーザ測長器であって、
第1のビームと第2のビームの光路に、被測定物体の表面に照射するビームを1直線上に並ぶ複数ビームに分離し、分離した各ビームを集光して被測定物体表面に照射し、被測定物体表面からの複数の反射ビームを1本の平行ビームにする対物レンズ光学系を備えたことを特徴とするレーザ測長器。 - レーザ光源から出射されたレーザビームを2分割して第1の測定光学系と第2の測定光学系にそれぞれ入射し、第1の測定光学系と第2の測定光学系は、入射したビームを2分割し、分割した一方のビームを参照ビームとして参照ミラーに照射し、他方のビームを測定ビームとして被測定物体の直交する2方向から被測定物体表面に照射し、参照ミラーからの反射ビームと被測定物体表面からの反射ビームによる干渉光を検出し、検出した干渉の強度から測長を行うレーザ測長器であって、
第1の測定光学系と第2の測定光学系は、被測定物体表面に照射する測定ビームを1直線上に並ぶ複数ビームに分割し、分割した各ビームを集光して被測定物体表面に照射し、被測定物体表面からの複数の反射ビームを1本の平行ビームに変換する対物レンズ光学系を備えたことを特徴とするレーザ測長器。 - 前記対物レンズ光学系を、光軸を中心として回転させる回転機構を有する請求項1乃至3のいずれかに記載のレーザ測長器。
- 前記対物レンズ光学系は、1直線上に並ぶ複数ビームに分割する任意のビームを遮断するビーム遮断手段を有する請求項1乃至4のいずれかに記載のレーザ測長器。
- 送り機構により被加工物を移動しながら加工を行う加工装置において、
請求項1乃至5のいずれかに記載のレーザ測長器を有し、該レーザ測長器で送り機構の移動量を測定することを特徴とする加工装置。 - 前記レーザ測長器で測定した移動量により送り機構の送り量を制御する請求項6記載の加工装置。
- ターンテーブル又は露光ビームの横送り機構を有する光ディスク原盤露光装置において、
請求項1乃至5のいずれかに記載のレーザ測長器を有し、該レーザ測長器で横送り機構の基準点からの移動量を測定することを特徴とする光ディスク原盤露光装置。 - 前記レーザ測長器で測定した移動量により横送り機構の送り量を制御する請求項8記載の光ディスク原盤露光装置。
- 前記レーザ測長器にレーザ光源から出射されたレーザビームの出射角度を可変する角度調整手段を有する請求項8又は9記載の光ディスク原盤露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005040801A JP2006226825A (ja) | 2005-02-17 | 2005-02-17 | レーザ測長器とそれを使用した加工装置及び光ディスク原盤露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005040801A JP2006226825A (ja) | 2005-02-17 | 2005-02-17 | レーザ測長器とそれを使用した加工装置及び光ディスク原盤露光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006226825A true JP2006226825A (ja) | 2006-08-31 |
Family
ID=36988332
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005040801A Pending JP2006226825A (ja) | 2005-02-17 | 2005-02-17 | レーザ測長器とそれを使用した加工装置及び光ディスク原盤露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006226825A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015163863A (ja) * | 2014-01-29 | 2015-09-10 | 株式会社東京精密 | 多点距離測定装置及び方法並びに形状測定装置 |
CN108955525A (zh) * | 2018-07-26 | 2018-12-07 | 广东工业大学 | 透视投影式机器学习图像数据标注系统及方法 |
-
2005
- 2005-02-17 JP JP2005040801A patent/JP2006226825A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015163863A (ja) * | 2014-01-29 | 2015-09-10 | 株式会社東京精密 | 多点距離測定装置及び方法並びに形状測定装置 |
CN108955525A (zh) * | 2018-07-26 | 2018-12-07 | 广东工业大学 | 透视投影式机器学习图像数据标注系统及方法 |
CN108955525B (zh) * | 2018-07-26 | 2024-04-09 | 广东工业大学 | 透视投影式机器学习图像数据标注系统及方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8194251B2 (en) | Method for operating a dual beam chromatic point sensor system for simultaneously measuring two surface regions | |
CN109219496B (zh) | 激光加工时工艺监控的具有光学距离测量装置和棱镜偏转单元的装置及具有其的激光加工头 | |
JP6219320B2 (ja) | ウェーハなどのターゲットを処理するためのリソグラフィシステム及び方法 | |
CN114025906B (zh) | 用于焦点位置控制的系统和方法 | |
JP6030346B2 (ja) | 形状測定機 | |
JP6288280B2 (ja) | 表面形状測定装置 | |
US4932781A (en) | Gap measuring apparatus using interference fringes of reflected light | |
JP2002039724A (ja) | 孔内面検査装置 | |
JP2006226825A (ja) | レーザ測長器とそれを使用した加工装置及び光ディスク原盤露光装置 | |
JP2006292642A (ja) | 光測長器、光ディスク原盤露光装置、及び加工装置 | |
US6710881B1 (en) | Heterodyne interferometry for small spacing measurement | |
JP4204803B2 (ja) | レーザー測長器 | |
JP2005274550A (ja) | レーザー測長器及び光ディスク原盤露光装置 | |
JP5426901B2 (ja) | Duv−uv帯域の分光光学系およびそれを用いた分光測定装置 | |
JP3379186B2 (ja) | 干渉計 | |
JP2753545B2 (ja) | 形状測定システム | |
JP2861927B2 (ja) | 光学的多層物体の傾きもしくは高さの検出方法及びその装置 | |
JP3003671B2 (ja) | 試料表面の高さ検出方法及びその装置 | |
US7130057B2 (en) | Method and apparatus for controlling the position of a probe location relative to a fixed reference point of a probe processing equipment | |
JP2003004424A (ja) | 面形状測定方法および装置 | |
JP2902417B2 (ja) | 波面収差測定用干渉装置 | |
JPH02140608A (ja) | 表面形状測定装置 | |
JP2013033018A (ja) | ヘテロダインレーザー干渉測長器 | |
Zavyalova et al. | Precision Position Sensor for Operational Control of Laser Synthesis of Microstructures on Three-Dimensional Surfaces of Optical Materials | |
JPH05332735A (ja) | 3次元形状測定装置及びそれを用いた3次元形状測定方法 |