JP2006225219A - フッ素回収方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 PFCガスの分解により生成した分解生成ガスからフッ素を回収する方法において、前記分解生成ガスを、粉体除去装置(3)を通して該分解生成ガス中に含有されている固体粉末成分を除去して無塵ガスとなした後に、アルカリ土類金属の各種塩類,酸化物,水酸化物の単独若しくはこれらの混合物からなるフッ素吸収剤を充填した乾式フッ素回収装置(4)に供給し、その際、前記無塵ガス中に水分を添加量調節しながら添加することにより、前記分解生成ガス中のフッ素と吸湿常態下のフッ素吸収剤の前記アルカリ土類金属とを反応させてアルカリ土類金属フッ化物として回収する。
【選択図】 図1
Description
から吸引されると共に該真空ポンプ内で別途に送給される窒素ガスによって希釈されて配管L3から燃焼式除害装置2に供給される。ここでは、前記シランガスは図示しない配管から供給される燃料ガスと共に燃焼されて固体のシリコン酸化物となり(SiH4+2O2→SiO2+2H2O)、無害化されて配管L4を経て粉体除去装置3に供給され、微細粉塵である前記シリコン酸化物が捕集されて無害ガスとして配管L5を経て乾式フッ素回収装置4に送られる。
装置1内に堆積した前記反応性シリコン化合物を分解し、未反応のPFCガスと共に配管L2中の前記真空ポンプ内で前記窒素ガスにより希釈されて配管L3から前記燃焼式除害装置2に送給される。ここで、PFCガスは燃料ガスの燃焼によって生じる水との反応によりHFを生成する(例えばCF4の場合にはCF4+2H2O→4HF+CO2)。この有害ガスであるHFを含む分解生成ガスは、空気や窒素により希釈され前記除塵装置3に送給される。そして、この除塵装置3内で除塵処理された後の希釈分解生成ガスは、噴霧器で実現される水分供給装置5からのミスト状の水分が配管L7を介して添加された後に配管L5を通って乾式フッ素回収装置4に送られて、ここで成分中のフッ素が安定的に回収されると共に、排出ガスは無害ガスとして配管L6から系外に排出される。なお、水分を添加する配管としては、配管L5が最適であるが、配管L4或いは配管L3としても良い。
蓚酸ストロンチウム〔(COO)2Sr〕等の蓚酸塩、水酸化カルシウム〔Ca(OH)2 〕、水酸化バリウム〔Ba(OH)2〕、 水酸化マグネシウム〔Mg(OH)2〕、水酸化ストロンチウム〔Sr(OH)2〕等の水酸化物、或いは酸化カルシウム〔CaO〕、酸化バリウム〔BaO〕、
酸化マグネシウム〔MgO 〕、酸化ストロンチウム〔SrO〕等の酸化物が挙げられるが、最も好ましいものは、価格的にも安価で入手の容易な炭酸カルシウム或いは水酸化カルシウムであるので、以下の説明においては、代表例として炭酸カルシウムを例に説明する。係るフッ素吸収剤とHFが接触すると、CaCO3+2HF→CaF2+H2
O+CO2 の反応によりフッ素は、安定して無害なCaF2(フッ化カルシウム)となる。そして該乾式フッ素回収反応装置4から排出されるガスは、希釈ガスとして導入された空気或いは窒素ガスと、上記反応により生じた水蒸気と炭酸ガスであるので、配管L6から無害ガスとして大気中に放出されることになる。
〔実施例1〕
(1)試験装置
図3に示す水分添加試験装置を用いて水分添加量をパラメーターとした導入ガス温度と反応率との関係を調べた。上記試験装置においては、フッ素吸収剤が充填されてなる反応筒11に対してその入口11aにブロアー12、流量計16、熱風発生器14が直列に設けられた温風ラインを接続し、この温風ラインの熱風発生器14出口側に対して、HFボンベ13、流量計17を備えるHFラインと噴霧器15を備える水分添加ラインとを分岐接続してなる構成としていて、反応筒11の出口11b側においてHFガスの分析を行わせるようにしたものである。
(2)試験条件
HFラインに流動させるHFの流量は5L/minとした。一方、温風ラインを通じて加える希釈空気量は1m3/minとした(但し、この場合における希釈空気中の絶対湿度は8g/m3である)。これにより導入ガス中のHF濃度は0.5%となる。
上記の希釈HFガスに対して、水分を添加しない乾燥状態C(温度20℃における相対湿度50%の状態。絶対湿度では8g/m3)と、添加水分量が12g/minの水分添加状態B(絶対湿度:20g/m3)と、添加水分量が22g/minの水分添加状態A(絶対湿度:30g/m3)の3種類の希釈HFガスを発生させ、かつその温度条件を50、100、150、250℃にそれぞれ設定してなる12種の各被試験希釈HFガスを反応筒11に導入させて各反応率について調べた。
(3)試験結果
その結果は図2に折れ線A、B、Cで示される通りであり、乾燥状態Cのものに比較した場合、絶対湿度:20g/m3の水分添加状態Bでは100から150℃の温度領域で反応率が10%程度高くなり、更に絶対湿度:30g/m3の水分添加状態Cでは同じく20%程度高くなる結果が得られて、このように水分を量的制御して添加することによって、吸収剤とHFガスとの反応性をより高め得ることが立証された。尚、本実施例に示すように、反応率向上には絶対湿度として20〜30g/m3の範囲に制御すれば十分であるが、30g/m3を越える範囲に絶対湿度を制御しても良い。但し、絶対湿度が高くなりすぎるとHFによる装置内の腐食度合いが加速することから、絶対湿度の上限としては50g/m3程度が望ましい。
例えばLPGの場合:C3H8
+ 5O2 → 3CO2
+ 4H2O
の化学反応によってLPG 1 L/minにつき水分は3.2 g/min添加される。そこで、導入ガスの絶対湿度が30 g/m3以上になるようにするには、燃焼式除害装置の排気風量が1m3/min、空気の絶対湿度:8 g/m3の場合、LPGを7 L/min以上燃焼させることにより追加の水分添加は不要となるのである。
Claims (2)
- PFCガスの分解により生成した分解生成ガスからフッ素を回収する方法において、前記分解生成ガスを空気により希釈して希釈分解生成ガスとなした後に、アルカリ土類金属の各種塩類,酸化物,水酸化物の単独若しくはこれらの混合物からなるフッ素吸収剤が充填されてなる乾式フッ素回収装置(4)に供給し、その際、前記希釈分解生成ガス中に水分を添加量調節しながら添加し、前記希釈分解生成ガス中のフッ素とフッ素吸収剤の前記アルカリ土類金属とを反応させてアルカリ土類金属フッ化物として回収することを特徴とするフッ素回収方法。
- 前記乾式フッ素回収装置(4)に供給する前記希釈分解生成ガス中に添加する水分は、温度条件に応じてミスト或いは蒸気として供給されるものであり、かつ前記希釈分解生成ガスの絶対湿度が20g/m3以上の範囲内に保持されるように水分添加量を調節する請求項1記載のフッ素回収方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2015157734A (ja) * | 2014-02-25 | 2015-09-03 | 旭硝子株式会社 | フッ化カルシウムの製造方法および排ガス中のフッ化水素除去方法 |
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-
2005
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