JP2006216981A - Mounted substrate inspection method/system and component mount board manufacturing method - Google Patents

Mounted substrate inspection method/system and component mount board manufacturing method Download PDF

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JP2006216981A JP2006103140A JP2006103140A JP2006216981A JP 2006216981 A JP2006216981 A JP 2006216981A JP 2006103140 A JP2006103140 A JP 2006103140A JP 2006103140 A JP2006103140 A JP 2006103140A JP 2006216981 A JP2006216981 A JP 2006216981A
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Masato Ishibane
正人 石羽
Atsushi Kuriyama
淳 栗山
Kiyoshi Murakami
清 村上
Teruhisa Yotsuya
輝久 四ッ谷
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Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
Omron Tateisi Electronics Co
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To remarkably improve inspection accuracy in the inspection method/system that conduct image processing for each board for inspection after execution of at least the last process or two or more processes including the last process among multiple processes required for manufacturing mounted substrates. <P>SOLUTION: An inspection device 1 is arranged in every process in a mounted substrate manufacturing process. The inspection devices 1 interconnect with each other via a network line 2. Each inspection device 1 saves the inspection result, measured data and image data used for inspection in the memory each time before conducting inspection. In addition, each inspection device 1 (solder print inspection device 1B, mounted substrate inspection device 1C, post-reflow inspection device 1D) excluding the bare substrate inspection device 1A (first inspection device) receives the board inspection information saved by an inspection device 1 in the preceding process and then uses it for inspection. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

この発明は、部品実装基板の製造のために実行される複数の工程のうちの少なくとも最
終工程、または最終工程を含む2以上の工程において、その工程実行後の基板に画像処理
による検査を実行するようにした検査方法およびシステムに関する。また、この発明は、
前記の検査を行いながら部品実装基板を製造する方法に関する。
According to the present invention, at least a final process among a plurality of processes executed for manufacturing a component mounting board, or two or more processes including the final process, an inspection by image processing is performed on the board after the process is executed. The present invention relates to the inspection method and system. In addition, this invention
The present invention relates to a method of manufacturing a component mounting board while performing the above inspection.

部品実装基板の一般的な製造工程には、プリント配線板にクリームはんだを印刷する工
程(はんだ印刷工程)、クリームはんだが塗布された位置に部品を搭載する工程(部品実
装工程)、部品登載後の基板を加熱して部品を基板にはんだ付けする工程(はんだ付け工
程)が含められる。これらの工程を一連に実行するようにした基板製造ラインには、各工
程で生じた不良基板が下流に流れないように、工程毎に外観検査用の検査機を設けて検査
を実行し、不良と判定された基板を取り除くようにしたものがある。
The general manufacturing process of a component mounting board includes a process of printing cream solder on a printed wiring board (solder printing process), a process of mounting a part at a position where cream solder is applied (component mounting process), and after mounting the part. The process of heating the board | substrate and soldering components to a board | substrate (soldering process) is included. In order to prevent defective substrates generated in each process from flowing downstream, a board inspection line is provided for each process in order to carry out inspections. There is one in which the substrate determined to be removed is removed.

工程毎に検査機を設けた基板検査システムの一例として、下記の特許文献1をあげる。
この特許文献1に記載された基板検査システムは、各検査機を管理用のコンピュータを介
して上位のコンピュータ(プロセス制御装置)に接続し、検査の結果や検査時の測定デー
タなどを送信するようにしている。このプロセス制御装置には、各検査機から得た測定デ
ータ間に不良の発生原因となるような相関関係が生じていないかどうかを解析する機能が
設定されている。
The following patent document 1 is given as an example of a substrate inspection system provided with an inspection machine for each process.
In the substrate inspection system described in Patent Document 1, each inspection machine is connected to a host computer (process control device) via a management computer so as to transmit inspection results, measurement data at the time of inspection, and the like. I have to. This process control apparatus is set with a function for analyzing whether or not there is a correlation that causes a defect between measurement data obtained from each inspection machine.

特開平11―298200号公報JP-A-11-298200

従来の基板製造工程に置かれる各検査機は、検査領域の設定データやその検査領域で得
た測定データを判別するための基準値などの検査情報について、それぞれ個別に情報を作
成し、独立したアルゴリズムによる検査を実行している。特許文献1のシステムでも、こ
の点は同様である。
Each inspection machine placed in the conventional board manufacturing process creates information individually for inspection information such as inspection area setting data and reference information for discriminating measurement data obtained in that inspection area. An algorithm check is performed. This point is the same in the system of Patent Document 1.

また、近年の検査機では、ベースとなるプリント配線板が設計データどおりに作成され
ていることを前提として、CADデータなどの基板設計データに基づいて検査領域を設定
することが多い。たとえば、はんだ印刷後の検査では、検査領域からはんだの画像を抽出
して、はんだの面積や位置を計測し、その計測値を基板設計データに基づいた基準値と比
較するようにしている。
しかしながら、プリント配線板の製造工程では、レジストの位置ずれなどによってラン
ドの形成位置に微小なばらつきが生じており、ランドの位置や大きさは、必ずしも設計デ
ータどおりにはならない。
In recent inspection machines, an inspection region is often set based on board design data such as CAD data on the assumption that a printed wiring board serving as a base is created according to design data. For example, in the inspection after solder printing, an image of solder is extracted from the inspection region, the area and position of the solder are measured, and the measured value is compared with a reference value based on the board design data.
However, in the manufacturing process of the printed wiring board, a small variation occurs in the land formation position due to the positional deviation of the resist, and the land position and size are not always in accordance with the design data.

一方で、近年の基板は高密度化し、また部品形状の微細化に伴い、ランド形状も小さく
なる傾向がある。このため、ランドの形成位置に対し、はんだが位置ずれして印刷されて
いると、部品の実装やはんだ付けを適切に行えなくなるおそれがある。しかし、基板設計
データに基づいて検査領域や判定のための基準値を設定していると、はんだの印刷位置の
ずれを検出できなくなる可能性がある。
たとえば、はんだ印刷後の基板においては、はんだが基板設計データに基づく基準位置
に印刷されていても、実際のランドが基板設計データに基づく基準位置からずれていると
、ランドとはんだとの間に許容範囲を超える位置ずれが発生する可能性がある。しかし、
はんだ印刷後の検査では、基板設計データに基づいた基準位置にはんだが印刷されていれ
ば、良判定が行われるので、上記したずれを検出できなくなる。
On the other hand, recent boards have a higher density, and the land shape tends to be smaller as the component shape becomes finer. For this reason, if the solder is printed out of position with respect to the land formation position, there is a possibility that the mounting and soldering of components cannot be performed properly. However, if the inspection area and the reference value for determination are set based on the board design data, there is a possibility that the deviation of the solder printing position cannot be detected.
For example, in the board after solder printing, even if the solder is printed at the reference position based on the board design data, if the actual land is deviated from the reference position based on the board design data, the gap between the land and the solder There is a possibility that misalignment exceeding the allowable range may occur. But,
In the inspection after solder printing, if the solder is printed at the reference position based on the board design data, a good determination is made, and thus the above-described deviation cannot be detected.

この発明は上記の問題に着目してなされたもので、検査対象の基板に対し、前工程で生
成された情報を用いて、適切に検査を実行することを目的とする。
The present invention has been made paying attention to the above-described problem, and an object thereof is to appropriately inspect a substrate to be inspected using information generated in a previous process.

この発明にかかる第1の部品実装基板用の検査方法は、部品実装基板の製造のために実
行される複数の工程のうち、最終工程を含む2以上の工程にそれぞれ検査機を配備し、各
検査機毎に、その検査機が配備された工程が実行された後の基板の画像を用いて当該基板
の検査を実行するものである。この方法では、他の検査機が配備された工程より後の工程
に配備された検査機において、検査対象の基板を前工程の検査機で検査したときに生成さ
れた情報を入力し、その入力情報を用いて検査を実行するようにしている。
An inspection method for a first component mounting board according to the present invention includes an inspection machine in each of two or more processes including a final process among a plurality of processes executed for manufacturing a component mounting board. For each inspection machine, the board is inspected using an image of the board after the process in which the inspection machine is provided is executed. In this method, in an inspection machine deployed in a process subsequent to the process in which another inspection machine is deployed, information generated when the inspection target board is inspected by the inspection machine in the previous process is input and the input is performed. The inspection is performed using the information.

上記方法において、複数の工程には、はんだ印刷工程、部品実装工程、はんだ付け工程
を含めることができる。さらに、はんだ印刷工程の前に、プリント配線板の製造工程を設
けることもできる。これらの工程の間には、基板を搬送するためのコンベア装置が設けら
れるのが望ましいが、必ずしもその必要はなく、ある工程と次の工程とが物理的に切り離
された状態であってもよい。また、検査機は、すべての工程に設けるのが一番望ましいが
、逆に、最終工程とその他の一工程に配備するだけでも良い。
In the above method, the plurality of steps can include a solder printing step, a component mounting step, and a soldering step. Further, a printed wiring board manufacturing process can be provided before the solder printing process. It is desirable that a conveyor device for transporting the substrate is provided between these processes, but this is not always necessary, and a certain process and the next process may be physically separated. . The inspection machine is most preferably provided in all processes, but conversely, it may be provided only in the final process and one other process.

各検査機は、カメラを有する外観検査装置として構成することができる。または、X線
による透視画像を用いた検査装置とすることもできる。
また、各検査機は、LAN回線などのネットワーク回線に接続され、この回線を介して
検査に必要な情報を入力するのが望ましい。ただし、これに限らず、検査機間で無線によ
る通信を行うようにしてもよい。また、検査機間での通信に、サーバー用コンピュータを
介在させてもよい。または、通信に代えて、所定の記憶媒体に検査で生成された情報を格
納し、これを別の検査機に導入することにより、情報を入力するようにしてもよい。
Each inspection machine can be configured as an appearance inspection apparatus having a camera. Or it can also be set as the inspection apparatus using the fluoroscopic image by X-rays.
Each inspection machine is preferably connected to a network line such as a LAN line and inputs information necessary for the inspection via this line. However, the present invention is not limited to this, and wireless communication may be performed between inspection machines. Further, a server computer may be interposed in communication between the inspection machines. Alternatively, instead of communication, information generated by inspection may be stored in a predetermined storage medium, and the information may be input by introducing the information into another inspection machine.

上記において、「前工程の検査機」は、直前の工程の検査機に限らず、所定段階前の工
程の検査機であってもよい。また、前工程の検査機は1台に限らず、複数の工程の検査機
で生成された情報を1つの検査のために入力してもよい。
「検査対象の基板を前工程の検査機で検査したときに生成された情報」には、その基板
に対する検査結果や、検査のために抽出した測定データを含めることができる。さらに、
検査のために生成した画像データを含めることもできる。この画像データは、カメラなど
から入力した濃淡画像に限らず、この濃淡画像を変換処理して生成された2値画像やエッ
ジ画像などとすることもできる。また、検査を実行する後工程の検査機が必要とする領域
のみの画像データとすることもできる。
なお、前工程の検査機は判定・判別などをすることを必須とせず、後工程の検査機に送
信するための画像を取得する処理を実行するだけでもよい。
In the above, the “inspection machine for the previous process” is not limited to the inspection machine for the immediately preceding process, but may be an inspection machine for the process before a predetermined stage. Further, the number of inspection machines in the previous process is not limited to one, and information generated by a plurality of inspection machines may be input for one inspection.
The “information generated when the substrate to be inspected is inspected by the inspection machine in the previous process” can include an inspection result for the substrate and measurement data extracted for the inspection. further,
Image data generated for inspection can also be included. The image data is not limited to a grayscale image input from a camera or the like, but can also be a binary image or an edge image generated by converting the grayscale image. Moreover, it is also possible to obtain image data only for a region required by a post-process inspection machine that executes inspection.
Note that it is not essential for the inspection machine in the previous process to make a determination / discrimination, and it is only necessary to execute processing for acquiring an image to be transmitted to the inspection machine in the subsequent process.

この発明にかかる第1の部品実装基板用の検査方法を実現するためには、プリント配線
板の製造工程での検査結果は必ずしも必須要件とはならない。複数の工程にプリント配線
板の製造工程が含められており、この製造工程に検査機が配備される場合であっても、第
1の部品実装基板用の検査方法を実現する上では、プリント配線板を検査する検査機で生
成された情報を後工程に配備された検査機に入力し、その入力情報を用いた検査を実行す
れば足りるからである。複数の工程にはんだ印刷工程や部品実装工程を含めた場合にも、
同様に、第1の部品実装基板用の検査方法を実現する上で、これらの工程における検査結
果を必須要件とする必要はない、と考えることができる。
In order to realize the inspection method for the first component mounting board according to the present invention, the inspection result in the manufacturing process of the printed wiring board is not necessarily an essential requirement. Even when a printed wiring board manufacturing process is included in a plurality of processes and an inspection machine is provided in this manufacturing process, the printed wiring board is used to realize the inspection method for the first component mounting board. This is because it is sufficient to input the information generated by the inspection machine for inspecting the board to the inspection machine provided in the subsequent process and execute the inspection using the input information. Even when the solder printing process and component mounting process are included in multiple processes,
Similarly, in realizing the inspection method for the first component mounting board, it can be considered that the inspection results in these steps do not have to be indispensable requirements.

上記第1の方法によれば、他の検査機が配備された工程より後の工程に配備された検査
機では、実際の検査対象の基板について、前工程の検査機で同じ基板を検査したときに生
成された情報を用いて検査を実行することができる。よって、実際の基板の構成に応じて
、適切な判別処理を行うことが可能になる。また、前工程の検査機で検査したときに生成
された情報を、前工程の検査のみならず、後工程の検査機における検査にも用いるため、
検査情報を有効に利用することができる。
According to the first method, in the inspection machine deployed in the process after the process in which another inspection machine is deployed, when the same substrate is inspected with the inspection machine in the previous process for the actual inspection target substrate. An inspection can be performed using the information generated in step (b). Therefore, it is possible to perform appropriate discrimination processing according to the actual configuration of the substrate. In addition, in order to use the information generated when inspecting with the inspection machine of the previous process, not only for the inspection of the previous process but also for the inspection with the inspection machine of the subsequent process
Inspection information can be used effectively.

好ましい態様の検査方法では、各検査機は相互に通信可能に設定されており、最終工程
より前の工程の検査機において、検査時に生成した情報を基板毎に前記検査機のメモリに
保存し、後工程の検査機からその検査機が検査対象とする基板に関する情報の送信を要求
されたとき、その要求に応じた情報を前記メモリから読み出して前記後工程の検査機に送
信する。また、前記情報の送信を要求した後工程の検査機は、前記要求に応じて送信され
た情報を入力して検査を実行する。このようにすれば、後工程の検査機では、検査の進行
に応じて、前工程の検査機で生成された情報が必要になる都度、その情報の送信要求を出
力することにより、必要な情報を得ることができる。または、検査に先立ち、前工程の検
査機から必要な情報を取り込んでメモリに保存しておき、検査時に必要に応じてメモリか
ら情報を取り出して使用するようにしてもよい。
In the inspection method of a preferred aspect, each inspection machine is set to be able to communicate with each other, and in the inspection machine in the process before the final process, information generated at the time of inspection is stored in the memory of the inspection machine for each substrate, When a post-process inspection machine requests transmission of information related to a substrate to be inspected by the inspection machine, information corresponding to the request is read from the memory and transmitted to the post-process inspection machine. In addition, the post-process inspection machine that requests the transmission of the information performs the inspection by inputting the information transmitted in response to the request. In this way, the post-process inspection machine outputs necessary information by outputting a request for transmission of information whenever the information generated by the pre-process inspection machine becomes necessary as the inspection progresses. Can be obtained. Alternatively, prior to the inspection, necessary information may be fetched from the inspection machine in the previous process and stored in the memory, and the information may be taken out from the memory and used as necessary during the inspection.

前記複数の工程にプリント配線板の製造工程が含められている場合には、この工程に配
備された検査機において、検査時にランドの位置情報またはランドの形成範囲を示す情報
を抽出し、その抽出された情報を後工程の検査機が入力することができる。
なお、ランドの位置情報としては、重心などの代表点を求めることができる。また、ラ
ンドの形成範囲を示す情報としては、ランドの全構成画素またはエッジ構成点の座標等を
求めることができる。また、ランドは一般に略矩形状であるので、各頂点に対応する4点
の座標を求め、これらの座標による配列を、形成範囲を示す情報とすることもできる。な
お、ランドの形成範囲を示す情報は、ランドの位置を示す情報にもなる。
When a manufacturing process of a printed wiring board is included in the plurality of processes, in the inspection machine deployed in this process, the position information of the land or the information indicating the formation range of the land is extracted at the time of the inspection, and the extraction The post-process inspection machine can input the processed information.
Note that representative points such as the center of gravity can be obtained as the land position information. Further, as information indicating the formation range of the land, coordinates of all the constituent pixels of the land or the edge constituent points can be obtained. Further, since the land is generally rectangular, the coordinates of four points corresponding to each vertex can be obtained, and an array based on these coordinates can be used as information indicating the formation range. The information indicating the land formation range is also information indicating the position of the land.

たとえば、前記プリント配線板の製造工程の検査機で抽出された情報を、はんだ印刷工
程の検査機が入力する場合には、前記はんだ印刷工程の検査機において、検査対象の基板
の画像からはんだの位置情報またははんだの印刷範囲を示す情報を抽出し、その抽出情報
の適否を前記プリント配線板の製造工程の検査機で抽出された情報を基準にして判別する
ことができる。より具体的に言えば、ランドの位置情報を基準にして、はんだの位置の適
否を判別することにより、はんだの印刷ずれを検出することができる。またランドの形成
範囲を基準にはんだの形成範囲の適否を判別することにより、ランド上のはんだ量が適切
であるか否かを判別したり、ランド外にはみ出たはんだを検出することができる。
For example, when the information extracted by the inspection machine in the printed wiring board manufacturing process is input by the inspection apparatus in the solder printing process, the solder printing process inspection machine uses the solder printing process to inspect the solder from the image of the board to be inspected. It is possible to extract position information or information indicating the printing range of solder, and determine whether the extracted information is appropriate based on information extracted by an inspection machine in the printed wiring board manufacturing process. More specifically, solder misalignment can be detected by determining the suitability of the solder position on the basis of the land position information. Further, by determining whether or not the solder formation range is appropriate based on the land formation range, it is possible to determine whether or not the amount of solder on the land is appropriate, and to detect solder that has protruded from the land.

また、前記プリント配線板の製造工程の検査機で抽出された情報を、部品実装工程また
ははんだ付け工程の検査機が入力する場合には、部品実装工程またははんだ付け工程の検
査機において、検査対象の基板の画像から部品の位置または部品が実装される範囲を示す
情報を抽出し、その抽出情報の適否を前記プリント配線板の製造工程の検査機で抽出され
た情報を基準にして判別することができる。より具体的に言えば、ランドの位置を基準に
部品の実装位置が適切であるか否かを判別したり、複数のランドの形成範囲に基づいて部
品の好ましい実装範囲を割り出し、検査機が抽出した部品の実装範囲が前記好ましい実装
範囲に適合するか否かによって、部品の位置ずれや傾きを検出することが可能になる。
In addition, when the information extracted by the inspection device for the manufacturing process of the printed wiring board is input by the inspection device for the component mounting process or the soldering process, Information indicating the position of the component or the range in which the component is mounted is extracted from the image of the board, and the suitability of the extracted information is determined based on the information extracted by the inspection machine in the manufacturing process of the printed wiring board Can do. More specifically, it is determined whether the mounting position of the component is appropriate based on the land position, or the preferred mounting range of the component is determined based on the formation range of multiple lands, and the inspection machine extracts it. Depending on whether or not the mounting range of the selected component matches the preferable mounting range, it is possible to detect the positional deviation and inclination of the component.

また、前記プリント配線板の製造工程の検査機で抽出された情報を、はんだ付け工程の
検査機が入力する場合には、前記はんだ付け工程の検査機において、検査対象の基板の画
像に対し、前記入力情報を基準に検査領域を設定し、その検査領域内の画像を用いてはん
だ付け部位の適否を判別することができる。たとえば、ランドの位置または形成範囲に基
づいて設定した検査領域で、はんだ付け部位を抽出したり、その位置や大きさなどを計測
することができる。このように、実際のランドを基準にはんだ付け部位の状態を判別する
ので、適切なはんだ付けがなされているか否かを、精度良く判別することが可能になる。
In addition, when the information extracted by the inspection machine of the manufacturing process of the printed wiring board is input by the inspection machine of the soldering process, in the inspection machine of the soldering process, for the image of the board to be inspected, An inspection area can be set based on the input information, and the suitability of the soldering part can be determined using an image in the inspection area. For example, it is possible to extract a soldering site in an inspection region set based on the land position or formation range, and to measure the position and size thereof. As described above, since the state of the soldering portion is determined based on the actual land, it is possible to accurately determine whether or not appropriate soldering is performed.

また、前記複数の工程にプリント配線板の製造工程が含められている場合には、この工
程に配備された検査機が検査に使用した画像を、後工程の検査機が入力するように設定す
ることもできる。
たとえば、前記プリント配線板の製造工程に配備された検査機で使用された画像を、部
品実装工程またははんだ付け工程の検査機が入力し、前記部品実装工程またははんだ付け
工程の検査機において、検査対象の基板の画像と前記入力した画像とを比較して部品実装
状態の適否を判別することができる。このようにすれば、部品実装工程やはんだ付け工程
後の検査において、その工程を実行した後の画像と前記入力した画像との間で同じ部品に
対応する領域の画像を比較することができ、部品の欠落や大幅な位置ずれを検出すること
ができる。
Further, when a manufacturing process of a printed wiring board is included in the plurality of processes, an image used for inspection by an inspection machine arranged in this process is set so that the inspection machine in the subsequent process inputs the image. You can also
For example, an image used in an inspection machine deployed in the manufacturing process of the printed wiring board is input by an inspection machine in a component mounting process or a soldering process, and the inspection is performed in the inspection machine in the component mounting process or the soldering process. The suitability of the component mounting state can be determined by comparing the image of the target board with the input image. In this way, in the inspection after the component mounting process or the soldering process, the image of the region corresponding to the same component can be compared between the image after executing the process and the input image, It is possible to detect missing parts and large positional deviations.

さらに、前記複数の工程にはんだ印刷工程が含められている場合には、この工程に配備
された検査機において、検査時にはんだの位置情報またははんだの印刷範囲を表す情報を
抽出し、その抽出された情報を後工程の検査機が入力するように、設定することができる
。なお、はんだの位置情報や印刷範囲を表す情報についても、前記したランドの位置情報
やランドの形成範囲を表す情報と同様の種類の情報を、抽出することができる。
Further, when a solder printing process is included in the plurality of processes, in the inspection machine provided in this process, the position information of the solder or the information indicating the printing range of the solder is extracted at the time of the inspection, and the extracted information is extracted. The information can be set so that the inspection machine in the subsequent process inputs it. As for the position information of the solder and the information indicating the printing range, the same type of information as the information indicating the position information of the land and the information indicating the formation range of the land can be extracted.

前記はんだ印刷工程の検査機で抽出された情報を、部品実装工程の検査機が入力する場
合には、この部品実装工程の検査機において、検査対象の基板の画像から部品の位置また
は部品が実装される範囲を示す情報を抽出し、その抽出情報の適否を前記入力情報を基準
にして判別することができる。より具体的に言えば、はんだの位置情報と部品の位置とを
比較することにより、部品の欠落や位置ずれを検出することが可能となる。また、複数の
はんだの印刷範囲に基づいて、部品の好ましい実装範囲を割り出し、これを検査機が抽出
した部品の実装範囲と比較することにより、部品の位置ずれや傾きを検出することが可能
になる。
When information extracted by the solder printing process inspection machine is input by the component mounting process inspection machine, the component position or component is mounted from the image of the board to be inspected by the component mounting process inspection machine. It is possible to extract information indicating the range to be processed and determine whether the extracted information is appropriate based on the input information. More specifically, it is possible to detect missing or misaligned parts by comparing the position information of the solder with the position of the parts. In addition, it is possible to detect component displacement and inclination by determining the preferred mounting range of components based on the printing range of multiple solders and comparing this with the mounting range of components extracted by the inspection machine Become.

また、前記複数の工程にはんだの印刷工程が含められている場合には、この工程に配備
された検査機で検査に使用された画像を、後工程の検査機が入力することもできる。
たとえば、前記はんだ印刷工程の検査機で使用された画像を部品実装工程の検査機が入
力し、この部品実装工程の検査機において、検査対象の基板の画像と前記入力した画像と
を比較して部品実装状態の適否を判別することができる。このようにすれば、部品実装工
程後の基板の画像とその工程の前の基板の画像との間で、同じ部品の実装位置に相当する
画像を比較することができ、部品の欠落や大幅な位置ずれを検出することができる。
Further, in the case where a solder printing process is included in the plurality of processes, an image used for inspection by an inspection machine arranged in this process can be input by an inspection machine in a subsequent process.
For example, an image used in an inspection machine in the solder printing process is input by an inspection machine in a component mounting process. In the inspection machine in the component mounting process, an image of a board to be inspected is compared with the input image. Appropriateness of the component mounting state can be determined. In this way, the image corresponding to the mounting position of the same component can be compared between the image of the board after the component mounting process and the image of the board before the process, and the missing or significant component Misalignment can be detected.

この発明にかかる第2の部品実装基板用の検査方法は、部品実装基板の製造のために実
行される複数の工程のうちの少なくとも最終工程に検査機を配備し、各検査機において、
その検査機が配備された工程が実行された後の基板の画像を用いて当該基板の検査を実行
するものである。すなわち、この方法においては、最低限、最終工程で検査を行えば足り
る、と考えることができる。勿論、この方法においても、2以上の工程で検査を行っても
良く、さらに全ての工程で検査を行ってもよい。
In the inspection method for a second component mounting board according to the present invention, an inspection machine is arranged in at least the final process among a plurality of processes executed for manufacturing the component mounting board.
The inspection of the board is executed using the image of the board after the process in which the inspection machine is provided is executed. That is, in this method, it can be considered that it is sufficient to perform the inspection in the final process at a minimum. Of course, also in this method, inspection may be performed in two or more steps, and further, inspection may be performed in all steps.

上記の検査方法に係る一態様においては、前記検査機が配備された工程よりも前の工程
において、その工程実行後の基板を撮像するステップと、前記撮像により得られた画像か
ら当該前の工程で基板に付された構成を抽出するステップとを実行し、その抽出結果を前
記検査機が入力して検査に使用するようにしている。
In one aspect of the inspection method described above, in a step prior to the step in which the inspection machine is provided, a step of imaging the substrate after the execution of the step, and a step before the step obtained from the image obtained by the imaging The step of extracting the configuration attached to the substrate is executed, and the extraction result is input by the inspection machine and used for the inspection.

上記において、「検査機が配備された工程よりも前の工程」は、直前の工程に限らず、
所定段階前の工程でもよい。たとえば、はんだ印刷工程、部品実装工程、はんだ付け工程
のそれぞれに検査機が配備されている場合に、これらの工程について、それぞれプリント
配線板の製造工程を「前の工程」として設定することができる。
In the above, the “process before the process in which the inspection machine is deployed” is not limited to the immediately preceding process,
It may be a process before a predetermined stage. For example, when an inspection machine is provided for each of the solder printing process, the component mounting process, and the soldering process, the manufacturing process of the printed wiring board can be set as the “previous process” for each of these processes. .

「当該前の工程で基板に付された構成」とは、「検査機が配備された工程よりも前の工
程」を実行することにより、基板に付加されたものである。たとえば、前の工程がプリン
ト配線板の製造工程であれば、基板に形成されたランドが「基板に付された構成」になる
と、考えることができる。また、はんだ印刷工程が前の工程である場合には、基板に印刷
されたクリームはんだが「基板に付された構成」となり、部品実装工程が前の工程である
場合には、実装された部品が「基板に付された構成」になると、考えることができる。
The “configuration attached to the substrate in the previous step” is added to the substrate by executing “a step before the step in which the inspection machine is provided”. For example, if the previous process is a printed wiring board manufacturing process, it can be considered that the land formed on the substrate becomes the “configuration attached to the substrate”. Also, if the solder printing process is the previous process, the cream solder printed on the board will be "configuration applied to the board", and if the component mounting process is the previous process, the mounted components Can be considered as “a structure attached to the substrate”.

上記の方法によれば、検査機が配備された工程よりも前に基板に付されていた構成(た
とえばランド)を基準にして、前記検査機が配備された工程で基板に付された構成(たと
えばクリームはんだ、部品、はんだフィレット)の適否を判別することが可能になる。
たとえば、ランドの形成範囲に基づき、ランドに対するはんだ量の過多を判別したり、
部品の位置ずれを検出したり、はんだフィレットの形成状態の適否を判別することが可能
になる。
According to said method, the structure (for example, land) which was attached to the board | substrate before the process by which the inspection machine was deployed on the basis of the structure (for example, land) which was attached to the board in the process by which the said inspection machine was deployed ( For example, it is possible to determine the suitability of cream solder, parts, solder fillets).
For example, based on the formation range of the land, it is possible to determine the excessive amount of solder with respect to the land,
It becomes possible to detect the positional deviation of the component and to determine whether the solder fillet is formed properly.

つぎに、第2の検査方法に係る他の一態様においては、前記検査機が配備された工程よ
りも前の工程において、その工程実行後の基板を撮像するステップと、前記撮像により得
られた画像を保存するステップとを実行し、前記保存された画像を前記検査機が入力して
検査に使用する。
たとえば、プリント配線板の製造工程において、上記2つのステップを実行するととも
に、部品実装工程やはんだ付け工程に検査機を配備して検査を行う場合、各検査機におい
て、前記プリント配線板の製造工程で保存された画像と、自装置で生成した画像とを比較
することにより、部品の欠落や大幅な位置ずれを検出することができる。
Next, in another aspect according to the second inspection method, in a step before the step in which the inspection machine is arranged, the step of imaging the substrate after the execution of the step, and the image obtained by the imaging A step of storing an image, and the inspection machine inputs the stored image and uses it for the inspection.
For example, in the printed wiring board manufacturing process, the above two steps are executed, and when the inspection is performed by deploying an inspection machine in the component mounting process or the soldering process, in each inspection machine, the printed wiring board manufacturing process By comparing the image stored in (1) with the image generated by the device itself, it is possible to detect missing parts or significant positional deviation.

この発明にかかる部品実装基板用の検査システムは、部品実装基板の製造のために実行
される複数の工程のうち、最終工程を含む2以上の工程にそれぞれ検査機を配備して、各
検査機毎に、その検査機が配備された工程を実行した後の基板の画像を用いて当該基板の
検査を実行するとともに、各検査機を相互に通信可能な状態に設置して成るものである。
このシステムの最終工程より前の工程に配備された検査機は、検査時に生成された情報を
基板毎にメモリに保存する情報蓄積手段と、後工程の検査機からその検査機が検査対象と
する基板に関する情報の送信を要求されたとき、その要求に対応する情報を前記メモリか
ら読み出して前記後工程の検査機に送信する情報送信手段とを具備する。また、他の検査
機が配備された工程より後の工程に配備された検査機には、前工程の検査機に自装置の現
在の検査対象の基板に関する情報の送信を要求する送信要求手段と、前記要求に応じて前
工程の検査機から送信された情報を用いて検査を実行する処理手段とが設けられる。
An inspection system for a component mounting board according to the present invention includes an inspection machine in each of two or more processes including a final process among a plurality of processes executed for manufacturing a component mounting board. Each time, the inspection of the board is performed using the image of the board after the process in which the inspection machine is deployed, and the inspection machines are installed in a state where they can communicate with each other.
The inspection machine deployed in the process prior to the final process of this system has an information storage means for storing information generated at the time of inspection in a memory for each substrate, and the inspection machine is an inspection target from the inspection machine in the subsequent process. And an information transmission means for reading out information corresponding to the request from the memory and transmitting it to the inspection machine in the subsequent process when transmission of information on the substrate is requested. Also, a transmission request means for requesting an inspection machine deployed in a process subsequent to a process in which another inspection machine is deployed to the previous process inspector to transmit information relating to a substrate to be inspected by the apparatus itself. And a processing means for executing an inspection using information transmitted from an inspection machine in a previous process in response to the request.

上記検査システムに導入される各検査機は、カメラを有する外観検査装置として構成す
ることができるが、これに限らず、X線による透視画像を用いた検査装置とすることもで
きる。情報蓄積手段、情報送信手段、送信要求手段、処理手段は、いずれも、その手段を
実行するためのプログラムがセットされたコンピュータにより構成することができる。
Each inspection machine introduced into the inspection system can be configured as an appearance inspection apparatus having a camera, but is not limited thereto, and may be an inspection apparatus using a fluoroscopic image by X-rays. The information storage means, information transmission means, transmission request means, and processing means can all be configured by a computer in which a program for executing the means is set.

上記の検査システムにおいて、各検査機には、検査対象の基板にかかる識別情報を認識
する手段を設けるのが望ましい。この認識手段は、たとえば、検査対象の画像から基板に
付された識別コードを抽出し、その内容を認識するものとすることができる。なお、基板
の識別コードは、バーコード、2次元コード、文字列などにより表すことができ、基板の
定められた位置に付されるのが望ましい。
In the above inspection system, each inspection machine is preferably provided with a means for recognizing identification information relating to a substrate to be inspected. This recognition means can extract the identification code attached to the board from the image to be inspected, for example, and recognize the contents. The board identification code can be represented by a bar code, a two-dimensional code, a character string, or the like, and is preferably attached to a predetermined position on the board.

上記の検査システムによれば、最終工程より前の各検査機では、検査を終了する都度、
その検査対象の基板について生成した情報(検査結果、測定データ、画像データなど)を
前記識別コードに対応づけてメモリに保存することができる。また、他の検査機が配備さ
れた工程より後の工程に配備された検査機では、前記送信要求として、前記基板の識別コ
ードを含み、必要な情報の内容を指定するメッセージを送信することができる。この送信
要求を受信した前工程の検査機は、前記識別コードに基づきメモリから該当する情報を読
み出して、これを前記送信要求を行った検査機に送信することができる。よって、後工程
の検査機では、前工程の検査機が同じ基板を検査したときに生成した情報を用いて、検査
領域を設定したり、測定データや画像データを比較するなどの処理を実行することができ
る。
According to the above inspection system, each inspection machine before the final process,
Information (inspection results, measurement data, image data, etc.) generated for the substrate to be inspected can be stored in a memory in association with the identification code. In addition, in an inspection machine deployed in a process subsequent to a process in which another inspection machine is deployed, the transmission request may include a message specifying the content of necessary information including the board identification code. it can. The inspection machine in the previous process that has received this transmission request can read out the corresponding information from the memory based on the identification code, and can transmit it to the inspection machine that has made the transmission request. Therefore, in the post-process inspection machine, processing such as setting an inspection area and comparing measurement data and image data is performed using information generated when the pre-process inspection machine inspects the same substrate. be able to.

この発明にかかる部品実装基板の製造方法は、複数の工程を順に実行して部品実装基板
を製造するとともに、最終工程を含む2以上の工程にそれぞれ検査機を配備して、各検査
機毎に、その検査機が配備された工程を実行した後の基板の画像を用いて当該基板の検査
を実行する。各検査機は相互に通信可能な状態に設置されており、最終工程よりも前の工
程に配備された各検査機では、検査時に生成された情報を基板毎にメモリに保存し、後工
程の検査機からその検査機が検査対象とする基板に関する情報の送信を要求されたとき、
その要求に応じた情報を前記メモリから読み出して前記後工程の検査機に送信する。また
前記情報の送信を要求した後工程の検査機では、前工程の検査機から前記要求に応じた情
報が送信されたとき、その送信情報を用いて検査を実行するようにしている。
In the component mounting board manufacturing method according to the present invention, a plurality of processes are sequentially performed to manufacture a component mounting board, and an inspection machine is provided in each of two or more processes including the final process. Then, the substrate is inspected using the image of the substrate after the process in which the inspection machine is deployed. Each inspection machine is installed in a state where it can communicate with each other. In each inspection machine deployed in the process prior to the final process, the information generated at the time of inspection is stored in the memory for each substrate, and the subsequent process is performed. When an inspection machine requests that the inspection machine send information about the board to be inspected,
Information corresponding to the request is read from the memory and transmitted to the inspection machine in the subsequent process. Further, in a post-process inspection machine that requests transmission of the information, when information corresponding to the request is transmitted from the pre-process inspection machine, the transmission information is used to perform the inspection.

上記の製造方法において、複数の工程には、はんだ印刷工程、部品実装工程、はんだ付
け工程を含めることができ、さらに、はんだ印刷工程の前に、プリント配線板の製造工程
を設けることもできる。また、この製造方法についても、前記した部品実装基板用の検査
方法やシステムについての考察や態様を適用することができる。
また、上記した複数の工程のうち、少なくとも、はんだ印刷工程、部品実装工程、はん
だ付け工程は、コンベア装置を介してメカ的に接続されるのが望ましい。この場合、これ
ら3つの工程に処理対象の基板を順に送り込みながら部品実装基板を完成させる製造ライ
ンが構成されることになり、各工程実行後の基板を速やかに検査して、後工程に送ること
ができる。なお、上記の製造ラインからプリント配線板の製造工程を切り離した場合でも
、この工程の検査装置については、前記製造ラインの先頭位置に設けることができる。
In the above manufacturing method, the plurality of processes can include a solder printing process, a component mounting process, and a soldering process, and a printed wiring board manufacturing process can be provided before the solder printing process. Also for this manufacturing method, the considerations and aspects of the inspection method and system for the component mounting board described above can be applied.
Moreover, it is desirable that at least the solder printing process, the component mounting process, and the soldering process among the plurality of processes described above are mechanically connected via a conveyor device. In this case, a production line for completing the component mounting board while sequentially sending the board to be processed to these three processes will be configured, and the board after each process execution is promptly inspected and sent to the subsequent process. Can do. Even when the manufacturing process of the printed wiring board is separated from the manufacturing line, the inspection apparatus in this process can be provided at the head position of the manufacturing line.

この発明によれば、基板の製造に関わる所定の工程を実行した後に、その工程による処
理が適切に行われたか否かを検査する場合に、その工程より前の工程で生成された同一基
板の画像やその画像から抽出された情報を用いた検査を実行するので、実際の基板の構成
に応じた検査を適切に行うことができる。
According to the present invention, after executing a predetermined process related to the manufacture of a substrate, when inspecting whether or not the process by the process is appropriately performed, the same substrate generated in the process before the process Since the inspection using the image and information extracted from the image is executed, the inspection according to the actual configuration of the substrate can be appropriately performed.

図1は、この発明が適用された基板製造ラインの構成を示す。
この実施例の基板製造ラインは、はんだ印刷機3、高速マウンタ4、異形マウンタ5、
リフロー炉6の各製造装置のほか、複数台の検査機1や情報解析装置7を含む。検査機1
は、はんだ印刷機3の前、はんだ印刷機3と高速マウンタ4との間、異形マウンタ5とリ
フロー炉6との間、リフロー炉6の後の計4箇所に配備される。
なお、図1では、各検査機1を、配置の順に1A,1B,1C,1Dの符号により示す
。以下の説明でも、検査機1を個別に示す必要がある場合には、これらの符号で示す。
FIG. 1 shows a configuration of a substrate production line to which the present invention is applied.
The board production line of this embodiment includes a solder printer 3, a high-speed mounter 4, a deformed mounter 5,
In addition to each manufacturing apparatus of the reflow furnace 6, a plurality of inspection machines 1 and information analysis apparatuses 7 are included. Inspection machine 1
Are arranged in a total of four locations before the solder printer 3, between the solder printer 3 and the high speed mounter 4, between the deformed mounter 5 and the reflow furnace 6, and after the reflow furnace 6.
In addition, in FIG. 1, each inspection machine 1 is shown with the code | symbol of 1A, 1B, 1C, 1D in order of arrangement | positioning. Also in the following description, when it is necessary to indicate the inspection machine 1 individually, these reference numerals are used.

情報解析装置7は、大容量のハードディスクを有するコンピュータであって、パーソナ
ルコンピュータなどの端末装置(図示せず。)を接続することができる。
各検査機1や情報解析装置7は、LAN回線などのネットワーク回線2を介して相互に
通信可能な状態に設定される。また、情報解析装置7を除く各装置は、基板搬送用のコン
ベア装置(図示せず。)を介して図示の順序で配置される。
The information analysis device 7 is a computer having a large-capacity hard disk and can be connected to a terminal device (not shown) such as a personal computer.
Each inspection machine 1 and information analysis device 7 are set in a state where they can communicate with each other via a network line 2 such as a LAN line. Each device except the information analysis device 7 is arranged in the order shown in the figure via a conveyor device (not shown) for substrate conveyance.

はんだ印刷機3は、プリント配線板の供給を受けて、各部品のはんだ付け位置にクリー
ムはんだを塗布するはんだ印刷工程を実行する。高速マウンタ4は、チップ部品を高速で
実装し、異形マウンタ5は、チップ部品以外の部品を実装する。これら2種類のマウンタ
4,5により、部品実装工程が実行される。リフロー炉6は、部品実装工程後の基板を加
熱することにより、はんだ付け工程を実行する。
The solder printer 3 receives the supply of the printed wiring board and executes a solder printing process in which cream solder is applied to the soldering position of each component. The high-speed mounter 4 mounts chip components at high speed, and the odd-shaped mounter 5 mounts components other than the chip components. A component mounting process is executed by these two types of mounters 4 and 5. The reflow furnace 6 performs a soldering process by heating the substrate after the component mounting process.

はんだ印刷機の上流側の検査機1Aは、この基板製造ラインに送り込まれるベア基板(
はんだ印刷前のプリント配線板であって、部品コードなどのシルク印刷パターンやランド
が形成されたものをいう。)を対象として、ランドの位置や大きさ、シルク印刷の状態な
どを検査する。はんだ印刷機3と高速マウンタ4との間の検査機1Bは、はんだ印刷工程
を経た基板を対象として、はんだの塗布状態を検査するためのものである。以下、検査機
1Aを「ベア基板検査機1A」、検査機1Bを「はんだ印刷検査機1B」という。
The inspection machine 1A on the upstream side of the solder printer is a bare board (
A printed wiring board before solder printing on which a silk printing pattern or land such as a component code is formed. ) To inspect the position and size of the land and the silk printing status. The inspection machine 1B between the solder printer 3 and the high-speed mounter 4 is for inspecting the application state of the solder on the board that has undergone the solder printing process. Hereinafter, the inspection machine 1A is referred to as “bare board inspection machine 1A”, and the inspection machine 1B is referred to as “solder printing inspection machine 1B”.

異形マウンタ5とリフロー炉6との間の検査機1Cは、部品実装工程を経た基板を対象
として、部品の有無、位置ずれ、方向の適否などを検査する。以下、この検査機1Cを「
部品実装検査機1C」という。
また、リフロー炉6の下流の検査機1Dは、リフロー炉6でのはんだ付け工程を経た基
板を対象として、加熱処理により形成されたはんだフィレット(以下、単に「フィレット
」という。)の適否を判別するほか、部品について、前記部品実装機1Cと同様の検査を
実行する。以下では、この検査機1Dを「リフロー後検査機1D」という。
The inspection machine 1C between the profile mounter 5 and the reflow furnace 6 inspects the presence / absence of components, positional deviation, and appropriateness of directions, etc., on a substrate that has undergone a component mounting process. Hereinafter, this inspection machine 1C is referred to as “
This is referred to as “component mounting inspection machine 1C”.
In addition, the inspection machine 1D downstream of the reflow furnace 6 determines whether or not the solder fillet (hereinafter simply referred to as “fillet”) formed by heat treatment is targeted for the substrate that has undergone the soldering process in the reflow furnace 6. In addition, the same inspection as that of the component mounter 1C is performed on the component. Hereinafter, this inspection machine 1D is referred to as “post-reflow inspection machine 1D”.

上記した各検査機1は、いずれも、カラー画像生成用のCCDカメラ(図示せず。)や
基板の支持ステージを具備し、カメラにより得た基板の画像を用いた外観検査を実行する
。いずれの検査機1でも、検査に先立ち、検査領域の設定データ、被検査部位(たとえば
、はんだ印刷検査機1Bでははんだが、部品実装検査機1Cでは部品が、被検査部位とな
る。)の色彩を抽出するのに必要な2値化しきい値、前記2値化しきい値により抽出され
た被検査部位を検査するためのプログラム、被検査部位に対する測定データと比較するた
めの基準値などを教示する処理が行われる(以下、これら検査のために教示される情報を
、「検査情報」という。)。
Each of the inspection machines 1 described above includes a CCD camera (not shown) for color image generation and a substrate support stage, and performs an appearance inspection using the substrate image obtained by the camera. In any of the inspection machines 1, prior to the inspection, the setting data of the inspection area and the color of the inspection site (for example, solder in the solder printing inspection machine 1B and the component in the component mounting inspection machine 1C become the inspection site). Teaches a binarization threshold necessary for extracting a target, a program for inspecting a region to be inspected extracted by the binarization threshold, a reference value for comparison with measurement data for the region to be inspected, etc. Processing is performed (hereinafter, information taught for these inspections is referred to as “inspection information”).

情報解析装置7は、各検査機1から測定データや検査結果の送信を受け、これらの情報
を蓄積する。そして、不良基板が発生した際に、その発生前後の蓄積データを分析し、そ
の分析結果に基づき、各検査機1で使用される検査情報を修正する処理を実行する。修正
後の検査情報は、各検査機1に送信される。検査機1側では、この送信に応じて、自装置
に登録された検査情報を更新する。
The information analysis device 7 receives measurement data and inspection results from each inspection machine 1 and accumulates the information. Then, when a defective substrate is generated, the accumulated data before and after the generation is analyzed, and based on the analysis result, processing for correcting the inspection information used in each inspection machine 1 is executed. The corrected inspection information is transmitted to each inspection machine 1. The inspection machine 1 updates the inspection information registered in its own device in response to this transmission.

なお、前記ベア基板は、図示しないプリント配線板の製造工程で製作されるものである
。この工程では、製作後の基板の適所に、その基板に固有の識別コードを示すバーコード
ラベルが貼付される。また、基板の左下および右上の各角部には、それぞれ位置決め用の
マークが形成される。
The bare substrate is manufactured by a manufacturing process of a printed wiring board (not shown). In this step, a bar code label indicating an identification code unique to the substrate is affixed to an appropriate position on the substrate after manufacture. Further, positioning marks are respectively formed at the lower left and upper right corners of the substrate.

図2は、前記ベア基板を撮像して得られる画像の一例を示す。なお、この図2では、説
明を簡単にするために、基板に実装される部品を2個として、これらの部品が実装される
領域を拡大して示す。
図2において、点線で囲む領域21には、前記した基板識別コードを示すバーコードラ
ベル(図示せず。)が貼付される。また、M1,M2は、前記した位置決め用のマークで
あり、文字列R1,R2は、前記した部品コードを表している。これらの文字列R1,R
2および近傍の枠22,23は、いずれも前記したシルク印刷により形成されたものであ
る。枠22,23は、基板設計時に各部品に割り当てられた領域を示すもので、部品やラ
ンドを十分に含む大きさに設定される。各検査機1では、検査対象の基板の画像を生成し
た後、その画像上の枠22,23を基準にして、検査領域を設定するようにしている。な
お、この例の枠22,23内には、それぞれチップ部品が実装される。図2は、はんだや
部品が搭載される前のベア基板の画像であるので、枠22,23内には、チップ部品の両
端の電極に接続されるランド31,32の全体像が現れている。
FIG. 2 shows an example of an image obtained by imaging the bare substrate. In FIG. 2, for simplicity of explanation, two parts are mounted on the substrate, and an area in which these parts are mounted is enlarged.
In FIG. 2, a bar code label (not shown) indicating the above-described substrate identification code is attached to a region 21 surrounded by a dotted line. M1 and M2 are the positioning marks described above, and the character strings R1 and R2 represent the component codes described above. These character strings R1, R
2 and the adjacent frames 22 and 23 are both formed by silk printing as described above. The frames 22 and 23 indicate areas allocated to the respective components at the time of board design, and are set to a size that sufficiently includes the components and lands. In each inspection machine 1, after an image of a substrate to be inspected is generated, an inspection region is set with reference to frames 22 and 23 on the image. Note that chip components are mounted in the frames 22 and 23 in this example. Since FIG. 2 is an image of the bare substrate before the solder or component is mounted, the entire image of the lands 31 and 32 connected to the electrodes at both ends of the chip component appears in the frames 22 and 23. .

この実施例の各検査機1は、ネットワーク回線2を介した通信により、他の検査機1や
情報解析装置7と通信を行いながら検査を実行するように構成される。特に、はんだ印刷
検査機1B、部品実装検査機1C、リフロー後検査機1Dは、自装置の支持ステージに取
り込まれた検査対象の基板について、適宜、前段の検査機1から検査に必要な情報の送信
を受け、受信した情報を用いて検査を実行するようにしている。以下では、各検査機1の
構成、および検査の具体例について、順を追って説明する。
Each inspection machine 1 of this embodiment is configured to execute an inspection while communicating with other inspection machines 1 and the information analysis device 7 by communication via the network line 2. In particular, the solder printing inspection machine 1B, the component mounting inspection machine 1C, and the post-reflow inspection machine 1D appropriately store information necessary for the inspection from the previous inspection machine 1 on the board to be inspected taken into the support stage of its own apparatus. The transmission is received, and the inspection is executed using the received information. Hereinafter, the configuration of each inspection machine 1 and a specific example of inspection will be described in order.

図3は、前記各検査機1に共通する構成を示す。
この実施例の検査機1は、コンピュータから成る制御部10に、画像入力部11、XY
ステージ部12、入力部13、モニタ14、作業用メモリ(RAM)15、検査情報記憶
部16、検査結果蓄積部17、通信インターフェース18などが接続されたものである。
なお、前記制御部10には、CPUのほか、基本的なプログラムが格納されたROMが含
まれるものとする。
FIG. 3 shows a configuration common to the inspection machines 1.
The inspection machine 1 according to this embodiment includes an image input unit 11, an XY unit, and a control unit 10 including a computer.
A stage unit 12, an input unit 13, a monitor 14, a working memory (RAM) 15, an inspection information storage unit 16, an inspection result storage unit 17, a communication interface 18 and the like are connected.
In addition to the CPU, the control unit 10 includes a ROM that stores basic programs.

画像入力部11は、画像入力用のインターフェース回路やA/D変換回路を含むもので
ある。ここで生成されたディジタル画像は作業用メモリ15に格納される。XYステージ
制御部12は、制御部10からの指示に応じて、前記した基板の支持ステージやカメラの
支持部の位置を制御して、前記カメラをあらかじめ定められた撮像対象領域に位置決めす
る。入力部13は、キーボードやマウスなどであって、検査開始時に検査対象の基板の種
類を入力したり、ティーチング時に各種設定データを入力するなどの目的に使用される。
モニタ14は、ティーチング時のユーザーインターフェース、検査対象の画像、検査結果
などの表示に用いられる。
The image input unit 11 includes an interface circuit for image input and an A / D conversion circuit. The digital image generated here is stored in the work memory 15. The XY stage control unit 12 controls the positions of the substrate support stage and the camera support unit according to an instruction from the control unit 10 to position the camera in a predetermined imaging target region. The input unit 13 is a keyboard, a mouse, or the like, and is used for the purpose of inputting the type of a board to be inspected at the start of inspection or inputting various setting data at teaching.
The monitor 14 is used to display a user interface during teaching, an image to be inspected, an inspection result, and the like.

検査情報記憶部16は、前記した検査情報を格納するためのメモリである。なお、検査
情報は、基板の種類毎にファイル化されており、検査時に、入力部から基板種名を入力す
ることにより、その入力に応じた検査情報ファイルが読み出され、作業用メモリ15にセ
ットされる。
The inspection information storage unit 16 is a memory for storing the above-described inspection information. The inspection information is filed for each type of board, and by inputting the board type name from the input unit at the time of inspection, the inspection information file corresponding to the input is read out and stored in the work memory 15. Set.

検査結果蓄積部17は、検査で得た情報を個々の基板毎に保存するためのもので、大容
量のハードディスク装置により構成される。この実施例では、検査結果のほか、前記2値
化しきい値により抽出された色彩パターンを測定した結果(パターンの位置情報や大きさ
情報など)や、検査に使用した基板の画像データなどを、検査結果蓄積部17に保存する
ようにしている。なお、検査結果蓄積部17に情報を保存する際には、基板毎に、基板の
識別コードをフォルダ名とするフォルダを設定し、このフォルダ内に、被検査部位毎にフ
ァイル化された情報を格納することができる。
通信インターフェース18は、前記ネットワーク回線2を介して他の検査機1や情報解
析装置7と通信を行うためのものである。
The inspection result accumulating unit 17 is for storing information obtained in the inspection for each substrate, and is configured by a large-capacity hard disk device. In this embodiment, in addition to the inspection result, the result of measuring the color pattern extracted by the binarization threshold (pattern position information, size information, etc.), the image data of the substrate used for the inspection, etc. The result is stored in the inspection result storage unit 17. When information is stored in the test result storage unit 17, a folder having a board identification code as a folder name is set for each board, and information filed for each part to be inspected is stored in this folder. Can be stored.
The communication interface 18 is for communicating with other inspection machines 1 and the information analysis device 7 via the network line 2.

さらに、前記リフロー後検査機1Dには、上記構成のほかに、赤、緑、青の円環状光源
を含む照明部(図示せず。)が設けられる。この照明部は、フィレットの傾斜状態を検査
するためのもので、各光源の径を異なる大きさにすることにより、赤、緑、青の各色彩光
を異なる仰角方向から基板に照射するように設定されている。前記カメラは、光軸を各光
源の中心に合わせた状態で、光軸を鉛直方向に向けて配備されている。溶融後のはんだは
鏡面性が高くなっているので、各光源からの色彩光の多くはフィレットの表面で鏡面暗射
する。このため、反射位置の傾斜角度によって、カメラに入射する色彩光が異なるように
なる。したがって、リフロー後検査機1Dで生成される画像上のフィレットでは、勾配が
変化する方向に沿って、赤、緑、青の色領域が分布するようになる。リフロー後検査機1
Dでは、検査対象の基板の画像から各色領域を抽出して、それぞれの面積や位置を計測し
、各計測値をあらかじめ登録した基準値と比較することによって、フィレットの大きさや
傾斜状態の適否を判別する。
なお、上記のフィレット検査の原理や詳細な処理については、下記の特許文献2を参照
されたい。
Further, in addition to the above-described configuration, the post-reflow inspection machine 1D is provided with an illumination unit (not shown) including red, green, and blue annular light sources. This illumination unit is for inspecting the tilt state of the fillet. By making the diameters of the respective light sources different, the illuminating unit irradiates the substrate with red, green and blue colored lights from different elevation angles. Is set. The camera is arranged with the optical axis in the vertical direction with the optical axis aligned with the center of each light source. Since the solder after melting has high specularity, most of the colored light from each light source is specularly reflected on the surface of the fillet. For this reason, the color light incident on the camera varies depending on the inclination angle of the reflection position. Therefore, in the fillet on the image generated by the post-reflow inspection machine 1D, the red, green, and blue color regions are distributed along the direction in which the gradient changes. Inspection machine after reflow 1
In D, each color region is extracted from the image of the substrate to be inspected, each area and position is measured, and each measured value is compared with a pre-registered reference value, thereby determining whether the fillet size and inclination state are appropriate. Determine.
For the principle and detailed processing of the fillet inspection, refer to the following Patent Document 2.

特公平6−1173号 公報Japanese Patent Publication No.6-1173

上記構成の基板製造ラインにおいて、ベア基板検査機1Aを除く各検査機1B,1C,
1Dは、前工程の検査機が検査結果蓄積部17に保存した情報の送信を受け、その送信さ
れた情報を利用して検査を実行することができる。このため、各検査機1の制御部10に
は色調補正機能が設定されており、あらかじめ各検査機1での画像を比較して得られたパ
ラメータに基づき、各検査機1の画像間の明るさや色合いの差が許容範囲内に収められる
ような調整が行われる。
In the board production line having the above configuration, each inspection machine 1B, 1C, except for the bare board inspection machine 1A,
1D can receive the transmission of the information stored in the inspection result storage unit 17 by the inspection machine in the previous process, and execute the inspection using the transmitted information. For this reason, a color tone correction function is set in the control unit 10 of each inspection machine 1, and the brightness between images of each inspection machine 1 is based on parameters obtained by comparing images in each inspection machine 1 in advance. Adjustment is performed so that the difference in the sheath color is within an allowable range.

図4は、各検査機1が取得する情報を列挙したテーブル1と、各検査機1で実行される
検査の内容をその検査に使用する情報(前工程の検査機から取得したもの、および自装置
で抽出したもの)に対応づけたテーブル2とを示す。なお、ベア基板検査機1Aについて
は、前記したように他の検査機1からの情報を使用しない検査を実行するので、以下では
、取得情報についてのみ説明する。
FIG. 4 shows a table 1 that lists information acquired by each inspection machine 1 and information used for the inspection performed by each inspection machine 1 (information acquired from the previous inspection machine and Table 2 associated with (extracted by the apparatus). In addition, about the bare board | substrate test | inspection machine 1A, since the test | inspection which does not use the information from the other test | inspection machine 1 is performed as mentioned above, only acquired information is demonstrated below.

まず、テーブル1に記載された各種取得情報a〜kについて、説明する。各検査機1は
、基板を検査する都度、その基板を撮像して得られた画像(以下「検査対象画像」という
。)からテーブル1に示された情報を抽出する。抽出された情報は、自装置での検査に使
用された後、前記検査情報記憶部16に保存される。さらに、保存された情報に対し、後
工程の検査機1から送信要求がなされると、その要求された情報が読み出され、要求を出
した検査機1に送信される。情報を要求した検査機1は、この送信された情報を自装置で
の検査に使用する。
First, various acquisition information a to k described in the table 1 will be described. Each inspection machine 1 extracts information shown in the table 1 from an image obtained by imaging the substrate (hereinafter referred to as “inspection target image”) each time the substrate is inspected. The extracted information is stored in the inspection information storage unit 16 after being used for the inspection in its own apparatus. Further, when a transmission request is made for the stored information from the inspection machine 1 in the subsequent process, the requested information is read and transmitted to the inspection machine 1 that issued the request. The inspection machine 1 that has requested the information uses this transmitted information for the inspection in its own device.

図5は、ベア基板検査機1Aで抽出される情報を示す。なお、図5以下、図13までの
各図では、それぞれ各種検査機1で生成された検査対象画像から前記図2に示した枠22
内の画像を抽出して示す。また、これらの図において、同一の部位の画像や対応する領域
には、それぞれ共通の符号を付すことにする。
FIG. 5 shows information extracted by the bare board inspection machine 1A. In FIG. 5 and the subsequent drawings up to FIG. 13, the frame 22 shown in FIG. 2 is obtained from the inspection target images generated by the various inspection machines 1.
The image inside is extracted and shown. In these drawings, the same reference numerals are assigned to images of the same part and corresponding regions.

前記テーブル1によれば、ベア基板検査機1Aでは、a,b,c,dの4種類の情報を
抽出する。以下、これらの情報を、「a情報」「b情報」「c情報」「d情報」という。
a情報は、ランドの位置および大きさを表す。この実施例では、検査対象画像を2値化
して、画像上のランド31,32を抽出した後、ランド31,32毎に、そのランドを構
成する各画素の座標を求め、その座標の集合をa情報とする。
According to the table 1, the bare board inspection machine 1A extracts four types of information, a, b, c, and d. Hereinafter, these pieces of information are referred to as “a information”, “b information”, “c information”, and “d information”.
The a information represents the position and size of the land. In this embodiment, the image to be inspected is binarized, the lands 31 and 32 on the image are extracted, the coordinates of each pixel constituting the land are obtained for each of the lands 31 and 32, and the set of the coordinates is obtained. a information.

b情報は、前記ランド31,32の重心g1,g2の座標である。重心g1,g2の座
標は、前記a情報として求められた各構成画素の座標を用いて算出される。
The b information is the coordinates of the centroids g1 and g2 of the lands 31 and 32. The coordinates of the centroids g1 and g2 are calculated using the coordinates of each constituent pixel obtained as the a information.

c情報は、ランド31,32の四隅を構成する点(ランド31については点a1,b1
,c1,d1、ランド32については点a2,b2,c2,d2である。)の座標である
。この実施例では、前記a情報を用いてランド31,32のエッジを構成する画素を抽出
し、これらの画素を基に近似する直線を設定し、4本の直線を得る。さらに各直線の交点
をランドの四隅の構成点とみなして、各交点の座標を算出する。
The c information includes points constituting the four corners of the lands 31 and 32 (points a1 and b1 for the land 31).
, C1, d1, and land 32 are points a2, b2, c2, d2. ) Coordinates. In this embodiment, pixels constituting the edges of the lands 31 and 32 are extracted using the a information, and a straight line approximated based on these pixels is set to obtain four straight lines. Further, the intersection of each straight line is regarded as a constituent point of the four corners of the land, and the coordinates of each intersection are calculated.

d情報は、ランド31,32間の画像である。この実施例では、前記a情報およびc情
報に基づき、2つのランド31,32の間に、ランド間の距離および各ランドの長さに近
似する幅および長さを有する切り出し領域24を設定する。そして、この切り出し領域2
4内の画像26をd情報として抽出する。
The d information is an image between the lands 31 and 32. In this embodiment, based on the a information and c information, a cutout region 24 having a width and a length approximating the distance between the lands and the length of each land is set between the two lands 31 and 32. And this cutout area 2
4 is extracted as d information.

なお、上記のa,b,cの各情報に含められる座標は、いずれも前記マークM1を基準
とする相対座標に置き換えられる。図5において重心g1を例にとると、重心g1の座標
は(lx,ly)である。他の検査機1でも同様にマークM1を相対座標の基準とするこ
とにより、各種取得情報a〜kの位置、座標について、整合をとるようにしている。
また、d情報として切り出される画像は、2値画像ではなく、R,G,Bの各階調デー
タから構成されるカラー濃淡画像である。これは、以下のh〜kの各情報についても同様
である。
Note that the coordinates included in each of the information a, b, and c are replaced with relative coordinates based on the mark M1. Taking the center of gravity g1 in FIG. 5 as an example, the coordinates of the center of gravity g1 are (lx, ly). Similarly, the other inspection machines 1 use the mark M1 as a reference for relative coordinates so that the positions and coordinates of the various pieces of acquired information a to k are matched.
The image cut out as d information is not a binary image but a color gray image composed of R, G, and B gradation data. The same applies to the following pieces of information h to k.

図6は、はんだ印刷検査機1Bで抽出される情報を示す。
前記テーブル1によれば、はんだ印刷検査機1Bは、e,f,g,hの4種類の情報を
抽出する。以下、これらの情報を、「e情報」「f情報」「g情報」「h情報」という。
FIG. 6 shows information extracted by the solder printing inspection machine 1B.
According to the table 1, the solder printing inspection machine 1B extracts four types of information of e, f, g, and h. Hereinafter, these pieces of information are referred to as “e information”, “f information”, “g information”, and “h information”.

e情報は、はんだの位置および大きさを表す。この実施例では、前記ベア基板検査機1
Aのa情報と同様に、2値化により検査対象画像上のはんだ41,42を抽出し、はんだ
41,42毎に、構成画素の座標を求め、その座標の集合をe情報とする。
The e information represents the position and size of the solder. In this embodiment, the bare substrate inspection machine 1
Similarly to the a information of A, the solder 41 and 42 on the inspection target image are extracted by binarization, the coordinates of the constituent pixels are obtained for each of the solder 41 and 42, and a set of the coordinates is set as e information.

f情報は、前記はんだ41,42の重心G1,G2の座標であり、前記e情報を用いて
算出される。g情報は、はんだ41,42の四隅を構成する点(はんだ41については点
A1,B1,C1,D1、はんだ42については点A2,B2,C2,D2)の座標であ
る。これらの点の座標は、前記c情報と同様の方法、すなわち、はんだのエッジに近似す
る4本の直線を設定し、各直線の交点の座標を求める方法により、算出される。この算出
にも、前記e情報が使用される。
The f information is the coordinates of the centroids G1 and G2 of the solders 41 and 42, and is calculated using the e information. The g information is coordinates of points constituting the four corners of the solders 41 and 42 (points A1, B1, C1, and D1 for the solder 41 and points A2, B2, C2, and D2 for the solder 42). The coordinates of these points are calculated by the same method as the above-mentioned c information, that is, by setting four straight lines that approximate the solder edge and obtaining the coordinates of the intersections of the straight lines. The e information is also used for this calculation.

h情報は、はんだ41,42間の画像である。この実施例では、前記e情報およびg情
報に基づきベア基板検査機1Aのd情報と同様の手法ではんだ41とはんだ42との間に
切り出し領域25を設定し、この切り出し領域25内の画像27をh情報として抽出する
The h information is an image between the solders 41 and 42. In this embodiment, a cutout area 25 is set between the solder 41 and the solder 42 in the same manner as the d information of the bare board inspection machine 1A based on the e information and the g information, and an image 27 in the cutout area 25 is set. Are extracted as h information.

図7は、部品実装検査機1Cで抽出される情報を示す。なお、図7では、抽出情報の範
囲を明示するために、画像中の部品の図示を省略している。
FIG. 7 shows information extracted by the component mounting inspection machine 1C. In FIG. 7, in order to clearly indicate the range of the extracted information, the illustration of components in the image is omitted.

前記テーブル1によれば、部品実装検査機1Cでは、iおよびjの2種類の情報を抽出
する。以下、これらを「i情報」「j情報」という。
i情報は、ランド間の画像である。この実施例では、前記ベア基板検査機1Aからa情
報およびc情報の供給を受けることにより、前記ベア基板検査機1Aで設定されたのと同
様の切り出し領域24を設定し、その切り出し領域内の画像26をi情報として抽出する
。なお、ベア基板検査機1Aにおいて、d情報の抽出時に切り出し領域24の各構成画素
の座標を記憶しておき、部品実装検査機1Cがこれらの座標を取得して、i情報を抽出し
ても良い。
According to the table 1, the component mounting inspection machine 1C extracts two types of information i and j. Hereinafter, these are referred to as “i information” and “j information”.
The i information is an image between lands. In this embodiment, by receiving the supply of a information and c information from the bare board inspection machine 1A, the same cutout area 24 as set by the bare board inspection machine 1A is set, and the cutout area 24 in the cutout area is set. The image 26 is extracted as i information. In the bare board inspection machine 1A, the coordinates of each component pixel in the cutout area 24 are stored when the d information is extracted, and the component mounting inspection machine 1C acquires these coordinates to extract the i information. good.

j情報は、はんだ間の画像である。この実施例では、前記はんだ印刷検査機1Bからe
情報およびg情報の供給を受けることにより、前記はんだ印刷検査機1Bで設定されたの
と同様の切り出し領域25を設定し、その切り出し領域25内の画像27をj情報として
抽出する。なお、はんだ印刷検査機1Bにおいて、h情報の抽出時に切り出し領域25の
構成画素の座標を記憶しておき、部品実装検査機1Cがこれらの座標を取得して、j情報
を抽出しても良い。
The j information is an image between solders. In this embodiment, the solder printing inspection machine 1B to e
By receiving the supply of information and g information, a cutout area 25 similar to that set by the solder printing inspection machine 1B is set, and an image 27 in the cutout area 25 is extracted as j information. In the solder printing inspection machine 1B, the coordinates of the constituent pixels of the cutout area 25 are stored when the h information is extracted, and the component mounting inspection machine 1C acquires these coordinates to extract the j information. .

さらに、テーブル1によれば、リフロー後検査機1Dでは、kの情報を抽出する。以下
、これを「k情報」という。
k情報は、ランド間の画像である。なお、k情報は、前記部品実装検査機1Cのi情報
と同様の方法で抽出されるので、図示は省略する。このほか、リフロー後検査機1Dでは
、前記したフィレット検査のために、赤、緑、青の各色情報を抽出する。
Further, according to Table 1, the post-reflow inspection machine 1D extracts k information. Hereinafter, this is referred to as “k information”.
The k information is an image between lands. The k information is extracted by the same method as the i information of the component mounting inspection machine 1C, and is not shown. In addition, the post-reflow inspection machine 1D extracts each color information of red, green, and blue for the above-described fillet inspection.

つぎに、テーブル2に示された8種類の検査について、検査の趣旨や方法などを順に説
明する。なお、以下では、テーブル2の「検査の内容」欄に記載の番号に基づき、各検査
を、「検査1」〜「検査8」という。
Next, the purpose and method of inspection will be described in order for the eight types of inspection shown in Table 2. In the following, each inspection is referred to as “inspection 1” to “inspection 8” based on the numbers described in the “inspection content” column of table 2.

(1)はんだ印刷機1Bにおける検査1,2,3について
はんだ印刷検査機1Bでは、ランドに搭載されたクリームはんだを被検査部位として、
検査1,2,3を実行する。このうち検査1では、ランドに対し、はんだが位置ずれして
いないかどうかを判別する。
ランドに対してはんだが大きく位置ずれしていると、その後に部品を搭載し、リフロー
炉6に投入しても、フィレットに寄与するはんだ量が不足してしまい、適切なフィレット
が形成されない。その結果、ランドと部品の電極との電気的接続が確保できなくなる。こ
のような問題を考慮して、はんだ付け工程の実行後、次工程に移行する前に、はんだの位
置ずれを検出できるようにしたのである。
(1) Inspections 1, 2, and 3 in the solder printer 1B In the solder printer inspection machine 1B, the cream solder mounted on the land is used as an inspection site.
Tests 1, 2, and 3 are performed. Among these, in the inspection 1, it is determined whether or not the solder is displaced from the land.
If the solder is greatly displaced with respect to the land, the amount of solder contributing to the fillet will be insufficient even if a component is subsequently mounted and put into the reflow furnace 6, and an appropriate fillet will not be formed. As a result, the electrical connection between the land and the component electrode cannot be secured. In consideration of such a problem, it is possible to detect the positional deviation of the solder after the execution of the soldering process and before the transition to the next process.

図8は、検査1で実行される処理の具体例を示している。この処理には、前記ベア基板
検査機1Aから供給されたb情報、および自装置で取得したf情報が用いられる。具体的
には、対応関係にあるランド−はんだの組毎に、各重心のx座標の差Δxとy座標の差Δ
yを算出する。なお、図8では、ランド31とはんだ41との組に対する計測処理のみを
示しているが、他方のランド32とはんだ42との組についても、同様の計測処理が実行
される。
上記の処理により得られた計測値Δx、Δyは、それぞれ所定のしきい値と比較される
。ここでいずれかの計測値がしきい値を上回っていれば、はんだはランドから位置ずれし
ているものと判別される。
FIG. 8 shows a specific example of the process executed in the inspection 1. In this process, the b information supplied from the bare board inspection machine 1A and the f information acquired by the own apparatus are used. Specifically, for each corresponding land-solder pair, the difference Δx between the x-coordinates of each centroid and the difference Δy between the y-coordinates
y is calculated. In FIG. 8, only the measurement process for the set of the land 31 and the solder 41 is shown, but the same measurement process is executed for the other set of the land 32 and the solder 42.
The measured values Δx and Δy obtained by the above processing are each compared with a predetermined threshold value. Here, if any measured value exceeds the threshold value, it is determined that the solder is displaced from the land.

検査2では、ランドの上に十分な量のはんだが搭載されているかどうかを判別する。十
分な量のはんだが搭載されていないと、はんだ付け工程を実行してもフィレットが形成さ
れず、部品の接触不良が生じる可能性があるためである。
In inspection 2, it is determined whether or not a sufficient amount of solder is mounted on the land. This is because if a sufficient amount of solder is not mounted, a fillet is not formed even when the soldering process is executed, and there is a possibility that a contact failure of components may occur.

図9は、この検査2で実行される処理の具体例を示している。この検査2は、前記ベア
基板検査機1Aから供給されたa情報、および自装置で取得したe情報を用いて行われる
。具体的には、a,eの情報にともに含まれている画素を抽出することにより、ランド3
1上のはんだ41が搭載されている領域43(以下、「はんだ搭載領域43」という。)
を抽出する。さらに、このはんだ搭載領域43について、ランド31全体に対する面積比
を求め、これを所定のしきい値と比較する。ここで面積比がしきい値を下回っている場合
には、はんだの量が不足していると判別される。
なお、図9には示していないが、他方のランド32とはんだ42についても、同様の方
法ではんだ搭載領域43を抽出し、ランド32に対する面積比により、はんだ量の適否を
判別する。
FIG. 9 shows a specific example of the processing executed in this inspection 2. This inspection 2 is performed using the a information supplied from the bare board inspection machine 1A and the e information acquired by the own apparatus. Specifically, the land 3 is extracted by extracting the pixels included in the information of a and e.
1 is a region 43 on which the solder 41 is mounted (hereinafter referred to as “solder mounting region 43”).
To extract. Further, the area ratio of the solder mounting region 43 with respect to the entire land 31 is obtained and compared with a predetermined threshold value. Here, when the area ratio is below the threshold value, it is determined that the amount of solder is insufficient.
Although not shown in FIG. 9, for the other land 32 and the solder 42, the solder mounting region 43 is extracted by the same method, and the suitability of the solder amount is determined based on the area ratio with respect to the land 32.

検査3では、ランドの外側に、所定量以上のはんだがはみ出していないかどうかを判別
する。ランドから所定量を超えるはんだがはみ出すと、はんだ付け工程を経たはんだがボ
ール状に固まり、隣接の部品のランドに接触するなどの不良が生じる可能性があるからで
ある。
In inspection 3, it is determined whether or not a predetermined amount or more of solder has protruded outside the land. This is because if a solder exceeding a predetermined amount protrudes from the land, the solder that has undergone the soldering process is hardened into a ball shape, and a defect such as contact with the land of an adjacent component may occur.

図10は、この検査3で実行される処理の具体例を示している。この検査3も、前記検
査2と同様に、ベア基板検査機1Aから供給されたa情報、および自装置で取得したe情
報を用いて行われる。この検査3では、e情報には含まれるが、a情報には含まれない画
素を抽出することによって、ランド外のはんだに相当する領域44(以下、「はんだ逸脱
領域44」という。)を抽出する。さらに、このはんだ逸脱領域44の面積を求め、これ
を所定のしきい値と比較する。ここで前記面積がしきい値を上回っている場合には、ラン
ド31の外に所定量を超えるはんだがはみ出していると判別される。
なお、図10には示していないが、他方のランド32とはんだ42についても、同様の
方法ではんだ逸脱領域44を抽出し、その面積に基づいて、ランド32外にはみだしたは
んだの量を判別する。
FIG. 10 shows a specific example of the process executed in this inspection 3. This inspection 3 is also performed using the a information supplied from the bare substrate inspection machine 1A and the e information acquired by the own apparatus, as in the case of the inspection 2. In this inspection 3, by extracting pixels that are included in the e information but not in the a information, an area 44 corresponding to solder outside the land (hereinafter referred to as “solder deviation area 44”) is extracted. To do. Further, the area of the solder departure area 44 is obtained and compared with a predetermined threshold value. Here, when the area exceeds the threshold value, it is determined that the solder exceeding the predetermined amount protrudes outside the land 31.
Although not shown in FIG. 10, for the other land 32 and the solder 42, the solder deviation region 44 is extracted by the same method, and the amount of solder protruding outside the land 32 is determined based on the area. To do.

従来のはんだ印刷検査では、基板設計データに基づいて、ランドを含むように検査用ウ
ィンドウを設定し、このウィンドウ内で検査のための計測処理を実行していた。このため
、実際の基板において、はんだは基板設計データに基づく基準位置にあるが、ランドが基
板設計データに基づく基準位置からずれているために、ランドとはんだとの間に許容範囲
を超えるずれが生じていても、その不具合を検出することはできなかった。また、ランド
の位置ずれと同じ方向にはんだの位置ずれが生じており、その結果、ランドに対してはん
だが適切に搭載されている場合でも、はんだが基板設計データに基づく基準位置からずれ
ている場合には、不良として判定されていた。
これに対し、上記の検査1,2,3によれば、実際のランドの位置や大きさを基準にし
て、ランドに対するはんだの位置ずれ量、ランドに対するはんだの搭載量、およびランド
外へのはんだのはみだし量を計測するので、実際のランドに対する関係を適切に表した計
測値を得ることができる。よって、はんだ付け部位について、適切な検査を行うことが可
能になる。
In the conventional solder printing inspection, an inspection window is set so as to include a land based on the board design data, and measurement processing for the inspection is executed in this window. For this reason, in the actual board, the solder is at the reference position based on the board design data. However, since the land is deviated from the reference position based on the board design data, the deviation between the land and the solder exceeds the allowable range. Even if it occurred, the failure could not be detected. In addition, solder misalignment occurs in the same direction as the land misalignment. As a result, even when the solder is properly mounted on the land, the solder deviates from the reference position based on the board design data. In some cases, it was determined as defective.
On the other hand, according to the above inspections 1, 2, and 3, based on the actual position and size of the land, the amount of misalignment of the solder with respect to the land, the amount of solder mounted on the land, and the solder outside the land Since the amount of protrusion is measured, it is possible to obtain a measurement value that appropriately represents the relationship to the actual land. Therefore, it is possible to perform an appropriate inspection on the soldering site.

なお、検査1は簡単な検査方法であり、検査2や検査3は厳密な検査方法となる。ユー
ザーは、目的に応じて、簡単な方法である検査1を実行するか、厳密な検査方法である検
査2または検査3を実行するかを、選択することができる。また、検査2,3については
、検査2の結果が良であっても、検査3の結果が不良となる可能性もあるので、より厳密
な検査を行う必要がある場合には、検査2および検査3の双方を実行するのが好ましい。
Note that inspection 1 is a simple inspection method, and inspection 2 and inspection 3 are strict inspection methods. The user can select whether to execute the inspection 1 which is a simple method or the inspection 2 or the inspection 3 which is a strict inspection method according to the purpose. For inspections 2 and 3, even if the result of inspection 2 is good, the result of inspection 3 may be defective. It is preferable to perform both tests 3.

(2)部品実装機1Cにおける検査4,5について
部品実装検査機1Cの検査4では、各部品実装位置に部品が実装されているか否かにつ
いて検査する。検査5は、この検査4で実装されていると判別された部品につき行われる
もので、ランド又ははんだに対し、部品が位置ずれ(回転によるずれも含む。)を起こし
ていないか否かを検査する。部品がランドやはんだに対して位置ずれすると、はんだ付け
が適切に行われない可能性が高いためである。
(2) Inspections 4 and 5 in the component mounting machine 1C In the inspection 4 of the component mounting inspection machine 1C, it is inspected whether or not a component is mounted at each component mounting position. The inspection 5 is performed on the components that are determined to be mounted in the inspection 4, and inspects whether or not the components have been displaced from the land or solder (including displacement due to rotation). To do. This is because if the component is displaced with respect to the land or solder, there is a high possibility that the soldering is not properly performed.

検査4では、前記ベア基板検査機1Aで抽出されたd情報、または、はんだ印刷検査機
1Bで抽出されたh情報の供給を受けるとともに、自装置で抽出したi情報およびj情報
のうち、供給された情報に対応するものを使用する。
図11は、検査4で実行する処理を具体的に示す。この例では、はんだ印刷検査機1B
からh情報(はんだ41,42間の画像である。この例では27aとして示す。)の供給
を受けるとともに、これに対応するj情報(この例では27bとして示す。)を使用する
In the inspection 4, the d information extracted by the bare board inspection machine 1A or the h information extracted by the solder printing inspection machine 1B is supplied, and among the i information and j information extracted by the own apparatus, supply Use the one corresponding to the information provided.
FIG. 11 specifically shows the processing executed in the inspection 4. In this example, the solder printing inspection machine 1B
To h information (an image between the solders 41 and 42, shown as 27a in this example), and corresponding j information (shown as 27b in this example) is used.

上記の例において、h情報に相当する画像27aは、はんだ印刷工程における検査対象
画像から切り出したものであるから、この画像には部品は含まれていない。一方、j情報
は、部品実装後の基板の画像につき、h情報と同一の範囲の画像27bを切り出したもの
であるから、j情報に含まれているがh情報には含まれていない特徴部分は、部品に相当
すると考えることができる。
In the above example, the image 27a corresponding to the h information is cut out from the image to be inspected in the solder printing process, and therefore no part is included in this image. On the other hand, since the j information is an image of the image 27b in the same range as the h information with respect to the board image after component mounting, it is included in the j information but is not included in the h information. Can be considered to correspond to parts.

図11の例では、上記の原理に基づき、h,jの各情報が示す画像27a,27bにつ
き差分演算処理を実行し、その差分処理画像51から、j情報には含まれるが、h情報に
は含まれていない特徴52を抽出する。さらにこの後は、抽出された特徴52の面積を算
出し、これを所定のしきい値と比較する。この面積がしきい値を上回る場合には、部品が
実装されていると判別する。
なお、d情報とi情報とを用いてランド31,32間の画像を比較する場合も、上記と
同様の処理を行うことができる。
In the example of FIG. 11, based on the above principle, the difference calculation process is executed for the images 27 a and 27 b indicated by the respective information of h and j, and the j information is included in the h information from the difference processed image 51. Feature 52 not included is extracted. Thereafter, the area of the extracted feature 52 is calculated and compared with a predetermined threshold value. If this area exceeds the threshold value, it is determined that the component is mounted.
Note that the same processing as described above can be performed when images between the lands 31 and 32 are compared using the d information and the i information.

つぎに検査5では、前記ベア基板検査機1Aで抽出されたc情報、または、はんだ印刷
検査機1Bで抽出されたg情報の供給を受けるとともに、部品の各頂点P,Q,R,Sを
抽出し、その抽出結果を供給された情報と比較するようにしている。
Next, in the inspection 5, the c information extracted by the bare board inspection machine 1A or the g information extracted by the solder printing inspection machine 1B is supplied, and each vertex P, Q, R, S of the component is received. Extraction is performed, and the extraction result is compared with the supplied information.

図12は、検査5で実行する処理の具体例を示す。
この例では、はんだ印刷検査機1Bからg情報(はんだの四隅の構成点の座標)の供給
を受け、このg情報に含まれる各点のうち、外側位置にある点A1,C1,B2,D2の
座標を、それぞれその点に最も近い部品の頂点P,Q,R,Sと比較するようにしている
FIG. 12 shows a specific example of processing executed in the inspection 5.
In this example, the g information (coordinates of the constituent points of the four corners of the solder) is supplied from the solder printing inspection machine 1B, and among the points included in the g information, the points A1, C1, B2, D2 located at the outer positions are provided. Are compared with the vertices P, Q, R, and S of the parts closest to that point, respectively.

対応する2つの点を比較する処理では、2点間におけるx座標の差Uxおよびy座標の
差Uyを算出する。図12では、B2−R間の算出処理のみを示しているが、他の対応す
る点A1とP、C1とQ、D2とSについても同様である。算出された各差の値は、それ
ぞれ所定のしきい値と比較される。ここでいずれかの値がしきい値を上回る場合には、部
品50にずれが生じているものと判別する。
なお、c情報を用いてこの検査5を実行する場合も、処理内容は上記と同様である。
In the process of comparing two corresponding points, an x-coordinate difference Ux and a y-coordinate difference Uy between the two points are calculated. In FIG. 12, only the calculation process between B2 and R is shown, but the same applies to other corresponding points A1 and P, C1 and Q, and D2 and S. Each calculated difference value is compared with a predetermined threshold value. Here, if any value exceeds the threshold value, it is determined that the component 50 is displaced.
In addition, also when this test | inspection 5 is performed using c information, the processing content is the same as the above.

従来の部品実装検査では、基板設計データに基づき部品が実装される位置に検査ウィン
ドウを設定し、そのウィンドウ内で部品の画像を抽出していた。このため、実際の基板に
おいて、部品は基板設計データに基づく基準位置に実装されているが、はんだまたはラン
ドが基板設計データに基づく基準位置からずれているために、はんだまたはランドに対し
、部品が許容範囲を超えてずれていても、その不具合を検出することはできなかった。ま
た、はんだまたはランドの位置ずれの方向と同じ方向に部品の位置ずれが生じており、そ
の結果、適切な部品実装が確保できている場合でも、部品が基板設計データに基づく基準
位置からずれている場合には、不良として判定されていた。
In the conventional component mounting inspection, an inspection window is set at a position where a component is mounted based on the board design data, and an image of the component is extracted in the window. For this reason, in the actual board, the component is mounted at the reference position based on the board design data. However, since the solder or the land is deviated from the reference position based on the board design data, the part is not located on the solder or the land. Even if it deviated beyond the allowable range, the failure could not be detected. In addition, there is a component misalignment in the same direction as the solder or land misalignment. As a result, even if appropriate component mounting is ensured, the component deviates from the reference position based on the board design data. If it was, it was determined as defective.

これに対し、上記の検査5では、前工程で抽出された実際のランドやはんだを基準にし
て、部品の位置ずれを判断するので、部品の実装状態を適切に検査することができる。ま
た、検査4でも同様に、前工程で抽出された実際のランド間の画像やはんだ間の画像を基
準にして、部品の有無を判別するので、部品の実装有無検査をより適切に行うことができ
る。
On the other hand, in the inspection 5, since the positional deviation of the component is determined based on the actual land or solder extracted in the previous process, the mounting state of the component can be appropriately inspected. Similarly, in the inspection 4, since the presence / absence of the component is determined based on the image between the actual lands extracted in the previous process and the image between the solder, the component mounting / inspection can be performed more appropriately. it can.

なお、部品実装の検査において、ランドの形成位置を基準にして判別を行うか、はんだ
の印刷位置を基準にして判別を行うかは、ユーザーが適宜選択すればよい。部品実装後の
リフロー工程において、はんだの溶融の際の表面張力により、いわゆるセルフアライメン
ト効果が期待できるため、はんだの印刷範囲に対して部品が適切に実装されていれば、適
切なはんだ付けを期待することができる。このような観点から、部品実装の検査では、は
んだの位置を基準にして判別すればよいとする要望がある。一方、リフロー後の部品の目
標位置はランド位置であるため、部品実装の検査においても、ランドの位置を基準にして
判別を行う方が良い、との要望もある。
上記の検査4や検査5では、このような要望に応えるために、検査に使用する情報とし
て、ベア基板検査機1Aからの情報(d,c)またははんだ印刷検査機1Bからの情報(
h,g)を選択できるようにしたものである。
また、上記の趣旨によれば、検査5では、次工程の検査7よりも、判定基準を緩やかに
することもできる。
In the component mounting inspection, the user may appropriately select whether the determination is made based on the land formation position or the solder printing position. In the reflow process after component mounting, the so-called self-alignment effect can be expected due to the surface tension at the time of melting of the solder, so appropriate soldering is expected if the component is properly mounted within the solder printing range. can do. From such a point of view, there is a demand that the component mounting inspection should be determined based on the solder position. On the other hand, since the target position of the component after reflow is the land position, there is a demand that it is better to make a determination based on the position of the land also in the inspection of component mounting.
In the above inspection 4 and inspection 5, in order to meet such a demand, information (d, c) from the bare substrate inspection machine 1A or information from the solder printing inspection machine 1B (
h, g) can be selected.
In addition, according to the above-described purpose, in the inspection 5, it is possible to make the determination criteria more gradual than the inspection 7 in the next process.

(3)リフロー後検査機1Dにおける検査6,7,8について
リフロー後検査機1Dが実行する検査6,7は、前記部品実装検査機1Cが実行する検
査4,5と同様のものであるので、詳細な説明は省略する。リフロー後の部品検査は、ラ
ンドを基準にして行うのが望ましいことから、検査6、7では、ベア基板検査機1Aから
の情報d,cを使用する。
(3) Inspections 6, 7 and 8 in the post-reflow inspection machine 1D The inspections 6 and 7 executed by the post-reflow inspection machine 1D are the same as the inspections 4 and 5 executed by the component mounting inspection machine 1C. Detailed description will be omitted. Since it is desirable to perform the component inspection after the reflow with reference to the land, the inspections 6 and 7 use the information d and c from the bare board inspection machine 1A.

検査8は、はんだ付け工程で形成されたフィレットの状態を判別するものである。この
検査8でも、ランドに対するフィレットの関係をチェックする必要があることから、ベア
基板検査機1Aからa情報やc情報の供給を受ける。
The inspection 8 is to determine the state of the fillet formed in the soldering process. Also in this inspection 8, since it is necessary to check the relation of the fillet to the land, a information and c information are supplied from the bare substrate inspection machine 1A.

図13は、検査8で実行される処理の具体例を示す。なお、この例では、前記枠22内
の画像のうち、左側のランド31を含む一部領域22Aの画像を拡大して示す。
FIG. 13 shows a specific example of processing executed in the inspection 8. In this example, among the images in the frame 22, an image of a partial region 22A including the left land 31 is enlarged.

検査8では、前記ベア基板検査機1Aから供給されたa情報やc情報に基づき、検査対
象画像において、ランド31を包含する大きさの検査ウィンドウ28を設定する。そして
、このウィンドウ28内の画像につき、R,G,Bの階調毎に2値化を行って、各色領域
45R,45G,45Bを抽出する。さらに、これらの色領域45R,45G,45B毎
に、面積や位置を計測し、その計測値を所定のしきい値と比較するなどして、フィレット
の傾斜状態の適否を判別する。
In the inspection 8, an inspection window 28 having a size including the land 31 is set in the inspection target image based on the a information and the c information supplied from the bare board inspection machine 1A. Then, the image in the window 28 is binarized for each gradation of R, G, and B, and the color regions 45R, 45G, and 45B are extracted. Further, for each of these color regions 45R, 45G, and 45B, the area and position are measured, and the measured values are compared with a predetermined threshold value to determine the suitability of the fillet inclination state.

従来のフィレット検査では、基板設計データに基づいて検査ウィンドウを設定し、この
ウィンドウ内の各画素について2値化処理を実行していた。このため、実際のランドの形
成位置がずれると、その位置ずれしたランド上にフィレットが正しく形成されても、基板
設計データに基づく検査ウィンドウ内の検査では、ウィンドウに対して位置ずれしたフィ
レットを対象に判別処理を行うことになり、フィレットの傾斜状態を正確に判定できない

上記の検査8によれば、実際のランドの位置や大きさを基準にして、フィレット検査用
のウィンドウを設定するので、適切なフィレット検査が可能となる。
In the conventional fillet inspection, an inspection window is set based on the board design data, and binarization processing is executed for each pixel in the window. For this reason, if the actual land formation position is deviated, even if the fillet is correctly formed on the misaligned land, in the inspection in the inspection window based on the board design data, the misaligned fillet is targeted. Therefore, it is impossible to accurately determine the inclination state of the fillet.
According to the inspection 8 described above, the fillet inspection window is set based on the actual position and size of the land, so that an appropriate fillet inspection can be performed.

図14は、はんだ印刷検査機1B、部品実装検査機1C、リフロー後検査機1Dの各検
査機1に共通する検査の手順を示す。この図14および以下の説明では、各処理のステッ
プを「ST」として示す。なお、この図14の手順は、1枚の基板に対して実行されるも
ので、複数枚の基板を処理する場合には、基板毎に図14の手順を繰り返す必要がある。
FIG. 14 shows an inspection procedure common to the respective inspection machines 1 of the solder printing inspection machine 1B, the component mounting inspection machine 1C, and the post-reflow inspection machine 1D. In FIG. 14 and the following description, each processing step is indicated as “ST”. The procedure shown in FIG. 14 is executed for one substrate. When a plurality of substrates are processed, it is necessary to repeat the procedure shown in FIG. 14 for each substrate.

まずST1では、上流のコンベア装置から検査対象の基板を搬入する。つぎのST2で
は、前記XYステージ制御部12を用いてカメラと基板との位置合わせを行った後、撮像
を開始する。この撮像開始時は、まず前記基板上のバーコードラベルを撮像して、その画
像中のバーコードを復号することにより、基板識別コードを認識する(ST3)。
First, in ST1, a substrate to be inspected is carried in from an upstream conveyor device. In the next ST2, the camera and the substrate are aligned using the XY stage control unit 12, and then imaging is started. At the start of imaging, first, the barcode label on the substrate is imaged, and the barcode in the image is decoded to recognize the substrate identification code (ST3).

以下、ST4〜9では、必要に応じてカメラやステージを移動させつつ、各撮像対象領
域を順に撮像し、検査を実行する。最初のST4では、検査情報に基づき、被検査部位に
検査領域を設定する。なお、ここで設定される検査領域は、前記枠22、23を包含する
大きさのもので、画像上の枠22,23を抽出した後に、その抽出位置を基準にして設定
される。したがって、いずれの検査機1でも、同じ位置に同じ大きさの検査領域を設定す
ることができる。また、この検査領域内の各座標は、前記マークM1を基準にした相対座
標に置き換えられるので、検査機1間での整合性を確保することができる。
Hereinafter, in ST4 to ST9, the imaging target regions are sequentially imaged while moving the camera and the stage as necessary, and the inspection is executed. In the first ST4, based on the inspection information, an inspection region is set at the site to be inspected. The inspection area set here has a size including the frames 22 and 23, and is set based on the extraction position after the frames 22 and 23 on the image are extracted. Therefore, any inspection machine 1 can set inspection areas of the same size at the same position. Further, since each coordinate in the inspection area is replaced with a relative coordinate based on the mark M1, consistency between the inspection machines 1 can be ensured.

つぎのST5では、この検査領域で実行される検査ロジックに基づき、前工程の情報が
必要であるかどうかを判別する。ここで前工程の情報が必要であれば、ST6に進み、そ
の情報を保持する検査機1に対し、必要とする情報の種類を指定するメッセージを送信す
る。なお、このメッセージは、前記基板識別コードや検査対象の部品コードを含むものと
なる。これに対し、相手方の検査機1では、前記検査結果蓄積部17から前記メッセージ
に該当する情報を読み出し、検査実行中の検査機1に返送する。
In the next ST5, based on the inspection logic executed in this inspection area, it is determined whether or not information on the previous process is necessary. If information on the previous process is necessary, the process proceeds to ST6, and a message designating the type of necessary information is transmitted to the inspection machine 1 holding the information. This message includes the board identification code and the component code to be inspected. On the other hand, the counterpart inspection machine 1 reads information corresponding to the message from the inspection result storage unit 17 and returns it to the inspection machine 1 that is executing the inspection.

このようにして検査に必要な情報を取得すると、ST7に進み、取得した情報を用いて
検査を実行する。
なお、前工程の情報が必要でない場合には、ST6をスキップしてST7に進み、自装
置が持つ検査情報のみを用いた検査を実行する。前工程の情報を使用しない検査としては
、たとえば、はんだ印刷検査機1Bや部品実装検査機1Cでのブリッジの検査、部品実装
検査機1Cやリフロー後検査機1Dでの部品の実装間違い検査などがある。
When the information necessary for the inspection is acquired in this way, the process proceeds to ST7, and the inspection is executed using the acquired information.
If information on the previous process is not required, the process skips ST6 and proceeds to ST7, and executes an inspection using only the inspection information held by the own apparatus. Examples of inspections that do not use the information of the previous process include inspection of bridges by solder printing inspection machine 1B and component mounting inspection machine 1C, and component mounting error inspection by component mounting inspection machine 1C and post-reflow inspection machine 1D. is there.

検査が終了すると、ST8に進み、前記検査結果、検査に使用した測定データ、および
前記d、h〜kの各情報に相当する画像などを部品コードに対応づけたファイルを作成し
、これを検査結果蓄積部17に保存する。
When the inspection is completed, the process proceeds to ST8, and a file in which the inspection result, the measurement data used for the inspection, images corresponding to the respective information of d, h to k, etc. are associated with the component code is created and inspected. The result is stored in the result storage unit 17.

以下、被検査部位毎に上記と同様の処理を繰り返す。すべての被検査部位について検査
を終了すると、ST10に進み、各被検査部位の検査結果に基づき、基板全体としての良
否を判定する。ST11では、この判定結果をモニタ14に表示したり、ネットワーク回
線2を介して前記情報分析装置7に送信するなどの処理を行う。しかる後に、ST12に
進んで、基板を下流側に搬出し、処理を終了する。
Thereafter, the same processing as described above is repeated for each part to be examined. When the inspection has been completed for all the parts to be inspected, the process proceeds to ST10, and the quality of the entire substrate is determined based on the inspection result of each part to be inspected. In ST11, the determination result is displayed on the monitor 14 or transmitted to the information analysis device 7 via the network line 2. Thereafter, the process proceeds to ST12, the substrate is carried out to the downstream side, and the processing is ended.

なお、先頭のベア基板検査装置1Aでも、前記ST5,6の処理が実行されないだけで
あり、その他は図14と同様の流れにより検査が実行される。
Note that the processing at ST5 and ST6 is not executed even in the first bare substrate inspection apparatus 1A, and the inspection is executed according to the same flow as in FIG.

また、図14の手順では、前工程の検査機からの情報が必要になる都度、前記前工程の
検査機に情報の送信を求めるメッセージを送信して、必要な情報を取得するので、検査領
域毎に情報の入手先が異なる場合に適している。これに対し、特定の1台の検査機1のみ
から情報を入手するような場合には、検査に先立ち、必要とする全ての情報の送信を受け
、作業用メモリ15に保存するようにしてもよい。
Further, in the procedure of FIG. 14, each time information from the inspection machine in the previous process is required, a message requesting transmission of information is transmitted to the inspection machine in the previous process, and necessary information is acquired. This is suitable when the information source is different. On the other hand, when information is obtained only from one specific inspection machine 1, all necessary information is transmitted and stored in the work memory 15 prior to inspection. Good.

この発明が適用された基板製造ラインの一例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows an example of the board | substrate manufacturing line to which this invention was applied. ベア基板の画像の例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the example of the image of a bare board | substrate. 検査機のブロック図である。It is a block diagram of an inspection machine. 各検査機が取得する情報を示すテーブル、および実行される検査の内容と利用する情報とを対応づけて示すテーブルである。It is the table which shows the information which each inspection machine acquires, and the table which shows the contents of the inspection performed, and the information used in correspondence. ベア基板検査機で抽出する情報の例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the example of the information extracted with a bare board | substrate inspection machine. はんだ印刷検査機で抽出する情報の例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the example of the information extracted with a solder printing inspection machine. 部品実装検査機で抽出する情報の例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the example of the information extracted with a component mounting inspection machine. 検査1の具体例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the specific example of the test | inspection 1. FIG. 検査2の具体例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the specific example of the test | inspection 2. FIG. 検査3の具体例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the specific example of the test | inspection 3. FIG. 検査4の具体例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the specific example of the test | inspection 4. FIG. 検査5の具体例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the specific example of the test | inspection 5. FIG. 検査8の具体例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the specific example of the test | inspection 8. FIG. 検査の手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the procedure of a test | inspection.

符号の説明Explanation of symbols

1 検査機
2 ネットワーク回線
3 はんだ印刷機
4 高速マウンタ
5 異形マウンタ
6 リフロー炉
10 制御部
11 画像入力部
17 検査結果蓄積部
18 通信インターフェース
31,32 ランド
41,42 はんだ
50 部品
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inspection machine 2 Network line 3 Solder printer 4 High-speed mounter 5 Deformed mounter 6 Reflow furnace 10 Control part 11 Image input part 17 Inspection result storage part 18 Communication interface 31, 32 Land 41, 42 Solder 50 Parts

Claims (16)

部品実装基板の製造のために実行される複数の工程のうち、最終工程を含む2以上の工
程にそれぞれ検査機を配備して、各検査機毎に、その検査機が配備された工程が実行され
た後の基板の画像を用いて当該基板の検査を実行するようにした方法であって、
他の検査機が配備された工程より後の工程に配備された検査機において、検査対象の基
板を前工程の検査機で検査したときに生成された情報を入力し、その入力情報を用いて検
査を実行する部品実装基板用の検査方法。
Among a plurality of processes executed for manufacturing a component mounting board, an inspection machine is deployed in each of two or more processes including the final process, and the process in which the inspection machine is deployed is executed for each inspection machine. A method of performing an inspection of the substrate using an image of the substrate after being performed,
In the inspection machine deployed in the process after the process where other inspection machines are deployed, input the information generated when inspecting the board to be inspected with the inspection machine in the previous process, and use the input information Inspection method for component mounting board that performs inspection.
請求項1に記載された方法において、
各検査機は、相互に通信可能に配備されており、
最終工程より前の工程に配備された各検査機では、検査時に生成された情報を基板毎に
前記検査機のメモリに保存し、後工程の検査機からその検査機が検査対象とする基板に関
する情報の送信を要求されたとき、その要求に応じた情報を前記メモリから読み出して前
記後工程の検査機に送信し、前記情報の送信を要求した後工程の検査機では、前記要求に
応じて送信された情報を入力して検査を実行する部品実装基板用の検査方法。
The method of claim 1, wherein
Each inspection machine is deployed to communicate with each other,
In each inspection machine deployed in the process prior to the final process, the information generated at the time of inspection is stored in the memory of the inspection machine for each substrate, and the inspection machine related to the substrate to be inspected from the inspection machine in the subsequent process When the transmission of information is requested, the information according to the request is read from the memory and transmitted to the post-process inspection machine, and the post-process inspection machine that requests the transmission of the information responds to the request. An inspection method for a component mounting board, in which the transmitted information is input to perform inspection.
請求項1または2に記載された方法において、
前記複数の工程には、プリント配線板の製造工程が含められており、この工程に配備さ
れた検査機は、検査時にランドの位置情報またはランドの形成範囲を示す情報を抽出し、
その抽出された情報を後工程の検査機が入力するようにした部品実装基板用の検査方法。
The method according to claim 1 or 2, wherein
The plurality of processes include a printed wiring board manufacturing process, and the inspection machine deployed in this process extracts land position information or information indicating a land formation range at the time of inspection,
A component mounting board inspection method in which the extracted information is input by a post-process inspection machine.
請求項3に記載された方法において、
前記プリント配線板の製造工程の検査機で抽出された情報を、はんだ印刷工程の検査機
が入力し、前記はんだ印刷工程の検査機において、検査対象の基板の画像からはんだの位
置情報またははんだの印刷範囲を示す情報を抽出し、その抽出情報の適否を前記プリント
配線板の製造工程の検査機で抽出された情報を基準にして判別するようにした部品実装基
板用の検査方法。
The method of claim 3, wherein
The information extracted by the inspection machine in the manufacturing process of the printed wiring board is input by the inspection machine in the solder printing process. In the inspection machine in the solder printing process, the solder position information or the solder An inspection method for a component mounting board, in which information indicating a printing range is extracted, and whether or not the extracted information is appropriate is determined based on information extracted by an inspection machine in the printed wiring board manufacturing process.
請求項3に記載された方法において、
前記プリント配線板の製造工程の検査機で抽出された情報を、部品実装工程またははん
だ付け工程の検査機が入力し、前記部品実装工程またははんだ付け工程の検査機において
、検査対象の基板の画像から部品の位置または部品が実装される範囲を示す情報を抽出し
、その抽出情報の適否を前記プリント配線板の製造工程の検査機で抽出された情報を基準
にして判別するようにした部品実装基板用の検査方法。
The method of claim 3, wherein
Information extracted by an inspection machine in the manufacturing process of the printed wiring board is input by an inspection machine in a component mounting process or a soldering process, and an image of a board to be inspected in the inspection machine in the component mounting process or the soldering process. Component information extracted from the information indicating the position of the component or the range in which the component is mounted, and the suitability of the extracted information is determined based on the information extracted by the inspection machine of the printed wiring board manufacturing process Inspection method for substrates.
請求項3に記載された方法において、
前記プリント配線板の製造工程の検査機で抽出された情報を、はんだ付け工程の検査機
が入力し、前記はんだ付け工程の検査機において、検査対象の基板の画像に対し、前記入
力情報を基準に検査領域を設定し、その検査領域内の画像を用いてはんだ付け部位の適否
を判別するようにした部品実装基板用の検査方法。
The method of claim 3, wherein
Information extracted by an inspection machine in the manufacturing process of the printed wiring board is input by an inspection machine in the soldering process, and the input information is used as a reference for the image of the board to be inspected in the inspection machine in the soldering process. An inspection method for a component mounting board, in which an inspection area is set in the inspection area and an image in the inspection area is used to determine the suitability of the soldering part.
請求項1または2に記載された方法において、
前記複数の工程には、プリント配線板の製造工程が含められており、この工程に配備さ
れた検査機が検査に使用した画像を、後工程の検査機が入力するようにした部品実装基板
用の検査方法。
The method according to claim 1 or 2, wherein
The plurality of processes include a printed wiring board manufacturing process, and an image used for inspection by an inspection machine deployed in this process is input to a component mounting board by a subsequent process inspection machine. Inspection method.
請求項7に記載された方法において、
前記プリント配線板の製造工程に配備された検査機で使用された画像を、部品実装工程
またははんだ付け工程の検査機が入力し、前記部品実装工程またははんだ付け工程の検査
機において、検査対象の基板の画像と前記入力した画像とを比較して部品実装状態の適否
を判別するようにした部品実装基板用の検査方法。
The method of claim 7, wherein
An image used in an inspection machine deployed in the printed wiring board manufacturing process is input by an inspection machine in a component mounting process or a soldering process, and in the inspection machine in the component mounting process or the soldering process, An inspection method for a component mounting board, in which an image of the board is compared with the input image to determine whether the component mounting state is appropriate.
請求項1または2に記載された方法において、
前記複数の工程には、はんだ印刷工程が含められており、この工程に配備された検査機
は、検査時にはんだの位置情報またははんだの印刷範囲を表す情報を抽出し、その抽出さ
れた情報を後工程の検査機が入力するようにした部品実装基板用の検査方法。
The method according to claim 1 or 2, wherein
The plurality of processes include a solder printing process, and an inspection machine deployed in this process extracts the solder position information or the information indicating the solder printing range at the time of the inspection, and the extracted information is displayed. An inspection method for a component mounting board that is input by an inspection machine in a subsequent process.
請求項9に記載された方法において、
前記はんだ印刷工程の検査機で抽出された情報を、部品実装工程の検査機が入力し、前
記部品実装工程の検査機において、検査対象の基板の画像から部品の位置または部品が実
装される範囲を示す情報を抽出し、その抽出情報の適否を前記入力情報を基準にして判別
するようにした部品実装基板用の検査方法。
The method according to claim 9, wherein
The information extracted by the inspection device in the solder printing process is input by the inspection device in the component mounting process, and the position of the component or the range in which the component is mounted from the image of the inspection target board in the inspection device in the component mounting process An inspection method for a component mounting board, in which information indicating the above is extracted and the suitability of the extracted information is determined based on the input information.
請求項1または2に記載された方法において、
前記複数の工程には、はんだ印刷工程が含められており、この工程に配備された検査機
が検査に使用した画像を、後工程の検査機が入力するようにした部品実装基板用の検査方
法。
The method according to claim 1 or 2, wherein
The plurality of processes include a solder printing process, and an inspection method for a component mounting board in which an image used in an inspection by an inspection machine provided in this process is input by a subsequent inspection machine .
請求項11に記載された方法において、
前記はんだ印刷工程の検査機で使用された画像を、部品実装工程の検査機が入力し、前
記部品実装工程の検査機において、検査対象の基板の画像と前記入力した画像とを比較し
て部品実装状態の適否を判別するようにした部品実装基板用の検査方法。
The method of claim 11, wherein
The image used in the solder printing process inspection machine is input by the component mounting process inspection machine, and the component mounting process inspection machine compares the image of the board to be inspected with the input image. An inspection method for a component mounting board that determines whether or not a mounting state is appropriate.
部品実装基板の製造のために実行される複数の工程のうちの少なくとも最終工程に検査
機を配備し、各検査機において、その検査機が配備された工程が実行された後の基板の画
像を用いて当該基板の検査を実行するようにした方法であって、
前記検査機が配備された工程よりも前の工程において、その工程実行後の基板を撮像す
るステップと、前記撮像により得られた画像から当該前の工程で基板に付された構成を抽
出するステップとを実行し、その抽出結果を前記検査機が入力して検査に使用するように
した部品実装基板用の検査方法。
An inspection machine is deployed in at least the final process among a plurality of processes executed for manufacturing a component mounting board. In each inspection machine, an image of the board after the process in which the inspection machine is deployed is executed. A method of performing an inspection of the board using the method,
In a step prior to the step in which the inspection machine is deployed, a step of imaging the substrate after the execution of the step, and a step of extracting the configuration attached to the substrate in the previous step from the image obtained by the imaging The inspection method for a component mounting board in which the extraction result is input to the inspection machine and used for the inspection.
部品実装基板の製造のために実行される複数の工程のうちの少なくとも最終工程に検査
機を配備し、各検査機において、その検査機が配備された工程が実行された後の基板の画
像を用いて当該基板の検査を実行するようにした方法であって、
前記検査機が配備された工程よりも前の工程において、その工程実行後の基板を撮像す
るステップと、前記撮像により得られた画像を保存するステップとを実行し、前記保存さ
れた画像を前記検査機が入力して検査に使用するようにした部品実装基板用の検査方法。
An inspection machine is deployed in at least the final process among a plurality of processes executed for manufacturing a component mounting board. In each inspection machine, an image of the board after the process in which the inspection machine is deployed is executed. A method of performing an inspection of the board using the method,
In a step prior to the step in which the inspection machine is deployed, the step of imaging the substrate after the execution of the step and the step of storing the image obtained by the imaging are performed, and the stored image is An inspection method for component mounting boards that is input by an inspection machine and used for inspection.
部品実装基板の製造のために実行される複数の工程のうち、最終工程を含む2以上の工
程にそれぞれ検査機を配備して、各検査機毎に、その検査機が配備された工程が実行され
た後の基板の画像を用いて当該基板の検査を実行するとともに、各検査機を相互に通信可
能な状態に設置して成るシステムであって、
最終工程より前の工程に配備された検査機は、検査時に生成された情報を基板毎にメモ
リに保存する情報蓄積手段と、後工程の検査機からその検査機が検査対象とする基板に関
する情報の送信を要求されたとき、その要求に対応する情報を前記メモリから読み出して
前記後工程の検査機に送信する情報送信手段とを具備し、
他の検査機が配備された工程より後の工程に配備された検査機は、前工程の検査機に自
装置の現在の検査対象の基板に関する情報の送信を要求する送信要求手段と、前記要求に
応じて前工程の検査機から送信された情報を用いて検査を実行する処理手段とを具備して
成る部品実装基板用の検査システム。
Among a plurality of processes executed for manufacturing a component mounting board, an inspection machine is deployed in each of two or more processes including the final process, and the process in which the inspection machine is deployed is executed for each inspection machine. A system in which the inspection of the substrate is performed using the image of the substrate after being performed, and the inspection machines are installed in a state where they can communicate with each other,
The inspection machine deployed in the process prior to the final process has information storage means for storing information generated at the time of inspection in a memory for each substrate, and information on the substrate to be inspected by the inspection machine from the inspection machine in the subsequent process Information transmission means for reading out information corresponding to the request from the memory and transmitting the information to the inspection device in the subsequent process when requested to transmit
An inspection machine deployed in a process subsequent to a process in which another inspection machine is deployed includes a transmission request means for requesting transmission of information related to a substrate to be inspected by the previous apparatus to the previous process, and the request And a processing means for executing an inspection using information transmitted from an inspection machine in the previous process according to the above.
複数の工程を順に実行して部品実装基板を製造するとともに、最終工程を含む2以上の
工程にそれぞれ検査機を配備して、各検査機毎に、その検査機が配備された工程が実行さ
れた後の基板の画像を用いて当該基板の検査を実行するようにした部品実装基板の製造方
法において、
各検査機は相互に通信可能な状態に設置されており、
最終工程よりも前の工程に配備された各検査機では、検査時に生成された情報を基板毎
にメモリに保存し、後工程の検査機からその検査機が検査対象とする基板に関する情報の
送信を要求されたとき、その要求に応じた情報を前記メモリから読み出して前記後工程の
検査機に送信し、
前記情報の送信を要求した後工程の検査機では、前工程の検査機から前記要求に応じた
情報が送信されたとき、その送信情報を用いて検査を実行するようにした部品実装基板の
製造方法。
A plurality of processes are executed in order to manufacture a component mounting board, and an inspection machine is deployed in each of two or more processes including the final process, and the process in which the inspection machine is deployed is performed for each inspection machine. In the method of manufacturing a component mounting board that performs the inspection of the board using the image of the board after
Each inspection machine is installed so that it can communicate with each other.
In each inspection machine deployed in the process before the final process, the information generated at the time of inspection is stored in the memory for each substrate, and the information on the substrate that is inspected by the inspection machine is transmitted from the inspection machine in the subsequent process. When requested, information corresponding to the request is read from the memory and transmitted to the inspection machine in the subsequent process,
In the post-process inspection machine that requested the transmission of the information, when the information corresponding to the request is transmitted from the pre-process inspection machine, the component mounting board is manufactured using the transmission information. Method.
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