JP2006211589A - 圧電薄膜デバイス及びその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】圧電薄膜共振子は圧電体層の結晶性により共振子の特性が大きく左右される。良好な圧電体層を形成するためには、下部電極層が圧電層の下地層となるため、良好な電極層(特に下部電極層)が必要となる。そのため結晶性の優れた電極層及びその製造方法が必要である。
【解決手段】圧電薄膜デバイスにおいて、下部電極層形成後に電極層の形成時の温度より高い温度で一定時間加熱された電極層で形成されていることを特徴とする圧電薄膜デバイス及びその製造方法。
【選択図】図2

Description

本発明は、圧電薄膜デバイス及びその製造方法に関するものであり、特に多層の音響反射層を用いた音響多層膜型の圧電薄膜デバイス及びその製造方法に関する。
コンピュータや通信機器などの電子機器は、電子部品の一つである振動子より得られる規則的な信号(高周波信号)に基づいて様々な処理が行われている。また、これらの電子機器においては、振動子の特定の振動モードを利用した周波数フィルタも用いられている。このように電子機器に利用されている振動子(振動素子として圧電材料を使用している場合は圧電振動子という)には、水晶などの圧電材料を平板状に加工して得られる圧電素板が用いられており、水晶を圧電材料として用いた水晶振動子では、その基本共振周波数を高くするためには、水晶による圧電素板の厚みを薄くすればよい。例えば、水晶において厚みすべり振動モードを励振するATカット水晶素板の場合では、その素板の厚みを25μm程度とすることで、約67MHzの基本波共振周波数が得られる。
しかしながら、これ以上のより高い基本共振周波数(例えば数百MHz以上)を得るためには、更に圧電素板の板厚をより薄くすることになるが、板厚が薄いほど機械加工が困難となり、また、実用的な機械強度が得られない。このような高周波に対応するデバイスとしては弾性表面波を利用したSAWデバイス(Surface Acoustic Wave Device)が用いられているが、これと比較すると、より高周波化(超高周波化)に対応可能である圧電薄膜デバイスが注目されており、そのうち、基板の上に誘電体層を含む多層の音響反射層を介して圧電体層を設けた、音響多層膜(SMR(Solidly Mounted Resonator))型の圧電薄膜デバイスが開発されている(非特許文献1)。
近年、通信システムの超高周波帯への移行が進められているなかで、圧電薄膜デバイスのうち例えば圧電薄膜振動子は、超高周波帯で安定に動作させることが可能な超高周波用弾性波素子として注目されている。SMR型の圧電薄膜振動子は、基板の上に音響インピーダンスの異なる2種類の薄膜(λ/4)を交互に積層した音響多層膜の上に、λ/2の厚さの圧電薄膜を形成したものである。
この構成によれば、圧電薄膜は、多層の音響反射層により基板から音響的に切り離され、Q値の高い共振を得ることが可能になる。また、圧電薄膜の下面全域が音響反射層により固定されているので、安定した動作が可能となる。また、音響多層膜型の圧電薄膜振動子に、SiO2の薄膜を付加して温度特性を改善する技術が提案されている(非特許文献2)。また、新たな膜を付加することなく、温度特性を改善する技術も提案されている。
K.M.Lakin,et al. Development of Miniature Filters for Wireless Applicationst, IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques, Vol.43, No.12, p2933, December 1995. K.M.Lakin,et al. Temperature Compensated Bulk Acoustic Thin Film Resonator, IEEE Ultrasonics Symposium paper 3H-2, October 24,2000.
このような音響多層膜型の圧電薄膜デバイスの構造は、従来のダイアフラム型に対して、大気開放のための空隙構造を作成するために立体的な加工が必要ない。また、圧電体層、導電層、誘電体層といった薄膜を単独で形成する必要が無く、外的ストレス及び膜内部応力といったデバイスを破壊する外力及び内力に対して強靭な構造を持っている。このように音響多層膜型の圧電薄膜デバイスは、無線通信用のデバイスとして優れた特性を有している。
このように音響多層膜型およびダイアフラム型の圧電薄膜デバイスは非常にすぐれた特性を有しているが、圧電体層を薄膜形態で形成するために、その電気特性は圧電体層及び誘電体層を含む音響多層膜の製造条件により大きく異なる。
通常圧電体層を構成する薄膜の材料として、酸化亜鉛、窒化アルミニウム、PZT、五酸化タンタル等の圧電材料が用いられる。このような圧電材料を薄膜形態に作製する方法としては、MOCVD、スパッタ、蒸着、ゾルーゲル法等が広く行われている。何れの方法を用いた場合でも、作成された圧電体層の性能はその作製条件に大きく左右されることは周知の事実である。
また圧電体層はその電気特性を引き出すために結晶化もしくは配向化する必要がある。この場合圧電体層の下地層の状態により、圧電体層の結晶性が大きく影響される。例えば圧電薄膜振動子では、圧電体層に電圧を印加するために、圧電体層を金属導体で挟みこむ構造となっている。即ち下部電極層が圧電体層を形成する際の下地層となる。
下地層(下部電極層)の状態と圧電体層の状態の関係については、特開2001−274650号公報又は特開2001−313535号公報に記載開示されているが、一般的に下地層の結晶性を向上させると圧電体層の結晶も向上すると言われている。本発明は、圧電薄膜振動子を含む圧電薄膜デバイスにおいて、下地層である下部電極層の新たな作製方法用いて、良好な結晶性を持つ下部電極層を形成することにより、圧電特性の良い圧電薄膜デバイスを形成することを目的とする。
上記課題を解決するために本発明おける一手段は、基板と、この基板上に形成された少なくとも一層以上の圧電体層と、この圧電体層には電極層を有し、基板と圧電体層との間に少なくとも誘電体層が形成された圧電薄膜デバイスにおいて、
該電極層形成後に該電極層の形成時の温度より高い温度で一定時間加熱された該電極層で形成されていることを特徴とする圧電薄膜デバイスである。
又、前記電極層がAu層とTi層より形成されており、このTi層が誘電体層上に形成され、Ti層の上にAu層が形成されていることを特徴とする前段落に記載の圧電薄膜デバイスでもある。
更に、前記電極層の形成温度が100℃以下であり、且つ電極層の形成後の加熱温度が300℃以上であることを特徴とする前段落及び前々段落に記載の圧電薄膜デバイスでもある。
更に又、前記誘電体層が酸化珪素であることを特徴とする上記各段落に記載の圧電薄膜デバイスでもある。
又、前記圧電体層が酸化亜鉛、窒化アルミニウムであることを特徴とする上記各段落に記載の圧電薄膜デバイスでもある。
更に、前記基板と圧電体層の間に、誘電体層を含む多層の音響反射層が形成されていることを特徴とする上記各段落に記載の圧電薄膜デバイスでもある。
更に又、前記音響反射層が、酸化珪素、酸化亜鉛、窒化アルミニウム又は酸化アルミニウムから成る層が組み合わされ積層したものであることを特徴とする前段落に記載の圧電薄膜デバイスでもある。
上記課題を解決するための本発明における他の手段は、基板と、この基板上に形成された少なくとも一層以上の圧電体層と、この圧電体層には電極層を有し、基板と圧電体層との間に少なくとも誘電体層が形成する圧電薄膜デバイスの製造方法において、
前記電極層を形成した後で、電極層を形成したデバイスを、電極層の形成時の温度より高い温度で一定時間加熱することを特徴とする圧電薄膜デバイスの製造方法である。
又、前記電極層がAu層とTi層より成り、Ti層を誘電体層上に形成し、Ti層の上にAu層を形成することを特徴とする前段落に記載の圧電薄膜デバイスの製造方法でもある。
更に、前記電極層の形成温度が100℃以下であり、且つ電極層を形成後に加熱する温度が300℃以上であることを特徴とする前段落及び前々段落に記載の圧電薄膜デバイスの製造方法でもある。
更に又、前記誘電体層が酸化珪素であることを特徴とする上記各段落に記載の圧電薄膜デバイスの製造方法でもある。
又、前記圧電体層が酸化亜鉛、窒化アルミニウムであることを特徴とする上記各段落に記載の圧電薄膜デバイスの製造方法でもある。
更に、前記基板と圧電層の間に、誘電体層を含む多層の音響反射層を形成する上記各段落に記載の圧電薄膜デバイスの製造方法でもある。
更に又、前記音響反射層を、酸化珪素、酸化亜鉛、窒化アルミニウム或いは酸化アルミニウムの層が組み合わせて積層したことを特徴とする前段落に記載の圧電薄膜デバイスの製造方法でもある。
以上、本発明に係る圧電薄膜デバイス及びその製造方法によれば、所望のパターンに形成した金属により形成する電極層を、電極層形成後に、電極層形成時の温度より高い温度を加熱することで、電極層の結晶性が向上する。このことにより電極層の上に形成する圧電体層の結晶性も同じく向上するので、高性能な共振特性を有する圧電薄膜デバイスを提供することが可能となる効果を奏する。
以下、添付した各図面に従って本発明の実施形態を説明する。なお、各図において説明を明りょうにするため図面の一部を図示していない。又、図面内の各寸法も一部誇張して図示しており、各図において同一の符号は同様の対象を示すものとする。
図1に本発明の圧電薄膜デバイスの一つである圧電薄膜振動子1の模式図を示す。この図1を使用して順を追って本発明の実施の形態を、実施例を基に説明する。
最初に圧電薄膜振動子1を形成するための基板2を準備する。本実施例においては、Si(111)基板を使用する。また、このSiの基板2は高抵抗基板を用い、その比抵抗は1000Ω/cm以上の抵抗値を持つ基板である。尚、その他の基板の条件は、通常の半導体用Si基板と同一とする。しかし、基板の材料としてはSiに限定されるものでは無く、他に水晶基板、ガラス基板等の材料を用いることができる。またSi基板上に熱酸化Siが形成された基板を用いてもよい。好ましくは、絶縁材料が望まれるが、適切な絶縁処理を施すことにより、低抵抗Si等の導電性のある基板も使用可能である。
この基板2を通常の半導体プロセスで用いるような洗浄工程を施す。その後、音響反射層群3を構成する各音響反射層3a及び3bを形成する。この音響反射層3a及び3bは、材料の密度と硬さにより決定される音響インピーダンスの異なる材料で構成されている。図2に音響反射層群3を開示した模式図を示す。図2のように、音響インピーダンスが異なる音響反射層3a及び3bを交互に規則正しく形成することで、音響波の反射と透過の条件を満たすことにより、後述する圧電層4で発生した音響エネルギーが、基板2へ漏洩することなく、音響反射層群3と圧電層4最上面の間に、エネルギーが閉じ込められ、高性能な圧電薄膜デバイスを作製することができる。
本発明において、音響反射層群3の構造は図2の通り、音響反射層として高音響インピーダンス層3bと低音響インピーダンス層3aの2層を用いた。構成は、基板2側から低音響インピーダンス層3aを形成し、その上に高音響インピーダンス層3bを形成する。この組み合わせを3〜4セット形成し、最後に低音響インピーダンス層3aを形成し、音響反射層群3を完成させた。
本実施例においては、高音響インピーダンス層3bの少なくとも一層に酸化亜鉛を使用し、低音響インピーダンス層3aとして誘電体である酸化珪素を使用した。酸化亜鉛は、酸化珪素の約2.5倍の音響インピーダンスを持っているため、この2種類の材料は、音響反射層を形成する物質として使用可能である。また、酸化亜鉛は、水晶等の圧電材料と比較すると大きな電気機械結合係数を持つ優れた圧電材料である。この酸化亜鉛を圧電層と高音響インピーダンス層3bに使用できれば、製造設備の削減及び管理コストの低減が可能となる。
この音響反射層は、圧電体層で発生した音響エネルギーが基板へ漏れ出ることを防止するために作製している。そのため、基板の中で圧電薄膜により発生した音響エネルギーが漏れ出る部分をドライエッチング法やウエットエッチング法により削除すれば、音響反射層を形成する必要は無い。
さて、この音響反射層群3の上に、圧電層4に電圧を印加するための金属よりなる下部電極層5を形成する。本発明においては、Au層5bとTi層5aを積層して形成した下部電極層5を用いた。尚、下部電極層5の形成方法はリフトオフ方式を用い、電極層金属の成膜方法はエレクトロンビームを用いた蒸着法を用いた。本実施例では、以上の方法で下部導電層5を作成したが、エッチング法及びスパッタを始めとする既知の方法を使用しても構わない。
この下部電極層5を覆うように圧電体層4を形成する。本実施例では、音響反射層を構成する高音響インピーダンス層3bの少なくとも一層と同一の材料である酸化亜鉛を圧電体層4として使用した。圧電体層4を作成に用いる製法は、音響反射層3a又は3bを作成する方法と同様とした。
この圧電体層4の上に、先に作成した下部導電層5と対になる上部導電層6を作成する。本実施例では、下部導電層5と同様の製法で作成した。また上部導電層6の作成方法も、下部導電層5と同様に、既知の作成方法の使用を制限するものでは無い。また必要に応じて、下部導電層5をデバイス外部の端子に接続する必要がある場合や、下部電極層5と上部電極層6を電気的に接続する必要がある場合には、上部電極層6を形成する前に、圧電層4の一部を取り除くことがある。
また、酸化亜鉛は、負の周波数温度係数を持っているため周波数の温度特性が0ではない。それに対して二酸化珪素は酸化亜鉛とは逆に正の周波数温度係数を有している。そのため、酸化亜鉛と酸化珪素とを組み合わせることで、所望の周波数温度係数を持つ圧電薄膜デバイスを作成することが可能である。本実施例では、上部電極層6の上側、もしくは上部電極層6と圧電体層4の間等に酸化珪素の層を追加して形成する事により、周波数温度係数を調整している。
図3に、従来の方法で作成した音響多層膜型の圧電薄膜振動子の電気特性を示す。図3に示すとおり、所望の周波数に共振特性を僅かに得ているものの、その性能は十分ではなく、振動子としての実用に耐え得るものではない。
この特性劣化の要因を解決した発明実施結果としては、下部電極層5をAu層5bとTi層5aで作成した圧電薄膜振動子の共振特性から判断すると、下部電極を作成した後、熱的な処理は何も施さずに、下部電極層5の上に圧電体層4を形成した場合の圧電薄膜振動子の共振特性より、下部電極を同じくAu層とTi層で形成し、その後400℃で2時間加熱した後、圧電体層4を形成した圧電薄膜振動子の共振特性の方が優れた共振特性を示めす。
従来、圧電薄膜デバイスに使用される電極層としてAu層及びTi層の膜は多くの実施例がある。しかし、Au層及びTi層よりなる下部電極層5を形成した後の熱処理による結晶性を開示したものは無い。またAu層及びTi層より成る電極層を形成した後に熱処理を施した場合の圧電薄膜デバイスの共振特性を論じたものも無い。
本実施例では、Au層及びTi層よりなる下部電極層5の形成後に施す熱処理が与える下部電極層5の結晶性の影響について検討を重ねた。その結果、下部電極層下の層の材質に寄らず、形成後の熱処理は下部電極層5の結晶性に変化をもたらすことが判明した。
図4にAu層5b及びTi層5aよりなる下部電極層5の形成後に熱処理した場合のその前後に評価したX線回折を示す。図4(a)及び(b)は、それぞれSi基板上に音響多層膜が形成し、その上にTi層を50nm、Au層を300nm形成した後、図4(a)は下部電極層5形成直後に、また図4(b)は下部電極層5を形成後400℃で加熱処理をした後に、Au層の(111)面のロッキングカーブの測定結果である。熱処理前後でロッキングカーブの半値幅が4.8°から2.9°へと改善された。この結果から電極層形成後の加熱処理は、電極の結晶性に対して大きな改善効果があることが判明した。
更に、詳細な検討を行った結果、加熱する温度は約200℃で電極層の結晶性改善効果が表れ始めるが、特性が良好な結晶性改善には300℃以上の加熱温度が望ましい。また加熱時間については、基板が設定する加熱温度に到達してから30分以上加熱すれば結晶性改善効果が得られることが判明した。またデバイスを加熱する場合の加熱容器内環境については、本実施例においては1×10−2Pa以下の真空中で行ったが、加熱容器内に不活性ガスを置換しても良く、雰囲気は窒素ガス、水素ガス等に変更しても同様の効果が得られる。
尚、実施例においては音響多層膜構造の共振子を用いたが、ダイアフラム型の共振子においても同様の効果が得られる。また電極層に用いる金属はAu以外にも同様の効果が得られるが、結晶構造が立方晶でありその優先配向面が(111)面である金属であると優位的にその効果を得ることができる。また電極層金属の作製方法については、本実施例では真空蒸着法を用いているがスパッタ方式等他の作製方法を用いても問題ない。
電極層の形成温度についての検討の結果より、100℃より高い温度環境下で電極層を形成すると、形成後の加熱処理効果が低減するので、電極層の形成時の温度は100℃以下が望ましい。更に本実施例では、圧電体層に酸化亜鉛を使用し、音響多層膜には酸化亜鉛と誘電体の酸化珪素を用いたが、本発明の効果は材料の組み合わせを特定するものではない。
図1は、本発明における圧電薄膜デバイス(SMR型の圧電薄膜振動子)の一実施形態の構成例を概略的に示す模式的な斜視図である。 図2は、本発明における圧電薄膜デバイス(SMR型の圧電薄膜振動子)の一実施形態の構成例を概略的に示す模式的な部分断面図である。 図3は、従来の方法で作成した音響多層膜型の圧電薄膜振動子の電気特性を示す。 図4において、図4(a)はSi基板上に音響多層膜が形成し、その上にTi層及びAu層より形成した下部電極層5形成直後のAu層の(111)面のロッキングカーブはあり、また図4(b)は、Si基板上に音響多層膜が形成し、その上にTi層及びAu層より形成した下部電極層5を形成後400℃で加熱処理をした後のAu層の(111)面のロッキングカーブである。
符号の説明
1・・・圧電薄膜デバイス(圧電薄膜振動子)
2・・・基板
3・・・音響反射膜群
3a・・・音響反射層(低音響インピーダンス層(誘電体層))
3b・・・音響反射層(高音響インピーダンス層)
4・・・圧電層
5・・・下部電極層
5a・・・Ti層
5b・・・Au層

Claims (14)

  1. 基板と、該基板上に形成された少なくとも一層以上の圧電体層と、該圧電体層には電極層を有し、該基板と該圧電体層との間に少なくとも誘電体層が形成された圧電薄膜デバイスにおいて、
    該電極層形成後に該電極層の形成時の温度より高い温度で一定時間加熱された該電極層で形成されていることを特徴とする圧電薄膜デバイス。
  2. 該電極層がAu層とTi層より形成されており、該Ti層が該誘電体層上に形成され、該Ti層の上にAu層を形成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電薄膜デバイス。
  3. 該電極層の形成温度が100℃以下であり、且つ該電極層が形成後の加熱温度が300℃以上であることを特徴とする請求項1及び請求項2に記載の圧電薄膜デバイス。
  4. 該誘電体層が酸化珪素であることを特徴とする請求項1、請求項2及び請求項3に記載の圧電薄膜デバイス。
  5. 該圧電体層が酸化亜鉛、窒化アルミニウムであることを特徴とする請求項1、請求項2及び請求項3に記載の圧電薄膜デバイス。
  6. 該基板と該圧電体層の間に、該誘電体層を含む多層の音響反射層が形成されていることを特徴とする請求項1、2、3及び4に記載の圧電薄膜デバイス。
  7. 該音響反射層が、酸化珪素、酸化亜鉛、窒化アルミニウム又は酸化アルミニウムから成る層の組み合わされたものであることを特徴とする請求項6に記載の圧電薄膜デバイス。
  8. 基板と、該基板上に形成された少なくとも一層以上の圧電体層と、該圧電体層には電極層を有し、該基板と該圧電体層との間に少なくとも誘電体層が形成する圧電薄膜デバイスの製造方法において、
    該電極層を形成した後で、該電極層を形成したデバイスを、該電極層の形成時の温度より高い温度で一定時間加熱することを特徴とする圧電薄膜デバイスの製造方法。
  9. 該電極層がAu層とTi層より成り、該Ti層を該誘電体層上に形成し、該Ti層の上にAu層を形成することを特徴とする請求項8に記載の圧電薄膜デバイスの製造方法。
  10. 該電極層の形成温度が100℃以下であり、且つ該電極層が形成後の加熱温度が300℃以上であることを特徴とする請求項8及び請求項9に記載の圧電薄膜デバイスの製造方法。
  11. 該誘電体層が酸化珪素であることを特徴とする請求項8、請求項9及び請求項10に記載の圧電薄膜デバイスの製造方法。
  12. 該圧電体層が酸化亜鉛、窒化アルミニウムであることを特徴とする請求項8、請求項9、請求項10及び請求項11に記載の圧電薄膜デバイスの製造方法。
  13. 該基板と該圧電層の間に、該誘電体層を含む多層の音響反射層を形成する請求項8、請求項9、請求項10、請求項11及び請求項12に記載の圧電薄膜デバイスの製造方法。
  14. 該音響反射層を、酸化珪素、酸化亜鉛、窒化アルミニウム或いは酸化アルミニウムの層を組み合わせて形成したことを特徴とする請求項13に記載の圧電薄膜デバイスの製造方法。
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