JP2006210110A - 液滴供給方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は、液滴を利用する場合に必要とされる、飛行経路の制御安定化、飛行速度の加速、あるいは溶媒の迅速な除去を可能とするために、レーザーあるいは粒子ビームの照射その他の手段で、液滴の一部を、単発的に、多数回間欠的に、あるいは連続的に除去する。2枚の円筒鏡6で繰り返し反射させることで、入射した線状集光ビームを効率よく、液滴流に吸収させる。水液滴2を、液滴生成用ノズル1から発生させ、連続発振CO2レーザー3を、液滴流に線状集光照射する。
【選択図】 図5
Description
テープ化あるいはワイア化することで、比較的長時間のターゲット供給が可能であるが、テープ化あるいはワイア化できる材料は、極めて限定される。テープ化あるいはワイア化できる場合でも、その長さは限られている。
テープ化あるいはワイア化ができず、また、液体にもできない元素でも、水などの液体に、その元素を含む微粒子を混入し、液体ジェットにすることで、連続供給できる。テープ化あるいはワイア化できる材料であっても、微粒子化して液体ジェット化することで、実用上無限時間の供給が可能になる。
プラズマ光源の場合、液滴同士が接近しすぎると、直前の液滴で作られたプラズマのGPaにも達する圧力により、次のショットのための液滴が吹き飛ばされてしまう。プラズマの膨張とともに半径の5乗に反比例して圧力は急激に低下するので、液滴の間隔を広げれば、この問題は解決できる。プラズマ光源の繰り返し率を高くして且つ、液滴の間隔を広げるには、液滴の供給速度を大きくしなければならない。
溶媒の蒸発に関しては、マイクロ波加熱が考えられるが、以下で示すように、高速で飛行する液滴への適用は困難である。
一般家庭に普及している電子レンジでは、2.45 GHzのマイクロ波の照射により水の電気双極子が振動し、その誘電損失によって冷凍食品の解凍などが行なわれる。文献に依れば、500Wの電子レンジで10 mlの水を加熱すると、30秒で60度の温度上昇があるとされている。加熱時間30秒は食品の解凍に於いては十分に短いが、液滴加熱に於いては長すぎる。後で詳しく議論するように液滴の速度は10m/sec以上が必要なので、加熱中に300 mも飛行することになり、実用的な距離ではない。
d2T/dr2+ (2/r) dT/dr + Q0/K =0 ----(1)
で記述される。ここで、Q0は単位体積当たり吸収パワー、Kは溶媒の熱伝導係数である。
液滴の射出方向には揺らぎが避けられない。ノズルの形状、液滴発生容器の振動などによって、1%程度の揺らぎが生じることは珍しくない。また、蒸発空間を排気すると、液滴経路が不安定化すること、不安定の大きさは、連続ジェットよりも液滴ジェットが大きいことが、我々の経験から分かっている。これは、排気に伴う気流で、液滴が影響を受けるためと解釈できる。液滴の進行方向に1%の揺らぎがある場合、100mm飛行するとき、通過する場所が1mm変動する。極めて緩やかな蒸発のための1mを越える加熱距離が必要な場合は、液滴で搬送する微粒子の位置は10mmも変動することになる。
本発明は、液滴を利用する場合に必要とされる、飛行経路の制御安定化、飛行速度の加速、あるいは溶媒の迅速な除去を可能とすることを目的としている。
マイクロ波加熱の場合に、迅速な蒸発を行おうとすると液滴中心部の温度が極めて高くなって突沸する問題は、吸収係数の大きなエネルギー源で溶媒を除去することで解決する。吸収係数αの大きなエネルギー源で液滴表面を均一に加熱する場合の熱伝導方程式は(2)式になる。
d2T/dr2+ (2/r) dT/dr + Q0exp(-α(r0-r))/K=0 ----(2)
この解は、T =(Q0/α2K) {(1-2/αr0) -(1-2/αr) exp(-α(r0-r)}+ T0であり、図2の様になる。図2は、吸収係数の大きな熱源で、液滴表面を一様に加熱する場合の、液滴内の温度分布を示している。吸収係数を大きくすることで、内部の温度上昇が小さくできる。図4及び図7に示すような、液滴中心部を照射しない配置にすることで、内部の温度上昇が、一層小さくできる。
内部の温度上昇 ΔT=Q0/(α2K) = Eevap Zn /αK は、吸収係数αを大きくすることで小さくできる。
(2)式の結果に、気化速度Zn=0.1 mm /10 msecと、吸収係数α=1,000 cm-1を代入すると、内部の温度上昇ΔT=330となり、吸収係数を大きくすることで温度上昇がかなり軽減される。これは、液滴表面を均一に加熱する場合であるが、飛行経路の制御あるいは加速のために局所的に加熱する場合は、内部の加熱パワーが減るので、内部温度の上昇量がさらに小さくできる。
吸収係数が大きいと、局所的な加熱による局所的な蒸発が可能になり、これを利用した液滴の飛行経路の位置制御および加速が可能になる。
エネルギーの有効利用のために、直径0.1 mm程度の液滴にレーザービームを集光したい。一方で、液滴は10 m/sec以上の高速で飛行しており、また、突沸を避けるために蒸発時間は数ミリ秒以上が必要であるので、加熱中に数十cmの距離を飛行する。そこで、本発明は、線状の集光を行う手段を提供する。
前述したように、液滴間の距離は、加速により、最終的にはL>>6 mmが必要である。液滴の直径は0.1mm程度であるので、線状集光ビームの1/100以下しか利用されない。ノズルから噴出直後の液滴間隔は、液滴直径の4から8倍であり、線状集光ビームの利用率は、10-20%程度である。
[背景技術]の(液滴の進行方向の安定性)で述べたように、液滴を噴出する空間の真空度は数百Paに止まる。多くの場合、プラズマ発生領域の真空度をより高くすることが望まれる。非特許文献3にも記述があるが、液滴が通過する微小開口が備わった隔壁により仕切られた空間を設け、差動排気を行うことで、より高い真空度の空間に液滴を導くことが出来る。しかし、低真空空間から差動排気空間に微小開口を通じた気流が流れ、それにより液滴の運動が乱される。非特許文献3の報告に依れば、低真空空間ではノズルから80
mmの所で、直径(150-400μm)の1/10程度以下、つまり0.03 mm程度、の変動であったが、微小開孔通過後の変動は、150 mmで2.5 mmと、極めて大きくなった。
また、本発明によれば、固体材料を含むあるいは含まない液滴の飛行経路の安定化が安定化できる。
さらに、本発明によれば、液滴の加速が行えるので、液滴間隔が増大され、プラズマの圧力で制限される光源のマルチkHz化が可能になる。
図5に、第一の実施形態を示す。図5は、二枚の円筒鏡を用いた、液滴流の連続線状集光光学系を示す図である。図中、1は液滴生成用ノズル、2は微粒子を含む液滴、3は溶媒蒸発用CO2レーザー、4は線状集光用レンズ、5は線状集光されたレーザービーム、6は多重線状集光するための円筒鏡対をそれぞれ示している。2枚の円筒鏡6で繰り返し反射させることで、入射した線状集光ビームを効率よく、液滴流に吸収させることができる。直径0.1 mmの水液滴2を、速度10 m/sec、繰り返し率10 kHz、液滴間隔1mmで、液滴生成用ノズル1から発生させる。出力100 Wの連続発振CO2レーザー3を、長さ10 mm、集光幅0.15 mmで、液滴流に線状集光照射する。
液滴の間隔が1 mmで液滴直径が0.1mmであるから、線状集光ビームの10 %が吸収され、残りの90 %は通過する。この透過ビームを、反対側に置いた円筒鏡で反射して、再度、液滴流に線状集光照射する。このビームも大半が透過するので、再び、今度はビームを入射した側に設置した円筒鏡で反射して、再度線状集光照射する。
図5に示すように、斜め上方から照射して、液滴上部からの蒸発量が多いので、液滴の飛行速度の加速も行われる。
パワー100 W、長さ10mm、幅0.15 mmの線状ビームの内、約1/200、つまり約0.5 Wが一つの液滴に吸収される。速度10 m/secの液滴が10 mmの距離を飛行する時間は1msecであるが、この間に吸収するエネルギーは0.5 mJであり、これが気化熱で消費され、約230 ngが蒸発する。つまり、表面が均一に蒸発する場合に換算すると、7μmの厚さが蒸発する。蒸気圧7,000 Paに相当し、表面温度は40度C程度になる。
また、円筒鏡対を、図示した方向と直交する方向にも設置することで、液滴の飛行経路の安定性が高められる。角度を4等分ではなく、6等分あるいは8等分等、照射方向の数を増やすことで、飛行経路の安定性が一層高められる。
20E-12/ π 1E-4 =6E-8cm = 60 nm
60 nmの厚さが蒸発する。このパルスを1000ショットの照射、つまり25msecで、直径0.1 mmの液滴全部が、除去される計算になる。
(π/2)(1E-5)2x 1E-5 x 2.2kJ = 3.4E-12 J
これは、直径0.1μmの錫微粒子を融点にまで温度上昇させるに必要なエネルギー0.16 pJより大きい。つまり、直径0.1μmの錫微粒子の温度は、錫微粒子を囲む水の気化熱とのバランスで決まる。先の求メーター値の20倍、つまり、40mJ/cm2の照射でも、錫微粒子は融点にならない。
mm程度にすると、空間10を排気する図示しない真空ポンプの排気速度が10 l/secの場合、空間10の真空度を空間7より二桁改善できる。より高い真空度が必要な場合、図8に例示するように、隔壁8―2,8−3で仕切る差動排気空間10―2.10−3を複数設ける。
2 微粒子を含む液滴
3 溶媒蒸発用CO2レーザー
4 線状集光用レンズ
5 線状集光されたレーザービーム
6 多重線状集光するための円筒鏡対
7 液滴噴出空間
8 差動排気用隔壁
9 液滴通過用微小開口
10 差動排気空間
Claims (18)
- ノズルから噴出させる液滴の供給方法において、
レーザーあるいは粒子ビームの照射手段で、液滴の一部を、単発的に、多数回間欠的に、あるいは連続的に除去すること、
を特徴とする液滴供給方法。 - 液滴を導く飛行軸中心における除去量を小さくし、飛行軸から外れると除去量を増大することを特徴とする請求項1に記載する液滴供給方法。
- 液滴の進行の前方方向からよりも後方方向からの除去量を大きくすることを特徴とする請求項1又は2に記載する液滴供給方法。
- 微粒子を含む溶液が通過する微小開口が備わった隔壁により仕切られた空間を一つあるいは複数設けて差動排気を行い、液滴噴出空間から隔壁で仕切られた差動排気空間の一つあるいは複数の空間に於いても液滴除去作業を行うことを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載する液滴供給方法。
- 溶媒に対する吸収係数の大きな波長のレーザーを用いること、あるいは、溶液の溶媒に、色素の溶解など、溶媒除去用レーザーの吸収を大きくする手段を施したことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載する液滴供給方法。
- 極短パルスレーザー照射によるレーザー誘導アブレーションあるいは衝撃により液滴表面を除去することを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載する液滴供給方法。
- 微粒子を含む溶液を液滴とすることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載する液滴供給方法。
- ノズルから噴出させる液滴の供給装置において、
液滴生成装置と、
液滴の一部を単発的に多数回間欠的にあるいは連続的に除去するためのレーザーあるいは粒子ビームの照射手段と、
を備えたことを特徴とする液滴供給装置。 - レーザーあるいは粒子ビームの一部を遮蔽するか、あるいは、複数の方向から複数のレーザーあるいは粒子ビームを組み合わせることにより、液滴流を導きたい飛行軸中心での強度を低くした照射ができる機能を備えた、請求項8に記載する液滴供給装置。
- 液滴の進行方向の部分の照射強度より後方部分の照射強度を強くしたことを特徴とする請求項8又は9に記載する液滴供給装置。
- レーザーあるいは粒子ビームを、液滴の進行方向に長くそれと直交する方向に細い形状の線状集光を行うことを特徴とする請求項8から10のいずれかに記載する液滴供給装置。
- 液滴流を透過した線状集光レーザービームを円筒鏡などを用いて再度液滴流を線状集光すること、あるいは、複数枚の円筒鏡の反射を用いてレーザービームの多数回の線状集光を行うことを特徴とする請求項8から11のいずれかに記載する液滴供給装置。
- 液滴が追跡照射できる複数のレーザーあるいは粒子ビームが、一つあるいは複数の液滴を追跡照射できる機能を備えたことを特徴とする請求項8から12のいずれかに記載する液滴供給装置。
- 微粒子を含む溶液が通過する微小開口が備わった隔壁によって仕切られた一つあるいは複数の空間を設けてそれぞれの空間の差動排気を行い、液滴噴出空間および隔壁で仕切られた空間のなかの、一つあるいは複数の空間が液滴除去機能を備えたことを特徴とする、請求項8から13のいずれかに記載する液滴供給装置。
- 溶媒除去用にCO2レーザーを用いることを特徴とする請求項8から14のいずれかに記載する液滴供給装置。
- 溶媒除去用に、サブピコ秒極短パルスレーザーを用いることを特徴とする請求項8から15のいずれかに記載する液滴供給装置。
- 極短パルスレーザーの繰り返し率は1kHz以上であることを特徴とする請求項16に記載する液滴供給装置。
- 微粒子を含む溶液を液滴とすることを特徴とする請求項8から17のいずれかに記載する液滴供給装置。
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