JP2006206377A - 単結晶SiC基板の製造方法 - Google Patents
単結晶SiC基板の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】下記の各工程を行い、多結晶SiC基板6の表面に単結晶SiC層7が形成された単結晶SiC基板を形成する。(1)Si母材層に表面Si層と埋め込み酸化物層が形成されたSOI基板を炭化水素系ガス雰囲気中で加熱して表面Si層を単結晶SiC膜5に変成させるSiC膜生成工程。(2)上記表面に単結晶SiC膜5が形成されたSi母材層を、多結晶SiC基板6の表面に単結晶SiC膜5が対面するよう積層して接合して積層体を形成する接合工程。(3)上記積層体のSi母材層と埋め込み酸化物層を除去する除去工程。(4)上記多結晶SiC基板6の表面に、単結晶SiC膜5をシード層として当該単結晶SiC膜5上に単結晶SiC層7をエピタキシャル成長させる成長工程。
【選択図】図4
Description
(1)Si母材層2に所定厚さの表面Si層3と埋め込み酸化物層4が形成されたSOI基板1を準備し、上記SOI基板1を炭化水素系ガス雰囲気中で加熱して上記表面Si層3を単結晶SiC膜5に変成させて、Si母材層2表面に単結晶SiC膜5を形成するSiC膜生成工程、
(2)上記表面に単結晶SiC膜5が形成されたSi母材層2を、多結晶SiC基板6の表面に上記単結晶SiC膜5が対面するよう積層して接合し、多結晶SiC基板6上に単結晶SiC膜5を介して埋め込み酸化物層4とSi母材層2が積層された積層体9を形成する接合工程、
(3)上記積層体9のSi母材層2と埋め込み酸化物層4を除去して表面に単結晶SiC膜5が形成された多結晶SiC基板6を形成する除去工程、
(4)上記多結晶SiC基板6の表面に、上記単結晶SiC膜5をシード層として当該単結晶SiC膜5上に単結晶SiC層7をエピタキシャル成長させる成長工程、
を行うことにより、多結晶SiC基板6の表面に単結晶SiC層7が形成された単結晶SiC基板を形成するものである。
図1に示すように、上記SiC膜形成工程は、まず、Si母材層2の表面に、所定厚さの表面Si層3と埋め込み酸化物層4とが形成されたSOI基板1を準備する(図1(a))。
図2に示すように、上記表面に単結晶SiC膜5が形成されたSi母材層2を、多結晶SiC基板6の表面に上記単結晶SiC膜5が対面するよう積層する(図2(d))。ついで、この状態で、多結晶SiC基板6表面と単結晶SiC膜5の接合処理を行って接合し、多結晶SiC基板6上に単結晶SiC膜5を介して埋め込み酸化物層4とSi母材層2が積層された積層体9を形成する(図2(e))。
図3に示すように、除去工程では、上記接合が行われた積層体9(図3(e))のSi母材層2を除去し(図3(f))、さらに、埋め込み酸化物層4を除去することにより、表面に単結晶SiC膜5が形成された多結晶SiC基板6を形成する(図3(g))。
図4に示すように、Si母材層2および酸化物層4が除去されて表面に単結晶SiC膜5が露出した多結晶SiC基板6(図3(g))に対し、上記単結晶SiC膜5をシードとしてエピタキシャル成長により、単結晶SiC層7を成長させる(図4(h))。さらに、必要に応じて、上記単結晶SiC層7の上に、エピタキシャル成長によりGaN層8等の他の半導体膜を形成させることを行ってもよい(図4(i))。
2 Si母材層
3 表面Si層
4 埋め込み酸化物層,酸化物層
5 単結晶SiC膜
6 多結晶SiC基板
7 単結晶SiC層
8 GaN層
9 積層体
Claims (2)
- Si母材層表面に単結晶SiC膜を形成するSiC膜生成工程と、
上記表面に単結晶SiC膜が形成されたSi母材層を、多結晶SiC基板の表面に上記単結晶SiC膜が対面するよう積層して接合し、多結晶SiC基板上に単結晶SiC膜を介してSi母材層が積層された積層体を形成する接合工程と、
上記積層体のSi母材層を除去して表面に単結晶SiC膜が形成された多結晶SiC基板を形成する除去工程と、
上記多結晶SiC基板の表面に、上記単結晶SiC膜をシード層として当該単結晶SiC膜上に単結晶SiCをエピタキシャル成長させる成長工程とを備えることにより、
多結晶SiC基板の表面に単結晶SiC層が形成された単結晶SiC基板を形成することを特徴とする単結晶SiC基板の製造方法。 - 上記SiC膜生成工程は、Si母材層に所定厚さの表面Si層と埋め込み酸化物層が形成されたSOI基板を炭化水素系ガス雰囲気中で加熱して上記表面Si層を単結晶SiC膜に変成させ、
上記除去工程は、Si母材層と埋め込み酸化物層を除去する請求項1記載の単結晶SiC基板の製造方法。
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