JP2006205279A - X-y stage device - Google Patents

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Shigeo Kasai
重雄 笠井
Shinichi Hasegawa
進一 長谷川
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A & P Kk
DELTA MACHINE DESIGN KK
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A & P Kk
DELTA MACHINE DESIGN KK
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a lightweight high performance X-Y stage device made of a fiber reinforced synthetic resin, capable of highly accurate machining such as grinding, reducing thermal deformation, and superior in vibration damping performance. <P>SOLUTION: This X-Y stage device 10 has a device body 11 for arranging a guide rail 12 on an upper surface 11a, an X axis moving body 20 for moving in the X axis direction along the guide rail 12 on this device body 11, and a Y axis moving body 30 for moving in the Y axis direction orthogonal to the X axis direction along a guide rail 28 arranged in this X axis moving body 20. The device body 11 and the respective moving bodies 20 and 30 are formed of the fiber reinforced synthetic resin, and a machining margin of the predetermined thickness is formed by adhering a plurality of small metallic pieces 50 for reducing the thermal deformation to respective part installing surfaces of the device body 11 and the respective moving bodies 20 and 30. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、例えば、液晶ディスプレイ(LCD)のガラス基板のパターン等を検査する基板検査装置に用いて好適なX−Yステージ装置に関する。   The present invention relates to an XY stage apparatus suitable for use in, for example, a substrate inspection apparatus for inspecting a glass substrate pattern or the like of a liquid crystal display (LCD).

従来、LCDに用いられるガラス基板のパターン等の種々の検査をする装置として、移動体(ステージ)を所定の軸方向に移動させるX−Yステージ装置を用いた基板検査装置が知られている(例えば、特許文献1,2参照。)。   2. Description of the Related Art Conventionally, a substrate inspection apparatus using an XY stage apparatus that moves a movable body (stage) in a predetermined axial direction is known as an apparatus for performing various inspections such as a glass substrate pattern used in an LCD ( For example, see Patent Documents 1 and 2.)

今日、LCDの大型化が進み、その検査等のために大型のX−Yステージ装置の需要が高まっており、また、所定の軸方向に水平移動する移動体を駆動させる駆動系は高速かつ高精度の位置決めが求められている。そのために、移動体を軽量かつ剛性の高い材料で構築する必要性が求められている。   Today, LCDs are becoming larger and demand for large XY stage devices is increasing for inspection and the like, and a drive system that drives a moving body that moves horizontally in a predetermined axial direction is high speed and high. Accurate positioning is required. Therefore, the necessity for constructing the moving body with a lightweight and highly rigid material is demanded.

一般的に、移動体の軽量化のためにアルミニウム合金等の軽金属を使用するが、この軽金属は熱膨張が大きく、また、剛性も弱く、撓み等により高精度の装置の材料としては不適切であった。即ち、例えば、アルミニウム合金等の軽金属は1mにつき1度の温度上昇で約23μm伸びるため、2mとか3m用の移動体ではそれなりに伸び、全体の撓みも大きくなって高精度の位置決めは難しかった。   Generally, a light metal such as an aluminum alloy is used to reduce the weight of the moving body. However, this light metal has a large thermal expansion and a low rigidity, and is not suitable as a material for a high-precision device due to bending or the like. there were. That is, for example, a light metal such as an aluminum alloy extends about 23 μm at a temperature increase of 1 degree per 1 m, so that a mobile body for 2 m or 3 m extends as it is, and the overall deflection becomes large, so that high-precision positioning is difficult.

一方、樹脂の開発は目覚ましく、今日、温度にほとんど影響されない樹脂とカーボン繊維、ガラス繊維等の組み合わせにより、熱影響を受けず、鉄等の金属より高剛性で、制振性に優れた炭素繊維強化プラスティックスやガラス繊維強化プラスティックス等の繊維強化プラスティックス(繊維強化合成樹脂)が開発されている。   On the other hand, the development of resin is remarkable, and today, the combination of resin that is hardly affected by temperature, carbon fiber, glass fiber, etc., is not affected by heat, is carbon fiber that has higher rigidity than metal such as iron and excellent vibration damping Fiber reinforced plastics (fiber reinforced synthetic resins) such as reinforced plastics and glass fiber reinforced plastics have been developed.

特開2004−317485号公報JP 2004-317485 A

特開2002−82067号公報JP 2002-82067 A

しかしながら、前記繊維強化合成樹脂は、直接表面等を研削加工等すると、繊維に傷を付けてその強度を損なってしまうため、高精度の部品を製造することができず、この種の材料を使用したX−Yステージ装置を構築することが難しかった。   However, since the fiber reinforced synthetic resin directly scratches the surface and the like, it damages the fiber and impairs its strength, so it cannot produce high-precision parts and uses this kind of material. It was difficult to construct the XY stage apparatus.

そこで、本発明は、前記した課題を解決すべくなされたものであり、研削等の高精度な機械加工を可能とし、熱変形が少なく、軽量で制振性の優れた繊維強化合成樹脂製で高性能なX−Yステージ装置を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention has been made to solve the above-described problems, and enables high-precision machining such as grinding, is made of a fiber-reinforced synthetic resin that has low thermal deformation, is lightweight, and has excellent vibration damping properties. An object is to provide a high-performance XY stage apparatus.

請求項1の発明は、上面にガイド部材を配置した装置本体と、この装置本体上の前記ガイド部材に沿って一軸方向に移動する一方の移動体と、この一方の移動体に配置されたガイド部材に沿って前記一軸方向と直交する他軸方向に移動する他方の移動体と、を備えたX−Yステージ装置において、前記装置本体と前記各移動体のうちの少なくとも該各移動体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該各移動体の少なくとも部品取付面に熱変形が少ない小さな金属片を複数接着して所定厚の機械加工代を形成したことを特徴とする。   According to the first aspect of the present invention, there is provided an apparatus main body having a guide member disposed on an upper surface thereof, one moving body that moves in a uniaxial direction along the guide member on the apparatus main body, and a guide disposed on the one moving body. An XY stage apparatus comprising: the other moving body that moves in the other axial direction perpendicular to the one axial direction along a member, wherein at least each of the moving bodies of the apparatus main body and each of the moving bodies is a fiber It is characterized in that it is made of reinforced synthetic resin and a plurality of small metal pieces with little thermal deformation are bonded to at least a part mounting surface of each moving body to form a machining allowance with a predetermined thickness.

請求項2の発明は、請求項1記載のX−Yステージ装置であって、前記装置本体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該装置本体の少なくとも部品取付面に熱変形が少ない小さな金属片を複数接着して所定厚の機械加工代を形成したことを特徴とする。   A second aspect of the present invention is the XY stage apparatus according to the first aspect, wherein the apparatus main body is formed of a fiber reinforced synthetic resin, and at least a component mounting surface of the apparatus main body has a small thermal deformation. A plurality of pieces are bonded to form a machining allowance having a predetermined thickness.

請求項3の発明は、上面にガイド部材を配置した装置本体と、この装置本体上の前記ガイド部材に沿って一軸方向に移動する一方の移動体と、この一方の移動体に配置されたガイド部材に沿って前記一軸方向と直交する他軸方向に移動する他方の移動体と、を備えたX−Yステージ装置において、前記装置本体と前記各移動体のうちの少なくとも該各移動体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該各移動体の少なくとも部品取付面にメッキを施して所定厚の機械加工代を形成したことを特徴とする。   According to a third aspect of the present invention, there is provided an apparatus main body in which a guide member is disposed on an upper surface, one moving body that moves in a uniaxial direction along the guide member on the apparatus main body, and a guide that is disposed on the one moving body. An XY stage apparatus comprising: the other moving body that moves in the other axial direction perpendicular to the one axial direction along a member, wherein at least each of the moving bodies of the apparatus main body and each of the moving bodies is a fiber It is made of reinforced synthetic resin, and at least a part mounting surface of each moving body is plated to form a machining allowance with a predetermined thickness.

請求項4の発明は、請求項3記載のX−Yステージ装置であって、前記装置本体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該装置本体の少なくとも部品取付面に硬質クロムメッキを施して所定厚の機械加工代を形成したことを特徴とする。   A fourth aspect of the present invention is the XY stage apparatus according to the third aspect, wherein the apparatus main body is formed of a fiber reinforced synthetic resin, and hard chromium plating is applied to at least a component mounting surface of the apparatus main body. A machining allowance having a predetermined thickness is formed.

請求項5の発明は、上面にガイド部材を配置した装置本体と、この装置本体上の前記ガイド部材に沿って一軸方向に移動する一方の移動体と、この一方の移動体に配置されたガイド部材に沿って前記一軸方向と直交する他軸方向に移動する他方の移動体と、を備えたX−Yステージ装置において、前記装置本体と前記各移動体のうちの少なくとも該各移動体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該各移動体の少なくとも部品取付面にセラミックを溶射して所定厚の機械加工代を形成したことを特徴とする。   According to a fifth aspect of the present invention, there is provided an apparatus main body having a guide member disposed on an upper surface thereof, one moving body that moves in a uniaxial direction along the guide member on the apparatus main body, and a guide disposed on the one moving body. An XY stage apparatus comprising: the other moving body that moves in the other axial direction perpendicular to the one axial direction along a member, wherein at least each of the moving bodies of the apparatus main body and each of the moving bodies is a fiber It is formed of a reinforced synthetic resin, and a machining allowance of a predetermined thickness is formed by spraying ceramic on at least a part mounting surface of each moving body.

請求項6の発明は、請求項5記載のX−Yステージ装置であって、前記装置本体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該装置本体の少なくとも部品取付面にセラミックを溶射して所定厚の機械加工代を形成したことを特徴とする。   A sixth aspect of the present invention is the XY stage apparatus according to the fifth aspect of the present invention, wherein the apparatus main body is formed of a fiber reinforced synthetic resin, and ceramic is sprayed on at least a part mounting surface of the apparatus main body to be predetermined. Thick machining allowance is formed.

以上説明したように、請求項1の発明によれば、装置本体と各移動体のうちの少なくとも該各移動体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該各移動体の少なくとも部品取付面に熱変形が少ない小さな金属片を複数接着して所定厚の機械加工代を形成したことにより、繊維強化合成樹脂製の各移動体の部品取付面に予め接着された複数の金属片から成る所定厚の機械加工代の部分を機械加工することができる。これにより、繊維強化合成樹脂製の各移動体の繊維に傷を付けずに、その強度を損なうことなく、研削加工等の高精度な機械加工が可能となり、熱変形が少なく、軽量で制振性の良い高性能なX−Yステージ装置を提供することができる。   As described above, according to the invention of claim 1, at least each of the moving bodies of the apparatus main body and each moving body is formed of fiber reinforced synthetic resin, and at least on the component mounting surface of each moving body. A predetermined thickness consisting of a plurality of metal pieces pre-bonded to the component mounting surface of each moving body made of fiber reinforced synthetic resin by forming a machining allowance of a predetermined thickness by bonding a plurality of small metal pieces with little thermal deformation The machining allowance part can be machined. This enables high-precision machining such as grinding without damaging the fibers of each mobile body made of fiber-reinforced synthetic resin and without damaging its strength, with less thermal deformation, light weight and vibration damping. A high-performance XY stage apparatus with good characteristics can be provided.

請求項2の発明によれば、装置本体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該装置本体の少なくとも部品取付面に熱変形が少ない小さな金属片を複数接着して所定厚の機械加工代を形成したことにより、繊維強化合成樹脂の装置本体の部品取付面に予め接着された複数の金属片から成る所定厚の機械加工代の部分を機械加工することができる。これにより、繊維強化合成樹脂製の装置本体の繊維に傷を付けずに、その強度を損なうことなく、研削加工等の高精度な機械加工が可能となり、熱変形が少なく、全体がより軽量で制振性に優れた高性能なX−Yステージ装置を提供することができる。   According to the invention of claim 2, the apparatus main body is formed of fiber reinforced synthetic resin, and a plurality of small metal pieces with little thermal deformation are bonded to at least the component mounting surface of the apparatus main body to reduce the machining allowance of a predetermined thickness. By forming the portion, a machining allowance portion having a predetermined thickness made of a plurality of metal pieces previously bonded to the component mounting surface of the device body of the fiber reinforced synthetic resin can be machined. This enables high-precision machining such as grinding without damaging the fiber of the device body made of fiber-reinforced synthetic resin without damaging its strength, less thermal deformation, and lighter overall It is possible to provide a high-performance XY stage apparatus having excellent vibration damping properties.

請求項3の発明によれば、装置本体と各移動体のうちの少なくとも該各移動体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該各移動体の少なくとも部品取付面にメッキを施して所定厚の機械加工代を形成したことにより、繊維強化合成樹脂製の各移動体の部品取付面に予めメッキを施して成る所定厚の機械加工代の部分を機械加工することができる。これにより、繊維強化合成樹脂製の各移動体の繊維に傷を付けずに、その強度を損なうことなく、研削加工等の高精度な機械加工が可能となり、熱変形が少なく、軽量で制振性の良い高性能なX−Yステージ装置を提供することができる。   According to the invention of claim 3, at least each of the moving bodies of the apparatus main body and each moving body is formed of fiber reinforced synthetic resin, and at least a part mounting surface of each moving body is plated to have a predetermined thickness. By forming the machining allowance, it is possible to machine a machining allowance portion having a predetermined thickness obtained by plating the component mounting surface of each movable body made of fiber-reinforced synthetic resin in advance. This enables high-precision machining such as grinding without damaging the fibers of each mobile body made of fiber-reinforced synthetic resin and without damaging its strength, with less thermal deformation, light weight and vibration damping. A high-performance XY stage apparatus with good characteristics can be provided.

請求項4の発明によれば、装置本体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該装置本体の少なくとも部品取付面に硬質クロムメッキを施して所定厚の機械加工代を形成したことにより、繊維強化合成樹脂の装置本体の部品取付面に予め硬質クロムメッキを施して成る所定厚の機械加工代の部分を機械加工することができる。これにより、繊維強化合成樹脂製の装置本体の繊維に傷を付けずに、その強度を損なうことなく、研削加工等の高精度な機械加工が可能となり、熱変形が少なく、全体がより軽量で制振性に優れた高性能なX−Yステージ装置を提供することができる。   According to the invention of claim 4, the apparatus main body is formed of fiber reinforced synthetic resin, and at least a part mounting surface of the apparatus main body is hard chrome plated to form a machining allowance having a predetermined thickness. A machined portion of a predetermined thickness, which is obtained by applying hard chrome plating in advance to the component mounting surface of the reinforced synthetic resin device main body, can be machined. This enables high-precision machining such as grinding without damaging the fiber of the device body made of fiber-reinforced synthetic resin without damaging its strength, less thermal deformation, and lighter overall It is possible to provide a high-performance XY stage apparatus having excellent vibration damping properties.

請求項5の発明によれば、装置本体と各移動体のうちの少なくとも該各移動体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該各移動体の少なくとも部品取付面にセラミックを溶射して所定厚の機械加工代を形成したことにより、繊維強化合成樹脂製の各移動体の部品取付面に予めセラミックを溶射して成る所定厚の機械加工代の部分を機械加工することができる。これにより、繊維強化合成樹脂製の各移動体の繊維に傷を付けずに、その強度を損なうことなく、研削加工等の高精度な機械加工が可能となり、熱変形が少なく、軽量で制振性の良い高性能なX−Yステージ装置を提供することができる。   According to the invention of claim 5, at least each of the moving bodies of the apparatus main body and each moving body is formed of fiber reinforced synthetic resin, and ceramic is sprayed on at least a part mounting surface of each moving body to be predetermined. By forming a thick machining allowance, it is possible to machine a machining allowance portion having a predetermined thickness obtained by previously spraying ceramic on the component mounting surface of each movable body made of fiber reinforced synthetic resin. This enables high-precision machining such as grinding without damaging the fibers of each mobile body made of fiber-reinforced synthetic resin and without damaging its strength, with less thermal deformation, light weight and vibration damping. A high-performance XY stage apparatus with good characteristics can be provided.

請求項6の発明によれば、装置本体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該装置本体の少なくとも部品取付面にセラミックを溶射して所定厚の機械加工代を形成したことにより、繊維強化合成樹脂の装置本体の部品取付面に予めセラミックを溶射して成る所定厚の機械加工代の部分を機械加工することができる。これにより、繊維強化合成樹脂製の装置本体の繊維に傷を付けずに、その強度を損なうことなく、研削加工等の高精度な機械加工が可能となり、熱変形が少なく、全体がより軽量で制振性に優れた高性能なX−Yステージ装置を提供することができる。   According to the invention of claim 6, the apparatus main body is formed of a fiber reinforced synthetic resin, and ceramic is sprayed on at least a component mounting surface of the apparatus main body to form a machining allowance of a predetermined thickness, thereby A portion of machining allowance having a predetermined thickness, which is formed by previously spraying ceramic on the component mounting surface of the synthetic resin device main body, can be machined. This enables high-precision machining such as grinding without damaging the fiber of the device body made of fiber-reinforced synthetic resin without damaging its strength, less thermal deformation, and lighter overall It is possible to provide a high-performance XY stage apparatus having excellent vibration damping properties.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は本発明の実施形態の基板検査装置に用いて好適なX−Yステージ装置を示す平面図、図2は同装置の側面図、図3は同装置の正面図、図4は同装置に用いられる装置本体の平面図、図5は同装置本体の要部を示す部分平面図、図6は同装置本体の正面図、図7は同装置に用いられる移動体の一部を構成する一方のコラムの側面図、図8は同一方のコラムの平面図、図9は同一方のコラムの正面図、図10は同移動体の一部を構成する他方のコラムの側面図、図11は同他方のコラムの平面図、図12は同他方のコラムの正面図、図13は同移動体の一部を構成するY軸ベースの正面図、図14は同Y軸ベースの平面図、図15は同Y軸ベースの要部を示す部分正面図、図16は同Y軸ベースの側面図である。   1 is a plan view showing an XY stage apparatus suitable for use in a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view of the apparatus, FIG. 3 is a front view of the apparatus, and FIG. FIG. 5 is a partial plan view showing the main part of the apparatus main body, FIG. 6 is a front view of the apparatus main body, and FIG. 7 is a part of a moving body used in the apparatus. FIG. 8 is a plan view of the same column, FIG. 9 is a front view of the same column, FIG. 10 is a side view of the other column constituting a part of the movable body, and FIG. Is a plan view of the other column, FIG. 12 is a front view of the other column, FIG. 13 is a front view of a Y-axis base constituting a part of the movable body, and FIG. 14 is a plan view of the Y-axis base. FIG. 15 is a partial front view showing the main part of the Y-axis base, and FIG. 16 is a side view of the Y-axis base.

図1〜図3に示すように、X−Yステージ装置10は、上面11aに一対のX軸ガイドレール(ガイド部材)12,12を配置したベースとしての装置本体11と、この装置本体11上の一対のX軸ガイドレール12,12に沿ってX軸方向(一軸方向)に往復移動するX軸移動体(一方の移動体)20と、このX軸移動体20の後述するY軸ベース25に配置された一対のY軸ガイドレール(ガイド部材)28,28に沿ってX軸方向と直交するY軸方向(他軸方向)に往復移動するY軸移動体(他方の移動体)30と、このY軸移動体30に対してZ軸ユニット41のスクリュ42を介してZ軸方向(上下方向)に移動自在に設けられたCCDカメラ(検査治具)40と、を備えている。   As shown in FIGS. 1 to 3, the XY stage apparatus 10 includes an apparatus main body 11 as a base in which a pair of X-axis guide rails (guide members) 12 and 12 are arranged on an upper surface 11 a, and the apparatus main body 11. An X-axis moving body (one moving body) 20 that reciprocates in the X-axis direction (uniaxial direction) along the pair of X-axis guide rails 12 and 12, and a Y-axis base 25 described later of the X-axis moving body 20. A Y-axis moving body (the other moving body) 30 that reciprocates in the Y-axis direction (the other axis direction) perpendicular to the X-axis direction along a pair of Y-axis guide rails (guide members) 28, 28 arranged in The CCD camera (inspection jig) 40 is provided so as to be movable in the Z-axis direction (vertical direction) via the screw 42 of the Z-axis unit 41 with respect to the Y-axis moving body 30.

図1〜図6に示すように、装置本体11は、炭素繊維強化合成樹脂(CFRP)或いはガラス繊維強化合成樹脂(GFRP)等の繊維強化合成樹脂(FRP)により下面側が開口した箱形に形成してある。この装置本体11の上面11aの一対のガイドレール取付面(部品取付面)11b,11b及びリニアモータ取付面(部品取付面)11cには、熱膨張を無視できるような(熱変形が少ない)矩形板状の小さな金属片50を微小間隔を介して左右及び前後方向に複数それぞれ接着剤を介して接着してある。これにより、各ガイドレール取付面11b及びリニアモータ取付面11cには所定厚の接着板厚Tが形成され、この接着板厚Tより機械加工代S分を研削加工等して高精度の各ガイドレール取付面11b及びリニアモータ取付面11cがそれぞれ形成されるようになっている。   As shown in FIGS. 1-6, the apparatus main body 11 is formed in the box shape which the lower surface side opened by fiber reinforced synthetic resins (FRP), such as carbon fiber reinforced synthetic resin (CFRP) or glass fiber reinforced synthetic resin (GFRP). It is. The pair of guide rail mounting surfaces (component mounting surfaces) 11b and 11b and the linear motor mounting surface (component mounting surface) 11c on the upper surface 11a of the apparatus main body 11 are rectangular so that thermal expansion can be ignored (less thermal deformation). A plurality of small plate-like metal pieces 50 are bonded to each other in the left-right and front-rear directions via a small interval via an adhesive. As a result, each guide rail mounting surface 11b and linear motor mounting surface 11c are formed with a predetermined thickness T of the adhesive plate, and each of the high-precision guides is ground by machining the machining allowance S from this adhesive plate thickness T. A rail mounting surface 11b and a linear motor mounting surface 11c are formed respectively.

そして、この装置本体11の上面11aの各ガイドレール取付面11bにはX軸ガイドレール12をボルト13により締結固定してあると共に、リニアモータ取付面11cにはX軸リニアモータ14の複数配列された永久磁石から成る固定部14aを一方のX軸ガイドレール12と平行になるように取り付けてある。また、装置本体11の上面11aの一方のX軸ガイドレール12の内側にはX軸移動体20の位置を検出するリニアスケール15のスケル部15aを該X軸ガイドレール12と平行になるように取り付けてある。さらに、装置本体11の上面11aの中央には、液晶ディスプレイ(LCD)のガラス基板60を保持するホルダ16を取り付けてある。   An X-axis guide rail 12 is fastened and fixed to each guide rail mounting surface 11b of the upper surface 11a of the apparatus body 11 by a bolt 13, and a plurality of X-axis linear motors 14 are arranged on the linear motor mounting surface 11c. A fixed portion 14 a made of a permanent magnet is attached so as to be parallel to one X-axis guide rail 12. Further, on one inner side of the X-axis guide rail 12 on the upper surface 11 a of the apparatus body 11, a skeleton portion 15 a of a linear scale 15 that detects the position of the X-axis moving body 20 is parallel to the X-axis guide rail 12. It is attached. Further, a holder 16 for holding a glass substrate 60 of a liquid crystal display (LCD) is attached to the center of the upper surface 11a of the apparatus main body 11.

図1〜図3に示すように、X軸移動体20は、左右一対のスペーサ21,22と、この左右一対のスペーサ21,22に各ボルト29により締結固定される左右一対のコラム23,24と、この左右一対のコラム23,24の上部に掛け渡されるように各ボルト17により締結固定されるY軸ベース25とで構成されて門型になっている。   As shown in FIGS. 1 to 3, the X-axis moving body 20 includes a pair of left and right spacers 21 and 22 and a pair of left and right columns 23 and 24 fastened and fixed to the pair of left and right spacers 21 and 22 by bolts 29. And a Y-axis base 25 that is fastened and fixed by the bolts 17 so as to be stretched over the pair of left and right columns 23 and 24 to form a gate shape.

図2,図3に示すように、左右一対のスペーサ21,22は炭素繊維強化合成樹脂或いはガラス繊維強化合成樹脂等の繊維強化合成樹脂によりブロック状に形成してあり、各スペーサ21,22の下面に各X軸ガイドレール12に沿って摺動するコ字状のガイド26をボルト18により締結固定してある。また、右側のスペーサ(他方のスペーサ)22の下面にはX軸移動体20の位置を検出するリニアスケール15のヘッド部(パルス出力部)15bを取り付けてある。   As shown in FIGS. 2 and 3, the pair of left and right spacers 21 and 22 are formed in a block shape from a fiber reinforced synthetic resin such as carbon fiber reinforced synthetic resin or glass fiber reinforced synthetic resin. A U-shaped guide 26 that slides along the X-axis guide rails 12 is fastened and fixed to the lower surface by bolts 18. Further, a head part (pulse output part) 15 b of a linear scale 15 for detecting the position of the X-axis moving body 20 is attached to the lower surface of the right spacer (the other spacer) 22.

図1〜図3及び図7〜図12に示すように、左右一対のコラム23,24は炭素繊維強化合成樹脂或いはガラス繊維強化合成樹脂等の繊維強化合成樹脂により外側の側面が開口した箱形にそれぞれ形成してある。図7〜図9に示すように、左側のコラム(一方のコラム)23の上下両面(部品取付面)23a,23bには、熱膨張を無視できるような(熱変形が少ない)矩形板状の小さな金属片50を微小間隔を介して左右及び前後方向に複数それぞれ接着剤を介して接着してある。これにより、左側のコラム23の上下両面23a,23bには所定厚の接着板厚Tが形成され、この接着板厚Tより機械加工代S分を研削加工等して高精度の上下両面23a,23bがそれぞれ形成されるようになっている。そして、図2及び図3に示すように、左側のコラム23の下面23bには左側のスペーサ(一方のスペーサ)21をボルト17により締結固定すると共に、該左側のコラム23の上面23aにはY軸ベース25をボルト17により締結固定してある。尚、左側のコラム23の上下両面23a,23bの四隅にはボルト挿通孔23cをそれぞれ形成してある。   As shown in FIGS. 1 to 3 and FIGS. 7 to 12, the pair of left and right columns 23 and 24 are box-shaped whose outer side surfaces are opened by a fiber reinforced synthetic resin such as a carbon fiber reinforced synthetic resin or a glass fiber reinforced synthetic resin. Respectively. As shown in FIGS. 7 to 9, the upper and lower surfaces (part mounting surfaces) 23a and 23b of the left column (one column) 23 are rectangular plate-shaped so that thermal expansion can be ignored (less thermal deformation). A plurality of small metal pieces 50 are bonded to each other in the left-right and front-rear directions via a small interval via an adhesive. As a result, a predetermined thickness of the adhesive plate thickness T is formed on the upper and lower surfaces 23a, 23b of the left column 23. The machining allowance S is ground from the adhesive plate thickness T and the high accuracy upper and lower surfaces 23a, 23b is formed. 2 and 3, the left spacer (one spacer) 21 is fastened and fixed to the lower surface 23b of the left column 23 with bolts 17, and the upper surface 23a of the left column 23 is fixed to Y. The shaft base 25 is fastened and fixed by bolts 17. In addition, bolt insertion holes 23c are formed at the four corners of the upper and lower surfaces 23a and 23b of the left column 23, respectively.

図10〜図12に示すように、右側のコラム(他方のコラム)24の上下両面(部品取付面)24a,24bには、熱膨張を無視できるような(熱変形が少ない)矩形板状の小さな金属片50を微小間隔を介して左右及び前後方向に複数それぞれ接着剤を介して接着してある。これにより、右側のコラム24の上下両面24a,24bには所定厚の接着板厚Tが形成され、この接着板厚Tより機械加工代S分を研削加工等して高精度の上下両面24a,24bがそれぞれ形成されるようになっている。そして、図3に示すように、右側のコラム24の下面24bの内側には右側のスペーサ22をボルト17により締結固定してあると共に、該右側のコラム24の下面24bの外側にはX軸リニアモータ14の可動部14bを取り付けてある。また、右側のコラム24の上面24aにはY軸ベース25をボルト17により締結固定してある。尚、右側のコラム24の上下両面24a,24bの四隅にはボルト挿通孔24cをそれぞれ形成してある。   As shown in FIGS. 10 to 12, the upper and lower surfaces (component mounting surfaces) 24 a and 24 b of the right column (the other column) 24 have rectangular plate shapes that allow negligible thermal expansion (less thermal deformation). A plurality of small metal pieces 50 are bonded to each other in the left-right and front-rear directions via a small interval via an adhesive. As a result, a predetermined thickness of the adhesive plate thickness T is formed on the upper and lower surfaces 24a and 24b of the right column 24. The machining allowance S is grounded from the adhesive plate thickness T and the like with high accuracy. 24b is formed. As shown in FIG. 3, a right spacer 22 is fastened and fixed to the inner side of the lower surface 24b of the right column 24 by a bolt 17, and an X-axis linear is connected to the outer side of the lower surface 24b of the right column 24. A movable portion 14b of the motor 14 is attached. A Y-axis base 25 is fastened and fixed to the upper surface 24 a of the right column 24 with bolts 17. In addition, bolt insertion holes 24c are formed at the four corners of the upper and lower surfaces 24a and 24b of the right column 24, respectively.

図13〜図16に示すように、Y軸ベース25は、炭素繊維強化合成樹脂或いはガラス繊維強化合成樹脂等の繊維強化合成樹脂により四角筒状に形成してある。このY軸ベース25の上面25aのリニアモータ取付面(部品取付面)25dと正面25bの一対のガイドレール取付面(部品取付面)25e,25e及び下面25cの両側の一対のコラム取付面(部品取付面)25f,25fには、熱膨張を無視できるような(熱変形が少ない)矩形板状の小さな金属片50を微小間隔を介して左右及び前後方向に複数それぞれ接着剤を介して接着してある。これにより、リニアモータ取付面25dと各ガイドレール取付面25e及び各コラム取付面25fには所定厚の接着板厚Tが形成され、この接着板厚Tより機械加工代S分を研削加工等して高精度のリニアモータ取付面25dと各ガイドレール取付面25e及び各コラム取付面25f,25fがそれぞれ形成されるようになっている。   As shown in FIGS. 13 to 16, the Y-axis base 25 is formed in a rectangular tube shape from a fiber reinforced synthetic resin such as a carbon fiber reinforced synthetic resin or a glass fiber reinforced synthetic resin. A linear motor mounting surface (component mounting surface) 25d on the upper surface 25a of the Y-axis base 25 and a pair of guide rail mounting surfaces (component mounting surfaces) 25e, 25e on the front surface 25b and a pair of column mounting surfaces (components) on both sides of the lower surface 25c. On the mounting surfaces 25f and 25f, a plurality of small rectangular metal pieces 50 that can ignore thermal expansion (low thermal deformation) are adhered to each other in the left and right and front and rear directions via an adhesive, with a minute gap. It is. As a result, the adhesive plate thickness T of a predetermined thickness is formed on the linear motor mounting surface 25d, each guide rail mounting surface 25e, and each column mounting surface 25f, and the machining allowance S is ground from this adhesive plate thickness T. Thus, a highly accurate linear motor mounting surface 25d, guide rail mounting surfaces 25e, and column mounting surfaces 25f and 25f are formed, respectively.

そして、このY軸ベース25の上面25aのリニアモータ取付面25dにはY軸リニアモータ27の複数配列された永久磁石から成る固定部27aを平行になるように取り付けてあると共に、該Y軸ベース25の正面25bの各ガイドレール取付面25dにはY軸ガイドレール28をボルト19により固定してある。また、Y軸ベース25の下面25cの両側の一対のコラム取付面25e,25eには左右一対のコラム23,24の上部を各ボルト17を介して締結固定してある。さらに、Y軸ベース25の正面25bの中央にはY軸移動体30の位置を検出するリニアスケール29のスケル部29aを取り付けてある。   A fixed portion 27a composed of a plurality of permanent magnets arranged in a Y-axis linear motor 27 is attached to a linear motor mounting surface 25d on the upper surface 25a of the Y-axis base 25 so as to be parallel to the Y-axis base. A Y-axis guide rail 28 is fixed to each guide rail mounting surface 25 d of the front surface 25 b of the 25 by bolts 19. Further, the upper portions of the pair of left and right columns 23 and 24 are fastened and fixed to the pair of column mounting surfaces 25e and 25e on both sides of the lower surface 25c of the Y-axis base 25 through bolts 17, respectively. Further, a skeleton portion 29 a of a linear scale 29 that detects the position of the Y-axis moving body 30 is attached to the center of the front surface 25 b of the Y-axis base 25.

Y軸移動体30は、炭素繊維強化合成樹脂或いはガラス繊維強化合成樹脂等の繊維強化合成樹脂により矩形板状に形成してある。図1〜図3に示すように、このY軸移動体30の背面30bの上下側には各X軸ガイドレール28に沿って摺動するコ字状のガイド31をボルトにより締結固定してある。また、Y軸移動体30の背面30bの上端側にはY軸リニアモータ27の可動部27bを取り付けてある。さらに、Y軸移動体30の背面30bの中央には該Y軸移動体30の位置を検出するリニアスケール29のヘッド部(パルス出力部)29bを取り付けてある。また、Y軸移動体30の正面30aには、Z軸ユニット41を取り付けてある。   The Y-axis moving body 30 is formed in a rectangular plate shape from fiber reinforced synthetic resin such as carbon fiber reinforced synthetic resin or glass fiber reinforced synthetic resin. As shown in FIGS. 1 to 3, U-shaped guides 31 that slide along the X-axis guide rails 28 are fastened and fixed to the upper and lower sides of the back surface 30 b of the Y-axis moving body 30 by bolts. . A movable portion 27b of the Y-axis linear motor 27 is attached to the upper end side of the back surface 30b of the Y-axis moving body 30. Further, a head part (pulse output part) 29 b of a linear scale 29 for detecting the position of the Y-axis moving body 30 is attached to the center of the back surface 30 b of the Y-axis moving body 30. A Z-axis unit 41 is attached to the front surface 30 a of the Y-axis moving body 30.

尚、Y軸移動体30の正面30aのガイド取付面とリニアモータ取付面及び該Y軸移動体30の背面30bのユニット取付面には、前述したX軸移動体20と同様に、熱膨張を無視できるような(熱変形が少ない)矩形板状の小さな金属片を微小間隔を介して左右及び前後方向に複数それぞれ接着剤を介して接着してあり、この接着板の研削加工等した高精度の各取付面に前記ガイド31とY軸リニアモータ27の可動部27b及びZ軸ユニット41をそれぞれ取り付けてある。また、各図中、金属片50の接着後の寸法を符号Hで示すと共に、加工後の寸法を符号Lで示す。   The guide mounting surface and the linear motor mounting surface on the front surface 30a of the Y-axis moving body 30 and the unit mounting surface on the back surface 30b of the Y-axis moving body 30 are subjected to thermal expansion in the same manner as the X-axis moving body 20 described above. A small piece of rectangular plate-like metal that is negligible (low thermal deformation) is bonded to the left and right and front and back via a small distance via an adhesive, and this adhesive plate is ground and processed with high precision. The guide 31, the movable portion 27b of the Y-axis linear motor 27, and the Z-axis unit 41 are respectively attached to the mounting surfaces. Moreover, in each figure, while the dimension after the metal piece 50 adhere | attaches is shown with the code | symbol H, the dimension after a process is shown with the code | symbol L. FIG.

以上実施形態のX−Yステージ装置10によれば、装置本体11と、X軸移動体20の各スペーサ21,22と各コラム23,24及びY軸ベース25と、Y軸移動体30とを炭素繊維強化合成樹脂或いはガラス繊維強化合成樹脂等の繊維強化合成樹脂によりそれぞれ形成し、かつ、装置本体11のガイドレール取付面11bとリニアモータ取付面11cと、X軸移動体20の各コラム23,24の上,下面23a,23b及び24a,24bとY軸ベース25のリニアモータ取付面25dとガイドレール取付面25eとコラム取付面25f、及び、Y軸移動体30のガイド取付面とリニアモータ取付面及びユニット取付面との各部品取付面に熱変形が少ない小さな金属片50を複数接着して所定厚の機械加工代Sをそれぞれ形成したことにより、繊維強化合成樹脂製の装置本体11及び各移動体20,30の各部品取付面に予め接着された複数の金属片50から成る所定厚の機械加工代Sの部分を研削加工等の機械加工することができる。   According to the XY stage apparatus 10 of the above embodiment, the apparatus main body 11, the spacers 21 and 22 of the X axis moving body 20, the columns 23 and 24, the Y axis base 25, and the Y axis moving body 30. The guide rail mounting surface 11b and the linear motor mounting surface 11c of the apparatus main body 11 and the columns 23 of the X-axis moving body 20 are formed of fiber reinforced synthetic resin such as carbon fiber reinforced synthetic resin or glass fiber reinforced synthetic resin. 24, upper and lower surfaces 23a, 23b and 24a, 24b, a linear motor mounting surface 25d, a guide rail mounting surface 25e, a column mounting surface 25f of the Y-axis base 25, and a guide mounting surface of the Y-axis moving body 30 and a linear motor. Forming a machining allowance S of a predetermined thickness by bonding a plurality of small metal pieces 50 with little thermal deformation to the component mounting surfaces of the mounting surface and the unit mounting surface. Machine portion S of a predetermined thickness composed of a plurality of metal pieces 50 bonded in advance to the component mounting surfaces of the fiber reinforced synthetic resin device body 11 and the moving bodies 20 and 30, such as a grinding machine Can be processed.

これにより、繊維強化合成樹脂製の装置本体11と各移動体20,30の繊維に傷を付けずに、その強度を損なうことなく、研削加工等の高精度な機械加工が可能となり、この高精度な各部品取付面に各部品を取り付けることができる。その結果、熱変形が少なく、全体がより軽量で制振性に優れた高性能なX−Yステージ装置10を提供することができる。   This enables high-precision machining such as grinding without damaging the fibers of the device body 11 made of fiber-reinforced synthetic resin and the movable bodies 20 and 30 without damaging the strength. Each component can be mounted on each accurate component mounting surface. As a result, it is possible to provide a high-performance XY stage apparatus 10 that has less thermal deformation, is lighter overall, and has excellent vibration damping properties.

図17は本発明の他の実施形態のX−Yステージ装置に用いられる装置本体の正面図、図18は同装置に用いられる移動体の一部を構成する一方のコラムの正面図、図19は同の移動体の一部を構成する他方のコラムの正面図、図20は同移動体の一部を構成するY軸ベースの側面図である。   17 is a front view of an apparatus main body used in an XY stage apparatus according to another embodiment of the present invention, FIG. 18 is a front view of one column constituting a part of a moving body used in the apparatus, and FIG. FIG. 20 is a front view of the other column that constitutes a part of the movable body, and FIG. 20 is a side view of a Y-axis base that constitutes a part of the movable body.

この他の実施形態では、装置本体11と、X軸移動体20の各スペーサ21,22と各コラム23,24及びY軸ベース25と、Y軸移動体30とを炭素繊維強化合成樹脂或いはガラス繊維強化合成樹脂等の繊維強化合成樹脂によりそれぞれ形成し、かつ、図17〜図20に示すように、装置本体11のガイドレール取付面11bとリニアモータ取付面11cと、X軸移動体20の各コラム23,24の上,下面23a,23b及び24a,24bとY軸ベース25のリニアモータ取付面25dとガイドレール取付面25eとコラム取付面25fの各部品取付面に硬質クロムメッキ51を施したり、或いは、セラミック52を溶射(コーティング)して所定厚の機械加工代を形成してある。これにより、装置本体11のガイドレール取付面11bとリニアモータ取付面11cと、X軸移動体20の各コラム23,24の上,下面23a,23b及び24a,24bとY軸ベース25のリニアモータ取付面25dとガイドレール取付面25eとコラム取付面25fの各部品取付面に所定厚のメッキ或いは溶射厚Tが形成され、このメッキ或いは溶射厚Tより機械加工代S分を研削加工等して高精度のリニアモータ取付面11c,25dと各ガイドレール取付面11b,25eと上,下面23a,23b及び24a,24b及び各コラム取付面25f,25fがそれぞれ形成されるようになっている。   In this other embodiment, the apparatus main body 11, the spacers 21 and 22 of the X-axis moving body 20, the columns 23 and 24, the Y-axis base 25, and the Y-axis moving body 30 are made of carbon fiber reinforced synthetic resin or glass. As shown in FIGS. 17 to 20, the guide rail mounting surface 11 b, the linear motor mounting surface 11 c of the apparatus main body 11, and the X-axis moving body 20 are respectively formed of a fiber reinforced synthetic resin such as a fiber reinforced synthetic resin. Hard chrome plating 51 is applied to the respective component mounting surfaces of the upper and lower surfaces 23a, 23b and 24a, 24b of the columns 23, 24, the linear motor mounting surface 25d, the guide rail mounting surface 25e, and the column mounting surface 25f of the Y-axis base 25. Alternatively, the machining allowance of a predetermined thickness is formed by thermal spraying (coating) the ceramic 52. Thereby, the guide rail mounting surface 11b and the linear motor mounting surface 11c of the apparatus main body 11, the upper and lower surfaces 23a and 23b and 24a and 24b of each column 23 and 24 of the X-axis moving body 20, and the linear motor of the Y-axis base 25 A predetermined thickness of plating or sprayed thickness T is formed on each of the component mounting surfaces of the mounting surface 25d, the guide rail mounting surface 25e, and the column mounting surface 25f, and the machining allowance S is ground by this plating or spraying thickness T. High-precision linear motor mounting surfaces 11c and 25d, guide rail mounting surfaces 11b and 25e, upper and lower surfaces 23a and 23b and 24a and 24b, and column mounting surfaces 25f and 25f are formed, respectively.

このように、繊維強化合成樹脂の装置本体11及びX軸移動体20の各部品取付面に予め硬質クロムメッキ51を施したり、或いは、セラミック52を溶射して成る所定厚の機械加工代Sの部分を機械加工することができる。これにより、繊維強化合成樹脂製の装置本体11及びX軸移動体20の繊維に傷を付けずに、その強度を損なうことなく、研削加工等の高精度な機械加工が可能となり、熱変形が少なく、全体がより軽量で制振性に優れた高性能なX−Yステージ装置10を提供することができる。   In this way, the machine mounting allowance S of a predetermined thickness formed by applying hard chrome plating 51 in advance to the component mounting surfaces of the fiber reinforced synthetic resin device main body 11 and the X-axis moving body 20 or spraying the ceramic 52. The part can be machined. This enables high-precision machining such as grinding without damaging the fibers of the device body 11 and the X-axis moving body 20 made of fiber-reinforced synthetic resin and without damaging the strength, thereby preventing thermal deformation. It is possible to provide a high-performance XY stage apparatus 10 that is less in number and is lighter overall and excellent in vibration damping.

尚、前記各実施形態によれば、ベースとしての装置本体を繊維強化合成樹脂で形成したが、グラナイト等の石定盤を用いても良い。また、前記各実施形態によれば、繊維強化合成樹脂製の装置本体の上面の各部品取付面等に部分的に熱変形が少ない小さな金属片を接着等したが、その上面等の全体に熱変形が少ない小さな金属片を接着等しても良いことは勿論である。   In addition, according to each said embodiment, although the apparatus main body as a base was formed with the fiber reinforced synthetic resin, you may use stone surface plates, such as a granite. Further, according to each of the above embodiments, a small metal piece with little thermal deformation is bonded to each component mounting surface on the upper surface of the fiber reinforced synthetic resin device body, but the entire upper surface is heated. Of course, a small metal piece with little deformation may be bonded.

本発明の実施形態の基板検査装置に用いて好適なX−Yステージ装置を示す平面図である。It is a top view which shows the XY stage apparatus suitable for using for the board | substrate inspection apparatus of embodiment of this invention. 上記X−Yステージ装置の側面図である。It is a side view of the said XY stage apparatus. 上記X−Yステージ装置の正面図である。It is a front view of the said XY stage apparatus. 上記X−Yステージ装置に用いられる装置本体の平面図である。It is a top view of the apparatus main body used for the said XY stage apparatus. 上記装置本体の要部を示す部分平面図である。It is a fragmentary top view which shows the principal part of the said apparatus main body. 上記装置本体の正面図である。It is a front view of the said apparatus main body. 上記X−Yステージ装置に用いられる移動体の一部を構成する一方のコラムの側面図である。It is a side view of one column which comprises a part of moving body used for the said XY stage apparatus. 上記一方のコラムの平面図である。It is a top view of the said one column. 上記一方のコラムの正面図である。It is a front view of the said one column. 上記移動体の一部を構成する他方のコラムの側面図である。It is a side view of the other column which comprises a part of said moving body. 上記他方のコラムの平面図である。It is a top view of the other column. 上記他方のコラムの正面図である。It is a front view of the other column. 上記移動体の一部を構成するY軸ベースの正面図である。It is a front view of the Y-axis base which comprises a part of said moving body. 上記Y軸ベースの平面図である。It is a top view of the said Y-axis base. 上記Y軸ベースの要部を示す部分正面図である。It is a partial front view which shows the principal part of the said Y-axis base. 上記Y軸ベースの側面図である。It is a side view of the said Y-axis base. 本発明の他の実施形態のX−Yステージ装置に用いられる装置本体の正面図である。It is a front view of the apparatus main body used for the XY stage apparatus of other embodiment of this invention. 上記他の実施形態のX−Yステージ装置に用いられる移動体の一部を構成する一方のコラムの正面図である。It is a front view of one column which comprises a part of moving body used for the XY stage apparatus of the said other embodiment. 上記他の実施形態の移動体の一部を構成する他方のコラムの正面図である。It is a front view of the other column which comprises a part of moving body of the said other embodiment. 上記他の実施形態の移動体の一部を構成するY軸ベースの側面図である。It is a side view of the Y-axis base which comprises some moving bodies of the said other embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

10 X−Yステージ装置
11 装置本体
11a 上面
11b ガイドレール取付面(部品取付面)
11c リニアモータ取付面(部品取付面)
12 X軸ガイドレール(ガイド部材)
20 X軸移動体(一方の移動体)
23 一方のコラム
23a 上面(部品取付面)
23b 下面(部品取付面)
24 他方のコラム
24a 上面(部品取付面)
24b 下面(部品取付面)
25d リニアモータ取付面(部品取付面)
25e ガイドレール取付面(部品取付面)
25f コラム取付面(部品取付面)
28 Y軸ガイドレール(ガイド部材)
30 Y軸移動体(他方の移動体)
50 熱変形が少ない小さな金属片
51 硬質クロムメッキ
52 セラミック
S 機械加工代
10 XY stage device 11 device body 11a upper surface 11b guide rail mounting surface (component mounting surface)
11c Linear motor mounting surface (component mounting surface)
12 X-axis guide rail (guide member)
20 X-axis moving body (one moving body)
23 One column 23a Upper surface (component mounting surface)
23b Bottom surface (component mounting surface)
24 Other column 24a Upper surface (component mounting surface)
24b Bottom surface (component mounting surface)
25d Linear motor mounting surface (component mounting surface)
25e Guide rail mounting surface (component mounting surface)
25f Column mounting surface (component mounting surface)
28 Y-axis guide rail (guide member)
30 Y-axis moving body (the other moving body)
50 Small metal piece with little thermal deformation 51 Hard chrome plating 52 Ceramic S Machining allowance

Claims (6)

上面にガイド部材を配置した装置本体と、この装置本体上の前記ガイド部材に沿って一軸方向に移動する一方の移動体と、この一方の移動体に配置されたガイド部材に沿って前記一軸方向と直交する他軸方向に移動する他方の移動体と、を備えたX−Yステージ装置において、
前記装置本体と前記各移動体のうちの少なくとも該各移動体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該各移動体の少なくとも部品取付面に熱変形が少ない小さな金属片を複数接着して所定厚の機械加工代を形成したことを特徴とするX−Yステージ装置。
The apparatus main body having a guide member disposed on the upper surface, one moving body that moves in a uniaxial direction along the guide member on the apparatus main body, and the uniaxial direction along the guide member disposed on the one moving body An XY stage apparatus comprising: the other moving body that moves in the direction of the other axis orthogonal to
At least each of the moving bodies of the apparatus main body and the moving bodies is formed of a fiber reinforced synthetic resin, and a plurality of small metal pieces with little thermal deformation are bonded to at least a part mounting surface of the moving bodies. An XY stage apparatus characterized by forming a machining allowance for a thickness.
請求項1記載のX−Yステージ装置であって、
前記装置本体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該装置本体の少なくとも部品取付面に熱変形が少ない小さな金属片を複数接着して所定厚の機械加工代を形成したことを特徴とするX−Yステージ装置。
The XY stage apparatus according to claim 1,
The apparatus main body is formed of a fiber reinforced synthetic resin, and a machining allowance having a predetermined thickness is formed by bonding a plurality of small metal pieces with little thermal deformation to at least a component mounting surface of the apparatus main body. -Y stage device.
上面にガイド部材を配置した装置本体と、この装置本体上の前記ガイド部材に沿って一軸方向に移動する一方の移動体と、この一方の移動体に配置されたガイド部材に沿って前記一軸方向と直交する他軸方向に移動する他方の移動体と、を備えたX−Yステージ装置において、
前記装置本体と前記各移動体のうちの少なくとも該各移動体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該各移動体の少なくとも部品取付面にメッキを施して所定厚の機械加工代を形成したことを特徴とするX−Yステージ装置。
The apparatus main body having a guide member disposed on the upper surface, one moving body that moves in a uniaxial direction along the guide member on the apparatus main body, and the uniaxial direction along the guide member disposed on the one moving body An XY stage apparatus comprising: the other moving body that moves in the direction of the other axis orthogonal to
At least each moving body of the apparatus main body and each moving body is formed of fiber reinforced synthetic resin, and at least a part mounting surface of each moving body is plated to form a machining allowance having a predetermined thickness. The XY stage apparatus characterized by the above-mentioned.
請求項3記載のX−Yステージ装置であって、
前記装置本体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該装置本体の少なくとも部品取付面に硬質クロムメッキを施して所定厚の機械加工代を形成したことを特徴とするX−Yステージ装置。
The XY stage apparatus according to claim 3,
An XY stage apparatus characterized in that the apparatus main body is formed of fiber reinforced synthetic resin, and at least a part mounting surface of the apparatus main body is subjected to hard chrome plating to form a machining allowance having a predetermined thickness.
上面にガイド部材を配置した装置本体と、この装置本体上の前記ガイド部材に沿って一軸方向に移動する一方の移動体と、この一方の移動体に配置されたガイド部材に沿って前記一軸方向と直交する他軸方向に移動する他方の移動体と、を備えたX−Yステージ装置において、
前記装置本体と前記各移動体のうちの少なくとも該各移動体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該各移動体の少なくとも部品取付面にセラミックを溶射して所定厚の機械加工代を形成したことを特徴とするX−Yステージ装置。
The apparatus main body having a guide member disposed on the upper surface, one moving body that moves in a uniaxial direction along the guide member on the apparatus main body, and the uniaxial direction along the guide member disposed on the one moving body An XY stage apparatus comprising: the other moving body that moves in the direction of the other axis orthogonal to
At least each of the moving bodies of the apparatus main body and the moving bodies is formed of a fiber reinforced synthetic resin, and at least a part mounting surface of the moving bodies is thermally sprayed to form a machining allowance having a predetermined thickness. An XY stage apparatus characterized by that.
請求項5記載のX−Yステージ装置であって、
前記装置本体を繊維強化合成樹脂で形成し、かつ、該装置本体の少なくとも部品取付面にセラミックを溶射して所定厚の機械加工代を形成したことを特徴とするX−Yステージ装置。
The XY stage apparatus according to claim 5,
An XY stage apparatus, wherein the apparatus main body is formed of a fiber reinforced synthetic resin, and a machining allowance having a predetermined thickness is formed by spraying ceramic on at least a component mounting surface of the apparatus main body.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP4759094B1 (en) * 2010-12-28 2011-08-31 株式会社進興製作所 XY table
CN105583638A (en) * 2014-10-22 2016-05-18 维嘉数控科技(苏州)有限公司 Gantry structure
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