JP2006202781A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 入射光に対する屈折率が可変である第１のエタロンと、
   前記第１のエタロンを透過した入射光を反射するミラーとを備え、
   前記第１のエタロンは、前記ミラーに固定されていることを特徴とする波長選択ミラーユニット。
2. 前記第１のエタロンは、スペーサを介して前記ミラーに固定されていることを特徴とする請求項１記載の波長選択ミラーユニット。
3. 前記ミラーと前記第１のエタロンとは、非平行であることを特徴とする請求項２記載の波長選択ミラーユニット。
4. 前記ミラーは、所定の波長の光に対して相対的に高い反射強度を有し、前記第１のエタロンの周期的な透過波長ピークのうち一部の波長ピークに対して高い反射強度を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の波長選択ミラーユニット。
5. 前記ミラーは、所望の反射光の中心波長の実質的に１／４の厚さの誘電体が複数積層されていることを特徴とする請求項４記載の波長選択ミラーユニット。
6. 前記第１のエタロンの入射光に対する屈折率は、前記第１のエタロンの温度または前記第１のエタロンに印加される電圧に応じて変化することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の波長選択ミラーユニット。
7. 第２のエタロンをさらに備えることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の波長選択ミラーユニット。
8. 前記第２のエタロンの入射光に対する屈折率は一定であり、前記第２のエタロンの周期的な透過波長ピークの周期は、前記第１のエタロンの周期的な透過波長ピークの周期よりも小さいことを特徴とする請求項７記載の波長選択ミラーユニット。
9. 前記第２のエタロンは、入射光に対する屈折率が可変であるエタロンであることを特徴とする請求項７記載の波長選択ミラーユニット。
10. 前記第２のエタロンは、スペーサを介して前記波長選択ミラーユニットに固定されていることを特徴とする請求項７記載の波長選択ミラーユニット。
11. 前記ミラーと前記第２のエタロンとは、非平行であることを特徴とする請求項７記載の波長選択ミラーユニット。
12. 入射される光のピーク波長の位相を調整する位相調整手段をさらに備え、
    前記位相調整手段は、前記波長選択ミラーユニットに固定されていることを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載の波長選択ミラーユニット。