JP2006201409A - 光学フィルタ、光学フィルタを用いた波長多重光カプラ、およびその製造方法 - Google Patents

光学フィルタ、光学フィルタを用いた波長多重光カプラ、およびその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2006201409A
JP2006201409A JP2005012113A JP2005012113A JP2006201409A JP 2006201409 A JP2006201409 A JP 2006201409A JP 2005012113 A JP2005012113 A JP 2005012113A JP 2005012113 A JP2005012113 A JP 2005012113A JP 2006201409 A JP2006201409 A JP 2006201409A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
optical
wavelength
optical filter
lens
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2005012113A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2006201409A5 (ja
Inventor
Hiroshi Ito
拓 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Sheet Glass Co Ltd
Original Assignee
Nippon Sheet Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Sheet Glass Co Ltd filed Critical Nippon Sheet Glass Co Ltd
Priority to JP2005012113A priority Critical patent/JP2006201409A/ja
Priority to US11/334,756 priority patent/US7356223B2/en
Publication of JP2006201409A publication Critical patent/JP2006201409A/ja
Publication of JP2006201409A5 publication Critical patent/JP2006201409A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Optical Filters (AREA)

Abstract

【課題】 単純な工程で作製可能で、高いアイソレーションを有し、かつ小型で安価な光学フィルタを用いた波長多重光カプラおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】 波長多重光カプラでは、第２の光学フィルタ４３が、第１のレンズの第１面３１ａ上の、入射光通過領域５１を除いた部分で少なくとも出射光通過領域５２に形成された誘電体多層膜４３Ａと、この多層膜の上に形成された反射防止膜５０Ａとの積層膜で構成される。誘電体多層膜４３Ａのみを第１面３１ａ上に部分成膜し、反射防止膜５０Ａはその第１面３１ａの全面に成膜すればよい。誘電体多層膜４３Ａの成膜時にのみ、入射光通過領域５１に遮蔽材料を塗布するマスキング工程とその遮蔽材料を除去する工程を行えばよい。
【選択図】 図２

Description

本発明は、光学フィルタ、光学フィルタを用いた波長多重光カプラ、および波長多重光カプラおよびその製造方法に関するものである。
従来、加入者と局の間のアクセス系に光通信を導入するＦＴＴｘ（Fiber To The x, x=Home ）用のネットワーク方式の一つにＰＯＮ（Passive Optical Network ）がある。こ
れには加入者から局への上り信号と局から加入者への下り信号に異なる波長の光を用いる。また、さらに異なる波長のアナログ信号（画像信号）を多重化して用いる場合がある。例えば、上り信号（Upstream Data ）に１３１０ｎｍ帯、下り信号（Downstream Data ）に１４９０ｎｍ帯または１５５０ｎｍ帯がそれぞれ用いられる。このため、局側と加入者側に設けるＯＬＴ（Optical Line Termination ）或いはＯＮＵ（Optical Network Unit ）にはそれぞれの波長の信号を分波・合波するための波長多重光カプラが必要となる。
上記のような目的に用いる波長多重光カプラとして、図１５に示すような構成のものが知られている（例えば、特許文献１参照）。この波長多重光カプラでは、２つの波長λ１，λ２を合分波するため、所定の透過波長帯域をもつ光学フィルタ２０６を用いる。λ１，λ２が多重化された光が入射光用光ファイバ２０１から入射し、レンズ２０４で平行光に変換されて光学フィルタ２０６に入射される。波長λ１の光は光学フィルタ２０６で反射され、レンズ２０４を介して第１の出射光用ファイバ２０２に結合される。波長λ２の光は光学フィルタ２０６を透過し、レンズ２０５により集光されて、第２の出射光用光ファイバ２０３に結合される。
この光カプラは、入射光用光ファイバ２０１を共通ポート、出射光用光ファイバ２０２を反射ポート、出射光用光ファイバ２０３を透過ポートとする３ポートカプラとも呼ばれる。３ポートカプラの内部構成としては、２本の光ファイバとコリメートレンズからなる２芯コリメータと、１本の光ファイバとコリメートレンズからなる単芯コリメータとの間に、バンドパスフィルタを挿入したタイプ（特許文献１）や、Ｙ字状に分岐する光導波路の分岐部にバンドパスフィルタを挿入したタイプ（特許文献２）等が知られている。
前者のタイプでコリメートレンズとして屈折率分布型ロッドレンズを用いると、このレンズは円柱状であり、光入出射面となる端面を平面とすることができるため、光学フィルタや光ファイバと組み合わせて組み立て易く、また小型化が可能である（例えば、特許文献３参照）。
光学フィルタとしては、所定波長帯の光のみ透過するバンドパスフィルタ、または所定波長を透過波長帯の端部（波長エッジ）とするエッジフィルタ（長波長透過型または短波長透過型がある）を用いることができる。
また、３波長以上の合分波を行うカプラとして、例えば、特許文献４，特許文献５にそれぞれ記載された技術がある。
特開平１−２９５２１０号公報 特開昭６３−３３７０７号公報 特開２００３−２４０９６０号公報 特開昭５４−１７０４４号公報 米国特許第４４７４４２４号公報
ところで、上記の波長多重光カプラでは、反射ポート、透過ポートに所定波長帯以外の波長の光が混入する量がどの程度かを示す漏話阻止量（アイソレーション）が重要な特性である。ところが、通常の光学フィルタでは、その表面等で生じるフィルタ特性に関係のないいわゆる残留反射が存在する。このため、上記特許文献１〜３に記載されるような光カプラでは、各フィルタの反射光を利用する反射ポートのアイソレーションは通常１２ｄＢ程度、透過リップルを適切に調整できてもせいぜい１８ｄＢ程度を得るのが限度である。このため、すべてのチャンネル（ポート）のアイソレーションを高くする（２０ｄＢ以上にする）ことは困難であった。
本発明の目的は、製造工程の簡略化を図れる光学フィルタを提供することにある。
また、本発明の別の目的は、単純な工程で作製可能で、高いアイソレーションを有し、かつ小型で安価な光学フィルタを用いた波長多重光カプラおよびその製造方法を提供することにある。
上記課題を解決するために、請求項１に係る発明は、透明基板上の一部分に所定波長範囲の光を透過または反射するように設計された第１の誘電体多層膜が形成され、その他の部分には対象波長範囲全体において反射率が所定値以下となるように設計された第２の誘電体多層膜が設けられている光学フィルタにおいて、前記第１の誘電体多層膜の膜構成中いずれか一方の側の膜構成が第２の誘電体多層膜の膜構成に一致していることを要旨とする。
ここにいう「所定波長範囲」には、エッジフィルタの場合のように片側の波長だけ決まっている場合と、バンドパスフィルタのように両側の波長が決まっている場合の両方が含まれる。また、「対象波長範囲」は、使用が想定される波長範囲を意味する。
これによれば、第１の誘電体多層膜のみを透明基板の所定領域（一部分）に形成すればよく、第２の誘電体多層膜は成膜するだけで加工の必要がなく、同一基板上の一部とその他の部分に波長特性の異なる２種類以上の誘電体多層膜を有する光学フィルタの製造工程を簡略化することができる。これにより、同光学フィルタを低コストで製造することができる。
このような光学フィルタは、波長多重光カプラに応用できる他、部分的に成膜したエッジフィルタ等の誘電体多層膜の周辺部から、広い波長範囲の光が反射するのは望ましくないので、その反射を抑制するためにその誘電体多層膜と同じ面上に反射防止膜を設ける必要のあるような場合に広く適用可能となる。つまり、本発明は、透明基板上の一部分にエッジフィルタやバンドパスフィルタ等の第１の誘電体多層膜を有し、その他の部分に反射防止膜としての第２の誘電体多層膜を有し、種々の分野で使用可能な光学フィルタの製造工程を簡略化することができる。
請求項２に係る発明は、複数の波長の光信号が多重化された入射光が１本の入射光用光ファイバから入射されたとき、前記入射光を波長毎の光信号に分離して、複数の出射光用光ファイバに振り分ける、光学フィルタを用いた波長多重光カプラにおいて、前記入射光用光ファイバから出射され第１面から入射する前記入射光を平行光に変換して第２面から出射する第１のレンズと、該レンズの前記第２面側に配置され、前記複数の波長のうち第１の波長の光を反射する第１の光学フィルタを含む第１のフィルタ群と、前記第１の光学フィルタにより反射された平行光が前記第１面から出射して集光される位置に端面が位置
するように配置された第１の出射光用光ファイバと、該光ファイバの端面と前記第１面の間に配置され、第１の波長の光を透過しそれ以外の波長の光を反射する第２の光学フィルタを含む第２のフィルタ群を構成する光学フィルタ素子と、を備え、前記光学フィルタ素子は前記第２のフィルタ群に加えて反射防止膜を備え、前記第１のレンズの第１面上の、前記入射光用光ファイバの端面から出射される前記入射光が通過する入射光通過領域を除いた部分で、少なくとも前記第１の光学フィルタからの反射光が通過する出射光通過領域に、所定の膜構成の誘電体多層膜が形成されており、前記誘電体多層膜の上から、前記第１面の全面に、前記入射光の反射損失を抑制するための前記反射防止膜が形成されており、前記第２の光学フィルタは、前記所定の膜構成の誘電体多層膜と前記反射防止膜の積層膜で構成されることを要旨とする。
これによれば、第１のレンズの第１面に第１の波長の光を透過しそれ以外の波長の光を反射する第２の光学フィルタを設けたことにより、第１のフィルタ群の第１の光学フィルタからの反射光中に存在する残留反射成分を除去できるので、第２の光学フィルタの透過光（第１の波長の光）にその波長以外の光が混入する量が低減される。これにより、第１の光学フィルタの反射光を利用するポートのアイソレーションが改善される。つまり、第２の光学フィルタを透過して第１の出射光用光ファイバに結合する透過光のアイソレーションを高くすることができる。
また、第２の光学フィルタが、第１のレンズの第１面上の、入射光通過領域を除いた部分で少なくとも出射光通過領域に形成された所定の膜構成の誘電体多層膜と、該誘電体多層膜の上から第１面の全面に形成された反射防止膜との積層膜で構成されている。このため、誘電体多層膜のみを第１面上に部分成膜し、反射防止膜は第１面の全面に成膜すればよいので、誘電体多層膜の成膜時にのみ、第１面上の入射光通過領域に樹脂等の遮蔽材料を塗布するマスキング工程とその遮蔽材料を除去する工程とを行えばよい。したがって、反射光を利用するポートのアイソレーションを改善するための光学フィルタと入射光の反射損失を低減するための反射防止膜を単純な工程で作製できる。また、第２の光学フィルタは、第１の光学フィルタにより分波された光（同フィルタからの反射光）のうち、第１の波長を透過してそれ以外の波長成分を反射することで、第１の出射光用光ファイバに結合される出射光のアイソレーションを向上させるが、入射光には影響を及ぼさない。
請求項３に係る発明は、複数の波長の光信号が多重化された入射光が１本の入射光用光ファイバから入射されたとき、前記入射光を波長毎の光信号に分離して、複数の出射光用光ファイバに振り分ける、光学フィルタを用いた波長多重光カプラにおいて、前記入射光用光ファイバから出射され第１面から入射する前記入射光を平行光に変換して第２面から出射する第１のレンズと、該レンズの前記第２面側に配置され、前記複数の波長のうち第１の波長の光を反射する第１の光学フィルタを含む第１のフィルタ群と、前記第１の光学フィルタにより反射された平行光が前記第１面から出射して集光される位置に端面が位置するように配置された第１の出射光用光ファイバと、該光ファイバの端面と前記第１面の間に配置され、第１の波長の光を透過しそれ以外の波長の光を反射する第２の光学フィルタを含む第２のフィルタ群を構成する光学フィルタ素子と、を備え、前記光学フィルタ素子は前記第２のフィルタ群に加えて反射防止膜を備え、前記第１面の全面に、前記入射光の反射損失を抑制するための前記反射防止膜が形成されており、前記反射防止膜上の、前記入射光用光ファイバの端面から出射される前記入射光が通過する入射光通過領域を除いた部分で、少なくとも前記第１の光学フィルタからの反射光が通過する出射光通過領域に、所定の膜構成の誘電体多層膜が形成されており、前記第２の光学フィルタは、前記反射防止膜と前記所定の膜構成の誘電体多層膜の積層膜で構成されることを要旨とする。
これによれば、第１のレンズの第１面に第１の波長の光を透過しそれ以外の波長の光を反射する第２の光学フィルタを設けたことにより、第１のフィルタ群の第１の光学フィル
タからの反射光中に存在する残留反射成分を除去できるので、第２の光学フィルタの透過光（第１の波長の光）にその波長以外の光が混入する量が低減される。これにより、第１の光学フィルタの反射光を利用するポートのアイソレーションが改善される。つまり、第２の光学フィルタを透過して第１の出射光用光ファイバに結合する透過光のアイソレーションを高くすることができる。
また、第２の光学フィルタが、第１のレンズの第１面の全面に形成された反射防止膜と、該反射防止膜上の前記入射光通過領域を除いた部分で、少なくとも出射光通過領域に形成された誘電体多層膜との積層膜で構成されている。このため、反射防止膜は第１面の全面に成膜し、誘電体多層膜のみを反射防止膜上に部分成膜すればよいので、誘電体多層膜の成膜時にのみ、入射光通過領域に樹脂等の遮蔽材料を塗布するマスキング工程とその遮蔽材料を除去する工程とを行えばよい。したがって、反射光を利用するポートのアイソレーションを改善するための光学フィルタと入射光の反射損失を低減するための反射防止膜を単純な工程で作製できる。また、第２の光学フィルタは、第１の出射光用光ファイバに結合される出射光のアイソレーションを向上させるが、入射光には影響を及ぼさない。
請求項４に係る発明は、請求項２又は３に記載の光学フィルタを用いた波長多重光カプラにおいて、前記第１のレンズの第１面が平面であり、前記光学フィルタ素子は前記第１面に密着して設けられていることを要旨とする。これによれば、第１のレンズと光学フィルタ素子を一体化できるので、組立時の位置調整が容易になる。
請求項５に係る発明は、請求項４に記載の光学フィルタを用いた波長多重光カプラにおいて、前記第１のレンズは、前記第１面に相当する第１の端面と前記第２面に相当する第２の端面とを有する屈折率分布型ロッドレンズであることを要旨とする。これによれば、第１のレンズ、入射光用光ファイバ、および第１の出射光用光ファイバをほぼ直線上に配置することができ、小型で組立てが容易な波長多重光カプラを実現することができる。
請求項６に係る発明は、請求項２〜５のいずれか一つに記載の光学フィルタを用いた波長多重光カプラにおいて、前記第１のフィルタ群は、前記平行光の進行方向に沿って透過波長範囲が順に狭くなるように配列された複数の光学フィルタを含み、該複数の光学フィルタは、前記平行光に含まれる複数の波長の光信号をそれぞれ異なる方向に反射するように前記第１のレンズの光軸に対してそれぞれ異なる角度をなすように前記２面側に配置されており、前記第１の出射光用光ファイバは、前記第１のフィルタ群の各光学フィルタからの反射光がそれぞれ結合する位置に端面が位置するように配置された複数の光ファイバを含むことを要旨とする。これによれば、３種類以上の波長の光信号が多重化された入射光（波長多重信号）から各波長毎に光信号を分離して対応する各ポートの光ファイバに振り分けることができる。
請求項７に係る発明は、請求項２〜６のいずれか一つに記載の光学フィルタを用いた波長多重光カプラにおいて、前記第１のフィルタ群の全ての光学フィルタを透過して第３面から入射する入射光を、第４面から出射して集光する第２のレンズと、該第２のレンズにより集光された位置に端面が位置するように配置された第２の出射光用光ファイバと、をさらに含むことを要旨とする。これによれば、第１のフィルタ群の全ての光学フィルタを透過した光も利用することができる。
請求項８に係る発明は、２波長の光信号が多重化された入射光が１本の入射光用光ファイバから入射されたとき、前記入射光を波長毎の光信号に分離して、複数の出射光用光ファイバに振り分ける、光学フィルタを用いた波長多重光カプラにおいて、前記入射光用光ファイバから出射される入射光を第１面から入射し、平行光に変換して第２面から出射する第１のレンズと、該第１のレンズの第２面に対向して配置され前記平行光に変換された
入射光に含まれる第１の波長の光を反射し第２の波長の光を透過する第１の光学フィルタと、前記第１の光学フィルタにより反射された第１の波長の光が前記第１のレンズを介して集光される位置に端面が位置するように配置された第１の出射光用光ファイバと、前記第１のレンズの前記第１面に直接成膜により形成された第２の光学フィルタと、前記第１の光学フィルタを透過した第２の波長の光を集光する第２のレンズと、前記第２の波長の光が前記第２のレンズを介して集光される位置に端面が位置するように配置された第２の出射光用光ファイバと、を備え、前記第１のレンズの第１面上の、前記入射光用光ファイバの端面から出射される前記入射光が通過する入射光通過領域を除いた部分で、少なくとも前記第１の光学フィルタからの反射光が通過する出射光通過領域に、所定の膜構成の誘電体多層膜が形成されており、前記誘電体多層膜の上から、前記第１面の全面に、前記入射光の反射損失を抑制するための反射防止膜が形成されており、前記第２の光学フィルタは、前記所定の膜構成の誘電体多層膜と前記反射防止膜の積層膜で構成されることを要旨とする。
これによれば、第２の光学フィルタを設けたことにより、第１のフィルタからの反射光中に存在する残留反射成分を除去できるので、第２の光学フィルタの透過光（第１の波長の光）にその波長以外の光が混入する量が低減される。これにより、第１の光学フィルタの反射光を利用するポートのアイソレーションが改善され、２波長の光信号が多重化された入射光を波長毎の光信号に分離して、各出射光用光ファイバに振り分けることができ、小型で高アイソレーション特性を有する波長多重光カプラを実現することができる。
また、第２の光学フィルタが、第１のレンズの第１面上の、入射光通過領域を除いた部分で少なくとも出射光通過領域に形成された所定の膜構成の誘電体多層膜と、該誘電体多層膜の上から第１面の全面に形成された反射防止膜との積層膜で構成されている。このため、誘電体多層膜のみを第１面上に部分成膜し、反射防止膜は第１面の全面に成膜すればよいので、誘電体多層膜の成膜時にのみ、第１面上の入射光通過領域に樹脂等の遮蔽材料を塗布するマスキング工程とその遮蔽材料を除去する工程とを行えばよい。したがって、反射光を利用するポートのアイソレーションを改善するための光学フィルタと入射光の反射損失を低減するための反射防止膜を単純な工程で作製できる。また、第２の光学フィルタは、第１の光学フィルタにより分波された光（同フィルタからの反射光）のうち、第１の波長を透過してそれ以外の波長成分を反射することで、第１の出射光用光ファイバに結合される出射光のアイソレーションを向上させるが、入射光には影響を及ぼさない。
請求項９に係る発明は、２波長の光信号が多重化された入射光が１本の入射光用光ファイバから入射されたとき、前記入射光を波長毎の光信号に分離して、複数の出射光用光ファイバに振り分ける、光学フィルタを用いた波長多重光カプラにおいて、前記入射光用光ファイバから出射される入射光を第１面から入射し、平行光に変換して第２面から出射する第１のレンズと、該第１のレンズの第２面に対向して配置され前記平行光に変換された入射光に含まれる第１の波長の光を反射し第２の波長の光を透過する第１の光学フィルタと、前記第１の光学フィルタにより反射された第１の波長の光が前記第１のレンズを介して集光される位置に端面が位置するように配置された第１の出射光用光ファイバと、前記第１のレンズの前記第１面に直接成膜により形成された第２の光学フィルタと、前記第１の光学フィルタを透過した第２の波長の光を集光する第２のレンズと、前記第２の波長の光が前記第２のレンズを介して集光される位置に端面が位置するように配置された第２の出射光用光ファイバと、を備え、前記第１のレンズの第１面の全面に、前記入射光の反射損失を抑制するための反射防止膜が形成されており、前記反射防止膜上の、前記入射光用光ファイバの端面から出射される前記入射光が通過する入射光通過領域を除いた部分で、少なくとも前記第１の光学フィルタからの反射光が通過する出射光通過領域に、所定の膜構成の誘電体多層膜が形成されており、前記第２の光学フィルタは、前記反射防止膜と前記所定の膜構成の誘電体多層膜の積層膜で構成されることを要旨とする。
これによれば、第２の光学フィルタを設けたことにより、第１のフィルタからの反射光中に存在する残留反射成分を除去できるので、第２の光学フィルタの透過光（第２の波長の光）にその波長以外の光が混入する量が低減される。これにより、第１の光学フィルタの反射光を利用するポートのアイソレーションが改善され、２波長の光信号が多重化された入射光を波長毎の光信号に分離して、各出射光用光ファイバに振り分けることができ、小型で高アイソレーション特性を有する波長多重光カプラを実現することができる。
また、第２の光学フィルタが、第１のレンズの第１面の全面に形成された反射防止膜と、該反射防止膜上の前記入射光通過領域を除いた部分で、少なくとも出射光通過領域に形成された誘電体多層膜との積層膜で構成されている。このため、反射防止膜は第１面の全面に成膜し、誘電体多層膜のみを反射防止膜上に部分成膜すればよいので、誘電体多層膜の成膜時にのみ、入射光通過領域に樹脂等の遮蔽材料を塗布するマスキング工程とその遮蔽材料を除去する工程とを行えばよい。したがって、反射光を利用するポートのアイソレーションを改善するための光学フィルタと入射光の反射損失を低減するための反射防止膜を単純な工程で作製できる。また、第２の光学フィルタは、第１の出射光用光ファイバに結合される出射光のアイソレーションを向上させるが、入射光には影響を及ぼさない。
請求項１０に係る発明は、請求項８又は９に記載の光学フィルタを用いた波長多重光カプラにおいて、前記第１の波長と第２の波長は、１２６０〜１３６０ｎｍ、１４８０〜１５００ｎｍ、および１５５０〜１５６０ｎｍの各波長範囲のいずれかを含むことを要旨とする。これによれば、第１の波長と第２の波長を上記３つの波長範囲のいずれかを選択することにより、ＦＴＴｘ用等の上り下り信号とアナログ画像信号を、既設の光ファイバ網に適合した波長域で伝送することが可能となる。
請求項１１に係る発明は、請求項２に記載の波長多重光カプラの製造方法において、前記第１のレンズの第１面上の、前記入射光通過領域をマスクする工程と、前記入射光通過領域がマスクされた前記第１面上に所定の膜構成の誘電体多層膜を成膜する工程と、前記マスクを該マスク上に形成された前記誘電体多層膜と共に除去する工程と、前記誘電体多層膜の上から、前記第１面の全面に反射防止膜を成膜する工程と、を含むことを要旨とする。これによれば、反射光を利用するポートのアイソレーションを改善するための光学フィルタと入射光の反射損失を低減するための反射防止膜を単純な工程で作製できる。
請求項１２に係る発明は、請求項３に記載の波長多重光カプラの製造方法において、前記第１のレンズの第１面の全面に反射防止膜を成膜する工程と、前記反射防止膜上の、前記入射光通過領域をマスクする工程と、前記入射光通過領域がマスクされた前記反射防止膜上に所定の膜構成の誘電体多層膜を成膜する工程と、前記マスクを該マスク上に形成された前記誘電体多層膜と共に除去する工程と、を含むことを要旨とする。これによれば、反射光を利用するポートのアイソレーションを改善するための光学フィルタと入射光の反射損失を低減するための反射防止膜を単純な工程で作製できる。
以上説明したように、本発明によれば、同一基板上の一部とその他の部分に波長特性の異なる２種類以上の誘電体多層膜を有する光学フィルタの製造工程を簡略化することができる。また、本発明によれば、高いアイソレーションを有し、かつ小型で安価な波長多重光カプラを実現することができる。また、本発明によれば、反射光を利用するポートのアイソレーションを改善するための光学フィルタと入射光の反射損失を低減するための反射防止膜を単純な工程で作製できる。
以下、本発明を具体化した各実施形態を図面に基づいて説明する。
（第１実施形態）
[波長多重光カプラの構成]
図１は本発明の第１実施形態に係る波長多重光カプラ１の構造を示している。
この波長多重光カプラ１は、複数の波長（本例では２波長λ１，λ２）の光信号が多重化された入射光（波長多重信号）が１本の入射光用光ファイバ２３から入射されたとき、その入射光を波長毎の光信号に分離（分波）して、２つの出射光用光ファイバ２６，２４に振り分ける２波長用の波長多重光カプラである。
この波長多重光カプラ１は、入射光に含まれる第１の波長λ１の光を反射し第２の波長λ２の光を透過する第１の光学フィルタ４１が第２の端面である第２面３１ｂに直接成膜により形成された第１のレンズとしての屈折率分布型ロッドレンズ３１を備える。また、波長多重光カプラ１は、第１の光学フィルタ４１で反射された第１の波長λ１の光が屈折率分布型ロッドレンズ３１（以下、「第１のレンズ」という）を介して集光される位置に端面が位置するように配置された第１の出射光用光ファイバ２４を備える。また、波長多重光カプラ１は、第１のレンズ３１の第１の端面である第１面３１ａに直接成膜により形成された第２の光学フィルタ４３と、第１の光学フィルタ４１を透過した第２の波長λ２の光を集光する第２のレンズとしての屈折率分布型ロッドレンズ３２とを備える。さらに、波長多重光カプラ１は、第２の波長λ２の光が屈折率分布型ロッドレンズ（以下、「第２のレンズ」という）３２を介して集光される位置に端面が位置するように配置された第２の出射光用光ファイバ２６を備える。
波長多重光カプラ１では、入射光用光ファイバ（共通ポート）２３から出射される２波長（１３１０ｎｍと１５５０ｎｍの２波長）の光信号が多重化された入射光が、第１のレンズ３１の第１面３１ａに入射する。この波長多重光カプラ１は、入射光を２波長に分離し、１３１０ｎｍの光信号を第１の出射光用光ファイバ（第２ポート）２４から、１５５０ｎｍの光信号を第２の出射光用光ファイバ（第１ポート）２６からそれぞれ出射するようになっている。以下、第１の波長λ１を１３１０ｎｍ、第２の波長λ２を１５５０ｎｍとして説明する。また以下の説明で、入射光用光ファイバ２３と２つの出射光用光ファイバ２６，２４を、それぞれ光ファイバ２３，２４，２６と呼ぶ。
光ファイバ２３と光ファイバ２４は、円柱状ガラスに２つの細孔を貫通して設けた保持部材としてのキャピラリ２８によって、各々の光軸（コア中心軸）が互いに平行になるように保持され、いわゆる２芯光ファイバピッグテール２１を構成している。この２芯光ファイバピッグテール２１の端面に対向して、第１のレンズ３１が配置されている。２芯光ファイバピッグテール２１と第１のレンズ３１の対向する各端面は、該各端面での反射光が光ファイバ２３へ戻らないように光軸に対して４〜８°程度傾斜している。また、これらの各端面は、ほぼ平行であることが組立上好ましい。
第１のレンズ３１は、光ファイバ２３から出射し第１面３１ａから入射した入射光を平行光に変換し、かつ第２面３１ｂの光学フィルタ４１で反射される平行光を集光して光ファイバ２４に結合する役割を果たす。すなわち、２芯光ファイバピッグテール２１と第１のレンズ３１との組み合わせで、２芯光ファイバコリメータ２０が構成されている。
一方、１本の光ファイバ２６は、光ファイバ２３，２４と同様に、保持部材としてのキャピラリ２９によって保持され、単芯光ファイバピッグテール２２を構成している。この単芯光ファイバピッグテール２２の端面に対向して、第２のレンズ３２が配置される。単芯光ファイバピッグテール２２と第２のレンズ３２の対向する各端面は、該各端面での反射光が光ファイバ２３へ戻らないように光軸に対して４〜８°程度傾斜している。また、
これらの各端面は、ほぼ平行であることが組立上好ましい。
この第２のレンズ３２は、単芯光ファイバピッグテール２２に対向する端面（第４の端面３２ｂ）とは反対側の端面（第３の端面）３２ａから入射する平行光を集光して光ファイバ２６に結合する役割を果たす。すなわち、単芯光ファイバピッグテール２２と第２のレンズ３２との組み合わせで、単芯光ファイバコリメータ１０が構成されている。
２芯光ファイバコリメータ２０と単芯光ファイバコリメータ１０は、平行光が結合できるように、第１のレンズ３１の第２面３１ｂと第２のレンズ３２の第３の端面３２ａとを対向させて配置されている。
本例の波長多重光カプラ１では、配置する位置によって２つのフィルタ群に分けられる光学フィルタとして２枚のエッジフィルタが使用される。第１のフィルタ群に属する第１の光学フィルタ４１は、第１のレンズ３１と第２のレンズ３２の間に設けられる。第２のフィルタ群に属する第２の光学フィルタ４３は、第１のレンズ３１と光ファイバ２４の間に設けられる。第１の光学フィルタ４１，第２の光学フィルタ４３は、第１のレンズ３１の第２面３１ｂ，第１面３１ａにそれぞれ成膜により形成され、フィルタ付レンズ３３として一体化されている。第２の光学フィルタ４３は、光ファイバ２４へ結合する光にだけ作用し、光ファイバ２３から入射する光には作用しない位置に形成されている。
ここで、第１の光学フィルタ４１は、第１の波長λ１の光を反射し、第２の波長λ２の光を透過する。この光学フィルタ４１は、波長λ２の透過光が反射光に対して４０ｄＢ以上のアイソレーションをとれるように設計するが、実際にはこの光学フィルタ４１によって反射される光には透過波長域の残留反射成分が存在するため、反射ポートにおける波長λ１の光と波長λ２の光に対するアイソレーションは１２ｄＢ程度である。ここにいう「反射光のアイソレーション」とは、第１の光学フィルタ４１で反射される第１の波長λ１の光に、その波長λ１以外の波長の光が混入する量がどの程度かを示す漏話阻止量をいう。なお、以下の説明で「反射光のアイソレーション」を「反射アイソレーション」と呼ぶ。
一方、第２の光学フィルタ４３は、第１の波長λ１の光を透過し、第２の波長λ２の光を反射する。この光学フィルタ４３は、図２（ａ），（ｂ）に示すように、第１のレンズ３１の第１面３１ａ上の、第１の光学フィルタ４１からの反射光が通過する出射光通過領域５２に形成されており、光ファイバ２３からの出射光が通過する入射光通過領域５１には形成されていない。第２の光学フィルタ４３は、第１の光学フィルタ４１と重ねて設けられているため（つまり光学フィルタ４１からの反射光が第２の光学フィルタ４３に入射する構成であるため）、光学フィルタ４１より特性が劣るものでよい。全体で４０ｄＢ以上のアイソレーションを得るためには、上記反射アイソレーションが１２ｄＢ程度であるので、透過光のアイソレーションは３０ｄＢ以下でよく、安価な光学フィルタを用いることができる。ここにいう「透過光のアイソレーション」とは、第２の光学フィルタ４３を透過する第１の波長λ１の透過光に、その波長λ１以外の波長の光が混入する量がどの程度かを示す漏話阻止量をいう。なお、以下の説明で「透過光のアイソレーション」を「透過アイソレーション」と呼ぶ。
また、光ファイバ２３からの出射光が入射するレンズ３１の第１面３１ａには、その出射光の反射による損失を低減するための反射防止膜５０が設けられている（図２（ａ），（ｂ）参照）。この反射防止膜５０は、１２５０ｎｍから１６５０ｎｍの全波長域にわたって反射率が０．５％以下となるような特性を有する。
このように、第１のレンズ３１の第１面３１ａには、第１の波長λ１の光を透過し、第
２の波長λ２の光を反射する第２の光学フィルタ４３と、光ファイバ２３からの出射光（２波長λ１，λ２の光信号が多重化された入射光）の反射損失を抑制するための反射防止膜５０とが形成されている。
第１のレンズ３１の第１面３１ａに形成されている第２の光学フィルタ４３と反射防止膜５０は異なる膜構成となるため、通常成膜は別々に他方を遮蔽して行う必要がある。ただし、第１面３１ａにおいて、光ファイバ２３からの出射光が通過する入射光通過領域５１と第１の光学フィルタ４１からの反射光が通過する出射光通過領域５２は僅か１００μｍ程度しか離れていない。そのため、治具等による遮蔽（マスキング）は、成膜時に自然加熱された際に、その遮蔽部に熱膨張による変形が生じるなど位置精度の問題があり、困難である。また、その遮蔽を遮蔽膜の塗布によって行う、いわゆるリフトオフ法を用いることは可能である。すなわち、誘電体多層膜を形成しない部分に樹脂等を塗布して遮蔽（マスキング）し、その上に誘電体多層膜を成膜する。次いで下地の樹脂（遮蔽部）を溶解して誘電体多層膜と共に除去し、第１面３１ａ上の一部分にのみ誘電体多層膜の光学フィルタを付着させる方法である。しかし、同じ端面上に２種類以上の膜を部分的に成膜するには、一方の膜の成膜用遮蔽膜を塗布し、成膜を行った後、その遮蔽膜を除去する。次いで他方の膜の成膜用遮蔽膜を再度塗布し、成膜を行った後、再度その遮蔽膜を除去するという多数の工程を経なければならない。同じ端面上に形成する光学フィルタ等の膜の種類が更に多くなれば、さらに遮蔽膜の塗布工程、成膜工程、および遮蔽膜の除去工程が増えることになる。
本例の波長多重光カプラ１の特徴は、次のような構成にある。図２（ａ），（ｂ）に示すように、第１のレンズ３１の第１面３１ａ上の入射光通過領域５１を除いた部分で、少なくとも出射光通過領域５２に、所定の膜構成の誘電体多層膜４３Ａが形成されている。また、この誘電体多層膜４３Ａの上から、第１面３１ａの全面に反射防止膜５０Ａが形成されている。第２の光学フィルタ４３は、所定の膜構成の誘電体多層膜４３Ａと反射防止膜５０Ａの積層膜で構成されている。また、入射光通過領域５１には、反射防止膜５０のみが形成されている。
このようにして、第１のレンズ３１の第１面３１ａ上には、図２（ａ）に示すように、入射光通過領域５１には反射防止膜５０のみが形成されており、出射光通過領域５２には、誘電体多層膜４３Ａと反射防止膜５０Ａの積層膜で構成される第２の光学フィルタ４３が形成されている。ただし、第２の光学フィルタ４３用の誘電体多層膜４３Ａの膜構成は、反射防止膜５０Ａを積層した状態で所望のフィルタ特性が得られるように設計されている。
上記構成を有する波長多重光カプラ１では、２芯光ファイバピッグテール２１とフィルタ付レンズ３３は、微小な間隙を残したまま、周囲をエポキシ樹脂６０で固定されている（図１参照）。また、第１の光学フィルタ４１を透過した第２の波長λ２の光が最小損失で光ファイバ２６に結合するように、単芯光ファイバピッグテール２２を調芯した後、第２のレンズ３２と単芯光ファイバピッグテール２２は、微小な間隙を残したまま、周囲をエポキシ樹脂６０で固定されている（図１参照）。
また、波長多重光カプラ１は、図１に示すように全部品を調芯してエポキシ樹脂６０で固定する作業が終了した後、保護用のケース（ハウジング）を被せて最終形態とするのが望ましい。そのケースの外形は小型の管状とすることができ、この場合その直径が数ｍｍ、長さが数１０ｍｍである。
上記構成を有する波長多重光カプラ１は、透明基板としての第１のレンズ３１の第１面３１ａの一部分に第１の誘電体多層膜としての第２の光学フィルタ４３が形成され、その
他の部分に第２の誘電体多層膜としての反射防止膜５０が設けられた光学フィルタ１００を用いている（図２（ａ）、（ｂ）参照）。第１の誘電体多層膜（第２の光学フィルタ４３）は、透明基板上の一部分（出射光通過領域５２）に所定波長範囲の光を透過または反射するように設計されている。本例では、第２の光学フィルタ４３は、波長λ１の光を透過するように設計されている。第２の誘電体多層膜（反射防止膜５９）は、対象波長範囲全体（図６参照）において反射率が所定値以下となるように設計されている。また、この光学フィルタ１００にあっては、第１の誘電体多層膜の膜構成中いずれか一方の側の膜構成が第２の誘電体多層膜の膜構成に一致している。本例では、第２の光学フィルタ４３の膜構成中、第１面３１ａとは反対側の膜構成が反射防止膜５０Ａの膜構成に一致している。つまり、第２の光学フィルタ４３は、所定の膜構成の誘電体多層膜４３Ａと、この誘電体多層膜４３Ａ上に形成された反射防止膜５０Ａの積層膜で構成されている。
（波長多重光カプラの製造方法）
次に、波長多重光カプラ１の製造方法を図３および図４に基づいて説明する。
第１実施形態に係る波長多重光カプラの製造方法は、以下の工程を含む。
（工程１）第１のレンズ３１の第１面３１ａ上の入射光通過領域５１をマスクする工程（図３（ａ）参照）。この工程では、図３（ａ）および図４に示すように、入射光通過領域５１のみを覆うように遮蔽材料５３を塗布する。
（工程２）入射光通過領域５１がマスクされた第１面３１ａ上に所定の膜構成の誘電体多層膜４３Ａを成膜する工程（図３（ｂ）参照）。
（工程３）マスクとしての遮蔽材料５３を該遮蔽材料５３上に成膜された誘電体多層膜４３Ａと共に除去する工程（図３（ｃ）参照）。
（工程４）誘電体多層膜４３Ａの上から、第１面３１ａの全面に反射防止膜５０Ａを成膜する工程（図３（ｄ）参照）。
以上の工程により、第１のレンズ３１の第１面３１ａ上の、入射光通過領域５１には反射防止膜５０のみが形成され、出射光通過領域５２には、誘電体多層膜４３Ａと反射防止膜５０Ａの積層膜で構成される第２の光学フィルタ４３が形成される。
（実施例１）
次に、上記第１実施形態の実施例１を説明する。
この実施例１の波長多重光カプラ１では、光通信規格Ｂ−ＰＯＮに準拠した以下の特性を目標仕様とした。
透過アイソレーション 40dB 以上(波長域：1260-1360, 1480-1500nm )
反射アイソレーション 40dB 以上(波長域：1550-1565nm )
透過挿入損失 0.7dB 以下(波長域：1260-1360, 1480-1500nm )
反射挿入損失 0.7dB 以下(波長域：1550-1565nm )
この実施例１の波長多重光カプラ１では上記第１の光学フィルタ４１として、直径１．８ｍｍの屈折率分布型ロッドレンズで構成した第１のレンズ３１の第２面３１ｂに、１３１０ｎｍ帯，１４９０ｎｍ帯の光を反射し、かつ１５３０ｎｍ帯の光を透過する波長特性のエッジフィルタを形成した。このエッジフィルタは、ＳｉＯ2とＴｉＯ2を交互に７４層積層した誘電体多層膜である。このようなエッジフィルタである第１の光学フィルタ４１の理論特性を図５の曲線６１で示す。
次いで、図２（ａ），（ｂ）に示すように、第１のレンズ３１の第１面３１ａ上の入射光通過領域５１を除いた部分で、少なくとも出射光通過領域５２に、１３１０ｎｍ帯，１４９０ｎｍ帯の光をそれぞれ透過し、かつ１５３０ｎｍ帯の光を反射する波長特性の誘電
体多層膜（エッジフィルタ用多層膜）４３Ａを形成した。この誘電体多層膜４３Ａは、ＳｉＯ2とＴｉＯ2を交互に７６層積層した膜構成を有する（下記の表１参照）。
この誘電体多層膜４３Ａの上から、第１面３１ａの全面に反射防止膜５０Ａを形成した。この反射防止膜５０Ａは、ＳｉＯ2とＴｉＯ2を交互に１１層積層した膜構成を有する（下記の表１の斜線部参照）。この反射防止膜５０Ａの理論特性を図６の曲線６３で示す。誘電体多層膜４３Ａと反射防止膜５０Ａには同じ材料を用い、反射防止膜５０Ａが誘電体多層膜４３Ａの一部となるように設計し、上記７６層の誘電体多層膜４３Ａに反射防止膜５０Ａの１１層を加えた計８７層によってエッジフィルタである第２の光学フィルタ４３を構成した。この第２の光学フィルタ４３の理論特性を図７の曲線６２で示す。つまり、第２の光学フィルタ４３は、第１面３１ａに（基板側に）成膜された７６層の誘電体多層膜４３Ａと、その上に成膜された反射防止膜５０Ａとにより構成されている。
Figure 2006201409
 実施例１において、第１面３１ａ上に第２の光学フィルタ４３と反射防止膜５０を形成する成膜法を説明する。まず、図３（ａ）および図４に示すように、入射光通過領域５１のみを覆うように遮蔽用のマスキング塗料である遮蔽材料５３を塗布する。その上に、誘電体多層膜４３Ａを成膜する（図３（ｂ）参照）。その成膜終了後、遮蔽材料５３を有機溶媒を用いて除去する（図３（ｃ）参照）。これによって、入射光が通過する入射光通過領域５１から誘電体多層膜４３Ａも除去される。最後に、反射防止膜５０Ａを第１面３１ａ全面に成膜する。
このようにして、第１のレンズ３１の第２面３１ｂに第１の光学フィルタ４１が形成され、その第１面３１ａに第２の光学フィルタ４３と反射防止膜５０が形成されたフィルタ付レンズ３３が作製される。このフィルタ付レンズ３３の特性を、図８に示すような光学系を用いて評価した。
この特性評価用の光学系では、第１面３１ａに設けられた第２の光学フィルタ４３を透
過し、２芯光ファイバピッグテール７０の入射ポート７１よりフィルタ付レンズ３３の第１面３１ａ（図１参照）に波長多重光を入射する。フィルタ付レンズ３３の第２面３１ｂ（図１参照）に形成された第１の光学フィルタ４１を透過した波長成分（波長λ２の光）がコリメートレンズ７２により収束されて単芯光ファイバピッグテール７３を経由して透過光出射ポート（透過ポート）７４に至り、光強度が測定される。ここで測定される光強度は、上記実施形態における波長λ２の光の強度である。
一方、フィルタ付レンズ３３の第１の光学フィルタ４１で反射された波長成分の光（波長λ１の光）は第１面３１ａに設けられた第２の光学フィルタ４３を透過し、２芯光ファイバピッグテール７０の反射光出射ポート（反射ポート）７５に至り光強度が測定される。ここで測定される光強度は、上記実施形態における波長λ１の光の強度である。
このような光学系による測定結果を図９（ａ），（ｂ）に示す。図９（ｂ）は図９（ａ）の損失の小さい部分を拡大したものである。「図９（ａ），（ｂ）の曲線８０は、透過光出射ポート７４（上記実施形態の光ファイバ２６）から出射される波長λ２の光の挿入損失を示しており、曲線８１は反射光出射ポート７５（同実施形態の光ファイバ２４）から出射される波長λ１の光の挿入損失を示している。図９（ａ），（ｂ）から、両ポート７４，７５で上記目標仕様が達成されていることが分かる。」（この「」部の記載に合わせて、図９の反射ポートと透過ポートを逆に変更しましたが、これでよろしいでしょうか？）
以上のように構成された第１実施形態によれば、以下の作用効果を奏する。
○波長多重光カプラ１に用いた光学フィルタ１００は、第１のレンズ３１の第１面３１ａの一部分に第２の光学フィルタ４３が形成され、その他の部分に反射防止膜５０が設けられている。また、この光学フィルタ１００にあっては、第２の光学フィルタの膜構成中、第１面３１ａとは反対側の膜構成が反射防止膜５０Ａの膜構成に一致している。このため、第２の光学フィルタ４３のみを第１面３１ａの所定領域（一部分）に形成すればよく、反射防止膜５０Ａは成膜するだけで加工の必要がなく、第１面３１ａ上の一部とその他の部分に波長特性の異なる２種類以上の誘電体多層膜を有する光学フィルタの製造工程を簡略化することができる。これにより、同光学フィルタ１００を低コストで製造することができる。
○第１のレンズ３１の第１面３１ａに第１の波長λ１の光を透過しそれ以外の波長の光を反射する第２の光学フィルタ４３を設けたことにより、第１の光学フィルタ４１からの反射光中に存在する残留反射成分を除去できる。これにより、第２の光学フィルタ４３の透過光（第１の波長λ１の光）にその波長以外の光が混入する量が低減される。したがって、第１の光学フィルタ４１の反射光を利用するポートのアイソレーションが改善される。つまり、第２の光学フィルタ４３を透過して第１の出射光用光ファイバ２４に結合する透過光のアイソレーションを高くすることができる。
また、第２の光学フィルタ４３が、第１のレンズ３１の第１面３１ａ上の、入射光通過領域５１を除いた部分で少なくとも出射光通過領域５２に形成された所定の膜構成の誘電体多層膜４３Ａと、該誘電体多層膜の上から第１面３１ａの全面に形成された反射防止膜５０Ａとの積層膜で構成されている。このため、誘電体多層膜４３Ａのみを第１面３１ａ上に部分成膜し、反射防止膜５０Ａは第１面３１ａの全面に成膜すればよい。これにより、誘電体多層膜４３Ａの成膜時にのみ、第１面３１ａ上の入射光通過領域５１に樹脂等の遮蔽材料５３を塗布するマスキング工程（図３（ａ）参照）とその遮蔽材料５３を除去する工程（図３（ｃ）参照）とを行えばよい。したがって、反射光を利用するポートのアイソレーションを改善するための光学フィルタと入射光の反射損失を低減するための反射防止膜を単純な工程で作製できる。
○第２の光学フィルタ４３は、第１の光学フィルタにより分波された光（同フィルタからの反射光）のうち、第１の波長λ１を透過してそれ以外の波長成分を反射することで、第１の出射光用光ファイバに結合される出射光のアイソレーションを向上させるが、入射光には影響を及ぼさない。
○第１のレンズ３１は第１面３１ａと第２面３１ｂを有する屈折率分布型ロッドレンズとし、入射光用光ファイバ２３と第１の出射光用光ファイバ２４は、該各光ファイバのコア中心軸が互いに平行になるようにキャピラリ２８に保持されている。これにより、第１のレンズ３１、入射光用光ファイバ２３、および第１の出射光用光ファイバ２４をほぼ直線上に配置することができ、小型で組立てが容易な波長多重光カプラ１を実現することができる。
○第１の光学フィルタ４１は、第１のレンズ３１の第２面３１ｂに密着されている。これによれば、第１のレンズ３１を構成する屈折率分布型ロッドレンズは光が入射する端面および出射する端面を平面とすることができるため、同ロッドレンズの第２面３１ｂに平板状の光学フィルタ４１を密着させることが容易である。また、屈折率分布型ロッドレンズは、その端面をその光軸に対して傾斜するように加工することが容易であり、第２面３１ｂに光学フィルタ４１を密着させることにより、光学フィルタ４１の角度が容易に調整できる。また、光学フィルタ４１が屈折率分布型ロッドレンズの第２面３１ｂに密着したフィルタ付レンズ３３を用いることにより、部品点数が減るので、組立てが容易な波長多重光カプラ１を実現することができる。
○第２の光学フィルタ４３を誘電体多層膜とし、該誘電体多層膜が第１のレンズ３１の第１面３１ａに直接成膜して形成されている。これによれば、波長多重光カプラ１の組立てが大幅に容易になる。
○入射光用光ファイバ２３と第１の出射光用光ファイバ２４が保持部材としてのキャピラリ２８で保持された２芯光ファイバピッグテール２１を構成することにより、これらの光ファイバ２３，２４の取り扱いおよび調芯が容易になる。
○第１の光学フィルタ４１を透過して第３の端面３２ａから入射する入射光を、第４の端面３２ｂから出射して集光する第２のレンズ３２と、該レンズ３２により集光された位置に端面が位置するように配置された第２の出射光用光ファイバ２６とを含むので、第１の光学フィルタ４１を透過した光も利用することができる。
○第２の波長λ１は１２６０〜１３６０ｎｍの波長範囲とし、第１の波長λ２は１５５０〜１５６０ｎｍの波長範囲とすることで、ＦＴＴｘ用等の上り下り信号とアナログ画像信号を、既設の光ファイバ網に適合した波長域で伝送することが可能となる。
○上記波長多重光カプラの製造方法によれば、第１のレンズ３１の第１面３１ａ上において、入射光通過領域５１からは第２の光学フィルタ４３が除去され、その入射光通過領域５１を除いた部分で、出射光通過領域５２に第２の光学フィルタ４３を形成することができる。
○上記波長多重光カプラの製造方法によれば、入射光通過領域５１にのみ反射防止膜５０を形成することができる。
（第２実施形態）
[波長多重光カプラの構成]
図１０は本発明の第２実施形態に係る波長多重光カプラ１における、第１のレンズ３１
の第１面３１ａに形成されている第２の光学フィルタ４３と反射防止膜５０の構成を示している。
この波長多重光カプラ１では、第１のレンズ３１の第１面３１ａの全面に、入射光の反射損失を抑制するための反射防止膜５０Ａが形成されている。この反射防止膜５０Ａ上の、入射光通過領域５１を除いた部分で、少なくとも出射光通過領域５２に、所定の膜構成の誘電体多層膜４３Ａが形成されている。第２の光学フィルタ４３は、反射防止膜５０Ａと所定の膜構成の誘電体多層膜４３Ａの積層膜で構成されている。また、入射光通過領域５１には、反射防止膜５０のみが形成されている。
（波長多重光カプラの製造方法）
次に、波長多重光カプラ１の製造方法を図１１および図１２に基づいて説明する。
第２実施形態に係る波長多重光カプラの製造方法は、以下の工程を含む。
（工程１）第１のレンズ３１の第１面３１ａの全面に反射防止膜５０Ａを成膜する工程（図１１（ａ）参照）。
（工程２）反射防止膜５０Ａ上の、入射光通過領域５１をマスクする工程（図１１（ｂ）参照）。この工程では、図１１（ｂ）および図１２に示すように、入射光通過領域５１のみを覆うように遮蔽材料５４を塗布する。
（工程３）入射光通過領域５１がマスクされた反射防止膜５０Ａ上に所定の膜構成の誘電体多層膜４３Ａを成膜する工程（図１１（ｃ）参照）。
（工程４）マスクとしての遮蔽材料５４を該遮蔽材料５４上に成膜された誘電体多層膜４３Ａと共に除去する工程（図１１（ｄ）参照）。
以上の工程により、第１のレンズ３１の第１面３１ａ上の、入射光通過領域５１には反射防止膜５０のみが形成され、出射光通過領域５２には、誘電体多層膜４３Ａと反射防止膜５０Ａの積層膜で構成される第２の光学フィルタ４３が形成される。
（実施例２）
次に、上記第２実施形態の実施例２を説明する。
この実施例２の波長多重光カプラ１では、上記実施例１と同じ上述した目標仕様とした。実施例２では、実施例１とは逆に、第１のレンズの第１面３１ａ全面に、ＳｉＯ2とＴ
ｉＯ2を交互に１１層積層した膜構成の反射防止膜５０Ａ（下記の表２の斜線部参照）を
成膜する。この反射防止膜５０Ａの理論特性を図６の曲線６３で示す。また、この反射防止膜５０Ａ上の、入射光通過領域５１を除いた部分で、少なくとも出射光通過領域５２に、１３１０ｎｍ帯の光を透過し、かつ１５３０ｎｍ帯の光を反射する波長特性の誘電体多層膜（エッジフィルタ用多層膜）４３Ａを形成した。この誘電体多層膜４３Ａは、ＳｉＯ2とＴｉＯ2を交互に７５層積層した膜構成を有する（下記の表２参照）。第２の光学フィルタ４３は、第１面３１ａに（基板側に）成膜された１１層の反射防止膜５０Ａと、その上に成膜された７５層の誘電体多層膜４３Ａとからなる８６層の積層膜で構成されている。第２の光学フィルタ４３の理論特性を図１３の曲線６４で示す。
Figure 2006201409
 このようにして、第１のレンズ３１の第２面３１ｂに第１の光学フィルタ４１が形成され、その第１面３１ａに反射防止膜５０と第２の光学フィルタ４３が形成されたフィルタ付レンズ３３が作製される。このフィルタ付レンズ３３の特性を、図８に示すような光学系を用いて評価した。
その光学系による測定結果を図１４（ａ），（ｂ）に示す。図１４（ｂ）は図１４（ａ）の損失の小さい部分を拡大したものである。図１４（ａ），（ｂ）の曲線９０は、透過光出射ポート７４（上記光ファイバ２６）から出射される波長λ２の光の挿入損失を示しており、曲線９１は反射光出射ポート７５（上記光ファイバ２４）から出射される波長λ１の光の挿入損失を示している。図１４（ａ），（ｂ）から、両ポート７４，７５で上記目標仕様が達成されていることが分かる。
以上のように構成された第２実施形態によれば、上記第１実施形態と同様に以下の作用効果を奏する。
○反射光を利用するポートのアイソレーションを改善するための光学フィルタと入射光の反射損失を低減するための反射防止膜を単純な工程で作製できる。また、第２の光学フィルタは、第１の出射光用光ファイバに結合される出射光のアイソレーションを向上させるが、入射光には影響を及ぼさない。
なお、この発明は以下のように変更して具体化することもできる。
・上記各実施形態では、第１の光学フィルタ４１は第１のレンズ３１の第２面３１ｂに直接成膜したが、ガラス基板の両側端面に第１の光学フィルタを含む第１のフィルタ群を形成した光学フィルタチップを、両レンズ３１，３２間に固定しても良い。４種類以上の波長（４波長以上）の光の合分波を行う場合には、そのような光学フィルタチップの仕様は必須となる。
・上記各実施形態では、第２の光学フィルタ４３と反射防止膜５０が第１のレンズの第
１面３１ａに成膜されて直付けされた構成例を説明したが、本発明はこのような構成に限定されない。例えば、第２の光学フィルタ４３を含む第２のフィルタ群を構成する「光学フィルタ素子」が、第１の出射光用光ファイバ２４の端面と第１面３１ａの間で、入射面が入射光の光軸に対して傾斜して配置されている。そして、この光学フィルタ素子は、第２のフィルタ群に加えて反射防止膜５０を備える。このような構成の波長多重光カプラにも本発明は適用可能である。
・上記各実施形態において、１５５０ｎｍの光信号を第１の出射光用光ファイバ（第２ポート）２４から、１３１０ｎｍの光信号を第２の出射光用光ファイバ（第１ポート）２６からそれぞれ出射するように構成してもよい。
・また、各光学フィルタ４１，４３をバンドパスフィルタを使用して構成することも可能である。もちろん、使用波長は上記実施形態における２波長（λ１、λ２）には限られず、３波長以上であってもよい。例えば、１２６０〜１３６０ｎｍ，１４８０〜１５００ｎｍ，１５５０〜１５６０ｎｍの波長範囲から各波長を選択することもできる。
・第２の光学フィルタ４３は、光ファイバ２４へ結合する光にだけ作用し、光ファイバ２３から入射する光には作用しないような形状であれば、どのような形状でもよい。
・上記各実施形態では、波長多重光カプラ１は、波長多重光を分波する光分波器の構成について説明したが、まったく同じ構成の波長多重光カプラは２波長の光信号を多重化して１本の光ファイバに結合する合波器としても使用できる。この場合は、入射光用光ファイバ２３が出射光用光ファイバとなり、各出射光用光ファイバがそれぞれ入射光用光ファイバとなる。
・上記実施形態で説明した波長多重光カプラは、ＯＬＴ、ＯＮＵに組み込むことができるだけでなく、（Ｏ／Ｅ）変換器、（Ｅ／Ｏ）変換器等、他の光電子デバイスに広く適用可能である。
なお、３波長以上の合分波を行うには、異なる波長帯を透過波長帯域とする複数の３ポートカプラを縦続（Cascade）接続して用いる手段が知られている（例えば、特許文献４
参照）。しかし、２個以上の光カプラを縦続接続するためには光ファイバの取り回しが必要となり、その際、光損失が発生しないようにするためには光ファイバの巻き取り半径を一定程度以下に小さくすることはできない。この光ファイバを収納する筐体が必要となるため、通常の３ポートカプラのように小型チューブ形状にはできず、大型化する。この問題点を解決するため、複数の異なるエッジ波長をもつエッジフィルタを重ねて上記第１のフィルタ群を構成する光カプラが知られている（例えば、特許文献５参照）。この光カプラでは、各光学フィルタの角度をそれぞれ変えて、各フィルタからの反射光の方向を変えることにより、異なる波長の光を異なる光ファイバにそれぞれ結合するようになっている。これによって、３ポートカプラを縦続することなく、一つの光カプラで３波長以上の分離が可能となり、上述したような大型化、部品点数の増大といった問題点は解決される。しかしながら、この光カプラでは、各光学フィルタの反射光を利用するポートにおいては、アイソレーションが低い（通常１２ｄＢ程度）という問題は解決できない。これは、各光学フィルタの波長特性により反射される特定波長帯の反射光を利用する場合、当該フィルタからの反射光中には、その特定波長帯の反射成分以外に、その波長特性に関係のない反射成分、つまり光学フィルタの入射面で反射される成分である残留反射成分が必ず存在するからである。
本発明は、このように複数の異なるエッジ波長をもつエッジフィルタを重ねて上記第１のフィルタ群を構成する３波長以上の合分波を行う光カプラにも適用可能で、反射損失を低減しつつ各光学フィルタの反射光を利用するポートのアイソレーションを高くし、かつ
小型で安価な波長多重光カプラを実現できる。
つまり、上記各実施形態では、第１のフィルタ群に属する光学フィルタとして、第１の光学フィルタ４１のみを用いた構成について説明したが、第１のフィルタ群が、平行光の進行方向に沿って透過波長範囲が順に狭くなるように配列された複数の光学フィルタを含む構成にも本発明は適用可能である。この場合、第１のフィルタ群の複数の光学フィルタは、第１のレンズ３１から出射される平行光に含まれる複数の波長の光信号をそれぞれ異なる方向に反射するように、第１のレンズ３１の光軸に対してそれぞれ異なる角度をなすように第２面３１ｂ側に配置される。また、この場合、第１の出射光用光ファイバ２４に代えて、第１のフィルタ群の各光学フィルタからの反射光がそれぞれ結合する位置に端面が位置するように複数の光ファイバが配置される。これによれば、３種類以上の波長の光信号が多重化された入射光（波長多重信号）から各波長毎に光信号を分離して対応する各ポートの光ファイバに振り分けることができる。
また、前記第１のフィルタ群における複数の光学フィルタのうち、第２面３１ｂに最も近い位置に配置される光学フィルタ、例えば光学フィルタ４１は第２面３１ｂに密着させる。これによれば、第１のレンズ３１を構成する屈折率分布型ロッドレンズは光が入射する端面および出射する端面を平面とすることができるため、同ロッドレンズの第２の端面に平板状の光学フィルタを密着させることが容易である。また、同ロッドレンズの端面をその光軸に対して傾斜するように加工することが容易であり、その第２の端面に光学フィルタを密着させることにより、光学フィルタの角度が容易に調整できる。また、光学フィルタがロッドレンズの端面に密着したフィルタ付きロッドレンズを用いることにより、部品点数が減るので、組立てが容易な波長多重光カプラを実現することができる。
・上記各実施形態では、入射光用光ファイバ２３と第１の出射光用光ファイバ２４が保持部材としてのキャピラリ２８で保持された２芯光ファイバピッグテール２１を用いた構成について一例として説明したが、３本以上の光ファイバがキャピラリ２８に保持された多芯光ファイバピッグテールを用いた構成にも本発明は適用可能である。また、単芯光ファイバピッグテール２２に代えて、２本以上の光ファイバがキャピラリ２９に保持された多芯光ファイバピッグテールを用いた構成にも本発明は適用可能である。
・上記各実施形態において、第２のレンズ３２は、第３の端面（第３面）３２ａと第４の端面（第４面）３２ｂを有する第２の屈折率分布型ロッドレンズとし、第１のフィルタ群における複数の光学フィルタのうち、第３の端面３２ａに最も近い位置に配置される光学フィルタは、第３の端面３２ａに密着させる。このような構成の波長多重光カプラにも本発明は適用可能である。これによれば、第２のレンズ３２の第３の端面に平板状の光学フィルタを密着させることが容易である。また、同レンズの第３の端面に光学フィルタを密着させることにより、光学フィルタの角度が容易に調整できる。また、光学フィルタが第３の端面に密着したフィルタ付きロッドレンズを用いることにより、部品点数が減るので、組立てが更に容易な波長多重光カプラを実現することができる。
・第２のレンズ３２である第２の屈折率分布型ロッドレンズの第３の端面３２ａに密着させた光学フィルタを誘電体多層膜とし、該誘電体多層膜を第３の端面に直接成膜して形成するようにしてもよい。これによれば、第２の屈折率分布型ロッドレンズの第３の端面に誘電体多層膜である光学フィルタを直接成膜して形成することにより、フィルタ付きロッドレンズを大量に生産するのが容易になる。
・上記実施形態において、レンズ３１，３２は集束性レンズであれば屈折率分布型ロッドレンズに限られない。ただし、レンズ面が球面或いは非球面の場合、第２の光学フィルタ４３（第２のフィルタ群）と反射防止膜５０を独立した基板に形成した光学フィルタ素
子を用いる必要がある。
・上記実施形態において、第１のレンズ３１として屈折率分布型ロッドレンズに代えて平凸レンズを用いてもよい。この場合、第２の光学フィルタ４３（第２のフィルタ群）と反射防止膜５０が一体になった上記光学フィルタ素子は、第１面３１ａに密着させるかまたは直接成膜により形成することができる。
第１実施形態に係る波長多重光カプラを示す概略構成図。 （ａ）は同カプラの第１のレンズを示す拡大図、（ｂ）は図２（ａ）のＢ部の拡大図。 （ａ）〜（ｄ）は第１のレンズの第１の端面に第２の光学フィルタと反射防止膜を成膜する手順を示す工程図。 同レンズの第１の端面を示し図３（ａ）のマスキング工程を示す説明図。 第１の光学フィルタの理論特性を示すグラフ。 反射防止膜の理論特性を示すグラフ。 第２の光学フィルタの理論特性を示すグラフ。 フィルタ付きレンズの特性評価用の光学系を示す概略構成図。 （ａ）は同光学系による測定結果を示すグラフ、（ｂ）は図９（ａ）の損失の小さい部分を拡大したグラフ。 第２実施形態に係る波長多重光カプラにおける図２（ｂ）と同様の拡大図。 （ａ）〜（ｄ）は同波長多重光カプラの第１の端面に第２の光学フィルタと反射防止膜を成膜する手順を示す工程図。 同波長多重光カプラにおける第１のレンズの第１の端面を示し図１１（ｂ）のマスキング工程を示す説明図。 同波長多重光カプラにおける第２の光学フィルタとしてのエッジフィルタの理論特性を示すグラフ。 （ａ）は同波長多重光カプラにおけるフィルタ付きレンズの測定結果を示すグラフ、（ｂ）は図１４（ａ）の損失の小さい部分を拡大したグラフ。 従来例を示す概略構成図。
符号の説明
λ１…第１の波長、λ２…第２の波長、１…波長多重光カプラ、２３…入射光用光ファイバ、２４…第１の出射光用光ファイバ、２６…第２の出射光用光ファイバ、３１…屈折率分布型ロッドレンズ（第１のレンズ）、３１ａ…第１の端面である第１面、３１ｂ…第２の端面である第２面、３２…屈折率分布型ロッドレンズ（第２のレンズ）、３２ａ…第３の端面、３２ｂ…第４の端面、４１…第１の光学フィルタ、４３…第２の光学フィルタ、５０，５０Ａ…反射防止膜、５１…入射光通過領域、５２…出射光通過領域、５４…誘電体多層膜、１００…光学フィルタ。

Claims (12)

  1. 透明基板上の一部分に所定波長範囲の光を透過または反射するように設計された第１の誘電体多層膜が形成され、その他の部分には対象波長範囲全体において反射率が所定値以下となるように設計された第２の誘電体多層膜が設けられている光学フィルタにおいて、
    前記第１の誘電体多層膜の膜構成中いずれか一方の側の膜構成が第２の誘電体多層膜の膜構成に一致していることを特徴とする光学フィルタ。
  2. 複数の波長の光信号が多重化された入射光が１本の入射光用光ファイバから入射されたとき、前記入射光を波長毎の光信号に分離して、複数の出射光用光ファイバに振り分ける、光学フィルタを用いた波長多重光カプラにおいて、
    前記入射光用光ファイバから出射され第１面から入射する前記入射光を平行光に変換して第２面から出射する第１のレンズと、該レンズの前記第２面側に配置され、前記複数の波長のうち第１の波長の光を反射する第１の光学フィルタを含む第１のフィルタ群と、前記第１の光学フィルタにより反射された平行光が前記第１面から出射して集光される位置に端面が位置するように配置された第１の出射光用光ファイバと、該光ファイバの端面と前記第１面の間に配置され、第１の波長の光を透過しそれ以外の波長の光を反射する第２の光学フィルタを含む第２のフィルタ群を構成する光学フィルタ素子と、を備え、
    前記光学フィルタ素子は前記第２のフィルタ群に加えて反射防止膜を備え、
    前記第１のレンズの第１面上の、前記入射光用光ファイバの端面から出射される前記入射光が通過する入射光通過領域を除いた部分で、少なくとも前記第１の光学フィルタからの反射光が通過する出射光通過領域に、所定の膜構成の誘電体多層膜が形成されており、
    前記誘電体多層膜の上から、前記第１面の全面に、前記入射光の反射損失を抑制するための前記反射防止膜が形成されており、
    前記第２の光学フィルタは、前記所定の膜構成の誘電体多層膜と前記反射防止膜の積層膜で構成されることを特徴とする光学フィルタを用いた波長多重光カプラ。
  3. 複数の波長の光信号が多重化された入射光が１本の入射光用光ファイバから入射されたとき、前記入射光を波長毎の光信号に分離して、複数の出射光用光ファイバに振り分ける、光学フィルタを用いた波長多重光カプラにおいて、
    前記入射光用光ファイバから出射され第１面から入射する前記入射光を平行光に変換して第２面から出射する第１のレンズと、該レンズの前記第２面側に配置され、前記複数の波長のうち第１の波長の光を反射する第１の光学フィルタを含む第１のフィルタ群と、前記第１の光学フィルタにより反射された平行光が前記第１面から出射して集光される位置に端面が位置するように配置された第１の出射光用光ファイバと、該光ファイバの端面と前記第１面の間に配置され、第１の波長の光を透過しそれ以外の波長の光を反射する第２の光学フィルタを含む第２のフィルタ群を構成する光学フィルタ素子と、を備え、
    前記光学フィルタ素子は前記第２のフィルタ群に加えて反射防止膜を備え、
    前記第１面の全面に、前記入射光の反射損失を抑制するための前記反射防止膜が形成されており、
    前記反射防止膜上の、前記入射光用光ファイバの端面から出射される前記入射光が通過する入射光通過領域を除いた部分で、少なくとも前記第１の光学フィルタからの反射光が通過する出射光通過領域に、所定の膜構成の誘電体多層膜が形成されており、
    前記第２の光学フィルタは、前記反射防止膜と前記所定の膜構成の誘電体多層膜の積層膜で構成されることを特徴とする光学フィルタを用いた波長多重光カプラ。
  4. 請求項２又は３に記載の光学フィルタを用いた波長多重光カプラにおいて、
    前記第１のレンズの第１面が平面であり、前記光学フィルタ素子は前記第１面に密着して設けられていることを特徴とする光学フィルタを用いた波長多重光カプラ。
  5. 請求項４に記載の光学フィルタを用いた波長多重光カプラにおいて、
    前記第１のレンズは、前記第１面に相当する第１の端面と前記第２面に相当する第２の端面とを有する屈折率分布型ロッドレンズであることを特徴とする光学フィルタを用いた波長多重光カプラ。
  6. 請求項２〜５のいずれか一つに記載の光学フィルタを用いた波長多重光カプラにおいて、
    前記第１のフィルタ群は、前記平行光の進行方向に沿って透過波長範囲が順に狭くなるように配列された複数の光学フィルタを含み、該複数の光学フィルタは、前記平行光に含まれる複数の波長の光信号をそれぞれ異なる方向に反射するように前記第１のレンズの光軸に対してそれぞれ異なる角度をなすように前記２面側に配置されており、前記第１の出射光用光ファイバは、前記第１のフィルタ群の各光学フィルタからの反射光がそれぞれ結合する位置に端面が位置するように配置された複数の光ファイバを含むことを特徴とする光学フィルタを用いた波長多重光カプラ。
  7. 請求項２〜６のいずれか一つに記載の光学フィルタを用いた波長多重光カプラにおいて、
    前記第１のフィルタ群の全ての光学フィルタを透過して第３面から入射する入射光を、第４面から出射して集光する第２のレンズと、該第２のレンズにより集光された位置に端面が位置するように配置された第２の出射光用光ファイバと、をさらに含むことを特徴とする光学フィルタを用いた波長多重光カプラ。
  8. ２波長の光信号が多重化された入射光が１本の入射光用光ファイバから入射されたとき、前記入射光を波長毎の光信号に分離して、複数の出射光用光ファイバに振り分ける、光学フィルタを用いた波長多重光カプラにおいて、
    前記入射光用光ファイバから出射される入射光を第１面から入射し、平行光に変換して第２面から出射する第１のレンズと、該第１のレンズの第２面に対向して配置され前記平行光に変換された入射光に含まれる第１の波長の光を反射し第２の波長の光を透過する第１の光学フィルタと、前記第１の光学フィルタにより反射された第１の波長の光が前記第１のレンズを介して集光される位置に端面が位置するように配置された第１の出射光用光ファイバと、前記第１のレンズの前記第１面に直接成膜により形成された第２の光学フィルタと、前記第１の光学フィルタを透過した第２の波長の光を集光する第２のレンズと、前記第２の波長の光が前記第２のレンズを介して集光される位置に端面が位置するように配置された第２の出射光用光ファイバと、を備え、
    前記第１のレンズの第１面上の、前記入射光用光ファイバの端面から出射される前記入射光が通過する入射光通過領域を除いた部分で、少なくとも前記第１の光学フィルタからの反射光が通過する出射光通過領域に、所定の膜構成の誘電体多層膜が形成されており、前記誘電体多層膜の上から、前記第１面の全面に、前記入射光の反射損失を抑制するための反射防止膜が形成されており、前記第２の光学フィルタは、前記所定の膜構成の誘電体多層膜と前記反射防止膜の積層膜で構成されることを特徴とする光学フィルタを用いた波長多重光カプラ。
  9. ２波長の光信号が多重化された入射光が１本の入射光用光ファイバから入射されたとき、前記入射光を波長毎の光信号に分離して、複数の出射光用光ファイバに振り分ける、光学フィルタを用いた波長多重光カプラにおいて、
    前記入射光用光ファイバから出射される入射光を第１面から入射し、平行光に変換して第２面から出射する第１のレンズと、該第１のレンズの第２面に対向して配置され前記平行光に変換された入射光に含まれる第１の波長の光を反射し第２の波長の光を透過する第１の光学フィルタと、前記第１の光学フィルタにより反射された第１の波長の光が前記第１のレンズを介して集光される位置に端面が位置するように配置された第１の出射光用光ファイバと、前記第１のレンズの前記第１面に直接成膜により形成された第２の光学フィルタと、前記第１の光学フィルタを透過した第２の波長の光を集光する第２のレンズと、
    前記第２の波長の光が前記第２のレンズを介して集光される位置に端面が位置するように配置された第２の出射光用光ファイバと、を備え、
    前記第１のレンズの第１面の全面に、前記入射光の反射損失を抑制するための反射防止膜が形成されており、前記反射防止膜上の、前記入射光用光ファイバの端面から出射される前記入射光が通過する入射光通過領域を除いた部分で、少なくとも前記第１の光学フィルタからの反射光が通過する出射光通過領域に、所定の膜構成の誘電体多層膜が形成されており、前記第２の光学フィルタは、前記反射防止膜と前記所定の膜構成の誘電体多層膜の積層膜で構成されることを特徴とする光学フィルタを用いた波長多重光カプラ。
  10. 請求項８又は９に記載の光学フィルタを用いた波長多重光カプラにおいて、
    前記第１の波長と第２の波長は、１２６０〜１３６０ｎｍ、１４８０〜１５００ｎｍ、および１５５０〜１５６０ｎｍの各波長範囲のいずれかを含むことを特徴とする光学フィルタを用いた波長多重光カプラ。
  11. 請求項２に記載の波長多重光カプラの製造方法において、
    前記第１のレンズの第１面上の、前記入射光通過領域をマスクする工程と、
    前記入射光通過領域がマスクされた前記第１面上に所定の膜構成の誘電体多層膜を成膜する工程と、
    前記マスクを該マスク上に形成された前記誘電体多層膜と共に除去する工程と、
    前記誘電体多層膜の上から、前記第１面の全面に反射防止膜を成膜する工程と、を含むことを特徴とする波長多重光カプラの製造方法。
  12. 請求項３に記載の波長多重光カプラの製造方法において、
    前記第１のレンズの第１面の全面に反射防止膜を成膜する工程と、
    前記反射防止膜上の、前記入射光通過領域をマスクする工程と、
    前記入射光通過領域がマスクされた前記反射防止膜上に所定の膜構成の誘電体多層膜を成膜する工程と、
    前記マスクを該マスク上に形成された前記誘電体多層膜と共に除去する工程と、を含むことを特徴とする波長多重光カプラの製造方法。
JP2005012113A 2005-01-19 2005-01-19 光学フィルタ、光学フィルタを用いた波長多重光カプラ、およびその製造方法 Pending JP2006201409A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005012113A JP2006201409A (ja) 2005-01-19 2005-01-19 光学フィルタ、光学フィルタを用いた波長多重光カプラ、およびその製造方法
US11/334,756 US7356223B2 (en) 2005-01-19 2006-01-17 Optical filter element and wavelength division multiplexing optical coupler

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005012113A JP2006201409A (ja) 2005-01-19 2005-01-19 光学フィルタ、光学フィルタを用いた波長多重光カプラ、およびその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006201409A true JP2006201409A (ja) 2006-08-03
JP2006201409A5 JP2006201409A5 (ja) 2007-11-08

Family

ID=36959467

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005012113A Pending JP2006201409A (ja) 2005-01-19 2005-01-19 光学フィルタ、光学フィルタを用いた波長多重光カプラ、およびその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006201409A (ja)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07287115A (ja) * 1994-04-20 1995-10-31 Toppan Printing Co Ltd 反射型カラーフィルタおよび液晶表示装置
JPH09304649A (ja) * 1996-05-15 1997-11-28 Fuji Elelctrochem Co Ltd 光回路モジュール
JP2003209317A (ja) * 2002-01-11 2003-07-25 Oki Electric Ind Co Ltd 半導体レーザモジュール
JP2004069865A (ja) * 2002-08-02 2004-03-04 Alps Electric Co Ltd 多層膜光フィルタ及びその製造方法とそれを用いる光学部品
JP2004133038A (ja) * 2002-10-08 2004-04-30 Nippon Sheet Glass Co Ltd フィルタモジュール

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07287115A (ja) * 1994-04-20 1995-10-31 Toppan Printing Co Ltd 反射型カラーフィルタおよび液晶表示装置
JPH09304649A (ja) * 1996-05-15 1997-11-28 Fuji Elelctrochem Co Ltd 光回路モジュール
JP2003209317A (ja) * 2002-01-11 2003-07-25 Oki Electric Ind Co Ltd 半導体レーザモジュール
JP2004069865A (ja) * 2002-08-02 2004-03-04 Alps Electric Co Ltd 多層膜光フィルタ及びその製造方法とそれを用いる光学部品
JP2004133038A (ja) * 2002-10-08 2004-04-30 Nippon Sheet Glass Co Ltd フィルタモジュール

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7843644B1 (en) Compact free-space WDM device with one-sided input/output ports
US6396978B1 (en) Optical wavelength division multiplexer/demultiplexer having patterned opaque regions to reduce optical noise
US6870976B2 (en) Filter based multiplexer/demultiplexer component
US20230010259A1 (en) Wavelength multiplexing/demultiplexing device
US20040114932A1 (en) Filter module
KR20040016406A (ko) 광 모듈
JP4320304B2 (ja) 波長多重光カプラおよびその製造方法
JP2005222022A (ja) 波長多重光カプラ
JP4824317B2 (ja) フィルタ付レンズ、およびこれを用いた波長多重光カプラ
JP2006201410A (ja) 光学フィルタ、およびこれを用いた波長多重光カプラ
KR20050029083A (ko) 더블유디엠 광커플러가 내장된 트라이플렉서 광모듈
JP2006201409A (ja) 光学フィルタ、光学フィルタを用いた波長多重光カプラ、およびその製造方法
JP2000131542A (ja) 光送受信モジュール
US7356223B2 (en) Optical filter element and wavelength division multiplexing optical coupler
JP4319067B2 (ja) 光合分波器
US20040086221A1 (en) Low cost, hybrid integrated dense wavelength division multiplexer/demultiplexer for fiber optical networks
US7412124B1 (en) Optical module with high reflection isolation and compact size
JP2002520649A (ja) 急峻スカート光フィルターシステム
JP2019139147A (ja) 光モジュール
Mahlein A high performance edge filter for wavelength-division multi-demultiplexer units
JP2001264572A (ja) 干渉光フィルタモジュール装置
US20040033012A1 (en) Wavelength division multiplexer
KR100310138B1 (ko) 광신호분리및합파장치
JP2002169054A (ja) 波長合分波器
US20040207923A1 (en) Compact, four port thin film filter optical add/drop multiplexer

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070926

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070926

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100520

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100525

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100726

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20110510