JP2006195255A - Display panel - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a display panel capable of suppressing a voltage drop and the delay of a current signal. <P>SOLUTION: A switching transistor 21, a holding transistor 22, and a driving transistor 23 are disposed at the upper surface of an insulating substrate 2 where a plurality of pixels 3 are arranged. A plurality of first grooves 34 and second grooves 35 are formed on the surface of a planarization film formed to cover the respective transistors 21, 22, 23, and a plurality of feeding wires 90 and selection wires 89 are embedded therein, respectively. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、ディスプレイパネルに係り、特に発光素子を用いたディスプレイパネルに関する。   The present invention relates to a display panel, and more particularly to a display panel using a light emitting element.

近年、CRT(Cathode Ray Tube)に代替する新たな映像表示方式を利用した表示装置として、液晶パネルを利用した液晶ディスプレイ(LCD:Liquid Crystal Display)、エレクトロルミネッセンス(EL:Electro Luminescence)現象を利用したELディスプレイ、プラズマディスプレイパネル(以下、PDP:Plasma Display Panel)を利用したプラズマディスプレイ等が開発されている。   In recent years, as a display device using a new video display method replacing CRT (Cathode Ray Tube), a liquid crystal display (LCD) using a liquid crystal panel and an electroluminescence (EL) phenomenon are used. Plasma displays using an EL display and a plasma display panel (hereinafter referred to as “PDP”) have been developed.

このうち、ELディスプレイには、エレクトロルミネッセンス素子(以下、EL素子)に無機化合物を用いた無機ELディスプレイと、有機化合物を用いた有機ELディスプレイとに大別され、カラー化が容易であり、無機ELディスプレイと比較して低電圧での動作が可能であるとの観点から、有機ELディスプレイの開発が進められている。   Among these, the EL display is roughly classified into an inorganic EL display using an inorganic compound as an electroluminescence element (hereinafter referred to as an EL element) and an organic EL display using an organic compound. Development of an organic EL display is underway from the viewpoint that it can operate at a lower voltage than an EL display.

この有機ELディスプレイに用いられる有機ELディスプレイパネルの駆動方式は、パッシブマトリクス駆動方式と、アクティブマトリクス駆動方式とが挙げられ、アクティブマトリクス駆動方式を採用した有機ELディスプレイパネルは、高コントラストかつ高精細であるため、パッシブマトリクス駆動方式よりも優れている。   The driving method of the organic EL display panel used in this organic EL display includes a passive matrix driving method and an active matrix driving method. An organic EL display panel adopting the active matrix driving method has high contrast and high definition. Therefore, it is superior to the passive matrix driving method.

例えば、特許文献1に記載された従来のアクティブマトリクス駆動方式の有機ELディスプレイパネルにおいては、有機EL素子と、画像データに応じた電圧信号がゲートに印加されて有機EL素子に電流を流す駆動トランジスタと、この駆動トランジスタのゲートに画像データに応じた電圧信号を供給するためのスイッチングを行うスイッチ用トランジスタとが、画素毎に設けられている。このような有機ELディスプレイパネルでは、走査線が選択されるとスイッチング用トランジスタがオンとなり、瞬時に輝度を表すレベルの電圧が信号線を介して駆動トランジスタのゲートに印加される。これによって、駆動トランジスタがオンとなり、ゲート電圧のレベルに応じた大きさの駆動電流が電源から駆動トランジスタのドレイン−ソースを介して有機EL素子に流れ、有機EL素子が電流の大きさに応じた輝度で発光する。走査線の選択が終了してから次にその走査線が選択されるまでの間では、スイッチ用トランジスタがオフとなっても駆動トランジスタのゲート電圧のレベルが保持され続け、有機EL素子は、駆動電流の大きさに応じた輝度で発光するようになっている。
特開平8−330600号公報
For example, in the conventional active matrix driving type organic EL display panel described in Patent Document 1, an organic EL element and a driving transistor in which a voltage signal corresponding to image data is applied to the gate to flow current to the organic EL element A switching transistor that performs switching for supplying a voltage signal corresponding to image data to the gate of the driving transistor is provided for each pixel. In such an organic EL display panel, when a scanning line is selected, the switching transistor is turned on, and a voltage having a level representing luminance is instantaneously applied to the gate of the driving transistor via the signal line. As a result, the driving transistor is turned on, and a driving current having a magnitude corresponding to the level of the gate voltage flows from the power source to the organic EL element via the drain-source of the driving transistor, and the organic EL element is in accordance with the magnitude of the current. Emits brightness. From the end of the selection of the scanning line to the next selection of the scanning line, even if the switching transistor is turned off, the level of the gate voltage of the driving transistor is maintained, and the organic EL element is driven. It emits light with a luminance corresponding to the magnitude of the current.
JP-A-8-330600

しかしながら、上述した有機ELディスプレイパネルの場合、電源線のような複数の有機EL素子に同時に電流を流す配線の電気抵抗によって、電圧降下や、配線を通じた信号の遅延が生じるという問題が生じている。これら電圧降下及び信号遅延を抑制するための対応策として、配線の厚さ寸法又は幅寸法を大きくすることにより配線を低抵抗化する方法が検討されている。ところが、この配線を、有機EL素子を動作させる駆動トランジスタ等の薄膜トランジスタのゲートメタルやソース、ドレインメタルを用いて形成すると、薄膜トランジスタにおける電極の厚さ寸法が要求される特性に応じて設計されているため、言い換えれば発光素子に電流を流すことを前提として設計していないため、配線からまとめて複数の発光素子に電流を流そうとすると、配線の電気抵抗によって、電圧降下が発生したり、配線を通じた電流の流れの遅延が生じたりする。電圧降下及び電流遅延を抑えるために配線を低抵抗化することが望まれるが、そのためにトランジスタのソース、ドレイン電極となる金属層やゲート電極となる金属層を電流が十分に流れる程度にかなり幅広にパターニングして低抵抗配線としたりすると、配線が他の配線や導電体等と平面視して重なる面積が増えてしまい、それらの間で寄生容量が発生してしまい、電流の流れを遅くする要因を発生してしまい、或いはトランジスタアレイ基板側からEL光を出射するいわゆるボトムエミッション構造の場合、EL素子からの発光を配線が遮光してしまうので、発光面積の割合である開口率の低下を招いてしまっていた。また低抵抗化するために薄膜トランジスタのゲート電極を厚くすると、エッチング精度が低くくなるばかりでなくゲート電極の段差を平坦化するための平坦化膜(例えば薄膜トランジスタが逆スタガ構造の場合、ゲート絶縁膜に相当)まで厚くしなければならず、トランジスタ特性が大きく変化してしまう恐れがあり、またソース、ドレイン電極を厚くすると、ソース、ドレイン電極のエッチング精度が低下してしまうため、やはりトランジスタの特性に悪影響を及ぼす恐れがある。   However, in the case of the above-described organic EL display panel, there is a problem that a voltage drop or a signal delay through the wiring occurs due to the electrical resistance of the wiring that allows current to simultaneously flow through a plurality of organic EL elements such as power supply lines. . As a countermeasure for suppressing these voltage drops and signal delays, a method of reducing the resistance of the wiring by increasing the thickness or width of the wiring has been studied. However, when this wiring is formed using the gate metal, source, or drain metal of a thin film transistor such as a driving transistor for operating an organic EL element, the thickness of the electrode in the thin film transistor is designed according to the required characteristics. Therefore, in other words, it is not designed on the premise that a current flows to the light emitting element, so when trying to flow current from a wiring to a plurality of light emitting elements, a voltage drop may occur due to the electrical resistance of the wiring A delay in the flow of current through the. In order to suppress the voltage drop and current delay, it is desirable to reduce the resistance of the wiring. For this purpose, the wiring is wide enough to allow current to sufficiently flow through the metal layer serving as the source and drain electrodes of the transistor and the metal layer serving as the gate electrode. When patterning to low resistance wiring, the area where the wiring overlaps with other wiring, conductors, etc. in plan view increases, parasitic capacitance is generated between them, and current flow is slowed down. In the case of a so-called bottom emission structure in which EL light is emitted from the transistor array substrate side, the wiring blocks the light emitted from the EL element, which reduces the aperture ratio, which is the ratio of the light emitting area. I was invited. Further, when the gate electrode of the thin film transistor is made thicker in order to reduce the resistance, not only the etching accuracy is lowered, but also a planarization film for planarizing the step of the gate electrode (for example, when the thin film transistor has an inverted staggered structure, a gate insulating film) The transistor characteristics may change significantly, and if the source and drain electrodes are made thicker, the etching accuracy of the source and drain electrodes will decrease. May adversely affect

本発明は前記した点に鑑みてなされたものであり、電圧降下、電流信号の遅延を抑制することが可能なディスプレイパネルを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above points, and an object thereof is to provide a display panel capable of suppressing a voltage drop and a delay of a current signal.

以上の課題を解決するために、請求項1に記載の発明に係るディスプレイパネルは、
基板と、
前記基板上に、トランジスタを備えた複数の画素回路と、
前記各トランジスタの上方を被覆するように形成され、表面に溝が形成された絶縁膜と、
前記溝に埋設され、前記複数の画素回路に接続された配線と、
を具備することを特徴とする。
In order to solve the above problems, a display panel according to the invention described in claim 1 is:
A substrate,
A plurality of pixel circuits including transistors on the substrate;
An insulating film formed so as to cover the upper portion of each transistor and having a groove formed on the surface;
A wiring embedded in the groove and connected to the plurality of pixel circuits;
It is characterized by comprising.

請求項15に記載の発明に係るディスプレイパネルは、
複数のサブピクセルを具備する複数の画素が配設された基板と、
前記基板の上面において、前記サブピクセルごとに配設された複数の駆動トランジスタと、
ソースとドレインの一方を前記駆動トランジスタのソースとドレインの何れか一方に導通させ、前記基板の上面において、前記サブピクセルごとに配設された複数のスイッチトランジスタと、
ソースとドレインの一方を前記駆動トランジスタのソースとドレインの他方に導通させ、ソースとドレインの他方を前記駆動トランジスタのゲートに導通させ、前記基板の上面に前記サブピクセルごとに配設された複数の保持トランジスタと、
前記駆動トランジスタ、スイッチトランジスタ及び保持トランジスタを被覆するように形成され、表面に複数の第一の溝及び第二の溝が形成された保護絶縁膜と、
前記第一の溝に埋設され、前記駆動トランジスタのソースとドレインの他方に導通し、前記駆動トランジスタ、スイッチトランジスタ及び保持トランジスタのゲート、ソース及びドレインとは別の導電層によって形成された複数の給電配線と、
前記第二の溝に埋設され、前記スイッチトランジスタのゲート及び前記保持トランジスタのゲートの少なくとも一方に導通し、前記駆動トランジスタ、前記スイッチトランジスタ及び前記保持トランジスタのゲート・ソース・ドレインとは別の導電層によって形成された複数の選択配線と、
前記保護絶縁膜の上面に互いに平行となるように形成された複数の突条と、
前記突条に沿って前記保護絶縁膜の上面に配列されると共に、隣接する前記突条の間において、前記サブピクセルごとに設けられ、前記駆動トランジスタのソースとドレインの何れか一方に導通した複数のサブピクセル電極と、
前記サブピクセル電極の上面に形成された発光層と、
前記発光層を被覆するとともに、前記給電配線及び突条を被覆するように形成された対向電極と、
前記対向電極に接続された共通配線とを具備することを特徴とする。
A display panel according to the invention of claim 15 is provided.
A substrate on which a plurality of pixels each having a plurality of subpixels are disposed;
A plurality of driving transistors disposed for each of the sub-pixels on the upper surface of the substrate;
A plurality of switch transistors arranged for each of the sub-pixels on the upper surface of the substrate, wherein one of the source and the drain is electrically connected to either the source or the drain of the driving transistor;
One of the source and the drain is electrically connected to the other of the source and the drain of the driving transistor, the other of the source and the drain is electrically connected to the gate of the driving transistor, and a plurality of subpixels disposed on the upper surface of the substrate. A holding transistor;
A protective insulating film formed so as to cover the driving transistor, the switch transistor, and the holding transistor, and having a plurality of first grooves and second grooves formed on a surface thereof;
A plurality of power feeds embedded in the first groove, conducted to the other of the source and drain of the drive transistor, and formed by a conductive layer different from the gate, source and drain of the drive transistor, switch transistor and holding transistor Wiring and
A conductive layer embedded in the second trench, electrically connected to at least one of the gate of the switch transistor and the gate of the holding transistor, and different from the gate, source and drain of the driving transistor, the switch transistor and the holding transistor A plurality of selection wirings formed by
A plurality of protrusions formed on the upper surface of the protective insulating film so as to be parallel to each other;
A plurality of conductors arranged on the upper surface of the protective insulating film along the protrusions and provided between the adjacent protrusions for each of the subpixels and conducted to one of the source and drain of the driving transistor. Subpixel electrodes,
A light emitting layer formed on an upper surface of the subpixel electrode;
A counter electrode formed so as to cover the light emitting layer and the power supply wiring and the ridge,
And a common wiring connected to the counter electrode.

請求項1記載の発明によれば、配線が、複数の画素回路のトランジスタの上方を被覆する保護絶縁膜に形成された溝に埋設されているので、配線の厚さを大きくすることで、低抵抗化を図ることが可能となり、これによって電圧降下及び電流信号遅延の抑制を図ることができる。   According to the first aspect of the present invention, since the wiring is embedded in the groove formed in the protective insulating film covering the upper part of the transistors of the plurality of pixel circuits, it is possible to reduce the thickness by increasing the thickness of the wiring. It becomes possible to achieve resistance, and thereby voltage drop and current signal delay can be suppressed.

請求項15記載の発明によれば、各画素において、保護絶縁膜に形成された第一の溝に埋設された給電配線と、第二の溝に埋設された選択配線とが、スイッチングトランジスタ、保持トランジスタ及び駆動トランジスタの電極とは異なる層に形成されているので、給電配線及び選択配線の厚さを大きくすることで、給電配線及び選択配線の低抵抗化を図ることが可能となり、これによって、給電配線及び選択配線を通じてスイッチングトランジスタ、保持トランジスタ及び駆動トランジスタに信号を出力した場合でも、電圧降下及び信号遅延の抑制を図ることができる。   According to the fifteenth aspect of the present invention, in each pixel, the power supply wiring embedded in the first groove formed in the protective insulating film and the selection wiring embedded in the second groove are a switching transistor and a holding transistor. Since it is formed in a layer different from the electrodes of the transistor and the driving transistor, it is possible to reduce the resistance of the power supply wiring and the selection wiring by increasing the thickness of the power supply wiring and the selection wiring. Even when a signal is output to the switching transistor, the holding transistor, and the driving transistor through the power supply wiring and the selection wiring, the voltage drop and the signal delay can be suppressed.

以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を用いて説明する。但し、以下に述べる実施形態には、本発明を実施するために技術的に好ましい種々の限定が付されているが、発明の範囲を以下の実施形態及び図示例に限定するものではない。
図1から図15を参照しながら、本発明に係るディスプレイパネルについて説明する。
まず始めに、ディスプレイパネルの平面構成について説明する。
本実施形態におけるディスプレイパネル1は、図1に示すように、画素3がマトリクス状に配置されている。これらの画素3は、略長方形状の1ドットの赤サブピクセルPrと、1ドットの緑サブピクセルPgと、1ドットの青サブピクセルPbとから構成されており、各サブピクセルPr,Pg,Pbは、画素3において、互いの長手方向(以下、垂直方向)が平行となるように、かつ、長手方向と直交する方向(以下、水平方向)に赤サブピクセルPr、緑サブピクセルPg、青サブピクセルPbの順となるように配列されている。
ここで、以下の説明において、これら赤サブピクセルPr、緑サブピクセルPg、青サブピクセルPbのうち、任意のサブピクセルをサブピクセルPと表し、このサブピクセルPについての説明は、赤サブピクセルPr、緑サブピクセルPg、青サブピクセルPbの何れについても適用されるものとする。
The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings. However, although various technically preferable limitations for implementing the present invention are given to the embodiments described below, the scope of the invention is not limited to the following embodiments and illustrated examples.
A display panel according to the present invention will be described with reference to FIGS.
First, the planar configuration of the display panel will be described.
As shown in FIG. 1, the display panel 1 in the present embodiment has pixels 3 arranged in a matrix. These pixels 3 are composed of a substantially rectangular 1-dot red sub-pixel Pr, 1-dot green sub-pixel Pg, and 1-dot blue sub-pixel Pb, and each sub-pixel Pr, Pg, Pb In the pixel 3, the red subpixel Pr, the green subpixel Pg, and the blue subpixel are arranged in a direction orthogonal to the longitudinal direction (hereinafter referred to as horizontal direction) so that the longitudinal directions (hereinafter referred to as vertical directions) are parallel to each other. The pixels Pb are arranged in this order.
Here, in the following description, an arbitrary subpixel of the red subpixel Pr, the green subpixel Pg, and the blue subpixel Pb is represented as a subpixel P, and the description of the subpixel P is described as a red subpixel Pr. The green subpixel Pg and the blue subpixel Pb are applied.

また、図1に示すように、垂直方向の赤サブピクセルPrの列と、青サブピクセルPbの列との間には、信号線Yrが配列されている。また、垂直方向の緑サブピクセルPgの列と、赤サブピクセルPrの列との間には、信号線Ygが配列されている。さらに、垂直方向の青サブピクセルPbの列と、緑サブピクセルPgの列との間には、信号線Ybがそれぞれ配設されている。したがって、水平方向の配列順に着目すると、信号線Yr、信号線Yg、信号線Ybの順に繰り返し配列されており、これら信号線Yr、信号線Yg及び信号線Ybは、垂直方向に延在すると共に、互いが平行となるように配設されている。   In addition, as shown in FIG. 1, a signal line Yr is arranged between a column of red subpixels Pr and a column of blue subpixels Pb in the vertical direction. A signal line Yg is arranged between the vertical row of green subpixels Pg and the red row of subpixels Pr. Further, a signal line Yb is disposed between the column of blue subpixels Pb and the column of green subpixels Pg in the vertical direction. Accordingly, when attention is paid to the order of arrangement in the horizontal direction, the signal lines Yr, signal lines Yg, and signal lines Yb are repeatedly arranged in this order, and these signal lines Yr, signal lines Yg, and signal lines Yb extend in the vertical direction. These are arranged so as to be parallel to each other.

これら信号線Yr、信号線Yg及び信号線Ybは、垂直方向に沿って一列に配列された全ての赤サブピクセルPr、全ての緑サブピクセルPg、全ての青サブピクセルPbにそれぞれ信号を供給するようになっている。
ここで、以下の説明において、信号線Yは、赤サブピクセルPrの場合には図1の信号線Yrを表す。また、緑サブピクセルPgの場合には図1の信号線Ygを表す。さらに、青サブピクセルPbの場合には図1の信号線Ybをそれぞれ表す。また、信号線Yについての説明は、信号線Yr、信号線Yg、信号線Ybの何れについても適用されるものとする。
These signal line Yr, signal line Yg, and signal line Yb supply signals to all red subpixels Pr, all green subpixels Pg, and all blue subpixels Pb arranged in a line along the vertical direction. It is like that.
Here, in the following description, the signal line Y represents the signal line Yr of FIG. 1 in the case of the red subpixel Pr. In the case of the green subpixel Pg, the signal line Yg in FIG. 1 is represented. Further, in the case of the blue sub-pixel Pb, the signal line Yb in FIG. 1 is represented. The description of the signal line Y is applied to any of the signal line Yr, the signal line Yg, and the signal line Yb.

ここで信号線Yはn本あり、垂直方向(列方向)に延在した信号線Y1〜Ynは、水平方向(行方向)に延在しているm本の走査線X1〜Xm、m本の給電配線90,90,…及びm本の供給線Z1〜Zmと直交している。また、m,nはそれぞれ2以上の自然数であり、且つnは3の倍数であり、走査線Xに下付けした数字は、図7、図9において上からの配列順を表し、供給線Zに下付けした数字は、図7、図9において上からの配列順を表し、信号線Yに下付けした数字は図7、図9において左からの配列順を表し、サブピクセルPに下付けした数字の前側が上からの配列順を表し、後ろ側が左からの配列順を表す。すなわち、1〜mのうちの任意の自然数をiとし、1からnのうちの任意の自然数をjとした場合に、走査線Xiは上からi行目であり、供給線Ziは左からi行目であり、信号線Yjは左からj列目であり、サブピクセルPi,jは上からi行目、左からj列目であり、サブピクセルPi,jは走査線Xi、供給線Zi及び信号線Yjに接続されている。より具体的に、画素3における垂直方向の上側には、複数の走査線Xが水平方向に沿って延在して配設されている。一方、画素3を挟んで走査線Xと対向する下側には、複数の供給線Zと、複数の給電配線90とが、走査線Xに対して平行に配設されている。したがって、垂直方向の配列順に着目すると、走査線X、画素3の列、供給線Zの順に繰り返し配列されている。これら走査線X及び供給線Zは、水平方向に沿った一行に配列された各サブピクセルPr,Pg,Pbに信号を供給するようになっている。 Here, there are n signal lines Y, and the signal lines Y 1 to Y n extending in the vertical direction (column direction) are m scanning lines X 1 to X extending in the horizontal direction (row direction). are orthogonal to m , m supply lines 90, 90,... and m supply lines Z 1 to Z m . In addition, m and n are each a natural number of 2 or more, and n is a multiple of 3, and the number subscripted to the scanning line X represents the arrangement order from the top in FIGS. 7 and 9 indicate the arrangement order from the top in FIG. 7 and FIG. 9, and the numbers subscripted to the signal line Y indicate the arrangement order from the left in FIG. 7 and FIG. The front side of the numbers represents the arrangement order from the top, and the back side represents the arrangement order from the left. That is, when an arbitrary natural number of 1 to m is i and an arbitrary natural number of 1 to n is j, the scanning line X i is the i-th row from the top, and the supply line Z i is the left The signal line Y j is the j-th column from the left, the sub-pixel P i, j is the i-th row from the top, the j-th column from the left, and the sub-pixel P i, j is the scanning line. It is connected to X i , supply line Z i and signal line Y j . More specifically, a plurality of scanning lines X are arranged on the upper side in the vertical direction of the pixels 3 so as to extend in the horizontal direction. On the other hand, a plurality of supply lines Z and a plurality of power supply wirings 90 are arranged in parallel to the scanning lines X on the lower side facing the scanning lines X across the pixels 3. Accordingly, when paying attention to the arrangement order in the vertical direction, the scanning lines X, the columns of the pixels 3 and the supply lines Z are repeatedly arranged in this order. These scanning lines X and supply lines Z supply signals to the subpixels Pr, Pg, and Pb arranged in one row along the horizontal direction.

次に、サブピクセルPr,Pg,Pbの回路構成について説明する。
何れのサブピクセルPr,Pg,Pbも同様に構成されており、1ドットのサブピクセルPには、図2に示すように、いずれもNチャネル型アモルファスシリコン薄膜トランジスタであるスイッチトランジスタ21、保持トランジスタ22及び駆動トランジスタ23と、キャパシタ24とが具備されている画素回路と、有機EL素子20とが設けられている。
Next, the circuit configuration of the subpixels Pr, Pg, and Pb will be described.
All of the subpixels Pr, Pg, and Pb are configured in the same manner. As shown in FIG. 2, each subpixel Pr, Pg, and Pb includes a switch transistor 21 and a holding transistor 22 that are all N-channel amorphous silicon thin film transistors. The pixel circuit including the driving transistor 23 and the capacitor 24 and the organic EL element 20 are provided.

有機EL素子20は、画素電極としてサブピクセル電極20aと、有機EL層20b(図5に図示)と、対向電極20cとを有している。このうち、対向電極20cは、共通配線91に導通されている。   The organic EL element 20 includes a subpixel electrode 20a, an organic EL layer 20b (shown in FIG. 5), and a counter electrode 20c as pixel electrodes. Among these, the counter electrode 20 c is electrically connected to the common wiring 91.

スイッチトランジスタ21は、ソース21sと、ドレイン21dと、ゲート21gとを有する。このうち、ソース21sは、信号線Yと導通され、ドレイン21dは、有機EL素子20のサブピクセル電極20aと、駆動トランジスタ23のソース23sと、キャパシタ24の電極24Bとに導通され、ゲート21gは、保持トランジスタ22のゲート22gと、走査線Xと導通されている。   The switch transistor 21 has a source 21s, a drain 21d, and a gate 21g. Among these, the source 21s is electrically connected to the signal line Y, the drain 21d is electrically connected to the subpixel electrode 20a of the organic EL element 20, the source 23s of the drive transistor 23, and the electrode 24B of the capacitor 24, and the gate 21g is The gate 22g of the holding transistor 22 is electrically connected to the scanning line X.

保持トランジスタ22は、ソース22sと、ドレイン22dと、ゲート22gとを有する。このうち、ソース22sは、駆動トランジスタ23のゲート23gと、キャパシタ24の電極24Aと導通され、ドレイン22dは、駆動トランジスタ23のドレイン23dと、供給線Zと導通され、ゲート22gは、スイッチトランジスタ21のゲート21gと、走査線Xとに導通されている。なお、保持トランジスタ22のドレイン22dは、駆動トランジスタ23のドレイン23dと導通せずに走査線Xに接続されていてもよい。   The holding transistor 22 includes a source 22s, a drain 22d, and a gate 22g. Among these, the source 22s is electrically connected to the gate 23g of the driving transistor 23 and the electrode 24A of the capacitor 24, the drain 22d is electrically connected to the drain 23d of the driving transistor 23 and the supply line Z, and the gate 22g is electrically connected to the switch transistor 21. The gate 21g is electrically connected to the scanning line X. Note that the drain 22d of the holding transistor 22 may be connected to the scanning line X without being electrically connected to the drain 23d of the driving transistor 23.

駆動トランジスタ23は、ソース23sと、ドレイン23dと、ゲート23gとを有する。このうち、ソース23sは、有機EL素子20のサブピクセル電極20aと、スイッチトランジスタ21のドレイン21dと、キャパシタ24の電極24Bとに導通され、ドレイン23dは、保持トランジスタ22のドレイン22dと、供給線Zとに導通され、ゲート23gは、保持トランジスタ22のソース22sと、キャパシタ24の電極24Aとに導通されている。   The drive transistor 23 has a source 23s, a drain 23d, and a gate 23g. Among these, the source 23s is electrically connected to the sub-pixel electrode 20a of the organic EL element 20, the drain 21d of the switch transistor 21, and the electrode 24B of the capacitor 24. The drain 23d is connected to the drain 22d of the holding transistor 22 and the supply line. The gate 23g is electrically connected to the source 22s of the holding transistor 22 and the electrode 24A of the capacitor 24.

キャパシタ24は、絶縁基板2上に上下方向に重なるように形成された電極24A及び電極24Bと、電極24Aと電極24Bとの間に介在する誘電体とを有している。何れのサブピクセルPr,Pg,Pbでもキャパシタ24は同様の層構造になっている。   The capacitor 24 includes electrodes 24A and 24B formed on the insulating substrate 2 so as to overlap in the vertical direction, and a dielectric interposed between the electrodes 24A and 24B. The capacitor 24 has the same layer structure in any of the subpixels Pr, Pg, and Pb.

次に、サブピクセルの平面構成について説明する。
図3に示すように、各サブピクセルPr,Pg,Pbについて平面視した場合、スイッチトランジスタ21は、信号線Yに沿って配置されている。また、保持トランジスタ22は、走査線Xに隣接するサブピクセルPの角部に配置されている。さらに、駆動トランジスタ23は、隣接する信号線Yに沿ってそれぞれ配置されており、キャパシタ24は、駆動トランジスタ23に沿って配置されている。
Next, the planar configuration of the subpixel will be described.
As shown in FIG. 3, the switch transistor 21 is disposed along the signal line Y when the subpixels Pr, Pg, and Pb are viewed in plan. In addition, the holding transistor 22 is disposed at the corner of the subpixel P adjacent to the scanning line X. Further, the drive transistor 23 is disposed along the adjacent signal line Y, and the capacitor 24 is disposed along the drive transistor 23.

また、ディスプレイパネル1全体を平面視して、各サブピクセルPr,Pg,Pbにおけるスイッチトランジスタ21、保持トランジスタ22及び駆動トランジスタ23のそれぞれに着目すると、各トランジスタ21,22,23は、マトリクス状にそれぞれ配列されている。   In addition, when the entire display panel 1 is viewed in plan and attention is paid to the switch transistor 21, the holding transistor 22, and the driving transistor 23 in each of the subpixels Pr, Pg, and Pb, the transistors 21, 22, and 23 are arranged in a matrix. Each is arranged.

有機EL素子20のサブピクセル電極20aは、図1及び図3において、トランジスタ21,22,23を見やすくするとの観点から省略されているが、これらサブピクセル電極20aは、水平方向に隣接する信号線Yと、垂直方向に隣り合う供給線Z及び走査線Xとによって囲繞された矩形領域内に配置されている。また、サブピクセル電極20aは、その矩形領域に沿うように矩形状に形成されているため、ディスプレイパネル1全体を平面視して、各サブピクセルPr,Pg,Pbのサブピクセル電極20aだけに着目すると、複数のサブピクセル電極20aがマトリクス状に配列されている。   The sub-pixel electrodes 20a of the organic EL element 20 are omitted in FIGS. 1 and 3 from the viewpoint of making the transistors 21, 22, and 23 easier to see, but these sub-pixel electrodes 20a are signal lines adjacent in the horizontal direction. It is arranged in a rectangular area surrounded by Y and the supply line Z and the scanning line X adjacent in the vertical direction. Further, since the subpixel electrode 20a is formed in a rectangular shape along the rectangular area, the entire display panel 1 is viewed in plan and attention is paid only to the subpixel electrodes 20a of the subpixels Pr, Pg, and Pb. Then, the plurality of subpixel electrodes 20a are arranged in a matrix.

次に、ディスプレイパネル1の層構造について説明する。
図5は、図4に示された破断線V−Vに沿って絶縁基板2の厚さ方向に切断した矢視断面図であり、図6は、図4に示された破断線VI−VIに沿って絶縁基板2の厚さ方向に切断した矢視断面図である。ディスプレイパネル1には、図5に示すように、光透過性を有する可撓性を有するシート状、または剛性を有する板状の絶縁基板2が具備されており、この絶縁基板2の上面には、スイッチトランジスタ21、保持トランジスタ22、駆動トランジスタ23及びキャパシタ24が層構造となるように形成されている。
Next, the layer structure of the display panel 1 will be described.
5 is a sectional view taken in the direction of the thickness of the insulating substrate 2 along the broken line VV shown in FIG. 4, and FIG. 6 is a broken line VI-VI shown in FIG. It is arrow sectional drawing cut | disconnected in the thickness direction of the insulation board | substrate 2 along line. As shown in FIG. 5, the display panel 1 includes a flexible sheet-like insulating sheet 2 having light transmittance or a plate-like insulating board 2 having rigidity. The switch transistor 21, the holding transistor 22, the driving transistor 23, and the capacitor 24 are formed to have a layer structure.

図5に示すように、スイッチトランジスタ21は、絶縁基板2の上面に形成されたゲート21gと、ゲート21gの上部に形成されたゲート絶縁膜31と、ゲート絶縁膜31を挟んでゲート21gに対向した半導体膜21cと、半導体膜21cの中央部上に形成されたチャネル保護膜21pと、半導体膜21cの両端部上において互いに離間するよう形成され、チャネル保護膜21pに一部重なった不純物半導体膜21a,21bと、不純物半導体膜21aの上部に形成されたドレイン21dと、不純物半導体膜21bの上部に形成されたソース21sとを有している。   As shown in FIG. 5, the switch transistor 21 is opposed to the gate 21g with the gate 21g formed on the upper surface of the insulating substrate 2, the gate insulating film 31 formed above the gate 21g, and the gate insulating film 31 interposed therebetween. Semiconductor film 21c, channel protective film 21p formed on the center of semiconductor film 21c, and impurity semiconductor film formed on both ends of semiconductor film 21c so as to be separated from each other and partially overlapping channel protective film 21p 21a, 21b, a drain 21d formed on the impurity semiconductor film 21a, and a source 21s formed on the impurity semiconductor film 21b.

なお、ドレイン21d及びソース21sは、一層構造であってもよいし、二層以上の積層構造であってもよい。   Note that the drain 21d and the source 21s may have a single-layer structure or a stacked structure of two or more layers.

また、保持トランジスタ22は、その層構造について図示しないが、スイッチトランジスタ21と同様に、絶縁基板2の上面に形成されたゲート22gと、ゲート22gの上に形成されたゲート絶縁膜31と、ゲート絶縁膜31を挟んでゲート22gに対向した半導体膜22cと、半導体膜22cの中央部上に形成されたチャネル保護膜22pと、半導体膜22cの両端部上において互いに離間するよう形成され、チャネル保護膜22pに一部重なった不純物半導体膜22a,22bと、不純物半導体膜22aの上に形成されたドレイン22dと、不純物半導体膜22bの上に形成されたソース22sと、を有している。   Although the layer structure of the holding transistor 22 is not shown, like the switch transistor 21, the gate 22g formed on the upper surface of the insulating substrate 2, the gate insulating film 31 formed on the gate 22g, and the gate The semiconductor film 22c facing the gate 22g with the insulating film 31 interposed therebetween, the channel protection film 22p formed on the central portion of the semiconductor film 22c, and formed on both ends of the semiconductor film 22c so as to be separated from each other, thereby protecting the channel Impurity semiconductor films 22a and 22b partially overlapping the film 22p, a drain 22d formed on the impurity semiconductor film 22a, and a source 22s formed on the impurity semiconductor film 22b.

図5に示すように、駆動トランジスタ23は、絶縁基板2の上面に形成されたゲート23gと、ゲート23gの上部に形成されたゲート絶縁膜31と、ゲート絶縁膜31を挟んでゲート23gに対向した半導体膜23cと、半導体膜23cの中央部上に形成されたチャネル保護膜23pと、半導体膜23cの両端部上において互いに離間するよう形成され、チャネル保護膜23pに一部重なった不純物半導体膜23a,23bと、不純物半導体膜23aの上に形成されたドレイン23dと、不純物半導体膜23bの上に形成されたソース23sとから構成されている。このような駆動トランジスタ23は、図3及び図4に示すように、コの字状に形成されることで、チャンネル幅が広くなるようになっている。   As shown in FIG. 5, the driving transistor 23 is opposed to the gate 23g with the gate 23g formed on the upper surface of the insulating substrate 2, the gate insulating film 31 formed on the gate 23g, and the gate insulating film 31 interposed therebetween. The semiconductor film 23c, the channel protective film 23p formed on the central portion of the semiconductor film 23c, and the impurity semiconductor film formed so as to be separated from each other on both ends of the semiconductor film 23c and partially overlapping the channel protective film 23p 23a, 23b, a drain 23d formed on the impurity semiconductor film 23a, and a source 23s formed on the impurity semiconductor film 23b. As shown in FIGS. 3 and 4, the driving transistor 23 is formed in a U shape so that the channel width is widened.

なお、ドレイン23d及びソース23sは、一層構造であってもよいし、二層以上の積層構造であってもよい。   Note that the drain 23d and the source 23s may have a single-layer structure or a stacked structure of two or more layers.

キャパシタ24は、絶縁基板2の上面に形成された電極24Aと、誘電体として電極24Aの上部に形成されたゲート絶縁膜31と、ゲート絶縁膜31を挟んで電極24Aに対向した電極24Bと、を有している。   The capacitor 24 includes an electrode 24A formed on the upper surface of the insulating substrate 2, a gate insulating film 31 formed as a dielectric on the electrode 24A, an electrode 24B facing the electrode 24A across the gate insulating film 31, have.

これらスイッチトランジスタ21、保持トランジスタ22、駆動トランジスタ23及びキャパシタ24は、何れのサブピクセルPr,Pg,Pbにおいても同様の層構造となっている。   The switch transistor 21, the holding transistor 22, the driving transistor 23, and the capacitor 24 have the same layer structure in any of the subpixels Pr, Pg, and Pb.

また、スイッチトランジスタ21のゲート21g、保持トランジスタ22のゲート22g、駆動トランジスタ23のゲート23g、キャパシタ24の電極24A及び全ての信号線Yr,Yg,Ybは、絶縁基板2の上面にベタ一面に成膜された導電性膜を、フォトリソグラフィー法や、エッチング法によってパターニングすることで形成されている。
ここで、スイッチトランジスタ21のゲート21g、保持トランジスタ22のゲート22g、駆動トランジスタ23のゲート23g、キャパシタ24の電極24A及び信号線Yr,Yg,Ybは、絶縁基板2上にべた一面に成膜された導電性膜をフォトリソグラフィー法・エッチング法によってパターニングすることで形成されたものである。以下では、スイッチトランジスタ21のゲート21g、保持トランジスタ22のゲート22g、駆動トランジスタ23のゲート23g及びキャパシタ24の下層電極24A並びに信号線Yr,Yg,Ybの元となる導電性膜を、以下、ゲートレイヤーという。
Further, the gate 21g of the switch transistor 21, the gate 22g of the holding transistor 22, the gate 23g of the driving transistor 23, the electrode 24A of the capacitor 24 and all the signal lines Yr, Yg, Yb are formed on the entire surface of the insulating substrate 2 in a single plane. The formed conductive film is formed by patterning by a photolithography method or an etching method.
Here, the gate 21g of the switch transistor 21, the gate 22g of the holding transistor 22, the gate 23g of the drive transistor 23, the electrode 24A of the capacitor 24, and the signal lines Yr, Yg, Yb are formed on a flat surface on the insulating substrate 2. The conductive film is formed by patterning by a photolithography method or an etching method. Hereinafter, the gate 21g of the switch transistor 21, the gate 22g of the holding transistor 22, the gate 23g of the drive transistor 23, the lower layer electrode 24A of the capacitor 24, and the conductive film that is the source of the signal lines Yr, Yg, Yb are hereinafter referred to as the gate. This is called a layer.

スイッチトランジスタ21、保持トランジスタ22、駆動トランジスタ23及びキャパシタ24の上には、ゲート絶縁膜31がベタ一面に成膜されており、このゲート絶縁膜31は、スイッチトランジスタ21のゲート21g、保持トランジスタ22のゲート22g、駆動トランジスタ23のゲート23g、キャパシタ24の電極24A及び信号線Yr,Yg,Ybを被覆するようになっている。   A gate insulating film 31 is formed on the entire surface of the switch transistor 21, the holding transistor 22, the driving transistor 23, and the capacitor 24. The gate insulating film 31 includes the gate 21 g of the switching transistor 21 and the holding transistor 22. The gate 22g, the gate 23g of the driving transistor 23, the electrode 24A of the capacitor 24, and the signal lines Yr, Yg, Yb are covered.

さらに、スイッチトランジスタ21のドレイン21d及びソース21s、保持トランジスタ22のドレイン22d及びソース22s、駆動トランジスタ23のドレイン23d及びソース23s、キャパシタ24の電極24B及び全ての走査線X並びに供給線Zは、ゲート絶縁膜31の上面にベタ一面に成膜された導電性膜を、フォトリソグラフィー法や、エッチング法によってパターニングすることで形成されている。
ここで、スイッチトランジスタ21のドレイン21d及びソース21s、保持トランジスタ22のドレイン22d及びソース22s、駆動トランジスタ23のドレイン23d及びソース23s、キャパシタ24の電極24B及び走査線X並びに供給線Zの元となる導電性膜を、以下、ドレインレイヤーという。
Further, the drain 21d and source 21s of the switch transistor 21, the drain 22d and source 22s of the holding transistor 22, the drain 23d and source 23s of the drive transistor 23, the electrode 24B of the capacitor 24, all the scanning lines X, and the supply line Z are gates. The conductive film formed on the entire surface of the insulating film 31 is patterned by photolithography or etching.
Here, the drain 21d and source 21s of the switch transistor 21, the drain 22d and source 22s of the holding transistor 22, the drain 23d and source 23s of the driving transistor 23, the electrode 24B of the capacitor 24, the scanning line X, and the supply line Z are generated. Hereinafter, the conductive film is referred to as a drain layer.

図3に示すように、ゲート絶縁膜31であって、平面視して、走査線Xと重畳する箇所には、1ドットのサブピクセルP当たり1つのコンタクトホール92が形成され、スイッチトランジスタ21のゲート21g及び保持トランジスタ22のゲート22gが、コンタクトホール92を介して走査線Xと導通されている。
また、ゲート絶縁膜31であって、平面視して、信号線Yと重畳する箇所には、1ドットのサブピクセルP当たり1つのコンタクトホール94が形成され、スイッチトランジスタ21のソース21sが、コンタクトホール94を介して信号線Yと導通されている。
さらに、ゲート絶縁膜31であって、電極24Aと重畳する箇所には、1ドットのサブピクセルPにつき1つのコンタクトホール93が形成され、保持トランジスタ22のソース22sが、コンタクトホール93を介して駆動トランジスタ23のゲート23gと、キャパシタ24の電極24Aとに導通されている。
なお、信号線Yr,Yg,Ybの上方には、ゲート絶縁膜31を介して半導体膜23cと同じ層をパターニングしてなる保護膜41と、チャネル保護膜23pと同じ層をパターニングしてなる保護膜42と、が積層されている。保護膜41及び保護膜42は、ゲート絶縁膜31にピンホールが形成されてしまった場合、このピンホールを介して信号線Yr,Yg,Ybが供給線Zと短絡してしまうことを防止するための保護膜である。
As shown in FIG. 3, in the gate insulating film 31 in a plan view, one contact hole 92 is formed for each subpixel P of one dot at a position overlapping the scanning line X, and the switch transistor 21 The gate 21 g and the gate 22 g of the holding transistor 22 are electrically connected to the scanning line X through the contact hole 92.
In addition, in the gate insulating film 31, in a plan view, a contact hole 94 is formed for each dot subpixel P at a position overlapping the signal line Y, and the source 21 s of the switch transistor 21 is in contact with the contact line 94. The signal line Y is electrically connected through the hole 94.
Further, in the gate insulating film 31, a contact hole 93 is formed for each subpixel P of one dot at a position overlapping with the electrode 24 </ b> A, and the source 22 s of the holding transistor 22 is driven through the contact hole 93. The transistor 23 is electrically connected to the gate 23g and the electrode 24A of the capacitor 24.
A protective film 41 formed by patterning the same layer as the semiconductor film 23c and a protective layer formed by patterning the same layer as the channel protective film 23p are provided above the signal lines Yr, Yg, and Yb via the gate insulating film 31. The film 42 is laminated. The protective film 41 and the protective film 42 prevent the signal lines Yr, Yg, and Yb from being short-circuited to the supply line Z through the pinhole when a pinhole is formed in the gate insulating film 31. It is a protective film for.

これらスイッチトランジスタ21、保持トランジスタ22、駆動トランジスタ23並びに全ての走査線X及び供給線Zは、ベタ一面に成膜された窒化シリコンや酸化シリコン等のトランジスタ保護絶縁膜32によって被覆されている。
なお、詳細については後述するが、トランジスタ保護絶縁膜32は、平面視して、供給線Zに重畳する箇所で、矩形状に分断されている。
The switch transistor 21, the holding transistor 22, the driving transistor 23, and all the scanning lines X and supply lines Z are covered with a transistor protective insulating film 32 such as silicon nitride or silicon oxide formed on a solid surface.
In addition, although mentioned later for details, the transistor protective insulating film 32 is divided | segmented into the rectangular shape in the location which overlaps with the supply line Z in planar view.

トランジスタ保護絶縁膜32の上面には、ポリイミド等の光硬化性樹脂を硬化させた平坦化膜33が表面を平坦にするように積層されており、スイッチトランジスタ21、保持トランジスタ22、駆動トランジスタ23、走査線X及び供給線Zによる凹凸が解消されている。   On the upper surface of the transistor protective insulating film 32, a planarizing film 33 obtained by curing a photo-curable resin such as polyimide is laminated so as to flatten the surface, and the switch transistor 21, the holding transistor 22, the driving transistor 23, Unevenness due to the scanning line X and the supply line Z is eliminated.

なお、本実施形態におけるディスプレイパネル1を、ボトムエミッション型として用いる場合、すなわち、絶縁基板2の各トランジスタ21,22,23が配設された面側を表示面として用いる場合には、ゲート絶縁膜31、トランジスタ保護絶縁膜32及び平坦化膜33には、透明な材料が用いられる。
ここで、絶縁基板2から平坦化膜33までの積層構造を、トランジスタアレイ基板50という。
When the display panel 1 according to this embodiment is used as a bottom emission type, that is, when the surface of the insulating substrate 2 on which the transistors 21, 22, and 23 are disposed is used as a display surface, the gate insulating film For the transistor protection insulating film 32 and the planarization film 33, a transparent material is used.
Here, the stacked structure from the insulating substrate 2 to the planarizing film 33 is referred to as a transistor array substrate 50.

トランジスタ保護絶縁膜32及び平坦化膜33であって、平面視して、各供給線Zと重畳する箇所には、水平方向に沿って長尺な第一溝34が形成されている。また、これら第一溝34と隣接する箇所であって、各信号線Xと重畳する箇所には、水平方向に沿って長尺な第二溝35が形成されている。これら第一溝34及び第二溝35によって、トランジスタ保護絶縁膜32及び平坦化膜33が矩形状に分断されている。さらに、第一溝34及び第二溝35には、給電配線90と、選択配線89とがそれぞれ埋設されており、このうち第一溝34の内部において、給電配線90が供給線Zの上に積層されている。一方、第二溝35の内部において、選択配線89が信号線Xの上に積層されている。   In the transistor protective insulating film 32 and the planarizing film 33, a first groove 34 that is long in the horizontal direction is formed at a position overlapping the supply lines Z in plan view. A second groove 35 that is long along the horizontal direction is formed at a location adjacent to the first groove 34 and overlapping with each signal line X. By the first groove 34 and the second groove 35, the transistor protective insulating film 32 and the planarizing film 33 are divided into rectangular shapes. Further, a power supply wiring 90 and a selection wiring 89 are respectively embedded in the first groove 34 and the second groove 35, and the power supply wiring 90 is above the supply line Z in the first groove 34. Are stacked. On the other hand, the selection wiring 89 is stacked on the signal line X in the second groove 35.

給電配線90は、トランジスタ保護絶縁膜32及び平坦化膜33に第一溝34を形成後に無電解メッキ法或いは第一溝34から露出された供給線Zを下地電極として電解メッキ法により形成された導電層であって、信号線Yr、信号線Yg、信号線Yb、走査線X及び供給線Zよりも厚さ寸法が大きい。給電配線90の上部には、アルミニウム等の第1コンタクト層96、及びサブピクセル電極20aの元となる導電層をパターニングしてなる第2コンタクト層97が設けられている。給電配線90上の第1コンタクト層96及び第2コンタクト層97で構成される導電性ライン51は、給電配線90と同一の帯状になっている。また、選択配線89は、無電解メッキ法或いは第二溝35から露出された供給線Xを下地電極として電解メッキ法により形成された導電層であって、信号線Yr、信号線Yg、信号線Yb、走査線X及び供給線Zよりも厚さ寸法が大きい。選択配線89の上部には、アルミニウム等の第1コンタクト層101、及びサブピクセル電極20aの元となる導電層をパターニングしてなる第2コンタクト層102が設けられている。選択配線89上の第1コンタクト層101及び第2コンタクト層102で構成される導電性ライン53は、選択配線89と同一の帯状になっている。これら選択配線89及び給電配線90の厚さ寸法は、トランジスタ保護絶縁膜32と、平坦化膜33との厚さ寸法の総計とほぼ等しく、平坦化膜33の表面と、選択配線89又は給電配線90の表面とがほぼ均一となっている。銅、アルミ、金若しくはニッケルのうちの少なくともいずれかを含むことが好ましい。   The power supply wiring 90 is formed by the electroless plating method after forming the first groove 34 in the transistor protection insulating film 32 and the planarizing film 33 or by the electrolytic plating method using the supply line Z exposed from the first groove 34 as a base electrode. The conductive layer has a thickness dimension larger than that of the signal line Yr, the signal line Yg, the signal line Yb, the scanning line X, and the supply line Z. A first contact layer 96 made of aluminum or the like and a second contact layer 97 obtained by patterning a conductive layer serving as a base of the subpixel electrode 20a are provided on the power supply wiring 90. The conductive line 51 composed of the first contact layer 96 and the second contact layer 97 on the power supply wiring 90 has the same strip shape as the power supply wiring 90. The selection wiring 89 is a conductive layer formed by an electroless plating method or an electrolytic plating method using the supply line X exposed from the second groove 35 as a base electrode, and includes a signal line Yr, a signal line Yg, and a signal line. The thickness dimension is larger than that of Yb, the scanning line X, and the supply line Z. A first contact layer 101 made of aluminum or the like and a second contact layer 102 obtained by patterning a conductive layer that is a base of the subpixel electrode 20a are provided on the selection wiring 89. The conductive line 53 composed of the first contact layer 101 and the second contact layer 102 on the selection wiring 89 has the same strip shape as the selection wiring 89. The thickness dimensions of the selection wiring 89 and the power supply wiring 90 are substantially equal to the total thickness of the transistor protective insulating film 32 and the planarization film 33, and the surface of the planarization film 33 and the selection wiring 89 or the power supply wiring. The surface of 90 is almost uniform. It is preferable to include at least one of copper, aluminum, gold, or nickel.

平坦化膜33の表面、すなわちトランジスタアレイ基板50の上面には、複数のサブピクセル電極20aがマトリクス状に配列されている。サブピクセル電極20aは、有機EL素子20のアノードとして機能する電極であるため、仕事関数が比較的高く、有機EL層20bに正孔を効率よく注入するものが好ましい。   A plurality of subpixel electrodes 20 a are arranged in a matrix on the surface of the planarizing film 33, that is, on the upper surface of the transistor array substrate 50. Since the subpixel electrode 20a is an electrode that functions as an anode of the organic EL element 20, it is preferable that the subpixel electrode 20a has a relatively high work function and efficiently injects holes into the organic EL layer 20b.

また、サブピクセル電極20aは、ボトムエミッションの場合、可視光に対して透過性を有しており、原料としては、例えば錫ドープ酸化インジウム(ITO)、亜鉛ドープ酸化インジウム、酸化インジウム(In23)、酸化スズ(SnO2)、酸化亜鉛(ZnO)又はカドミウム−錫酸化物(CTO)を主成分とするものが適用可能である。 In addition, in the case of bottom emission, the subpixel electrode 20a is transmissive to visible light. As a raw material, for example, tin-doped indium oxide (ITO), zinc-doped indium oxide, indium oxide (In 2 O 3 ), tin oxide (SnO 2 ), zinc oxide (ZnO) or cadmium-tin oxide (CTO) as a main component can be applied.

なお、本実施形態におけるディスプレイパネル1をトップエミッション型として用いる場合、すなわち、有機EL層20bの発光を、有機EL層20bの上面側から出射させて表示させる場合には、サブピクセル電極20aと、平坦化膜33との間に、導電性かつ可視光反射性の高い反射膜が成膜されているか、或いはサブピクセル電極20a自体を反射性電極とすることが好ましい。   When the display panel 1 according to this embodiment is used as a top emission type, that is, when the light emission of the organic EL layer 20b is emitted from the upper surface side of the organic EL layer 20b and displayed, the subpixel electrode 20a, It is preferable that a reflective film having high conductivity and high visible light reflectivity is formed between the planarizing film 33 or the subpixel electrode 20a itself is a reflective electrode.

1ドットのサブピクセルPであって、平坦化膜33及びトランジスタ保護絶縁膜32のサブピクセル電極20aと重複する箇所には、1つのコンタクトホール88が形成され、これらコンタクトホール88には、導電性パッド87が埋設されている。これによって、サブピクセル電極20aが、コンタクトホール88を介してキャパシタ24の電極24B、スイッチトランジスタ21のドレイン21dと、駆動トランジスタ23のソース23sとに導通されている。導電性パッド87は、給電配線90とともに形成され、特に無電解メッキ法或いは上層電極24Bを下地電極として電解メッキ法により形成されることが好ましい。導電性パッド87の上部には、平面視してコンタクトホール88と略同一形状のアルミニウム等のコンタクト層103が設けられている。コンタクト層103は、導電性ライン51の第1コンタクト層96及び導電性ライン53の第1コンタクト層101とともに同一の導電性膜をパターニングして形成されている。   One contact hole 88 is formed in a portion of the subpixel P of 1 dot, which overlaps with the subpixel electrode 20a of the planarization film 33 and the transistor protection insulating film 32. The contact hole 88 has a conductive property. A pad 87 is embedded. As a result, the subpixel electrode 20 a is electrically connected to the electrode 24 B of the capacitor 24, the drain 21 d of the switch transistor 21, and the source 23 s of the drive transistor 23 through the contact hole 88. The conductive pad 87 is formed together with the power supply wiring 90, and particularly preferably formed by electroless plating or electrolytic plating using the upper layer electrode 24B as a base electrode. A contact layer 103 made of aluminum or the like having substantially the same shape as the contact hole 88 in plan view is provided on the conductive pad 87. The contact layer 103 is formed by patterning the same conductive film together with the first contact layer 96 of the conductive line 51 and the first contact layer 101 of the conductive line 53.

サブピクセル電極20aは、ベタ一面に成膜された導電性膜をフォトリソグラフィー法や、エッチング法により、導電性ライン51の第2コンタクト層97及び導電性ライン53の第2コンタクト層102とともに平坦化膜33の上面にパターニングされたものである。サブピクセル電極20aはコンタクト層103を被覆して導電性パッド87と接続している。導電性ライン51は、図3に示すように、給電配線90の延在方向に沿って形成されている。導電性ライン53は、選択配線89の延在方向に沿って形成されている。   The subpixel electrode 20a is formed by planarizing a conductive film formed on the entire surface together with the second contact layer 97 of the conductive line 51 and the second contact layer 102 of the conductive line 53 by photolithography or etching. The film 33 is patterned on the upper surface. The subpixel electrode 20 a covers the contact layer 103 and is connected to the conductive pad 87. As shown in FIG. 3, the conductive line 51 is formed along the extending direction of the power supply wiring 90. The conductive line 53 is formed along the extending direction of the selection wiring 89.

隣接するサブピクセル電極20aと、サブピクセル電極20aとの間には、平面視して、各サブピクセル電極20aの左側及び右側を囲繞するように垂直方向に沿って延在する突条であって、平面視した場合、信号線Yr,Yg,Ybに重畳している絶縁膜52が形成されている。また、この絶縁膜52は、導電性ライン51も被覆している。絶縁膜52の表面61には、サブピクセル電極20aの表面61に成膜される有機EL層20bの少なくとも一層を構成する材料を溶解した溶液に対して撥液性を示す処理がなされている。絶縁膜52は、この有機EL層20bとなる溶液をサブピクセル電極20a上に塗布した際の間仕切りとして機能するため、塗布される溶液の高さよりも十分高い厚さに形成されていることが好ましい。   Between the adjacent subpixel electrode 20a and the subpixel electrode 20a, there is a protrusion extending in the vertical direction so as to surround the left side and the right side of each subpixel electrode 20a in plan view. When viewed in plan, an insulating film 52 is formed so as to overlap the signal lines Yr, Yg, Yb. The insulating film 52 also covers the conductive line 51. The surface 61 of the insulating film 52 is treated to exhibit liquid repellency with respect to a solution in which a material constituting at least one layer of the organic EL layer 20b formed on the surface 61 of the subpixel electrode 20a is dissolved. Since the insulating film 52 functions as a partition when the solution to be the organic EL layer 20b is applied onto the subpixel electrode 20a, the insulating film 52 is preferably formed to a thickness sufficiently higher than the height of the applied solution. .

水平方向及び垂直方向に格子状に形成された絶縁膜52のうち垂直方向に延在している部分の上には、ポリイミド等の感光性絶縁樹脂からなるバンク71が、フォトリソグラフィー法により、形成されている。つまりバンク71は、垂直方向に沿って延在する突条であって、平面視した場合、信号線Yr,Yg,Ybに重畳している。すなわち、バンク71は、垂直方向に並んだ複数の赤サブピクセルPrからなる列と、垂直方向に並び且つこれら赤サブピクセルPrからなる列に水平方向に隣接する複数の緑サブピクセルPgからなる列との間、緑サブピクセルPgからなる列と、これら緑サブピクセルPgからなる列に水平方向に隣接する複数の青サブピクセルPbからなる列との間、並びに青サブピクセルPbの列と、これら青サブピクセルPbからなる列に水平方向に隣接する複数の赤サブピクセルPrからなる列との間にそれぞれ配設されている。バンク71の表面には、サブピクセル電極20aの表面61に成膜される有機EL層20bの少なくとも一層を構成する材料を溶解した溶液に対して撥液性を示す処理がなされていることが好ましい。また、絶縁膜52の高さが、サブピクセル電極20a上にインクジェット法等により塗布されたときの有機EL層20bとなる溶液の高さよりも低い場合、絶縁膜52及びバンク71を間仕切りとして機能するため、絶縁膜52の高さとバンク71の高さの和が塗布される溶液の高さよりも十分高く形成されていることが好ましい。   A bank 71 made of a photosensitive insulating resin such as polyimide is formed on the vertically extending portion of the insulating film 52 formed in a grid pattern in the horizontal direction and the vertical direction by a photolithography method. Has been. That is, the bank 71 is a protrusion extending along the vertical direction, and is superimposed on the signal lines Yr, Yg, Yb when viewed in plan. That is, the bank 71 includes a column composed of a plurality of red subpixels Pr arranged in the vertical direction and a column composed of a plurality of green subpixels Pg arranged in the vertical direction and adjacent to the column composed of the red subpixels Pr in the horizontal direction. Between the row of green subpixels Pg and the row of blue subpixels Pb adjacent to the row of these green subpixels Pg, and the row of blue subpixels Pb. A plurality of red subpixels Pr adjacent to each other in the horizontal direction are arranged between the blue subpixels Pb. The surface of the bank 71 is preferably subjected to a treatment that exhibits liquid repellency with respect to a solution in which a material constituting at least one layer of the organic EL layer 20b formed on the surface 61 of the subpixel electrode 20a is dissolved. . Further, when the height of the insulating film 52 is lower than the height of the solution that becomes the organic EL layer 20b when applied on the subpixel electrode 20a by an ink jet method or the like, the insulating film 52 and the bank 71 function as a partition. Therefore, it is preferable that the sum of the height of the insulating film 52 and the height of the bank 71 is formed sufficiently higher than the height of the solution to be applied.

サブピクセル電極20aの上には、有機EL層20bが形成されている。有機EL層20bは、広義の発光層であり、有機化合物である発光材料が含有されている。また、有機EL層20bは、サブピクセル電極20aから順に正孔輸送層、狭義の発光層と積層した二層構造となっている。このうち、正孔輸送層は、導電性高分子であるPEDOT(ポリチオフェン)及びドーパントであるPSS(ポリスチレンスルホン酸)からなり、狭義の発光層は、ポリフルオレン系発光材料からなり、赤サブピクセルPrの場合には、有機EL層20bが赤色に発光し、緑サブピクセルPgの場合には、有機EL層20bが緑色に発光し、青サブピクセルPbの場合には、有機EL層20bが青色に発光する。   An organic EL layer 20b is formed on the subpixel electrode 20a. The organic EL layer 20b is a light-emitting layer in a broad sense and contains a light-emitting material that is an organic compound. The organic EL layer 20b has a two-layer structure in which a hole transport layer and a narrow light-emitting layer are stacked in order from the subpixel electrode 20a. Among these, the hole transport layer is made of PEDOT (polythiophene) which is a conductive polymer and PSS (polystyrene sulfonic acid) which is a dopant, and the light-emitting layer in a narrow sense is made of a polyfluorene-based light-emitting material, and the red subpixel Pr. In this case, the organic EL layer 20b emits red light. In the case of the green subpixel Pg, the organic EL layer 20b emits green light. In the case of the blue subpixel Pb, the organic EL layer 20b turns blue. Emits light.

また、有機EL層20bは、絶縁膜52またはバンク71による制限によって水平方向に分離独立し、且つ垂直方向に沿って連続した長尺な帯状に形成されており、各サブピクセルPr,Pg,Pbにおいて垂直方向に一列に配列された複数のサブピクセル電極20aが被覆される。   In addition, the organic EL layer 20b is formed in a long strip shape that is separated and independent in the horizontal direction and is continuous in the vertical direction due to the limitation by the insulating film 52 or the bank 71, and each subpixel Pr, Pg, Pb. A plurality of subpixel electrodes 20a arranged in a line in the vertical direction are covered.

なお、絶縁膜52やバンク71をサブピクセル電極20aの前後左右を囲繞するように設けることによって、有機EL層20bは、サブピクセル電極20aごとに独立して設けられ、平面視した場合、複数の有機EL層20bがマトリクス状に配列されていても良い。   In addition, by providing the insulating film 52 and the bank 71 so as to surround the front, rear, left and right of the subpixel electrode 20a, the organic EL layer 20b is provided independently for each subpixel electrode 20a. The organic EL layers 20b may be arranged in a matrix.

これら有機EL層20bは、バンク71の形成後に湿式塗布法、例えばインクジェット法等によって成膜される。この有機EL層20bを成膜する際には、サブピクセル電極20aに対して有機化合物含有液が塗布されるが、水平方向に隣接するサブピクセル電極20aと、サブピクセル電極20aとの間には、絶縁膜52またはバンク71がトランジスタアレイ基板50の表面に対して凸設されているため、サブピクセル電極20aに塗布された有機化合物含有液が隣のサブピクセル電極20aに漏れることがないようになっている。   These organic EL layers 20b are formed by a wet coating method such as an inkjet method after the bank 71 is formed. When the organic EL layer 20b is formed, an organic compound-containing liquid is applied to the subpixel electrode 20a, but between the subpixel electrode 20a adjacent to the horizontal direction and the subpixel electrode 20a. Since the insulating film 52 or the bank 71 protrudes from the surface of the transistor array substrate 50, the organic compound-containing liquid applied to the subpixel electrode 20a does not leak to the adjacent subpixel electrode 20a. It has become.

なお、有機EL層20bは、上記した二層構造の他に、サブピクセル電極20aから順に正孔輸送層、狭義の発光層、電子輸送層となる三層構造であってもよいし、狭義の発光層からなる一層構造であってもよい。また、これら層構造において適切な層間に、電子若しくは正孔の注入層が介在した積層構造であってもよいし、その他の積層構造であってもよい。   In addition to the two-layer structure described above, the organic EL layer 20b may have a three-layer structure that becomes a hole transport layer, a light-emitting layer in a narrow sense, and an electron transport layer in order from the subpixel electrode 20a. A single layer structure composed of a light emitting layer may be used. Further, in these layer structures, a laminated structure in which an electron or hole injection layer is interposed between appropriate layers may be used, or another laminated structure may be used.

有機EL層20bの上には、有機EL素子20のカソードとして機能する対向電極20cが成膜されている。対向電極20cは、各サブピクセルPr,Pg,Pbに共通して形成された共通電極であり、対向電極20cがベタ一面に成膜されることで、バンク71も対向電極20cによって被覆される。   A counter electrode 20c that functions as a cathode of the organic EL element 20 is formed on the organic EL layer 20b. The counter electrode 20c is a common electrode formed in common to the subpixels Pr, Pg, and Pb, and the bank 71 is also covered with the counter electrode 20c by forming the counter electrode 20c on the entire surface.

対向電極20cは、サブピクセル電極20aよりも仕事関数の低い材料、例えば、マグネシウム、カルシウム、リチウム、バリウム、インジウム、希土類金属の少なくとも一種を含む単体又は合金で形成されていることが好ましい。この対向電極20cは、上記した各種材料の層が積層された積層構造となっていてもよいし、以上の各種材料の層に加えてシート抵抗を低くするために酸化されにくい金属層が堆積した積層構造となっていてもよい。具体的には、有機EL層20bと接する界面側に設けられた仕事関数の低い高純度のバリウム層と、このバリウム層を被覆するように設けられたアルミニウム層との積層構造や、下層にリチウム層、上層にアルミニウム層が設けられた積層構造等が挙げられる。またトップエミッション構造の場合、対向電極20cを上述のような低仕事関数の薄膜とその上にITO等の透明導電膜を積層した透明電極としてもよい。   The counter electrode 20c is preferably formed of a material having a work function lower than that of the subpixel electrode 20a, for example, a simple substance or an alloy containing at least one of magnesium, calcium, lithium, barium, indium, and a rare earth metal. The counter electrode 20c may have a laminated structure in which layers of various materials described above are laminated, and in addition to the layers of various materials described above, a metal layer that is not easily oxidized is deposited to reduce sheet resistance. It may be a laminated structure. Specifically, a laminated structure of a high-purity barium layer having a low work function provided on the interface side in contact with the organic EL layer 20b and an aluminum layer provided so as to cover the barium layer, or a lithium layer in the lower layer Examples thereof include a laminated structure in which an aluminum layer is provided on the upper layer. In the case of a top emission structure, the counter electrode 20c may be a transparent electrode in which a thin film having a low work function as described above and a transparent conductive film such as ITO are laminated thereon.

対向電極20cの下面であって、バンク71の上方には、有機EL素子20の上部電極のシート抵抗を下げるために共通配線91が凸設されている。したがって、共通配線91は、平面視した場合、列方向に沿って設けられたバンク71に重畳している。また、共通配線91と、対向電極20cとは接しているため、図2に示すように、対向電極20cは、共通配線91と導通されている。これら共通配線91群は、メッキ法等により形成されており、対向電極20cや、スイッチトランジスタ21、保持トランジスタ22及び駆動トランジスタ23の各電極よりも厚さ寸法が大きく低抵抗に設定されている。また共通配線91群は、図7及び図9に示すように、画素領域の外の非画素領域において水平方向に延在する引き回し配線95によって導通され、引き回し配線95は、絶縁基板2の周縁部に複数の端子部Tcに導通している。共通配線91群及び対向電極20cには、外部回路から端子部Tcに印加された電圧Vcomによって等電位となる。共通配線91群は、銅、アルミ、金若しくはニッケルのうちの少なくともいずれかを含むことが好ましく、いずれも有機EL層20bの発光する光に対して不透明なくらい厚い。   A common wiring 91 is provided on the lower surface of the counter electrode 20c above the bank 71 in order to reduce the sheet resistance of the upper electrode of the organic EL element 20. Therefore, the common wiring 91 is superimposed on the banks 71 provided along the column direction when viewed in plan. Further, since the common wiring 91 and the counter electrode 20c are in contact with each other, the counter electrode 20c is electrically connected to the common wiring 91 as shown in FIG. The common wiring 91 group is formed by a plating method or the like, and has a thickness dimension larger than that of each electrode of the counter electrode 20c, the switch transistor 21, the holding transistor 22, and the driving transistor 23, and is set to have a low resistance. Further, as shown in FIGS. 7 and 9, the common wiring 91 group is made conductive by the routing wiring 95 extending in the horizontal direction in the non-pixel region outside the pixel region, and the routing wiring 95 is connected to the peripheral portion of the insulating substrate 2. Are electrically connected to the plurality of terminal portions Tc. The common wiring 91 group and the counter electrode 20c are equipotential by the voltage Vcom applied from the external circuit to the terminal portion Tc. The common wiring 91 group preferably includes at least one of copper, aluminum, gold, and nickel, and all of them are thick enough to be opaque to the light emitted from the organic EL layer 20b.

ここで、ELディスプレイパネル1の画素数をWXGA(768×1366)としたときに、上記した選択配線89、給電配線90及び共通配線91の望ましい幅寸法及び断面積を定義する。図11は、各サブピクセルPの駆動トランジスタ23及び有機EL素子20の電流−電圧特性を示すグラフである。   Here, when the number of pixels of the EL display panel 1 is WXGA (768 × 1366), desirable width dimensions and cross-sectional areas of the selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 are defined. FIG. 11 is a graph showing current-voltage characteristics of the drive transistor 23 and the organic EL element 20 of each subpixel P.

図11において、縦軸は1つの駆動トランジスタ23のドレイン23d−ソース23s間を流れる書込電流の電流値又は1つの有機EL素子20のアノード−カソード間を流れる駆動電流の電流値であり、横軸は1つの駆動トランジスタ23のドレイン23d−ソース23s間の電圧(同時に1つの駆動トランジスタ23のゲート23g−ソース23s間の電圧)である。図中、実線Ids maxは、最高輝度階調(最も明るい表示)のときの書込電流及び駆動電流であり、一点鎖線Ids midは、最高輝度階調と最低輝度階調との間の中間輝度階調のときの書込電流及び駆動電流であり、二点鎖線Vpoは後述する閾値電圧Vthが0Vの場合の駆動トランジスタ23の不飽和領域(線形領域)と飽和領域との閾値つまりピンチオフ電圧であり、三点鎖線Vdsは駆動トランジスタ23の−ドレイン23d−ソース23s間を流れる書込電流であり、破線Ielは有機EL素子20のアノード−カソード間を流れる駆動電流である。   In FIG. 11, the vertical axis represents the current value of the write current flowing between the drain 23 d and the source 23 s of one drive transistor 23 or the current value of the drive current flowing between the anode and cathode of one organic EL element 20. The axis is the voltage between the drain 23d and the source 23s of one driving transistor 23 (at the same time, the voltage between the gate 23g and the source 23s of one driving transistor 23). In the figure, solid line Ids max is a write current and drive current at the maximum luminance gradation (brightest display), and alternate long and short dash line Ids mid is an intermediate luminance between the highest luminance gradation and the lowest luminance gradation. The two-dot chain line Vpo is a threshold value between the unsaturated region (linear region) and the saturated region of the driving transistor 23 when the threshold voltage Vth described later is 0V, that is, the pinch-off voltage. A three-dot chain line Vds is a write current flowing between the drain 23d and the source 23s of the drive transistor 23, and a broken line Iel is a drive current flowing between the anode and the cathode of the organic EL element 20.

ここで電圧VP1は、最高輝度階調時の駆動トランジスタ23のピンチオフ電圧であり、電圧VP2は、駆動トランジスタ23の閾値電圧Vthが0Vを越える場合に、飽和領域において駆動トランジスタ23に最高輝度階調の書込電流を流すために要する最低限のドレイン−ソース間電圧であり、電圧VELmax(電圧VP4−電圧VP3)は、有機EL素子20が最高輝度階調の書込電流にしたがった電流値の最高輝度階調の駆動電流で発光するときのアノード−カソード間の電圧である。電圧VP2'は、駆動トランジスタ23が中間輝度階調の書込電流が流れるときのドレイン−ソース間電圧であり、電圧(電圧VP4'−電圧VP3')は有機EL素子20が中間輝度階調の書込電流と電流値にしたがった電流値の中間輝度階調の駆動電流で発光するときのアノード−カソード間電圧である。   Here, the voltage VP1 is a pinch-off voltage of the driving transistor 23 at the maximum luminance gradation, and the voltage VP2 is applied to the driving transistor 23 in the saturation region when the threshold voltage Vth of the driving transistor 23 exceeds 0V. The voltage VELmax (voltage VP4−voltage VP3) has a current value according to the write current of the maximum luminance gradation. This is the voltage between the anode and the cathode when light is emitted with the driving current of the maximum luminance gradation. The voltage VP2 ′ is a drain-source voltage when the drive transistor 23 receives an intermediate luminance gradation write current, and the voltage (voltage VP4′−voltage VP3 ′) is an organic EL element 20 having an intermediate luminance gradation. This is an anode-cathode voltage when light is emitted with a drive current having an intermediate luminance gradation between a write current and a current value according to the current value.

駆動トランジスタ23及び有機EL素子20はいずれも飽和領域で駆動させるために、「選択配線89又は給電配線90の発光期間時の電圧VH」から「共通配線91の発光期間時の電圧Vcom」を減じた値VXは下記の式(1)を満たす。   In order to drive both the drive transistor 23 and the organic EL element 20 in the saturation region, “the voltage Vcom during the light emission period of the common wiring 91” is subtracted from “the voltage VH during the light emission period of the selection wiring 89 or the power supply wiring 90”. The value VX satisfies the following formula (1).

VX=Vpo+Vth+Vm+VEL ……(1)
ここで、Vth(最高輝度時の場合VP2−VP1に等しい)は、駆動トランジスタ23のドレイン−ソース間電流が流し始まる閾値電圧、VEL(最高輝度時の場合VELmaxに等しい)は、有機EL素子20のアノード−カソード間電圧、Vmは、有機EL素子20の経時的高抵抗化による電圧差分のマージンや駆動トランジスタ23の経時劣化によって閾値電圧Vthが正方向(図11中の右方向)にシフトした際のマージン等を含むように設定された許容電圧である。
VX = Vpo + Vth + Vm + VEL (1)
Here, Vth (equal to VP2−VP1 in the case of the highest luminance) is a threshold voltage at which the drain-source current of the driving transistor 23 starts flowing, and VEL (equal to VELmax in the case of the highest luminance) is the organic EL element 20. As for the anode-cathode voltage, Vm, the threshold voltage Vth is shifted in the positive direction (rightward in FIG. 11) due to the margin of the voltage difference due to the increase in resistance of the organic EL element 20 over time and the deterioration of the drive transistor 23 over time. The allowable voltage is set so as to include a margin and the like.

図11から明らかなように、電圧VXのうち、輝度階調が高くなる程、トランジスタ23のドレイン−ソース間に要する電圧Vpo分が高くなるとともに有機EL素子20のアノード−カソード間に要する電圧VELが高くなる。したがって、輝度階調が高くなる程、許容電圧Vmは低くなり、最高輝度階調時ではVP3−VP2となる。   As is clear from FIG. 11, the higher the luminance gradation of the voltage VX, the higher the voltage Vpo required between the drain and source of the transistor 23 and the voltage VEL required between the anode and cathode of the organic EL element 20. Becomes higher. Accordingly, the higher the luminance gradation, the lower the allowable voltage Vm, and becomes VP3−VP2 at the maximum luminance gradation.

有機EL素子20は、低分子EL材料及び高分子EL材料にかかわらず一般的に経時劣化し、高抵抗化する。10000時間後のアノード−カソード間電圧は初期時の1.4倍程度になることが確認されている。つまり、電圧VELは、同じ輝度階調時でも時間が経つ程高くなる。このため、駆動初期時の許容電圧Vmが高い程長期間にわたって動作が安定するので、電圧VELが8V以上、より望ましくは13V以上となるように電圧VXを設定している。   The organic EL element 20 generally deteriorates with time regardless of the low-molecular EL material and the high-molecular EL material, and increases in resistance. It has been confirmed that the anode-cathode voltage after 10,000 hours is about 1.4 times the initial voltage. That is, the voltage VEL increases with time even at the same luminance gradation. For this reason, the higher the allowable voltage Vm at the beginning of driving, the more stable the operation over a long period of time. Therefore, the voltage VX is set so that the voltage VEL is 8V or higher, more preferably 13V or higher.

この許容電圧Vmには、経時的高抵抗による電圧差分ばかりでなく、さらに、選択配線89又は給電配線90による電圧降下の分も含まれる。   This allowable voltage Vm includes not only a voltage difference due to high resistance over time but also a voltage drop caused by the selection wiring 89 or the power supply wiring 90.

選択配線89及び給電配線90の配線抵抗の影響により、電圧降下が大きいとELディスプレイパネル1の消費電力が著しく増大してしまう。このため、選択配線89及び給電配線90の電圧降下は、それぞれ1V以下に設定することが特に好ましい。   If the voltage drop is large due to the influence of the wiring resistance of the selection wiring 89 and the power supply wiring 90, the power consumption of the EL display panel 1 is remarkably increased. For this reason, it is particularly preferable that the voltage drops of the selection wiring 89 and the power supply wiring 90 are each set to 1 V or less.

行方向の一つの画素の長さである画素幅Wpと、行方向の画素数(1366)と、画素領域以外における第一の引き回し配線から一方の配線端子までの延長部分と、画素領域以外における第一の引き回し配線から他方の配線端子までの延長部分とを考慮した結果、ELディスプレイパネル1のパネルサイズが32インチ、40インチの場合、第一の引き回し配線の全長はそれぞれ706.7mm、895.2mmに設定する。ここで、選択配線89の線幅WL、給電配線90の線幅WL及び共通配線91の線幅WLが広くなると、構造上有機EL層20bの面積が小さくなり、さらに他の配線との重なり寄生容量を発生してさらなる電圧降下をもたらすため、選択配線89の幅WL、給電配線90の幅WL及び共通配線91の線幅WLはそれぞれ画素幅Wpの5分の1以下に抑えることが望ましい。このようなことを考慮すると、ELディスプレイパネル1のパネルサイズが32インチ、40インチの場合、幅WLはそれぞれ34μm以内、44μm以内となる。また、選択配線89、給電配線90及び共通配線91の最大膜厚Hmaxはアスペクト比を考慮すると、トランジスタ21〜23の最小加工寸法4μmの1.5倍、つまり6μmとなる。したがって、選択配線89、給電配線90及び共通配線91の最大断面積Smaxは32インチ、40インチで、それぞれ204μm、264μmとなる。 The pixel width Wp, which is the length of one pixel in the row direction, the number of pixels in the row direction (1366), the extension from the first lead-out wiring to one wiring terminal outside the pixel region, As a result of considering the extended portion from the first routing wiring to the other wiring terminal, when the panel size of the EL display panel 1 is 32 inches and 40 inches, the total length of the first routing wiring is 706.7 mm and 895, respectively. Set to 2 mm. Here, when the line width WL of the selection wiring 89, the line width WL of the power supply wiring 90, and the line width WL of the common wiring 91 are widened, the area of the organic EL layer 20b is structurally reduced and further overlapped with other wirings. In order to generate a capacitance and cause a further voltage drop, it is desirable to suppress the width WL of the selection wiring 89, the width WL of the power supply wiring 90, and the line width WL of the common wiring 91 to each one fifth or less of the pixel width Wp. Considering this, when the panel size of the EL display panel 1 is 32 inches and 40 inches, the width WL is within 34 μm and within 44 μm, respectively. In addition, the maximum film thickness Hmax of the selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 is 1.5 times the minimum processing dimension 4 μm of the transistors 21 to 23, that is, 6 μm in consideration of the aspect ratio. Thus, the maximum cross-sectional area Smax of the selection lines 89, feed interconnection 90 and common interconnection 91 is 32-inch 40-inch respectively 204Myuemu 2, a 264μm 2.

このような32インチのELディスプレイパネル1について、最大電流が流れるように全点灯したときの選択配線89、給電配線90及び共通配線91のそれぞれの最大電圧降下を1V以下にするためには、図12に示すように、選択配線89、給電配線90及び共通配線91のそれぞれの配線抵抗率ρ/断面積Sは4.7Ω/cm以下に設定される必要がある。また、図13において、32インチのELディスプレイパネル1の選択配線89、給電配線90及び共通配線91のそれぞれの断面積と電流密度の相関関係を示す。なお、上述した選択配線89、給電配線90及び共通配線91の最大断面積Smax時に許容される抵抗率は、32インチで9.6μΩcm、40インチで6.4μΩcmとなる。   For such a 32-inch EL display panel 1, in order to reduce the maximum voltage drop of the selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 when all lights up so that the maximum current flows, to 1 V or less, FIG. 12, the wiring resistivity ρ / cross-sectional area S of each of the selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 needs to be set to 4.7 Ω / cm or less. FIG. 13 shows the correlation between the cross-sectional area and current density of each of the selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 of the 32-inch EL display panel 1. Note that the resistivity allowed at the maximum cross-sectional area Smax of the selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 described above is 9.6 μΩcm at 32 inches and 6.4 μΩcm at 40 inches.

そして、40インチのELディスプレイパネル1について、最大電流が流れるように全点灯したときの選択配線89、給電配線90及び共通配線91のそれぞれの最大電圧降下を1V以下にするためには、図14に示すように、選択配線89、給電配線90及び共通配線91のそれぞれの配線抵抗率ρ/断面積Sは2.4Ω/cm以下に設定される必要がある。図15において、40インチのELディスプレイパネル1の選択配線89、給電配線90及び共通配線91のそれぞれの断面積と電流密度の相関関係を表す。   For the 40-inch EL display panel 1, in order to reduce the maximum voltage drop of the selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 when all lights up so that the maximum current flows, to 1 V or less, FIG. As shown in FIG. 4, the wiring resistivity ρ / cross-sectional area S of each of the selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 needs to be set to 2.4 Ω / cm or less. In FIG. 15, the cross-sectional area of each of the selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 of the 40-inch EL display panel 1 is correlated with the current density.

選択配線89、給電配線90及び共通配線91の故障により動作しなくなる故障寿命MTFは、下記の式(2)を満たす。   The failure life MTF that does not operate due to the failure of the selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 satisfies the following formula (2).

MTF=A exp(Ea/KT)/ρJ ……(2)
ここで、Eaは活性化エネルギー、KT=8.617×10―5eV、ρは、選択配線89、給電配線90及び共通配線91の抵抗率、Jは電流密度である。
MTF = A exp (Ea / K b T) / ρJ 2 (2)
Here, Ea is the activation energy, K b T = 8.617 × 10 −5 eV, ρ is the resistivity of the selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91, and J is the current density.

選択配線89、給電配線90及び共通配線91の故障寿命MTFは、抵抗率の増大やエレクトロマイグレーションに律速する。選択配線89、給電配線90及び共通配線91をAl系(Al単体或いはAlTiやAlNd等の合金)に設定し、MTFが10000時間、85℃の動作温度で試算すると、電流密度Jは2.1×10A/cm以下にする必要がある。これと同様に、選択配線89、給電配線90及び共通配線91をCu系に設定すると、2.8×10A/cm以下にする必要がある。なお、Al合金内のAl以外の材料はAlよりも低い抵抗率であることを前提としている。
これらのことを考慮して、32インチのELディスプレイパネル1では、全点灯状態で10000時間に給電配線90及び共通配線91が故障しないようなAl系の選択配線89、給電配線90及び共通配線91のそれぞれの断面積Sは、図13に示すように、57μm以上必要になり、同様にCu系の選択配線89、給電配線90及び共通配線91のそれぞれの断面積Sは、図13に示すように、0.43μm以上必要になる。
The failure lifetime MTF of the selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 is limited by an increase in resistivity or electromigration. When the selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 are set to Al (Al alone or an alloy such as AlTi or AlNd) and the MTF is estimated at an operating temperature of 85 ° C. for 10,000 hours, the current density J is 2.1. It is necessary to make x10 4 A / cm 2 or less. Similarly, when the selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 are set to be Cu-based, it is necessary to make 2.8 × 10 6 A / cm 2 or less. It is assumed that materials other than Al in the Al alloy have a lower resistivity than Al.
In consideration of these matters, in the 32-inch EL display panel 1, the Al-based selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 so that the power supply wiring 90 and the common wiring 91 do not fail in 10,000 hours in the fully lit state. As shown in FIG. 13, each cross-sectional area S of 57 μm 2 or more is required. Similarly, the cross-sectional areas S of the Cu-based selection wiring 89, power supply wiring 90 and common wiring 91 are shown in FIG. Thus, 0.43 μm 2 or more is required.

そして、40インチのELディスプレイパネル1では、全点灯状態で10000時間に選択配線89、給電配線90及び共通配線91が故障しないようなAl系の選択配線89、給電配線90及び共通配線91のそれぞれの断面積Sは、図15に示すように、92μm以上必要となる。同様に、Cu系の選択配線89、給電配線90及び共通配線91のそれぞれの断面積Sは、図15に示すように、0.69μm以上必要になる。 In the 40-inch EL display panel 1, each of the Al-based selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 so that the selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 do not break down in 10,000 hours in the fully lit state. As shown in FIG. 15, the cross-sectional area S of 92 μm 2 or more is required. Similarly, the cross-sectional areas S of the Cu-based selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 are each required to be 0.69 μm 2 or more as shown in FIG.

Al系の選択配線89、給電配線90及び共通配線91では、Al系の抵抗率が仮に4.00μΩcmとすると、32インチのELディスプレイパネル1では上述のように配線抵抗率ρ/断面積Sが4.7Ω/cm以下なので、最小断面積Sminは85.1μmとなる。このとき、上述したように、選択配線89、給電配線90及び共通配線91の配線幅WLが34μm以内となるため、選択配線89、給電配線90及び共通配線91の最小膜厚Hminは2.50μmとなる。 In the Al-based selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91, if the Al-based resistivity is 4.00 μΩcm, the 32-inch EL display panel 1 has the wiring resistivity ρ / cross-sectional area S as described above. Since it is 4.7 Ω / cm or less, the minimum cross-sectional area Smin is 85.1 μm 2 . At this time, since the wiring width WL of the selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 is within 34 μm as described above, the minimum film thickness Hmin of the selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 is 2.50 μm. It becomes.

また、Al系の選択配線89、給電配線90及び共通配線91の40インチのELディスプレイパネル1では、上述したように配線抵抗率ρ/断面積Sが2.4Ω/cm以下となるため、最小断面積Sminは167μmとなる。このとき上述のように選択配線89、給電配線90及び共通配線91の配線幅WLが44μm以内であるため、選択配線89、給電配線90及び共通配線91の最小膜厚Hminは3.80μmとなる。 In addition, in the 40-inch EL display panel 1 including the Al-based selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91, the wiring resistivity ρ / cross-sectional area S is 2.4Ω / cm or less as described above. The cross-sectional area Smin is 167 μm 2 . At this time, since the wiring width WL of the selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 is within 44 μm as described above, the minimum film thickness Hmin of the selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 is 3.80 μm. .

一方、Cu系の選択配線89、給電配線90及び共通配線91では、仮にCu系の抵抗率が2.10μΩcmとすると、32インチのELディスプレイパネル1では、上述のように配線抵抗率ρ/断面積Sが4.7Ω/cm以下となるため、最小断面積Sminは44.7μmとなる。このとき、上述したように、選択配線89、給電配線90及び共通配線91の配線幅WLが34μm以内となるため、選択配線89、給電配線90及び共通配線91の最小膜厚Hminは1.31μmとなる。 On the other hand, if the Cu-based selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 have a Cu-based resistivity of 2.10 μΩcm, the 32-inch EL display panel 1 has the wiring resistivity ρ / cut as described above. Since the area S is 4.7 Ω / cm or less, the minimum cross-sectional area Smin is 44.7 μm 2 . At this time, as described above, since the wiring width WL of the selection wiring 89, the power supply wiring 90 and the common wiring 91 is within 34 μm, the minimum film thickness Hmin of the selection wiring 89, the power supply wiring 90 and the common wiring 91 is 1.31 μm. It becomes.

また、Cu系の選択配線89、給電配線90及び共通配線91の40インチのELディスプレイパネル1では、上述したように配線抵抗率ρ/断面積Sが2.4Ω/cm以下となるため、最小断面積Sminは87.5μmとなる。このとき、上述したように、選択配線89、給電配線90及び共通配線91の配線幅WLは44μm以内となるため、選択配線89、給電配線90及び共通配線91の最小膜厚Hminは1.99μmとなる。 In addition, in the 40-inch EL display panel 1 including the Cu-based selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91, the wiring resistivity ρ / cross-sectional area S is 2.4Ω / cm or less as described above. The cross-sectional area Smin is 87.5 μm 2 . At this time, as described above, since the wiring width WL of the selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 is within 44 μm, the minimum film thickness Hmin of the selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 is 1.99 μm. It becomes.

以上より、ELディスプレイパネル1を正常かつ消費電力を低く動作させるには、選択配線89、給電配線90及び共通配線91での電圧降下を1V以下に設定することが好ましく、このような条件に設定するためには、選択配線89、給電配線90及び共通配線91がAl系の32インチのパネルでは、厚さ寸法Hが2.50μm〜6μm、幅寸法WLが14.1μm〜34.0μm、抵抗率が4.0μΩcm〜9.6μΩcmとなり、選択配線89、給電配線90及び共通配線91がAl系の40インチのパネルでは、選択配線89、給電配線90及び共通配線91がAl系の場合、厚さ寸法Hが3.80μm〜6μm、幅寸法WLが27.8μm〜44.0μm、抵抗率が4.0μΩcm〜9.6μΩcmとなる。   From the above, in order to operate the EL display panel 1 normally and with low power consumption, it is preferable to set the voltage drop in the selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 to 1 V or less. In order to achieve this, if the selection wiring 89, the power supply wiring 90 and the common wiring 91 are an Al-based 32-inch panel, the thickness dimension H is 2.50 μm to 6 μm, the width dimension WL is 14.1 μm to 34.0 μm, resistance The ratio is 4.0 μΩcm to 9.6 μΩcm, and when the selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 are 40-inch panels in which the selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 are Al-based, the thickness The dimension H is 3.80 μm to 6 μm, the width dimension WL is 27.8 μm to 44.0 μm, and the resistivity is 4.0 μΩcm to 9.6 μΩcm.

総じてAl系の選択配線89、給電配線90及び共通配線91の場合、厚さ寸法Hが2.50μm〜6μm、幅寸法WLが14.1μm〜44μm、抵抗率が4.0μΩcm〜9.6μΩcmとなる。
同様に、選択配線89、給電配線90及び共通配線91がCu系の32インチのパネルでは、厚さ寸法Hが1.31μm〜6μm、幅寸法WLが7.45μm〜34μm、抵抗率が2.1μΩcm〜9.6μΩcmとなり、選択配線89、給電配線90及び共通配線91がCu系の40インチのパネルでは、選択配線89、給電配線90及び共通配線91がCu系の場合、厚さ寸法Hが1.99μm〜6μm、幅寸法WLが14.6μm〜44.0μm、抵抗率が2.1μΩcm〜9.6μΩcmとなる。
In general, in the case of the Al-based selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91, the thickness dimension H is 2.50 μm to 6 μm, the width dimension WL is 14.1 μm to 44 μm, and the resistivity is 4.0 μΩcm to 9.6 μΩcm. Become.
Similarly, when the selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 are Cu-based 32-inch panels, the thickness dimension H is 1.31 μm to 6 μm, the width dimension WL is 7.45 μm to 34 μm, and the resistivity is 2. In the case of a 40-inch panel in which the selection wiring 89, the power supply wiring 90 and the common wiring 91 are Cu-based, and the selection wiring 89, the power supply wiring 90 and the common wiring 91 are Cu-based, the thickness dimension H is 1 μΩcm to 9.6 μΩcm. 1.99 μm to 6 μm, width dimension WL is 14.6 μm to 44.0 μm, and resistivity is 2.1 μΩcm to 9.6 μΩcm.

総じてCu系の選択配線89、給電配線90及び共通配線91の場合、厚さ寸法Hが1.31μm〜6μm、幅寸法WLが7.45μm〜44μm、抵抗率が2.1μΩcm〜9.6μΩcmとなる。
したがって、選択配線89、給電配線90及び共通配線91としてAl系材料又はCu系材料を適用した場合、ELディスプレイパネル1の選択配線89、給電配線90及び共通配線91は、厚さ寸法Hが1.31μm〜6μm、幅寸法WLが7.45μm〜44μm、抵抗率が2.1μΩcm〜9.6μΩcmとなる。勿論、Al系材料やCu系材料と同等、或いはAl系材料とCu系材料との間の抵抗率の材料であればAl系材料又はCu系材料でなくてもこの範囲の厚さ寸法H及び幅寸法WLでよい。
In general, in the case of the Cu-based selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91, the thickness dimension H is 1.31 μm to 6 μm, the width dimension WL is 7.45 μm to 44 μm, and the resistivity is 2.1 μΩcm to 9.6 μΩcm. Become.
Therefore, when an Al-based material or a Cu-based material is applied as the selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91, the thickness dimension H of the selection wiring 89, the power supply wiring 90, and the common wiring 91 of the EL display panel 1 is 1. .31 μm to 6 μm, width dimension WL is 7.45 μm to 44 μm, and resistivity is 2.1 μΩcm to 9.6 μΩcm. Of course, if the material is equivalent to the Al-based material or Cu-based material, or has a resistivity between the Al-based material and the Cu-based material, the thickness dimension H in this range is not necessary even if it is not the Al-based material or the Cu-based material. The width dimension WL may be sufficient.

また、対向電極20cの上面には、封止保護絶縁膜56が成膜されている。この封止保護絶縁膜56によって、対向電極20c全体が被覆されると共に、共通配線91も被覆されることで、共通配線91及び対向電極20cの劣化を防止するようになっている。   A sealing protective insulating film 56 is formed on the upper surface of the counter electrode 20c. The sealing protective insulating film 56 covers the entire counter electrode 20c and the common wiring 91, thereby preventing the common wiring 91 and the counter electrode 20c from being deteriorated.

なお、本実施形態におけるディスプレイパネル1をトップエミッション型として用いる場合には、対向電極20c及び封止保護絶縁膜56を薄膜に形成することより、または対向電極20c及び封止保護絶縁膜56を透明な材料を用いることにより、対向電極20c及び封止保護絶縁膜56の可視光透過性を高めることが可能である。   When the display panel 1 according to this embodiment is used as a top emission type, the counter electrode 20c and the sealing protective insulating film 56 are made transparent by forming the counter electrode 20c and the sealing protective insulating film 56 into a thin film. By using such a material, it is possible to improve visible light transmittance of the counter electrode 20c and the sealing protective insulating film 56.

上記して構成されたELディスプレイパネル1の駆動方法について説明する。
ELディスプレイパネル1の駆動方法は、パッシブマトリクス方式による駆動方法と、アクティブマトリクス方式による駆動方法とに大別されるが、本実施形態においては、アクティブマトリクス方式による2種類の駆動方法について説明する。
A method for driving the EL display panel 1 configured as described above will be described.
The driving method of the EL display panel 1 is roughly divided into a driving method by a passive matrix method and a driving method by an active matrix method. In this embodiment, two kinds of driving methods by an active matrix method will be described.

まず始めに、第一のディスプレイパネル1の構造では、図7に示すように、走査線X1〜Xmがそれぞれ接続された選択ドライバ111が絶縁基板2の第一の周縁部に配置され、互いに電気的に絶縁された給電配線90,90,…(供給線Z1〜Zm)が接続された給電ドライバ112が絶縁基板2の第一の周縁部と対向する周縁部である第二周縁部に配置されている。
この第一のディスプレイパネル1をアクティブマトリクス方式で駆動するには、次のようになる。すなわち、図8に示すように、走査線X1〜Xmに接続された選択ドライバ111によって、走査線X1から走査線Xmへの順(走査線Xmの次は走査線X1)にハイレベルのシフトパルスを順次出力することにより走査線X1〜Xmを順次選択する。また、選択期間に各給電配線90を介して供給線Z1〜Zmにそれぞれ接続された駆動トランジスタ23に書込電流を流すための書込給電電圧VLを印加し、発光期間に駆動トランジスタ23を介して有機EL素子20に駆動電流を流すための駆動給電電圧VHを印加する給電ドライバ112が各給電配線90に接続されている。この給電ドライバ112によって、選択ドライバ111と同期するよう、供給線Z1から供給線Zmへの順(供給線Zmの次は供給線Z1)にローレベル(有機EL素子20の対向電極の電圧より低レベル)の書込給電電圧VLを順次出力することにより供給線Z1〜Zmを順次選択する。また、選択ドライバ111が各走査線X1〜Xmを選択している時に、データドライバが書込電流である書込電流(電流信号)を所定の行の駆動トランジスタ23のドレイン−ソース間を介して全信号線Y1〜Ynに流す。なお、対向電極20c及び共通配線91群は引き回し配線95及び配線端子Tcによって外部と接続され、一定のコモン電位Vcom(例えば、接地=0ボルト)に保たれている。
First, in the structure of the first display panel 1, as shown in FIG. 7, the selection driver 111 to which the scanning lines X 1 to X m are respectively connected is disposed on the first peripheral portion of the insulating substrate 2. A second peripheral edge in which the power supply driver 112 to which the power supply wirings 90, 90,... (Supply lines Z 1 to Z m ) that are electrically insulated from each other are connected is a peripheral part facing the first peripheral part of the insulating substrate 2. It is arranged in the part.
The first display panel 1 is driven by the active matrix method as follows. That is, as shown in FIG. 8, the scanning lines X 1 to X by the connected selection driver 111 m, the order from the scanning line X 1 to scan line X m (the next scan line X m scanning lines X 1) The scanning lines X 1 to X m are sequentially selected by sequentially outputting high level shift pulses. In addition, a write power supply voltage VL for applying a write current is applied to the drive transistors 23 connected to the supply lines Z 1 to Z m via the power supply lines 90 during the selection period, and the drive transistors 23 are used during the light emission period. A power supply driver 112 that applies a drive power supply voltage VH for causing a drive current to flow through the organic EL element 20 is connected to each power supply wiring 90. This feeding driver 112, to synchronize the selection driver 111, the counter electrode of the forward (following the supply lines Z 1 of the supply line Z m) to the low level (the organic EL element 20 to supply line Z m from the supply line Z 1 The supply lines Z 1 to Z m are sequentially selected by sequentially outputting the write power supply voltage VL having a lower level than the voltage of the first voltage. Further, when the selection driver 111 selects each of the scanning lines X 1 to X m , the data driver sends a write current (current signal) that is a write current between the drain and source of the drive transistors 23 in a predetermined row. Through all the signal lines Y 1 to Y n . The counter electrode 20c and the common wiring 91 group are connected to the outside by the lead wiring 95 and the wiring terminal Tc, and are maintained at a constant common potential Vcom (for example, ground = 0 volts).

各選択期間において、データドライバ側の電位は、給電配線90,90,…及び供給線Z1〜Zmに出力された書込給電電圧VL以下で且つこの書込給電電圧VLはコモン電位Vcom以下に設定されている。したがってこの時、有機EL素子20から信号線Y1〜Ynに流れることはないので、図2に示すように、データドライバによって階調に応じた電流値の書込電流(書込電流)が矢印Aの通り、信号線Y1〜Ynに流れ、サブピクセルPi,jにおいては給電配線90及び供給線Ziから駆動トランジスタ23のドレイン−ソース間、スイッチトランジスタ21のドレイン−ソース間を介して信号線Yjに向かった書込電流(書込電流)が流れる。このように駆動トランジスタ23のドレイン−ソース間を流れる電流の電流値は、データドライバによって一義的に制御され、データドライバは、外部から入力された階調に応じて書込電流(書込電流)の電流値を設定する。書込電流(書込電流)が流れている間、i行目のPi,1〜Pi,nの各駆動トランジスタ23のゲート23g−ソース23s間の電圧は、それぞれ信号線Y1〜Ynに流れる書込電流(書込電流)の電流値、つまり駆動トランジスタ23のVg−Ids特性の経時変化にかかわらず駆動トランジスタ23のドレイン23d−ソース23s間を流れる書込電流(書込電流)の電流値に見合うように強制的に設定され、この電圧のレベルに従った大きさの電荷がキャパシタ24にチャージされて、書込電流(書込電流)の電流値が駆動トランジスタ23のゲート23g−ソース23s間の電圧のレベルに変換される。その後の発光期間では、走査線Xiがローレベルになり、スイッチトランジスタ21及び保持トランジスタ22がオフ状態となるが、オフ状態の保持トランジスタ22によってキャパシタ24の電極24A側の電荷が閉じ込められてフローティング状態になり、駆動トランジスタ23のソース23sの電圧が選択期間から発光期間に移行する際に変調しても、駆動トランジスタ23のゲート23g−ソース23s間の電位差がそのまま維持される。この発光期間では、供給線Zi及びそれに接続された給電配線90の電位が駆動給電電圧VHとなり、有機EL素子20の対向電極20cの電位Vcomより高くなることによって、供給線Zi及びそれに接続された給電配線90から駆動トランジスタ23を介して有機EL素子20に駆動電流が矢印Bの方向に流れ、有機EL素子20が発光する。駆動電流の電流値は駆動トランジスタ23のゲート23g−ソース23s間の電圧に依存するため、発光期間における駆動電流の電流値は、選択期間における書込電流(引抜電流)の電流値に等しくなる。 In each selection period, the potential of the data driver side, feed interconnections 90, 90, ... and the supply lines Z 1 to Z m output to the and below the write feed voltage VL the write feed voltage VL below the common potential Vcom Is set to Therefore, at this time, since the organic EL element 20 does not flow to the signal lines Y 1 to Y n , as shown in FIG. 2, a write current (write current) having a current value corresponding to the gradation is generated by the data driver. As indicated by an arrow A, the signal lines Y 1 to Y n flow through the sub-pixels P i, j from the power supply wiring 90 and the supply line Z i between the drain and source of the drive transistor 23 and between the drain and source of the switch transistor 21. A write current (write current) directed to the signal line Y j flows through the via. Thus, the current value of the current flowing between the drain and source of the drive transistor 23 is uniquely controlled by the data driver, and the data driver writes the write current (write current) according to the gradation input from the outside. Set the current value. While the write current (write current) is flowing, i-th row of P i, 1 to P i, the voltage between the gate 23g- source 23s of the driving transistor 23 of the n each signal line Y 1 to Y The write current (write current) flowing between the drain 23d and the source 23s of the drive transistor 23 regardless of the current value of the write current (write current) flowing through n , that is, the change in the Vg-Ids characteristic of the drive transistor 23 with time. The capacitor 24 is forcibly set so as to meet the current value of the current, and the capacitor 24 is charged with a charge having a magnitude according to the level of this voltage, so that the current value of the write current (write current) becomes the gate 23g of the drive transistor 23. -It is converted into the voltage level between the sources 23s. In the subsequent light emission period, the scanning line X i becomes a low level, and the switch transistor 21 and the holding transistor 22 are turned off. However, the charge on the electrode 24A side of the capacitor 24 is confined by the holding transistor 22 in the off state and floats. Even if the voltage of the source 23s of the drive transistor 23 is modulated when the voltage shifts from the selection period to the light emission period, the potential difference between the gate 23g and the source 23s of the drive transistor 23 is maintained as it is. In this light emission period, the potential of the supply line Z i and the power supply wiring 90 connected thereto becomes the drive power supply voltage VH, which is higher than the potential Vcom of the counter electrode 20c of the organic EL element 20, thereby connecting to the supply line Z i and the supply line Z i. A drive current flows from the power supply wiring 90 to the organic EL element 20 through the drive transistor 23 in the direction of arrow B, and the organic EL element 20 emits light. Since the current value of the drive current depends on the voltage between the gate 23g and the source 23s of the drive transistor 23, the current value of the drive current in the light emission period is equal to the current value of the write current (drawing current) in the selection period.

そして、第二のディスプレイパネル1の構造は、図9に示すように、走査線X1〜Xmがそれぞれ接続された選択ドライバ111が絶縁基板2の第一の周縁部に配置され、給電配線90,90,……が互いに電気的に接続されるよう給電配線90,90,……と一体的に形成された引き回し配線99が絶縁基板2の第一の周縁部と対向する周縁部である第二周縁部に配置されている。引き回し配線99は、第一周縁部及び第二周縁部と直交する第三の周縁部及び第四の周縁部のそれぞれに位置する端子部90d及び端子部90eの両方からクロック信号が入力されている。第二のディスプレイパネル1のアクティブマトリクス駆動方法は次のようになる。すなわち、図10に示すように、外部の発振回路が端子部90d及び端子部90eから引き回し配線99を介して給電配線90,90,…及び供給線Z1〜Zmに対してクロック信号を出力する。また、選択ドライバ111によって走査線X1から走査線Xmへの順(走査線Xmの次は走査線X1)にハイレベルのシフトパルスを順次出力することにより走査線X1〜Xmを順次選択するが、選択ドライバ111が走査線X1〜Xmの何れか1つがハイレベルつまりオンレベルのシフトパルスを出力している時には発振回路のクロック信号がローレベルになる。また、選択ドライバ111が各走査線X1〜Xmを選択している時に、データドライバが書込電流である引抜電流(電流信号)を駆動トランジスタ23のドレイン−ソース間を介して全信号線Y1〜Ynに流す。なお、対向電極20c及び給電配線90の一定のコモン電位Vcom(例えば、接地=0ボルト)に保たれている。 As shown in FIG. 9, the second display panel 1 has a structure in which a selection driver 111 to which the scanning lines X 1 to X m are connected is disposed on the first peripheral edge of the insulating substrate 2, The lead-out wiring 99 formed integrally with the power supply wirings 90, 90,... So as to be electrically connected to each other is a peripheral portion facing the first peripheral portion of the insulating substrate 2. It arrange | positions at the 2nd peripheral part. The routing wiring 99 receives clock signals from both the terminal portion 90d and the terminal portion 90e located at the third peripheral portion and the fourth peripheral portion orthogonal to the first peripheral portion and the second peripheral portion, respectively. . The active matrix driving method of the second display panel 1 is as follows. That is, as shown in FIG. 10, the external oscillation circuit outputs a clock signal to the power supply wirings 90, 90,... And the supply lines Z 1 to Z m through the terminal portion 90d and the terminal portion 90e through the wiring 99. To do. The scanning lines X 1 to X m by sequentially outputting the high-level shift pulse sequentially (the next scan line X m scanning lines X 1) from the scanning line X 1 by the selection driver 111 to the scan line X m Are sequentially selected, but when the selection driver 111 outputs one of the scanning lines X 1 to X m outputting a high level, that is, on-level shift pulse, the clock signal of the oscillation circuit becomes low level. Further, when the selection driver 111 selects each of the scanning lines X 1 to X m , the data driver sends a drawing current (current signal) that is a write current to all the signal lines via the drain-source of the driving transistor 23. Flow from Y 1 to Y n . The counter electrode 20c and the power supply wiring 90 are kept at a constant common potential Vcom (for example, ground = 0 volts).

走査線Xiの選択期間においては、i行目の走査線Xiにシフトパルスが出力されているから、スイッチトランジスタ21及び保持トランジスタ22がオン状態となる。各選択期間において、データドライバ側の電位は、給電配線90,90,…及び供給線Z1〜Zmに出力されたクロック信号のローレベル以下で且つこのクロック信号のローレベルはコモン電位Vcom以下に設定されている。したがってこの時、有機EL素子20から信号線Y1〜Ynに流れることはないので、図2に示すように、データドライバによって階調に応じた電流値の書込電流(引抜電流)が矢印Aの通り、信号線Y1〜Ynに流れ、サブピクセルPi,jにおいては給電配線90及び供給線Ziから駆動トランジスタ23のドレイン−ソース間、スイッチトランジスタ21のドレイン−ソース間を介して信号線Yjに向かった書込電流(引抜電流)が流れる。このように駆動トランジスタ23のドレイン−ソース間を流れる電流の電流値は、データドライバによって一義的に制御され、データドライバは、外部から入力された階調に応じて書込電流(引抜電流)の電流値を設定する。書込電流(引抜電流)が流れている間、i行目のPi,1〜Pi,nの各駆動トランジスタ23のゲート23g−ソース23s間の電圧は、それぞれ信号線Y1〜Ynに流れる書込電流(引抜電流)の電流値、つまり駆動トランジスタ23のVg−Ids特性の経時変化にかかわらず駆動トランジスタ23のドレイン23d−ソース23s間を流れる書込電流(引抜電流)の電流値に見合うように強制的に設定され、この電圧のレベルに従った大きさの電荷がキャパシタ24にチャージされて、書込電流(引抜電流)の電流値が駆動トランジスタ23のゲート23g−ソース23s間の電圧のレベルに変換される。その後の発光期間では、走査線Xiがローレベルになり、スイッチトランジスタ21及び保持トランジスタ22がオフ状態となるが、オフ状態の保持トランジスタ22によってキャパシタ24の電極24A側の電荷が閉じ込められてフローティング状態になり、駆動トランジスタ23のソース23sの電圧が選択期間から発光期間に移行する際に変調しても、駆動トランジスタ23のゲート23g−ソース23s間の電位差がそのまま維持される。この発光期間のうち、いずれの行の選択期間でもない間、つまり、クロック信号が給電配線90及び供給線Ziの電位が有機EL素子20の対向電極20c及び給電配線90の電位Vcomより高いハイレベルの間、より高電位の給電配線90及び供給線Ziから駆動トランジスタ23のドレイン−ソース間を介して有機EL素子20に駆動電流が矢印Bの方向に流れ、有機EL素子20が発光する。駆動電流の電流値は駆動トランジスタ23のゲート23g−ソース23s間の電圧に依存するため、発光期間における駆動電流の電流値は、選択期間における書込電流(引抜電流)の電流値に等しくなる。また発光期間において、いずれかの行の選択期間の間、つまりクロック信号がローレベルである時は、給電配線90及び供給線Ziの電位が対向電極20c及び給電配線90の電位Vcom以下であるので、有機EL素子20に駆動電流は流れず発光しない。 In the selection period of the scan line X i, from the shift pulse to the i-th scanning line X i is output, the switch transistor 21 and holding transistor 22 are turned on. In each selection period, the potential of the data driver side, feed interconnections 90, 90, ... and the low level of the supply lines Z 1 to Z m and the clock signal following a low level of the clock signal output to the following common potential Vcom Is set to Therefore, at this time, since the organic EL element 20 does not flow to the signal lines Y 1 to Y n , as shown in FIG. 2, a write current (drawing current) having a current value corresponding to the gradation is indicated by an arrow as shown in FIG. As shown in A, it flows to the signal lines Y 1 to Y n , and in the subpixel P i, j , the power supply wiring 90 and the supply line Z i pass through the drain-source of the drive transistor 23 and the drain-source of the switch transistor 21. Thus, a write current (drawing current) directed to the signal line Y j flows. In this way, the current value of the current flowing between the drain and source of the drive transistor 23 is uniquely controlled by the data driver, and the data driver is capable of writing current (drawing current) according to the gradation input from the outside. Set the current value. While the write current (drawing current) is flowing, the voltage between the gate 23g and the source 23s of each driving transistor 23 of the i- th row P i, 1 to P i, n is the signal line Y 1 to Y n , respectively. Current value of the write current (extraction current) flowing through the transistor 23, that is, the current value of the write current (extraction current) flowing between the drain 23d and the source 23s of the drive transistor 23 regardless of the change with time in the Vg-Ids characteristic of the drive transistor 23. The capacitor 24 is forcibly set to meet the voltage level, the capacitor 24 is charged with a charge, and the current value of the write current (drawing current) is between the gate 23g and the source 23s of the drive transistor 23. Is converted to the voltage level. In the subsequent light emission period, the scanning line X i becomes a low level, and the switch transistor 21 and the holding transistor 22 are turned off. However, the charge on the electrode 24A side of the capacitor 24 is confined by the holding transistor 22 in the off state and floats. Even if the voltage of the source 23s of the drive transistor 23 is modulated when the voltage shifts from the selection period to the light emission period, the potential difference between the gate 23g and the source 23s of the drive transistor 23 is maintained as it is. During this light emission period, during which the row is not a selection period, that is, the clock signal is high when the potential of the power supply wiring 90 and the supply line Z i is higher than the potential Vcom of the counter electrode 20 c of the organic EL element 20 and the power supply wiring 90. During the level, the drive current flows in the direction of arrow B from the higher potential power supply line 90 and the supply line Z i to the organic EL element 20 through the drain-source of the drive transistor 23, and the organic EL element 20 emits light. . Since the current value of the drive current depends on the voltage between the gate 23g and the source 23s of the drive transistor 23, the current value of the drive current in the light emission period is equal to the current value of the write current (drawing current) in the selection period. Further, in the light emission period, during the selection period of any row, that is, when the clock signal is at a low level, the potential of the power supply wiring 90 and the supply line Z i is equal to or lower than the potential Vcom of the counter electrode 20c and the power supply wiring 90. Therefore, no drive current flows through the organic EL element 20 and no light is emitted.

何れの駆動方法においても、スイッチトランジスタ21は、駆動トランジスタ23のソース23sと、信号線Yとの間における電流のオン(選択期間)・オフ(発光期間)を行うものとして機能するようになっている。また、保持トランジスタ22は、選択期間に駆動トランジスタ23のドレイン23d−ソース23s間に電流が流れることができる状態にし、発光期間に駆動トランジスタ23のゲート23g−ソース23s間に印加した電圧を保持するものとして機能するようになっている。そして、駆動トランジスタ23は、発光期間中に供給線Z及び給電配線90がハイレベルになった時に、階調に応じた大きさの電流を有機EL素子20に流して有機EL素子20を駆動するものとして機能するようになっている。   In any driving method, the switch transistor 21 functions to turn on (selection period) / off (light emission period) the current between the source 23s of the driving transistor 23 and the signal line Y. Yes. The holding transistor 22 is in a state in which a current can flow between the drain 23d and the source 23s of the driving transistor 23 during the selection period, and holds the voltage applied between the gate 23g and the source 23s of the driving transistor 23 during the light emission period. It comes to function as a thing. Then, when the supply line Z and the power supply line 90 are at a high level during the light emission period, the drive transistor 23 drives the organic EL element 20 by causing a current having a magnitude corresponding to the gradation to flow through the organic EL element 20. It comes to function as a thing.

以上のように、給電配線90,90,…をそれぞれ流れる電流の大きさは一列の供給線Ziに接続されたn個の有機EL素子20に流れる駆動電流の大きさの和になるので、VGA以上の画素数で動画駆動するための選択期間に設定した場合、給電配線90,90,…のそれぞれの寄生容量が増大してしまい、トランジスタ21〜23のような薄膜トランジスタのゲート電極又はソース、ドレイン電極を構成する薄膜からなる配線ではn個の有機EL素子20に書込電流(つまり駆動電流)を流すには抵抗が高すぎるが、本実施形態では、サブピクセルP1,1〜Pm,nの薄膜トランジスタのゲート電極やソース、ドレイン電極とは異なる導電層によって給電配線90,90,…をそれぞれ構成しているので各給電配線90,90,…による電圧降下は小さくなり、短い選択期間であっても遅延なく十分に書込電流(引抜電流)を流すことができる。そして、給電配線90,90,…を厚くすることで給電配線90,90,…を低抵抗化したので、給電配線90,90,…の幅を狭くすることができる。そのため、ボトムエミッションの場合、画素開口率の減少を最小限に抑えることができる。 As described above, the magnitude of the current flowing through each of the power supply wirings 90, 90,... Is the sum of the magnitudes of the drive currents flowing through the n organic EL elements 20 connected to the one line of supply lines Z i . When the selection period for moving image driving with the number of pixels equal to or greater than VGA is set, the parasitic capacitance of each of the power supply wirings 90, 90,... Increases, and the gate electrode or source of a thin film transistor such as the transistors 21 to 23, In the wiring composed of a thin film constituting the drain electrode, the resistance is too high to cause a write current (that is, a drive current) to flow through the n organic EL elements 20, but in this embodiment, the subpixels P 1,1 to P m , the gate electrode and the source of the n thin film transistors, each feed interconnections so constitute respective feed lines 90, 90, ... of the different conductive layer and the drain electrode 90, 90, ... voltage by Below it is reduced to allow flow shorter a selection period without delay sufficient write current (pull-out current). Further, since the resistance of the power supply wirings 90, 90, ... is reduced by increasing the thickness of the power supply wirings 90, 90, ..., the width of the power supply wirings 90, 90, ... can be reduced. Therefore, in the case of bottom emission, the decrease in pixel aperture ratio can be minimized.

同様に、発光期間に共通配線91に流れる駆動電流の大きさは、選択期間に給電配線90に流れる書込電流(引抜電流)の大きさと同じであるが、共通配線91は、サブピクセルP1,1〜Pm,nの薄膜トランジスタのゲート電極やソース、ドレイン電極を構成する導電層とは異なる導電層を用いているので十分な厚さにすることができるため、共通配線91を低抵抗化することができ、さらに対向電極20c自体が薄膜化してより高抵抗になっても対向電極20cの電圧を面内で一様にすることができる。従って、仮に全てのサブピクセル電極20aに同じ電位を印加した場合でも、どの有機EL層20bの発光強度もほぼ等しくなり、面内の発光強度を一様することができる。また、ELディスプレイパネル1をトップエミッション型として用いた場合、対向電極20cをより薄膜化ことが可能なので、有機EL層20bを発した光が対向電極20cを透過中に減衰し難くなる。更に、平面視して水平方向に隣り合うサブピクセル電極20aの間に共通配線91が設けられているため、画素開口率の減少を最小限に抑えることができる。 Similarly, the magnitude of the drive current flowing through the common wiring 91 during the light emission period is the same as the magnitude of the write current (drawing current) flowing through the power supply wiring 90 during the selection period, but the common wiring 91 includes the subpixel P 1. , 1 to P m, n , the conductive layer different from the conductive layer constituting the gate electrode, the source and the drain electrode of the thin film transistor is used, so that the thickness of the common wiring 91 can be reduced. Further, even when the counter electrode 20c itself is thinned to have a higher resistance, the voltage of the counter electrode 20c can be made uniform in the plane. Therefore, even if the same potential is applied to all the subpixel electrodes 20a, the light emission intensity of any organic EL layer 20b becomes substantially equal, and the in-plane light emission intensity can be made uniform. Further, when the EL display panel 1 is used as a top emission type, the counter electrode 20c can be made thinner, so that light emitted from the organic EL layer 20b is not easily attenuated while being transmitted through the counter electrode 20c. Furthermore, since the common wiring 91 is provided between the subpixel electrodes 20a adjacent in the horizontal direction in plan view, a decrease in the pixel aperture ratio can be minimized.

さらに、サブピクセル電極20a、20a間の非画素領域に配置された信号線Y1〜Ynの上方に共通配線91群を配置したので、サブピクセル電極20aの面積を小さくせずに済む。 Furthermore, since the common wiring 91 group is disposed above the signal lines Y 1 to Y n disposed in the non-pixel region between the sub-pixel electrodes 20a and 20a, it is not necessary to reduce the area of the sub-pixel electrode 20a.

上述した二通りの駆動方法のうち第二のディスプレイパネル1の駆動方法でディスプレイパネル1においては、給電配線90,90,…は、絶縁基板2の第二の周縁部の引き回し配線99、端子部90d及び端子部90eを介して外部の発振回路からのクロック信号により等電位となるため、すみやかに有機EL素子20、20……から給電配線90,90,…全体に電流を供給することができる。   In the display panel 1 of the two driving methods described above, in the display panel 1, the power supply wirings 90, 90,... Since the potential is equalized by the clock signal from the external oscillation circuit via the terminal 90d and the terminal portion 90e, current can be promptly supplied from the organic EL elements 20, 20,. .

第一及び第二のELディスプレイパネル1の共通配線91,91,…は、絶縁基板2の第三周縁部及び第四周縁部に設けられた引き回し配線95、95によって互いに接続され、共通電圧Vcomが印加されている。共通配線91,91,…及び引き回し配線95、95は、走査線X1〜Xm、信号線Y1〜Yn、供給線Z1〜Zmと電気的に絶縁されている。 The common wirings 91, 91,... Of the first and second EL display panels 1 are connected to each other by the lead wirings 95, 95 provided at the third peripheral edge and the fourth peripheral edge of the insulating substrate 2, and the common voltage Vcom. Is applied. Common wiring 91, ... and the lead wiring 95, 95, the scanning lines X 1 to X m, the signal lines Y 1 to Y n, and is electrically insulated from the supply lines Z 1 to Z m.

[変形例1]
本実施形態では、各トランジスタ21,22,23は、Nチャンネル型の電界効果トランジスタであるが、本実施形態に限定されず、Pチャンネル型の電界効果トランジスタであってもよい。この場合、図2に示す回路構成では、各トランジスタ21,22,23のソース21s,22s,23sと、ドレイン21d,22d,23dの関係が逆となる。例えば、駆動トランジスタ23がPチャネル型の電界効果トランジスタの場合には、駆動トランジスタ23のドレイン23dが有機EL素子20のサブピクセル電極20aに導通され、ソース23sが供給線Zに導通されている。また駆動信号の波形が逆位相になる。
[Modification 1]
In this embodiment, each of the transistors 21, 22, and 23 is an N-channel field effect transistor, but is not limited to this embodiment, and may be a P-channel field effect transistor. In this case, in the circuit configuration shown in FIG. 2, the relationship between the sources 21s, 22s, and 23s of the transistors 21, 22, and 23 and the drains 21d, 22d, and 23d is reversed. For example, when the drive transistor 23 is a P-channel field effect transistor, the drain 23d of the drive transistor 23 is conducted to the subpixel electrode 20a of the organic EL element 20, and the source 23s is conducted to the supply line Z. In addition, the waveform of the drive signal has an opposite phase.

[変形例2]
また、本実施形態では、信号線Yがゲートレイヤーからパターニングされたものであるが、本実施形態に限定されず、信号線Yがドレインレイヤーからパターニングされたものであってもよい。この場合、走査線X及び供給線Zがゲートレイヤーからパターニングされたものとなり、信号線Yが走査線X及び供給線Zよりも上層となる。
[Modification 2]
In the present embodiment, the signal line Y is patterned from the gate layer. However, the present invention is not limited to this embodiment, and the signal line Y may be patterned from the drain layer. In this case, the scanning line X and the supply line Z are patterned from the gate layer, and the signal line Y is an upper layer than the scanning line X and the supply line Z.

[変形例3]
さらに、本実施形態では、1ドットのサブピクセルP当たり3つのトランジスタ21,22,23が具備されているが、本実施形態に限定されず、1ドットのサブピクセルP当たり1又は複数のトランジスタが具備され、これらトランジスタを用いてアクティブマトリクス方式により駆動することができるディスプレイパネルであってもよい。
[Modification 3]
Further, in the present embodiment, three transistors 21, 22, and 23 are provided for each dot subpixel P. However, the present invention is not limited to this embodiment, and one or more transistors are provided for each dot subpixel P. It may be a display panel that is provided and can be driven by an active matrix method using these transistors.

[変形例4]
さらに、本実施形態では、画素3は3つのサブピクセルPr,Pg,Pbから構成されているが、本実施形態に限定されず、赤、緑、青の各色の中間色からなるサブピクセルを含んで構成されていてもよい。
[Modification 4]
Furthermore, in the present embodiment, the pixel 3 is composed of three subpixels Pr, Pg, and Pb. However, the present invention is not limited to this embodiment, and includes a subpixel composed of intermediate colors of red, green, and blue. It may be configured.

[変形例5]
また、上記各実施形態では、対向電極20cを有機EL素子20のカソードとし、サブピクセル電極20aを有機EL素子20のアノードとしたが、対向電極20cを有機EL素子20のアノードとし、サブピクセル電極20aを有機EL素子20のカソードとしてもよい。
[変形例6]
また上記各実施形態では、各選択配線89は、スイッチトランジスタ21及び保持トランジスタ22の両方に接続されたが行毎のスイッチトランジスタ21のゲート21gに接続されたスイッチトランジスタ用選択配線と、スイッチトランジスタ用選択配線と分離して行毎の保持トランジスタ22のゲート22gに接続された保持トランジスタ用選択配線と、によって構成されてもよい。
[Modification 5]
In each of the above embodiments, the counter electrode 20c is the cathode of the organic EL element 20, and the subpixel electrode 20a is the anode of the organic EL element 20. However, the counter electrode 20c is the anode of the organic EL element 20, and the subpixel electrode 20a may be used as the cathode of the organic EL element 20.
[Modification 6]
In each of the above embodiments, each selection line 89 is connected to both the switch transistor 21 and the holding transistor 22, but the switch transistor selection line connected to the gate 21 g of the switch transistor 21 for each row, and the switch transistor It may be configured by a holding transistor selection wiring that is separated from the selection wiring and connected to the gate 22g of the holding transistor 22 for each row.

本発明に係る表示装置における画素を示す平面図である。It is a top view which shows the pixel in the display apparatus which concerns on this invention. サブピクセルPの等価回路図である。3 is an equivalent circuit diagram of a subpixel P. FIG. サブピクセルPの電極を示す平面図である。3 is a plan view showing an electrode of a subpixel P. FIG. 本発明に係る表示装置における画素を示す平面図であるIt is a top view which shows the pixel in the display apparatus which concerns on this invention. 図4における破断線V−Vに沿って絶縁基板2の厚さ方向に切断した矢視断面図である。It is arrow sectional drawing cut | disconnected in the thickness direction of the insulated substrate 2 along the broken line VV in FIG. 図4における破断線VI−VIに沿って絶縁基板2の厚さ方向に切断した矢視断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the arrow line VI-VI in FIG. 4 and cut in the thickness direction of the insulating substrate 2. ディスプレイパネルの配線構造を示した略平面図である。It is the schematic plan view which showed the wiring structure of the display panel. 図7のディスプレイパネルの駆動方法を説明するためのタイミングチャートである。FIG. 8 is a timing chart for explaining a method of driving the display panel of FIG. 7. ディスプレイパネルの配線構造を示した略平面図である。It is the schematic plan view which showed the wiring structure of the display panel. 図9のディスプレイパネルの駆動方法を説明するためのタイミングチャートである。10 is a timing chart for explaining a method of driving the display panel of FIG. サブピクセルPにおける駆動トランジスタ23及び有機EL素子20の電流−電圧特性を示すグラフである。4 is a graph showing current-voltage characteristics of a drive transistor 23 and an organic EL element 20 in a subpixel P. 32インチのELディスプレイパネル1における給電配線90及び共通配線91のそれぞれの最大電圧降下と、配線抵抗率ρ/断面積Sとの相関を示すグラフである。6 is a graph showing the correlation between the maximum voltage drop of each of the power supply wiring 90 and the common wiring 91 and the wiring resistivity ρ / cross-sectional area S in the 32-inch EL display panel 1. 32インチのELディスプレイパネル1における給電配線90及び共通配線91のそれぞれの断面積と、電流密度との相関を示すグラフである。It is a graph which shows correlation with each cross-sectional area of the electric power feeding wiring 90 in the 32-inch EL display panel 1, and the common wiring 91, and a current density. 40インチのELディスプレイパネル1における給電配線90及び共通配線91のそれぞれの最大電圧降下と、配線抵抗率ρ/断面積Sとの相関を示すグラフである。It is a graph which shows the correlation with each maximum voltage drop of the electric power feeding wiring 90 and the common wiring 91 in 40-inch EL display panel 1, and wiring resistivity (rho) / sectional area S. FIG. 40インチのELディスプレイパネル1における給電配線90及び共通配線91のそれぞれの断面積と、電流密度との相関を示すグラフである。It is a graph which shows correlation with each cross-sectional area of the electric power feeding wiring 90 and the common wiring 91 in 40-inch EL display panel 1, and a current density.

符号の説明Explanation of symbols

1 ディスプレイパネル
2 絶縁基板
20a サブピクセル電極
20b 有機EL層
20c 対向電極
21 スイッチトランジスタ
22 保持トランジスタ
23 駆動トランジスタ
21d,22d,23d ドレイン
21s,22s,23s ソース
21g,22g,23g ゲート
31 トランジスタ保護絶縁膜
34 第一溝
35 第二溝
50 トランジスタアレイ基板
71 バンク
89 選択配線
90 給電配線
91 共通配線
Pr,Pg,Pb サブピクセル
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Display panel 2 Insulating substrate 20a Subpixel electrode 20b Organic EL layer 20c Counter electrode 21 Switch transistor 22 Holding transistor 23 Drive transistor 21d, 22d, 23d Drain 21s, 22s, 23s Source 21g, 22g, 23g Gate 31 Transistor protection insulating film 34 First groove 35 Second groove 50 Transistor array substrate 71 Bank 89 Selection wiring 90 Power supply wiring 91 Common wiring Pr, Pg, Pb Subpixel

Claims (15)

基板と、
前記基板上に、トランジスタを備えた複数の画素回路と、
前記各トランジスタの上方を被覆するように形成され、表面に溝が形成された絶縁膜と、
前記溝に埋設され、前記複数の画素回路に接続された配線と、
を具備することを特徴とするディスプレイパネル。
A substrate,
A plurality of pixel circuits including transistors on the substrate;
An insulating film formed so as to cover the upper portion of each transistor and having a groove formed on the surface;
A wiring embedded in the groove and connected to the plurality of pixel circuits;
A display panel comprising:
前記トランジスタは、ソース、ドレインの一方が前記配線に接続された駆動トランジスタを有することを特徴とする請求項1に記載のディスプレイパネル。   The display panel according to claim 1, wherein the transistor includes a driving transistor in which one of a source and a drain is connected to the wiring. 前記トランジスタは、前記駆動トランジスタのドレイン−ソース間に書込電流を流すスイッチトランジスタと、発光期間に前記駆動トランジスタのゲートとソース又はドレインの一方との間の電圧を保持する保持トランジスタと、を有することを特徴とする請求項2に記載のディスプレイパネル。   The transistor includes a switch transistor that allows a write current to flow between the drain and source of the driving transistor, and a holding transistor that holds a voltage between the gate of the driving transistor and one of the source and drain during a light emission period. The display panel according to claim 2. 前記配線は、
前記駆動トランジスタはソース、ドレインの一方が前記配線に接続された供給線用給電配線と、
スイッチトランジスタ及び保持トランジスタの少なくとも一方に接続された選択配線と、
を有することを特徴とする請求項3に記載のディスプレイパネル。
The wiring is
The drive transistor includes a power supply wiring for a supply line in which one of a source and a drain is connected to the wiring;
A selection wiring connected to at least one of the switch transistor and the holding transistor;
The display panel according to claim 3, further comprising:
前記駆動トランジスタのソース、ドレインの他方に画素電極が設けられていることを特徴とする請求項2から請求項4のいずれか一項に記載のディスプレイパネル。   The display panel according to claim 2, wherein a pixel electrode is provided on the other of the source and the drain of the driving transistor. 前記画素電極は、前記絶縁膜上に形成されていることを特徴とする請求項5記載のディスプレイパネル。   The display panel according to claim 5, wherein the pixel electrode is formed on the insulating film. 前記画素電極に設けられた発光層と、前記発光層上に設けられた対向電極とを有することを特徴とする請求項5又は請求項6に記載のディスプレイパネル。   The display panel according to claim 5, further comprising: a light emitting layer provided on the pixel electrode; and a counter electrode provided on the light emitting layer. 前記配線は、前記トランジスタのゲートやソース、ドレインとは異なる導電層を有することを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか一項に記載のディスプレイパネル。   The display panel according to claim 1, wherein the wiring has a conductive layer different from a gate, a source, and a drain of the transistor. 前記配線は、前記トランジスタのゲート及びソース、ドレインの少なくとも一方と同一のトランジスタ用導電層と、前記トランジスタ用導電層と異なる導電層と、を有することを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか一項に記載のディスプレイパネル。   8. The wiring according to claim 1, wherein the wiring includes a transistor conductive layer that is the same as at least one of a gate, a source, and a drain of the transistor, and a conductive layer different from the transistor conductive layer. The display panel as described in any one of Claims. 前記絶縁膜は、前記トランジスタを直接覆うトランジスタ保護絶縁膜を有することを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか一項に記載のディスプレイパネル。   The display panel according to claim 1, wherein the insulating film includes a transistor protective insulating film that directly covers the transistor. 前記絶縁膜は、前記トランジスタ保護絶縁膜上に設けられた平坦化膜を有することを特徴とする請求項10に記載のディスプレイパネル。   The display panel according to claim 10, wherein the insulating film includes a planarizing film provided on the transistor protective insulating film. 隣接する前記画素電極間に配置され、前記対向電極に接続された共通配線を備えることを特徴とする請求項7記載のディスプレイパネル。   The display panel according to claim 7, further comprising a common wiring disposed between the adjacent pixel electrodes and connected to the counter electrode. 前記共通配線の延在方向は、前記配線の延在方向と直交していることを特徴とする請求項12に記載のディスプレイパネル。   The display panel according to claim 12, wherein an extending direction of the common wiring is orthogonal to an extending direction of the wiring. 前記共通配線は、前記対向電極とは異なる導電層によって形成されていることを特徴とする請求項12又は請求項13に記載のディスプレイパネル。   The display panel according to claim 12, wherein the common wiring is formed of a conductive layer different from the counter electrode. 複数のサブピクセルを具備する複数の画素が配設された基板と、
前記基板の上面において、前記サブピクセルごとに配設された複数の駆動トランジスタと、
ソースとドレインの一方を前記駆動トランジスタのソースとドレインの何れか一方に導通させ、前記基板の上面において、前記サブピクセルごとに配設された複数のスイッチトランジスタと、
ソースとドレインの一方を前記駆動トランジスタのソースとドレインの他方に導通させ、ソースとドレインの他方を前記駆動トランジスタのゲートに導通させ、前記基板の上面に前記サブピクセルごとに配設された複数の保持トランジスタと、
前記駆動トランジスタ、スイッチトランジスタ及び保持トランジスタを被覆するように形成され、表面に複数の第一の溝及び第二の溝が形成された保護絶縁膜と、
前記第一の溝に埋設され、前記駆動トランジスタのソースとドレインの他方に導通し、前記駆動トランジスタ、スイッチトランジスタ及び保持トランジスタのゲート、ソース及びドレインとは別の導電層によって形成された複数の給電配線と、
前記第二の溝に埋設され、前記スイッチトランジスタのゲート及び前記保持トランジスタのゲートの少なくとも一方に導通し、前記駆動トランジスタ、前記スイッチトランジスタ及び前記保持トランジスタのゲート・ソース・ドレインとは別の導電層によって形成された複数の選択配線と、
前記保護絶縁膜の上面に互いに平行となるように形成された複数の突条と、
前記突条に沿って前記保護絶縁膜の上面に配列されると共に、隣接する前記突条の間において、前記サブピクセルごとに設けられ、前記駆動トランジスタのソースとドレインの何れか一方に導通した複数のサブピクセル電極と、
前記サブピクセル電極の上面に形成された発光層と、
前記発光層を被覆するとともに、前記給電配線及び突条を被覆するように形成された対向電極と、
前記対向電極に接続された共通配線とを具備することを特徴とするディスプレイパネル。
A substrate on which a plurality of pixels each having a plurality of subpixels are disposed;
A plurality of driving transistors disposed for each of the sub-pixels on the upper surface of the substrate;
A plurality of switch transistors arranged for each of the sub-pixels on the upper surface of the substrate, wherein one of the source and the drain is electrically connected to either the source or the drain of the driving transistor;
One of the source and the drain is electrically connected to the other of the source and the drain of the driving transistor, the other of the source and the drain is electrically connected to the gate of the driving transistor, and a plurality of subpixels disposed on the upper surface of the substrate. A holding transistor;
A protective insulating film formed so as to cover the driving transistor, the switch transistor, and the holding transistor, and having a plurality of first grooves and second grooves formed on a surface thereof;
A plurality of power feeds embedded in the first groove, conducted to the other of the source and drain of the drive transistor, and formed by a conductive layer different from the gate, source and drain of the drive transistor, switch transistor and holding transistor Wiring and
A conductive layer embedded in the second trench, electrically connected to at least one of the gate of the switch transistor and the gate of the holding transistor, and different from the gate, source and drain of the driving transistor, the switch transistor and the holding transistor A plurality of selection wirings formed by
A plurality of protrusions formed on the upper surface of the protective insulating film so as to be parallel to each other;
A plurality of conductors arranged on the upper surface of the protective insulating film along the protrusions and provided between the adjacent protrusions for each of the subpixels and conducted to one of the source and drain of the driving transistor. Subpixel electrodes,
A light emitting layer formed on an upper surface of the subpixel electrode;
A counter electrode formed so as to cover the light emitting layer and the power supply wiring and the ridge,
A display panel comprising a common wiring connected to the counter electrode.
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