JP2006175375A - Composite structure of resin and brittle material and production method used for it, and electronic device - Google Patents

Composite structure of resin and brittle material and production method used for it, and electronic device Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a composite composition enabling a brittle material layer to be stably formed on a resin material, and also to provide a production method used for it. <P>SOLUTION: The composite composition of the resin material and the brittle material has a base layer comprising an adhesive material adhered to the surface of a resin substrate and a polycrystalline brittle material layer on a part or a whole of the base layer. In the production method of the composite composition of the resin material and the brittle material, fine particles of the brittle material harder than the adhesive material are made to bite into the surface of the adhesive material adhered to the surface of the resin material to form the basic layer. The fine particles of the brittle material are made to collide with the base layer at high speed and are deformed or crushed by the impact of the collision. The polycrystalline brittle material layer is formed on the base layer by recombining the fine particles through an active newly prepared surface caused by the deformation or the crush. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、樹脂基材とセラミックスや半金属などの脆性材料とからなる複合構造物およびその作製方法、及びこの複合構造物を取り付けた電子機器に関する。   The present invention relates to a composite structure including a resin base material and a brittle material such as ceramics or a semimetal, a method for manufacturing the composite structure, and an electronic apparatus to which the composite structure is attached.

基材表面に金属やセラミックスなどの被膜を形成する方法として、ゾルゲル法、PVDやCVDなどの蒸着法あるいは溶射法が知られている。   As a method for forming a film of metal or ceramic on the surface of the substrate, a sol-gel method, a vapor deposition method such as PVD or CVD, or a thermal spraying method is known.

また、最近では新たな被膜形成方法として、ガスデポジション法(加集誠一郎:金属 1989年1月号)や静電微粒子コーティング法(井川 他:昭和52年度精密機械学会秋季大会学術講演会前刷)が知られている。前者は金属やセラミックス等の超微粒子をガス攪拌にてエアロゾル化し、微小なノズルを通して加速せしめ、基材に衝突した際に運動エネルギーの一部が熱エネルギーに変換され、微粒子間あるいは微粒子と基材間を焼結することを基本原理としており、後者は微粒子を帯電させ電場勾配を用いて加速せしめ、この後はガスデポジション法と同様に衝突の際に発生する熱エネルギーを利用して焼結することを基本原理としている。   Recently, as a new film formation method, the gas deposition method (Seiichiro Kashu: metal, January 1989 issue) and electrostatic fine particle coating method (Igawa et al .: Preprint of the academic conference of the Japan Society for Precision Machinery Fall 1977 )It has been known. In the former, ultrafine particles such as metals and ceramics are aerosolized by gas agitation and accelerated through a minute nozzle. When they collide with a substrate, part of the kinetic energy is converted into thermal energy, and between particles or between the particles and the substrate. The latter is based on the basic principle. The latter is charged with fine particles and accelerated using an electric field gradient. After that, similar to the gas deposition method, the latter is sintered using thermal energy generated at the time of collision. The basic principle is to do.

また、上記のガスデポジション法あるいは静電微粒子コーティング法を改良した先行技術として、特開平8−81774号公報、特開平10−202171号公報、特開平11−21677号公報、特開平11−330577号公報或いは特開2000−212766号公報に開示されるものが知られている。また、磁性粒子を原料とした先行技術については特開2002−097177或いは特開2002−097176などが知られている。
特開平8−81774号公報 特開平10−202171号 特開平11−21677号公報 特開平11−330577号公報 特開2000−212766号公報 特開2002−097177号公報 特開2002−097176号公報 ガスデポジション法(加集誠一郎:金属 1989年1月号) 静電微粒子コーティング法(井川 他:昭和52年度精密機械学会秋季大会学術講演会前刷)
Further, as prior arts improved from the above-described gas deposition method or electrostatic fine particle coating method, JP-A-8-81774, JP-A-10-202171, JP-A-11-21777, JP-A-11-330577 are disclosed. And those disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-212766. Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-097177 or Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-097176 is known as a prior art using magnetic particles as a raw material.
JP-A-8-81774 JP-A-10-202171 Japanese Patent Laid-Open No. 11-21677 JP 11-330577 A JP 2000-212766 A JP 2002-097177 A JP 2002-097176 A Gas Deposition Method (Seiichiro Kashu: Metal, January 1989 issue) Electrostatic fine particle coating method (Ikawa et al .: Preprint of the academic conference of the Japan Society for Precision Mechanics Fall 1982)

上記した先行技術の多くは、被膜形成に樹脂が溶融あるいはガス化する程度の加熱を伴うため、樹脂基板の表面に脆性材料構造物を形成するには適さない。また、上記した先行技術のうち、ガスデポジション法を改良したものの中には、加熱工程を伴わずに被膜を形成するものもあるが、脆性材料微粒子を樹脂基板に直接衝突させると、樹脂基板は一般的に無機材料に代表される脆性材料と比較して弾性に富み、また柔らかいために下記2つの不具合を生じる場合があった。
(1) 不飽和ポリエステル、ナイロン、ゴム、フッ素樹脂等のように、弾性に富む場合には脆性材料微粒子が跳ね返されてうまく製膜できない。
(2) アクリル樹脂、エポキシ樹脂等のように、樹脂材料の中では比較的硬く塑性に乏しい場合には強く衝突させると樹脂基板が削られてしまう。またポリカーボネートやポリプロピレンなどへの製膜も困難である。
Many of the above-described prior arts are not suitable for forming a brittle material structure on the surface of a resin substrate because the film formation involves heating to such an extent that the resin is melted or gasified. Among the above-described prior arts, some of the improved gas deposition methods form a film without a heating step. However, when the brittle material fine particles directly collide with the resin substrate, the resin substrate In general, it is rich in elasticity compared to brittle materials typified by inorganic materials, and since it is soft, the following two problems may occur.
(1) When it is rich in elasticity, such as unsaturated polyester, nylon, rubber, fluororesin, etc., brittle material fine particles are rebounded, making it impossible to form a film well.
(2) If the resin material is relatively hard and poor in plasticity, such as an acrylic resin or an epoxy resin, the resin substrate will be scraped if it is strongly collided. Also, it is difficult to form a film on polycarbonate or polypropylene.

そこで、本発明者の一部により樹脂基板の表面にも脆性材料構造物を形成できる方法が国際出願(PCT JP00/07076)された。この発明は以下の知見に基づいてなされた。即ち、延展性を持たない脆性材料(セラミックス)に機械的衝撃力を付加すると、結晶子同士の界面などの劈開面に沿って結晶格子のずれを生じたり、あるいは破砕される。そして、これらの現象が起こると、ずれ面や破面には、もともと内部に存在し別の原子と結合していた原子が剥き出しの状態となった新生面が形成される。この新生面の原子一層の部分は、もともと安定した原子結合状態から外力により強制的に不安定な表面状態に晒され、表面エネルギーが高い状態となる。この活性面が隣接した脆性材料表面や同じく隣接した脆性材料の新生面あるいは基板表面と接合して安定状態に移行する。   Therefore, an international application (PCT JP00 / 07076) has been filed by a part of the present inventors for forming a brittle material structure on the surface of a resin substrate. This invention was made based on the following findings. That is, when a mechanical impact force is applied to a brittle material (ceramics) that does not have spreadability, the crystal lattice shifts along the cleaved surface such as the interface between crystallites or is crushed. When these phenomena occur, a new surface is formed on the slipping surface or fracture surface, in which atoms originally present inside and bonded to other atoms are exposed. The part of the atomic layer on the new surface is exposed to an unstable surface state by an external force from a stable atomic bond state, and the surface energy is high. The active surface joins the adjacent brittle material surface, the newly formed brittle material surface, or the substrate surface, and shifts to a stable state.

外部からの連続した機械的衝撃力の付加は、この現象を継続的に発生させ、微粒子の変形、破砕などの繰り返しにより接合の進展、緻密化が行われ、脆性材料構造物が形成される。そして、更に上記機械的衝撃を搬送ガスにて脆性材料を基材に衝突させるようにした本発明の一態様を以後、微粒子ビーム堆積法と称する。またこの方法はエアロゾルデポジション法とも呼ばれる。   The addition of a continuous mechanical impact force from the outside continuously generates this phenomenon, and the joining is progressed and densified by repeated deformation and crushing of fine particles, thereby forming a brittle material structure. Further, an embodiment of the present invention in which the above-described mechanical impact is caused to cause the brittle material to collide with the substrate with the carrier gas is hereinafter referred to as a fine particle beam deposition method. This method is also called an aerosol deposition method.

上記の微粒子ビーム堆積法によって作製した脆性材料構造物の断面を観察したところ、噴射された微粒子または破砕した微細断片粒子が基材に突き刺さったアンカー部が存在し、その上に破砕・変形した脆性材料微粒子同士が、焼成することもなく緻密に接合して形成される構造となっていることがわかった。即ち、微粒子ビーム堆積法によってうまく脆性材料構造物が形成されるか否かは基材表面にアンカー部が存在しているか否かに大きく依存しており、一度薄いアンカー部が形成された後は、比較的容易にその上に脆性材料構造物が形成される。   When the cross section of the brittle material structure prepared by the fine particle beam deposition method was observed, there was an anchor part where the injected fine particles or crushed fine fragment particles pierced the base material, and the brittleness that was crushed and deformed on it It was found that the material fine particles had a structure formed by closely bonding without firing. That is, whether or not a brittle material structure is successfully formed by the fine particle beam deposition method depends largely on whether or not the anchor portion exists on the surface of the substrate. Once the thin anchor portion is formed, A brittle material structure is formed on it relatively easily.

そして、上記アンカー部は、一般的に弾性係数が高いか、また樹脂の中では比較的硬くかつ塑性に乏しい樹脂基材上に直接脆性材料構造物を形成しようとすると脆性材料微粒子が樹脂基材に弾かれたり、脆性材料微粒子により樹脂基材が削られたりしてうまく形成できない。   The anchor portion generally has a high elastic modulus, and when an attempt is made to directly form a brittle material structure on a resin base material that is relatively hard and poor in plasticity, the brittle material fine particles are formed on the resin base material. The resin base material is scraped by the brittle material fine particles, and the resin base material is scraped off.

以上の課題は、樹脂基材表面に密着する粘着材料からなる下地層が形成され、この下地層の上全部または一部に多結晶の脆性材料層が形成されていることを特徴とする樹脂と脆性材料との複合構造物、によって解決される。   The above-described problem is a resin characterized in that a base layer made of an adhesive material that adheres closely to the surface of the resin base material is formed, and a polycrystalline brittle material layer is formed on all or part of the base layer. Solved by composite structures with brittle materials.

また、以上の課題は、樹脂基材表面に密着する粘着材表面に、この粘着材よりも高硬度の脆性材料微粒子を食い込ませて下地層を形成し、次いでこの下地層に前記脆性材料微粒子を高速で衝突させ、この衝突の衝撃によって前記脆性材料微粒子を変形または破砕し、この変形または破砕にて生じた活性な新生面を介して微粒子同士を再結合せしめることで、前記下地層の上に多結晶の脆性材料層を形成することを特徴とする樹脂と脆性材料との複合構造物の作製方法、によって解決される。   In addition, the above-described problem is that a brittle material fine particle having a hardness higher than that of the pressure-sensitive adhesive material is bitten into the surface of the pressure-sensitive adhesive material that is in close contact with the surface of the resin base material, and then the brittle material fine particle is applied to the ground layer. By colliding at high speed, the brittle material fine particles are deformed or crushed by the impact of the collision, and the fine particles are recombined through the active new surface generated by the deformation or crushing, so that many particles are formed on the base layer. This is solved by a method for producing a composite structure of a resin and a brittle material, characterized by forming a brittle material layer of crystals.

また、以上の課題は、樹脂基材表面に密着する粘着材料からなる下地層が形成され、この下地層の上全部または一部に多結晶の脆性材料層が形成されている樹脂と脆性材料との複合構造物を筐体の内周面及び/または上下内壁面に取り付けていることを特徴とする電子機器、によって解決される。   In addition, the above-described problems include a resin and a brittle material in which a base layer made of an adhesive material that is in close contact with the resin base material surface is formed, and a polycrystalline brittle material layer is formed on all or part of the base layer. This is solved by an electronic device characterized in that the composite structure is attached to the inner peripheral surface and / or the upper and lower inner wall surfaces of the housing.

更にまた、以上の課題は、内部の電子部品に、樹脂基材表面に密着する粘着材料からなる下地層が形成され、この下地層の上全部または一部に多結晶の脆性材料層が形成されている樹脂と脆性材料との複合構造物を取り付けていることを特徴とする電子機器、によって解決される。   Furthermore, the above problem is that an underlying electronic layer made of an adhesive material that adheres to the surface of the resin substrate is formed on the internal electronic component, and a polycrystalline brittle material layer is formed on all or part of the underlying layer. This is solved by an electronic device characterized in that a composite structure of a resin and a brittle material is attached.

具体的に更に述べると、前述のこのような欠点を克服するために本発明者の一部により樹脂基材の上に下地層を形成し、その上に脆性材料を形成するという特許がだされた。本発明者らが鋭意研究を行なった結果、先願特許の形成法によっても生成し難い脆性材料(たとえばフェライトなどの磁性粒子など)があることが分かった。この欠点を克服するために、このような樹脂基材に対しては適度な密着性を持つ粘着材による下地層を形成した場合、その下地層に脆性材料が跳ね返されること無く容易に脆性材料膜がされるという知見を得て本発明を成したものである。   More specifically, in order to overcome the above-mentioned drawbacks, a part of the inventor has issued a patent for forming a base layer on a resin base material and forming a brittle material thereon. It was. As a result of intensive studies by the present inventors, it has been found that there are brittle materials (for example, magnetic particles such as ferrite) that are difficult to generate even by the formation method of the prior patent application. In order to overcome this drawback, when a base layer made of an adhesive material having appropriate adhesion to such a resin base is formed, the brittle material film can be easily formed without the brittle material rebounding on the base layer. The present invention has been made by obtaining the knowledge that the

即ち、本発明の第1の態様に属する樹脂と脆性材料との複合構造物は、樹脂基材表面にその一部が食い込む硬質材料からなる下地層が形成され、この下地層の上に多結晶の脆性材料構造物が形成された構成である。下地層の厚さは1μm以上が好ましい。   That is, in the composite structure of the resin and the brittle material belonging to the first aspect of the present invention, a base layer made of a hard material partially digging into the resin base material surface is formed, and the polycrystalline layer is formed on the base layer. The brittle material structure is formed. The thickness of the underlayer is preferably 1 μm or more.

上記の複合構造物を作製するには、樹脂基材上の粘着材表面にこの樹脂基材よりも高硬度の粒子を食い込ませて下地層を形成し、次いでこの下地層に脆性材料微粒子を高速で衝突させ、この衝突の衝撃によって前記脆性材料微粒子を変形または破砕し、この変形または破砕にて生じた活性な新生面を介して微粒子同士を再結合せしめることで、下地層の上に多結晶の脆性材料層を形成する。   In order to fabricate the composite structure described above, particles having a hardness higher than that of the resin base material are formed on the surface of the adhesive material on the resin base material to form a base layer, and then brittle material fine particles are applied to the base layer at high speed. The brittle material fine particles are deformed or crushed by the impact of the collision, and the fine particles are recombined with each other through the active new surface generated by the deformation or crushing. A brittle material layer is formed.

前記下地層を形成する手段としては、前記樹脂基材上に適切な塗布方法(グラビアコート、はけ塗り、スプレー塗布、転写法など)により形成される。   As a means for forming the base layer, it is formed on the resin substrate by an appropriate coating method (gravure coating, brush coating, spray coating, transfer method, etc.).

脆性材料層の形成工程の温度は、前記粘着材用樹脂のガラス転移温度(Tg)以下にするのが好ましい。   The temperature of the brittle material layer forming step is preferably set to be equal to or lower than the glass transition temperature (Tg) of the adhesive resin.

上述の樹脂と脆性材料との複合構造物の作製方法において、第1層目の脆性材料の上にさらに粘着層を塗布して、そのうえにさらに第2層目の脆性材料を形成してもよい。   In the above-described method for manufacturing a composite structure of a resin and a brittle material, an adhesive layer may be further applied on the first brittle material, and a second brittle material may be further formed thereon.

上述の樹脂と脆性材料との複合構造物の作製方法において、第2層目以降同様に粘着層と脆性材料層とを交互に積み重ねて、n層(n≧2)の多層構造を特徴としてもよい。   In the above-described method for manufacturing a composite structure of resin and brittle material, the adhesive layer and the brittle material layer are alternately stacked in the same manner as the second and subsequent layers, and a multilayer structure of n layers (n ≧ 2) is also a feature. Good.

上述の樹脂と脆性材料との複合構造物の作製方法において、粘着層は樹脂などの支持体もしくは基材の片面又は両面に塗布することを特徴としても良い。   In the above method for manufacturing a composite structure of a resin and a brittle material, the adhesive layer may be applied to one side or both sides of a support such as a resin or a base material.

一方、粘着材が硬化性樹脂からなる場合には、この硬化性樹脂の前駆体を半硬化状態になるまで熱、UVなど適切な硬化法により半硬化させる。この半硬化状態にある粘着材表面に硬質材料粒子を食い込ませて脆性材料層を形成する。なお、脆性材料形成工程後に半硬化状態にある粘着性硬化樹脂をさらに加熱、UV照射などにより硬化させる必要は無い。なお、脆性材料層は常温または加熱状態で形成する。
On the other hand, when the adhesive material is made of a curable resin, the precursor of the curable resin is semi-cured by an appropriate curing method such as heat or UV until it becomes a semi-cured state. The brittle material layer is formed by causing the hard material particles to penetrate the surface of the adhesive material in the semi-cured state. It is not necessary to further cure the adhesive curable resin in a semi-cured state after the brittle material forming step by heating, UV irradiation, or the like. Note that the brittle material layer is formed at room temperature or in a heated state.

本発明においては樹脂基材上の粘着材の全部又は一部に脆性材料を形成する。ビデオカメラやデジタルスチルカメラなどの筐体や回路などに電波吸収材料としてフェライトなどの脆性材料を応用する場合には、直接樹脂基材上の粘着材の全部又は一部に脆性材料を形成する場合と、例えば粘着テープの一部に脆性材料を形成し、その周囲を脆性材料が未形成の部分が取り囲むように形成すると、電磁波吸収特性のある脆性材料が形成された粘着テープとなる。このテープは脆性材料形成面を下にして回路基板のノイズ発生源に貼り付けることが可能となり、脆性材料形成過程と貼り付け過程が分離できることにより、回路基板の不要な部位に未固化の脆性材料が付着することが防止でき、プロセス的にもメリットが大きい。   In the present invention, a brittle material is formed on all or part of the adhesive material on the resin base material. When brittle materials such as ferrite are applied as electromagnetic wave absorbing materials to housings and circuits of video cameras and digital still cameras, etc., when brittle materials are directly formed on all or part of the adhesive material on the resin substrate For example, when a brittle material is formed in a part of the adhesive tape and the periphery is surrounded by a portion where the brittle material is not formed, the adhesive tape is formed with a brittle material having electromagnetic wave absorption characteristics. This tape can be attached to the noise generation source of the circuit board with the brittle material formation side down, and the brittle material formation process and the application process can be separated, so that the brittle material that has not solidified in unnecessary parts of the circuit board Can be prevented, and there is a great merit in terms of process.

ここで、本発明を理解する上で重要となる語句の解釈を以下に行う。
(下地層)樹脂基材の最表面に粘着材料が形成された薄い層であり、基材との密着性を保つとともに、その上に脆性材料構造物もしくは脆性材料層を微粒子ビーム堆積法により形成した場合に、この構造物と強固に接合される層を指す。また、脆性材料構造物との接合は、脆性材料構造物粒子が衝突した際に、その一部が食い込んでアンカー部を形成することが望ましい。それら条件を満足する材料は、粘着材料であり、アクリル系粘着材、ゴム系粘着材、シリコーン系粘着材などの粘着性を調整する事により使用可能である。
(多結晶)本件では結晶子が接合・集積してなる構造体を指す。結晶子は実質的にそれひとつで結晶を構成しその径は通常5nm以上である。ただし、微粒子が破砕されずに構造物中に取り込まれるなどの場合がまれに生じるが、実質的には多結晶である。
(結晶性)本件では多結晶である構造物中での粉末X線回折などにより、原料粉末結晶の特性ピークの拡がり方により、原料粒子の粉砕度合いを定性的に比較する。
Here, the interpretation of the words that are important for understanding the present invention will be described below.
(Underlayer) A thin layer with an adhesive material formed on the outermost surface of the resin base material. While maintaining adhesion to the base material, a brittle material structure or brittle material layer is formed on it by a fine particle beam deposition method. In this case, the layer is firmly bonded to the structure. In addition, it is desirable that the joint with the brittle material structure is partly cut into the anchor portion when the brittle material structure particles collide. A material that satisfies these conditions is an adhesive material, and can be used by adjusting the adhesiveness of an acrylic adhesive material, a rubber adhesive material, a silicone adhesive material, or the like.
(Polycrystalline) In this case, it refers to a structure in which crystallites are joined and accumulated. The crystallite is essentially one crystal, and its diameter is usually 5 nm or more. However, the case where the fine particles are taken into the structure without being crushed rarely occurs, but is substantially polycrystalline.
(Crystallinity) In this case, the degree of pulverization of raw material particles is qualitatively compared based on how the characteristic peak of the raw material powder crystal is broadened by powder X-ray diffraction in a polycrystalline structure.

本発明によれば、従来では困難であった柔らかい樹脂基材表面への脆性材料層を粘着性の下地層を介在させることで確実に形成することができる。   According to the present invention, a brittle material layer on the surface of a soft resin substrate, which has been difficult in the past, can be reliably formed by interposing an adhesive base layer.

以下に本発明の実施の形態及び実施例を添付図面に基づいて説明する。なお、本発明はこれらに限定されることなく、その技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。   Hereinafter, embodiments and examples of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In addition, this invention is not limited to these, A various deformation | transformation is possible based on the technical idea.

図1に示す複合構造物は、基材の上に下地層として粘着材料層が存在し、この上に脆性材料構造物としての脆性材料層が形成されている場合である。この場合は、あらかじめ樹脂基材に粘着材料層を形成した後、微粒子ビーム堆積法によりある種の脆性材料微粒子を打ち込む。粘着材層は硬化不要の場合と半硬化の場合とがある。すなわち、図1においては樹脂基材1上に粘着材料層もしくは粘着層2が形成され、この上に脆性材料層3が形成される。   The composite structure shown in FIG. 1 is a case where an adhesive material layer exists as a base layer on a base material, and a brittle material layer as a brittle material structure is formed thereon. In this case, after forming an adhesive material layer on a resin base material in advance, certain fine particles of brittle material are implanted by a fine particle beam deposition method. There are cases where the adhesive layer does not require curing and cases where it is semi-cured. That is, in FIG. 1, an adhesive material layer or an adhesive layer 2 is formed on a resin substrate 1, and a brittle material layer 3 is formed thereon.

この実施の態様に示した樹脂基板材料としては、ABS、アセタール樹脂、メタクリル樹脂、酢酸セルロース、塩素化ポリエーテル、エチレン−酢酸ビニル共重合体、フッ素樹脂、アイオノマー、メチルペンテンポリマー、ナイロン、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレンスルフィド、ポリアクリレート、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリスルホン、酢酸ビニル樹脂、塩化ビニリデン樹脂、AS樹脂,塩化ビニル樹脂等が、脆性材料としては、Al23,NiO,TiO2,CuO,ZnO,ZrO2,SnO2,MgO、フェライトなどの酸化物、Fe、Cu、などの金属、WC,ダイヤモンド,SiC,B4C等の炭化物,AlN,Si34等の窒化物,Ca2F,ZrF等のフッ化物などに代表される脆性材料を用い、搬送用キャリアガスとしては、乾燥空気、窒素、ヘリウム、アルゴン、酸素、水素、酸素分圧を制御した混合ガスなどを用いることができる。 Examples of the resin substrate material shown in this embodiment include ABS, acetal resin, methacrylic resin, cellulose acetate, chlorinated polyether, ethylene-vinyl acetate copolymer, fluororesin, ionomer, methylpentene polymer, nylon, polycarbonate, polyethylene, polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyimide, polyphenylene oxide, polyphenylene sulfide, polyacrylate, polypropylene, polystyrene, polysulfone, vinyl acetate resin, vinylidene chloride resin, aS resin, vinyl chloride resin, as a brittle material, Al 2 O 3 , NiO, TiO 2 , CuO, ZnO, ZrO 2 , SnO 2 , MgO, oxides such as ferrite, metals such as Fe and Cu, carbonization such as WC, diamond, SiC, and B 4 C Materials, brittle materials such as nitrides such as AlN and Si 3 N 4 , fluorides such as Ca 2 F and ZrF, etc., and carrier gases for transport include dry air, nitrogen, helium, argon, oxygen, Hydrogen, a mixed gas whose oxygen partial pressure is controlled, or the like can be used.

図2にn=2の場合の多層構造の例を示す。さらに粘着層と脆性材料層とが交互に積み重ねられn層(n≧3)としても良い。図2において、図1に対応する部分については図1の符号を付す。すなわち、第1層の脆性材料層3の上に第2層の粘着層4が形成され、更にその上に第2層の脆性材料層5が形成される。   FIG. 2 shows an example of a multilayer structure in the case of n = 2. Furthermore, an adhesive layer and a brittle material layer may be alternately stacked to form an n layer (n ≧ 3). In FIG. 2, the parts corresponding to those in FIG. That is, the second adhesive layer 4 is formed on the first brittle material layer 3, and the second brittle material layer 5 is further formed thereon.

次に、本発明の実施の形態の構造物形成装置について、図3を参照して説明する。本装置には上述したように微粒子ビーム堆積法が適用される。構造物形成室8内には加熱プレート11が配設され、熱硬化性樹脂基材17が載置される。温度計12が、基材17の温度を測るべく設置される。温度計12の出力が温調器13に供給される。この温調器13の制御信号は加熱プレート11に供給される。脆性材料である微粒子粉体を収容する原料槽14はバルブ20を介して連結管16が接続されており、これには一方、ヘリウムガスを貯蔵するキャリアガス貯蔵層15が接続されている。   Next, a structure forming apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. As described above, the fine particle beam deposition method is applied to this apparatus. A heating plate 11 is disposed in the structure forming chamber 8 and a thermosetting resin substrate 17 is placed thereon. A thermometer 12 is installed to measure the temperature of the substrate 17. The output of the thermometer 12 is supplied to the temperature controller 13. The control signal of the temperature controller 13 is supplied to the heating plate 11. A raw material tank 14 containing fine particle powder, which is a brittle material, is connected to a connecting pipe 16 via a valve 20, to which a carrier gas storage layer 15 for storing helium gas is connected.

原料槽14には更にバルブ21を介して噴射管18が接続されており、その先端部は構造物形成室8内にあって、噴射ノズル19を接続させている。この噴射ノズル19は樹脂基材17に対向している。また下地層を形成させた樹脂基材17を空冷によって強制的に冷却するための空冷用噴射ノズル23が図示するように樹脂基材17に対し斜めに向けて配設されている。なお、原料槽14では図示せずとも脆性材料微粒子を振動、攪拌する機構を備えている。   Further, an injection pipe 18 is connected to the raw material tank 14 via a valve 21, and a tip portion thereof is in the structure forming chamber 8 and is connected to an injection nozzle 19. The spray nozzle 19 faces the resin base material 17. An air cooling nozzle 23 for forcibly cooling the resin base material 17 on which the base layer is formed by air cooling is disposed obliquely with respect to the resin base material 17 as shown in the figure. The raw material tank 14 has a mechanism for vibrating and stirring the brittle material fine particles, not shown.

動作は、熱可塑性基材上に形成した練り合わせた熱硬化性樹脂基材17を噴射管19の噴射口の先方にセットし、基材温度を制御する温調器13を用いて、基材17を基材硬化温度より10℃低い温度以上硬化温度以下にセットする。基材表面の温度は基材に設置された温度計12によって測温され、温調器13によって制御される。基材17の温度が所定の温度に達した時点で、キャリアガス貯留槽15のバルブ20を開き、キャリアガス貯留槽15内のキャリアガスを流し、原料槽14内にある脆性材料微粒子をキャリアガスと共に噴射管18を通って噴射ノズル19の噴射口から噴出し、所定温度に制御された基材17の表面に衝突させる。   The operation is performed by setting the kneaded thermosetting resin base material 17 formed on the thermoplastic base material at the tip of the injection port of the injection pipe 19 and using the temperature controller 13 for controlling the base material temperature. Is set at a temperature that is 10 ° C. lower than the substrate curing temperature and not higher than the curing temperature. The temperature of the substrate surface is measured by a thermometer 12 installed on the substrate and controlled by a temperature controller 13. When the temperature of the base material 17 reaches a predetermined temperature, the valve 20 of the carrier gas storage tank 15 is opened, the carrier gas in the carrier gas storage tank 15 is flowed, and the brittle material fine particles in the raw material tank 14 are transferred to the carrier gas. At the same time, it is ejected from the ejection port of the ejection nozzle 19 through the ejection pipe 18 and collides with the surface of the base material 17 controlled to a predetermined temperature.

この際、基材表面の温度は樹脂材が硬化する温度以下に制御されているので硬化が完全には達成されていない軟らかい状態であるために、噴射口から噴射された脆性材料微粒子は、基材表面に突き刺さり基材表面に下地層が容易に形成される。   At this time, since the temperature of the substrate surface is controlled to be equal to or lower than the temperature at which the resin material is cured, the brittle material fine particles ejected from the ejection port are based on a soft state in which curing is not completely achieved. The base layer is easily formed on the surface of the base material by piercing the surface of the material.

この工程を経た後、噴射ノズル19から再び脆性材料微粒子を下地層に向けて高速で噴射させることにより、次には脆性材料微粒子が下地層に衝突して変形あるいは破砕を起こし、変形した活性な粒子や活性な表面を持つ破砕断片粒子が再接合することにより下地層から成長するようにして脆性材料の構造物が形成される。上記に記した樹脂基材への脆性材料構造物の作製方法では、下地層形成工程から脆性材料構造物の形成工程までを連続的に行った例であるが、基本的に、下地層を形成した樹脂基材が十分に冷えてから、形成工程を行うといった断続的製法にても樹脂基材上への脆性材料構造物の形成は可能である。   After passing through this step, the brittle material fine particles are again sprayed from the spray nozzle 19 toward the underlayer at a high speed, and then the brittle material fine particles collide with the underlayer to cause deformation or crushing. A brittle material structure is formed such that the particles and crushed fragment particles having an active surface re-join and grow from the underlayer. In the above-described method for producing a brittle material structure on a resin base material, the process from the base layer formation process to the brittle material structure formation process is performed continuously. The brittle material structure can be formed on the resin base material even by an intermittent manufacturing method in which the forming step is performed after the resin base material is sufficiently cooled.

この実施の態様に示した熱硬化性樹脂材料としては、アクリル酸エステル系樹脂、アルキド樹脂、アリル樹脂、アミノ樹脂、メラミン樹脂、エポキシ樹脂,ユリア樹脂,フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、シリコーン樹脂、ポリウレタン等が使用される。下地層の材質、脆性材料構造物の材質は前述した実施の態様と同じものが適用できる。   As the thermosetting resin material shown in this embodiment, acrylic ester resin, alkyd resin, allyl resin, amino resin, melamine resin, epoxy resin, urea resin, phenol resin, unsaturated polyester resin, silicone resin, Polyurethane or the like is used. The same material as that of the above-described embodiment can be applied to the material of the underlayer and the material of the brittle material structure.

微粒子ビーム堆積法を用いてプラスチック材料上へ実際に構造物形成を試みた例について以下に説明する。
(参考例)参考例では、プラスチック基板上に微粒子ビーム堆積法にて純度99%以上のサブミクロン粒径のフェライト微粒子を吹き付けて構造物形成を試みた例である。基材としてABS、ポリイミド、エポキシ樹脂ARALDITE XD911(商標)を用いた。構造物形成装置は図3に準じるようなもので基板の加熱は行わない。噴射管である微粒子を噴射するノズルは17mm・0.4mmの開口を持ち、ここからフェライト微粒子を窒素ガスに混合させたエアロゾルを7L/minの流量で吹き付けた。また構造物形成を行うチャンバーは真空ポンプにて1kPa以下に調整した。面積17mm・5mmで形成を行い、時間は10分とした。表1に構造物の形成の有無と形成された場合の膜厚を示す。膜厚の測定は日本真空技術株式会社製触針式表面形状測定器Dektak3030を用いた。ABS、ポリイミドでは成膜されたがエポキシ樹脂では成膜されず表面にコンマ数ミクロンm程度の凹凸の削れが見られた。
An example of actually trying to form a structure on a plastic material using the fine particle beam deposition method will be described below.
(Reference Example) In the reference example, a ferrite fine particle having a purity of 99% or more is sprayed on a plastic substrate by a fine particle beam deposition method to try to form a structure. ABS, polyimide, and epoxy resin ARALDITE XD911 (trademark) were used as the base material. The structure forming apparatus conforms to FIG. 3 and does not heat the substrate. A nozzle for injecting fine particles, which is an injection tube, has an opening of 17 mm and 0.4 mm, and an aerosol in which ferrite fine particles are mixed with nitrogen gas is sprayed at a flow rate of 7 L / min. The chamber for forming the structure was adjusted to 1 kPa or less with a vacuum pump. Formation was performed with an area of 17 mm / 5 mm, and the time was 10 minutes. Table 1 shows whether or not a structure is formed and the film thickness when it is formed. The film thickness was measured using a stylus type surface shape measuring device Dektak 3030 manufactured by Nippon Vacuum Technology Co., Ltd. The film was formed with ABS and polyimide, but the film was not formed with the epoxy resin, and the surface was found to have unevenness of about several microns on the surface.

(実施例1)
次にABS基板上に粘着材を用いて下地層を形成し、この上に構造物の形成を行った例について説明する。エポキシ樹脂基板に厚さ25μmのアクリル系粘着材層を転写法によりコーティングし、その粘着材層の上に微粒子ビーム堆積法にて参考例と同様の成膜条件で30分間構造物形成を行った。この結果下地層の上に20μmの構造物の膜が形成された。参考例の場合と比較して粘着層を介することにより構造物形成がなされたことがわかる。
Example 1
Next, an example in which a base layer is formed on an ABS substrate using an adhesive and a structure is formed thereon will be described. An epoxy adhesive layer having a thickness of 25 μm was coated on an epoxy resin substrate by a transfer method, and a structure was formed on the adhesive layer by a fine particle beam deposition method for 30 minutes under the same film forming conditions as in the reference example. . As a result, a 20 μm structure film was formed on the underlayer. It can be seen that the structure was formed through the adhesive layer as compared with the reference example.

(実施例2)
次に熱硬化性樹脂としてエポキシ樹脂ARALDITE XD911(商標)を半硬化させ、この上に構造物の形成を行った例について説明する。
(Example 2)
Next, an example in which an epoxy resin ARALDITE XD911 (trademark) is semi-cured as a thermosetting resin and a structure is formed thereon will be described.

まずABS基材上に未硬化のエポキシ樹脂を流し込み表面をフラットにした上に、フェライトをエタノールに分散させたスラリーを滴下して、室温にて乾燥させて基板上に微粒子の付着層を形成させた後、樹脂の硬化温度である120℃1時間の硬化処理を行い、付着層を下地層としてABS基板上に固定した。   First, an uncured epoxy resin is poured onto an ABS base material to flatten the surface, and then a slurry in which ferrite is dispersed in ethanol is dropped, followed by drying at room temperature to form a fine particle adhesion layer on the substrate. Thereafter, a curing treatment at 120 ° C. for 1 hour which is a curing temperature of the resin was performed, and the adhesion layer was fixed on the ABS substrate as a base layer.

こののち基板に超音波洗浄を施して、固定化されなかった微粒子を除去した。次に参考例と同様の方法で微粒子ビーム堆積法にて構造物形成を行った。この結果、膜厚が1μm程度の薄膜であったが、参考例で見られたような基板の削れは見られず、構造物が形成されることがわかった。   Thereafter, the substrate was subjected to ultrasonic cleaning to remove fine particles that were not immobilized. Next, a structure was formed by a fine particle beam deposition method in the same manner as in the reference example. As a result, although it was a thin film with a film thickness of about 1 μm, it was found that the substrate was not scraped as in the reference example, and a structure was formed.

実施例1及び実施例2で成膜したフェライト構造物のX線回折を行なった結果、いずれも原料のフェライトと同じ位置に特性ピークが検出され、フェライト構造物が形成されていることが定性的に分かった。   As a result of performing X-ray diffraction of the ferrite structures formed in Example 1 and Example 2, it is qualitative that a characteristic peak is detected at the same position as the raw material ferrite and a ferrite structure is formed. I understood.

(実施例3)成膜速度の流量依存性、成膜時間依存性
厚さ0.2mmの両面粘着テープの粘着面片面に対してヘリウムをキャリアガスとして、微粒子ビーム堆積法にてフェライト粒子を原料として参考例と同様に構造物形成を行った。ヘリウムガスの流量を変えた場合30分間成膜した場合の膜厚を表2に示す。表1の樹脂基板に直接成膜した場合と比べて成膜が容易であることが分かる。また、ヘリウムガスの流量が7リットル毎分の場合における成膜厚さの変化を表3に示す。樹脂基板と異なり、成膜時間と共に膜厚が増加しているのが分かる。
Example 3 Flow Rate Dependence of Film Formation Rate, Film Dependence on Film Formation Time Helium is used as a carrier gas on one side of an adhesive surface of a double-sided adhesive tape having a thickness of 0.2 mm, and ferrite particles are used as raw materials by a fine particle beam deposition method. Structure formation was performed in the same manner as in the reference example. Table 2 shows the film thickness in the case where the film was formed for 30 minutes when the flow rate of helium gas was changed. It can be seen that the film formation is easier than the case where the film is formed directly on the resin substrate of Table 1. Table 3 shows the change in film thickness when the flow rate of helium gas is 7 liters per minute. Unlike the resin substrate, it can be seen that the film thickness increases with the film formation time.

(実施例4)一部に成膜面がある場合
図4に粘着面の一部に成膜面がある場合の例を示す。例えば両面粘着テープの片面に図4のようにフェライト粒子を用いて微粒子ビーム堆積法にて一部のみ成膜して、成膜されていない粘着面により、筐体の内側などに貼り付けて、電磁波吸収対策を行う。
(Example 4) When a film formation surface is partly shown FIG. 4 shows an example in which a film formation surface is partly part of the adhesive surface. For example, as shown in FIG. 4, a part of the double-sided adhesive tape is formed with a fine particle beam deposition method using ferrite particles, and the adhesive surface that is not formed is attached to the inside of the housing. Take measures to absorb electromagnetic waves.

すなわち、図4において30は粘着材料の表面であり、このほぼ中央にフェライトを成膜した領域31が形成されている。あるいは片面粘着テープの粘着面に図4のように一部のみ成膜して、成膜面をICパッケージ、ICチップ、フレキシブル配線基板などに貼り付け、電磁吸収対策を行う。   That is, in FIG. 4, 30 is the surface of the adhesive material, and a region 31 in which ferrite is formed is formed in the approximate center. Alternatively, only a part of the film is formed on the adhesive surface of the single-sided adhesive tape as shown in FIG. 4 and the film-formed surface is attached to an IC package, IC chip, flexible wiring board, etc., and electromagnetic absorption countermeasures are taken.

両面粘着テープ、片面粘着テープいずれも成膜は図4のように適切な大きさに切断した粘着テープ一枚ごとに成膜するか、あるいは図5のように大きな粘着面の一部に連続的に成膜した後適切な大きさに切断してもよい。あるいは図6のように連続的にrole to role式で連続的に成膜して、適切な大きさに切断してもよい。   For both double-sided and single-sided adhesive tapes, film formation is performed for each piece of adhesive tape cut to an appropriate size as shown in FIG. 4, or continuously on a part of a large adhesive surface as shown in FIG. After film formation, the film may be cut into an appropriate size. Alternatively, as shown in FIG. 6, the film may be continuously formed by a role to role method and cut into an appropriate size.

すなわち、図5において40は接着材の表面を表し、境界線42によって図示のように区画されている。その各々の区画にフェライトの微粒子を成膜した領域が形成されている。境界線42に沿ってこの場合には9個の粘着板が形成される。また、図6は上記のrole to role方式を示すもので、一対のローラ50a、50bは軸54a、54bを有し一方の軸50bは駆動軸とされ駆動制御部により駆動制御される。   That is, in FIG. 5, reference numeral 40 represents the surface of the adhesive, and is partitioned as shown by the boundary line 42. A region where fine particles of ferrite are formed is formed in each of the sections. In this case, nine adhesive plates are formed along the boundary line 42. FIG. 6 shows the above-described role to role method. The pair of rollers 50a and 50b has shafts 54a and 54b, and one shaft 50b is a drive shaft and is driven and controlled by a drive control unit.

これらローラには、粘着テープ54が巻回されており、上方のカッター52によりこのテープの長さ方向に所定間隔で形成された図5で示すような粘着テープを切断する。駆動制御器により一定間隔で駆動、停止を繰り返し、結局、図4で示すような粘着テープを形成する。また、カッター52の替わりにノズルとした場合はテープ54上に連続的に所定の幅で粘着領域を形成するか、あるいは前述したように一定間隔で成膜領域を形成する。   An adhesive tape 54 is wound around these rollers, and the adhesive tape as shown in FIG. 5 formed at predetermined intervals in the length direction of the tape is cut by an upper cutter 52. The drive controller repeatedly drives and stops at regular intervals, and eventually forms an adhesive tape as shown in FIG. When a nozzle is used instead of the cutter 52, an adhesive region is continuously formed with a predetermined width on the tape 54, or film forming regions are formed at regular intervals as described above.

(実施例5)粘着スプレーによる場合
粘着スプレーを用いて粘着剤を図7のような筐体(樹脂製)の内面全てに噴射塗布すると、筐体の隅の曲面部分にも隈なく粘着剤が塗布でき、フェライト粒子を微粒子ビーム堆積法にて成膜すると、粘着剤が塗布されてないと成膜しにくい隅の曲面部分にも隈なくフェライトが成膜できる。
(Example 5) In the case of adhesive spray When the adhesive is spray-applied to the entire inner surface of the housing (made of resin) as shown in FIG. When the ferrite particles can be formed by the fine particle beam deposition method, the ferrite can be formed even on the curved surface portion of the corner which is difficult to form unless an adhesive is applied.

図7は熱可塑性樹脂で成る筐体60を示し、その上方にスプレーガン62が設けられており、これにより粘着層を形成したのち、この底面及び内周面全体にフェライトの微粒子を成膜するものである。   FIG. 7 shows a casing 60 made of a thermoplastic resin, and a spray gun 62 is provided above the casing 60, and after forming an adhesive layer, ferrite fine particles are formed on the entire bottom surface and inner peripheral surface. Is.

これは例えばビデオカメラや携帯電話のような電子機器の外包ケースを簡略化して表すものであり、これらは外部からの電磁波を吸収する働きをするものである。特に図7の方式を用いれば曲面60aにもスプレーガン62の操作により簡単に洩れなく粘着材の膜を形成することができる。 This is a simplified representation of an outer case of an electronic device such as a video camera or a mobile phone, which functions to absorb external electromagnetic waves. In particular, if the system shown in FIG. 7 is used, an adhesive material film can be easily formed on the curved surface 60a by the operation of the spray gun 62 without leakage.

これらに対して例えばフェライトの微粒子を噴出させるノズルガンを用いて、これを適宜、X、Y、Z方向に操作することにより、これら底面及び内周面に隈なくフェライトで成る脆性材料層を形成して内部の各部品を外部電磁波から保護するものである。   For example, a brittle material layer made of ferrite is formed on the bottom surface and the inner peripheral surface of the nozzle gun by ejecting ferrite fine particles, for example, by appropriately operating the nozzle gun in the X, Y, and Z directions. The internal parts are protected from external electromagnetic waves.

(実施例6)電波吸収効果
図8にNi-Zn系フェライトを用いた電磁波吸収効果の一例を示す。測定法は以下の通りである。ネットワークアナライザーを用い、マイクロストリップラインに信号を入射し、S11特性(反射特性)とS21特性(伝送特性)を測定し、その際のサンプルの有無における、信号特性の測定結果からサンプル(例えば図4の形状)の伝送信号フィルタ(遮蔽)効果について評価する。
(Example 6) Radio wave absorption effect Fig. 8 shows an example of an electromagnetic wave absorption effect using Ni-Zn ferrite. The measuring method is as follows. Using a network analyzer, a signal is incident on the microstrip line, S11 characteristics (reflection characteristics) and S21 characteristics (transmission characteristics) are measured, and a sample (for example, FIG. 4) is obtained from the measurement results of the signal characteristics with and without the sample. The shape of the transmission signal filter (shielding) effect is evaluated.

なお、マイクロストリップラインの特性インピーダンスは約50Ωとなるように設計してある。Loss(損失)量は、入射信号エネルギー量からS11量、S21量を差し引いた量として算出する。図8においてヘリウムの流量を3L/min、5L/min、7L/minと変えてフェライトをそれぞれ30分間粘着テープに成膜したものによる電磁波吸収効果は3L/minにおいては粘着テープのみと差が無いが、5L/min、7L/minにおいては差があることが分かる。   The characteristic impedance of the microstrip line is designed to be about 50Ω. The loss amount is calculated as an amount obtained by subtracting the S11 amount and the S21 amount from the incident signal energy amount. In FIG. 8, the electromagnetic wave absorption effect obtained by changing the flow rate of helium to 3 L / min, 5 L / min, and 7 L / min and depositing the ferrite on the adhesive tape for 30 minutes is the same as that of the adhesive tape at 3 L / min. However, it can be seen that there is a difference between 5 L / min and 7 L / min.

図9にヘリウム流量7L/minにおいて成膜時間を10分、30分、60分と変えてNi-Zn系フェライトを粘着テープに成膜したものによる電磁波吸収効果を示す。いずれも粘着テープのみに比べて電磁波吸収効果があるが、成膜時間を変えて膜厚を厚くしても差が無いことが分かる。   FIG. 9 shows the electromagnetic wave absorption effect obtained by forming a Ni—Zn ferrite film on an adhesive tape by changing the film formation time to 10 minutes, 30 minutes, and 60 minutes at a helium flow rate of 7 L / min. Both have an electromagnetic wave absorption effect as compared with the adhesive tape alone, but it can be seen that there is no difference even when the film formation time is changed and the film thickness is increased.

電磁吸収効果はこのNi-Zn系フェライトに限定されるものではなく、吸収しようとする電波の周波数帯に応じた吸収特性を持つ組成の磁性粒子を用いればあらゆる周波数帯の電波吸収に対応できる。   The electromagnetic absorption effect is not limited to this Ni—Zn-based ferrite, and it is possible to cope with radio wave absorption in all frequency bands by using magnetic particles having a composition corresponding to the frequency band of the radio wave to be absorbed.

フェライトのような脆性材料でも樹脂基材の上に安定に複合させるのに用いることができる。   Even a brittle material such as ferrite can be used to stably form a composite on a resin substrate.

本発明の実施の形態による脆性材料と樹脂との複合構造物の断面図である。It is sectional drawing of the composite structure of a brittle material and resin by embodiment of this invention. 本発明の他実施の形態による脆性材料と樹脂との複合構造物の断面図である。It is sectional drawing of the composite structure of the brittle material and resin by other embodiment of this invention. 本発明による複合構造物を作製するための装置の概略配管系統図である。It is a general | schematic piping system diagram of the apparatus for producing the composite structure by this invention. 本発明による複合構造物の第1実施例の平面図である。1 is a plan view of a first embodiment of a composite structure according to the present invention. 本発明による複合構造物の第2実施例の平面図である。It is a top view of 2nd Example of the composite structure by this invention. 第1実施例の複合構造物を製造するための装置の正面図である。It is a front view of the apparatus for manufacturing the composite structure of 1st Example. (A)は本発明による複合構造物の第3実施例を作製する斜視図、(B)はその平面図である。(A) is a perspective view which produces the 3rd Example of the composite structure by this invention, (B) is the top view. 本発明の複合構造物作製にあたって、ヘリウムの流量を変えた場合の電波吸収効果を示す周波数−損失(Loss)の特性を示すグラフである。6 is a graph showing frequency-loss (Loss) characteristics indicating the radio wave absorption effect when the flow rate of helium is changed in manufacturing the composite structure of the present invention. 本発明の複合構造物作製にあたって、ヘリウム流量を一定にして成膜時間を変えた場合の電磁波吸収効果を示す周波数−損失(Loss)の特性を示すグラフである。4 is a graph showing frequency-loss characteristics indicating the electromagnetic wave absorption effect when the film formation time is changed while the flow rate of helium is kept constant in producing the composite structure of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

1・・・樹脂基板、2・・・粘着材、3・・・脆性材料層、8・・・構造物形成室、14・・・原料層、15・・・キャリアガス貯蔵層、17・・・樹脂基材、18・・・噴射管、19・・・噴射ノズル。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Resin substrate, 2 ... Adhesive material, 3 ... Brittle material layer, 8 ... Structure formation chamber, 14 ... Raw material layer, 15 ... Carrier gas storage layer, 17 ... -Resin base material, 18 ... injection pipe, 19 ... injection nozzle.

Claims (30)

樹脂基材表面に密着する粘着材料からなる下地層が形成され、この下地層の上全部または一部に多結晶の脆性材料層が形成されていることを特徴とする樹脂と脆性材料との複合構造物。   A composite of a resin and a brittle material, characterized in that a base layer made of an adhesive material adhering to the surface of the resin substrate is formed, and a polycrystalline brittle material layer is formed on all or part of the base layer. Structure. 前記粘着材料からなる下地層は前記樹脂基材上に塗布により形成されたことを特徴とする請求項1に記載の樹脂と脆性材料との複合構造物。   The composite structure of a resin and a brittle material according to claim 1, wherein the base layer made of the adhesive material is formed on the resin base material by coating. 前記塗布の方法は、グラビアコート、はけ塗り、スプレー塗布、転写法のいずれかであることを特徴とする請求項2に記載の樹脂と脆性材料との複合構造物。 The composite structure of a resin and a brittle material according to claim 2, wherein the coating method is any one of gravure coating, brush coating, spray coating, and transfer method. 前記粘着材料は、アクリル系粘着材、ゴム系粘着材、シリコーン系粘着材またはこれらの類似物のいずれかであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかにに記載の樹脂と脆性材料との複合構造物。   The resin and brittle material according to any one of claims 1 to 3, wherein the adhesive material is any one of an acrylic adhesive, a rubber adhesive, a silicone adhesive, and the like. And composite structure. 前記樹脂基材は、ABS、アセタール樹脂、メタクリル樹脂、酢酸セルロース、塩素化ポリエーテル、エチレン−酢酸ビニル共重合体、フッ素樹脂、アイオノマー、メチルペンテンポリマー、ナイロン、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレンスルフィド、ポリアクリレート、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリスルホン、酢酸ビニル樹脂、塩化ビニリデン樹脂、AS樹脂、塩化ビニル樹脂またはこれらの類似物のいずれかであることを特徴とする請求項1に記載の樹脂と脆性材料との複合構造物。 The resin base material is ABS, acetal resin, methacrylic resin, cellulose acetate, chlorinated polyether, ethylene-vinyl acetate copolymer, fluororesin, ionomer, methylpentene polymer, nylon, polycarbonate, polyethylene, polyethylene terephthalate, polybutylene. The terephthalate, polyimide, polyphenylene oxide, polyphenylene sulfide, polyacrylate, polypropylene, polystyrene, polysulfone, vinyl acetate resin, vinylidene chloride resin, AS resin, vinyl chloride resin, or the like. A composite structure of the resin according to 1 and a brittle material. 前記脆性材料は、Al23,NiO,TiO2,CuO,ZnO,ZrO2,SnO2,MgO、フェライトまたはその類似酸化物、Fe、Cuまたはその類似金属、WC,ダイヤモンド,SiC,B4Cまたはそれらのいずれかの類似炭化物,AlN,Si34またはそのいずれかの類似窒化物,Ca2F,ZrFまたはそのいずれかの類似フッ化物のいずれかであることを特徴とする請求項1に記載の樹脂と脆性材料との複合構造物。 The brittle material includes Al 2 O 3 , NiO, TiO 2 , CuO, ZnO, ZrO 2 , SnO 2 , MgO, ferrite or similar oxide, Fe, Cu or similar metal, WC, diamond, SiC, B 4. C, or any of its similar carbides, AlN, Si 3 N 4 or any of its similar nitrides, Ca 2 F, ZrF or any of its similar fluorides. A composite structure of the resin according to 1 and a brittle material. 前記下地層は前記塗布後硬化処理を行わないことを特徴とする請求項2または3に記載の樹脂と脆性材料との複合構造物。   The composite structure of a resin and a brittle material according to claim 2 or 3, wherein the underlayer is not subjected to the post-coating curing treatment. 前記下地層は硬化性の低分子量化合物塗布後、適度な粘着性を示すために硬化処理を行うことを特徴とする請求項2または3に記載の樹脂と脆性材料との複合構造物。   4. The composite structure of a resin and a brittle material according to claim 2, wherein the underlayer is subjected to a curing treatment after application of a curable low molecular weight compound in order to exhibit appropriate tackiness. 前記硬化処理は熱硬化処理、UV硬化処理、電子線硬化処理のいずれかであることを特徴とする請求項8に記載の樹脂と脆性材料との複合構造物。   The composite structure of a resin and a brittle material according to claim 8, wherein the curing process is any one of a thermosetting process, a UV curing process, and an electron beam curing process. 前記下地層の厚みは1μm以上であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の樹脂と脆性材料との複合構造物。   The composite structure of a resin and a brittle material according to any one of claims 1 to 3, wherein the underlayer has a thickness of 1 µm or more. 前記脆性材料層を構成する粒子の衝突により前記下地層を構成する粘着材料上の脆性材料を破砕又は変形せしめて新生面を生じることにより、前記脆性材料層と前記下地層とが接合されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の樹脂と脆性材料との複合構造物。 The brittle material layer and the base layer are joined by generating a new surface by crushing or deforming the brittle material on the adhesive material constituting the base layer by collision of particles constituting the brittle material layer. A composite structure of the resin according to any one of claims 1 to 3 and a brittle material. 前記脆性材料層の一部が前記下地層に食い込んでアンカー部を形成していることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の樹脂と脆性材料との複合構造物。 4. The composite structure of a resin and a brittle material according to claim 1, wherein a part of the brittle material layer bites into the base layer to form an anchor portion. 5. 第1層目の脆性材料の上に更に粘着層を塗布して、その上にさらに第2層目の脆性材料を形成する特徴とする請求項1に記載の樹脂と脆性材料との複合構造物。 The composite structure of a resin and a brittle material according to claim 1, wherein an adhesive layer is further coated on the first brittle material, and a second brittle material is further formed thereon. . 第2層目以降同様に粘着層と脆性材料層とを交互に積み重ねて、n層(n≧2)の多層構造を特徴とする請求項13に記載の樹脂と脆性材料との複合構造物。 The composite structure of the resin and the brittle material according to claim 13, wherein the adhesive layer and the brittle material layer are alternately stacked in the same manner from the second layer onward, and has a multilayer structure of n layers (n ≧ 2). 樹脂基材表面に密着する粘着材表面に、この粘着材よりも高硬度の脆性材料微粒子を食い込ませて下地層を形成し、次いでこの下地層に前記脆性材料微粒子を高速で衝突させ、この衝突の衝撃によって前記脆性材料微粒子を変形または破砕し、この変形または破砕にて生じた活性な新生面を介して微粒子同士を再結合せしめることで、前記下地層の上に多結晶の脆性材料層を形成することを特徴とする樹脂と脆性材料との複合構造物の作製方法。 A brittle material fine particle having a hardness higher than that of the pressure-sensitive adhesive material is caused to penetrate into the surface of the pressure-sensitive adhesive material that adheres to the surface of the resin base material, and then the brittle material fine particle collides with the ground layer at a high speed. The brittle material fine particles are deformed or crushed by the impact of the material, and the fine brittle material layer is formed on the underlayer by recombining the fine particles with each other through the active new surface generated by the deformation or crushing. A method for manufacturing a composite structure of a resin and a brittle material. 前記樹脂基材は、ABS、アセタール樹脂、メタクリル樹脂、酢酸セルロース、塩素化ポリエーテル、エチレン−酢酸ビニル共重合体、フッ素樹脂、アイオノマー、メチルペンテンポリマー、ナイロン、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレンスルフィド、ポリアクリレート、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリスルホン、酢酸ビニル樹脂、塩化ビニリデン樹脂、AS樹脂、塩化ビニル樹脂またはこれらの類似物のいずれかであることを特徴とする請求項15に記載の樹脂と脆性材料との複合構造物の作製方法。 The resin base material is ABS, acetal resin, methacrylic resin, cellulose acetate, chlorinated polyether, ethylene-vinyl acetate copolymer, fluororesin, ionomer, methylpentene polymer, nylon, polycarbonate, polyethylene, polyethylene terephthalate, polybutylene. The terephthalate, polyimide, polyphenylene oxide, polyphenylene sulfide, polyacrylate, polypropylene, polystyrene, polysulfone, vinyl acetate resin, vinylidene chloride resin, AS resin, vinyl chloride resin, or the like. A method for producing a composite structure of the resin according to 15 and a brittle material. 前記脆性材料は、Al23,NiO,TiO2,CuO,ZnO,ZrO2,SnO2,MgO、フェライトまたはその類似酸化物、Fe、Cuまたはその類似金属、WC,ダイヤモンド,SiC,B4Cまたはそれらのいずれかの類似炭化物,AlN,Si34またはそのいずれかの類似窒化物,Ca2F,ZrFまたはそのいずれかの類似フッ化物のいずれかであることを特徴とする請求項15に記載の樹脂と脆性材料との複合構造物の作製方法。 The brittle material includes Al 2 O 3 , NiO, TiO 2 , CuO, ZnO, ZrO 2 , SnO 2 , MgO, ferrite or similar oxide, Fe, Cu or similar metal, WC, diamond, SiC, B 4. C, or any of its similar carbides, AlN, Si 3 N 4 or any of its similar nitrides, Ca 2 F, ZrF or any of its similar fluorides. A method for producing a composite structure of the resin according to 15 and a brittle material. 前記脆性材料微粒子を前記粘着材表面へと搬送するキャリアガスは、乾燥空気、窒素、ヘリウム、アルゴン、酸素、水素、酸素分圧を制御した混合ガスのいづれかであることを特徴とする請求項15に記載の樹脂と脆性材料との複合構造物の作製方法。 16. The carrier gas for transporting the brittle material fine particles to the surface of the adhesive material is any one of dry air, nitrogen, helium, argon, oxygen, hydrogen, and a mixed gas whose oxygen partial pressure is controlled. A method for producing a composite structure of a resin and a brittle material as described in 1. 前記下地層の形成は、脆性材料の硬質微粒子の衝突による衝撃によって行い、前記基材に向けた硬質粒子の衝突速度は50m/s以下とすることを特徴とする請求項15に記載の樹脂と脆性材料との複合構造物の作製方法。 The underlayer is formed by impact caused by collision of hard fine particles of a brittle material, and the collision speed of the hard particles toward the base material is 50 m / s or less. A method for manufacturing a composite structure with a brittle material. 前記粘着材はアクリル系、ゴム系、シリコーン系の粘着性樹脂またはこれらの類似物からなるものとし、この粘着材のガラス転移温度(Tg)は常温以下であることを特徴とする請求項15または16に記載の樹脂と脆性材料との複合構造物の作製方法。 The pressure-sensitive adhesive material is made of an acrylic, rubber-based, or silicone-based pressure-sensitive resin or the like, and the glass transition temperature (Tg) of the pressure-sensitive adhesive material is normal temperature or lower. A method for producing a composite structure of the resin according to 16 and a brittle material. 前記脆性材料層の形成工程の温度を前記粘着材のガラス転移温度(Tg)以上とすることを特徴とする請求項17に記載の樹脂と脆性材料との複合構造物の作製方法。 The method for producing a composite structure of a resin and a brittle material according to claim 17, wherein the temperature of the brittle material layer forming step is set to a glass transition temperature (Tg) or more of the adhesive material. 第1層目の脆性材料の上に更に粘着層を塗布して、その上にさらに第2層目の脆性材料を形成する特徴とする請求項15に記載の樹脂と脆性材料との複合構造物の作製方法。 The composite structure of a resin and a brittle material according to claim 15, wherein an adhesive layer is further applied on the first brittle material, and a second brittle material is further formed thereon. Manufacturing method. 第2層目以降同様に粘着層と脆性材料層とを交互に積み重ねて、n層(n≧2)の多層構造を特徴とする請求項19に記載の樹脂と脆性材料との複合構造物の作製方法。 The adhesive layer and the brittle material layer are alternately stacked in the same manner from the second layer onward, and a multilayer structure of n layers (n ≧ 2) is provided. Manufacturing method. 粘着層は樹脂基材の片面又は両面に塗布することを特徴とする請求項15に記載の樹脂と脆性材料との複合構造物の作製方法。 The method for producing a composite structure of a resin and a brittle material according to claim 15, wherein the adhesive layer is applied to one side or both sides of the resin base material. 樹脂基材表面に密着する粘着材料からなる下地層が形成され、この下地層の上全部または一部に多結晶の脆性材料層が形成されている樹脂と脆性材料との複合構造物を筐体の内周面及び/または上下内壁面に取り付けていることを特徴とする電子機器。 A base structure made of an adhesive material that adheres to the surface of a resin base material is formed, and a composite structure of resin and a brittle material in which a polycrystalline brittle material layer is formed on all or part of the base layer is a housing The electronic device is attached to the inner peripheral surface and / or the upper and lower inner wall surfaces. 前記脆性材料は磁性材であることを特徴とする請求項25に記載の電子機器。   26. The electronic apparatus according to claim 25, wherein the brittle material is a magnetic material. 前記磁性材料はフェライトであることを特徴とする請求項26に記載の電子機器。 27. The electronic apparatus according to claim 26, wherein the magnetic material is ferrite. 内部の電子部品に、樹脂基材表面に密着する粘着材料からなる下地層が形成され、この下地層の上全部または一部に多結晶の脆性材料層が形成されている樹脂と脆性材料との複合構造物を取り付けていることを特徴とする電子機器。 An internal electronic component is formed with a base layer made of an adhesive material that adheres closely to the surface of the resin substrate, and a polycrystalline brittle material layer is formed on all or part of the base layer. An electronic device having a composite structure attached thereto. 前記脆性材料は磁性材であることを特徴とする請求項28に記載の電子機器。 The electronic device according to claim 28, wherein the brittle material is a magnetic material. 前記磁性材料はフェライトであることを特徴とする請求項29に記載の電子機器。 30. The electronic apparatus according to claim 29, wherein the magnetic material is ferrite.
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