JP2006173628A - リソグラフィ装置、アナライザ・プレート、サブアセンブリ、投射システムのパラメータ測定方法、及びパターン化手段 - Google Patents
リソグラフィ装置、アナライザ・プレート、サブアセンブリ、投射システムのパラメータ測定方法、及びパターン化手段 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006173628A JP2006173628A JP2005362558A JP2005362558A JP2006173628A JP 2006173628 A JP2006173628 A JP 2006173628A JP 2005362558 A JP2005362558 A JP 2005362558A JP 2005362558 A JP2005362558 A JP 2005362558A JP 2006173628 A JP2006173628 A JP 2006173628A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- radiation
- region
- polarized
- lithographic apparatus
- analyzer plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/7055—Exposure light control in all parts of the microlithographic apparatus, e.g. pulse length control or light interruption
- G03F7/70566—Polarisation control
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/70591—Testing optical components
- G03F7/706—Aberration measurement
Abstract
【解決手段】投射システムPLと放射センサDSの間のアナライザ・プレートAPが、投射放射ビームによって照らされている。アナライザ・プレートは2つの交差領域を含み、それぞれ異なる偏光方向の放射を透過する。投射放射ビームは、ビームの偏光に影響を与えることなくパターン化される。一方の領域がもう一方の領域より多く放射を受けるように、投射放射ビームをパターン化することによって、放射センサDSは偏光選択性が与えられる。
【選択図】図6
Description
1.ステップ・モードでは、マスク・テーブルMT及び基板テーブルWTは基本的に固定して保持されており、投射ビームに加えられるパターン全体は1回(即ち、単一の静的照射)で目標部分C上に投射される。基板テーブルWTはその後、X及び/又はY方向に移動され、それによって異なる目標部分Cが照射される可能性がある。ステップ・モードでは、照射領域の最大寸法が、単一の静的照射で画像化される目標部分Cの寸法を制限する。
2.走査モードでは、マスク・テーブルMT及び基板テーブルWTは同調して走査され、投射ビームに加えられるパターンが目標部分C(即ち、単一の動的照射)上に投射される。マスク・テーブルMTに対する基板テーブルWTの速度及び方向は、投射システムPLの拡大(縮小)及び画像反転特徴によって決まる。走査モードでは、照射領域の最大寸法が、単一の動的照射での目標部分の(非走査方向の)幅を制限し、走査動作の長さが目標部分の(走査方向の)高さを決める。
3.別のモードでは、マスク・テーブルMTは基本的に固定して保持されており、プログラム可能パターン化装置を保持し、基板テーブルWTは移動又は走査され、投射ビームに加えられたパターンが目標部分Cの上に投射される。このモードでは、普通はパルス状の放射源が使用され、プログラム可能パターン化装置が、基板テーブルWTの各移動の後、又は走査中の連続投射パルスの間に、必要に応じて更新される。この動作モードは、上で言及したタイプのプログラム可能ミラー・アレイなどの、プログラム可能パターン化装置を利用するマスクレス・リソグラフィに簡単に適用することができる。
LMA=(LNW/MAG)*EF
寸法換算(MAG)は従来のパラメータであり、アナライザ・プレートAP上のパターン化装置MAの画像中の特性の寸法をパターン化装置MA上の特性の寸法で割ることによって算出される。寸法換算MAGは、リソグラフィ装置の投射システムPLの特性である。技術因数EFは、図6に示されるように、アナライザ・プレートAPの上に画像化されるような投射ビームの線の寸法を制御する。図6は、アナライザ・プレートAP上に形成された図4の線LXの画像ILXを示している(パターン化装置MA及びアナライザ・プレートAPは、互いに、及び投射システムPLに対して最適化された位置にある)。
LILX>LMA*MAG*NRY
式中、NRYは、照明されたy方向の線LNYの数を示す。図13では、このような線は4本あり、その照明区域はx方向の線で影付けされている。画像ILXの長さLILX(図6)がこの条件を満たす場合、照明されたx方向の線の長さは照明されたy方向の線の合計の長さより長い。したがって、x方向の線LNXの幅はy方向の線の幅と等しい。y軸に沿って長辺を有する線の数NRYが大きい場合、この数は以下の式によって近似値を求めることができる。
NRY≒(LILX/LPT)
式中、LPTは、アナライザ・プレートAP上のy方向の線の間のピッチである。LMAに対する条件で近似式を満たし、LMAの条件が負の数字を含んでいないという事実を使用すると、LMAの条件は以下のようになる。
LMA<LPT/MAG
この条件を満たすということは、y方向に偏光された放射が、x方向に偏光された放射より大きな範囲で、アナライザ・プレートAPを通されるということである。
AM 調節手段
AP アナライザ・プレート
B 線
BD ビーム運搬システム
BM 層
C 目標部分、線
CO 蓄電器
DRS 開口部
DS 放射センサ
EF 技術因数
GAP 格子
GMAX 格子
GMAY 格子
IF 位置センサ
IL 照明システム(照明器)
ILX 画像
IN 積分器
LMA 幅
LNX 交差線、第1の領域
LNY 交差線、第2の領域
LNW 幅
LX 線、領域
LY 線、領域
M1 マスク位置合わせマーク
M2 マスク位置合わせマーク
MA パターン化装置、パターン化手段
MAG 寸法換算
MT 支持構造物
NA 開口数
NT 区域
P1 基板位置合わせマーク
P2 基板位置合わせマーク
PB 投射ビーム
PL 要素、投射システム、レンズ
PM ポジショナ、位置決め手段
PW 位置決め手段
RNX 第1の領域
RNY 第2の領域
RS 基準センサ
RX 領域
RY 領域
SB 担体
SO 放射源
SP 空間
W 基板
WT 基板テーブル
Claims (31)
- 投射システム(PL)を使用して、断面にパターン装置(MA)からのパターンで放射ビームを投射するように配置されたリソグラフィ装置において、第1の方向に偏光された放射を優先的に通すように配置された第1の領域(LNX、RNX)、及び第2の方向に偏光された放射を優先的に通すように配置された第2の領域(LNY、RNY)を有するアナライザ・プレート(AP)と、前記アナライザ・プレート(AP)の前記第1及び第2の領域を通る放射を測定するように配置された放射センサ(DS)とを備えると共に、前記放射センサによる測定中に、前記パターンによって照らされる第1の領域の区域及び第2の領域の区域を選択することが可能であるリソグラフィ装置であって、前記第2の領域(LNY、RNY)が前記第1の領域(LNX、RNX)と交差することを特徴とするリソグラフィ装置。
- パターン化装置(MA)を使用して、その断面にパターンで放射投射ビームを加えるように配置されていることを特徴とする、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記パターン化装置(MA)は、前記投射ビームを通すように配置された領域(LX、RX)を備え、前記パターン化装置を通る前記投射ビームの透過は、前記投射ビームの偏光方向とは別であることを特徴とする、請求項2に記載のリソグラフィ装置。
- 前記第1の方向及び前記第2の方向はほぼ垂直であることを特徴とする、請求項1から3までのいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記アナライザ・プレート(AP)上の前記第1の領域(LNX、RNX)及び前記第2の領域(LNY、RNY)は、ほぼ垂直な線であることを特徴とする、請求項1から4までのいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記アナライザ・プレート(AP)は、前記第1の方向に偏光された放射を優先的に通し、前記第1の領域(LNX、RNX)と組み合わせて格子を形成するように配置された追加の領域を有することを特徴とする、請求項1から5までのいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記アナライザ・プレート(AP)は、前記第2の方向に偏光された放射を優先的に通し、前記第2の領域(LNY、RNY)と組み合わせて格子を形成するように配置された別の領域を有し、前記追加の領域及び前記別の領域は互いに交差していることを特徴とする、請求項1から6までのいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記パターン化手段(MA)は、回路パターン、及び前記第1の領域の区域及び前記第2の領域の区域を選択するように配置されたパターンで前記放射ビームをパターン化するように配置されていることを特徴とする、請求項1から7までのいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記リソグラフィ装置は、前記放射センサ(DS)でのインライン測定を行うように配置されていることを特徴とする、請求項8に記載のリソグラフィ装置。
- 基準センサ(RS)は、前記放射センサ(DS)による測定をキャリブレーションするように配置されていることを特徴とする、請求項1から9までのいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記放射センサ(DS)は、前記放射センサ(DS)に入り、前記投射システム(PL)によって透過される非偏光放射を測定するように配置され、前記第1の方向に優先的に偏光された放射の測定を提供することを特徴とする、請求項1から10までのいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 第1の方向に偏光された放射を優先的に通すように配置された第1の領域(LNX、RNX)、及び第2の方向に偏光された放射を優先的に通すように配置された第2の領域(LNY、RNY)を有するアナライザ・プレート(AP)であって、前記第2の領域は前記第1の領域と交差することを特徴とするアナライザ・プレート。
- 前記第1の領域(LNX、RNX)、及び前記第2の領域(LNY、RNY)は、ほぼ垂直な線であることを特徴とする、請求項12に記載のアナライザ・プレート。
- 追加の領域が、前記第1の方向に偏光された放射を優先的に通し、前記第1の領域(LNX、RNX)と組み合わせて格子を形成するように配置されており、別の領域が前記第2の方向に偏光された放射を優先的に通し、前記第2の領域(LNY、RNY)と組み合わせて格子を形成するように配置されており、前記追加の領域及び前記別の領域は互いに交差することを特徴とする、請求項12又は13のいずれかに記載のアナライザ・プレート。
- リソグラフィ装置で使用されるように配置された、請求項12、13、又は14に記載のアナライザ・プレート。
- 第1の方向に偏光された放射を優先的に通すように配置された第1の領域(LNX、RNX)、及び第2の方向に偏光された放射を優先的に通すように配置された第2の領域(LNY、RNY)を有するアナライザ・プレート(AP)と、前記アナライザ・プレート(AP)を通過する放射を受けるように配置された放射センサ(DS)とを備えるサブアセンブリであって、前記第2の領域は前記第1の領域と交差することを特徴とするサブアセンブリ。
- 前記第1の領域(LNX、RNX)及び前記第2の領域(LNY、RNY)は、ほぼ垂直な線であることを特徴とする、請求項16に記載のサブアセンブリ。
- 追加の領域が、前記第1の方向に偏光された放射を優先的に通し、前記第1の領域(LNX、RNX)と組み合わせて格子を形成するように配置されており、別の領域が前記第2の方向に偏光された放射を優先的に通し、前記第2の領域(LNY、RNY)と組み合わせて格子を形成するように配置されており、前記追加の領域及び前記別の領域は互いに交差することを特徴とする、請求項16又は17に記載のサブアセンブリ。
- リソグラフィ装置で使用されるように配置された、請求項16、17、又は18に記載のサブアセンブリ。
- 放射センサ(DS)を使用して投射システム(PL)のパラメータを測定する方法において、前記投射システムを通って進む放射ビームの異なる偏光方向に使用される場合前記パラメータが異なる方法であって、
放射ビームを与えるステップと、
断面のパターンで前記放射ビームをパターン化するステップであって、パターン化は前記放射ビームの偏光状態に影響を与えないステップと、
前記投射システム(PL)を使用してアナライザ・プレート(AP)の上にパターン化された放射ビームを投射するステップであって、前記アナライザ・プレートは第1の方向に偏光された放射を優先的に通すように配置された第1の領域(LNX、RNX)、及び第2の方向に偏光された放射を優先的に通すように配置された第2の領域(LNY、RNY)を有し、前記第2の領域は前記第1の領域と交差し、前記パターンは前記第1の領域(LNX、RNX)の上に優先的に投射されるステップと、
前記第1の方向に偏光された放射によって優先的に決まる測定値を与えるように、前記アナライザ・プレート(AP)を通過する放射の量を測定するステップとを含む方法。 - 前記放射ビームは所与の偏光状態を有しており、前記アナライザ・プレート(AP)の上に投射された前記放射投射ビームの偏光状態を示すように、前から知られている値と測定を比較するステップを含む、請求項20に記載の方法。
- 前記放射センサ(DS)の1つ又は複数の測定に基づき、前記投射システム(PL)を調節するステップを備える、請求項20又は21に記載の方法。
- 前記放射投射ビームを与えるように配置された、照明システム(IL)を調節するステップを含む、請求項20から22までのいずれかに記載の方法。
- 調節を前記放射センサ(DS)での1つ又は複数の測定に基づいて行うステップを含む、請求項23に記載の方法。
- 前記アナライザ・プレート(AP)及び前記放射センサ(DS)を使用して、前記投射システム(PL)の異なる断面の性能を測定するように前記照明システム(IL)を調節するステップを含む、請求項23に記載の方法。
- 前記放射センサ(DS)での1つ又は複数の測定に基づき、前記放射投射ビームの前記偏光状態を変更するステップを含む、請求項20から25までのいずれかに記載の方法。
- 所与の方向に優先的に偏光された放射を測定するように、前記投射システム(PL)の光学軸周りに前記アナライザ・プレート(AP)を回転させるステップを含む、請求項20から26までのいずれかに記載の方法。
- あらゆる2つの所与の方向に偏光された同量の放射を実質的に通すように配置された第1の領域(LX、RX)、及びあらゆる2つの所与の方向に偏光された同量の放射を通すように配置された第2の領域(LY、RY)を備えるパターン化手段であって、前記第1の領域は前記第2の領域と交差することを特徴とするパターン化手段。
- あらゆる2つの所与の方向に偏光された同量の放射を実質的に通すように配置された追加の領域(LX、RX)、及びあらゆる2つの所与の方向に偏光された同量の放射を実質的に通すように配置された別の領域(LY、RY)を備えるパターン化手段であって、前記追加の領域及び前記別の領域は交差する、請求項28に記載のパターン化手段。
- 回路パターン、及びあらゆる2つの所与の方向に偏光された同量の放射を通す領域(LX、RX)を備えるパターン化手段(MA)。
- あらゆる2つの所与の方向に偏光された同量の放射を実質的に通すように配置された第2の領域(LY、RY)を備える、請求項30に記載のパターン化手段(MA)。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/014,236 US7619747B2 (en) | 2004-12-17 | 2004-12-17 | Lithographic apparatus, analyzer plate, subassembly, method of measuring a parameter of a projection system and patterning device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006173628A true JP2006173628A (ja) | 2006-06-29 |
JP4302098B2 JP4302098B2 (ja) | 2009-07-22 |
Family
ID=35788269
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005362558A Active JP4302098B2 (ja) | 2004-12-17 | 2005-12-16 | リソグラフィ装置、アナライザ・プレート、サブアセンブリ、投射システムのパラメータ測定方法、及びパターン化手段 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7619747B2 (ja) |
EP (1) | EP1672430B1 (ja) |
JP (1) | JP4302098B2 (ja) |
KR (1) | KR100801271B1 (ja) |
CN (1) | CN1790170B (ja) |
DE (1) | DE602005012916D1 (ja) |
SG (1) | SG123712A1 (ja) |
TW (1) | TWI324282B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007035671A (ja) * | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Canon Inc | 露光装置及び方法 |
JP2009281911A (ja) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 分析装置 |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9626837B2 (en) | 2001-09-26 | 2017-04-18 | Milestone Entertainment Llc | System for game play in an electronic environment |
KR100614651B1 (ko) * | 2004-10-11 | 2006-08-22 | 삼성전자주식회사 | 회로 패턴의 노광을 위한 장치 및 방법, 사용되는포토마스크 및 그 설계 방법, 그리고 조명계 및 그 구현방법 |
US7911709B2 (en) * | 2005-10-21 | 2011-03-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparatus and method for improving detected resolution and/or intensity of a sampled image |
JP2008294019A (ja) * | 2007-05-22 | 2008-12-04 | Canon Inc | 空中像計測方法および装置 |
JPWO2009001835A1 (ja) * | 2007-06-26 | 2010-08-26 | 株式会社ニコン | 光学特性の計測方法、光学特性の調整方法、露光装置、露光方法及び露光装置の製造方法 |
TW201129854A (en) * | 2009-08-07 | 2011-09-01 | Toshiba Kk | Polarization evaluation mask, exposure device, and polarization evaluation method |
CN102157629B (zh) * | 2010-12-24 | 2012-10-03 | 长治虹源科技晶体有限公司 | 图形化蓝宝石衬底的制作方法 |
CN102087484B (zh) * | 2010-12-24 | 2013-01-16 | 长治虹源科技晶体有限公司 | 图形化蓝宝石衬底的光刻方法 |
DE102011005826A1 (de) | 2011-03-21 | 2012-03-29 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optische Vorrichtung |
DE102012206153A1 (de) | 2012-04-16 | 2013-10-17 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optisches System einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage |
JP7186531B2 (ja) * | 2018-07-13 | 2022-12-09 | キヤノン株式会社 | 露光装置、および物品製造方法 |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06124872A (ja) | 1992-10-14 | 1994-05-06 | Canon Inc | 像形成方法及び該方法を用いて半導体装置を製造する方法 |
US5412473A (en) | 1993-07-16 | 1995-05-02 | Therma-Wave, Inc. | Multiple angle spectroscopic analyzer utilizing interferometric and ellipsometric devices |
KR0153796B1 (ko) | 1993-09-24 | 1998-11-16 | 사토 후미오 | 노광장치 및 노광방법 |
JP3382389B2 (ja) | 1993-10-26 | 2003-03-04 | キヤノン株式会社 | 位置ずれ検出方法及びそれを用いた位置ずれ検出装置 |
US5873103A (en) * | 1994-02-25 | 1999-02-16 | Kodak Limited | Data storage management for network interconnected processors using transferrable placeholders |
US5631731A (en) | 1994-03-09 | 1997-05-20 | Nikon Precision, Inc. | Method and apparatus for aerial image analyzer |
US5841520A (en) * | 1995-08-09 | 1998-11-24 | Nikon Corporatioin | Exposure apparatus and method that use mark patterns to determine image formation characteristics of the apparatus prior to exposure |
US20050020687A1 (en) * | 1996-01-14 | 2005-01-27 | Consiglio Nazionale Ricerche | Methods of treating inflammatory and viral disorders by administering cyclopentenone compounds |
US5689480A (en) * | 1996-08-13 | 1997-11-18 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Magneto-optic recording system employing near field optics |
AU2549899A (en) * | 1998-03-02 | 1999-09-20 | Nikon Corporation | Method and apparatus for exposure, method of manufacture of exposure tool, device, and method of manufacture of device |
US6525818B1 (en) | 2000-02-08 | 2003-02-25 | Infineon Technologies Ag | Overlay alignment system using polarization schemes |
TW500987B (en) * | 2000-06-14 | 2002-09-01 | Asm Lithography Bv | Method of operating an optical imaging system, lithographic projection apparatus, device manufacturing method, and device manufactured thereby |
US6605395B2 (en) | 2001-06-20 | 2003-08-12 | Motorola, Inc. | Method and apparatus for forming a pattern on an integrated circuit using differing exposure characteristics |
JP2003121385A (ja) | 2001-10-18 | 2003-04-23 | Tosoh Corp | 石英ガラス材内部の欠陥検査方法および検査装置 |
US7256937B2 (en) | 2002-06-06 | 2007-08-14 | Codixx Ag | Structured polarizer and method for making the same |
JP3651676B2 (ja) * | 2002-07-11 | 2005-05-25 | 株式会社東芝 | 検査方法及びフォトマスク |
TW548718B (en) | 2002-07-18 | 2003-08-21 | Macronix Int Co Ltd | Hole forming by cross-shape image exposure |
JP2004061515A (ja) | 2002-07-29 | 2004-02-26 | Cark Zeiss Smt Ag | 光学系による偏光状態への影響を決定する方法及び装置と、分析装置 |
JP2004111500A (ja) * | 2002-09-17 | 2004-04-08 | Canon Inc | マスク、露光装置及び方法 |
EP1467253A1 (en) * | 2003-04-07 | 2004-10-13 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
JP4205472B2 (ja) | 2003-04-11 | 2009-01-07 | 計測技研株式会社 | 構造物の変位測定方法 |
JP2004348050A (ja) | 2003-05-26 | 2004-12-09 | Toshiba Corp | フォトマスク、検査方法及び半導体装置の製造方法 |
AU2003304304A1 (en) * | 2003-07-05 | 2005-01-21 | Carl Zeiss Smt Ag | Device for the polarization-specific examination of an optical system |
JP3718511B2 (ja) | 2003-10-07 | 2005-11-24 | 株式会社東芝 | 露光装置検査用マスク、露光装置検査方法及び露光装置 |
US7150945B2 (en) | 2003-11-18 | 2006-12-19 | Micron Technology, Inc. | Polarized reticle, photolithography system, and method of forming a pattern using a polarized reticle in conjunction with polarized light |
JP2005175034A (ja) * | 2003-12-09 | 2005-06-30 | Canon Inc | 露光装置 |
SG112969A1 (en) * | 2003-12-22 | 2005-07-28 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and methods for use thereof |
-
2004
- 2004-12-17 US US11/014,236 patent/US7619747B2/en active Active
-
2005
- 2005-12-05 TW TW094142805A patent/TWI324282B/zh active
- 2005-12-05 EP EP05111692A patent/EP1672430B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-12-05 DE DE602005012916T patent/DE602005012916D1/de not_active Expired - Fee Related
- 2005-12-13 SG SG200508042A patent/SG123712A1/en unknown
- 2005-12-16 CN CN2005101317772A patent/CN1790170B/zh active Active
- 2005-12-16 JP JP2005362558A patent/JP4302098B2/ja active Active
- 2005-12-16 KR KR1020050124479A patent/KR100801271B1/ko active IP Right Grant
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007035671A (ja) * | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Canon Inc | 露光装置及び方法 |
JP4701030B2 (ja) * | 2005-07-22 | 2011-06-15 | キヤノン株式会社 | 露光装置、露光パラメータを設定する設定方法、露光方法、デバイス製造方法及びプログラム |
JP2009281911A (ja) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 分析装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1672430A3 (en) | 2007-02-14 |
EP1672430A2 (en) | 2006-06-21 |
TW200625025A (en) | 2006-07-16 |
KR20060069329A (ko) | 2006-06-21 |
KR100801271B1 (ko) | 2008-02-04 |
EP1672430B1 (en) | 2009-02-25 |
TWI324282B (en) | 2010-05-01 |
US7619747B2 (en) | 2009-11-17 |
JP4302098B2 (ja) | 2009-07-22 |
CN1790170B (zh) | 2010-05-05 |
CN1790170A (zh) | 2006-06-21 |
US20060132775A1 (en) | 2006-06-22 |
DE602005012916D1 (de) | 2009-04-09 |
SG123712A1 (en) | 2006-07-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4302098B2 (ja) | リソグラフィ装置、アナライザ・プレート、サブアセンブリ、投射システムのパラメータ測定方法、及びパターン化手段 | |
JP5600145B2 (ja) | リソグラフィ装置のためのレベルセンサの構成及びデバイス製造方法 | |
JP4541374B2 (ja) | 基板計測のための縮小されたスクライブレーンの使用を有するリソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | |
KR100571369B1 (ko) | 디바이스제조방법 및 컴퓨터프로그램 | |
JP4820354B2 (ja) | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | |
JP4787232B2 (ja) | 測定方法、検査装置、およびリソグラフィ装置 | |
KR100795504B1 (ko) | 포토리소그래피 패터닝 디바이스를 생성하는 방법, 컴퓨터 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독가능한 기록매체, 패터닝 디바이스 | |
JP4509131B2 (ja) | リソグラフィ装置用アライメントツール | |
CN102576188B (zh) | 用于确定衬底上的对象的近似结构的方法、检验设备以及衬底 | |
JP4965376B2 (ja) | 基板、検査装置、検査方法、リソグラフィ装置、およびリソグラフィセル | |
TW200821770A (en) | Method and apparatus for angular-resolved spectroscopic lithography characterization | |
JP3981664B2 (ja) | 検査方法およびデバイス製造方法 | |
KR20180096716A (ko) | 리소그래피 장치의 포커스 성능을 측정하는 장치들 및 패터닝 디바이스들 및 방법들, 디바이스 제조 방법 | |
JP2005354066A (ja) | 整列マーカ、リソグラフィ装置およびそれを使うデバイス製造方法 | |
JP2006114901A (ja) | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | |
KR102125876B1 (ko) | 리소그래피 장치 및 방법 | |
KR20100134113A (ko) | 정렬 타겟들을 위한 회절 요소들 | |
US10747120B2 (en) | Lithographic method and apparatus | |
CN1680877A (zh) | 光刻装置及其应用方法 | |
JP2006191046A (ja) | 傾斜された焦点合わせを行う方法及び露光装置、並びにそれにしたがって製造されたデバイス | |
NL2019674A (en) | Lithographic Apparatus and Method | |
CN111051994B (zh) | 用于测量光刻装置的焦点性能的方法和图案化设备与装置、器件制造方法 | |
KR20240018488A (ko) | 계측 시스템, 시간적 및 공간적 가간섭성 스크램블러 및 그 방법 | |
US20060141375A1 (en) | Exposure apparatus, a tilting device method for performing a tilted focus test, and a device manufactured accordingly | |
JP2006210895A (ja) | 傾斜焦点試験を行う方法及び露光装置、並びにそれに応じて製造されたデバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20060904 |
|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20070313 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070515 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081020 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090120 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090402 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090421 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120501 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4302098 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S802 | Written request for registration of partial abandonment of right |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R311802 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120501 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120501 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130501 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140501 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |