JP2006171025A - Illumination apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To perform darkfield illumination with a simple configuration arranged with a surface light source near a sample. <P>SOLUTION: The illumination apparatus includes the surface light source 12 which emits white light with uniform luminance nearly symmetrically around an optical axis OA from each point of a light emitting surface 12a; a light shielding plate 10 which is formed of a member opaque to the light emitted by the surface light source 12 and shields the light with which the sample 8 is directly irradiated from the surface light source 12; and a cylindrical mirror 11 which reflects a part of the light emitted from the surface light source 12 by a reflecting surface 11a formed on an inner side face and illuminates the sample 8. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、面光源を備えた照明装置に関し、特に顕微鏡に適用して好適な照明装置に関するものである。   The present invention relates to an illuminating device provided with a surface light source, and more particularly to an illuminating device suitable for application to a microscope.

従来、光学顕微鏡用の照明装置では、ハロゲンランプ等の白色光源の各点から射出した光をコレクタレンズによって集光し、視野絞り、開口絞りおよび拡散板等を介した後、コンデンサレンズによって平行光に変換して試料を照明するケーラー照明が利用されている。ケーラー照明によると、光源の発光強度分布によらず、試料を均一に照明することができる。   Conventionally, in an illumination device for an optical microscope, light emitted from each point of a white light source such as a halogen lamp is collected by a collector lens, and after passing through a field stop, an aperture stop, a diffusion plate, etc., is then collimated by a condenser lens. Koehler illumination is used to illuminate the sample by converting it into a light source. According to Koehler illumination, it is possible to illuminate the sample uniformly regardless of the emission intensity distribution of the light source.

このようなケーラー照明を利用した照明装置は、種々の光学部品、機械部品等を用いるため構成が複雑であり、組み立てや調整に手間がかかるとともに製造コストが高いという問題がある。この問題を解決するため、平面状の発光面を有した蛍光灯を面光源として用い、簡易な構成で試料をムラなく照明する照明装置が提案されている(たとえば、特許文献1参照)。この照明装置では、広角に光を射出し発光強度分布が一様な発光面を試料の近傍に配置することによって、構成部品を削減するとともに試料に対して均一に明視野照明を行うようにしている。   Such an illuminating device using Koehler illumination has a problem in that the configuration is complicated because various optical parts, mechanical parts, and the like are used, and it takes time and labor to assemble and adjust, and the manufacturing cost is high. In order to solve this problem, there has been proposed an illuminating device that illuminates a sample uniformly with a simple configuration using a fluorescent lamp having a flat light emitting surface as a surface light source (see, for example, Patent Document 1). In this illuminating device, by arranging a light emitting surface that emits light at a wide angle and has a uniform light intensity distribution in the vicinity of the sample, the number of components is reduced and the bright field illumination is uniformly performed on the sample. Yes.

特許第3194909号公報Japanese Patent No. 3194909

しかしながら、このような面光源を用いた照明装置では、広角に光を射出する面光源を試料の近傍に配置し、試料に対して暗視野照明を行うことができなかった。また、透明な試料に対して陰影をつけることが困難であり、たとえば、実体顕微鏡によって透明な試料を観察した場合、試料を認識することができなくなる場合が生じるという問題があった。   However, in such an illumination device using a surface light source, a surface light source that emits light at a wide angle is disposed in the vicinity of the sample, and dark field illumination cannot be performed on the sample. In addition, it is difficult to shade a transparent sample. For example, when a transparent sample is observed with a stereomicroscope, the sample may not be recognized.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、面光源を試料の近傍に配置した簡易な構成で試料に対して暗視野照明を行うことができるとともに、透明な試料に対して様々に陰影をつけることが可能であり、実体顕微鏡によって常に試料を観察することができる照明装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above, and can perform dark field illumination on a sample with a simple configuration in which a surface light source is arranged in the vicinity of the sample, and variously for a transparent sample. An object of the present invention is to provide an illumination device that can be shaded and can always observe a sample with a stereomicroscope.

上記の目的を達成するために、本発明の請求項1にかかる照明装置は、発光した光を射出する所定の大きさの光射出面を有し、該光射出面に垂直な光軸に対して略回転対称な所定範囲の射出角で照明光を射出する面光源と、前記光射出面に対向して配置される試料と前記光射出面との間に配置され、前記光射出面から前記試料に直接照射される照射光を遮光する遮光手段と、前記試料と前記光射出面との間の前記光軸の周囲に配置され、前記照明光を反射して前記試料を照明する反射照明手段と、を備えたことを特徴とする。   In order to achieve the above object, an illumination device according to claim 1 of the present invention has a light emission surface of a predetermined size for emitting emitted light, and is perpendicular to the optical axis. A surface light source that emits illumination light at an emission angle within a predetermined range that is substantially rotationally symmetric, a sample disposed opposite to the light emission surface, and the light emission surface, and from the light emission surface to A light shielding means for shielding irradiation light directly irradiated on the sample, and a reflective illumination means that is disposed around the optical axis between the sample and the light exit surface and reflects the illumination light to illuminate the sample. And.

また、本発明の請求項2にかかる照明装置は、発光した光を射出する所定の大きさの光射出面を有し、該光射出面に垂直な光軸に対して略回転対称な所定範囲の射出角で照明光を射出する面光源と、前記光射出面に対向して配置される試料と前記光射出面との間に配置され、少なくとも前記光軸を含む1つの平面内で前記光射出面から射出された光の透過角度を制限する光指向手段と、前記試料と前記光指向手段との間の前記光軸の周囲に配置され、前記光指向部材を透過した前記照明光を反射して前記試料を照明する反射照明手段と、を備えたことを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, there is provided an illumination device having a light emission surface of a predetermined size for emitting emitted light, and a predetermined range substantially rotationally symmetric with respect to an optical axis perpendicular to the light emission surface. The surface light source that emits illumination light at an emission angle of: a sample that is disposed opposite to the light emission surface and the light emission surface, and the light within one plane including at least the optical axis Light directing means for limiting the transmission angle of light emitted from the light exit surface, and the illumination light that is disposed around the optical axis between the sample and the light directing means and that has passed through the light directing member is reflected. And reflective illumination means for illuminating the sample.

また、本発明の請求項3にかかる照明装置は、上記の発明において、前記試料と前記光射出面との間に配置され、前記光射出面から前記試料に直接照射される照射光を遮光する遮光手段を備えたことを特徴とする。   According to a third aspect of the present invention, in the above invention, the illumination device is disposed between the sample and the light emission surface, and shields irradiation light directly irradiated on the sample from the light emission surface. A light shielding means is provided.

また、本発明の請求項4にかかる照明装置は、上記の発明において、前記光軸の周りに前記光指向手段を回転させる回転駆動手段を備えたことを特徴とする。   The illumination device according to claim 4 of the present invention is characterized in that, in the above-mentioned invention, a rotation driving means for rotating the light directing means around the optical axis is provided.

また、本発明の請求項5にかかる照明装置は、上記の発明において、前記光指向手段は、前記光軸に沿って複数層配置され、前記回転駆動手段は、前記光軸の周りに前記複数層配置された光指向手段のうち少なくとも1層の前記光指向手段を回転させることを特徴とする。   In the illumination device according to claim 5 of the present invention, in the above invention, the light directing means is arranged in a plurality of layers along the optical axis, and the rotation driving means is arranged around the optical axis. The light directing means of at least one layer among the light directing means arranged in layers is rotated.

また、本発明の請求項6にかかる照明装置は、上記の発明において、互いに特性の異なる複数の前記光指向手段を保持し、各光指向手段を選択的に切り換える選択切換手段を備えたことを特徴とする。   According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a lighting device according to the above invention, further comprising a selection switching unit that holds the plurality of light directing units having different characteristics from each other and selectively switches each light directing unit. Features.

また、本発明の請求項7にかかる照明装置は、上記の発明において、前記光指向手段は、前記光軸に沿って複数層配置され、前記選択切換手段は、前記複数層配置された光指向手段のうち少なくとも1層の光指向手段に対して、互いに特性の異なる複数の前記光指向手段を保持し、各光指向手段を選択的に切り換えることを特徴とする。   In the illumination device according to claim 7 of the present invention, in the above invention, the light directing means is arranged in a plurality of layers along the optical axis, and the selection switching means is a light directing arranged in the plurality of layers. A plurality of light directing means having different characteristics are held for at least one layer of light directing means, and each light directing means is selectively switched.

また、本発明の請求項8にかかる照明装置は、上記の発明において、前記光指向手段は、底面の円を同心円状に配列した複数の相似な中空切頭円錐状の不透明部材と、該複数の不透明部材を保持する透明保持部材とによって形成されることを特徴とする。   In the illumination device according to claim 8 of the present invention, in the above invention, the light directing means includes a plurality of similar hollow frustoconical opaque members in which circles on the bottom surface are arranged concentrically, And a transparent holding member for holding the opaque member.

また、本発明の請求項9にかかる照明装置は、上記の発明において、前記光指向手段は、底面の多角形の各重心を重ねて配列した複数の相似な中空切頭角錐状の不透明部材と、該複数の不透明部材を保持する透明保持部材とによって形成されることを特徴とする。   The lighting device according to claim 9 of the present invention is the lighting device according to the above invention, wherein the light directing means includes a plurality of similar hollow truncated pyramid-shaped opaque members arranged by overlapping each center of gravity of a polygon on the bottom surface. And a transparent holding member that holds the plurality of opaque members.

また、本発明の請求項10にかかる照明装置は、上記の発明において、前記光指向手段は、羽板状に配列した複数の帯状の不透明部材と、該複数の不透明部材を保持する透明部材とによって形成されることを特徴とする。   In the illumination device according to claim 10 of the present invention, in the above invention, the light directing means includes a plurality of strip-like opaque members arranged in a wing plate shape, and a transparent member holding the plurality of opaque members. It is characterized by being formed by.

また、本発明の請求項11にかかる照明装置は、上記の発明において、前記光指向手段は、ルーバーフィルムであることを特徴とする。   The illumination device according to claim 11 of the present invention is characterized in that, in the above invention, the light directing means is a louver film.

また、本発明の請求項12にかかる照明装置は、上記の発明において、前記遮光手段は、前記光軸に垂直な平面内で該光軸に対して回転対称に形成されることを特徴とする。   The illuminating device according to claim 12 of the present invention is characterized in that, in the above invention, the light shielding means is formed rotationally symmetric with respect to the optical axis in a plane perpendicular to the optical axis. .

また、本発明の請求項13にかかる照明装置は、上記の発明において、前記遮光手段は、前記光軸に垂直な平面内で少なくとも直交する2方向に関して前記照射光を遮光する遮光量が異なることを特徴とする。   In the illumination device according to claim 13 of the present invention, in the above invention, the light shielding means has different light shielding amounts for shielding the irradiation light in at least two directions orthogonal to each other in a plane perpendicular to the optical axis. It is characterized by.

また、本発明の請求項14にかかる照明装置は、上記の発明において、前記遮光手段は、前記光軸に垂直な平面内で該光軸を中心とした楕円形状に形成されることを特徴とする。   In the illuminating device according to claim 14 of the present invention, in the above invention, the light shielding means is formed in an elliptical shape centered on the optical axis in a plane perpendicular to the optical axis. To do.

また、本発明の請求項15にかかる照明装置は、上記の発明において、前記反射照明手段は、前記光軸に沿った円筒面の内側面を反射面として形成し、該反射面によって前記照明光を反射して前記試料を照明することを特徴とする。   Further, in the illumination device according to claim 15 of the present invention, in the above invention, the reflection illumination unit forms an inner surface of a cylindrical surface along the optical axis as a reflection surface, and the illumination light is formed by the reflection surface. The sample is reflected to illuminate the sample.

また、本発明の請求項16にかかる照明装置は、上記の発明において、実体顕微鏡に搭載されることを特徴とする。   According to a sixteenth aspect of the present invention, in the above invention, the illumination device is mounted on a stereomicroscope.

本発明にかかる照明装置によれば、面光源を試料の近傍に配置した簡易な構成で試料に対して暗視野照明を行うことができるとともに、透明な試料に対して様々に陰影をつけることが可能であり、実体顕微鏡によって常に試料を観察することができる。   According to the illumination device of the present invention, dark field illumination can be performed on a sample with a simple configuration in which a surface light source is arranged in the vicinity of the sample, and various shades can be applied to a transparent sample. It is possible and the sample can always be observed with a stereomicroscope.

以下、添付図面を参照して、本発明にかかる照明装置の好適な実施の形態を詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、図面の記載において、同一部分には同一の符号を付している。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of a lighting device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Note that the present invention is not limited to the embodiments. In the description of the drawings, the same parts are denoted by the same reference numerals.

(実施の形態1)
まず、本発明の実施の形態1にかかる照明装置について説明する。図1は、この実施の形態1にかかる照明装置と、この照明装置を搭載した実体顕微鏡との概略構成を示す模式図である。図1に示す実体顕微鏡は、顕微鏡用架台としての透過照明架台1を備える。透過照明架台1は、水平に配置されたベース部1aと、ベース部1aに直立して設けられた支柱部1bとからなる。照準装置2は、支柱部1bに挿着され、可動部2bの側面部に設けられた照準ハンドル12の操作に対応して、内蔵した図示しない照準機構によって固定部2aに沿って可動部2bを上下動させる。可動部2bに固定されたズーム鏡体3、ズーム鏡体3の下部に設けられた対物レンズ4およびズーム鏡体3の上部に設けられた双眼鏡筒5は、それぞれ内部にレンズ系を備え、試料8からの光を集光して像を結像する。ズーム鏡体3は、側面部に設けられたズームハンドル13の操作に対応して内部のレンズ系を駆動し、試料8の像の結像倍率を変化させる。双眼鏡筒5は、接眼レンズ6を備え、検鏡者は、この接眼レンズ6を介して試料8を観察することができる。
(Embodiment 1)
First, the illuminating device concerning Embodiment 1 of this invention is demonstrated. FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a schematic configuration of the illumination device according to the first embodiment and a stereomicroscope equipped with the illumination device. The stereomicroscope shown in FIG. 1 includes a transmission illumination base 1 as a microscope base. The transmitted illumination base 1 includes a base portion 1a arranged horizontally and a column portion 1b provided upright on the base portion 1a. The sighting device 2 is inserted into the support column 1b, and in response to the operation of the sighting handle 12 provided on the side surface of the movable portion 2b, the movable portion 2b is moved along the fixed portion 2a by a built-in sighting mechanism (not shown). Move up and down. The zoom lens body 3 fixed to the movable part 2b, the objective lens 4 provided at the lower part of the zoom lens body 3, and the binocular tube 5 provided at the upper part of the zoom lens body 3 each have a lens system therein, and a sample. The light from 8 is condensed to form an image. The zoom lens body 3 drives the internal lens system in response to the operation of the zoom handle 13 provided on the side surface portion, and changes the imaging magnification of the image of the sample 8. The binocular tube 5 includes an eyepiece lens 6, and the spectroscope can observe the sample 8 through the eyepiece lens 6.

ベース部1aは、対物レンズ4に対向した上面部に開口部1aaを有し、この開口部1aaには、試料8を載置する透明な試料載置板としてのガラスプレート7が嵌め込まれている。ガラスプレート7の下方にあってベース部1aの内部には、この実施の形態1にかかる照明装置を構成する面光源12、遮光板10および円筒ミラー11が配置されている。円板状の面光源12は、透過照明架台1の底部内側面に配置され、円板状の遮光板10は、ベース部1aの内部に形成された支持部1acによって支持された透明な樹脂プレート9の上面部に配置され、円筒状の円筒ミラー11は、ベース部1aの内部の円筒状の穴部1abに嵌め込まれている。面光源12は、上面の光射出面12aの中心に立てた法線を光軸OAとし、この光軸OAが対物レンズ4の中心軸である光軸と一致するように配置されている。また、遮光板10は、上下面の中心を結ぶ中心線が光軸OAと一致するように配置され、円筒ミラー11は、円筒面に平行な中心軸が光軸OAと一致するように配置されている。このようにして面光源12、遮光板10および円筒ミラー11は、図2に示すように、ガラスプレート7の上方から見て光軸OAを中心とした同心円をなすように配置されている。ここで、図2は、面光源12、遮光板10、円筒ミラー11および樹脂プレート9を示す平面図である。   The base portion 1a has an opening 1aa on the upper surface facing the objective lens 4, and a glass plate 7 as a transparent sample mounting plate on which the sample 8 is placed is fitted in the opening 1aa. . A surface light source 12, a light shielding plate 10, and a cylindrical mirror 11 constituting the illumination apparatus according to the first embodiment are arranged below the glass plate 7 and inside the base portion 1a. The disc-shaped surface light source 12 is disposed on the inner surface of the bottom of the transmissive illumination stand 1, and the disc-shaped light shielding plate 10 is a transparent resin plate supported by a support portion 1ac formed inside the base portion 1a. The cylindrical mirror 11 disposed on the upper surface portion 9 is fitted in a cylindrical hole 1ab inside the base portion 1a. The surface light source 12 is disposed so that the normal line standing at the center of the light emitting surface 12 a on the upper surface is the optical axis OA, and this optical axis OA coincides with the optical axis that is the central axis of the objective lens 4. The light shielding plate 10 is arranged so that the center line connecting the centers of the upper and lower surfaces coincides with the optical axis OA, and the cylindrical mirror 11 is arranged so that the central axis parallel to the cylindrical surface coincides with the optical axis OA. ing. In this way, the surface light source 12, the light shielding plate 10, and the cylindrical mirror 11 are arranged so as to form concentric circles centered on the optical axis OA when viewed from above the glass plate 7, as shown in FIG. Here, FIG. 2 is a plan view showing the surface light source 12, the light shielding plate 10, the cylindrical mirror 11, and the resin plate 9.

なお、参照する図面上には、この発明にかかる照明装置等に対して便宜的に設定したXY座標軸を示している。たとえば、図1に示すように、この実施の形態1にかかる照明装置および実体顕微鏡では、検鏡者の左右方向に対応する紙面に垂直な方向をX軸とし、検鏡者の前後方向に対応する紙面内の左右方向をY軸としている。   In the drawings to be referred to, XY coordinate axes set for convenience with respect to the illumination device according to the present invention are shown. For example, as shown in FIG. 1, in the illumination device and the stereomicroscope according to the first embodiment, the direction perpendicular to the paper surface corresponding to the left-right direction of the spectrograph is taken as the X axis, and the front-back direction of the spectrographer is supported. The left-right direction in the drawing is the Y axis.

面光源12は、蛍光灯、LED等を用いて実現され、商用電源に接続される電源部12bから電力供給を受け、光射出面12aの各点から光軸OAを中心にほぼ対称に一様な輝度で白色光を射出する。なお、面光源12は、少なくとも光軸OAに対してほぼ回転対称であるとともに偏斜した所定範囲の射出角で白色光を射出すればよい。このような面光源12として、たとえば、光射出面12aの各点において、この光射出面12a上の点を共通の頂点とし、中心軸を光軸OAとほぼ平行にして配置した頂角の異なる2つの円錐によって挟まれる空間に光を射出し、光軸OAとほぼ同じ方向には光を射出しないような面光源としてもよい。また、たとえば、面光源12は、光軸OAに対して1方向に偏斜した光を射出し、この面光源12を光軸OA周りに回転させるようにしてもよい。なお、面光源12の形状は、円板状に限らず、中空円板状、矩形平板状等であってもよい。また、面光源12が射出する光は、白色光に限らず、赤、緑、青等の有色の光を射出するようにしてもよい。   The surface light source 12 is realized using a fluorescent lamp, an LED, and the like, receives power supply from a power supply unit 12b connected to a commercial power supply, and is substantially symmetrically uniform from each point of the light emission surface 12a around the optical axis OA. White light is emitted with high brightness. The surface light source 12 may emit white light at a predetermined range of emission angles that are substantially rotationally symmetric with respect to at least the optical axis OA and are skewed. As such a surface light source 12, for example, at each point on the light exit surface 12a, the points on the light exit surface 12a are common apexes, and the apex angles are different so that the central axis is substantially parallel to the optical axis OA. A surface light source that emits light into a space between two cones and does not emit light in substantially the same direction as the optical axis OA may be used. Further, for example, the surface light source 12 may emit light that is inclined in one direction with respect to the optical axis OA, and rotate the surface light source 12 around the optical axis OA. The shape of the surface light source 12 is not limited to a disc shape, and may be a hollow disc shape, a rectangular flat plate shape, or the like. Further, the light emitted from the surface light source 12 is not limited to white light, and colored light such as red, green, and blue may be emitted.

遮光板10は、面光源12が射出する光に対して不透明な部材で形成されたプレートであって、面光源12から射出され光の一部を遮光する。遮光板10は、特に面光源12から試料8に直接照射される光を遮光するとともに、面光源12からガラスプレート7を透過して対物レンズ4に直接入射する光を遮光する。なお、遮光板10は、プレートに限らず、シートあるいはフィルム等であってもよい。また、遮光板10は、光学的に完全に不透明でなくてもよく、たとえば、濃度フィルタのように所定の透過率で面光源12からの光を透過するようにしてもよく、さらに、透過面内で透過率分布を有するようにしてもよい。なお、遮光板10の遮光面である上下面の形状は、円形に限らず、楕円形、矩形等、用途に応じて任意形状でよい。   The light shielding plate 10 is a plate formed of a member that is opaque to the light emitted from the surface light source 12 and shields a part of the light emitted from the surface light source 12. In particular, the light shielding plate 10 shields light directly radiated from the surface light source 12 onto the sample 8, and shields light directly incident on the objective lens 4 from the surface light source 12 through the glass plate 7. The light shielding plate 10 is not limited to a plate but may be a sheet or a film. Further, the light shielding plate 10 may not be optically completely opaque. For example, the light shielding plate 10 may transmit light from the surface light source 12 with a predetermined transmittance like a density filter. May have a transmittance distribution. In addition, the shape of the upper and lower surfaces which are the light-shielding surface of the light-shielding plate 10 is not restricted circularly, and may be arbitrary shapes, such as an ellipse and a rectangle.

円筒ミラー11は、内側面に形成した反射面11aによって面光源12から射出した光の一部を反射し、試料8を照明する。なお、反射面11aは、円筒面に限らず、たとえば、微小な頂角をなす切頭円錐面として、光軸OAに対して微小に傾斜するようにしてもよい。また、反射面11aは、一様な曲面に限らず、たとえば、全面に微小な凹凸加工等を施した面として、反射した光を発散、収束、拡散等させるようにしてもよい。なお、円筒ミラー11の外形は、円筒形に限らず、角筒形等、任意形状でよい。   The cylindrical mirror 11 illuminates the sample 8 by reflecting a part of the light emitted from the surface light source 12 by the reflecting surface 11a formed on the inner surface. The reflecting surface 11a is not limited to the cylindrical surface, and may be slightly inclined with respect to the optical axis OA as a truncated conical surface having a minute apex angle, for example. Further, the reflecting surface 11a is not limited to a uniform curved surface, and, for example, may be configured to diverge, converge, diffuse, etc. the reflected light as a surface that has been subjected to minute unevenness processing or the like on the entire surface. The outer shape of the cylindrical mirror 11 is not limited to a cylindrical shape, and may be an arbitrary shape such as a rectangular tube shape.

図3は、試料8に対する照明状態を示すY方向の断面図である。図3に示すように、たとえば、光射出面12a上の点P1から射出した光のうち、光軸OAを基準とした射出角が大きい射出光IL1−1,IL1−2は、反射面11aによって反射され、試料8を照明し、同様に、射出光IL1−1,IL1−2に挟まれた範囲の射出光も試料8を照明する。一方、点P1から射出した光のうち、射出角が小さく試料8を直接照射するように射出した射出光IL2は、遮光板10によって遮光される。このように、光射出面12a上の各点から射出した光のうち、所定範囲の大きな射出角で射出した光は、反射面11aによって反射され、照明光として試料8を照明し、小さな射出角で試料8を直接照射するように射出した光は、遮光板10によって遮光される。図3では、この状態をY方向の断面内で例示しているが、実際には光軸OAを中心軸として回転対称に生じている。   FIG. 3 is a cross-sectional view in the Y direction showing the illumination state of the sample 8. As shown in FIG. 3, for example, among the lights emitted from the point P1 on the light emission surface 12a, the emitted lights IL1-1 and IL1-2 having a large emission angle with respect to the optical axis OA are reflected by the reflection surface 11a. The reflected light illuminates the sample 8, and similarly, the emitted light in a range between the emitted light IL 1-1 and IL 1-2 illuminates the sample 8. On the other hand, out of the light emitted from the point P 1, the emitted light IL 2 emitted so as to directly irradiate the sample 8 with a small emission angle is shielded by the light shielding plate 10. Thus, light emitted from each point on the light emission surface 12a is emitted at a large emission angle within a predetermined range, is reflected by the reflection surface 11a, illuminates the sample 8 as illumination light, and has a small emission angle. The light emitted so as to directly irradiate the sample 8 is shielded by the light shielding plate 10. In FIG. 3, this state is illustrated in the cross section in the Y direction, but actually, it occurs rotationally symmetrically with the optical axis OA as the central axis.

ここで、射出光IL1−1,IL1−2として例示したように、この実施の形態1にかかる照明装置では、試料8を照明する照明光は、試料8からの光を受光する対物レンズ4の開口数に対応する角度よりも大きな入射角で試料8を照明するようにしている。これによって、この照明装置では、試料8に対し、対物レンズ4に直接入射しない偏斜光で照明する暗視野照明を行うことができるとともに、透明な試料8に陰影をつけることができる。この場合、対物レンズ4は、試料8を観察する光として、試料8で生じた散乱光および回折光だけを受光することになる。ただし、この照明装置では、図3に射出光IL3として示したように、面光源12から射出して対物レンズ4に直接入射する光が生じるため、図1に示した実体顕微鏡では、ある程度明るい背景の中で試料8の像を観察することになる。これを回避するため、光射出面12aの大きさは、試料8の照明に影響がない範囲で小さくすることが好ましく、遮光板10の遮光面よりも小さくすることが望ましい。   Here, as exemplified as the emitted lights IL1-1 and IL1-2, in the illumination device according to the first embodiment, the illumination light that illuminates the sample 8 is emitted from the objective lens 4 that receives the light from the sample 8. The sample 8 is illuminated at an incident angle larger than the angle corresponding to the numerical aperture. As a result, in this illumination device, it is possible to perform dark field illumination that illuminates the sample 8 with oblique light that does not directly enter the objective lens 4 and to shade the transparent sample 8. In this case, the objective lens 4 receives only scattered light and diffracted light generated by the sample 8 as light for observing the sample 8. However, in this illuminating device, light emitted from the surface light source 12 and directly incident on the objective lens 4 is generated as shown as the emitted light IL3 in FIG. In this case, the image of the sample 8 is observed. In order to avoid this, it is preferable that the size of the light exit surface 12a is small as long as the illumination of the sample 8 is not affected, and is preferably smaller than the light shielding surface of the light shielding plate 10.

なお、図1に示すような双眼の実体顕微鏡では、一般にX方向に並んだ2本の光軸によって右目用および左目用に独立して試料8の像を結像するため、試料8のX方向に陰影が生じた場合、左右の目で観察される試料8の像は異なる陰影を有し、観察しにくいものとなる。この問題を回避するため、X方向に強い陰影が生じないようにすることが好ましく、たとえば、遮光板10の遮光面を楕円形にするとよい。これによると、楕円の短軸をX方向に平行とし、試料8に対して面光源12からの光をある程度直接照射するようにして、試料8のX方向に生じる陰影を弱めることができる。また、たとえば、遮光板10を濃度フィルタとし、少なくとも遮光面内のX方向に透過率分布を設け、試料8をX方向から直接照明する光の透過率を高めて光量を増やすことによって、試料8のX方向に生じる陰影を弱めることができる。なお、これらの遮光板10を光軸OAの周りに任意に回転可能とし、試料8に生じる陰影を光軸OA周りに変化できるようにしてもよい。   In the binocular stereomicroscope as shown in FIG. 1, generally, the image of the sample 8 is formed independently for the right eye and the left eye by two optical axes arranged in the X direction. When shadows occur in the image, the image of the sample 8 observed by the left and right eyes has different shadows and is difficult to observe. In order to avoid this problem, it is preferable not to generate a strong shadow in the X direction. For example, the light shielding surface of the light shielding plate 10 may be elliptical. According to this, the shadow generated in the X direction of the sample 8 can be weakened by making the minor axis of the ellipse parallel to the X direction and directly irradiating the sample 8 with light from the surface light source 12 to some extent. Further, for example, by using the light shielding plate 10 as a density filter, providing a transmittance distribution in at least the X direction within the light shielding surface, and increasing the light transmittance by increasing the transmittance of the light directly illuminating the sample 8 from the X direction, thereby increasing the light quantity The shadow generated in the X direction can be weakened. Note that these light shielding plates 10 may be arbitrarily rotated around the optical axis OA so that the shadow generated on the sample 8 can be changed around the optical axis OA.

以上説明したこの実施の形態1にかかる照明装置では、面光源12から射出した光のうち、所定範囲の大きな射出角で射出した光は、反射面11aによって反射して試料8を照明し、小さな射出角で試料8を直接照射するように射出した光は、遮光板10によって遮光するようにしているため、簡易な構成で試料8に対して暗視野照明を行うことができるとともに、透明な試料8に対して陰影をつけることができる。また、たとえば、遮光板10の遮光面の形状を楕円形とし、あるいは、遮光板10を濃度フィルタとして透過率分布を設けることによって、X方向の陰影を軽減することができる。さらに、これらの遮光板10を回転させることによって、光軸OA周りに様々に陰影を変化させることができる。   In the illuminating device according to the first embodiment described above, light emitted from the surface light source 12 with a large emission angle within a predetermined range is reflected by the reflecting surface 11a to illuminate the sample 8, and is small. Since the light emitted so as to directly irradiate the sample 8 at the emission angle is shielded by the light-shielding plate 10, it is possible to perform dark field illumination on the sample 8 with a simple configuration and a transparent sample. 8 can be shaded. Further, for example, the shade in the X direction can be reduced by making the shape of the light shielding surface of the light shielding plate 10 oval or providing the transmittance distribution with the light shielding plate 10 as a density filter. Further, by rotating these light shielding plates 10, various shades can be changed around the optical axis OA.

(実施の形態2)
つぎに、本発明の実施の形態2について説明する。上述した実施の形態1では、遮光板10によって、面光源12から小さな射出角で試料8を直接照射するように射出した光を遮光していたが、この実施の形態2では、遮光板10に代えて光指向部材を用い、試料8を直接照射する光を遮光するようにしている。
(Embodiment 2)
Next, a second embodiment of the present invention will be described. In the first embodiment described above, the light emitted from the surface light source 12 so as to directly irradiate the sample 8 with a small emission angle is shielded by the light shielding plate 10, but in the second embodiment, the light shielding plate 10 Instead, a light directing member is used to block light directly irradiating the sample 8.

図4は、本発明の実施の形態2にかかる照明装置の構成および実体顕微鏡の一部構成を示す模式図である。図4に示すように、この実施の形態2にかかる照明装置は、実施の形態1にかかる照明装置が備えた遮光板10および樹脂プレート9に代えて光指向部材13を備える。その他の構成は、実施の形態1と同じであり、同一構成部分には同一符号を付している。   FIG. 4 is a schematic diagram illustrating a configuration of the illumination apparatus according to the second embodiment of the present invention and a partial configuration of a stereomicroscope. As shown in FIG. 4, the illumination device according to the second embodiment includes a light directing member 13 instead of the light shielding plate 10 and the resin plate 9 included in the illumination device according to the first embodiment. Other configurations are the same as those of the first embodiment, and the same reference numerals are given to the same components.

光指向部材13は、ルーバーフィルムによって実現されている。図5−1は、光指向部材13であるルーバーフィルムの部分構成を模式的に示す斜視図である。図5−1に示すように、光指向部材13は、羽板状に配列された複数の帯状の不透明部材13aと、この複数の不透明部材13aを保持する透明保持部材13bとによって形成されている。不透明部材13aは、面光源12が射出する光に対して不透明であり、透明保持部材13bは、この光に対して透明である。不透明部材13aは、全体として平板状の透明保持部材13bの上下面に対して傾斜している。   The light directing member 13 is realized by a louver film. FIG. 5A is a perspective view schematically showing a partial configuration of the louver film that is the light directing member 13. As shown in FIG. 5A, the light directing member 13 is formed by a plurality of strip-like opaque members 13a arranged in a wing plate shape and a transparent holding member 13b holding the plurality of opaque members 13a. . The opaque member 13a is opaque to the light emitted from the surface light source 12, and the transparent holding member 13b is transparent to this light. The opaque member 13a is inclined with respect to the upper and lower surfaces of the flat plate-like transparent holding member 13b as a whole.

図5−2は、面光源12によって光指向部材13を照明した場合の照明光の状態を模式的に示す断面図である。図5−2に示すように、不透明部材13aの長手方向に直交するY方向断面内では、光射出面12a上の点P2から射出した光のうち、各不透明部材13aの隙間を通過する射出光IL4−2,IL4−3は光指向部材13を透過し、不透明部材13aと交差する射出光IL4−1,IL4−4,IL4−5は光指向部材13によって遮光される。ここで、射出光IL4−2は、光指向部材13を透過できる射出光のうち、射出角がもっとも大きな射出光であり、射出光IL4−3は、射出角がもっとも小さな射出光である。一方、不透明部材13aの長手方向に平行な断面であって、不透明部材13aの面にほぼ平行な断面内では、光射出面12aから射出したすべての射出光が光指向部材13を透過し、不透明部材13aの面と交差する断面内では、光射出面12aから射出した任意の射出光が光指向部材13によって遮光される。すなわち、光射出面12a上の点P2から射出した光のうち、射出光IL4−2,IL4−3をそれぞれ含むX軸に平行な2つの平面によって挟まれた空間に射出される射出光は光指向部材13を透過し、この他の射出光は光指向部材13によって遮光されることになる。ここで、射出光IL4−2,IL4−3の射出角は、各不透明部材13aの間隔および傾斜角の少なくとも一方を変更して調整することができる。たとえば、各不透明部材13aの間隔を大きくすることによって、光指向部材13に垂直に入射する射出光IL4−3を透過させることができる。   FIG. 5B is a cross-sectional view schematically showing a state of the illumination light when the light directing member 13 is illuminated by the surface light source 12. As shown in FIG. 5B, in the Y-direction cross section orthogonal to the longitudinal direction of the opaque member 13a, the light emitted from the point P2 on the light emission surface 12a passes through the gaps between the opaque members 13a. IL4-2 and IL4-3 are transmitted through the light directing member 13, and the emitted lights IL4-1, IL4-4 and IL4-5 intersecting the opaque member 13a are shielded by the light directing member 13. Here, the emitted light IL4-2 is the emitted light having the largest emission angle among the emitted lights that can pass through the light directing member 13, and the emitted light IL4-3 is the emitted light having the smallest emission angle. On the other hand, in the cross section parallel to the longitudinal direction of the opaque member 13a and substantially parallel to the surface of the opaque member 13a, all the emitted light emitted from the light emitting surface 12a passes through the light directing member 13 and is opaque. In the cross section intersecting with the surface of the member 13 a, any emitted light emitted from the light emitting surface 12 a is blocked by the light directing member 13. That is, of the light emitted from the point P2 on the light emission surface 12a, the emitted light emitted into the space sandwiched between the two planes parallel to the X axis including the emitted lights IL4-2 and IL4-3 is light. The other light emitted through the directional member 13 is blocked by the light directional member 13. Here, the emission angles of the emitted lights IL4-2 and IL4-3 can be adjusted by changing at least one of the interval and the inclination angle of the opaque members 13a. For example, by increasing the interval between the opaque members 13a, it is possible to transmit the emitted light IL4-3 that enters the light directing member 13 perpendicularly.

この実施の形態2にかかる照明装置では、光指向部材13を全体として円板状に成形し、この円板の中心を基準に不透明部材13aを同心円状に成形している。図6は、円筒ミラー11および光指向部材13を示す平面図である。図6に示すように、光指向部材13は、光軸OAが不透明部材13aの同心円の中心を通るように配置されている。また、各不透明部材13aは、図4に示したように、内向きの法線が仰角をなすように光軸OAに対して回転対称に傾斜している。   In the illumination device according to the second embodiment, the light directing member 13 is formed into a disk shape as a whole, and the opaque member 13a is formed into a concentric circle with reference to the center of the disk. FIG. 6 is a plan view showing the cylindrical mirror 11 and the light directing member 13. As shown in FIG. 6, the light directing member 13 is disposed so that the optical axis OA passes through the center of a concentric circle of the opaque member 13a. Further, as shown in FIG. 4, each opaque member 13a is inclined in a rotationally symmetrical manner with respect to the optical axis OA so that the inward normal line forms an elevation angle.

図7は、試料8に対する照明状態を示すY方向断面図である。図7に示すように、たとえば、光射出面12a上の点P1から射出した光のうち、射出角が大きい射出光IL1−1,IL1−2は、反射面11aによって反射され、試料8を照明し、同様に、射出光IL1−1,IL1−2に挟まれた範囲の射出光も試料8を照明する。一方、点P1から射出した光のうち、射出角が小さく試料8を直接照射するように射出した射出光IL2は、光指向部材13によって遮光される。このように、光射出面12a上の各点から射出した光のうち、所定範囲の大きな射出角で射出した光は、反射面11aによって反射され、照明光として試料8を照明し、小さな射出角で試料8を直接照射するように射出した光は、光指向部材13によって遮光される。図7では、この状態をY方向の断面内で例示しているが、実際には光軸OAを中心軸として回転対称に生じている。   FIG. 7 is a cross-sectional view in the Y direction showing the illumination state of the sample 8. As shown in FIG. 7, for example, among the light emitted from the point P1 on the light emission surface 12a, the emission lights IL1-1 and IL1-2 having a large emission angle are reflected by the reflection surface 11a and illuminate the sample 8. Similarly, the sample 8 is also illuminated by the emitted light in the range between the emitted lights IL1-1 and IL1-2. On the other hand, of the light emitted from the point P 1, the emitted light IL 2 emitted so as to directly irradiate the sample 8 with a small emission angle is shielded by the light directing member 13. Thus, light emitted from each point on the light emission surface 12a is emitted at a large emission angle within a predetermined range, is reflected by the reflection surface 11a, illuminates the sample 8 as illumination light, and has a small emission angle. The light emitted so as to directly irradiate the sample 8 is blocked by the light directing member 13. In FIG. 7, this state is illustrated in the cross section in the Y direction, but actually occurs in rotational symmetry with the optical axis OA as the central axis.

この実施の形態2にかかる照明装置では、実施の形態1に示した照明装置と同様に、試料8を照明する照明光は、対物レンズ4の開口数に対応する角度よりも大きな入射角で試料8を照明するようにしている。これによって、この照明装置でも、試料8に対して暗視野照明を行うことができるとともに、透明な試料8に陰影をつけることができる。さらに、この照明装置では、実施の形態1に示した照明装置で対物レンズ4に直接入射していた射出光IL3を光指向部材13によって遮光することができるため、完全な暗視野照明を実現することができる。   In the illuminating device according to the second embodiment, as in the illuminating device shown in the first embodiment, the illumination light that illuminates the sample 8 has a larger incident angle than the angle corresponding to the numerical aperture of the objective lens 4. 8 is illuminated. Accordingly, this illumination apparatus can perform dark field illumination on the sample 8 and can also shade the transparent sample 8. Furthermore, in this illuminating device, since the emitted light IL3 that is directly incident on the objective lens 4 in the illuminating device shown in Embodiment 1 can be shielded by the light directing member 13, complete dark field illumination is realized. be able to.

なお、試料8のX方向に強い陰影が生じないようにするため、たとえば、不透明部材13aのX方向の間隔を大きくし、照明光が試料8に入射する角度範囲を大きくするようにしてもよく、さらに間隔を大きくし、試料8に対して面光源12からの光をある程度直接照射するようにしてもよい。さらに、このようにした光指向部材13を光軸OAの周りに任意に回転可能とし、試料8に生じる陰影を光軸OAの周りに変化できるようにしてもよい。   In order to prevent a strong shadow from occurring in the X direction of the sample 8, for example, the interval in the X direction of the opaque member 13a may be increased to increase the angle range in which the illumination light is incident on the sample 8. Further, the interval may be further increased, and the sample 8 may be directly irradiated with the light from the surface light source 12 to some extent. Further, the light directing member 13 having such a configuration may be arbitrarily rotated around the optical axis OA so that the shadow generated on the sample 8 can be changed around the optical axis OA.

また、図8に示すように、不透明部材13aの間隔を大きくした光指向部材13’を用い、試料8に対する照明光の光量を増加させるようにしてもよい。この場合、面光源12からの射出角の小さい光が不透明部材13aの隙間を透過して試料8を直接照明するようになるため、遮光板10を光指向部材13’の上面部に配置し、この直接照明する光を遮光することが望ましい。   Further, as shown in FIG. 8, a light directing member 13 'having a large interval between opaque members 13a may be used to increase the amount of illumination light with respect to the sample 8. In this case, since the light having a small emission angle from the surface light source 12 passes through the gap of the opaque member 13a and directly illuminates the sample 8, the light shielding plate 10 is disposed on the upper surface portion of the light directing member 13 ′, It is desirable to shield this direct illumination light.

さらに、不透明部材13aを同心円状に配列した光指向部材13に代えて、たとえば図9に示すように、XY平面内で大きさの異なる相似な六角形をなす複数の不透明部材14aの各重心を重ねて配列した光指向部材14を用いるようにしてもよい。この場合、六角形の各辺に対応した扇板状の光指向部材14−1〜14−6の側面を互いに接合し、全体として円板状の光指向部材14を形成するようにしてもよい。ここで、六角形状に成形した各不透明部材14aは、内向きの法線が等しい仰角をなすように光軸OAに対して傾斜するようにしている。また、各不透明部材14aは、面光源12から試料8を直接照明する射出角の小さい光が生じないように間隔を小さくしている。このような光指向部材14を用いることによって、光指向部材13と同様に試料8に対して暗視野照明を行うことができるとともに、透明な試料8に陰影をつけることができる。なお、各不透明部材14aの間隔を大きくした光指向部材14’を用い、試料8に対する照明光の光量を増加させた場合、図10に示すように、遮光板10を光指向部材14’の上面部に配置して試料8を直接照明する光を遮光するようにすればよい。また、光指向部材14,14’ではXY平面内の不透明部材の配列形状を六角形としたが、これに限らず任意の多角形でよい。   Further, instead of the light directing member 13 in which the opaque members 13a are concentrically arranged, as shown in FIG. 9, for example, the respective centroids of the plurality of opaque members 14a having similar hexagons having different sizes in the XY plane are obtained. You may make it use the light directing member 14 arranged in piles. In this case, the side surfaces of the fan-shaped light directing members 14-1 to 14-6 corresponding to the respective sides of the hexagon may be joined together to form the disk-shaped light directing member 14 as a whole. . Here, each of the opaque members 14a formed into a hexagonal shape is inclined with respect to the optical axis OA so that the inward normals form an equal elevation angle. Each opaque member 14a has a small interval so that light having a small emission angle that directly illuminates the sample 8 from the surface light source 12 is not generated. By using such a light directing member 14, dark field illumination can be performed on the sample 8 similarly to the light directing member 13, and a shadow can be applied to the transparent sample 8. In addition, when the light directing member 14 ′ having a large interval between the opaque members 14a is used and the amount of illumination light with respect to the sample 8 is increased, as shown in FIG. 10, the light shielding plate 10 is placed on the upper surface of the light directing member 14 ′. What is necessary is just to light-shield the light which directly arranges and arrange | positions the sample 8 in a part. Further, in the light directing members 14 and 14 ', the arrangement shape of the opaque members in the XY plane is a hexagon. However, the shape is not limited to this and may be an arbitrary polygon.

以上説明したこの実施の形態2にかかる照明装置では、面光源12から射出した光のうち、所定範囲の大きな射出角で射出した光は、反射面11aによって反射して試料8を照明し、小さな射出角で試料8を直接照射するように射出した光は、光指向部材13,14によって遮光するようにしているため、簡易な構成で試料8に対して暗視野照明を行うことができるとともに、透明な試料8に対して陰影をつけることができる。さらに、この照明装置では、面光源12から対物レンズ4に直接入射する光を光指向部材13によって遮光するようにしているため、完全な暗視野照明を実現することができる。また、不透明部材13a,14aの配列間隔を大きくし、試料8に対する照明光の光量を増加させた場合、光指向部材13,14の上面部に遮光板10をさらに設けるようにして、暗視野照明を行うことができる。   In the illuminating device according to the second embodiment described above, the light emitted from the surface light source 12 with a large emission angle within a predetermined range is reflected by the reflecting surface 11a to illuminate the sample 8, and is small. Since the light emitted so as to directly irradiate the sample 8 at the emission angle is shielded by the light directing members 13 and 14, dark field illumination can be performed on the sample 8 with a simple configuration, The transparent sample 8 can be shaded. Furthermore, in this illuminating device, since light directly incident on the objective lens 4 from the surface light source 12 is shielded by the light directing member 13, complete dark field illumination can be realized. Further, when the arrangement interval of the opaque members 13a and 14a is increased and the amount of illumination light with respect to the sample 8 is increased, the light shielding plate 10 is further provided on the upper surface portion of the light directing members 13 and 14, and dark field illumination is performed. It can be performed.

(実施の形態3)
つぎに、本発明の実施の形態3について説明する。上述した実施の形態2では、不透明部材13aを回転対称に配列した光指向部材13を用い、試料8の全方向に対して暗視野照明を行うようにしていたが、この実施の形態3では、不透明部材を羽板状に配列した光指向部材を用い、試料8の所定方向に対して暗視野照明を行うとともに、この方向を任意に変更できるようにしている。
(Embodiment 3)
Next, a third embodiment of the present invention will be described. In the second embodiment described above, the light directing member 13 in which the opaque members 13a are arranged in a rotationally symmetrical manner is used to perform dark field illumination in all directions of the sample 8, but in this third embodiment, Using a light directing member in which opaque members are arranged in a wing plate shape, dark field illumination is performed in a predetermined direction of the sample 8, and this direction can be arbitrarily changed.

図11は、本発明の実施の形態3にかかる照明装置の構成および実体顕微鏡の一部構成を示す模式図である。図11に示すように、この実施の形態3にかかる照明装置は、実施の形態2にかかる照明装置が備えた光指向部材13に代えて光指向部材15を備え、この光指向部材15の上面部に遮光板10をさらに備える。また、この照明装置は、回転駆動部16を新たに備える。この円筒状の回転駆動部16は、ベース部1a内部の円筒形の穴部1abに嵌合して配置され、筒内部に光指向部材15を保持し、検鏡者の操作に応じて光軸OAの周りに光指向部材15および遮光板10を回転させる。なお、回転駆動部16は、蓋部材17によって穴部1abから脱落しないように支持されている。その他の構成は、実施の形態2と同じであり、同一構成部分には同一符号を付している。   FIG. 11 is a schematic diagram illustrating a configuration of the illumination apparatus according to the third embodiment of the present invention and a partial configuration of the stereomicroscope. As shown in FIG. 11, the illumination device according to the third embodiment includes a light directing member 15 instead of the light directing member 13 included in the illumination device according to the second embodiment, and an upper surface of the light directing member 15. The portion further includes a light shielding plate 10. In addition, the illumination device newly includes a rotation driving unit 16. The cylindrical rotation drive unit 16 is disposed to be fitted into a cylindrical hole 1ab inside the base portion 1a, holds the light directing member 15 inside the tube, and the optical axis according to the operation of the spectrographer. The light directing member 15 and the light shielding plate 10 are rotated around the OA. The rotation driving unit 16 is supported by the lid member 17 so as not to drop out of the hole 1ab. Other configurations are the same as those of the second embodiment, and the same reference numerals are given to the same components.

図12は、光指向部材15、遮光板10、回転駆動部16およびこの回転駆動部16を駆動させるための操作機構を示す平面図である。図12に示すように、ベース部1aの上面端部で光軸OAからX方向の位置に回転軸18と、この回転軸18を中心に回転可能な円板状の回転つまみ19とが設けられている。さらに、回転つまみ19の外周側面にはローレット加工が施されたギア19aが設けられており、同様にローレット加工が施された回転駆動部16の外周側面とギア19aとが接し、互いのローレット加工部分が噛み合うことで、ギア19aの回転が回転駆動部16に伝えられる。回転つまみ19およびギア19aの外周部の一部は、ベース部1aの側面部から突出しており、検鏡者は、この突出部分を回転軸18の周りに回転させることによって、回転駆動部16とともに光指向部材15および遮光板10を光軸OAの周りに回転させることができる。なお、ここでは回転駆動部16をギア19aによって手動で回転させるように示したが、たとえば、ステッピングモーター、ボイスコイルモーター、圧電素子等の駆動機構をさらに設けて、ギア19aを自動で駆動できるようにしてもよく、あるいは、回転駆動部16を直接自動で回転できるようにしてもよい。   FIG. 12 is a plan view showing the light directing member 15, the light shielding plate 10, the rotation driving unit 16, and an operation mechanism for driving the rotation driving unit 16. As shown in FIG. 12, a rotating shaft 18 and a disc-shaped rotating knob 19 that can rotate around the rotating shaft 18 are provided at a position in the X direction from the optical axis OA at the upper end of the base portion 1a. ing. Furthermore, a knurled gear 19a is provided on the outer peripheral side surface of the rotary knob 19, and the outer peripheral side surface of the rotary drive unit 16 which is similarly knurled is in contact with the gear 19a, so that the knurling process is performed. The rotation of the gear 19 a is transmitted to the rotation drive unit 16 by the meshing of the portions. A part of the outer peripheral portion of the rotary knob 19 and the gear 19a protrudes from the side surface portion of the base portion 1a, and the examiner rotates the protruding portion around the rotation shaft 18 so as to move along with the rotation drive unit 16. The light directing member 15 and the light shielding plate 10 can be rotated around the optical axis OA. Here, the rotation drive unit 16 is shown to be manually rotated by the gear 19a. However, for example, a drive mechanism such as a stepping motor, a voice coil motor, and a piezoelectric element can be further provided so that the gear 19a can be automatically driven. Alternatively, the rotation driving unit 16 may be directly and automatically rotated.

図13は、光指向部材15であるルーバーフィルムの部分構成を模式的に示す斜視図である。図13に示すように、光指向部材15は、羽板状に配列された複数の不透明部材15aと、この複数の不透明部材15aを保持する透明保持部材15bとからなる。不透明部材15aは、全体として平板状の透明保持部材15bの上下面に対して垂直にして配列されている。なお、光指向部材15では、不透明部材15aは全面に一様に配列されている。   FIG. 13 is a perspective view schematically showing a partial configuration of a louver film that is the light directing member 15. As shown in FIG. 13, the light directing member 15 includes a plurality of opaque members 15a arranged in a wing plate shape, and a transparent holding member 15b that holds the plurality of opaque members 15a. The opaque members 15a are arranged perpendicular to the upper and lower surfaces of the flat transparent holding member 15b as a whole. In the light directing member 15, the opaque members 15a are uniformly arranged on the entire surface.

図14−1および図14−2は、試料8に対する照明状態を示す断面図であり、それぞれ図12に示した光指向部材15の状態に対応してY方向断面およびX方向断面を示している。図14−1に示すように、Y方向断面内では、たとえば、光射出面12a上の点P1から射出した光のうち、射出角が大きい射出光IL1−1,IL1−2、およびこの射出光IL1−1,IL1−2に挟まれた範囲の射出光は、光指向部材15によって遮光され、射出角が小さく試料8を直接照射するように射出した射出光IL2は、遮光板10によって遮光される。一方、図14−2に示すように、X方向断面内では、たとえば、光射出面12a上の点P3から射出した光のうち、射出角が大きい射出光IL5−1,IL5−2、およびこの射出光IL5−1,IL5−2に挟まれた範囲の射出光は、反射面11aによって反射され、試料8を照明する。また、点P3から射出した光のうち、射出角が小さく試料8を直接照射するように射出した射出光IL6は、遮光板10によって遮光される。このように、光射出面12a上の各点から射出した光のうち、所定範囲の大きな射出角で射出した光は、不透明部材15aに平行な断面内で、反射面11aによって反射され、照明光として試料8を照明し、不透明部材15aに交差する断面内で、光指向部材15によって遮光される。また、小さな射出角で試料8を直接照射するように射出した光は、任意の断面内で遮光板10によって遮光される。   FIGS. 14-1 and 14-2 are cross-sectional views showing the illumination state of the sample 8, and show a Y-direction cross section and an X-direction cross section corresponding to the state of the light directing member 15 shown in FIG. . As shown in FIG. 14A, in the cross section in the Y direction, for example, among the lights emitted from the point P1 on the light emission surface 12a, the emitted lights IL1-1 and IL1-2 having a large emission angle, and the emitted light. The emitted light in the range between IL1-1 and IL1-2 is blocked by the light directing member 15, and the emitted light IL2 emitted so as to directly irradiate the sample 8 with a small emission angle is blocked by the light shielding plate 10. The On the other hand, as shown in FIG. 14B, in the X-direction cross section, for example, among the lights emitted from the point P3 on the light emission surface 12a, the emitted lights IL5-1 and IL5-2 having a large emission angle, and this The emitted light in the range between the emitted lights IL5-1 and IL5-2 is reflected by the reflecting surface 11a and illuminates the sample 8. Of the light emitted from the point P 3, the emitted light IL 6 emitted so as to directly irradiate the sample 8 with a small emission angle is shielded by the light shielding plate 10. As described above, light emitted from each point on the light emission surface 12a is emitted at a large emission angle within a predetermined range, and is reflected by the reflection surface 11a within the cross section parallel to the opaque member 15a. The sample 8 is illuminated and is shielded by the light directing member 15 within the cross section intersecting the opaque member 15a. Further, the light emitted so as to directly irradiate the sample 8 with a small emission angle is shielded by the light shielding plate 10 within an arbitrary cross section.

この実施の形態3にかかる照明装置では、実施の形態1,2に示した照明装置と同様に、試料8を照明する照明光は、対物レンズ4の開口数に対応する角度よりも大きな入射角で試料8を照明するようにしている。これによって、この照明装置でも、試料8に対して暗視野照明を行うことができるとともに、透明な試料8に陰影をつけることができる。また、この照明装置では、不透明部材15aに平行な断面内で暗視野照明を行うことができ、不透明部材15aに交差する断面内では、試料8を照明することができないようにしているため、試料8の所定の方向に対してのみ暗視野照明を行うことができる。さらに、光指向部材15を光軸OAの周りに回転可動に構成しているため、試料8に対して暗視野照明を行う方向を任意に設定することができる。   In the illumination device according to the third embodiment, the illumination light that illuminates the sample 8 has an incident angle larger than the angle corresponding to the numerical aperture of the objective lens 4, as in the illumination devices described in the first and second embodiments. Thus, the sample 8 is illuminated. Accordingly, this illumination apparatus can perform dark field illumination on the sample 8 and can also shade the transparent sample 8. Further, in this illumination device, dark field illumination can be performed in a cross section parallel to the opaque member 15a, and the sample 8 cannot be illuminated in a cross section intersecting the opaque member 15a. Dark field illumination can be performed only in the eight predetermined directions. Furthermore, since the light directing member 15 is configured to be rotatable around the optical axis OA, the direction in which the dark field illumination is performed on the sample 8 can be arbitrarily set.

なお、光指向部材15は、暗視野照明とは別に、試料8の陰影の状態を調整する目的で照明装置に適用することができる。図15−1および図15−2は、試料8に対する照明状態を示す断面図である。図15−1および図15−2に示す照明装置は、図11に示したこの実施の形態3にかかる照明装置から遮光板10および円筒ミラー11を削除した構成としている。この場合、図15−1に示すように、不透明部材15aに直交する断面内では、光射出面12a上の各点から射出した光のうち、大きな射出角の光は光指向部材15によって遮光され、小さな射出角の光が試料8を照明する。これに対し、図15−2に示すように、不透明部材15aに平行な断面内では、小さな射出角の光とともに、大きな射出角の光が試料8を照明する。すなわち、不透明部材15aに直交する断面内では、試料8を照射する光の入射角が制限されるため陰影を生じやすく、不透明部材15aに平行な断面内では、さまざまな入射角の光が試料8に照射されるため陰影が生じにくい。このため、光指向部材15を回転駆動部16によって光軸OAの周りに回転させることで、試料8に陰影をつける方向を変化させることができ、検鏡者は、任意の方向の陰影に対して試料8を観察することができる。   In addition, the light directing member 15 can be applied to an illumination device for the purpose of adjusting the shadow state of the sample 8 separately from the dark field illumination. FIGS. 15A and 15B are cross-sectional views illustrating the illumination state of the sample 8. FIGS. The illuminating device shown in FIGS. 15-1 and 15-2 has a configuration in which the light shielding plate 10 and the cylindrical mirror 11 are omitted from the illuminating device according to the third embodiment shown in FIG. In this case, as shown in FIG. 15A, in the cross section orthogonal to the opaque member 15a, light having a large emission angle out of the light emitted from each point on the light emission surface 12a is blocked by the light directing member 15. The light with a small emission angle illuminates the sample 8. On the other hand, as shown in FIG. 15B, in the cross section parallel to the opaque member 15a, the light with a large emission angle illuminates the sample 8 together with the light with a small emission angle. That is, in the cross section orthogonal to the opaque member 15a, the incident angle of the light that irradiates the sample 8 is limited, and thus a shadow is likely to occur. In the cross section parallel to the opaque member 15a, light of various incident angles Because it is irradiated, it is difficult for shadows to occur. For this reason, by rotating the light directing member 15 around the optical axis OA by the rotation driving unit 16, the direction in which the sample 8 is shaded can be changed, and the spectrographer can change the shadow in any direction. Thus, the sample 8 can be observed.

さらに、光指向部材15に代えて、たとえば図16に示すように、不透明部材15aの傾斜角度を変更した光指向部材20を用い、試料8の陰影を強調するようにしてもよい。光指向部材20は、図5−1に示した光指向部材13と同様に、不透明部材20aが透明保持部材20bの上下面に対して傾斜した状態で保持されている。このような光指向部材20を用いることによって、図16に示すように、試料8に対し、照射する光を光軸OAに対してすべて偏斜させる偏斜照明を行うことができる。この偏斜照明によって、たとえば図16では試料8の右側の陰影を強調することができる。また、光指向部材20を回転駆動部16によって光軸OAの周りに回転させることで、強調する陰影の方位を変化させることができ、検鏡者は、任意の方位で陰影を強調した試料8を観察することができる。   Further, instead of the light directing member 15, for example, as shown in FIG. 16, a light directing member 20 in which the inclination angle of the opaque member 15a is changed may be used to emphasize the shadow of the sample 8. The light directing member 20 is held in a state where the opaque member 20a is inclined with respect to the upper and lower surfaces of the transparent holding member 20b, similarly to the light directing member 13 shown in FIG. By using such a light directing member 20, as shown in FIG. 16, oblique illumination can be performed on the sample 8 to obliquely deviate all of the irradiated light with respect to the optical axis OA. By this oblique illumination, for example, the shadow on the right side of the sample 8 can be emphasized in FIG. In addition, by rotating the light directing member 20 around the optical axis OA by the rotation drive unit 16, the direction of the shadow to be emphasized can be changed, and the spectroscope can perform the specimen 8 in which the shadow is emphasized in an arbitrary direction. Can be observed.

なお、光指向部材15,20は、それぞれ不透明部材15a,20aの間隔を変えることによって、試料8に生じる陰影の強さを調整することができる。この場合、間隔を小さくすることによって陰影を強くし、間隔を大きくすることによって陰影を弱くすることができる。   In addition, the light directing members 15 and 20 can adjust the intensity of the shadow generated on the sample 8 by changing the interval between the opaque members 15a and 20a, respectively. In this case, the shadow can be strengthened by reducing the interval, and the shadow can be weakened by increasing the interval.

以上説明したこの実施の形態3にかかる照明装置では、1枚の光指向部材15によって、不透明部材15aに交差する断面内で面光源12からの射出角の大きな射出光を遮光するようにしたが、たとえば図17に示すように、複数の光指向部材を光軸OAに沿って層状に配置して用いるようにしてもよい。図17に示す照明装置では、この実施の形態3の照明装置に加えて、遮光板10の上方にさらに光指向部材15を配置し、ベース部1a内部の穴部1adに嵌合して固定している。この上部の光指向部材15は、不透明部材15aをX方向に平行にして固定している。   In the illumination device according to the third embodiment described above, the single light directing member 15 blocks the light emitted from the surface light source 12 with a large emission angle within the cross section intersecting the opaque member 15a. For example, as shown in FIG. 17, a plurality of light directing members may be arranged and used in layers along the optical axis OA. In the illuminating device shown in FIG. 17, in addition to the illuminating device of the third embodiment, a light directing member 15 is further disposed above the light shielding plate 10, and is fitted into and fixed to the hole 1ad inside the base portion 1a. ing. The upper light directing member 15 fixes the opaque member 15a parallel to the X direction.

図18−1および図18−2は、上下の光指向部材15の関係を示す平面図である。図18−1は、上下の不透明部材15aが平行な場合を示し、図18−2は、上下の不透明部材15aが直交した場合を示している。図18−1に示すように、上下の不透明部材15aの方向がX方向で一致していると、X方向で試料8に対して暗視野照明を行うことができる。一方、図18−2に示すように、下部の不透明部材15aの方向がY方向に一致し、上部の不透明部材15aの方向と直交していると、X方向およびY方向のいずれの方向でも試料8に対して暗視野照明が行われなくなり、結果として、試料8に対して全く照明が行われなくなる。これらの中間の状態では、下部の光指向部材15が回転駆動部16によって回転され、下部の不透明部材15aの方向がX方向からY方向に移行するにしたがって、徐々に試料8に対する照明光が減少される。   18-1 and 18-2 are plan views showing the relationship between the upper and lower light directing members 15. FIG. 18A shows a case where the upper and lower opaque members 15a are parallel, and FIG. 18-2 shows a case where the upper and lower opaque members 15a are orthogonal to each other. As shown in FIG. 18A, when the directions of the upper and lower opaque members 15a coincide with each other in the X direction, dark field illumination can be performed on the sample 8 in the X direction. On the other hand, as shown in FIG. 18-2, if the direction of the lower opaque member 15a coincides with the Y direction and is orthogonal to the direction of the upper opaque member 15a, the sample is observed in both the X direction and the Y direction. No dark field illumination is performed on the sample 8, and as a result, no illumination is performed on the sample 8. In these intermediate states, the lower light directing member 15 is rotated by the rotation driving unit 16, and the illumination light for the sample 8 gradually decreases as the direction of the lower opaque member 15a shifts from the X direction to the Y direction. Is done.

このように、光指向部材15を2枚層状に配置して用い、一方の光指向部材15を回転させることによって、暗視野照明を行う光量を調整することができ、検鏡者は、調整可能な範囲内の任意の照明光量で試料8を観察することができる。なお、ここでは、光指向部材15を2枚用いて一方を光軸OAの周りに回転できるようにしたが、不透明部材の間隔、傾斜等が異なる光指向部材を用いてもよく、また、このような光指向部材を3枚以上用いてもよく、さらに、複数の光指向部材を光軸OAの周りに回転できるようにしてもよい。このようにすることによって、暗視野照明を行う方向や陰影の状態を調整するなど、さらに様々に試料8に対する照明状態を調整することができる。   As described above, the light directing member 15 is arranged in two layers, and by rotating one of the light directing members 15, the amount of light for performing the dark field illumination can be adjusted. The sample 8 can be observed with an arbitrary amount of illumination light within such a range. Here, two light directing members 15 are used and one of them can be rotated around the optical axis OA. However, light directing members having different intervals, inclinations, etc. of opaque members may be used. Three or more such light directing members may be used, and a plurality of light directing members may be rotated around the optical axis OA. By doing in this way, the illumination state with respect to the sample 8 can be adjusted further variously, such as adjusting the direction in which dark field illumination is performed and the state of shadow.

なお、光軸OAに沿って層状に配置した複数の光指向部材を、暗視野照明とは別に、試料8の陰影の状態や照明光の光量を調整する目的で照明装置に適用することができる。この場合、たとえば図19に示すように、遮光板10および円筒ミラー11を削除し、光指向部材15を光軸OAに沿って2枚配置した構成とし、下部の光駆動部材15を回転駆動部16によって回転することで、上下の不透明部材15aの方向を相対的に変化させ、試料8を照明する光量を調整するとともに、試料8に対する陰影の状態を調整することができる。なお、この場合にも、不透明部材の間隔、傾斜等が異なる光指向部材を用いてもよく、また、このような光指向部材を3枚以上用いてもよく、さらに、複数の光指向部材を光軸OAの周りに回転できるようにしてもよい。   A plurality of light directing members arranged in layers along the optical axis OA can be applied to the illumination device for the purpose of adjusting the shadow state of the sample 8 and the amount of illumination light separately from the dark field illumination. . In this case, for example, as shown in FIG. 19, the light shielding plate 10 and the cylindrical mirror 11 are deleted, and two light directing members 15 are arranged along the optical axis OA, and the lower light driving member 15 is a rotation driving unit. By rotating by 16, the direction of the upper and lower opaque members 15 a can be relatively changed, the amount of light that illuminates the sample 8 can be adjusted, and the state of shadow on the sample 8 can be adjusted. In this case as well, light directing members having different spacings, inclinations, etc. of opaque members may be used, three or more such light directing members may be used, and a plurality of light directing members may be used. You may enable it to rotate around the optical axis OA.

(実施の形態4)
つぎに、本発明の実施の形態4について説明する。上述した実施の形態1〜3では、ベース部1aの内部に1組の光指向部材、遮光板および円筒ミラーを備えるようにしていたが、この実施の形態4では、ベース部の内部に光指向部材、遮光板、円筒ミラー等の複数の組み合わせを備えるとともに、任意に切り換えられるようにしている。
(Embodiment 4)
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. In Embodiments 1 to 3 described above, a pair of light directing members, a light shielding plate, and a cylindrical mirror are provided inside the base portion 1a. However, in Embodiment 4, the light directing is provided inside the base portion. A plurality of combinations such as a member, a light shielding plate, and a cylindrical mirror are provided and can be arbitrarily switched.

図20は、本発明の実施の形態4にかかる照明装置の構成および実体顕微鏡の一部構成を示す模式図である。図20に示すように、この実施の形態4にかかる実態顕微鏡は、実施の形態1〜3にかかる実体顕微鏡が備えたベース部1aに代えてベース部1cを備え、ベース部1cの内部に光指向部材、遮光板、円筒ミラー等の複数の組み合わせを切換可能な機構を設けている。この切換機構は、大きく上下2段に分かれて構成され、上段の切換機構は、ターレット32、回転軸33、スペーサー34およびプランジャー36を有し、下段の切換機構は、同様に、ターレット42、回転軸43、スペーサー44およびプランジャー46を有する。これらベース部1cおよび切換機構を除く他の構成は、実施の形態1〜3と同じであり、同一構成部分には同一符号を付している。   FIG. 20 is a schematic diagram illustrating a configuration of the illumination apparatus according to the fourth embodiment of the present invention and a partial configuration of a stereomicroscope. As shown in FIG. 20, the actual microscope according to the fourth embodiment includes a base portion 1 c instead of the base portion 1 a included in the stereomicroscope according to the first to third embodiments, and includes light inside the base portion 1 c. A mechanism capable of switching a plurality of combinations such as a directional member, a light shielding plate, and a cylindrical mirror is provided. This switching mechanism is roughly divided into two upper and lower stages, and the upper switching mechanism has a turret 32, a rotating shaft 33, a spacer 34, and a plunger 36, and the lower switching mechanism is similarly a turret 42, It has a rotating shaft 43, a spacer 44 and a plunger 46. Except for the base portion 1c and the switching mechanism, the other configurations are the same as those of the first to third embodiments, and the same components are denoted by the same reference numerals.

図21は、上段の切換機構を示す平面図である。図20および図21に示すように、上段の切換機構では、ターレット32は、回転軸33によって、回転軸33の周りに回転可能にしてベース部1cに支持されている。スペーサー32は、ターレット32が回転する際のガタを制限するように、ベース部1cとターレット32の間に設けられている。ターレット32は、4つの円形の開口部32a〜32dを有し、各開口部32a〜32dの内部に、それぞれ円筒形の枠35A〜35Dに組み込まれた光調整部材31A〜31Dを保持している。プランジャー36は、ボール37およびバネ38を有し、ベース部1cの側面部のターレット32に対向する位置に設けられている。   FIG. 21 is a plan view showing the upper switching mechanism. As shown in FIGS. 20 and 21, in the upper switching mechanism, the turret 32 is supported by the base portion 1 c so as to be rotatable around the rotation shaft 33 by the rotation shaft 33. The spacer 32 is provided between the base portion 1 c and the turret 32 so as to limit backlash when the turret 32 rotates. The turret 32 has four circular openings 32a to 32d, and holds the light adjustment members 31A to 31D incorporated in the cylindrical frames 35A to 35D, respectively, inside the openings 32a to 32d. . The plunger 36 includes a ball 37 and a spring 38, and is provided at a position facing the turret 32 on the side surface of the base portion 1c.

ターレット32は、回転軸33と各開口部32a〜32dとを結ぶ線上にある外周側面部に4つのクリック溝39A〜39Dを有しており、バネ38の伸長力によって一部押し出されたボール37がクリック溝39A〜39Dのいずれかに落ち込んだ場合、ベース部1cに対する回転が規制され、光調整部材31A〜31Dのうちの1つが試料8と面光源12との間に配置される。たとえば図21に示すように、クリック溝39Cにボール37が落ち込んだ状態では、光指向部材31Aが試料8と面光源12との間に配置される。この状態で、ターレット32に所定値以上の回転方向の力が加わると、クリック溝39A〜39Dのいずれかに落ち込んだボール37が押し出され、ターレット32は再び回転する。その後、クリック溝39A〜39Dのいずれか別のクリック溝にボール37が落ち込んだ場合、再びターレット32の回転が規制され、光調整部材31A〜31Dのうちの別の1つが試料8と面光源12との間に配置される。なお、検鏡者は、ターレット32のベース部1cから突出した部分を操作することによって、ターレット32を回転させることができる。また、図示しない回転駆動機構により、試料8と面光源12との間に配置された光調整部材31A〜31Dを光軸OAの周りに回転することができる。   The turret 32 has four click grooves 39 </ b> A to 39 </ b> D on the outer peripheral side surface on the line connecting the rotation shaft 33 and the openings 32 a to 32 d, and a ball 37 partially pushed out by the extension force of the spring 38. Is dropped into any one of the click grooves 39 </ b> A to 39 </ b> D, the rotation with respect to the base portion 1 c is restricted, and one of the light adjustment members 31 </ b> A to 31 </ b> D is disposed between the sample 8 and the surface light source 12. For example, as shown in FIG. 21, the light directing member 31 </ b> A is disposed between the sample 8 and the surface light source 12 in a state where the ball 37 has fallen into the click groove 39 </ b> C. In this state, when a rotational force greater than a predetermined value is applied to the turret 32, the ball 37 that has fallen into any of the click grooves 39A to 39D is pushed out, and the turret 32 rotates again. Thereafter, when the ball 37 falls into any one of the click grooves 39A to 39D, the rotation of the turret 32 is restricted again, and another one of the light adjustment members 31A to 31D is connected to the sample 8 and the surface light source 12. Between. The spectrographer can rotate the turret 32 by operating a portion of the turret 32 protruding from the base portion 1c. Further, the light adjusting members 31A to 31D arranged between the sample 8 and the surface light source 12 can be rotated around the optical axis OA by a rotation driving mechanism (not shown).

下段の切換機構は、上段の切換機構と同様に構成されている。ターレット42は、回転軸43によって、回転軸43の周りに回転可能にしてベース部1cに支持され、スペーサー42は、ターレット42が回転する際のガタを制限するように設けられている。ターレット42は、4つの円形の開口部42a〜42dを有し、各開口部42a〜42dの内部に、それぞれ円筒形の枠45A〜45Dに組み込まれた光調整部材41A〜41Dを保持している。プランジャー46は、ボール47およびバネ48を有し、ベース部1cの側面部のターレット42に対向する位置に設けられている。ターレット42は、外周側面部に4つのクリック溝49A〜49Dを有し、ボール47がクリック溝49A〜49Dのいずれかに落ち込んだ場合、ベース部1cに対する回転が規制され、光調整部材41A〜41Dのうちの1つが試料8と面光源12との間に配置される。なお、検鏡者は、ターレット42のベース部1cから突出した部分を操作することによって、ターレット42を回転させることができる。また、図示しない回転駆動機構により、試料8と面光源12との間に配置された光調整部材41A〜41Dを光軸OAの周りに回転することができる。   The lower switching mechanism is configured in the same manner as the upper switching mechanism. The turret 42 is supported by the base portion 1c so as to be rotatable around the rotation shaft 43 by the rotation shaft 43, and the spacer 42 is provided so as to limit the play when the turret 42 rotates. The turret 42 has four circular openings 42a to 42d, and holds the light adjustment members 41A to 41D incorporated in the cylindrical frames 45A to 45D, respectively, inside the openings 42a to 42d. . The plunger 46 includes a ball 47 and a spring 48, and is provided at a position facing the turret 42 on the side surface of the base portion 1c. The turret 42 has four click grooves 49A to 49D on the outer peripheral side surface portion, and when the ball 47 falls into any of the click grooves 49A to 49D, the rotation with respect to the base portion 1c is restricted, and the light adjusting members 41A to 41D. One of the two is disposed between the sample 8 and the surface light source 12. The spectrographer can rotate the turret 42 by operating a portion protruding from the base portion 1c of the turret 42. Further, the light adjusting members 41A to 41D arranged between the sample 8 and the surface light source 12 can be rotated around the optical axis OA by a rotation driving mechanism (not shown).

このような上下2段の切換機構により、この実施の形態4にかかる実体顕微鏡では、光調整部材31A〜31Dのそれぞれに対して光調整部材41A〜41Dの任意の1つを組み合わせ、試料8と面光源12の間に光軸OAに沿って層状に配置させることができる。ここで、光調整部材31A〜31Dおよび41A〜41Dには、実施の形態1〜3で示した光指向部材13,14,15,20、樹脂プレート9等を適用することができる。この場合、遮光板10に対応して、たとえば図21に示すように、遮光板31Baを備えるようにしてもよい。また、円筒ミラー11に対応して、円筒形の枠35A〜35Dおよび45A〜45Dの内側面を反射面としてもよい。さらに、光調整部材31A〜31Dおよび41A〜41Dとして、濃度フィルタ、色温度フィルタ、波長選択フィルタ、偏光フィルタ等、種々のフィルタ類を適用してもよく、何も部材を配置せず空穴状態にしてもよい。これらの多彩な組み合わせによって、検鏡者は、試料8に対して暗視野照明、明視野照明、偏斜照明等の種々の照明を行うことができるとともに、試料8に生じる陰影の状態、試料8を照明する光量等を様々に調整することができる。その際、照明する方向、陰影をつける方向など方向性を有するとともに、この方向を光軸OAの周りに回転させることができる。   With such a two-stage switching mechanism, the stereomicroscope according to the fourth embodiment combines any one of the light adjustment members 41A to 41D with each of the light adjustment members 31A to 31D, Between the surface light sources 12, it can arrange | position in layers along the optical axis OA. Here, the light directing members 13, 14, 15, 20, the resin plate 9, and the like described in the first to third embodiments can be applied to the light adjustment members 31 </ b> A to 31 </ b> D and 41 </ b> A to 41 </ b> D. In this case, a light shielding plate 31Ba may be provided corresponding to the light shielding plate 10, for example, as shown in FIG. Corresponding to the cylindrical mirror 11, the inner surfaces of the cylindrical frames 35A to 35D and 45A to 45D may be reflective surfaces. Further, as the light adjustment members 31A to 31D and 41A to 41D, various filters such as a density filter, a color temperature filter, a wavelength selection filter, a polarization filter, etc. may be applied. It may be. By these various combinations, the spectrographer can perform various illuminations such as dark field illumination, bright field illumination, and declination illumination on the sample 8, and also the state of the shadow generated in the sample 8, the sample 8 The amount of light for illuminating can be adjusted in various ways. At this time, the direction of illumination, the direction of shadowing, and the like are provided, and this direction can be rotated around the optical axis OA.

なお、ターレット32,42は、それぞれ4つの光調整部材31A〜31Dおよび41A〜41Dを保持するようにしたが、2もしくは3、または5以上の光調整部材を保持するようにしてもよい。また、ベース部1cは、上下2段の切換機構を備えるようにしたが、3段以上の切換機構を備えるようにしてもよい。さらに、この切換機構として、ターレット32,42を用い、回転駆動することによって光調整部材を切り換えるようにしたが、たとえば、直線的にスライドして切り換えるようにしてもよい。また、これらの切換機構を自動で駆動できるようにしてもよい。   The turrets 32 and 42 each hold four light adjustment members 31A to 31D and 41A to 41D, but may hold two, three, or five or more light adjustment members. Moreover, although the base part 1c was provided with the switching mechanism of 2 steps | paragraphs of upper and lower sides, you may make it equip it with the switching mechanism of 3 steps | paragraphs or more. Further, as the switching mechanism, the turrets 32 and 42 are used, and the light adjusting member is switched by rotational driving. However, for example, the switching may be performed by sliding linearly. Moreover, you may enable it to drive these switching mechanisms automatically.

また、上述した実施の形態1〜4では、本発明の照明装置を双眼の実体顕微鏡に搭載するようにしたが、単眼の顕微鏡に搭載するようにしてもよく、生物顕微鏡、工業顕微鏡等の用途を問わず、種々の光学顕微鏡に搭載するようにしてよい。   Moreover, in Embodiment 1-4 mentioned above, although the illuminating device of this invention was mounted in the binocular stereomicroscope, you may make it mount in a monocular microscope and uses it for a biological microscope, an industrial microscope, etc. It may be mounted on various optical microscopes.

本発明の実施の形態1にかかる照明装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the illuminating device concerning Embodiment 1 of this invention. 図1に示した照明装置の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the illuminating device shown in FIG. 図1に示した照明装置による照明状態を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the illumination state by the illuminating device shown in FIG. 本発明の実施の形態2にかかる照明装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the illuminating device concerning Embodiment 2 of this invention. 図4に示した光指向部材の部分構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the partial structure of the light directing member shown in FIG. 図4に示した光指向部材の透過光の状態を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the state of the transmitted light of the light directing member shown in FIG. 図4に示した照明装置の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the illuminating device shown in FIG. 図4に示した照明装置による照明状態を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the illumination state by the illuminating device shown in FIG. 本発明の実施の形態2にかかる照明装置の変形構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the deformation | transformation structure of the illuminating device concerning Embodiment 2 of this invention. 図8に示した光指向部材の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the light directing member shown in FIG. 図8に示した照明装置の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the illuminating device shown in FIG. 本発明の実施の形態3にかかる照明装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the illuminating device concerning Embodiment 3 of this invention. 図11に示した照明装置の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the illuminating device shown in FIG. 図11に示した光指向部材の部分構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the partial structure of the light directing member shown in FIG. 図11に示した照明装置による照明状態を説明するY方向の断面図である。It is sectional drawing of the Y direction explaining the illumination state by the illuminating device shown in FIG. 図11に示した照明装置による照明状態を説明するX方向の断面図である。It is sectional drawing of the X direction explaining the illumination state by the illuminating device shown in FIG. 図11に示した光指向部材の陰影に対する作用を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the effect | action with respect to the shadow of the light directing member shown in FIG. 図11に示した光指向部材の陰影に対する作用を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the effect | action with respect to the shadow of the light directing member shown in FIG. 不透明部材が傾斜した光指向部材を用いた照明によって陰影を強調する作用を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the effect | action which emphasizes a shadow by the illumination using the light directing member in which the opaque member inclined. 本発明の実施の形態3にかかる照明装置の変形構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the deformation | transformation structure of the illuminating device concerning Embodiment 3 of this invention. 図17に示した照明装置の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the illuminating device shown in FIG. 図17に示した照明装置の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the illuminating device shown in FIG. 図17に示した光指向部材の陰影および照明光量に対する作用を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the effect | action with respect to the shadow and illumination light quantity of the light directing member shown in FIG. 本発明の実施の形態4にかかる照明装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the illuminating device concerning Embodiment 4 of this invention. 図20に示した照明装置の一部構成を示す平面図である。It is a top view which shows a partial structure of the illuminating device shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1 透過照明架台
1a,1c ベース部
1aa 開口部
1ab,1ad 穴部
1ac 支持部
1b 支柱部
2 照準装置
2a 固定部
2b 可動部
3 ズーム鏡体
4 対物レンズ
5 双眼鏡筒
6 接眼レンズ
7 ガラスプレート
8 試料
9 樹脂プレート
10 遮光板
11 円筒ミラー
11a 反射面
12 面光源
12a 光射出面
12b 電源部
13,13’,14,14’,15,20 光指向部材
13a,15a,20a 不透明部材
13b,15b,20b 透明保持部材
16 回転駆動部
17 蓋部
18 回転軸
19 回転つまみ
19a ギア
31A,31B,31C,31D,41A,41B,41C,41D 光調整部材
32,42 ターレット
32a,32b,32c,32d,42a,42b,42c,42d 開口部
33,43 回転軸
34,44 スペーサー
35A,35B,35C,35D,45A,45B,45C,45D 枠
36,46 プランジャー
37,47 ボール
38,48 バネ
39A,39B,39C,39D,49A,495B,49C,49D クリック溝
IL1−1,IL1−2,IL2,IL3,IL4−1〜IL4−5,IL5−1,IL5−2,IL6 射出光
OA 光軸
P1,P2,P3 点
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Transmission illumination stand 1a, 1c Base part 1aa Opening part 1ab, 1ad Hole part 1ac Support part 1b Support | pillar part 2 Aiming device 2a Fixed part 2b Movable part 3 Zoom mirror body 4 Objective lens 5 Binocular tube 6 Eyepiece lens 7 Glass plate 8 Sample DESCRIPTION OF SYMBOLS 9 Resin plate 10 Light-shielding plate 11 Cylindrical mirror 11a Reflective surface 12 Surface light source 12a Light emission surface 12b Power supply part 13,13 ', 14,14', 15,20 Light-directing member 13a, 15a, 20a Opaque member 13b, 15b, 20b Transparent holding member 16 Rotation drive part 17 Lid part 18 Rotation shaft 19 Rotation knob 19a Gear 31A, 31B, 31C, 31D, 41A, 41B, 41C, 41D Light adjustment member 32, 42 Turrets 32a, 32b, 32c, 32d, 42a, 42b, 42c, 42d Opening 33, 43 Rotating shaft 34, 44 Spacer 35A, 35B, 35C, 35D, 45A, 45B, 45C, 45D Frame 36, 46 Plunger 37, 47 Ball 38, 48 Spring 39A, 39B, 39C, 39D, 49A, 495B, 49C, 49D Click groove IL1-1 , IL1-2, IL2, IL3, IL4-1 to IL4-5, IL5-1, IL5-2, IL6 Emission light OA Optical axis P1, P2, P3

Claims (16)

発光した光を射出する所定の大きさの光射出面を有し、該光射出面に垂直な光軸に対して略回転対称な所定範囲の射出角で照明光を射出する面光源と、
前記光射出面に対向して配置される試料と前記光射出面との間に配置され、前記光射出面から前記試料に直接照射される照射光を遮光する遮光手段と、
前記試料と前記光射出面との間の前記光軸の周囲に配置され、前記照明光を反射して前記試料を照明する反射照明手段と、
を備えたことを特徴とする照明装置。
A surface light source having a light emission surface of a predetermined size for emitting emitted light, and emitting illumination light at an emission angle in a predetermined range that is substantially rotationally symmetric with respect to an optical axis perpendicular to the light emission surface;
A light shielding unit disposed between the light emitting surface and the sample disposed to face the light emitting surface, and shielding light irradiated directly on the sample from the light emitting surface;
Reflective illumination means that is disposed around the optical axis between the sample and the light exit surface and reflects the illumination light to illuminate the sample;
An illumination device comprising:
発光した光を射出する所定の大きさの光射出面を有し、該光射出面に垂直な光軸に対して略回転対称な所定範囲の射出角で照明光を射出する面光源と、
前記光射出面に対向して配置される試料と前記光射出面との間に配置され、少なくとも前記光軸を含む1つの平面内で前記光射出面から射出された光の透過角度を制限する光指向手段と、
前記試料と前記光指向手段との間の前記光軸の周囲に配置され、前記光指向部材を透過した前記照明光を反射して前記試料を照明する反射照明手段と、
を備えたことを特徴とする照明装置。
A surface light source having a light emission surface of a predetermined size for emitting emitted light, and emitting illumination light at an emission angle in a predetermined range that is substantially rotationally symmetric with respect to an optical axis perpendicular to the light emission surface;
A transmission angle of light emitted from the light emission surface is limited within one plane including at least the optical axis, which is arranged between the sample arranged facing the light emission surface and the light emission surface. Light directing means;
Reflective illumination means that is disposed around the optical axis between the sample and the light directing means and illuminates the sample by reflecting the illumination light transmitted through the light directing member;
An illumination device comprising:
前記試料と前記光射出面との間に配置され、前記光射出面から前記試料に直接照射される照射光を遮光する遮光手段を備えたことを特徴とする請求項2に記載の照明装置。   The illumination apparatus according to claim 2, further comprising: a light shielding unit that is disposed between the sample and the light emitting surface and shields irradiation light directly irradiated onto the sample from the light emitting surface. 前記光軸の周りに前記光指向手段を回転させる回転駆動手段を備えたことを特徴とする請求項2または3に記載の照明装置。   The lighting device according to claim 2, further comprising a rotation driving unit that rotates the light directing unit around the optical axis. 前記光指向手段は、前記光軸に沿って複数層配置され、
前記回転駆動手段は、前記光軸の周りに前記複数層配置された光指向手段のうち少なくとも1層の前記光指向手段を回転させることを特徴とする請求項4に記載の照明装置。
The light directing means is disposed in a plurality of layers along the optical axis,
The lighting device according to claim 4, wherein the rotation driving unit rotates at least one layer of the light directing unit among the light directing units arranged in the plurality of layers around the optical axis.
互いに特性の異なる複数の前記光指向手段を保持し、各光指向手段を選択的に切り換える選択切換手段を備えたことを特徴とする請求項2または3に記載の照明装置。   4. The lighting device according to claim 2, further comprising a selection switching unit that holds a plurality of the light directing units having different characteristics from each other and selectively switches each light directing unit. 前記光指向手段は、前記光軸に沿って複数層配置され、
前記選択切換手段は、前記複数層配置された光指向手段のうち少なくとも1層の光指向手段に対して、互いに特性の異なる複数の前記光指向手段を保持し、各光指向手段を選択的に切り換えることを特徴とする請求項6に記載の照明装置。
The light directing means is disposed in a plurality of layers along the optical axis,
The selection switching means holds a plurality of the light directing means having different characteristics with respect to at least one light directing means among the light directing means arranged in the plurality of layers, and selectively selects each light directing means. The lighting device according to claim 6, wherein the lighting device is switched.
前記光指向手段は、底面の円を同心円状に配列した複数の相似な中空切頭円錐状の不透明部材と、該複数の不透明部材を保持する透明保持部材とによって形成されることを特徴とする請求項2〜7のいずれか一つに記載の照明装置。   The light directing means is formed by a plurality of similar hollow frustoconical opaque members in which circles on the bottom surface are arranged concentrically, and a transparent holding member that holds the plurality of opaque members. The illumination device according to any one of claims 2 to 7. 前記光指向手段は、底面の多角形の各重心を重ねて配列した複数の相似な中空切頭角錐状の不透明部材と、該複数の不透明部材を保持する透明保持部材とによって形成されることを特徴とする請求項2〜7のいずれか一つに記載の照明装置。   The light directing means is formed by a plurality of similar hollow truncated pyramidal opaque members arranged by overlapping each center of gravity of a polygon on the bottom surface, and a transparent holding member holding the plurality of opaque members. The lighting device according to any one of claims 2 to 7, 前記光指向手段は、羽板状に配列した複数の帯状の不透明部材と、該複数の不透明部材を保持する透明部材とによって形成されることを特徴とする請求項2〜7のいずれか一つに記載の照明装置。   The light directing means is formed by a plurality of strip-like opaque members arranged in a wing plate shape and a transparent member holding the plurality of opaque members. The lighting device described in 1. 前記光指向手段は、ルーバーフィルムであることを特徴とする請求項8〜10のいずれか一つに記載の照明装置。   The illumination device according to any one of claims 8 to 10, wherein the light directing means is a louver film. 前記遮光手段は、前記光軸に垂直な平面内で該光軸に対して回転対称に形成されることを特徴とする請求項1または3に記載の照明装置。   The illumination device according to claim 1, wherein the light shielding unit is formed rotationally symmetrical with respect to the optical axis in a plane perpendicular to the optical axis. 前記遮光手段は、前記光軸に垂直な平面内で少なくとも直交する2方向に関して前記照射光を遮光する遮光量が異なることを特徴とする請求項1または3に記載の照明装置。   4. The illumination device according to claim 1, wherein the light shielding unit has different light shielding amounts for shielding the irradiation light in at least two directions orthogonal to each other in a plane perpendicular to the optical axis. 前記遮光手段は、前記光軸に垂直な平面内で該光軸を中心とした楕円形状に形成されることを特徴とする請求項12に記載の照明装置。   The lighting device according to claim 12, wherein the light shielding means is formed in an elliptical shape centered on the optical axis in a plane perpendicular to the optical axis. 前記反射照明手段は、前記光軸に沿った円筒面の内側面を反射面として形成し、該反射面によって前記照明光を反射して前記試料を照明することを特徴とする請求項1〜13のいずれか一つに記載の照明装置。   The reflection illumination means forms an inner surface of a cylindrical surface along the optical axis as a reflection surface, and reflects the illumination light by the reflection surface to illuminate the sample. The lighting device according to any one of the above. 実体顕微鏡に搭載されることを特徴とする請求項1〜14のいずれか一つに記載の照明装置。
The illumination device according to claim 1, wherein the illumination device is mounted on a stereomicroscope.
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